JP5960502B2 - X-ray inspection calibration method, X-ray inspection method, and X-ray inspection apparatus - Google Patents
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Description
本発明は、原子燃料用核燃料棒の検査に際して行われるX線検査の校正方法、X線検査方法、およびX線検査装置に関する。 The present invention relates to a calibration method, an X-ray inspection method, and an X-ray inspection apparatus for X-ray inspection performed at the time of inspection of nuclear fuel rods for nuclear fuel.
原子燃料用核燃料棒は、通常、被覆管内に核燃料物質を含んだペレットとプレナムコイルばねが挿入され、被覆管の上・下端部に端栓が取り付けられて溶接されることにより密封されている。 Nuclear fuel rods for nuclear fuel are normally sealed by inserting pellets containing nuclear fuel material and plenum coil springs into the cladding tube, and attaching end plugs to the upper and lower ends of the cladding tube and welding them.
このとき、原子燃料用核燃料棒に挿入されたペレットやプレナムコイルばねに欠陥や寸法不良があると、原子燃料用核燃料棒の性能低下につながる恐れがあるため、原子燃料用核燃料棒の内部欠陥の検出や寸法測定を行って、原子燃料用核燃料棒の健全性を担保することが重要となる。 At this time, if there are defects or dimensional defects in the pellets or plenum coil springs inserted into the nuclear fuel rods for nuclear fuel, the nuclear fuel rods for nuclear fuel may deteriorate in performance. It is important to ensure the soundness of nuclear fuel rods for nuclear fuel by detecting and measuring dimensions.
この内部欠陥の検出や寸法測定を実施する検査方法の一つとして、X線透過法を用いた検査方法がある。このような検査方法に好適なX線検査装置として、X線発生装置と、原子燃料用核燃料棒を透過したX線を光画像に変換する蛍光板などの変換部材と光画像を撮像するCCDカメラなどの撮像手段とを組み合わせた、いわゆるダイレクトラジオグラフィ法により撮像データを得る撮像手段と、得られた撮像データを画像処理して検査項目に対応した画像データを得る画像処理手段と、得られた画像データに基づいて、内部欠陥の検出や寸法測定の合否を判定する合否判定手段とを備えたX線画像処理装置が開発されている(例えば特許文献1)。 One inspection method for detecting the internal defect and measuring the size is an inspection method using an X-ray transmission method. As an X-ray inspection apparatus suitable for such an inspection method, an X-ray generator, a conversion member such as a fluorescent plate that converts X-rays transmitted through nuclear fuel rods into an optical image, a CCD camera that captures an optical image, and the like An imaging unit that obtains imaging data by a so-called direct radiography method, an image processing unit that performs image processing on the obtained imaging data to obtain image data corresponding to an inspection item, and an obtained image An X-ray image processing apparatus including an acceptance / rejection determination unit that determines the acceptance / rejection of internal defect detection and dimension measurement based on data has been developed (for example, Patent Document 1).
しかしながら、上記の従来技術には、誤判定やエラーが発生し、信頼性が十分とは言えないという問題があった。 However, the above-described prior art has a problem that erroneous determination and errors occur and reliability is not sufficient.
即ち、例えばX線発生装置、特にX線管は消耗品であるため、線質が劣化する。また、蛍光板、反射ミラー、CCDカメラ等のいわゆるX線を受信する側の機器は、X線に対する曝露に伴い品質が劣化する。このため、これらハードウエアの劣化に伴い、得られる撮像データや画像データが劣化する。従来技術では、このような線質や機器の品質劣化に伴い撮像データが劣化した場合でも、画像処理するソフトウエアが、予め設定された画像データのレベルで合否判定を行うようにソフトウエアが作製されていたため、これらの劣化した撮像データや画像データに対して、誤判定やエラーが発生することがあった。 That is, for example, an X-ray generator, particularly an X-ray tube is a consumable product, so that the quality of the radiation deteriorates. In addition, the quality of devices on the side receiving so-called X-rays, such as fluorescent plates, reflecting mirrors, CCD cameras, and the like deteriorates with exposure to X-rays. For this reason, with the deterioration of these hardware, the obtained imaging data and image data are deteriorated. In the prior art, even when imaging data deteriorates due to such deterioration of line quality or equipment quality, the software is made so that the software for image processing makes a pass / fail judgment at a preset image data level. For this reason, erroneous determinations and errors may occur with respect to these deteriorated imaging data and image data.
そこで、本発明は、原子燃料用核燃料棒の検査に際して行われるX線検査において、ハードウエアの劣化に伴う誤判定やエラーの発生が抑制され、十分な信頼性を有するX線検査の校正方法、X線検査方法、およびX線検査装置を提供することを課題とする。 Therefore, the present invention relates to a calibration method for X-ray inspection with sufficient reliability in which the occurrence of erroneous determinations and errors due to hardware deterioration is suppressed in the X-ray inspection performed at the time of inspection of nuclear fuel rods for nuclear fuel, X-ray inspection method, and it is an object to provide an X-ray inspection equipment.
本発明者は、上記課題を解決するため鋭意検討を行った結果、以下に記載する本発明に関連する技術により上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成させるに至った。以下、各技術毎に説明する。 As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventor has found that the above problems can be solved by the technique related to the present invention described below, and has completed the present invention. Hereinafter, each technology will be described.
本発明に関連する第1の技術は、
原子燃料用核燃料棒の内部の欠陥の検出および寸法測定を実施するX線検査装置を用いて、検査対象物である原子燃料用核燃料棒にX線を透過させてダイレクトラジオグラフィ法により得られた検査画像データから前記原子燃料用核燃料棒の合否判定を行う際に、合否判定基準の校正を行うX線検査の校正方法であって、
前記X線検査装置の初期使用時に、基準ワークにX線を透過させて得られた基準画像データと、
検査開始前に、前記基準ワークにX線を透過させて得られた校正用画像データ
との差異に基づいて、前記合否判定基準を校正することを特徴とするX線検査の校正方法である。
The first technique related to the present invention is:
Obtained by direct radiography method by transmitting X-rays to nuclear fuel rods to be inspected using an X-ray inspection device that detects defects and measures dimensions inside nuclear fuel rods for nuclear fuel An X-ray inspection calibration method for calibrating pass / fail criteria when performing pass / fail determination of the nuclear fuel rod for nuclear fuel from inspection image data,
Reference image data obtained by transmitting X-rays to a reference workpiece during initial use of the X-ray inspection apparatus;
An X-ray inspection calibration method characterized in that the pass / fail criterion is calibrated based on a difference from calibration image data obtained by transmitting X-rays through the reference workpiece before the start of inspection.
