JP5902291B2 - Sealing sheet and manufacturing method thereof - Google Patents

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Description

本発明は、封止シートおよびその製造方法、詳しくは、封止シートの製造方法およびそれによって製造される封止シートに関する。   The present invention relates to a sealing sheet and a method for manufacturing the same, and more particularly to a method for manufacturing a sealing sheet and a sealing sheet manufactured thereby.

従来、発光ダイオード(LED)などの光半導体素子を、封止シートで封止することが知られている。   Conventionally, it is known to seal an optical semiconductor element such as a light emitting diode (LED) with a sealing sheet.

例えば、長尺状の剥離シートに、長尺方向に連続するように、蛍光体やシリカなどの粒子を含有する封止樹脂層を積層した封止シートによって、長尺方向に間隔を隔てて配置される複数のLEDに封止樹脂層を対向配置して、LEDを封止する方法が提案されている(例えば、下記特許文献1参照。)。   For example, an encapsulating sheet in which a sealing resin layer containing particles such as phosphors and silica is laminated on a long release sheet so as to be continuous in the longitudinal direction is arranged at an interval in the longitudinal direction. A method has been proposed in which a sealing resin layer is disposed opposite to a plurality of LEDs to seal the LEDs (see, for example, Patent Document 1 below).

特開2012−142364号公報JP 2012-142364 A

しかるに、各光半導体素子の比較的近傍に位置する封止樹脂層(すなわち、封止領域)は、光半導体素子の上面および側面を被覆するなどして、光半導体素子の封止に寄与する。一方、各光半導体素子に対して比較的遠隔に位置する封止樹脂層、具体的には、隣接する光半導体素子間の中央(長尺方向途中)に位置する封止樹脂層(すなわち、非封止領域)は、光半導体素子の封止に実質的に寄与しない。そのため、非封止領域の封止樹脂層は、光半導体素子の封止において不要な領域となり、その分、上記した粒子を含有する封止樹脂層の歩留まりが低下する。その結果、封止シートの製造コストが増大するという不具合がある。   However, the sealing resin layer (that is, the sealing region) located relatively close to each optical semiconductor element contributes to sealing of the optical semiconductor element by covering the upper surface and side surfaces of the optical semiconductor element. On the other hand, a sealing resin layer positioned relatively remotely with respect to each optical semiconductor element, specifically, a sealing resin layer positioned in the center (in the middle of the longitudinal direction) between adjacent optical semiconductor elements (that is, non-blocking resin layer) The sealing region) does not substantially contribute to the sealing of the optical semiconductor element. Therefore, the sealing resin layer in the non-sealing region becomes an unnecessary region in the sealing of the optical semiconductor element, and accordingly, the yield of the sealing resin layer containing the above-described particles is lowered. As a result, there exists a malfunction that the manufacturing cost of a sealing sheet increases.

他方、上記した非封止領域を、封止樹脂層を一旦形成した後に除去することも試案されるが、封止樹脂層は、上記した粒子の他に、樹脂や添加物を含有するので、除去した非封止領域から、粒子のみを回収して再利用することは困難である。そのため、やはり、非封止領域の形成に起因する封止樹脂層の歩留まりの低下およびそれに起因する封止シートの製造コストの増大を防止することができないという不具合がある。   On the other hand, it is also devised to remove the above-described non-sealing region after once forming the sealing resin layer, but the sealing resin layer contains a resin and an additive in addition to the above-described particles. It is difficult to recover and reuse only the particles from the removed non-sealed region. Therefore, there is still a problem that it is impossible to prevent a decrease in the yield of the sealing resin layer due to the formation of the non-sealing region and an increase in the manufacturing cost of the sealing sheet due to the yield.

本発明の目的は、封止層の歩留まりを向上させて、封止シートの製造コストを低減することのできる、封止シートの製造方法およびそれによって製造される封止シートを提供することにある。   The objective of this invention is improving the yield of a sealing layer, and providing the manufacturing method of a sealing sheet which can reduce the manufacturing cost of a sealing sheet, and the sealing sheet manufactured by it. .

上記目的を達成するために、本発明の封止シートの製造方法は、第1方向に互いに間隔を隔てて配置される複数の封止部材を備える封止シートの製造方法であって、前記第1方向に連続するように、粒子を含有する封止層を形成する封止層形成工程、前記封止層形成工程の後に、前記封止層が前記第1方向において複数分割されるように前記封止層を切断して、複数の前記封止部材を形成する切断工程、および、前記切断工程の後に、複数の前記封止部材を、前記第1方向に互いに間隔を隔てるように配置する配置工程を備えることを特徴としている。   In order to achieve the above object, a manufacturing method of a sealing sheet of the present invention is a manufacturing method of a sealing sheet including a plurality of sealing members arranged at intervals in a first direction, wherein the first The sealing layer forming step of forming a sealing layer containing particles so as to be continuous in one direction, and after the sealing layer forming step, the sealing layer is divided into a plurality of portions in the first direction. A cutting step of cutting a sealing layer to form a plurality of the sealing members, and an arrangement in which the plurality of sealing members are arranged so as to be spaced apart from each other in the first direction after the cutting step. It is characterized by comprising a process.

この封止シートの製造方法では、封止層が第1方向において複数分割されるように封止層を切断して、複数の封止部材を形成し、その後、複数の封止部材を、第1方向に互いに間隔を隔てるように配置する。そのため、切断後の複数の封止部材を、簡便な方法によって、第1方向に互いに間隔を隔てるように配置するので、第1方向に連続するように形成される封止層を、有効に利用することができる。そのため、封止層の歩留まりを向上させて、封止シートの製造コストを低減することができる。   In the manufacturing method of the sealing sheet, the sealing layer is cut so that the sealing layer is divided into a plurality of parts in the first direction to form a plurality of sealing members. It arrange | positions so that it may mutually space apart in one direction. Therefore, since the plurality of sealing members after cutting are arranged so as to be spaced apart from each other in the first direction by a simple method, the sealing layer formed so as to be continuous in the first direction is effectively used. can do. Therefore, the yield of a sealing layer can be improved and the manufacturing cost of a sealing sheet can be reduced.

また、本発明の封止シートの製造方法では、前記封止層形成工程では、前記封止層を、前記第1方向に連続する第1基材シートの表面に形成することによって、前記封止層および前記第1基材シートを備える積層シートを形成し、前記切断工程では、前記積層シートが前記第1方向において複数分割されるように、前記積層シートを切断することによって、前記封止層および前記第1基材シートから前記封止部材を形成することが好適である。   Moreover, in the manufacturing method of the sealing sheet of this invention, the said sealing layer formation process WHEREIN: By forming the said sealing layer on the surface of the 1st base material sheet continuous in the said 1st direction, the said sealing is performed. Forming a laminated sheet comprising a layer and the first base sheet, and in the cutting step, cutting the laminated sheet so that the laminated sheet is divided into a plurality of pieces in the first direction, whereby the sealing layer It is preferable to form the sealing member from the first base sheet.

この封止シートの製造方法によれば、封止層形成工程では、封止層および第1基材シートを備える積層シートを形成するので、封止層を第1基材シートによって支持することができ、続いて、切断工程において、積層シートを切断するので、封止層の取扱性を向上させて、切断工程における封止層の切断の精度を向上させることができる。   According to this method for producing a sealing sheet, in the sealing layer forming step, a laminated sheet including the sealing layer and the first base sheet is formed, so that the sealing layer can be supported by the first base sheet. Then, since the laminated sheet is cut in the cutting step, the handleability of the sealing layer can be improved, and the accuracy of cutting the sealing layer in the cutting step can be improved.

また、本発明の封止シートの製造方法では、前記配置工程では、複数の前記封止部材を、前記第1方向に連続して形成される第2基材シートの表面に、前記第1方向に互いに間隔を隔てるように配置することが好適である。   Moreover, in the manufacturing method of the sealing sheet of this invention, in the said arrangement | positioning process, the said 1st direction is provided on the surface of the 2nd base material sheet formed continuously in the said 1st direction in the said some sealing member. It is preferable to arrange them at a distance from each other.

この封止シートの製造方法では、複数の封止部材を第2基材シートの表面に配置するので、複数の封止部材の配置の精度を向上させることができる。そのため、複数の封止部材によって複数の光半導体素子を精度よく封止することができる。   In this sealing sheet manufacturing method, since the plurality of sealing members are arranged on the surface of the second base sheet, the accuracy of the arrangement of the plurality of sealing members can be improved. Therefore, a plurality of optical semiconductor elements can be accurately sealed by a plurality of sealing members.

また、本発明の封止シートの製造方法では、粒子が、蛍光体を含有することが好適である。   Moreover, in the manufacturing method of the sealing sheet of this invention, it is suitable for particle | grains to contain fluorescent substance.

この封止シートの製造方法では、蛍光体を含有する粒子の歩留まりを向上させることができる。   In this method for producing a sealing sheet, the yield of particles containing a phosphor can be improved.

本発明の封止シートの製造方法は、第1方向に互いに間隔を隔て、かつ、前記第1方向に対する交差する第2方向に沿い、粒子を含有する封止層を形成する封止層形成工程、および、前記封止層が前記第2方向において複数分割されるように前記封止層を切断する切断工程を備えることを特徴としている。   The method for producing a sealing sheet of the present invention includes a sealing layer forming step of forming a sealing layer containing particles along a second direction that is spaced from each other in the first direction and intersects the first direction. And a cutting step of cutting the sealing layer so that the sealing layer is divided into a plurality of parts in the second direction.

この封止シートの製造方法では、第1方向に互いに間隔を隔て、かつ、第1方向に対する交差する第2方向に沿い、粒子を含有する封止層を形成するので、その後、封止層を、第1方向に互いに間隔を隔てて配置される封止対象に対して封止すれば、封止層を有効に利用することができる。そのため、封止層の歩留まりを向上させて、封止シートの製造コストを低減することができる。   In the manufacturing method of this sealing sheet, since the sealing layer containing particles is formed along the second direction that is spaced from each other in the first direction and intersects the first direction, the sealing layer is then formed. The sealing layer can be used effectively if sealing is performed on the objects to be sealed that are spaced from each other in the first direction. Therefore, the yield of a sealing layer can be improved and the manufacturing cost of a sealing sheet can be reduced.

本発明の封止シートの製造方法において、前記封止層形成工程では、封止組成物を前記第2方向に沿って塗布することによって、前記封止層を形成することが好適である。   In the method for producing a sealing sheet of the present invention, it is preferable that in the sealing layer forming step, the sealing layer is formed by applying a sealing composition along the second direction.

この封止シートの製造方法では、封止層形成工程では、封止組成物を第2方向に沿って塗布することによって、封止層を形成するので、第2方向に沿う封止層を効率よく形成することができる。   In this sealing sheet manufacturing method, in the sealing layer forming step, the sealing layer is formed by applying the sealing composition along the second direction, so the sealing layer along the second direction is efficiently used. Can be well formed.

さらに、この方法では、封止組成物を第2方向に沿って塗布する封止層形成工程の後に、封止層が第2方向において複数分割されるように封止層を切断する切断工程を実施するので、第2方向における封止層の歩留まりを向上させて、封止シートの製造コストを低減することができる。   Further, in this method, after the sealing layer forming step of applying the sealing composition along the second direction, a cutting step of cutting the sealing layer so that the sealing layer is divided into a plurality of portions in the second direction. Since it implements, the yield of the sealing layer in a 2nd direction can be improved, and the manufacturing cost of a sealing sheet can be reduced.

本発明の封止シートの製造方法は、封止対象に対応する封止領域を仕切るように、前記封止層を切断する工程、および、前記封止領域の外側の前記封止層を除去する工程をさらに備えることが好適である。   The method for producing a sealing sheet of the present invention includes a step of cutting the sealing layer so as to partition a sealing region corresponding to a sealing target, and removing the sealing layer outside the sealing region. It is preferable to further include a step.

この封止シートの製造方法では、封止対象に対応する封止領域を仕切るように、封止層を切断し、封止領域の外側の封止層を除去するので、封止層をより一層有効に利用することができる。   In this method for producing a sealing sheet, the sealing layer is cut and the sealing layer outside the sealing region is removed so as to partition the sealing region corresponding to the target to be sealed. It can be used effectively.

本発明の封止シートの製造方法では、粒子が、蛍光体を含有することが好適である。   In the manufacturing method of the sealing sheet of this invention, it is suitable for particle | grains to contain fluorescent substance.

この封止シートの製造方法では、粒子が、蛍光体を含有するので、蛍光体を含有する粒子の歩留まりを向上させることができる。   In this method for producing a sealing sheet, since the particles contain the phosphor, the yield of the particles containing the phosphor can be improved.

本発明の封止シートは、粒子を含有しない蛍光体不含封止層を前記第1方向に連続して形成する工程をさらに備え、前記封止層形成工程では、前記封止層を、前記蛍光体不含封止層に対して積層し、前記切断工程では、前記蛍光体不含封止層を前記封止層とともに、前記蛍光体不含封止層が前記第2方向において複数分割されるように、切断することが好適である。   The sealing sheet of the present invention further comprises a step of continuously forming a phosphor-free sealing layer containing no particles in the first direction, and in the sealing layer forming step, the sealing layer is The phosphor-free sealing layer is laminated, and in the cutting step, the phosphor-free sealing layer is divided into a plurality of the phosphor-free sealing layers together with the sealing layer in the second direction. Thus, it is preferable to cut.

蛍光体不含封止層は、蛍光体を含有しないので、蛍光体不含封止層を第1方向に連続して形成しても、蛍光体不含封止層を低コストで製造することができる。そのため、かかる蛍光体不含封止層を形成し、その蛍光体不含封止層に対して封止層を積層すれば、種々の物性を有する封止シートを構成することができる。   Since the phosphor-free encapsulating layer does not contain a phosphor, the phosphor-free encapsulating layer can be manufactured at low cost even if the phosphor-free encapsulating layer is continuously formed in the first direction. Can do. Therefore, if such a phosphor-free sealing layer is formed and the sealing layer is laminated on the phosphor-free sealing layer, a sealing sheet having various physical properties can be configured.

また、本発明の封止シートは、第1方向に連続するように形成される第2基材シートと、前記第2基材シートの表面に、前記第1方向に互いに間隔を隔てて配置される複数の封止部材とを備え、複数の前記封止部材は、前記第2基材シートの表面に積層される第1基材シートと、前記第1基材シートの表面に積層され、粒子を含有する封止層とを備えることを特徴としている。   In addition, the sealing sheet of the present invention is disposed on the surface of the second base sheet and the second base sheet formed so as to be continuous in the first direction, and spaced from each other in the first direction. A plurality of sealing members, wherein the plurality of sealing members are laminated on the surface of the second base material sheet, and are laminated on the surface of the first base material sheet. It is characterized by providing the sealing layer containing this.

この封止シートでは、封止層を、第1方向に連続するように形成される第2基材シートによって、第1方向に互いに間隔を隔てて配置される第1基材シートを介して、支持することができる。そのため、製造コストを低減しながら、第1基材シートおよび第2基材シートによって、封止層を柔軟に支持することができる。   In this sealing sheet, the sealing layer is formed by a second base material sheet that is formed so as to be continuous in the first direction, via the first base material sheet that is arranged at an interval in the first direction, Can be supported. Therefore, the sealing layer can be flexibly supported by the first base sheet and the second base sheet while reducing the manufacturing cost.

本発明の封止シートは、第1方向に連続する基材シートと、前記第1方向に互いに間隔を隔てて配置される複数の封止部材とを備え、複数の前記封止部材は、前記基材シートの表面に積層される蛍光体不含封止層と、前記蛍光体不含封止層の表面に積層される粒子を含有する封止層とを備えることを特徴としている。   The sealing sheet of the present invention includes a base sheet that is continuous in a first direction and a plurality of sealing members that are spaced apart from each other in the first direction, and the plurality of sealing members are It is characterized by comprising a phosphor-free encapsulating layer laminated on the surface of the substrate sheet, and a encapsulating layer containing particles laminated on the surface of the phosphor-free encapsulating layer.

