JP5932457B2 - Chuck table and processing apparatus including the chuck table - Google Patents
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- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 46
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 7
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
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Description
本発明は、被加工物である板状ワークを吸引保持するチャックテーブル及びチャックテーブルに吸引保持された板状ワークに加工を施す加工装置に関する。 The present invention relates to a chuck table that sucks and holds a plate-shaped workpiece, which is a workpiece, and a processing apparatus that processes the plate-shaped workpiece sucked and held by the chuck table.
加工装置においては、チャックテーブルにおいて板状ワークを吸引保持し、加工具によって板状ワークを所定の厚みに加工している。チャックテーブルとしては、板状ワークを吸引保持する保持面を有する保持板と、該保持面に吸引力を伝達するための領域を有し保持板を支持する基台と、を備えているものがある(例えば、下記の特許文献1を参照)。 In the processing apparatus, a plate-like workpiece is sucked and held on a chuck table, and the plate-like workpiece is processed to a predetermined thickness by a processing tool. The chuck table includes a holding plate having a holding surface for sucking and holding a plate-like workpiece, and a base having a region for transmitting suction force to the holding surface and supporting the holding plate. (For example, see the following Patent Document 1).
しかしながら、上記のようなチャックテーブルにおいて、例えば四角形の板状ワークを吸引保持しようとしても、チャックテーブルの保持面が円形に形成されていることから、該保持面の一部分が露出し、当該一部分においてエアが漏洩して四角形の板状ワークをチャックテーブルに吸引保持することが困難となっている。したがって、四角形の板状ワークを吸引保持する際には、当該板状ワークの形状に合わせてチャックテーブルを交換して対応している。 However, in the chuck table as described above, for example, even if an attempt is made to suck and hold a square plate-shaped workpiece, the holding surface of the chuck table is formed in a circular shape. Air leaks, making it difficult to suck and hold the rectangular plate-shaped workpiece on the chuck table. Therefore, when sucking and holding a quadrangular plate-shaped workpiece, the chuck table is exchanged in accordance with the shape of the plate-shaped workpiece.
また、円形の板状ワークには、結晶方位識別のためのオリエンテーションフラットが形成されたものと形成されていないものとがあり、オリエンテーションフラットについても、その大きさは板状ワークの種類によって異なる。そのため、オリエンテーションフラットの大きさによっては、保持面の一部分が露出し、当該一部分においてエアが漏洩してしまうという問題がある。 In addition, there are circular plate-shaped workpieces with and without orientation flats for identifying crystal orientation, and the size of the orientation flats varies depending on the type of plate-shaped workpiece. Therefore, depending on the size of the orientation flat, there is a problem that a part of the holding surface is exposed and air leaks in the part.
本発明は、上記の事情にかんがみてなされたものであり、形状の異なる板状ワークをチャックテーブルの保持面に吸引保持できるようにすることに発明の解決すべき課題がある。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and there is a problem to be solved by allowing the plate-like workpieces having different shapes to be sucked and held on the holding surface of the chuck table.
本発明は、吸引源に連通する吸引部の保持面において板状ワークを吸引保持するチャックテーブルであって、該吸引部は、中央部分に配設され四角形の保持面を有する第1の吸引部と、該第1の吸引部の外側に配設された4つの第2の吸引部と、により構成され、該4つの第2の吸引部の外周によって囲まれた領域は、円形の外周部分にオリエンテーションフラットを有する板状ワークと相似形でかつ該板状ワークと同じ大きさか該板状ワークより小さく、該吸引部の側面を封鎖する封鎖部を備え、該封鎖部によって隣接する該第1の吸引部と該第2の吸引部とが隔てられており、該第1の吸引部を該吸引源に連通させる第1の連通孔と、該第2の吸引部を該吸引源に連通させる第2の連通孔と、を備え、該第1の吸引部では四角形の板状ワークを吸引保持し、該第1の吸引部及び該第2の吸引部ではオリエンテーションフラットを有する板状ワークを吸引保持する。 The present invention relates to a chuck table that sucks and holds a plate-like workpiece on a holding surface of a suction portion that communicates with a suction source, and the suction portion is a first suction portion that is disposed in a central portion and has a square holding surface. And four second suction parts disposed outside the first suction part, and the region surrounded by the outer circumferences of the four second suction parts is a circular outer peripheral part. A first portion that is similar to a plate-like workpiece having an orientation flat and has the same size as the plate-like workpiece or smaller than the plate-like workpiece and has a blocking portion that seals a side surface of the suction portion , and is adjacent to the first blocking portion A suction part and the second suction part are separated from each other, a first communication hole that communicates the first suction part with the suction source, and a first communication hole that communicates the second suction part with the suction source. It includes a second communication hole, a square plate-like follower in the first suction portion Suction-holding the click, the suction portion of the first and the second suction portion for sucking and holding a plate-like workpiece having an orientation flat.
