JP5883231B2 - Sample cooling device, hardness tester, and hardness test method - Google Patents

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Description

本発明は、試料冷却装置、硬さ試験機及び硬さ試験方法に関する。   The present invention relates to a sample cooling device, a hardness tester, and a hardness test method.

従来、原子力発電所等に設置される軽水炉の主要構造物である圧力容器は、運用中に中性子が照射されることで、圧力容器を形成する鋼材の脆化が進行することが知られている。この現象は、「照射脆化」と呼ばれ、原子炉における主要な経年事象のひとつとして取り上げられている。   Conventionally, pressure vessels, which are the main structures of light water reactors installed in nuclear power plants, etc., are known to progress in the embrittlement of steel materials that form pressure vessels when irradiated with neutrons during operation. . This phenomenon is called “irradiation embrittlement” and is taken up as one of the major aging events in the nuclear reactor.

一般に、このような脆化が機械的特性の温度依存性の変化を示す指標であることに着目して、硬さの温度依存性から脆化を評価する手法が検討されている。特に、脆化を評価するための効果的な手法として、低温における硬さの温度依存性の変化から脆化を評価することが検討されている。   In general, paying attention to the fact that such embrittlement is an index indicating a change in temperature dependence of mechanical properties, a technique for evaluating embrittlement from the temperature dependence of hardness has been studied. In particular, as an effective method for evaluating embrittlement, it has been studied to evaluate embrittlement from a change in temperature dependence of hardness at low temperatures.

野本明義、西田憲二、土肥謙次、曽根田直樹 「硬さ試験による軽水炉圧力容器鋼の照射脆化モニタリング法の基礎的検討」 電力中央研究所報告、研究報告:Q08024 平成21年12月Akiyoshi Nomoto, Kenji Nishida, Kenji Toi, Naoki Soneda "Fundamental examination of irradiation embrittlement monitoring method for light water reactor pressure vessel steel by hardness test" Report by the Central Research Institute of Electric Power Industry: Q08024 December 2009

しかしながら、上記の従来技術には、安定した低温環境で硬さ試験を実施することが困難であるという問題があった。なお、この問題は圧力容器の鋼材に限って生じるものではなく、硬化にともなって脆化を生じる各種の試料に対する硬さ試験について同様に生じるものである。   However, the above prior art has a problem that it is difficult to perform a hardness test in a stable low temperature environment. This problem does not occur only in the steel material of the pressure vessel, but similarly occurs in the hardness test for various samples that cause embrittlement with hardening.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、安定した低温環境で硬さ試験を実施することができる試料冷却装置、硬さ試験機及び硬さ試験方法を提供することを目的とする。   This invention is made in view of the above, Comprising: It aims at providing the sample cooling device which can implement a hardness test in the stable low-temperature environment, a hardness tester, and a hardness test method. .

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る試料冷却装置は、試料の硬さを測定する硬さ試験機に設置されて前記試料を支持する蓄熱部材である試料台と、前記試料台と該試料台に支持されている前記試料とを収納し、該試料の上面と対向する位置に該試料の上面よりも大きい孔が形成される断熱部材である収納部と、前記収納部と離間した状態で前記孔を挿通することにより前記収納部の外に上面側の一部が露出する前記試料が上部に置かれた前記試料台の下部に冷媒を接触させることで、前記試料台を冷却する冷却部と、前記冷却部によって冷却された前記試料台に支持されている試料の温度を計測する温度計測部とを有することを特徴とする。 In order to solve the above-described problems and achieve the object, a sample cooling apparatus according to the present invention includes a sample stage that is a heat storage member that is installed in a hardness tester that measures the hardness of a sample and supports the sample. , accommodated and the sample being supported on the sample stage and the sample stage, and the housing part is a heat insulating member for pores greater than the upper surface of the sample is formed at a position upper surface facing the sample, wherein By inserting the hole in a state of being separated from the storage unit, by contacting the coolant to the lower part of the sample stage where the sample on the upper surface side is exposed outside the storage unit is placed on the upper part, It has a cooling part which cools a sample stand, and a temperature measurement part which measures the temperature of the sample supported by the sample stand cooled by the cooling part.

また、本発明に係る試料冷却装置は、試料の硬さを測定する硬さ試験機に設置されて前記試料を支持する蓄熱部材である試料台と、前記試料台を冷却することで該試料台に支持されている試料を冷却する冷却部と、前記試料台と該試料台に支持されている前記試料とを収納し、該試料の上面と対向する位置に該試料の上面よりも大きい孔が形成された断熱部材である収納部とを有し、前記試料台には、前記収納部と離間した状態で前記孔を挿通することにより前記収納部の外に上面側の一部が露出する前記試料が置かれることを特徴とする。 Further, the sample cooling device according to the present invention includes a sample stage that is a heat storage member that is installed in a hardness tester that measures the hardness of a sample and supports the sample, and the sample stage by cooling the sample stage. A cooling unit that cools the sample supported by the sample table, the sample table and the sample supported by the sample table are accommodated, and a hole larger than the upper surface of the sample is provided at a position facing the upper surface of the sample. formed a heat-insulating member possess a housing portion, said sample stage, a part of the upper surface side to the outside of the housing portion is exposed by inserting the hole in a state in which apart from the housing section the A sample is placed .

また、本発明に係る硬さ試験機は、試料の硬さを測定する硬さ試験機であって、前記硬さ試験機に設置されて前記試料を支持する蓄熱部材である試料台と、前記試料台と該試料台に支持されている前記試料とを収納し、該試料の上面と対向する位置に該試料の上面よりも大きい孔が形成される断熱部材である収納部と、前記収納部と離間した状態で前記孔を挿通することにより前記収納部の外に上面側の一部が露出する前記試料が上部に置かれた前記試料台の下部に冷媒を接触させることで、前記試料台を冷却する冷却部と、前記冷却部によって冷却された前記試料台に支持されている試料の温度を計測する温度計測部とを有することを特徴とする。 Further, the hardness tester according to the present invention is a hardness tester for measuring the hardness of a sample, the sample stage being a heat storage member installed in the hardness tester and supporting the sample, A storage unit that stores a sample stage and the sample supported by the sample stage, and is a heat insulating member in which a hole larger than the upper surface of the sample is formed at a position facing the upper surface of the sample; and the storage unit By passing the hole in a state of being separated from each other, the sample is exposed to a lower portion of the sample table on which the sample, which is partially exposed on the upper surface side outside the storage unit, is placed on the upper portion. And a temperature measuring unit for measuring the temperature of the sample supported by the sample stage cooled by the cooling unit.

また、本発明に係る硬さ試験方法は、試料の硬さを測定する硬さ試験機を用いた硬さ試験方法であって、前記硬さ試験機は、前記試料を支持する蓄熱部材である試料台と、前記試料台と該試料台に支持されている前記試料とを収納し、該試料の上面と対向する位置に該試料の上面よりも大きい孔が形成される断熱部材である収納部とを有し、前記硬さ試験方法は、前記収納部と離間した状態で前記孔を挿通することにより前記収納部の外に上面側の一部が露出する前記試料が上部に置かれた試料台の下部に冷媒を接触させることで、前記試料台を冷却する冷却ステップと、前記冷却ステップにおいて冷却された前記試料台に支持されている試料の温度を計測する温度計測ステップと、前記温度計測ステップにおいて計測された前記試料の温度が所定の温度に達した後に前記試料の硬さを測定する硬さ測定ステップとを含んだことを特徴とする。 Moreover, the hardness test method according to the present invention is a hardness test method using a hardness tester for measuring the hardness of a sample, and the hardness tester is a heat storage member that supports the sample. A storage unit that is a heat insulating member that stores a sample table, the sample table, and the sample supported by the sample table, and has a hole larger than the upper surface of the sample formed at a position facing the upper surface of the sample. In the hardness test method, the sample in which a part of the upper surface side is exposed to the outside of the storage part by inserting the hole in a state of being separated from the storage part is placed on the top. A cooling step for cooling the sample stage by bringing a refrigerant into contact with a lower part of the stage; a temperature measurement step for measuring the temperature of the sample supported by the sample stage cooled in the cooling step; and the temperature measurement Temperature of the sample measured in step Characterized in that it includes a hardness measurement step of measuring the hardness of the sample after reaching a predetermined temperature.