この封止シートでは、蛍光体不含封止層と封止層とによって、種々の物性を有することができる。   This sealing sheet can have various physical properties by the phosphor-free sealing layer and the sealing layer.

本発明の封止シートの製造方法では、封止層の歩留まりを向上させて、封止シートの製造コストを低減することができる。   In the manufacturing method of the sealing sheet of this invention, the yield of a sealing layer can be improved and the manufacturing cost of a sealing sheet can be reduced.

本発明の封止シートは、製造コストを低減しながら、第1基材シートおよび第2基材シートによって、封止層を柔軟に支持することができる。また、種々の物性を有する封止部材を構成することができる。   The sealing sheet of this invention can support a sealing layer flexibly with a 1st base material sheet and a 2nd base material sheet, reducing manufacturing cost. Moreover, the sealing member which has various physical properties can be comprised.

図1は、本発明の封止シートの製造方法の第1実施形態の封止層形成工程を示し、図1Aは、斜視図、図1Bは、側断面図を示す。FIG. 1 shows a sealing layer forming step of a first embodiment of the method for producing a sealing sheet of the present invention, FIG. 1A is a perspective view, and FIG. 1B is a side sectional view. 図2は、本発明の封止シートの製造方法の第1実施形態の第1切断工程を示し、図2Aは、斜視図、図2Bは、側断面図を示す。FIG. 2 shows a first cutting step of the first embodiment of the method for producing a sealing sheet of the present invention, FIG. 2A is a perspective view, and FIG. 2B is a side sectional view. 図3は、本発明の封止シートの製造方法の第1実施形態の剥離工程を示し、図3Aは、斜視図、図3Bは、側断面図を示す。FIG. 3 shows the peeling process of 1st Embodiment of the manufacturing method of the sealing sheet of this invention, FIG. 3A shows a perspective view, FIG. 3B shows a sectional side view. 図4は、本発明の封止シートの製造方法の第1実施形態の載置工程を示し、図4Aは、斜視図、図4Bは、側断面図を示す。FIG. 4: shows the mounting process of 1st Embodiment of the manufacturing method of the sealing sheet of this invention, FIG. 4A shows a perspective view, FIG. 4B shows a sectional side view. 図5は、本発明の封止シートの製造方法の第1実施形態の第2切断工程を示し、図5Aは、斜視図、図5Bは、側断面図を示す。FIG. 5: shows the 2nd cutting process of 1st Embodiment of the manufacturing method of the sealing sheet of this invention, FIG. 5A shows a perspective view, FIG. 5B shows a side sectional view. 図6は、本発明の封止シートの製造方法の第1実施形態の除去工程を示し、図6Aは、斜視図、図6Bは、側断面図を示す。FIG. 6 shows a removing step of the first embodiment of the method for producing a sealing sheet of the present invention, FIG. 6A is a perspective view, and FIG. 6B is a side sectional view. 図7は、本発明の封止シートの製造方法の第1実施形態の第3切断工程を示し、図7Aは、斜視図、図7Bは、側断面図、図7Cは、平面図を示す。FIG. 7 shows a third cutting step of the first embodiment of the method for producing a sealing sheet of the present invention, FIG. 7A is a perspective view, FIG. 7B is a side sectional view, and FIG. 7C is a plan view. 図8は、本発明の封止シートの製造方法の第1実施形態の回収工程を示し、図8Aは、斜視図、図8Bは、正断面図、図8Cは、側断面図、図8Dは、平面図を示す。FIG. 8 shows the recovery process of the first embodiment of the method for producing a sealing sheet of the present invention, FIG. 8A is a perspective view, FIG. 8B is a front sectional view, FIG. 8C is a side sectional view, and FIG. FIG. 図9は、図8の封止シートによって光半導体素子を封止する方法を示し、図9Aは、封止シートを、光半導体素子が実装された基板に対向配置する工程、図9Bは、封止シートによって光半導体素子を封止する工程、図9Cは、第2基材シート、接着剤層および第1基材シートを除去する工程を示す。FIG. 9 shows a method of encapsulating the optical semiconductor element with the encapsulating sheet of FIG. 8, FIG. 9A is a process of arranging the encapsulating sheet opposite to the substrate on which the optical semiconductor element is mounted, and FIG. 9B is an encapsulating sheet. The process of sealing an optical semiconductor element with a stop sheet, FIG. 9C shows the process of removing a 2nd base material sheet, an adhesive bond layer, and a 1st base material sheet. 図10は、本発明の封止シートの製造方法の第1実施形態の変形例(位置決めマークが設けられる態様)により製造される封止シートの平面図を示す。FIG. 10: shows the top view of the sealing sheet manufactured by the modification (mode provided with the positioning mark) of 1st Embodiment of the manufacturing method of the sealing sheet of this invention. 図11は、本発明の封止シートの製造方法の第1実施形態の変形例(位置決めマークが設けられる態様)により製造される封止シートの平面図を示す。FIG. 11: shows the top view of the sealing sheet manufactured by the modification (mode provided with the positioning mark) of 1st Embodiment of the manufacturing method of the sealing sheet of this invention. 図12は、本発明の封止シートの製造方法の第1実施形態の変形例(封止層が略楕円形状である態様)により製造される封止シートの平面図を示す。FIG. 12: shows the top view of the sealing sheet manufactured by the modification (embodiment whose sealing layer is substantially elliptical shape) of 1st Embodiment of the manufacturing method of the sealing sheet of this invention. 図13は、本発明の封止シートの製造方法の第1実施形態の変形例(封止層が略6角形状である態様)により製造される封止シートの平面図を示す。FIG. 13: shows the top view of the sealing sheet manufactured by the modification (the aspect whose sealing layer is substantially hexagonal shape) of 1st Embodiment of the manufacturing method of the sealing sheet of this invention. 図14は、本発明の封止シートの製造方法の第1実施形態の変形例(封止層が略矩形状である態様)により製造される封止シートの平面図を示す。FIG. 14: shows the top view of the sealing sheet manufactured by the modification (the aspect whose sealing layer is substantially rectangular shape) of 1st Embodiment of the manufacturing method of the sealing sheet of this invention. 図15は、本発明の封止シートの製造方法の第2実施形態の第3切断工程を示し、図15Aは、斜視図、図15Bは、側断面図、図15Cは、平面図を示す。FIG. 15 shows the third cutting step of the second embodiment of the method for producing the sealing sheet of the present invention, FIG. 15A is a perspective view, FIG. 15B is a side sectional view, and FIG. 15C is a plan view. 図16は、本発明の封止シートの製造方法の第2実施形態の回収工程を示し、図16Aは、斜視図、図16Bは、正断面図、図16Cは、側断面図、図16Dは、平面図を示す。FIG. 16 shows the collection process of the second embodiment of the method for producing a sealing sheet of the present invention, FIG. 16A is a perspective view, FIG. 16B is a front sectional view, FIG. 16C is a side sectional view, and FIG. FIG. 図17は、本発明の封止シートの製造方法の第3実施形態の第1切断工程および剥離工程の斜視図を示す。FIG. 17: shows the perspective view of the 1st cutting process and peeling process of 3rd Embodiment of the manufacturing method of the sealing sheet of this invention. 図18は、本発明の封止シートの製造方法の第3実施形態の載置工程の斜視図を示す。FIG. 18: shows the perspective view of the mounting process of 3rd Embodiment of the manufacturing method of the sealing sheet of this invention. 図19は、本発明の封止シートの製造方法の第3実施形態の第2切断工程および除去工程の斜視図を示す。FIG. 19: shows the perspective view of the 2nd cutting process and removal process of 3rd Embodiment of the manufacturing method of the sealing sheet of this invention. 図20は、本発明の封止シートの製造方法の第3実施形態の第3切断工程および回収工程の斜視図を示す。FIG. 20: shows the perspective view of the 3rd cutting process and collection | recovery process of 3rd Embodiment of the manufacturing method of the sealing sheet of this invention. 図21は、本発明の封止シートの製造方法の第4実施形態の製造工程図(斜視図)を示し、図21Aは、封止層形成工程(基材シートを用意する工程)、図21Bは、封止層形成工程(封止層を設ける工程)、図21Cは、切断工程を示す。FIG. 21 shows a manufacturing process diagram (perspective view) of the fourth embodiment of the manufacturing method of the sealing sheet of the present invention, and FIG. 21A shows a sealing layer forming process (process for preparing a base sheet), FIG. FIG. 21C shows a sealing layer forming step (step of providing a sealing layer) and FIG. 21C shows a cutting step. 図22は、第4実施形態の封止シートによって光半導体素子を封止する方法を説明する工程図(側断面図)を示し、図22Aは、光半導体素子が実装された基板を用意する工程、および、各封止層が光半導体素子と対向するように配置する工程、図22Bは、封止シートによって、光半導体素子を封止する工程、図22Cは、基材シートを封止層から引き剥がす工程を示す。FIG. 22 is a process diagram (side sectional view) illustrating a method for encapsulating an optical semiconductor element with the encapsulating sheet of the fourth embodiment, and FIG. 22A is a process for preparing a substrate on which the optical semiconductor element is mounted. FIG. 22B is a step of sealing the optical semiconductor element with a sealing sheet, and FIG. 22C is a step of removing the base sheet from the sealing layer. The process of peeling is shown. 図23は、第4実施形態の変形例の斜視図であって、図23Aは、封止層を略円形状に切断する工程、図23Bは、封止領域の外側の封止層を除去する工程、図23Cは、切断工程を示す。FIG. 23 is a perspective view of a modification of the fourth embodiment. FIG. 23A is a step of cutting the sealing layer into a substantially circular shape, and FIG. 23B is a step of removing the sealing layer outside the sealing region. Process, FIG. 23C shows the cutting process. 図24は、本発明の封止シートの製造方法の第5実施形態の製造工程図(斜視図)を示し、図24Aは、蛍光体不含封止層形成工程(基材シートを用意する工程)、図24Bは、蛍光体不含封止層形成工程(蛍光体不含封止層を設ける工程)図24Cは、封止層形成工程、図24Dは、切断工程を示す。FIG. 24: shows the manufacturing process figure (perspective view) of 5th Embodiment of the manufacturing method of the sealing sheet of this invention, FIG. 24A is a fluorescent substance-free sealing layer formation process (process which prepares a base material sheet) 24B is a phosphor-free sealing layer forming step (step of providing a phosphor-free sealing layer). FIG. 24C is a sealing layer forming step, and FIG. 24D is a cutting step. 図25は、第5実施形態の封止シートによって光半導体素子を封止する方法を説明する工程図(側断面図)を示し、図25Aは、光半導体素子が実装された基板を用意する工程、および、各封止層が光半導体素子と対向するように配置する工程、図25Bは、封止シートによって、光半導体素子を封止する工程、図25Cは、基材シートを蛍光体不含封止層から引き剥がす工程を示す。FIG. 25 is a process diagram (side sectional view) illustrating a method for encapsulating an optical semiconductor element with the encapsulating sheet of the fifth embodiment, and FIG. 25A is a process of preparing a substrate on which the optical semiconductor element is mounted. And a step of arranging each sealing layer so as to face the optical semiconductor element, FIG. 25B is a step of sealing the optical semiconductor element with a sealing sheet, and FIG. 25C is a phosphor-free substrate sheet. The process of peeling off from a sealing layer is shown. 図26は、第5実施形態の変形例の斜視図であって、図26Aは、封止層を略円形状に切断する工程、図26Bは、封止領域の外側の封止層を除去する工程、図26Cは、切断工程を示す。FIG. 26 is a perspective view of a modification of the fifth embodiment. FIG. 26A is a step of cutting the sealing layer into a substantially circular shape, and FIG. 26B is a step of removing the sealing layer outside the sealing region. Process, FIG. 26C shows the cutting process. 図27は、第5実施形態の封止シートの変形例によって光半導体素子を封止する方法を説明する工程図(側断面図)を示し、図27Aは、光半導体素子が実装された基板を用意する工程、および、各封止層が光半導体素子と対向するように配置する工程、図27Bは、封止シートによって、光半導体素子を封止する工程、図27Cは、基材シートを蛍光体不含封止層から引き剥がす工程を示す。FIG. 27 is a process diagram (side sectional view) illustrating a method for sealing an optical semiconductor element by a modification of the sealing sheet of the fifth embodiment. FIG. 27A illustrates a substrate on which the optical semiconductor element is mounted. Step of preparing, step of arranging each sealing layer so as to face the optical semiconductor element, FIG. 27B is a step of sealing the optical semiconductor element with a sealing sheet, and FIG. The process of peeling off from a body-free sealing layer is shown.

<第1実施形態>
図1Aの矢印で示す前後方向(あるいは縦方向)は、第1方向の一例であり、図1Aの矢印で示す左右方向(あるいは横方向)は、第1方向に直交する第2方向の一例であり、図1Aの矢印で示す上下方向は、第1方向および第2方向に直交する第3方向の一例(あるいは厚み方向)である。図1A以外の図面については、特記しない限り、図1Aの方向を基準とする。
<First Embodiment>
The front-rear direction (or vertical direction) indicated by the arrows in FIG. 1A is an example of a first direction, and the left-right direction (or horizontal direction) indicated by the arrows in FIG. 1A is an example of a second direction orthogonal to the first direction. Yes, the up-down direction indicated by the arrows in FIG. 1A is an example (or thickness direction) of a third direction orthogonal to the first direction and the second direction. For the drawings other than FIG. 1A, the direction of FIG. 1A is used as a reference unless otherwise specified.

図1〜図8に示すように、本発明の第1実施形態である封止シート1の製造方法は、封止層形成工程(図1参照)、切断工程としての第1切断工程(図2参照)、配置工程(図3および図4参照)、第2切断工程(図5参照)、除去工程(図6参照)、第3切断工程(図7参照)、および、回収工程(図8参照)を備える。   As shown in FIGS. 1-8, the manufacturing method of the sealing sheet 1 which is 1st Embodiment of this invention is the 1st cutting process (FIG. 2) as a sealing layer formation process (refer FIG. 1) and a cutting process. Reference), placement step (see FIGS. 3 and 4), second cutting step (see FIG. 5), removal step (see FIG. 6), third cutting step (see FIG. 7), and recovery step (see FIG. 8). ).

[封止層形成工程]
封止層形成工程では、図1Aおよび図1Bが参照されるように、まず、積層基材シート2を用意する。
[Sealing layer forming step]
In the sealing layer forming step, as shown in FIGS. 1A and 1B, first, a laminated base sheet 2 is prepared.

積層基材シート2は、前後方向(縦方向)および左右方向(横方向)に延びる略矩形の平板形状に形成されている。積層基材シート2は、第1基材シート3と、第1基材シート3の下面に積層される接着剤層4と、接着剤層4の下面に積層される離型シート5とを備える。   The laminated base sheet 2 is formed in a substantially rectangular flat plate shape extending in the front-rear direction (vertical direction) and the left-right direction (lateral direction). The laminated substrate sheet 2 includes a first substrate sheet 3, an adhesive layer 4 laminated on the lower surface of the first substrate sheet 3, and a release sheet 5 laminated on the lower surface of the adhesive layer 4. .

