JP5946348B2 - Transparent conductive film and polyimide film for production thereof - Google Patents

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Description

本発明は、各種ディスプレイ等に用いられる透明導電性フィルム及びその製造用ポリイミドフィルムに関するものである。   The present invention relates to a transparent conductive film used for various displays and a polyimide film for production thereof.

テレビのような大型ディスプレイや、携帯電話、パソコン、スマートフォンなどの小型ディスプレイをはじめ、各種のディスプレイには、透明性のベースフィルムの一面に金属酸化膜により透明導電性薄膜を形成した透明導電性フィルムが用いられている。ここで、透明導電性フィルムを製造する際に用いられるベースフィルムとしては、従来より、ポリエチレンテレフタレート(PET)のフィルムが汎用的に用いられているが、PETフィルムはガラス転移温度が81℃と低いため、耐熱性が低く、高温加熱による変形等の問題があり高温処理が困難とされていた。また、PETフィルムは吸水率が高いため、耐吸湿特性の改善も望まれていた。   A transparent conductive film in which a transparent conductive thin film is formed on one side of a transparent base film with a metal oxide film on various displays, including large displays such as televisions and small displays such as mobile phones, personal computers and smartphones. Is used. Here, as a base film used when producing a transparent conductive film, a polyethylene terephthalate (PET) film is conventionally used for general purposes, but the PET film has a low glass transition temperature of 81 ° C. Therefore, the heat resistance is low, and there are problems such as deformation due to high-temperature heating, and high-temperature treatment has been difficult. Further, since the PET film has a high water absorption rate, it has been desired to improve the moisture absorption resistance.

そこで、無色透明なポリイミドフィルムに透明導電性薄膜を備えた透明導電フィルムの検討が行なわれてきている(特許文献1及び2)。しかし、このような無色透明のポリイミドは透明性であっても、上記PETフィルムよりは高いものではあるが耐熱性が低いなど他の諸特性との物性バランスに欠けるものであった。例えば、特許文献1の実施例に示された無色透明なポリイミドフィルムは80%以上の光線透過率を有する反面、ガラス転移温度については180〜210℃程度のガラス転移温度しか有していない。ここで、ポリイミドフィルムの耐熱性を高くすることが出来れば、透明電極の成膜温度を上げることによって透明電極の抵抗値を下げ、表示装置の消費電力を減らすことが可能になるが、上記特許文献1に示されたポリイミドフィルムでは、耐熱性が十分でないため、その表面に透明導電性薄膜を形成する場合、十分な透明性を発現させるのに必要な加工温度に耐えうるものではない。   Then, examination of the transparent conductive film provided with the transparent conductive thin film in the colorless and transparent polyimide film has been performed (patent documents 1 and 2). However, even if such a colorless and transparent polyimide is transparent, it is higher than the PET film, but lacks a balance of physical properties with other properties such as low heat resistance. For example, the colorless and transparent polyimide film shown in the example of Patent Document 1 has a light transmittance of 80% or more, but has a glass transition temperature of only about 180 to 210 ° C. Here, if the heat resistance of the polyimide film can be increased, it is possible to reduce the resistance value of the transparent electrode by increasing the film formation temperature of the transparent electrode and reduce the power consumption of the display device. Since the polyimide film disclosed in Document 1 has insufficient heat resistance, when a transparent conductive thin film is formed on the surface thereof, the polyimide film cannot withstand the processing temperature necessary to develop sufficient transparency.

また、特許文献2の実施例に示されたポリイミドフィルムは、その全光線透過率及びガラス転移温度が共にPETフィルムよりも優れているものの、線膨張係数(CTE)についてはPETフィルムの15ppm/℃よりも大幅に劣っている。この他、ポリイミドの骨格にフッ素原子を有するものとして、特許文献3にはいくつかのポリイミドフィルムが示されているが、そこに示されたフィルムも一定以上の透過度は有しているものの、その線膨張係数は22ppm/℃以上となっている。ポリイミドフィルムの線膨張係数が大きいと、ITOなどの金属酸化物(CTE:0〜10ppm/K)との線膨張係数が大きくなり、透明導電性フィルムとした場合にフィルムの反りを生じたり、ITOにクラックが生じたり、フィルムとITOとの剥離等が懸念される。
このように、これまでに検討されてきた透明導電性フィルムのポリイミドフィルムは透明性、耐熱性、線膨張係数(寸法安定性)のバランスを充足するものがなかった。
Moreover, although the polyimide film shown by the Example of patent document 2 has both the total light transmittance and glass transition temperature superior to PET film, about linear expansion coefficient (CTE), it is 15 ppm / degrees C of PET film. Is much worse than. In addition, although several polyimide films are shown in patent document 3 as what has a fluorine atom in the skeleton of polyimide, although the film shown there also has transmissivity more than fixed, Its linear expansion coefficient is 22 ppm / ° C. or higher. When the linear expansion coefficient of the polyimide film is large, the linear expansion coefficient with a metal oxide such as ITO (CTE: 0 to 10 ppm / K) increases, and when the transparent conductive film is formed, the film warps or the ITO There are concerns about cracks in the film and peeling of the film from the ITO.
Thus, the polyimide film of the transparent conductive film examined so far has not satisfied the balance of transparency, heat resistance, and linear expansion coefficient (dimensional stability).

特開2002−216542号公報JP 2002-216542 A 特許第4247448号公報Japanese Patent No. 4247448 特表2012−503299号公報Special table 2012-503299 gazette

本発明は、ポリイミドをベースフィルムとした透明導電性フィルムにおいて、高い透明性を有するだけでなく、優れた耐熱性と低い線膨張係数(寸法安定性)のいずれをも兼ね備えた透明導電性フィルムを提供することを目的とする。   The present invention provides a transparent conductive film having not only high transparency but also excellent heat resistance and low linear expansion coefficient (dimensional stability) in a transparent conductive film based on polyimide. The purpose is to provide.

本発明者等は、鋭意研究を重ねた結果、驚くべきことには、所定の繰返し構造を含み、特定の製造条件で作製されたポリイミドフィルムをベースフィルムとすることにより、これら全ての特性において満足できる性能を備えた透明導電性フィルムを与えることを見出し、本発明を完成するに至った。また、本発明者等は、このようなポリイミドフィルムをベースフィルムとする透明導電性フィルムが優れた湿度膨張係数を有することを見出し、本発明を完成した。   As a result of extensive research, the present inventors have surprisingly been satisfied with all these characteristics by using a polyimide film containing a predetermined repetitive structure and manufactured under specific manufacturing conditions as a base film. The present inventors have found that a transparent conductive film having performance that can be obtained is provided, and have completed the present invention. Moreover, the present inventors have found that a transparent conductive film having such a polyimide film as a base film has an excellent humidity expansion coefficient, and completed the present invention.

すなわち、本発明は、ポリイミドフィルムの表面および裏面の少なくとも一方の面に、透明導電性薄膜が積層された透明導電性フィルムであって、
前記ポリイミドフィルムは、単層又は複数層のポリイミド層からなると共に、主たるポリイミド層を構成するポリイミドにおける下記一般式(1)で表される構造単位aと下記一般式(2)で表される構造単位bとの存在比率(モル%)がa:b=85:15〜95:5の範囲であり、

Figure 0005946348
また、前記ポリイミドフィルムは、440nmから780nmの波長領域での透過率が80%以上であり、熱膨張係数が10ppm/K以下であり、かつ、ガラス転移温度300℃以上であることを特徴とする透明導電性フィルムである。 That is, the present invention is a transparent conductive film in which a transparent conductive thin film is laminated on at least one of the front and back surfaces of a polyimide film,
The polyimide film, it becomes a polyimide layer of a single layer or multiple layers, represented by the main following formula in the polyimide constituting the polyimide layer (1) with structural units a and the following general formula represented (2) Structure The abundance ratio (mol%) with the unit b is in the range of a: b = 85: 15 to 95: 5,
Figure 0005946348
Further, the polyimide film is the transmittance at 780nm wavelength range from 440nm is 80% or more, the thermal expansion coefficient of not more than 10 ppm / K, and, and wherein the glass transition temperature of 300 ° C. or higher It is a transparent conductive film.

また、本発明は、前記透明導電性フィルムにおいて、ポリイミドフィルムの湿度膨張係数が15ppm/%RH以下であることを特徴とする透明導電性フィルムである。 The present invention also provides the transparent conductive film, a transparent conductive film humidity expansion coefficient of the polyimide film is characterized by the following der Rukoto RH 15 ppm /%.

