JP5902291B2 - Sealing sheet and manufacturing method thereof - Google Patents
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- 238000007789 sealing Methods 0.000 title claims description 542
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 86
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 140
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 86
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 30
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 11
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 6
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 293
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 85
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 85
- 239000000463 material Substances 0.000 description 68
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 51
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 51
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 49
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 26
- 206010040844 Skin exfoliation Diseases 0.000 description 14
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 14
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 14
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 12
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 8
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 5
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 5
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 5
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 3
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 3
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 3
- 239000004640 Melamine resin Substances 0.000 description 2
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 2
- 229910004283 SiO 4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920001807 Urea-formaldehyde Polymers 0.000 description 2
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 2
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- 239000002223 garnet Substances 0.000 description 2
- 238000011900 installation process Methods 0.000 description 2
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 2
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 2
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 2
- 229920006337 unsaturated polyester resin Polymers 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N Orthosilicate Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])[O-] BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003564 SiAlON Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 description 1
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FZTPSPNAZCIDGO-UHFFFAOYSA-N barium(2+);silicate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] FZTPSPNAZCIDGO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 238000001879 gelation Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 238000005580 one pot reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 230000011218 segmentation Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 239000000454 talc Substances 0.000 description 1
- 229910052623 talc Inorganic materials 0.000 description 1
- GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N terbium atom Chemical compound [Tb] GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
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- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
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- H01L33/52—Encapsulations
- H01L33/54—Encapsulations having a particular shape
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- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/93—Batch processes
- H01L24/95—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
- H01L24/97—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being connected to a common substrate, e.g. interposer, said common substrate being separable into individual assemblies after connecting
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
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Description
本発明は、封止シートおよびその製造方法、詳しくは、封止シートの製造方法およびそれによって製造される封止シートに関する。 The present invention relates to a sealing sheet and a method for manufacturing the same, and more particularly to a method for manufacturing a sealing sheet and a sealing sheet manufactured thereby.
従来、発光ダイオード(LED)などの光半導体素子を、封止シートで封止することが知られている。 Conventionally, it is known to seal an optical semiconductor element such as a light emitting diode (LED) with a sealing sheet.
例えば、長尺状の剥離シートに、長尺方向に連続するように、蛍光体やシリカなどの粒子を含有する封止樹脂層を積層した封止シートによって、長尺方向に間隔を隔てて配置される複数のLEDに封止樹脂層を対向配置して、LEDを封止する方法が提案されている(例えば、下記特許文献1参照。)。
For example, an encapsulating sheet in which a sealing resin layer containing particles such as phosphors and silica is laminated on a long release sheet so as to be continuous in the longitudinal direction is arranged at an interval in the longitudinal direction. A method has been proposed in which a sealing resin layer is disposed opposite to a plurality of LEDs to seal the LEDs (see, for example,
しかるに、各光半導体素子の比較的近傍に位置する封止樹脂層(すなわち、封止領域)は、光半導体素子の上面および側面を被覆するなどして、光半導体素子の封止に寄与する。一方、各光半導体素子に対して比較的遠隔に位置する封止樹脂層、具体的には、隣接する光半導体素子間の中央(長尺方向途中)に位置する封止樹脂層(すなわち、非封止領域)は、光半導体素子の封止に実質的に寄与しない。そのため、非封止領域の封止樹脂層は、光半導体素子の封止において不要な領域となり、その分、上記した粒子を含有する封止樹脂層の歩留まりが低下する。その結果、封止シートの製造コストが増大するという不具合がある。 However, the sealing resin layer (that is, the sealing region) located relatively close to each optical semiconductor element contributes to sealing of the optical semiconductor element by covering the upper surface and side surfaces of the optical semiconductor element. On the other hand, a sealing resin layer positioned relatively remotely with respect to each optical semiconductor element, specifically, a sealing resin layer positioned in the center (in the middle of the longitudinal direction) between adjacent optical semiconductor elements (that is, non-blocking resin layer) The sealing region) does not substantially contribute to the sealing of the optical semiconductor element. Therefore, the sealing resin layer in the non-sealing region becomes an unnecessary region in the sealing of the optical semiconductor element, and accordingly, the yield of the sealing resin layer containing the above-described particles is lowered. As a result, there exists a malfunction that the manufacturing cost of a sealing sheet increases.
他方、上記した非封止領域を、封止樹脂層を一旦形成した後に除去することも試案されるが、封止樹脂層は、上記した粒子の他に、樹脂や添加物を含有するので、除去した非封止領域から、粒子のみを回収して再利用することは困難である。そのため、やはり、非封止領域の形成に起因する封止樹脂層の歩留まりの低下およびそれに起因する封止シートの製造コストの増大を防止することができないという不具合がある。 On the other hand, it is also devised to remove the above-described non-sealing region after once forming the sealing resin layer, but the sealing resin layer contains a resin and an additive in addition to the above-described particles. It is difficult to recover and reuse only the particles from the removed non-sealed region. Therefore, there is still a problem that it is impossible to prevent a decrease in the yield of the sealing resin layer due to the formation of the non-sealing region and an increase in the manufacturing cost of the sealing sheet due to the yield.
本発明の目的は、封止層の歩留まりを向上させて、封止シートの製造コストを低減することのできる、封止シートの製造方法およびそれによって製造される封止シートを提供することにある。 The objective of this invention is improving the yield of a sealing layer, and providing the manufacturing method of a sealing sheet which can reduce the manufacturing cost of a sealing sheet, and the sealing sheet manufactured by it. .
上記目的を達成するために、本発明の封止シートの製造方法は、第1方向に互いに間隔を隔てて配置される複数の封止部材を備える封止シートの製造方法であって、前記第1方向に連続するように、粒子を含有する封止層を形成する封止層形成工程、前記封止層形成工程の後に、前記封止層が前記第1方向において複数分割されるように前記封止層を切断して、複数の前記封止部材を形成する切断工程、および、前記切断工程の後に、複数の前記封止部材を、前記第1方向に互いに間隔を隔てるように配置する配置工程を備えることを特徴としている。 In order to achieve the above object, a manufacturing method of a sealing sheet of the present invention is a manufacturing method of a sealing sheet including a plurality of sealing members arranged at intervals in a first direction, wherein the first The sealing layer forming step of forming a sealing layer containing particles so as to be continuous in one direction, and after the sealing layer forming step, the sealing layer is divided into a plurality of portions in the first direction. A cutting step of cutting a sealing layer to form a plurality of the sealing members, and an arrangement in which the plurality of sealing members are arranged so as to be spaced apart from each other in the first direction after the cutting step. It is characterized by comprising a process.
この封止シートの製造方法では、封止層が第1方向において複数分割されるように封止層を切断して、複数の封止部材を形成し、その後、複数の封止部材を、第1方向に互いに間隔を隔てるように配置する。そのため、切断後の複数の封止部材を、簡便な方法によって、第1方向に互いに間隔を隔てるように配置するので、第1方向に連続するように形成される封止層を、有効に利用することができる。そのため、封止層の歩留まりを向上させて、封止シートの製造コストを低減することができる。 In the manufacturing method of the sealing sheet, the sealing layer is cut so that the sealing layer is divided into a plurality of parts in the first direction to form a plurality of sealing members. It arrange | positions so that it may mutually space apart in one direction. Therefore, since the plurality of sealing members after cutting are arranged so as to be spaced apart from each other in the first direction by a simple method, the sealing layer formed so as to be continuous in the first direction is effectively used. can do. Therefore, the yield of a sealing layer can be improved and the manufacturing cost of a sealing sheet can be reduced.
また、本発明の封止シートの製造方法では、前記封止層形成工程では、前記封止層を、前記第1方向に連続する第1基材シートの表面に形成することによって、前記封止層および前記第1基材シートを備える積層シートを形成し、前記切断工程では、前記積層シートが前記第1方向において複数分割されるように、前記積層シートを切断することによって、前記封止層および前記第1基材シートから前記封止部材を形成することが好適である。 Moreover, in the manufacturing method of the sealing sheet of this invention, the said sealing layer formation process WHEREIN: By forming the said sealing layer on the surface of the 1st base material sheet continuous in the said 1st direction, the said sealing is performed. Forming a laminated sheet comprising a layer and the first base sheet, and in the cutting step, cutting the laminated sheet so that the laminated sheet is divided into a plurality of pieces in the first direction, whereby the sealing layer It is preferable to form the sealing member from the first base sheet.
この封止シートの製造方法によれば、封止層形成工程では、封止層および第1基材シートを備える積層シートを形成するので、封止層を第1基材シートによって支持することができ、続いて、切断工程において、積層シートを切断するので、封止層の取扱性を向上させて、切断工程における封止層の切断の精度を向上させることができる。 According to this method for producing a sealing sheet, in the sealing layer forming step, a laminated sheet including the sealing layer and the first base sheet is formed, so that the sealing layer can be supported by the first base sheet. Then, since the laminated sheet is cut in the cutting step, the handleability of the sealing layer can be improved, and the accuracy of cutting the sealing layer in the cutting step can be improved.
また、本発明の封止シートの製造方法では、前記配置工程では、複数の前記封止部材を、前記第1方向に連続して形成される第2基材シートの表面に、前記第1方向に互いに間隔を隔てるように配置することが好適である。 Moreover, in the manufacturing method of the sealing sheet of this invention, in the said arrangement | positioning process, the said 1st direction is provided on the surface of the 2nd base material sheet formed continuously in the said 1st direction in the said some sealing member. It is preferable to arrange them at a distance from each other.
この封止シートの製造方法では、複数の封止部材を第2基材シートの表面に配置するので、複数の封止部材の配置の精度を向上させることができる。そのため、複数の封止部材によって複数の光半導体素子を精度よく封止することができる。 In this sealing sheet manufacturing method, since the plurality of sealing members are arranged on the surface of the second base sheet, the accuracy of the arrangement of the plurality of sealing members can be improved. Therefore, a plurality of optical semiconductor elements can be accurately sealed by a plurality of sealing members.
また、本発明の封止シートの製造方法では、粒子が、蛍光体を含有することが好適である。 Moreover, in the manufacturing method of the sealing sheet of this invention, it is suitable for particle | grains to contain fluorescent substance.
この封止シートの製造方法では、蛍光体を含有する粒子の歩留まりを向上させることができる。 In this method for producing a sealing sheet, the yield of particles containing a phosphor can be improved.