前記4つの第2の吸引部の外側に配設された第3の吸引部を備え、該4つの第2の吸引部を前記吸引源に連通させる第2の連通孔と、該第3の吸引部を該吸引源に連通させる第3の連通孔と、を備える。 The includes four third suction portion disposed outside of the second suction unit, a second communication hole for communicating said four second suction unit to the suction source, the suction of the third And a third communication hole for communicating the part with the suction source.
さらに、本発明は、吸引源に連通する吸引部の保持面において板状ワークを吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに吸引保持された板状ワークを加工する加工手段と、を備えた加工装置であって、該チャックテーブルは、中央部分に配設され四角形の保持面を有する第1の吸引部と、該第1の吸引部の外側に配設される少なくとも4つの第2の吸引部と、該第2の吸引部の外側に配設される第3の吸引部と、により構成される吸引部と、該吸引部の側面を封鎖する封鎖部と、該第1の吸引部に連通する該第1の連通孔と、該第2の吸引部に連通する該第2の連通孔と、該第3の吸引部に連通する該第3の連通孔と、により構成され、該加工装置は、該第1の連通孔を該吸引源に接続させる第1の配管と、該第1の配管に配設される第1のバルブと、該第2の連通孔を該吸引源に接続させる第2の配管と、該第2の配管に配設される第2のバルブと、該第3の連通孔を該吸引源に接続させる第3の配管と、該第3の配管に配設される第3のバルブと、を備え、該第1のバルブと該第2のバルブと該第3のバルブとの開閉をそれぞれ切り替えることによって該保持面の面積を変更可能にする。 Furthermore, the present invention provides a processing comprising: a chuck table that sucks and holds a plate-like workpiece on a holding surface of a suction portion that communicates with a suction source; and a processing means that processes the plate-like workpiece sucked and held by the chuck table. The chuck table includes a first suction part having a square holding surface disposed at a central portion, and at least four second suction parts disposed outside the first suction part. And a third suction part disposed outside the second suction part, a sealing part for sealing a side surface of the suction part, and a communication with the first suction part The processing device is configured by the first communication hole, the second communication hole communicating with the second suction portion, and the third communication hole communicating with the third suction portion. A first pipe for connecting the first communication hole to the suction source, and the first pipe. A first valve, a second pipe connecting the second communication hole to the suction source, a second valve disposed in the second pipe, and the third communication hole. A third pipe connected to the suction source; and a third valve disposed in the third pipe; and opening and closing of the first valve, the second valve, and the third valve. By changing each of these, the area of the holding surface can be changed.
本発明は、チャックテーブルにおいて、吸引源に連通する吸引部を備えており、該吸引部は、中央部分に四角形の保持面を有する第1の吸引部と、第1の吸引部の外側に配設された4つの第2の吸引部とにより構成され、4つの第2の吸引部の外周によって囲まれた領域は、円形の外周部分にオリエンテーションフラットを有する板状ワークと相似形でかつ該板状ワークと同じ大きさか該板状ワークより小さく、吸引部の側面を封鎖する封鎖部を備えている。そのため、第1の吸引部と第2の吸引部とは封鎖部によって隔てられるため、第1の吸引部と第2の吸引部とにおける吸引作用を個別に設定することができる。そして、吸引源から発生する吸引力を第1の吸引部ばかりでなく、第2の吸引部にも伝達することができるため、異なる形状の板状ワークを1つのチャックテーブルにおいて吸引保持することができる。 The chuck table includes a suction portion that communicates with a suction source, and the suction portion is disposed outside the first suction portion and a first suction portion having a square holding surface at the center. is composed of the four second suction portion which is set, four regions surrounded by the outer circumference of the second suction portion, a plate-shaped workpiece shape similar having an orientation flat on the outer peripheral portion of the circular and the plate A sealing part that seals the side surface of the suction part that is the same size as or smaller than the plate-like work . Therefore, since the 1st suction part and the 2nd suction part are separated by the blocking part, the suction action in the 1st suction part and the 2nd suction part can be set up individually. Since the suction force generated from the suction source can be transmitted not only to the first suction part but also to the second suction part, plate-shaped workpieces having different shapes can be sucked and held on one chuck table. it can.
