JP5892351B2

JP5892351B2 - Discharge width variable device and coating device

Info

Publication number: JP5892351B2
Application number: JP2014260025A
Authority: JP
Inventors: 須原　伸久; 伸久須原
Original assignee: Heishin Ltd
Current assignee: Heishin Ltd
Priority date: 2014-12-24
Filing date: 2014-12-24
Publication date: 2016-03-23
Anticipated expiration: 2030-12-06
Also published as: JP2015083307A

Description

本発明は、塗布液の吐出幅を変更可能な吐出幅可変装置、及びこの吐出幅可変装置を備えた塗布装置に関する。 The present invention relates to a discharge width variable device capable of changing a discharge width of a coating liquid, and a coating apparatus including the discharge width variable device.

従来、下記特許文献１に開示されているスリットコート方法、及び特許文献２に開示されている塗布装置、特許文献３に開示されている塗布幅変更装置等が提供されている。下記特許文献１のスリットコート方法は、塗布される液塗膜の膜厚が形成されるために必要な塗布液の供給量と、吐出口幅と、基板に対して塗布ヘッドを相対移動させる速度とを同期させつつ塗布領域に均一に塗布液を塗布するものである。このスリットコート方法で使用される塗布ヘッドは、互いに勝手違いの関係に配置されている後リップ部材と前リップ部材とをスリット幅方向に相対移動させることによりスリット幅の寸法を伸縮・変化させることができるものである。 Conventionally, a slit coating method disclosed in Patent Document 1 below, a coating apparatus disclosed in Patent Document 2, a coating width changing apparatus disclosed in Patent Document 3, and the like have been provided. The slit coating method disclosed in Patent Document 1 described below is a supply amount of a coating liquid necessary to form a film thickness of a liquid coating to be applied, a discharge port width, and a speed at which the coating head is moved relative to the substrate. The coating solution is uniformly applied to the coating region while synchronizing with the above. The coating head used in this slit coating method expands / contracts / changes the width of the slit by moving the rear lip member and the front lip member, which are arranged in a different relationship with each other, in the slit width direction. It is something that can be done.

また、下記特許文献２に開示されている塗布装置は、塗布対象物である基材に接触して塗布剤を塗布する塗布手段と、塗布手段と基材の接触面積を調整することにより基材に対する塗布剤の塗布幅を可変する可変手段とを具備したものである。 In addition, the coating apparatus disclosed in the following Patent Document 2 is a base material by adjusting a contact area between a coating means and a coating means that contacts a base material that is an object to be coated and a coating agent. And a variable means for varying the coating width of the coating agent.

下記特許文献３に開示されている塗布幅変更装置は、塗布対象物であるウエブに塗布液を塗布する塗布幅を、塗布ヘッドのスリットの両端部に挿入したスペーサとマニホールドの両端部に挿入されたポケット栓とで変更するものである。この塗布幅変更装置は、スペーサを、上側スペーサ及び下側スペーサの２枚の板体によって構成しており、少なくとも上側スペーサをスライドさせることにより塗布幅を調整できる構成としている。 In the coating width changing device disclosed in the following Patent Document 3, a coating width for coating a coating liquid on a web that is a coating target is inserted into both ends of a spacer and a manifold inserted into both ends of a slit of a coating head. It is to be changed with a pocket stopper. In this coating width changing device, the spacer is constituted by two plates of an upper spacer and a lower spacer, and the coating width can be adjusted by sliding at least the upper spacer.

特開２００４−３５８３１１号公報JP 2004-35811 A 特開平５−７８０９号公報Japanese Patent Laid-Open No. 5-7809 特開平１１−１７９２６０号公報JP-A-11-179260

しかしながら、上述した従来技術に開示されている塗布ヘッド、塗布装置、塗布幅変更装置等は、いずれも塗布用の流動物（塗布液）が貯留される部分の容積が、吐出幅の変更に伴って変化する構造としている。従って、従来技術のものにおいては、塗布ヘッド等に対して外部から吐出液を同一の条件で供給したとしても塗布対象物に向けて吐出される際の吐出圧が変動してしまうという問題がある。塗布液の吐出圧が不安定であると、一定の品質で塗布液を塗布することができないという問題が生じる。 However, the coating head, the coating device, the coating width changing device, etc. disclosed in the above-described prior art all have the volume of the portion where the fluid for coating (coating liquid) is stored as the discharge width is changed. The structure is changing. Therefore, in the prior art, even if the discharge liquid is supplied from the outside to the coating head or the like under the same conditions, there is a problem that the discharge pressure when being discharged toward the application target fluctuates. . If the discharge pressure of the coating liquid is unstable, there arises a problem that the coating liquid cannot be applied with a certain quality.

そこで、本発明は、吐出幅を変化させた場合であっても吐出圧の変動が殆ど発生しない吐出幅可変装置、及びこの吐出幅可変装置を備えた塗布装置の提供を目的とした。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a discharge width variable device that hardly changes the discharge pressure even when the discharge width is changed, and a coating device including the discharge width variable device.

上述した課題を解決すべく提供される本発明の吐出幅可変装置は、吐出口が形成された吐出口形成部を有し、前記吐出口を介して内外が連通した中空の外筒部と、前記外筒部の内部において前記外筒部の周壁に沿って回動可能とされた中空の内筒部とを有し、前記内筒部の周壁には、軸線方向の開口幅及び／又は軸線方向における開口位置が前記内筒部の周方向に変化するように形成された周部開口が、前記内筒部の内外を連通するように形成されており、前記内筒部の内部に流動物を導入可能であり、前記周部開口と前記吐出口とが重なることにより形成される連通領域から、前記内筒部の内部に導入されている流動物を吐出可能であり、前記周部開口が、連続的に変化する部分と断続的に変化する部分とを有することを特徴としている。 The discharge width variable device of the present invention provided to solve the above-described problem has a discharge port forming portion in which a discharge port is formed, and a hollow outer tube portion that communicates with the outside through the discharge port, A hollow inner cylindrical portion that is rotatable along the peripheral wall of the outer cylindrical portion inside the outer cylindrical portion, and the peripheral wall of the inner cylindrical portion has an opening width and / or an axial line in the axial direction. A circumferential opening formed so that an opening position in the direction changes in the circumferential direction of the inner cylinder portion is formed so as to communicate between the inside and the outside of the inner cylinder portion, and a fluid is provided inside the inner cylinder portion. The fluid introduced into the inner cylindrical portion can be discharged from a communication region formed by the peripheral opening and the discharge port overlapping, and the peripheral opening is It is characterized by having a continuously varying portions intermittently changing portion.

本発明の吐出幅可変装置は、吐出口が形成された吐出口形成部を有し、前記吐出口を介して内外が連通した中空の外筒部と、前記外筒部の内部において前記外筒部の周壁に沿って回動可能とされた中空の内筒部とを有し、前記内筒部の周壁には、軸線方向の開口幅及び／又は軸線方向における開口位置が前記内筒部の周方向に変化するように形成された周部開口が、前記内筒部の内外を連通するように形成されており、前記内筒部の内部に流動物を導入可能であり、前記周部開口と前記吐出口とが重なることにより形成される連通領域から、前記内筒部の内部に導入されている流動物を吐出可能であり、前期内筒部を回動させることにより前記連通領域が、内筒部の周方向に連続的に変化する部分と、断続的に変化する部分とを有することを特徴とするものである。 The variable discharge width device of the present invention includes a discharge port forming portion in which a discharge port is formed, a hollow outer tube portion that communicates inside and outside via the discharge port, and the outer tube inside the outer tube portion A hollow inner cylinder portion that is rotatable along a peripheral wall of the inner portion, and an opening width in the axial direction and / or an opening position in the axial direction is provided on the peripheral wall of the inner cylinder portion. A peripheral opening formed so as to change in the circumferential direction is formed so as to communicate between the inside and the outside of the inner cylinder part, and a fluid can be introduced into the inner cylinder part. From the communication area formed by overlapping the discharge port, the fluid introduced into the inner cylinder part can be discharged, and by rotating the previous inner cylinder part, the communication area is Having a part that continuously changes in the circumferential direction of the inner cylinder part and a part that changes intermittently It is an butterfly.