本発明の封止シートの製造方法は、第1方向に互いに間隔を隔て、かつ、前記第1方向に対する交差する第2方向に沿い、粒子を含有する封止層を形成する封止層形成工程、および、前記封止層が前記第2方向において複数分割されるように前記封止層を切断する切断工程を備えることを特徴としている。 The method for producing a sealing sheet of the present invention includes a sealing layer forming step of forming a sealing layer containing particles along a second direction that is spaced from each other in the first direction and intersects the first direction. And a cutting step of cutting the sealing layer so that the sealing layer is divided into a plurality of parts in the second direction.
この封止シートの製造方法では、第1方向に互いに間隔を隔て、かつ、第1方向に対する交差する第2方向に沿い、粒子を含有する封止層を形成するので、その後、封止層を、第1方向に互いに間隔を隔てて配置される封止対象に対して封止すれば、封止層を有効に利用することができる。そのため、封止層の歩留まりを向上させて、封止シートの製造コストを低減することができる。 In the manufacturing method of this sealing sheet, since the sealing layer containing particles is formed along the second direction that is spaced from each other in the first direction and intersects the first direction, the sealing layer is then formed. The sealing layer can be used effectively if sealing is performed on the objects to be sealed that are spaced from each other in the first direction. Therefore, the yield of a sealing layer can be improved and the manufacturing cost of a sealing sheet can be reduced.
本発明の封止シートの製造方法において、前記封止層形成工程では、封止組成物を前記第2方向に沿って塗布することによって、前記封止層を形成することが好適である。 In the method for producing a sealing sheet of the present invention, it is preferable that in the sealing layer forming step, the sealing layer is formed by applying a sealing composition along the second direction.
この封止シートの製造方法では、封止層形成工程では、封止組成物を第2方向に沿って塗布することによって、封止層を形成するので、第2方向に沿う封止層を効率よく形成することができる。 In this sealing sheet manufacturing method, in the sealing layer forming step, the sealing layer is formed by applying the sealing composition along the second direction, so the sealing layer along the second direction is efficiently used. Can be well formed.
さらに、この方法では、封止組成物を第2方向に沿って塗布する封止層形成工程の後に、封止層が第2方向において複数分割されるように封止層を切断する切断工程を実施するので、第2方向における封止層の歩留まりを向上させて、封止シートの製造コストを低減することができる。 Further, in this method, after the sealing layer forming step of applying the sealing composition along the second direction, a cutting step of cutting the sealing layer so that the sealing layer is divided into a plurality of portions in the second direction. Since it implements, the yield of the sealing layer in a 2nd direction can be improved, and the manufacturing cost of a sealing sheet can be reduced.
本発明の封止シートの製造方法は、封止対象に対応する封止領域を仕切るように、前記封止層を切断する工程、および、前記封止領域の外側の前記封止層を除去する工程をさらに備えることが好適である。 The method for producing a sealing sheet of the present invention includes a step of cutting the sealing layer so as to partition a sealing region corresponding to a sealing target, and removing the sealing layer outside the sealing region. It is preferable to further include a step.
この封止シートの製造方法では、封止対象に対応する封止領域を仕切るように、封止層を切断し、封止領域の外側の封止層を除去するので、封止層をより一層有効に利用することができる。 In this method for producing a sealing sheet, the sealing layer is cut and the sealing layer outside the sealing region is removed so as to partition the sealing region corresponding to the target to be sealed. It can be used effectively.
本発明の封止シートの製造方法では、粒子が、蛍光体を含有することが好適である。 In the manufacturing method of the sealing sheet of this invention, it is suitable for particle | grains to contain fluorescent substance.
この封止シートの製造方法では、粒子が、蛍光体を含有するので、蛍光体を含有する粒子の歩留まりを向上させることができる。 In this method for producing a sealing sheet, since the particles contain the phosphor, the yield of the particles containing the phosphor can be improved.
本発明の封止シートは、粒子を含有しない蛍光体不含封止層を前記第1方向に連続して形成する工程をさらに備え、前記封止層形成工程では、前記封止層を、前記蛍光体不含封止層に対して積層し、前記切断工程では、前記蛍光体不含封止層を前記封止層とともに、前記蛍光体不含封止層が前記第2方向において複数分割されるように、切断することが好適である。 The sealing sheet of the present invention further comprises a step of continuously forming a phosphor-free sealing layer containing no particles in the first direction, and in the sealing layer forming step, the sealing layer is The phosphor-free sealing layer is laminated, and in the cutting step, the phosphor-free sealing layer is divided into a plurality of the phosphor-free sealing layers together with the sealing layer in the second direction. Thus, it is preferable to cut.
蛍光体不含封止層は、蛍光体を含有しないので、蛍光体不含封止層を第1方向に連続して形成しても、蛍光体不含封止層を低コストで製造することができる。そのため、かかる蛍光体不含封止層を形成し、その蛍光体不含封止層に対して封止層を積層すれば、種々の物性を有する封止シートを構成することができる。 Since the phosphor-free encapsulating layer does not contain a phosphor, the phosphor-free encapsulating layer can be manufactured at low cost even if the phosphor-free encapsulating layer is continuously formed in the first direction. Can do. Therefore, if such a phosphor-free sealing layer is formed and the sealing layer is laminated on the phosphor-free sealing layer, a sealing sheet having various physical properties can be configured.
また、本発明の封止シートは、第1方向に連続するように形成される第2基材シートと、前記第2基材シートの表面に、前記第1方向に互いに間隔を隔てて配置される複数の封止部材とを備え、複数の前記封止部材は、前記第2基材シートの表面に積層される第1基材シートと、前記第1基材シートの表面に積層され、粒子を含有する封止層とを備えることを特徴としている。 In addition, the sealing sheet of the present invention is disposed on the surface of the second base sheet and the second base sheet formed so as to be continuous in the first direction, and spaced from each other in the first direction. A plurality of sealing members, wherein the plurality of sealing members are laminated on the surface of the second base material sheet, and are laminated on the surface of the first base material sheet. It is characterized by providing the sealing layer containing this.
この封止シートでは、封止層を、第1方向に連続するように形成される第2基材シートによって、第1方向に互いに間隔を隔てて配置される第1基材シートを介して、支持することができる。そのため、製造コストを低減しながら、第1基材シートおよび第2基材シートによって、封止層を柔軟に支持することができる。 In this sealing sheet, the sealing layer is formed by a second base material sheet that is formed so as to be continuous in the first direction, via the first base material sheet that is arranged at an interval in the first direction, Can be supported. Therefore, the sealing layer can be flexibly supported by the first base sheet and the second base sheet while reducing the manufacturing cost.
本発明の封止シートは、第1方向に連続する基材シートと、前記第1方向に互いに間隔を隔てて配置される複数の封止部材とを備え、複数の前記封止部材は、前記基材シートの表面に積層される蛍光体不含封止層と、前記蛍光体不含封止層の表面に積層される粒子を含有する封止層とを備えることを特徴としている。 The sealing sheet of the present invention includes a base sheet that is continuous in a first direction and a plurality of sealing members that are spaced apart from each other in the first direction, and the plurality of sealing members are It is characterized by comprising a phosphor-free encapsulating layer laminated on the surface of the substrate sheet, and a encapsulating layer containing particles laminated on the surface of the phosphor-free encapsulating layer.
この封止シートでは、蛍光体不含封止層と封止層とによって、種々の物性を有することができる。 This sealing sheet can have various physical properties by the phosphor-free sealing layer and the sealing layer.
本発明の封止シートの製造方法では、封止層の歩留まりを向上させて、封止シートの製造コストを低減することができる。 In the manufacturing method of the sealing sheet of this invention, the yield of a sealing layer can be improved and the manufacturing cost of a sealing sheet can be reduced.
本発明の封止シートは、製造コストを低減しながら、第1基材シートおよび第2基材シートによって、封止層を柔軟に支持することができる。また、種々の物性を有する封止部材を構成することができる。 The sealing sheet of this invention can support a sealing layer flexibly with a 1st base material sheet and a 2nd base material sheet, reducing manufacturing cost. Moreover, the sealing member which has various physical properties can be comprised.
<第1実施形態>
図1Aの矢印で示す前後方向(あるいは縦方向)は、第1方向の一例であり、図1Aの矢印で示す左右方向(あるいは横方向)は、第1方向に直交する第2方向の一例であり、図1Aの矢印で示す上下方向は、第1方向および第2方向に直交する第3方向の一例(あるいは厚み方向)である。図1A以外の図面については、特記しない限り、図1Aの方向を基準とする。<First Embodiment>
The front-rear direction (or vertical direction) indicated by the arrows in FIG. 1A is an example of a first direction, and the left-right direction (or horizontal direction) indicated by the arrows in FIG. 1A is an example of a second direction orthogonal to the first direction. Yes, the up-down direction indicated by the arrows in FIG. 1A is an example (or thickness direction) of a third direction orthogonal to the first direction and the second direction. For the drawings other than FIG. 1A, the direction of FIG. 1A is used as a reference unless otherwise specified.
