JP5926128B2 - Manufacturing method of laminated body having photocurable resin layer, capacitive input device, manufacturing method thereof, and image display device including the same - Google Patents

Manufacturing method of laminated body having photocurable resin layer, capacitive input device, manufacturing method thereof, and image display device including the same Download PDF

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Description

本発明は、光硬化性樹脂層を有する積層体の製造方法、指の接触位置を静電容量の変化として検出可能な静電容量型入力装置の製造方法、および、当該製造方法によって得られる静電容量型入力装置、並びに、当該静電容量型入力装置を構成要素として備えた画像表示装置に関するものである。   The present invention relates to a method for producing a laminate having a photocurable resin layer, a method for producing a capacitive input device capable of detecting a contact position of a finger as a change in capacitance, and a static obtained by the production method. The present invention relates to a capacitive input device and an image display device including the capacitive input device as a constituent element.

携帯電話、カーナビゲーション、パーソナルコンピュータ、券売機、銀行の端末などの電子機器では、近年、液晶装置などの表面にタブレット型の入力装置が配置され、液晶装置の画像表示領域に表示された指示画像を参照しながら、この指示画像が表示されている箇所に指またはタッチペンなどを触れることで、指示画像に対応する情報の入力が行えるものがある。   In recent years, electronic devices such as mobile phones, car navigation systems, personal computers, ticket vending machines, and bank terminals have been equipped with a tablet-type input device on the surface of a liquid crystal device, etc., and an instruction image displayed in the image display area of the liquid crystal device In some cases, information corresponding to the instruction image can be input by touching a part where the instruction image is displayed with a finger or a touch pen.

このような入力装置(タッチパネル)には、抵抗膜型、静電容量型などがある。しかし、抵抗膜型の入力装置は、フィルムとガラスとの2枚構造でフィルムを押下してショートさせる構造のため、動作温度範囲の狭さや、経時変化に弱いという欠点を有している。   Such input devices (touch panels) include a resistance film type and a capacitance type. However, the resistance film type input device has a drawback that it has a narrow operating temperature range and is susceptible to changes over time because it has a two-layer structure of film and glass that is shorted by pressing the film.

これに対して、静電容量型の入力装置は、単に一枚の基板に透光性導電膜を形成すればよいという利点がある。かかる静電容量型の入力装置では、例えば、互いに交差する方向に電極パターンを延在させて、指などが接触した際、電極間の静電容量が変化することを検知して入力位置を検出するタイプのものがある(例えば、下記特許文献1参照)。   On the other hand, the capacitance-type input device has an advantage that a light-transmitting conductive film is simply formed on a single substrate. In such a capacitance-type input device, for example, electrode patterns are extended in directions intersecting each other, and when a finger or the like comes into contact, the capacitance between the electrodes is detected to detect the input position. (For example, refer to Patent Document 1 below).

また、静電容量型の入力装置としては、透光性導電膜の両端に同相、同電位の交流を印加し、指が接触あるいは近接してキャパシタが形成される際に流れる微弱電流を検知して入力位置を検出するタイプのものもある。このような静電容量型入力装置として、複数のパッド部分を、接続部分を介して第一の方向に延在して形成された複数の第一の透明電極パターンと前記第一の透明電極パターンと層間絶縁層を介して電気的に絶縁され、第一の方向に交差する方向に延在して形成された複数のパッド部分からなる複数の第二の透明電極パターンを備えた静電容量型入力装置が開示されている(例えば、下記特許文献2参照)。しかしながら、当該静電容量型入力装置は作製した静電容量型入力装置にガラス製の前面板を積層するため、特許文献2に記載の静電容量型入力装置は厚く、また重いものであった。   In addition, as an electrostatic capacitance type input device, an alternating current of the same phase and the same potential is applied to both ends of the translucent conductive film to detect a weak current flowing when a capacitor is formed in contact with or close to a finger. Some types detect the input position. As such a capacitive input device, a plurality of first transparent electrode patterns and a plurality of first transparent electrode patterns formed by extending a plurality of pad portions in a first direction via connecting portions. And a plurality of second transparent electrode patterns comprising a plurality of pad portions formed to extend in a direction crossing the first direction and electrically insulated via an interlayer insulating layer An input device is disclosed (for example, see Patent Document 2 below). However, since the capacitance type input device is formed by laminating a glass front plate on the produced capacitance type input device, the capacitance type input device described in Patent Document 2 is thick and heavy. .

さらに、前面板の非接触側表面に、マスク層、センス回路、層間絶縁層が一体に形成されている静電容量型タッチパネルが開示されている(例えば、下記特許文献3参照)。当該特許文献3には、静電容量型タッチパネルは、前面板が静電容量型入力装置と一体化しているため、薄層/軽量化が可能となるとの記載があるが、詳細な製造方法については記載されていない。   Furthermore, a capacitive touch panel is disclosed in which a mask layer, a sense circuit, and an interlayer insulating layer are integrally formed on the non-contact side surface of the front plate (see, for example, Patent Document 3 below). Patent Document 3 describes that the capacitive touch panel has a front plate integrated with the capacitive input device, so that a thin layer / lightweight can be achieved. Is not listed.

一方、第一および第二の透明電極の材質としてITO(酸化インジウムスズ)を用い、真空蒸着、液体レジストによるパターニング形成(露光/現像)をした後、液体レジストに被覆されていない部分をエッチング処理し、所望の透明電極パターンを形成する方法が開示されている(例えば、特許文献4参照)。しかし、当該方法によると製造装置が高価であり、コスト低減が容易でない、という問題がある。   On the other hand, ITO (Indium Tin Oxide) is used as the material for the first and second transparent electrodes. After vacuum deposition and patterning with liquid resist (exposure / development), the portions not covered with liquid resist are etched. And the method of forming a desired transparent electrode pattern is disclosed (for example, refer patent document 4). However, according to this method, there is a problem that the manufacturing apparatus is expensive and the cost reduction is not easy.

一方、薄層/軽量化が実現できる静電容量型入力装置を形成する観点から、ガラス以外の可撓性の支持体として、枚葉のプラスチック基板や、ロール状のプラスチックフィルムなどが提案されている(例えば、下記特許文献5参照)。   On the other hand, from the viewpoint of forming a capacitive input device capable of realizing a thin layer / weight reduction, a single-wafer plastic substrate or a roll-shaped plastic film has been proposed as a flexible support other than glass. (For example, see Patent Document 5 below).

特開2007−122326号公報JP 2007-122326 A 特許第4506785号公報Japanese Patent No. 4506785 特開2009−193587号公報JP 2009-193587 A 米国特許出願公開第2008−0264699号US Patent Application Publication No. 2008-0264699 特開平4−264613号公報JP-A-4-264613 特開2006−307056号公報JP 2006-307056 A 特開2004−272043号公報JP 2004-272043 A 特開2008−242190号公報JP 2008-242190 A 特開2011−095716号公報JP 2011-095716 A

しかしながら、特許文献5に記載の方法で可撓性支持体上に光硬化性樹脂層を積層した場合、可撓性支持体と光硬化性樹脂層との密着性に改善が求められるものであった。また、光硬化性樹脂層を硬化したときの欠陥の観点からも、改善が求められるものであった。   However, when a photocurable resin layer is laminated on a flexible support by the method described in Patent Document 5, an improvement is required in the adhesion between the flexible support and the photocurable resin layer. It was. Moreover, the improvement was calculated | required also from a viewpoint of a defect when hardening | curing a photocurable resin layer.

本発明が解決しようとする課題は、可撓性支持体上に光硬化性樹脂層有し、硬化後に可撓性支持体と光硬化性樹脂層の密着性に優れ、硬化後に可撓性支持体の端部まで欠陥が少ない光硬化性樹脂層を有する積層体の製造方法を提供することにある。   The problem to be solved by the present invention is to have a photocurable resin layer on a flexible support, have excellent adhesion between the flexible support and the photocurable resin layer after curing, and have a flexible support after curing. It is providing the manufacturing method of the laminated body which has a photocurable resin layer with few defects to the edge part of a body.

ここで、従来のガラス支持体に対して、光硬化性樹脂層を形成する場合には、シランカップリング剤で表面処理を行ったり、プラズマ処理、紫外線処理により支持体表面に凹凸を作ったりすることにより、上層の密着性を向上させられることが知られている。しかしながら、本発明者が検討したところ、これらの方法はプラスチック基板などの可撓性支持体と光硬化性樹脂層との密着性向上に対しては必ずしも有効ではなかったことがわかった。   Here, when forming a photocurable resin layer on a conventional glass support, surface treatment is performed with a silane coupling agent, or irregularities are formed on the support surface by plasma treatment or ultraviolet treatment. It is known that the adhesion of the upper layer can be improved. However, as a result of studies by the present inventors, it has been found that these methods are not always effective for improving the adhesion between a flexible support such as a plastic substrate and a photocurable resin layer.

ここで、静電容量型入力装置以外の表示装置分野において、特許文献6および7には可撓性支持体の表面を改良する方法として、セルロースアシレートフィルムをアルカリ鹸化する方法が記載されているものの、光硬化性樹脂と積層したときの密着性向上については何ら検討されていなかった。
特許文献8には、従来のガラス基板の代わりにプラスチックフィルムを用い、液状の黒色レジストを用いて遮光層を形成したカラーフィルターが記載されているものの、この文献に記載の方法では硬化後にフィルム端部まで遮光層を形成することが困難であった。
また、特許文献9には、着色感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂層を有する転写材料を、無アルカリガラス基板上にラミネートした後、パターン露光して硬化させたカラーフィルター用の着色樹脂パターンが記載されているものの、可撓性支持体上に感光性樹脂層を転写した例は記載されていなかった。さらに本発明者が検討したところ、特許文献9に記載の感光性フィルムを用いて可撓性支持体上に光硬化性樹脂層を形成すると、硬化後に可撓性支持体の端部まで遮光パターンなどの光硬化性樹脂層を形成することができるものの、パターニングした際に密着が不十分でハガレを生じることがあることがわかった。
Here, in the display device field other than the capacitive input device, Patent Documents 6 and 7 describe a method of alkali saponifying a cellulose acylate film as a method for improving the surface of a flexible support. However, no investigation has been made on improving adhesion when laminated with a photocurable resin.
Patent Document 8 describes a color filter in which a plastic film is used in place of a conventional glass substrate and a light-shielding layer is formed using a liquid black resist. It was difficult to form a light shielding layer up to the part.
Patent Document 9 discloses a colored resin pattern for a color filter obtained by laminating a transfer material having a photosensitive resin layer containing a colored photosensitive resin composition on an alkali-free glass substrate, and then curing the pattern by exposing the pattern. However, an example in which a photosensitive resin layer was transferred onto a flexible support was not described. Further, when the present inventor examined, when a photocurable resin layer was formed on a flexible support using the photosensitive film described in Patent Document 9, a light shielding pattern was formed up to the end of the flexible support after curing. Although it was possible to form a photo-curable resin layer such as the above, it was found that adhesion was insufficient when patterning and peeling occurred.

これに対し、本発明者が、可撓性支持体の少なくとも一方の表面をアルカリ処理してから、光硬化性樹脂層を具備する感光性フィルム転写材料を転写したところ、硬化後の可撓性支持体と光硬化性樹脂層との密着性が向上し、さらに硬化後の硬化後に可撓性支持体の端部まで欠陥が少なくなることを見出すに至った。   On the other hand, when the inventor transferred the photosensitive film transfer material provided with the photocurable resin layer after alkali-treating at least one surface of the flexible support, the flexibility after curing was determined. It has been found that the adhesion between the support and the photocurable resin layer is improved, and defects are reduced to the end of the flexible support after curing after curing.

前記課題を解決するための具体的手段である本発明は以下のとおりである。
[1] 可撓性支持体の少なくとも一方の表面をアルカリ処理する工程と、前記可撓性支持体のアルカリ処理した表面上に、仮支持体上に光硬化性樹脂層を具備する感光性フィルムの該光硬化性樹脂層を重ねて、圧着する工程と、を含むことを特徴とする光硬化性樹脂層を有する積層体の製造方法。
[2] [1]に記載の光硬化性樹脂層を有する積層体の製造方法は、前記感光性フィルムが少なくとも前記仮支持体と熱可塑性樹脂層と前記光硬化性樹脂層とをこの順で有することが好ましい。
[3] [1]または[2]に記載の光硬化性樹脂層を有する積層体の製造方法は、前記光硬化性樹脂層がカルボン酸基含有樹脂を含有することが好ましい。
[4] [1]〜[3]のいずれか一項に記載の光硬化性樹脂層を有する積層体の製造方法は、前記可撓性支持体が、セルロース系支持体またはポリエステル系支持体であることが好ましい。
[5] [1]〜[4]のいずれか一項に記載の光硬化性樹脂層を有する積層体の製造方法は、前記圧着工程を、加熱しながら行うことが好ましい。
[6] [1]〜[5]のいずれか一項に記載の光硬化性樹脂層を有する積層体の製造方法は、前記光硬化性樹脂層が、黒色着色剤および白色着色剤のうち少なくとも一方を含むことが好ましい。
[7] [1]〜[6]のいずれか一項に記載の光硬化性樹脂層を有する積層体の製造方法で製造された光硬化性樹脂層を有する積層体を露光してなる硬化物積層体を含むことを特徴とする静電容量型入力装置。
[8] [7]に記載の静電容量型入力装置は、前記硬化物積層体が、パターニングされてなることが好ましい。
[9] [7]または[8]に記載の静電容量型入力装置は、マスク層を有し、前記硬化物積層体の少なくとも1層が前記マスク層であることが好ましい。
[10] [7]〜[9]のいずれか一項に記載の静電容量型入力装置は、下記(1)〜(5)の要素を有し、前記硬化物積層体の少なくとも1層が前記(1)マスク層であることが好ましい。
(1)マスク層
(2)複数のパッド部分が接続部分を介して第一の方向に延在して形成された複数の第一の透明電極パターン
(3)前記第一の透明電極パターンと電気的に絶縁され、前記第一の方向に交差する方向に延在して形成された複数のパッド部分からなる複数の第二の透明電極パターン
(4)前記第一の透明電極パターンと前記第二の透明電極パターンとを電気的に絶縁する絶縁層
(5)前記第一の透明電極パターンおよび前記第二の透明電極パターンの少なくとも一方に電気的に接続され、前記第一の透明電極パターンおよび前記第二の透明電極パターンとは別の導電性要素
[11] [1]〜[6]のいずれか一項に記載の光硬化性樹脂層を有する積層体の製造方法で製造された光硬化性樹脂層を有する積層体を、露光する工程を含むことを特徴とする静電容量型入力装置の製造方法。
[12] [11]に記載の静電容量型入力装置の製造方法は、前記光硬化性樹脂層を有する積層体をパターニング露光することが好ましい。
[13] [11]または[12]に記載の静電容量型入力装置の製造方法は、マスク層を有する静電容量型入力装置の製造方法であり、前記光硬化性樹脂層を有する積層体を露光して前記マスク層を形成することが好ましい。
[14] [11]〜[13]のいずれか一項に記載の静電容量型入力装置の製造方法は、下記(1)〜(5)の要素を有する静電容量型入力装置の製造方法であり、前記光硬化性樹脂層を有する積層体を露光して前記(1)マスク層を形成することが好ましい。
(1)マスク層
(2)複数のパッド部分が接続部分を介して第一の方向に延在して形成された複数の第一の透明電極パターン
(3)前記第一の透明電極パターンと電気的に絶縁され、前記第一の方向に交差する方向に延在して形成された複数のパッド部分からなる複数の第二の透明電極パターン
(4)前記第一の透明電極パターンと前記第二の透明電極パターンとを電気的に絶縁する絶縁層
(5)前記第一の透明電極パターンおよび前記第二の透明電極パターンの少なくとも一方に電気的に接続され、前記第一の透明電極パターンおよび前記第二の透明電極パターンとは別の導電性要素
[15] [7]〜[10]のいずれか一項に記載の静電容量型入力装置を構成要素として備えた画像表示装置。
The present invention which is a specific means for solving the above-mentioned problems is as follows.
[1] A photosensitive film comprising a step of alkali-treating at least one surface of a flexible support, and a photocurable resin layer on the temporary support on the alkali-treated surface of the flexible support. The method for producing a laminate having a photocurable resin layer, comprising the steps of: laminating and pressure-bonding the photocurable resin layer.
[2] In the method for producing a laminate having the photocurable resin layer according to [1], the photosensitive film includes at least the temporary support, the thermoplastic resin layer, and the photocurable resin layer in this order. It is preferable to have.
[3] In the method for producing a laminate having a photocurable resin layer according to [1] or [2], the photocurable resin layer preferably contains a carboxylic acid group-containing resin.
[4] In the method for producing a laminate having the photocurable resin layer according to any one of [1] to [3], the flexible support is a cellulose-based support or a polyester-based support. Preferably there is.
[5] The method for producing a laminate having the photocurable resin layer according to any one of [1] to [4] preferably performs the pressure-bonding step while heating.
[6] In the method for producing a laminate having the photocurable resin layer according to any one of [1] to [5], the photocurable resin layer is at least one of a black colorant and a white colorant. It is preferable to include one.
[7] A cured product obtained by exposing a laminate having a photocurable resin layer produced by the method for producing a laminate having the photocurable resin layer according to any one of [1] to [6]. A capacitance-type input device comprising a laminate.
[8] In the capacitive input device according to [7], it is preferable that the cured product laminate is patterned.
[9] The capacitive input device according to [7] or [8] preferably includes a mask layer, and at least one layer of the cured product laminate is the mask layer.
[10] The capacitance-type input device according to any one of [7] to [9] includes the following elements (1) to (5), and at least one layer of the cured product laminate is: The (1) mask layer is preferred.
(1) Mask layer (2) A plurality of first transparent electrode patterns formed by extending a plurality of pad portions in a first direction via connection portions (3) The first transparent electrode pattern and the electric A plurality of second transparent electrode patterns comprising a plurality of pad portions that are electrically insulated and extend in a direction intersecting the first direction (4) The first transparent electrode pattern and the second An insulating layer that electrically insulates the transparent electrode pattern (5) electrically connected to at least one of the first transparent electrode pattern and the second transparent electrode pattern, and the first transparent electrode pattern and the second transparent electrode pattern Photocurability manufactured with the manufacturing method of the laminated body which has a photocurable resin layer as described in any one of electroconductive element [11] [1]-[6] different from a 2nd transparent electrode pattern. A step of exposing a laminate having a resin layer; A method of manufacturing a capacitance-type input device comprising:
[12] In the method for manufacturing a capacitance-type input device according to [11], it is preferable to pattern-expose the laminate having the photocurable resin layer.
[13] The method for manufacturing a capacitance-type input device according to [11] or [12] is a method for manufacturing a capacitance-type input device having a mask layer, and the laminate having the photocurable resin layer. It is preferable to form the mask layer by exposing the mask.
[14] The method for manufacturing a capacitive input device according to any one of [11] to [13] is a method for manufacturing a capacitive input device having the following elements (1) to (5): It is preferable that the laminated body having the photocurable resin layer is exposed to form the (1) mask layer.
(1) Mask layer (2) A plurality of first transparent electrode patterns formed by extending a plurality of pad portions in a first direction via connection portions (3) The first transparent electrode pattern and the electric A plurality of second transparent electrode patterns comprising a plurality of pad portions that are electrically insulated and extend in a direction intersecting the first direction (4) The first transparent electrode pattern and the second An insulating layer that electrically insulates the transparent electrode pattern (5) electrically connected to at least one of the first transparent electrode pattern and the second transparent electrode pattern, and the first transparent electrode pattern and the second transparent electrode pattern The image display apparatus provided with the electrostatic capacitance type input device as described in any one of electroconductive element [15] [7]-[10] different from a 2nd transparent electrode pattern.

本発明によれば、可撓性支持体上に光硬化性樹脂層を有し、硬化後に可撓性支持体と光硬化性樹脂層の密着性に優れ、硬化後に可撓性支持体の端部まで欠陥が少ない光硬化性樹脂層を有する積層体の製造方法を提供することができる。
また、本発明の光硬化性樹脂層を有する積層体の製造方法を含む本発明の静電容量型入力装置の製造方法によれば、薄層/軽量化が可能な静電容量型入力装置を、簡便な工程で高品位に製造可能にすることできる。
According to the present invention, a photocurable resin layer is provided on a flexible support, and the adhesive has excellent adhesion between the flexible support and the photocurable resin layer after curing. The manufacturing method of the laminated body which has a photocurable resin layer with few defects to a part can be provided.
Moreover, according to the manufacturing method of the capacitive input device of the present invention including the manufacturing method of the laminate having the photocurable resin layer of the present invention, the capacitive input device capable of being thinned / lightened is provided. Therefore, it can be manufactured with high quality by a simple process.

本発明の静電容量型入力装置の構成の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of a structure of the electrostatic capacitance type input device of this invention. 本発明の静電容量型入力装置の構成の他の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows another example of a structure of the electrostatic capacitance type input device of this invention. 本発明の静電容量型入力装置の構成の他の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows another example of a structure of the electrostatic capacitance type input device of this invention. 本発明の静電容量型入力装置の構成の他の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows another example of a structure of the electrostatic capacitance type input device of this invention. 本発明の静電容量型入力装置の一例をマスク層側から見た説明図である。It is explanatory drawing which looked at an example of the electrostatic capacitance type input device of this invention from the mask layer side. 本発明における第一の透明電極パターンおよび第二の透明電極パターンの一例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows an example of the 1st transparent electrode pattern in this invention, and a 2nd transparent electrode pattern. 開口部が形成された強化処理ガラスの一例を示す上面図である。It is a top view which shows an example of the tempered glass in which the opening part was formed. マスク層が形成された前面板の一例を示す上面図である。It is a top view which shows an example of the front board in which the mask layer was formed. 第一の透明電極パターンが形成された前面板の一例を示す上面図である。It is a top view which shows an example of the front plate in which the 1st transparent electrode pattern was formed. 第一および第二の透明電極パターンが形成された前面板の一例を示す上面図である。It is a top view which shows an example of the front plate in which the 1st and 2nd transparent electrode pattern was formed. 第一および第二の透明電極パターンとは別の導電性要素が形成された前面板の一例を示す上面図である。It is a top view which shows an example of the front plate in which the electroconductive element different from the 1st and 2nd transparent electrode pattern was formed. 金属ナノワイヤー断面を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows a metal nanowire cross section. 実施例で用いた各マスクのパターンを示す概略図である。It is the schematic which shows the pattern of each mask used in the Example. 実施例で用いたマスクAの構造を示す概略図である。It is the schematic which shows the structure of the mask A used in the Example. マスクAを用いて得られた光硬化性樹脂層を有する積層体の構造を示す概略図である。It is the schematic which shows the structure of the laminated body which has a photocurable resin layer obtained using the mask A. FIG. 実施例で用いたマスクBの構造を示す概略図である。It is the schematic which shows the structure of the mask B used in the Example. マスクBを用いて得られた光硬化性樹脂層を有する積層体の構造を示す概略図である。It is the schematic which shows the structure of the laminated body which has a photocurable resin layer obtained using the mask B. FIG.