第1基材シート3は、積層基材シート2の平面視における外形形状をなし、具体的には、前後方向および左右方向に連続する略矩形の平板形状に形成されている。第1基材シート3は、次に説明する封止層6を支持できる材料から形成されており、そのような材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレートのポリエステル、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィンなどの樹脂材料などが挙げられる。また、材料として、例えば、セラミクスシート、例えば、金属箔なども挙げられる。第1基材シート3の厚みは、例えば、0.03mm以上、好ましくは、0.05mm以上であり、また、例えば、2mm以下、好ましくは、1mm以下である。また、第1基材シート3の寸法は、次に説明する封止層6の寸法によって適宜調節され、具体的には、1辺の長さが、例えば、10mm以上、好ましくは、20mm以上であり、また、例えば、300mm以下、好ましくは、250mm以下である。   The first base sheet 3 has an outer shape in a plan view of the laminated base sheet 2, and is specifically formed in a substantially rectangular flat plate shape that is continuous in the front-rear direction and the left-right direction. The first base sheet 3 is formed of a material that can support the sealing layer 6 described below. Examples of such a material include polyethylene terephthalate, polyester of polyethylene terephthalate, such as polyethylene and polypropylene. Examples thereof include resin materials such as polyolefin. Examples of the material include a ceramic sheet such as a metal foil. The thickness of the 1st base material sheet 3 is 0.03 mm or more, for example, Preferably, it is 0.05 mm or more, for example, is 2 mm or less, Preferably, it is 1 mm or less. Moreover, the dimension of the 1st base material sheet 3 is suitably adjusted with the dimension of the sealing layer 6 demonstrated below, Specifically, the length of 1 side is 10 mm or more, for example, Preferably, it is 20 mm or more. Yes, for example, 300 mm or less, preferably 250 mm or less.

接着剤層4は、第1基材シート3の下面全面に設けられている。接着剤層4は、例えば、アクリル系感圧接着剤、ウレタン系感圧接着性などの接着剤などから形成されている。接着剤層4の厚みは、例えば、0.1mm以上、好ましくは、0.2mm以上であり、また、1mm以下、好ましくは、0.5mm以下である。   The adhesive layer 4 is provided on the entire lower surface of the first base sheet 3. The adhesive layer 4 is made of, for example, an adhesive such as an acrylic pressure sensitive adhesive or a urethane pressure sensitive adhesive. The thickness of the adhesive layer 4 is, for example, 0.1 mm or more, preferably 0.2 mm or more, and 1 mm or less, preferably 0.5 mm or less.

離型シート5は、接着剤層4の下面が汚染されることを防止するために、接着剤層4の下面全面に設けられている。離型シート5としては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリエステルフィルム(PETなど)などのポリマーフィルム、例えば、セラミクスシート、例えば、金属箔などが挙げられる。好ましくは、ポリマーフィルムが挙げられる。また、離型シート5の表面には、フッ素処理などの剥離処理を施すこともできる。離型シート5の厚みは、例えば、0.3mm以上、好ましくは、0.5mm以上であり、また、例えば、2mm以下、好ましくは、1mm以下である。   The release sheet 5 is provided on the entire lower surface of the adhesive layer 4 in order to prevent the lower surface of the adhesive layer 4 from being contaminated. Examples of the release sheet 5 include polymer films such as a polyethylene film and a polyester film (such as PET), for example, a ceramic sheet such as a metal foil. Preferably, a polymer film is used. Further, the surface of the release sheet 5 can be subjected to a peeling treatment such as a fluorine treatment. The thickness of the release sheet 5 is, for example, 0.3 mm or more, preferably 0.5 mm or more, and for example, 2 mm or less, preferably 1 mm or less.

積層基材シート2を作製するには、例えば、まず、第1基材シート3を用意し、続いて、接着剤層4を第1基材シート3の下面に積層し、その後、離型シート5を接着剤層4の下面に積層する。なお、積層基材シート2は、市販のものを用いることもできる。   In order to produce the laminated substrate sheet 2, for example, first, the first substrate sheet 3 is prepared, and then the adhesive layer 4 is laminated on the lower surface of the first substrate sheet 3, and then the release sheet. 5 is laminated on the lower surface of the adhesive layer 4. In addition, the laminated base material sheet 2 can also use a commercially available thing.

積層基材シート2の厚みは、例えば、0.6mm以上、好ましくは、1mm以上であり、また、例えば、5mm以下、好ましくは、3mm以下である。   The thickness of the laminated substrate sheet 2 is, for example, 0.6 mm or more, preferably 1 mm or more, and for example, 5 mm or less, preferably 3 mm or less.

積層基材シート2を用意した後、図1Aおよび図1Bに示すように、封止層6を積層基材シート2の上面に設ける。   After preparing the laminated base sheet 2, a sealing layer 6 is provided on the upper surface of the laminated base sheet 2 as shown in FIGS. 1A and 1B.

封止層6を積層基材シート2の上面に設けるには、例えば、まず、封止組成物を用意する。   In order to provide the sealing layer 6 on the upper surface of the laminated base sheet 2, for example, first, a sealing composition is prepared.

封止組成物は、粒子を必須成分として含有し、具体的には、粒子および樹脂を含有する。   The sealing composition contains particles as essential components, and specifically contains particles and a resin.

粒子としては、例えば、蛍光体、充填剤などが挙げられる。   Examples of the particles include phosphors and fillers.

蛍光体は、波長変換機能を有しており、例えば、青色光を黄色光に変換することのできる黄色蛍光体、青色光を赤色光に変換することのできる赤色蛍光体などが挙げられる。   The phosphor has a wavelength conversion function, and examples thereof include a yellow phosphor capable of converting blue light into yellow light, and a red phosphor capable of converting blue light into red light.

黄色蛍光体としては、例えば、(Ba,Sr,Ca)SiO;Eu、(Sr,Ba)SiO:Eu(バリウムオルソシリケート(BOS))などのシリケート蛍光体、例えば、YAl12:Ce(YAG(イットリウム・アルミニウム・ガーネット):Ce)、TbAl12:Ce(TAG(テルビウム・アルミニウム・ガーネット):Ce)などのガーネット型結晶構造を有するガーネット型蛍光体、例えば、Ca−α−SiAlONなどの酸窒化物蛍光体などが挙げられる。赤色蛍光体としては、例えば、CaAlSiN:Eu、CaSiN:Euなどの窒化物蛍光体などが挙げられる。蛍光体の形状としては、例えば、球状、板状、針状などが挙げられる。好ましくは、流動性の観点から、球状が挙げられる。蛍光体の最大長さの平均値(球状である場合には、平均粒子径)は、例えば、0.1μm以上、好ましくは、1μm以上であり、また、例えば、200μm以下、好ましくは、100μm以下である。蛍光体は、単独使用または併用することができる。蛍光体の配合割合は、樹脂100質量部に対して、例えば、0.1質量部以上、好ましくは、0.5質量部以上であり、例えば、80質量部以下、好ましくは、50質量部以下である。Examples of the yellow phosphor include silicate phosphors such as (Ba, Sr, Ca) 2 SiO 4 ; Eu, (Sr, Ba) 2 SiO 4 : Eu (barium orthosilicate (BOS)), for example, Y 3 Al Garnet-type phosphors having a garnet-type crystal structure such as 5 O 12 : Ce (YAG (yttrium, aluminum, garnet): Ce), Tb 3 Al 3 O 12 : Ce (TAG (terbium, aluminum, garnet): Ce) Examples thereof include oxynitride phosphors such as Ca-α-SiAlON. Examples of the red phosphor include nitride phosphors such as CaAlSiN 3 : Eu and CaSiN 2 : Eu. Examples of the shape of the phosphor include a spherical shape, a plate shape, and a needle shape. Preferably, spherical shape is mentioned from a fluid viewpoint. The average value of the maximum length of the phosphor (in the case of a sphere, the average particle diameter) is, for example, 0.1 μm or more, preferably 1 μm or more, and for example, 200 μm or less, preferably 100 μm or less. It is. The phosphors can be used alone or in combination. The blending ratio of the phosphor is, for example, 0.1 parts by mass or more, preferably 0.5 parts by mass or more, for example, 80 parts by mass or less, preferably 50 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the resin. It is.

充填剤としては、例えば、シリコーン粒子などの有機微粒子、例えば、シリカ、タルク、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化ケイ素などの無機微粒子が挙げられる。また、充填剤の最大長さの平均値(球状である場合には、平均粒子径)は、例えば、0.1μm以上、好ましくは、1μm以上であり、また、例えば、200μm以下、好ましくは、100μm以下である。充填剤は、単独使用または併用することができる。充填剤の配合割合は、樹脂100質量部に対して、例えば、0.1質量部以上、好ましくは、0.5質量部以上であり、また、例えば、70質量部以下、好ましくは、50質量部以下である。   Examples of the filler include organic fine particles such as silicone particles, and inorganic fine particles such as silica, talc, alumina, aluminum nitride, and silicon nitride. Further, the average value of the maximum length of the filler (in the case of a spherical shape, the average particle diameter) is, for example, 0.1 μm or more, preferably 1 μm or more, and, for example, 200 μm or less, preferably 100 μm or less. The filler can be used alone or in combination. The blending ratio of the filler is, for example, 0.1 parts by mass or more, preferably 0.5 parts by mass or more, and, for example, 70 parts by mass or less, preferably 50 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the resin. Or less.

粒子の配合割合は、樹脂100質量部に対して、例えば、0.1質量部以上、好ましくは、0.5質量部以上であり、また、例えば、80質量部以下、好ましくは、60質量部以下である。   The mixing ratio of the particles is, for example, 0.1 parts by mass or more, preferably 0.5 parts by mass or more, and, for example, 80 parts by mass or less, preferably 60 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the resin. It is as follows.

樹脂としては、例えば、加熱により可塑化する熱可塑性樹脂、例えば、加熱により硬化する熱硬化性樹脂、例えば、活性エネルギー線(例えば、紫外線、電子線など)の照射により硬化する活性エネルギー線硬化性樹脂などが挙げられる。熱可塑性樹脂としては、例えば、酢酸ビニル樹脂、エチレン・酢酸ビニル共重合体(EVA)、塩化ビニル樹脂、EVA・塩化ビニル樹脂共重合体などが挙げられる。熱硬化性樹脂としては、例えば、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂などが挙げられる。樹脂としては、好ましくは、熱硬化性樹脂および活性エネルギー線硬化性樹脂などの硬化性樹脂が挙げられる。   Examples of the resin include a thermoplastic resin that is plasticized by heating, for example, a thermosetting resin that is cured by heating, for example, an active energy ray curable that is cured by irradiation with active energy rays (for example, ultraviolet rays, electron beams, etc.). Resin etc. are mentioned. Examples of the thermoplastic resin include vinyl acetate resin, ethylene / vinyl acetate copolymer (EVA), vinyl chloride resin, EVA / vinyl chloride resin copolymer, and the like. Examples of the thermosetting resin include silicone resin, epoxy resin, polyimide resin, phenol resin, urea resin, melamine resin, and unsaturated polyester resin. The resin preferably includes a curable resin such as a thermosetting resin and an active energy ray curable resin.

硬化性樹脂として、例えば、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂などが挙げられる。また、硬化性樹脂としては、例えば、2段階硬化性樹脂、1段階硬化性樹脂などが挙げられ、好ましくは、2段階硬化性樹脂が挙げられる。   Examples of the curable resin include silicone resin, epoxy resin, polyimide resin, phenol resin, urea resin, melamine resin, and unsaturated polyester resin. Examples of the curable resin include a two-stage curable resin and a one-stage curable resin, and a two-stage curable resin is preferable.

2段階硬化性樹脂は、2段階の反応機構を有しており、1段階目の反応でBステージ化(半硬化)し、2段階目の反応でCステージ化(最終硬化)する。一方、1段階硬化性樹脂は、1段階の反応機構を有しており、1段階目の反応で完全硬化する。また、Bステージは、硬化性樹脂が、液状であるAステージと、完全硬化したCステージとの間の状態であって、硬化およびゲル化がわずかに進行し、圧縮弾性率がCステージの弾性率よりも小さい状態である。   The two-stage curable resin has a two-stage reaction mechanism, and is B-staged (semi-cured) by the first-stage reaction and C-staged (final-cured) by the second-stage reaction. On the other hand, the one-step curable resin has a one-step reaction mechanism and is completely cured by the first-step reaction. The B stage is a state between the A stage in which the curable resin is in a liquid state and the fully cured C stage, and the curing and gelation are slightly advanced, and the compression elastic modulus is the elasticity of the C stage. It is a state smaller than the rate.

封止組成物を調製するには、粒子および樹脂を配合する。なお、樹脂が硬化性樹脂である場合には、配合時の樹脂は、Aステージである。   To prepare the sealing composition, particles and a resin are blended. In addition, when resin is curable resin, the resin at the time of a mixing | blending is A stage.

続いて、この方法では、調製した封止組成物を、積層基材シート2の上に塗布する。具体的には、封止組成物を、第1基材シート3の上面に、例えば、キャスティング、スピンコーティング、ロールコーティングなどの方法により適当な厚さで、上記したパターンで塗布して、皮膜7を形成する。具体的には、皮膜7を、平面視において、第1基材シート3より小さいパターンに形成し、詳しくは、第1基材シート3の上面の周端部を露出する略矩形状のパターンに皮膜7を形成する。換言すれば、皮膜7は、少なくとも前後方向に連続するパターンに形成される。   Subsequently, in this method, the prepared sealing composition is applied onto the laminated base sheet 2. Specifically, the sealing composition is applied to the upper surface of the first base sheet 3 in an appropriate thickness by a method such as casting, spin coating, roll coating, and the like, and the film 7 Form. Specifically, the film 7 is formed in a pattern smaller than the first base sheet 3 in plan view, and more specifically, in a substantially rectangular pattern that exposes the peripheral edge of the upper surface of the first base sheet 3. A film 7 is formed. In other words, the film 7 is formed in a pattern continuous at least in the front-rear direction.

その後、必要により、樹脂が硬化性樹脂である場合には、皮膜7を、加熱および/または活性エネルギー線照射する。より具体的には、樹脂が2段階硬化性樹脂を含有する場合には、加熱および/または活性エネルギー線照射によって、封止層6をBステージ化(半硬化)させる。   Thereafter, if necessary, when the resin is a curable resin, the coating 7 is heated and / or irradiated with active energy rays. More specifically, when the resin contains a two-step curable resin, the sealing layer 6 is B-staged (semi-cured) by heating and / or active energy ray irradiation.

これにより、シート状の封止層6を第1基材シート3の上面に上記したパターンに形成する。   Thereby, the sheet-like sealing layer 6 is formed in the above-described pattern on the upper surface of the first base sheet 3.

あるいは、封止組成物を、図示しない離型シートに塗布して皮膜7を形成し、その後、皮膜7に、必要により、加熱および/または活性エネルギー線照射して、封止層6を形成した後、封止層6を、第1基材シート3の上面に転写することもできる。   Alternatively, the sealing composition is applied to a release sheet (not shown) to form the film 7, and then the film 7 is heated and / or irradiated with active energy rays as necessary to form the sealing layer 6. Thereafter, the sealing layer 6 can be transferred to the upper surface of the first base sheet 3.

封止層6の寸法は、その用途および目的によって適宜調節され、具体的には、1辺の長さが、例えば、5mm以上、好ましくは、10mm以上であり、また、例えば、300mm以下、好ましくは、250mm以下である。   The dimension of the sealing layer 6 is appropriately adjusted depending on its use and purpose. Specifically, the length of one side is, for example, 5 mm or more, preferably 10 mm or more, and, for example, 300 mm or less, preferably Is 250 mm or less.

これによって、積層基材シート2および封止層6を備える第1積層シート8を形成する。   Thereby, the 1st lamination sheet 8 provided with lamination substrate sheet 2 and sealing layer 6 is formed.