上記の第2の吸引部の外側に配設された第3の吸引部を備え、第2の吸引部には、第2の吸引部を吸引源に連通させる第2の連通孔を備え、第3の吸引部には、第3の吸引部を吸引源に連通させる第3の連通孔を備えてあるため、吸引源から発生する吸引力を第1の吸引部、第2の吸引部及び第3の吸引部にも伝達することができ、例えば、四角形の板状ワークや円形の板状ワークなどを1つのチャックテーブルにおいて吸引保持することができる。 Comprises a third suction portion disposed outside of the second suction unit described above, the second suction unit, a second communication hole for communicating the second suction portion to a suction source, the Since the third suction portion is provided with a third communication hole that allows the third suction portion to communicate with the suction source, the suction force generated from the suction source can be generated by the first suction portion, the second suction portion, and the second suction portion. For example, a rectangular plate-shaped workpiece or a circular plate-shaped workpiece can be sucked and held by one chuck table.
さらに、本発明は、上記の第1の吸引部、第2の吸引部及び第3の吸引部を備えるチャックテーブルと、板状ワークを加工する加工手段と、を備えた加工装置であって、加工装置には、第1の連通孔を吸引源に接続させる第1の配管と、第1の配管に配設される第1のバルブと、第2の連通孔を吸引源に接続させる第2の配管と、第2の配管に配設される第2のバルブと、第3の連通孔を吸引源に接続させる第3の配管と、第3の配管に配設される第3のバルブと、を備えるため、第1のバルブと第2のバルブと第3のバルブとの開閉をそれぞれ切り替えて板状ワークが吸引保持される保持面の面積を変更することができる。したがって、形状や大きさの異なる板状ワークであっても、1つのチャックテーブルの保持面において板状ワークを吸引保持することができ、保持面の一部分においてエアが外部に漏洩することはない。また、本発明では、異なる形状の板状ワークに対応するためにチャックテーブルを交換する必要がないため、チャックテーブルの保持面と加工手段の加工具との位置関係が常に維持される。したがって、チャックテーブルの保持面と加工手段の加工具との位置関係を設定するセットアップの作業が不要となり、板状ワークの形状や大きさが変わっても、板状ワークの加工精度を維持することができる。 Furthermore, the present invention is a processing apparatus including a chuck table including the first suction unit, the second suction unit, and the third suction unit, and a processing unit that processes a plate-shaped workpiece, The processing apparatus includes a first pipe that connects the first communication hole to the suction source, a first valve that is disposed in the first pipe, and a second pipe that connects the second communication hole to the suction source. A second valve arranged in the second pipe, a third pipe connecting the third communication hole to the suction source, and a third valve arranged in the third pipe Therefore, the area of the holding surface on which the plate-like workpiece is sucked and held can be changed by switching between opening and closing of the first valve, the second valve, and the third valve. Therefore, even plate-like workpieces having different shapes and sizes can be sucked and held by the holding surface of one chuck table, and air does not leak to the outside at a part of the holding surface. In the present invention, since it is not necessary to replace the chuck table in order to cope with plate-shaped workpieces having different shapes, the positional relationship between the holding surface of the chuck table and the processing tool of the processing means is always maintained. Therefore, setup work to set the positional relationship between the holding surface of the chuck table and the processing tool is not required, and the processing accuracy of the plate workpiece can be maintained even if the shape and size of the plate workpiece change. Can do.
