JP5935089B2 - 高周波振動援用電解研削方法及びその装置 - Google Patents
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Description
この電解研削装置は、研削砥石と被加工物の間に電解液を介し電圧を印加して電解研削するものであり、研削《砥粒の運動エネルギー》と、電解《被加工物への電気エネルギー》の2つの要素を組み合わせた加工技術である。
これは、電解研削における極間距離、すなわち砥石の母材(導電性)と被加工物(導電性)の間に位置するダイヤモンド砥粒(非導電性)の母材からの突出寸法が、極間距離を決定するスペーサの役割をするのであるが、この寸法設定が一般的に0.02mm以上とされており、極間距離をこれ以下にすると、極間が短絡し電位を上げられなくなって電解反応が不安定になったり、停止したりすることがあった。
すなわち本発明の高周波振動援用電解研削方法は、JIS R6001の精密研磨用砥石の粒度#400よりも粒子径の小さい非導電性の微細砥粒を、導電性結合材表面に突出させた砥石を用い、該砥石と被加工物との間隙すなわち前記微細砥粒の突出量を0.02mm未満に設定し、前記砥石もしくは被加工物の何れかに高周波振動を加え、さらに前記砥石と被加工物の間に電解液を介して電気分解用の電圧を印加して電解研削加工することを特徴とする。
このような構成とすることにより、砥粒突出高さを0.02mm未満の砥石を用い、極間距離、すなわち砥粒を保持している母材と被加工物との間隙を0.02mm未満に設定した状態において、高周波振動を砥石に伝搬させることにより、砥石と被加工物との間で電解反応を誘引または促進させ、電解研削加工を行うことができる。
これにより、高周波振動による電解誘引作用を生じさせるとともに、電解電流により被加工物の表面がピット状に溶解することによる表面粗さの劣化を最小限にして、加工精度を向上させることができる。
<構成>
まず図1に示すように、本発明の高周波振動援用電解研削装置1は、研削砥石2を回転駆動する砥石スピンドル3とを備えるとともに、砥石スピンドル3には、その軸方向に例えば20kHz以上の周波数で高周波振動する高周波加振手段4を、研削砥石2と被加工物Wとの間に電解研削のための電解電源手段5を、そして高周波加振手段4と電解電源手段5を含む研削装置による研削加工を制御する制御手段6を備えている。
そして、図示しない砥石軸スライドが砥石スピンドル3を載置して砥石軸方向に往復動するとともに、被加工物Wをチャックする主軸は切り込み方向に移動する構成を有している。
そして、電解電源手段5は、予め設定した電解用電圧を研削砥石2と被加工物Wとの間に印加する。図中9は、研削砥石2と被加工物Wとの間に介在させる電解液、10は電解により生成する電解生成物である。
このような構成からなる本発明の高周波振動援用電解研削方法について、以下に詳述する。
始めに、電解研削において高周波振動を援用して電解が誘引されたことを確認する方法について説明する。
−電解反応のモニタリング−
[加工条件]
被加工物と硬度:クロムモリブデン鋼(SCM)、硬度58HRC以上の加工内周面がφ4mm、長さ9mmの円筒体
砥石:粒度#2000のダイヤモンド電着砥石
砥粒突出量:0.005mm
研削砥石の回転速度:4000rpm
主軸の回転速度:1000rpm
高周波振動:51kHz、8μmp−p
パルス電源のDUTY比:50%
加工時間:60sec
上記条件により高周波振動援用電解研削加工を行うとともに、研削砥石2と被加工物Wの間の電圧変化を測定し、その結果を図3に表し、またこれと同時に電解研削中の砥石にかかる研削抵抗を測定(動力計を使用)し、その結果を図4に表す。
この測定結果を検討すると、図3に示すごとく、加工の開始から(1)25秒後、及び(2)30秒後に急激な電圧上昇が確認されるとともに、図4に示すごとく、これと同じタイミングで研削抵抗が低下することが確認できる。
これらからして、電解による研削砥石2と被加工物Wの間の電圧が急激に上昇するポイントが、電解開始のポイントであると判断することができる。この極間の電圧が急上昇する現象は、高周波振動を極間に伝搬しなければ起きないことから、電解を誘引しているといえる。
図5は、研削砥石2と被加工物Wの間に電解液を介して印加する電解電源の設定を変化させて、電解の設定電流値が一定以上の場合に電解を誘引するかを3つの条件で測定した。
そして、電解の電流値が6.5A及び3.4Aの場合には、高周波振動を加えると直に急激に電圧が上昇して、電解が誘引されることが確認できるが、1.8Aでは高周波振動を加えても電解を誘引しないことがわかる。そして、この場合に被加工物の除去量が著しく少ないことも確認された。