本発明に係る試料冷却装置、硬さ試験機及び硬さ試験方法は、安定した低温環境で硬さ試験を実施することができるという効果を奏する。   The sample cooling device, the hardness tester, and the hardness test method according to the present invention have an effect that the hardness test can be performed in a stable low temperature environment.

図1は、実施例に係るビッカース硬さ試験機の構成例を示す図である。FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration example of a Vickers hardness tester according to an embodiment. 図2は、実施例における試料冷却部の構成例を示す図である。FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration example of the sample cooling unit in the embodiment. 図3は、実施例における試料冷却部を示す分解図である。FIG. 3 is an exploded view showing a sample cooling section in the embodiment. 図4は、実施例における試料台を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing a sample stage in the embodiment. 図5は、実施例における試料冷却部を示す上面視野図である。FIG. 5 is a top view of the sample cooling unit in the embodiment. 図6は、本実施例に係るビッカース硬さ試験機によって実施されるビッカース硬さ試験の流れを示すフローチャートである。FIG. 6 is a flowchart showing a flow of a Vickers hardness test performed by the Vickers hardness tester according to the present embodiment. 図7は、試料台の底面を冷却する例を示す図である。FIG. 7 is a diagram illustrating an example of cooling the bottom surface of the sample stage.

以下に、本発明に係る試料冷却装置、硬さ試験機及び硬さ試験方法の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に示す実施例では、試料のビッカース硬さを測定する例について説明するが、本発明に係る試料冷却装置、硬さ試験機及び硬さ試験方法は、以下の実施例によって限定されるものではない。   Embodiments of a sample cooling device, a hardness tester, and a hardness test method according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. In addition, although the Example shown below demonstrates the example which measures the Vickers hardness of a sample, the sample cooling device which concerns on this invention, a hardness tester, and a hardness test method are limited by the following Examples. It is not a thing.

[本実施例に係るビッカース硬さ試験機の構成]
まず、図1を用いて、本実施例に係るビッカース硬さ試験機の構成について説明する。図1は、本実施例に係るビッカース硬さ試験機の構成例を示す図である。図1に例示するように、本実施例に係るビッカース硬さ試験機10は、試験機支持台20に載置され、環境フード30により覆われる。かかる環境フード30については、後に説明する。
[Configuration of Vickers Hardness Tester According to this Example]
First, the configuration of the Vickers hardness tester according to the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration example of a Vickers hardness tester according to the present embodiment. As illustrated in FIG. 1, the Vickers hardness tester 10 according to the present embodiment is placed on a tester support 20 and covered with an environmental hood 30. The environmental hood 30 will be described later.

また、図1に例示するように、ビッカース硬さ試験機10は、本体部11と、撮像部12と、ターレット13と、ステージ14と、操作受付部15と、制御部16と、試料冷却部100とを有する。   Further, as illustrated in FIG. 1, the Vickers hardness tester 10 includes a main body unit 11, an imaging unit 12, a turret 13, a stage 14, an operation receiving unit 15, a control unit 16, and a sample cooling unit. 100.

本体部11は、概略C字状をなし、ビッカース硬さ試験機10が有する各部を支持する。具体的には、本体部11は、上部上側に撮像部12を支持し、上部下側にターレット13を支持する。また、本体部11は、下部上側にステージ14を支持する。   The main body 11 is substantially C-shaped and supports each part of the Vickers hardness tester 10. Specifically, the main body 11 supports the imaging unit 12 on the upper upper side and supports the turret 13 on the lower lower side. Further, the main body 11 supports the stage 14 on the lower upper side.

撮像部12は、後述する試料冷却部100に載置された試料Sに形成されるくぼみを撮像する。この撮像部12は、後述するターレット13に設けられた対物レンズ13bを介して、試料Sの上面を撮像する。例えば、撮像部12は、CCD(Charge-Coupled Device)カメラなどである。   The imaging unit 12 images a recess formed in the sample S placed on the sample cooling unit 100 described later. The imaging unit 12 images the upper surface of the sample S via an objective lens 13b provided on the turret 13 described later. For example, the imaging unit 12 is a CCD (Charge-Coupled Device) camera or the like.

ターレット13は、本体部11の上部に垂直な軸Aを中心に回転可能に設けられており、下側に圧子部13aおよび対物レンズ13bがそれぞれ設けられている。ここで、圧子部13aは、ターレット13から下方に突出するように設けられており、先端に四角錘形状のダイヤモンドが設けられている。そして、ターレット13は、軸Aを中心に回転することで、後述するステージ14上で圧子部13aの位置と対物レンズ13bの位置とを入れ替える。   The turret 13 is provided so as to be rotatable about an axis A perpendicular to the upper portion of the main body 11, and an indenter 13 a and an objective lens 13 b are provided on the lower side. Here, the indenter portion 13a is provided so as to protrude downward from the turret 13, and a square pyramid-shaped diamond is provided at the tip. Then, the turret 13 rotates about the axis A, thereby switching the position of the indenter portion 13a and the position of the objective lens 13b on the stage 14 described later.

試料冷却部100は、ステージ14上に設置され、試料Sを下方から支持する。また、試料冷却部100は、ビッカース試験が実施される際に試料Sを冷却する。本実施例では、この試料冷却部100が試料Sを冷却することによって、低温におけるビッカース硬さを測定することができるようにしている。なお、かかる試料冷却部100の構成については後に具体的に説明する。   The sample cooling unit 100 is installed on the stage 14 and supports the sample S from below. The sample cooling unit 100 cools the sample S when the Vickers test is performed. In this embodiment, the sample cooling unit 100 cools the sample S so that the Vickers hardness at a low temperature can be measured. The configuration of the sample cooling unit 100 will be specifically described later.

ステージ14は、本体部11の下部上側にターレット13と対向するように設けられている。このステージ14上に設置された試料冷却部100によって試料Sが支持された状態で、上記の圧子部13aを試料Sに向かって下降させることにより、試料Sに圧子部13aの先端を押し込むことができる。なお、ステージ14は、本体部11内に設けられた駆動部によって上下方向へ移動可能に設けられてもよい。かかる場合には、このステージ14を上昇させることで、試料冷却部100に載置された試料Sに圧子部13aの先端を押し込むことができる。   The stage 14 is provided on the lower upper side of the main body 11 so as to face the turret 13. The tip of the indenter 13 a can be pushed into the sample S by lowering the indenter 13 a toward the sample S in a state where the sample S is supported by the sample cooling unit 100 installed on the stage 14. it can. The stage 14 may be provided so as to be movable in the vertical direction by a driving unit provided in the main body 11. In such a case, the tip of the indenter 13 a can be pushed into the sample S placed on the sample cooling unit 100 by raising the stage 14.