図1に示すチャックテーブル1は、形状の異なる板状ワークを吸引保持することができるチャックテーブルである。チャックテーブル1は、図2に示すように、板状ワークに加工を施す加工手段15を有する加工装置100に搭載されている。
A chuck table 1 shown in FIG. 1 is a chuck table capable of sucking and holding plate-like workpieces having different shapes. As shown in FIG. 2, the chuck table 1 is mounted on a
図1に示すように、チャックテーブル1は、リング状の枠体10と、枠体10の内側に配設された第1の吸引部2、第2の吸引部3a及び第2の吸引部3b並びに第3の吸引部4とを備えている。これらの吸引部の構成を説明すると、チャックテーブル1の中央部分には、板状ワークを吸引保持する四角形の保持面20を有する第1の吸引部2が配設されている。第1の吸引部2の外側には、第1の吸引部2を囲むようにして少なくとも4つの吸引部、すなわち、板状ワークを吸引保持する保持面21を有する3つの第2の吸引部3a及び1つの第2の吸引部3bが配設されている。さらに、第2の吸引部3bの外側には、板状ワークを吸引保持する保持面22を有する第3の吸引部4が配設されている。第1の吸引部2と、第2の吸引部3aと、第2の吸引部3bと、第3の吸引部4とで、全体として吸引部200が構成されている。
As shown in FIG. 1, the chuck table 1 includes a ring-
図1に示す第1の吸引部2、第2の吸引部3a及び第2の吸引部3b、第3の吸引部4は、いずれもポーラス部材により形成されている。
The
図1に示すように、第1の吸引部2の側面には、該第1の吸引部2の側面を封鎖する封鎖部5を備えており、この封鎖部5によって、第1の吸引部2と、第1の吸引部2に隣接する第2の吸引部3a及び第2の吸引部3bとが隔てられている。また、第2の吸引部3bと第3の吸引部4との間にも封鎖部5を備えており、第2の吸引部3bと、第3の吸引部4とが隔てられている。したがって、封鎖部5は、第1の吸引部2と、第2の吸引部3a及び第2の吸引部3bと、第3の吸引部4とにそれぞれ個別に吸引作用を発揮させることができる。
As shown in FIG. 1, a side surface of the
図2に示すように、第1の吸引部2の下端には、第1の吸引部2と吸引源9とを連通させるための第1の連通孔6が形成されている。さらに、この第1の連通孔6と吸引源9とを連通させるために、第1の配管11の一端が第1の連通孔6に接続され、他端が吸引源9に接続されている。図2に示すように、第1の配管11は、ロータリジョイントからなる分岐部14を経由しており、また、第1の配管11の開閉を制御する第1のバルブ110が第1の配管11に配設されている。第1のバルブ110を開くと、吸引源9から発生する吸引力を第1の吸引部2に伝達することができる。
As shown in FIG. 2, a
第2の吸引部3a及び第2の吸引部3bの下端には、第2の吸引部3a及び第2の吸引部3bと吸引源9とを連通させるための第2の連通孔7が形成されている。さらに、この第2の連通孔7と吸引源9とを連通させるために、第2の配管12の一端が第2の連通孔7に接続され、他端が吸引源9に接続されている。第2の配管12は、分岐部14を経由しており、第2の配管12の開閉を制御する第2のバルブ120が第2の配管12に配設されている。第2のバルブ120を開くと、吸引源9から発生する吸引力を第2の吸引部3a及び第2の吸引部3bに伝達することができる。
At the lower ends of the
第3の吸引部4の下端には、第3の吸引部4と吸引源9とを連通させるための第3の連通孔8が形成されている。さらに、この第3の連通孔8と吸引源9とを連通させるために、第3の配管13の一端が第3の連通孔8に接続され、他端が吸引源9に接続されている。第3の配管13は、分岐部14を経由しており、第3の配管13の開閉を制御する第3のバルブ130が第3の配管13に配設されている。第3のバルブ130を開くと、吸引源9から発生する吸引力を第3の吸引部4に伝達することができる。
A
上記のように構成されるチャックテーブル1では、第1のバルブ110、第2のバルブ120及び第3のバルブ130を個別に開閉することができ、板状ワークを吸引保持する面積を変更することができる。例えば、吸引源9を作動させ第1のバルブ110を開くと、第1の吸引部2の保持面20において板状ワークを吸引保持できる。第1のバルブ110に加えて第2のバルブ120を開くと、図1に示す保持面20に加えて隣接する保持面21まで板状ワークを吸引保持できる面積が広がる。さらに、第3のバルブ130を開くと、第2の吸引部3bの保持面21に隣接する保持面22まで板状ワークを吸引保持できる面積が広がる。
In the chuck table 1 configured as described above, the
加工手段15は、例えば、研削砥石を備え昇降移動可能となっており、板状ワークを所定の厚みに研削加工することができる。なお、加工手段15は、特に研削加工を施すものに限定されるものではない。 The processing means 15 includes, for example, a grinding wheel and can move up and down, and can grind a plate-like workpiece to a predetermined thickness. The processing means 15 is not particularly limited to the one that performs grinding.