[第1切断工程]
この方法では、図2に示す第1切断工程を、図1に示す封止層形成工程の後に実施する。第1切断工程では、第1積層シート8が前後方向(第1方向の一例)において複数(具体的には、5つに)分割されるように、第1積層シート8を切断する。
[First cutting step]
In this method, the first cutting step shown in FIG. 2 is performed after the sealing layer forming step shown in FIG. In the first cutting step, the first laminated sheet 8 is cut so that the first laminated sheet 8 is divided into a plurality (specifically, five) in the front-rear direction (an example of the first direction).

例えば、第1積層シート8が、封止層6の外側の外側部分13と、封止層6を含み、外側部分13に囲まれる内側部分12とに仕切られ、かつ、内側部分12における封止層6が前後方向において複数(具体的には、5つに)分割されるように、第1積層シート8を切断する。第1積層シート8の切断によって、複数の左右方向に沿う第1横切断ライン9と、複数の切断ライン9の左右方向両端部のそれぞれに連続する第1縦切断ライン10とからなる第1切断ライン17が形成される。   For example, the first laminated sheet 8 is partitioned into an outer portion 13 outside the sealing layer 6 and an inner portion 12 that includes the sealing layer 6 and is surrounded by the outer portion 13, and is sealed in the inner portion 12. The first laminated sheet 8 is cut so that the layer 6 is divided into a plurality (specifically, five) in the front-rear direction. By cutting the first laminated sheet 8, a first cut consisting of a first horizontal cutting line 9 along a plurality of left and right directions and a first vertical cutting line 10 continuing to each of both ends in the left and right direction of the plurality of cutting lines 9. A line 17 is formed.

複数の第1横切断ライン9は、前後方向に互いに間隔を隔てて並列配置されている。複数の第1横切断ライン9のうち、最前側に位置する第1横切断ライン9Aは、平面視において、封止層6の前端縁と重なるように、形成されている。また、複数の第1横切断ライン9のうち、最後側に位置する第1横切断ライン9Bは、平面視において、封止層6の後端縁と重なるように、形成されている。   The plurality of first horizontal cutting lines 9 are arranged in parallel at intervals in the front-rear direction. Of the plurality of first horizontal cutting lines 9, the first horizontal cutting line 9 </ b> A located on the foremost side is formed so as to overlap the front edge of the sealing layer 6 in plan view. Moreover, the 1st horizontal cutting line 9B located in the rear side among the several 1st horizontal cutting lines 9 is formed so that it may overlap with the rear-end edge of the sealing layer 6 in planar view.

第1縦切断ライン10は、前後方向に沿うように形成されており、左右方向に互いに間隔を隔てて対向するように1対形成されている。第1縦切断ライン10は、封止層6の左右方向両外側に間隔を隔てて形成されている。   The first vertical cutting lines 10 are formed along the front-rear direction, and are formed as a pair so as to face each other with a gap in the left-right direction. The first vertical cutting lines 10 are formed on both outer sides in the left-right direction of the sealing layer 6 with a space therebetween.

第1切断ライン17において外側に位置する切断ライン、具体的には、最前側および最後側に位置する第1横切断ライン9Aおよび9Bと、1対の第1縦切断ライン10とにより、平面視略矩形状を形成し、第1積層シート8を外側部分13と内側部分12とに仕切っている。   The first cutting line 17 has a cutting line positioned outside, specifically, the first horizontal cutting lines 9A and 9B positioned on the foremost side and the rearmost side, and the pair of first vertical cutting lines 10 in plan view. A substantially rectangular shape is formed, and the first laminated sheet 8 is partitioned into an outer portion 13 and an inner portion 12.

第1積層シート8を切断するには、例えば、円盤状のダイシングソー(ダイシングブレード)を用いるダイシング装置、カッターを用いるカッティング装置、レーザー照射装置、トムソン刃を用いるトムソン刃切断機などが用いられる。   In order to cut the first laminated sheet 8, for example, a dicing apparatus using a disk-shaped dicing saw (dicing blade), a cutting apparatus using a cutter, a laser irradiation apparatus, a Thomson blade cutting machine using a Thomson blade, or the like is used.

切断工程によって、封止層6、および、封止層6に対応する積層基材シート2(具体的には、複数の封止層6のそれぞれが積層される複数の積層基材シート2)を備える封止部材11が複数形成される。詳しくは、封止部材11は、内側部分12が前後方向において複数分割されることによって、前後方向に並んで複数形成されている。複数の封止部材11のそれぞれは、左右方向に延びる平面視略矩形の短冊状に形成されている。   By the cutting step, the sealing layer 6 and the laminated substrate sheet 2 corresponding to the sealing layer 6 (specifically, the plurality of laminated substrate sheets 2 on which the plurality of sealing layers 6 are laminated) A plurality of sealing members 11 provided are formed. Specifically, a plurality of sealing members 11 are formed side by side in the front-rear direction by dividing the inner portion 12 into a plurality of parts in the front-rear direction. Each of the plurality of sealing members 11 is formed in a rectangular shape that is substantially rectangular in plan view and extends in the left-right direction.

封止部材11において、その左右方向両端部は、第1基材シート3、接着剤層4および離型シート5からなり、また、第1基材シート3の左右方向両端部は、封止層6から露出している。つまり、封止部材11において、封止層6は、第1基材シート3の左右方向途中に形成されている。   In the sealing member 11, both end portions in the left-right direction include the first base sheet 3, the adhesive layer 4 and the release sheet 5, and both end portions in the left-right direction of the first base sheet 3 are sealed layers. 6 is exposed. That is, in the sealing member 11, the sealing layer 6 is formed midway in the left-right direction of the first base sheet 3.

各封止部材11の前後方向長さは、例えば、5mm以上、好ましくは、8mm以上であり、また、例えば、100mm以下、好ましくは、50mm以下である。   The length in the front-rear direction of each sealing member 11 is, for example, 5 mm or more, preferably 8 mm or more, and for example, 100 mm or less, preferably 50 mm or less.

[配置工程]
次いで、この方法では、図3および図4に示す配置工程を、図2に示す第1切断工程の後に実施する。配置工程は、図3に示す剥離工程、および、図4に示す載置工程を備える。
[Arrangement process]
Next, in this method, the arrangement step shown in FIGS. 3 and 4 is performed after the first cutting step shown in FIG. The arranging step includes a peeling step shown in FIG. 3 and a placing step shown in FIG.

〔剥離工程〕
剥離工程では、図3Aおよび図3Bに示すように、まず、各封止部材11を外側部分13から順次引き上げる。具体的には、例えば、各封止部材11を手で剥離することによって、各封止部材11を引き上げる。
[Peeling process]
In the peeling step, as shown in FIGS. 3A and 3B, first, the respective sealing members 11 are sequentially pulled up from the outer portion 13. Specifically, for example, each sealing member 11 is pulled up by peeling the sealing member 11 by hand.

〔載置工程〕
図3Aおよび図3Bに示す剥離工程に続いて、載置工程では、図4Aおよび図4Bに示すように、複数の封止部材11を第2基材シート14の上に配置する。
[Installation process]
Subsequent to the peeling step shown in FIGS. 3A and 3B, in the placing step, a plurality of sealing members 11 are arranged on the second base sheet 14 as shown in FIGS. 4A and 4B.

具体的には、複数の封止部材11を、前後方向に互いに間隔を隔てるように、第2基材シート14の上面に配置する。詳しくは、まず、図3Aおよび図3Bの仮想線で示すように、封止部材11の離型シート5を接着剤層4から剥離し、続いて、図4Aおよび図4Bに示す接着剤層4を第2基材シート14の上面に載置して、第1基材シート3と第2基材シート14とを接着剤層4を介して接着する。   Specifically, the plurality of sealing members 11 are arranged on the upper surface of the second base sheet 14 so as to be spaced from each other in the front-rear direction. Specifically, first, as shown by phantom lines in FIGS. 3A and 3B, the release sheet 5 of the sealing member 11 is peeled from the adhesive layer 4, and then, the adhesive layer 4 shown in FIGS. 4A and 4B. Is placed on the upper surface of the second base sheet 14, and the first base sheet 3 and the second base sheet 14 are bonded via the adhesive layer 4.

第2基材シート14は、前後方向および左右方向に延びる略矩形の平板形状に形成されている。第2基材シート14は、第1基材シート3と同様の材料から形成されている。また、第2基材シート14は、封止層6(図1A参照)より大きく形成されており、具体的には、第2基材シート14は、少なくとも、その前後方向長さが、切断前の封止層6(図1A参照)の前後方向長さより長く形成されている。また、第2基材シート14の左右方向長さは、封止部材11の左右方向長さよりが長く形成されている。第2基材シート14の寸法は、その用途および目的によって適宜調節され、具体的には、前後方向長さが、例えば、20mm以上、好ましくは、40mm以上であり、また、例えば、300mm以下、好ましくは、200mm以下である。また、左右方向長さが、例えば、20mm以上、好ましくは、50mm以上であり、また、例えば、300mm以下、好ましくは、200mm以下である。   The 2nd base material sheet 14 is formed in the substantially rectangular flat plate shape extended in the front-back direction and the left-right direction. The second base sheet 14 is formed from the same material as the first base sheet 3. Moreover, the 2nd base material sheet 14 is formed larger than the sealing layer 6 (refer FIG. 1A), and, specifically, the 2nd base material sheet 14 is the length of the front-back direction at least before a cutting | disconnection. The sealing layer 6 (see FIG. 1A) is longer than the length in the front-rear direction. Further, the length of the second base sheet 14 in the left-right direction is longer than the length of the sealing member 11 in the left-right direction. The dimension of the second base sheet 14 is appropriately adjusted depending on its use and purpose. Specifically, the length in the front-rear direction is, for example, 20 mm or more, preferably 40 mm or more, and, for example, 300 mm or less, Preferably, it is 200 mm or less. Further, the length in the left-right direction is, for example, 20 mm or more, preferably 50 mm or more, and for example, 300 mm or less, preferably 200 mm or less.

また、配置される封止部材11の前後方向の間隔L1は、次に説明する光半導体素子15のピッチなどによって適宜設定され、具体的には、例えば、1mm以上、好ましくは、3mm以上であり、また、例えば、20mm以下、好ましくは、10mm以下である。また、封止部材11間のピッチL2、すなわち、上記した間隔L1および封止部材11の前後方向長さの総長さL2が、例えば、5mm以上、好ましくは、10mm以上であり、また、例えば、100mm以下、好ましくは、50mm以下である。   The interval L1 in the front-rear direction of the sealing member 11 to be arranged is appropriately set according to the pitch of the optical semiconductor element 15 described below, and specifically, for example, 1 mm or more, preferably 3 mm or more. Also, for example, it is 20 mm or less, preferably 10 mm or less. Further, the pitch L2 between the sealing members 11, that is, the total distance L2 of the distance L1 and the length in the front-rear direction of the sealing member 11 is, for example, 5 mm or more, preferably 10 mm or more. 100 mm or less, preferably 50 mm or less.

これによって、複数の封止部材11と、第2基材シート14とを備える第2積層シート28が構成される。   Thereby, the 2nd lamination sheet 28 provided with a plurality of sealing members 11 and the 2nd substrate sheet 14 is constituted.

[第2切断工程]
この方法では、図5に示す第2切断工程を、図4に示す配置工程の後に、実施する。第2切断工程では、図5Aおよび図5Bに示すように、後述する光半導体素子15(図9A参照)に対応する封止領域16を仕切るように、封止層6を切断する。
[Second cutting step]
In this method, the second cutting step shown in FIG. 5 is performed after the arranging step shown in FIG. In the second cutting step, as shown in FIGS. 5A and 5B, the sealing layer 6 is cut so as to partition a sealing region 16 corresponding to an optical semiconductor element 15 (see FIG. 9A) described later.

具体的には、各封止領域16が平面視略円形状をなすように、封止層6を切断する。   Specifically, the sealing layer 6 is cut so that each sealing region 16 has a substantially circular shape in plan view.

封止層6を切断するには、例えば、円盤状のダイシングソー(ダイシングブレード)を用いるダイシング装置、カッターを用いるカッティング装置、レーザー照射装置、トムソン刃を用いるトムソン刃切断機などが用いられる。   In order to cut the sealing layer 6, for example, a dicing apparatus using a disk-shaped dicing saw (dicing blade), a cutting apparatus using a cutter, a laser irradiation apparatus, a Thomson blade cutting machine using a Thomson blade, or the like is used.

なお、図5Bに示すように、積層基材シート2が厚み方向にわたって切断されないように、具体的には、第1基材シート3が厚み方向にわたって切断されないように、封止層6を切断する。詳しくは、第2切断工程において厚み方向に形成される切断線が、第1基材シート3に全く形成されない一方、封止層6に形成される。   In addition, as shown to FIG. 5B, specifically, the sealing layer 6 is cut | disconnected so that the 1st base material sheet 3 may not be cut | disconnected over the thickness direction so that the lamination | stacking base material sheet 2 may not be cut | disconnected over the thickness direction. . Specifically, the cutting line formed in the thickness direction in the second cutting step is formed on the sealing layer 6 while not formed on the first base sheet 3 at all.

[除去工程]
この方法では、図6に示す除去工程を、図5に示す第2切断工程の後に、実施する。除去工程では、図6Aおよび図6Bに示すように、封止領域16の外側の封止層6を除去する。
[Removal process]
In this method, the removing step shown in FIG. 6 is performed after the second cutting step shown in FIG. In the removal step, the sealing layer 6 outside the sealing region 16 is removed as shown in FIGS. 6A and 6B.

封止領域16の外側の封止層6を除去するには、例えば、封止領域16の外側の封止層6を、第1基材シート3から剥離する。封止領域16の外側の封止層6を剥離するには、公知の剥離装置が用いられる。具体的には、吸着装置などが用いられる。   In order to remove the sealing layer 6 outside the sealing region 16, for example, the sealing layer 6 outside the sealing region 16 is peeled from the first base sheet 3. In order to peel off the sealing layer 6 outside the sealing region 16, a known peeling device is used. Specifically, an adsorption device or the like is used.

これによって、円形状の封止層6は、光半導体素子15の封止に実質的に寄与する封止領域16を構成する。   Thus, the circular sealing layer 6 constitutes a sealing region 16 that substantially contributes to the sealing of the optical semiconductor element 15.

封止領域16の直径は、例えば、例えば、5mm以上、好ましくは、8mm以上であり、また、例えば、50mm以下、好ましくは、30mm以下である。   The diameter of the sealing area | region 16 is 5 mm or more, for example, Preferably, it is 8 mm or more, for example, is 50 mm or less, Preferably, it is 30 mm or less.

[第3切断工程]
この方法では、図7に示す第3切断工程を、図6Aおよび図6Bに示す除去工程の後に、実施する。第3切断工程では、図7A〜図7Cに示すように、封止部材11を、封止部材11が左右方向において複数(具体的には、5つに)分割されるように、第2積層シート28を切断する。また、封止部材11の分割と同時に、第2基材シート14の前後方向両端部に、貫通孔24を形成する。
[Third cutting step]
In this method, the third cutting step shown in FIG. 7 is performed after the removing step shown in FIGS. 6A and 6B. In the third cutting step, as shown in FIGS. 7A to 7C, the second lamination is performed so that the sealing member 11 is divided into a plurality (specifically, five) in the left-right direction. The sheet 28 is cut. Moreover, the through-hole 24 is formed in the front-back direction both ends of the 2nd base material sheet 14 simultaneously with the division | segmentation of the sealing member 11. FIG.

第2積層シート28の切断によって、複数の前後方向に沿う第2縦切断ライン19と、複数の第2縦切断ライン19の前後方向両端部のそれぞれに連続する第2横切断ライン20とからなる第2切断ライン18が形成される。   By the cutting of the second laminated sheet 28, it is composed of a second longitudinal cutting line 19 along a plurality of front and rear directions and a second horizontal cutting line 20 continuous to each of both end portions in the front and rear direction of the plurality of second longitudinal cutting lines 19. A second cutting line 18 is formed.