操作受付部15は、ビッカース硬さ試験機10に対する各種の動作指示を操作者から受け付け、受け付けた動作指示に応じてビッカース硬さ試験機10の各部を動作させる。例えば、操作受付部15は、操作者からビッカース硬さ試験の実施指示を受け付けた場合には、あらかじめ設定された試験荷重で圧子部13aの先端が試料Sに押し込まれるように、本体部11内に設けられた駆動部を動作させてステージ14を上昇させる。また、操作受付部15は、操作者から撮像指示を受け付けた場合には、撮像部12を駆動することで試料Sの表面を撮像する。なお、この操作受付部15は、例えば、ボタンやタッチパネルなどである。なお、図1では、操作受付部15が本体部11に設けられる例を示したが、操作受付部15は、制御部16によって実現されてもよい。   The operation receiving unit 15 receives various operation instructions for the Vickers hardness tester 10 from an operator, and operates each unit of the Vickers hardness tester 10 according to the received operation instructions. For example, when the operation receiving unit 15 receives an instruction to perform a Vickers hardness test from the operator, the operation receiving unit 15 in the main body unit 11 so that the tip of the indenter unit 13a is pushed into the sample S with a preset test load. The stage 14 is moved up by operating the driving unit provided in the stage. Moreover, the operation reception part 15 images the surface of the sample S by driving the imaging part 12, when the imaging instruction | indication is received from an operator. The operation receiving unit 15 is, for example, a button or a touch panel. 1 shows an example in which the operation reception unit 15 is provided in the main body unit 11, the operation reception unit 15 may be realized by the control unit 16.

制御部16は、パーソナルコンピュータ等の情報処理装置であり、操作者から各種の指示を受け付け、受け付けた指示に応じてビッカース硬さ試験に関する各種処理を行う。例えば、制御部16は、撮像部12によって撮像された試料Sの画像を表示する。また、制御部16は、撮像部12によって撮像された試料Sの画像を解析することで、試料Sに形成されたくぼみの対角線の長さを計測し、計測した対角線の長さと試料Sに加えられた荷重の大きさとからビッカース硬さを算出する。   The control unit 16 is an information processing apparatus such as a personal computer, receives various instructions from the operator, and performs various processes related to the Vickers hardness test according to the received instructions. For example, the control unit 16 displays an image of the sample S captured by the imaging unit 12. In addition, the control unit 16 analyzes the image of the sample S imaged by the imaging unit 12 to measure the diagonal length of the depression formed in the sample S, and adds the measured diagonal length and the sample S. Vickers hardness is calculated from the magnitude of the applied load.

[本実施例における試料冷却部の構成]
次に、図2及び図3を用いて、試料冷却部100について説明する。図2は、本実施例における試料冷却部100の構成例を示す図である。また、図3は、本実施例における試料冷却部100の分解図である。
[Configuration of Sample Cooling Section in this Example]
Next, the sample cooling unit 100 will be described with reference to FIGS. FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration example of the sample cooling unit 100 in the present embodiment. FIG. 3 is an exploded view of the sample cooling unit 100 in the present embodiment.

図2に例示するように、試料冷却部100は、試料台110と、ヒータ120と、シャーレ130と、冷媒注入管140と、フード150と、フレーム160とを有する。また、試料Sには温度計測部170が接続され、ヒータ120には温度調整部180が接続される。なお、かかる試料冷却部100が有する各部は、それぞれ、ビッカース硬さ試験に耐えうる強度を有している。また、この試料冷却部100は、高さ方向が約30[mm]〜40[mm]であり、横方向が約100[mm]〜150[mm]の大きさである。   As illustrated in FIG. 2, the sample cooling unit 100 includes a sample stage 110, a heater 120, a petri dish 130, a refrigerant injection pipe 140, a hood 150, and a frame 160. In addition, a temperature measuring unit 170 is connected to the sample S, and a temperature adjusting unit 180 is connected to the heater 120. In addition, each part which this sample cooling part 100 has has the intensity | strength which can endure a Vickers hardness test, respectively. The sample cooling unit 100 has a height direction of about 30 [mm] to 40 [mm] and a horizontal direction of about 100 [mm] to 150 [mm].

試料台110は、熱を蓄えることができる蓄熱部材であり、例えば、アルミニウム等である。かかる試料台110は、ヒータ120を介して、試料Sを支持する。具体的には、試料台110は、上面に試料Sが置かれたヒータ120を支持する。   The sample stage 110 is a heat storage member that can store heat, and is, for example, aluminum. The sample stage 110 supports the sample S via the heater 120. Specifically, the sample stage 110 supports the heater 120 on which the sample S is placed.

また、本実施例における試料台110は、図2及び図3に例示するように、ヒータ120を介して試料Sが置かれる上部よりも下部の方が大きい凸状に形成される。図4に、本実施例における試料台110の斜視図を示す。図4に例示するように、本実施例における試料台110は、直方体111の上面中央に、かかる直方体111よりも縦及び横の長さが短い直方体112が配置された形状(凸状)の部材である。ここでは、直方体111と直方体112とに分けて、試料台110の形状を説明したが、実際には、試料台110は、アルミニウム等で形成される一つの塊(ブロック)である。   Further, as illustrated in FIGS. 2 and 3, the sample stage 110 in the present embodiment is formed in a convex shape in which the lower part is larger than the upper part where the sample S is placed via the heater 120. In FIG. 4, the perspective view of the sample stand 110 in a present Example is shown. As illustrated in FIG. 4, the sample stage 110 in the present embodiment is a member having a shape (convex shape) in which a rectangular parallelepiped 112 having a shorter vertical and horizontal length than the rectangular parallelepiped 111 is disposed at the center of the upper surface of the rectangular parallelepiped 111. It is. Here, the shape of the sample stage 110 has been described separately for the rectangular parallelepiped 111 and the rectangular parallelepiped 112, but in actuality, the sample stage 110 is a single block (block) formed of aluminum or the like.

なお、以下では、図4に例示するように、試料台110のうち、ヒータ120が載置される試料台110の上面近傍の領域を試料台110の上部110aとし、また、試料台110のうち、上部110a以外の領域を試料台110の下部110bとする。   In the following, as illustrated in FIG. 4, in the sample table 110, an area near the upper surface of the sample table 110 on which the heater 120 is placed is referred to as an upper part 110 a of the sample table 110, and The region other than the upper portion 110a is defined as a lower portion 110b of the sample stage 110.

ヒータ120は、熱伝導性の高い部材であり、試料台110の上部に置かれるとともに試料Sを支持する。このヒータ120は、試料台110の熱を試料Sに伝えることもできるし、自らが熱を発して試料Sを加熱することもできる。例えば、ヒータ120は、試料台110が冷却された場合には、試料台110の温度と略同一の温度となることで、試料Sを冷却する。また、ヒータ120は、後述する温度調整部180によって制御されることで、試料Sを加熱する温度を変更する。なお、本実施例におけるヒータ120には、後述する冷媒注入管140が貫通する貫通孔が形成される。   The heater 120 is a member having high thermal conductivity, and is placed on the top of the sample table 110 and supports the sample S. The heater 120 can transmit the heat of the sample stage 110 to the sample S, or can generate heat to heat the sample S. For example, when the sample stage 110 is cooled, the heater 120 cools the sample S by being approximately the same temperature as the temperature of the sample stage 110. In addition, the heater 120 changes the temperature at which the sample S is heated by being controlled by a temperature adjusting unit 180 described later. In addition, the heater 120 in the present embodiment is formed with a through hole through which a refrigerant injection pipe 140 described later passes.

シャーレ130は、熱の伝導を抑制する断熱部材であり、例えば、セラミックス等である。かかるシャーレ130は、凹状に形成され、試料台110を収納する収納部としての役割を担う。図2及び図3に示した例では、シャーレ130は、試料台110の底面がほぼ隙間なくシャーレ130に収納されるように、凹状に形成されている。   The petri dish 130 is a heat insulating member that suppresses heat conduction, and is, for example, ceramic. The petri dish 130 is formed in a concave shape and serves as a storage unit that stores the sample table 110. In the example shown in FIGS. 2 and 3, the petri dish 130 is formed in a concave shape so that the bottom surface of the sample stage 110 is accommodated in the petri dish 130 with almost no gap.

