JP5921190B2 - 画像処理装置及び画像処理方法 - Google Patents

Description

本発明は、撮像した画像に基づいて製品の良否判定を実行した判定結果を用い、実際の製品の良否に合わせて画像処理ツールの設定情報を調整する画像処理装置及び画像処理方法に関する。

検査対象物の画像を撮像して製品の良否判定を実行する場合、同一製品の製造ラインを増設するときには、既存の製造ラインで使用していた製品の良否判定に用いる設定情報は、増設した製造ラインで用いる撮像装置でも流用することができる。具体的には、製品の良否判定に用いる設定情報を製造ライン上で共有し、新たな撮像装置を取り付けた場合には、記憶してある設定情報をダウンロード等することにより、共通の設定情報を用いて撮像することができる。

例えば特許文献１では、検査フローや検査パラメータを選択することにより、所望の外観検査プログラムを作成し、製品の良否判定を実行する外観検査プログラム作成装置が開示されている。特許文献１では、撮像部で撮像した画像に対して検査用に複数種類の画像処理アルゴリズムを記憶しておき、検査フローや検査パラメータを選択することで、検査対象物に応じた外観検査プログラムを作成することができる。

特開２００２−００８０１３号公報

特許文献１では、同一の検査対象物に対しては同一の検査フローや検査パラメータを選択するので、同一の外観検査プログラムを作成する。しかし、実際の外観検査時には、照明の状態、撮像装置の取り付け位置、姿勢のズレ、レンズの絞り、ピント調整の相違等に起因して、同一の外観検査プログラムで検査した場合であっても必ずしも同一の判定結果を得ることができるとは限らない。したがって、同一の検査パラメータを選択したにもかかわらず、良品を不良品と、あるいは不良品を良品と、誤判定してしまうおそれがあるという問題点があった。

新たに撮像装置を製造ラインに増設する場合、照明の状態、撮像装置の取り付け位置、姿勢のズレ、レンズの絞り、ピント調整等を増設時に行うことにより、誤判定を未然に防止することはできる。しかし、これらの調整には経験と習熟とが必要となり、作業者の作業負担が大きくなるという問題点もあった。

本発明は、斯かる事情に鑑みてなされたものであり、作業者が設定情報に習熟していない場合であっても、良否判定の設定情報を適切に調整することができ、良品／不良品の誤判定を未然に回避することができる画像処理装置及び画像処理方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために第１発明に係る画像処理装置は、検査対象物を撮像する撮像部と接続され、該撮像部で撮像した前記検査対象物の画像に対して画像処理を実行し、画像処理の結果に基づいて検査対象物の良否を判定する画像処理装置において、各種の画像処理を実行する複数の画像処理ツールを有し、所望の検査内容に基づいて、前記複数の画像処理ツールの中から複数の画像処理ツールの選択を受け付ける画像処理ツール選択受付部と、選択を受け付けたそれぞれの前記画像処理ツールごとに、パラメータの設定を受け付けるパラメータ設定受付部と、選択を受け付けた前記複数の画像処理ツールと、選択を受け付けたそれぞれの前記画像処理ツールごとに設定を受け付けたパラメータとを用いて、複数の前記検査対象物の画像に対して、選択を受け付けた前記画像処理ツールごとの良品であるか否かに関する判定結果を、検査対象物の画像と対応付けて記憶する判定結果記憶部と、選択を受け付けた前記複数の画像処理ツールと、選択を受け付けたそれぞれの前記画像処理ツールごとに設定を受け付けたパラメータとを用いて、複数の前記検査対象物の画像に対して、選択を受け付けた前記画像処理ツールごとの良品であるか否かに関する判定結果を、選択を受け付けたそれぞれの前記画像処理ツールごとに表示する表示部と、選択を受け付けた前記複数の画像処理ツールの中から、前記画像処理ツールによる判定結果の指定を受け付ける画像処理ツール指定受付部と、指定を受け付けた画像処理ツールに対応付けて記憶されている前記判定結果を表示するとともに、選択を受け付けた前記判定結果に対応付けられた前記検査対象物の画像を表示し、表示されている前記検査対象物の画像の前記判定結果を変更対象として選択を受け付けた場合、指定を受け付けた画像処理ツールに基づく良品であるか否かに関する前記判定結果の変更を受け付ける判定結果変更部と、変更を受け付けた前記判定結果に応じて、指定を受け付けた前記画像処理ツールに対応するパラメータの更新を受け付ける設定情報更新部と、前記対応するパラメータの更新を受け付けた前記画像処理ツールを含む、選択を受け付けた前記画像処理ツールを用いて、複数の前記検査対象物の画像を一括して良否を再判定する再判定部とを備えることを特徴とする。

また、第２発明に係る画像処理装置は、第１発明において、前記画像処理ツール指定受付部は、不良品であるとの判定結果が多い画像処理ツールを優先して指定を受け付けるようにしてあることを特徴とする。

また、第３発明に係る画像処理装置は、第１又は第２発明において、前記判定結果変更部は、良品と判定された検査対象物を識別する情報及び不良品と判定された検査対象物を識別する情報を、それぞれ別個の領域に表示するようにしてあり、一の領域に表示された検査対象物を識別する情報を他の領域へ移動する操作を受け付けるようにしてあることを特徴とする。

また、第４発明に係る画像処理装置は、第１乃至第３発明のいずれか１つにおいて、前記判定結果を良品と不良品とに分類してリスト表示するようにしてあり、前記判定結果変更部は、リスト表示された判定結果を良品から不良品へ、不良品から良品へ、それぞれ変更することができるようにしてあることを特徴とする。

また、第５発明に係る画像処理装置は、第４発明において、リスト表示された判定結果の中から一の判定結果の選択を受け付け、選択を受け付けた判定結果に対応する画像を表示するようにしてあることを特徴とする。

次に、上記目的を達成するために第６発明に係る画像処理方法は、検査対象物を撮像する撮像部と接続され、該撮像部で撮像した前記検査対象物の画像に対して画像処理を実行し、画像処理の結果に基づいて検査対象物の良否を判定する画像処理装置で実行することが可能な画像処理方法において、前記画像処理装置は、各種の画像処理を実行する複数の画像処理ツールを有し、所望の検査内容に基づいて、前記複数の画像処理ツールの中から複数の画像処理ツールの選択を受け付けるステップと、選択を受け付けたそれぞれの前記画像処理ツールごとに、パラメータの設定を受け付けるステップと、選択を受け付けた前記複数の画像処理ツールと、選択を受け付けたそれぞれの前記画像処理ツールごとに設定を受け付けたパラメータとを用いて、複数の前記検査対象物の画像に対して、選択を受け付けた前記画像処理ツールごとの良品であるか否かに関する判定結果を、検査対象物の画像と対応付けて記憶するステップと、選択を受け付けた前記複数の画像処理ツールと、選択を受け付けたそれぞれの前記画像処理ツールごとに設定を受け付けたパラメータとを用いて、複数の前記検査対象物の画像に対して、選択を受け付けた前記画像処理ツールごとの良品であるか否かに関する判定結果を、選択を受け付けたそれぞれの前記画像処理ツールごとに表示するステップと、選択を受け付けた前記複数の画像処理ツールの中から、前記画像処理ツールによる判定結果の指定を受け付けるステップと、指定を受け付けた画像処理ツールに対応付けて記憶されている前記判定結果を表示するとともに、選択を受け付けた前記判定結果に対応付けられた前記検査対象物の画像を表示し、表示されている前記検査対象物の画像の前記判定結果を変更対象として選択を受け付けた場合、指定を受け付けた画像処理ツールに基づく良品であるか否かに関する前記判定結果の変更を受け付けるステップと、変更を受け付けた前記判定結果に応じて、指定を受け付けた前記画像処理ツールに対応するパラメータの更新を受け付けるステップと、前記対応するパラメータの更新を受け付けた前記画像処理ツールを含む、選択を受け付けた前記画像処理ツールを用いて、複数の前記検査対象物の画像を一括して良否を再判定するステップとを含むことを特徴とする。

