JP5880995B2 - 多孔質膜、多孔質構造体、それらの製造方法及びセンサ - Google Patents
多孔質膜、多孔質構造体、それらの製造方法及びセンサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5880995B2 JP5880995B2 JP2011001919A JP2011001919A JP5880995B2 JP 5880995 B2 JP5880995 B2 JP 5880995B2 JP 2011001919 A JP2011001919 A JP 2011001919A JP 2011001919 A JP2011001919 A JP 2011001919A JP 5880995 B2 JP5880995 B2 JP 5880995B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- porous
- film
- liquid
- parylene
- liquid layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Manufacture Of Porous Articles, And Recovery And Treatment Of Waste Products (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Polyoxymethylene Polymers And Polymers With Carbon-To-Carbon Bonds (AREA)
Description
(1−1)多孔質構造体の構成
図1において、1は多孔質構造体を示し、この多孔質構造体1は、軟質なフィルム状でなり、全体がパリレン(パリレンCやパリレンN等のパラキシリレン系ポリマー)により形成されている。多孔質構造体1は、図2に示すように、内部にほぼ隙間のないパリレン膜(図中、「Normal Parylene」と表記)2を有し、このパリレン膜2の一面に多孔質膜(図中、「Porous Parylene」と表記)3が被膜状に設けられている。なお、パリレン膜2は、多孔質膜3が形成された一面と対向した他面が、図3に示すように、凹凸がなく、粗さ数nm程度の滑らかな表面を有する。
次に、上述した多孔質構造体1の製造方法について説明する。先ず初めに、図5(A)に示すように、表面が平坦なガラスでなる基板5を用意し、次いで、図5(B)に示すように、例えばシリコンオイルやイオン性液体等の被蒸着液体を、この基板5の表面上に貯溜させ、所定の厚さで表面が平坦な液体層6を形成する。
(1−3−1)異なる被蒸着液体を用いたときの多孔質膜
次に、複数種類の被蒸着液体を用意し、これら被蒸着液体毎にそれぞれパリレンを蒸着させて複数種類の多孔質構造体を形成した。そして、被蒸着液体の表面からこれら多孔質構造体を剥離して、この多孔質構造体に形成された多孔質膜について観察した。
(1−3−2)膜厚について
次に、多孔質膜3の膜厚について各種検証を行った。ここでは、図9(A)に示すように、表面に凹部8aが形成されたガラスでなる基板8を用意し、当該基板8の凹部8aに被蒸着液体としてHIVAC-F5を貯溜して液体層9を形成した。
次に、有効分子量が異なる複数種類の被蒸着液体を用意し、これら被蒸着液体の液体表面上にそれぞれ形成した多孔質構造体1について、多孔質膜3の膜厚がどのように変化するかについて検証試験を行った。
以上の構成において、CVD法による薄膜形成処理により、被蒸着液体からなる液体層6に、パリレンを蒸着させてゆき多孔質構造体1を形成する。これにより、多孔質構造体1には、液体層6の液体表面と接触した面に多孔質膜3を形成することができる。そして、多孔質構造体1は、液体層6から剥離することで、パリレン膜2上に有する多孔質膜3を外部に露出させ、当該多孔質膜3を種々の用途に用いることができる。かくして、本発明では、パラキシリレン系ポリマーの新たな使用形態となり得る多孔質膜3を提供できる。
(1−5−1)多孔質構造体の形状について
なお、本発明は、本実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。例えば、上述した実施の形態においては、平坦な表面でなる多孔質膜3及びパリレン膜2からなる多孔質構造体1を適用した場合について述べたが、本発明はこれに限らず、例えば、図13に示すように、円形で断面が湾曲状に形成された多孔質膜13及びパリレン膜12を有する多孔質構造体11等、その他種々の形状を有した多孔質膜及びパリレン膜からなる多孔質構造体を適用してもよい。