冷媒注入管140は、試料台110の下部110bに冷媒を接触させることで、かかる試料台110を冷却する。すなわち、冷媒注入管140は、試料台110を冷却する冷却部としての役割を担う。例えば、冷媒注入管140は、冷媒として、液体窒素を試料台110の下部110bに接触させる。   The refrigerant injection tube 140 cools the sample stage 110 by bringing the refrigerant into contact with the lower part 110 b of the sample stage 110. That is, the refrigerant injection tube 140 serves as a cooling unit that cools the sample stage 110. For example, the refrigerant injection tube 140 makes liquid nitrogen contact the lower part 110b of the sample stage 110 as a refrigerant.

本実施例における冷媒注入管140は、かかる冷媒注入管140の先端が、ヒータ120に形成された貫通孔を貫通することで、シャーレ130に収納された試料台110の下部110bと、シャーレ130の内壁との間に形成される空間U11に到達する。そして、冷媒注入管140は、かかる先端から空間U11に液体窒素等の冷媒を注入することにより、試料台110の下部110bを冷却する。   The refrigerant injection tube 140 in the present embodiment is configured such that the tip of the refrigerant injection tube 140 passes through a through hole formed in the heater 120, so that the lower part 110 b of the sample table 110 housed in the petri dish 130 and the petri dish 130 A space U11 formed between the inner wall and the inner wall is reached. The refrigerant injection tube 140 cools the lower part 110b of the sample stage 110 by injecting a refrigerant such as liquid nitrogen into the space U11 from the tip.

なお、図2に示した例では、冷媒注入管140がヒータ120を貫通し、空間U11に冷媒を注入する例を示したが、冷媒注入管140は、ヒータ120を貫通する必要はなく、例えば、図2に示した空間U12に冷媒を注入してもよい。   In the example shown in FIG. 2, the refrigerant injection pipe 140 penetrates the heater 120 and the refrigerant is injected into the space U11. However, the refrigerant injection pipe 140 does not need to penetrate the heater 120. The refrigerant may be injected into the space U12 shown in FIG.

フード150は、凹状に形成された透明部材であり、例えば、アクリル等である。かかるフード150は、中空状の空間を形成するようにシャーレ130に載置され、試料台110、ヒータ120及び試料Sを収納する収納部としての役割を担う。具体的には、図2及び図3に例示するように、凹状のシャーレ130と凹状のフード150との内壁が向き合う状態で、シャーレ130における側壁の上面と、フード150における側壁の上面とを接触させてシャーレ130上にフード150が置かれることにより、シャーレ130及びフード150は、試料台110、ヒータ120及び試料Sを収納する。   The hood 150 is a transparent member formed in a concave shape, and is, for example, acrylic. The hood 150 is placed on the petri dish 130 so as to form a hollow space, and serves as a storage unit that stores the sample table 110, the heater 120, and the sample S. Specifically, as illustrated in FIGS. 2 and 3, the upper surface of the side wall of the petri dish 130 and the upper surface of the side wall of the hood 150 are in contact with the inner wall of the concave petri dish 130 and the concave hood 150 facing each other. When the hood 150 is placed on the petri dish 130, the petri dish 130 and the hood 150 store the sample table 110, the heater 120, and the sample S.

また、フード150は、シャーレ130に載置された際に試料Sの上面と対向する位置に、試料Sの上面の面積よりも大きい孔151が形成される。そして、図2に示した例では、試料Sの上面近傍のみが、フード150に形成された孔151から上側に露出する。図5に、本実施例における試料冷却部100を上面から見た上面視野図を示す。図5に示すように、フード150には、試料Sの上面面積よりも大きい孔151が形成されており、試料Sは、孔151からシャーレ130及びフード150に囲まれた領域外に露出する。これにより、圧子部13aを試料Sに押し込むことができる。   The hood 150 has a hole 151 larger than the area of the upper surface of the sample S at a position facing the upper surface of the sample S when placed on the petri dish 130. In the example shown in FIG. 2, only the vicinity of the upper surface of the sample S is exposed upward from the hole 151 formed in the hood 150. FIG. 5 is a top view of the sample cooling unit 100 in this embodiment as viewed from the top. As shown in FIG. 5, a hole 151 larger than the upper surface area of the sample S is formed in the hood 150, and the sample S is exposed outside the region surrounded by the petri dish 130 and the hood 150 from the hole 151. Thereby, the indenter part 13a can be pushed into the sample S.

フレーム160は、シャーレ130を支持し、ステージ14に載置される。かかるフレーム160は、図2及び図3に示すように、突起状の脚を有し、かかる脚がステージ14に載置される。これにより、フレーム160とステージ14との間に断熱層となる空気層が形成される。なお、フレーム160は、金属部材であってもよいし、断熱部材であってもよい。   The frame 160 supports the petri dish 130 and is placed on the stage 14. As shown in FIGS. 2 and 3, the frame 160 has protruding legs, and the legs are placed on the stage 14. Thereby, an air layer serving as a heat insulating layer is formed between the frame 160 and the stage 14. The frame 160 may be a metal member or a heat insulating member.

このように、試料冷却部100は、試料台110の下部110bに冷媒を接触させて試料台110を冷却することで、かかる試料台110に支持されている試料Sを冷却する。これにより、試料冷却部100は、試料台110を安定した目的の試験温度に冷却することができ、その結果、試料Sを安定した目的の試験温度に冷却することができる。   As described above, the sample cooling unit 100 cools the sample S supported by the sample stage 110 by bringing the refrigerant into contact with the lower part 110b of the sample stage 110 and cooling the sample stage 110. Thereby, the sample cooling unit 100 can cool the sample stage 110 to a stable target test temperature, and as a result, can cool the sample S to a stable target test temperature.

この点について、冷媒が液体窒素である場合を例に挙げて説明する。例えば、試料Sが支持されている試料台の内部に液体窒素を循環させる手法の場合には、大量の液体窒素を循環させることで、試料台を「−196℃」まで冷却し、試料台に支持されている試料Sを「−196℃」に冷却することはできる。しかし、液体窒素による冷却は、蒸発時に外部から蒸発潜熱を奪うことによって行われる。かかる蒸発潜熱が大きいため、冷却対象物に液体窒素が接触して沸騰すると、液体窒素が接触した接触部位の近傍では冷却対象物が窒素の沸点「−196℃」近傍まで急激に冷却される。   This point will be described using an example in which the refrigerant is liquid nitrogen. For example, in the case of the method of circulating liquid nitrogen inside the sample stage on which the sample S is supported, the sample stage is cooled to “−196 ° C.” by circulating a large amount of liquid nitrogen, The supported sample S can be cooled to “−196 ° C.”. However, cooling with liquid nitrogen is performed by taking latent heat of evaporation from the outside during evaporation. Since the latent heat of vaporization is large, when liquid nitrogen comes into contact with the object to be cooled and boils, the object to be cooled is rapidly cooled to the vicinity of the boiling point of nitrogen of “−196 ° C.” in the vicinity of the contact portion where the liquid nitrogen is in contact.