以下においては、上記のように構成されたチャックテーブル1の動作について図3乃至図9を参照しながら説明する。なお、図3(a)に示す板状ワーク30は、第1の吸引部2と相似形の四角形に形成され、第1の吸引部2と同じ大きさか第1の吸引部2より若干大きく形成された被加工物である。図3(b)に示す板状ワーク31は、第2の吸引部3a及び3bの外周と相似形に形成され、当該外周と同じ大きさか当該外周より若干大きく形成され、円形の外周部分にオリエンテーションフラット310が形成され第二の被加工物である。図3(c)に示す板状ワーク32は、第2の吸引部3a及び3bと第3の吸引部4との外周と相似形に形成され、当該外周と同じ大きさか当該外周より若干大きく形成された円形の被加工物である。
Hereinafter, the operation of the chuck table 1 configured as described above will be described with reference to FIGS. 3 to 9. The plate-
チャックテーブル1により図3(a)に示す板状ワーク30を吸引保持する動作について説明する。図4に示すように、四角形の板状ワーク30を第1の吸引部2の保持面20に載置する。板状ワーク30が保持面20に載置されたら、第1のバルブ110のみ開くとともに、吸引源9から吸引力を発生させる。
An operation of sucking and holding the plate-
第1のバルブ110が開かれると、吸引力が、第1の配管11及び第1の連通孔6を介して第1の吸引部2の保持面20に伝達される。そして、第1の連通孔6に負圧が発生し板状ワーク30を下方に引っ張る。これにより、図5に示すように、板状ワーク30がチャックテーブル1に吸引保持される。次いで、図4に示す加工手段15を作動させ、板状ワーク30を所定の厚みに加工する。
When the
次に、チャックテーブル1により図3(b)に示す板状ワーク31を吸引保持する動作について説明する。図6に示す板状ワーク31を第1の吸引部2の保持面20並びに第2の吸引部3a及び第2の吸引部3bの保持面21に載置する。次いで、図6に示すように、第1のバルブ110及び第2のバルブ120を開くとともに、吸引源9から吸引力を発生させる。
Next, the operation of sucking and holding the plate-
第1のバルブ110が開かれると、吸引力が、第1の配管11及び第1の連通孔を介して第1の吸引部2の保持面20に伝達され、第2のバルブ120が開かれると、吸引力が、第2の配管12及び第2の連通孔7を介して第2の吸引部3a及び第3の吸引部3bの保持面21に伝達される。その結果、板状ワーク31を吸引保持する面積が保持面20に隣接する保持面21まで広がり、板状ワーク31は、第1の吸引部2だけでなく、第1の吸引部2に隣接する第2の吸引部3a及び第2の吸引部3bの保持面21においても吸引保持され、図7に示すように、板状ワーク31の全面がチャックテーブル1に吸引保持される。次いで、図6に示す加工手段15を作動させ、板状ワーク31を所定の厚みに加工する。
When the
次に、チャックテーブル1により図3(c)に示した板状ワーク32を吸引保持する動作について説明する。図8に示す板状ワーク32を第1の吸引部2の保持面20、第2の吸引部3a及び第2の吸引部3bの保持面21並びに第3の吸引部4の保持面22に載置する。次いで、図8に示すように、第1のバルブ110、第2のバルブ120及び第3のバルブ130を開くとともに、吸引源9から吸引力を発生させる。
Next, the operation of sucking and holding the plate-
第1のバルブ110及び第2のバルブ120が開かれると、吸引力が、それぞれ第1の吸引部2の保持面20と第2の吸引部3a及び第2の吸引部3bの保持面21とに伝達され、第3のバルブ130が開かれると、吸引力が、第3の配管13及び第3の連通孔8を介して第3の吸引部4の保持面22に伝達される。その結果、板状ワーク32を吸引保持する面積が保持面21に隣接する保持面22まで広がり、板状ワーク32は、第1の吸引部2、第2の吸引部3a及び第2の吸引部3bだけでなく、第2の吸引部3bの外側に配設された第3の吸引部4の保持面22においても吸引保持され、図9に示すように、板状ワーク32がチャックテーブル1に吸引保持される。次いで、加工手段15を作動させ、板状ワーク32を所定の厚みに加工する。
When the
なお、実施形態に示した四角形の板状ワーク30としては、例えば、フェライト基板や生セラミクス基板がある。
Examples of the rectangular plate-