したがって、高周波振動援用電解研削において鏡面加工を行うためには、できるだけ低い適正な電流密度で電解研削を行うことが求められる。
これにより、電解誘引させるためには、電源パルス波を高電圧としつつも、DUTY比を低くすることが必要であり、これにより、より電流値が低い状態で高周波振動による電解誘引作用を起こすことができる。
・砥石:ダイヤモンド電着砥石#600 砥粒突出量0.01mm
・被加工物:鉄板 厚さ0.05mm
・パルス電源(出力):30V 1A DUTY比50%(1μsON,1μsOFF)
・高周波振動周波数:50kHz 振幅0.008mmp−p
図8(A)は、砥石と被加工物とを接触させ、その間に電解液を滴下した状態を示す。
図8(B)は、砥石を回転させ、極間に電解用電圧を印加し、これにより極間から水素の泡がわずかに発生した状態を示す。
図8(C)は、高周波振動を砥石に伝搬した状態。これにより極間から水素の泡が大量に発生し、極間が0.02mm未満、さらに極が接触した状態でも電解反応が生じることが確認できる。
超音波により発生したキャビテーションは、断熱圧縮過程でエネルギーが集中し、その気泡の圧壊時に五千〜数万度、千数百気圧の高温・高圧の局所場を形成する。そして、水や水溶液に超音波を照射したときに発生するキャビテーションの圧壊による高温反応場において、水分子は分解し、OHラジカル等が生成する。このOHラジカルは、短時間に消滅するものの、高い酸化作用を有することから、電解誘引に効果的に作用するものと考えられる。
2…研削砥石
3…砥石スピンドル
4…高周波加振手段
5…電解電源手段
6…制御手段
7…砥粒
8…導電性結合材
9…電解液
10…電解生成物
W…被加工物
Claims (7)
- JIS R6001の精密研磨用砥石の粒度#400よりも粒子径の小さい非導電性の微細砥粒を、導電性結合材表面に突出させた砥石を用い、該砥石と被加工物との間隙すなわち前記微細砥粒の突出量を0.02mm未満に設定し、
前記砥石もしくは被加工物の何れかに高周波振動を加えつつ、さらに前記砥石と被加工物の間に電解液を介して電気分解用の電圧を印加して前記砥石の周辺にキャビテーションを発生させ、電解作用を誘引、促進した状態を作り出して、
電解研削加工することを特徴とする高周波振動援用電解研削方法。 - 砥石と被加工物との間に印加する電解用電圧をDUTY比5%〜50%のパルス電流で、極間の平均電圧を1〜10Vの範囲とすることを特徴とする請求項1記載の高周波振動援用電解研削方法。
- 前記砥石の周辺にキャビテーションを発生させ、電解作用を誘引、促進した状態に至る過程における前記砥石にかかる研削抵抗の時間変化及び前記砥石と前記被加工物との間の極間電圧の時間変化を測定することによりキャビテーション発生時の極間電圧の時間変化を得て、
当該測定により得られた前記砥石にかかる研削抵抗の減少と同一のタイミングで得られた極間電圧の時間変化と同様の極間電圧変化が生じたときに、前記キャビテーションが発生したとみなして、前記電解研削加工することを特徴とする
請求項1又は2に記載の高周波振動援用電解研削方法。 - 前記極間電圧の時間変化において急激に電圧が上昇するタイミングと、前記研削抵抗の時間変化において研削抵抗が低下するタイミングとの一致により、前記キャビテーションの発生とみなすことを特徴とする
請求項3に記載の高周波振動援用電解研削方法。 - JIS R6001の精密研磨用砥石の粒度#400よりも粒子径の小さい非導電性の微細砥粒を、導電性結合材表面に突出させた砥石と、
該砥石もしくは被加工物の何れかに高周波振動を加える加振手段と、
前記砥石と被加工物との間に電解液を介して電気分解用の電圧を印加することにより電解加工する電解制御手段と、を備え、
前記砥石と被加工物との間隙すなわち前記微細砥粒の突出量を0.02mm未満に設定した状態で、前記高周波振動により前記砥石と被加工物との間に電解液を介して電気分解用の電圧を印加して、前記砥石の周辺にキャビテーションを発生させ、砥石と被加工物の間の電解反応を誘引または促進して電解研削することを特徴とする高周波振動援用電解研削装置。 - 前記砥石と前記被加工物との間の極間電圧の時間変化を測定する電圧計をさらに有し、
前記電圧計を用いた測定により得られた極間電圧の時間変化が所定のパターンを示すときに、前記キャビテーションが発生したとみなして、前記電解研削加工することを特徴とする
請求項5に記載の高周波振動援用電解研削装置。 - 前記砥石にかかる研削抵抗の時間変化を測定する動力計をさらに有し、
前記極間電圧の時間変化が所定のパターンを示すときに、前記動力計による前記砥石にかかる研削抵抗が減少することを確認することを特徴とする請求項6に記載の高周波振動援用電解研削装置。
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