また、上述した実施の形態では、表面に複数の微細な孔のみが形成された多孔質膜について述べたが、本発明はこれに限らず、図15に示すように、例えば蛍光染料や、マイクロビーズ、カーボンナノチューブ、有機半導体結晶、金属ナノ粒子等その他種々の修飾物質20を含有させた多孔質膜13としてもよい。多孔質膜13に含有させる修飾物質20を変えることで、当該修飾物質20の特性を備えた多孔質膜13を作製できる。
(2−1)多孔質構造体の構成
図19において、35は第2の実施の形態による多孔質構造体を示し、この多孔質構造体35は、全体がパリレンからなり、例えば四辺状に形成されているとともに、膜厚が数μmの板状に形成されている。実際上、この多孔質構造体35は、第1のパリレン膜36a上に多孔質膜37が形成され、当該多孔質膜37上に第2のパリレン膜36bが形成されており、多孔質膜37が第1のパリレン膜36a及び第2のパリレン膜36bにより挟まれた構成を有する。
次に、上述した多孔質構造体35の製造方法について説明する。先ず初めに、上述した「(1−2)多孔質構造体の製造方法」と同様に、CVD法による薄膜形成処理により、平坦な液体層6の表面にパリレンを蒸着させてゆき、液体層6上に形成された膜状物質を当該液体層6から剥離することで、図20(A)に示す薄膜半体39を作製する。このようにして得られた薄膜半体39は、液体層6の液体表面と接触した面に凹凸状の第1の多孔質膜38aが形成されているとともに、当該第1の多孔質膜38aの外面に第1のパリレン膜36aが形成されている。
以上の構成において、CVD法による薄膜形成処理により、液体層6の表面にパリレンを蒸着させてゆき、液体層6の液体表面と接触した面に凹凸状の第1の多孔質膜38aが形成された薄膜半体39を製造する。また、この薄膜半体39を液体層6から剥離した後、この薄膜半体39の第1の多孔質膜38aを被蒸着液体により満たして液体多孔質膜38bを形成し、その後、再びCVD法による薄膜形成処理により、液体多孔質膜38b上に第2の多孔質膜38c及び第2のパリレン膜36bを形成する。かくして、この製造方法により、第1のパリレン膜36a及び第2のパリレン膜36b間に、微細な多孔質構造を有した多孔質膜37が形成された多孔質構造体35を製造できる。かくして、パラキシリレン系ポリマーの新たな使用形態となり得る多孔質構造体を提供できる。
なお、上述した実施の形態においては、多孔質膜37に液体を含まないドライ構造の多孔質構造体35について述べたが、本発明はこれに限らず、図21に示すように、多孔質膜41に所定の機能性液体を含ませたウェット構造の多孔質構造体40としてもよい。この場合、多孔質膜41は、液体が透過し難いものの、含ませたい所定の機能性液体が所定の圧力で注入・拡散されることで、当該機能性液体を含ませることができる。
(3−1)多孔質構造体の構成
図22において、45は第3の実施の形態による多孔質構造体を示し、この多孔質構造体45は、全体がパリレンからなり、所定の膜厚でなるパリレン膜46上に複数の多孔質膜47が配置されている。実際上、この多孔質構造体45は、パリレン膜46の所定位置に所定形状の多孔質膜47が形成されており、使用する用途に応じて多孔質膜47の形状や位置が選定されている。
次に、上述した多孔質構造体45の製造方法について説明する。先ず初めに、図24(A)に示すように、パターン部材50が表面に所定パターンで設けられた基板51を用意する。実際上、この基板51は、ガラスからなり、表面が平坦状に形成され、使用する用途に応じて、当該表面に所定パターンでパターン部材50が配置されている。ここで、パターン部材50は、例えば非晶質透明フッ素樹脂であるサイトップ(旭硝子株式会社製、商品名)により形成されており、基板51の所定表面を被覆することで、基板51上に被蒸着液体が貯溜し易い凹状の貯溜部52を形成し得るようになされている。
以上の構成において、多孔質構造体45では、製造過程でCVD法による薄膜形成処理により、液体層53にパリレンを蒸着させて形成されることで、液体層53の接触面にパリレンからなる多孔質状の多孔質膜47を形成できる。
(4−1)多孔質構造体の構成
図25において、55は第4の実施の形態による多孔質構造体を示し、この多孔質構造体55は、全体がパリレンからなり、所定の膜厚でなるパリレン膜56を有し、当該パリレン膜56上の所定領域に多孔質膜57が形成された構成を有する。実際上、この多孔質構造体55は、パリレン膜56の所定領域に所定形状の多孔質膜57が形成されており、使用する用途に応じて多孔質膜57の領域や位置が選定されている。