複数の第2縦切断ライン19は、左右方向に互いに間隔を隔てて並列して形成されている。第2縦切断ライン19は、第1基材シート3、接着剤層4および第2基材シート14を左右方向に分断するように、かつ、複数の封止層6を個片化するように、形成される。第2横切断ライン19によって、封止層6は、前後方向に複数列(具体的には、4列)に配列される。なお、左右方向両外側の第2縦切断ライン19Cは、封止層6に対応する第1基材シート3、接着剤層4および第2基材シート14(すなわち、左右方向内側部分)と、封止層6に対応しない第1基材シート3および接着剤層4(すなわち、左右方向外側部分)とを仕切るように、形成されている。   The plurality of second vertical cutting lines 19 are formed in parallel in the left-right direction at intervals. The second vertical cutting line 19 divides the first base material sheet 3, the adhesive layer 4 and the second base material sheet 14 in the left-right direction, and separates the plurality of sealing layers 6 into individual pieces. ,It is formed. The sealing layers 6 are arranged in a plurality of rows (specifically, 4 rows) in the front-rear direction by the second horizontal cutting lines 19. In addition, the second vertical cutting line 19C on the both outer sides in the left-right direction includes the first base sheet 3, the adhesive layer 4 and the second base sheet 14 (that is, the inner part in the left-right direction) corresponding to the sealing layer 6, It forms so that the 1st base material sheet 3 and the adhesive bond layer 4 (namely, left-right direction outer side part) which do not correspond to the sealing layer 6 may be partitioned off.

第2横切断ライン20は、左右方向に沿うように形成されており、前後方向に互いに間隔を隔てて1対形成されている。1対の第2横切断ライン20は、最前側の封止部材11より前側、および、最後側の封止部材11より後側に、間隔を隔てて形成されている。   The second horizontal cutting lines 20 are formed along the left-right direction, and are formed as a pair in the front-rear direction with a space therebetween. The pair of second horizontal cutting lines 20 are formed on the front side of the foremost sealing member 11 and on the rear side of the rearmost sealing member 11 with a gap therebetween.

なお、第2切断ライン18において外側に位置する切断ライン、具体的には、左右方向両外側の1対の第2縦切断ライン19Cと、1対の第2縦切断ライン20とにより、平面視略矩形状を形成し、かつ、複数の封止層6を含むように、形成されている。   The second cutting line 18 includes a pair of second vertical cutting lines 19C and a pair of second vertical cutting lines 20 on the outside in the left and right direction, specifically, in plan view. It is formed so as to form a substantially rectangular shape and include a plurality of sealing layers 6.

貫通孔24は、第1基材シート3および接着剤層4の前後方向両外側の第2基材シート14を厚み方向を貫通することによって形成される。貫通孔24は、第2縦切断ライン20によって複数列に仕切られる第2基材シート14の各1列に対して、1対設けられており、各貫通孔24は、平面視略円形状に形成されている。   The through hole 24 is formed by penetrating the second base material sheet 14 on both outer sides in the front-rear direction of the first base material sheet 3 and the adhesive layer 4 in the thickness direction. A pair of through holes 24 is provided for each row of the second base sheet 14 partitioned into a plurality of rows by the second vertical cutting line 20, and each through hole 24 has a substantially circular shape in plan view. Is formed.

[回収工程]
この方法では、図8に示す回収工程を、図7に示す第3切断工程の後に、実施する。回収工程では、図8A〜図8Dに示すように、第2切断ライン18により仕切られた、封止部材11を含む第2積層シート28(図7参照)を、回収する。
[Recovery process]
In this method, the collection step shown in FIG. 8 is performed after the third cutting step shown in FIG. In the collecting step, as shown in FIGS. 8A to 8D, the second laminated sheet 28 (see FIG. 7) including the sealing member 11 partitioned by the second cutting line 18 is collected.

この回収によって、前後方向に連続するように形成される第2基材シート14と、第2基材シート14の上面(表面)に、前後方向に互いに間隔を隔てて配置される複数の封止部材11とを備える封止シート1を得る。また、封止シート1において、複数の封止部材11は、第2基材シート14の上面に、前後方向に間隔を隔てて積層される複数の接着剤層4と、複数の接着剤層4のそれぞれに上面にそれぞれ接着される複数の第1基材シート3と、複数の第1基材シート3のそれぞれの上面にそれぞれ積層される複数の封止層6とを備える。また、複数の封止層6のそれぞれは、封止領域16を区画している。   By this collection, the second base sheet 14 formed so as to be continuous in the front-rear direction and a plurality of seals arranged on the upper surface (front surface) of the second base sheet 14 at intervals from each other in the front-rear direction. A sealing sheet 1 including the member 11 is obtained. Further, in the sealing sheet 1, the plurality of sealing members 11 are stacked on the upper surface of the second base sheet 14 at intervals in the front-rear direction, and the plurality of adhesive layers 4. And a plurality of first base sheet 3 bonded to the upper surface, and a plurality of sealing layers 6 respectively stacked on the upper surfaces of the plurality of first base sheet 3. Each of the plurality of sealing layers 6 defines a sealing region 16.

その後、封止シート1の貫通孔24に、搬送容器に設けられたピンなどの固定部材(図示せず)を挿入することによって、封止シート1が搬送容器に固定されながら、例えば、光半導体装置製造工場などに搬送される。   Thereafter, a fixing member (not shown) such as a pin provided in the transport container is inserted into the through hole 24 of the seal sheet 1 to fix the seal sheet 1 to the transport container. It is transported to equipment manufacturing factories.

次に、図9A〜図9Cを参照して、封止シート1によって、光半導体素子15を封止する方法を説明する。   Next, with reference to FIG. 9A-FIG. 9C, the method to seal the optical semiconductor element 15 with the sealing sheet 1 is demonstrated.

この方法では、図9Aに示すように、まず、封止対象としての光半導体素子15が実装された基板21を用意する。   In this method, as shown in FIG. 9A, first, a substrate 21 on which an optical semiconductor element 15 to be sealed is mounted is prepared.

基板21は、少なくとも前後方向に延びる略矩形の平板状に形成されている。基板21は、例えば、シリコン基板、セラミック基板、ポリイミド樹脂基板、金属基板に絶縁層が積層された積層基板などの絶縁基板からなる。   The substrate 21 is formed in a substantially rectangular flat plate shape extending at least in the front-rear direction. The substrate 21 is made of an insulating substrate such as a silicon substrate, a ceramic substrate, a polyimide resin substrate, or a laminated substrate in which an insulating layer is laminated on a metal substrate.

また、基板21の上面には、光半導体素子15の端子(図示せず)と電気的に接続するための電極(図示せず)と、それに連続する配線とを備える導体パターン(図示せず)が形成されている。導体パターンは、例えば、金、銅、銀、ニッケルなどの導体から形成されている。   Further, a conductor pattern (not shown) provided on the upper surface of the substrate 21 is provided with an electrode (not shown) for electrically connecting to a terminal (not shown) of the optical semiconductor element 15 and a wiring continuous therewith. Is formed. The conductor pattern is formed from a conductor such as gold, copper, silver, or nickel.

基板21の平面視における寸法は適宜選択され、具体的には、前後方向の長さが、例えば、5mm以上、好ましくは、10mm以上であり、また、例えば、200mm以下、好ましくは、150mm以下である。基板21の厚みは、例えば、100μm以上、好ましくは、500μm以上であり、また、例えば、5000μm以下、好ましくは、3000μm以下である。   The dimension in plan view of the substrate 21 is appropriately selected. Specifically, the length in the front-rear direction is, for example, 5 mm or more, preferably 10 mm or more, and for example, 200 mm or less, preferably 150 mm or less. is there. The thickness of the board | substrate 21 is 100 micrometers or more, for example, Preferably, it is 500 micrometers or more, for example, is 5000 micrometers or less, Preferably, it is 3000 micrometers or less.

光半導体素子15は、電気エネルギーを光エネルギーに変換する光半導体素子であり、例えば、厚みが面方向長さ(厚み方向に対する直交方向長さ、具体的には、前後方向長さおよび左右方向長さ)より短い断面視略矩形状に形成されている。また、光半導体素子15は、平面視略矩形状に形成されている。   The optical semiconductor element 15 is an optical semiconductor element that converts electrical energy into light energy. For example, the thickness is the length in the plane direction (the length in the direction perpendicular to the thickness direction, specifically, the length in the front-rear direction and the length in the left-right direction). A) It is formed in a substantially rectangular shape in section view. The optical semiconductor element 15 is formed in a substantially rectangular shape in plan view.

光半導体素子15としては、例えば、青色光を発光する青色LEDなどのLED(発光ダイオード素子)や、LD(レーザーダイオード)などが挙げられる。光半導体素子15の寸法は、用途および目的に応じて適宜設定され、具体的には、厚みが、例えば、10〜1000μm、平面視における前後方向の長さおよび/または左右方向の長さが、例えば、0.01mm以上、好ましくは、0.1mm以上であり、また、例えば、15mm以下、好ましくは、20mm以下である。   Examples of the optical semiconductor element 15 include an LED (light emitting diode element) such as a blue LED that emits blue light, and an LD (laser diode). The dimensions of the optical semiconductor element 15 are appropriately set according to the application and purpose. Specifically, the thickness is, for example, 10 to 1000 μm, the length in the front-rear direction and / or the length in the left-right direction in plan view, For example, it is 0.01 mm or more, preferably 0.1 mm or more, and for example, 15 mm or less, preferably 20 mm or less.

光半導体素子15は、前後方向に間隔を隔てて整列配置されている。各光半導体素子15間の間隔(前後方向の間隔)L3は、例えば、3mm以上、好ましくは、5mm以上であり、また、例えば、150mm以下、好ましくは、70mm以下である。また、光半導体素子15間のピッチL4、すなわち、上記した間隔L3および光半導体素子15の長さの総長さL4は、上記した封止部材11間のピッチL2と同一であって、具体的には、例えば、5mm以上、好ましくは、10mm以上であり、また、例えば、100mm以下、好ましくは、50mm以下である。   The optical semiconductor elements 15 are aligned and spaced in the front-rear direction. An interval (interval in the front-rear direction) L3 between the optical semiconductor elements 15 is, for example, 3 mm or more, preferably 5 mm or more, and, for example, 150 mm or less, preferably 70 mm or less. Further, the pitch L4 between the optical semiconductor elements 15, that is, the total distance L4 of the distance L3 and the length of the optical semiconductor element 15 is the same as the pitch L2 between the sealing members 11, and specifically, Is, for example, 5 mm or more, preferably 10 mm or more, and for example, 100 mm or less, preferably 50 mm or less.

光半導体素子15は、基板21に対して、例えば、フリップチップ実装されている。あるいは、光半導体素子15は、基板21の電極(図示せず)とワイヤボンディング接続されている。   The optical semiconductor element 15 is flip-chip mounted on the substrate 21, for example. Alternatively, the optical semiconductor element 15 is connected to an electrode (not shown) of the substrate 21 by wire bonding.

続いて、この方法では、封止シート1を、各封止層6が、厚み方向において光半導体素子15と対向するように、配置する。   Subsequently, in this method, the sealing sheet 1 is arranged so that each sealing layer 6 faces the optical semiconductor element 15 in the thickness direction.

この方法では、次いで、図9Bに示すように、封止シート1によって、光半導体素子15を封止する。具体的には、封止シート1を、基板21に対して相対的に押し下げる。これによって、複数の封止層6のそれぞれが複数の光半導体素子15のそれぞれを被覆して封止する。つまり、複数の封止層6のそれぞれが複数の光半導体素子15のそれぞれを埋設する。その後、封止層6が硬化性樹脂を含有する場合には、封止層6をCステージ化(完全硬化)させる。   In this method, the optical semiconductor element 15 is then sealed with the sealing sheet 1 as shown in FIG. 9B. Specifically, the sealing sheet 1 is pushed down relative to the substrate 21. Thereby, each of the plurality of sealing layers 6 covers and seals each of the plurality of optical semiconductor elements 15. That is, each of the plurality of sealing layers 6 embeds each of the plurality of optical semiconductor elements 15. Thereafter, when the sealing layer 6 contains a curable resin, the sealing layer 6 is C-staged (completely cured).

その後、この方法では、図9Cに示すように、第2基材シート14、接着剤層4および第1基材シート3を、封止層6から引き剥がす。   Thereafter, in this method, as shown in FIG. 9C, the second base sheet 14, the adhesive layer 4 and the first base sheet 3 are peeled off from the sealing layer 6.

これによって、基板21、複数の光半導体素子15および複数の封止層6を備える光半導体装置22を得る。   As a result, an optical semiconductor device 22 including the substrate 21, the plurality of optical semiconductor elements 15, and the plurality of sealing layers 6 is obtained.

光半導体装置22において、複数の封止層6は、前後方向に間隔を隔てて設けられており、封止領域16をなす。複数の封止層6のそれぞれは、複数の光半導体素子15のそれぞれを封止している。具体的には、封止領域16は、光半導体素子15の上面および側面を被覆している。   In the optical semiconductor device 22, the plurality of sealing layers 6 are provided at intervals in the front-rear direction and form a sealing region 16. Each of the plurality of sealing layers 6 seals each of the plurality of optical semiconductor elements 15. Specifically, the sealing region 16 covers the upper surface and side surfaces of the optical semiconductor element 15.

その後、必要によって、図9Cの破線で示すように、各光半導体素子15に対応する基板21を切断して個片化する。これによって、基板21、単数の光半導体素子15および単数の封止層6を備える光半導体装置22を得る。   Thereafter, as necessary, as indicated by broken lines in FIG. 9C, the substrate 21 corresponding to each optical semiconductor element 15 is cut into individual pieces. Thus, the optical semiconductor device 22 including the substrate 21, the single optical semiconductor element 15, and the single sealing layer 6 is obtained.

そして、この封止シート1の製造方法では、封止層6が前後方向において複数分割されるように封止層6を切断して、複数の封止部材11を形成し、その後、複数の封止部材11を、前後方向に互いに間隔を隔てるように配置する(図4A参照)。そのため、切断後の複数の封止部材11を、簡便な方法によって、前後方向に互いに間隔を隔てるように配置するので、前後方向に連続するように形成される封止層6(図1A参照)を、有効に利用することができる。そのため、封止層6の歩留まりを向上させて、封止シートの製造コストを低減することができる。   And in this manufacturing method of the sealing sheet 1, the sealing layer 6 is cut | disconnected so that the sealing layer 6 may be divided | segmented into two or more in the front-back direction, the several sealing member 11 is formed, and several sealing member is made after that. The stop member 11 is arrange | positioned so that it may mutually space apart in the front-back direction (refer FIG. 4A). Therefore, since the plurality of sealing members 11 after cutting are arranged so as to be spaced apart from each other in the front-rear direction by a simple method, the sealing layer 6 formed to be continuous in the front-rear direction (see FIG. 1A). Can be used effectively. Therefore, the yield of the sealing layer 6 can be improved and the manufacturing cost of the sealing sheet can be reduced.

また、この方法によれば、図1に示す封止層形成工程では、封止層6および第1基材シート3を備える第1積層シート8を形成するので、封止層6を第1基材シート3によって支持することができ、続いて、図2に示す第1切断工程において、第1積層シート8を切断するので、封止層6の取扱性を向上させて、第1切断工程における封止層6の切断の精度を向上させることができる。   Moreover, according to this method, since the 1st lamination sheet 8 provided with the sealing layer 6 and the 1st base material sheet 3 is formed in the sealing layer formation process shown in FIG. In the first cutting step shown in FIG. 2, the first laminated sheet 8 is cut, so that the handling property of the sealing layer 6 is improved and the first cutting step can be performed. The accuracy of cutting the sealing layer 6 can be improved.

