JP5916755B2 - 干渉格子を試料上に形成するための装置 - Google Patents
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Description
比較的安価であり、したがってそれほど大きい可干渉距離を有さないレーザを使用するためには、2つの光線の光学経路長さは、どの偏向鏡8が使用されるか(図1b)に関係なくできるだけ互いに近い値を有することをできるだけ確実にすることが必要である。
a/2つの光線間の経路長さの差は、正確にゼロにすることができ、したがって単一モードダイオードである前提でレーザダイオードを使用することを可能にする。
異なる軸上の、7.5cmの同じ焦点長さおよび7.5cmの直径を有する2つの放物面鏡は、約60°を中心とする偏向角度と、放物面の軸と鏡の軸との間に約10cmのオフセットとを与える。
Claims (12)
- 干渉格子を試料上に形成するための装置であって、
波長λの光線を発するレーザと、
前記レーザによって発せられた前記光線を、第1の方向に偏向される第1の光線(11)と第2の光線(14)とに分割する光線分割板と、
前記第1の光線を、第1の一定の入射角度θ1で前記試料の点P上に偏向させるための第1の固定式偏向鏡と、
前記第2の光線を、第2の入射角度θ2で前記試料の前記点Pに到達する最終経路(17)を有する経路に沿って偏向させるための少なくとも1つの第2の固定式偏向鏡であって、それによって干渉格子を、前記第1の入射角度θ1と第2の入射角度θ2との間の角度差θによって決まるピッチで前記試料上に形成する、第2の固定式偏向鏡とを備える装置において、
前記第2の光線の前記経路が、
複数の第1の衝突点(71)から前記第2の光線を方向付けし偏向させる移動可能な偏向鏡(7、7’)を含み、前記第1の衝突点から、前記第2の光線(15)は、前記第2の鏡(8、M2)上の複数の第2の衝突点(82)に向かって方向付けられており、それによって、第1および第2の衝突点(71、82)を各々が備える複数の対を形成し、その各々は、前記角度θ2の異なる値を有する前記第2の光線の前記最終経路(17)に対応し、それによって前記入射角度θ2の値を変化させ、したがって前記角度差θを変化させることと、
前記第1の衝突点(71)が、前記試料から遠隔の上流側端部から延びる線形または放物線状経路上に配置され、ここでは、前記線形または放物線状経路は、前記第1の方向とは反対方向に、したがって前記試料(ECH)の前記点Pと衝突する前記第1の光線の前記セグメント(12)から外方に、前記レーザによって発せられた前記光線(10)の方向から離間され、前記線形または放物線状経路は、前記試料(ECH)により近くなるように下流端部に向かって進んでいる前記第1の光線の前記セグメント(12)に向かって凹角をなし、それによって前記角度差θのそれぞれの値に各々が対応する前記第1および第2の衝突点(71、82)の前記対に対して前記第2の光線の光学経路長さの変動を、少なくとも部分的に補償することとを特徴とする、装置。 - 前記第1の衝突点(71)が、前記試料から遠隔の上流側端部から延びる線形経路上に配置され、
前記第2の光線の前記第1のセグメント(14)の前記経路上に偏向鏡の対(61、62)を含み、偏向鏡の前記対(61、62)から下流の前記第2の光線を、前記第1のセグメント(14)に対して一定の角度を形成する第2のセグメント(15)に沿って偏向させることと、
前記移動可能な偏向鏡(7)が、偏向鏡の前記対(61、62)から下流に位置し、前記第2のセグメント(15)に沿って並進式に移動可能である鏡(7)によって構成され、前記第2の光線の前記第2のセグメント(15)は、前記線形経路に沿って配置された複数の前記第1の衝突点(71)で前記移動可能な鏡に当たって、前記移動可能な鏡から下流に、前記第2のセグメント(15)と共に一定の角度を作り出す第3のセグメント(16)を形成することと、
前記装置が、前記第2の衝突点(82)において前記二次の偏向鏡に当たる前記第2の測定光線の前記第3のセグメント(16)を、前記試料(ECH)の前記点Pに当たる前記最終経路(17)に沿って偏向させながら、前記第1の測定光線(11、12)に対して少なくとも2つの異なる角度θを作り出すように事前配置された少なくとも2つの前記第2の偏向鏡(81、82、...、810)を含むこととを特徴とする、請求項1に記載の装置。 - 回転式に移動可能である鏡(7’)を含み、第1の放物面鏡(M1)が、第2の光線の経路上および回転式に移動可能である前記鏡(7’)の回転軸上に置かれた焦点(F1)を有し、
回転式に移動可能である前記鏡(7’)は、前記第2の光線を、前記焦点(F1)から前記第1の放物面鏡(M1)上に複数の前記第1の衝突点(71)で偏向させて、複数の前記第2の衝突点(82)において第2の放物面鏡(M2)に当たる前記第2の光線の中間セグメント(16)を形成し、
前記第1および第2の光線がその上に集束する前記試料(ECH)の前記点Pが、前記第2の放物面鏡(M2)の前記焦点(F2)に位置することを特徴とする、請求項1に記載の装置。 - 前記第2の測定光線の前記第1のセグメント(14)が、前記レーザから生じる前記光線(10)と同一線上にあることを特徴とする、請求項2または請求項3に記載の装置。
- 少なくとも2つの測定点を構成するように前記移動可能な鏡(7、7’)の移動を制御するための制御モジュールを有することを特徴とする、請求項1から4までのいずれか一項に記載の装置。
- 光線の経路上に配置されたλ/2半波長板である、偏光を変化させるための要素を含み、それによって干渉光線を前記試料(ECH)上に形成し、または前記試料(ECH)を均一な照明にさらすことを特徴とする、請求項1から5までのいずれか一項に記載の装置。
- 前記半波長板がチョッパに結合されることを特徴とする、請求項6に記載の装置。
- 偏光を変化させるための要素を含み、前記要素は、干渉格子を前記試料(ECH)上に形成すること、または前記試料を均一な照明にさらすことができる回転式偏光板であることを特徴とする、請求項1から5までのいずれか一項に記載の装置。
- 前記第1の光線の前記経路上に介在させた電気光学変調器を有することを特徴とする、請求項8に記載の装置。
- 各位置において電流IwおよびIw0の値を測定するための装置を含み、Iwは、前記試料上に形成された干渉格子に対応し、Iw0は、前記均一な照明にさらされる前記試料に対応することを特徴とする、請求項6から9までのいずれか一項に記載の装置。
- 前記移動可能な鏡(7,7’)の移動を制御するためのステッパモータを含むことを特徴とする、請求項1から10までのいずれか一項に記載の装置。
- 前記試料(ECH)が、光導電素子であることを特徴とする、請求項1から11までのいずれか一項に記載の装置。
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