次に、上述した多孔質構造体55の製造方法について説明する。先ず初めに、図28(A)に示すように、ガラスからなり、表面が平坦状に形成された基板51を用意し、図28(B)に示すように、この基板51の表面にパターン部材61を所定パターンで形成する。実際上、このパターン部材61は、超音波洗浄等を行った基板51に、非晶質透明フッ素樹脂として例えば旭硝子株式会社製のサイトップ(商品名)をスピンコート法によって均一に形成し、基板51の一面を非晶質透明フッ素樹脂によってコーティング処理した後、これをベークして基板51の一面全体にパターン部材61を形成する。
以上の構成において、多孔質構造体55では、製造過程で使用する基板51の表面に、親水性のパターン部材61を所定パターンで配置し、当該パターン部材61間に疎水性の液体層62を形成しておくことで、当該液体層62に対応した箇所に液体層62と同じ疎水性の多孔質膜57を形成できるとともに、パターン部材61に対応した箇所にパターン部材61と同じ親水性のパリレン膜56を形成できる。
上述した実施の形態においては、パリレン膜56を親水性とし、多孔質膜57を疎水性とした多孔質構造体55を適用した場合について述べたが、本発明はこれに限らず、パリレン膜56を疎水性とし、多孔質膜57を親水性とした多孔質構造体としてもよい。この場合、多孔質構造体は、製造過程において用いるパターン部材の疎水性及び親水性を変え、また液体層の種類を変えることで、パリレン膜及び多孔質膜の疎水性及び親水性を変えることができる。
(5−1)多孔質構造体の構成
図30において、70は第5の実施の形態による多孔質構造体を示し、この多孔質構造体70は、全体がパリレンからなり、所定の膜厚でなるパリレン膜73を有し、当該パリレン膜73の一面の所定領域に多孔質膜72が形成され、この多孔質膜72と対向するパリレン膜73の他面に電極74が設けられた構成を有する。実際上、この多孔質構造体70は、絶縁膜として機能するパリレン膜73の所定領域に、所定形状の多孔質膜72が形成されており、使用する用途に応じて多孔質膜72の領域や位置が選定される。
次に、上述した多孔質構造体70の製造方法について説明する。先ず初めに、図31(A)に示すように、パターン部材77が表面に所定パターンで設けられた基板76を用意する。実際上、この基板76は、ガラスからなり、表面が平坦状に形成され、使用する用途に応じて、当該表面に所定パターンでパターン部材77が配置されている。ここで、パターン部材77は、例えば非晶質透明フッ素樹脂であるサイトップ(旭硝子株式会社製、商品名)により形成されており、基板76の所定表面を被覆することで、基板76上に被蒸着液体が貯溜し易い凹状の貯溜部79を形成し得るようになされている。
以上の構成において、多孔質構造体70では、製造過程でCVD法による薄膜形成処理により、液体層78にパリレンを蒸着させて形成されることで、当該液体層78との接触面にパリレンからなる多孔質状の多孔質膜72を形成できる。
なお、上述した実施の形態においては、パリレン膜73を親水性とし、多孔質膜72を疎水性とした多孔質構造体70を適用した場合について述べたが、本発明はこれに限らず、パリレン膜73を疎水性とし、多孔質膜72を親水性とした多孔質構造体としてもよい。この場合、多孔質構造体は、上述したように製造過程において用いるパターン部材及び液体層の疎水性及び親水性を変えることで、パリレン膜及び多孔質膜を疎水性及び親水性にも変えることができる。
(6−1)多孔質構造体の構成
図32において、81は第6の実施の形態による多孔質構造体を示し、この多孔質構造体81は、表面が平坦な接着基板82上に接着層83を介して第1の多孔質薄膜部84aと第2の多孔質薄膜部84bとが接着された構成を有する。この多孔質構造体81は、第1の多孔質薄膜部84a及び第2の多孔質薄膜部84bが接着基板82の所定位置に所定形状で形成されており、使用する用途に応じて第1の多孔質薄膜部84a及び第2の多孔質薄膜部84bの形状や位置が選定される。
次に、上述した多孔質構造体81の製造方法について説明する。先ず初めに、図33(A)に示すように、パターン部材90が表面に所定パターンで設けられた基板89を用意する。実際上、この基板89は、ガラスからなり、表面が平坦状に形成され、使用する用途に応じて、当該表面に所定パターンでパターン部材90が配置されている。ここで、パターン部材90は、例えば疎水性を有した部材により形成されており、基板89の所定表面を被覆することで、基板89上に被蒸着液体が貯溜し易い凹状の貯溜部92a,92b,92cを複数形成し得るようになされている。