このため、上記の手法を用いた場合には、液体窒素の量を調整することで試料台の温度を「−196℃」〜「室温」の間にある目的の試験温度に冷却することが困難である。例えば、上記の液体窒素を循環させる手法を用いて試料台を目的の試験温度「−100℃」に冷却する場合に、少量の液体窒素を試料台に循環させたとしても、液体窒素が接触した試料台の一部分が「−196℃」になり、試料Sも「−196℃」まで冷却される場合がある。このような場合には、「−196℃」まで冷却された試料Sが目的温度「−100℃」に達するまで待機することを要する。   For this reason, when the above method is used, it is difficult to cool the temperature of the sample stage to a target test temperature between “−196 ° C.” and “room temperature” by adjusting the amount of liquid nitrogen. It is. For example, when the sample stage is cooled to the target test temperature “−100 ° C.” using the above-described method of circulating liquid nitrogen, even if a small amount of liquid nitrogen is circulated through the sample stage, the liquid nitrogen is in contact with the sample stage. A part of the sample stage becomes “−196 ° C.”, and the sample S may be cooled to “−196 ° C.”. In such a case, it is necessary to wait until the sample S cooled to “−196 ° C.” reaches the target temperature “−100 ° C.”.

また、上記の液体窒素を循環させる手法の場合には、液体窒素が接触した試料台の一部分が「−196℃」になるものの、液体窒素が接触していない試料台の他の部分については如何なる温度になるかが予測困難であることも考えられる。このような場合には、試料台に瞬間的に温度ムラが発生し、試料Sが如何なる温度に冷却されるかが予測困難である。このようなことから、上記手法を用いたとしても、試料Sを安定した目的の試験温度に冷却することが困難である。   Further, in the case of the above-described method of circulating liquid nitrogen, a part of the sample stage in contact with liquid nitrogen becomes “−196 ° C.”, but what about other parts of the sample stage not in contact with liquid nitrogen? It may be difficult to predict whether the temperature will be reached. In such a case, temperature unevenness occurs instantaneously on the sample stage, and it is difficult to predict what temperature the sample S is cooled to. For this reason, even if the above method is used, it is difficult to cool the sample S to a stable target test temperature.

一方、本実施例における試料冷却部100は、試料台110の下部110bを冷却することで、試料台110の上部110aを冷却する。すなわち、本実施例では、蓄熱部材である試料台110の下部110bから上部110aまでの間に緩やかな温度勾配が設けられることにより、試料台110の下部110bを部分的に冷却した場合であっても、試料台110の上部110aを安定した温度に冷却することができる。例えば、試料台110の下部110bが液体窒素の沸騰現象により急峻に冷却された場合であっても、下部110bから離れた上部110aでは、急峻な冷却の影響は少なくなるので、上部110aを安定した温度に冷却することができる。すなわち、本実施例における試料冷却部100は、試料台110の下部110bに注入する液体窒素の量を調整することで、試料台110の上部110aを目的の試験温度に冷却制御することができる。   On the other hand, the sample cooling unit 100 in this embodiment cools the lower part 110b of the sample stage 110, thereby cooling the upper part 110a of the sample stage 110. That is, in the present embodiment, a gentle temperature gradient is provided between the lower part 110b and the upper part 110a of the sample stage 110, which is a heat storage member, so that the lower part 110b of the sample stage 110 is partially cooled. In addition, the upper part 110a of the sample stage 110 can be cooled to a stable temperature. For example, even when the lower part 110b of the sample stage 110 is sharply cooled by the boiling phenomenon of liquid nitrogen, the upper part 110a that is far from the lower part 110b is less affected by the sudden cooling, so that the upper part 110a is stabilized. Can be cooled to temperature. That is, the sample cooling unit 100 in the present embodiment can control the cooling of the upper part 110a of the sample stage 110 to the target test temperature by adjusting the amount of liquid nitrogen injected into the lower part 110b of the sample stage 110.

そして、本実施例における試料冷却部100は、図2に示した温度計測部170が、試料Sの温度を計測し、温度調整部180が、温度計測部170によって計測された試料Sの温度が目的温度よりも低い場合に、ヒータ120を制御して試料Sを加熱する。すなわち、本実施例における試料冷却部100は、ヒータ120によって試料Sを加熱することにより、試料Sの温度が目的の試験温度となるように微調整を行う。これにより、温度計測部170及び温度調整部180は、試料Sを安定した目的の試験温度に保つことができる。   In the sample cooling unit 100 according to the present embodiment, the temperature measurement unit 170 illustrated in FIG. 2 measures the temperature of the sample S, and the temperature adjustment unit 180 measures the temperature of the sample S measured by the temperature measurement unit 170. When the temperature is lower than the target temperature, the sample S is heated by controlling the heater 120. That is, the sample cooling unit 100 in this embodiment performs fine adjustment so that the temperature of the sample S becomes the target test temperature by heating the sample S with the heater 120. Thereby, the temperature measuring unit 170 and the temperature adjusting unit 180 can keep the sample S at a stable target test temperature.

ここで、大気中の空気には水分が含まれるため、試料Sを冷却すると、試料Sに結露、凍結、霜付きが発生するとも考えられる。そして、試料Sに結露、凍結、霜付きが発生した場合には、正確なビッカース硬さ試験を行えないとも考えられる。しかし、本実施例に係るビッカース硬さ試験機10は、試料Sに結露、凍結、霜付きが発生することを防止することができる。   Here, since the air in the atmosphere contains moisture, it is considered that when the sample S is cooled, the sample S is condensed, frozen, or frosted. And when dew condensation, freezing, and frost are generated on the sample S, it is considered that an accurate Vickers hardness test cannot be performed. However, the Vickers hardness tester 10 according to the present embodiment can prevent the sample S from being condensed, frozen, or frosted.

この点について、図1及び図2を用いて具体的に説明する。図1に例示するように、本実施例に係るビッカース硬さ試験機10は、試験機支持台20に載置され、環境フード30により覆われる。試験機支持台20は、例えば、木製や金属製の台である。環境フード30は、アクリル等の透明部材である。これらの試験機支持台20又は環境フード30の少なくも一方には、環境フード30内の空気が外部に排出される排出口が形成される。図1に示した例では、試験機支持台20に排出口21aが形成されている。   This point will be specifically described with reference to FIGS. As illustrated in FIG. 1, the Vickers hardness tester 10 according to the present embodiment is placed on a tester support 20 and covered with an environmental hood 30. The tester support base 20 is, for example, a wooden or metal base. The environmental hood 30 is a transparent member such as acrylic. At least one of the tester support 20 or the environmental hood 30 is formed with an exhaust port through which the air in the environmental hood 30 is exhausted to the outside. In the example shown in FIG. 1, a discharge port 21 a is formed in the tester support base 20.

そして、本実施例に係るビッカース硬さ試験機10を用いてビッカース硬さ試験を行う場合には、ビッカース硬さ試験機10が環境フード30に覆われた状態で、環境フード30の内部に乾燥ガスを注入する。乾燥ガスの例としては、液体窒素が蒸発した窒素ガス等が挙げられる。このように、環境フード30の内部に窒素ガス等の乾燥ガスを注入することで、環境フード30内の空気は、排出口21aから外部に排出される。すなわち、ビッカース硬さ試験機10が収納された環境フード30の内部は乾燥ガスで満たされるので、試料Sを冷却した場合であっても、かかる試料Sに結露、凍結、霜付きが発生することを防止することができる。   And when performing a Vickers hardness test using the Vickers hardness tester 10 which concerns on a present Example, the inside of the environmental hood 30 is dried in the state where the Vickers hardness tester 10 was covered with the environmental hood 30. Inject gas. Examples of the dry gas include nitrogen gas from which liquid nitrogen has evaporated. Thus, by injecting a dry gas such as nitrogen gas into the environment hood 30, the air in the environment hood 30 is discharged to the outside from the discharge port 21a. That is, since the inside of the environmental hood 30 in which the Vickers hardness tester 10 is stored is filled with dry gas, even when the sample S is cooled, condensation, freezing, and frost are generated on the sample S. Can be prevented.