本発明におけるポリイミドフィルムを製造する方法は、特に限定されるものではないが、例えば、i)ポリイミドフィルムの原料であるポリアミド酸の樹脂溶液を任意の基体上に流延塗布してフィルム状に成型し、基体上で加熱乾燥することにより自己支持性を有するゲルフィルムとした後、基体より剥離して、更に高温で熱処理してイミド化させてポリイミドフィルムとする方法や、ii)ポリアミド酸の樹脂溶液を銅箔などの任意の基材上にアプリケーターを用いて流延塗布し、予備乾燥した後、更に、溶剤除去、イミド化のために熱処理し、イミド化時に使用した基材を剥離又はエッチング等により除去する方法等が挙げられる。樹脂溶液を基体又は基材に流延塗布する際、樹脂溶液の粘度は500〜70000cpsの範囲とすることが好ましい。また、樹脂溶液の塗布面となる基体や基材の表面に対して適宜表面処理を施した後に、塗工を行ってもよい。上記において、乾燥条件は150℃以下で2〜30分、また、イミド化のための熱処理は130〜360℃程度の温度で2〜30分程度行うことが適当である。   The method for producing the polyimide film in the present invention is not particularly limited. For example, i) Polyamic acid resin solution, which is a raw material of the polyimide film, is cast on an arbitrary substrate and molded into a film shape. A gel film having a self-supporting property by heating and drying on a substrate, and then peeling off from the substrate and further heat-treating at a high temperature to imidize to form a polyimide film, or ii) a polyamic acid resin The solution is cast-applied on an arbitrary substrate such as copper foil using an applicator, pre-dried, then heat-treated for solvent removal and imidization, and the substrate used during imidation is peeled off or etched The method of removing by etc. is mentioned. When the resin solution is cast-applied to a substrate or a substrate, the viscosity of the resin solution is preferably in the range of 500 to 70000 cps. In addition, coating may be performed after appropriately performing a surface treatment on the surface of the substrate or base material to be the application surface of the resin solution. In the above, it is appropriate that the drying conditions are 150 ° C. or lower for 2 to 30 minutes, and the heat treatment for imidization is performed at a temperature of about 130 to 360 ° C. for about 2 to 30 minutes.

本発明でベースフィルムとなるポリイミドは、原料のジアミンと酸無水物とを溶媒の存在下で重合し、ポリイミド前駆体樹脂であるポリアミド酸とした後、熱処理によりイミド化することによって製造することができ、これを膜状に形成することでフィルム状の形態とすることができる。ここで、ポリイミドの分子量は、原料のジアミンと酸無水物のモル比を変化させることで主に制御可能であるが、通常、そのモル比は1:1である。   The polyimide used as the base film in the present invention can be produced by polymerizing raw material diamine and acid anhydride in the presence of a solvent to form polyamic acid as a polyimide precursor resin, and then imidizing by heat treatment. It can be made into a film form by forming it into a film form. Here, the molecular weight of the polyimide can be mainly controlled by changing the molar ratio of the raw material diamine and acid anhydride, but the molar ratio is usually 1: 1.

ポリアミド酸の製造方法を例示すると、先ず、ジアミンを有機溶媒に溶解させた後、その溶液に酸二無水物を加え、撹拌することでポリイミド前駆体であるポリアミド酸を製造し得る。使用する有機溶媒としては、ジメチルアセトアミド、ジメチルホルムアミド、n-メチルピロリジノン、2-ブタノン、ジグライム、キシレン等が挙げられ、これらを1種若しくは2種以上併用して使用することもできる。ポリアミド酸をイミド化する工程は、加熱脱水による熱イミド化の他、無水酢酸等縮合剤を用いる化学イミド化を用いて行うこともできる。   As an example of a method for producing a polyamic acid, first, a diamine is dissolved in an organic solvent, and then an acid dianhydride is added to the solution, followed by stirring to produce a polyamic acid that is a polyimide precursor. Examples of the organic solvent to be used include dimethylacetamide, dimethylformamide, n-methylpyrrolidinone, 2-butanone, diglyme, xylene and the like, and these can be used alone or in combination of two or more. The step of imidizing the polyamic acid can be performed by using thermal imidization by heat dehydration or chemical imidization using a condensing agent such as acetic anhydride.

本発明のポリイミドフィルムを構成するポリイミドは、前記一般式(1)で表される構造単位aと前記一般式(2)で表される構造単位bとがモル%の比率でa:b=85:15〜95:5の範囲からなるものであるPolyimide constituting the polyimide film of the present invention, in the general formula (1) ratio and the structural unit b represented by the structural units a in the general formula (2) represented the mole percent a: b = 85 : 15 to 95: is made of a range of 5.

ここで、上記一般式(1)の構造単位は主に低熱膨張性と高耐熱性等の性質を向上させ、また、一般式(2)の構造単位は高透明性を向上させるのに有効である。このような好ましい態様のポリイミドフィルムは、一般式(1)及び(2)で表される構造単位a、b以外の構造単位が含まれることを排除するものではない。但し、構造単位a及びb以外の構造単位はモル比率で10%未満の範囲で含まれるのが好適であり、最も好適には、構造単位a及びbのみからなるポリイミドフィルムであるのがよい。   Here, the structural unit of the general formula (1) mainly improves properties such as low thermal expansion and high heat resistance, and the structural unit of the general formula (2) is effective for improving high transparency. is there. Such a preferred embodiment of the polyimide film does not exclude the inclusion of structural units other than the structural units a and b represented by the general formulas (1) and (2). However, structural units other than the structural units a and b are preferably included in a molar ratio of less than 10%, and most preferably a polyimide film composed of only the structural units a and b.

上記、一般式(1)及び(2)で表される構造単位a及びb以外の構造単位を構成する原料のジアミンや酸無水物は、特に限定されるものでなく、公知のジアミンや酸無水物をそれぞれ1種若しくは2種以上適宜選択して使用することができる。   The raw material diamine and acid anhydride constituting the structural units other than the structural units a and b represented by the general formulas (1) and (2) are not particularly limited, and are known diamines and acid anhydrides. One kind or two or more kinds can be appropriately selected and used.

また、本発明におけるポリイミドフィルムは、単層のポリイミドからなるようにしてもよく、複数層のポリイミドからなるようにしてもよく、その好ましい厚み範囲は、5〜100μmであり、より好ましくは10〜50μmである。ポリイミドフィルムの厚みが、5μmに満たないと、導電性薄膜を形成する場合にしわが生じやすくなるなどハンドリング性が問題となりやすく、100μmを超えるとフィルム製造時の乾燥・イミド化に時間を要するばかりでなく、これを製品に適用化した場合に薄肉・軽量化の要望に反することとなる。ポリイミドフィルムを単層とする場合には、そのポリイミド層自体が上述した構造単位a及びbを有するようにするのが好ましい。一方、複数層とする場合においては、主たるポリイミド層が上述した構造単位a及びbを有するようにするのが好ましい。ここで主たるポリイミド層とは、ポリイミドフィルムを構成する複数のポリイミド層のなかで、厚みが最も大きな比率を占めるポリイミド層を指す。   In addition, the polyimide film in the present invention may be made of a single layer of polyimide or may be made of a plurality of layers of polyimide, and a preferable thickness range thereof is 5 to 100 μm, and more preferably 10 to 10 μm. 50 μm. If the thickness of the polyimide film is less than 5 μm, wrinkling is likely to occur when forming a conductive thin film, and handling properties are likely to be problematic, and if it exceeds 100 μm, it takes time to dry and imidize during film production. However, if this is applied to a product, it will be contrary to the demand for thin and light weight. When the polyimide film is a single layer, it is preferable that the polyimide layer itself has the structural units a and b described above. On the other hand, in the case of a plurality of layers, it is preferable that the main polyimide layer has the structural units a and b described above. Here, the main polyimide layer refers to a polyimide layer occupying the largest proportion of the thickness among the plurality of polyimide layers constituting the polyimide film.

ポリイミドフィルムが複数層からなる場合には、透明導電性薄膜と接するポリイミド層の弾性率が、当該ポリイミド層と隣接する他のポリイミド層よりも低くなるようにするのがよい。すなわち、主たるポリイミド層の外側に、透明導電性薄膜と接する弾性率の低いポリイミド層を備えるようにするのがよい。上述した構造単位a及びbを有するポリイミドは、弾性率が5〜10GPa程度であって比較的硬い性質を有することから、それよりも弾性率の低いポリイミド層を透明導電性薄膜と接するように配する。具体的には、透明導電性薄膜と接するポリイミド層の弾性率が5GPa未満、好ましくは0.1GPa以上5GPa未満となるようにするのがよく、さらに好ましくは2GPa以上5GPa未満である。透明導電性薄膜と接する側に弾性率の低いポリイミド層を設けることで、ベースフィルムとしての耐熱性を保持したままで、この低弾性率のポリイミド層が応力を緩和し、透明導電性フィルムに生じる反りの発生や、後のディスプレイ製造工程中に懸念されるクラック発生するといった不具合を抑制することができる。   When the polyimide film is composed of a plurality of layers, the elastic modulus of the polyimide layer in contact with the transparent conductive thin film is preferably lower than that of other polyimide layers adjacent to the polyimide layer. That is, it is preferable that a polyimide layer having a low elastic modulus in contact with the transparent conductive thin film is provided outside the main polyimide layer. Since the polyimide having the structural units a and b described above has a relatively hard property with an elastic modulus of about 5 to 10 GPa, the polyimide layer having a lower elastic modulus is arranged so as to be in contact with the transparent conductive thin film. To do. Specifically, the elastic modulus of the polyimide layer in contact with the transparent conductive thin film should be less than 5 GPa, preferably 0.1 GPa or more and less than 5 GPa, and more preferably 2 GPa or more and less than 5 GPa. By providing a polyimide layer having a low elastic modulus on the side in contact with the transparent conductive thin film, the low elastic modulus polyimide layer relieves stress and is generated in the transparent conductive film while maintaining the heat resistance as the base film. Problems such as the occurrence of warpage and cracks that are a concern during the subsequent display manufacturing process can be suppressed.