実施形態に示したチャックテーブル1には、四角形の板状ワーク30を吸引保持できる第1の吸引部2と、オリエンテーションフラットが形成された円形の板状ワーク31を吸引保持できる第2の吸引部3a,3bと、略円形の板状ワーク32を吸引保持できる第3の吸引部4とを備え、これらの吸引部のそれぞれに第1の連通孔6、第2の連通孔7及び第3の連通孔8を備えている。チャックテーブル1を備えた加工装置100には、それぞれの連通孔を吸引源9に接続させる第1の配管11、第2の配管12及び第3の配管13と、これらに第1のバルブ110、第2のバルブ120及び第3のバルブ130がそれぞれ配設されている。そのため、板状ワークの形状や大きさに合わせて第1のバルブ110と第2のバルブ120と第3のバルブ130とを切り替えて板状ワークが吸引保持される保持面の面積を変更することができる。このように、チャックテーブルに吸引保持される被加工物が形状の異なる板状ワークであっても、チャックテーブルの保持面に板状ワークを吸引保持することができ、保持面の一部分が露出して、一部分におけるエアが外部に漏洩することはない。
The chuck table 1 shown in the embodiment includes a
1:チャックテーブル 10:枠体 100:加工装置
200:吸引部
2:第1の吸引部 3a,3b:第2の吸引部 4:第3の吸引部
5:封鎖部
6:第1の連通孔 7:第2の連通孔 8:第3の連通孔
9:吸引源
11:第1の配管 110:第1のバルブ
12:第2の配管 120:第2のバルブ
13:第3の配管 130:第3のバルブ
14:分岐部 15:加工手段
20,21,22:保持面
30,31,32:板状ワーク 310:オリエンテーションフラット
1: Chuck table 10: Frame body 100: Processing device 200: Suction unit 2:
Claims (3)
該吸引部は、中央部分に配設され四角形の保持面を有する第1の吸引部と、
該第1の吸引部の外側に配設された4つの第2の吸引部と、により構成され、
該4つの第2の吸引部の外周によって囲まれた領域は、円形の外周部分にオリエンテーションフラットを有する板状ワークと相似形でかつ該板状ワークと同じ大きさか該板状ワークより小さく、
該吸引部の側面を封鎖する封鎖部を備え、該封鎖部によって隣接する該第1の吸引部と該第2の吸引部とが隔てられており、
該第1の吸引部を該吸引源に連通させる第1の連通孔と、
該第2の吸引部を該吸引源に連通させる第2の連通孔と、を備え、
該第1の吸引部では四角形の板状ワークを吸引保持し、該第1の吸引部及び該第2の吸引部ではオリエンテーションフラットを有する板状ワークを吸引保持する
チャックテーブル。 A chuck table for sucking and holding a plate-like workpiece on a holding surface of a suction portion communicating with a suction source,
The suction part is a first suction part disposed in the central portion and having a rectangular holding surface;
And four second suction parts arranged outside the first suction part,
The region surrounded by the outer circumferences of the four second suction parts is similar to a plate-like workpiece having an orientation flat in a circular outer circumferential portion, and is the same size as the plate-like workpiece or smaller than the plate-like workpiece,
A sealing part that seals a side surface of the suction part; the first suction part and the second suction part adjacent to each other are separated by the sealing part;
A first communication hole for communicating the first suction part with the suction source;
A second communication hole for communicating the second suction part with the suction source ,
A chuck table for holding and holding a rectangular plate-shaped workpiece by the first suction section, and for holding and holding a plate-shaped workpiece having an orientation flat by the first suction section and the second suction section .