また、第７発明に係る画像処理方法は、第６発明において、前記画像処理装置は、不良品であるとの判定結果が多い画像処理ツールを優先して指定を受け付けることを特徴とする。

また、第８発明に係る画像処理方法は、第６又は第７発明において、前記画像処理装置は、良品と判定された検査対象物を識別する情報及び不良品と判定された検査対象物を識別する情報を、それぞれ別個の領域に表示し、一の領域に表示された検査対象物を識別する情報を他の領域へ移動する操作を受け付けることを特徴とする。

また、第９発明に係る画像処理方法は、第６乃至第８発明のいずれか１つにおいて、 前記画像処理装置は、前記判定結果を良品と不良品とに分類してリスト表示し、リスト表示された判定結果を良品から不良品へ、不良品から良品へ、それぞれ変更することができることを特徴とする。

また、第１０発明に係る画像処理方法は、第９発明において、前記画像処理装置は、リスト表示された判定結果の中から一の判定結果の選択を受け付け、選択を受け付けた判定結果に対応する画像を表示することを特徴とする。

第１発明及び第６発明では、所望の検査内容に基づいて、複数の画像処理ツールの中から複数の画像処理ツールの選択を受け付け、選択を受け付けたそれぞれの画像処理ツールごとに、パラメータの設定を受け付ける。選択を受け付けた複数の画像処理ツールと、選択を受け付けたそれぞれの前記画像処理ツールごとに設定を受け付けたパラメータとを用いて、複数の検査対象物の画像に対して、選択を受け付けた画像処理ツールごとの良品であるか否かに関する判定結果を、検査対象物の画像と対応付けて記憶しておく。選択を受け付けた複数の画像処理ツールと、選択を受け付けたそれぞれの画像処理ツールごとに設定を受け付けたパラメータとを用いて、複数の検査対象物の画像に対して、選択を受け付けた画像処理ツールごとの良品であるか否かに関する判定結果を、選択を受け付けたそれぞれの画像処理ツールごとに表示する。選択を受け付けた複数の画像処理ツールの中から、画像処理ツールによる判定結果の指定を受け付け、指定を受け付けた画像処理ツールに対応付けて記憶されている前記判定結果を表示するとともに、選択を受け付けた判定結果に対応付けられた検査対象物の画像を表示し、表示されている検査対象物の画像の判定結果を変更対象として選択を受け付けた場合、指定を受け付けた画像処理ツールに基づく良品であるか否かに関する判定結果の変更を受け付け、変更を受け付けた判定結果に応じて、指定を受け付けた画像処理ツールに対応するパラメータの更新を受け付ける。対応するパラメータの更新を受け付けた画像処理ツールを含む、選択を受け付けた画像処理ツールを用いて、複数の検査対象物の画像を一括して良否を再判定する。これにより、判定結果が誤っている場合に、判定結果の変更を受け付けると同時に設定情報の更新を受け付け、更新を受け付けた設定情報に基づいて一括して良否が再判定されるので、設定情報の詳細を知らなくても、自らの判定結果に基づいて良品を良品と、不良品を不良品と、正しく判定するための設定情報を高い精度で定めることができ、経年変化、環境の変化等も考慮した設定情報に基づいて製品検査を行うことが可能となる。

第２発明及び第７発明では、不良品であるとの判定結果が多い画像処理ツールを優先して指定を受け付けることにより、良品であるにもかかわらず不良品であると誤って判定された設定情報から順に適切な設定情報に調整することができ、結果として早期に適切な設定情報に更新することが可能となる。

第３発明及び第８発明では、良品と判定された検査対象物を識別する情報及び不良品と判定された検査対象物を識別する情報を、それぞれ別個の領域に表示し、一の領域に表示された検査対象物を識別する情報を他の領域へ移動する操作を受け付けることにより、検査時に記憶されている設定情報では誤って判定されている検査対象物のみを、正しい判定結果を示す領域へと移動させることで、更新する必要のある設定情報のみを更新することが可能となる。

第４発明及び第９発明では、判定結果を良品と不良品とに分類してリスト表示し、リスト表示された判定結果を良品から不良品へ、不良品から良品へ、それぞれ変更することができるので、作業者がより視覚的に理解しやすいインタフェースを介して設定情報を調整することが可能となる。

第５発明及び第１０発明では、リスト表示された判定結果の中から一の判定結果の選択を受け付け、選択を受け付けた判定結果に対応する画像を表示するので、良品であると判定された検査対象物が本当に良品であるか、あるいは不良品であると判定された検査対象物が本当に不良品であるか、を目視確認することが可能となる。

本発明では、判定結果が誤っている場合に、判定結果の変更を受け付けると同時に設定情報の更新を受け付け、更新を受け付けた設定情報に基づいて一括して良否が再判定されるので、設定情報の詳細を知らなくても、自らの判定結果に基づいて良品を良品と、不良品を不良品と、正しく判定するための設定情報を高い精度で定めることができ、経年変化、環境の変化等も考慮した設定情報に基づいて製品検査を行うことが可能となる。

本発明の実施の形態に係る画像処理装置を含む製品検査システムの構成を示す模式図である。 本発明の実施の形態に係る画像処理装置の構成を示すブロック図である。 本発明の実施の形態に係る画像処理装置を含む製品検査システムの、撮像環境を設定するパラメータを示す模式図である。 本発明の実施の形態に係る画像処理装置のエッジ位置計測ツールの例示図である。 本発明の実施の形態に係る画像処理装置のエッジ角度計測ツールの例示図である。 本発明の実施の形態に係る画像処理装置のエッジ幅計測ツールの例示図である。 本発明の実施の形態に係る画像処理装置のエッジピッチ計測ツールの例示図である。 本発明の実施の形態に係る画像処理装置のペアエッジ計測ツールの例示図である。 本発明の実施の形態に係る画像処理装置の二値化画像を表示した画面の例示図である。 本発明の実施の形態に係る画像処理装置のパターンサーチ計測ツールの例示図である。 本発明の実施の形態に係る画像処理装置の傷計測ツールで傷の存在を判定するためのセグメントの移動状態を示す模式図である。 本発明の実施の形態に係る画像処理装置の画像処理ツール選択画面の例示図である。 本発明の実施の形態に係る画像処理装置の機能ブロック図である。 本発明の実施の形態に係る画像処理装置の記憶装置に記憶されている画像の例示図である。 本発明の実施の形態に係る画像処理装置の検査領域の設定画面の例示図である。 本発明の実施の形態に係る画像処理装置のＣＰＵの処理手順を示すフローチャートである。 本発明の実施の形態に係る画像処理装置のツール指定受付画面の例示図である。 本発明の実施の形態に係る画像処理装置の判定結果変更画面の例示図である。 本発明の実施の形態に係る画像処理装置の判定結果変更画面の例示図である。 本発明の実施の形態に係る画像処理装置の検査領域のパターンサーチ計測ツール実行後の状態を示す画面の例示図である。 本発明の実施の形態に係る画像処理装置の判定結果の変更を通知する画面の例示図である。 本発明の実施の形態に係る画像処理装置の設定情報を更新する画面の例示図である。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。なお、本実施の形態の説明で参照する図面を通じて、同一又は同様の構成又は機能を有する要素については、同一又は同様の符号を付して、詳細な説明を省略する。