図1〜図8に示すように、本発明の第1実施形態である封止シート1の製造方法は、封止層形成工程(図1参照)、切断工程としての第1切断工程(図2参照)、配置工程(図3および図4参照)、第2切断工程(図5参照)、除去工程(図6参照)、第3切断工程(図7参照)、および、回収工程(図8参照)を備える。
As shown in FIGS. 1-8, the manufacturing method of the sealing
[封止層形成工程]
封止層形成工程では、図1Aおよび図1Bが参照されるように、まず、積層基材シート2を用意する。[Sealing layer forming step]
In the sealing layer forming step, as shown in FIGS. 1A and 1B, first, a
積層基材シート2は、前後方向(縦方向)および左右方向(横方向)に延びる略矩形の平板形状に形成されている。積層基材シート2は、第1基材シート3と、第1基材シート3の下面に積層される接着剤層4と、接着剤層4の下面に積層される離型シート5とを備える。
The
第1基材シート3は、積層基材シート2の平面視における外形形状をなし、具体的には、前後方向および左右方向に連続する略矩形の平板形状に形成されている。第1基材シート3は、次に説明する封止層6を支持できる材料から形成されており、そのような材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレートのポリエステル、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィンなどの樹脂材料などが挙げられる。また、材料として、例えば、セラミクスシート、例えば、金属箔なども挙げられる。第1基材シート3の厚みは、例えば、0.03mm以上、好ましくは、0.05mm以上であり、また、例えば、2mm以下、好ましくは、1mm以下である。また、第1基材シート3の寸法は、次に説明する封止層6の寸法によって適宜調節され、具体的には、1辺の長さが、例えば、10mm以上、好ましくは、20mm以上であり、また、例えば、300mm以下、好ましくは、250mm以下である。
The
接着剤層4は、第1基材シート3の下面全面に設けられている。接着剤層4は、例えば、アクリル系感圧接着剤、ウレタン系感圧接着性などの接着剤などから形成されている。接着剤層4の厚みは、例えば、0.1mm以上、好ましくは、0.2mm以上であり、また、1mm以下、好ましくは、0.5mm以下である。
The
離型シート5は、接着剤層4の下面が汚染されることを防止するために、接着剤層4の下面全面に設けられている。離型シート5としては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリエステルフィルム(PETなど)などのポリマーフィルム、例えば、セラミクスシート、例えば、金属箔などが挙げられる。好ましくは、ポリマーフィルムが挙げられる。また、離型シート5の表面には、フッ素処理などの剥離処理を施すこともできる。離型シート5の厚みは、例えば、0.3mm以上、好ましくは、0.5mm以上であり、また、例えば、2mm以下、好ましくは、1mm以下である。
The
積層基材シート2を作製するには、例えば、まず、第1基材シート3を用意し、続いて、接着剤層4を第1基材シート3の下面に積層し、その後、離型シート5を接着剤層4の下面に積層する。なお、積層基材シート2は、市販のものを用いることもできる。
In order to produce the
積層基材シート2の厚みは、例えば、0.6mm以上、好ましくは、1mm以上であり、また、例えば、5mm以下、好ましくは、3mm以下である。
The thickness of the
積層基材シート2を用意した後、図1Aおよび図1Bに示すように、封止層6を積層基材シート2の上面に設ける。
After preparing the
封止層6を積層基材シート2の上面に設けるには、例えば、まず、封止組成物を用意する。
In order to provide the
封止組成物は、粒子を必須成分として含有し、具体的には、粒子および樹脂を含有する。 The sealing composition contains particles as essential components, and specifically contains particles and a resin.
粒子としては、例えば、蛍光体、充填剤などが挙げられる。 Examples of the particles include phosphors and fillers.
蛍光体は、波長変換機能を有しており、例えば、青色光を黄色光に変換することのできる黄色蛍光体、青色光を赤色光に変換することのできる赤色蛍光体などが挙げられる。 The phosphor has a wavelength conversion function, and examples thereof include a yellow phosphor capable of converting blue light into yellow light, and a red phosphor capable of converting blue light into red light.
黄色蛍光体としては、例えば、(Ba,Sr,Ca)2SiO4;Eu、(Sr,Ba)2SiO4:Eu(バリウムオルソシリケート(BOS))などのシリケート蛍光体、例えば、Y3Al5O12:Ce(YAG(イットリウム・アルミニウム・ガーネット):Ce)、Tb3Al3O12:Ce(TAG(テルビウム・アルミニウム・ガーネット):Ce)などのガーネット型結晶構造を有するガーネット型蛍光体、例えば、Ca−α−SiAlONなどの酸窒化物蛍光体などが挙げられる。赤色蛍光体としては、例えば、CaAlSiN3:Eu、CaSiN2:Euなどの窒化物蛍光体などが挙げられる。蛍光体の形状としては、例えば、球状、板状、針状などが挙げられる。好ましくは、流動性の観点から、球状が挙げられる。蛍光体の最大長さの平均値(球状である場合には、平均粒子径)は、例えば、0.1μm以上、好ましくは、1μm以上であり、また、例えば、200μm以下、好ましくは、100μm以下である。蛍光体は、単独使用または併用することができる。蛍光体の配合割合は、樹脂100質量部に対して、例えば、0.1質量部以上、好ましくは、0.5質量部以上であり、例えば、80質量部以下、好ましくは、50質量部以下である。Examples of the yellow phosphor include silicate phosphors such as (Ba, Sr, Ca) 2 SiO 4 ; Eu, (Sr, Ba) 2 SiO 4 : Eu (barium orthosilicate (BOS)), for example, Y 3 Al Garnet-type phosphors having a garnet-type crystal structure such as 5 O 12 : Ce (YAG (yttrium, aluminum, garnet): Ce), Tb 3 Al 3 O 12 : Ce (TAG (terbium, aluminum, garnet): Ce) Examples thereof include oxynitride phosphors such as Ca-α-SiAlON. Examples of the red phosphor include nitride phosphors such as CaAlSiN 3 : Eu and CaSiN 2 : Eu. Examples of the shape of the phosphor include a spherical shape, a plate shape, and a needle shape. Preferably, spherical shape is mentioned from a fluid viewpoint. The average value of the maximum length of the phosphor (in the case of a sphere, the average particle diameter) is, for example, 0.1 μm or more, preferably 1 μm or more, and for example, 200 μm or less, preferably 100 μm or less. It is. The phosphors can be used alone or in combination. The blending ratio of the phosphor is, for example, 0.1 parts by mass or more, preferably 0.5 parts by mass or more, for example, 80 parts by mass or less, preferably 50 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the resin. It is.
充填剤としては、例えば、シリコーン粒子などの有機微粒子、例えば、シリカ、タルク、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化ケイ素などの無機微粒子が挙げられる。また、充填剤の最大長さの平均値(球状である場合には、平均粒子径)は、例えば、0.1μm以上、好ましくは、1μm以上であり、また、例えば、200μm以下、好ましくは、100μm以下である。充填剤は、単独使用または併用することができる。充填剤の配合割合は、樹脂100質量部に対して、例えば、0.1質量部以上、好ましくは、0.5質量部以上であり、また、例えば、70質量部以下、好ましくは、50質量部以下である。 Examples of the filler include organic fine particles such as silicone particles, and inorganic fine particles such as silica, talc, alumina, aluminum nitride, and silicon nitride. Further, the average value of the maximum length of the filler (in the case of a spherical shape, the average particle diameter) is, for example, 0.1 μm or more, preferably 1 μm or more, and, for example, 200 μm or less, preferably 100 μm or less. The filler can be used alone or in combination. The blending ratio of the filler is, for example, 0.1 parts by mass or more, preferably 0.5 parts by mass or more, and, for example, 70 parts by mass or less, preferably 50 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the resin. Or less.
粒子の配合割合は、樹脂100質量部に対して、例えば、0.1質量部以上、好ましくは、0.5質量部以上であり、また、例えば、80質量部以下、好ましくは、60質量部以下である。 The mixing ratio of the particles is, for example, 0.1 parts by mass or more, preferably 0.5 parts by mass or more, and, for example, 80 parts by mass or less, preferably 60 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the resin. It is as follows.
樹脂としては、例えば、加熱により可塑化する熱可塑性樹脂、例えば、加熱により硬化する熱硬化性樹脂、例えば、活性エネルギー線(例えば、紫外線、電子線など)の照射により硬化する活性エネルギー線硬化性樹脂などが挙げられる。熱可塑性樹脂としては、例えば、酢酸ビニル樹脂、エチレン・酢酸ビニル共重合体(EVA)、塩化ビニル樹脂、EVA・塩化ビニル樹脂共重合体などが挙げられる。熱硬化性樹脂としては、例えば、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂などが挙げられる。樹脂としては、好ましくは、熱硬化性樹脂および活性エネルギー線硬化性樹脂などの硬化性樹脂が挙げられる。 Examples of the resin include a thermoplastic resin that is plasticized by heating, for example, a thermosetting resin that is cured by heating, for example, an active energy ray curable that is cured by irradiation with active energy rays (for example, ultraviolet rays, electron beams, etc.). Resin etc. are mentioned. Examples of the thermoplastic resin include vinyl acetate resin, ethylene / vinyl acetate copolymer (EVA), vinyl chloride resin, EVA / vinyl chloride resin copolymer, and the like. Examples of the thermosetting resin include silicone resin, epoxy resin, polyimide resin, phenol resin, urea resin, melamine resin, and unsaturated polyester resin. The resin preferably includes a curable resin such as a thermosetting resin and an active energy ray curable resin.
硬化性樹脂として、例えば、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂などが挙げられる。また、硬化性樹脂としては、例えば、2段階硬化性樹脂、1段階硬化性樹脂などが挙げられ、好ましくは、2段階硬化性樹脂が挙げられる。 Examples of the curable resin include silicone resin, epoxy resin, polyimide resin, phenol resin, urea resin, melamine resin, and unsaturated polyester resin. Examples of the curable resin include a two-stage curable resin and a one-stage curable resin, and a two-stage curable resin is preferable.
2段階硬化性樹脂は、2段階の反応機構を有しており、1段階目の反応でBステージ化(半硬化)し、2段階目の反応でCステージ化(最終硬化)する。一方、1段階硬化性樹脂は、1段階の反応機構を有しており、1段階目の反応で完全硬化する。また、Bステージは、硬化性樹脂が、液状であるAステージと、完全硬化したCステージとの間の状態であって、硬化およびゲル化がわずかに進行し、圧縮弾性率がCステージの弾性率よりも小さい状態である。 The two-stage curable resin has a two-stage reaction mechanism, and is B-staged (semi-cured) by the first-stage reaction and C-staged (final-cured) by the second-stage reaction. On the other hand, the one-step curable resin has a one-step reaction mechanism and is completely cured by the first-step reaction. The B stage is a state between the A stage in which the curable resin is in a liquid state and the fully cured C stage, and the curing and gelation are slightly advanced, and the compression elastic modulus is the elasticity of the C stage. It is a state smaller than the rate.
封止組成物を調製するには、粒子および樹脂を配合する。なお、樹脂が硬化性樹脂である場合には、配合時の樹脂は、Aステージである。 To prepare the sealing composition, particles and a resin are blended. In addition, when resin is curable resin, the resin at the time of a mixing | blending is A stage.
