JP5903542B2

JP5903542B2 - Screen printing device

Info

Publication number: JP5903542B2
Application number: JP2012105728A
Authority: JP
Inventors: 内田　英樹; 英樹内田; 村上　稔; 稔村上
Original assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Current assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Priority date: 2012-05-07
Filing date: 2012-05-07
Publication date: 2016-04-13
Anticipated expiration: 2032-05-07
Also published as: CN103386812B; CN103386812A; JP2013233674A

Description

本発明は、基板にクリーム半田や導電性ペーストなどのペーストを印刷するスクリーン印刷装置に関するものである。 The present invention relates to a screen printing apparatus that prints paste such as cream solder or conductive paste on a substrate.

電子部品実装工程において、基板上にクリーム半田や導電性ペーストなどのペーストを印刷する方法として、マスクプレートに設けられたパターン孔を介して基板上にペーストを転写するスクリーン印刷が広く用いられている。印刷作業中には、マスクプレートの下面には基板上で印刷部位からはみ出したクリーム半田が付着したり、基板上に完全に転写されなかったクリーム半田がマスクプレートの開口部に残留するため、これらのクリーム半田を吸い取ったり拭き取るためのクリーニングを所定インターバルで行う必要がある。 In the electronic component mounting process, as a method of printing paste such as cream solder or conductive paste on a substrate, screen printing for transferring the paste onto the substrate through a pattern hole provided in the mask plate is widely used. . During the printing operation, cream solder that protrudes from the printed area on the substrate adheres to the lower surface of the mask plate, or cream solder that has not been completely transferred onto the substrate remains in the opening of the mask plate. It is necessary to perform cleaning for sucking and wiping off the cream solder at predetermined intervals.

このため従来よりスクリーン印刷装置には、マスクプレートの下面をクリーニングシートによって拭き取って清掃するクリーニング機構が設けられている。そして溶媒成分が蒸発して粘度が上昇したクリーム半田が除去対象となる場合には、良好なクリーニング性能を確保するためＩＰＡなどの洗浄液を含浸させたクリーニングシートを用いる湿式クリーニングが採用されている（例えば特許文献１参照）。 For this reason, a screen printing apparatus has conventionally been provided with a cleaning mechanism that wipes and cleans the lower surface of the mask plate with a cleaning sheet. When the cream solder whose viscosity has increased due to evaporation of the solvent component is to be removed, wet cleaning using a cleaning sheet impregnated with a cleaning liquid such as IPA is employed in order to ensure good cleaning performance ( For example, see Patent Document 1).

この特許文献１に示す湿式クリーニング方式のクリーニング機構では、タンク内に貯溜された洗浄液を空圧駆動のポンプによって吸引して吐出し、クリーニングヘッドに設けられた吐出ノズルからシートに供給するようにしている。ポンプとしては、構造が簡単で安価なダイアフラム式のポンプが一般に用いられており、ポンプから吐出ノズルに至る吐出配管には、ポンプ停止時の洗浄液の逆流を防止するための逆止弁が介設されている。 In the cleaning mechanism of the wet cleaning system shown in Patent Document 1, the cleaning liquid stored in the tank is sucked and discharged by an air-driven pump, and is supplied to the sheet from a discharge nozzle provided in the cleaning head. Yes. As a pump, a diaphragm type pump having a simple structure and low cost is generally used, and a check valve is provided in the discharge pipe from the pump to the discharge nozzle to prevent the backflow of the cleaning liquid when the pump is stopped. Has been.

特開２００６−７４６２号公報JP 2006-7462 A

しかしながら、上述構成のクリーニング機構には、洗浄液の吐出系の構成に起因して、洗浄液を安定供給する上で次のような難点があった。すなわち空圧駆動のダイアフラム式のポンプは、構造が簡単ではあるものの内蔵された吸入弁、吐出弁の作動が不安定で液漏れを生じやすく、さらにポンプ内でダイアフラムによって洗浄液を加圧する加圧室内にエア溜まりが生じやすいことなどによって、正確な吐出量を安定して確保することが難しい。 However, the cleaning mechanism having the above-described configuration has the following difficulties in stably supplying the cleaning liquid due to the configuration of the discharge system of the cleaning liquid. In other words, a pneumatically driven diaphragm pump has a simple structure, but the operation of the built-in suction valve and discharge valve is unstable, and liquid leakage is likely to occur. Further, the pressurizing chamber pressurizes the cleaning liquid by the diaphragm in the pump. Therefore, it is difficult to stably secure an accurate discharge amount due to the tendency of air accumulation.

またこのポンプと組み合わせて洗浄液の逆流防止のために用いられる逆止弁についても、スプリングによって弁体を弁座に押し付ける構成であることから、弁体と弁座との接触面が洗浄液に含まれる有機成分などによって固着したような場合には、弁体の正常な動作が行われず逆止弁としての機能を果たすことができない。このように、従来のスクリーン印刷装置に備えられた湿式のクリーニング機構には、洗浄液をクリーニングシートに安定して供給することが困難であるという課題があった。 In addition, the check valve used in combination with this pump to prevent the backflow of the cleaning liquid is configured to press the valve body against the valve seat by a spring, so that the contact surface between the valve body and the valve seat is included in the cleaning liquid. When it is fixed by an organic component or the like, the valve body does not operate normally and cannot function as a check valve. As described above, the wet cleaning mechanism provided in the conventional screen printing apparatus has a problem that it is difficult to stably supply the cleaning liquid to the cleaning sheet.