図１は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置を含む製品検査システムの構成を示す模式図である。図１に示すように、本実施の形態に係る画像処理装置を含む製品検査システムは、撮像装置（撮像部）１と、撮像装置１とデータ通信することが可能に接続ケーブル３で接続されている画像処理装置２とで構成されている。画像処理装置２は表示装置（図示せず）と接続されており、画像処理制御部２０１と照明制御部２０２とを内蔵している。

また、照明制御部２０２は、照明装置４とデータ通信することが可能に接続ケーブル３で接続されている。コンベア５上を移動してくる検査対象物６は、照明装置４で光が照射され、撮像装置１で撮像される。画像処理装置２は、撮像された検査対象物６の画像に基づいて、検査対象物６が良品であるか不良品であるかを判定する。

撮像装置１は、内部に画像処理を実行するＦＰＧＡ、ＤＳＰ等を備えており、検査対象物６を撮像する撮像素子を有するカメラモジュールを備えている。撮像素子としてはＣＭＯＳ基板を有しており、例えば撮像したカラー画像は、ＣＭＯＳ基板にてダイナミックレンジを広げる変換特性に基づいてＨＤＲ画像へ変換される。

図２は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２の構成を示すブロック図である。本発明の実施の形態に係る画像処理装置２は、少なくともＣＰＵ（中央演算装置）２１、メモリ２２、記憶装置２３、Ｉ／Ｏインタフェース２４、ビデオインタフェース２５、可搬型ディスクドライブ２６、通信インタフェース２７及び上述したハードウェアを接続する内部バス２８で構成されている。

ＣＰＵ２１は、内部バス２８を介して画像処理装置２の上述したようなハードウェア各部と接続されており、上述したハードウェア各部の動作を制御するとともに、記憶装置２３に記憶されたコンピュータプログラム１００に従って、種々のソフトウェア的機能を実行する。メモリ２２は、ＳＲＡＭ、ＳＤＲＡＭ等の揮発性メモリで構成され、コンピュータプログラム１００の実行時にロードモジュールが展開され、コンピュータプログラム１００の実行時に発生する一時的なデータ等を記憶する。

記憶装置２３は、内蔵される固定型記憶装置（ハードディスク）、ＲＯＭ等で構成されている。記憶装置２３に記憶されたコンピュータプログラム１００は、プログラム及びデータ等の情報を記録したＤＶＤ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬型記録媒体９０から、可搬型ディスクドライブ２６によりダウンロードされ、実行時には記憶装置２３からメモリ２２へ展開して実行される。もちろん、通信インタフェース２７を介して接続されている外部コンピュータからダウンロードされたコンピュータプログラムであっても良い。

通信インタフェース２７は内部バス２８に接続されており、インターネット、ＬＡＮ、ＷＡＮ等の外部のネットワークに接続されることにより、撮像装置１、照明装置４、外部コンピュータ等とデータ送受信を行うことが可能となっている。

Ｉ／Ｏインタフェース２４は、キーボード５０１、マウス５０２等の入力装置と接続され、データの入力を受け付ける。ビデオインタフェース２５は、ＣＲＴディスプレイ、液晶ディスプレイ等の表示装置５０３と接続され、所定の画像を表示する。

図３は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２を含む製品検査システムの、撮像環境を設定するパラメータを示す模式図である。図３に示すように、本実施の形態に係る製品検査システムは、撮像装置１の位置座標（Ｘ、Ｙ、Ｚ）と、ＸＹ平面上での首振り傾斜角度θとを、調整対象のパラメータとして調整することができる。また撮像装置１はピント及び明るさを調整することができる。具体的にはフォーカスリングによりピントを調整し、絞りリングにより明るさを調整する。

同様に、製品検査システムは、検査対象物６の位置座標（Ｘ、Ｙ）と、ＸＹ平面上での首振り傾斜角度θとを、調整対象のパラメータとして調整することができる。なお、検査対象物６は台座上に載置されているので、Ｚ軸方向への移動機構はない。

また、照明装置４は、照明装置４の位置座標（Ｘ、Ｙ、Ｚ）及び照射角度αを調整することができ、照明コントローラ４１を介して照度を調整することもできる。これらを調整することにより、記憶装置２３に記憶されている基準画像と同様の画像を撮像装置１で撮像することができる。

上述した構成の画像処理装置２は、撮像装置１で撮像した画像に対する各種の画像処理を実行する複数の画像処理ツールを備えている。ユーザは、ユーザが所望する画像処理を必要とする検査内容に基づいて、検査対象物６に対して一又は複数の画像処理ツールを事前に選択する。選択された複数の画像処理ツールを用いて、良否判定を実行する。

まず、画像処理装置２が有している複数の画像処理ツールのうち、代表的な画像処理ツールについて説明する。ユーザは、これらの画像処理ツールから検査に使用する一又は複数の画像処理ツールを選択しておき、選択された画像処理ツールごとに設けられているパラメータを調整する。なお、以下の画像処理ツールは、典型的な機能及びその実現方法の代表例を示すものに過ぎず、あらゆる画像処理に対応する画像処理ツールが本願発明の対象となることは言うまでもない。

まず、エッジ位置計測ツールは、例えば、ユーザが、検査対象物６が表示される画面上において、エッジ位置を検出したい検査領域に対してウインドウを設定することにより、設定された検査領域内で、任意の方向にスキャンして複数のエッジを検出する。検出した複数のエッジから、一のエッジの指定を受け付け、指定を受け付けたエッジの位置を計測する。

例えば検査領域の形状に応じてラベル分けをする。具体的には検査領域が矩形領域である場合にはラベル‘１’、円弧領域である場合にはラベル‘０’というように、形状ごとにラベル分けをする。ラベルごとに設定するべき設定情報が相違する。設定された検査領域の形状、つまり矩形領域や円弧領域が、エッジ位置計測ツールにおける検査領域の形状の選択という観点でのパラメータの一つである。

図４は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２のエッジ位置計測ツールの例示図である。図４（ａ）は、検査領域が矩形領域である場合を、図４（ｂ）は、検査領域が円弧領域である場合を、それぞれ示している。

図４（ａ）に示すように、検査領域５０が矩形領域である場合、エッジの検出方向をＸ軸の正方向（矢印５１の方向）、エッジの検出位置を明から暗に切り換わる位置と指定することにより、図４（ａ）では３つのエッジ５２を検出することができる。そして、検出したエッジ５２の中点座標を該エッジの位置座標として計測する。例えば真ん中のエッジ５２については、中点５３の位置座標（Ｘ、Ｙ）＝（５６０、４６０）であると計測することができる。

また、図４（ｂ）に示すように、検査領域５４が円弧領域である場合、エッジの検出方向を時計回り（矢印５５の回転方向）、エッジの検出位置を明から暗に切り換わる位置と指定することにより、図４（ｂ）では１つのエッジ５６を検出することができる。そして、検出したエッジ５６の回転位置を原点を通る所定の方向からの回転角度５７として計測する。例えばエッジ５６については、原点を通る所定の方向からの回転角度５７が２４０度であると計測することができる。ここでの、エッジの検出位置が明から暗に切り換わる位置の指定もエッジ位置計測ツールにおけるパラメータの一つであり、逆に暗から明に切り換わる位置をパラメータとして指定しても良い。また、必要に応じて、エッジの検出位置が暗から明に切り換わる位置及び明から暗に切り換わる位置の両方をパラメータとして指定しても良い。

なお、エッジは、画素値の絶対値ではなく差分に基づいて検出する。そして、検出されたエッジの最大強度のＮ％以下はノイズとして検出しない旨を示すパラメータの一つであるエッジ感度Ｎを調整することで、エッジとして検出するか否かを調整することができる。以下、エッジを検出する複数の画像処理ツールにおいて、同様である。

