JP5977366B2 - カラー不可視光センサ、例えば、irセンサ、すなわち、マルチスペクトルセンサ - Google Patents
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Description
−基板に入射する光に応答して電荷キャリアを発生可能な基板と、
−互いに隣接して配置され、画素センサに電気的に接触する第1および第2の接触素子と、
−第1の検出領域内で発生させられた電荷キャリアを検出するために構成されている第1の検出素子(314、404、504、604)と、
−第1の検出領域(301)の検出性を制御する手段と、
−第2の検出領域内で発生させられた電荷キャリアを検出するために構成されている第2の検出素子(316、401、500、600)と、
−第1および第2の接触素子を備える基板の一部に重なり、第1の波長範囲を持つ光を通過させるために構成されている第1のフィルタ素子と、
−第2の接触素子を備える基板の一部に重なり、第1の波長範囲とは異なり、かつ、カラーまたは波長範囲に関連付けられている第2の波長範囲を持つ光を通過させるために構成されている第2のフィルタ素子と、
を備える、カラーまたはマルチスペクトル画像センサ装置を提供する。
本発明の実施形態は、3D画像センサ装置が複数の画素センサを有し、複数のセンサの各画素センサが単一の画素に関連付けられている、本発明に係るカラーまたはマルチスペクトル画像センサ装置を有している3D画像センサを提供する。
−第1の検出素子の組に接続され、カラー値を出力とするカラー計算ユニットと、
−深度測定量、シーン照度測定量 例えば、信頼度マップ)を出力とするIR計算ユニットと、
を備える、カメラを提供する。
−深度マップを決定する源である同相成分および直交成分
−深度関連要因から導出され得る信頼度マップ、例えば、不可視光またはIR反射率マップとすることができる。本発明のTOFセンサおよびカメラシステムにおける特定の利点は、反射率マップ計算のような距離依存性要因のマップの計算である。これは、エイリアシングの存在を検出するために使用され得る。
−基板に入射する光に応答して電荷キャリアを発生可能な基板と、
−画素センサに電気的に接触する第1および第2の接触素子と、
−第1の接触素子の側方に、かつ、第1接触素子に隣接して配置され、第1の検出領域内で発生させられた電荷キャリアを検出するために構成されている第1の検出素子(303、316、401、501、600)と、
−第1および第2の接触素子を備える基板の一部に重なり、第1の不可視波長範囲(例えば、IR範囲)を持つ光を通過させるために構成されている第1のフィルタ素子と、
−第1の検出素子を備える基板の一部に重なり、第1の波長範囲とは異なり、かつ、カラーに関連付けられている第2の波長範囲を持つ光を通過させるために構成されている第2のフィルタ素子と、
を備える、カラーまたはマルチスペクトル画像センサ装置を提供する。
−第1の検出素子の側方に、かつ、第1の検出素子と共通の第1の側面に配置され、第1および第2の接触素子が第1および第2の接触素子の共通の第1の側面に対応している、第2の検出領域内で発生させられた電荷キャリアを検出するために構成されている第2の検出素子(314)と、
−第2の検出素子に重なる遮光素子と、
を備えることがある。
−エネルギーを供給されてもよく、供給されたエネルギーの量に基づいて(拡散によって)第2の検出素子から第1の検出素子に電荷キャリアを転送するために構成されている電荷キャリア拡散接触素子(320)
を備えることがある。
−検出素子および第1の接触素子の側方に、かつ、検出素子と第1の接触素子との間に配置され、第1のフィルタ素子が重なる、第2の検出領域内で発生させられた電荷キャリアを検出するために構成されている第2の検出素子(404、504、604)
を備えることがある。
−第1および第2の検出素子を互いに接続するスイッチング素子(414)
を備えることがある。
−第1のフィルタ素子が重なった第2の検出素子から検出された電荷キャリアを拡散的に受容するために構成されている電荷キャリア拡散素子(614)と、
−エネルギーを供給されてもよく、供給されたエネルギーの量に基づいて第2の検出素子から電荷キャリア拡散素子に電荷キャリアを拡散的に転送するために構成されている電荷キャリア拡散接触素子(605)と、
を備えることがある。
−第1の検出素子の側方に、かつ、第1の検出素子に隣接して配置され、第1の検出素子から検出された電荷キャリアを受容するために構成されている別の電荷キャリア拡散素子(501、601)と、
−エネルギーを供給されてもよく、供給されたエネルギーの量に基づいて第1の検出素子から別の電荷キャリア拡散素子に電荷キャリアを拡散的に転送するために構成されている別の電荷キャリア拡散接触素子(506、606)と、
を備えることがある。
−第1および第2の検出素子に接続され、検出素子からの検出された電荷キャリアおよび第2の検出素子からの検出された電荷キャリアを選択的に蓄積するために構成されているバッファ素子または読み出し素子(415、513、613)
をさらに備えることがある。