上記のような弾性率を有して透明導電性薄膜に接するポリイミド層は、下記に例示する各成分の構造単位を1種又は2種以上含んだポリイミドのように、広く知られたものによって形成することができるが、一般にこれらのポリイミドの可視光領域での透過率は、上述した構造単位a及びbを有するポリイミドに比べて低く、また、線膨張係数(CTE)も比較的高くなってしまうことから、透明導電性薄膜と接するポリイミド層の厚みは0.5〜10μmであるのがよく、さらに好ましくは1〜5μmである。したがって、主たるポリイミド層の厚みと低弾性率のポリイミド層の厚み比率(主たるポリイミドの厚み/低弾性ポリイミドの厚み)は3〜50が好適であり、さらに好適には5〜20である。   The polyimide layer having the above elastic modulus and in contact with the transparent conductive thin film is formed of a widely known material such as a polyimide containing one or more structural units of each component exemplified below. In general, the transmittance of these polyimides in the visible light region is lower than that of the polyimide having the structural units a and b described above, and the linear expansion coefficient (CTE) is relatively high. Therefore, the thickness of the polyimide layer in contact with the transparent conductive thin film is preferably 0.5 to 10 μm, more preferably 1 to 5 μm. Accordingly, the thickness ratio of the main polyimide layer and the low elastic modulus polyimide layer (main polyimide thickness / low elastic polyimide thickness) is preferably 3 to 50, and more preferably 5 to 20.

本発明における透明導電性薄膜に接するポリイミド層は、その弾性率が透明導電性薄膜に接する側とは反対側に位置する他のポリイミド層よりも低ければよく、ポリイミドフィルムを複数層で構成した場合に透過率を低下させないものが望ましい。このようなポリイミド層を与えるポリイミドとしては、上記一般式(1)及び(2)で表される構造単位a、bを含むものの他、公知のジアミンや酸無水物を所望の特性が発現し得るように1種若しくは2種以上適宜組み合わせ得られたものであってもよい。   In the present invention, the polyimide layer in contact with the transparent conductive thin film only needs to have a lower elastic modulus than the other polyimide layers located on the side opposite to the side in contact with the transparent conductive thin film, and the polyimide film is composed of a plurality of layers. Those that do not reduce the transmittance are desirable. As a polyimide which gives such a polyimide layer, desired characteristics can be expressed with known diamines and acid anhydrides in addition to those containing the structural units a and b represented by the general formulas (1) and (2). Thus, it may be obtained by appropriately combining one type or two or more types.

ここで原料として使用されるジアミンや酸無水物を例示すると、ジアミンとしては、ビス[4-(アミノフェノキシ)フェニル]スルホン4,6-ジメチル-m-フェニレンジアミン、2,5-ジメチル-p-フェニレンジアミン、2,4-ジアミノメシチレン、3,3'-ジメチル-4,4'-ジアミノジフェニルメタン、3,5,3',5'-テトラメチル-4,4'-ジアミノジフェニルメタン、2,4-トルエンジアミン、m-フェニレンジアミン、p-フェニレンジアミン、4,4'-ジアミノジフェニルプロパン、3,3'-ジアミノジフェニルプロパン、4,4'-ジアミノジフェニルエタン、3,3'-ジアミノジフェニルエタン、4,4'-ジアミノジフェニルメタン、3,3'-ジアミノジフェニルメタン、2,2-ビス(4-アミノフェノキシフェニル)プロパン、2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、4,4'-ジアミノジフェニルスルフィド、3,3'-ジアミノジフェニルスルフィド、4,4'-ジアミノジフェニルスルホン、3,3'-ジアミノジフェニルスルホン、4,4'-ジアミノジフェニルエーテル、3,3'-ジアミノジフェニルエーテル、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、ベンジジン、3,3'-ジアミノビフェニル、3,3'-ジメチル-4,4'-ジアミノビフェニル、3,3'-ジメトキシベンジジン、4,4"-ジアミノ-p-ターフェニル、3,3"-ジアミノ-p-ターフェニル、ビス(p-アミノシクロヘキシル)メタン、ビス(p-β-アミノ-t-ブチルフェニル)エーテル、ビス(p-β-メチル-δ-アミノペンチル)ベンゼン、p-ビス(2-メチル-4-アミノペンチル)ベンゼン、p-ビス(1,1-ジメチル-5-アミノペンチル)ベンゼン、1,5-ジアミノナフタレン、2,6-ジアミノナフタレン、2,4-ビス(β-アミノ-t-ブチル)トルエン、2,4-ジアミノトルエン、m-キシレン-2,5-ジアミン、p-キシレン-2,5-ジアミン、m-キシリレンジアミン、p-キシリレンジアミン、2,6-ジアミノピリジン、2,5-ジアミノピリジン、2,5-ジアミノ-1,3,4-オキサジアゾール、ピペラジン、4-(1H,1H,11H-エイコサフルオロウンデカノキシ)-1,3-ジアミノベンゼン、4-(1H,1H-パーフルオロ-1-ブタノキシ)-1,3-ジアミノベンゼン、4-(1H,1H-パーフルオロ-1-ヘプタノキシ)-1,3-ジアミノベンゼン、4-(1H,1H-パーフルオロ-1-オクタノキシ)-1,3-ジアミノベンゼン、4-ペンタフルオロフェノキシ-1,3-ジアミノベンゼン、4-(2,3,5,6-テトラフルオロフェノキシ)-1,3-ジアミノベンゼン、4-(4-フルオロフェノキシ)-1,3-ジアミノベンゼン、4-(1H,1H,2H,2H−パーフルオロ-1-ヘキサノキシ)-1,3-ジアミノベンゼン、4-(1H,1H,2H,2H-パーフルオロ−1-ドデカノキシ)-1,3-ジアミノベンゼン、(2,5)-ジアミノベンゾトリフルオライド、ジアミノテトラ(トリフルオロメチル)ベンゼン、ジアミノ(ペンタフルオロエチル)ベンゼン、2,5-ジアミノ(パーフルオロヘキシル)ベンゼン、2,5-ジアミノ(パーフルオロブチル)ベンゼン、2,2'-ビス(トリフルオロメチル)-4,4'-ジアミノビフェニル、3,3'-ビス(トリフルオロメチル)-4,4'-ジアミノビフェニル、オクタフルオロベンジジン、4,4'-ジアミノジフェニルエーテル、2,2-ビス(4-アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、1,3-ビス(アニリノ)ヘキサフルオロプロパン、1,4-ビス(アニリノ)オクタフルオロブタン、1,5-ビス(アニリノ)デカフルオロペンタン、1,7-ビス(アニリノ)テトラデカフルオロヘプタン、2,2'-ビス(トリフルオロメチル)-4,4'-ジアミノジフェニルエーテル、3,3'-ビス(トリフルオロメチル)-4,4'-ジアミノジフェニルエーテル、3,3',5,5'-テトラキス(トリフルオロメチル)-4,4'-ジアミノジフェニルエーテル、3,3'-ビス(トリフルオロメチル)-4,4'-ジアミノベンゾフェノン、4,4'-ジアミノ-p-テルフェニル、1,4-ビス(p-アミノフェニル)ベンゼン、p-(4-アミノ-2-トリフルオロメチルフェノキシ)ベンゼン、ビス(アミノフェノキシ)ビス(トリフルオロメチル)ベンゼン、ビス(アミノフェノキシ)テトラキス(トリフルオロメチル)ベンゼン、2,2-ビス{4-(4-アミノフェノキシ)フェニル}ヘキサフルオロプロパン、2,2-ビス{4-(3-アミノフェノキシ)フェニル}ヘキサフルオロプロパン、2,2-ビス{4-(2-アミノフェノキシ)フェニル}ヘキサフルオロプロパン、2,2-ビス{4-(4-アミノフェノキシ)-3,5-ジメチルフェニル}ヘキサフルオロプロパン、2,2-ビス{4-(4-アミノフェノキシ)-3.5-ジトリフルオロメチルフェニル}ヘキサフルオロプロパン、4,4'-ビス(4-アミノ-2-トリフルオロメチルフェノキシ)ビフェニル、4,4'-ビス(4-アミノ-3-トリフルオロメチルフェノキシ)ビフェニル、4,4'-ビス(4-アミノ-2-トリフルオロメチルフェノキシ)ジフェニルスルホン、4,4'-ビス(3-アミノ-5-トリフルオロメチルフェノキシ)ジフェニルスルホン、2,2-ビス{4-(4-アミノ-3-トリフルオロメチルフェノキシ)フェニル}ヘキサフルオロプロパン、ビス{(トリフルオロメチル)アミノフェノキシ}ビフェニル、ビス〔{(トリフルオロメチル)アミノフェノキシ}フェニル〕ヘキサフルオロプロパン、ビス{2-〔(アミノフェノキシ)フェニル〕ヘキサフルオロイソプロピル}ベンゼン、4,4'-ビス(4-アミノフェノキシ)オクタフルオロビフェニル、4,4'−ジアミノジフェニルサルフォン、トランス−1,4−ジアミノシクロヘキサン、4,4'−ジアミノシクロヘキシルメタン、2,2'−ビス(4−アミノシクロヘキシル)−ヘキサフルオロプロパン、2,2'−ビス(トリフルオロメチル)−4,4'−ジアミノビシクロヘキサン等が挙げられる。   Examples of diamines and acid anhydrides used as raw materials here include bis [4- (aminophenoxy) phenyl] sulfone 4,6-dimethyl-m-phenylenediamine, 2,5-dimethyl-p- Phenylenediamine, 2,4-diaminomesitylene, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,5,3 ', 5'-tetramethyl-4,4'-diaminodiphenylmethane, 2,4- Toluenediamine, m-phenylenediamine, p-phenylenediamine, 4,4'-diaminodiphenylpropane, 3,3'-diaminodiphenylpropane, 4,4'-diaminodiphenylethane, 3,3'-diaminodiphenylethane, 4 , 4'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-diaminodiphenylmethane, 2,2-bis (4-aminophenoxyphenyl) propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 4,4 '-Diaminodiphenyl sulfide, 3,3'- Aminodiphenyl sulfide, 4,4'-diaminodiphenyl sulfone, 3,3'-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,3'-diaminodiphenyl ether, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, benzidine, 3,3'-diaminobiphenyl, 3,3'-dimethyl-4,4'-diamino Biphenyl, 3,3'-dimethoxybenzidine, 4,4 "-diamino-p-terphenyl, 3,3" -diamino-p-terphenyl, bis (p-aminocyclohexyl) methane, bis (p-β-amino -t-butylphenyl) ether, bis (p-β-methyl-δ-aminopentyl) benzene, p-bis (2-methyl-4-aminopentyl) benzene, p-bis (1,1-dimethyl-5- Aminopentyl) benzene, 1,5-diaminonaphthalene, 2,6-diaminonaphthalene, 2,4 -Bis (β-amino-t-butyl) toluene, 2,4-diaminotoluene, m-xylene-2,5-diamine, p-xylene-2,5-diamine, m-xylylenediamine, p-xylylenediamine Amine, 2,6-diaminopyridine, 2,5-diaminopyridine, 2,5-diamino-1,3,4-oxadiazole, piperazine, 4- (1H, 1H, 11H-eicosafluoroundecanoxy) -1,3-diaminobenzene, 4- (1H, 1H-perfluoro-1-butanoxy) -1,3-diaminobenzene, 4- (1H, 1H-perfluoro-1-heptanoxy) -1,3-diamino Benzene, 4- (1H, 1H-perfluoro-1-octanoxy) -1,3-diaminobenzene, 4-pentafluorophenoxy-1,3-diaminobenzene, 4- (2,3,5,6-tetrafluoro Phenoxy) -1,3-diaminobenzene, 4- (4-fluorophenoxy) -1,3-diaminobenzene, 4- (1H, 1H, 2H, 2H-perfluoro-1-hexanoxy) -1 , 3-Diaminobenzene, 4- (1H, 1H, 2H, 2H-perfluoro-1-dodecanoxy) -1,3-diaminobenzene, (2,5) -diaminobenzotrifluoride, diaminotetra (trifluoromethyl) Benzene, diamino (pentafluoroethyl) benzene, 2,5-diamino (perfluorohexyl) benzene, 2,5-diamino (perfluorobutyl) benzene, 2,2'-bis (trifluoromethyl) -4,4 ' -Diaminobiphenyl, 3,3'-bis (trifluoromethyl) -4,4'-diaminobiphenyl, octafluorobenzidine, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 2,2-bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane 1,3-bis (anilino) hexafluoropropane, 1,4-bis (anilino) octafluorobutane, 1,5-bis (anilino) decafluoropentane, 1,7-bis (anilino) tetrade Fluoroheptane, 2,2'-bis (trifluoromethyl) -4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,3'-bis (trifluoromethyl) -4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,3 ', 5, 5′-tetrakis (trifluoromethyl) -4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-bis (trifluoromethyl) -4,4′-diaminobenzophenone, 4,4′-diamino-p-terphenyl, 1,4-bis (p-aminophenyl) benzene, p- (4-amino-2-trifluoromethylphenoxy) benzene, bis (aminophenoxy) bis (trifluoromethyl) benzene, bis (aminophenoxy) tetrakis (tri Fluoromethyl) benzene, 2,2-bis {4- (4-aminophenoxy) phenyl} hexafluoropropane, 2,2-bis {4- (3-aminophenoxy) phenyl} hexafluoropropane, 2,2-bis {4- (2-Aminophe Xyl) phenyl} hexafluoropropane, 2,2-bis {4- (4-aminophenoxy) -3,5-dimethylphenyl} hexafluoropropane, 2,2-bis {4- (4-aminophenoxy) -3.5 -Ditrifluoromethylphenyl} hexafluoropropane, 4,4′-bis (4-amino-2-trifluoromethylphenoxy) biphenyl, 4,4′-bis (4-amino-3-trifluoromethylphenoxy) biphenyl, 4,4'-bis (4-amino-2-trifluoromethylphenoxy) diphenylsulfone, 4,4'-bis (3-amino-5-trifluoromethylphenoxy) diphenylsulfone, 2,2-bis {4- (4-amino-3-trifluoromethylphenoxy) phenyl} hexafluoropropane, bis {(trifluoromethyl) aminophenoxy} biphenyl, bis [{(trifluoromethyl) aminophenoxy} phenyl] Hexafluoropropane, bis {2-[(aminophenoxy) phenyl] hexafluoroisopropyl} benzene, 4,4′-bis (4-aminophenoxy) octafluorobiphenyl, 4,4′-diaminodiphenylsulfone, trans-1 , 4-diaminocyclohexane, 4,4'-diaminocyclohexylmethane, 2,2'-bis (4-aminocyclohexyl) -hexafluoropropane, 2,2'-bis (trifluoromethyl) -4,4'-diamino Bicyclohexane etc. are mentioned.