次に、エッジ角度計測ツールは、設定を受け付けた検査領域内に２つのセグメントを設定し、それぞれのセグメントで検出したエッジからの検査対象物６の傾斜角度を計測する。本実施の形態では、傾斜角度は便宜上、時計回りを正とする。

図５は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２のエッジ角度計測ツールの例示図である。図５に示すように、傾斜した状態で撮像された検査対象物６に対して、矩形領域である検査領域６０を設定する。検査領域６０内で２つの異なるセグメント６１、６２を設定して、それぞれのセグメントにおいてエッジ６３、６４を検出する。

エッジの検出方向をＸ軸の正方向と、エッジの検出位置を明から暗に切り換わる位置とを、それぞれパラメータとして指定することにより、セグメント６１、６２ごとにエッジ６３、６４を検出することができる。そして、検出した２つのエッジ６３の代表点とエッジ６４の代表点（図５ではセグメント６１、６２の上辺での切片）とを結ぶ線分の傾斜角度６５をエッジ角度として計測する。例えば図５では、傾斜角度の起点をＸ軸方向として、傾斜角度６５が７５度であると計測することができる。

次に、エッジ幅計測ツールは、設定を受け付けた検査領域内で、任意の方向にスキャンして複数のエッジを検出し、検出した複数のエッジ間の幅を計測する。

図６は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２のエッジ幅計測ツールの例示図である。図６（ａ）は、検査領域が矩形領域である場合を、図６（ｂ）は、検査領域が円弧領域である場合を、それぞれ示している。

図６（ａ）に示すように、検査領域７０が矩形領域である場合、エッジの検出方向をＸ軸の正方向（矢印７１の方向）と、エッジの検出位置が明から暗に切り換わる位置及び暗から明に切り換わる位置とを、それぞれパラメータとして指定することにより、図６（ａ）では複数のエッジを検出することができる。そして、検出した複数のエッジから幅を計測する２つのエッジ７２、７３の指定を受け付けることで、指定を受け付けた２つエッジ７２、７３間の距離をエッジ幅７４として計測する。例えばエッジ幅７４が‘１００’であると計測することができる。

また、図６（ｂ）に示すように、検査領域７５が円弧領域である場合、エッジの検出方向を時計回り（矢印７６の回転方向）と、エッジの検出位置を明から暗に切り換わる位置及び暗から明に切り換わる位置と指定することにより、図６（ｂ）でも複数のエッジを検出することができる。そして、検出した複数のエッジから幅を計測する２つのエッジ７７、７８の指定を受け付けることで、指定を受け付けた２つエッジ７７、７８間の角度を中心角とするエッジ幅７９として計測する。例えばエッジ幅７９が‘６９度’であると計測することができる。

次に、エッジピッチ計測ツールは、設定を受け付けた検査領域内で、任意の方向にスキャンして複数のエッジを検出する。検出した複数のエッジ間の距離（角度）の最大値／最小値や平均値を計測する。

図７は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２のエッジピッチ計測ツールの例示図である。図７（ａ）は、検査領域が矩形領域である場合を、図７（ｂ）は、検査領域が円弧領域である場合を、それぞれ示している。

図７（ａ）に示すように、検査領域８０が矩形領域である場合、エッジの検出方向をＸ軸の正方向（矢印８１の方向）と、エッジの検出位置を明から暗に切り換わる位置及び暗から明に切り換わる位置と、検出した一対のエッジで挟んだ検査対象物６の幅を計測する旨とを指定することにより、図７（ａ）では複数の一対のエッジを検出することができる。そして、検出した複数の一対のエッジ間の距離を求める。すなわち、隣接するエッジ８２、８３間のすべての組み合わせについてエッジ幅８４を計測する。例えばエッジ幅８４が‘２００’、‘１８０’、‘１９０’である場合、最大値が‘２００’、最小値が‘１８０’、平均値が‘１９０’と計測することができる。

また、図７（ｂ）に示すように、検査領域８５が円弧領域である場合、エッジの検出方向を反時計回り（矢印８６の回転方向）と、エッジの検出位置を明から暗に切り換わる位置及び暗から明に切り換わる位置と、検出した一対のエッジで挟んだ検査対象物６の中点間の距離を計測する旨とを指定することにより、図７（ｂ）でも検査領域８５内において複数の一対のエッジを検出することができる。そして、検出した複数の一対のエッジで挟んだ検査対象物６の中点間の距離を求める。すなわち、隣接するエッジ８７、８８間のすべての組み合わせについて中点を求め、隣接する中点間の角度を中心角とするエッジ幅８９として計測する。例えばエッジ幅８９が‘４６度’、‘４５度’、‘４７度’、‘４６度’である場合、最大値が‘４７度’、最小値が‘４５度’、平均値が‘４６度’と計測することができる。

次に、ペアエッジ計測ツールは、設定を受け付けた検査領域内で、任意の方向に２回スキャンした一対のエッジを検出する。検出した一対のエッジ間の距離の最大値／最小値や平均値を計測する。

図８は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２のペアエッジ計測ツールの例示図である。図８（ａ）は、検出した一対のエッジで挟んだ検査対象物６の幅を計測する場合を、図８（ｂ）は、検出した一対のエッジで挟んだ検査対象物６の中点間の距離を計測する場合を、それぞれ示している。

図８（ａ）に示すように、検出した一対のエッジで挟んだ検査対象物６の幅を計測する場合、エッジの検出方向をＸ軸の正方向（矢印９１の方向）と、エッジの検出位置を明から暗に切り換わる位置及び暗から明に切り換わる位置と、検出した一対のエッジで挟んだ検査対象物６の幅を計測する旨とを指定することにより、図８（ａ）では検査領域９５内において複数の一対のエッジを検出することができる。そして、検出した複数の一対のエッジ間の距離を求める。すなわち、隣接するエッジ９２、９３間のすべての組み合わせについてエッジ幅９４を計測する。例えばエッジ幅９４が‘２００’、‘１８０’、‘１９０’である場合、最大値が‘２００’、最小値が‘１８０’、平均値が‘１９０’と計測することができる。

また、図８（ｂ）に示すように、検出した一対のエッジで挟んだ検査対象物６の中点間の距離を計測する場合、エッジの検出方向をＸ軸の正方向（矢印９６の方向）と、エッジの検出位置を明から暗に切り換わる位置及び暗から明に切り換わる位置と、検出した一対のエッジで挟んだ検査対象物６の中点間の距離を計測する旨とを指定することにより、図８（ｂ）でも検査領域９５内において複数の一対のエッジを検出することができる。そして、検出した複数の一対のエッジで挟んだ検査対象物６の中点間の距離を求める。すなわち、隣接するエッジ９７、９８間のすべての組み合わせについて中点を求め、隣接する中点間の距離をエッジ幅９９として計測する。例えばエッジ幅９９が‘１００’、‘１１０’、‘１２０’である場合、最大値が‘１２０’、最小値が‘１００’、平均値が‘１１０’と計測することができる。

次に、エリア計測ツールは、撮像装置１で撮像した検査対象物６の画像を二値化処理して、白色領域又は黒色領域の面積を計測する。例えば、計測する対象として白色領域又は黒色領域の指定をパラメータとして受け付けることにより、白色領域又は黒色領域の面積を計測する。

また、ブロブ計測ツールは、撮像装置１で撮像した検査対象物６の画像を二値化処理して、同一の輝度値（２５５又は０）の画素の集合（ブロブ）に対してパラメータとしての数、面積、重心位置等を計測する。図９は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２の二値化画像を表示した画面の例示図である。

図９に示すように、画像表示領域１０１には、撮像した検査対象物６の画像を二値化処理した二値化画像を表示する。そして、二値化処理に用いる閾値をパラメータとして閾値調整領域１０２に入力することで調整する。もちろん、ヒストグラム１０３を用いて調整しても良い。