上述した本発明の吐出幅可変装置は、前記吐出口よりも前記内筒部の一端側及び他端側の位置に、前記内筒部の周壁と前記外筒部の周壁との間をシールするシール部材が設けられたものであっても良い。 The discharge width variable device of the present invention described above seals between the peripheral wall of the inner cylinder part and the peripheral wall of the outer cylinder part at positions on one end side and the other end side of the inner cylinder part with respect to the discharge port. A seal member may be provided.

上述した本発明の塗布装置は、上述した本発明の吐出幅可変装置と、外部から流動物を供給する流動物供給装置と、を備えており、前記流動物供給装置によって供給された流動物を前記吐出幅可変装置により所定の吐出幅で吐出可能なものである。 The coating apparatus of the present invention described above includes the above-described discharge width variable device of the present invention and a fluid supply apparatus that supplies a fluid from the outside, and the fluid supplied by the fluid supply apparatus The discharge width variable device can discharge with a predetermined discharge width.

上述した本発明の塗布装置は、前記外筒部に対する前記内筒部の回動量を調整することにより流動物の吐出幅を制御する吐出幅制御と、前記流動物供給装置の動作を制御することにより前記吐出幅可変装置に対する流動物の供給量を制御する供給量制御と、流動物の塗布対象である塗布対象物に対する前記流動物供給装置の移動速度を制御する速度制御と、前記塗布対象物に対する前記流動物供給装置の相対位置を制御する位置制御とを同期させた状態で実施可能な制御装置を備えたものであっても良い。 The above-described coating apparatus of the present invention controls the discharge width control for controlling the discharge width of the fluid by adjusting the amount of rotation of the inner cylinder with respect to the outer cylinder, and the operation of the fluid supply apparatus. The supply amount control for controlling the supply amount of the fluid to the discharge width variable device, the speed control for controlling the moving speed of the fluid supply device with respect to the application target that is the application target of the fluid, and the application target The control apparatus which can be implemented in the state which synchronized the position control which controls the relative position of the said fluid supply apparatus with respect to may be provided.

本発明によれば、吐出幅及び／又は吐出位置を変化させた場合であっても吐出圧の変動が殆ど発生しない吐出幅可変装置、及びこのような吐出幅可変装置を備えた塗布装置を提供できる。 According to the present invention, there is provided a variable discharge width device that hardly changes the discharge pressure even when the discharge width and / or the discharge position is changed, and a coating apparatus including such a variable discharge width device. it can.

本発明の一実施形態に係る塗布装置を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows the coating device which concerns on one Embodiment of this invention. 図１に示す塗布装置において採用されているポンプ及び吐出幅可変装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the pump and discharge width variable apparatus which are employ | adopted in the coating device shown in FIG. 吐出幅可変装置を一部破断した状態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the state which fractured | ruptured the discharge width variable apparatus partially. （ａ）は図３に示す吐出幅可変装置の断面図であり、（ｂ）は底面図である。(A) is sectional drawing of the discharge variable width apparatus shown in FIG. 3, (b) is a bottom view. 図３に示す吐出幅可変装置における内筒部の周壁と、外筒部に形成された吐出口との関係を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the relationship between the surrounding wall of the inner cylinder part in the variable discharge width apparatus shown in FIG. 3, and the discharge port formed in the outer cylinder part. 制御装置の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of a control apparatus. 図１に示す塗布装置による塗布動作の流れを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the flow of the application | coating operation | movement by the coating device shown in FIG. （ａ）〜（ｄ）はそれぞれ図１に示す塗布装置による塗布パターンの例を示すパターン図である。(A)-(d) is a pattern figure which shows the example of the coating pattern by the coating device shown in FIG. 1, respectively. （ａ）〜（ｌ）はそれぞれ図１に示す塗布装置による塗布パターンの例を示すパターン図である。(A)-(l) is a pattern figure which shows the example of the application | coating pattern by the coating device shown in FIG. 1, respectively. （ａ）〜（ｇ）はそれぞれ内筒部に形成される周部開口の形状を変更することにより塗布可能な塗布パターンの例を示すパターン図である。(A)-(g) is a pattern figure which shows the example of the application | coating pattern which can be apply | coated by changing the shape of the periphery opening formed in an inner cylinder part, respectively. 変形例に係る吐出幅可変装置における内筒部の周壁と、外筒部に形成された吐出口との関係を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the relationship between the surrounding wall of the inner cylinder part in the variable discharge width apparatus which concerns on a modification, and the discharge outlet formed in the outer cylinder part.

本発明の一実施形態に係る塗布装置１０、及び吐出幅可変装置１００について、図面を参照しつつ詳細に説明する。図１に示すように、塗布装置１０は、産業用ロボット２０（移動装置）と、一軸偏心ねじポンプ５０（以下、単に「ポンプ５０」とも称す）と、吐出幅可変装置１００と、制御装置１７０とを備えている。産業用ロボット２０は、ロボットアーム等によって構成されている。産業用ロボット２０のアーム２２の先端にはポンプ５０が取り付けられており、産業用ロボット２０を作動させることにより塗布液（流動物）の塗布対象である塗布対象物Ｗに対してポンプ５０を移動させることができる。 A coating apparatus 10 and a variable discharge width apparatus 100 according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. As shown in FIG. 1, the coating device 10 includes an industrial robot 20 (moving device), a uniaxial eccentric screw pump 50 (hereinafter also simply referred to as “pump 50”), a discharge width varying device 100, and a control device 170. And. The industrial robot 20 is configured by a robot arm or the like. A pump 50 is attached to the tip of the arm 22 of the industrial robot 20. By operating the industrial robot 20, the pump 50 is moved relative to the coating object W that is a coating target of the coating liquid (fluid). Can be made.

ポンプ５０は、外部から塗布液を圧送するために設けられた装置（流動物供給装置）である。ポンプ５０は、いわゆる回転容積型のポンプであり、図２に示すように、ケーシング５２の内部にステータ６６、ロータ７２、及び動力伝達機構７８等を収容した構成とされている。ケーシング５２は、金属製で筒状の部材であり、長手方向一端側に第一開口部５４が設けられている。第一開口部５４が設けられた側の端部には、後に詳述する吐出幅可変装置１００が取り付けられている。また、ケーシング５２の外周部分には、第二開口部６４が設けられている。第二開口部６４は、ケーシング５２の長手方向中間部分に位置する中間部６０においてケーシング５２の内部空間に連通している。 The pump 50 is a device (fluid supply device) provided for pumping the coating liquid from the outside. The pump 50 is a so-called rotary displacement pump, and has a configuration in which a stator 66, a rotor 72, a power transmission mechanism 78, and the like are accommodated in a casing 52 as shown in FIG. The casing 52 is a cylindrical member made of metal, and a first opening 54 is provided on one end side in the longitudinal direction. A discharge width varying device 100, which will be described in detail later, is attached to the end on the side where the first opening 54 is provided. A second opening 64 is provided on the outer peripheral portion of the casing 52. The second opening portion 64 communicates with the internal space of the casing 52 at the intermediate portion 60 located at the intermediate portion in the longitudinal direction of the casing 52.