第1の多孔質薄膜部84a及び第2の多孔質薄膜部84bのパリレン膜85を接着層83に接着させることにより、第1の多孔質薄膜部84a及び第2の多孔質薄膜部84bを接着基板82に接着させ、多孔質構造体81を製造し得る。最後に、液体層91a,91b,91c及びパターン部材90上からこの多孔質構造体81を剥離することで、図33(F)に示すような多孔質構造体81を作製できる。なお、この際には、第1の多孔質膜86及び第2の多孔質膜87に液体層91a,91cの被蒸着液体が付着するが、当該被蒸着液体を取り除くことで、図32に示すようなドライ構造の多孔質構造体81が得られる。このようにして得られた多孔質構造体81は、液体層91a,91cの液体表面と接触した面にそれぞれ第1の多孔質膜86及び第2の多孔質膜87が形成されるとともに、パターン部材90の固体表面と接触した面と第1の多孔質膜86と第2の多孔質膜87上にパリレン膜46が形成され、液体層91bに対向した領域に隙間84cが形成され得る。
以上の構成において、多孔質構造体81では、製造過程でCVD法による薄膜形成処理により、異なる液体層91a,91cにぞれぞれパリレンを蒸着させることで、液体層91a,91cを構成する被蒸着液体の種類に応じて、多孔質の状態が異なったパリレンからなる第1の多孔質膜86及び第2の多孔質膜87を同時に形成できる。
(7−1)多孔質構造体の構成
図34において、101は第7の実施の形態による多孔質構造体を示し、基板102上に所定パターンでパターン部材103が配置されており、当該パターン部材103上に球状で一部に開口領域ER10が形成された多孔質膜105及びパリレン膜104が設けられている。
次に、上述した多孔質構造体101の製造方法について説明する。先ず初めに、図35(A)に示すように、パターン部材103が表面に所定パターンで設けられた基板102を用意する。実際上、この基板102は、ガラスからなり、表面が平坦状に形成され、使用する用途に応じて、当該表面に所定パターンでパターン部材103が配置されている。ここで、パターン部材103は、例えば疎水性の部材により形成されており、基板102の所定表面を被覆することで、基板102上に被蒸着液体が貯溜し易い凹状の貯溜部106を形成し得るようになされている。
以上の構成において、多孔質構造体101では、製造過程において、液体層107の一部に非蒸着液体からなる磁性液体層108が形成され、CVD法による薄膜形成処理が行われることで、当該磁性液体層108の液体表面との接触した面にパリレンが蒸着せずに開口領域ER10を形成できる。これにより、多孔質構造体101では、使用の用途に応じて開口領域ER10を設けた立体構造からなる多孔質膜105を形成することができる。
(8−1)センサの構成
図36において、111は第8の実施の形態によるセンサを示し、センサ111は、所定の気体を検知するトランスデューサ113が基板112上に設けられており、当該トランスデューサ113を取り囲むようにして液体層114が形成されている。液体層114は、例えばイオン性液体やグリセリン等の被蒸着液体からなり、円形状で基板112の表面から膨出するように湾曲状に形成され、気体を透過させてトランスデューサ113まで到達させ得るようになされている。
次に、上述したセンサ111の製造方法について説明する。先ず初めに、表面が平坦なガラスでなり、トランスデューサ113が配置された基板112を用意し、次いで、例えばイオン性液体やグリセリン等の被蒸着液体を、この基板112のトランスデューサ113が配置された表面上に滴下し、スピンコート法により余分な被蒸着液体を省く。これにより、基板112には、表面張力により基板112の表面から湾曲状に膨出し、トランスデューサ113を取り囲んだ液体層114が形成される。
以上の構成において、センサ111では、基板112のトランスデューサ113を取り囲むように形成された液体層114に、CVD法による薄膜形成処理により、パリレンを蒸着させてパリレンからなる多孔質膜116が形成されている。ここで、センサ111では、液体層114及び多孔質膜116が気体を透過し得る特性を有することから、外部の気体を基板112上のトランスデューサ113で検知することができる。かくして、本発明では、パラキシリレン系ポリマーの新たな使用形態となり得るセンサ111を提供できる。