ヒストグラム１０３は、二値化画像の画素値分布が示されており、通常は、画素値が‘２５５’に近い部分がフィルタリングされないよう、面積フィルタの下限値を、マウス５０２等でドラッグ操作する等により調整する。図９の例では、パラメータの一つである面積フィルタの下限値が‘１２８’であり、これより低い画素値を有する画素はノイズであるとして無視される。ヒストグラム１０３上で調整された閾値は、閾値調整領域１０２と連動しており、下限値が変動することは言うまでもない。

なお、エリア計測ツール及びブロブ計測ツールでは、パラメータの一つである二値化処理の閾値を調整することにより、検出したい特徴部分のみを検出することができる。また、面積フィルタの下限値を調整することにより、一定の面積以下の集まりをブロブとして検出することがないよう調整することもできる。

次に、パターンサーチ計測ツールは、比較対象とする画像パターンを事前に記憶装置に記憶しておき、撮像した検査対象物６の画像の中から記憶してある画像パターンに類似している部分を検出することで、画像パターンの位置、傾斜角度、相関値を計測する。図１０は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２のパターンサーチ計測ツールの例示図である。図１０（ａ）は、画像パターンを記憶する場合の画面の例示図を、図１０（ｂ）は、記憶してある画像パターンに類似している画像パターンを検出する場合の画面の例示図を、それぞれ示している。

図１０（ａ）に示すように、撮像装置１で撮像した検査対象物６の画像を画面中央に表示した状態で、ウインドウを画面上に設定することにより、サーチ領域１１１の設定を受け付ける。サーチ領域１１１内に存在する画像パターンを検出し、記憶する画像パターンを囲む領域としてパターン領域１１２の設定を受け付ける。もちろん、パターン領域１１２内に、画像パターンの代表点１１３の設定を受け付けても良い。パターン領域１１２内の画像パターン１１４を記憶装置２３へ記憶する。

パターンサーチ計測ツールによるパターンサーチ時には、図１０（ｂ）に示すように、記憶してある画像パターン１１４に類似している画像パターンをサーチ領域１１５内でサーチする。図１０の例では、画像パターンの代表点１１８の位置座標と傾斜角度１１７とでパターン領域１１９を特定して、パターン領域１１９内の画像パターンと記憶してある画像パターン１１４との相関値がパラメータの一つである所定の閾値より大きい場合に類似している画像パターンを検出したと判断している。

もちろん、パターンサーチの方法はこれに限定されるものではなく、例えば記憶してある画像パターン及び撮像装置１で撮像した検査対象物６の画像それぞれについてエッジを検出し、エッジ強度が類似している位置の近傍において画像パターンの位置、傾斜角度、相関値を計測しても良い。

なお、パターンサーチ計測ツールでは、閾値として相関値の下限値を上げることにより、より類似度の高い画像パターンのみを検出するよう調整することができる。また、パラメータであるサーチ感度、サーチ精度等も調整することができる。

次に、傷計測ツールは、設定を受け付けた検査領域内で、小領域（セグメント）を移動させて画素値の平均濃度値を算出し、閾値以上の濃度差となった位置を傷が存在すると判定する。図１１は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２の傷計測ツールで傷の存在を判定するためのセグメントの移動状態を示す模式図である。以下、図１１（ａ）〜（ｄ）まで、ハッチング部分がセグメントを示している。

まず図１１（ａ）に示すように、セグメント１２１が検査領域１２０の左端に位置する場合（以下、「現在のセグメント」とする）、セグメント１２１内の平均濃度値を‘９５’とする。そして、順次矢印１２２の方向に所定の間隔でセグメント１２１が移動する。

図１１（ｂ）は、現在のセグメントから‘１’移動した場合（「現在のセグメント＋１」とする）を示しており、この場合のセグメント１２１内の平均濃度値を‘８０’とする。以下、図１１（ｃ）は、現在のセグメントから‘２’移動した場合（「現在のセグメント＋２」とする）を示しており、この場合のセグメント１２１内の平均濃度値を‘１００’とし、図１１（ｄ）は、現在のセグメントから‘３’移動した場合（「現在のセグメント＋３」とする）を示しており、この場合のセグメント１２１内の平均濃度値を‘１２０’とする。

図１１の例では、４つのセグメント１２１内における平均濃度値を計測している。そして、最大濃度値と最小濃度値との差を「傷レベル」として計測する。図１１の例では、「傷レベル」は、最大濃度値１２０（現在のセグメント＋３）−最小濃度値８０（現在のセグメント＋１）＝４０となる。

また、計測した「傷レベル」がパラメータの一つである所定の閾値を超えた場合、「現在のセグメント」に傷が存在すると判定される。「傷量」は、傷が存在すると判定されたセグメントの数として計測される。

なお、傷が存在すると判定される所定の閾値である「傷レベル」、傷の想定サイズに合わせるべきセグメントの大きさ等を調整することにより、傷が存在するか否かの判定結果を変更することができる。

上述した各種の画像処理ツールの他、検査領域内の文字情報を切り出して辞書データ等と照合することで文字列を認識するＯＣＲ認識ツール、ならびに画像上に設定したウインドウ(領域)をシフトさせながら、各ウインドウの位置においてエッジの検出を繰り返す機能を有するトレンドエッジツール、設定したウインドウ内の濃淡の平均、偏差等を計測する機能を有する濃淡ツール、設定したウインドウ内の濃度の平均、偏差等を計測する機能を有する濃度ツール等も備えており、必要に応じて選択を受け付ける。各画像処理ツールで処理された判定結果、すなわち良品／不良品の判定結果は、検査対象物６を識別する情報、画像処理ツールを識別する情報に対応付けて、画像処理装置２の記憶装置２３に記憶される。

図１２は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２の画像処理ツール選択画面の例示図である。換言すれば、上述した数多くの画像処理ツールの中からエリア計測ツール、パターンサーチ計測ツール、ブロブ計測ツールの３つがユーザによって選択され、選択された各画像処理ツールに対するパラメータを設定することにより、ユーザ所望の画像検査フローが設定された例を示している。この場合、画像処理装置２は、ユーザの選択した画像処理ツールを具体的に示すために、ユーザインタフェースである画像処理ツール選択画面の選択領域１２６には、事前に選択された画像処理ツール、図１２の例では、エリア計測ツール、パターンサーチ計測ツール、ブロブ計測ツールの３つが選択されて表示されている。この３つの画像処理ツールの中から、例えばエリア選択ツールの選択を受け付けた場合、画像表示領域１２５に検査対象物６の画像及び設定された検査領域が表示されている。

また、結果表示領域１２７には、各画像処理ツールを実行した結果が表示される。図１２の例では、エリア計測ツールにより設定された検査領域中の画像を二値化処理し、白色領域又は黒色領域の面積を画素数の総和として表示している。

図１３は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２の機能ブロック図である。判定結果記憶部４０１は、例えば、図１２に示すユーザにより設定された画像検査フローに基づいて、事前に選択された複数の画像処理ツールごとの良品であるか否かに関する判定結果を検査対象物６の画像と対応付けて記憶装置２３に記憶する。換言すれば、判定結果記憶部４０１は、画像処理装置２の複数の画像処理ツールの中から選択された一又は複数の画像処理ツールにより設定された画像検査処理フローを用いて、撮像装置１にて撮像した複数の検査対象物６の画像に対する良否判定を行った判定結果とその判定に対応する検査対象物６の画像を記憶装置２３に記憶する。

また、事前に選択された複数の画像処理ツールごとの良品であるか否かに関する判定結果を、検査対象物６の画像と対応付けてメモリ２２に記憶させても良い。

なお、画像処理ツール指定受付部４０２は、事前に選択された複数の画像処理ツールの中から一の画像処理ツールの指定を受け付ける。画像処理ツール指定受付部４０２の具体例については、図１７に基づいて、詳細に後述する。