続いて、この方法では、調製した封止組成物を、積層基材シート2の上に塗布する。具体的には、封止組成物を、第1基材シート3の上面に、例えば、キャスティング、スピンコーティング、ロールコーティングなどの方法により適当な厚さで、上記したパターンで塗布して、皮膜7を形成する。具体的には、皮膜7を、平面視において、第1基材シート3より小さいパターンに形成し、詳しくは、第1基材シート3の上面の周端部を露出する略矩形状のパターンに皮膜7を形成する。換言すれば、皮膜7は、少なくとも前後方向に連続するパターンに形成される。
Subsequently, in this method, the prepared sealing composition is applied onto the
その後、必要により、樹脂が硬化性樹脂である場合には、皮膜7を、加熱および/または活性エネルギー線照射する。より具体的には、樹脂が2段階硬化性樹脂を含有する場合には、加熱および/または活性エネルギー線照射によって、封止層6をBステージ化(半硬化)させる。
Thereafter, if necessary, when the resin is a curable resin, the
これにより、シート状の封止層6を第1基材シート3の上面に上記したパターンに形成する。
Thereby, the sheet-
あるいは、封止組成物を、図示しない離型シートに塗布して皮膜7を形成し、その後、皮膜7に、必要により、加熱および/または活性エネルギー線照射して、封止層6を形成した後、封止層6を、第1基材シート3の上面に転写することもできる。
Alternatively, the sealing composition is applied to a release sheet (not shown) to form the
封止層6の寸法は、その用途および目的によって適宜調節され、具体的には、1辺の長さが、例えば、5mm以上、好ましくは、10mm以上であり、また、例えば、300mm以下、好ましくは、250mm以下である。
The dimension of the
これによって、積層基材シート2および封止層6を備える第1積層シート8を形成する。
Thereby, the
[第1切断工程]
この方法では、図2に示す第1切断工程を、図1に示す封止層形成工程の後に実施する。第1切断工程では、第1積層シート8が前後方向(第1方向の一例)において複数(具体的には、5つに)分割されるように、第1積層シート8を切断する。[First cutting step]
In this method, the first cutting step shown in FIG. 2 is performed after the sealing layer forming step shown in FIG. In the first cutting step, the first
例えば、第1積層シート8が、封止層6の外側の外側部分13と、封止層6を含み、外側部分13に囲まれる内側部分12とに仕切られ、かつ、内側部分12における封止層6が前後方向において複数(具体的には、5つに)分割されるように、第1積層シート8を切断する。第1積層シート8の切断によって、複数の左右方向に沿う第1横切断ライン9と、複数の切断ライン9の左右方向両端部のそれぞれに連続する第1縦切断ライン10とからなる第1切断ライン17が形成される。
For example, the first
複数の第1横切断ライン9は、前後方向に互いに間隔を隔てて並列配置されている。複数の第1横切断ライン9のうち、最前側に位置する第1横切断ライン9Aは、平面視において、封止層6の前端縁と重なるように、形成されている。また、複数の第1横切断ライン9のうち、最後側に位置する第1横切断ライン9Bは、平面視において、封止層6の後端縁と重なるように、形成されている。
The plurality of first
第1縦切断ライン10は、前後方向に沿うように形成されており、左右方向に互いに間隔を隔てて対向するように1対形成されている。第1縦切断ライン10は、封止層6の左右方向両外側に間隔を隔てて形成されている。
The first
第1切断ライン17において外側に位置する切断ライン、具体的には、最前側および最後側に位置する第1横切断ライン9Aおよび9Bと、1対の第1縦切断ライン10とにより、平面視略矩形状を形成し、第1積層シート8を外側部分13と内側部分12とに仕切っている。
The
第1積層シート8を切断するには、例えば、円盤状のダイシングソー(ダイシングブレード)を用いるダイシング装置、カッターを用いるカッティング装置、レーザー照射装置、トムソン刃を用いるトムソン刃切断機などが用いられる。
In order to cut the first
切断工程によって、封止層6、および、封止層6に対応する積層基材シート2(具体的には、複数の封止層6のそれぞれが積層される複数の積層基材シート2)を備える封止部材11が複数形成される。詳しくは、封止部材11は、内側部分12が前後方向において複数分割されることによって、前後方向に並んで複数形成されている。複数の封止部材11のそれぞれは、左右方向に延びる平面視略矩形の短冊状に形成されている。
By the cutting step, the
封止部材11において、その左右方向両端部は、第1基材シート3、接着剤層4および離型シート5からなり、また、第1基材シート3の左右方向両端部は、封止層6から露出している。つまり、封止部材11において、封止層6は、第1基材シート3の左右方向途中に形成されている。
In the sealing
各封止部材11の前後方向長さは、例えば、5mm以上、好ましくは、8mm以上であり、また、例えば、100mm以下、好ましくは、50mm以下である。
The length in the front-rear direction of each sealing
[配置工程]
次いで、この方法では、図3および図4に示す配置工程を、図2に示す第1切断工程の後に実施する。配置工程は、図3に示す剥離工程、および、図4に示す載置工程を備える。[Arrangement process]
Next, in this method, the arrangement step shown in FIGS. 3 and 4 is performed after the first cutting step shown in FIG. The arranging step includes a peeling step shown in FIG. 3 and a placing step shown in FIG.
〔剥離工程〕
剥離工程では、図3Aおよび図3Bに示すように、まず、各封止部材11を外側部分13から順次引き上げる。具体的には、例えば、各封止部材11を手で剥離することによって、各封止部材11を引き上げる。[Peeling process]
In the peeling step, as shown in FIGS. 3A and 3B, first, the
〔載置工程〕
図3Aおよび図3Bに示す剥離工程に続いて、載置工程では、図4Aおよび図4Bに示すように、複数の封止部材11を第2基材シート14の上に配置する。[Installation process]
Subsequent to the peeling step shown in FIGS. 3A and 3B, in the placing step, a plurality of sealing
具体的には、複数の封止部材11を、前後方向に互いに間隔を隔てるように、第2基材シート14の上面に配置する。詳しくは、まず、図3Aおよび図3Bの仮想線で示すように、封止部材11の離型シート5を接着剤層4から剥離し、続いて、図4Aおよび図4Bに示す接着剤層4を第2基材シート14の上面に載置して、第1基材シート3と第2基材シート14とを接着剤層4を介して接着する。
Specifically, the plurality of sealing
第2基材シート14は、前後方向および左右方向に延びる略矩形の平板形状に形成されている。第2基材シート14は、第1基材シート3と同様の材料から形成されている。また、第2基材シート14は、封止層6(図1A参照)より大きく形成されており、具体的には、第2基材シート14は、少なくとも、その前後方向長さが、切断前の封止層6(図1A参照)の前後方向長さより長く形成されている。また、第2基材シート14の左右方向長さは、封止部材11の左右方向長さよりが長く形成されている。第2基材シート14の寸法は、その用途および目的によって適宜調節され、具体的には、前後方向長さが、例えば、20mm以上、好ましくは、40mm以上であり、また、例えば、300mm以下、好ましくは、200mm以下である。また、左右方向長さが、例えば、20mm以上、好ましくは、50mm以上であり、また、例えば、300mm以下、好ましくは、200mm以下である。
The 2nd
また、配置される封止部材11の前後方向の間隔L1は、次に説明する光半導体素子15のピッチなどによって適宜設定され、具体的には、例えば、1mm以上、好ましくは、3mm以上であり、また、例えば、20mm以下、好ましくは、10mm以下である。また、封止部材11間のピッチL2、すなわち、上記した間隔L1および封止部材11の前後方向長さの総長さL2が、例えば、5mm以上、好ましくは、10mm以上であり、また、例えば、100mm以下、好ましくは、50mm以下である。
The interval L1 in the front-rear direction of the sealing
これによって、複数の封止部材11と、第2基材シート14とを備える第2積層シート28が構成される。
Thereby, the
[第2切断工程]
この方法では、図5に示す第2切断工程を、図4に示す配置工程の後に、実施する。第2切断工程では、図5Aおよび図5Bに示すように、後述する光半導体素子15(図9A参照)に対応する封止領域16を仕切るように、封止層6を切断する。[Second cutting step]
In this method, the second cutting step shown in FIG. 5 is performed after the arranging step shown in FIG. In the second cutting step, as shown in FIGS. 5A and 5B, the
具体的には、各封止領域16が平面視略円形状をなすように、封止層6を切断する。
Specifically, the
封止層6を切断するには、例えば、円盤状のダイシングソー(ダイシングブレード)を用いるダイシング装置、カッターを用いるカッティング装置、レーザー照射装置、トムソン刃を用いるトムソン刃切断機などが用いられる。
In order to cut the
なお、図5Bに示すように、積層基材シート2が厚み方向にわたって切断されないように、具体的には、第1基材シート3が厚み方向にわたって切断されないように、封止層6を切断する。詳しくは、第2切断工程において厚み方向に形成される切断線が、第1基材シート3に全く形成されない一方、封止層6に形成される。
In addition, as shown to FIG. 5B, specifically, the
[除去工程]
この方法では、図6に示す除去工程を、図5に示す第2切断工程の後に、実施する。除去工程では、図6Aおよび図6Bに示すように、封止領域16の外側の封止層6を除去する。[Removal process]
In this method, the removing step shown in FIG. 6 is performed after the second cutting step shown in FIG. In the removal step, the
封止領域16の外側の封止層6を除去するには、例えば、封止領域16の外側の封止層6を、第1基材シート3から剥離する。封止領域16の外側の封止層6を剥離するには、公知の剥離装置が用いられる。具体的には、吸着装置などが用いられる。
In order to remove the
これによって、円形状の封止層6は、光半導体素子15の封止に実質的に寄与する封止領域16を構成する。
Thus, the
封止領域16の直径は、例えば、例えば、5mm以上、好ましくは、8mm以上であり、また、例えば、50mm以下、好ましくは、30mm以下である。
The diameter of the sealing area |
[第3切断工程]
この方法では、図7に示す第3切断工程を、図6Aおよび図6Bに示す除去工程の後に、実施する。第3切断工程では、図7A〜図7Cに示すように、封止部材11を、封止部材11が左右方向において複数(具体的には、5つに)分割されるように、第2積層シート28を切断する。また、封止部材11の分割と同時に、第2基材シート14の前後方向両端部に、貫通孔24を形成する。[Third cutting step]
In this method, the third cutting step shown in FIG. 7 is performed after the removing step shown in FIGS. 6A and 6B. In the third cutting step, as shown in FIGS. 7A to 7C, the second lamination is performed so that the sealing
第2積層シート28の切断によって、複数の前後方向に沿う第2縦切断ライン19と、複数の第2縦切断ライン19の前後方向両端部のそれぞれに連続する第2横切断ライン20とからなる第2切断ライン18が形成される。
By the cutting of the second