そこで本発明は、洗浄液をクリーニングシートに安定して供給することができるスクリーン印刷装置を提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a screen printing apparatus that can stably supply a cleaning liquid to a cleaning sheet.

本発明のスクリーン印刷装置は、パターン孔が設けられたマスクプレートを基板に当接させペーストが供給されたマスクプレート上でスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷部と、クリーニングシートをクリーニングヘッドによって前記マスクプレートの下面に押しつけて摺動させることによりこのマスクプレートをクリーニングするクリーニング機構とを有するスクリーン印刷装置であって、前記クリーニング機構は、前記クリーニングヘッドに設けられ前記クリーニングシートに洗浄液を吐出する吐出ノズルと、前記洗浄液を前記吐出ノズルに供給する洗浄液供給部とを有し、前記洗浄液供給部は、前記洗浄液を貯留する液供給タンクと、前記液供給タンク内の洗浄液を吸引する吸引配管と、駆動エアによってダイアフラムを往復動させることにより、前記吸引配管に接続された吸引口から洗浄液を吸引し吐出口から吐出するポンプと、前記吐出口に接続され前記吐出ノズルに至る吐出配管に介設されてこの吐出配管を駆動エアによって作動する弁機構によって開閉するバルブと、前記ポンプおよびバルブへの駆動エアの供給を制御するエア供給制御部とを備え、前記エア供給制御部は、前記ポンプ駆動時には前記バルブを開状態にして前記吐出配管への洗浄液の供給を可能とし、前記ポンプ停止時には前記バルブを閉状態にして前記吐出配管内における洗浄液の逆流を防止する。 The screen printing apparatus of the present invention prints the paste on the substrate through the pattern hole by causing the mask plate provided with the pattern hole to contact the substrate and sliding the squeegee on the mask plate supplied with the paste. A screen printing apparatus, and a cleaning mechanism for cleaning the mask plate by pressing the cleaning sheet against the lower surface of the mask plate by a cleaning head and sliding the cleaning sheet, the cleaning mechanism including the cleaning mechanism A discharge nozzle that is provided in the head and discharges the cleaning liquid onto the cleaning sheet; and a cleaning liquid supply unit that supplies the cleaning liquid to the discharge nozzle. The cleaning liquid supply unit stores a liquid supply tank that stores the cleaning liquid; Aspirate the cleaning liquid in the liquid supply tank A suction pipe that is connected to the suction pipe, and a pump that sucks the cleaning liquid from the suction port connected to the suction pipe and discharges it from the discharge port, and a discharge that is connected to the discharge port and reaches the discharge nozzle. A valve that is provided in a pipe and opens and closes by a valve mechanism that operates the discharge pipe with drive air; and an air supply control unit that controls supply of drive air to the pump and the valve, and the air supply control unit includes: When the pump is driven, the valve is opened to allow the supply of the cleaning liquid to the discharge pipe, and when the pump is stopped, the valve is closed to prevent the backflow of the cleaning liquid in the discharge pipe.

本発明によれば、液供給タンク内の洗浄液をエア駆動のダイアフラム式のポンプによって吸引し、ポンプの吐出口に接続された吐出配管を介して吐出ノズルに送給する洗浄液供給系において、吐出配管を開閉するエア駆動の弁機構を備えたバルブおよびポンプへの駆動エアの供給を制御するエア供給制御部を備え、ポンプ駆動時にはバルブを開状態にして吐出配管への洗浄液の供給を可能とし、ポンプ停止時にはバルブを閉状態にして吐出配管内における洗浄液の逆流を防止することにより、ダイアフラム式のポンプを用いた従来装置における弁作動不良に起因する不具合を防止して、洗浄液をクリーニングシートに安定して供給することができる。 According to the present invention, in the cleaning liquid supply system, the cleaning liquid in the liquid supply tank is sucked by an air-driven diaphragm pump and is supplied to the discharge nozzle via the discharge pipe connected to the discharge port of the pump. A valve with an air-driven valve mechanism that opens and closes the valve and an air supply control unit that controls the supply of drive air to the pump.When the pump is driven, the valve is opened to enable supply of cleaning liquid to the discharge pipe. When the pump is stopped, the valve is closed to prevent the backflow of the cleaning liquid in the discharge pipe, thereby preventing problems caused by valve operation failure in the conventional device using a diaphragm pump and stabilizing the cleaning liquid on the cleaning sheet. Can be supplied.

本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の正面図1 is a front view of a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の側面図The side view of the screen printing apparatus of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の平面図The top view of the screen printing apparatus of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置におけるクリーニングユニットの構成説明図Structure explanatory drawing of the cleaning unit in the screen printing apparatus of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のクリーニングユニットに備えられた洗浄液供給部の構成説明図Structure explanatory drawing of the washing | cleaning liquid supply part with which the cleaning unit of the screen printing apparatus of one embodiment of this invention was equipped. 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のクリーニングユニットに用いられる洗浄液吐出用のポンプの構成説明図Structure explanatory drawing of the pump for washing | cleaning liquid discharge used for the cleaning unit of the screen printing apparatus of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置における液供給配管系の機能説明図Functional explanatory diagram of the liquid supply piping system in the screen printing apparatus of one embodiment of the present invention