以下、本発明の光硬化性樹脂層を有する積層体の製造方法、静電容量型入力装置の製造方法、静電容量型入力装置および画像表示装置について説明する。   Hereinafter, the manufacturing method of the laminated body which has the photocurable resin layer of this invention, the manufacturing method of an electrostatic capacitance type input device, an electrostatic capacitance type input device, and an image display apparatus are demonstrated.

[光硬化性樹脂層を有する積層体の製造方法]
本発明の光硬化性樹脂層を有する積層体の製造方法(以下、本発明の製造方法とも言う)は、可撓性支持体の少なくとも一方の表面をアルカリ処理する工程と、前記可撓性支持体のアルカリ処理した表面上に、仮支持体上に光硬化性樹脂層を具備する感光性フィルムの該光硬化性樹脂層を重ねて、圧着する工程と、を含むことを特徴とする。
このような構成により、本発明の製造方法によれば、可撓性支持体上に光硬化性樹脂層を有し、硬化後に可撓性支持体と光硬化性樹脂層の密着性に優れ、硬化後に可撓性支持体の端部まで欠陥が少ない光硬化性樹脂層を有する積層体の製造方法を提供することができる。
[Method for producing a laminate having a photocurable resin layer]
The method for producing a laminate having the photocurable resin layer of the present invention (hereinafter also referred to as the production method of the present invention) comprises a step of alkali-treating at least one surface of a flexible support, and the flexible support. A step of superposing the photocurable resin layer of a photosensitive film having a photocurable resin layer on a temporary support on the surface of the body that has been subjected to alkali treatment, and press-bonding the layer.
With such a configuration, the production method of the present invention has a photocurable resin layer on the flexible support, and is excellent in adhesion between the flexible support and the photocurable resin layer after curing. A method for producing a laminate having a photocurable resin layer with few defects up to the end of the flexible support after curing can be provided.

《可撓性支持体の少なくとも一方の表面をアルカリ処理する工程》
本発明の製造方法は、可撓性支持体の少なくとも一方の表面をアルカリ処理する工程を含む。
(可撓性支持体)
本発明の製造方法に用いられる可撓性支持体について説明する。
本発明における可撓性支持体は、トリアセチルセルロース(TAC)樹脂フィルム等のセルロース系支持体、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)変性ポリエステル等のポリエステル系支持体、ポリエチレン(PE)樹脂フィルム、ポリプロピレン(PP)樹脂フィルム、ポリスチレン樹脂フィルム、環状オレフィン系樹脂等のポリオレフィン類樹脂フィルム、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン等のビニル系樹脂フィルム、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)樹脂フィルム、ポリサルホン(PSF)樹脂フィルム、ポリエーテルサルホン(PES)樹脂フィルム、ポリカーボネート(PC)樹脂フィルム、ポリアミド樹脂フィルム、ポリイミド樹脂フィルム、アクリル樹脂フィルム、等を挙げることが出来る。
これらの中でも、透明性、耐熱性、取り扱いやすさ、強度及びコストの点から、セルロース系支持体またはポリエステル系支持体であることが好ましく、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム、二軸延伸ポリエチレンナフタレートフィルム、トリアセチルセルロース(TAC)樹脂フィルムであることがより好ましい。
また前記可撓性支持体の厚さとしては、30μmから250μmであることが望ましく、30〜100μmであることがより好ましく、30〜90μmであることが特に好ましい。
また、前記可撓性支持体は、単層構造であっても、2層以上の積層構造であってもよい。2層以上の積層構造である場合、全層の合計厚みが上記範囲であることが好ましい。
<< Process for alkali treatment of at least one surface of flexible support >>
The production method of the present invention includes a step of subjecting at least one surface of the flexible support to an alkali treatment.
(Flexible support)
The flexible support used in the production method of the present invention will be described.
The flexible support in the present invention includes a cellulose-based support such as a triacetyl cellulose (TAC) resin film, a polyester-based support such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN) -modified polyester, and polyethylene (PE). Resin films, polypropylene (PP) resin films, polystyrene resin films, polyolefin resin films such as cyclic olefin resins, vinyl resin films such as polyvinyl chloride and polyvinylidene chloride, polyether ether ketone (PEEK) resin films, polysulfone (PSF) resin film, polyethersulfone (PES) resin film, polycarbonate (PC) resin film, polyamide resin film, polyimide resin film, acrylic resin film, etc. You can gel.
Among these, in terms of transparency, heat resistance, ease of handling, strength, and cost, it is preferably a cellulose-based support or a polyester-based support, and a biaxially stretched polyethylene terephthalate film or a biaxially stretched polyethylene naphthalate film. A triacetyl cellulose (TAC) resin film is more preferable.
The thickness of the flexible support is desirably 30 μm to 250 μm, more preferably 30 to 100 μm, and particularly preferably 30 to 90 μm.
The flexible support may have a single layer structure or a laminated structure of two or more layers. In the case of a laminated structure of two or more layers, the total thickness of all layers is preferably in the above range.

(アルカリ処理条件)
本発明における可撓性支持体は、後述する可撓性支持体のアルカリ処理した表面上に、仮支持体上に光硬化性樹脂層を具備する感光性フィルムの該光硬化性樹脂層を重ねて、重ねて、圧着する工程の前に可撓性支持体の少なくとも一方の表面をアルカリ処理することを特徴とする。
アルカリ処理としては、アルカリ溶液中に可撓性支持体を浸漬する方法、又は可撓性支持体表面にアルカリ溶液を吹き付けもしくは塗布する方法等のいずれの方法も用いることができる。本発明においては、可撓性支持体の片面のみをムラなく均一に鹸化できる、塗布方式によるアルカリ鹸化を行うこと、すなわち可撓性支持体にアルカリ溶液を塗布する工程によって鹸化することがより好ましい。一方浸漬方法による鹸化は、特に有機溶媒を含むアルカリ鹸化では、有機溶媒を含まないものと比較し、格段に処理速度を早くすることが可能となる。
(Alkaline treatment conditions)
In the flexible support in the present invention, the photocurable resin layer of the photosensitive film having the photocurable resin layer on the temporary support is overlaid on the alkali-treated surface of the flexible support described later. Then, before the step of overlapping and pressure bonding, at least one surface of the flexible support is alkali-treated.
As the alkali treatment, any method such as a method of immersing a flexible support in an alkali solution or a method of spraying or applying an alkaline solution to the surface of the flexible support can be used. In the present invention, it is more preferable to perform alkali saponification by a coating method, in which only one surface of the flexible support can be uniformly saponified without unevenness, that is, saponification by a step of applying an alkaline solution to the flexible support. . On the other hand, in the saponification by the dipping method, in particular, in the alkali saponification containing an organic solvent, the treatment speed can be remarkably increased as compared with those not containing an organic solvent.

鹸化は、鹸化を行う可撓性支持体の変形、アルカリ溶液の変質等が生じない温度、120℃を超えない範囲の処理温度で行うことが好ましく、より好ましくは温度25℃以上120℃以下、さらには温度25℃以上115℃以下で行うことが好ましい。
また、鹸化時間は、アルカリ溶液、鹸化の際の温度により適宜調整して決定するが、1秒から60秒の範囲で行われるのが好ましく、1〜20秒行うことがより好ましく、5〜15秒行うことが特に好ましい。
更に、本発明のアルカリ鹸化方法は、温度が室温(25℃)以上の可撓性支持体にアルカリ溶液を塗布する工程を有することが好ましい。さらにまた、これらの工程に加えて可撓性支持体の温度を少なくとも室温以上に維持する工程を有することが好ましい。鹸化の際の温度を前記の所望の温度とすることができ、好ましい。
The saponification is preferably performed at a temperature at which deformation of the flexible support for saponification, alteration of the alkaline solution, or the like does not occur, or a processing temperature in a range not exceeding 120 ° C, more preferably 25 ° C to 120 ° C. Furthermore, it is preferable to carry out at a temperature of 25 ° C. or higher and 115 ° C. or lower.
Further, the saponification time is determined by appropriately adjusting the alkali solution and the temperature at the time of saponification, but it is preferably performed in the range of 1 second to 60 seconds, more preferably 1 to 20 seconds, and more preferably 5 to 15 It is particularly preferable to carry out a second.
Furthermore, the alkali saponification method of the present invention preferably includes a step of applying an alkaline solution to a flexible support having a temperature of room temperature (25 ° C.) or higher. Furthermore, it is preferable to have a step of maintaining the temperature of the flexible support at least at room temperature or higher in addition to these steps. The temperature at the time of saponification can be made into the said desired temperature, and is preferable.

また、本発明においては、さらに、可撓性支持体を、所定の温度にするのに、アルカリ溶液を塗布する前に可撓性支持体を予め所定の温度(室温以上の温度)に調整する工程を有することが好ましい。また、アルカリ溶液を予め所定の温度に調整しておく工程を組み合わせる事も好ましい。特に、塗布する前に予め所定の温度(室温以上の温度)に加熱する工程を有することが好ましい。尚、「可撓性支持体を、所定の温度にする」「温度が室温以上の可撓性支持体」「可撓性支持体の温度を室温以上に維持する」とは可撓性支持体全体の温度を所定の温度とする必要はなく、鹸化により処理される表面、すなわち鹸化反応が起こる可撓性支持体表面が所定の温度となっていればよい。
ここで、可撓性支持体を室温以上の温度に加熱する手段としては、熱風の衝突(吹き付け)による直接加熱、加熱ロールによる接触伝熱、マイクロ波による誘導加熱、あるいは赤外線ヒーターによる輻射熱加熱等が好ましく利用できる。特に加熱ロールによる接触伝熱は、熱伝達効率が高く小さな設置面積で行える点、搬送開始時の可撓性支持体温度の立ち上がりが速い点で好ましい。一般の2重ジャケットロールや電磁誘導ロール(トクデン社製)が利用できる。加熱後のフィルム表面温度は、25〜120℃であることが好ましく、25〜100℃がさらに好ましい。
Further, in the present invention, in order to bring the flexible support to a predetermined temperature, the flexible support is adjusted in advance to a predetermined temperature (temperature higher than room temperature) before applying the alkaline solution. It is preferable to have a process. It is also preferable to combine the step of adjusting the alkaline solution to a predetermined temperature in advance. In particular, it is preferable to have a step of heating to a predetermined temperature (a temperature equal to or higher than room temperature) before application. "The temperature of the flexible support is set to a predetermined temperature", "Flexible support whose temperature is room temperature or higher", and "The temperature of the flexible support is maintained at room temperature or higher" are flexible support. The entire temperature does not need to be a predetermined temperature, and the surface to be treated by saponification, that is, the surface of the flexible support on which the saponification reaction occurs may be a predetermined temperature.
Here, means for heating the flexible support to room temperature or higher include direct heating by hot air collision (blowing), contact heat transfer by a heating roll, induction heating by microwaves, or radiant heat heating by an infrared heater. Can be preferably used. In particular, contact heat transfer using a heating roll is preferable in that heat transfer efficiency is high and it can be performed with a small installation area, and that the flexible substrate temperature rises quickly at the start of conveyance. A general double jacket roll or electromagnetic induction roll (manufactured by Tokuden) can be used. The film surface temperature after heating is preferably 25 to 120 ° C, more preferably 25 to 100 ° C.

(アルカリ溶液)
本発明においてアルカリ処理に用いられるアルカリ溶液は、pH11以上のアルカリ溶液が好ましい。より好ましくはpH12〜14である。アルカリ溶液に用いられるアルカリ剤の例として、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウム等の無機アルカリ剤、また、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、DBU(1,8−ジアザビシクロ[5,4,0]−7−ウンデセン)、DBN(1,5−ジアザビシクロ[4,3,0]−5−ノネン)、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、トリエチルブチルアンモニウムヒドロキシドなどの有機アルカリ剤も用いられる。これらのアルカリ剤は単独又は2種以上を組み合わせて使用することもでき、一部を例えばハロゲン化したような塩の形で添加してもよい。
(Alkaline solution)
In the present invention, the alkaline solution used for the alkali treatment is preferably an alkaline solution having a pH of 11 or more. More preferably, the pH is 12-14. Examples of the alkaline agent used in the alkaline solution include inorganic alkaline agents such as sodium hydroxide, potassium hydroxide and lithium hydroxide, diethanolamine, triethanolamine, DBU (1,8-diazabicyclo [5,4,0]. -7-undecene), DBN (1,5-diazabicyclo [4,3,0] -5-nonene), tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, tetrapropylammonium hydroxide, tetrabutylammonium hydroxide, triethyl Organic alkali agents such as butylammonium hydroxide are also used. These alkaline agents can be used alone or in combination of two or more, and a part thereof may be added in the form of a salt, for example, halogenated.

これらのアルカリ剤の中でも、アルカリ金属の水酸化物が好ましく、特に水酸化ナトリウム又は水酸化カリウムの使用が、これらの量の調整により広い領域でのpH調整が可能となるため好ましい。アルカリ溶液における水酸化イオン濃度は、使用するアルカリ剤の種類、反応温度及び反応時間に応じて決定されるが、水酸化イオン濃度は、アルカリ溶液中0.1〜5mol/kgが好ましく、0.3〜3mol/kgがより好ましい。本発明のアルカリ溶液の溶媒は、水及び水溶性有機溶媒の混合溶液が好ましい。有機溶媒としては、水と混和可能な有機溶媒であればいずれも用いることができるが、沸点が120℃以下、更には60〜120℃、特には60〜100℃以下のものが好ましい。   Among these alkali agents, alkali metal hydroxides are preferable. Particularly, use of sodium hydroxide or potassium hydroxide is preferable because pH adjustment in a wide region can be achieved by adjusting these amounts. The hydroxide ion concentration in the alkaline solution is determined according to the type of alkali agent used, the reaction temperature and the reaction time. The hydroxide ion concentration is preferably 0.1 to 5 mol / kg in the alkaline solution, and 3 to 3 mol / kg is more preferable. The solvent of the alkaline solution of the present invention is preferably a mixed solution of water and a water-soluble organic solvent. Any organic solvent that is miscible with water can be used as the organic solvent, but those having a boiling point of 120 ° C. or lower, more preferably 60 to 120 ° C., and particularly preferably 60 to 100 ° C. or lower are preferable.

溶媒は、無機性/有機性値(I/O値)が0.5以上で、且つ溶解度パラメーターが16〜40[mJ/m31/2の範囲のものが好ましい。より好ましくは、I/O値が0.6〜10で、且つ溶解度パラメーターが18〜31[mJ/m31/2の範囲のものである。I/O値がその上限値以下で(無機性が強すぎず)、且つ溶解度パラメーターがその下限値以上であれば、アルカリ鹸化速度が低下したり、また鹸化度の全面均一性が不満足となったりするなどの不都合が生じないので好ましい。一方、I/O値がその下限値以上で(有機性側に偏りすぎず)、且つ溶解度パラメーターがその上限値以下であれば、鹸化速度が速く、ヘイズを生じ易くなるなどの不都合を生じることがないので、全面均一性の点で優れたものとなるので好ましい。 The solvent preferably has an inorganic / organic value (I / O value) of 0.5 or more and a solubility parameter in the range of 16 to 40 [mJ / m 3 ] 1/2 . More preferably, the I / O value is 0.6 to 10 and the solubility parameter is in the range of 18 to 31 [mJ / m 3 ] 1/2 . If the I / O value is less than or equal to the upper limit value (the inorganicity is not too strong) and the solubility parameter is greater than or equal to the lower limit value, the alkali saponification rate decreases or the overall uniformity of the saponification degree is unsatisfactory. This is preferable because there is no inconvenience. On the other hand, if the I / O value is equal to or higher than the lower limit value (not too biased toward the organic side) and the solubility parameter is equal to or lower than the upper limit value, problems such as high saponification speed and easy haze formation occur. This is preferable because it is excellent in terms of overall uniformity.

具体的には、一価脂肪族アルコール類(例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ペンタノール、ヘキサノール等)、脂環式アルカノール(例えば、シクロヘキサノール、メチルシクロヘキサノール、メトキシシクロヘキサノール、シクロヘキシルメタノール、シクロヘキシルエタノール、シクロヘキシルプロパノール等)、フェニルアルカノール(例えば、ベンジルアルコール、フェニルエタノール、フェニルプロパノール、フェノキシエタノール、メトキシベンジルアルコール、ベンジルオキシエタノール等)、複素環式アルカノール類(例えば、フルフリルアルコール、テトラヒドロフルフリルアルコール等)、グリコール化合物のモノエーテル類(例えば、メチルセルソルブ、エチルセルソルブ、プロピルセルソルブ、メトキシメトキシエタノール、ブチルセルソルブ、ヘキシルセルソルブ、メチルカルビトール、エチルカルビトール、プロピルカルビトール、ブチルカルビトール、エトキシトリグリコール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル等)ケトン類(例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等)、アミド類(例えば、N,N−ジメチルホルムアミド、ジメチルホルムアミド、N−メチル−2−ピロリドン、1,3−ジメチルイミダゾリジノン等)、スルホキシド類(例えば、ジメチルスルホキシド)及びエーテル類(例えば、テトラヒドロフラン、ピラン、ジオキサン、トリオキサン、ジメチルセルソルブ、ジエチルセルソルブ、ジプロピルセルソルブ、メチルエチルセルソルブ、ジメチルカルビトール、ジメチルカルビトール、メチルエチルカルビトール等)等が挙げられる。用いる有機溶媒は、単独もしくは2種以上を混合して用いてもよい。有機溶媒を単独又は2種以上を混合する場合の、少なくとも1種の有機溶媒は、水への溶解性が大きなものが好ましい。有機溶媒の水への溶解度は、50質量%以上が好ましく、水と自由に混合するものがより好ましい。これによりアルカリ剤、鹸化を実施することで副生する脂肪酸の塩、空気中の二酸化炭素を吸収して生じた炭酸の塩等に対する溶解性が充分なアルカリ溶液を調製できる。   Specifically, monohydric aliphatic alcohols (for example, methanol, ethanol, propanol, butanol, pentanol, hexanol, etc.), alicyclic alkanols (for example, cyclohexanol, methylcyclohexanol, methoxycyclohexanol, cyclohexyl methanol, Cyclohexylethanol, cyclohexylpropanol, etc.), phenylalkanols (eg benzyl alcohol, phenylethanol, phenylpropanol, phenoxyethanol, methoxybenzyl alcohol, benzyloxyethanol etc.), heterocyclic alkanols (eg furfuryl alcohol, tetrahydrofurfuryl alcohol) Etc.), monoethers of glycol compounds (for example, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, propyl cell) Rub, methoxymethoxyethanol, butyl cellosolve, hexyl cellosolve, methyl carbitol, ethyl carbitol, propyl carbitol, butyl carbitol, ethoxytriglycol, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monopropyl ether Etc.) Ketones (eg, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, etc.), Amides (eg, N, N-dimethylformamide, dimethylformamide, N-methyl-2-pyrrolidone, 1,3-dimethylimidazolidinone, etc.) , Sulfoxides (eg, dimethyl sulfoxide) and ethers (eg, tetrahydrofuran, pyran, dioxane, trioxane, dimethyl cellosolve, diethyl) Cellosolve, dipropyl cellosolve, methyl ethyl cellosolve, dimethyl carbitol, dimethyl carbitol, methyl ethyl carbitol, etc.) and the like. The organic solvent to be used may be used alone or in combination of two or more. When organic solvents are used alone or in combination of two or more, at least one organic solvent is preferably one having high solubility in water. The solubility of the organic solvent in water is preferably 50% by mass or more, and more preferably freely mixed with water. Thus, an alkaline solution having sufficient solubility in an alkali agent, a salt of a fatty acid by-produced by carrying out saponification, a carbonate salt generated by absorbing carbon dioxide in the air, and the like can be prepared.

本発明に用いるアルカリ溶液は、アニオン界面活性剤、カチオン界面活性剤、両性界面活性剤、ノニオン界面活性剤、フッ素系界面活性剤等の界面活性剤を含有することが好ましい。
また、本発明に用いられるアルカリ溶液には、ポリオール化合物、糖類等のヒドロキシル基及び/又はアミド基を有する繰り返し単位を含む水溶性重合体等の相溶化剤を含有させることも好ましい。
The alkaline solution used in the present invention preferably contains a surfactant such as an anionic surfactant, a cationic surfactant, an amphoteric surfactant, a nonionic surfactant, or a fluorosurfactant.
In addition, the alkaline solution used in the present invention preferably contains a compatibilizing agent such as a water-soluble polymer containing a repeating unit having a hydroxyl group and / or an amide group such as a polyol compound or a saccharide.

《可撓性支持体のアルカリ処理した表面上に、感光性フィルムの光硬化性樹脂層を重ねて、圧着する工程》
本発明の製造方法は、前記可撓性支持体のアルカリ処理した表面上に、仮支持体上に光硬化性樹脂層を具備する感光性フィルムの該光硬化性樹脂層を重ねて、圧着する工程を含む。
<< The process of putting the photocurable resin layer of the photosensitive film on the alkali-treated surface of the flexible support and press-bonding >>
In the production method of the present invention, the photocurable resin layer of a photosensitive film having a photocurable resin layer is superimposed on a temporary support on the alkali-treated surface of the flexible support, and then pressure-bonded. Process.