本技術においては、まず、X線検査装置の初期使用時に、基準ワークにX線を透過させて基準画像データを得る。そして、検査開始直前に基準ワークにX線を透過させて校正用画像データを得る。さらに、基準画像データと校正用画像データとの差異に基づいて、検査に際して得られる画像データの劣化状況を把握して、合否判定基準を校正する。これにより、劣化した画像データに対しても適切に合否判定することができ、誤判定やエラーの発生を抑制することができる。 In the present technology, first, reference image data is obtained by transmitting X-rays to a reference workpiece during initial use of the X-ray inspection apparatus. Then, X-rays are transmitted through the reference workpiece immediately before the start of inspection to obtain calibration image data. Further, based on the difference between the reference image data and the calibration image data, the deterioration status of the image data obtained in the inspection is grasped, and the pass / fail judgment reference is calibrated. As a result, it is possible to appropriately determine whether the image data has deteriorated or not, and it is possible to suppress erroneous determination and occurrence of errors.
即ち、画像処理ソフトウエアをハードウエアの劣化による撮像データの劣化に追随させると同時に、ハードウエアの日々の変化による撮像データの変化をフィードバックさせた校正を行うことにより、誤判定やエラーの発生を抑制すると共に、バラつきを抑制することができ、信頼性の高い検査を行うことができる。 In other words, by making the image processing software follow the deterioration of the imaging data due to hardware deterioration, and at the same time, performing calibration by feeding back the changes in the imaging data due to daily changes in the hardware, it is possible to prevent erroneous determinations and errors. In addition to the suppression, variation can be suppressed and a highly reliable inspection can be performed.
本発明に関連する第2の技術は、
検査対象物である原子燃料用核燃料棒にX線を照射するX線発生ステップと、
前記原子燃料用核燃料棒を透過したX線に基いてダイレクトラジオグラフィ法により前記原子燃料用核燃料棒の撮像データを得る撮像ステップと、
前記撮像データを画像処理して前記原子燃料用核燃料棒に対応した検査画像データを得る画像処理ステップと、
前記検査画像データにより前記原子燃料用核燃料棒の内部欠陥の検出および寸法測定を行う際、合否判定基準に基づいて前記原子燃料用核燃料棒の合否判定を行う合否判定ステップと
を備えたX線検査方法であって、
前記合否判定ステップが、
X線検査装置の初期使用時に、基準ワークにX線を透過させて前記撮像ステップおよび前記画像処理ステップにより得られた基準画像データと、
検査開始前に、前記基準ワークにX線を透過させて前記撮像ステップおよび前記画像処理ステップにより得られた校正用画像データ
との差異に基づいて、前記合否判定基準を校正する校正ステップを備えており、
前記校正ステップにより校正された合否判定基準に基づいて、前記検査対象物の合否判定を行う
ことを特徴とするX線検査方法である。
The second technique related to the present invention is:
An X-ray generation step of irradiating a nuclear fuel rod for nuclear fuel, which is an inspection object, with X-rays;
An imaging step of obtaining imaging data of the nuclear fuel rod for nuclear fuel by a direct radiography method based on X-rays transmitted through the nuclear fuel rod for nuclear fuel;
An image processing step for obtaining inspection image data corresponding to the nuclear fuel rod for nuclear fuel by performing image processing on the imaging data;
X-ray inspection comprising: a pass / fail determination step for determining pass / fail of the nuclear fuel rod for nuclear fuel based on a pass / fail criterion when detecting an internal defect and measuring a size of the nuclear fuel rod for the nuclear fuel from the inspection image data A method,
The pass / fail judgment step comprises:
Reference image data obtained by the imaging step and the image processing step by transmitting X-rays to a reference workpiece during initial use of the X-ray inspection apparatus;
A calibration step for calibrating the acceptance criteria based on the difference between the image data for calibration obtained by the imaging step and the image processing step by transmitting X-rays to the reference workpiece before the start of inspection; And
In the X-ray inspection method, the pass / fail judgment of the inspection object is performed based on the pass / fail judgment criteria calibrated in the calibration step.
本技術においては、前記のX線検査の校正方法と同様の校正ステップを設けて、合否判定基準を校正、再設定しているため、劣化した画像データに対しても適切に合否判定することができ、誤判定やエラーの発生が抑制されたX線検査を行うことができる。 In the present technology, a calibration step similar to the calibration method of the X-ray inspection is provided, and the acceptance / rejection determination standard is calibrated and reset, so that the acceptance / rejection can be appropriately determined even for deteriorated image data. It is possible to perform an X-ray inspection in which erroneous determination and occurrence of errors are suppressed.
本発明に関連する第3の技術は、
検査対象物である原子燃料用核燃料棒にX線を照射するX線発生手段と、
前記原子燃料用核燃料棒を透過したX線に基いてダイレクトラジオグラフィ法により前記原子燃料用核燃料棒の撮像データを得る撮像手段と、
前記撮像データを画像処理して前記原子燃料用核燃料棒に対応した検査画像データを得る画像処理手段と、
前記検査画像データにより前記原子燃料用核燃料棒の内部欠陥の検出および寸法測定を行う際、合否判定基準に基づいて前記原子燃料用核燃料棒の合否判定を行う合否判定手段と
を備えたX線検査装置であって、
前記合否判定手段には、
前記X線検査装置の初期使用時に、基準ワークにX線を透過させて前記撮像手段および前記画像処理手段により得られた基準画像データと、
検査開始前に前記基準ワークにX線を透過させて前記撮像手段および前記画像処理手段により得られた校正用画像データ
との差異に基づいて、前記合否判定基準を校正する校正手段が設けられており、
前記校正手段により校正された合否判定基準に基づいて、前記原子燃料用核燃料棒の合否判定が行われる
ことを特徴とするX線検査装置である。
The third technique related to the present invention is:
X-ray generation means for irradiating nuclear fuel rods for nuclear fuel, which are inspection objects, with X-rays;
Imaging means for obtaining imaging data of the nuclear fuel rod for nuclear fuel by direct radiography based on X-rays transmitted through the nuclear fuel rod for nuclear fuel;
Image processing means for obtaining inspection image data corresponding to the nuclear fuel rod for nuclear fuel by subjecting the imaging data to image processing;
X-ray inspection comprising: pass / fail determination means for performing pass / fail determination of the nuclear fuel rod for nuclear fuel based on the pass / fail criterion when detecting internal defects and measuring dimensions of the nuclear fuel rod for nuclear fuel from the inspection image data A device,
In the pass / fail judgment means,
Reference image data obtained by the imaging means and the image processing means by transmitting X-rays to a reference workpiece during initial use of the X-ray inspection apparatus;
Calibration means is provided for calibrating the pass / fail criterion based on the difference between the image data for calibration obtained by the imaging means and the image processing means by transmitting X-rays to the reference work before the start of inspection. And
In the X-ray inspection apparatus, the pass / fail determination of the nuclear fuel rod for nuclear fuel is performed based on the pass / fail determination criterion calibrated by the calibration means.