複数の第2縦切断ライン19は、左右方向に互いに間隔を隔てて並列して形成されている。第2縦切断ライン19は、第1基材シート3、接着剤層4および第2基材シート14を左右方向に分断するように、かつ、複数の封止層6を個片化するように、形成される。第2横切断ライン19によって、封止層6は、前後方向に複数列(具体的には、4列)に配列される。なお、左右方向両外側の第2縦切断ライン19Cは、封止層6に対応する第1基材シート3、接着剤層4および第2基材シート14(すなわち、左右方向内側部分)と、封止層6に対応しない第1基材シート3および接着剤層4(すなわち、左右方向外側部分)とを仕切るように、形成されている。
The plurality of second
第2横切断ライン20は、左右方向に沿うように形成されており、前後方向に互いに間隔を隔てて1対形成されている。1対の第2横切断ライン20は、最前側の封止部材11より前側、および、最後側の封止部材11より後側に、間隔を隔てて形成されている。
The second
なお、第2切断ライン18において外側に位置する切断ライン、具体的には、左右方向両外側の1対の第2縦切断ライン19Cと、1対の第2縦切断ライン20とにより、平面視略矩形状を形成し、かつ、複数の封止層6を含むように、形成されている。
The
貫通孔24は、第1基材シート3および接着剤層4の前後方向両外側の第2基材シート14を厚み方向を貫通することによって形成される。貫通孔24は、第2縦切断ライン20によって複数列に仕切られる第2基材シート14の各1列に対して、1対設けられており、各貫通孔24は、平面視略円形状に形成されている。
The through
[回収工程]
この方法では、図8に示す回収工程を、図7に示す第3切断工程の後に、実施する。回収工程では、図8A〜図8Dに示すように、第2切断ライン18により仕切られた、封止部材11を含む第2積層シート28(図7参照)を、回収する。[Recovery process]
In this method, the collection step shown in FIG. 8 is performed after the third cutting step shown in FIG. In the collecting step, as shown in FIGS. 8A to 8D, the second laminated sheet 28 (see FIG. 7) including the sealing
この回収によって、前後方向に連続するように形成される第2基材シート14と、第2基材シート14の上面(表面)に、前後方向に互いに間隔を隔てて配置される複数の封止部材11とを備える封止シート1を得る。また、封止シート1において、複数の封止部材11は、第2基材シート14の上面に、前後方向に間隔を隔てて積層される複数の接着剤層4と、複数の接着剤層4のそれぞれに上面にそれぞれ接着される複数の第1基材シート3と、複数の第1基材シート3のそれぞれの上面にそれぞれ積層される複数の封止層6とを備える。また、複数の封止層6のそれぞれは、封止領域16を区画している。
By this collection, the
その後、封止シート1の貫通孔24に、搬送容器に設けられたピンなどの固定部材(図示せず)を挿入することによって、封止シート1が搬送容器に固定されながら、例えば、光半導体装置製造工場などに搬送される。
Thereafter, a fixing member (not shown) such as a pin provided in the transport container is inserted into the through
次に、図9A〜図9Cを参照して、封止シート1によって、光半導体素子15を封止する方法を説明する。
Next, with reference to FIG. 9A-FIG. 9C, the method to seal the
この方法では、図9Aに示すように、まず、封止対象としての光半導体素子15が実装された基板21を用意する。
In this method, as shown in FIG. 9A, first, a
基板21は、少なくとも前後方向に延びる略矩形の平板状に形成されている。基板21は、例えば、シリコン基板、セラミック基板、ポリイミド樹脂基板、金属基板に絶縁層が積層された積層基板などの絶縁基板からなる。
The
また、基板21の上面には、光半導体素子15の端子(図示せず)と電気的に接続するための電極(図示せず)と、それに連続する配線とを備える導体パターン(図示せず)が形成されている。導体パターンは、例えば、金、銅、銀、ニッケルなどの導体から形成されている。
Further, a conductor pattern (not shown) provided on the upper surface of the
基板21の平面視における寸法は適宜選択され、具体的には、前後方向の長さが、例えば、5mm以上、好ましくは、10mm以上であり、また、例えば、200mm以下、好ましくは、150mm以下である。基板21の厚みは、例えば、100μm以上、好ましくは、500μm以上であり、また、例えば、5000μm以下、好ましくは、3000μm以下である。
The dimension in plan view of the
光半導体素子15は、電気エネルギーを光エネルギーに変換する光半導体素子であり、例えば、厚みが面方向長さ(厚み方向に対する直交方向長さ、具体的には、前後方向長さおよび左右方向長さ)より短い断面視略矩形状に形成されている。また、光半導体素子15は、平面視略矩形状に形成されている。
The
光半導体素子15としては、例えば、青色光を発光する青色LEDなどのLED(発光ダイオード素子)や、LD(レーザーダイオード)などが挙げられる。光半導体素子15の寸法は、用途および目的に応じて適宜設定され、具体的には、厚みが、例えば、10〜1000μm、平面視における前後方向の長さおよび/または左右方向の長さが、例えば、0.01mm以上、好ましくは、0.1mm以上であり、また、例えば、15mm以下、好ましくは、20mm以下である。
Examples of the
光半導体素子15は、前後方向に間隔を隔てて整列配置されている。各光半導体素子15間の間隔(前後方向の間隔)L3は、例えば、3mm以上、好ましくは、5mm以上であり、また、例えば、150mm以下、好ましくは、70mm以下である。また、光半導体素子15間のピッチL4、すなわち、上記した間隔L3および光半導体素子15の長さの総長さL4は、上記した封止部材11間のピッチL2と同一であって、具体的には、例えば、5mm以上、好ましくは、10mm以上であり、また、例えば、100mm以下、好ましくは、50mm以下である。
The
光半導体素子15は、基板21に対して、例えば、フリップチップ実装されている。あるいは、光半導体素子15は、基板21の電極(図示せず)とワイヤボンディング接続されている。
The
続いて、この方法では、封止シート1を、各封止層6が、厚み方向において光半導体素子15と対向するように、配置する。
Subsequently, in this method, the sealing
この方法では、次いで、図9Bに示すように、封止シート1によって、光半導体素子15を封止する。具体的には、封止シート1を、基板21に対して相対的に押し下げる。これによって、複数の封止層6のそれぞれが複数の光半導体素子15のそれぞれを被覆して封止する。つまり、複数の封止層6のそれぞれが複数の光半導体素子15のそれぞれを埋設する。その後、封止層6が硬化性樹脂を含有する場合には、封止層6をCステージ化(完全硬化)させる。
In this method, the
その後、この方法では、図9Cに示すように、第2基材シート14、接着剤層4および第1基材シート3を、封止層6から引き剥がす。
Thereafter, in this method, as shown in FIG. 9C, the
これによって、基板21、複数の光半導体素子15および複数の封止層6を備える光半導体装置22を得る。
As a result, an
光半導体装置22において、複数の封止層6は、前後方向に間隔を隔てて設けられており、封止領域16をなす。複数の封止層6のそれぞれは、複数の光半導体素子15のそれぞれを封止している。具体的には、封止領域16は、光半導体素子15の上面および側面を被覆している。
In the
その後、必要によって、図9Cの破線で示すように、各光半導体素子15に対応する基板21を切断して個片化する。これによって、基板21、単数の光半導体素子15および単数の封止層6を備える光半導体装置22を得る。
Thereafter, as necessary, as indicated by broken lines in FIG. 9C, the
そして、この封止シート1の製造方法では、封止層6が前後方向において複数分割されるように封止層6を切断して、複数の封止部材11を形成し、その後、複数の封止部材11を、前後方向に互いに間隔を隔てるように配置する(図4A参照)。そのため、切断後の複数の封止部材11を、簡便な方法によって、前後方向に互いに間隔を隔てるように配置するので、前後方向に連続するように形成される封止層6(図1A参照)を、有効に利用することができる。そのため、封止層6の歩留まりを向上させて、封止シートの製造コストを低減することができる。
And in this manufacturing method of the sealing
また、この方法によれば、図1に示す封止層形成工程では、封止層6および第1基材シート3を備える第1積層シート8を形成するので、封止層6を第1基材シート3によって支持することができ、続いて、図2に示す第1切断工程において、第1積層シート8を切断するので、封止層6の取扱性を向上させて、第1切断工程における封止層6の切断の精度を向上させることができる。
Moreover, according to this method, since the
この封止シート1の製造方法では、図4に示すように、複数の封止部材11を第2基材シート14の上面に配置するので、複数の封止部材11の配置の精度を向上させることができる。そのため、複数の封止部材11によって、複数の光半導体素子15を精度よく封止することができる。
In the manufacturing method of this
この封止シート1の製造方法では、蛍光体を含有する粒子の歩留まりを向上させることができる。
In the manufacturing method of this
この封止シート1では、封止層6を、前後方向に連続するように形成される第2基材シート14によって、前後方向に互いに間隔を隔てて配置される第1基材シート3を介して、支持することができる。そのため、封止シート1の製造コストを低減しながら、第1基材シート3および第2基材シート14によって、封止層6を柔軟に支持することができる。
In this
<第1実施形態の変形例>
図10および図11に示すように、封止シート1に位置決めマーク23を設けることもできる。<Modification of First Embodiment>
As shown in FIGS. 10 and 11, a
位置決めマーク23は、図7に示される第3切断工程において、第2切断ライン18の形成と同時に、形成される。
The
位置決めマーク23は、図10および図11に示すように、封止層6の外側に形成される。また、位置決めマーク23は、各封止層6に対して、1対設けられている。1対の位置決めマーク23は、各封止層6を挟むように設けられており、一方の位置決めマーク23は、封止層6に対して、後側かつ右側に設けられ、また、他方の位置決めマーク23は、封止層6に対して、前側かつ左側に設けられている。
The
各位置決めマーク23は、封止シート1を厚み方向に貫通する平面視略円形状の貫通孔として形成されている。
Each
図10に示す変形例では、位置決めマーク23は、第1基材シート3および接着剤層4の外側、具体的には、前後方向両外側に形成されており、第2基材シート14を貫通するように形成されている。なお、複数の封止層6の間に設けられる位置決めマーク23は、左右方向に対向して形成されている。
In the modification shown in FIG. 10, the
一方、図11に示す変形例では、位置決めマーク23は、封止層6の外側であって、第1基材シート3の周縁の内側において、第1基材シート3、接着剤層4および第2基材シート14を貫通するように形成されている。詳しくは、1対の位置決めマーク23は、略矩形状の第1基材シート3の対角線上に形成されている。
On the other hand, in the modification shown in FIG. 11, the
なお、図10および図11において、最前側に設けられる位置決めマーク23は、前側の貫通孔24の左方斜め後側に間隔を隔てて形成される。一方、最後側に設けられる位置決めマーク23は、後側の貫通孔24の右方斜め前側に間隔を隔てて形成される。
10 and 11, the
図8Cに示すように、各封止層6の封止領域16を略円形状に形成しているが、その形状は、特に限定されず、例えば、図12に示すように、前後方向に長い略楕円形状、例えば、図13に示すように、略6角形状、例えば、図14に示すように、略矩形状に形成することもできる。
As shown in FIG. 8C, the sealing
また、図5に示す第2切断工程を、図2に示す第1切断工程の後または第1切断工程と同時に実施することもできる。 Moreover, the 2nd cutting process shown in FIG. 5 can also be implemented after the 1st cutting process shown in FIG. 2, or simultaneously with a 1st cutting process.