さらに、本実施例における試料冷却部100は、図2に示した例のように、試料Sの上面近傍のみが、フード150に形成された孔151から上側に露出するので、孔151から試料Sの上方に向かって流れる窒素ガスによって、試料S近傍に滞留する空気を試料Sから離すことができる。   Further, in the sample cooling unit 100 in the present embodiment, only the vicinity of the upper surface of the sample S is exposed upward from the hole 151 formed in the hood 150 as in the example shown in FIG. The air staying in the vicinity of the sample S can be separated from the sample S by the nitrogen gas flowing upward.

具体的には、本実施例に係るビッカース硬さ試験機10を用いてビッカース硬さ試験が行われる場合には、冷媒注入管140によって液体窒素が空間U11等に注入される。空間U11等に注入された液体窒素は、蒸発することで乾燥した窒素ガスとなり、フード150に形成された孔151から排出される。すなわち、ビッカース硬さ試験機10を用いてビッカース硬さ試験が行われる場合には、試料Sと孔151との間に形成される隙間から窒素ガスが排出される。このため、試料Sの近傍では、上方に向かって窒素ガスが吹き出すことになるので、試料S近傍には水分を含む空気が滞留しない。この結果、本実施例における試料冷却部100は、試料Sに結露、凍結、霜付きが発生することを防止することができる。   Specifically, when a Vickers hardness test is performed using the Vickers hardness tester 10 according to the present embodiment, liquid nitrogen is injected into the space U11 or the like through the refrigerant injection tube 140. The liquid nitrogen injected into the space U11 and the like evaporates to dry nitrogen gas, and is discharged from the hole 151 formed in the hood 150. That is, when a Vickers hardness test is performed using the Vickers hardness tester 10, nitrogen gas is discharged from a gap formed between the sample S and the hole 151. For this reason, in the vicinity of the sample S, nitrogen gas is blown upward, so that air containing moisture does not stay in the vicinity of the sample S. As a result, the sample cooling unit 100 in the present embodiment can prevent the sample S from being condensed, frozen, or frosted.

[本実施例におけるビッカース硬さ試験の流れ]
次に、図6を用いて、本実施例に係るビッカース硬さ試験機10によって実施されるビッカース硬さ試験の流れについて説明する。図6は、本実施例に係るビッカース硬さ試験機10によって実施されるビッカース硬さ試験の流れを示すフローチャートである。
[Flow of Vickers hardness test in this example]
Next, the flow of the Vickers hardness test performed by the Vickers hardness tester 10 according to the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a flowchart showing the flow of a Vickers hardness test performed by the Vickers hardness tester 10 according to the present embodiment.

図6に示すように、本実施例に係るビッカース硬さ試験機10によるビッカース硬さ試験では、まず、環境フード30の内部に乾燥ガスを注入することで、環境フード30内の空気を外部に放出する(ステップS101)。   As shown in FIG. 6, in the Vickers hardness test by the Vickers hardness tester 10 according to the present embodiment, first, the air in the environmental hood 30 is made outside by injecting dry gas into the environmental hood 30. Release (step S101).

続いて、冷媒注入管140が、試料台110の下部110bと、シャーレ130の内壁との間に形成される空間U11に冷媒を注入することにより、試料台110の下部110bに冷媒を接触させる(ステップS102)。このとき、冷媒注入管140から注入される冷媒の量は、試料台110の上部110aを所定の目的温度にするための量となる。このような冷媒の量と試料台110の上部110aの温度との関係は、実験結果等から予め得ることができる。すなわち、試料Sは、冷媒により冷却された試料台110の上部110aによって、目的温度近傍の温度まで冷却される。   Subsequently, the refrigerant injection tube 140 injects the refrigerant into the space U11 formed between the lower part 110b of the sample stage 110 and the inner wall of the petri dish 130, thereby bringing the refrigerant into contact with the lower part 110b of the sample stage 110 ( Step S102). At this time, the amount of the refrigerant injected from the refrigerant injection tube 140 is an amount for setting the upper part 110a of the sample stage 110 to a predetermined target temperature. Such a relationship between the amount of the refrigerant and the temperature of the upper portion 110a of the sample stage 110 can be obtained in advance from experimental results and the like. That is, the sample S is cooled to a temperature near the target temperature by the upper part 110a of the sample stage 110 cooled by the refrigerant.

続いて、温度計測部170が、試料Sの温度を計測する(ステップS103)。そして、温度調整部180が、温度計測部170によって計測された温度に基づいてヒータ120の温度を制御することで、試料台110によって冷却された試料Sの温度を調整する(ステップS104)。   Subsequently, the temperature measurement unit 170 measures the temperature of the sample S (step S103). And the temperature adjustment part 180 adjusts the temperature of the sample S cooled by the sample stand 110 by controlling the temperature of the heater 120 based on the temperature measured by the temperature measurement part 170 (step S104).

その後、温度計測部170によって計測された試料Sの温度が目的の試験温度に達した後に(ステップS105,Yes)、操作者からの指示に応じて、ビッカース硬さ試験機10の各部が試料Sのビッカース硬さを測定する。   Thereafter, after the temperature of the sample S measured by the temperature measuring unit 170 reaches the target test temperature (step S105, Yes), each part of the Vickers hardness tester 10 is subjected to the sample S in accordance with an instruction from the operator. Measure Vickers hardness.

具体的には、操作受付部15が、操作者から圧子押し込み指示を受け付けた場合に、あらかじめ設定された試験荷重で圧子部13aの先端が試料Sに押し込まれるように、圧子部13aを下降させる(ステップS106)。続いて、操作受付部15は、操作者から撮像指示を受け付けた場合に、撮像部12を動作させることで試料Sに形成されたくぼみを撮像する(ステップS107)。   Specifically, when the operation receiving unit 15 receives an indenter pressing instruction from the operator, the indenter unit 13a is lowered so that the tip of the indenter unit 13a is pressed into the sample S with a preset test load. (Step S106). Subsequently, when receiving an imaging instruction from the operator, the operation reception unit 15 operates the imaging unit 12 to image the depression formed in the sample S (step S107).

そして、制御部16が、操作者からの指示に応じて、撮像部12によって撮像された画像を解析することで、試料Sに形成されたくぼみの対角線の長さを計測し、計測した対角線の長さと試料Sに加えられた荷重の大きさとからビッカース硬さを算出する(ステップS108)。   And the control part 16 measures the length of the diagonal line of the hollow formed in the sample S by analyzing the image imaged by the imaging part 12 according to the instruction | indication from an operator, and the measured diagonal line Vickers hardness is calculated from the length and the magnitude of the load applied to the sample S (step S108).

上述してきたように、本実施例では、試料台110の下部110bから上部110aまでの間に緩やかな温度勾配が設けられており、かかる試料台110の下部110bに冷媒を接触させる。これにより、本実施例における試料冷却部100は、試料台110の上部110aを安定した温度に冷却することができ、その結果、試料台110に載置された試料Sを安定した温度に冷却することができる。   As described above, in this embodiment, a gentle temperature gradient is provided between the lower part 110b and the upper part 110a of the sample stage 110, and the refrigerant is brought into contact with the lower part 110b of the sample stage 110. Thereby, the sample cooling unit 100 in the present embodiment can cool the upper portion 110a of the sample stage 110 to a stable temperature, and as a result, cools the sample S placed on the sample stage 110 to a stable temperature. be able to.