本技術においては、前記のX線検査方法の校正ステップに対応する校正手段が設けられており、校正手段により校正された合否判定基準に基づいて、前記検査対象物の合否判定が行われるため、このようなX線検査装置を用いることにより、誤判定やエラーの発生が抑制されたX線検査を行うことができる。 In the present technology, calibration means corresponding to the calibration step of the X-ray inspection method is provided, and the pass / fail judgment of the inspection object is performed based on the pass / fail judgment criteria calibrated by the calibration means. By using such an X-ray inspection apparatus, it is possible to perform an X-ray inspection in which erroneous determination and occurrence of errors are suppressed.
本発明に関連する第4の技術は、
第1の技術のX線検査の校正方法に用いられる基準ワークであって、
原子燃料用核燃料棒と同等のX線透過率の材料および模擬欠陥を有していることを特徴とする基準ワークである。
The fourth technique related to the present invention is:
A reference workpiece used in the calibration method of the X-ray inspection of the first technique,
It is a reference workpiece characterized by having a material having an X-ray transmittance equivalent to that of a nuclear fuel rod for nuclear fuel and a simulated defect.
このような模擬欠陥を有する基準ワークを用いることにより、実際の原子燃料用核燃料棒中の検査画像データにおいて、内部欠陥の検出に必要な濃淡差(欠陥のある個所とない個所ではX線の透過に違いが生じ濃淡差ができる)を得ることができる。また、寸法既知の模擬欠陥と検査画像データ上の模擬欠陥とを比較して相対比を求めることにより、内部欠陥の寸法測定を補正して、内部欠陥の寸法測定に必要なパラメータを補正することができる。この結果、検査に際しての合否判定基準の校正を容易かつ正確に行うことができる。 By using a reference work having such a simulated defect, in the inspection image data in the actual nuclear fuel rod for nuclear fuel, the density difference necessary for detecting the internal defect (transmission of X-rays at the place where there is a defect and the place where there is no defect) A difference in density and a difference in density can be obtained). In addition, by comparing the simulated defect with known dimensions and the simulated defect on the inspection image data to obtain the relative ratio, the dimension measurement of the internal defect is corrected and the parameters necessary for the dimension measurement of the internal defect are corrected Can do. As a result, it is possible to easily and accurately calibrate the acceptance / rejection determination criteria at the time of inspection.
本発明は、上記技術に基づくものであり、請求項1に記載の本発明は、
原子燃料用核燃料棒の内部の欠陥の検出および寸法測定を実施するX線検査装置を用いて、検査対象物である原子燃料用核燃料棒にX線を透過させてダイレクトラジオグラフィ法により得られた検査画像データから、前記検査画像の輝度、コントラスト、ノイズおよび寸法をパラメータとする画像処理を行って、前記原子燃料用核燃料棒の合否判定を行う際に、合否判定基準の校正を行うX線検査の校正方法であって、
前記X線検査装置の初期使用時に、基準ワークにX線を透過させ、CCDカメラで撮像されたX線透過画像を画像処理して得られた基準画像データと、
検査開始前に、前記基準ワークにX線を透過させ、前記CCDカメラで撮像されたX線透過画像を画像処理して得られた校正用画像データ
との前記パラメータの差異に基づいて前記パラメータの補正量を求め、求められた補正量に基づいて前記合否判定基準を校正するX線検査の校正方法であり、
前記基準ワークを構成する各部材が、検査対象物である前記原子燃料用核燃料棒を構成する各部材と同じ組成または同一のX線透過率の材料を用いて、同じ寸法または相似した寸法に形成されて、前記原子燃料用核燃料棒と同一に配置されることにより、
前記基準ワークが、検査対象物である前記原子燃料用核燃料棒と同一の仕様に作製されていることを特徴とするX線検査の校正方法である。
The present invention is based on the above technique, and the present invention described in claim 1
Obtained by direct radiography method by transmitting X-rays to nuclear fuel rods to be inspected using an X-ray inspection device that detects defects and measures dimensions inside nuclear fuel rods for nuclear fuel X-ray inspection that calibrates pass / fail judgment criteria when performing pass / fail judgment of the nuclear fuel rod for nuclear fuel by performing image processing using the brightness, contrast, noise, and dimensions of the test image as parameters from the test image data The calibration method of
Reference image data obtained by transmitting X-rays to a reference workpiece and processing an X-ray transmission image captured by a CCD camera at the time of initial use of the X-ray inspection apparatus;
Before starting the inspection, the X-ray is transmitted through the reference workpiece, and the parameter is determined based on the parameter difference from the calibration image data obtained by image processing the X-ray transmission image captured by the CCD camera . An X-ray inspection calibration method for obtaining a correction amount and calibrating the acceptance criteria based on the determined correction amount ,
Each member constituting the reference workpiece is formed to have the same size or similar dimensions using the same composition or the same X-ray transmittance material as each member constituting the nuclear fuel rod for nuclear fuel, which is the inspection object. And being arranged in the same manner as the nuclear fuel rod for nuclear fuel,
In the X-ray inspection calibration method, the reference workpiece is manufactured to have the same specifications as the nuclear fuel rod for nuclear fuel that is an inspection object.