該4つの第2の吸引部を前記吸引源に連通させる第2の連通孔と、
該第3の吸引部を該吸引源に連通させる第3の連通孔と、を備える請求項1記載のチャックテーブル。 Comprises a third suction portion disposed outside of said four second suction portion,
A second communication hole for communicating the four second suction portions with the suction source;
The chuck table according to claim 1, further comprising: a third communication hole that allows the third suction portion to communicate with the suction source.
該チャックテーブルは、中央部分に配設され四角形の保持面を有する第1の吸引部と、該第1の吸引部の外側に配設される少なくとも4つの第2の吸引部と、該第2の吸引部の外側に配設される第3の吸引部と、により構成される吸引部と、
該吸引部の側面を封鎖する封鎖部と、
該第1の吸引部に連通する該第1の連通孔と、
該第2の吸引部に連通する該第2の連通孔と、
該第3の吸引部に連通する該第3の連通孔と、により構成され、
該加工装置は、該第1の連通孔を該吸引源に接続させる第1の配管と、該第1の配管に配設される第1のバルブと、
該第2の連通孔を該吸引源に接続させる第2の配管と、該第2の配管に配設される第2のバルブと、
該第3の連通孔を該吸引源に接続させる第3の配管と、該第3の配管に配設される第3のバルブと、を備え、
該第1のバルブと該第2のバルブと該第3のバルブとの開閉をそれぞれ切り替えることによって該保持面の面積を変更可能にする加工装置。 A processing apparatus comprising: a chuck table that sucks and holds a plate-like workpiece on a holding surface of a suction portion that communicates with a suction source; and a processing means that processes the plate-like workpiece sucked and held by the chuck table,
The chuck table includes a first suction part disposed at a central portion and having a rectangular holding surface, at least four second suction parts disposed outside the first suction part, and the second A suction part constituted by a third suction part disposed outside the suction part;
A blocking part for blocking the side surface of the suction part;
The first communication hole communicating with the first suction portion;
The second communication hole communicating with the second suction portion;
The third communication hole communicating with the third suction portion, and
The processing apparatus includes: a first pipe that connects the first communication hole to the suction source; a first valve that is disposed in the first pipe;
A second pipe connecting the second communication hole to the suction source; a second valve disposed in the second pipe;
A third pipe connecting the third communication hole to the suction source, and a third valve disposed in the third pipe,
A processing apparatus that makes it possible to change the area of the holding surface by switching between opening and closing of the first valve, the second valve, and the third valve.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012098649A JP5932457B2 (en) | 2012-04-24 | 2012-04-24 | Chuck table and processing apparatus including the chuck table |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012098649A JP5932457B2 (en) | 2012-04-24 | 2012-04-24 | Chuck table and processing apparatus including the chuck table |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013226607A JP2013226607A (en) | 2013-11-07 |
JP5932457B2 true JP5932457B2 (en) | 2016-06-08 |
Family
ID=49674846
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012098649A Active JP5932457B2 (en) | 2012-04-24 | 2012-04-24 | Chuck table and processing apparatus including the chuck table |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5932457B2 (en) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6654850B2 (en) * | 2015-10-13 | 2020-02-26 | 株式会社ディスコ | Processing equipment |
JP7250485B2 (en) * | 2018-11-14 | 2023-04-03 | リンテック株式会社 | Holding device and holding method |
JP2023114618A (en) | 2022-02-07 | 2023-08-18 | 株式会社ディスコ | Substrate processing device, and substrate processing method |
JP2024027259A (en) | 2022-08-17 | 2024-03-01 | 株式会社ディスコ | Chuck table manufacturing method |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0839376A (en) * | 1994-07-29 | 1996-02-13 | Ckd Corp | Adsorbing plate of vacuum chuck and manufacture of vacuum chuck and adsorbing plate |
JP3469999B2 (en) * | 1996-10-30 | 2003-11-25 | 京セラ株式会社 | Adsorber manufacturing method |
JP2002324831A (en) * | 2001-04-26 | 2002-11-08 | Takatori Corp | Vacuum suction table |
JP4908263B2 (en) * | 2007-02-27 | 2012-04-04 | 太平洋セメント株式会社 | Vacuum adsorption apparatus and method for manufacturing the same |
JP5244548B2 (en) * | 2008-11-12 | 2013-07-24 | 株式会社ディスコ | Holding table and processing device |
-
2012
- 2012-04-24 JP JP2012098649A patent/JP5932457B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013226607A (en) | 2013-11-07 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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