好ましくは、後述する光半導体素子15に対する封止層6の位置決め精度の観点から、図4に示す配置工程の後に、図5に示す第2切断工程を実施する。
Preferably, from the viewpoint of positioning accuracy of the
また、図5に示す第1切断工程を実施することなく、例えば、ドライエッチングなどのエッチングによって、図4に示す載置工程の後に、図6の除去工程を実施して、封止層6の封止領域16を形成することもできる。
Moreover, without performing the 1st cutting process shown in FIG. 5, the removal process of FIG. 6 is implemented after the mounting process shown in FIG. The sealing
さらに、図1Aに示すように、積層基材シート2に接着剤層4を設けているが、接着剤層4を設けることなく、積層基材シート2を第1基材シート3および離型シート5から構成することもできる。その場合には、好ましくは、第1基材シート3は、好ましくは、接着性を有しており、その下面に、離型シート5が積層されている。
Furthermore, as shown to FIG. 1A, although the
さらにまた、図1で示す封止層形成工程では、封止層6を積層基材シート2の上に形成して、続いて、図2で示す第1切断工程において、封止層6を積層基材シート2とともに切断しているが、例えば、図示しないが、積層基材シート2を切断せず、封止層6のみを切断し、続いて、載置工程において、図4が参照されるように、接着剤層4のみを第2基材シート14に載置することもできる。さらに、封止層6を積層基材シート2の上に形成することなく、単独でシート状に形成することもでき、かかる封止層6を切断して、その後、切断した封止層6を第2基材シート14に載置することもできる。
Furthermore, in the sealing layer forming step shown in FIG. 1, the
また、第1切断工程において、積層基材シート2を切断せず、封止層6のみを切断する場合において、載置工程において、切断した封止層6のみを、積層基材シート2から一旦剥離し、再度、積層基材シート2の上面に、前後方向において間隔を隔てるように載置(再配置)することもできる。
Moreover, in the 1st cutting process, when not cut | disconnecting the lamination | stacking
第1実施形態では、図1Aおよび図1Bの封止層形成工程において、接着剤層4を第1基材シート3および離型シート5の間に設け、また、図8Aおよび図8Bの回収工程で回収される封止部材11において、接着剤層4を、第2基材シート14と第1基材シート3との間に設けている。しかしながら、図1Aおよび図1Bでは図示しないが、封止層形成工程において、接着剤層4を設けず、第1基材シート3および離型シート5から積層基材シート2を構成し、また、図8Aおよび図8Bでは図示しないが、回収工程で回収される第2基材シート14、第1基材シート3および封止層6から封止部材11を構成することもできる。つまり、封止部材11において、第1基材シート3を第2基材シート14の上面に直接積層することもできる。
In the first embodiment, in the sealing layer forming step of FIGS. 1A and 1B, the
また、図5の第2切断工程と、図7の第3切断工程とを、同時に実施することもできる。この方法では、第2切断工程と第3切断工程とにおいて、封止領域16を仕切るように、封止層6を切断するとともに、封止部材11が複数に分割されるように第2積層シート28を切断する。
Moreover, the 2nd cutting process of FIG. 5 and the 3rd cutting process of FIG. 7 can also be implemented simultaneously. In this method, in the second cutting step and the third cutting step, the
第2切断工程および第3切断工程の後に、図6の除去工程を実施する。すなわち、この除去工程では、封止領域16の外側の封止層6を除去する。
After the second cutting step and the third cutting step, the removing step shown in FIG. 6 is performed. That is, in this removing step, the
この方法によれば、第2切断工程と第3切断工程とを同時に実施するので、封止シート1における封止層6の位置精度を向上させることができる。
According to this method, since the 2nd cutting process and the 3rd cutting process are carried out simultaneously, the position accuracy of the
<第2実施形態>
本発明の封止シートおよびその製造方法の第2実施形態を、図1〜図4、図15および図16を参照して説明する。Second Embodiment
2nd Embodiment of the sealing sheet of this invention and its manufacturing method is described with reference to FIGS. 1-4, FIG. 15, and FIG.
図15および図16において、第1実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。 In FIG. 15 and FIG. 16, members and processes similar to those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
第1実施形態では、図5に示す第2切断工程および図6に示す除去工程を実施しているが、第2切断工程および除去工程を実施せず、図4に示す配置工程の後に、図15に示す第3切断工程を実施することもできる。 In the first embodiment, the second cutting step shown in FIG. 5 and the removing step shown in FIG. 6 are carried out, but the second cutting step and the removing step are not carried out, and after the arrangement step shown in FIG. The 3rd cutting process shown in 15 can also be implemented.
つまり、本発明の第2実施形態である封止シート1の製造方法は、封止層形成工程(図1参照)、第1切断工程(図2参照)、配置工程(図3および図4参照)、第3切断工程(図15参照)、および、回収工程(図16参照)を備えており、これら各工程が順次実施される。
That is, the manufacturing method of the sealing
図16に示すように、回収工程後の封止層6は、平面視略矩形状をなし、前後方向に互いに間隔を隔てて対向配置されている。
As shown in FIG. 16, the
第2実施形態によれば、第1実施形態と同様の作用効果を奏することができ、さらに、第2切断工程(図5参照)および除去工程(図6参照)を実施しないので、製造工数を削減して、製造コストをより一層低減することができる。 According to the second embodiment, the same operational effects as those of the first embodiment can be obtained. Further, since the second cutting step (see FIG. 5) and the removing step (see FIG. 6) are not performed, the number of manufacturing steps can be reduced. The manufacturing cost can be further reduced.
<第3実施形態>
本発明の封止シートおよびその製造方法の第3実施形態を、図17〜図20を参照して説明する。<Third Embodiment>
3rd Embodiment of the sealing sheet of this invention and its manufacturing method is described with reference to FIGS.
図17〜図20において、第1実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。 17 to 20, the same members and steps as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
[第1切断工程]
第1切断工程では、図17に示すように、第1積層シート8が前後方向および左右方向において複数分割されるように、第1積層シート8を切断する。第1積層シート8の切断によって、第1切断ライン17は、平面視略碁盤目状に形成される。具体的には、第1縦切断ライン10は、左右方向に互いに間隔を隔てて並列配置されている。[First cutting step]
In the first cutting step, as shown in FIG. 17, the first
[配置工程]
〔剥離工程〕
配置工程における剥離工程では、図17の矢印で示すように、封止部材11を引き上げる。[Arrangement process]
[Peeling process]
In the peeling step in the placement step, the sealing
〔載置工程〕
続いて、載置工程では、図18の矢印で示すように、複数の封止部材11を、前後方向および左右方向に互いに間隔を隔てるように、第2基材シート14の上面に配置する。[Installation process]
Subsequently, in the placing step, as shown by arrows in FIG. 18, the plurality of sealing
[第2切断工程および除去工程]
図19に示すように、第2切断工程において、封止層6を切断し、続いて、図19の矢印で示すように、除去工程において、封止領域16の外側の封止層6を除去する。[Second cutting step and removal step]
As shown in FIG. 19, the
[第3切断工程]
図20に示すように、封止部材11を、封止部材11が左右方向において複数列(具体的には、4列に)分割されるように、第2基材シート14を切断する。[Third cutting step]
As shown in FIG. 20, the
具体的には、第2切断ライン18の第2縦切断ライン19が、左右方向に隣接する第1基材シート3および接着剤層4の間を通過するように、形成される。
Specifically, the second
これによって得られる封止シート1において、第1基材シート3および接着剤層4は、各第2基材シート14の左右方向中央(途中)に形成される。つまり、第2基材シート14の周端部の上面は、第1基材シート3から露出している。
In the
第3実施形態によっても、第1実施形態と同様の作用効果を奏することができ、さらに、図17に示すように、第1切断工程において、第1積層シート8が左右方向にも複数分割されるように、第1積層シート8を切断し、続いて、図18に示すように、複数の封止部材11を、左右方向にも互いに間隔を隔てるように、第2基材シート14に配置するので、封止層6の歩留まりをより一層向上させて、封止シート1の製造コストを低減することができる。
According to the third embodiment, the same operational effects as those of the first embodiment can be obtained. Further, as shown in FIG. 17, in the first cutting step, the first
<第4実施形態>
図21、図23、図24、図26および図27において、矢印で示す左右方向(あるいは横方向)は、第1方向の一例であり、図21〜図27の矢印で示す前後方向(あるいは縦方向)は、第2方向の一例である。<Fourth embodiment>
In FIG. 21, FIG. 23, FIG. 24, FIG. 26, and FIG. 27, the left-right direction (or lateral direction) indicated by an arrow is an example of the first direction, and the front-rear direction (or vertical direction indicated by the arrow in FIGS. (Direction) is an example of the second direction.