第一開口部５４及び第二開口部６４は、それぞれポンプ５０の吸込口および吐出口として機能する部分である。ポンプ５０は、ロータ７２を正方向に回転させることにより、第一開口部５４が吐出口として機能し、第二開口部６４を吸込口として機能するように流体を圧送することが可能である。また、ロータ７２を逆方向に回転させることにより、第一開口部５４が吸込口として機能し、第二開口部６４が吐出口として機能するように流体を圧送させることが可能である。本実施形態では、第一開口部５４が吐出口として機能し、第二開口部６４が吸込口として機能するようにロータ７２が作動する。 The first opening 54 and the second opening 64 are portions that function as a suction port and a discharge port of the pump 50, respectively. By rotating the rotor 72 in the forward direction, the pump 50 can pump the fluid so that the first opening 54 functions as a discharge port and the second opening 64 functions as a suction port. Further, by rotating the rotor 72 in the reverse direction, the fluid can be pumped so that the first opening 54 functions as a suction port and the second opening 64 functions as a discharge port. In the present embodiment, the rotor 72 operates so that the first opening 54 functions as a discharge port and the second opening 64 functions as a suction port.

ステータ６６は、ゴム等の弾性体、又は樹脂等によって形成された略円筒形の外観形状を有する部材である。ステータ６６は、ケーシング５２において第一開口部５４に隣接する位置にあるステータ取付部５６内に収容されている。ステータ６６の外径は、ステータ取付部５６の内径と略同一である。そのため、ステータ６６は、その外周壁がステータ取付部５６の内周壁に略密着するような状態で取り付けられている。また、ステータ６６は、一端側がケーシング５２の端部において後に詳述する吐出幅可変装置１００によって挟み込まれている。 The stator 66 is a member having a substantially cylindrical outer shape formed of an elastic body such as rubber or a resin. The stator 66 is housed in a stator attachment portion 56 located at a position adjacent to the first opening 54 in the casing 52. The outer diameter of the stator 66 is substantially the same as the inner diameter of the stator attachment portion 56. Therefore, the stator 66 is mounted such that the outer peripheral wall thereof is in close contact with the inner peripheral wall of the stator mounting portion 56. Further, one end of the stator 66 is sandwiched between the end portions of the casing 52 by the variable discharge width device 100 described in detail later.

ステータ６６の内周壁７０は、ｎ条で単段あるいは多段の雌ネジ形状とされている。本実施形態においては、ステータ６６は、２条で多段の雌ねじ形状とされている。更に具体的には、ステータ６６の内部には、ステータ６６の長手方向に沿って伸び、前述したピッチでねじれた貫通孔６８が設けられている。貫通孔６８は、ステータ６６の長手方向のいずれの位置において断面視しても、その断面形状（開口形状）が略長円形となるように形成されている。 The inner peripheral wall 70 of the stator 66 has a single-stage or multi-stage female screw shape with n strips. In the present embodiment, the stator 66 has a multistage female screw shape with two threads. More specifically, a through hole 68 extending along the longitudinal direction of the stator 66 and twisted at the above-described pitch is provided inside the stator 66. The through hole 68 is formed so that its cross-sectional shape (opening shape) is substantially oval when viewed in cross section at any position in the longitudinal direction of the stator 66.

ロータ７２は、金属製の軸体であり、ｎ−１条で単段あるいは多段の雌ネジ形状とされている。本実施形態においては、ロータ７２は、１条で偏心した雄ねじ形状とされている。ロータ７２は、長手方向のいずれの位置で断面視しても、その断面形状が略真円形となるように形成されている。ロータ７２は、上述したステータ６６に形成された貫通孔６８に挿通され、貫通孔６８の内部において自由に偏心回転可能とされている。 The rotor 72 is a metal shaft, and has a single-stage or multi-stage female screw shape with n-1 strips. In the present embodiment, the rotor 72 has a male screw shape that is eccentric by one thread. The rotor 72 is formed so that the cross-sectional shape thereof becomes a substantially perfect circle when viewed in cross section at any position in the longitudinal direction. The rotor 72 is inserted into the through hole 68 formed in the stator 66 described above, and can be freely eccentrically rotated inside the through hole 68.

ロータ７２をステータ６６に対して挿通すると、ロータ７２の外周壁７４とステータ６６の内周壁７０とが両者の接線で密接した状態になり、ステータ６６の内周壁７０とロータ７２の外周壁との間に流体搬送路７６が形成される。流体搬送路７６は、ステータ６６やロータ７２の長手方向に向けて螺旋状に伸びている。 When the rotor 72 is inserted into the stator 66, the outer peripheral wall 74 of the rotor 72 and the inner peripheral wall 70 of the stator 66 are brought into close contact with each other at their tangent lines, and the inner peripheral wall 70 of the stator 66 and the outer peripheral wall of the rotor 72 are in contact with each other. A fluid conveyance path 76 is formed therebetween. The fluid conveyance path 76 extends in a spiral shape in the longitudinal direction of the stator 66 and the rotor 72.

流体搬送路７６は、ロータ７２をステータ６６の貫通孔６８内において回転させると、ステータ６６内を回転しながらステータ６６の長手方向に進む。そのため、ロータ７２を回転させると、ステータ６６の一端側から流体搬送路７６内に流体を吸い込むと共に、この流体を流体搬送路７６内に閉じこめた状態でステータ６６の他端側に向けて移送し、ステータ６６の他端側において吐出させることが可能である。本実施形態のポンプ５０は、ロータ７２を正方向に回転させることにより、第二開口部６４から吸い込んだ流体を圧送し、第一開口部５４から後に詳述する吐出幅可変装置１００に向けて吐出することが可能とされている。 When the rotor 72 is rotated in the through hole 68 of the stator 66, the fluid conveyance path 76 advances in the longitudinal direction of the stator 66 while rotating in the stator 66. Therefore, when the rotor 72 is rotated, the fluid is sucked into the fluid conveyance path 76 from one end side of the stator 66 and is transferred toward the other end side of the stator 66 in a state of being confined in the fluid conveyance path 76. It is possible to discharge at the other end side of the stator 66. The pump 50 according to the present embodiment rotates the rotor 72 in the forward direction to pump the fluid sucked from the second opening 64 and from the first opening 54 toward the discharge width varying device 100 described in detail later. It is possible to discharge.

動力伝達機構７８は、ケーシング５２の外部に設けられたポンプ駆動機９６から上述したロータ７２に対して動力を伝達するためのものである。動力伝達機構７８は、動力伝達部８０と偏心回転部８２とを有する。動力伝達部８０は、ケーシング５２の長手方向の一端側に設けられている。 The power transmission mechanism 78 is for transmitting power from the pump driver 96 provided outside the casing 52 to the rotor 72 described above. The power transmission mechanism 78 includes a power transmission unit 80 and an eccentric rotation unit 82. The power transmission unit 80 is provided on one end side in the longitudinal direction of the casing 52.

また、偏心回転部８２は、動力伝達部８０とステータ取付部５６との間に形成された中間部６０に設けられている。偏心回転部８２は、動力伝達部８０とロータ７２とを動力伝達可能なように接続する部分である。偏心回転部８２は、従来公知のカップリングロッドや、スクリューロッドなどによって構成された連結軸８８と、従来公知のユニバーサルジョイントなどによって構成された連結体９４，９８とを有する。そのため、偏心回転部８２は、ポンプ駆動機９６を作動させることにより発生した回転動力をロータ７２に伝達し、ロータ７２を偏心回転させることが可能である。 Further, the eccentric rotating part 82 is provided in an intermediate part 60 formed between the power transmission part 80 and the stator mounting part 56. The eccentric rotating part 82 is a part that connects the power transmission part 80 and the rotor 72 so that power can be transmitted. The eccentric rotating part 82 has a connecting shaft 88 constituted by a conventionally known coupling rod, a screw rod or the like, and connecting bodies 94, 98 constituted by a conventionally known universal joint or the like. Therefore, the eccentric rotating unit 82 can transmit the rotational power generated by operating the pump driving machine 96 to the rotor 72 and rotate the rotor 72 eccentrically.