また、請求項2に記載の発明は、
検査対象物である原子燃料用核燃料棒にX線を照射するX線発生ステップと、
前記原子燃料用核燃料棒を透過したX線に基いてダイレクトラジオグラフィ法により前記原子燃料用核燃料棒の撮像データを得る撮像ステップと、
前記撮像データを画像処理して前記原子燃料用核燃料棒に対応した検査画像データを得る画像処理ステップと、
前記検査画像データから、前記検査画像の輝度、コントラスト、ノイズおよび寸法をパラメータとする画像処理を行って、前記原子燃料用核燃料棒の内部欠陥の検出および寸法測定を行う際、合否判定基準に基づいて前記原子燃料用核燃料棒の合否判定を行う合否判定ステップと
を備えたX線検査方法であって、
前記合否判定ステップが、
X線検査装置の初期使用時に、基準ワークにX線を透過させ、CCDカメラで撮像されたX線透過画像を画像処理して前記撮像ステップおよび前記画像処理ステップにより得られた基準画像データと、
検査開始前に、前記基準ワークにX線を透過させ、前記CCDカメラで撮像されたX線透過画像を画像処理して前記撮像ステップおよび前記画像処理ステップにより得られた校正用画像データ
との前記パラメータの差異に基づいて前記パラメータの補正量を求め、求められた補正量に基づいて前記合否判定基準を校正する校正ステップを備えており、
前記校正ステップにより校正された合否判定基準に基づいて、前記検査対象物の合否判定を行うX線検査方法であり、
前記基準ワークを構成する各部材が、検査対象物である前記原子燃料用核燃料棒を構成する各部材と同じ組成または同一のX線透過率の材料を用いて、同じ寸法または相似した寸法に形成されて、前記原子燃料用核燃料棒と同一に配置されることにより、
前記基準ワークが、検査対象物である前記原子燃料用核燃料棒と同一の仕様に作製されていることを特徴とするX線検査方法である。
The invention according to
An X-ray generation step of irradiating a nuclear fuel rod for nuclear fuel, which is an inspection object, with X-rays;
An imaging step of obtaining imaging data of the nuclear fuel rod for nuclear fuel by a direct radiography method based on X-rays transmitted through the nuclear fuel rod for nuclear fuel;
An image processing step for obtaining inspection image data corresponding to the nuclear fuel rod for nuclear fuel by performing image processing on the imaging data;
Based on the pass / fail judgment criteria when performing image processing using the brightness, contrast, noise, and dimensions of the inspection image as parameters from the inspection image data to detect and measure the internal defects of the nuclear fuel rod for nuclear fuel. And a pass / fail determination step for determining pass / fail of the nuclear fuel rod for nuclear fuel,
The pass / fail judgment step comprises:
Reference image data obtained by the imaging step and the image processing step by transmitting an X-ray to a reference work and performing image processing on an X-ray transmission image captured by a CCD camera at the initial use of the X-ray inspection apparatus,
Before the test started, the reference workpiece by transmitting X-rays, said the calibration image data obtained by the imaging step and the image processing step by the image processing an X-ray transmission image captured by the CCD camera A calibration step for obtaining a correction amount of the parameter based on a difference in parameters, and calibrating the acceptance criteria based on the obtained correction amount ;
An X-ray inspection method for performing pass / fail judgment of the inspection object based on the pass / fail judgment criteria calibrated by the calibration step;
Each member constituting the reference workpiece is formed to have the same size or similar dimensions using the same composition or the same X-ray transmittance material as each member constituting the nuclear fuel rod for nuclear fuel, which is the inspection object. And being arranged in the same manner as the nuclear fuel rod for nuclear fuel,
The X-ray inspection method is characterized in that the reference workpiece is manufactured to the same specifications as the nuclear fuel rod for nuclear fuel, which is an inspection object.
また、請求項3に記載の発明は、
検査対象物である原子燃料用核燃料棒にX線を照射するX線発生手段と、
前記原子燃料用核燃料棒を透過したX線に基いてダイレクトラジオグラフィ法により前記原子燃料用核燃料棒の撮像データを得る撮像手段と、
前記撮像データを画像処理して前記原子燃料用核燃料棒に対応した検査画像データを得る画像処理手段と、
前記検査画像データから、前記検査画像の輝度、コントラスト、ノイズおよび寸法をパラメータとする画像処理を行って、前記原子燃料用核燃料棒の内部欠陥の検出および寸法測定を行う際、合否判定基準に基づいて前記原子燃料用核燃料棒の合否判定を行う合否判定手段と
を備えたX線検査装置であって、
前記合否判定手段には、
前記X線検査装置の初期使用時に、基準ワークにX線を透過させ、CCDカメラで撮像されたX線透過画像を画像処理して前記撮像手段および前記画像処理手段により得られた基準画像データと、
検査開始前に前記基準ワークにX線を透過させ、前記CCDカメラで撮像されたX線透過画像を画像処理して前記撮像手段および前記画像処理手段により得られた校正用画像データ
との前記パラメータの差異に基づいて前記パラメータの補正量を求め、求められた補正量に基づいて前記合否判定基準を校正する校正手段が設けられており、
前記校正手段により校正された合否判定基準に基づいて、前記原子燃料用核燃料棒の合否判定が行われるX線検査装置であり、
前記基準ワークを構成する各部材が、検査対象物である前記原子燃料用核燃料棒を構成する各部材と同じ組成または同一のX線透過率の材料を用いて、同じ寸法または相似した寸法に形成されて、前記原子燃料用核燃料棒と同一に配置されることにより、
前記基準ワークが、検査対象物である前記原子燃料用核燃料棒と同一の仕様に作製されていることを特徴とするX線検査装置である。
The invention according to
X-ray generation means for irradiating nuclear fuel rods for nuclear fuel, which are inspection objects, with X-rays;
Imaging means for obtaining imaging data of the nuclear fuel rod for nuclear fuel by direct radiography based on X-rays transmitted through the nuclear fuel rod for nuclear fuel;
Image processing means for obtaining inspection image data corresponding to the nuclear fuel rod for nuclear fuel by subjecting the imaging data to image processing;
Based on the pass / fail judgment criteria when performing image processing using the brightness, contrast, noise, and dimensions of the inspection image as parameters from the inspection image data to detect and measure the internal defects of the nuclear fuel rod for nuclear fuel. X-ray inspection apparatus comprising: pass / fail determination means for determining pass / fail of the nuclear fuel rod for nuclear fuel,
In the pass / fail judgment means,
Reference image data obtained by the imaging means and the image processing means by transmitting X-rays to a reference work and performing image processing on an X-ray transmission image captured by a CCD camera at the time of initial use of the X-ray inspection apparatus ,
Before the start of inspection, the X-ray is transmitted through the reference workpiece, the X-ray transmission image captured by the CCD camera is subjected to image processing, and the parameters with the image data for calibration and the calibration image data obtained by the image processing unit A calibration means is provided for obtaining a correction amount of the parameter based on the difference between the parameters and calibrating the acceptance criteria based on the obtained correction amount ;
An X-ray inspection apparatus that performs pass / fail determination of the nuclear fuel rod for nuclear fuel based on the pass / fail criterion calibrated by the calibration means;
Each member constituting the reference workpiece is formed to have the same size or similar dimensions using the same composition or the same X-ray transmittance material as each member constituting the nuclear fuel rod for nuclear fuel, which is the inspection object. And being arranged in the same manner as the nuclear fuel rod for nuclear fuel,
The X-ray inspection apparatus is characterized in that the reference workpiece is manufactured to the same specifications as the nuclear fuel rod for nuclear fuel that is an inspection object.