この封止シート1の製造方法では、図4に示すように、複数の封止部材11を第2基材シート14の上面に配置するので、複数の封止部材11の配置の精度を向上させることができる。そのため、複数の封止部材11によって、複数の光半導体素子15を精度よく封止することができる。   In the manufacturing method of this sealing sheet 1, since the some sealing member 11 is arrange | positioned on the upper surface of the 2nd base material sheet 14, as shown in FIG. 4, the precision of arrangement | positioning of the several sealing member 11 is improved. be able to. Therefore, the plurality of optical semiconductor elements 15 can be accurately sealed by the plurality of sealing members 11.

この封止シート1の製造方法では、蛍光体を含有する粒子の歩留まりを向上させることができる。   In the manufacturing method of this sealing sheet 1, the yield of the particle | grains containing fluorescent substance can be improved.

この封止シート1では、封止層6を、前後方向に連続するように形成される第2基材シート14によって、前後方向に互いに間隔を隔てて配置される第1基材シート3を介して、支持することができる。そのため、封止シート1の製造コストを低減しながら、第1基材シート3および第2基材シート14によって、封止層6を柔軟に支持することができる。   In this sealing sheet 1, the sealing layer 6 is interposed by the second base material sheet 14 formed so as to be continuous in the front-rear direction, with the first base material sheet 3 arranged at intervals in the front-rear direction. Can be supported. Therefore, the sealing layer 6 can be flexibly supported by the first base material sheet 3 and the second base material sheet 14 while reducing the manufacturing cost of the sealing sheet 1.

<第1実施形態の変形例>
図10および図11に示すように、封止シート1に位置決めマーク23を設けることもできる。
<Modification of First Embodiment>
As shown in FIGS. 10 and 11, a positioning mark 23 can be provided on the sealing sheet 1.

位置決めマーク23は、図7に示される第3切断工程において、第2切断ライン18の形成と同時に、形成される。   The positioning mark 23 is formed simultaneously with the formation of the second cutting line 18 in the third cutting step shown in FIG.

位置決めマーク23は、図10および図11に示すように、封止層6の外側に形成される。また、位置決めマーク23は、各封止層6に対して、1対設けられている。1対の位置決めマーク23は、各封止層6を挟むように設けられており、一方の位置決めマーク23は、封止層6に対して、後側かつ右側に設けられ、また、他方の位置決めマーク23は、封止層6に対して、前側かつ左側に設けられている。   The positioning mark 23 is formed outside the sealing layer 6 as shown in FIGS. 10 and 11. A pair of positioning marks 23 is provided for each sealing layer 6. A pair of positioning marks 23 are provided so as to sandwich each sealing layer 6, and one positioning mark 23 is provided on the rear side and the right side with respect to the sealing layer 6, and the other positioning mark 23 is positioned. The mark 23 is provided on the front side and the left side with respect to the sealing layer 6.

各位置決めマーク23は、封止シート1を厚み方向に貫通する平面視略円形状の貫通孔として形成されている。   Each positioning mark 23 is formed as a substantially circular through hole in plan view that penetrates the sealing sheet 1 in the thickness direction.

図10に示す変形例では、位置決めマーク23は、第1基材シート3および接着剤層4の外側、具体的には、前後方向両外側に形成されており、第2基材シート14を貫通するように形成されている。なお、複数の封止層6の間に設けられる位置決めマーク23は、左右方向に対向して形成されている。   In the modification shown in FIG. 10, the positioning mark 23 is formed on the outer side of the first base sheet 3 and the adhesive layer 4, specifically on both outer sides in the front-rear direction, and penetrates the second base sheet 14. It is formed to do. Note that the positioning marks 23 provided between the plurality of sealing layers 6 are formed to face each other in the left-right direction.

一方、図11に示す変形例では、位置決めマーク23は、封止層6の外側であって、第1基材シート3の周縁の内側において、第1基材シート3、接着剤層4および第2基材シート14を貫通するように形成されている。詳しくは、1対の位置決めマーク23は、略矩形状の第1基材シート3の対角線上に形成されている。   On the other hand, in the modification shown in FIG. 11, the positioning mark 23 is outside the sealing layer 6 and inside the peripheral edge of the first base sheet 3, the first base sheet 3, the adhesive layer 4, and the first 2 It is formed so as to penetrate through the base material sheet 14. Specifically, the pair of positioning marks 23 is formed on a diagonal line of the substantially rectangular first base sheet 3.

なお、図10および図11において、最前側に設けられる位置決めマーク23は、前側の貫通孔24の左方斜め後側に間隔を隔てて形成される。一方、最後側に設けられる位置決めマーク23は、後側の貫通孔24の右方斜め前側に間隔を隔てて形成される。   10 and 11, the positioning mark 23 provided on the forefront side is formed on the diagonally left rear side of the front through hole 24 with an interval. On the other hand, the positioning mark 23 provided on the rear side is formed on the right front side of the rear through hole 24 at an interval.

図8Cに示すように、各封止層6の封止領域16を略円形状に形成しているが、その形状は、特に限定されず、例えば、図12に示すように、前後方向に長い略楕円形状、例えば、図13に示すように、略6角形状、例えば、図14に示すように、略矩形状に形成することもできる。   As shown in FIG. 8C, the sealing region 16 of each sealing layer 6 is formed in a substantially circular shape, but the shape is not particularly limited. For example, as shown in FIG. 12, it is long in the front-rear direction. It is also possible to form a substantially elliptical shape, for example, a substantially hexagonal shape as shown in FIG. 13, for example, a substantially rectangular shape as shown in FIG.

また、図5に示す第2切断工程を、図2に示す第1切断工程の後または第1切断工程と同時に実施することもできる。   Moreover, the 2nd cutting process shown in FIG. 5 can also be implemented after the 1st cutting process shown in FIG. 2, or simultaneously with a 1st cutting process.

好ましくは、後述する光半導体素子15に対する封止層6の位置決め精度の観点から、図4に示す配置工程の後に、図5に示す第2切断工程を実施する。   Preferably, from the viewpoint of positioning accuracy of the sealing layer 6 with respect to the optical semiconductor element 15 to be described later, the second cutting step shown in FIG. 5 is performed after the arranging step shown in FIG.

また、図5に示す第1切断工程を実施することなく、例えば、ドライエッチングなどのエッチングによって、図4に示す載置工程の後に、図6の除去工程を実施して、封止層6の封止領域16を形成することもできる。   Moreover, without performing the 1st cutting process shown in FIG. 5, the removal process of FIG. 6 is implemented after the mounting process shown in FIG. The sealing region 16 can also be formed.

さらに、図1Aに示すように、積層基材シート2に接着剤層4を設けているが、接着剤層4を設けることなく、積層基材シート2を第1基材シート3および離型シート5から構成することもできる。その場合には、好ましくは、第1基材シート3は、好ましくは、接着性を有しており、その下面に、離型シート5が積層されている。   Furthermore, as shown to FIG. 1A, although the adhesive layer 4 is provided in the lamination | stacking base material sheet 2, without providing the adhesive bond layer 4, the lamination | stacking base material sheet 2 and the 1st base material sheet 3 and a release sheet are provided. It can also consist of five. In that case, the first base sheet 3 preferably has adhesiveness, and the release sheet 5 is laminated on the lower surface thereof.

さらにまた、図1で示す封止層形成工程では、封止層6を積層基材シート2の上に形成して、続いて、図2で示す第1切断工程において、封止層6を積層基材シート2とともに切断しているが、例えば、図示しないが、積層基材シート2を切断せず、封止層6のみを切断し、続いて、載置工程において、図4が参照されるように、接着剤層4のみを第2基材シート14に載置することもできる。さらに、封止層6を積層基材シート2の上に形成することなく、単独でシート状に形成することもでき、かかる封止層6を切断して、その後、切断した封止層6を第2基材シート14に載置することもできる。   Furthermore, in the sealing layer forming step shown in FIG. 1, the sealing layer 6 is formed on the laminated substrate sheet 2, and subsequently, in the first cutting step shown in FIG. 2, the sealing layer 6 is laminated. Although it cut | disconnects with the base material sheet 2, for example, although not shown in figure, the laminated base material sheet 2 is not cut | disconnected but only the sealing layer 6 is cut | disconnected, Then, FIG. 4 is referred in the mounting process. In this way, only the adhesive layer 4 can be placed on the second base sheet 14. Furthermore, without forming the sealing layer 6 on the laminated base sheet 2, it can also be formed in a sheet form alone. After cutting the sealing layer 6, the cut sealing layer 6 is then cut. It can also be placed on the second base sheet 14.

また、第1切断工程において、積層基材シート2を切断せず、封止層6のみを切断する場合において、載置工程において、切断した封止層6のみを、積層基材シート2から一旦剥離し、再度、積層基材シート2の上面に、前後方向において間隔を隔てるように載置(再配置)することもできる。   Moreover, in the 1st cutting process, when not cut | disconnecting the lamination | stacking base material sheet 2, but only the sealing layer 6 is cut | disconnected, in the mounting process, only the cut | disconnected sealing layer 6 is once from the lamination | stacking base material sheet 2. It peels and can also mount (rearrange) on the upper surface of the lamination | stacking base material sheet 2 so that it may space apart in the front-back direction.

第1実施形態では、図1Aおよび図1Bの封止層形成工程において、接着剤層4を第1基材シート3および離型シート5の間に設け、また、図8Aおよび図8Bの回収工程で回収される封止部材11において、接着剤層4を、第2基材シート14と第1基材シート3との間に設けている。しかしながら、図1Aおよび図1Bでは図示しないが、封止層形成工程において、接着剤層4を設けず、第1基材シート3および離型シート5から積層基材シート2を構成し、また、図8Aおよび図8Bでは図示しないが、回収工程で回収される第2基材シート14、第1基材シート3および封止層6から封止部材11を構成することもできる。つまり、封止部材11において、第1基材シート3を第2基材シート14の上面に直接積層することもできる。   In the first embodiment, in the sealing layer forming step of FIGS. 1A and 1B, the adhesive layer 4 is provided between the first base sheet 3 and the release sheet 5, and the recovery step of FIGS. 8A and 8B. In the sealing member 11 recovered in step (1), the adhesive layer 4 is provided between the second base sheet 14 and the first base sheet 3. However, although not shown in FIG. 1A and FIG. 1B, in the sealing layer forming step, the adhesive layer 4 is not provided, and the laminated base sheet 2 is configured from the first base sheet 3 and the release sheet 5, Although not shown in FIGS. 8A and 8B, the sealing member 11 can also be configured from the second base sheet 14, the first base sheet 3, and the sealing layer 6 that are recovered in the recovery step. That is, in the sealing member 11, the first base sheet 3 can be directly laminated on the upper surface of the second base sheet 14.

また、図5の第2切断工程と、図7の第3切断工程とを、同時に実施することもできる。この方法では、第2切断工程と第3切断工程とにおいて、封止領域16を仕切るように、封止層6を切断するとともに、封止部材11が複数に分割されるように第2積層シート28を切断する。   Moreover, the 2nd cutting process of FIG. 5 and the 3rd cutting process of FIG. 7 can also be implemented simultaneously. In this method, in the second cutting step and the third cutting step, the sealing layer 6 is cut so as to partition the sealing region 16, and the second laminated sheet is divided into a plurality of sealing members 11. 28 is cut.

第2切断工程および第3切断工程の後に、図6の除去工程を実施する。すなわち、この除去工程では、封止領域16の外側の封止層6を除去する。   After the second cutting step and the third cutting step, the removing step shown in FIG. 6 is performed. That is, in this removing step, the sealing layer 6 outside the sealing region 16 is removed.

この方法によれば、第2切断工程と第3切断工程とを同時に実施するので、封止シート1における封止層6の位置精度を向上させることができる。   According to this method, since the 2nd cutting process and the 3rd cutting process are carried out simultaneously, the position accuracy of the sealing layer 6 in the sealing sheet 1 can be improved.

<第2実施形態>
本発明の封止シートおよびその製造方法の第2実施形態を、図1〜図4、図15および図16を参照して説明する。
Second Embodiment
2nd Embodiment of the sealing sheet of this invention and its manufacturing method is described with reference to FIGS. 1-4, FIG. 15, and FIG.

図15および図16において、第1実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。   In FIG. 15 and FIG. 16, members and processes similar to those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

第1実施形態では、図5に示す第2切断工程および図6に示す除去工程を実施しているが、第2切断工程および除去工程を実施せず、図4に示す配置工程の後に、図15に示す第3切断工程を実施することもできる。   In the first embodiment, the second cutting step shown in FIG. 5 and the removing step shown in FIG. 6 are carried out, but the second cutting step and the removing step are not carried out, and after the arrangement step shown in FIG. The 3rd cutting process shown in 15 can also be implemented.

つまり、本発明の第2実施形態である封止シート1の製造方法は、封止層形成工程(図1参照)、第1切断工程(図2参照)、配置工程(図3および図4参照)、第3切断工程(図15参照)、および、回収工程(図16参照)を備えており、これら各工程が順次実施される。   That is, the manufacturing method of the sealing sheet 1 which is 2nd Embodiment of this invention is a sealing layer formation process (refer FIG. 1), a 1st cutting process (refer FIG. 2), an arrangement | positioning process (refer FIG. 3 and FIG. 4). ), A third cutting step (see FIG. 15), and a recovery step (see FIG. 16), and these steps are sequentially performed.

図16に示すように、回収工程後の封止層6は、平面視略矩形状をなし、前後方向に互いに間隔を隔てて対向配置されている。   As shown in FIG. 16, the sealing layer 6 after the recovery step has a substantially rectangular shape in plan view, and is disposed so as to be opposed to each other in the front-rear direction.

第2実施形態によれば、第1実施形態と同様の作用効果を奏することができ、さらに、第2切断工程(図5参照)および除去工程(図6参照)を実施しないので、製造工数を削減して、製造コストをより一層低減することができる。   According to the second embodiment, the same operational effects as those of the first embodiment can be obtained. Further, since the second cutting step (see FIG. 5) and the removing step (see FIG. 6) are not performed, the number of manufacturing steps can be reduced. The manufacturing cost can be further reduced.

<第3実施形態>
本発明の封止シートおよびその製造方法の第3実施形態を、図17〜図20を参照して説明する。
<Third Embodiment>
3rd Embodiment of the sealing sheet of this invention and its manufacturing method is described with reference to FIGS.

図17〜図20において、第1実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。   17 to 20, the same members and steps as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

[第1切断工程]
第1切断工程では、図17に示すように、第1積層シート8が前後方向および左右方向において複数分割されるように、第1積層シート8を切断する。第1積層シート8の切断によって、第1切断ライン17は、平面視略碁盤目状に形成される。具体的には、第1縦切断ライン10は、左右方向に互いに間隔を隔てて並列配置されている。
[First cutting step]
In the first cutting step, as shown in FIG. 17, the first laminated sheet 8 is cut so that the first laminated sheet 8 is divided into a plurality of parts in the front-rear direction and the left-right direction. By cutting the first laminated sheet 8, the first cutting lines 17 are formed in a substantially grid pattern in plan view. Specifically, the first vertical cutting lines 10 are arranged in parallel in the left-right direction at intervals.

[配置工程]
〔剥離工程〕
配置工程における剥離工程では、図17の矢印で示すように、封止部材11を引き上げる。
[Arrangement process]
[Peeling process]
In the peeling step in the placement step, the sealing member 11 is pulled up as shown by the arrow in FIG.

〔載置工程〕
続いて、載置工程では、図18の矢印で示すように、複数の封止部材11を、前後方向および左右方向に互いに間隔を隔てるように、第2基材シート14の上面に配置する。
[Installation process]
Subsequently, in the placing step, as shown by arrows in FIG. 18, the plurality of sealing members 11 are arranged on the upper surface of the second base sheet 14 so as to be spaced apart from each other in the front-rear direction and the left-right direction.