(感光性フィルム)
次に、本発明の製造方法に用いられる感光性フィルムについて説明する。
前記感光性フィルムは、仮支持体上に光硬化性樹脂層を具備する。
さらに、本発明における感光性フィルムは、仮支持体と光硬化性樹脂層との間に熱可塑性樹脂層を有することが好ましい。すなわち、本発明の製造方法は、前記感光性フィルムが少なくとも前記仮支持体と熱可塑性樹脂層と前記光硬化性樹脂層とをこの順で有することが好ましい。前記熱可塑性樹脂層を有する感光性フィルムを用いて、マスク層等を形成すると、光硬化性樹脂層を転写して形成した要素に気泡が発生し難くなり、画像表示装置に画像ムラなどが発生し難くなり、優れた表示特性を得ることができなる。
本発明に用いる感光性フィルムは、ネガ型材料であってもポジ型材料であってもよい。
(Photosensitive film)
Next, the photosensitive film used for the manufacturing method of this invention is demonstrated.
The photosensitive film includes a photocurable resin layer on a temporary support.
Furthermore, it is preferable that the photosensitive film in this invention has a thermoplastic resin layer between a temporary support body and a photocurable resin layer. That is, in the production method of the present invention, the photosensitive film preferably has at least the temporary support, the thermoplastic resin layer, and the photocurable resin layer in this order. When a mask layer or the like is formed using the photosensitive film having the thermoplastic resin layer, bubbles are less likely to be generated in the element formed by transferring the photocurable resin layer, and image unevenness occurs in the image display device. This makes it difficult to obtain excellent display characteristics.
The photosensitive film used in the present invention may be a negative material or a positive material.

<仮支持体>
前記仮支持体としては、可撓性を有し、加圧下または、加圧および加熱下で著しい変形、収縮もしくは伸びを生じない材料を用いることができる。このような仮支持体の例として、ポリエチレンテレフタレートフィルム、トリ酢酸セルロースフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム等が挙げられ、中でも2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが特に好ましい。
<Temporary support>
As the temporary support, a material that is flexible and does not cause significant deformation, shrinkage, or elongation under pressure or under pressure and heating can be used. Examples of such a temporary support include a polyethylene terephthalate film, a cellulose triacetate film, a polystyrene film, and a polycarbonate film, and among them, a biaxially stretched polyethylene terephthalate film is particularly preferable.

仮支持体の厚みには、特に制限はなく、5〜200μmの範囲が一般的であり、取扱い易さ、汎用性などの点で、特に10〜150μmの範囲が好ましい。
また、仮支持体は透明でもよいし、染料化ケイ素、アルミナゾル、クロム塩、ジルコニウム塩などを含有していてもよい。
また、本発明の製造方法に用いられる仮支持体には、特開2005−221726記載の方法などにより、導電性を付与することができる。
There is no restriction | limiting in particular in the thickness of a temporary support body, The range of 5-200 micrometers is common, and the range of 10-150 micrometers is especially preferable at points, such as handleability and versatility.
Further, the temporary support may be transparent or may contain dyed silicon, alumina sol, chromium salt, zirconium salt or the like.
Further, the temporary support used in the production method of the present invention can be imparted with conductivity by the method described in JP-A-2005-221726.

<熱可塑性樹脂層>
本発明における感光性フィルムは、仮支持体と着色感光性樹脂層との間に熱可塑性樹脂層が設けられることが好ましい。前記熱可塑性樹脂層はアルカリ可溶性であることが好ましい。熱可塑性樹脂層は、下地表面の凹凸(既に形成されている画像などによる凹凸等も含む。)を吸収することができるようにクッション材としての役割を担うものであり、対象面の凹凸に応じて変形しうる性質を有していることが好ましい。
<Thermoplastic resin layer>
The photosensitive film in the present invention is preferably provided with a thermoplastic resin layer between the temporary support and the colored photosensitive resin layer. The thermoplastic resin layer is preferably alkali-soluble. The thermoplastic resin layer plays a role as a cushioning material so as to be able to absorb unevenness of the base surface (including unevenness due to already formed images, etc.), and according to the unevenness of the target surface. It is preferable to have a property that can be deformed.

熱可塑性樹脂層は、特開平5−72724号公報に記載の有機高分子物質を成分として含む態様が好ましく、ヴィカー(Vicat)法〔具体的には、アメリカ材料試験法エーエステーエムデーASTMD1235によるポリマー軟化点測定法〕による軟化点が約80℃以下の有機高分子物質より選ばれる少なくとも1種を含む態様が特に好ましい。   The thermoplastic resin layer preferably includes an organic polymer substance described in JP-A-5-72724 as a component. The Vicat method [specifically, a polymer by American Material Testing Method ASTM D1235] An embodiment containing at least one selected from organic polymer substances having a softening point of about 80 ° C. or less according to the softening point measurement method] is particularly preferable.

具体的には、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン、エチレンと酢酸ビニルまたはそのケン化物等とのエチレン共重合体、エチレンとアクリル酸エステルまたはそのケン化物との共重合体、ポリ塩化ビニルや塩化ビニルと酢酸ビニルまたはそのケン化物等との塩化ビニル共重合体、ポリ塩化ビニリデン、塩化ビニリデン共重合体、ポリスチレン、スチレンと(メタ)アクリル酸エステルまたはそのケン化物等とのスチレン共重合体、ポリビニルトルエン、ビニルトルエンと(メタ)アクリル酸エステルまたはそのケン化物等とのビニルトルエン共重合体、ポリ(メタ)アクリル酸エステル、(メタ)アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等との(メタ)アクリル酸エステル共重合体、酢酸ビニル共重合体ナイロン、共重合ナイロン、N−アルコキシメチル化ナイロン、N−ジメチルアミノ化ナイロン等のポリアミド樹脂などの有機高分子が挙げられる。   Specifically, polyolefins such as polyethylene and polypropylene, ethylene copolymers with ethylene and vinyl acetate or saponified products thereof, copolymers of ethylene and acrylic acid esters or saponified products thereof, polyvinyl chloride and vinyl chloride, Vinyl chloride copolymer with vinyl acetate or saponified product thereof, polyvinylidene chloride, vinylidene chloride copolymer, polystyrene, styrene copolymer with styrene and (meth) acrylic acid ester or saponified product thereof, polyvinyl toluene, Vinyl toluene copolymer of vinyl toluene and (meth) acrylic acid ester or saponified product thereof, poly (meth) acrylic acid ester, (meth) acrylic acid ester copolymer weight of butyl (meth) acrylate and vinyl acetate, etc. Coalescence, vinyl acetate copolymer nylon, copolymer nylon, - alkoxymethyl nylon, and organic polymers such as polyamide resins such as N- dimethylamino nylon.

熱可塑性樹脂層の層厚は、3〜30μmが好ましい。熱可塑性樹脂層の層厚が3μm未満の場合には、ラミネート時の追随性が不十分で、下地表面の凹凸を完全に吸収できないことがある。また、層厚が30μmを超える場合には、仮支持体への熱可塑性樹脂層の形成時の乾燥(溶剤除去)に負荷がかかったり、熱可塑性樹脂層の現像に時間を要したりし、プロセス適性を悪化させることがある。前記熱可塑性樹脂層の層厚としては、4〜25μmが更に好ましく、5〜20μmが特に好ましい。   The layer thickness of the thermoplastic resin layer is preferably 3 to 30 μm. When the thickness of the thermoplastic resin layer is less than 3 μm, followability at the time of lamination may be insufficient, and unevenness on the base surface may not be completely absorbed. In addition, when the layer thickness exceeds 30 μm, a load is applied to drying (solvent removal) at the time of forming the thermoplastic resin layer on the temporary support, or it takes time to develop the thermoplastic resin layer, May deteriorate process suitability. The layer thickness of the thermoplastic resin layer is more preferably 4 to 25 μm, and particularly preferably 5 to 20 μm.

熱可塑性樹脂層は、熱可塑性の有機高分子を含む調製液を塗布等して形成することができ、塗布等の際に用いる調製液は溶媒を用いて調製できる。溶媒には、該層を構成する高分子成分を溶解し得るものであれば特に制限なく、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、n−プロパノール、2−プロパノール等が挙げられる。   The thermoplastic resin layer can be formed by applying a preparation liquid containing a thermoplastic organic polymer, and the preparation liquid used for the application can be prepared using a solvent. The solvent is not particularly limited as long as it can dissolve the polymer component constituting the layer, and examples thereof include methyl ethyl ketone, cyclohexanone, propylene glycol monomethyl ether acetate, n-propanol, and 2-propanol.

<光硬化性樹脂層>
本発明における感光性フィルムは、光硬化性樹脂層を具備する。また、その用途に応じて光硬化性樹脂層に添加物を加えることができる。即ち、マスク層の形成に前記感光性フィルムを用いる場合には、光硬化性樹脂層に着色剤を含有させることができる。また、本発明における感光性フィルムが導電性光硬化性樹脂層を有する場合は、前記光硬化性樹脂層に導電性繊維等が含有させることができる。
<Photocurable resin layer>
The photosensitive film in this invention comprises a photocurable resin layer. Moreover, an additive can be added to a photocurable resin layer according to the use. That is, when using the said photosensitive film for formation of a mask layer, a coloring agent can be contained in a photocurable resin layer. Moreover, when the photosensitive film in this invention has a conductive photocurable resin layer, a conductive fiber etc. can be contained in the said photocurable resin layer.

本発明における感光性フィルムがネガ型材料である場合、光硬化性樹脂層には、光硬化性樹脂(好ましくはアルカリ可溶性樹脂)、重合性化合物、重合開始剤または重合開始系、を含むことが好ましい。さらに、着色剤、添加剤、などが用いられるがこれに限られたものではない。   When the photosensitive film in the present invention is a negative material, the photocurable resin layer may contain a photocurable resin (preferably an alkali-soluble resin), a polymerizable compound, a polymerization initiator, or a polymerization initiation system. preferable. In addition, colorants, additives, and the like are used, but are not limited thereto.

本発明に用いる感光性フィルムに含まれる前記光硬化性樹脂としては、特開2011−95716号公報の段落[0025]、特開2010−237589号公報の段落[0033]〜[0052]に記載のポリマーを用いることができる。その中でも、本発明の製造方法は、前記光硬化性樹脂層がカルボン酸基含有樹脂を含有することが、アルカリ処理された前記可撓性支持体の少なくとも一方の表面との密着性を高める観点から好ましい。
前記重合性化合物としては、特許第4098550号の段落[0023]〜[0024]に記載の重合性化合物を用いることができる。
前記重合開始剤または重合開始系としては、特開2011−95716号公報に記載の[0031]〜[0042]に記載の重合性化合物を用いることができる。
As said photocurable resin contained in the photosensitive film used for this invention, Paragraph [0025] of Unexamined-Japanese-Patent No. 2011-95716 and Paragraph [0033]-[0052] of Unexamined-Japanese-Patent No. 2010-237589 are described. Polymers can be used. Among them, the production method of the present invention is characterized in that the photocurable resin layer contains a carboxylic acid group-containing resin to improve adhesion with at least one surface of the alkali-treated flexible support. To preferred.
As the polymerizable compound, the polymerizable compounds described in paragraphs [0023] to [0024] of Japanese Patent No. 4098550 can be used.
As the polymerization initiator or polymerization initiation system, the polymerizable compounds described in [0031] to [0042] described in JP2011-95716A can be used.

(導電性光硬化性樹脂層(導電性繊維))
前記導電性光硬化性樹脂層を積層した本発明における感光性フィルムを透明電極パターン、あるいは別の導電性要素の形成に用いる場合には、以下の導電性繊維などを光硬化性樹脂層に用いることができる。
(Conductive photocurable resin layer (conductive fiber))
When the photosensitive film of the present invention in which the conductive photocurable resin layer is laminated is used for forming a transparent electrode pattern or another conductive element, the following conductive fibers are used for the photocurable resin layer. be able to.

導電性繊維の構造としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、中実構造および中空構造のいずれかが好ましい。
ここで、中実構造の繊維を「ワイヤー」と称することがあり、中空構造の繊維を「チューブ」と称することがある。また、平均短軸長さが5nm〜1,000nmであって、平均長軸長さが1μm〜100μmの導電性繊維を「ナノワイヤー」と称することがある。
また、平均短軸長さが1nm〜1,000nm、平均長軸長さが0.1μm〜1,000μmであって、中空構造を持つ導電性繊維を「ナノチューブ」と称することがある。
前記導電性繊維の材料としては、導電性を有していれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、金属およびカーボンの少なくともいずれかが好ましく、これらの中でも、前記導電性繊維は、金属ナノワイヤー、金属ナノチューブ、およびカーボンナノチューブの少なくともいずれかが特に好ましい。
There is no restriction | limiting in particular as a structure of an electroconductive fiber, Although it can select suitably according to the objective, A solid structure or a hollow structure is preferable.
Here, the fiber having a solid structure may be referred to as “wire”, and the fiber having a hollow structure may be referred to as “tube”. In addition, a conductive fiber having an average minor axis length of 5 nm to 1,000 nm and an average major axis length of 1 μm to 100 μm may be referred to as “nanowire”.
In addition, conductive fibers having an average minor axis length of 1 nm to 1,000 nm, an average major axis length of 0.1 μm to 1,000 μm, and having a hollow structure may be referred to as “nanotubes”.
The material of the conductive fiber is not particularly limited as long as it has conductivity, and can be appropriately selected according to the purpose. However, at least one of metal and carbon is preferable, and among these, The conductive fiber is particularly preferably at least one of metal nanowires, metal nanotubes, and carbon nanotubes.

−−金属ナノワイヤー−−
−金属−
前記金属ナノワイヤーの材料としては、特に制限はなく、例えば、長周期律表(IUPAC1991)の第4周期、第5周期、および第6周期からなる群から選ばれる少なくとも1種の金属が好ましく、第2族〜第14族から選ばれる少なくとも1種の金属がより好ましく、第2族、第8族、第9族、第10族、第11族、第12族、第13族、および第14族から選ばれる少なくとも1種の金属が更に好ましく、主成分として含むことが特に好ましい。
--- Metal nanowires--
-Metal-
The material of the metal nanowire is not particularly limited. For example, at least one metal selected from the group consisting of the fourth period, the fifth period, and the sixth period of the long periodic table (IUPAC 1991) is preferable. More preferably, at least one metal selected from Group 2 to Group 14 is selected from Group 2, Group 8, Group 9, Group 10, Group 11, Group 12, Group 13, and Group 14. At least one metal selected from the group is more preferable, and it is particularly preferable to include it as a main component.

前記金属としては、例えば、銅、銀、金、白金、パラジウム、ニッケル、錫、コバルト、ロジウム、イリジウム、鉄、ルテニウム、オスミウム、マンガン、モリブデン、タングステン、ニオブ、タンテル、チタン、ビスマス、アンチモン、鉛、これらの合金などが挙げられる。これらの中でも、導電性に優れる点で、銀を主に含有するもの、または銀と銀以外の金属との合金を含有するものが好ましい。
前記銀を主に含有するとは、金属ナノワイヤー中に銀を50質量%以上、好ましくは90質量%以上含有することを意味する。
前記銀との合金で使用する金属としては、白金、オスミウム、パラジウムおよびイリジウムなどが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
Examples of the metal include copper, silver, gold, platinum, palladium, nickel, tin, cobalt, rhodium, iridium, iron, ruthenium, osmium, manganese, molybdenum, tungsten, niobium, tantel, titanium, bismuth, antimony, and lead. And alloys thereof. Among these, in view of excellent conductivity, those mainly containing silver or those containing an alloy of silver and a metal other than silver are preferable.
Containing mainly silver means that the metal nanowire contains 50% by mass or more, preferably 90% by mass or more.
Examples of the metal used in the alloy with silver include platinum, osmium, palladium and iridium. These may be used alone or in combination of two or more.

−形状−
前記金属ナノワイヤーの形状としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、円柱状、直方体状、断面が多角形となる柱状など任意の形状をとることができるが、高い透明性が必要とされる用途では、円柱状、断面の多角形の角が丸まっている断面形状が好ましい。
前記金属ナノワイヤーの断面形状は、基材上に金属ナノワイヤー水分散液を塗布し、断面を透過型電子顕微鏡(TEM)で観察することにより調べることができる。
前記金属ナノワイヤーの断面の角とは、断面の各辺を延長し、隣り合う辺から降ろされた垂線と交わる点の周辺部を意味する。また、「断面の各辺」とはこれらの隣り合う角と角を結んだ直線とする。この場合、前記「断面の各辺」の合計長さに対する前記「断面の外周長さ」との割合を鋭利度とした。鋭利度は、例えば図9に示したような金属ナノワイヤー断面では、実線で示した断面の外周長さと点線で示した五角形の外周長さとの割合で表すことができる。この鋭利度が75%以下の断面形状を角の丸い断面形状と定義する。前記鋭利度は60%以下が好ましく、50%以下がより好ましい。前記鋭利度が75%を超えると、該角に電子が局在し、プラズモン吸収が増加するためか、黄色みが残るなどして透明性が悪化してしまうことがある。また、パターンのエッジ部の直線性が低下し、ガタツキが生じてしまうことがある。前記鋭利度の下限は、30%が好ましく、40%がより好ましい。
-Shape-
There is no restriction | limiting in particular as a shape of the said metal nanowire, According to the objective, it can select suitably, For example, it can take arbitrary shapes, such as a column shape, a rectangular parallelepiped shape, and the column shape from which a cross section becomes a polygon. In applications where high transparency is required, a cylindrical shape and a cross-sectional shape with rounded polygonal corners are preferred.
The cross-sectional shape of the metal nanowire can be examined by applying a metal nanowire aqueous dispersion on a substrate and observing the cross-section with a transmission electron microscope (TEM).
The corner of the cross section of the metal nanowire means a peripheral portion of a point that extends each side of the cross section and intersects with a perpendicular drawn from an adjacent side. Further, “each side of the cross section” is a straight line connecting these adjacent corners. In this case, the ratio of the “outer peripheral length of the cross section” to the total length of the “each side of the cross section” was defined as the sharpness. For example, in the metal nanowire cross section as shown in FIG. 9, the sharpness can be represented by the ratio of the outer peripheral length of the cross section indicated by the solid line and the outer peripheral length of the pentagon indicated by the dotted line. A cross-sectional shape having a sharpness of 75% or less is defined as a cross-sectional shape having rounded corners. The sharpness is preferably 60% or less, and more preferably 50% or less. If the sharpness exceeds 75%, the electrons may be localized at the corners, and plasmon absorption may increase, or the transparency may deteriorate due to yellowing or the like. Moreover, the linearity of the edge part of a pattern may fall and a shakiness may arise. The lower limit of the sharpness is preferably 30%, more preferably 40%.

−平均短軸長さ径および平均長軸長さ−
前記金属ナノワイヤーの平均短軸長さ(「平均短軸径」、「平均直径」と称することがある)としては、150nm以下が好ましく、1nm〜40nmがより好ましく、10nm〜40nmが更に好ましく、15nm〜35nmが特に好ましい。
前記平均短軸長さが、1nm未満であると、耐酸化性が悪化し、耐久性が悪くなることがあり、150nmを超えると、金属ナノワイヤー起因の散乱が生じ、十分な透明性を得ることができないことがある。
前記金属ナノワイヤーの平均短軸長さは、透過型電子顕微鏡(TEM;日本電子(株)製、JEM−2000FX)を用い、300個の金属ナノワイヤーを観察し、その平均値から金属ナノワイヤーの平均短軸長さを求めた。なお、前記金属ナノワイヤーの短軸が円形でない場合の短軸長さは、最も長いものを短軸長さとした。
−Average minor axis length diameter and average major axis length−
The average minor axis length of the metal nanowire (sometimes referred to as “average minor axis diameter” or “average diameter”) is preferably 150 nm or less, more preferably 1 nm to 40 nm, still more preferably 10 nm to 40 nm, 15 nm to 35 nm is particularly preferable.
When the average minor axis length is less than 1 nm, the oxidation resistance may be deteriorated and the durability may be deteriorated. When the average minor axis length is more than 150 nm, scattering due to metal nanowires occurs and sufficient transparency is obtained. There are times when you can't.
The average minor axis length of the metal nanowires was observed from 300 metal nanowires using a transmission electron microscope (TEM; manufactured by JEOL Ltd., JEM-2000FX). The average minor axis length of was determined. In addition, the shortest axis length when the short axis of the metal nanowire is not circular is the shortest axis.

前記金属ナノワイヤーの平均長軸長さ(「平均長さ」と称することがある)としては、1μm〜40μmが好ましく、3μm〜35μmがより好ましく、5μm〜30μmが更に好ましい。
前記平均長軸長さが、1μm未満であると、密なネットワークを形成することが難しく、十分な導電性を得ることができないことがあり、40μmを超えると、金属ナノワイヤーが長すぎて製造時に絡まり、製造過程で凝集物が生じてしまうことがある。
前記金属ナノワイヤーの平均長軸長さは、例えば透過型電子顕微鏡(TEM;日本電子(株)製、JEM−2000FX)を用い、300個の金属ナノワイヤーを観察し、その平均値から金属ナノワイヤーの平均長軸長さを求めた。なお、前記金属ナノワイヤーが曲がっている場合、それを弧とする円を考慮し、その半径、および曲率から算出される値を長軸長さとした。
The average major axis length of the metal nanowire (sometimes referred to as “average length”) is preferably 1 μm to 40 μm, more preferably 3 μm to 35 μm, and even more preferably 5 μm to 30 μm.
If the average major axis length is less than 1 μm, it may be difficult to form a dense network and sufficient conductivity may not be obtained. If it exceeds 40 μm, the metal nanowires are too long and manufactured. Sometimes entangled and agglomerates may occur during the manufacturing process.
The average major axis length of the metal nanowires is, for example, observed with 300 metal nanowires using a transmission electron microscope (TEM; manufactured by JEOL Ltd., JEM-2000FX). The average major axis length of the wire was determined. In addition, when the said metal nanowire was bent, the circle | round | yen which makes it an arc was considered and the value calculated from the radius and curvature was made into the major axis length.

導電性光硬化性樹脂層の層厚は、塗布液の安定性や塗布時の乾燥やパターニング時の現像時間などのプロセス適性の観点から、0.1〜20μmが好ましく、0.5〜18μmが更に好ましく、1〜15μmが特に好ましい。前記導電性光硬化性樹脂層の全固形分に対する前記導電性繊維の含有量は、導電性と塗布液の安定性の観点から、0.01〜50質量%が好ましく、0.05〜30質量%が更に好ましく、0.1〜20質量%が特に好ましい。   The thickness of the conductive photocurable resin layer is preferably from 0.1 to 20 μm, and preferably from 0.5 to 18 μm, from the viewpoint of process suitability such as the stability of the coating liquid and drying during coating and development time during patterning. More preferably, 1-15 micrometers is especially preferable. The content of the conductive fiber relative to the total solid content of the conductive photocurable resin layer is preferably 0.01 to 50% by mass, and 0.05 to 30% by mass from the viewpoint of conductivity and stability of the coating liquid. % Is more preferable, and 0.1 to 20% by mass is particularly preferable.