本発明によれば、原子燃料用核燃料棒の検査に際して行われるX線検査において、ハードウエアの劣化に伴う誤判定やエラーの発生が抑制され、十分な信頼性を有するX線検査を可能にするX線検査の校正方法、X線検査方法、およびX線検査装置をを提供することができる。 According to the present invention, in the X-ray inspection performed when the nuclear fuel rod for nuclear fuel is inspected, erroneous determinations and errors due to hardware deterioration are suppressed, and X-ray inspection with sufficient reliability is enabled. calibration method for X-ray examination, X-ray inspection method, and the X-ray inspection equipment can be provided.
以下、本発明を実施の形態に基づき、図面を用いて説明する。 Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings based on embodiments.
1.X線検査装置
はじめに、X線検査装置について説明する。図1は本実施の形態のX線検査装置の構成を模式的に示す図であり、1はX線発生装置、2は蛍光板、3は反射ミラー、4はCCDカメラ、5は画像処理装置、6は自動合否判定装置である。また、Wは検査対象のワーク(原子燃料用核燃料棒)であり、SWは基準ワークである。
1. X-ray inspection apparatus First, an X-ray inspection apparatus will be described. FIG. 1 is a diagram schematically showing the configuration of an X-ray inspection apparatus according to the present embodiment. 1 is an X-ray generator, 2 is a fluorescent screen, 3 is a reflecting mirror, 4 is a CCD camera, 5 is an image processing apparatus, 6 is an automatic pass / fail judgment device. W is a work to be inspected (nuclear fuel rod for nuclear fuel), and SW is a reference work.
なお、本実施の形態におけるX線検査装置自体は、基本的には、従来のX線検査装置と同様の構成を有している。そして、従来と同様に、ワークに対してX線照射を行うことにより得られた輝度、コントラスト、ノイズ、寸法等についての画像データに基づき、原子燃料用核燃料棒のペレット自身の欠陥(ペレットの欠け)、ペレットスタック中の欠陥(ペレット・ペレット間ギャップ)、プレナムコイルばねの有無、プレナム部の寸法、プレナム部に存在しているペレットチップの有無、端栓部の欠陥に対して検査を実施する。 Note that the X-ray inspection apparatus itself in the present embodiment basically has the same configuration as the conventional X-ray inspection apparatus. In the same manner as in the past, based on the image data on the brightness, contrast, noise, dimensions, etc. obtained by irradiating the workpiece with X-rays, the nuclear fuel rod pellet itself has defects (pellet missing). ), Inspection for defects in pellet stack (pellet-pellet gap), presence / absence of plenum coil spring, dimension of plenum part, presence / absence of pellet chip present in plenum part, end plug part defect .
(1)撮像手段
撮像手段は、X線発生装置1、蛍光板2、反射ミラー3、CCDカメラ4から構成されている。X線発生装置1は、蛍光板2の手前に配置されたワークW(または基準ワークSW)にX線を照射する。蛍光板2は、ワークW(または基準ワークSW)を透過したX線を検知し、光画像に変換する。反射ミラー3は、得られた光画像を反射し、CCDカメラ4に導く。CCDカメラ4は、光画像を撮像データとして読み取る(ダイレクトラジオグラフィ法)。
(1) Imaging means The imaging means comprises an X-ray generator 1, a
(2)画像処理手段
CCDカメラ4に読み取られた撮像データは、画像処理装置5に送られ、画像処理装置5に予め内蔵された画像処理手段に基づき、上記した原子燃料用核燃料棒のペレット自身の欠陥(ペレットの欠け)、ペレットスタック中の欠陥(ペレット・ペレット間ギャップ)、プレナムコイルばねの有無、プレナム部の寸法、プレナム部に存在しているペレットチップの有無、端栓部の欠陥などの各検査項目に対応した画像データに処理される。
(2) Image processing means The image data read by the
(3)合否判定手段
処理された画像データは、自動合否判定装置6に送られ、自動合否判定装置6に予め内蔵された画像データの閾値を合否判定基準として、各検査項目の合否が自動的に判定される。
(3) Pass / Fail Judgment Unit The processed image data is sent to the automatic pass /
(4)校正手段
以上の各手段は、従来のX線検査装置にも備えられていたが、本実施の形態のX線検査装置においては、さらに、前記の合否判定手段において合否判定を行うに際して、劣化した撮像データに対応して、合否判定基準を予め校正する校正手段が備えられている点に大きな特徴がある。
(4) Calibration means Each of the above means was also provided in a conventional X-ray inspection apparatus. However, in the X-ray inspection apparatus according to the present embodiment, the pass / fail determination means further performs pass / fail determination. A major feature is that a calibration means for calibrating the acceptance criteria in advance is provided in correspondence with the deteriorated imaging data.
即ち、前記したように、従来のX線検査装置においては、X線検査装置のX線発生装置、蛍光板、反射ミラー、CCDカメラなどのハードウエアの劣化が発生していない初期使用時に得られた画像データ(基準画像データ)に基づいて設定された合否判定基準により合否判定を行っていた。 That is, as described above, in the conventional X-ray inspection apparatus, the X-ray generation apparatus, the fluorescent plate, the reflection mirror, the CCD camera, etc. of the X-ray inspection apparatus were obtained at the initial use when the hardware did not deteriorate. The pass / fail judgment is performed based on the pass / fail judgment criteria set based on the image data (reference image data).
これに対して、本実施の形態においては、所定の基準ワークSWを用いて、ハードウエアの劣化が発生していないX線検査装置の使用初期とハードウエアの劣化が発生した後のX線検査装置を用いた実際の検査の直前のそれぞれで画像データを取得しており、その後、得られた2つの画像データを比較し、その差異を求めている。 In contrast, in the present embodiment, an X-ray inspection using a predetermined reference workpiece SW and an initial stage of use of the X-ray inspection apparatus in which hardware deterioration has not occurred and after hardware deterioration has occurred. Image data is acquired immediately before the actual inspection using the apparatus, and then the obtained two image data are compared to determine the difference.