[第2切断工程および除去工程]
図19に示すように、第2切断工程において、封止層6を切断し、続いて、図19の矢印で示すように、除去工程において、封止領域16の外側の封止層6を除去する。
[Second cutting step and removal step]
As shown in FIG. 19, the sealing layer 6 is cut in the second cutting step, and then the sealing layer 6 outside the sealing region 16 is removed in the removing step as shown by the arrow in FIG. To do.

[第3切断工程]
図20に示すように、封止部材11を、封止部材11が左右方向において複数列(具体的には、4列に)分割されるように、第2基材シート14を切断する。
[Third cutting step]
As shown in FIG. 20, the second base sheet 14 is cut so that the sealing member 11 is divided into a plurality of rows (specifically, four rows) in the left-right direction.

具体的には、第2切断ライン18の第2縦切断ライン19が、左右方向に隣接する第1基材シート3および接着剤層4の間を通過するように、形成される。   Specifically, the second longitudinal cutting line 19 of the second cutting line 18 is formed so as to pass between the first base sheet 3 and the adhesive layer 4 adjacent in the left-right direction.

これによって得られる封止シート1において、第1基材シート3および接着剤層4は、各第2基材シート14の左右方向中央(途中)に形成される。つまり、第2基材シート14の周端部の上面は、第1基材シート3から露出している。   In the sealing sheet 1 obtained by this, the 1st base material sheet 3 and the adhesive bond layer 4 are formed in the left-right direction center (middle) of each 2nd base material sheet 14. FIG. That is, the upper surface of the peripheral end portion of the second base sheet 14 is exposed from the first base sheet 3.

第3実施形態によっても、第1実施形態と同様の作用効果を奏することができ、さらに、図17に示すように、第1切断工程において、第1積層シート8が左右方向にも複数分割されるように、第1積層シート8を切断し、続いて、図18に示すように、複数の封止部材11を、左右方向にも互いに間隔を隔てるように、第2基材シート14に配置するので、封止層6の歩留まりをより一層向上させて、封止シート1の製造コストを低減することができる。   According to the third embodiment, the same operational effects as those of the first embodiment can be obtained. Further, as shown in FIG. 17, in the first cutting step, the first laminated sheet 8 is divided into a plurality of parts in the left-right direction. First, the first laminated sheet 8 is cut, and then, as shown in FIG. 18, a plurality of sealing members 11 are arranged on the second base sheet 14 so as to be spaced from each other in the left-right direction. Therefore, the yield of the sealing layer 6 can be further improved, and the manufacturing cost of the sealing sheet 1 can be reduced.

<第4実施形態>
図21、図23、図24、図26および図27において、矢印で示す左右方向(あるいは横方向)は、第1方向の一例であり、図21〜図27の矢印で示す前後方向(あるいは縦方向)は、第2方向の一例である。
<Fourth embodiment>
In FIG. 21, FIG. 23, FIG. 24, FIG. 26, and FIG. 27, the left-right direction (or lateral direction) indicated by an arrow is an example of the first direction, and the front-rear direction (or vertical direction indicated by the arrow in FIGS. (Direction) is an example of the second direction.

本発明の封止シートの製造方法の第4実施形態を、図21〜図23を参照して説明する。   4th Embodiment of the manufacturing method of the sealing sheet of this invention is described with reference to FIGS.

図21〜図23において、第1実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。   21 to 23, members and processes similar to those of the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

図21に示すように、本発明の第3実施形態である封止シート1の製造方法は、封止層形成工程(図21Aおよび図21B参照)、切断工程(図21C参照)を備える。   As shown in FIG. 21, the manufacturing method of the sealing sheet 1 which is 3rd Embodiment of this invention is equipped with a sealing layer formation process (refer FIG. 21A and FIG. 21B), and a cutting process (refer FIG. 21C).

[封止層形成工程]
図21Aに示すように、まず、基材シート31を用意する。基材シート31は、前後方向および左右方向に延びる略矩形の平板形状に形成されており、第1実施形態の第1基材シート3と同様に構成されている。
[Sealing layer forming process]
As shown in FIG. 21A, first, a base sheet 31 is prepared. The base material sheet 31 is formed in a substantially rectangular flat plate shape extending in the front-rear direction and the left-right direction, and is configured similarly to the first base material sheet 3 of the first embodiment.

次いで、図21Bに示すように、封止層6を、基材シート31の上面に設ける。具体的には、複数の封止層6を、基材シート31の上面において、左右方向に互いに間隔を隔てて、前後方向に沿うように、設ける。図22Aが参照されるように、各封止層6の間隔L5は、封止対象としての光半導体素子15(図22A参照)のピッチなどによって適宜設定され、具体的には、例えば、1mm以上、好ましくは、3mm以上であり、また、例えば、20mm以下、好ましくは、10mm以下である。複数の封止層6間のピッチL6、すなわち、上記した間隔L5および封止層6の前後方向長さの総長さL6が、例えば、5mm以上、好ましくは、10mm以上であり、また、例えば、100mm以下、好ましくは、50mm以下である。   Next, as illustrated in FIG. 21B, the sealing layer 6 is provided on the upper surface of the base sheet 31. Specifically, the plurality of sealing layers 6 are provided on the upper surface of the base sheet 31 so as to be along the front-rear direction with a space in the left-right direction. As shown in FIG. 22A, the interval L5 between the sealing layers 6 is appropriately set depending on the pitch of the optical semiconductor element 15 (see FIG. 22A) as a sealing target, and specifically, for example, 1 mm or more. The thickness is preferably 3 mm or more, and for example, 20 mm or less, preferably 10 mm or less. The pitch L6 between the plurality of sealing layers 6, that is, the above-described distance L5 and the total length L6 of the length in the front-rear direction of the sealing layer 6 is, for example, 5 mm or more, preferably 10 mm or more. 100 mm or less, preferably 50 mm or less.

封止層6を基材シート31の上面に設けるには、例えば、上記した封止組成物を基材シート31の塗布する方法、例えば、別途用意した剥離シート(図示せず)の上に、上記した封止組成物を左右方向に互いに間隔を隔てて一旦塗布して封止層6を形成した後、この封止層6を基材シート31に転写する方法が挙げられる。好ましくは、製造工程数の低減の観点から、封止組成物を基材シート31の塗布する。   In order to provide the sealing layer 6 on the upper surface of the base material sheet 31, for example, a method of applying the sealing composition described above to the base material sheet 31, for example, on a separately prepared release sheet (not shown), A method of transferring the sealing layer 6 to the base material sheet 31 after applying the sealing composition described above in the left-right direction at a distance from each other to form the sealing layer 6 may be mentioned. Preferably, the base material sheet 31 is applied from the viewpoint of reducing the number of manufacturing steps.

封止組成物を基材シート31の塗布する方法では、封止組成物を、基材シート31の上面において、基材シート31より小さいエリアに、左右方向に互いに間隔を隔て、前後方向に連続するパターンで塗布して、皮膜7を形成する。   In the method of applying the sealing composition to the base sheet 31, the sealing composition is continuously spaced in the front-rear direction, spaced apart from each other in the left-right direction in an area smaller than the base sheet 31 on the upper surface of the base sheet 31. The film 7 is formed by coating with a pattern.

その後、必要により、樹脂が硬化性樹脂である場合には、皮膜7を、加熱および/または活性エネルギー線照射する。より具体的には、樹脂が2段階硬化性樹脂を含有する場合には、加熱および/または活性エネルギー線照射によって、封止層6をBステージ化(半硬化)させる。   Thereafter, if necessary, when the resin is a curable resin, the coating 7 is heated and / or irradiated with active energy rays. More specifically, when the resin contains a two-step curable resin, the sealing layer 6 is B-staged (semi-cured) by heating and / or active energy ray irradiation.

これにより、シート状の封止層6を基材シート31の上面に左右方向に互いに間隔を隔て設ける。   Thereby, the sheet-like sealing layer 6 is provided on the upper surface of the base material sheet 31 at intervals in the left-right direction.

また、基材シート31および複数の封止層6から構成される積層シート32を得る。   Moreover, the lamination sheet 32 comprised from the base material sheet 31 and the some sealing layer 6 is obtained.

[切断工程]
切断工程では、図21Cに示すように、積層シート32が前後方向において複数分割されるように、積層シート32を切断する。
[Cutting process]
In the cutting step, as shown in FIG. 21C, the laminated sheet 32 is cut so that the laminated sheet 32 is divided into a plurality of parts in the front-rear direction.

具体的には、複数の封止層6のそれぞれが、前後方向に複数分割されるように、封止層6を基材シート31とともに切断する。   Specifically, the sealing layer 6 is cut together with the base sheet 31 so that each of the plurality of sealing layers 6 is divided into a plurality of parts in the front-rear direction.

これによって、左右方向に延びる基材シート31と、基材シート31の上面において、左右方向に互いに間隔を隔てて配置される封止層6とを備える封止シート1を得る。   Thereby, the sealing sheet 1 provided with the base material sheet 31 extended in the left-right direction and the sealing layer 6 arrange | positioned on the upper surface of the base material sheet 31 at intervals in the left-right direction is obtained.

次に、図22A〜図22Cを参照して、封止シート1によって、光半導体素子15を封止する方法を説明する。   Next, with reference to FIG. 22A-FIG. 22C, the method to seal the optical semiconductor element 15 with the sealing sheet 1 is demonstrated.

この方法では、図22Aに示すように、まず、光半導体素子15が実装された基板21を用意する。   In this method, as shown in FIG. 22A, first, a substrate 21 on which an optical semiconductor element 15 is mounted is prepared.

続いて、この方法では、封止シート1を、各封止層6が、厚み方向において光半導体素子15と対向するように、配置する。   Subsequently, in this method, the sealing sheet 1 is arranged so that each sealing layer 6 faces the optical semiconductor element 15 in the thickness direction.

この方法では、次いで、図22Bに示すように、封止シート1によって、光半導体素子15を封止する。具体的には、封止シート1を、基板21に対して相対的に押し下げる。これによって、複数の封止層6のそれぞれが複数の光半導体素子15のそれぞれを被覆して封止する。つまり、複数の封止層6のそれぞれが複数の光半導体素子15のそれぞれを埋設する。その後、封止層6が硬化性樹脂を含有する場合には、封止層6をCステージ化(完全硬化)させる。   In this method, the optical semiconductor element 15 is then sealed with the sealing sheet 1 as shown in FIG. 22B. Specifically, the sealing sheet 1 is pushed down relative to the substrate 21. Thereby, each of the plurality of sealing layers 6 covers and seals each of the plurality of optical semiconductor elements 15. That is, each of the plurality of sealing layers 6 embeds each of the plurality of optical semiconductor elements 15. Thereafter, when the sealing layer 6 contains a curable resin, the sealing layer 6 is C-staged (completely cured).

その後、この方法では、図22Cに示すように、基材シート31を封止層6から引き剥がす。   Thereafter, in this method, the base sheet 31 is peeled off from the sealing layer 6 as shown in FIG. 22C.

これによって、基板21、複数の光半導体素子15および複数の封止層6を備える光半導体装置22を得る。   As a result, an optical semiconductor device 22 including the substrate 21, the plurality of optical semiconductor elements 15, and the plurality of sealing layers 6 is obtained.

その後、必要によって、図22Cの破線で示すように、各光半導体素子15に対応する基板21を切断して個片化する。これによって、基板21、単数の光半導体素子15および単数の封止層6を備える光半導体装置22を得る。   Thereafter, as necessary, as indicated by broken lines in FIG. 22C, the substrate 21 corresponding to each optical semiconductor element 15 is cut into individual pieces. Thus, the optical semiconductor device 22 including the substrate 21, the single optical semiconductor element 15, and the single sealing layer 6 is obtained.

そして、この封止シート1の製造方法では、左右方向に互いに間隔を隔て、かつ、前後方向に沿い、粒子を含有する封止層6を形成するので、その後、封止層6を、左右方向に互いに間隔を隔てて配置される光半導体素子15に対して封止する。そのため、封止層6を有効に利用することができる。その結果、封止層6の歩留まりを向上させて、封止シート1の製造コストを低減することができる。   And in this manufacturing method of the sealing sheet 1, since the sealing layer 6 containing particles is formed at intervals in the left-right direction and along the front-rear direction, the sealing layer 6 is then moved in the left-right direction. Are sealed with respect to the optical semiconductor element 15 arranged at a distance from each other. Therefore, the sealing layer 6 can be used effectively. As a result, the yield of the sealing layer 6 can be improved and the manufacturing cost of the sealing sheet 1 can be reduced.

また、この封止シート1の製造方法では、封止層形成工程では、封止組成物を前後方向に沿って塗布することによって、封止層6を形成するので、前後方向に沿う封止層6を効率よく形成することができる。   Moreover, in the manufacturing method of this sealing sheet 1, in a sealing layer formation process, since the sealing layer 6 is formed by apply | coating a sealing composition along the front-back direction, the sealing layer along the front-back direction 6 can be formed efficiently.

さらに、この方法では、封止組成物を前後方向に沿って塗布する封止層形成工程の後に、封止層6が前後方向において複数分割されるように封止層6を切断する切断工程を実施するので、前後方向における封止層6の歩留まりを向上させて、封止シート1の製造コストを低減することができる。   Further, in this method, after the sealing layer forming step of applying the sealing composition along the front-rear direction, a cutting step of cutting the sealing layer 6 so that the sealing layer 6 is divided into a plurality of portions in the front-rear direction. Since it implements, the yield of the sealing layer 6 in the front-back direction can be improved and the manufacturing cost of the sealing sheet 1 can be reduced.

この封止シート1の製造方法では、粒子が、蛍光体を含有すれば、蛍光体を含有する粒子の歩留まりを向上させることができる。   In the manufacturing method of this sealing sheet 1, if a particle contains fluorescent substance, the yield of the particle | grains containing fluorescent substance can be improved.

<第4実施形態の変形例>
図23Aに示すように、上記した切断工程(図21C参照)に先立ち、図21Bで示される封止層6を所定形状に切断することもできる。詳しくは、封止層6を、基材シート31を切断しないように、略円形状に切断する。具体的には、円盤状のダイシングソー(ダイシングブレード)を用いるダイシング装置、カッターを用いるカッティング装置、レーザー照射装置、トムソン刃を用いるトムソン刃切断機などが用いられる。
<Modification of Fourth Embodiment>
As shown in FIG. 23A, prior to the above-described cutting step (see FIG. 21C), the sealing layer 6 shown in FIG. 21B can be cut into a predetermined shape. Specifically, the sealing layer 6 is cut into a substantially circular shape so as not to cut the base sheet 31. Specifically, a dicing apparatus using a disk-shaped dicing saw (dicing blade), a cutting apparatus using a cutter, a laser irradiation apparatus, a Thomson blade cutting machine using a Thomson blade, and the like are used.

これによって、封止層6からなる略円形状の封止領域16が構成される。   Thereby, a substantially circular sealing region 16 made of the sealing layer 6 is formed.

続いて、図23Bに示すように、封止領域16の外側の封止層6を除去する。   Subsequently, as shown in FIG. 23B, the sealing layer 6 outside the sealing region 16 is removed.

これによって、基材シート31の上面に形成される封止領域16を備える封止シート1を得る。   Thereby, the sealing sheet 1 provided with the sealing area | region 16 formed in the upper surface of the base material sheet 31 is obtained.

その後、図23Cに示すように、切断工程を実施する。   Then, as shown to FIG. 23C, a cutting process is implemented.

<第5実施形態>
本発明の封止シートおよびその製造方法の第5実施形態を、図24〜図26を参照して説明する。
<Fifth Embodiment>
5th Embodiment of the sealing sheet of this invention and its manufacturing method is described with reference to FIGS. 24-26.