まず図１、図２、図３を参照してスクリーン印刷装置の構造を説明する。図１において、スクリーン印刷装置は、基板位置決め部１の上方にスクリーン印刷部１０を配設して構成されている。基板位置決め部１は、Ｙ軸テーブル２、Ｘ軸テーブル３およびθ軸テーブル４を段積みし、更にその上にＺ軸テーブル５を載置して構成されている。Ｚ軸テーブル５上には基板８を下面側から下受けして保持する基板保持部６が設けられている。上流側から搬入コンベア９Ａ（図２）を介して搬入された基板８は印刷コンベア９によって基板保持部６上に搬入され、クランパ７によって両側から挟み込まれて位置が固定される。以下に説明するスクリーン印刷部１０によって印刷された後の基板８は、搬出コンベア９Ｂ（図２参照）を介して下流側へ搬出される。 First, the structure of the screen printing apparatus will be described with reference to FIG. 1, FIG. 2, and FIG. In FIG. 1, the screen printing apparatus is configured by disposing a screen printing unit 10 above a substrate positioning unit 1. The substrate positioning unit 1 is configured by stacking a Y-axis table 2, an X-axis table 3, and a θ-axis table 4, and further placing a Z-axis table 5 thereon. On the Z-axis table 5, there is provided a substrate holder 6 that receives and holds the substrate 8 from the lower surface side. The substrate 8 carried in from the upstream side via the carry-in conveyor 9A (FIG. 2) is carried onto the substrate holding unit 6 by the printing conveyor 9, and is sandwiched from both sides by the clamper 7 to fix the position. The substrate 8 after being printed by the screen printing unit 10 described below is carried out to the downstream side via the carry-out conveyor 9B (see FIG. 2).

基板位置決め部１の上方に配設されたスクリーン印刷部１０は、マスク枠１１に展張されたマスクプレート１２を備えている。マスクプレート１２には、印刷対象に応じたパターン孔１２ａ（図３参照）が設けられている。図２に示すように、基板位置決め部１の両側に配設された縦フレーム２１の側面には、２本の棒形状のブラケット２２が内側に水平に延出して配設されている。２本のブラケット２２の上面には、Ｌ字断面形状のマスクホルダ２３がＹ方向に架設されている。マスクホルダ２３は、マスクプレート１２のマスク枠１１を位置決めして保持する。 A screen printing unit 10 disposed above the substrate positioning unit 1 includes a mask plate 12 extended on a mask frame 11. The mask plate 12 is provided with a pattern hole 12a (see FIG. 3) corresponding to a printing target. As shown in FIG. 2, two bar-shaped brackets 22 are horizontally extended on the side surfaces of the vertical frame 21 provided on both sides of the substrate positioning portion 1. On the upper surfaces of the two brackets 22, an L-shaped cross-sectional mask holder 23 is installed in the Y direction. The mask holder 23 positions and holds the mask frame 11 of the mask plate 12.

マスクプレート１２上にはスキージヘッド１３が配設されている。スキージヘッド１３は、水平なプレート１３ａにスキージ１５を昇降させるスキージ昇降機構１４を配設した構成となっており、図２に示すように、プレート１３ａの両端は縦フレーム２１上に配列されたガイド機構によって、Ｙ方向にスライド自在に支持されている。プレート１３ａは、ナット１６ａ、送りねじ１６ｂおよび回転駆動モータ（図示省略）より成るスキージ移動手段によりＹ方向に水平移動する。またスキージ昇降機構１４を駆動することによりスキージ１５は昇降してマスクプレート１２の上面に当接する。 A squeegee head 13 is disposed on the mask plate 12. The squeegee head 13 has a structure in which a squeegee raising / lowering mechanism 14 for raising and lowering the squeegee 15 is disposed on a horizontal plate 13a. As shown in FIG. 2, both ends of the plate 13a are guides arranged on a vertical frame 21. The mechanism is supported so as to be slidable in the Y direction. The plate 13a is horizontally moved in the Y direction by squeegee moving means including a nut 16a, a feed screw 16b, and a rotary drive motor (not shown). Further, by driving the squeegee raising / lowering mechanism 14, the squeegee 15 moves up and down and comes into contact with the upper surface of the mask plate 12.

Ｚ軸テーブル５を上昇させてマスクプレート１２の下面を基板８に当接させた状態で、ペーストであるクリーム半田が供給されたマスクプレート１２上で、スキージ移動手段を駆動してスキージ１５をＹ方向に移動させることにより、パターン孔１２ａを介して基板８にはクリーム半田が印刷される。すなわちスクリーン印刷部１０は、パターン孔１２ａが設けられたマスクプレート１２に基板８を当接させ、マスクプレート１２上でスキージ１５を摺動させることにより、パターン孔１２ａを介して基板８にペーストであるクリーム半田を印刷する。 In a state where the Z-axis table 5 is raised and the lower surface of the mask plate 12 is in contact with the substrate 8, the squeegee 15 is driven by driving the squeegee moving means on the mask plate 12 supplied with the cream solder as paste. By moving in the direction, cream solder is printed on the substrate 8 through the pattern holes 12a. That is, the screen printing unit 10 causes the substrate 8 to come into contact with the mask plate 12 provided with the pattern holes 12a, and slides the squeegee 15 on the mask plate 12 to paste the substrate 8 through the pattern holes 12a with the paste. A certain cream solder is printed.