上記により、X線発生装置、蛍光板、反射ミラー、CCDカメラなどのハードウエアの日々の劣化に伴う画像データの劣化程度を把握することができる。 As described above, it is possible to grasp the degree of deterioration of image data due to daily deterioration of hardware such as an X-ray generator, a fluorescent plate, a reflection mirror, and a CCD camera.
そして、次に、この画像データの劣化程度に応じて合否判定基準を校正、再設定させている。 Next, the pass / fail criterion is calibrated and reset according to the degree of degradation of the image data.
このように、合否判定基準を、基準ワークSWを用いて取得された装置の劣化前後の画像データに基づいて、校正、再設定させることにより、従来のように、劣化した撮像データに対して、初期使用時に得られた画像データだけに基づいて合否を判定する場合と異なり、劣化した撮像データであっても誤判定やエラーの発生を抑制することができる。 In this way, the pass / fail judgment criterion is calibrated and reset based on the image data before and after the deterioration of the apparatus acquired using the reference work SW, so that the conventional imaging data that has deteriorated can be Unlike the case where pass / fail is determined based only on image data obtained at the time of initial use, erroneous determination and the occurrence of errors can be suppressed even with deteriorated imaging data.
2.X線検査方法
次に、本実施の形態のX線検査装置を用いた検査方法につき説明する。本実施の形態におけるX線検査は、以下の手順により行われる。
2. X-ray Inspection Method Next, an inspection method using the X-ray inspection apparatus of the present embodiment will be described. The X-ray inspection in the present embodiment is performed according to the following procedure.
(1)準備工程
(a)基準ワークの準備
まず、上記したように、本検査においては検査項目が多岐に亘っており、それぞれの検査項目における基準画像データ(ベースとすべき画像データ)が異なる。そこで、使用開始前のワークと同等の仕様に作製された基準ワークを、予め準備して、各検査項目に対応した画像データを効率的に取得する。
(1) Preparation Step (a) Preparation of Reference Work First, as described above, there are a wide variety of inspection items in this inspection, and the reference image data (image data to be used as a base) for each inspection item is different. . Therefore, a reference workpiece prepared to the same specifications as the workpiece before the start of use is prepared in advance, and image data corresponding to each inspection item is efficiently acquired.
図2に、本発明の一実施の形態の基準ワークの一例を模式的に示す。図2において、上段左側は平面図、上段右側は側面図、下段は正面図であり、SWは基準ワーク、11はトレイ、12は空間であり、13はプレナム部、14は空管、15は異材、16は模擬欠陥、17はワークとX線透過率が同等の材料である。 In FIG. 2, an example of the reference | standard workpiece | work of one embodiment of this invention is shown typically. In FIG. 2, the upper left is a plan view, the upper right is a side view, and the lower is a front view. SW is a reference work, 11 is a tray, 12 is a space, 13 is a plenum part, 14 is an empty pipe, 15 is Different materials, 16 is a simulated defect, and 17 is a material having the same X-ray transmittance as that of the workpiece.
そして、図2においては、これらが検査対象の核燃料棒構成部材と同組成材料、同透過率を有する材料、さらには同寸法を有する材料で構成されており、さらには、トレイ11、空間12、プレナム部13、空管14、異材15、模擬欠陥16、およびワークとX線透過率が同等の材料17の配置が実際の検査装置と同じ配置位置であることから、使用開始前のワークと同等の仕様と考えることができ、前記した校正用の基準ワークとして使用することができる。
In FIG. 2, these are composed of the same composition material as the nuclear fuel rod component to be inspected, the material having the same transmittance, and the material having the same dimensions, and further, the
上記において、空管14は原子燃料用核燃料棒の内部にペレットやプレナムコイルばねがない空虚な状態における透過像の校正のために、また、異材15は原子燃料用核燃料棒の内部に異材が混入した状態における透過像の校正のために設けられており、異材15としては、一般構造用鋼材やステンレス鋼、アルミ鋼などを挙げることができる。
In the above, the
なお、基準ワークSWは、必ずしもワークと同寸法である必要はなく、相似寸法でもよい。また、「ワークとX線透過率が同等の材料17」とは、基準ワークSWの作製に際して、例えば、二酸化ウランペレットのような核燃料物質を用いる代わりに、X線透過率が同等の鉛−アンチモンやタングステン−カーバイドなどに代替できることを示している。
The reference workpiece SW does not necessarily have the same size as the workpiece, and may have a similar size. The “
また、実際の検査においては、ワークを載せるトレイなども同時に写し込んで画像処理が行われる場合があるが、この場合には、これらトレイなどの材質や寸法を反映させた基準ワークを作製しておくことが好ましい。 Also, in actual inspection, a tray on which a workpiece is placed may be simultaneously copied and image processing may be performed. In this case, a reference workpiece reflecting the material and dimensions of these trays is prepared. It is preferable to keep it.
(b)基準画像データの取得と合否判定基準の設定
上記の基準ワークを用いて、機器の劣化が起きる前のフレッシュな状態で画像データを取得し、これを前記した基準画像データとする。
(B) Acquisition of reference image data and setting of acceptance / rejection determination criteria Using the above-described reference work, image data is acquired in a fresh state before deterioration of the device, and this is used as the above-described reference image data.
得られた基準画像データを画像処理装置に取り込み、画像処理結果に基づいて合否判定基準を設定する。 The obtained reference image data is taken into the image processing apparatus, and pass / fail judgment criteria are set based on the image processing result.
(2)検査工程
次に、図3に示すフローチャートに基づいて検査を行う。
(2) Inspection process Next, an inspection is performed based on the flowchart shown in FIG.
(a)合否判定基準の校正
前記したように、機器の劣化により取得される画像データが劣化するため、検査に先立って、合否判定基準を校正する。
(A) Calibration of Pass / Fail Judgment Criteria As described above, since the image data acquired due to device deterioration deteriorates, the pass / fail judgment criteria are calibrated prior to the inspection.