判定結果変更部４０３は、指定を受け付けた画像処理ツールによる判定結果の変更を受け付ける。すなわち良品であるという判定結果を不良品であるという判定結果へ、あるいは不良品であるという判定結果を良品であるという判定結果へ、それぞれ画像処理ツールごとに判定結果の変更を受け付ける。換言すれば、判定結果記憶部４０１により記憶されている判定結果の中から、不良品（ＮＧ品）であると判定された履歴のある画像処理ツールを選択し、選択された画像処理ツールにて不良品（ＮＧ品）であると判定された検査対象物６の画像を全て読み出し、画面上に表示し、表示されている不良品（ＮＧ品）画像の中からユーザがＯＫ品である、すなわち良品であると判定する画像を選択することにより、判定結果の変更が行われる。

設定情報更新部４０４は、変更を受け付けた判定結果に応じて、画像処理ツールの設定情報の更新を受け付ける。例えば、良品であるという判定結果を不良品であるという判定結果へ変更した場合、設定情報として記憶してある、ある物理量の閾値を、不良品であるという判定結果となる値へと更新する。

再判定部４０５は、更新を受け付けた設定情報を用いて、検査対象物６を一括して良否を再判定する。これにより、良品であるという判定結果を不良品であるという判定結果へ、あるいは不良品であるという判定結果を良品であるという判定結果へ、それぞれ変更した検査対象物６だけでなく、判定結果が正しいと判断された検査対象物６についても、更新を受け付けた設定情報で再度良否を判定することができ、正しい判定結果が維持されているか否かを確認することができる。

以下、本実施の形態に係る画像処理装置２の動作について説明する。なお、以下の処理が実行される前に、画像処理装置２は、過去に良否判定を実行した検査対象物６の画像及び判定結果を、画像処理装置２の記憶装置２３に記憶しておく。図１４は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２の記憶装置２３に記憶されている画像の例示図である。図１４（ａ）〜（ｆ）に示すように同じ検査対象物６であっても、撮像時に載置された位置の相違、撮像装置１の取り付け位置の相違等の撮像条件の違いから、様々な画像が記憶されている。

図１５は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２の画像処理ツールの中から、ユーザが選択し、所望の画像検査フローに組み込んだ画像処理ツールを用いて、検査対象物６のモデルに対して設定された検査領域の設定画面の例示図である。図１５に示すように、放熱板の汚れを検出するため、傷計測ツールの検査領域１４１を放熱板の輪郭線に沿って設定している。

また、文字化けの有無を検査するために二値化処理した白色領域の面積を計測するエリア計測ツールの検査領域１４２は、本体部の輪郭線に沿って設定されている。また、端子が曲がっているか否かを検出するために、エッジピッチ計測ツールの検査領域１４３を端子の先端部近傍に設定してある。本実施の形態では、傷計測ツール、エリア計測ツール、エッジピッチ計測ツールの３つの検査領域を設定しているが、これらに限定されるものではなく、検査対象物６によって設定する検査領域は変動する。各ツールに対応するパラメータの設定については上述しているため詳細な説明は省略するが、設定された各ツールに対応して、各々設定条件としてのパラメータが設定される。

さらに、本実施の形態に係る画像処理装置２では、上述した各種の画像処理ツールとは別個に、位置補正機能を設けてある。ユーザは、位置補正処理を実行するか否かを事前に設定しておき、設定に応じて位置補正処理を実行してから各画像処理ツールを実行させる、又は位置補正処理を実行することなく各画像処理ツールを実行させる。

なお、各画像処理ツールにおいて位置補正処理を実行する画像処理ツールも存在する。例えばパターンサーチ計測ツールでは、検査領域内の相関値の算出において、検査領域内の画像の位置補正処理を実行していることが多い。本実施の形態では、位置補正処理は、画像全体に対して実行することを前提としているが、各画像処理ツールで位置補正処理を実行しても良いし、位置補正処理の範囲が画像全体であっても検査領域内であっても良い。

図１６は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２のＣＰＵ２１の処理手順を示すフローチャートである。図１６では、位置補正処理を実行しないよう設定されている場合を例に説明する。したがって、位置補正に関する処理を支持するボタン等は、グレー表示される、表示されない、非活動化状態に設定される等、ユーザが使用することができない状態で表示される。もちろん、事前に位置補正処理を実行しても良いことは言うまでもない。

図１６において、画像処理装置２のＣＰＵ２１は、起動すると同時に記憶装置２３に記憶されているすべての検査対象物６の画像に対して一括検査を実行し（ステップＳ１６０１）、画像処理ツールごとに不良品であると判定された回数（以下、ＮＧ回数）に対応付けたツール指定受付画面を表示する（ステップＳ１６０２）。ＣＰＵ２１は、表示されている複数の画像処理ツールの中から一の画像処理ツールの指定を受け付ける（ステップＳ１６０３）。

図１７は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２のツール指定受付画面の例示図である。ここでは、図１６にて設定した画像処理ツールとそれに対応するパラメータに基づいて、ユーザの所望する画像検査フローを用いて、複数の検査対象物６の画像の各々に対して画像処理ツールによる画像処理を実行し、設定されている画像処理ツールごとの判定結果がＮＧである回数（以下、ＮＧ回数）が表示されている。

図１７では、画像処理ツールが、ＮＧ回数に対応付けられてツール表示領域１６１に表示されている。図１７の例では、「傷」計測ツール、「エッジピッチ」計測ツール、「エリア」計測ツールの３つの画像処理ツール（括弧内の文字で表示）が、指定受付可能な画像処理ツールとして表示されている。ＣＰＵ２１は、ツール表示領域１６１内に表示されている画像処理ツールの中から、いずれか一の画像処理ツールの指定を受け付ける。

なお、図１７のツール表示領域１６１に表示されているツールは、画像処理装置２の画像処理ツールの中からユーザが所望の画像検査フローを構成するために選択した画像ツールのみであることは言うまでもない。また、ツール表示領域１６１の表示形式としては、全ての画像処理ツールを表示し、ユーザにより所望の画像検査フローを構成するために選択されているツールのみを強調表示しても良い。これにより、どのツールが画像検査フローに組み込まれているかを目視で容易に確認することができる。

また、ツール表示領域１６１に表示するべき画像処理ツールの種類は、画像検査フローを構成するために選択され、用いられている画像処理ツールの中で、複数の検査対象物６の画像に対する検査の判定結果としてＮＧ判定を出力している画像処理ツールを少なくとも認識できるように表示すれば良い。

なお、ツール指定受付画面では、不良品であると判定された結果が多い画像処理ツール、すなわちＮＧ回数の多い画像処理ツールから優先して指定を受け付けるように上位に表示することが好ましい。良品であるにもかかわらず不良品であると誤って判定された設定情報から順に適切な設定情報に調整することができ、結果として早期に適切な設定情報に更新することができるからである。つまり、ＮＧ回数の多い画像処理ツールから優先して指定を受け付けることにより、ユーザが良品又は不良品であると判定した結果に追従して、内部的に適切なパラメータが設定される点が本願発明の特徴である。

ＮＧ回数の多い画像処理ツールから優先して表示又は誘導する理由は、ＮＧ回数の多い画像処理ツールは、検査対象物６が不良品（ＮＧ品）であるのではなく、ツールのパラメータ等の設定条件が不適切な結果として不良品であるとＮＧ判定されているケースが多いからである。したがって、選択された画像処理ツールが複数の場合、ＮＧ回数の多い画像処理ツールから優先して表示又は誘導することが効率の良いツールの再設定処理となる。