吐出幅可変装置１００は、ポンプ５０によって圧送させてきた塗布液を所定の吐出幅で吐出できるものである。図２に示すように、吐出幅可変装置１００は、上述したポンプ５０の第一開口部５４側の端部に接続されている。図３及び図４に示すように、吐出幅可変装置１００は、ケーシング１１０、内筒部１３０、及び駆動機構部１５０（駆動装置）を備えている。 The discharge width variable device 100 can discharge the coating liquid pumped by the pump 50 with a predetermined discharge width. As shown in FIG. 2, the discharge width varying device 100 is connected to the end of the pump 50 described above on the first opening 54 side. As shown in FIGS. 3 and 4, the discharge width variable device 100 includes a casing 110, an inner cylinder portion 130, and a drive mechanism portion 150 (drive device).

ケーシング１１０は、中空であって筒状の外筒部１１２と、駆動機構設置部１１４とを有する。外筒部１１２は、内筒部１３０を内蔵する筒状の部分であり、吐出口１１６及び導入口１１８を備えている。駆動機構設置部１１４は、後に詳述するように駆動機構部１５０をなす部品が収容される部分である。 The casing 110 is hollow and has a cylindrical outer cylinder portion 112 and a drive mechanism installation portion 114. The outer cylinder portion 112 is a cylindrical portion that houses the inner cylinder portion 130, and includes a discharge port 116 and an introduction port 118. The drive mechanism installation portion 114 is a portion that accommodates the components that make up the drive mechanism portion 150 as will be described in detail later.

外筒部１１２に設けられた吐出口１１６は、外筒部１１２の周壁１２０の一部をなす吐出口形成部１２２に設けられている。吐出口１１６は、スリット状であって直線的に延びる開口によって構成されており、外筒部１１２の内外を連通している。導入口１１８は、上述したポンプ５０の第一開口部５４を接続するためのものであり、外筒部１１２の周壁１２０に設けられた導入口形成部１２４に形成されている。導入口１１８は、後に詳述する内筒部１３０に設けられた周部開口１３８に臨む（ａｄａｐｔ）ように設けられている。 The discharge port 116 provided in the outer cylinder part 112 is provided in the discharge port formation part 122 which makes a part of the peripheral wall 120 of the outer cylinder part 112. The discharge port 116 is formed by a slit-like opening that extends linearly, and communicates the inside and outside of the outer cylinder portion 112. The introduction port 118 is for connecting the first opening 54 of the pump 50 described above, and is formed in the introduction port forming portion 124 provided on the peripheral wall 120 of the outer cylinder portion 112. The introduction port 118 is provided so as to face (adapt) a peripheral opening 138 provided in the inner cylinder part 130 described in detail later.

内筒部１３０は、外筒部１１２の内側に形成された外筒内部空間１２６に収容されており、外径が内筒部１３０の内径と略同一の大きさを有する中空の筒体である。内筒部１３０は、一端側（基端１３０ａ側）及び他端側（接続端１３０ｂ側）において軸受１３２，１３４によって回動可能なように軸支されている。内筒部１３０は、接続端１３０ｂがケーシング１１０の一端側に形成された駆動機構設置部１１４側に突出しており、駆動機構部１５０に接続されている。 The inner cylinder part 130 is housed in an outer cylinder internal space 126 formed inside the outer cylinder part 112 and is a hollow cylinder having an outer diameter that is substantially the same as the inner diameter of the inner cylinder part 130. . The inner cylinder portion 130 is pivotally supported by bearings 132 and 134 at one end side (base end 130a side) and the other end side (connection end 130b side). The inner cylinder portion 130 has a connection end 130 b protruding toward the drive mechanism installation portion 114 formed on one end side of the casing 110, and is connected to the drive mechanism portion 150.

内筒部１３０の周壁１３６には、周部開口１３８が内外を連通するように形成されている。周部開口１３８は、外筒部１１２に設けられた導入口１１８に臨む（面する）位置に設けられており、ポンプ５０によって圧送されてきた塗布液を内筒部１３０内の内筒内部空間１４２内に導入することができる。図５に示すように、周部開口１３８は、開口幅ｄ（内筒部１３０の母線方向への長さ）が内筒部１３０の周方向に連続的に変化するように形成されている。具体的には、周部開口１３８は、内筒部１３０を展開した状態において略二等辺三角形の開口形状を有する。また、周部開口１３８に対して内筒部１３０の周方向に外れた位置には、非開口部１４０が設けられている。また、図５に示すように、周部開口１３８の開口幅ｄは、いずれの部位においても外筒部１１２に設けられた吐出口１１６の開口幅ｓよりも小さい。 A peripheral opening 136 is formed in the peripheral wall 136 of the inner cylindrical portion 130 so as to communicate between the inside and the outside. The peripheral opening 138 is provided at a position facing (facing) the introduction port 118 provided in the outer cylinder part 112, and the inner cylinder internal space in the inner cylinder part 130 for supplying the coating liquid pumped by the pump 50. 142 can be introduced. As shown in FIG. 5, the peripheral opening 138 is formed such that the opening width d (the length of the inner cylindrical portion 130 in the generatrix direction) continuously changes in the circumferential direction of the inner cylindrical portion 130. Specifically, the peripheral opening 138 has a substantially isosceles triangular opening shape in a state in which the inner cylindrical portion 130 is expanded. Further, a non-opening 140 is provided at a position deviated from the peripheral opening 138 in the circumferential direction of the inner cylinder 130. Further, as shown in FIG. 5, the opening width d of the peripheral opening 138 is smaller than the opening width s of the discharge port 116 provided in the outer cylinder portion 112 in any part.

図３、図４及び図５に示すように、周部開口１３８に対して基端１３０ａ側の位置、及び接続端１３０ｂ側の位置には、内筒部１３０の全周に亘ってＯリング１４４，１４６が設けられている。Ｏリング１４４，１４６は、内筒部１３０の周壁１３６と外筒部１１２の周壁１２０との間を液密状態とするためのものである。そのため、内筒部１３０の内筒内部空間１４２内に導入された塗布液は、少なくともＯリング１４４，１４６が設けられた位置よりも内筒部１３０の基端１３０ａ側及び接続端１３０ｂ側の領域に漏出しない。 As shown in FIGS. 3, 4, and 5, the O-ring 144 extends over the entire circumference of the inner cylinder 130 at a position on the base end 130 a side and a position on the connection end 130 b side with respect to the peripheral opening 138. , 146 are provided. The O-rings 144 and 146 are for making a liquid-tight state between the peripheral wall 136 of the inner cylindrical portion 130 and the peripheral wall 120 of the outer cylindrical portion 112. Therefore, the coating liquid introduced into the inner cylinder inner space 142 of the inner cylinder part 130 is a region closer to the base end 130a side and the connection end 130b side of the inner cylinder part 130 than a position where at least the O-rings 144 and 146 are provided. Do not leak into.

図３及び図４に示すように、駆動機構部１５０は、モータによって構成された駆動機１５２と、駆動機１５２の回転軸に接続された第一傘歯歯車１５４と、内筒部１３０の接続端１３０ｂ側に接続された第二傘歯歯車１５６とを有する。駆動機１５２は、ケーシング１１０の駆動機構設置部１１４内に向けて回転軸が突出するように設置されている。また、第一傘歯歯車１５４及び第二傘歯歯車１５６は、駆動機構設置部１１４内に収容されており、両者が噛合している。従って、駆動機１５２を作動させることにより、外筒部１１２内において内筒部１３０を回動させることができる。また、駆動機１５２の回転量及び回転方向を制御することにより、内筒部１３０の回転量の調整、及び回転方向の変更を行うことができる。 As shown in FIGS. 3 and 4, the drive mechanism unit 150 includes a drive unit 152 configured by a motor, a first bevel gear 154 connected to the rotation shaft of the drive unit 152, and a connection between the inner cylinder unit 130. And a second bevel gear 156 connected to the end 130b side. The drive unit 152 is installed such that the rotation shaft protrudes into the drive mechanism installation unit 114 of the casing 110. Further, the first bevel gear 154 and the second bevel gear 156 are accommodated in the drive mechanism installation portion 114 and are engaged with each other. Therefore, the inner cylinder part 130 can be rotated in the outer cylinder part 112 by operating the driving device 152. In addition, by controlling the rotation amount and the rotation direction of the driving device 152, the rotation amount of the inner cylinder portion 130 can be adjusted and the rotation direction can be changed.

