JP5972384B2 - 2チャンバガス放電レーザシステムにおける高精度ガス注入のためのシステム及び方法 - Google Patents
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Description
本出願は、代理人整理番号PA1091USである2011年9月30日出願の「2チャンバガス放電レーザシステムにおける高精度ガス注入のためのシステム及び方法」という名称の米国一般特許出願、出願番号第13/251,181号に対する優先権を主張するものであり、その内容全体が、これにより引用によって本明細書に組み込まれる。
及び
により与えられ、ここで、F0はフッ素の総量であり、PTはチャンバの圧力である。
しかし、ここで、モデルは、上述したようにF1の計算された値で開始され、T1及びt1は、それぞれ、補充からではなく第1の注入の終了から第2の注入の終わりまでに発射されるショットの回数及び経過時間を表している。ここで、ターゲット圧力PTは、ここでもまた、第2の注入の前後で同じであると仮定され、上述したように、他の実施形態ではこれらの値は異なる場合がある。ΔF及びΔRGの値は、M回の固定の注入の期間中は同じままである。
ここで、TSINCE REFILLは、行われた注入の回数と無関係に補充からのショットの総数であり、θkは、フッ素量と相関付けられない測定値の成分であり、hは、適切な定数である。当業者は、どのパラメータがVとして測定されるかによってhを適切に判断する方法を認識するであろう。
ここで、以下の通りである。
Fk=注入K後のフッ素
ΔFk=注入されたフッ素の量
ΔRG=注入された希ガスの量
ここで、ωf、M及びωnf、Mは、それぞれレーザの発射及び経過時間による注入J後の更新された消費率であり、FJは、更新されたフッ素値である。更に、T’J+1及びt’J+1、すなわち、注入Jからのショットの回数及び経過時間の両方は、注入J+1の直前に既知である。
ここで、FTは、ターゲットフッ素であり、PTは、上述したような圧力ターゲットであり、T及びtは、それぞれ、注入中のショットの回数及び注入の経過時間である。tは既知の値であり、すなわち、注入がどの程度時間を要するかは既知である。しかし、T、すなわち、発射されたショットの回数は、各注入中に変動する場合がある。従って、注入中に発射されたショットの平均値Tの過去の注入データから推定値が作られ、この式に使用される。
102 主発振器
104 電力増幅器
106 第1のレーザビーム
110 M1トリ混合物
Claims (14)
- 二重チャンバガス放電レーザ光源であって、
ハロゲンを含むレージング媒体ガスを含むレーザチャンバを有する主発振器と、
前記ハロゲンを含むレージング媒体ガスを含むレーザチャンバを有する増幅器と、
規則的な間隔で発生する注入機会で、前記主発振器又は前記増幅器のいずれかの選択されたレーザチャンバに対して補給スキームを行うコントローラを含むガス補給システムと、を含み、
前記補給スキームは、
第1の数の注入機会に向けて、固定量の非ハロゲン含有ガスと固定量のハロゲン含有ガスとを各注入機会で前記選択されたレーザチャンバに注入する段階と、
前記第1の数の注入機会後に、第2の数の注入機会の各々に向けて、
各注入機会の前の前記選択されたレーザチャンバ内のハロゲンガスの量及び前記注入機会中に前記選択されたレーザチャンバに注入されるハロゲンガスの量のモデルを実行し、前記注入機会後の前記選択されたレーザチャンバ内の前記ハロゲンガスの量を予想する段階と、
固定量の前記非ハロゲン含有ガス及び固定量の前記ハロゲン含有ガスを前記選択されたレーザチャンバ内に注入する段階と、
前記レーザ光源のパラメータを測定して前記ガスの注入後の前記選択されたレーザチャンバ内の前記ハロゲンガスの量を推定する段階と、
前記選択されたレーザチャンバ内の前記ハロゲンガスの予想された量と前記選択されたレーザチャンバ内の前記ハロゲンガスの推定された量との差分に基づいて前記モデルを更新する段階と、
前記第2の数の注入機会後に、第3の数の注入機会の各々に向けて、
前記モデルを実行して、前記選択されたレーザチャンバ内の望ましい量のハロゲンガスをもたらす、注入されるハロゲン含有ガスの量を予想する段階と、
前記注入機会後に前記選択されたレーザチャンバ内のハロゲンガスの前記望ましい量をもたらすため、各注入機会に、固定量の前記非ハロゲン含有ガスと前記予想される量の前記ハロゲン含有ガスとを前記選択されたレーザチャンバに注入する段階と、を含む、二重チャンバガス放電レーザ光源。 - 注入機会のための前記規則的な間隔は、経過時間及びショットカウントのうちの一方又は両方を含むファクタによって判断される、請求項1に記載の二重チャンバガス放電レーザ光源。
- 前記モデルは、ハロゲンガスが前記選択されたレーザチャンバにおいて消費される速度の推定値を含み、
ハロゲンガスが前記選択されたレーザチャンバにおいて消費される前記速度は、前記レーザ光源の作動パラメータの変化に基づいて推定され、
前記選択されたレーザチャンバは前記増幅器のレーザチャンバであり、前記作動パラメータは前記増幅器のレーザチャンバにおける放電電圧である、請求項1に記載の二重チャンバガス放電レーザ光源。 - 前記モデルは、ハロゲンガスが前記選択されたレーザチャンバにおいて消費される速度の推定値を含み、
ハロゲンガスが前記選択されたレーザチャンバにおいて消費される前記速度は、前記レーザ光源の作動パラメータの変化に基づいて推定され、