(マスク層(着色剤))
また、本発明に用いる感光性フィルムの光硬化性樹脂層を、静電容量型入力装置のマスク層として用いる場合には、光硬化性樹脂層に着色剤を用いることができる。本発明に用いる着色剤としては、公知の着色剤(有機顔料、無機顔料、染料等)を好適に用いることができる。尚、本発明においては、黒色着色剤の他に、赤、青、緑色等の顔料の混合物等を用いることができる。
(Mask layer (colorant))
Moreover, when using the photocurable resin layer of the photosensitive film used for this invention as a mask layer of an electrostatic capacitance type input device, a coloring agent can be used for a photocurable resin layer. As the colorant used in the present invention, known colorants (organic pigments, inorganic pigments, dyes, etc.) can be suitably used. In the present invention, in addition to the black colorant, a mixture of pigments such as red, blue, and green can be used.

本発明の製造方法は、前記光硬化性樹脂層が、黒色着色剤および白色着色剤のうち少なくとも一方を含むことが好ましい。
前記光硬化性樹脂層を黒色のマスク層として用いる場合には、光学濃度の観点から、黒色着色剤を含むことが好ましい。黒色着色剤としては、例えば、カーボンブラック、チタンカーボン、酸化鉄、酸化チタン、黒鉛などが挙げられ、中でも、カーボンブラックが好ましい。
In the production method of the present invention, the photocurable resin layer preferably contains at least one of a black colorant and a white colorant.
When using the said photocurable resin layer as a black mask layer, it is preferable that a black coloring agent is included from a viewpoint of optical density. Examples of the black colorant include carbon black, titanium carbon, iron oxide, titanium oxide, and graphite. Among these, carbon black is preferable.

前記光硬化性樹脂層を白色のマスク層として用いる場合には、特開2005−7765公報の段落[0015]や[0114]に記載のホワイト顔料を用いることができる。その他の色のマスク層として用いるためには、特許第4546276号公報の段落[0183]〜[0185]などに記載の顔料、あるいは染料を混合して用いてもよい。具体的には、特開2005−17716号公報の段落番号[0038]〜[0054]に記載の顔料および染料、特開2004−361447号公報の段落番号[0068]〜[0072]に記載の顔料、特開2005−17521号公報の段落番号[0080]〜[0088]に記載の着色剤等を好適に用いることができる。   When the photo-curable resin layer is used as a white mask layer, the white pigment described in paragraphs [0015] and [0114] of JP-A-2005-7765 can be used. For use as a mask layer of other colors, pigments or dyes described in paragraphs [0183] to [0185] of Japanese Patent No. 4546276 may be mixed and used. Specifically, the pigments and dyes described in paragraphs [0038] to [0054] of JP-A-2005-17716, and the pigments described in paragraphs [0068] to [0072] of JP-A-2004-361447. The coloring agents described in paragraph numbers [0080] to [0088] of JP-A-2005-17521 can be suitably used.

前記着色剤(好ましくは顔料、より好ましくはカーボンブラック)は、分散液として使用することが望ましい。この分散液は、前記着色剤と顔料分散剤とを予め混合して得られる組成物を、後述する有機溶媒(またはビヒクル)に添加して分散させることによって調製することができる。前記ビビクルとは、塗料が液体状態にある時に顔料を分散させている媒質の部分をいい、液状であって前記顔料と結合して塗膜を形成する成分(バインダー)と、これを溶解希釈する成分(有機溶媒)とを含む。
前記顔料を分散させる際に使用する分散機としては、特に制限はなく、例えば、朝倉邦造著、「顔料の事典」、第一版、朝倉書店、2000年、438項に記載されているニーダー、ロールミル、アトライダー、スーパーミル、ディゾルバ、ホモミキサー、サンドミル等の公知の分散機が挙げられる。更に該文献310頁記載の機械的摩砕により、摩擦力を利用し微粉砕してもよい。
The colorant (preferably a pigment, more preferably carbon black) is desirably used as a dispersion. This dispersion can be prepared by adding and dispersing a composition obtained by previously mixing the colorant and the pigment dispersant in an organic solvent (or vehicle) described later. The vehicle is a portion of a medium in which a pigment is dispersed when the paint is in a liquid state, and is a liquid component that binds to the pigment to form a coating film (binder) and dissolves and dilutes it. Component (organic solvent).
The disperser used for dispersing the pigment is not particularly limited. For example, the kneader described in Kazuzo Asakura, “Encyclopedia of Pigments”, first edition, Asakura Shoten, 2000, 438, Known dispersing machines such as a roll mill, an atrider, a super mill, a dissolver, a homomixer, and a sand mill can be used. Further, fine grinding may be performed using frictional force by mechanical grinding described on page 310 of the document.

本発明で用いる着色剤は、分散安定性の観点から、数平均粒径0.001μm〜0.1μmのものが好ましく、更に0.01μm〜0.08μmのものが好ましい。尚、ここで言う「粒径」とは粒子の電子顕微鏡写真画像を同面積の円とした時の直径を言い、また「数平均粒径」とは多数の粒子について前記の粒径を求め、この100個平均値をいう。   From the viewpoint of dispersion stability, the colorant used in the present invention preferably has a number average particle diameter of 0.001 μm to 0.1 μm, and more preferably 0.01 μm to 0.08 μm. The “particle diameter” as used herein refers to the diameter when the electron micrograph image of the particle is a circle of the same area, and the “number average particle diameter” is the above-mentioned particle diameter for a large number of particles, This 100 average value is said.

着色剤を含む光硬化性樹脂層の層厚は、他層との厚み差の観点から、0.5〜10μmが好ましく、0.8〜5μmが更に好ましく、1〜3μmが特に好ましい。本発明における着色感光性樹脂組成物の固形分中の着色剤の含有率としては、特に制限はないが、十分に現像時間を短縮する観点から、15〜70質量%であることが好ましく、20〜60質量%であることがより好ましく、25〜50質量%であることが更に好ましい。
本明細書でいう全固形分とは着色感光性樹脂組成物から溶剤等を除いた不揮発成分
の総質量を意味する。
The layer thickness of the photocurable resin layer containing the colorant is preferably 0.5 to 10 μm, more preferably 0.8 to 5 μm, and particularly preferably 1 to 3 μm from the viewpoint of a difference in thickness from the other layers. Although there is no restriction | limiting in particular as content rate of the coloring agent in solid content of the coloring photosensitive resin composition in this invention, It is preferable that it is 15-70 mass% from a viewpoint of fully shortening development time, 20 More preferably, it is -60 mass%, and it is still more preferable that it is 25-50 mass%.
The total solid content as used in this specification means the total mass of the non-volatile component remove | excluding the solvent etc. from the coloring photosensitive resin composition.

(絶縁層)
尚、前記感光性フィルムを用いて絶縁層を形成する場合、光硬化性樹脂層の層厚は、絶縁性の維持の観点から、0.1〜5μmが好ましく、0.3〜3μmが更に好ましく、0.5〜2μmが特に好ましい。
(Insulating layer)
In addition, when forming an insulating layer using the said photosensitive film, 0.1-5 micrometers is preferable from a viewpoint of maintenance of insulation, and, as for the layer thickness of a photocurable resin layer, 0.3-3 micrometers is still more preferable. 0.5-2 μm is particularly preferable.

(透明保護層)
前記感光性フィルムを用いて透明保護層を形成する場合、光硬化性樹脂層の層厚は、十分な表面保護能を発揮させる観点から、0.5〜10μmが好ましく、0.8〜5μmが更に好ましく、1〜3μmが特に好ましい。
(Transparent protective layer)
When forming a transparent protective layer using the said photosensitive film, the layer thickness of a photocurable resin layer is 0.5-10 micrometers from a viewpoint of exhibiting sufficient surface protection ability, and 0.8-5 micrometers is preferable. Further preferred is 1 to 3 μm.

<添加剤>
さらに、前記光硬化性樹脂層は、添加剤を用いてもよい。前記添加剤としては、例えば特許第4502784号公報の段落[0017]、特開2009−237362号公報の段落[0060]〜[0071]に記載の界面活性剤や、特許第4502784号公報の段落[0018]に記載の熱重合防止剤、さらに、特開2000−310706号公報の段落[0058]〜[0071]に記載のその他の添加剤が挙げられる。
また、本発明における感光性フィルムを塗布により製造する際の溶剤としては、特開2011−95716号公報の段落[0043]〜[0044]に記載の溶剤を用いることができる。
<Additives>
Furthermore, an additive may be used for the photocurable resin layer. Examples of the additive include surfactants described in paragraph [0017] of Japanese Patent No. 4502784, paragraphs [0060] to [0071] of JP-A-2009-237362, and paragraph [ And the other additives described in paragraphs [0058] to [0071] of JP-A No. 2000-310706.
Moreover, as a solvent at the time of manufacturing the photosensitive film in this invention by application | coating, the solvent as described in Paragraph [0043]-[0044] of Unexamined-Japanese-Patent No. 2011-95716 can be used.

以上、本発明における感光性フィルムがネガ型材料である場合を中心に説明したが、前記感光性フィルムは、ポジ型材料であってもよい。前記感光性フィルムがポジ型材料である場合、光硬化性樹脂層に、例えば特開2005−221726記載の材料などが用いられるが、これに限られたものではない。   As mentioned above, although the case where the photosensitive film in this invention was a negative type material was demonstrated centering, the positive type material may be sufficient as the said photosensitive film. When the photosensitive film is a positive material, for example, a material described in JP-A-2005-221726 is used for the photocurable resin layer, but the material is not limited thereto.

(熱可塑性樹脂層および光硬化性樹脂層の粘度)
本発明における熱可塑性樹脂層の100℃で測定した粘度が1000〜10000Pa・secの領域にあり、光硬化性樹脂層の100℃で測定した粘度が2000〜50000Pa・secの領域にあり、さらに次式(A)を満たすことが好ましい。
式(A):熱可塑性樹脂層の粘度<光硬化性樹脂層の粘度
(Viscosity of thermoplastic resin layer and photocurable resin layer)
The viscosity measured at 100 ° C. of the thermoplastic resin layer in the present invention is in the region of 1000 to 10,000 Pa · sec, the viscosity measured at 100 ° C. of the photocurable resin layer is in the region of 2000 to 50000 Pa · sec, and It is preferable to satisfy the formula (A).
Formula (A): Viscosity of thermoplastic resin layer <viscosity of photocurable resin layer

ここで、各層の粘度は、次のようにして測定できる。大気圧および減圧乾燥により、熱可塑性樹脂層あるいは光硬化性樹脂層用塗布液から溶剤を除去して測定サンプルとし、例えば、測定器として、バイブロン(DD−III型:東洋ボールドウィン(株)製)を使用し、測定開始温度50℃、測定終了温度150℃、昇温速度5℃/分および振動数1Hz/degの条件で測定し、100℃の測定値を用いることができる。   Here, the viscosity of each layer can be measured as follows. The solvent is removed from the coating solution for the thermoplastic resin layer or the photocurable resin layer by drying under atmospheric pressure and reduced pressure to obtain a measurement sample. For example, as a measuring instrument, Vibron (DD-III type: manufactured by Toyo Baldwin Co., Ltd.) Can be used under the conditions of a measurement start temperature of 50 ° C., a measurement end temperature of 150 ° C., a heating rate of 5 ° C./min, and a frequency of 1 Hz / deg, and a measurement value of 100 ° C. can be used.

<他の層>
本発明で用いる感光性フィルムには、光硬化性樹脂層と熱可塑性樹脂層との間に中間層を設けたり、あるいは光硬化性樹脂層の表面に保護フィルムなどを更に設けたりして好適に構成することができる。
<Other layers>
For the photosensitive film used in the present invention, an intermediate layer is provided between the photocurable resin layer and the thermoplastic resin layer, or a protective film is further provided on the surface of the photocurable resin layer. Can be configured.

本発明で用いる感光性フィルムには、複数層を塗布する際および塗布後の保存の際における成分の混合を防止する目的で、中間層を設けることが好ましい。中間層としては、特開平5−72724号公報に「分離層」として記載されている、酸素遮断機能のある酸素遮断膜が好ましく、露光時の感度がアップし、露光機の時間負荷を低減し得、生産性が向上する。   In the photosensitive film used in the present invention, it is preferable to provide an intermediate layer for the purpose of preventing mixing of components during the application of a plurality of layers and during storage after the application. As the intermediate layer, an oxygen barrier film having an oxygen barrier function, which is described as “separation layer” in JP-A-5-72724, is preferable, which increases the sensitivity during exposure and reduces the time load of the exposure machine. And productivity is improved.

前記中間層および保護フィルムとしては、特開2006−259138号公報の段落[0083]〜[0087]および[0093]に記載のものを適宜使用することができる。   As the intermediate layer and the protective film, those described in paragraphs [0083] to [0087] and [0093] of JP-A-2006-259138 can be appropriately used.

<感光性フィルムの作製方法>
本発明における感光性フィルムは、特開2006−259138号公報の段落[0094]〜[0098]に記載の感光性転写材料の作製方法に準じて作製することができる。
具体的に中間層を有する本発明における感光性フィルムを形成する場合には、仮支持体上に、熱可塑性の有機高分子と共に添加剤を溶解した溶解液(熱可塑性樹脂層用塗布液)を塗布し、乾燥させて熱可塑性樹脂層を設けた後、この熱可塑性樹脂層上に熱可塑性樹脂層を溶解しない溶剤に樹脂や添加剤を加えて調製した調製液(中間層用塗布液)を塗布し、乾燥させて中間層を積層し、この中間層上に更に、中間層を溶解しない溶剤を用いて調製した着色感光性樹脂層用塗布液を塗布し、乾燥させて着色感光性樹脂層を積層することによって、好適に作製することができる。
<Method for producing photosensitive film>
The photosensitive film in the present invention can be produced according to the method for producing a photosensitive transfer material described in paragraphs [0094] to [0098] of JP-A-2006-259138.
When the photosensitive film of the present invention having an intermediate layer is specifically formed, a solution (thermoplastic resin layer coating solution) in which an additive is dissolved together with a thermoplastic organic polymer is formed on a temporary support. After coating and drying to provide a thermoplastic resin layer, a prepared solution (intermediate layer coating solution) prepared by adding a resin or an additive to a solvent that does not dissolve the thermoplastic resin layer on this thermoplastic resin layer The intermediate layer is applied by coating and drying, and a coating solution for a colored photosensitive resin layer prepared using a solvent that does not dissolve the intermediate layer is further applied onto the intermediate layer, and the colored photosensitive resin layer is dried and applied. Can be suitably produced.

<カバーフィルム除去工程>
可撓性支持体のアルカリ処理した表面上に感光性フィルムの光硬化性樹脂層を重ねて、圧着する方法の前に、感光性フィルムがカバーフィルムを有する場合は前記カバーフィルムを除去するカバーフィルム除去工程を含むことが好ましい。
<Cover film removal process>
A cover film that removes the cover film when the photosensitive film has a cover film before the method of laminating and pressure-bonding the photocurable resin layer of the photosensitive film on the alkali-treated surface of the flexible support. It is preferable to include a removal step.

<可撓性支持体のアルカリ処理した表面上に感光性フィルムの光硬化性樹脂層を重ねて、圧着する工程>
光硬化性樹脂層の可撓性支持体のアルカリ処理した表面上への圧着(貼り合わせ、または、転写とも言うことがある)は、光硬化性樹脂層を可撓性支持体のアルカリ処理した表面上に重ね、加圧することに行われる。
前記圧着工程での線圧は60〜200N/cmであることが好ましく、70〜160N/cmであることがより好ましく、80〜120N/cmであることが特に好ましい。
前記圧着工程での搬送速度は0.3〜10m/分であることが好ましく、0.4〜m/分であることがより好ましく、0.5〜3m/分であることが特に好ましい。
貼り合わせには、ラミネータ、真空ラミネータ、および、より生産性を高めることができるオートカットラミネーター等の公知のラミネータを使用することができる。
また、本発明の製造方法は可撓性支持体のアルカリ処理した表面と、感光性フィルムの光硬化性樹脂層が隣接するように重ねあわせることが好ましい。すなわち、本発明の製造方法は可撓性支持体の表面をアルカリ処理するため、接着剤や粘着剤を介して重ね合せなくても、感光性フィルムの光硬化性樹脂層と可撓性支持体との密着性を向上させることができる。
<The process of laminating | stacking and crimping | bonding the photocurable resin layer of a photosensitive film on the alkali-treated surface of a flexible support body>
Pressure bonding (also referred to as bonding or transfer) on the alkali-treated surface of the flexible support of the photocurable resin layer was performed by subjecting the photocurable resin layer to an alkali treatment of the flexible support. This is done by applying pressure on the surface.
The linear pressure in the crimping step is preferably 60 to 200 N / cm, more preferably 70 to 160 N / cm, and particularly preferably 80 to 120 N / cm.
The conveyance speed in the crimping step is preferably 0.3 to 10 m / min, more preferably 0.4 to m / min, and particularly preferably 0.5 to 3 m / min.
For laminating, known laminators such as a laminator, a vacuum laminator, and an auto-cut laminator that can further increase productivity can be used.
Moreover, it is preferable that the manufacturing method of this invention overlaps so that the alkali-treated surface of a flexible support body and the photocurable resin layer of a photosensitive film may adjoin. That is, since the surface of the flexible support is alkali-treated in the production method of the present invention, the photocurable resin layer of the photosensitive film and the flexible support are not required to overlap with each other through an adhesive or a pressure-sensitive adhesive. Adhesiveness can be improved.

本発明の製造方法は、前記圧着工程を、加熱しながら行うことが好ましい。
前記圧着工程での加熱温度は50〜140℃であることが好ましく、60〜120℃であることがより好ましく、70〜100℃であることが特に好ましい。
In the production method of the present invention, it is preferable to perform the pressure-bonding step while heating.
The heating temperature in the crimping step is preferably 50 to 140 ° C, more preferably 60 to 120 ° C, and particularly preferably 70 to 100 ° C.

可撓性支持体のアルカリ処理した表面上に感光性フィルムの光硬化性樹脂層を重ねて、圧着する工程(以下、転写工程とも言う)後、仮支持体を除去することが好ましい。   It is preferable to remove the temporary support after a step (hereinafter also referred to as a transfer step) in which the photocurable resin layer of the photosensitive film is stacked on the surface of the flexible support that has been subjected to alkali treatment and pressure-bonded.

[静電容量型入力装置およびその製造方法]
本発明の静電容量型入力装置は、本発明の光硬化性樹脂層を有する積層体の製造方法で製造された光硬化性樹脂層を有する積層体を露光してなる硬化物積層体を含むことを特徴とする。
また、本発明の静電容量型入力装置の製造方法は、本発明の光硬化性樹脂層を有する積層体の製造方法で製造された光硬化性樹脂層を有する積層体を、露光する工程を含むことを特徴とする。
以下、本発明の静電容量型入力装置およびその製造方法について説明する。
[Capacitance type input device and manufacturing method thereof]
The capacitance-type input device of the present invention includes a cured product laminate formed by exposing a laminate having a photocurable resin layer produced by the method for producing a laminate having the photocurable resin layer of the invention. It is characterized by that.
Moreover, the manufacturing method of the capacitance-type input device of this invention has the process of exposing the laminated body which has the photocurable resin layer manufactured with the manufacturing method of the laminated body which has the photocurable resin layer of this invention. It is characterized by including.
Hereinafter, the capacitance-type input device of the present invention and the manufacturing method thereof will be described.

本発明の静電容量型入力装置は、マスク層を有し、前記硬化物積層体の少なくとも1層が前記マスク層であることが好ましい。すなわち、本発明の静電容量型入力装置の製造方法は、マスク層を有する静電容量型入力装置の製造方法であり、前記光硬化性樹脂層を有する積層体を露光して前記マスク層を形成することが好ましい。   The capacitive input device of the present invention preferably has a mask layer, and at least one layer of the cured product laminate is preferably the mask layer. That is, the method for manufacturing a capacitance-type input device of the present invention is a method for manufacturing a capacitance-type input device having a mask layer. The laminate having the photocurable resin layer is exposed to expose the mask layer. It is preferable to form.