吐出幅可変装置１００は、図５中おいてハッチングを付して示すように、外筒部１１２に設けられた吐出口１１６と、内筒部１３０に設けられた周部開口１３８とが重なる部分に、両者が連通した連通領域１４８が形成される。また、駆動機１５２の回転量及び回転方向を調整し、吐出口１１６と周部開口１３８との相対位置を変化させることにより、連通領域１４８の幅Ｄ（以下、「吐出幅Ｄ」とも称す）を変化させることができる。本実施形態では、図３及び図５中の矢印Ａ方向に内筒部１３０を回転させると連通領域１４８の吐出幅Ｄが漸次拡大し、これとは反対の矢印Ｂ方向に回転させると吐出幅Ｄが漸次縮小する。また、非開口部１４０が吐出口１１６と重なる位置まで内筒部１３０を回動させると、吐出口１１６が非開口部１４０によって閉鎖された状態、すなわち吐出幅Ｄがゼロになり塗布液を吐出できない状態になる。 As shown in FIG. 5 with hatching in FIG. 5, the variable discharge width device 100 is a portion where the discharge port 116 provided in the outer cylinder portion 112 and the peripheral opening 138 provided in the inner cylinder portion 130 overlap. In addition, a communication area 148 is formed in which both communicate with each other. In addition, the width D of the communication region 148 (hereinafter, also referred to as “discharge width D”) is obtained by adjusting the rotation amount and rotation direction of the driving device 152 and changing the relative position between the discharge port 116 and the peripheral opening 138. Can be changed. In this embodiment, when the inner cylinder part 130 is rotated in the direction of arrow A in FIGS. 3 and 5, the discharge width D of the communication region 148 gradually increases, and when it is rotated in the direction of arrow B opposite to this, the discharge width D gradually shrinks. Further, when the inner cylinder portion 130 is rotated to a position where the non-opening portion 140 overlaps with the discharge port 116, the discharge port 116 is closed by the non-opening portion 140, that is, the discharge width D becomes zero and the coating liquid is discharged. It becomes impossible.

制御装置１７０は、塗布対象物Ｗに対するポンプ５０の相対位置を制御する位置制御、塗布対象物Ｗに対するポンプ５０の移動速度を制御する速度制御、吐出幅可変装置１００に対する塗布液の供給量を制御する供給量制御、吐出幅可変装置１００から吐出される塗布液の吐出幅を制御する吐出幅制御等を単独、あるいは複合的に実施することができる。具体的には、図６に示すように、制御装置１７０は、吐出幅制御手段１７１、位置制御手段１７２、速度制御手段１７３、供給量制御手段１７４、及び同期手段１７５を備えている。制御装置１７０は、位置制御手段１７２によって産業用ロボット２０の位置、アーム２２の角度、伸縮量等を調整することにより、アーム２２の先端に取り付けられたポンプ５０の位置を制御（位置制御）することができる。また、制御装置１７０は、速度制御手段１７３によって産業用ロボット２０及びアーム２２の移動速度を調整することにより、塗布対象物Ｗに対するポンプ５０の移動速度の制御（速度制御）を行うことができる。 The control device 170 controls the relative position of the pump 50 with respect to the coating object W, the speed control that controls the moving speed of the pump 50 with respect to the coating object W, and the supply amount of the coating liquid to the discharge width variable device 100. The supply amount control to be performed, the discharge width control to control the discharge width of the coating liquid discharged from the variable discharge width device 100, and the like can be performed alone or in combination. Specifically, as illustrated in FIG. 6, the control device 170 includes a discharge width control unit 171, a position control unit 172, a speed control unit 173, a supply amount control unit 174, and a synchronization unit 175. The control device 170 controls the position (position control) of the pump 50 attached to the tip of the arm 22 by adjusting the position of the industrial robot 20, the angle of the arm 22, the amount of expansion / contraction, and the like by the position control means 172. be able to. Further, the control device 170 can control the moving speed of the pump 50 with respect to the coating object W (speed control) by adjusting the moving speed of the industrial robot 20 and the arm 22 by the speed control means 173.

また、制御装置１７０は、供給量制御手段１７４によってポンプ駆動機９６の回転速度を制御することにより、吐出幅可変装置１００に対する塗布液の供給量の制御（供給量制御）を実施することができる。更に、制御装置１７０は、吐出幅制御手段１７１によって吐出幅可変装置１００の駆動機１５２の回転量及び回転方向を調整し、外筒部１１２に設けられた吐出口１１６と、内筒部１３０に設けられた周部開口１３８との相対位置を変化させることにより、吐出幅Ｄを増減させることができる。従って、制御装置１７０は、駆動機１５２の動作制御を行うことにより、塗布液の吐出幅の制御（吐出幅制御）を行うことができる。 Further, the control device 170 can control the supply amount of the coating liquid to the discharge width variable device 100 (supply amount control) by controlling the rotation speed of the pump driver 96 by the supply amount control means 174. . Further, the control device 170 adjusts the rotation amount and the rotation direction of the driving device 152 of the variable discharge width device 100 by the discharge width control means 171, and the discharge port 116 provided in the outer cylinder portion 112 and the inner cylinder portion 130 are adjusted. The discharge width D can be increased or decreased by changing the relative position with respect to the provided peripheral opening 138. Therefore, the control device 170 can control the discharge width of the coating liquid (discharge width control) by controlling the operation of the driving device 152.

また、制御装置１７０は、同期手段１７５によって上述した位置制御、速度制御、供給量制御、及び吐出幅制御をそれぞれ同期させることが可能である。これにより、塗布対象物Ｗに対して所望の位置に所望の塗布幅で塗布液を塗布すること、所望の速度で塗布液を塗布すること、塗布作業の途中で塗布幅を漸次変化させること、及び所望の形状で塗布液を塗布すること等が可能となる。以下、塗布装置１０によって塗布対象物Ｗに対して塗布液を塗布する際に制御装置１７０によって実施される動作制御について、図８（ａ）に示す塗布パターンにより塗布する場合を例に挙げ、図７のフローチャートを参照しつつ詳細に説明する。 In addition, the control device 170 can synchronize the position control, speed control, supply amount control, and discharge width control described above by the synchronization unit 175. Thereby, applying the application liquid at a desired position with a desired application width to the application object W, applying the application liquid at a desired speed, gradually changing the application width during the application operation, And it becomes possible to apply | coat a coating liquid with a desired shape. Hereinafter, the operation control performed by the control device 170 when the coating liquid is applied to the coating object W by the coating device 10 will be described with reference to the case where the coating is performed using the coating pattern illustrated in FIG. This will be described in detail with reference to the flowchart of FIG.