また、本実施例では、温度計測部170が、試料Sの温度を計測し、温度調整部180が、温度計測部170によって計測された試料Sの温度が目的温度よりも低い場合に、ヒータ120を制御して試料Sを加熱する。これにより、本実施例における試料冷却部100は、試料Sを安定した目的の試験温度に保つことができる。   Further, in the present embodiment, the temperature measurement unit 170 measures the temperature of the sample S, and the temperature adjustment unit 180 detects that the temperature of the sample S measured by the temperature measurement unit 170 is lower than the target temperature. Is controlled to heat the sample S. Thereby, the sample cooling unit 100 in the present embodiment can keep the sample S at a stable target test temperature.

また、本実施例では、ビッカース硬さ試験機10が試験機支持台20に載置され、環境フード30により覆われており、試験機支持台20又は環境フード30の少なくも一方には、環境フード30内の空気が外部に排出される排出口が形成される。これにより、本実施例におけるビッカース硬さ試験機10は、環境フード30の内部に乾燥ガスが注入され、環境フード30内の空気が排出口21aから外部に排出されることで、試料Sに結露、凍結、霜付きが発生することを防止することができる。   In the present embodiment, the Vickers hardness tester 10 is placed on the tester support 20 and covered with the environmental hood 30, and at least one of the tester support 20 or the environmental hood 30 includes an environment. A discharge port through which the air in the hood 30 is discharged to the outside is formed. As a result, the Vickers hardness tester 10 according to the present embodiment condenses on the sample S by injecting the dry gas into the environment hood 30 and discharging the air in the environment hood 30 to the outside from the discharge port 21a. , Freezing and frosting can be prevented.

また、本実施例では、フード150が、シャーレ130に載置された際に試料Sの上面と対向する位置に、試料Sの上面の面積よりも大きい孔151が形成される。これにより、本実施例における試料冷却部100では、空間U11等に注入された液体窒素が窒素ガスとなり、フード150に形成された孔151から排出されることで、試料Sの近傍では、上方に向かって窒素ガスが吹き出すことになる。この結果、試料冷却部100は、試料Sに結露、凍結、霜付きが発生することを防止することができる。   In the present embodiment, a hole 151 larger than the area of the upper surface of the sample S is formed at a position facing the upper surface of the sample S when the hood 150 is placed on the petri dish 130. Thereby, in the sample cooling unit 100 in the present embodiment, the liquid nitrogen injected into the space U11 or the like becomes nitrogen gas, and is discharged from the hole 151 formed in the hood 150, so that the sample S is upward in the vicinity of the sample S. Nitrogen gas will blow out toward you. As a result, the sample cooling unit 100 can prevent the sample S from being condensed, frozen, or frosted.

また、上記実施例で説明した試料冷却部100は、小型に構成することができるので、既存のビッカース硬さ試験機に改造を加えることなく実装することができる。したがって、低いコストで、低温における試料の硬さの温度依存性を測定することが可能である。   In addition, since the sample cooling unit 100 described in the above embodiment can be configured in a small size, it can be mounted without modifying an existing Vickers hardness tester. Therefore, it is possible to measure the temperature dependence of the hardness of the sample at a low temperature at a low cost.

なお、上記実施例では、図2に例示したように、試料冷却部100が、シャーレ130に収納された試料台110の下部110bと、シャーレ130の内壁との間に形成される空間U11に冷媒を注入することにより、試料台110の下部110bを冷却する例を示した。しかし、試料冷却部100は、試料台110の底面を冷却してもよい。   In the above embodiment, as illustrated in FIG. 2, the sample cooling unit 100 has a refrigerant in the space U <b> 11 formed between the lower part 110 b of the sample table 110 housed in the petri dish 130 and the inner wall of the petri dish 130. The example in which the lower part 110b of the sample stage 110 is cooled by injecting the sample is shown. However, the sample cooling unit 100 may cool the bottom surface of the sample table 110.

図7を用いて具体的に説明する。図7は、試料台110の底面を冷却する例を示す図である。図7に示した例では、シャーレ131及び冷媒注入管141の構造が図2に例示したシャーレ130の構造と異なる。具体的には、シャーレ131は、内壁から内部方向に突起した突起部131a及び131bを有する。かかるシャーレ131には、試料台110が収納される場合に、シャーレ131の突起部131a及び131bに試料台110が載置される。これにより、試料台110とシャーレ131との間に空間U13が形成される。   This will be specifically described with reference to FIG. FIG. 7 is a diagram illustrating an example of cooling the bottom surface of the sample stage 110. In the example shown in FIG. 7, the structures of the petri dish 131 and the refrigerant injection pipe 141 are different from the structure of the petri dish 130 illustrated in FIG. 2. Specifically, the petri dish 131 has protrusions 131a and 131b protruding inward from the inner wall. In the petri dish 131, when the sample stage 110 is stored, the sample stage 110 is placed on the protrusions 131a and 131b of the petri dish 131. As a result, a space U13 is formed between the sample stage 110 and the petri dish 131.

そして、冷媒注入管141は、試料台110とシャーレ131との間に形成された空間U13に液体窒素等の冷媒を注入する。これにより、冷媒によって空間U13が冷却され、試料台110の底面が冷却される。そして、試料台110の底面が冷却されることにより、試料台110の上部110aが冷却される。図7に示した例についても、試料台110の下部110bである試料台110の底面が冷却されることで、試料台110の上部110aが冷却されるので、試料台110の上部110aを安定した温度に冷却することができ、その結果、試料台110に載置された試料Sを安定した温度に冷却することができる。   The refrigerant injection pipe 141 injects a refrigerant such as liquid nitrogen into a space U13 formed between the sample stage 110 and the petri dish 131. Thereby, the space U13 is cooled by the refrigerant, and the bottom surface of the sample stage 110 is cooled. Then, by cooling the bottom surface of the sample table 110, the upper part 110a of the sample table 110 is cooled. In the example shown in FIG. 7 as well, since the upper surface 110a of the sample table 110 is cooled by cooling the bottom surface of the sample table 110, which is the lower part 110b of the sample table 110, the upper part 110a of the sample table 110 is stabilized. As a result, the sample S placed on the sample stage 110 can be cooled to a stable temperature.

また、上記実施例では、操作受付部15が操作者からの指示に応じてビッカース硬さ試験機10の各部を動作させる場合について説明したが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、制御部16がビッカース硬さ試験機10の各部を自動的に動作させるようにしてもよい。   Moreover, although the said Example demonstrated the case where the operation reception part 15 operated each part of the Vickers hardness tester 10 according to the instruction | indication from an operator, this invention is not limited to this. For example, the control unit 16 may automatically operate each unit of the Vickers hardness tester 10.

また、上記実施例では、ビッカース硬さ試験機に本発明を適用した場合について説明したが、本発明はこれに限られるものではなく、ブリネル硬さ試験機やロックウェル硬さ試験機など、他の硬さ試験機にも同様に適用することが可能である。   Further, in the above-described embodiment, the case where the present invention is applied to the Vickers hardness tester has been described, but the present invention is not limited to this, and other examples such as a Brinell hardness tester and a Rockwell hardness tester are available. It can be similarly applied to the hardness tester.