本発明の静電容量型入力装置は、下記(1)〜(5)の要素を有し、前記硬化物積層体の少なくとも1層が前記(1)マスク層であることが好ましい。すなわち、本発明の静電容量型入力装置の製造方法は、下記(1)〜(5)の要素を有する静電容量型入力装置の製造方法であり、前記光硬化性樹脂層を有する積層体を露光して前記(1)マスク層を形成することが好ましい。
(1)マスク層
(2)複数のパッド部分が接続部分を介して第一の方向に延在して形成された複数の第一の透明電極パターン
(3)前記第一の透明電極パターンと電気的に絶縁され、前記第一の方向に交差する方向に延在して形成された複数のパッド部分からなる複数の第二の透明電極パターン
(4)前記第一の透明電極パターンと前記第二の透明電極パターンとを電気的に絶縁する絶縁層
(5)前記第一の透明電極パターンおよび前記第二の透明電極パターンの少なくとも一方に電気的に接続され、前記第一の透明電極パターンおよび前記第二の透明電極パターンとは別の導電性要素
The capacitance-type input device of the present invention preferably includes the following elements (1) to (5), and at least one layer of the cured product laminate is the (1) mask layer. That is, the manufacturing method of the capacitive input device of the present invention is a manufacturing method of a capacitive input device having the following elements (1) to (5), and a laminate having the photocurable resin layer: It is preferable to form the mask layer by exposing (1).
(1) Mask layer (2) A plurality of first transparent electrode patterns formed by extending a plurality of pad portions in a first direction via connection portions (3) The first transparent electrode pattern and the electric A plurality of second transparent electrode patterns comprising a plurality of pad portions that are electrically insulated and extend in a direction intersecting the first direction (4) The first transparent electrode pattern and the second An insulating layer that electrically insulates the transparent electrode pattern (5) electrically connected to at least one of the first transparent electrode pattern and the second transparent electrode pattern, and the first transparent electrode pattern and the second transparent electrode pattern Conductive element separate from the second transparent electrode pattern

<静電容量型入力装置の構成>
まず、本発明の製造方法によって形成される本発明の静電容量型入力装置の構成について説明する。図1A〜図1Dは、本発明の静電容量型入力装置の構成を示す断面図である。
図1Aにおいて静電容量型入力装置10は、可撓性支持体1と、第一の透明電極パターン3と、第二の透明電極パターン4と、導電性要素6と、透明保護層7と、透明接着剤層14と、前面板(ガラス)1’と、マスク層2と、カバーガラス13から構成されている。
図1Bにおいて静電容量型入力装置10は、可撓性支持体1と、第一の透明電極パターン3と、第二の透明電極パターン4と、絶縁層5と、導電性要素6と、透明保護層7と、透明接着剤層14と、前面板(ガラス)1’と、マスク層2と、カバーガラス13から構成されている。
図1Cにおいて静電容量型入力装置10は、可撓性支持体1と、マスク層2と、第一の透明電極パターン3と、第二の透明電極パターン4と、絶縁層5と、導電性要素6と、透明保護層7と、透明接着剤層(不図示)と前面板(ガラス)1’から構成されている。
図1Dにおいて静電容量型入力装置10は、可撓性支持体1と、マスク層2と、第一の透明電極パターン3と、第二の透明電極パターン4と、絶縁層5と、導電性要素6と、透明保護層7から構成されている。
<Configuration of capacitance type input device>
First, the configuration of the capacitive input device of the present invention formed by the manufacturing method of the present invention will be described. 1A to 1D are cross-sectional views showing the configuration of the capacitive input device of the present invention.
In FIG. 1A, a capacitive input device 10 includes a flexible support 1, a first transparent electrode pattern 3, a second transparent electrode pattern 4, a conductive element 6, a transparent protective layer 7, It is composed of a transparent adhesive layer 14, a front plate (glass) 1 ′, a mask layer 2, and a cover glass 13.
In FIG. 1B, the capacitive input device 10 includes a flexible support 1, a first transparent electrode pattern 3, a second transparent electrode pattern 4, an insulating layer 5, a conductive element 6, and a transparent It comprises a protective layer 7, a transparent adhesive layer 14, a front plate (glass) 1 ′, a mask layer 2, and a cover glass 13.
1C, the capacitive input device 10 includes a flexible support 1, a mask layer 2, a first transparent electrode pattern 3, a second transparent electrode pattern 4, an insulating layer 5, and a conductive property. It is comprised from the element 6, the transparent protective layer 7, the transparent adhesive bond layer (not shown), and the front board (glass) 1 '.
1D, the capacitive input device 10 includes a flexible support 1, a mask layer 2, a first transparent electrode pattern 3, a second transparent electrode pattern 4, an insulating layer 5, and a conductive property. It is composed of an element 6 and a transparent protective layer 7.

可撓性支持体1は、本発明の製造方法における可撓性支持体である。本発明の静電容量型入力装置は、可撓性支持体1を用いることにより、薄層化/軽量化を達成することができる。
特に、本発明の静電容量型入力装置は、後述する前面板(ガラス)1’の代わりに可撓性支持体1を用いて構成することにより、大幅な薄層化/軽量化を達成することができる。このような構成の本発明の静電容量型入力装置10においては、可撓性支持体1が最外部に配置されている場合は、可撓性支持体1の接触面(前面層1の各要素が設けられている側(非接触面)の反対の面)に指などを接触などさせて入力が行われる。
但し、本発明の静電容量型入力装置は、可撓性支持体1に加えて、前面板(ガラス)1’も有していてもよく、その場合でも前面板(ガラス)1’のみを基板として用いる場合に比べると薄層化/軽量化を達成することができる。可撓性支持体上に黒色層を形成してガラス基板上に透明電極パターンを形成する場合、以下の理由によってガラス上に黒色層と透明電極パターンを両方形成する場合よりも、装置全体として薄層/軽量化が達成できる。黒色層を形成した可撓性支持体を前面板に貼り合せることにより、前面板の強度が増すために、前面板を薄層/軽量化することができる。
The flexible support 1 is a flexible support in the production method of the present invention. The capacitance-type input device of the present invention can achieve thinning / lightening by using the flexible support 1.
In particular, the capacitive input device of the present invention achieves a significant reduction in thickness and weight by using the flexible support 1 instead of the front plate (glass) 1 ′ described later. be able to. In the capacitance-type input device 10 of the present invention having such a configuration, when the flexible support 1 is disposed at the outermost part, the contact surface of the flexible support 1 (each of the front layer 1) Input is performed by bringing a finger or the like into contact with the element (the side opposite to the non-contact surface).
However, the capacitance-type input device of the present invention may also have a front plate (glass) 1 ′ in addition to the flexible support 1, and even in that case, only the front plate (glass) 1 ′ is included. Compared with the case where it is used as a substrate, it is possible to achieve a reduction in thickness / weight. When forming a transparent electrode pattern on a glass substrate by forming a black layer on a flexible support, the entire device is thinner than when forming both a black layer and a transparent electrode pattern on glass for the following reasons. Layer / weight reduction can be achieved. Since the strength of the front plate is increased by bonding the flexible support on which the black layer is formed to the front plate, the front plate can be made thinner / lighter.

前面板1は、ガラス基板等の透光性基板で構成されており、コーニング社のゴリラガラスに代表される強化ガラスなどを用いることができる。本発明の静電容量型入力装置10においては、可撓性支持体1よりも前面板1が外部に配置されている場合は、前面板1’の接触面(非接触面の反対の面)に指などを接触などさせて入力が行われる。   The front plate 1 is composed of a light-transmitting substrate such as a glass substrate, and tempered glass represented by Corning gorilla glass can be used. In the capacitive input device 10 of the present invention, when the front plate 1 is arranged outside the flexible support 1, the contact surface of the front plate 1 ′ (the surface opposite to the non-contact surface). An input is performed by touching a finger or the like.

更に、可撓性支持体1および/または前面板1’には、図2に示すように一部に開口部8を設けることができる。開口部8には、押圧によるメカニカルなスイッチを設置することができる。   Further, the flexible support 1 and / or the front plate 1 ′ may be provided with an opening 8 in part as shown in FIG. 2. A mechanical switch by pressing can be installed in the opening 8.

また、本発明の静電容量型入力装置はマスク層2が設けられていることが好ましく、前記光硬化性樹脂層を有する積層体を露光してなる硬化物積層体の少なくとも1層がマスク層であることが好ましい。マスク層2は、タッチパネル前面板の非接触側に形成された表示領域周囲の額縁状のパターンであり、引回し配線等が見えないようにするために形成される。
本発明の静電容量型入力装置10には、図2に示すように、一部の額縁部の領域(図2においては入力面以外の領域)を覆うようにマスク層2が設けられていることが好ましい。
Moreover, it is preferable that the electrostatic capacitance type input device of this invention is provided with the mask layer 2, and at least 1 layer of the hardened | cured material laminated body formed by exposing the laminated body which has the said photocurable resin layer is a mask layer. It is preferable that The mask layer 2 is a frame-shaped pattern around the display area formed on the non-contact side of the front panel of the touch panel, and is formed so that the lead wiring and the like cannot be seen.
In the capacitive input device 10 of the present invention, as shown in FIG. 2, a mask layer 2 is provided so as to cover a part of the frame region (region other than the input surface in FIG. 2). It is preferable.

可撓性支持体1および/または前面板1’の非接触面には、複数のパッド部分が接続部分を介して第一の方向に延在して形成された複数の第一の透明電極パターン3と、第一の透明電極パターン3と電気的に絶縁され、第一の方向に交差する方向に延在して形成された複数のパッド部分からなる複数の第二の透明電極パターン4と、必要に応じて第一の透明電極パターン3と第二の透明電極パターン4を電気的に絶縁する絶縁層5とが形成されていることが好ましい。前記第一の透明電極パターン3と、第二の透明電極パターン4と、後述する導電性要素6とは、例えば、ITO(Indium Tin Oxide)やIZO(Indium Zinc Oxide)などの透光性の導電性金属酸化膜で作製することができる。このような金属膜としては、ITO膜;Al、Zn、Cu、Fe、Ni、Cr、Mo等の金属膜;SiO2等の金属酸化膜などが挙げられる。この際、各要素の、膜厚は10〜200nmとすることができる。また、焼成により、アモルファスのITO膜を多結晶のITO膜とするため、電気的抵抗を低減することもできる。また、前記第一の透明電極パターン3と、第二の透明電極パターン4と、導電性要素6とは、前記導電性繊維を用いた光硬化性樹脂層を有する感光性フィルムを用いて製造することもできる。その他、ITO等によって第一の導電性パターン等を形成する場合には、特許第4506785号公報の段落[0014]〜[0016]等を参考にすることができる。 A plurality of first transparent electrode patterns in which a plurality of pad portions extend in a first direction via connection portions on the non-contact surface of the flexible support 1 and / or the front plate 1 ′. 3 and a plurality of second transparent electrode patterns 4 that are formed of a plurality of pad portions that are electrically insulated from the first transparent electrode pattern 3 and extend in a direction crossing the first direction, It is preferable that an insulating layer 5 that electrically insulates the first transparent electrode pattern 3 and the second transparent electrode pattern 4 is formed as necessary. The first transparent electrode pattern 3, the second transparent electrode pattern 4, and the conductive element 6 to be described later are, for example, translucent conductive materials such as ITO (Indium Tin Oxide) and IZO (Indium Zinc Oxide). It can be made of a conductive metal oxide film. Examples of such metal films include ITO films; metal films such as Al, Zn, Cu, Fe, Ni, Cr, and Mo; metal oxide films such as SiO 2 . At this time, the film thickness of each element can be 10 to 200 nm. Further, since the amorphous ITO film is made into a polycrystalline ITO film by firing, the electrical resistance can be reduced. Moreover, said 1st transparent electrode pattern 3, the 2nd transparent electrode pattern 4, and the electroconductive element 6 are manufactured using the photosensitive film which has the photocurable resin layer using the said electroconductive fiber. You can also. In addition, when the first conductive pattern or the like is formed of ITO or the like, paragraphs [0014] to [0016] of Japanese Patent No. 4506785 can be referred to.

また、第一の透明電極パターン3および第二の透明電極パターン4の少なくとも一方は、可撓性支持体1および/または前面板1’の非接触面、ならびに、マスク層2の可撓性支持体1および/または前面板1’とは逆側の面の両方の領域にまたがって設置することができる。図1Cおよび図1Dにおいては、第二の透明電極パターンが、可撓性支持体1の非接触面およびマスク層2の可撓性支持体1とは逆側の面の両方の領域にまたがって設置されている図が示されている。このように、一定の厚みが必要なマスク層と可撓性支持体裏面とにまたがって感光性フィルムをラミネートする場合でも、本発明の特定の層構成を有する感光性フィルムを用いることで真空ラミネータなどの高価な設備を用いなくても、簡単な工程でマスク部分境界に泡の発生がないラミネートが可能になる。   In addition, at least one of the first transparent electrode pattern 3 and the second transparent electrode pattern 4 is a non-contact surface of the flexible support 1 and / or the front plate 1 ′ and the flexible support of the mask layer 2. It can be installed across both areas of the body 1 and / or the surface opposite the front plate 1 '. In FIG. 1C and FIG. 1D, the second transparent electrode pattern extends over both the non-contact surface of the flexible support 1 and the region of the mask layer 2 opposite to the flexible support 1. The installed figure is shown. As described above, even when a photosensitive film is laminated across the mask layer requiring a certain thickness and the back surface of the flexible support, a vacuum laminator can be obtained by using the photosensitive film having a specific layer structure of the present invention. Even without using expensive equipment such as the above, it is possible to perform lamination without generating bubbles at the boundary of the mask portion with a simple process.

図3を用いて第一の透明電極パターン3および第二の透明電極パターン4について説明する。図3は、本発明における第一の透明電極パターンおよび第二の透明電極パターンの一例を示す説明図である。図3に示すように、第一の透明電極パターン3は、パッド部分3aが接続部分3bを介して第一の方向に延在して形成されている。また、第二の透明電極パターン4は、第一の透明電極パターン3と絶縁層5によって電気的に絶縁されており、第一の方向に交差する方向(図3における第二の方向)に延在して形成された複数のパッド部分によって構成されている。ここで、第一の透明電極パターン3を形成する場合、前記パッド部分3aと接続部分3bとを一体として作製してもよいし、接続部分3bのみを作製して、パッド部分3aと第二の透明電極パターン4とを一体として作製(パターニング)してもよい。パッド部分3aと第二の透明電極パターン4とを一体として作製(パターニング)する場合、図3に示すように接続部分3bの一部とパッド部分3aの一部とが連結され、且つ、絶縁層5によって第一の透明電極パターン3と第二の透明電極パターン4とが電気的に絶縁されるように各層が形成される。   The first transparent electrode pattern 3 and the second transparent electrode pattern 4 will be described with reference to FIG. FIG. 3 is an explanatory diagram showing an example of the first transparent electrode pattern and the second transparent electrode pattern in the present invention. As shown in FIG. 3, the first transparent electrode pattern 3 is formed such that the pad portion 3a extends in the first direction via the connection portion 3b. The second transparent electrode pattern 4 is electrically insulated by the first transparent electrode pattern 3 and the insulating layer 5 and extends in a direction intersecting the first direction (second direction in FIG. 3). It is constituted by a plurality of pad portions that are formed. Here, when the first transparent electrode pattern 3 is formed, the pad portion 3a and the connection portion 3b may be manufactured as one body, or only the connection portion 3b is manufactured and the pad portion 3a and the second portion 3b are formed. The transparent electrode pattern 4 may be integrally formed (patterned). When the pad portion 3a and the second transparent electrode pattern 4 are manufactured (patterned) as a single body (patterning), as shown in FIG. Each layer is formed so that the first transparent electrode pattern 3 and the second transparent electrode pattern 4 are electrically insulated by 5.

図1A〜図1Dにおいて、マスク層2の正射影上には導電性要素6が設置されている。導電性要素6は、第一の透明電極パターン3および第二の透明電極パターン4の少なくとも一方に電気的に接続され、且つ、第一の透明電極パターン3および第二の透明電極パターン4とは別の要素である。図1A〜図1Dにおいては、導電性要素6が第二の透明電極パターン4に接続されている図が示されている。   1A to 1D, the conductive element 6 is disposed on the orthogonal projection of the mask layer 2. The conductive element 6 is electrically connected to at least one of the first transparent electrode pattern 3 and the second transparent electrode pattern 4, and is different from the first transparent electrode pattern 3 and the second transparent electrode pattern 4. Is another element. In FIGS. 1A to 1D, diagrams in which the conductive element 6 is connected to the second transparent electrode pattern 4 are shown.

また、図1A〜図1Dにおいては、(1)〜(5)の各構成要素の全てを覆うように透明保護層7が設置されている。透明保護層7は、各構成要素の一部のみを覆うように構成されていてもよい。絶縁層5と透明保護層7とは、同一材料であってもよいし、異なる材料であってもよい。絶縁層5と透明保護層7とを構成する材料としては、表面硬度、耐熱性が高いものが好ましく、公知の感光性シロキサン樹脂材料、アクリル樹脂材料などが用いられる。   Moreover, in FIG. 1A-FIG. 1D, the transparent protective layer 7 is installed so that all of each component of (1)-(5) may be covered. The transparent protective layer 7 may be configured to cover only a part of each component. The insulating layer 5 and the transparent protective layer 7 may be made of the same material or different materials. The material constituting the insulating layer 5 and the transparent protective layer 7 is preferably a material having high surface hardness and high heat resistance, and a known photosensitive siloxane resin material, acrylic resin material, or the like is used.

本発明の静電容量型入力装置の製造方法においては、マスク層2と、第一の透明電極パターン3と、第二の透明電極パターン4と、絶縁層5と、導電性要素6と、必要に応じて透明保護層7との少なくとも一要素が、本発明における感光性フィルムを用いて形成されることが好ましい。
前記マスク層2、絶縁層5および透明保護層7は、本発明における感光性フィルムを用いて光硬化性樹脂層を前面板1に転写することで形成することができる。例えば、黒色のマスク層2を形成する場合には、前記光硬化性樹脂層として黒色光硬化性樹脂層を有する本発明における感光性フィルムを用いて、前記前面板1の表面に前記黒色光硬化性樹脂層を転写することで形成することができる。絶縁層5を形成する場合には、前記光硬化性樹脂層として絶縁性の光硬化性樹脂層を有する本発明における感光性フィルムを用いて、第一の透明電極パターンが形成された前記前面板1の表面に前記光硬化性樹脂層を転写することで形成することができる。透明保護層7を形成する場合にも、前記光硬化性樹脂層として透明の光硬化性樹脂層を有する本発明における感光性フィルムを用いて、各要素が形成された前記可撓性支持体1および/または前面板1’の表面に前記光硬化性樹脂層を転写することで形成することができる。
In the manufacturing method of the capacitive input device of the present invention, the mask layer 2, the first transparent electrode pattern 3, the second transparent electrode pattern 4, the insulating layer 5, the conductive element 6 and the necessary Accordingly, at least one element with the transparent protective layer 7 is preferably formed using the photosensitive film of the present invention.
The mask layer 2, the insulating layer 5 and the transparent protective layer 7 can be formed by transferring a photocurable resin layer to the front plate 1 using the photosensitive film of the present invention. For example, when the black mask layer 2 is formed, the black light curing is performed on the surface of the front plate 1 using the photosensitive film having the black photocurable resin layer as the photocurable resin layer. It can be formed by transferring the conductive resin layer. When the insulating layer 5 is formed, the front plate on which the first transparent electrode pattern is formed using the photosensitive film having an insulating photocurable resin layer as the photocurable resin layer. It can be formed by transferring the photocurable resin layer to the surface of 1. Even when the transparent protective layer 7 is formed, the flexible support 1 in which each element is formed using the photosensitive film according to the present invention having a transparent photocurable resin layer as the photocurable resin layer. And / or it can form by transferring the said photocurable resin layer to the surface of front plate 1 '.

また、本発明の製造方法によって、前記感光性フィルムを用いて形成される前記マスク層2のサイズに特に制限はないが、可撓性支持体1および/または前面板1’の境界ギリギリまでマスク層(パターン)を欠陥なく製造する観点からは、例えば、外周が100〜700mmのマスク層とすることができ、300〜500mmのマスク層とすることが好ましい。また、マスク層が中央に空洞を有する図12に記載のような形状の場合、可撓性支持体1および/または前面板1’の境界ギリギリまでマスク層(パターン)を欠陥なく製造する観点からは、パターン内周が50〜400mmのマスク層とすることができ、100〜300mmのマスク層とすることが好ましい。また、同様の観点から、得られるマスク層の面積は1〜150cm2とすることができ、30〜120cm2とすることが好ましい。
前記マスク層2等を、前記感光性フィルムを用いて形成すると、開口部を有する基板(前面板)でも開口部分からレジスト成分のモレがなく、特に可撓性支持体1および/または前面板1’の境界ギリギリまで遮光パターンを形成する必要のあるマスク層でのガラス端からのレジスト成分のはみ出しがないため基板裏側を汚染することなく、簡略な工程で、薄層/軽量化のメリットがあるタッチパネルの製造を可能となる。
さらに、遮光性が必要なマスク層2の形成に、光硬化性樹脂層と仮支持体との間に熱可塑性樹脂層を有する感光性フィルムを用いることで感光性フィルムラミネート時の気泡発生を防止し、光モレのない高品位なマスク層2等を形成することができる。
Moreover, although there is no restriction | limiting in particular in the size of the said mask layer 2 formed using the said photosensitive film by the manufacturing method of this invention, it is a mask to the boundary limit of the flexible support body 1 and / or front plate 1 '. From the viewpoint of manufacturing the layer (pattern) without defects, for example, the outer periphery can be a mask layer having a thickness of 100 to 700 mm, and a mask layer having a thickness of 300 to 500 mm is preferable. Further, in the case where the mask layer has a shape as shown in FIG. 12 having a cavity in the center, from the viewpoint of manufacturing the mask layer (pattern) without defects up to the boundary of the flexible support 1 and / or the front plate 1 ′. Can be a mask layer having a pattern inner circumference of 50 to 400 mm, preferably a mask layer of 100 to 300 mm. From the same viewpoint, the area of the resulting mask layer may be a 1~150Cm 2, it is preferable that the 30~120cm 2.
When the mask layer 2 or the like is formed using the photosensitive film, even a substrate (front plate) having an opening has no resist component leakage from the opening, and particularly the flexible support 1 and / or the front plate 1. There is an advantage of thin layer / light weight in a simple process without contaminating the back side of the substrate because there is no protrusion of the resist component from the glass edge in the mask layer where it is necessary to form a light-shielding pattern to the end of ' The touch panel can be manufactured.
Furthermore, the formation of the mask layer 2 that requires light shielding prevents the generation of bubbles during lamination of the photosensitive film by using a photosensitive film having a thermoplastic resin layer between the photocurable resin layer and the temporary support. In addition, it is possible to form a high-quality mask layer 2 or the like without light leakage.

前記第一の透明電極パターン3、第二の透明電極パターン4および導電性要素6は、エッチング処理または導電性光硬化性樹脂層を有する本発明における感光性フィルムを用いて形成することができる。
エッチング処理によって、前記第一の透明電極パターン3、第二の透明電極パターン4および別の導電要素6を形成する場合、可撓性支持体1および/または前面板1’の非接触面上にITO等の透明電極層をスパッタリングによって形成する。次いで、前記透明電極層上に前記光硬化性樹脂層としてエッチング用光硬化性樹脂層を有する本発明における感光性フィルムを用いて露光・現像によってエッチングパターンを形成する。その後、透明電極層をエッチングして透明電極をパターニングし、エッチングパターンを除去することで、第一の透明電極パターン3等を形成することができる。
Said 1st transparent electrode pattern 3, the 2nd transparent electrode pattern 4, and the electroconductive element 6 can be formed using the photosensitive film in this invention which has an etching process or a conductive photocurable resin layer.
When the first transparent electrode pattern 3, the second transparent electrode pattern 4, and another conductive element 6 are formed by an etching process, on the non-contact surface of the flexible support 1 and / or the front plate 1 ′. A transparent electrode layer such as ITO is formed by sputtering. Next, an etching pattern is formed by exposure and development using the photosensitive film according to the present invention having an etching photocurable resin layer as the photocurable resin layer on the transparent electrode layer. Thereafter, the transparent electrode layer is etched to pattern the transparent electrode, and the etching pattern is removed, whereby the first transparent electrode pattern 3 and the like can be formed.