図24〜図26において、第4実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。   24 to 26, members and processes similar to those of the fourth embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

第4実施形態では、図21Bに示すように、封止シート1において、基材シート31の上に、封止層6のみを設けているが、例えば、図24Cに示すように、蛍光体不含封止層33をさらに設けることもができる。   In 4th Embodiment, as shown to FIG. 21B, in the sealing sheet 1, only the sealing layer 6 is provided on the base material sheet 31, For example, as shown to FIG. An encapsulating layer 33 can be further provided.

図24および図25に示すように、本発明の第4実施形態である封止シート1の製造方法は、蛍光体不含封止層形成工程(図24Aおよび図24B参照)、封止層形成工程(図24C参照)、切断工程(図24D参照)を備える。   As shown in FIGS. 24 and 25, the manufacturing method of the sealing sheet 1 according to the fourth embodiment of the present invention includes a phosphor-free sealing layer forming step (see FIGS. 24A and 24B), and a sealing layer formation. A process (refer FIG. 24C) and a cutting process (refer FIG. 24D) are provided.

[蛍光体不含封止層形成工程]
図24Aに示すように、まず、基材シート31を用意する。
[Phosphor-free sealing layer forming step]
As shown in FIG. 24A, first, a base sheet 31 is prepared.

次いで、図24Bに示すように、蛍光体不含封止層33を、基材シート31の上面に設ける。具体的には、蛍光体を含まない封止組成物から蛍光体不含封止層33を基材シート31の上面に形成する。これにより、基材シート31よりわずかに小さい平面視略矩形状の蛍光体不含封止層33を形成する。つまり、蛍光体不含封止層33を、基材シート31の外周端部を露出するパターンに形成する。   Next, as shown in FIG. 24B, the phosphor-free sealing layer 33 is provided on the upper surface of the base material sheet 31. Specifically, the phosphor-free encapsulating layer 33 is formed on the upper surface of the base material sheet 31 from the encapsulating composition not containing the phosphor. Thereby, the phosphor-free sealing layer 33 having a substantially rectangular shape in plan view that is slightly smaller than the base sheet 31 is formed. That is, the phosphor-free sealing layer 33 is formed in a pattern that exposes the outer peripheral end of the base sheet 31.

[封止層形成工程]
次いで、図24Cに示すように、封止層6を、蛍光体不含封止層33の上面に形成する。
[Sealing layer forming process]
Next, as illustrated in FIG. 24C, the sealing layer 6 is formed on the upper surface of the phosphor-free sealing layer 33.

封止層6を形成する封止組成物において、粒子は、好ましくは、蛍光体を含有する。   In the sealing composition forming the sealing layer 6, the particles preferably contain a phosphor.

封止層形成工程により、基材シート31、蛍光体不含封止層33および封止層6から構成される積層シート32を得る。   By the sealing layer forming step, a laminated sheet 32 composed of the base material sheet 31, the phosphor-free sealing layer 33 and the sealing layer 6 is obtained.

[切断工程]
切断工程では、積層シート32が前後方向において複数分割されるように、積層シート32を切断する。より具体的には、蛍光体不含封止層33のそれぞれ、および、封止層6のそれぞれが、前後方向に複数分割されるように、蛍光体不含封止層33および封止層6を基材シート31とともに切断する。
[Cutting process]
In the cutting step, the laminated sheet 32 is cut so that the laminated sheet 32 is divided into a plurality of parts in the front-rear direction. More specifically, each of the phosphor-free sealing layer 33 and the sealing layer 6 is divided into a plurality of parts in the front-rear direction, so that the phosphor-free sealing layer 33 and the sealing layer 6 are not divided. Is cut together with the base material sheet 31.

これによって、左右方向に延びる基材シート31と、基材シート31の上面において左右方向に連続して形成される蛍光体不含封止層33と、蛍光体不含封止層33の上面において、左右方向に互いに間隔を隔てて配置される封止層6とを備える封止シート1を得る。   Accordingly, the base sheet 31 extending in the left-right direction, the phosphor-free sealing layer 33 continuously formed in the left-right direction on the upper surface of the base sheet 31, and the upper surface of the phosphor-free sealing layer 33 And the sealing sheet 1 provided with the sealing layer 6 arrange | positioned at intervals in the left-right direction is obtained.

次に、図25A〜図25Cを参照して、封止シート1によって、光半導体素子15を封止する方法を説明する。   Next, with reference to FIG. 25A-FIG. 25C, the method to seal the optical semiconductor element 15 with the sealing sheet 1 is demonstrated.

この方法では、図25Aに示すように、まず、光半導体素子15が実装された基板21を用意する。   In this method, as shown in FIG. 25A, first, a substrate 21 on which an optical semiconductor element 15 is mounted is prepared.

続いて、この方法では、封止シート1を、各封止層6が、厚み方向において光半導体素子15と対向するように、配置する。   Subsequently, in this method, the sealing sheet 1 is arranged so that each sealing layer 6 faces the optical semiconductor element 15 in the thickness direction.

この方法では、次いで、図25Bに示すように、封止シート1によって、光半導体素子15を封止する。具体的には、封止シート1を、基板21に対して相対的に押し下げる。これによって、複数の封止層6のそれぞれが複数の光半導体素子15のそれぞれを被覆して封止する。つまり、複数の封止層6のそれぞれが複数の光半導体素子15のそれぞれを埋設する。また、封止層6から露出する蛍光体不含封止層33が、複数の封止層6間の隙間を充填する。その後、封止層6および/または蛍光体不含封止層33が硬化性樹脂を含有する場合には、封止層6および/または蛍光体不含封止層33をCステージ化(完全硬化)させる。   In this method, the optical semiconductor element 15 is then sealed with the sealing sheet 1 as shown in FIG. 25B. Specifically, the sealing sheet 1 is pushed down relative to the substrate 21. Thereby, each of the plurality of sealing layers 6 covers and seals each of the plurality of optical semiconductor elements 15. That is, each of the plurality of sealing layers 6 embeds each of the plurality of optical semiconductor elements 15. Further, the phosphor-free sealing layer 33 exposed from the sealing layer 6 fills the gaps between the plurality of sealing layers 6. Thereafter, when the sealing layer 6 and / or the phosphor-free sealing layer 33 contains a curable resin, the sealing layer 6 and / or the phosphor-free sealing layer 33 is made C-staged (completely cured). )

その後、この方法では、図25Cに示すように、基材シート31を蛍光体不含封止層33から引き剥がす。   Thereafter, in this method, as shown in FIG. 25C, the base material sheet 31 is peeled off from the phosphor-free sealing layer 33.

これによって、基板21、複数の光半導体素子15、単数の蛍光体不含封止層33および複数の封止層6を備える光半導体装置22を得る。   As a result, the optical semiconductor device 22 including the substrate 21, the plurality of optical semiconductor elements 15, the single phosphor-free sealing layer 33, and the plurality of sealing layers 6 is obtained.

その後、必要によって、図25Cの破線で示すように、各光半導体素子15に対応する基板21および蛍光体不含封止層33を切断して個片化する。これによって、基板21、単数の光半導体素子15、単数の蛍光体不含封止層33および単数の封止層6を備える光半導体装置22を得る。   Thereafter, as necessary, as indicated by broken lines in FIG. 25C, the substrate 21 and the phosphor-free sealing layer 33 corresponding to each optical semiconductor element 15 are cut into individual pieces. As a result, the optical semiconductor device 22 including the substrate 21, the single optical semiconductor element 15, the single phosphor-free sealing layer 33, and the single sealing layer 6 is obtained.

そして、この封止シート1の製造方法では、蛍光体不含封止層33は、蛍光体を含有しないので、蛍光体不含封止層33を左右方向に連続するパターで形成しても、蛍光体不含封止層33を低コストで製造することができる。そのため、かかる蛍光体不含封止層33を形成し、その蛍光体不含封止層33に対して封止層6を積層すれば、種々の物性を有する封止シート1を構成することができる。   And in this manufacturing method of the sealing sheet 1, since the phosphor-free sealing layer 33 does not contain a phosphor, even if the phosphor-free sealing layer 33 is formed with a pattern that is continuous in the left-right direction, The phosphor-free sealing layer 33 can be manufactured at a low cost. Therefore, if the phosphor-free sealing layer 33 is formed and the sealing layer 6 is laminated on the phosphor-free sealing layer 33, the sealing sheet 1 having various physical properties can be configured. it can.

また、この封止シート封止シート1では、蛍光体不含封止層33と封止層6とによって、種々の物性を有することができる。   Moreover, in this sealing sheet sealing sheet 1, the phosphor-free sealing layer 33 and the sealing layer 6 can have various physical properties.

<第5実施形態の変形例>
図26Aに示すように、切断工程(図24D参照)に先立ち、図24Cで示される封止層6および蛍光体不含封止層33を所定形状に切断することもできる。詳しくは、封止層6および蛍光体不含封止層33を、基材シート31を切断しないように、略円形状に切断する。
<Modification of Fifth Embodiment>
As shown in FIG. 26A, prior to the cutting step (see FIG. 24D), the sealing layer 6 and the phosphor-free sealing layer 33 shown in FIG. 24C can be cut into a predetermined shape. Specifically, the sealing layer 6 and the phosphor-free sealing layer 33 are cut into a substantially circular shape so as not to cut the base sheet 31.

これによって、封止層6および蛍光体不含封止層33からなる略円形状の封止領域16が構成される。   As a result, a substantially circular sealing region 16 composed of the sealing layer 6 and the phosphor-free sealing layer 33 is formed.

続いて、図26Bに示すように、封止領域16の外側の封止層6および蛍光体不含封止層33を除去する。   Subsequently, as shown in FIG. 26B, the sealing layer 6 outside the sealing region 16 and the phosphor-free sealing layer 33 are removed.

これによって、基材シート31の上面に形成される封止領域16を備える封止シート1を得る。   Thereby, the sealing sheet 1 provided with the sealing area | region 16 formed in the upper surface of the base material sheet 31 is obtained.

その後、図26Cに示すように、切断工程を実施する。   Then, as shown to FIG. 26C, a cutting process is implemented.

そして、図27Aおよび図27Bに示すように、この封止シート1によって、光半導体素子15を封止すれば、基板21、複数の光半導体素子15、複数の蛍光体不含封止層33および複数の封止層6を備える光半導体装置22を得る。   Then, as shown in FIGS. 27A and 27B, if the optical semiconductor element 15 is sealed with the sealing sheet 1, the substrate 21, the plurality of optical semiconductor elements 15, the plurality of phosphor-free sealing layers 33, and An optical semiconductor device 22 including a plurality of sealing layers 6 is obtained.

その後、必要によって、図27Cの破線で示すように、各光半導体素子15に対応する基板21および蛍光体不含封止層33を切断して個片化する。これによって、基板21、単数の光半導体素子15、単数の蛍光体不含封止層33および単数の封止層6を備える光半導体装置22を得る。   Thereafter, as necessary, as shown by broken lines in FIG. 27C, the substrate 21 and the phosphor-free sealing layer 33 corresponding to each optical semiconductor element 15 are cut into individual pieces. As a result, the optical semiconductor device 22 including the substrate 21, the single optical semiconductor element 15, the single phosphor-free sealing layer 33, and the single sealing layer 6 is obtained.

なお、上記説明は、本発明の例示の実施形態として提供したが、これは単なる例示にすぎず、限定的に解釈してはならない。当該技術分野の当業者によって明らかな本発明の変形例は、後記の特許請求の範囲に含まれるものである。   Although the above description has been provided as an exemplary embodiment of the present invention, this is merely an example and should not be construed as limiting. Modifications of the present invention apparent to those skilled in the art are intended to be included within the scope of the following claims.

封止シートの製造方法は、封止シートの製造に用いられる。   The manufacturing method of a sealing sheet is used for manufacture of a sealing sheet.

1 封止シート
3 第1基材シート
6 封止層
8 積層シート
11 封止部材
14 第2基材シート
15 光半導体素子
16 封止領域
31 基材シート
33 蛍光体不含封止層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Sealing sheet 3 1st base material sheet 6 Sealing layer 8 Laminate sheet 11 Sealing member 14 2nd base material sheet 15 Optical semiconductor element 16 Sealing area 31 Base material sheet 33 Phosphor-free sealing layer

Claims (5)

蛍光体を含有しない蛍光体不含封止層を第1方向に連続して形成する工程、
前記第1方向に互いに間隔L1を隔て、かつ、前記第1方向に対する交差する第2方向に沿い、粒子を含有する封止層を形成する封止層形成工程、および、
前記封止層が前記第2方向において複数分割されるように前記封止層を切断する切断工程を備え、
前記間隔L1は、前記第1方向に互いに間隔L3を隔てて配置される封止対象に対応するように、1mm以上、20mm以下に設定され、
前記封止層形成工程では、前記封止層を、前記蛍光体不含封止層に対して積層し、
前記切断工程では、前記蛍光体不含封止層を前記封止層とともに、前記蛍光体不含封止層が前記第2方向において複数分割されるように、切断することを特徴とする、封止シートの製造方法。
A step of continuously forming a phosphor-free sealing layer containing no phosphor in the first direction ;
A sealing layer forming step of forming a sealing layer containing particles along a second direction intersecting the first direction with a distance L1 from each other in the first direction; and
A cutting step of cutting the sealing layer so that the sealing layer is divided into a plurality of parts in the second direction,
The interval L1 is set to 1 mm or more and 20 mm or less so as to correspond to the sealing objects arranged with the interval L3 from each other in the first direction,
In the sealing layer forming step, the sealing layer is laminated on the phosphor-free sealing layer,
In the cutting step, the phosphor-free sealing layer is cut together with the sealing layer so that the phosphor-free sealing layer is divided into a plurality of parts in the second direction. Stop sheet manufacturing method.
前記封止層形成工程では、封止組成物を前記第2方向に沿って塗布することによって、前記封止層を形成することを特徴とする、請求項1に記載の封止シートの製造方法。   The said sealing layer formation process forms the said sealing layer by apply | coating a sealing composition along the said 2nd direction, The manufacturing method of the sealing sheet of Claim 1 characterized by the above-mentioned. . 前記封止対象に対応する封止領域を仕切るように、前記封止層を切断する工程、および、
前記封止領域の外側の前記封止層を除去する工程
をさらに備えることを特徴とする、請求項1または2に記載の封止シートの製造方法。
Cutting the sealing layer so as to partition the sealing region corresponding to the sealing target; and
The method for producing a sealing sheet according to claim 1, further comprising a step of removing the sealing layer outside the sealing region.
粒子が、蛍光体を含有することを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の封止シートの製造方法。   The method for producing a sealing sheet according to any one of claims 1 to 3, wherein the particles contain a phosphor. 第1方向に連続する基材シートと、
前記第1方向に互いに間隔L1を隔てて配置される複数の封止部材とを備え、
複数の前記封止部材は、
前記基材シートの表面に積層され、蛍光体を含有しない蛍光体不含封止層と、
前記蛍光体不含封止層の表面に積層され、粒子を含有する封止層と
を備え、
前記間隔L1は、前記第1方向に互いに間隔L3を隔てて配置される封止対象に対応するように、1mm以上、20mm以下に設定されていることを特徴とする、封止シート。
A base sheet continuous in the first direction;
A plurality of sealing members disposed at a distance L1 from each other in the first direction,
The plurality of sealing members are
A phosphor-free sealing layer that is laminated on the surface of the base sheet and does not contain a phosphor,
Laminated on the surface of the phosphor-free sealing layer, comprising a sealing layer containing particles,
The said sheet | seat L1 is set to 1 mm or more and 20 mm or less so that it may respond | correspond to the sealing object arrange | positioned mutually spaced apart in the said 1st direction by the space | interval L3.
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