また、酸無水物としては、3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2',3,3'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,3,3',4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ナフタレン-1,2,5,6-テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン-1,2,4,5-テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン-1,4,5,8-テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン-1,2,6,7-テトラカルボン酸二無水物、4,8-ジメチル-1,2,3,5,6,7-ヘキサヒドロナフタレン-1,2,5,6-テトラカルボン酸二無水物、4,8-ジメチル-1,2,3,5,6,7-ヘキサヒドロナフタレン-2,3,6,7-テトラカルボン酸二無水物、2,6-ジクロロナフタレン-1,4,5,8-テトラカルボン酸二無水物、2,7-ジクロロナフタレン-1,4,5,8-テトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-テトラクロロナフタレン-1,4,5,8-テトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8-テトラクロロナフタレン-2,3,6,7-テトラカルボン酸二無水物、2,2',3,3'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3',4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3'',4,4''-p-テルフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2'',3,3''-p-テルフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3'',4''-p-テルフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)-プロパン二無水物、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)-プロパン二無水物、ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)エーテル二無水物、ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3.4-ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、1,1-ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,1-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、ペリレン-2,3,8,9-テトラカルボン酸二無水物、ペリレン-3,4,9,10-テトラカルボン酸二無水物、ペリレン-4,5,10,11-テトラカルボン酸二無水物、ペリレン-5,6,11,12-テトラカルボン酸二無水物、フェナンスレン-1,2,7,8-テトラカルボン酸二無水物、フェナンスレン-1, 2,6,7-テトラカルボン酸二無水物、フェナンスレン-1,2,9,10-テトラカルボン酸二無水物、シクロペンタン-1,2,3,4-テトラカルボン酸二無水物、ピラジン-2,3,5,6-テトラカルボン酸二無水物、ピロリジン-2,3,4,5-テトラカルボン酸二無水物、チオフェン-2,3,4,5-テトラカルボン酸二無水物、4,4'-オキシジフタル酸二無水物、ピロメリット酸二無水物、(トリフルオロメチル)ピロメリット酸二無水物、ジ(トリフルオロメチル)ピロメリット酸二無水物、ジ(ヘプタフルオロプロピル)ピロメリット酸二無水物、ペンタフルオロエチルピロメリット酸二無水物、ビス{3,5-ジ(トリフルオロメチル)フェノキシ}ピロメリット酸二無水物、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物、5,5'-ビス(トリフルオロメチル)-3,3',4,4'-テトラカルボキシビフェニル二無水物、2,2',5,5'-テトラキス(トリフルオロメチル)-3,3',4,4'-テトラカルボキシビフェニル二無水物、5,5'-ビス(トリフルオロメチル)-3,3',4,4'-テトラカルボキシジフェニルエーテル二無水物、5,5'-ビス(トリフルオロメチル)-3,3',4,4'-テトラカルボキシベンゾフェノン二無水物、ビス{(トリフルオロメチル)ジカルボキシフェノキシ}ベンゼン二無水物、ビス{(トリフルオロメチル)ジカルボキシフェノキシ}トリフルオロメチルベンゼン二無水物、ビス(ジカルボキシフェノキシ)トリフルオロメチルベンゼン二無水物、ビス(ジカルボキシフェノキシ)ビス(トリフルオロメチル)ベンゼン二無水物、ビス(ジカルボキシフェノキシ)テトラキス(トリフルオロメチル)ベンゼン二無水物、2,2-ビス{(4-(3,4-ジカルボキシフェノキシ)フェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物、ビス{(トリフルオロメチル)ジカルボキシフェノキシ}ビフェニル二無水物、ビス{(トリフルオロメチル)ジカルボキシフェノキシ}ビス(トリフルオロメチル)ビフェニル二無水物、ビス{(トリフルオロメチル)ジカルボキシフェノキシ}ジフェニルエーテル二無水物、ビス(ジカルボキシフェノキシ)ビス(トリフルオロメチル)ビフェニル二無水物、3,3',4,4'−ビフェニルテトラカルボン酸ニ無水物、1,4-シクロヘキサンジカルボン酸、1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。 The acid anhydrides include 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′, 3 , 3'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,3,3 ', 4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, naphthalene-1,2,5,6-tetracarboxylic dianhydride, naphthalene-1 , 2,4,5-tetracarboxylic dianhydride, naphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, naphthalene-1,2,6,7-tetracarboxylic dianhydride, 4, 8-Dimethyl-1,2,3,5,6,7-hexahydronaphthalene-1,2,5,6-tetracarboxylic dianhydride, 4,8-dimethyl-1,2,3,5,6 , 7-Hexahydronaphthalene-2,3,6,7-tetracarboxylic dianhydride, 2,6-dichloronaphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, 2,7-dichloronaphthalene -1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-tetrachloronaphthalene-1,4,5,8-tetra Rubonic dianhydride, 1,4,5,8-tetrachloronaphthalene-2,3,6,7-tetracarboxylic dianhydride, 2,2 ', 3,3'-biphenyltetracarboxylic dianhydride 2,3,3 ', 4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3``, 4,4''-p-terphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2``, 3, 3 ''-p-terphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3,3``, 4 ''-p-terphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (2,3-dicarboxyl Phenyl) -propane dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) -propane dianhydride, bis (2,3-dicarboxyphenyl) ether dianhydride, bis (2,3-di Carboxyphenyl) methane dianhydride, bis (3.4-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis (2,3-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride 1,1-bis (2,3-dicarboxyphenyl) ethane Dianhydride, 1,1-bis (3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, perylene-2,3,8,9-tetracarboxylic dianhydride, perylene-3,4,9,10- Tetracarboxylic dianhydride, perylene-4,5,10,11-tetracarboxylic dianhydride, perylene-5,6,11,12-tetracarboxylic dianhydride, phenanthrene-1,2,7,8 -Tetracarboxylic dianhydride, phenanthrene-1, 2,6,7-tetracarboxylic dianhydride, phenanthrene-1,2,9,10-tetracarboxylic dianhydride, cyclopentane-1,2,3 , 4-tetracarboxylic dianhydride, pyrazine-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride, pyrrolidine-2,3,4,5-tetracarboxylic dianhydride, thiophene-2,3, 4,5-tetracarboxylic dianhydride, 4,4'-oxydiphthalic dianhydride, pyromellitic dianhydride, (trifluoromethyl) pyromellitic dianhydride, di (trifluoromethyl) pyromellitic acid Two Water, di (heptafluoropropyl) pyromellitic dianhydride, pentafluoroethyl pyromellitic dianhydride, bis {3,5-di (trifluoromethyl) phenoxy} pyromellitic dianhydride, 2,2 -Bis (3,4-dicarboxyphenyl) hexafluoropropane dianhydride, 5,5'-bis (trifluoromethyl) -3,3 ', 4,4'-tetracarboxybiphenyl dianhydride, 2,2 ', 5,5'-Tetrakis (trifluoromethyl) -3,3', 4,4'-tetracarboxybiphenyl dianhydride, 5,5'-bis (trifluoromethyl) -3,3 ', 4, 4'-tetracarboxydiphenyl ether dianhydride, 5,5'-bis (trifluoromethyl) -3,3 ', 4,4'-tetracarboxybenzophenone dianhydride, bis {(trifluoromethyl) dicarboxyphenoxy} Benzene dianhydride, bis {(trifluoromethyl) dicarboxyphenoxy} trifluoromethylbenzene Water, bis (dicarboxyphenoxy) trifluoromethylbenzene dianhydride, bis (dicarboxyphenoxy) bis (trifluoromethyl) benzene dianhydride, bis (dicarboxyphenoxy) tetrakis (trifluoromethyl) benzene dianhydride , 2,2-bis {(4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl) hexafluoropropane dianhydride, bis {(trifluoromethyl) dicarboxyphenoxy} biphenyl dianhydride, bis {(trifluoromethyl ) Dicarboxyphenoxy} bis (trifluoromethyl) biphenyl dianhydride, bis {(trifluoromethyl) dicarboxyphenoxy} diphenyl ether dianhydride, bis (dicarboxyphenoxy) bis (trifluoromethyl) biphenyl dianhydride, 3 , 3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 1,4-cyclohexanedicarboxylic acid , 1,2,3,4-cyclobutane tetracarboxylic dianhydride, and the like.