(9−1)センサの構成
図37において、121は第9の実施の形態によるセンサを示し、このセンサ121は、所定の気体を検知すると、変色する液体からなる液体層124が基板122上に設けられており、膜厚が約400nm程度でなる薄膜状の多孔質構造体123により当該液体層124が被膜されている。ここで、検知手段としての液体層124は、例えば上述したBMP422にpH指示薬であるブロモチモールブルー(Bromothymol Blue)を含有させた被蒸着液体からなり、円形状で基板122の表面から膨出するように湾曲状に形成されている。
次に、上述したセンサ121の製造方法について説明する。先ず初めに、表面が平坦なガラスでなる基板122を用意し、pH指示薬等を含有させた被蒸着液体を、この基板122の表面上に滴下し、スピンコート法により余分な被蒸着液体を省いて、表面張力により基板122の表面から湾曲状に膨出した液体層124を形成する。
以上の構成において、センサ121では、所定の気体によって視覚的に変化する気体反応液体を含有させた液体層124が基板122に形成され、CVD法による薄膜形成処理により、パリレンからなる多孔質膜126が液体層124を被覆するように形成されている。ここで、センサ121は、多孔質膜126が多孔質状に形成され気体を透過し得る特性を有することから、外部の気体を液体層124まで到達させることができ、当該気体を液体層124により検知することができる。かくして、本発明では、パラキシリレン系ポリマーの新たな使用形態となり得るセンサ121を提供できる。
2,12,46,56,73,85,104 パリレン膜
3,13,41,47,57,72,105,116,126 多孔質膜
20 修飾物質
86 第1の多孔質膜(多孔質膜)
87 第2の多孔質膜(多孔質膜)
111,121 センサ
113 トランスデューサ(検知手段)
124 液体層(検知手段)
Claims (12)
- パリレンからなり、表面が滑らかなパリレン膜と、
前記パリレンからなり、複数の微細な孔を有した多孔質状に形成され、前記パリレン膜の一面に設けられた多孔質膜とからなる
ことを特徴とする多孔質構造体。 - 表面が平坦に形成されている
ことを特徴とする請求項1記載の多孔質構造体。 - 内部に隙間のないパリレン膜の一面に形成されている多孔質膜であって、
パリレンからなり、複数の微細な孔を有した多孔質状に形成され、修飾物質を含む
ことを特徴とする多孔質膜。 - CVD(Chemical Vapor Deposition)法による薄膜形成処理の際に蒸発せずに残る液体からなる液体層を形成する第1のステップと、
前記CVD法によって前記液体層の液体表面にパリレンを蒸着させ、多孔質膜を形成する第2のステップと、
前記液体層から前記多孔質膜を剥離する第3のステップと
を備えることを特徴とする多孔質構造体の製造方法。 - CVD(Chemical Vapor Deposition)法による薄膜形成処理の際に蒸発せずに残る液体からなる液体層を形成する第1のステップと、
前記CVD法によって前記液体層の液体表面にパリレンを蒸着させ、多孔質膜を形成する第2のステップと、
前記液体層から前記多孔質膜を剥離する第3のステップとを備え、
前記第1のステップにおける前記液体層には、修飾物質が含有されており、
前記第2のステップでは、前記多孔質膜に前記修飾物質が含まれる
ことを特徴とする多孔質膜の製造方法。 - パリレンからなり、表面が滑らかなパリレン膜と、
前記パリレンからなり、複数の微細な孔を有した多孔質状に形成された多孔質膜とを備え、
前記多孔質膜が前記パリレン膜に所定パターンで形成されている
ことを特徴とする多孔質構造体。 - 前記パリレン膜は親水性又は疎水性を有し、
前記多孔質膜は、前記パリレン膜が親水性又は疎水性であるかに応じて、該パリレン膜と異なる疎水性又は親水性を有している
ことを特徴とする請求項6記載の多孔質構造体。 - 前記多孔質膜の一面に前記パリレン膜が形成され、該多孔質膜の他面に別のパリレン膜が形成され、2つの前記パリレン膜により前記多孔質膜が挟まれた構造を有する
ことを特徴とする請求項6又は7記載の多孔質構造体。 - 前記多孔質膜が設けられた前記パリレン膜の一面と対向する他面に電極を備え、
前記多孔質膜又は前記パリレン膜のいずれかに導電性液体が貯溜されて形成された液体膨出部と、前記電極との間に電圧を印加することで、前記電極と前記導電性液体との固液界面のエネルギー変化により、前記液体膨出部の表面形状を変化させる