前記選択されたレーザチャンバは前記主発振器のレーザチャンバであり、前記作動パラメータは前記主発振器と増幅器との間の放電タイミング差である、請求項1に記載の二重チャンバガス放電レーザ光源。 - 前記モデルは、ハロゲンガスが前記選択されたレーザチャンバにおいて消費される速度の推定値を含み、
ハロゲンガスが前記選択されたレーザチャンバにおいて消費される前記速度は、前記レーザ光源の作動パラメータの変化に基づいて推定され、
前記選択されたレーザチャンバは前記主発振器のレーザチャンバであり、前記作動パラメータは前記レーザ光源の帯域幅である、請求項1に記載の二重チャンバガス放電レーザ光源。 - 前記モデルは、ハロゲンガスが前記選択されたレーザチャンバにおいて消費される速度の推定値を含み、
ハロゲンガスが前記選択されたレーザチャンバにおいて消費される前記速度は、前記レーザ光源の作動パラメータの変化に基づいて推定され、
前記選択されたレーザチャンバは前記主発振器のレーザチャンバであり、前記作動パラメータはE95である、請求項1に記載の二重チャンバガス放電レーザ光源。 - 前記選択されたレーザチャンバ内の前記ハロゲンガスの量のモデルを実行する段階は、前記チャンバ内の前記ハロゲンガスの量を前記注入機会後かつ直後の注入機会前の選択された時点でモデル化する段階を更に含む、請求項1に記載の二重チャンバガス放電レーザ光源。
- ハロゲンを含むレージング媒体ガスを含むレーザチャンバを各々が有する主発振器及び増幅器を有する二重チャンバガス放電レーザ光源にガスを補給する方法であって、
規則的な間隔で発生する複数の注入機会を選択する段階と、
第1の数の注入機会に向けて、固定量の非ハロゲン含有ガスと固定量のハロゲン含有ガスとを各注入機会に前記選択されたレーザチャンバに注入する段階と、
前記第1の数の注入機会後に、第2の数の注入機会の各々に向けて、
各注入機会の前の前記選択されたレーザチャンバ内のハロゲンガスの量及び前記注入機会中に前記選択されたレーザチャンバに注入されるハロゲンガスの量のモデルを実行し、前記注入機会後の前記選択されたレーザチャンバ内の前記ハロゲンガスの量を予想する段階と、
固定量の前記非ハロゲン含有ガス及び固定量の前記ハロゲン含有ガスを前記選択されたレーザチャンバ内に注入する段階と、
前記レーザ光源のパラメータを測定して前記ガスの注入後の前記選択されたレーザチャンバ内の前記ハロゲンガスの量を推定する段階と、
前記選択されたレーザチャンバ内の前記ハロゲンガスの予想された量と前記選択されたレーザチャンバ内の前記ハロゲンガスの推定された量との差分に基づいて前記モデルを更新する段階と、
前記第2の数の注入機会後に、第3の数の注入機会の各々に向けて、
前記モデルを実行して、前記選択されたレーザチャンバ内の望ましい量のハロゲンガスをもたらす、注入されるハロゲン含有ガスの量を予想する段階と、
前記注入機会後に前記選択されたレーザチャンバ内のハロゲンガスの前記望ましい量をもたらすため、各注入機会に、固定量の前記非ハロゲン含有ガスと前記予想される量の前記ハロゲン含有ガスとを前記選択されたレーザチャンバに注入する段階と、を含むガスを補給する方法。 - 前記複数の注入機会を選択する段階は、前記規則的な間隔を経過時間及びショットカウントのうちの一方又は両方を含むファクタに基づいて選択する段階を更に含む、請求項8に記載のガスを補給する方法。
- 前記モデルは、ハロゲンガスが前記選択されたレーザチャンバにおいて消費される速度の推定値を含み、
ハロゲンガスが前記選択されたレーザチャンバにおいて消費される前記速度は、前記レーザ光源の作動パラメータの変化に基づいて推定され、
前記選択されたレーザチャンバは前記増幅器のレーザチャンバであり、前記作動パラメータは前記増幅器のレーザチャンバにおける放電電圧である、請求項8に記載のガスを補給する方法。 - 前記モデルは、ハロゲンガスが前記選択されたレーザチャンバにおいて消費される速度の推定値を含み、
ハロゲンガスが前記選択されたレーザチャンバにおいて消費される前記速度は、前記レーザ光源の作動パラメータの変化に基づいて推定され、
前記選択されたレーザチャンバは前記主発振器のレーザチャンバであり、前記作動パラメータは前記主発振器と増幅器との間の放電タイミング差である、請求項8に記載のガスを補給する方法。 - 前記モデルは、ハロゲンガスが前記選択されたレーザチャンバにおいて消費される速度の推定値を含み、
ハロゲンガスが前記選択されたレーザチャンバにおいて消費される前記速度は、前記レーザ光源の作動パラメータの変化に基づいて推定され、
前記選択されたレーザチャンバは前記主発振器のレーザチャンバであり、前記作動パラメータは前記レーザ光源の帯域幅である、請求項8に記載のガスを補給する方法。 - 前記モデルは、ハロゲンガスが前記選択されたレーザチャンバにおいて消費される速度の推定値を含み、
ハロゲンガスが前記選択されたレーザチャンバにおいて消費される前記速度は、前記レーザ光源の作動パラメータの変化に基づいて推定され、
前記選択されたレーザチャンバは前記主発振器のレーザチャンバであり、前記作動パラメータはE95である、請求項8に記載のガスを補給する方法。 - 前記選択されたレーザチャンバ内の前記ハロゲンガスの量のモデルを実行する段階は、前記チャンバ内の前記ハロゲンガスの量を前記注入機会後かつ直後の注入機会前の選択された時点でモデル化する段階を更に含む、請求項8に記載のガスを補給する方法。
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