本発明の透明導電性フィルムはベースフィルムのポリイミドフィルム上に透明導電性薄膜が設けられている。透明導電性薄膜としては、公知の金属酸化物膜を適用できる。例えば、不純物としてスズ、テルル、カドミウム、モリブテン、タングステン、フッ素、亜鉛、ゲルマニウム等を添加した酸化インジウム、酸化カドミウム及び酸化スズ、不純物としてアルミニウムを添加した酸化亜鉛、酸化チタン等の金属酸化物膜が挙げられる。中でも酸化スズを2〜15重量%含有した酸化インジウム(ITO)の薄膜が、透明性、導電性が優れており、好ましく用いられる。   In the transparent conductive film of the present invention, a transparent conductive thin film is provided on a polyimide film as a base film. A known metal oxide film can be applied as the transparent conductive thin film. For example, metal oxide films such as indium oxide, cadmium oxide and tin oxide to which tin, tellurium, cadmium, molybdenum, tungsten, fluorine, zinc, germanium and the like are added as impurities, and zinc oxide and titanium oxide to which aluminum is added as impurities. Can be mentioned. Among them, an indium oxide (ITO) thin film containing 2 to 15% by weight of tin oxide is excellent in transparency and conductivity, and is preferably used.

これらの透明導電性薄膜をポリイミドフィルム上に積層する場合、スパッタ法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、プラズマCVD法等の気相中より材料を堆積させて膜形成する気相堆積法が適用される。透明導電性薄膜の比抵抗を1mΩ・cm以下にするためには、製膜時のベースフィルム温度を250℃から350℃とする必要があるために、ポリイミドフィルムのガラス転移温度(Tg)は高いことが望ましく、ガラス転移温度は300℃以上とする必要があり、好ましくは320〜450℃の範囲である。また、上記ガラス転移温度が300℃に満たないと、加工温度を上げることができないため透明導電性薄膜の透明性を向上させることが困難となる。   When laminating these transparent conductive thin films on a polyimide film, vapor deposition methods that deposit films from the gas phase such as sputtering, vacuum deposition, ion plating, and plasma CVD are applicable. Is done. In order to reduce the specific resistance of the transparent conductive thin film to 1 mΩ · cm or less, it is necessary to set the base film temperature during film formation to 250 ° C. to 350 ° C., so the glass transition temperature (Tg) of the polyimide film is high. It is desirable that the glass transition temperature should be 300 ° C. or higher, preferably in the range of 320 to 450 ° C. Further, if the glass transition temperature is less than 300 ° C., the processing temperature cannot be increased, and it becomes difficult to improve the transparency of the transparent conductive thin film.

本発明の透明導電性フィルムを有機EL素子や液晶表示素子用の電極基板として用いる場合は、装置内への水分や酸素の侵入を防ぐため、ポリイミドフィルムの少なくとも片面にはガスバリア層を設けてもよい。ここで、酸素や水蒸気等に対するバリア性を備えたガスバリア層として、酸化珪素、酸化アルミニウム、炭化珪素、酸化炭化珪素、炭化窒化珪素、窒化珪素、窒化酸化珪素等の無機酸化物膜が好適に例示され、1種類の組成のみで構成されてもよいし、2種類以上の組成を混同させた膜を選択してもよい。   When the transparent conductive film of the present invention is used as an electrode substrate for an organic EL device or a liquid crystal display device, a gas barrier layer may be provided on at least one surface of the polyimide film in order to prevent moisture and oxygen from entering the device. Good. Here, an inorganic oxide film such as silicon oxide, aluminum oxide, silicon carbide, silicon oxycarbide, silicon carbonitride, silicon nitride, silicon nitride oxide, etc. is suitably exemplified as a gas barrier layer having a barrier property against oxygen, water vapor, and the like. In addition, the film may be composed of only one kind of composition, or a film in which two or more kinds of compositions are confused may be selected.