スクリーン印刷部１０の上方には、カメラ１９が設けられている。図３に示すように、カメラ１９はＸ軸テーブル１８およびＹ軸テーブル１７によってＸＹ方向に水平移動する。Ｘ軸テーブル１８およびＹ軸テーブル１７は、カメラ１９を移動させるカメラ移動機構となっている。カメラ１９をカメラ移動機構によってマスクプレート１２に対して移動させることにより、カメラ１９はマスクプレート１２の任意の位置を撮像する。基板位置決め部１はＹ軸テーブル２によってスクリーン印刷部１０の下方からＹ方向に移動して、保持した基板８を基板認識位置まで移動させることができるようになっており、この状態でカメラ１９を基板位置決め部１上の基板８に移動させることにより、カメラ１９によって基板８の任意の位置を撮像し、基板位置を認識することができる。 A camera 19 is provided above the screen printing unit 10. As shown in FIG. 3, the camera 19 is horizontally moved in the XY directions by the X-axis table 18 and the Y-axis table 17. The X-axis table 18 and the Y-axis table 17 serve as a camera moving mechanism that moves the camera 19. By moving the camera 19 with respect to the mask plate 12 by the camera moving mechanism, the camera 19 images an arbitrary position of the mask plate 12. The substrate positioning unit 1 is moved in the Y direction from below the screen printing unit 10 by the Y-axis table 2 so that the held substrate 8 can be moved to the substrate recognition position. In this state, the camera 19 is moved. By moving to the substrate 8 on the substrate positioning unit 1, an arbitrary position of the substrate 8 can be imaged by the camera 19 and the substrate position can be recognized.

Ｙ軸テーブル２上の基板位置決め部１の側方には、クリーニングユニット２０（クリーニング機構）が配設されている。クリーニングユニット２０は本体部２０ａ内に以下に説明する各要素を配設した構成となっており、本体部２０ａの上部からはクリーニングヘッド２４が突出している。Ｙ軸テーブル２を駆動することにより、クリーニングユニット２０は基板位置決め部１とともにＹ方向に移動し、クリーニングヘッド２４によってマスクプレート１２の下面をクリーニングする。 A cleaning unit 20 (cleaning mechanism) is disposed on the side of the substrate positioning unit 1 on the Y-axis table 2. The cleaning unit 20 has a configuration in which each element described below is disposed in the main body 20a, and the cleaning head 24 protrudes from the upper part of the main body 20a. By driving the Y-axis table 2, the cleaning unit 20 moves in the Y direction together with the substrate positioning unit 1, and the lower surface of the mask plate 12 is cleaned by the cleaning head 24.

本実施の形態においては、クリーニング機構であるクリーニングユニット２０は、クリーニングシート２７（図４参照）をクリーニングヘッド２４によってマスクプレート１２の下面に押しつけて摺動させることにより、マスクプレート１２をクリーニングする機能を有している。なお本実施の形態においては、基板位置決め部１のＹ軸テーブル２を駆動することによりクリーニングユニット２０を水平移動させる構成例を示しているが、クリーニングユニット２０の水平移動を基板位置決め部１と切り離して、独立のクリーニングユニット駆動機構を設けるようにしてもよい。 In the present embodiment, the cleaning unit 20 that is a cleaning mechanism has a function of cleaning the mask plate 12 by pressing the cleaning sheet 27 (see FIG. 4) against the lower surface of the mask plate 12 by the cleaning head 24 and sliding it. have. In the present embodiment, a configuration example is shown in which the cleaning unit 20 is horizontally moved by driving the Y-axis table 2 of the substrate positioning unit 1. However, the horizontal movement of the cleaning unit 20 is separated from the substrate positioning unit 1. Thus, an independent cleaning unit drive mechanism may be provided.

次に、図４を参照してクリーニングユニット２０の構成を説明する。クリーニングユニット２０の本体部２０ａの上面には、クリーニングヘッド２４が昇降手段（図示省略）によって昇降自在に配設されている。本体部２０ａにはクリーニングシート２７の供給リール２５および回収リール２６が設けられている。クリーニングシート２７は供給リール２５から引き出され、クリーニングヘッド２４の上面を周回して回収リール２６によって巻き取られる。クリーニングヘッド２４を上昇させてクリーニングシート２７をマスクプレート１２の下面に押し当てた状態で、クリーニングユニット２０を水平移動させることにより、マスクプレート１２は下面側からクリーニングされる。 Next, the configuration of the cleaning unit 20 will be described with reference to FIG. On the upper surface of the main body portion 20a of the cleaning unit 20, a cleaning head 24 is disposed so as to be lifted and lowered by lifting means (not shown). The main body 20a is provided with a supply reel 25 and a recovery reel 26 for the cleaning sheet 27. The cleaning sheet 27 is pulled out from the supply reel 25, wraps around the upper surface of the cleaning head 24, and is taken up by the collection reel 26. By moving the cleaning unit 20 horizontally while raising the cleaning head 24 and pressing the cleaning sheet 27 against the lower surface of the mask plate 12, the mask plate 12 is cleaned from the lower surface side.

供給リール２５から引き出されたクリーニングシート２７がクリーニングヘッド２４の上面に至る送給経路には、複数のガイドローラ２８ａおよび吐出ノズル２９が配置されている。クリーニングシート２７はこれらのガイドローラ２８ａおよび吐出ノズル２９を周回してクリーニングヘッド２４の上面に送られ、クリーニングに使用された後にガイド部２８ｂを経由して回収リール２６に巻き取られる。 A plurality of guide rollers 28 a and discharge nozzles 29 are arranged in the feeding path where the cleaning sheet 27 pulled out from the supply reel 25 reaches the upper surface of the cleaning head 24. The cleaning sheet 27 circulates around the guide roller 28a and the discharge nozzle 29 and is sent to the upper surface of the cleaning head 24. After being used for cleaning, the cleaning sheet 27 is wound around the collection reel 26 via the guide portion 28b.