本発明の封止シートの製造方法の第4実施形態を、図21〜図23を参照して説明する。 4th Embodiment of the manufacturing method of the sealing sheet of this invention is described with reference to FIGS.
図21〜図23において、第1実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。 21 to 23, members and processes similar to those of the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
図21に示すように、本発明の第3実施形態である封止シート1の製造方法は、封止層形成工程(図21Aおよび図21B参照)、切断工程(図21C参照)を備える。
As shown in FIG. 21, the manufacturing method of the sealing
[封止層形成工程]
図21Aに示すように、まず、基材シート31を用意する。基材シート31は、前後方向および左右方向に延びる略矩形の平板形状に形成されており、第1実施形態の第1基材シート3と同様に構成されている。[Sealing layer forming process]
As shown in FIG. 21A, first, a
次いで、図21Bに示すように、封止層6を、基材シート31の上面に設ける。具体的には、複数の封止層6を、基材シート31の上面において、左右方向に互いに間隔を隔てて、前後方向に沿うように、設ける。図22Aが参照されるように、各封止層6の間隔L5は、封止対象としての光半導体素子15(図22A参照)のピッチなどによって適宜設定され、具体的には、例えば、1mm以上、好ましくは、3mm以上であり、また、例えば、20mm以下、好ましくは、10mm以下である。複数の封止層6間のピッチL6、すなわち、上記した間隔L5および封止層6の前後方向長さの総長さL6が、例えば、5mm以上、好ましくは、10mm以上であり、また、例えば、100mm以下、好ましくは、50mm以下である。
Next, as illustrated in FIG. 21B, the
封止層6を基材シート31の上面に設けるには、例えば、上記した封止組成物を基材シート31の塗布する方法、例えば、別途用意した剥離シート(図示せず)の上に、上記した封止組成物を左右方向に互いに間隔を隔てて一旦塗布して封止層6を形成した後、この封止層6を基材シート31に転写する方法が挙げられる。好ましくは、製造工程数の低減の観点から、封止組成物を基材シート31の塗布する。
In order to provide the
封止組成物を基材シート31の塗布する方法では、封止組成物を、基材シート31の上面において、基材シート31より小さいエリアに、左右方向に互いに間隔を隔て、前後方向に連続するパターンで塗布して、皮膜7を形成する。
In the method of applying the sealing composition to the
その後、必要により、樹脂が硬化性樹脂である場合には、皮膜7を、加熱および/または活性エネルギー線照射する。より具体的には、樹脂が2段階硬化性樹脂を含有する場合には、加熱および/または活性エネルギー線照射によって、封止層6をBステージ化(半硬化)させる。
Thereafter, if necessary, when the resin is a curable resin, the
これにより、シート状の封止層6を基材シート31の上面に左右方向に互いに間隔を隔て設ける。
Thereby, the sheet-
また、基材シート31および複数の封止層6から構成される積層シート32を得る。
Moreover, the
[切断工程]
切断工程では、図21Cに示すように、積層シート32が前後方向において複数分割されるように、積層シート32を切断する。[Cutting process]
In the cutting step, as shown in FIG. 21C, the
具体的には、複数の封止層6のそれぞれが、前後方向に複数分割されるように、封止層6を基材シート31とともに切断する。
Specifically, the
これによって、左右方向に延びる基材シート31と、基材シート31の上面において、左右方向に互いに間隔を隔てて配置される封止層6とを備える封止シート1を得る。
Thereby, the sealing
次に、図22A〜図22Cを参照して、封止シート1によって、光半導体素子15を封止する方法を説明する。
Next, with reference to FIG. 22A-FIG. 22C, the method to seal the
この方法では、図22Aに示すように、まず、光半導体素子15が実装された基板21を用意する。
In this method, as shown in FIG. 22A, first, a
続いて、この方法では、封止シート1を、各封止層6が、厚み方向において光半導体素子15と対向するように、配置する。
Subsequently, in this method, the sealing
この方法では、次いで、図22Bに示すように、封止シート1によって、光半導体素子15を封止する。具体的には、封止シート1を、基板21に対して相対的に押し下げる。これによって、複数の封止層6のそれぞれが複数の光半導体素子15のそれぞれを被覆して封止する。つまり、複数の封止層6のそれぞれが複数の光半導体素子15のそれぞれを埋設する。その後、封止層6が硬化性樹脂を含有する場合には、封止層6をCステージ化(完全硬化)させる。
In this method, the
その後、この方法では、図22Cに示すように、基材シート31を封止層6から引き剥がす。
Thereafter, in this method, the
これによって、基板21、複数の光半導体素子15および複数の封止層6を備える光半導体装置22を得る。
As a result, an
その後、必要によって、図22Cの破線で示すように、各光半導体素子15に対応する基板21を切断して個片化する。これによって、基板21、単数の光半導体素子15および単数の封止層6を備える光半導体装置22を得る。
Thereafter, as necessary, as indicated by broken lines in FIG. 22C, the
そして、この封止シート1の製造方法では、左右方向に互いに間隔を隔て、かつ、前後方向に沿い、粒子を含有する封止層6を形成するので、その後、封止層6を、左右方向に互いに間隔を隔てて配置される光半導体素子15に対して封止する。そのため、封止層6を有効に利用することができる。その結果、封止層6の歩留まりを向上させて、封止シート1の製造コストを低減することができる。
And in this manufacturing method of the sealing
また、この封止シート1の製造方法では、封止層形成工程では、封止組成物を前後方向に沿って塗布することによって、封止層6を形成するので、前後方向に沿う封止層6を効率よく形成することができる。
Moreover, in the manufacturing method of this
さらに、この方法では、封止組成物を前後方向に沿って塗布する封止層形成工程の後に、封止層6が前後方向において複数分割されるように封止層6を切断する切断工程を実施するので、前後方向における封止層6の歩留まりを向上させて、封止シート1の製造コストを低減することができる。
Further, in this method, after the sealing layer forming step of applying the sealing composition along the front-rear direction, a cutting step of cutting the
この封止シート1の製造方法では、粒子が、蛍光体を含有すれば、蛍光体を含有する粒子の歩留まりを向上させることができる。
In the manufacturing method of this
<第4実施形態の変形例>
図23Aに示すように、上記した切断工程(図21C参照)に先立ち、図21Bで示される封止層6を所定形状に切断することもできる。詳しくは、封止層6を、基材シート31を切断しないように、略円形状に切断する。具体的には、円盤状のダイシングソー(ダイシングブレード)を用いるダイシング装置、カッターを用いるカッティング装置、レーザー照射装置、トムソン刃を用いるトムソン刃切断機などが用いられる。<Modification of Fourth Embodiment>
As shown in FIG. 23A, prior to the above-described cutting step (see FIG. 21C), the
これによって、封止層6からなる略円形状の封止領域16が構成される。
Thereby, a substantially
続いて、図23Bに示すように、封止領域16の外側の封止層6を除去する。
Subsequently, as shown in FIG. 23B, the
これによって、基材シート31の上面に形成される封止領域16を備える封止シート1を得る。
Thereby, the sealing
その後、図23Cに示すように、切断工程を実施する。 Then, as shown to FIG. 23C, a cutting process is implemented.
<第5実施形態>
本発明の封止シートおよびその製造方法の第5実施形態を、図24〜図26を参照して説明する。<Fifth Embodiment>
5th Embodiment of the sealing sheet of this invention and its manufacturing method is described with reference to FIGS. 24-26.