具体的には、まず、X線検査装置に上記の基準ワークをセットする(S1)。次に、基準ワークにX線を照射(S2)し、画像データを取得する(S3)。得られた画像データを基準画像データと比較(S4)し、その差異に基づいて、その検査における補正量(パラメータ)を設定する(S5)。そして、この補正量に基づいて、前記基準画像データを校正すると共に、合否判定基準を校正して、画像処理装置内において、これらを自動で再設定させる。 Specifically, first, the reference workpiece is set in the X-ray inspection apparatus (S1). Next, the reference workpiece is irradiated with X-rays (S2), and image data is acquired (S3). The obtained image data is compared with the reference image data (S4), and a correction amount (parameter) in the inspection is set based on the difference (S5). Then, based on the correction amount, the reference image data is calibrated, the pass / fail judgment reference is calibrated, and these are automatically reset in the image processing apparatus.
なお、合否判定基準の具体的な補正は、予め模擬欠陥を有する基準ワークを用いて得られた当初の基準画像データと、ベースとなる当初の基準画像データとの差異に基づいて評価、作成された相関式が画像処理装置に入力されており、この式に基づいて補正量が自動で再設定されることにより行われる。 In addition, the specific correction of the acceptance criteria is evaluated and created based on the difference between the initial reference image data obtained using the reference work having the simulated defect and the initial reference image data as a base. The correlation equation is input to the image processing apparatus, and the correction amount is automatically reset based on this equation.
(b)本検査
次に、基準ワークに代えてワークをセット(S6)し、同様に、X線を照射(S7)して、画像データを取得(S8)する。得られた画像データを、補正量を考慮して上記で校正された合否判定基準に基づいて、合否判定を自動で行う(S9)。
(B) Main Inspection Next, a work is set instead of the reference work (S6), and similarly, X-rays are irradiated (S7), and image data is acquired (S8). The obtained image data is automatically subjected to pass / fail determination based on the pass / fail determination criteria calibrated in consideration of the correction amount (S9).
以上のように、本実施の形態においては、日々劣化していくX線発生装置、蛍光板、反射ミラー、CCDカメラなどのハードウエアによる撮像データの劣化に対して画像処理ソフトウエアを追随させて合否判定基準を校正しているため、検査における誤判定やエラーの発生を抑制することができる。 As described above, in this embodiment, the image processing software tracks the deterioration of imaging data due to hardware such as an X-ray generator, a fluorescent screen, a reflection mirror, and a CCD camera that deteriorates day by day. Since the determination standard is calibrated, it is possible to suppress erroneous determination and occurrence of errors in the inspection.
そして、誤判定やエラーの発生が抑制されることにより、再検査を行う頻度が低減して、生産性の向上を図ることができる。また、ハードウエアの寿命の長期化を図ることができる。さらに、作業者の被爆低減を図ることができる。 Further, by suppressing the occurrence of erroneous determinations and errors, the frequency of re-inspection can be reduced, and productivity can be improved. In addition, the life of the hardware can be extended. Furthermore, it is possible to reduce the exposure of the worker.
以上、本発明を実施の形態に基づいて説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明と同一および均等の範囲内において、上記の実施の形態に対して種々の変更を加えることができる。 While the present invention has been described based on the embodiments, the present invention is not limited to the above embodiments. Various modifications can be made to the above-described embodiments within the same and equivalent scope as the present invention.
1 X線発生装置
2 蛍光板
3 反射ミラー
4 CCDカメラ
5 画像処理装置
6 自動合否判定装置
11 トレイ
12 空間
13 プレナム部
14 空管
15 異材
16 模擬(擬似)欠陥
17 ワークと同透過率の材料
W ワーク(原子燃料用核燃料棒)
SW 基準ワーク
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
SW standard work
Claims (3)
前記X線検査装置の初期使用時に、基準ワークにX線を透過させ、CCDカメラで撮像されたX線透過画像を画像処理して得られた基準画像データと、
検査開始前に、前記基準ワークにX線を透過させ、前記CCDカメラで撮像されたX線透過画像を画像処理して得られた校正用画像データ
との前記パラメータの差異に基づいて前記パラメータの補正量を求め、求められた補正量に基づいて前記合否判定基準を校正するX線検査の校正方法であり、
前記基準ワークを構成する各部材が、検査対象物である前記原子燃料用核燃料棒を構成する各部材と同じ組成または同一のX線透過率の材料を用いて、同じ寸法または相似した寸法に形成されて、前記原子燃料用核燃料棒と同一に配置されることにより、
前記基準ワークが、検査対象物である前記原子燃料用核燃料棒と同一の仕様に作製されていることを特徴とするX線検査の校正方法。 Obtained by direct radiography method by transmitting X-rays to nuclear fuel rods to be inspected using an X-ray inspection device that detects defects and measures dimensions inside nuclear fuel rods for nuclear fuel X-ray inspection that calibrates pass / fail judgment criteria when performing pass / fail judgment of the nuclear fuel rod for nuclear fuel by performing image processing using the brightness, contrast, noise, and dimensions of the test image as parameters from the test image data The calibration method of
Reference image data obtained by transmitting X-rays to a reference workpiece at the initial use of the X-ray inspection apparatus and processing the X-ray transmission image captured by a CCD camera ;
Before starting the inspection, the X-ray is transmitted through the reference workpiece, and the parameter is determined based on the parameter difference from the calibration image data obtained by image processing the X-ray transmission image captured by the CCD camera . An X-ray inspection calibration method for obtaining a correction amount and calibrating the acceptance criteria based on the determined correction amount ,
Each member constituting the reference workpiece is formed to have the same size or similar dimensions using the same composition or the same X-ray transmittance material as each member constituting the nuclear fuel rod for nuclear fuel, which is the inspection object. And being arranged in the same manner as the nuclear fuel rod for nuclear fuel,
A calibration method for X-ray inspection, wherein the reference workpiece is manufactured to the same specifications as the nuclear fuel rod for nuclear fuel, which is an inspection object.