−第1および第2の検出素子を第1および第2の検出素子にエネルギーを供給するために構成されているエネルギー源に接続するために構成されている別のスイッチング素子(411、511、611)
を備えることがある。
−第2の接触素子の側方に、かつ、第2の接触素子に隣接して配置され、発生させられた電荷キャリアを検出するために構成されている別の第1の検出素子と、
−前記別の第1の検出素子を備える基板の一部に重なり、第1の波長範囲とは異なり、かつ、別のカラーに関連付けられている別の第2の波長範囲を持つ光を通過させるために構成されている別の第2のフィルタ素子と、
を備えることがあり、
前記別の第1の検出素子は、第1および第2の接触素子の側方に、かつ、第1および第2の接触素子の共通の第2の側面に配置されている。
−基板に入射する光に応答して電荷キャリアを発生可能な基板と、
−互いに隣接して配置され、画素センサに電気的に接触する第1および第2の接触素子と、
−第1の接触素子の側方に、かつ、第1の接触素子に隣接して配置され、第1の検出領域内で発生させられた電荷キャリアを検出するために構成されている第1の検出素子と、
−第1および第2の接触素子を備える基板の一部に重なり、第1の波長範囲を持つ光を通過させるために構成されている第1のフィルタ素子と、
−第1の接触素子を備える基板の一部に重なり、第1の波長範囲とは異なり、かつ、カラーに関連付けられている第2の波長範囲を持つ光を通過させるために構成されている第2のフィルタ素子と、
第1および/または第2の検出素子から、検出素子または別の電荷蓄積素子である共通素子に電荷を転送することができる少なくとも1つの電荷転送素子(320、414、506、605+606)を備える、カラー画像センサ装置である。
−検出された電荷キャリアに基づいて光のカラーおよび走行距離を決定する決定ユニットを備えることがあるか、または、この決定ユニットと協働するために適応していることがある。場合によっては、決定ユニットは、単一の画像センサユニットからの検出された電荷キャリアに基づいて光の走行距離を決定するために構成されている。
−深度測定量
−反射率測定量のような距離依存性要因測定量
−カラー成分データ測定量
−場合によっては、I/Q相
を含むデジタルデータ値に変換するために計算を実行する処理ユニットを典型的に有している。決定ユニットは、ケーブルまたは無線接続のような好適な通信経路によってセンサに連結されている別個のユニットでもよい。
−エネルギーを単一の画素に関連付けられた3D画像センサ装置の画素センサの第1および第2の接触素子に供給することと、
−第1のフィルタ素子が第1の波長範囲を持つ光を通過させるために構成され、第1のフィルタ素子が第1および第2の接触素子を備える基板の一部に重なり、第2のフィルタ素子が第2の波長範囲を持つ光を通過させるために構成され、第2のフィルタ素子が画像センサユニットの第1の検出素子を備える基板の一部に重なり、第2の波長範囲が第1の波長範囲とは異なり、かつ、カラーに関連付けられ、画像センサユニットの第1および第2のフィルタを介して基板に入射する光に応答して画素センサの基板内の電荷キャリアに発生させることと、
−第1の検出素子(303、316、401、501、600)によって、発生させられた電荷キャリアを検出することと、
−電荷を検出素子または電荷蓄積素子であってよい共通素子に転送することと、
を備える方法を提供する。
−第1の検出素子の組に接続され、出力が、例えば、標準RGB値(または、何らかの種類の他の座標系)として表現されたカラー値であるカラー計算ユニットと、
−出力が:
○深度測定量
○シーン照度測定量(すなわち、信頼度マップ)
であるIR計算ユニットと、
を備える。
Claims (12)
- 画像の単一の画素に関連付けられた画素センサを備えるカラーまたはマルチスペクトル画像センサ装置であって、前記画素センサは、
−入射する光に応答して電荷キャリアが発生可能である基板と、
−前記基板に形成され、前記画素センサに電気的に接触する第1の接触素子(301、616)および第2の接触素子(302)と、
を備え、前記第1の接触素子および前記第2の接触素子は互いに隣接して配置されることを特徴とし、
前記画素センサは、
−前記基板に形成され、前記第1の接触素子と前記第2の接触素子との間である第1の検出領域内で発生させられた電荷キャリアを検出するために構成されている第1の検出素子(303、304、314、315、404、504、604)と、
−前記第1の接触素子及び前記第2の接触素子を介して注入された多数キャリア電流を変調するよう構成されている、前記第1の検出領域(301)の検出性を制御する手段と、
−前記基板に形成され、第2の検出領域内で発生させられた電荷キャリアを検出するために構成されている第2の検出素子(303、304、316、401、500、600)と、
−前記第1の接触素子および前記第2の接触素子を備える前記基板の一部に重なり、第1の波長範囲を持つ光を通過させるために構成されており、前記第1の検出領域内において光に感受性があるエリアを含む第1のフィルタ素子(311、409、509、609)と、