図１６に戻って、画像処理装置２のＣＰＵ２１は、指定を受け付けた画像処理ツールによる判定結果の変更を受け付ける（ステップＳ１６０４）。すなわち、良品であるという判定結果を不良品であるという判定結果へ、あるいは不良品であるという判定結果を良品であるという判定結果へ、それぞれ画像処理ツールごとに判定結果の変更を受け付ける。

図１８は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２の判定結果変更画面の例示図である。図１８は、上述した図１７において、ツール表示領域１６１の最上位欄に表示されている「傷」を修正するツールとして選択した場合、次に表示される画面である。このため、図１７に示すように、「傷」計測ツールによってＮＧ品であると判定された六つの画像がＮＧ品表示領域１７１に表示され、画像表示領域１７０には、六つの画像のうちの一つが初期設定として表示される。

図１８では、「傷」計測ツールによってＮＧ品であると判定された画像が記憶装置２３から読み出され、画像表示領域１７０に表示される。

すなわち、図１７にてユーザによって選択された画像処理ツール、ここでは「傷」計測ツールによって不良品であると判定された検査対象物６を識別する識別情報がリスト表示されるＮＧ品表示領域１７１、良品であると判定されるべきであるとしてＮＧ品表示領域１７１からユーザによって移動された検査対象物６を識別する識別情報がリスト表示されるＯＫ品表示領域１７２、それぞれに別個にリスト表示されている識別情報の選択を受け付けることで、対応する検査対象物６の画像が画像表示領域１７０に表示される。

そして、マウス５０２等により選択を受け付けた識別情報に対応する検査対象物６の画像が画像表示領域１７０に表示されるので、不良品であると判定されている検査対象物６が実際は良品であると判定をすることができる。不良品であると判定されている検査対象物６が実際は良品であると判定された場合、移動ボタン１７３により、ＮＧ品表示領域１７１に表示されている識別情報をＯＫ品表示領域１７２に移動することができる。

なお、図１７の例では、一旦ＯＫ品表示領域１７２に移動させた画像を、ユーザの意図の変更により、再度ＮＧ品表示領域１７１に移動させることを可能とするため、移動ボタン１７４を設けている。

また、上記実施例では、図１７に示すように、ＮＧ判定された画像処理ツールを選択することにより、図１８に示す選択された画像処理ツールによってＮＧ品であると判定した画像を選択表示することができるとともに、これらのＮＧ品の画像を個別に目視で確認することにより、ユーザの意図によって、ＯＫ品表示領域１７２へ移動することを可能としている。

しかし、別機能として、図１８に示す画面に遷移した場合、選択された画像処理ツールにてＯＫ品であると判定された画像をＯＫ品表示領域１７２に同時表示することも可能であり、さらに、ＯＫ品であると判定された画像をユーザの意図により、移動ボタンを用いてＮＧ品表示領域１７１に移動させることも可能である。

図１９は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２の判定結果変更画面の例示図である。図１９では、傷計測ツールを、放熱板の汚れを検出するために使用しているが、図１９の画像表示領域１７０に表示されている検査対象物６には、明らかに放熱板６０１に汚れが存在していない。したがって、不良品であると判定されている検査対象物６が実際は良品であると判定して、移動ボタン１７３を選択することによりＯＫ品表示領域１７２に識別情報が移動される。

判定結果の変更を行った場合、設定してある検査領域が検査対象物６の画像に追従しているか否かを確認することが好ましい。画像処理ツールごとに設定している検査領域と、検査対象物６の画像との位置がずれていることが原因で、良否判定に誤りがあるか否かを確認するためである。

図示はしていないが、次のステップとして、位置補正処理を実行して良否を再判定しても良い。例えば図１５では、「傷」計測ツールの検査領域１４１が画像に対して設定されているが、矩形形状を有する検査領域１４１を画像に重ねて表示している。ここで、矩形形状を有する検査領域１４１が、適正な位置に設定されていない場合、ＮＧ品であるという判定結果と位置補正機能としてのパターンサーチにおける検出条件とを見直すことができる。

図１６に戻って、画像処理装置２のＣＰＵ２１は、変更を受け付けた判定結果に応じて、画像処理ツールの設定情報の更新を受け付ける（ステップＳ１６０５）。例えば、良品であるという判定結果を不良品であるという判定結果へ変更を受け付けた場合、設定情報として記憶してある、ある物理量の閾値を、不良品であるという判定結果となる値へと更新する。

図２０は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２の検査領域のパターンサーチ計測ツール実行後の状態を示す画面の例示図である。図２０に示すように、設定情報表示領域２３１には、表示されている検査対象物６の画像に設定されている傷が存在するか否かの検出条件が表示されており、随時更新を受け付けることができる。

例えば、図２０の画像表示領域１７０に表示されている検査対象物６は、不良品であると判定されている。図２０の画像を良品であると判定させるべく、パラメータとしての設定情報を更新する。例えば「傷」計測ツールでの計測結果表示領域２３０に、最大検出傷レベルが‘２９’であると表示されているので、設定情報に含まれる閾値である「傷レベル」は‘２９’より大きい値（図２０では‘１００’）に設定することにより、不良品であると判定されることはなくなる。

また、設定情報を更新することにより、不良品であると判定された検査対象物６を、良品であると判定結果を変更することができる。しかし、それに伴い、逆に良品であると判定されていた検査対象物６が不良品であると判定される場合も生じる。

図２１は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２の判定結果の変更を通知する画面の例示図である。図２１に示すように、「傷レベル」を‘１００’に設定することにより、良品であると判定結果を変更するべき検査対象物６はなくなっている。しかし、それまで不良品であると判定されていた検査対象物６が、逆に良品であると判定されるようになっている。図２１の例では良否判定が逆転している検査対象物６の画像が４つも生じたことを示している。

この場合、画像処理装置２は、設定情報の更新がさらに必要である旨を示す通知画面２４１をポップアップ表示するとともに、不良品であるとの判定結果に変更するべき検査対象物６の画像の識別情報が、良品判定表示領域２４２に表示される。

図２２は、本発明の実施の形態に係る画像処理装置２の設定情報を更新する画面の例示図である。図２２に示すように、「傷レベル」を‘１００’に設定することにより、本来検出されるべき汚れまで検出されることがなく、不良品であるにもかかわらず良品であると判定されている。そこで、設定情報表示領域２３１において「傷レベル」を‘３０’まで下げて設定することにより、汚れ２５１も検出することができ、不良品を不良品として正しく判定することができる。

図１６に戻って、画像処理装置２のＣＰＵ２１は、更新を受け付けた設定情報を用いて、検査対象物６を一括して良否を再判定する（ステップＳ１６０６）。これにより、良品であるという判定結果を不良品であるという判定結果へ、あるいは不良品であるという判定結果を良品であるという判定結果へ、それぞれ変更を受け付けた検査対象物６だけでなく、判定結果が正しいと判断された検査対象物６についても、更新を受け付けた設定情報で再度良否を判定することができ、正しい判定結果が維持されているか否かを確認することができる。

傷計測ツールにおける判定結果の調整が終了した場合、他の画像処理ツール、すなわち、エリア計測ツール、エッジピッチ計測ツールについても、同様の判定結果の変更及び設定情報の更新を行う。これにより、すべての画像処理ツールに関する設定情報を、実際に作業者が良品／不良品を判定する感覚と同様の判定結果を得ることができる値に調整することができる。

より具体的には、エリア計測ツールでは、ＮＧ品であると判定された画像を、ＯＫ品であるとの判定結果に変更し、今後ＯＫ品であると判定するように調整可能なパラメータとしての設定条件は、例えば二値化処理後の検出対象の色を白とするか黒とするかを選択する「検出色」、検出色にて検出されたエリアの「面積」に対する閾値としての上限値及び下限値等であり、これらのパラメータを調整することになる。また、エッジピッチ計測ツールでは、ＮＧ品であると判定された画像を、ＯＫ品であるとの判定結果に変更し、今後ＯＫ品であると判定するように調整可能なパラメータとしての設定条件は、例えば「エッジの感度」、「エッジフィルタ幅」、「エッジ強度の上限値ならびに下限値」等である。