ことを特徴とする請求項6又は7記載の多孔質構造体。 - CVD(Chemical Vapor Deposition)法による薄膜形成処理の際に蒸発せずに残り、かつパリレンが蒸着可能な被蒸着液体からなる第1の液体層と、前記CVD法による薄膜形成処理の際に蒸発せずに残り、かつ前記パリレンが蒸着不可能な非蒸着液体からなる第2の液体層とを形成する第1のステップと、
前記CVD法によって前記第1の液体層の液体表面に前記パリレンを蒸着させて多孔質膜を形成し、前記第2の液体層に前記パリレンを蒸着させずに隙間を形成する第2のステップと、
前記第1の液体層から前記多孔質膜を剥離する第3のステップとを備え、
前記隙間を設けることで前記多孔質膜を所定のパターンに形成する
ことを特徴とする多孔質構造体の製造方法。 - 気体を検知する検知手段が設けられた基板と、
パリレンからなり、複数の微細な孔を有した多孔質状に形成され、前記検知手段を覆うようにして前記基板上に設けられた請求項1に記載の多孔質構造体とを備え、
前記多孔質構造体の多孔質膜は、外部の気体を透過させて前記検知手段により該気体を検知させ、
前記検知手段は気体反応液体であり、該気体反応液体が前記基板上に貯溜されることにより液体層を形成し、該液体層を覆うように前記多孔質膜が形成されている
ことを特徴とするセンサ。 - 気体を検知する検知手段が設けられた基板と、
前記検知手段を取り囲むように前記基板上に形成され、気体が透過する液体層と、
多孔質膜で前記液体層を覆うようにして前記基板上に設けられた請求項1に記載の多孔質構造体とを備え、
前記検知手段はトランスデューサであり、該トランスデューサが前記基板に配置されており、
前記多孔質構造体の多孔質膜は、外部の気体を透過させて前記液体層を介して前記トランスデューサまで該気体を到達させ、前記トランスデューサにより前記気体を検知させる
ことを特徴とするセンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011001919A JP5880995B2 (ja) | 2011-01-07 | 2011-01-07 | 多孔質膜、多孔質構造体、それらの製造方法及びセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011001919A JP5880995B2 (ja) | 2011-01-07 | 2011-01-07 | 多孔質膜、多孔質構造体、それらの製造方法及びセンサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012144588A JP2012144588A (ja) | 2012-08-02 |
JP5880995B2 true JP5880995B2 (ja) | 2016-03-09 |
Family
ID=46788499
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011001919A Expired - Fee Related JP5880995B2 (ja) | 2011-01-07 | 2011-01-07 | 多孔質膜、多孔質構造体、それらの製造方法及びセンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5880995B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI607032B (zh) * | 2017-01-18 | 2017-12-01 | 美樺興業股份有限公司 | 聚對二甲苯的三維多孔性結構 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62135520A (ja) * | 1985-12-09 | 1987-06-18 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 高分子複合薄膜及びその製造装置 |
US20060046044A1 (en) * | 2004-08-24 | 2006-03-02 | Lee Chung J | Porous composite polymer dielectric film |
JP4679193B2 (ja) * | 2005-03-22 | 2011-04-27 | 株式会社東芝 | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