吐出ノズル２９は中空管状の部材であり、吐出ノズル２９の上面側には複数の吐出孔２９ａが設けられている。吐出ノズル２９の中空部は下方に導設された吐出配管３１に接続されており、吐出配管３１はさらに本体部２０ａ内に配設された洗浄液供給部３０に接続されている。洗浄液供給部３０はエタノールやイソプロパノールなどマスククリーニングに使用される洗浄液３２を貯留し、吐出ノズル２９の吐出孔２９ａから吐出させる機能を有している。 The discharge nozzle 29 is a hollow tubular member, and a plurality of discharge holes 29 a are provided on the upper surface side of the discharge nozzle 29. A hollow portion of the discharge nozzle 29 is connected to a discharge pipe 31 led downward, and the discharge pipe 31 is further connected to a cleaning liquid supply unit 30 disposed in the main body 20a. The cleaning liquid supply unit 30 has a function of storing a cleaning liquid 32 used for mask cleaning, such as ethanol and isopropanol, and discharging it from the discharge hole 29 a of the discharge nozzle 29.

すなわちクリーニングユニット２０は、クリーニングヘッド２４に設けられクリーニングシート２７に洗浄液３２を吐出する吐出ノズル２９と、洗浄液３２を吐出ノズル２９に供給する洗浄液供給部３０とを有する構成となっている。そして洗浄液供給部３０によって吐出ノズル２９に供給された洗浄液３２は、さらに吐出孔２９ａから外周部へ吐出されてクリーニングシート２７に含浸される。 That is, the cleaning unit 20 includes a discharge nozzle 29 that is provided in the cleaning head 24 and discharges the cleaning liquid 32 to the cleaning sheet 27, and a cleaning liquid supply unit 30 that supplies the cleaning liquid 32 to the discharge nozzle 29. The cleaning liquid 32 supplied to the discharge nozzle 29 by the cleaning liquid supply unit 30 is further discharged from the discharge hole 29 a to the outer peripheral portion and impregnated in the cleaning sheet 27.

次に図５を参照して、洗浄液供給部３０の構成を説明する。洗浄液供給部３０は、ユニット枠３０ａ内に洗浄液３２を貯留する液供給タンク３３、液供給タンク３３から洗浄液３２を吸引して吐出するポンプ３５、ポンプ３５からの吐出を断接するバルブ４２およびこれらを駆動・制御するための電磁弁４３を配設した構成となっている。 Next, the configuration of the cleaning liquid supply unit 30 will be described with reference to FIG. The cleaning liquid supply unit 30 includes a liquid supply tank 33 that stores the cleaning liquid 32 in the unit frame 30a, a pump 35 that sucks and discharges the cleaning liquid 32 from the liquid supply tank 33, a valve 42 that connects and disconnects discharge from the pump 35, and the like. An electromagnetic valve 43 for driving and controlling is provided.

すなわち、ユニット枠３０ａの下部には洗浄液３２を貯留する液供給タンク３３が配置されており、液供給タンク３３には液供給タンク３３内に貯溜された洗浄液３２を吸引する吸引配管３４が、吸入口３４ａを洗浄液３２内に位置させて上方から挿入されている。吸引配管３４は液供給タンク３３から上方に延出して、上に凸形状に湾曲した湾曲部３４ｂを経て下垂し、さらに上方に湾曲した端部の接続口３４ｃがポンプ３５の吸引口３６に接続されている。 That is, a liquid supply tank 33 for storing the cleaning liquid 32 is disposed below the unit frame 30a, and a suction pipe 34 for sucking the cleaning liquid 32 stored in the liquid supply tank 33 is sucked into the liquid supply tank 33. The mouth 34a is inserted into the cleaning liquid 32 from above. The suction pipe 34 extends upward from the liquid supply tank 33 and hangs down through a curved portion 34 b that is curved upward, and a connection port 34 c that is further curved upward is connected to the suction port 36 of the pump 35. Has been.

電磁弁４３のＰポート、Ｒポートはそれぞれエア供給源４４、排気ユニット４５に接続されており、電磁弁４３のＰポートには常に駆動エアが供給されている。電磁弁４３の開閉動作は制御部４６によって制御され、ポンプ３５に電磁弁４３、エア配管４０、エア接続口３８を介して駆動エアを供給することにより、液供給タンク３３内の洗浄液３２は吸引配管３４を介してポンプ３５内に吸引される。そしてさらにポンプ３５の上部に設けられた吐出口３７を介して吐出配管３１に吐出される。 The P port and R port of the solenoid valve 43 are connected to an air supply source 44 and an exhaust unit 45, respectively, and drive air is always supplied to the P port of the solenoid valve 43. The opening / closing operation of the electromagnetic valve 43 is controlled by the control unit 46, and the cleaning liquid 32 in the liquid supply tank 33 is sucked by supplying driving air to the pump 35 via the electromagnetic valve 43, the air pipe 40, and the air connection port 38. It is sucked into the pump 35 through the pipe 34. Further, it is discharged to the discharge pipe 31 through a discharge port 37 provided at the upper part of the pump 35.

上述の配管系において、吸引配管３４は上に凸形状に湾曲した湾曲部３４ｂを有する形態となっており、この湾曲部３４ｂは上端部がポンプ３５の吐出口３７よりも所定の高さ差Δｈだけ高い高さレベルに位置するように配設されている。なお、液供給タンク３３とポンプ３５の相対高さは、ポンプ３５が極力液供給タンク３３と同程度の高さレベル、もしくはポンプ３５が液供給タンク３３内の液面よりも下方に位置することが望ましい。 In the above-described piping system, the suction pipe 34 has a curved portion 34b that is curved upward and has an upper end that is a predetermined height difference Δh higher than the discharge port 37 of the pump 35. It is arrange | positioned so that it may be located in a high height level only. The relative height between the liquid supply tank 33 and the pump 35 is such that the pump 35 is as high as possible as the liquid supply tank 33 or the pump 35 is positioned below the liquid level in the liquid supply tank 33. Is desirable.