10 ビッカース硬さ試験機
11 本体部
12 撮像部
13 ターレット
13a 圧子部
13b 対物レンズ
14 ステージ
15 操作受付部
16 制御部
20 試験機支持台
21a 排出口
30 環境フード
100 試料冷却部
110 試料台
120 ヒータ
130 シャーレ
131 シャーレ
131a 突起部
140 冷媒注入管
141 冷媒注入管
150 フード
151 孔
160 フレーム
170 温度計測部
180 温度調整部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Vickers hardness tester 11 Main body part 12 Imaging part 13 Turret 13a Indenter part 13b Objective lens 14 Stage 15 Operation reception part 16 Control part 20 Tester support stand 21a Outlet 30 Environmental hood 100 Sample cooling part 110 Sample stand 120 Heater 130 Petri dish 131 Petri dish 131a Protrusion part 140 Refrigerant injection pipe 141 Refrigerant injection pipe 150 Hood 151 Hole 160 Frame 170 Temperature measurement part 180 Temperature adjustment part

Claims (8)

試料の硬さを測定する硬さ試験機に設置されて前記試料を支持する蓄熱部材である試料台と、
前記試料台と該試料台に支持されている前記試料とを収納し、該試料の上面と対向する位置に該試料の上面よりも大きい孔が形成される断熱部材である収納部と、
前記収納部と離間した状態で前記孔を挿通することにより前記収納部の外に上面側の一部が露出する前記試料が上部に置かれた前記試料台の下部に冷媒を接触させることで、前記試料台を冷却する冷却部と、
前記冷却部によって冷却された前記試料台に支持されている試料の温度を計測する温度計測部と
を有することを特徴とする試料冷却装置。
A sample stage that is a heat storage member that is installed in a hardness tester that measures the hardness of the sample and supports the sample; and
A storage unit that stores the sample stage and the sample supported by the sample stage, and is a heat insulating member in which a hole larger than the upper surface of the sample is formed at a position facing the upper surface of the sample;
By inserting the hole in a state of being separated from the storage unit, by contacting the coolant to the lower part of the sample stage where the sample on the upper surface side is exposed outside the storage unit is placed on the upper part, A cooling unit for cooling the sample stage;
And a temperature measuring unit that measures the temperature of the sample supported by the sample stage cooled by the cooling unit.
前記冷却部によって冷却された前記試料台に支持されている試料を加熱することで該試料の温度を調整する温度調整部
をさらに有することを特徴とする請求項1に記載の試料冷却装置。
The sample cooling device according to claim 1, further comprising: a temperature adjusting unit that adjusts the temperature of the sample by heating the sample supported by the sample stage cooled by the cooling unit.
前記試料台は、
上部に対して下部が大きい凸状に形成され、
前記冷却部は、
前記収納部に収納された試料台の下部と該収納部の内壁との間に形成される空間に前記冷媒を注入することで、前記試料台を冷却する
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の試料冷却装置。
The sample stage is
The lower part is formed in a large convex shape with respect to the upper part,
The cooling part is
The sample stage is cooled by injecting the coolant into a space formed between a lower part of the sample stage stored in the storage part and an inner wall of the storage part. The sample cooling device according to 1.
前記硬さ試験機を支持する試験機支持台と
前記試験機支持台に設置された前記硬さ試験機を収納する試験機収納部と、
をさらに有し、
前記試験機支持台又は前記試験機収納部の少なくも一方に、前記試験機収納部内の大気が外部に排出される排出口が形成される
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の試料冷却装置。
A tester support that supports the hardness tester; a tester storage that stores the hardness tester installed on the tester support;
Further comprising
The discharge port through which the air in the tester storage unit is discharged to the outside is formed in at least one of the tester support or the tester storage unit. The sample cooling device described in 1.
試料の硬さを測定する硬さ試験機に設置されて前記試料を支持する蓄熱部材である試料台と、
前記試料台を冷却することで該試料台に支持されている試料を冷却する冷却部と、
前記試料台と該試料台に支持されている前記試料とを収納し、該試料の上面と対向する位置に該試料の上面よりも大きい孔が形成された断熱部材である収納部と
を有し、
前記試料台には、前記収納部と離間した状態で前記孔を挿通することにより前記収納部の外に上面側の一部が露出する前記試料が置かれる
ことを特徴とする試料冷却装置。
A sample stage that is a heat storage member that is installed in a hardness tester that measures the hardness of the sample and supports the sample; and
A cooling unit for cooling the sample supported by the sample table by cooling the sample table;
Accommodating said specimen supported on the sample stage and the sample stage, possess a housing part is a heat insulating member for pores greater than the upper surface of the sample is formed at a position upper surface facing the sample ,
The sample cooling apparatus according to claim 1, wherein the sample that is partially exposed on the upper surface side is placed outside the storage portion by being inserted through the hole in a state of being separated from the storage portion .
前記硬さ試験機を支持する試験機支持台と
前記試験機支持台に設置された前記硬さ試験機を収納する試験機収納部と、
をさらに有し、
前記試験機支持台又は前記試験機収納部の少なくも一方に、前記試験機収納部内の大気が外部に排出される排出口が形成される
ことを特徴とする請求項5に記載の試料冷却装置。
A tester support that supports the hardness tester; a tester storage that stores the hardness tester installed on the tester support;
Further comprising
6. The sample cooling device according to claim 5, wherein a discharge port through which air in the tester storage unit is discharged to the outside is formed in at least one of the tester support or the tester storage unit. .
試料の硬さを測定する硬さ試験機であって、
前記硬さ試験機に設置されて前記試料を支持する蓄熱部材である試料台と、
前記試料台と該試料台に支持されている前記試料とを収納し、該試料の上面と対向する位置に該試料の上面よりも大きい孔が形成される断熱部材である収納部と、
前記収納部と離間した状態で前記孔を挿通することにより前記収納部の外に上面側の一部が露出する前記試料が上部に置かれた前記試料台の下部に冷媒を接触させることで、前記試料台を冷却する冷却部と、
前記冷却部によって冷却された前記試料台に支持されている試料の温度を計測する温度計測部と
を有することを特徴とする硬さ試験機。
A hardness tester for measuring the hardness of a sample,
A sample stage that is a heat storage member that is installed in the hardness tester and supports the sample;
A storage unit that stores the sample stage and the sample supported by the sample stage, and is a heat insulating member in which a hole larger than the upper surface of the sample is formed at a position facing the upper surface of the sample;
By inserting the hole in a state of being separated from the storage unit, by contacting the coolant to the lower part of the sample stage where the sample on the upper surface side is exposed outside the storage unit is placed on the upper part, A cooling unit for cooling the sample stage;
And a temperature measuring unit that measures the temperature of the sample supported by the sample stage cooled by the cooling unit.
試料の硬さを測定する硬さ試験機を用いた硬さ試験方法であって、
前記硬さ試験機は、
前記試料を支持する蓄熱部材である試料台と、
前記試料台と該試料台に支持されている前記試料とを収納し、該試料の上面と対向する位置に該試料の上面よりも大きい孔が形成される断熱部材である収納部とを有し、
前記硬さ試験方法は、
前記収納部と離間した状態で前記孔を挿通することにより前記収納部の外に上面側の一部が露出する前記試料が上部に置かれた試料台の下部に冷媒を接触させることで、前記試料台を冷却する冷却ステップと、
前記冷却ステップにおいて冷却された前記試料台に支持されている試料の温度を計測する温度計測ステップと、
前記温度計測ステップにおいて計測された前記試料の温度が所定の温度に達した後に前記試料の硬さを測定する硬さ測定ステップと
を含んだことを特徴とする硬さ試験方法。
A hardness test method using a hardness tester for measuring the hardness of a sample,
The hardness tester is
A sample stage which is a heat storage member for supporting the sample;
A storage unit that stores the sample stage and the sample supported by the sample stage, and is a heat insulating member in which a hole larger than the upper surface of the sample is formed at a position facing the upper surface of the sample; ,
The hardness test method is:
By inserting the hole in a state of being separated from the storage unit , a refrigerant is brought into contact with a lower part of a sample table on which the sample on the upper surface side is exposed outside the storage unit is placed above, A cooling step for cooling the sample stage;
A temperature measurement step for measuring the temperature of the sample supported by the sample stage cooled in the cooling step;
And a hardness measurement step of measuring the hardness of the sample after the temperature of the sample measured in the temperature measurement step reaches a predetermined temperature.
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