図24〜図26において、第4実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。 24 to 26, members and processes similar to those of the fourth embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
第4実施形態では、図21Bに示すように、封止シート1において、基材シート31の上に、封止層6のみを設けているが、例えば、図24Cに示すように、蛍光体不含封止層33をさらに設けることもができる。
In 4th Embodiment, as shown to FIG. 21B, in the
図24および図25に示すように、本発明の第4実施形態である封止シート1の製造方法は、蛍光体不含封止層形成工程(図24Aおよび図24B参照)、封止層形成工程(図24C参照)、切断工程(図24D参照)を備える。
As shown in FIGS. 24 and 25, the manufacturing method of the sealing
[蛍光体不含封止層形成工程]
図24Aに示すように、まず、基材シート31を用意する。[Phosphor-free sealing layer forming step]
As shown in FIG. 24A, first, a
次いで、図24Bに示すように、蛍光体不含封止層33を、基材シート31の上面に設ける。具体的には、蛍光体を含まない封止組成物から蛍光体不含封止層33を基材シート31の上面に形成する。これにより、基材シート31よりわずかに小さい平面視略矩形状の蛍光体不含封止層33を形成する。つまり、蛍光体不含封止層33を、基材シート31の外周端部を露出するパターンに形成する。
Next, as shown in FIG. 24B, the phosphor-
[封止層形成工程]
次いで、図24Cに示すように、封止層6を、蛍光体不含封止層33の上面に形成する。[Sealing layer forming process]
Next, as illustrated in FIG. 24C, the
封止層6を形成する封止組成物において、粒子は、好ましくは、蛍光体を含有する。
In the sealing composition forming the
封止層形成工程により、基材シート31、蛍光体不含封止層33および封止層6から構成される積層シート32を得る。
By the sealing layer forming step, a
[切断工程]
切断工程では、積層シート32が前後方向において複数分割されるように、積層シート32を切断する。より具体的には、蛍光体不含封止層33のそれぞれ、および、封止層6のそれぞれが、前後方向に複数分割されるように、蛍光体不含封止層33および封止層6を基材シート31とともに切断する。[Cutting process]
In the cutting step, the
これによって、左右方向に延びる基材シート31と、基材シート31の上面において左右方向に連続して形成される蛍光体不含封止層33と、蛍光体不含封止層33の上面において、左右方向に互いに間隔を隔てて配置される封止層6とを備える封止シート1を得る。
Accordingly, the
次に、図25A〜図25Cを参照して、封止シート1によって、光半導体素子15を封止する方法を説明する。
Next, with reference to FIG. 25A-FIG. 25C, the method to seal the
この方法では、図25Aに示すように、まず、光半導体素子15が実装された基板21を用意する。
In this method, as shown in FIG. 25A, first, a
続いて、この方法では、封止シート1を、各封止層6が、厚み方向において光半導体素子15と対向するように、配置する。
Subsequently, in this method, the sealing
この方法では、次いで、図25Bに示すように、封止シート1によって、光半導体素子15を封止する。具体的には、封止シート1を、基板21に対して相対的に押し下げる。これによって、複数の封止層6のそれぞれが複数の光半導体素子15のそれぞれを被覆して封止する。つまり、複数の封止層6のそれぞれが複数の光半導体素子15のそれぞれを埋設する。また、封止層6から露出する蛍光体不含封止層33が、複数の封止層6間の隙間を充填する。その後、封止層6および/または蛍光体不含封止層33が硬化性樹脂を含有する場合には、封止層6および/または蛍光体不含封止層33をCステージ化(完全硬化)させる。
In this method, the
その後、この方法では、図25Cに示すように、基材シート31を蛍光体不含封止層33から引き剥がす。
Thereafter, in this method, as shown in FIG. 25C, the
これによって、基板21、複数の光半導体素子15、単数の蛍光体不含封止層33および複数の封止層6を備える光半導体装置22を得る。
As a result, the
その後、必要によって、図25Cの破線で示すように、各光半導体素子15に対応する基板21および蛍光体不含封止層33を切断して個片化する。これによって、基板21、単数の光半導体素子15、単数の蛍光体不含封止層33および単数の封止層6を備える光半導体装置22を得る。
Thereafter, as necessary, as indicated by broken lines in FIG. 25C, the
そして、この封止シート1の製造方法では、蛍光体不含封止層33は、蛍光体を含有しないので、蛍光体不含封止層33を左右方向に連続するパターで形成しても、蛍光体不含封止層33を低コストで製造することができる。そのため、かかる蛍光体不含封止層33を形成し、その蛍光体不含封止層33に対して封止層6を積層すれば、種々の物性を有する封止シート1を構成することができる。
And in this manufacturing method of the sealing
また、この封止シート封止シート1では、蛍光体不含封止層33と封止層6とによって、種々の物性を有することができる。
Moreover, in this sealing
<第5実施形態の変形例>
図26Aに示すように、切断工程(図24D参照)に先立ち、図24Cで示される封止層6および蛍光体不含封止層33を所定形状に切断することもできる。詳しくは、封止層6および蛍光体不含封止層33を、基材シート31を切断しないように、略円形状に切断する。<Modification of Fifth Embodiment>
As shown in FIG. 26A, prior to the cutting step (see FIG. 24D), the
これによって、封止層6および蛍光体不含封止層33からなる略円形状の封止領域16が構成される。
As a result, a substantially
続いて、図26Bに示すように、封止領域16の外側の封止層6および蛍光体不含封止層33を除去する。
Subsequently, as shown in FIG. 26B, the
これによって、基材シート31の上面に形成される封止領域16を備える封止シート1を得る。
Thereby, the sealing
その後、図26Cに示すように、切断工程を実施する。 Then, as shown to FIG. 26C, a cutting process is implemented.
そして、図27Aおよび図27Bに示すように、この封止シート1によって、光半導体素子15を封止すれば、基板21、複数の光半導体素子15、複数の蛍光体不含封止層33および複数の封止層6を備える光半導体装置22を得る。
Then, as shown in FIGS. 27A and 27B, if the
その後、必要によって、図27Cの破線で示すように、各光半導体素子15に対応する基板21および蛍光体不含封止層33を切断して個片化する。これによって、基板21、単数の光半導体素子15、単数の蛍光体不含封止層33および単数の封止層6を備える光半導体装置22を得る。
Thereafter, as necessary, as shown by broken lines in FIG. 27C, the
なお、上記説明は、本発明の例示の実施形態として提供したが、これは単なる例示にすぎず、限定的に解釈してはならない。当該技術分野の当業者によって明らかな本発明の変形例は、後記の特許請求の範囲に含まれるものである。 Although the above description has been provided as an exemplary embodiment of the present invention, this is merely an example and should not be construed as limiting. Modifications of the present invention apparent to those skilled in the art are intended to be included within the scope of the following claims.
封止シートの製造方法は、封止シートの製造に用いられる。 The manufacturing method of a sealing sheet is used for manufacture of a sealing sheet.
1 封止シート
3 第1基材シート
6 封止層
8 積層シート
11 封止部材
14 第2基材シート
15 光半導体素子
16 封止領域
31 基材シート
33 蛍光体不含封止層DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記第1方向に互いに間隔L1を隔て、かつ、前記第1方向に対する交差する第2方向に沿い、粒子を含有する封止層を形成する封止層形成工程、および、
前記封止層が前記第2方向において複数分割されるように前記封止層を切断する切断工程を備え、
前記間隔L1は、前記第1方向に互いに間隔L3を隔てて配置される封止対象に対応するように、1mm以上、20mm以下に設定され、
前記封止層形成工程では、前記封止層を、前記蛍光体不含封止層に対して積層し、
前記切断工程では、前記蛍光体不含封止層を前記封止層とともに、前記蛍光体不含封止層が前記第2方向において複数分割されるように、切断することを特徴とする、封止シートの製造方法。 A step of continuously forming a phosphor-free sealing layer containing no phosphor in the first direction ;
A sealing layer forming step of forming a sealing layer containing particles along a second direction intersecting the first direction with a distance L1 from each other in the first direction; and
A cutting step of cutting the sealing layer so that the sealing layer is divided into a plurality of parts in the second direction,
The interval L1 is set to 1 mm or more and 20 mm or less so as to correspond to the sealing objects arranged with the interval L3 from each other in the first direction,
In the sealing layer forming step, the sealing layer is laminated on the phosphor-free sealing layer,
In the cutting step, the phosphor-free sealing layer is cut together with the sealing layer so that the phosphor-free sealing layer is divided into a plurality of parts in the second direction. Stop sheet manufacturing method.
前記封止領域の外側の前記封止層を除去する工程
をさらに備えることを特徴とする、請求項1または2に記載の封止シートの製造方法。 Cutting the sealing layer so as to partition the sealing region corresponding to the sealing target; and
The method for producing a sealing sheet according to claim 1, further comprising a step of removing the sealing layer outside the sealing region.
前記第1方向に互いに間隔L1を隔てて配置される複数の封止部材とを備え、
複数の前記封止部材は、
前記基材シートの表面に積層され、蛍光体を含有しない蛍光体不含封止層と、
前記蛍光体不含封止層の表面に積層され、粒子を含有する封止層と
を備え、
前記間隔L1は、前記第1方向に互いに間隔L3を隔てて配置される封止対象に対応するように、1mm以上、20mm以下に設定されていることを特徴とする、封止シート。 A base sheet continuous in the first direction;
A plurality of sealing members disposed at a distance L1 from each other in the first direction,
The plurality of sealing members are
A phosphor-free sealing layer that is laminated on the surface of the base sheet and does not contain a phosphor,
Laminated on the surface of the phosphor-free sealing layer, comprising a sealing layer containing particles,
The said sheet | seat L1 is set to 1 mm or more and 20 mm or less so that it may respond | correspond to the sealing object arrange | positioned mutually spaced apart in the said 1st direction by the space | interval L3.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013110019 | 2013-05-24 | ||
JP2013110019 | 2013-05-24 | ||
PCT/JP2014/052697 WO2014188742A1 (en) | 2013-05-24 | 2014-02-05 | Sealing sheet and method for manufacturing same |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015137956A Division JP2015195395A (en) | 2013-05-24 | 2015-07-09 | Manufacturing method of encapsulation sheet |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP5902291B2 true JP5902291B2 (en) | 2016-04-13 |
JPWO2014188742A1 JPWO2014188742A1 (en) | 2017-02-23 |
Family
ID=51933309
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014507277A Expired - Fee Related JP5902291B2 (en) | 2013-05-24 | 2014-02-05 | Sealing sheet and manufacturing method thereof |
JP2015137956A Pending JP2015195395A (en) | 2013-05-24 | 2015-07-09 | Manufacturing method of encapsulation sheet |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015137956A Pending JP2015195395A (en) | 2013-05-24 | 2015-07-09 | Manufacturing method of encapsulation sheet |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP5902291B2 (en) |
KR (1) | KR20160013030A (en) |
CN (1) | CN105190857A (en) |
TW (1) | TW201445773A (en) |
WO (1) | WO2014188742A1 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6941923B2 (en) * | 2016-08-24 | 2021-09-29 | 日亜化学工業株式会社 | LED module manufacturing method and LED module |
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JP2013051234A (en) * | 2011-08-30 | 2013-03-14 | Nitto Denko Corp | Manufacturing method of light emitting diode device |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5103831B2 (en) * | 2006-08-29 | 2012-12-19 | 日亜化学工業株式会社 | Semiconductor manufacturing method |
DE112011102800T8 (en) * | 2010-08-25 | 2013-08-14 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Phosphor film, method for producing the same, coating method for a phosphor layer, method of manufacturing an LED package and LED package manufactured thereby |
JP2012142364A (en) * | 2010-12-28 | 2012-07-26 | Nitto Denko Corp | Sealing member, sealing method, and manufacturing method of optical semiconductor device |
-
2014
- 2014-02-05 CN CN201480026002.6A patent/CN105190857A/en active Pending
- 2014-02-05 JP JP2014507277A patent/JP5902291B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2014-02-05 KR KR1020157033271A patent/KR20160013030A/en not_active Application Discontinuation
- 2014-02-05 WO PCT/JP2014/052697 patent/WO2014188742A1/en active Application Filing
- 2014-03-31 TW TW103112017A patent/TW201445773A/en unknown
-
2015
- 2015-07-09 JP JP2015137956A patent/JP2015195395A/en active Pending
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JP2013001792A (en) * | 2011-06-16 | 2013-01-07 | Toray Ind Inc | Fluorescent substance-containing sheet, led emitter using the same and method for producing the same |
JP2013051234A (en) * | 2011-08-30 | 2013-03-14 | Nitto Denko Corp | Manufacturing method of light emitting diode device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105190857A (en) | 2015-12-23 |
KR20160013030A (en) | 2016-02-03 |
JP2015195395A (en) | 2015-11-05 |
WO2014188742A1 (en) | 2014-11-27 |
TW201445773A (en) | 2014-12-01 |
JPWO2014188742A1 (en) | 2017-02-23 |
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Date | Code | Title | Description |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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