また、ガスバリア層の厚みは10nm〜1μmが好ましく、さらに好ましくは50〜200nmである。これら無機酸化物のガスバリア層とベースフィルムであるポリイミドフィルムとのCTEの差が大きいと、その後のTFTの製造工程中にカールが発生したり、寸法安定性が悪化したり、透明導電性薄膜にクラックや剥離の発生が起こるおそれがある。また、反りは、一般に大面積フィルムを製造した場合に反りが問題になるが、本発明のポリイミドフィルムであれば、ガスバリア層とのCTEの差が小さいため、これらのような不具合の問題が解消される。なお、表1には、ガスバリア層を形成する代表的な無機膜とその熱膨張係数を示す。ここで、熱膨張係数は同じ組成であっても製造方法によって変化するため、表1に示す値は目安である。   The thickness of the gas barrier layer is preferably 10 nm to 1 μm, and more preferably 50 to 200 nm. If the difference in CTE between the inorganic oxide gas barrier layer and the polyimide film as the base film is large, curling may occur during the subsequent TFT manufacturing process, dimensional stability may deteriorate, and the transparent conductive thin film may There is a risk of occurrence of cracks and peeling. In addition, warping is generally a problem when a large area film is manufactured. However, if the polyimide film of the present invention is used, the difference in CTE from the gas barrier layer is small. Is done. Table 1 shows typical inorganic films forming the gas barrier layer and their thermal expansion coefficients. Here, since the coefficient of thermal expansion varies depending on the manufacturing method even if the composition is the same, the values shown in Table 1 are approximate.

Figure 0005946348
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透明導電性薄膜を構成する金属酸化物の線膨張係数(CTE)が10ppm/K以下であることや表1に示されるガスバリア層を形成する材料のCTEが0〜10ppm/Kに含まれることから、これに隣接するポリイミドフィルムのCTEもこれに近い値でない場合には、透明導電性フィルムに反りが生じたり、透明導電性薄膜に亀裂や剥離等が発生してしまうおそれがある。そこで、本発明のポリイミドフィルムは、熱膨張係数(CTE)が15ppm/K以下、好ましくは0〜10ppm/Kとなるようにする。   The linear expansion coefficient (CTE) of the metal oxide constituting the transparent conductive thin film is 10 ppm / K or less, and the CTE of the material forming the gas barrier layer shown in Table 1 is included in 0 to 10 ppm / K. If the CTE of the polyimide film adjacent thereto is not a value close to this, the transparent conductive film may be warped or the transparent conductive thin film may be cracked or peeled off. Therefore, the polyimide film of the present invention has a coefficient of thermal expansion (CTE) of 15 ppm / K or less, preferably 0 to 10 ppm / K.

また、透明導電性薄膜の厚みは表面抵抗に応じて設定されるが、5〜10nmが好ましい。上記反りは、一般に大面積フィルムを製造した場合に問題になるが、本発明のポリイミドフィルムであれば、透明導電性薄膜やガスバリア層とのCTEの差が小さいため、これらのような不具合の問題が解消される。   Moreover, although the thickness of a transparent conductive thin film is set according to surface resistance, 5-10 nm is preferable. The warp is generally a problem when a large-area film is produced. However, if the polyimide film of the present invention has a small difference in CTE from the transparent conductive thin film and the gas barrier layer, problems such as these Is resolved.

本発明で用いられるポリイミドフィルムは、所定の厚さで440nmから780nmの波長領域での透過率が80%以上であればよく、その厚み範囲は制限されるものではない。好ましくは、厚み25μmのフィルムに製膜した場合に、440nmから780nmの波長領域で80%以上の透過率を与えるポリイミドによって形成されていることがよく、このようなポリイミドは上記一般式(1)で表される構造単位aと上記一般式(2)で表される構造単位bとを上記範囲とすることで得ることができる。上記波長領域での透過率が80%未満であると、発光を十分取り出すことができなくなる。   The polyimide film used in the present invention may have a transmittance of 80% or more in a wavelength region of 440 nm to 780 nm with a predetermined thickness, and the thickness range is not limited. Preferably, the film is formed of a polyimide that gives a transmittance of 80% or more in a wavelength region of 440 nm to 780 nm when the film is formed into a film having a thickness of 25 μm. And the structural unit b represented by the general formula (2) can be obtained in the above range. If the transmittance in the above wavelength region is less than 80%, it becomes impossible to extract light emission sufficiently.

本発明で用いられるポリイミドフィルムは、湿度膨張係数が15ppm/%RH以下であるのがよく、好ましくは0〜10ppm/%RHであるのがよい。湿度膨張係数が15ppm/%RHを超えると製造プロセス中の寸法変化による位置ずれや信頼性試験での不具合が発生する。   The polyimide film used in the present invention has a humidity expansion coefficient of 15 ppm /% RH or less, and preferably 0 to 10 ppm /% RH. If the humidity expansion coefficient exceeds 15 ppm /% RH, misalignment due to dimensional changes during the manufacturing process and problems in the reliability test occur.

また、本発明で用いられるポリイミドフィルムは、面内方向のリタデーションが10nm以下であることが好ましい。リタデーションが10nmを超えると均一なコントラストの視野角特性が得られない場合が有る。   The polyimide film used in the present invention preferably has an in-plane retardation of 10 nm or less. If the retardation exceeds 10 nm, a uniform contrast viewing angle characteristic may not be obtained.

更にまた、本発明で用いられるポリイミドフィルムは、ポリイミドフィルムの透明導電性薄膜が積層される側の表面粗さRaが5nm以下であることが好ましい。表面粗さRaが5nmを超えると透明導電性膜の厚みに対し無視できなくなり、抵抗値が大きくなる可能性がある。
なお、これらのポリイミドフィルムの特性値について、ポリイミドフィルムが複数のポリイミド層から形成される場合には、全てのポリイミド層を含んだフィルム全体で示すものである。
Furthermore, the polyimide film used in the present invention preferably has a surface roughness Ra on the side where the transparent conductive thin film of the polyimide film is laminated is 5 nm or less. If the surface roughness Ra exceeds 5 nm, the thickness of the transparent conductive film cannot be ignored and the resistance value may increase.
In addition, about the characteristic value of these polyimide films, when a polyimide film is formed from a some polyimide layer, it shows with the whole film containing all the polyimide layers.

本発明の透明導電性フィルムは、低熱膨張性で寸法安定性に優れているだけでなく、可視領域における透過率が高くて透明性に優れ、また、耐熱性にも優れている。そのため、これまで主にPETフィルムをベースフィルムとする透明導電性フィルムが用いられてきたが、その問題点を補ってこれに代わるものとして好適に使用することができる。   The transparent conductive film of the present invention not only has low thermal expansibility and excellent dimensional stability, but also has high transmittance in the visible region, excellent transparency, and excellent heat resistance. Therefore, a transparent conductive film mainly using a PET film as a base film has been used so far, but it can be suitably used as a substitute for this problem.

以下、実施例等に基づいて本発明の内容をより具体的に説明するが、本発明はこれら実施例の範囲に限定されるものではない。   Hereinafter, the contents of the present invention will be described more specifically based on examples and the like, but the present invention is not limited to the scope of these examples.

先ず、ポリイミドを合成する際のモノマーや溶媒の略語、及び、実施例中の各種物性の測定方法とその条件について以下に示す。   First, the abbreviations for monomers and solvents used in the synthesis of polyimide, and various physical property measurement methods and conditions in the examples are shown below.

TFMB:2,2'-ビス(トリフルオロメチル)-4,4'-ジアミノビフェニル
PMDA:ピロメリット酸二無水物
DMAc:N,N-ジメチルアセトアミド
6FDA:2,2'-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物
BPDA:3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
TFMB: 2,2′-bis (trifluoromethyl) -4,4′-diaminobiphenyl PMDA: pyromellitic dianhydride DMAc: N, N-dimethylacetamide 6FDA: 2,2′-bis (3,4- Dicarboxyphenyl) hexafluoropropane dianhydride BPDA: 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride

〔熱膨張係数(CTE)〕
3mm×15mmのサイズのポリイミドフィルムを、熱機械分析(TMA)装置にて5.0gの荷重を加えながら一定の昇温速度(20℃/min)で30℃から260℃の温度範囲で引張り試験を行い、温度に対するポリイミドフィルムの伸び量から熱膨張係数(ppm/K)を測定した。
[Coefficient of thermal expansion (CTE)]
Tensile test of polyimide film with a size of 3mm x 15mm in a temperature range from 30 ° C to 260 ° C at a constant heating rate (20 ° C / min) while applying a 5.0g load with a thermomechanical analysis (TMA) device The coefficient of thermal expansion (ppm / K) was measured from the amount of elongation of the polyimide film with respect to temperature.

〔透過率(%)〕
ポリイミドフィルム(50mm×50mm)をU4000形分光光度計にて、440nmから780nmにおける光透過率の平均値を求めた。
[Transmissivity (%)]
The average value of the light transmittance from 440 nm to 780 nm was determined for a polyimide film (50 mm × 50 mm) with a U4000 spectrophotometer.

〔ガラス転移温度(Tg)〕
ガラス転移温度は、粘弾性アナライザ(レオメトリックサイエンスエフィー株式会社製RSA−II)を使って、10mm幅のサンプルを用いて、1Hzの振動を与えながら、室温から400℃まで10℃/分の速度で昇温した際の、損失正接(Tanδ)の極大から求めた。
[Glass transition temperature (Tg)]
The glass transition temperature was measured at a rate of 10 ° C./min from room temperature to 400 ° C. while applying a 1 Hz vibration using a 10 mm wide sample using a viscoelasticity analyzer (RSA-II manufactured by Rheometric Science Effy Co., Ltd.). It was determined from the maximum loss tangent (Tan δ) when the temperature was raised at.