以上のように本実施の形態によれば、判定結果が誤っている場合に、判定結果の変更を受け付けると同時に設定情報の更新を受け付け、更新を受け付けた設定情報に基づいて一括して良否が再判定されるので、設定情報の詳細を知らなくても、自らの判定結果に基づいて良品を良品と、不良品を不良品と、正しく判定するための設定情報を高い精度で定めることができ、経年変化、環境の変化等も考慮した設定情報に基づいて製品検査を行うことが可能となる。

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲内であれば多種の変更、改良等が可能である。

１ 撮像装置（撮像部）
２ 画像処理装置
４ 照明装置
６ 検査対象物
４０１ 判定結果記憶部
４０２ 画像処理ツール指定受付部
４０３ 判定結果変更部
４０４ 設定情報更新部
４０５ 再判定部

Claims (10)

1. 検査対象物を撮像する撮像部と接続され、
   該撮像部で撮像した前記検査対象物の画像に対して画像処理を実行し、画像処理の結果に基づいて検査対象物の良否を判定する画像処理装置において、
   各種の画像処理を実行する複数の画像処理ツールを有し、
   所望の検査内容に基づいて、前記複数の画像処理ツールの中から複数の画像処理ツールの選択を受け付ける画像処理ツール選択受付部と、
   選択を受け付けたそれぞれの前記画像処理ツールごとに、パラメータの設定を受け付けるパラメータ設定受付部と、
   選択を受け付けた前記複数の画像処理ツールと、選択を受け付けたそれぞれの前記画像処理ツールごとに設定を受け付けたパラメータとを用いて、複数の前記検査対象物の画像に対して、選択を受け付けた前記画像処理ツールごとの良品であるか否かに関する判定結果を、検査対象物の画像と対応付けて記憶する判定結果記憶部と、
   選択を受け付けた前記複数の画像処理ツールと、選択を受け付けたそれぞれの前記画像処理ツールごとに設定を受け付けたパラメータとを用いて、複数の前記検査対象物の画像に対して、選択を受け付けた前記画像処理ツールごとの良品であるか否かに関する判定結果を、選択を受け付けたそれぞれの前記画像処理ツールごとに表示する表示部と、
   選択を受け付けた前記複数の画像処理ツールの中から、前記画像処理ツールによる判定結果の指定を受け付ける画像処理ツール指定受付部と、
   指定を受け付けた画像処理ツールに対応付けて記憶されている前記判定結果を表示するとともに、選択を受け付けた前記判定結果に対応付けられた前記検査対象物の画像を表示し、表示されている前記検査対象物の画像の前記判定結果を変更対象として選択を受け付けた場合、指定を受け付けた画像処理ツールに基づく良品であるか否かに関する前記判定結果の変更を受け付ける判定結果変更部と、
   変更を受け付けた前記判定結果に応じて、指定を受け付けた前記画像処理ツールに対応するパラメータの更新を受け付ける設定情報更新部と、
   前記対応するパラメータの更新を受け付けた前記画像処理ツールを含む、選択を受け付けた前記画像処理ツールを用いて、複数の前記検査対象物の画像を一括して良否を再判定する再判定部と
   を備えることを特徴とする画像処理装置。
2. 前記画像処理ツール指定受付部は、不良品であるとの判定結果が多い画像処理ツールを優先して指定を受け付けるようにしてあることを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
3. 前記判定結果変更部は、良品と判定された検査対象物を識別する情報及び不良品と判定された検査対象物を識別する情報を、それぞれ別個の領域に表示するようにしてあり、 一の領域に表示された検査対象物を識別する情報を他の領域へ移動する操作を受け付けるようにしてあることを特徴とする請求項１又は２に記載の画像処理装置。
4. 前記判定結果を良品と不良品とに分類してリスト表示するようにしてあり、 前記判定結果変更部は、リスト表示された判定結果を良品から不良品へ、不良品から良品へ、それぞれ変更することができるようにしてあることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の画像処理装置。
5. リスト表示された判定結果の中から一の判定結果の選択を受け付け、 選択を受け付けた判定結果に対応する画像を表示するようにしてあることを特徴とする請求項４に記載の画像処理装置。
6. 検査対象物を撮像する撮像部と接続され、
   該撮像部で撮像した前記検査対象物の画像に対して画像処理を実行し、画像処理の結果に基づいて検査対象物の良否を判定する画像処理装置で実行することが可能な画像処理方法において、
   前記画像処理装置は、
   各種の画像処理を実行する複数の画像処理ツールを有し、
   所望の検査内容に基づいて、前記複数の画像処理ツールの中から複数の画像処理ツールの選択を受け付けるステップと、
   選択を受け付けたそれぞれの前記画像処理ツールごとに、パラメータの設定を受け付けるステップと、
   選択を受け付けた前記複数の画像処理ツールと、選択を受け付けたそれぞれの前記画像処理ツールごとに設定を受け付けたパラメータとを用いて、複数の前記検査対象物の画像に対して、選択を受け付けた前記画像処理ツールごとの良品であるか否かに関する判定結果を、検査対象物の画像と対応付けて記憶するステップと、
   選択を受け付けた前記複数の画像処理ツールと、選択を受け付けたそれぞれの前記画像処理ツールごとに設定を受け付けたパラメータとを用いて、複数の前記検査対象物の画像に対して、選択を受け付けた前記画像処理ツールごとの良品であるか否かに関する判定結果を、選択を受け付けたそれぞれの前記画像処理ツールごとに表示するステップと、
   選択を受け付けた前記複数の画像処理ツールの中から、前記画像処理ツールによる判定結果の指定を受け付けるステップと、
   指定を受け付けた画像処理ツールに対応付けて記憶されている前記判定結果を表示するとともに、選択を受け付けた前記判定結果に対応付けられた前記検査対象物の画像を表示し、表示されている前記検査対象物の画像の前記判定結果を変更対象として選択を受け付けた場合、指定を受け付けた画像処理ツールに基づく良品であるか否かに関する前記判定結果の変更を受け付けるステップと、
   変更を受け付けた前記判定結果に応じて、指定を受け付けた前記画像処理ツールに対応するパラメータの更新を受け付けるステップと、
   前記対応するパラメータの更新を受け付けた前記画像処理ツールを含む、選択を受け付けた前記画像処理ツールを用いて、複数の前記検査対象物の画像を一括して良否を再判定するステップと
   を含むことを特徴とする画像処理方法。
7. 前記画像処理装置は、
   不良品であるとの判定結果が多い画像処理ツールを優先して指定を受け付けることを特徴とする請求項６に記載の画像処理方法。
8. 前記画像処理装置は、 良品と判定された検査対象物を識別する情報及び不良品と判定された検査対象物を識別する情報を、それぞれ別個の領域に表示し、 一の領域に表示された検査対象物を識別する情報を他の領域へ移動する操作を受け付けることを特徴とする請求項６又は７に記載の画像処理方法。
9. 前記画像処理装置は、 前記判定結果を良品と不良品とに分類してリスト表示し、 リスト表示された判定結果を良品から不良品へ、不良品から良品へ、それぞれ変更することができることを特徴とする請求項６乃至８のいずれか一項に記載の画像処理方法。
10. 前記画像処理装置は、 リスト表示された判定結果の中から一の判定結果の選択を受け付け、 選択を受け付けた判定結果に対応する画像を表示することを特徴とする請求項９に記載の画像処理方法。