導電性光硬化性樹脂層を有する本発明における感光性フィルムを用いて、前記第一の透明電極パターン3、第二の透明電極パターン4および別の導電要素6を形成する場合、前記前面板1の表面に前記導電性光硬化性樹脂層を転写することで形成することができる。
前記第一の透明電極パターン3等を、前記導電性光硬化性樹脂層を有する感光性フィルムを用いて形成すると、開口部を有する基板(前面板)でも開口部分からレジスト成分のモレがなく、基板裏側を汚染することなく、簡略な工程で、薄層/軽量化のメリットがあるタッチパネルの製造を可能となる。
さらに、第一の透明電極パターン3等の形成に、導電性光硬化性樹脂層と仮支持体との間に熱可塑性樹脂層を有する特定の層構成を有する本発明における感光性フィルムを用いることで感光性フィルムラミネート時の気泡発生を防止し、導電性に優れ抵抗の少ないに第一の透明電極パターン3、第二の透明電極パターン4および別の導電要素6を形成することができる。
When the first transparent electrode pattern 3, the second transparent electrode pattern 4, and another conductive element 6 are formed using the photosensitive film of the present invention having a conductive photocurable resin layer, the front plate 1 It can be formed by transferring the conductive photocurable resin layer to the surface.
When the first transparent electrode pattern 3 or the like is formed using a photosensitive film having the conductive photocurable resin layer, there is no leakage of resist components from the opening portion even on a substrate (front plate) having an opening portion. Without contaminating the back side of the substrate, it is possible to manufacture a touch panel having a merit of thin layer / light weight by a simple process.
Furthermore, the photosensitive film in the present invention having a specific layer structure having a thermoplastic resin layer between the conductive photocurable resin layer and the temporary support is used for forming the first transparent electrode pattern 3 and the like. Thus, it is possible to prevent the generation of bubbles during lamination of the photosensitive film, and to form the first transparent electrode pattern 3, the second transparent electrode pattern 4, and another conductive element 6 with excellent conductivity and low resistance.

本発明の製造方法の過程で形成される静電容量型入力装置の態様例として、図4〜8の態様を挙げることができる。図4は、開口部8が形成された強化処理ガラス11の一例を示す上面図である。図5は、マスク層2が形成された前面板の一例を示す上面図である。図6は、第一の透明電極パターン3が形成された前面板の一例を示す上面図である。図7は、第一の透明電極パターン3と第二の透明電極パターン4が形成された前面板の一例を示す上面図である。図8は、第一および第二の透明電極パターンとは別の導電性要素6が形成された前面板の一例を示す上面図である。これらは、上記説明を具体化した例を示すものであり、本発明の範囲はこれらの図面により限定的に解釈されることはない。   As examples of the capacitive input device formed in the course of the manufacturing method of the present invention, the modes shown in FIGS. FIG. 4 is a top view illustrating an example of the tempered glass 11 in which the opening 8 is formed. FIG. 5 is a top view showing an example of the front plate on which the mask layer 2 is formed. FIG. 6 is a top view showing an example of the front plate on which the first transparent electrode pattern 3 is formed. FIG. 7 is a top view showing an example of a front plate on which the first transparent electrode pattern 3 and the second transparent electrode pattern 4 are formed. FIG. 8 is a top view showing an example of a front plate on which conductive elements 6 different from the first and second transparent electrode patterns are formed. These show examples embodying the above description, and the scope of the present invention is not limitedly interpreted by these drawings.

<静電容量型入力装置の製造方法の各工程>
−露光工程、現像工程、およびその他の工程−
前記露光工程、現像工程、およびその他の工程の例としては、特開2006−23696号公報の段落番号[0035]〜[0051]に記載の方法を本発明においても好適に用いることができる。
<Each Step of Manufacturing Method of Capacitance Type Input Device>
-Exposure process, development process, and other processes-
As examples of the exposure step, the development step, and other steps, the method described in paragraphs [0035] to [0051] of JP-A-2006-23696 can be suitably used in the present invention.

前記露光工程は、基材上に転写された前記光硬化性樹脂層を露光する工程である。
具体的には、前記基材上に形成された光硬化性樹脂層の上方に所定のマスクを配置し、その後該マスク、熱可塑性樹脂層、および中間層を介してマスク上方から露光する方法が挙げられる。
ここで、前記露光の光源としては、光硬化性樹脂層を硬化しうる波長域の光(例えば、365nm、405nmなど)を照射できるものであれば適宜選定して用いることができる。具体的には、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、メタルハライドランプ等が挙げられる。露光量としては、通常5〜200mJ/cm2程度であり、好ましくは10〜100mJ/cm2程度である。
The exposure step is a step of exposing the photocurable resin layer transferred onto the substrate.
Specifically, there is a method in which a predetermined mask is disposed above the photocurable resin layer formed on the substrate, and then exposed from above the mask through the mask, the thermoplastic resin layer, and the intermediate layer. Can be mentioned.
Here, the light source for the exposure can be appropriately selected and used as long as it can irradiate light in a wavelength region capable of curing the photocurable resin layer (for example, 365 nm, 405 nm, etc.). Specifically, an ultrahigh pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, a metal halide lamp, etc. are mentioned. As an exposure amount, it is about 5-200 mJ / cm < 2 > normally, Preferably it is about 10-100 mJ / cm < 2 >.

前記現像工程は、露光された光硬化性樹脂層を現像する工程である。
前記現像は、現像液を用いて行うことができる。前記現像液としては、特に制約はなく、特開平5−72724号公報に記載のものなど、公知の現像液を使用することができる。尚、現像液は光硬化性樹脂層が溶解型の現像挙動をするものが好ましく、例えば、pKa=7〜13の化合物を0.05〜5mol/Lの濃度で含むものが好ましいが、更に水と混和性を有する有機溶剤を少量添加してもよい。水と混和性を有する有機溶剤としては、メタノール、エタノール、2−プロパノール、1−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、N−メチルピロリドン等を挙げることができる。該有機溶剤の濃度は0.1質量%〜30質量%が好ましい。
また、前記現像液には、更に公知の界面活性剤を添加することができる。界面活性剤の濃度は0.01質量%〜10質量%が好ましい。
The developing step is a step of developing the exposed photocurable resin layer.
The development can be performed using a developer. The developer is not particularly limited, and known developers such as those described in JP-A-5-72724 can be used. In addition, the developer preferably has a photo-curing resin layer having a dissolution type development behavior. For example, a developer containing a compound of pKa = 7 to 13 at a concentration of 0.05 to 5 mol / L is preferable. A small amount of an organic solvent that is miscible with may be added. Examples of organic solvents miscible with water include methanol, ethanol, 2-propanol, 1-propanol, butanol, diacetone alcohol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono-n-butyl ether, and benzyl alcohol. , Acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, ε-caprolactone, γ-butyrolactone, dimethylformamide, dimethylacetamide, hexamethylphosphoramide, ethyl lactate, methyl lactate, ε-caprolactam, N-methylpyrrolidone and the like. The concentration of the organic solvent is preferably 0.1% by mass to 30% by mass.
Further, a known surfactant can be added to the developer. The concentration of the surfactant is preferably 0.01% by mass to 10% by mass.

前記現像の方式としては、パドル現像、シャワー現像、シャワー&スピン現像、ディプ現像等のいずれでもよい。ここで、前記シャワー現像について説明すると、露光後の光硬化性樹脂層に現像液をシャワーにより吹き付けることにより、未硬化部分を除去することができる。尚、熱可塑性樹脂層や中間層を設けた場合には、現像の前に光硬化性樹脂層の溶解性が低いアルカリ性の液をシャワーなどにより吹き付け、熱可塑性樹脂層、中間層などを除去しておくことが好ましい。また、現像の後に、圧力をかけて超純水を噴射するか、洗浄剤などをシャワーにより吹き付け、ブラシなどで擦りながら、現像残渣を除去することが好ましい。現像液の液温度は20℃〜40℃が好ましく、また、現像液のpHは8〜13が好ましい。   The development method may be any of paddle development, shower development, shower & spin development, dip development, and the like. Here, the shower development will be described. The uncured portion can be removed by spraying a developer onto the photocurable resin layer after exposure. When a thermoplastic resin layer or an intermediate layer is provided, an alkaline solution having a low solubility of the photocurable resin layer is sprayed by a shower or the like before development to remove the thermoplastic resin layer or the intermediate layer. It is preferable to keep it. Further, after development, it is preferable to remove the development residue while spraying ultrapure water under pressure or spraying a cleaning agent or the like with a shower and rubbing with a brush or the like. The liquid temperature of the developer is preferably 20 ° C. to 40 ° C., and the pH of the developer is preferably 8 to 13.

本発明の静電容量型入力装置の製造方法は、ポスト露光工程、ポストベーク工程等、その他の工程を有していてもよい。   The manufacturing method of the capacitance-type input device of the present invention may have other processes such as a post-exposure process and a post-bake process.

本発明の静電容量型入力装置は、前記硬化物積層体が、パターニングされてなることが好ましい。すなわち、本発明の静電容量型入力装置の製造方法は、前記光硬化性樹脂層を有する積層体をパターニング露光することが好ましい。本発明の光硬化性樹脂層を有する積層体の製造方法によれば、パターニングされてなる硬化物積層体のパターン欠陥を少なくすることができ、具体的には、基板外周端欠陥、基板内周のパターン欠陥およびパターン内ピンホールを少なくすることができる。また、可撓性支持体と光硬化性樹脂層の密着性にも優れることから、このようなパターンも密着性に優れる。   In the capacitance-type input device of the present invention, it is preferable that the cured product laminate is patterned. That is, in the method for manufacturing a capacitance-type input device of the present invention, it is preferable that patterning exposure is performed on the laminate having the photocurable resin layer. According to the method for producing a laminate having a photocurable resin layer of the present invention, pattern defects of a cured laminate obtained by patterning can be reduced. Specifically, substrate peripheral edge defects, substrate inner periphery Pattern defects and pinholes in the pattern can be reduced. Moreover, since it is excellent also in the adhesiveness of a flexible support body and a photocurable resin layer, such a pattern is also excellent in adhesiveness.

尚、パターニング露光は、仮支持体を剥離してから行ってもよいし、仮支持体を剥離する前に露光し、その後、仮支持体を剥離してもよい。マスクを介した露光でもよいし、レーザー等を用いたデジタル露光でもよい。
前記パターニング露光に用いるマスクについては特に限定はないが、本発明の静電容量型入力装置の製造方法によれば、作成される細線パターンが10〜50μmとなるマスクであっても欠陥を少なくすることができ、10〜40μmとなるマスクであっても欠陥を少なくすることができ、10〜20μmとなるマスクであっても欠陥を少なくすることができる。
The patterning exposure may be performed after the temporary support is peeled off, or may be exposed before the temporary support is peeled off, and then the temporary support may be peeled off. Exposure through a mask or digital exposure using a laser or the like may be used.
The mask used for the patterning exposure is not particularly limited. However, according to the method for manufacturing a capacitance-type input device of the present invention, defects are reduced even in a mask having a fine line pattern of 10 to 50 μm. Even with a mask with a thickness of 10 to 40 μm, defects can be reduced, and even with a mask with a thickness of 10 to 20 μm, defects can be reduced.

本発明における感光性フィルムをエッチングレジスト(エッチングパターン)として用いる場合にも、前記方法と同様にして、レジストパターンを得ることができる。前記エッチングは、特開2010−152155公報の段落[0048]〜[0054]等に記載の公知の方法でエッチング、レジスト剥離を適用することができる。   Also when using the photosensitive film in this invention as an etching resist (etching pattern), a resist pattern can be obtained like the said method. For the etching, etching and resist stripping can be applied by a known method described in paragraphs [0048] to [0054] of JP 2010-152155 A.

例えば、エッチングの方法としては、一般的に行われている、エッチング液に浸漬するウェットエッチング法が挙げられる。ウェットエッチングに用いられるエッチング液は、エッチングの対象に合わせて酸性タイプまたはアルカリ性タイプのものを適宜選択すればよい。酸性タイプのエッチング液としては、塩酸、硫酸、フッ酸、リン酸等の酸性成分単独の水溶液、酸性成分と塩化第2鉄、フッ化アンモニウム、過マンガン酸カリウム等の塩の混合水溶液等が例示される。酸性成分は、複数の酸性成分を組み合わせたものを使用してもよい。また、アルカリ性タイプのエッチング液としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、アンモニア、有機アミン、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドのような有機アミンの塩等のアルカリ成分単独の水溶液、アルカリ成分と過マンガン酸カリウム等の塩の混合水溶液等が例示される。アルカリ成分は、複数のアルカリ成分を組み合わせたものを使用してもよい。   For example, as an etching method, a commonly performed wet etching method in which the substrate is immersed in an etching solution can be used. As an etching solution used for wet etching, an acid type or an alkaline type may be appropriately selected according to an object to be etched. Examples of acidic etching solutions include aqueous solutions of acidic components such as hydrochloric acid, sulfuric acid, hydrofluoric acid, and phosphoric acid, and mixed aqueous solutions of acidic components and salts of ferric chloride, ammonium fluoride, potassium permanganate, and the like. Is done. As the acidic component, a combination of a plurality of acidic components may be used. In addition, alkaline type etching solutions include sodium hydroxide, potassium hydroxide, ammonia, organic amines, aqueous solutions of alkali components such as organic amine salts such as tetramethylammonium hydroxide, alkaline components and potassium permanganate. A mixed aqueous solution of a salt such as A combination of a plurality of alkali components may be used as the alkali component.

エッチング液の温度は特に限定されないが、45℃以下であることが好ましい。本発明でエッチングマスク(エッチングパターン)として使用される樹脂パターンは、上述した光硬化性樹脂層を使用して形成されることにより、このような温度域における酸性およびアルカリ性のエッチング液に対して特に優れた耐性を発揮する。したがって、エッチング工程中に樹脂パターンが剥離することが防止され、樹脂パターンの存在しない部分が選択的にエッチングされることになる。
前記エッチング後、ライン汚染を防ぐために必要に応じて、洗浄工程・乾燥工程を行ってもよい。洗浄工程については、例えば常温で純水により10〜300秒間基材を洗浄して行い、乾燥工程については、エアブローを使用して、エアブロー圧(0.1〜5kg/cm2程度)を適宜調整し行えばよい。
The temperature of the etching solution is not particularly limited, but is preferably 45 ° C. or lower. The resin pattern used as an etching mask (etching pattern) in the present invention is formed by using the above-described photocurable resin layer, so that it is particularly suitable for acidic and alkaline etching solutions in such a temperature range. Excellent resistance. Therefore, the resin pattern is prevented from peeling off during the etching process, and the portion where the resin pattern does not exist is selectively etched.
After the etching, a cleaning process and a drying process may be performed as necessary to prevent line contamination. For the cleaning process, the substrate is cleaned with pure water for 10 to 300 seconds at room temperature, for example, and for the drying process, air blow pressure (about 0.1 to 5 kg / cm 2 ) is appropriately adjusted using air blow. Just do it.

《静電容量型入力装置、および静電容量型入力装置を構成要素として備えた画像表示装置》
本発明の製造方法によって得られる静電容量型入力装置、および当該静電容量型入力装置を構成要素として備えた画像表示装置は、『最新タッチパネル技術』(2009年7月6日発行(株)テクノタイムズ)、三谷雄二監修、“タッチパネルの技術と開発”、シーエムシー出版(2004,12)、FPD International 2009 Forum T−11講演テキストブック、Cypress Semiconductor Corporation アプリケーションノートAN2292等に開示されている構成を適用することができる。
<< Capacitance Input Device and Image Display Device Comprising Capacitance Input Device as Components >>
An electrostatic capacitance type input device obtained by the manufacturing method of the present invention and an image display device including the electrostatic capacitance type input device as a constituent element are “latest touch panel technology” (issued July 6, 2009, Inc.) Techno Times), supervised by Yuji Mitani, "Touch Panel Technology and Development", CM Publishing (2004, 12), FPD International 2009 Forum T-11 Lecture Textbook, Cypress Semiconductor Corporation Application Note AN2292, etc. Can be applied.

以下、実施例により、本発明の光硬化性樹脂層の形成方法を用いた静電容量型入力装置、画像表示装置の作製方法を具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例により限定的に解釈されるべきものではない。   Hereinafter, a method for manufacturing a capacitance-type input device and an image display device using the method for forming a photocurable resin layer of the present invention will be specifically described with reference to examples. The materials, amounts used, ratios, processing details, processing procedures, and the like shown in the following examples can be changed as appropriate without departing from the spirit of the present invention. Accordingly, the scope of the present invention should not be construed as being limited by the specific examples shown below.

[実施例1]
(セルロースアシレートフィルム(CAF−1)の作製)
特開2006−307056号公報の[0237]〜[0243]に記載の以下の方法で厚さ80μmの可撓性フィルム(セルロースアシレートフィルム)CAF−1を作製した。
下記の組成物をミキシングタンクに投入し、30℃に加熱しながら攪拌して、各成分を溶解し、セルロースアシレート溶液(SA−1)(内層用ドープ及び外層用ドープ)を調製した。
外層用セルロースアシレート溶液のシリカ微粒子に関しては、下記シリカ微粒子を20質量部、メタノール80質量部を30分間良く攪拌し混合シリカ分子分散液としたものを使用した。
[Example 1]
(Preparation of cellulose acylate film (CAF-1))
A flexible film (cellulose acylate film) CAF-1 having a thickness of 80 μm was produced by the following method described in JP-A-2006-307056 [0237] to [0243].
The following composition was put into a mixing tank and stirred while heating at 30 ° C. to dissolve each component to prepare a cellulose acylate solution (SA-1) (inner layer dope and outer layer dope).
Regarding the silica fine particles of the cellulose acylate solution for the outer layer, 20 parts by mass of the following silica fine particles and 80 parts by mass of methanol were thoroughly stirred for 30 minutes to obtain a mixed silica molecular dispersion.

・セルロースアシレート(SA−1)溶液組成
セルロースアシレート溶液組成物 内層用 外層用(単位:質量部)
アシル置換度2.87のセルロースアセテート 100 100
トリフェニルホスフェート(可塑剤) 7.8 7.8
ビフェニルジフェニルホスフェート(可塑剤) 3.9 3.9
メチレンクロライド(第1溶媒) 293 314
メタノール(第2溶媒) 71 76
1−ブタノール(第3溶媒) 1.5 1.6
シリカ微粒子(AEROSIL R972、日本アエロジル(株)製)
0 0.8
下記レターデーション調整剤A 1.5 0
Cellulose acylate (SA-1) solution composition Cellulose acylate solution composition For inner layer For outer layer (unit: parts by mass)
Cellulose acetate with acyl substitution degree 2.87 100 100
Triphenyl phosphate (plasticizer) 7.8 7.8
Biphenyl diphenyl phosphate (plasticizer) 3.9 3.9
Methylene chloride (first solvent) 293 314
Methanol (second solvent) 71 76
1-butanol (third solvent) 1.5 1.6
Silica fine particles (AEROSIL R972, manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd.)
0 0.8
Retardation adjuster A 1.50

レターデーション調整剤A

Figure 0005926128
Retardation adjuster A
Figure 0005926128

得られた外層用ドープについて、シリカ微粒子分散物の粒度分布を測定したところ、粒径500nm以上の粒子は0%であった。ここで体積平均粒径は、『粒度分布測定装置LA920(堀場製作所製)』で測定した。   When the particle size distribution of the silica fine particle dispersion was measured for the obtained outer layer dope, the particle size of 500 nm or more was 0%. Here, the volume average particle diameter was measured with a “particle size distribution measuring apparatus LA920 (manufactured by Horiba, Ltd.)”.

(セルロースアシレートフィルムの作製)
得られた内層用ドープ及び外層用ドープを、三層共流延ダイを用いて、−5℃に冷却したドラム上に流延した。
該ドラムの算術平均粗さ(Ra)は0.006μmで、最大高さ(Ry)は0.06μmであり、また十点平均粗さ(Rz)は0.009μmであった。算術平均粗さ(Ra)、最大高さ(Ry)、十点平均粗さ(Rz)の各測定は、JIS B 0601に規定によった。
残留溶媒量が70質量%のフィルムをドラムから剥ぎ取り、両端をピンテンターにて保持しながら搬送方向のドロー比を110%として搬送しながら80℃で乾燥させ、残留溶媒量が10%となったところで、110℃で乾燥させた。その後、140℃の温度で30分乾燥し、残留溶媒が0.3質量%のセルロースアシレートフィルム(CAF−1、外層:3μm、内層:74μm、外層:3μm)を作製した。得られたCAF−1の幅は1340mmであり、厚さは80μmであった。
(Preparation of cellulose acylate film)
The obtained inner layer dope and outer layer dope were cast on a drum cooled to −5 ° C. using a three-layer co-casting die.
The drum had an arithmetic average roughness (Ra) of 0.006 μm, a maximum height (Ry) of 0.06 μm, and a ten-point average roughness (Rz) of 0.009 μm. The arithmetic average roughness (Ra), maximum height (Ry), and ten-point average roughness (Rz) were measured according to JIS B 0601.
The film having a residual solvent amount of 70% by mass was peeled off from the drum, and dried at 80 ° C. while being transported with the draw ratio in the transport direction being 110% while holding both ends with a pin tenter, and the residual solvent amount was 10%. By the way, it was dried at 110 ° C. Thereafter, it was dried at a temperature of 140 ° C. for 30 minutes to prepare a cellulose acylate film (CAF-1, outer layer: 3 μm, inner layer: 74 μm, outer layer: 3 μm) having a residual solvent of 0.3% by mass. The obtained CAF-1 had a width of 1340 mm and a thickness of 80 μm.