図８（ａ）に示す塗布パターンにより塗布する場合は、始点Ｓから終点Ｅに至るまでの間に設けられた中間位置Ｐ１，Ｐ２において吐出幅Ｄの調整（変更）を行いつつ、塗布液を塗布する。具体的には、始点Ｓから中間位置Ｐ１までの区間においては、吐出幅ＤをＤ１に調整し、供給量制御を行いつつ、位置制御によってポンプ５０及び吐出幅可変装置１００を移動させることにより塗布液を塗布する。その後、中間位置Ｐ１まで塗布が完了した時点で吐出幅ＤをＤ２に変更し、供給量制御及び位置制御の下、中間位置Ｐ２まで塗布を進める。中間位置Ｐ２まで塗布が進むと、再び吐出幅ＤをＤ１に変更し、供給量制御及び位置制御の下で終点Ｅまで塗布を進める。 When applying with the application pattern shown in FIG. 8A, the application liquid is adjusted while adjusting (changing) the discharge width D at intermediate positions P1 and P2 provided from the start point S to the end point E. Apply. Specifically, in the section from the start point S to the intermediate position P1, the application is performed by adjusting the discharge width D to D1 and moving the pump 50 and the discharge width variable device 100 by position control while performing supply amount control. Apply liquid. Thereafter, when the application is completed up to the intermediate position P1, the ejection width D is changed to D2, and the application is advanced to the intermediate position P2 under the supply amount control and the position control. When the application proceeds to the intermediate position P2, the discharge width D is changed to D1 again, and the application is advanced to the end point E under the supply amount control and the position control.

上述した一連の動作を図７のフローチャートに従って説明すると、塗布対象物Ｗに対して塗布液を塗布する場合は、先ずステップ１において、制御装置１７０は塗布を開始する場所（始点Ｓ）を示す位置情報に基づいて産業用ロボット２０及びアーム２２を移動させ、ポンプ５０の先端に取り付けられた吐出幅可変装置１００を始点Ｓの位置まで移動させる。その後、制御フローがステップ２に進むと、制御装置１７０は、駆動機１５２の回転量及び回転方向を調整し、吐出幅Ｄが塗布幅に合致した状態になるように内筒部１３０を回動させる。図８（ａ）の塗布パターンにより塗布する場合においては、吐出幅可変装置１００が始点Ｓに存在している場合は、吐出幅ＤがＤ１に調整される。また、塗布液の塗布が進行し、中間位置Ｐ１あるいは中間位置Ｐ２に到達した場合は、吐出幅ＤがＤ２あるいはＤ１に調整される。 The series of operations described above will be described with reference to the flowchart of FIG. 7. When applying the application liquid to the application object W, first, in step 1, the control device 170 indicates a position (starting point S) where the application starts. Based on the information, the industrial robot 20 and the arm 22 are moved, and the discharge width varying device 100 attached to the tip of the pump 50 is moved to the position of the start point S. Thereafter, when the control flow proceeds to step 2, the control device 170 adjusts the rotation amount and the rotation direction of the driving device 152, and rotates the inner cylinder portion 130 so that the discharge width D matches the coating width. Let In the case of applying with the application pattern of FIG. 8A, if the variable discharge width device 100 exists at the starting point S, the discharge width D is adjusted to D1. Further, when the application of the coating liquid proceeds and reaches the intermediate position P1 or the intermediate position P2, the discharge width D is adjusted to D2 or D1.

ここで、ステップ２において吐出幅Ｄの調整がなされると、塗布液の吐出量が変化するため、吐出幅可変装置１００に対する塗布液の供給量についても調整する必要がある。具体的には、吐出幅Ｄを拡張した場合は、塗布液の吐出量が増加するため、吐出幅可変装置１００に対する塗布液の供給量が増加するようにポンプ５０におけるロータ７２の回転速度を上昇させる必要がある。これとは逆に、吐出幅Ｄを縮小した場合は、塗布液の吐出量が減少するため、ロータ７２の回転速度を低下させ、塗布液の吐出量が減少させる必要がある。そこで、ステップ２において吐出幅Ｄの調整が行われると、その後ステップ３において供給量制御の下、吐出幅可変装置１００に対する塗布液の供給量が調整される。 Here, when the discharge width D is adjusted in step 2, the discharge amount of the coating liquid changes, so it is also necessary to adjust the supply amount of the coating liquid to the variable discharge width device 100. Specifically, when the discharge width D is expanded, the discharge amount of the coating liquid increases, so the rotation speed of the rotor 72 in the pump 50 is increased so that the supply amount of the coating liquid to the discharge width variable device 100 increases. It is necessary to let On the other hand, when the discharge width D is reduced, the discharge amount of the coating liquid is reduced. Therefore, it is necessary to reduce the rotation speed of the rotor 72 and reduce the discharge amount of the coating liquid. Therefore, when the discharge width D is adjusted in step 2, the supply amount of the coating liquid to the discharge width variable device 100 is adjusted under the supply amount control in step 3 thereafter.

制御フローがステップ４に進行すると、産業用ロボット２０及びアーム２２を移動させることにより、塗布パターンに従ってポンプ５０の先端に取り付けられた吐出幅可変装置１００が移動させられる。これにより、ステップ２において設定された吐出幅Ｄにより塗布液が吐出され、塗布対象物Ｗに対して塗布される。 When the control flow proceeds to step 4, by moving the industrial robot 20 and the arm 22, the variable discharge width device 100 attached to the tip of the pump 50 is moved according to the coating pattern. As a result, the coating liquid is ejected with the ejection width D set in step 2 and applied to the coating object W.

ステップ４において吐出幅可変装置１００の移動が開始された後、吐出幅可変装置１００が吐出幅Ｄを変更すべき位置、具体的には中間位置Ｐ１あるいは中間位置Ｐ２に到達したことが確認されると、制御フローがステップ２に戻される。制御フローがステップ２に戻ると、上述したステップ２〜ステップ４のフローに従って吐出幅Ｄを変更した上で塗布動作がなされる。 After the movement of the variable discharge width device 100 is started in step 4, it is confirmed that the variable discharge width device 100 has reached the position where the discharge width D should be changed, specifically, the intermediate position P1 or the intermediate position P2. Then, the control flow is returned to step 2. When the control flow returns to step 2, the coating operation is performed after changing the discharge width D according to the flow of steps 2 to 4 described above.

一方、ステップ４において吐出幅可変装置１００の位置が吐出幅変更位置（中間位置Ｐ１，Ｐ２）でないと判断された場合は、制御フローがステップ６に進められる。ステップ６においては、吐出幅可変装置１００が終点Ｅに到達しているか否かが確認される。終点Ｅに到達していないことが確認された場合は塗布動作の途中であるため、制御フローがステップ４に戻され、引き続き塗布動作が継続される。一方、ステップ６において終点Ｅに到達していることが確認された場合は、制御フローがステップ７に進められ、塗布動作が停止状態とされる。具体的には、吐出幅可変装置１００等の移動、及びポンプ５０による塗布液の供給が停止されると共に、吐出幅Ｄがゼロに切り替えられる。これにより、塗布対象物Ｗに対する塗布液の塗布が完了し、一連の制御フローが完了する。 On the other hand, if it is determined in step 4 that the position of the variable discharge width device 100 is not the discharge width change position (intermediate positions P1, P2), the control flow proceeds to step 6. In step 6, it is confirmed whether or not the variable discharge width device 100 has reached the end point E. When it is confirmed that the end point E has not been reached, since the coating operation is in progress, the control flow is returned to step 4 and the coating operation is continued. On the other hand, when it is confirmed in step 6 that the end point E has been reached, the control flow proceeds to step 7 and the coating operation is stopped. Specifically, the movement of the discharge width variable device 100 and the like, and the supply of the coating liquid by the pump 50 are stopped, and the discharge width D is switched to zero. Thereby, application | coating of the coating liquid with respect to the application | coating target object W is completed, and a series of control flows are completed.