前記原子燃料用核燃料棒を透過したX線に基いてダイレクトラジオグラフィ法により前記原子燃料用核燃料棒の撮像データを得る撮像ステップと、
前記撮像データを画像処理して前記原子燃料用核燃料棒に対応した検査画像データを得る画像処理ステップと、
前記検査画像データから、前記検査画像の輝度、コントラスト、ノイズおよび寸法をパラメータとする画像処理を行って、前記原子燃料用核燃料棒の内部欠陥の検出および寸法測定を行う際、合否判定基準に基づいて前記原子燃料用核燃料棒の合否判定を行う合否判定ステップと
を備えたX線検査方法であって、
前記合否判定ステップが、
X線検査装置の初期使用時に、基準ワークにX線を透過させ、CCDカメラで撮像されたX線透過画像を画像処理して前記撮像ステップおよび前記画像処理ステップにより得られた基準画像データと、
検査開始前に、前記基準ワークにX線を透過させ、前記CCDカメラで撮像されたX線透過画像を画像処理して前記撮像ステップおよび前記画像処理ステップにより得られた校正用画像データ
との前記パラメータの差異に基づいて前記パラメータの補正量を求め、求められた補正量に基づいて前記合否判定基準を校正する校正ステップを備えており、
前記校正ステップにより校正された合否判定基準に基づいて、前記検査対象物の合否判定を行うX線検査方法であり、
前記基準ワークを構成する各部材が、検査対象物である前記原子燃料用核燃料棒を構成する各部材と同じ組成または同一のX線透過率の材料を用いて、同じ寸法または相似した寸法に形成されて、前記原子燃料用核燃料棒と同一に配置されることにより、
前記基準ワークが、検査対象物である前記原子燃料用核燃料棒と同一の仕様に作製されていることを特徴とするX線検査方法。 An X-ray generation step of irradiating a nuclear fuel rod for nuclear fuel, which is an inspection object, with X-rays;
An imaging step of obtaining imaging data of the nuclear fuel rod for nuclear fuel by a direct radiography method based on X-rays transmitted through the nuclear fuel rod for nuclear fuel;
An image processing step for obtaining inspection image data corresponding to the nuclear fuel rod for nuclear fuel by performing image processing on the imaging data;
Based on the pass / fail judgment criteria when performing image processing using the brightness, contrast, noise, and dimensions of the inspection image as parameters from the inspection image data to detect and measure the internal defects of the nuclear fuel rod for nuclear fuel. And a pass / fail determination step for determining pass / fail of the nuclear fuel rod for nuclear fuel,
The pass / fail judgment step comprises:
Reference image data obtained by the imaging step and the image processing step by transmitting an X-ray to a reference work and performing image processing on an X-ray transmission image captured by a CCD camera at the initial use of the X-ray inspection apparatus,
Before the test started, the reference workpiece by transmitting X-rays, said the calibration image data obtained by the imaging step and the image processing step by the image processing an X-ray transmission image captured by the CCD camera A calibration step for obtaining a correction amount of the parameter based on a difference in parameters, and calibrating the acceptance criteria based on the obtained correction amount ;
An X-ray inspection method for performing pass / fail judgment of the inspection object based on the pass / fail judgment criteria calibrated by the calibration step;
Each member constituting the reference workpiece is formed to have the same size or similar dimensions using the same composition or the same X-ray transmittance material as each member constituting the nuclear fuel rod for nuclear fuel, which is the inspection object. And being arranged in the same manner as the nuclear fuel rod for nuclear fuel,
The X-ray inspection method, wherein the reference workpiece is manufactured to the same specifications as the nuclear fuel rod for nuclear fuel, which is an inspection object.
前記原子燃料用核燃料棒を透過したX線に基いてダイレクトラジオグラフィ法により前記原子燃料用核燃料棒の撮像データを得る撮像手段と、
前記撮像データを画像処理して前記原子燃料用核燃料棒に対応した検査画像データを得る画像処理手段と、
前記検査画像データから、前記検査画像の輝度、コントラスト、ノイズおよび寸法をパラメータとする画像処理を行って、前記原子燃料用核燃料棒の内部欠陥の検出および寸法測定を行う際、合否判定基準に基づいて前記原子燃料用核燃料棒の合否判定を行う合否判定手段と
を備えたX線検査装置であって、
前記合否判定手段には、
前記X線検査装置の初期使用時に、基準ワークにX線を透過させ、CCDカメラで撮像されたX線透過画像を画像処理して前記撮像手段および前記画像処理手段により得られた基準画像データと、
検査開始前に前記基準ワークにX線を透過させ、前記CCDカメラで撮像されたX線透過画像を画像処理して前記撮像手段および前記画像処理手段により得られた校正用画像データ
との前記パラメータの差異に基づいて前記パラメータの補正量を求め、求められた補正量に基づいて前記合否判定基準を校正する校正手段が設けられており、
前記校正手段により校正された合否判定基準に基づいて、前記原子燃料用核燃料棒の合否判定が行われるX線検査装置であり、
前記基準ワークを構成する各部材が、検査対象物である前記原子燃料用核燃料棒を構成する各部材と同じ組成または同一のX線透過率の材料を用いて、同じ寸法または相似した寸法に形成されて、前記原子燃料用核燃料棒と同一に配置されることにより、
前記基準ワークが、検査対象物である前記原子燃料用核燃料棒と同一の仕様に作製されていることを特徴とするX線検査装置。 X-ray generation means for irradiating nuclear fuel rods for nuclear fuel, which are inspection objects, with X-rays;
Imaging means for obtaining imaging data of the nuclear fuel rod for nuclear fuel by direct radiography based on X-rays transmitted through the nuclear fuel rod for nuclear fuel;
Image processing means for obtaining inspection image data corresponding to the nuclear fuel rod for nuclear fuel by subjecting the imaging data to image processing;
Based on the pass / fail judgment criteria when performing image processing using the brightness, contrast, noise, and dimensions of the inspection image as parameters from the inspection image data to detect and measure the internal defects of the nuclear fuel rod for nuclear fuel. X-ray inspection apparatus comprising: pass / fail determination means for determining pass / fail of the nuclear fuel rod for nuclear fuel,
In the pass / fail judgment means,
Reference image data obtained by the imaging means and the image processing means by transmitting X-rays to a reference work and performing image processing on an X-ray transmission image captured by a CCD camera at the time of initial use of the X-ray inspection apparatus ,
Before the start of inspection, the X-ray is transmitted through the reference workpiece, the X-ray transmission image captured by the CCD camera is subjected to image processing, and the parameters with the image data for calibration and the calibration image data obtained by the image processing unit A calibration means is provided for obtaining a correction amount of the parameter based on the difference between the parameters and calibrating the acceptance criteria based on the obtained correction amount ;
An X-ray inspection apparatus that performs pass / fail determination of the nuclear fuel rod for nuclear fuel based on the pass / fail criterion calibrated by the calibration means;
Each member constituting the reference workpiece is formed to have the same size or similar dimensions using the same composition or the same X-ray transmittance material as each member constituting the nuclear fuel rod for nuclear fuel, which is the inspection object. And being arranged in the same manner as the nuclear fuel rod for nuclear fuel,
An X-ray inspection apparatus, wherein the reference workpiece is manufactured to the same specifications as the nuclear fuel rod for nuclear fuel, which is an inspection object.
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