JP5953037B2 - マイクロレンズアレイの貼り合わせ装置 - Google Patents
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Description
前記マイクロレンズの配置パターンに応じて基準マークが形成された基準マスクと、
前記基準マスクに照明光を照射する照明光光源と、
前記基準マスクを透過した照明光を画像として検出する検出器と、
前記照明光光源と前記検出器との間の照明光の光軸に介在するようにして、貼り合わせ済みの第1単位マイクロレンズアレイとその横に貼り合わせようとする第2単位マイクロレンズアレイとの間隙を位置させて、前記第1及び第2単位マイクロレンズアレイを配置する駆動部材と、
前記検出器が直接前記基準マスクの前記基準マークを検出した第1画像と、前記第1及び第2の単位マイクロレンズアレイの各マイクロレンズを介して検出した前記基準マークの第2画像とを比較し、前記第2単位マイクロレンズアレイの前記第1画像と前記第2画像とにおける前記基準マークの位置がずれている場合に、前記駆動部材に前記第2単位マイクロレンズアレイの位置を修正するための駆動信号を出力する制御部と、
を有し、
前記第1及び第2単位マイクロレンズアレイは、平面視で、前記マイクロレンズが第1方向にピッチPで複数個配列されて複数列のマイクロレンズ列が構成され、この第1方向に直交する第2方向に前記マイクロレンズ列が複数列配置されて構成されており、
m、nを整数として、
前記第2方向に隣接するマイクロレンズ列同士は、その各マイクロレンズが前記第1方向にその配列ピッチPの1/mだけずれて配置されており、
前記第1単位マイクロレンズアレイと前記第2単位マイクロレンズアレイとのマイクロレンズ間の間隔は、第1方向における前記マイクロレンズの配列ピッチPのn倍であり、
第1及び第2単位マイクロレンズアレイは、その対向辺が前記第1方向に対して鋭角をなして傾斜するものの方が、鈍角をなして傾斜するものよりも、マイクロレンズ列のm列分だけ、第2方向に突出していることを特徴とする。
2:マイクロレンズアレイ
2a:マイクロレンズ
2−1,2−2,2−3,2−4:単位マイクロレンズアレイ
3:マスク
10:開口
10a:遮光膜
11:円形絞り
12:6角視野絞り
20:マイクロレンズアレイ
20−2,20−3,20−4:単位マイクロレンズアレイ
21:マイクロレンズ
22:6角視野絞り
25:基準マーク
26:(マイクロレンズを介した基準マークの)像
31:(透過照明)光源
32:基準マスク
101,102,103,104:マイクロレンズアレイ
Claims (1)
- 複数個のマイクロレンズが2次元的に配置されて構成された複数枚の単位マイクロレンズアレイを厚さ方向に積層すると共に、面平行につなぎ合わせて、継ぎ合わせ型マイクロレンズアレイを製造する装置において、
前記マイクロレンズの配置パターンに応じて基準マークが形成された基準マスクと、
前記基準マスクに照明光を照射する照明光光源と、
前記基準マスクを透過した照明光を画像として検出する検出器と、
前記照明光光源と前記検出器との間の照明光の光軸に介在するようにして、貼り合わせ済みの第1単位マイクロレンズアレイとその横に貼り合わせようとする第2単位マイクロレンズアレイとの間隙を位置させて、前記第1及び第2単位マイクロレンズアレイを配置する駆動部材と、
前記検出器が直接前記基準マスクの前記基準マークを検出した第1画像と、前記第1及び第2の単位マイクロレンズアレイの各マイクロレンズを介して検出した前記基準マークの第2画像とを比較し、前記第2単位マイクロレンズアレイの前記第1画像と前記第2画像とにおける前記基準マークの位置がずれている場合に、前記駆動部材に前記第2単位マイクロレンズアレイの位置を修正するための駆動信号を出力する制御部と、
を有し、
前記第1及び第2単位マイクロレンズアレイは、平面視で、前記マイクロレンズが第1方向にピッチPで複数個配列されて複数列のマイクロレンズ列が構成され、この第1方向に直交する第2方向に前記マイクロレンズ列が複数列配置されて構成されており、
m、nを整数として、
前記第2方向に隣接するマイクロレンズ列同士は、その各マイクロレンズが前記第1方向にその配列ピッチPの1/mだけずれて配置されており、
前記第1単位マイクロレンズアレイと前記第2単位マイクロレンズアレイとのマイクロレンズ間の間隔は、第1方向における前記マイクロレンズの配列ピッチPのn倍であり、
第1及び第2単位マイクロレンズアレイは、その対向辺が前記第1方向に対して鋭角をなして傾斜するものの方が、鈍角をなして傾斜するものよりも、マイクロレンズ列のm列分だけ、第2方向に突出していることを特徴とするマイクロレンズアレイの貼り合わせ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011268429A JP5953037B2 (ja) | 2011-12-07 | 2011-12-07 | マイクロレンズアレイの貼り合わせ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011268429A JP5953037B2 (ja) | 2011-12-07 | 2011-12-07 | マイクロレンズアレイの貼り合わせ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013120296A JP2013120296A (ja) | 2013-06-17 |
JP5953037B2 true JP5953037B2 (ja) | 2016-07-13 |
Family
ID=48772949
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011268429A Active JP5953037B2 (ja) | 2011-12-07 | 2011-12-07 | マイクロレンズアレイの貼り合わせ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5953037B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH09244255A (ja) * | 1996-03-13 | 1997-09-19 | Nikon Corp | 液晶用露光装置 |
JP2008179097A (ja) * | 2007-01-26 | 2008-08-07 | Seiko Epson Corp | ラインヘッドの調整方法および調整装置 |
JP2009037200A (ja) * | 2007-07-06 | 2009-02-19 | Seiko Epson Corp | レンズアレイ、ラインヘッドおよびそれを用いた画像形成装置 |
-
2011
- 2011-12-07 JP JP2011268429A patent/JP5953037B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013120296A (ja) | 2013-06-17 |
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