吐出配管３１には吐出配管３１を開閉するためのエア駆動の弁機構を備えた２方弁のバルブ４２が介設されており、エア配管４１を介して駆動エアを供給することによって、バルブ４２のＰポート、Ａポートを断接することができる。すなわちバルブ４２は、吐出口３７に接続され吐出ノズル２９に至る吐出配管３１においてポンプ３５よりも高い位置に介設されて、この吐出配管３１を駆動エアによって作動する弁機構によって開閉する機能を有している。 The discharge pipe 31 is provided with a two-way valve 42 having an air-driven valve mechanism for opening and closing the discharge pipe 31, and the valve 42 is supplied by supplying drive air through the air pipe 41. The P port and A port can be connected and disconnected. That is, the valve 42 is provided at a position higher than the pump 35 in the discharge pipe 31 connected to the discharge port 37 and reaching the discharge nozzle 29, and has a function of opening and closing the discharge pipe 31 by a valve mechanism that is operated by driving air. doing.

そしてバルブ４２を駆動して吐出配管３１を閉じることにより、吐出配管３１においてバルブ４２よりも上側の配管内の洗浄液３２はバルブ４２によって遮断され、洗浄液３２が下方に向かって流動する逆流を完全に防止することが可能となっている。これにより、ポンプ３５の吐出口３７から吐出ノズル２９に至る吐出配管３１に逆止弁を介設した構成の従来技術における問題、すなわち逆止弁の弁体と弁座との当接面に洗浄液３２中の有機異物などが付着することに起因する動作不良が生じることがなく、洗浄液３２の逆流防止機能を安定して確保することができる。 Then, by driving the valve 42 and closing the discharge pipe 31, the cleaning liquid 32 in the pipe above the valve 42 in the discharge pipe 31 is blocked by the valve 42, and the reverse flow in which the cleaning liquid 32 flows downward is completely eliminated. It is possible to prevent. As a result, there is a problem in the prior art in which a check valve is interposed in the discharge pipe 31 extending from the discharge port 37 of the pump 35 to the discharge nozzle 29, that is, the cleaning liquid on the contact surface between the valve body of the check valve and the valve seat. There is no malfunction caused by the adhesion of organic foreign matter or the like in 32, and the backflow prevention function of the cleaning liquid 32 can be stably secured.

さらに、逆止弁は流体が規定のクラッキング圧力を超えた状態でのみ流動が許容される構造であるため、小流量で吐出するために低流体圧で使用する場合には、安定した吐出量が得られないという難点がある。これに対し、本実施の形態に示すように２方弁のバルブ４２によって開閉を明確に切換える方式を用いることにより、ポンプ３５から吐出された洗浄液３２は低圧・低流量の使用条件下においても安定した液供給を行うことが可能となっている。 In addition, since the check valve has a structure that allows flow only when the fluid exceeds the specified cracking pressure, a stable discharge rate is ensured when used at a low fluid pressure to discharge at a low flow rate. There is a difficulty that cannot be obtained. On the other hand, as shown in this embodiment, the cleaning liquid 32 discharged from the pump 35 is stable even under low-pressure and low-flow usage conditions by using a system in which the opening and closing are clearly switched by the two-way valve 42. It is possible to perform the liquid supply.

エア配管４１は、エア配管４０と同様に同一の電磁弁４３のＡポートに接続されており、制御部４６によって電磁弁４３を制御することにより、駆動エアを任意のタイミングにてエア配管４０、４１を介してそれぞれポンプ３５、バルブ４２に同時に送給することができる。したがって、ポンプ３５による洗浄液の吐出動作とバルブ４２による吐出配管３１の開動作は常に同期してなされ、またポンプ３５が吐出を停止しているときは吐出配管３１は常に閉じられている。電磁弁４３および制御部４６は、ポンプ３５およびバルブ４２への駆動エアの供給を制御するエア供給制御部を構成する。 The air pipe 41 is connected to the A port of the same electromagnetic valve 43 similarly to the air pipe 40. By controlling the electromagnetic valve 43 by the control unit 46, the driving air is supplied to the air pipe 40 at an arbitrary timing. They can be simultaneously fed to the pump 35 and the valve 42 via 41, respectively. Therefore, the discharge operation of the cleaning liquid by the pump 35 and the opening operation of the discharge pipe 31 by the valve 42 are always synchronized, and the discharge pipe 31 is always closed when the pump 35 stops discharging. The electromagnetic valve 43 and the control unit 46 constitute an air supply control unit that controls the supply of driving air to the pump 35 and the valve 42.