〔リタデーション〕
東京インスツルメント社製の分光ポラリメーター「Poxi-spectra」を用いて、ポリイミドフィルムの面内方向のリタデーションを求めた。
[Retardation]
Retardation in the in-plane direction of the polyimide film was determined using a spectroscopic polarimeter “Poxi-spectra” manufactured by Tokyo Instruments.

〔表面粗さ(Ra)〕
ポリイミドフィルムの空気面(フィルム作成時に金属箔に触れていない面)の表面粗さRaについて、ブルカー社製の原子間力顕微鏡(AFM)「Multi Mode8」を用いて表面観察をタッピングモードで行った。10μm角の視野観察を4回行い、それらの平均値を求めた。表面粗さ(Ra)は、算術平均粗さ(JIS B0601-1991)を表す。
[Surface roughness (Ra)]
The surface roughness Ra of the air surface of the polyimide film (the surface not touching the metal foil at the time of film creation) was observed in the tapping mode using an atomic force microscope (AFM) “Multi Mode 8” manufactured by Bruker. . Observation of a 10 μm square field of view was performed four times, and the average value thereof was obtained. The surface roughness (Ra) represents the arithmetic average roughness (JIS B0601-1991).

〔湿度膨張係数(CHE)〕
銅箔とポリイミドフィルムとの積層体の状態で25cm×25cmのサイズに切り出し、銅箔側にエッチングレジスト層を設けて、これを一辺が30cmの正方形の四辺に10cm間隔で直径1mmの点が16箇所配置するパターンに形成した。エッチングレジスト開孔部の露出部分をエッチングし、16箇所の銅箔残存点を有するCHE測定用ポリイミドフィルムを得た。このフィルムを120℃で2時間乾燥した後、23℃/30%RH・50%RH・70%RHの恒温恒湿機で各湿度において24時間静置し、二次元測長機により測定した各湿度での銅箔点間の寸法変化から湿度膨張係数(ppm/%RH)を求めた。
[Humidity expansion coefficient (CHE)]
Cut into a size of 25 cm × 25 cm in the state of a laminated body of copper foil and polyimide film, an etching resist layer is provided on the copper foil side, and this has 16 square points of 16 mm on four sides of a square of 30 cm on one side. It was formed in a pattern to be placed in place. The exposed portion of the etching resist opening was etched to obtain a CHE measurement polyimide film having 16 copper foil remaining points. After drying this film at 120 ° C. for 2 hours, each film was allowed to stand for 24 hours at 23 ° C./30% RH / 50% RH / 70% RH constant temperature and humidity at 24 ° C. and measured with a two-dimensional measuring machine. The humidity expansion coefficient (ppm /% RH) was determined from the dimensional change between the copper foil points at humidity.

〔カール〕
得られたフィルムの上に100nmの酸化インジウム・スズ(ITO,In:Sn=9:1)を積層して透明導電性薄膜(導電層)を形成し、透明導電性フィルムを得た。大きさ10cm四方の透明導電性フィルムの凸面を下にして平面に置いた場合の浮いた四隅を目視にて観察し、フラットな場合は◎、わずかにカールが発生した場合○とした。
〔curl〕
A transparent conductive thin film (conductive layer) was formed by laminating 100 nm of indium tin oxide (ITO, In: Sn = 9: 1) on the obtained film to obtain a transparent conductive film. The floating four corners of a 10 cm square transparent conductive film placed on a flat surface with the convex surface down were visually observed. The result was ◎ for flat and 、 for slight curling.

〔比抵抗〕
JIS K7194に準拠し、4端子法で表面抵抗率を測定し、比抵抗を算出した。
[Resistivity]
In accordance with JIS K7194, the surface resistivity was measured by a four-terminal method, and the specific resistance was calculated.

〔実施例1〕
(ポリイミドA)
窒素気流下で、200mlのセパラブルフラスコの中で攪拌しながらTFMB25.2gを溶剤DMAcに溶解させた。次いで、この溶液にPMDA14.5gと6FDA5.2gを加えた。その後、溶液を室温で5時間攪拌を続けて重合反応を行い、一昼夜保持した。粘稠なポリアミド酸溶液が得られ、高重合度のポリアミド酸Aが生成されていることが確認された。
[Example 1]
(Polyimide A)
Under a nitrogen stream, 25.2 g of TFMB was dissolved in the solvent DMAc while stirring in a 200 ml separable flask. Next, 14.5 g of PMDA and 5.2 g of 6FDA were added to this solution. Thereafter, the solution was stirred at room temperature for 5 hours to conduct a polymerization reaction, and kept for a whole day and night. A viscous polyamic acid solution was obtained, and it was confirmed that polyamic acid A having a high polymerization degree was produced.

上記で得られたポリアミド酸溶液を、厚さ18μmの銅箔(三井金属鉱業株式会社製の電解銅箔「DFF」)上にアプリケーターを用いて熱処理後の膜厚が約25μmとなるように塗布し、1分間に22℃の速度で90℃から360℃まで昇温させ、銅箔とポリイミドの積層体を得た。次に、この積層体を塩化第二鉄エッチング液に浸漬させ、銅箔を除去し、フィルム状のポリイミドAを得た。得られたフィルム状のポリイミドAについて、各種評価を行った結果を表2に示す。   The polyamic acid solution obtained above was applied on an 18 μm thick copper foil (electrolytic copper foil “DFF” manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd.) using an applicator so that the film thickness after heat treatment was about 25 μm. The temperature was raised from 90 ° C. to 360 ° C. at a rate of 22 ° C. per minute to obtain a laminate of copper foil and polyimide. Next, this laminate was immersed in a ferric chloride etching solution, and the copper foil was removed to obtain a film-like polyimide A. Table 2 shows the results of various evaluations of the obtained film-like polyimide A.

〔実施例2〕
(ポリイミドB)
窒素気流下で、200mlのセパラブルフラスコの中に攪拌しながら、ジアミンとしてTFMB25.7g、酸無水物としてPMDA15.7g及び6FDA3.6gをそれぞれ仕込み、その後、溶液を室温で5時間攪拌を続けて重合反応を行い、一昼夜保持した。粘稠なポリアミド酸溶液が得られ、高重合度のポリアミド酸Bが生成されていることが確認された。
[Example 2]
(Polyimide B)
While stirring in a 200 ml separable flask under a nitrogen stream, 25.7 g of TFMB as diamine and 15.7 g of PMDA and 3.6 g of 6FDA were charged as diamines, respectively, and then the solution was continuously stirred at room temperature for 5 hours. The polymerization reaction was performed and kept for a whole day and night. A viscous polyamic acid solution was obtained, and it was confirmed that polyamic acid B having a high polymerization degree was produced.

上記で得られたポリアミド酸溶液を用いて、実施例1と同様にして銅箔とポリイミドの積層体を得て、この積層体を塩化第二鉄エッチング液に浸漬させ、銅箔を除去し、フィルム状のポリイミドBを得た。   Using the polyamic acid solution obtained above, a copper foil and polyimide laminate was obtained in the same manner as in Example 1, and this laminate was immersed in a ferric chloride etchant to remove the copper foil, A film-like polyimide B was obtained.

〔実施例3〕
(ポリイミドC)
窒素気流下で、200mlのセパラブルフラスコの中で攪拌しながらTFMB26.3gを溶剤DMAcに溶解させた。次いで、この溶液にPMDA16.9gと6FDA1.8gを加えた。その後、溶液を室温で5時間攪拌を続けて重合反応を行い、一昼夜保持した。粘稠なポリアミド酸溶液が得られ、高重合度のポリアミド酸Cが生成されていることが確認された。
Example 3
(Polyimide C)
Under a nitrogen stream, 26.3 g of TFMB was dissolved in the solvent DMAc while stirring in a 200 ml separable flask. Next, 16.9 g of PMDA and 1.8 g of 6FDA were added to this solution. Thereafter, the solution was stirred at room temperature for 5 hours to conduct a polymerization reaction, and kept for a whole day and night. A viscous polyamic acid solution was obtained, and it was confirmed that polyamic acid C having a high polymerization degree was produced.

上記で得られたポリアミド酸溶液を用いて、実施例1と同様にして銅箔とポリイミドの積層体を得て、この積層体を塩化第二鉄エッチング液に浸漬させ、銅箔を除去し、フィルム状のポリイミドCを得た。   Using the polyamic acid solution obtained above, a copper foil and polyimide laminate was obtained in the same manner as in Example 1, and this laminate was immersed in a ferric chloride etchant to remove the copper foil, A film-like polyimide C was obtained.

参考例5
(ポリイミドD)
ジアミンとしてTFMB23.4gを、また、酸無水物としてPMDA10.3g及び6FDA11.3gをそれぞれ使用した他は、ポリイミドAと同様に実施し、フィルム状のポリイミドDを得た。
[ Reference Example 5 ]
(Polyimide D)
Film-like polyimide D was obtained in the same manner as polyimide A, except that 23.4 g of TFMB was used as the diamine, and 10.3 g of PMDA and 11.3 g of 6FDA were used as the acid anhydride.