−前記第2の検出素子を覆いかつ前記第1のフィルタ素子と重ならない前記基板の一部に重なり、前記第1の波長範囲とは異なり、かつ、カラーに関連付けられている第2の波長範囲を持つ光を通過させるために構成されている第2のフィルタ素子(309、310、408、508、608)と、
を更に備え、
前記第1の検出素子および前記第2の検出素子(303、304、316、314、315、401、404、504、600、604)は、前記第1の接触素子および前記第2の接触素子(301、302、616)が前記第1の検出素子および前記第2の検出素子(303、304、316、314、315、401、404、504、600、604)の検出性を制御できるように、前記第1の接触素子又は前記第2の接触素子(301、302、616)の側方に設置され、前記第1の接触素子と前記第2の接触素子の間に設置されることがなく、
前記画素センサは、半導体ベースの構造体を備え、
前記基板、前記第1の接触素子および前記第2の接触素子は、第1の導電型を持つ半導体領域を備え、前記第1の検出素子および前記第2の検出素子は、第2の導電型を持つ半導体領域を備える、カラーまたはマルチスペクトル画像センサ装置。 - 前記画素センサは、
−前記第1の検出素子および/または前記第2の検出素子から、検出素子またはその他の電荷蓄積素子である共通素子に電荷を転送することができる少なくとも1つの電荷転送素子(320、414、506、605、606)
をさらに備える、請求項1に記載のカラーまたはマルチスペクトル画像センサ装置。 - 前記第1の検出素子は、前記第2の検出素子にもなるように配置されている、請求項1又は2に記載のカラーまたはマルチスペクトル画像センサ装置。
- 前記電荷転送素子(320、321)は、前記第1の検出素子から前記第2の検出素子に、または、前記第2の検出素子から前記第1の検出素子に電荷を転送し、遮光素子(312)が前記第2の検出素子に重なる、請求項2に記載のカラーまたはマルチスペクトル画像センサ装置。
- 前記電荷転送素子(320)は、エネルギーを供給されることができ、電荷キャリア素子は、供給されたエネルギーの量に基づいて前記第2の検出素子から前記第1の検出素子に拡散により前記電荷キャリアを転送するために構成されている、請求項2又は4に記載のカラーまたはマルチスペクトル画像センサ装置。
- 前記画素センサは、
−前記第1の検出素子および前記第2の検出素子を互いに接続するために構成されているスイッチング素子(414)
をさらに備える、請求項1から5のいずれか一項に記載のカラーまたはマルチスペクトル画像センサ装置。 - 前記画素センサは、
−前記第1の検出素子(604)から検出された電荷キャリアを受容するために構成されている電荷キャリア蓄積素子(614)と、
−エネルギーを供給されることができ、供給されたエネルギーの量に基づいて前記第1の検出素子から前記電荷キャリア蓄積素子に電荷キャリアを転送するために構成されている、電荷キャリア転送素子(605)と、
をさらに備える、請求項1から6のいずれか一項に記載のカラーまたはマルチスペクトル画像センサ装置。 - 前記画素センサは、
−前記第2の検出素子に近接して側方に配置され、前記第2の検出素子(500、600)から検出された電荷キャリアを受容するために構成されている第2の電荷キャリア蓄積素子(501、601)と、
−エネルギーを供給されることができ、供給されたエネルギーの量に基づいて前記第2の検出素子から前記第2の電荷キャリア蓄積素子に電荷キャリアを転送するために構成されている第2の電荷キャリア転送素子(506、606)と、
をさらに備える、請求項1から7のいずれか一項に記載のカラーまたはマルチスペクトル画像センサ装置。 - 前記画素センサは、
−前記第1および/または第2の蓄積もしくは検出素子に接続され、前記第1および/または第2の蓄積もしくは検出素子上の信号を非破壊的に増幅またはバッファリングまたはコピーするために構成されている読み出し素子(415、513、613)
をさらに備える、請求項1から8のいずれか一項に記載のカラーまたはマルチスペクトル画像センサ装置。 - 前記画素センサは、
−前記第1の検出素子および前記第2の検出素子を前記第1の検出素子および前記第2の検出素子にエネルギーを供給するために構成されているエネルギー源に接続するために構成されている第2のスイッチング素子(411、511、611)
をさらに備える、請求項1から9のいずれか一項に記載のカラーまたはマルチスペクトル画像センサ装置。 - 前記第1の検出素子および検出性制御手段と一体となった前記第1の検出領域は、電流アシストフォトニック復調器装置、フォトニック混合復調器装置、ドリフト・フィールド画素ベース復調器装置、または、空乏領域変調ベース画素復調器装置として構成されている、請求項1から10のいずれか一項に記載のカラーまたはマルチスペクトル画像センサ装置。
- 前記第1のフィルタ素子は、フィルタ素子の積み重ねであり、前記積み重ねの各フィルタ素子は、ある種の波長範囲を持つ光を通過させるために構成されている、請求項1から11のいずれか一項に記載のカラーまたはマルチスペクトル画像センサ装置。
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