次に図６を参照して、ポンプ３５の構造および機能を説明する。図６に示すように、ポンプ３５はケーシング部３５ａの内部に形成された吸引吐出空間３５ｂ内において、可撓性に富む膜部材であるダイアフラム３５ｆをエア駆動機構３９によって矢印方向に往復動させる構造となっている。エア駆動機構３９には、エア接続口３８から内部流路３５ｃを介して駆動エアが供給される。吸引吐出空間３５ｂは、吸引側流路３５ｄ、吐出側流路３５ｅを介してそれぞれ吸引口３６、吐出口３７と接続されている。吸引口３６、吐出口３７はいずれも円錐形状の弁座面３６ｂ、弁座面３７ｂとボール体３６ｃ、３７ｃとを組み合わせ、ボール体３６ｃ、３７ｃを弁座面３６ｂ、３７ｂに押し付けて導入流路３６ａ、３７ａを閉塞する構成の逆止弁を内蔵しており、吸引口３６、吐出口３７はいずれも導入流路３６ａ、３７ａから上方へ洗浄液３２の一方向のみの流動を許容するようになっている。 Next, the structure and function of the pump 35 will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 6, the pump 35 has a structure in which a diaphragm 35f, which is a flexible film member, is reciprocated in the direction of an arrow by an air drive mechanism 39 in a suction / discharge space 35b formed inside the casing portion 35a. It has become. Driving air is supplied to the air driving mechanism 39 from the air connection port 38 via the internal flow path 35c. The suction / discharge space 35b is connected to the suction port 36 and the discharge port 37 via a suction side channel 35d and a discharge side channel 35e, respectively. The suction port 36 and the discharge port 37 are both a conical valve seat surface 36b, a combination of the valve seat surface 37b and the ball bodies 36c, 37c, and the ball bodies 36c, 37c are pressed against the valve seat surfaces 36b, 37b to introduce the flow path. A check valve configured to block 36a and 37a is incorporated, and both the suction port 36 and the discharge port 37 allow the flow of the cleaning liquid 32 only in one direction upward from the introduction flow channels 36a and 37a. ing.

エア駆動機構３９を駆動して吸引吐出空間３５ｂ内でダイアフラム３５ｆを往復動させることにより、吸引口３６を介して吸引配管３４から吸引吐出空間３５ｂ内へ洗浄液３２を吸引し、また吸引吐出空間３５ｂから吐出口３７を介して洗浄液３２を吐出配管３１に吐出する。すなわち、ポンプ３５は、駆動エアによってダイアフラム３５ｆを往復動させることにより、吸引配管３４に接続された吸引口３６から洗浄液３２を吸引し吐出口３７から吐出する機能を有している。 By driving the air drive mechanism 39 to reciprocate the diaphragm 35f in the suction / discharge space 35b, the cleaning liquid 32 is sucked from the suction pipe 34 into the suction / discharge space 35b through the suction port 36, and the suction / discharge space 35b. Then, the cleaning liquid 32 is discharged to the discharge pipe 31 through the discharge port 37. That is, the pump 35 has a function of sucking the cleaning liquid 32 from the suction port 36 connected to the suction pipe 34 and discharging it from the discharge port 37 by reciprocating the diaphragm 35 f by the driving air.

洗浄液供給部３０によって吐出ノズル２９に洗浄液３２を供給する液供給動作では、制御部４６および電磁弁４３より成るエア供給制御部は、以下のように各部を制御する。すなわち吐出配管３１に洗浄液３２を吐出するためにポンプ３５を動作させるポンプ駆動時には、バルブ４２を開状態にして吐出口３７から吐出された洗浄液３２の流動を許容する。これにより、洗浄液３２の吐出配管３１への供給が可能となる。また、洗浄液３２の吐出を止めるためにポンプ３５の動作を停止させるポンプ停止時には、バルブ４２を閉状態にして吐出配管３１内における洗浄液３２の逆流を防止する。 In the liquid supply operation in which the cleaning liquid 32 is supplied to the discharge nozzle 29 by the cleaning liquid supply unit 30, the air supply control unit including the control unit 46 and the electromagnetic valve 43 controls each unit as follows. That is, when the pump 35 is operated to discharge the cleaning liquid 32 to the discharge pipe 31, the valve 42 is opened to allow the cleaning liquid 32 discharged from the discharge port 37 to flow. Thereby, the cleaning liquid 32 can be supplied to the discharge pipe 31. Further, when the pump is stopped to stop the operation of the pump 35 in order to stop the discharge of the cleaning liquid 32, the valve 42 is closed to prevent the cleaning liquid 32 from flowing backward in the discharge pipe 31.

図７は、この液供給動作を継続する過程でポンプ３５の動作を停止させた状態における配管系各部の洗浄液３２の残留状態を示している。すなわち液供給タンク３３内の洗浄液３２を連続してポンプ３５によって吸引して吐出する液供給状態時には、吸引配管３４内、ポンプ３５の吸引吐出空間３５ｂ内および吐出配管３１内は、ポンプ３５によるポンプ作用によって洗浄液３２で満たされている。この状態においてポンプ３５を停止すると、ポンプ３５の吐出停止と同期してバルブ４２が閉状態となる。そしてバルブ４２を完全に閉じることにより、配管系内の洗浄液３２は流動が制約された状態となる。 FIG. 7 shows the remaining state of the cleaning liquid 32 in each part of the piping system in a state where the operation of the pump 35 is stopped in the process of continuing the liquid supply operation. That is, in the liquid supply state in which the cleaning liquid 32 in the liquid supply tank 33 is continuously sucked and discharged by the pump 35, the suction pipe 34, the suction discharge space 35b of the pump 35, and the discharge pipe 31 are pumped by the pump 35. It is filled with the cleaning liquid 32 by the action. When the pump 35 is stopped in this state, the valve 42 is closed in synchronization with the discharge stop of the pump 35. Then, by completely closing the valve 42, the flow of the cleaning liquid 32 in the piping system is restricted.