上述したように、本実施形態の塗布装置１０において採用されている吐出幅可変装置１００は、内筒部１３０に設けられた周部開口１３８と、外筒部１１２に設けられた吐出口１１６とが重なることにより形成された連通領域１４８から塗布液を吐出することができる。また、吐出幅可変装置１００は、周部開口１３８の開口幅ｄが内筒部１３０の周方向に連続的に変化しており、内筒部１３０を回動させることにより吐出幅Ｄを調整することができる。従って、吐出幅可変装置１００によれば、内筒部１３０の回動量を調整するだけで吐出幅Ｄを所望の大きさに調整することが可能であり、吐出幅Ｄの変更に起因する作業効率の低下等の問題を解消することができる。 As described above, the variable discharge width device 100 employed in the coating apparatus 10 according to the present embodiment includes the peripheral opening 138 provided in the inner cylinder portion 130 and the discharge port 116 provided in the outer cylinder portion 112. The coating liquid can be discharged from the communication region 148 formed by overlapping. Further, in the discharge width variable device 100, the opening width d of the peripheral opening 138 is continuously changed in the circumferential direction of the inner cylindrical portion 130, and the discharge width D is adjusted by rotating the inner cylindrical portion 130. be able to. Therefore, according to the discharge width variable device 100, it is possible to adjust the discharge width D to a desired size only by adjusting the rotation amount of the inner cylinder portion 130, and work efficiency resulting from the change of the discharge width D It is possible to solve problems such as lowering.

なお、本実施形態では、開口幅ｄが内筒部１３０の周方向に連続的に変化するように周部開口１３８を形成した構成を例示したが、本発明はこれに限定される訳ではなく、開口幅ｄが断続的に変化するように形成されたものであってもよい。 In the present embodiment, the configuration in which the peripheral opening 138 is formed so that the opening width d continuously changes in the circumferential direction of the inner cylindrical portion 130 is illustrated, but the present invention is not limited to this. The opening width d may be formed to change intermittently.

吐出幅可変装置１００は、内筒部１３０を回動させることにより吐出幅Ｄを変化させるものであり、吐出幅Ｄの変更に伴う内部容積の変化が殆ど発生しない。これにより、吐出幅Ｄの変更に伴い吐出圧の変動が生じることを最小限に抑制できる。また、本実施形態の塗布装置１０においては、塗布液供給装置としてポンプ５０が採用されているため、略一定の供給量及び供給圧で塗布液を吐出幅可変装置１００に供給することができる。従って、塗布装置１０は、塗布幅（吐出幅Ｄ）を連続的あるいは断続的に変化させる等しても、塗布対象物Ｗに塗布された塗布液の厚み（膜厚）、及び塗布液の付着性等の塗布特性の変動が殆ど生じず、一定の品質で塗布液を塗布することができる。 The variable discharge width device 100 changes the discharge width D by rotating the inner cylinder portion 130, and hardly changes the internal volume due to the change of the discharge width D. Thereby, it is possible to minimize the occurrence of fluctuations in the discharge pressure with the change in the discharge width D. Moreover, in the coating apparatus 10 of this embodiment, since the pump 50 is employed as the coating liquid supply apparatus, the coating liquid can be supplied to the discharge width variable apparatus 100 with a substantially constant supply amount and supply pressure. Therefore, even if the coating device 10 continuously or intermittently changes the coating width (discharge width D), the thickness (film thickness) of the coating liquid applied to the coating target W and the adhesion of the coating liquid. The coating liquid can be applied with a certain quality with almost no variation in coating characteristics such as property.

吐出幅可変装置１００は、周部開口１３８よりも基端１３０ａ側及び接続端１３０ｂ側の位置に設けられたＯリング１４４，１４６により、内筒部１３０の周壁１３６と外筒部１１２の内周壁１２８との間が液密とされている。また、吐出幅可変装置１００においては、ポンプ５０によって供給される塗布液を導入するための導入口１１８が、外筒部１１２の周壁１３６において周部開口１３８に臨む位置に設けられている。更に、周部開口１３８の開口幅ｄは、いずれの部位においても外筒部１１２に設けられた吐出口１１６の開口幅ｓよりも小さい。そのため、周部開口１３８から内筒内部空間１４２内に導入された塗布液を内筒部１３０内に略直接的に導入することができると共に、内筒部１３０と外筒部１１２との間に吐出液が噛み込むことを防止できる。従って、吐出幅可変装置１００によれば、吐出口１１６の予期せぬ部位から吐出液が漏洩することを防止でき、安定した品質で塗布液を塗布することができる。 The discharge width variable device 100 includes a peripheral wall 136 of the inner cylindrical portion 130 and an inner peripheral wall of the outer cylindrical portion 112 by O-rings 144 and 146 provided at positions closer to the base end 130a side and the connecting end 130b side than the peripheral portion opening 138. Between 128, it is liquid-tight. Further, in the discharge width variable device 100, an introduction port 118 for introducing the coating liquid supplied by the pump 50 is provided at a position facing the peripheral opening 138 in the peripheral wall 136 of the outer cylinder portion 112. Further, the opening width d of the peripheral opening 138 is smaller than the opening width s of the discharge port 116 provided in the outer cylinder portion 112 in any part. Therefore, the coating liquid introduced into the inner cylinder internal space 142 from the peripheral opening 138 can be introduced almost directly into the inner cylinder part 130, and between the inner cylinder part 130 and the outer cylinder part 112. The discharge liquid can be prevented from biting. Therefore, according to the discharge width variable device 100, the discharge liquid can be prevented from leaking from an unexpected part of the discharge port 116, and the coating liquid can be applied with stable quality.

なお、本実施形態においては、内筒部１３０にＯリング１４４，１４６を設けた構成を例示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、外筒部１１２側にＯリング等のシール部材を設けた構成としてもよい。また、吐出幅可変装置１００は、内筒部１３０と外筒部１１２との間を液密とするためにＯリング１４４，１４６を設けたものであるが、Ｏリング１４４，１４６に代えて、あるいはＯリング１４４，１４６に加えて、バリシール、リップシール等の他のシール部材を設けても良い。また、本実施形態においては、周部開口１３８の開口幅ｄを外筒部１１２に設けられた吐出口１１６の開口幅ｓよりも小さく形成した例を示したが、開口幅ｄ，ｓを同一としてもよい。 In the present embodiment, the configuration in which the O-rings 144 and 146 are provided in the inner cylindrical portion 130 is illustrated, but the present invention is not limited to this, and a seal such as an O-ring is provided on the outer cylindrical portion 112 side. It is good also as a structure which provided the member. Further, the discharge width varying device 100 is provided with O-rings 144 and 146 in order to make the space between the inner cylinder portion 130 and the outer cylinder portion 112 liquid-tight, but instead of the O-rings 144 and 146, Alternatively, in addition to the O-rings 144 and 146, other sealing members such as a burr seal and a lip seal may be provided. Further, in the present embodiment, an example in which the opening width d of the peripheral opening 138 is formed to be smaller than the opening width s of the discharge port 116 provided in the outer cylinder portion 112 is shown, but the opening widths d and s are the same. It is good.

本実施形態の塗布装置１０は、位置制御、速度制御、供給量制御、及び吐出幅制御を同期させた状態で実施可能であり、塗布用として吐出される塗布液の吐出幅Ｄの大きさ、吐出幅Ｄの変化速度、ポンプ５０から吐出幅可変装置１００への塗布液の供給量（供給速度）を、吐出幅可変装置１００と塗布対象物Ｗとの位置関係、吐出幅可変装置１００の移動速度に応じて適切な状態となるように調整することが可能である。これにより、例えば図８（ａ）に示すように塗布対象物Ｗの部位に応じて異なる幅で塗布液を塗布することが可能となる。 The coating apparatus 10 of the present embodiment can be implemented in a state in which position control, speed control, supply amount control, and discharge width control are synchronized, and the size of the discharge width D of the coating liquid discharged for application, The change speed of the discharge width D, the supply amount ( supply speed) of the coating liquid from the pump 50 to the discharge width variable device 100, the positional relationship between the discharge width variable device 100 and the application object W, and the movement of the discharge width variable device 100 It is possible to adjust so as to be in an appropriate state according to the speed. Thereby, for example, as shown in FIG. 8A, it is possible to apply the coating liquid with different widths depending on the portion of the application target W.