参考例6
(ポリイミドE)
ジアミンとしてTFMB23.0gを、また、酸無水物としてPMDA9.3g及び6FDA12.7gをそれぞれ使用した他は、ポリイミドAと同様に実施し、フィルム状のポリイミドEを得た。
[ Reference Example 6 ]
(Polyimide E)
Film-like polyimide E was obtained in the same manner as in polyimide A, except that 23.0 g of TFMB was used as the diamine and 9.3 g and 6FDA of 12.7 g were used as the acid anhydride.

参考例7
(ポリイミドF)
ジアミンとしてTFMB23.5gを、また、酸無水物としてBPDA21.5gを使用した他は、ポリイミドAと同様に実施し、フィルム状のポリイミドFを得た。
[ Reference Example 7 ]
(Polyimide F)
A film-like polyimide F was obtained in the same manner as polyimide A except that 23.5 g of TFMB was used as the diamine and 21.5 g of BPDA was used as the acid anhydride.

〔実施例4〕
窒素気流下で、200mlのセパラブルフラスコの中で攪拌しながらTFMB18.9gを溶剤DMAcに溶解させた。次いで、この溶液に6FDA26.1gを加えた。その後、溶液を室温で5時間攪拌を続けて重合反応を行い、一昼夜保持した。粘稠なポリアミド酸溶液Gが得られ、高重合度のポリアミド酸が生成されていることが確認された。
Example 4
Under a nitrogen stream, 18.9 g of TFMB was dissolved in the solvent DMAc while stirring in a 200 ml separable flask. Then 26.1 g of 6FDA was added to this solution. Thereafter, the solution was stirred at room temperature for 5 hours to conduct a polymerization reaction, and kept for a whole day and night. A viscous polyamic acid solution G was obtained, and it was confirmed that a polyamic acid having a high degree of polymerization was produced.

次いで、実施例3で得たポリアミド酸溶液Cを厚さ18μmの圧延銅箔上にアプリケーターを用いて熱処理後の膜厚が約25μmとなるように塗布し、90℃から130℃の温度で1分から5分加熱した。その後、得られたポリアミド酸と銅箔の積層体の上に、更にポリアミド酸溶液Gを厚さ5μmになるように塗布し、1分間に22℃の速度で90℃から360℃まで昇温させ、銅箔と2層のポリイミドからなる積層体を得た。   Next, the polyamic acid solution C obtained in Example 3 was applied onto a rolled copper foil having a thickness of 18 μm using an applicator so that the film thickness after the heat treatment was about 25 μm, and 1 at a temperature of 90 ° C. to 130 ° C. Heated for 5 to 5 minutes. Thereafter, a polyamic acid solution G is further applied on the obtained polyamic acid and copper foil laminate to a thickness of 5 μm, and the temperature is raised from 90 ° C. to 360 ° C. at a rate of 22 ° C. per minute. A laminate comprising a copper foil and two layers of polyimide was obtained.

次に、この積層体を塩化第二鉄エッチング液に浸漬させ、ポリイミド積層体フィルムを得た。同様の手法でポリイミドGの単層フィルムを作成し、弾性率を測定したところ、4.5GPaであった。   Next, this laminate was immersed in a ferric chloride etchant to obtain a polyimide laminate film. It was 4.5 GPa when the single layer film of the polyimide G was created with the same method, and the elasticity modulus was measured.

〔比較例1〕
市販の100μmのPETフィルム上に、ポリイミドフィルムに行なったと同様に酸化インジウム・スズを積層して、透明導電性フィルムを得た。
[Comparative Example 1]
Indium tin oxide was laminated on a commercially available 100 μm PET film in the same manner as the polyimide film to obtain a transparent conductive film.

得られたポリイミドフィルムA〜F、及びCとGの多層ポリイミドフィルム(C/Gフィルム)の特性値を表2に示す。表2に示したとおり、上記実施例1〜4、参考例5〜7、及び比較例1から得られた結果より明らかなように、本発明の条件を満たしたポリイミドは、透明性にも優れ、反りも無く、ポリイミド樹脂層表面の表面粗さやリタデーションの値は低いものであった。また、透明導電性薄膜を形成した際のカールはほとんど確認されず、クラック発生に関する評価も良好であった。一方、本発明の条件を満たさないフィルムからなるものは、導電層形成時の基板温度を高くすることができず、比抵抗が大きくなった。このため、同一の導電層厚みでは、本発明の条件を満たしたポリイミドと比較し抵抗率が大きくなる。抵抗率を低くするために導電層の厚みを大きくすると十分な透明性を発現させることが困難となる。 Table 2 shows the characteristic values of the obtained polyimide films A to F and C and G multilayer polyimide films (C / G films). As shown in Table 2, as is clear from the results obtained from Examples 1 to 4, Reference Examples 5 to 7 and Comparative Example 1, the polyimide satisfying the conditions of the present invention is excellent in transparency. There was no warpage, and the surface roughness and retardation of the polyimide resin layer were low. Moreover, curl when the transparent conductive thin film was formed was hardly confirmed, and the evaluation regarding the generation of cracks was also good. On the other hand, a film made of a film that does not satisfy the conditions of the present invention cannot increase the substrate temperature when forming the conductive layer, and has a high specific resistance. For this reason, at the same conductive layer thickness, the resistivity is higher than that of polyimide that satisfies the conditions of the present invention. If the thickness of the conductive layer is increased in order to reduce the resistivity, it becomes difficult to develop sufficient transparency.

Figure 0005946348
Figure 0005946348

Claims (6)

ポリイミドフィルムの表面および裏面の少なくとも一方の面に、透明導電性薄膜が積層された透明導電性フィルムであって、
前記ポリイミドフィルムは、単層又は複数層のポリイミド層からなると共に、主たるポリイミド層を構成するポリイミドにおける下記一般式(1)で表される構造単位aと下記一般式(2)で表される構造単位bとの存在比率(モル%)がa:b=85:15〜95:5の範囲であり、
Figure 0005946348

また、前記ポリイミドフィルムは、440nmから780nmの波長領域での透過率が80%以上であり、熱膨張係数が10ppm/K以下であり、かつ、ガラス転移温度300℃以上であることを特徴とする透明導電性フィルム。
A transparent conductive film in which a transparent conductive thin film is laminated on at least one of the front and back surfaces of a polyimide film,
The polyimide film, it becomes a polyimide layer of a single layer or multiple layers, represented by the main following formula in the polyimide constituting the polyimide layer (1) with structural units a and the following general formula represented (2) Structure The abundance ratio (mol%) with the unit b is in the range of a: b = 85: 15 to 95: 5,
Figure 0005946348

Further, the polyimide film is the transmittance at 780nm wavelength range from 440nm is 80% or more, the thermal expansion coefficient of not more than 10 ppm / K, and, and wherein the glass transition temperature of 300 ° C. or higher Transparent conductive film.
前記ポリイミドフィルムは、湿度膨張係数が15ppm/%RH以下であることを特徴とする請求項1に記載の透明導電性フィルム。 The polyimide film, a transparent conductive film according to claim 1, the humidity expansion coefficient is characterized by the following der Rukoto RH 15 ppm /%. 前記ポリイミドフィルムは、面内方向のリタデーションが10nm以下である請求項1又は2記載の透明導電性フィルム。 The transparent conductive film according to claim 1 , wherein the polyimide film has an in- plane retardation of 10 nm or less. 前記ポリイミドフィルムは、透明導電性薄膜が積層される側の表面粗さRaが5nm以下である請求項1〜3何れかに記載の透明導電性フィルム。 The polyimide film, a transparent conductive film according to any one of claims 1 to 3 surface roughness Ra of the side where the transparent conductive thin film are laminated is 5nm or less. 透明導電性フィルムの製造の際にベースフィルムとして用いるポリイミドフィルムであって、
前記ポリイミドフィルムは、単層又は複数層のポリイミド層からなると共に、主たるポリイミド層を構成するポリイミドにおける下記一般式(1)で表される構造単位aと下記一般式(2)で表される構造単位bとの存在比率(モル%)がa:b=85:15〜95:5の範囲であり、
Figure 0005946348

また、前記ポリイミドフィルムは、440nmから780nmの波長領域での透過率が80%以上であり、熱膨張係数が10ppm/K以下であり、かつ、ガラス転移温度300℃以上であることを特徴とする透明導電性フィルム製造用ポリイミドフィルム。
A polyimide film used as a base film in the production of a transparent conductive film,
The polyimide film, it becomes a polyimide layer of a single layer or multiple layers, represented by the main following formula in the polyimide constituting the polyimide layer (1) with structural units a and the following general formula represented (2) Structure The abundance ratio (mol%) with the unit b is in the range of a: b = 85: 15 to 95: 5,
Figure 0005946348

Further, the polyimide film is the transmittance at 780nm wavelength range from 440nm is 80% or more, the thermal expansion coefficient of not more than 10 ppm / K, and, and wherein the glass transition temperature of 300 ° C. or higher A polyimide film for producing a transparent conductive film.
前記ポリイミドフィルムは、湿度膨張係数が15ppm/%RH以下であることを特徴とする請求項5に記載の透明導電性フィルム製造用ポリイミドフィルム。 The polyimide film for producing a transparent conductive film according to claim 5, wherein the polyimide film has a humidity expansion coefficient of 15 ppm /% RH or less.
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