本実施の形態に示す洗浄液供給部３０の配管系においては、吸引配管３４に設けた湾曲部３４ｂは上端部がポンプ３５の吐出口３７よりも所定の高さ差Δｈだけ高い高さレベルに位置するように配設されていることから、ポンプ３５からバルブ４２にいたる吐出配管３１内において、洗浄液３２の液レベルＬは少なくとも湾曲部３４ｂの上端部よりも低くなることはない。したがって、吐出口３７、吸引口３６内の逆止弁機構は常に洗浄液３２に浸された接液状態にあり、ポンプ停止状態においても吐出口３７、吸引口３６内の逆止弁機構が大気曝露されることによる有機異物の付着が発生せず、吐出口３７、吸引口３６の逆止弁機能が損なわれることがない。 In the piping system of the cleaning liquid supply unit 30 shown in the present embodiment, the curved portion 34b provided in the suction piping 34 is positioned at a height level whose upper end is higher than the discharge port 37 of the pump 35 by a predetermined height difference Δh. Therefore, in the discharge pipe 31 from the pump 35 to the valve 42, the liquid level L of the cleaning liquid 32 is never lower than at least the upper end of the curved portion 34b. Therefore, the check valve mechanism in the discharge port 37 and the suction port 36 is always in a liquid contact state immersed in the cleaning liquid 32, and the check valve mechanism in the discharge port 37 and the suction port 36 is exposed to the atmosphere even when the pump is stopped. As a result, adhesion of organic foreign matters does not occur, and the check valve functions of the discharge port 37 and the suction port 36 are not impaired.

さらに、吐出口３７を含めポンプ３５から液供給タンク３３内に至る配管系は大部分が洗浄液３２によって満たされた接液状態にあることから、ポンプ３５を再起動して吐出を開始する際に、エアの吸い込みに起因する空動作が少なく、速やかに通常の吸引・吐出状態に移行することができる。そしてエア吸引が生じた場合においても、エアが吸引配管３４やポンプ３５内で小さい気泡に分散して洗浄液３２内に拡散するため、大容積のエアが塊状態で流動することによる液供給不具合を減少させることが可能となっている。 Furthermore, since most of the piping system including the discharge port 37 from the pump 35 to the liquid supply tank 33 is in a liquid contact state filled with the cleaning liquid 32, when the pump 35 is restarted and discharge is started. There are few idling operations caused by the suction of air, and it is possible to quickly shift to a normal suction / discharge state. Even when air suction occurs, the air is dispersed into small bubbles in the suction pipe 34 and the pump 35 and diffuses into the cleaning liquid 32. Therefore, there is a problem in liquid supply due to the large volume of air flowing in a lump state. It is possible to reduce.

本発明のスクリーン印刷装置は、洗浄液をクリーニングシートに安定して供給することができるという効果を有し、クリーニングシートに洗浄液を含浸させる湿式のマスククリーニングを行うスクリーン印刷装置に利用可能である。 The screen printing apparatus of the present invention has an effect that the cleaning liquid can be stably supplied to the cleaning sheet, and can be used for a screen printing apparatus that performs wet mask cleaning in which the cleaning sheet is impregnated with the cleaning liquid.

１基板位置決め部
８基板
９印刷コンベア
１０スクリーン印刷部
１２マスクプレート
１５スキージ
２０クリーニングユニット
２４クリーニングヘッド
２７クリーニングシート
２９吐出ノズル
３０洗浄液供給部
３１吐出配管
３２洗浄液
３３液供給タンク
３４吸引配管
３４ｂ湾曲部
３５ポンプ
３５ｆダイアフラム
３６吸引口
３７吐出口
３９エア駆動機構
４２バルブ
４３電磁弁
４４エア供給源 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Board | substrate positioning part 8 Board | substrate 9 Print conveyor 10 Screen printing part 12 Mask plate 15 Squeegee 20 Cleaning unit 24 Cleaning head 27 Cleaning sheet 29 Discharge nozzle 30 Cleaning liquid supply part 31 Discharge piping 32 Cleaning liquid 33 Liquid supply tank 34 Suction piping 34b Bending part 35 Pump 35f Diaphragm 36 Suction port 37 Discharge port 39 Air drive mechanism 42 Valve 43 Solenoid valve 44 Air supply source

Claims

A screen printing unit that prints the paste on the substrate through the pattern hole by causing the mask plate provided with the pattern hole to contact the substrate and sliding the squeegee on the mask plate supplied with the paste, and a cleaning sheet A screen printing apparatus having a cleaning mechanism for cleaning the mask plate by pressing it against the lower surface of the mask plate with a cleaning head and sliding it.
The cleaning mechanism includes a discharge nozzle that is provided in the cleaning head and discharges the cleaning liquid to the cleaning sheet; and a cleaning liquid supply unit that supplies the cleaning liquid to the discharge nozzle;
The cleaning liquid supply unit includes a liquid supply tank that stores the cleaning liquid, a suction pipe that sucks the cleaning liquid in the liquid supply tank,
A pump for sucking the cleaning liquid from the suction port connected to the suction pipe and discharging it from the discharge port by reciprocating the diaphragm by driving air;
A valve that is connected to the discharge port and is connected to a discharge pipe that leads to the discharge nozzle, and that opens and closes by a valve mechanism that operates the drive pipe by drive air;
An air supply control unit that controls supply of driving air to the pump and the valve,
The air supply control unit enables the supply of cleaning liquid to the discharge pipe by opening the valve when the pump is driven, and closes the valve to stop the back flow of the cleaning liquid in the discharge pipe when the pump is stopped. Prevent ,
The suction port and the discharge port incorporate a check valve,
The suction pipe in the bend is provided which is curved in a convex shape, said curved portion is the screen printing apparatus according to claim Rukoto is disposed in the discharge port position higher by a predetermined height difference than the upper end portion and the pump .