<アルカリ鹸化処理>
続いて、上記フィルムCAF−1の片面に、特開2006−307056号公報の[0249]〜[0250]に記載の以下の方法でアルカリ鹸化処理を行い、アルカリ処理した可撓性支持体CFS−01を得た。
すなわち、フィルム(可撓性支持体CAF−1)を、温度60℃の誘電式加熱ロール上を通過させ、フィルム表面温度40℃に昇温した後に、下記に示す組成のアルカリ溶液(S−1)を、ロッドコーターを用いて塗布量17mL/m2で塗布し、110℃に加熱した(株)ノリタケカンパニーリミテド製のスチーム式遠赤外ヒーターの下に10秒滞留させた。続けて、同じくロッドコーターを用いて10%イソプロピルアルコール水溶液であるアルカリ希釈液および掻き取り後塗布量2.8mL/m2(コーター2次側の液量)で掻き取る工程を行い、表面鹸化フィルム試料(CFS−01)を作製した。フィルム温度は40℃であった。次いで、ファウンテンコーターによる水洗(水洗水温度40℃)とエアナイフによる水切りを4回繰り返した後に70℃の乾燥ゾーンに5秒間滞留させて乾燥した。
<Alkali saponification treatment>
Subsequently, one side of the film CAF-1 was subjected to alkali saponification treatment by the following method described in JP-A-2006-307056 [0249] to [0250], and the alkali-treated flexible support CFS- 01 was obtained.
That is, after passing the film (flexible support CAF-1) on a dielectric heating roll having a temperature of 60 ° C. and raising the film surface temperature to 40 ° C., an alkali solution (S-1) having the composition shown below is used. ) Was applied at a coating amount of 17 mL / m 2 using a rod coater, and was allowed to stay for 10 seconds under a steam far-infrared heater manufactured by Noritake Company Limited, heated to 110 ° C. Subsequently, a surface saponified film is obtained by using the same rod coater to carry out a step of scraping with an alkali diluted solution that is a 10% isopropyl alcohol aqueous solution and a coating amount of 2.8 mL / m 2 (liquid amount on the secondary side of the coater) after scraping. A sample (CFS-01) was prepared. The film temperature was 40 ° C. Next, washing with a fountain coater (washing water temperature: 40 ° C.) and draining with an air knife were repeated four times, and then the mixture was retained in a drying zone at 70 ° C. for 5 seconds and dried.

(アルカリ溶液(S−1)組成)
水酸化カリウム 8.6質量部
水 24.1質量部
イソプロパノール 56.3質量部
界面活性剤(K−1:C1633O(CH2CH2O)10H) 1.0質量部
プロピレングリコール 10.0質量部
(Alkaline solution (S-1) composition)
Potassium hydroxide 8.6 parts by mass Water 24.1 parts by mass Isopropanol 56.3 parts by mass Surfactant (K-1: C 16 H 33 O (CH 2 CH 2 O) 10 H) 1.0 part by mass Propylene glycol 10.0 parts by mass

<感光性フィルムの作製>
以下の方法で、仮支持体、熱可塑性樹脂層、中間層、黒色の光硬化性樹脂層および保護フィルムをこの順で具備する感光性フィルムK1を作製した。
厚さ75μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(仮支持体)の上に、スリット状ノズルを用いて、下記処方H1からなる熱可塑性樹脂層用塗布液を塗布、乾燥させた。次に、下記処方P1からなる中間層用塗布液を塗布、乾燥させた。更に、前記黒色組成物K1を塗布、乾燥させた。このようにして仮支持体の上に乾燥膜厚が15.1μmの熱可塑性樹脂層と、乾燥膜厚が1.6μmの中間層と、光学濃度が4.0となるように乾燥膜厚が2.2μmの黒色の光硬化性樹脂層を設け、最後に保護フィルム(厚さ12μmポリプロピレンフィルム)を圧着した。こうして仮支持体と熱可塑性樹脂層と中間層(酸素遮断膜)と黒色の光硬化性樹脂層とが一体となった感光性フィルム(転写材料)を作製し、サンプル名を黒色の感光性フィルムK1とした。
<Production of photosensitive film>
By the following method, the photosensitive film K1 which comprises a temporary support body, a thermoplastic resin layer, an intermediate | middle layer, a black photocurable resin layer, and a protective film in this order was produced.
On a polyethylene terephthalate film (temporary support) having a thickness of 75 μm, a coating solution for a thermoplastic resin layer having the following formulation H1 was applied and dried using a slit nozzle. Next, an intermediate layer coating solution having the following formulation P1 was applied and dried. Further, the black composition K1 was applied and dried. In this way, the thermoplastic film layer having a dry film thickness of 15.1 μm, the intermediate layer having a dry film thickness of 1.6 μm, and the dry film thickness so that the optical density is 4.0 are formed on the temporary support. A 2.2 μm black photocurable resin layer was provided, and finally a protective film (12 μm thick polypropylene film) was pressure-bonded. In this way, a photosensitive film (transfer material) in which the temporary support, the thermoplastic resin layer, the intermediate layer (oxygen barrier film), and the black photocurable resin layer are integrated is produced, and the sample name is black. It was set as K1.

(熱可塑性樹脂層用塗布液:処方H1)
・メタノール:11.1質量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート:6.36質量部
・メチルエチルケトン:52.4質量部
・メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比)=55/11.7/4.5/28.8、分子量=10万、Tg≒70℃):5.83質量部
・スチレン/アクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比)=63/37、重量平均分子量=1万、Tg≒100℃):13.6質量部
・2,2−ビス[4−(メタクリロキシポリエトキシ)フェニル]プロパン(新中村化学工業(株)製):9.1質量部
・フッ素系ポリマー:0.54質量部
(C613CH2CH2OCOCH=CH240部とH(OCH(CH3)CH27OCOCH=CH255部とH(OCHCH27OCOCH=CH25部との共重合体、重量平均分子量3万、メチルエチルケトン30質量%溶液、大日本インキ化学工業製、商品名:メガファックF780F)
(Coating solution for thermoplastic resin layer: Formulation H1)
Methanol: 11.1 parts by mass Propylene glycol monomethyl ether acetate: 6.36 parts by mass Methyl ethyl ketone: 52.4 parts by mass Methyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (copolymerization composition ratio) (Molar ratio) = 55 / 11.7 / 4.5 / 28.8, molecular weight = 100,000, Tg≈70 ° C.): 5.83 parts by mass Styrene / acrylic acid copolymer (copolymerization composition ratio (mol) Ratio) = 63/37, weight average molecular weight = 10,000, Tg≈100 ° C.): 13.6 parts by mass. 2,2-bis [4- (methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane (Shin Nakamura Chemical Co., Ltd.) )): 9.1 parts by mass. Fluoropolymer: 0.54 parts by mass (C 6 F 13 CH 2 CH 2 OCOCH = CH 2 40 parts and H (OCH (CH 3 ) CH 2 ) 7 OCOCH═CH 2 55 parts and H (OCHCH 2 ) 7 OCOCH═CH 2 5 parts copolymer, weight average molecular weight 30,000, methyl ethyl ketone 30 mass% solution, manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc. Name: Mega Fuck F780F)

(中間層用塗布液:処方P1)
・PVA205:32.2質量部
(ポリビニルアルコール、(株)クラレ製、鹸化度=88%、重合度550)
・ポリビニルピロリドン:14.9質量部
(アイエスピー・ジャパン社製、K−30)
・蒸留水:524質量部
・メタノール:429質量部
(Coating liquid for intermediate layer: prescription P1)
PVA205: 32.2 parts by mass (polyvinyl alcohol, manufactured by Kuraray Co., Ltd., saponification degree = 88%, polymerization degree 550)
Polyvinylpyrrolidone: 14.9 parts by mass (manufactured by IPS Japan, K-30)
-Distilled water: 524 parts by mass-Methanol: 429 parts by mass

アルカリ処理した可撓性フィルムCFS−01を基板予備加熱装置で80℃にて2分間加熱しておき、黒色の感光性フィルムK1から保護フィルムを除去した。   The alkali-treated flexible film CFS-01 was heated with a substrate preheating device at 80 ° C. for 2 minutes, and the protective film was removed from the black photosensitive film K1.

<光硬化性樹脂層を有する積層体の製造>
除去後に露出した黒色の光硬化性樹脂層の表面と、可撓性支持体CFS−01のアルカリ処理した表面とが接するように重ね合わせ、ラミネーター(株式会社日立インダストリイズ製(LamicII型))を用いて、ゴムローラー温度100℃、線圧100N/cm、搬送速度1.0m/分でラミネートした。得られた可撓性支持体、黒色の光硬化性樹脂層、中間層、熱可塑性樹脂層および仮支持体をこの順で有する積層体を、実施例1の製造方法で製造された光硬化性樹脂層を有する積層体とした。
<Manufacture of a laminate having a photocurable resin layer>
Laminator (manufactured by Hitachi Industries, Ltd. (Lamic II type)) is superposed so that the surface of the black photocurable resin layer exposed after removal and the alkali-treated surface of the flexible support CFS-01 are in contact with each other. Was laminated at a rubber roller temperature of 100 ° C., a linear pressure of 100 N / cm, and a conveying speed of 1.0 m / min. The laminated body which has the obtained flexible support body, a black photocurable resin layer, an intermediate | middle layer, a thermoplastic resin layer, and a temporary support body in this order was photocurability manufactured with the manufacturing method of Example 1. A laminate having a resin layer was obtained.

[評価]
実施例1の製造方法で製造された光硬化性樹脂層を有する積層体を用いて以下の方法にしたがって黒色パターンAおよび黒色パターンBを製造し、以下の評価を行った。
[Evaluation]
The black pattern A and the black pattern B were manufactured according to the following method using the laminated body which has the photocurable resin layer manufactured with the manufacturing method of Example 1, and the following evaluation was performed.

<黒色パターンAを用いたパターン欠落評価>
(黒色パターンAの製造)
実施例1の製造方法で製造された光硬化性樹脂層を有する積層体から、ポリエチレンテレフタレートの仮支持体を、熱可塑性樹脂層との界面で剥離し、仮支持体を除去した。
仮支持体を剥離後、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機(日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社製)で、実施例1の光硬化性樹脂層を有する積層体から仮支持体を除去した基板と、図11に記載の構造であって、光透過パターン部24として図10に示すマスクパターンを有す石英露光マスクであるマスクAを垂直に立てた状態で、露光マスク面と該黒色の光硬化性樹脂層の間の距離を200μmに設定し、露光量70mJ/cm2でパターン露光した。マスクAはパターン欠落評価用である。図11の光透過パターン部24では遮光部は不図示であるが、図10に示すマスクパターンが形成されている。マスクAにおける光透過パターン部24は、具体的には大きさが縦横ともに1mm(1000μm)である遮光部23が、遮光部23どうしの隙間の大きさが50μmで配置されたものである。
<Pattern missing evaluation using black pattern A>
(Manufacture of black pattern A)
From the laminate having the photocurable resin layer produced by the production method of Example 1, the polyethylene terephthalate temporary support was peeled off at the interface with the thermoplastic resin layer to remove the temporary support.
A substrate obtained by removing the temporary support from the laminate having the photocurable resin layer of Example 1 with a proximity type exposure machine (manufactured by Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co., Ltd.) having an ultra-high pressure mercury lamp after peeling the temporary support. 11 with the mask A, which is a quartz exposure mask having the mask pattern shown in FIG. The distance between the conductive resin layers was set to 200 μm, and pattern exposure was performed with an exposure amount of 70 mJ / cm 2 . Mask A is for pattern loss evaluation. In the light transmission pattern portion 24 of FIG. 11, the light shielding portion is not shown, but the mask pattern shown in FIG. 10 is formed. Specifically, the light transmission pattern portion 24 in the mask A is configured such that the light shielding portion 23 having a size of 1 mm (1000 μm) in both vertical and horizontal directions is arranged with a gap size of 50 μm between the light shielding portions 23.

次に、トリエタノールアミン系現像液(トリエタノールアミン30質量%含有、商品名:T−PD2(富士フイルム(株)製)を純水で12倍(T−PD2を1質量部と純水11質量部の割合で混合)に希釈した液)を30℃で60秒間、フラットノズル圧力0.1MPaでシャワー現像し、熱可塑性樹脂層と中間層とを除去した。引き続き、このガラス基板の上面にエアを吹きかけて液切りした後、純水をシャワーにより10秒間吹き付け、純水シャワー洗浄し、エアを吹きかけて基板上の液だまりを減らした。   Next, a triethanolamine developer (containing 30% by mass of triethanolamine, trade name: T-PD2 (manufactured by FUJIFILM Corporation) 12 times with pure water (1 part by mass of T-PD2 and pure water 11) The liquid) diluted to be mixed at a ratio of parts by mass) was subjected to shower development at 30 ° C. for 60 seconds with a flat nozzle pressure of 0.1 MPa to remove the thermoplastic resin layer and the intermediate layer. Subsequently, after air was blown off on the upper surface of the glass substrate, pure water was sprayed for 10 seconds by a shower, pure water shower cleaning was performed, and air was blown to reduce a liquid pool on the substrate.

その後、炭酸ナトリウム/炭酸水素ナトリウム系現像液(商品名:T−CD1(富士フイルム(株)製)を純水で5倍(T−CD1を1質量部と純水4質量部の割合で混合)に希釈した液)を用いて32℃でシャワー圧を0.1MPaに設定して、50秒現像し、純水で洗浄した。   Thereafter, a sodium carbonate / sodium hydrogen carbonate developer (trade name: T-CD1 (manufactured by FUJIFILM Corporation)) is mixed 5 times with pure water (T-CD1 is mixed in a proportion of 1 part by mass and 4 parts by mass of pure water). ), The shower pressure was set to 0.1 MPa at 32 ° C., developed for 50 seconds, and washed with pure water.

引き続き、界面活性剤含有洗浄液(商品名:T−SD3(富士フイルム(株)製)を純水で10倍に希釈した液)を用いて33℃で20秒間、コーン型ノズル圧力0.1MPaにてシャワーで吹きかけ、更にやわらかいナイロン毛を有する回転ブラシにより、形成されたパターン像を擦って残渣除去を行った。さらに、超高圧洗浄ノズルにて9.8MPaの圧力で超純水を噴射して残渣除去を行い、所望の黒色パターンを得た。マスクAを使用したときに得られた、パターン外周400mm、パターン内周280mm、パターン面積51cm2のパターン欠落評価用の黒色パターンAの概略を図12に示した。
得られた黒色パターンAについて以下の評価を行った。
Subsequently, using a surfactant-containing cleaning solution (trade name: T-SD3 (manufactured by Fuji Film Co., Ltd.) diluted 10-fold with pure water) at 33 ° C. for 20 seconds, cone-type nozzle pressure of 0.1 MPa The residue was removed by rubbing the formed pattern image with a rotating brush having soft nylon hairs. Furthermore, ultrapure water was sprayed at a pressure of 9.8 MPa with an ultrahigh pressure washing nozzle to remove the residue, thereby obtaining a desired black pattern. The outline of the black pattern A for pattern omission evaluation having a pattern outer periphery of 400 mm, a pattern inner periphery of 280 mm, and a pattern area of 51 cm 2 obtained when the mask A is used is shown in FIG.
The obtained black pattern A was evaluated as follows.

(1)基板の外周部分の黒色パターン欠落
透過濃度5.0を有する黒色板を、マスクAを用いて作成した図12に示した構造の黒色パターンA(以下、基板)のサイズにくり抜き、黒色板をくり抜いた部分に基板をはめ込んだ。次に作成した基板面内の図12におけるパターン非形成部分27を黒色紙で遮光した。この状態で、光学顕微鏡(オリンパス製;MX50)にて作成した基板の外周部分21’に沿って、透過光による観察を行い、黒色パターンAのパターン欠落(以下、パターン欠陥とも言う)を調べた。
(1) Black pattern missing in outer peripheral portion of substrate Black plate with transmission density of 5.0 is cut out to the size of black pattern A (hereinafter referred to as substrate) having the structure shown in FIG. The board was inserted in the part where the board was cut out. Next, the pattern non-formed part 27 in FIG. 12 in the produced substrate surface was shielded with black paper. In this state, observation with transmitted light was performed along the outer peripheral portion 21 ′ of the substrate prepared with an optical microscope (manufactured by Olympus; MX50), and the pattern missing of the black pattern A (hereinafter also referred to as pattern defect) was examined. .

(1−1)パターン欠落の頻度
パターン欠落数を、観察した基板の外周距離400mmで割って、1cm当りのパターン欠陥の頻度とした。値が少ないほど欠陥が発生しにくい。
実用レベルはC以上である。
(評価基準)
A;0個
B:1〜2個
C:3〜5個
D;6〜10個
E;11個以上
(1-1) Frequency of pattern loss The number of pattern loss was divided by the observed peripheral distance of the substrate of 400 mm to obtain the frequency of pattern defects per 1 cm. The smaller the value, the less likely the defect will occur.
The practical level is C or higher.
(Evaluation criteria)
A; 0 pieces B: 1 to 2 pieces C: 3 to 5 pieces D; 6 to 10 pieces E; 11 pieces or more

(1−2)欠陥部分の大きさ
パターン欠落部分の大きさ(基板の外周部分21’からどれだけ基板内側まで欠落しているか)を計測した。値が少ないほど欠陥は小さく、欠陥部分が目視で視認しにくい。
実用レベルはC以上である。
(評価基準)
A;20μm以下
B:20μmより大きく、50μm以下
C:50μmより大きく、100μm以下
D;100μmより大きく、300μm以下
E;300μmを超える
(1-2) Size of Defect Part The size of the pattern missing part (how much missing from the outer peripheral part 21 ′ of the substrate to the inside of the substrate) was measured. The smaller the value, the smaller the defect and the harder it is to visually recognize the defective part.
The practical level is C or higher.
(Evaluation criteria)
A: 20 μm or less B: Larger than 20 μm and 50 μm or smaller C: Larger than 50 μm and 100 μm or smaller D: Larger than 100 μm and 300 μm or smaller E: Over 300 μm

(2)基板面内のパターン端面における黒色パターン欠落
透過濃度5.0を有する黒色板を、マスクAを用いて作成した図12に示した構造の黒色パターンA(基板)のサイズにくり抜き、黒色板をくり抜いた部分に基板をはめ込んだ。次に作成した基板面内のパターン非形成部分27を正確に計測し、黒色紙で黒色パターン26の内側の境界ぎりぎりを覆うように遮光した。この状態で、光学顕微鏡(オリンパス製;MX50)にて作成した面内の黒色パターン26の内側の端面に沿って、透過光による観察を行い、パターン欠落を調べた。
(2) Black pattern missing in pattern end face in substrate surface Black plate having transmission density of 5.0 is cut out to the size of black pattern A (substrate) having the structure shown in FIG. The board was inserted in the part where the board was cut out. Next, the pattern non-formation portion 27 in the prepared substrate surface was accurately measured and shielded with black paper so as to cover the border just inside the black pattern 26. In this state, observation with transmitted light was performed along the inner end face of the in-plane black pattern 26 created by an optical microscope (manufactured by Olympus; MX50), and pattern omission was examined.

(2−1)パターン欠落の頻度
欠落数を、観察した基板面内の黒色パターン26の内周距離280mmで割って、1cm当りの欠陥頻度とした。値が少ないほど欠陥が発生しにくい。
実用レベルはC以上である。
(評価基準)
A;0個
B:1〜2個
C:3〜5個
D;6〜10個
E;11個以上
(2-1) Frequency of pattern loss The number of defects was divided by the inner peripheral distance 280 mm of the observed black pattern 26 in the substrate surface to obtain the defect frequency per 1 cm. The smaller the value, the less likely the defect will occur.
The practical level is C or higher.
(Evaluation criteria)
A; 0 pieces B: 1 to 2 pieces C: 3 to 5 pieces D; 6 to 10 pieces E; 11 pieces or more

(2−2)欠陥部分の大きさ
欠落部分の大きさ(基板面内の黒色パターン26の内周端からどれだけパターン内側まで欠落しているか)を計測した。値が少ないほど欠陥は小さく、欠陥部分が目視で視認しにくい。
実用レベルはC以上である。
(評価基準)
A;20μm以下
B:20μmより大きく、50μm以下
C:50μmより大きく、100μm以下
D;100μmより大きく、300μm以下
E;300μmを超える
(2-2) Size of defective part The size of the missing part (how much the missing part from the inner peripheral edge of the black pattern 26 in the substrate surface to the inside of the pattern) was measured. The smaller the value, the smaller the defect and the harder it is to visually recognize the defective part.
The practical level is C or higher.
(Evaluation criteria)
A: 20 μm or less B: Larger than 20 μm and 50 μm or smaller C: Larger than 50 μm and 100 μm or smaller D: Larger than 100 μm and 300 μm or smaller E: Over 300 μm

(3)形成された黒色パターン内のピンホール欠陥
(2)と同様の方法でマスクAを用いて作成した黒色パターン26の全体を光学顕微鏡(オリンパス製;MX50)にて観察し、ピンホール欠陥を調べた。
(3) Pinhole defects in the formed black pattern The entire black pattern 26 created using the mask A in the same manner as in (2) is observed with an optical microscope (manufactured by Olympus; MX50), and pinhole defects are observed. I investigated.

(3−1)ピンホール欠陥の頻度
ピンホール欠落数を、観察したパターン面積51cm2で割って、1cm2当りの欠陥頻度とした。値が少ないほど欠陥が発生しにくい。
実用レベルはC以上である。
(評価基準)
A;0個
B:1〜2個
C:3〜5個
D;6〜10個
E;11個以上
(3-1) Frequency of pinhole defects The number of pinhole defects was divided by the observed pattern area 51 cm 2 to obtain the defect frequency per 1 cm 2 . The smaller the value, the less likely the defect will occur.
The practical level is C or higher.
(Evaluation criteria)
A; 0 pieces B: 1 to 2 pieces C: 3 to 5 pieces D; 6 to 10 pieces E; 11 pieces or more

(3−2)欠陥部分の大きさ
ピンホール欠落部分の円近似直径を、画像解析装置をもちいて計算し、大きい順に10個(10個以下の場合は発生数)の円近似直径(単位:μm)の平均値を算出した。値が少ないほど欠陥は小さく、欠陥部分が目視で視認しにくい。
実用レベルはC以上である。
(評価基準)
A;20μm以下
B:20μmより大きく、50μm以下
C:50μmより大きく、100μm以下
D;100μmより大きく、300μm以下
E;300μmを超える
(3-2) Size of Defect Part The circle approximate diameter of the pinhole missing part is calculated using an image analysis apparatus, and 10 (in the case of 10 or less, the number of occurrences) circle approximate diameters (unit: The average value of μm) was calculated. The smaller the value, the smaller the defect and the harder it is to visually recognize the defective part.
The practical level is C or higher.
(Evaluation criteria)
A: 20 μm or less B: Larger than 20 μm and 50 μm or smaller C: Larger than 50 μm and 100 μm or smaller D: Larger than 100 μm and 300 μm or smaller E: Over 300 μm

<黒色パターンBを用いた密着性評価>
(黒色パターンBの製造)
マスクAの代わりに図13に記載の構造であって、光透過パターン部24として図10に示すマスクパターンを有す石英露光マスクであるマスクBを8種類使用した以外は上述のパターン欠落評価用の黒色パターンAの製造と同様にして、黒色パターンBを製造した。マスクBは密着性評価用である。図13の光透過パターン部24では遮光部は不図示であるが、図10に示すマスクパターンが形成されている。光透過パターン部24は、具体的には大きさが縦横ともに1mm(1000μm)である8種類のマスクBは、それぞれ遮光部23どうしの隙間が、10μm、20μm、30μm、40μm、50μm、60μm、70μmおよび80μmとなるように配置されたこと以外は、同じものである。
得られたパターン外周400mm、パターン面積100cm2の8種類の黒色パターンBの概略を図14に示した。
得られた8種類の黒色パターンBを用いて、以下の評価を行った。
<Adhesion evaluation using black pattern B>
(Manufacture of black pattern B)
For the pattern missing evaluation described above, except that eight types of mask B, which is a quartz exposure mask having the mask pattern shown in FIG. The black pattern B was manufactured in the same manner as the black pattern A. Mask B is for adhesion evaluation. In the light transmission pattern portion 24 of FIG. 13, the light shielding portion is not shown, but the mask pattern shown in FIG. 10 is formed. Specifically, the light transmissive pattern portion 24 has eight types of masks B each having a size of 1 mm (1000 μm) in both vertical and horizontal directions, and the gap between the light shielding portions 23 is 10 μm, 20 μm, 30 μm, 40 μm, 50 μm, 60 μm, The same thing except having arrange | positioned so that it may be set to 70 micrometers and 80 micrometers.
The outline of eight types of black patterns B having a pattern outer periphery of 400 mm and a pattern area of 100 cm 2 is shown in FIG.
The following evaluation was performed using the obtained eight types of black patterns B.