なお、本実施形態では、図８（ａ）に示す塗布パターンで塗布液を塗布する場合の動作を例示したが、塗布装置１０は、吐出幅可変装置１００の位置、移動速度等に応じて吐出幅Ｄ等の調整を行うことにより、図８（ａ）の塗布パターンの他、図８（ｂ）〜（ｄ）に示す塗布パターン、図９（ａ）〜（ｌ）に示す塗布パターン（模様）等、多様な塗布パターンにより塗布液を塗布対象物Ｗに塗布することが可能である。 In this embodiment, the operation in the case where the coating liquid is applied with the coating pattern shown in FIG. 8A is exemplified. However, the coating apparatus 10 discharges according to the position, moving speed, and the like of the variable discharge width device 100. By adjusting the width D and the like, in addition to the application pattern of FIG. 8A, the application pattern shown in FIGS. 8B to 8D and the application pattern (patterns shown in FIGS. 9A to 9L) ) Etc., the coating liquid can be applied to the coating object W by various coating patterns.

本実施形態の吐出幅可変装置１００において外筒部１１２に形成されている吐出口１１６は、外筒部１１２の幅方向に直線的に延びるスリットによって形成されたものであるが、本発明はこれに限定されるものではない。具体的には、吐出口１１６に代えて、外筒部１１２の幅方向に断続的に設けられたスリット、傾斜するように形成されたスリット、湾曲部分を有するスリット、開口形状が円形、楕円形、矩形あるいは多角形の開口等を設けた構成としてもよい。かかる構成とすることにより、更に多様な形態で塗布液を吐出することが可能となり、様々な塗布パターンによって塗布液を塗布可能となる。 In the variable discharge width device 100 of the present embodiment, the discharge port 116 formed in the outer cylinder portion 112 is formed by a slit extending linearly in the width direction of the outer cylinder portion 112. It is not limited to. Specifically, instead of the discharge port 116, slits provided intermittently in the width direction of the outer cylinder portion 112, slits formed to be inclined, slits having a curved portion, opening shape is circular, elliptical Alternatively, a rectangular or polygonal opening may be provided. With this configuration, the coating liquid can be discharged in various forms, and the coating liquid can be applied with various coating patterns.

また、吐出幅可変装置１００において、内筒部１３０に形成されている周部開口１３８の開口形状についても、吐出口１１６と同様に上述したものに限定されず、塗布パターン等に応じて様々な形状に変更することが可能である。すなわち、周部開口１３８は、軸線方向の開口幅Ｄ及び軸線方向における開口位置が内筒部１３０の周方向に変化するように形成されたものであれば良く、開口形状や大きさについてはいかなる物であっても良い。具体的には、周部開口１３８の形状を、内筒部１３０の周壁１３６を展開した状態において所望する塗布パターンの形状となるように形成した場合、吐出幅可変装置１００の移動及び内筒部１３０の回動を同期させることにより、例えば図１０（ａ）〜（ｇ）のような塗布パターン（模様）により塗布液を塗布対象物に塗布することができる。更に詳細には、図１１に示すような形状の周部開口１３８を周壁１３６に設けた場合は、塗布速度に同期させて内筒部１３０を回転させることにより連通領域１４８の幅及び位置が順次変化し、図１０（ｇ）のような塗布パターンで塗布液を塗布することができる。 Further, in the discharge width varying device 100, the opening shape of the peripheral opening 138 formed in the inner cylinder portion 130 is not limited to the above-described shape as in the case of the discharge port 116, and may vary depending on the coating pattern and the like. It is possible to change the shape. In other words, the circumferential opening 138 may be formed so that the opening width D in the axial direction and the opening position in the axial direction change in the circumferential direction of the inner cylinder portion 130. It may be a thing. Specifically, when the shape of the peripheral opening 138 is formed so as to have a shape of a desired application pattern in a state where the peripheral wall 136 of the inner cylindrical portion 130 is unfolded, the movement of the variable discharge width device 100 and the inner cylindrical portion By synchronizing the rotation of 130, for example, the coating liquid can be applied to the coating object by a coating pattern (pattern) as shown in FIGS. More specifically, when the peripheral portion opening 138 having a shape as shown in FIG. 11 is provided in the peripheral wall 136, the width and position of the communication region 148 are sequentially changed by rotating the inner cylindrical portion 130 in synchronization with the coating speed. It changes and can apply | coat a coating liquid with a coating pattern like FIG.10 (g).

１０塗布装置
２０産業用ロボット（移動装置）
５０一軸偏心ねじポンプ（流動物供給装置）
１００吐出幅可変装置
１１２外筒部
１１６吐出口
１１８導入口
１２２吐出口形成部
１２４導入口形成部
１２６外筒内部空間
１２８内周壁
１３０内筒部
１３６周壁
１３８周部開口
１４２内筒内部空間
１４８連通領域
１７０制御装置 10 Coating Device 20 Industrial Robot (Moving Device)
50 Single-shaft eccentric screw pump (fluid supply device)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Discharge width variable apparatus 112 Outer cylinder part 116 Ejection port 118 Introduction port 122 Ejection port formation part 124 Introduction port formation part 126 Outer cylinder inner space 128 Inner peripheral wall 130 Inner cylinder part 136 Perimeter wall 138 Perimeter opening 142 Inner cylinder inner space 148 Communication Area 170 controller

Claims

A hollow outer tube portion having a discharge port forming portion in which a discharge port is formed, the inside and the outside communicating with each other through the discharge port;
A hollow inner cylinder part that is rotatable along the peripheral wall of the outer cylinder part inside the outer cylinder part;
A peripheral opening formed in the peripheral wall of the inner cylindrical portion so that the opening width in the axial direction and / or the opening position in the axial direction changes in the circumferential direction of the inner cylindrical portion extends inside and outside the inner cylindrical portion. It is formed to communicate,
A fluid can be introduced into the inner cylindrical portion,
From the communication region formed by overlapping the peripheral opening and the discharge port, it is possible to discharge the fluid introduced into the inner cylindrical portion,
The peripheral opening is a discharge width changing device characterized by having a continuously varying portions intermittently changing portion.

A hollow outer tube portion having a discharge port forming portion in which a discharge port is formed, the inside and the outside communicating with each other through the discharge port;
A hollow inner cylinder part that is rotatable along the peripheral wall of the outer cylinder part inside the outer cylinder part;
A peripheral opening formed in the peripheral wall of the inner cylindrical portion so that the opening width in the axial direction and / or the opening position in the axial direction changes in the circumferential direction of the inner cylindrical portion extends inside and outside the inner cylindrical portion. It is formed to communicate,
A fluid can be introduced into the inner cylindrical portion,
From the communication region formed by overlapping the peripheral opening and the discharge port, it is possible to discharge the fluid introduced into the inner cylindrical portion,
The discharge width varying device according to claim 1, wherein the communication region has a portion that continuously changes in a circumferential direction of the inner cylinder portion and a portion that changes intermittently by rotating the inner cylinder portion in the previous period.

A seal member for sealing between the peripheral wall of the inner cylinder part and the peripheral wall of the outer cylinder part is provided at a position closer to one end side and the other end side of the inner cylinder part than the discharge port. The discharge width varying device according to claim 1 or 2.

The discharge width varying device according to any one of claims 1 to 3,
A fluid supply device for supplying fluid from the outside,
A coating apparatus, wherein the fluid supplied by the fluid supply apparatus can be discharged with a predetermined discharge width by a discharge width variable device.

A discharge width control for controlling the discharge width of the fluid by adjusting the amount of rotation of the inner cylinder part relative to the outer cylinder part;
A supply amount control for controlling the supply amount of the fluid to the discharge width variable device by controlling the operation of the fluid supply device;
A speed control for controlling the moving speed of the fluid supply apparatus with respect to the coating object to be coated with the fluid;
The coating apparatus according to claim 4, further comprising a control device that can be implemented in synchronization with position control that controls a relative position of the fluid supply device with respect to the application target.