(4)形成された黒色パターンの密着性
(4−1)形成された黒色パターンの細線密着性
8種類のマスクBを用いて作成した図14に記載の構造の8種類の黒色パターン26の、B1〜B8の部分(それぞれ、縦横ともに10mmの範囲)を光学顕微鏡(オリンパス製;MX50)にて観察し、微細パターンの欠落を調べ、欠落がまったく発生していない微細パターンのサイズ(8種類のマスクBの遮光部23どうしの隙間の大きさ)を密着性の指標とした。値が小さいほど微細パターンの密着性は良好で、パターン内にロゴマーク等を作成するのに適している。
実用レベルはA〜Eであり、A〜Dであることが好ましく、AまたはBであることがより好ましい。
(評価基準)
A; 10μmの細線パターンが欠落しない
B: 20μmの細線パターンが欠落しない
C: 30μmの細線パターンが欠落しない
D; 40μmの細線パターンが欠落しない
E; 50μmの細線パターンが欠落しない
F; 60μmの細線パターンが欠落しない
G; 70μmの細線パターンが欠落しない
H; 80μmの細線パターンが欠落しない
(4) Adhesion of formed black pattern (4-1) Fine line adhesion of formed black pattern Eight kinds of black patterns 26 having the structure shown in FIG. B1 to B8 (each 10 mm in both vertical and horizontal directions) were observed with an optical microscope (manufactured by Olympus; MX50) to check for missing fine patterns. The size of the gap between the light shielding portions 23 of the mask B) was used as an adhesion index. The smaller the value, the better the adhesion of the fine pattern, which is suitable for creating a logo mark or the like in the pattern.
The practical level is A to E, preferably A to D, more preferably A or B.
(Evaluation criteria)
A: 10 μm fine line pattern is not missing B: 20 μm fine line pattern is not missing C: 30 μm fine line pattern is not missing D; 40 μm fine line pattern is not missing E; 50 μm fine line pattern is not missing F; 60 μm fine line No missing pattern G; No 70 μm fine line pattern missing H; No 80 μm fine line pattern missing

(4−2)形成された黒色パターンのクロスカット密着性
8種類のマスクBのうち、遮光部23どうしの隙間の大きさが30μmのマスクBを用いて作成したパターンの、B11〜B15部分(それぞれ、縦横ともに20mmの範囲)にてJIS−K5400法に準拠したクロスカット試験を実施した。5箇所についてJIS−K5400に基づく評価点に換算し、その平均点を求めた。値が高いほうが密着は良好であり、パターン形成後の工程適性や、パターン作成基板の機械的強度に優れる。
実用レベルはC以上である。
(評価基準)
A;剥がれが見られない
B:剥がれが見られるものの、1%以下である
C:剥がれが、1%より多く、3%以下である
D;剥がれが、3%より多く、5%以下である
E;剥がれが、5%より多い
(4-2) Cross-cut adhesion of the formed black pattern B11 to B15 portions of the pattern created using the mask B in which the size of the gap between the light shielding portions 23 is 30 μm among the eight types of masks B ( A cross-cut test based on the JIS-K5400 method was performed in the range of 20 mm in both length and width. The five points were converted into evaluation points based on JIS-K5400, and the average points were obtained. The higher the value, the better the adhesion, and the better the process suitability after pattern formation and the mechanical strength of the pattern forming substrate.
The practical level is C or higher.
(Evaluation criteria)
A: No peeling is observed B: Although peeling is observed, it is 1% or less C: Peeling is more than 1% and 3% or less D: Peeling is more than 3% and 5% or less E; More than 5% peeling

以上の(1)〜(4)の評価結果を下記表1に示す。   The evaluation results of (1) to (4) above are shown in Table 1 below.

[実施例2]
実施例1で行ったアルカリ処理で、110℃に加熱したスチーム式遠赤外ヒーターの下に10秒滞留させたのを、90℃に加熱したスチーム式遠赤外ヒーターの下に10秒滞留させた以外は実施例1と同様にして、実施例2の製造方法で製造された光硬化性樹脂層を有する積層体を製造した。
続いて、実施例2の光硬化性樹脂層を有する積層体を用いた以外は実施例1と同様にして、黒色パターンAおよび黒色パターンBを得た。得られた黒色パターンAおよび黒色パターンBを用い、実施例1と同様の評価を行った。その結果を下記表1に示す。
[Example 2]
The alkali treatment performed in Example 1 was retained for 10 seconds under the steam far infrared heater heated to 110 ° C., but was retained for 10 seconds under the steam far infrared heater heated to 90 ° C. A laminate having the photocurable resin layer produced by the production method of Example 2 was produced in the same manner as in Example 1 except that.
Then, the black pattern A and the black pattern B were obtained like Example 1 except having used the laminated body which has the photocurable resin layer of Example 2. FIG. Evaluation similar to Example 1 was performed using the obtained black pattern A and black pattern B. The results are shown in Table 1 below.

[実施例3]
実施例1で、厚さ80μmの可撓性フィルム(セルロースアシレートフィルム)CAF−1の代わりに、厚さ75μmの可撓性フィルム(二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム)PET−1を用いた以外は実施例1と同様にして、実施例3の製造方法で製造された光硬化性樹脂層を有する積層体を製造した。
[Example 3]
In Example 1, instead of a flexible film (cellulose acylate film) CAF-1 having a thickness of 80 μm, a flexible film (biaxially stretched polyethylene terephthalate film) PET-1 having a thickness of 75 μm was used. In the same manner as in Example 1, a laminate having a photocurable resin layer produced by the production method of Example 3 was produced.

続いて、実施例3の光硬化性樹脂層を有する積層体を用いた以外は実施例1と同様にして、黒色パターンAおよび黒色パターンBを得た。得られた黒色パターンAおよび黒色パターンBを用い、実施例1と同様の評価を行った。その結果を下記表1に示す。   Then, the black pattern A and the black pattern B were obtained like Example 1 except having used the laminated body which has a photocurable resin layer of Example 3. FIG. Evaluation similar to Example 1 was performed using the obtained black pattern A and black pattern B. The results are shown in Table 1 below.

[比較例1]
可撓性フィルムCAF−1をアルカリ処理せずに用いた以外は実施例1と同様にして、比較例1の製造方法で製造された光硬化性樹脂層を有する積層体を製造した。
続いて、比較例1の光硬化性樹脂層を有する積層体を用いた以外は実施例1と同様にして、黒色パターンAおよび黒色パターンBを得た。得られた黒色パターンAおよび黒色パターンBを用い、実施例1と同様の評価を行った。その結果を下記表1に示す。
[Comparative Example 1]
A laminate having a photocurable resin layer produced by the production method of Comparative Example 1 was produced in the same manner as in Example 1 except that the flexible film CAF-1 was used without being subjected to alkali treatment.
Then, the black pattern A and the black pattern B were obtained like Example 1 except having used the laminated body which has the photocurable resin layer of the comparative example 1. FIG. Evaluation similar to Example 1 was performed using the obtained black pattern A and black pattern B. The results are shown in Table 1 below.

[比較例2]
可撓性フィルムCAF−1に、シランカップリング液(N−β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン0.3質量%水溶液、商品名:KBM603、信越化学工業(株)製)をシャワーにより20秒間吹き付け、純水シャワー洗浄した。これを予備加熱装置で加熱した以外は実施例1と同様にして、比較例2の製造方法で製造された光硬化性樹脂層を有する積層体を製造した。
続いて、比較例2の光硬化性樹脂層を有する積層体を用いた以外は実施例1と同様にして、黒色パターンAおよび黒色パターンBを得た。得られた黒色パターンAおよび黒色パターンBを用い、実施例1と同様の評価を行った。その結果を下記表1に示す。
[Comparative Example 2]
Silane coupling solution (N-β- (aminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane 0.3 mass% aqueous solution, trade name: KBM603, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) on flexible film CAF-1. Was sprayed for 20 seconds in a shower and washed with pure water. A laminate having a photocurable resin layer produced by the production method of Comparative Example 2 was produced in the same manner as in Example 1 except that this was heated with a preheating device.
Then, the black pattern A and the black pattern B were obtained like Example 1 except having used the laminated body which has the photocurable resin layer of the comparative example 2. FIG. Evaluation similar to Example 1 was performed using the obtained black pattern A and black pattern B. The results are shown in Table 1 below.

Figure 0005926128
Figure 0005926128

上記表1より、本発明の製造方法で製造された光硬化性樹脂層を有する積層体を露光して得られた黒色パターンは、基板端欠陥、基板内のパターン端欠陥およびパターン内ピンホールが少なく、密着性に優れていることがわかった。   From Table 1 above, the black pattern obtained by exposing the laminate having the photocurable resin layer produced by the production method of the present invention has a substrate end defect, a pattern end defect in the substrate, and a pinhole in the pattern. It was found that the adhesion was excellent.

[実施例101〜103、比較例101および102]
<静電容量型入力装置の製造と評価>
ガラス1’の両面にそれぞれ第一の透明電極パターン3であるXセンサーおよび第二の透明電極パターン4であるYセンサーのうち一方ずつを形成した図1Aに記載の構造の第一および第二の透明電極パターンを有する基板に、高透明性接着剤層14を用いて各実施例および比較例においてマスクAを用いて得られた黒色パターン(図1A中、可撓性支持体1および黒色パターンであるマスク層2の積層体に相当する)を貼りあわせ、さらにカバーガラス13を貼りあわせて、各実施例および比較例の静電容量型入力装置を作製した。また作製した各実施例および比較例の静電容量型入力装置をLCDモジュールに貼りあわせて、各実施例および比較例の画像表示装置とした。
本発明の光硬化性樹脂層を有する積層体の製造方法により作製した黒色パターンを用いて作製した画像表示装置は欠陥がなく、表示特性に優れることがわかった。一方、比較例に示した作製した黒色パターンを用いて作製した画像表示装置は、額縁部の欠陥が多く、欠陥部が視認できるため、表示品質上劣るものであった。
[Examples 101 to 103, Comparative Examples 101 and 102]
<Manufacturing and Evaluation of Capacitive Input Device>
1st and 2nd of the structure of FIG. 1A which formed one each in X sensor which is the 1st transparent electrode pattern 3, and Y sensor which is the 2nd transparent electrode pattern 4 on both surfaces of glass 1 ', respectively. A black pattern obtained by using the mask A in each Example and Comparative Example using the highly transparent adhesive layer 14 on the substrate having the transparent electrode pattern (in FIG. 1A, the flexible support 1 and the black pattern (Corresponding to a laminated body of a certain mask layer 2) and a cover glass 13 were further bonded to produce a capacitance type input device of each example and comparative example. The produced capacitive input devices of the examples and comparative examples were bonded to the LCD module to obtain image display devices of the examples and comparative examples.
It has been found that the image display device produced using the black pattern produced by the method for producing a laminate having the photocurable resin layer of the present invention has no defects and is excellent in display characteristics. On the other hand, the image display device produced using the produced black pattern shown in the comparative example has a poor display quality because there are many defects in the frame part and the defective part can be visually recognized.

1 可撓性支持体
1’ 前面板(ガラス)
2 マスク層
3 第一の透明電極パターン
3a パッド部分
3b 接続部分
4 第二の透明電極パターン
5 絶縁層
6 導電性要素
7 透明保護層
8 開口部
10 静電容量型入力装置
11 強化処理ガラス
12 別の導電性要素
13 カバーガラス
14 透明接着剤層
21 光硬化性樹脂層を有する積層体(ワーク)の配置位置
21’ 基板(光硬化性樹脂層を有する積層体中の可撓性支持体)の外周部分
22 マスク外周
23 マスク遮光部
24 光透過パターン部(黒色パターンが形成される領域)
25 マスク
26 黒色パターン(光硬化性樹脂層を有する積層体中の光硬化性樹脂層が硬化されてなる層)
27 パターン非形成部分
1 Flexible support 1 'Front plate (glass)
2 Mask Layer 3 First Transparent Electrode Pattern 3a Pad Part 3b Connection Part 4 Second Transparent Electrode Pattern 5 Insulating Layer 6 Conductive Element 7 Transparent Protective Layer 8 Opening 10 Capacitive Input Device 11 Tempered Glass 12 Conductive element 13 Cover glass 14 Transparent adhesive layer 21 Arrangement position 21 ′ of laminate (work) having photocurable resin layer of substrate (flexible support in laminate having photocurable resin layer) Outer peripheral portion 22 Mask outer periphery 23 Mask light shielding portion 24 Light transmission pattern portion (region where black pattern is formed)
25 Mask 26 Black pattern (a layer formed by curing a photocurable resin layer in a laminate having a photocurable resin layer)
27 Pattern non-formation part

Claims (12)

可撓性支持体の少なくとも一方の表面をアルカリ処理する工程と、
前記可撓性支持体のアルカリ処理した表面上に、仮支持体上に光硬化性樹脂層を具備する感光性フィルムの該光硬化性樹脂層を重ねて、圧着する工程と、
を含み、
前記光硬化性樹脂層がカルボン酸基含有樹脂を含有し、
前記可撓性支持体がセルロース系支持体またはポリエステル系支持体であることを特徴とする光硬化性樹脂層を有する積層体の製造方法。
A step of alkali-treating at least one surface of the flexible support;
Overlaying the photocurable resin layer of a photosensitive film having a photocurable resin layer on a temporary support on the alkali-treated surface of the flexible support, and press-bonding;
Only including,
The photocurable resin layer contains a carboxylic acid group-containing resin,
The method for producing a laminate having a photocurable resin layer, wherein the flexible support is a cellulose-based support or a polyester-based support .
前記感光性フィルムが少なくとも前記仮支持体と熱可塑性樹脂層と前記光硬化性樹脂層とをこの順で有することを特徴とする請求項1に記載の光硬化性樹脂層を有する積層体の製造方法。   The said photosensitive film has at least the said temporary support body, a thermoplastic resin layer, and the said photocurable resin layer in this order, Manufacture of the laminated body which has a photocurable resin layer of Claim 1 characterized by the above-mentioned. Method. 前記圧着工程を、加熱しながら行うことを特徴とする請求項1または2に記載の光硬化性樹脂層を有する積層体の製造方法。 The method for producing a laminate having a photocurable resin layer according to claim 1 or 2 , wherein the crimping step is performed while heating. 前記光硬化性樹脂層が、黒色着色剤および白色着色剤のうち少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項1〜のいずれか一項に記載の光硬化性樹脂層を有する積層体の製造方法。 The said photocurable resin layer contains at least one among a black colorant and a white colorant, The manufacture of the laminated body which has a photocurable resin layer as described in any one of Claims 1-3 characterized by the above-mentioned. Method. 可撓性支持体の少なくとも一方の表面上に光硬化性樹脂層を有する硬化物積層体を含み、
遮光部どうしの隙間の大きさが50μmで配置されたマスクパターンを用いて露光した場合に前記可撓性支持体のパターン端面における前記光硬化性樹脂層のパターン欠陥が1cm当り5個以下であり、
遮光部どうしの隙間の大きさが30μmで配置されたマスクパターンを用いて露光した場合にJIS−K5400法に準拠したクロスカット試験を実施した後の前記光硬化性樹脂層の剥がれが3%以下であり、
前記光硬化性樹脂層がカルボン酸基含有樹脂を含有し、
前記可撓性支持体がセルロース系支持体またはポリエステル系支持体であることを特徴とする静電容量型入力装置。
Look containing a cured product laminate to have a photocurable resin layer on at least one surface of a flexible support,
When exposure is performed using a mask pattern in which the size of the gap between the light shielding portions is 50 μm, the number of pattern defects of the photocurable resin layer on the pattern end surface of the flexible support is 5 or less per cm. ,
3% or less of peeling of the photocurable resin layer after carrying out a cross-cut test based on the JIS-K5400 method when exposed using a mask pattern arranged with a gap of 30 μm between the light shielding portions And
The photocurable resin layer contains a carboxylic acid group-containing resin,
The electrostatic capacity type input device, wherein the flexible support is a cellulose support or a polyester support .
マスク層を有し、前記硬化物積層体の少なくとも1層が前記マスク層であることを特徴とする請求項に記載の静電容量型入力装置。 6. The capacitive input device according to claim 5 , further comprising a mask layer, wherein at least one layer of the cured product laminate is the mask layer. 下記(1)〜(5)の要素を有し、前記硬化物積層体の少なくとも1層が前記(1)マスク層であることを特徴とする請求項5または6に記載の静電容量型入力装置。
(1)マスク層
(2)複数のパッド部分が接続部分を介して第一の方向に延在して形成された複数の第一の透明電極パターン
(3)前記第一の透明電極パターンと電気的に絶縁され、前記第一の方向に交差する方向に延在して形成された複数のパッド部分からなる複数の第二の透明電極パターン
(4)前記第一の透明電極パターンと前記第二の透明電極パターンとを電気的に絶縁する絶縁層
(5)前記第一の透明電極パターンおよび前記第二の透明電極パターンの少なくとも一方に電気的に接続され、前記第一の透明電極パターンおよび前記第二の透明電極パターンとは別の導電性要素
The electrostatic capacitance-type input according to claim 5 or 6 , comprising the following elements (1) to (5), wherein at least one layer of the cured product laminate is the (1) mask layer. apparatus.
(1) Mask layer (2) A plurality of first transparent electrode patterns formed by extending a plurality of pad portions in a first direction via connection portions (3) The first transparent electrode pattern and the electric A plurality of second transparent electrode patterns comprising a plurality of pad portions that are electrically insulated and extend in a direction intersecting the first direction (4) The first transparent electrode pattern and the second An insulating layer that electrically insulates the transparent electrode pattern (5) electrically connected to at least one of the first transparent electrode pattern and the second transparent electrode pattern, and the first transparent electrode pattern and the second transparent electrode pattern Conductive element separate from the second transparent electrode pattern
請求項1〜のいずれか一項に記載の光硬化性樹脂層を有する積層体の製造方法で製造された光硬化性樹脂層を有する積層体を、露光する工程を含むことを特徴とする静電容量型入力装置の製造方法。 It includes the process of exposing the laminated body which has a photocurable resin layer manufactured with the manufacturing method of the laminated body which has a photocurable resin layer as described in any one of Claims 1-4. A method for manufacturing a capacitive input device. 前記光硬化性樹脂層を有する積層体をパターニング露光することを特徴とする請求項に記載の静電容量型入力装置の製造方法。 The method for manufacturing a capacitive input device according to claim 8 , wherein patterning exposure is performed on the laminate having the photocurable resin layer. マスク層を有する静電容量型入力装置の製造方法であり、前記光硬化性樹脂層を有する積層体を露光して前記マスク層を形成することを特徴とする請求項またはに記載の静電容量型入力装置の製造方法。 A method for producing a capacitance type input devices having a mask layer, static according to claim 8 or 9, characterized in that to form the mask layer by exposing the laminate having the photocurable resin layer A method for manufacturing a capacitive input device. 下記(1)〜(5)の要素を有する静電容量型入力装置の製造方法であり、前記光硬化性樹脂層を有する積層体を露光して前記(1)マスク層を形成することを特徴とする請求項10のいずれか一項に記載の静電容量型入力装置の製造方法。
(1)マスク層
(2)複数のパッド部分が接続部分を介して第一の方向に延在して形成された複数の第一の透明電極パターン
(3)前記第一の透明電極パターンと電気的に絶縁され、前記第一の方向に交差する方向に延在して形成された複数のパッド部分からなる複数の第二の透明電極パターン
(4)前記第一の透明電極パターンと前記第二の透明電極パターンとを電気的に絶縁する絶縁層
(5)前記第一の透明電極パターンおよび前記第二の透明電極パターンの少なくとも一方に電気的に接続され、前記第一の透明電極パターンおよび前記第二の透明電極パターンとは別の導電性要素
It is a manufacturing method of the capacitance-type input device which has an element of following (1)-(5), and exposes the laminated body which has the said photocurable resin layer, The said (1) mask layer is formed. The method for manufacturing a capacitive input device according to any one of claims 8 to 10 .
(1) Mask layer (2) A plurality of first transparent electrode patterns formed by extending a plurality of pad portions in a first direction via connection portions (3) The first transparent electrode pattern and the electric A plurality of second transparent electrode patterns comprising a plurality of pad portions that are electrically insulated and extend in a direction intersecting the first direction (4) The first transparent electrode pattern and the second An insulating layer that electrically insulates the transparent electrode pattern (5) electrically connected to at least one of the first transparent electrode pattern and the second transparent electrode pattern, and the first transparent electrode pattern and the second transparent electrode pattern Conductive element separate from the second transparent electrode pattern
請求項のいずれか一項に記載の静電容量型入力装置を構成要素として備えた画像表示装置。 An image display device having as a component a capacitive input device according to any one of claims 5-7.
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