US20070209433A1 (en) * | 2006-03-10 | 2007-09-13 | Honeywell International Inc. | Thermal mass gas flow sensor and method of forming same |
WO2010065560A2 (en) * | 2008-12-01 | 2010-06-10 | Jicky Ferrer | Apparatus, system, and method for isolating and venting a litter box |
US20100255376A1 (en) * | 2009-03-19 | 2010-10-07 | Carbon Micro Battery Corporation | Gas phase deposition of battery separators |
-
2011
- 2011-01-07 JP JP2011001919A patent/JP5880995B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012144588A (ja) | 2012-08-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101690871B (zh) | 制造具有锥形孔的膜的方法 | |
Hawkeye et al. | Glancing angle deposition of thin films: engineering the nanoscale | |
Lin et al. | Ultrathin silica membranes with highly ordered and perpendicular nanochannels for precise and fast molecular separation | |
Ariga et al. | Forming nanomaterials as layered functional structures toward materials nanoarchitectonics | |
US20110031566A1 (en) | Conductive nanomembrane, and mems sensor of using the same | |
Khan et al. | Electrochemical impedance spectroscopy for black lipid membranes fused with channel protein supported on solid-state nanopore | |
JP2011506994A5 (ja) | ||
US20120255860A1 (en) | Carbon-based electrodes with graphene modification | |
CN106413859A (zh) | 减轻膜中的渗漏 | |
US20090142504A1 (en) | Method and Apparatus for Single Side Bilayer Formation | |
CN111051839B (zh) | 微机械传感器设备及相应的制造方法 | |
EP2247526A1 (en) | Device for fluid spreading and transport | |
JP5880995B2 (ja) | 多孔質膜、多孔質構造体、それらの製造方法及びセンサ | |
Aramesh et al. | Surface modification of porous anodic alumina for medical and biological applications | |
US20140054170A1 (en) | Biosensor device | |
EP3449245A1 (en) | Textured electrodes with enhanced electrochemical sensitivity | |
US20100129258A1 (en) | Functionalization of a substrate system and method | |
Escobar et al. | Composite fluorocarbon membranes by surface-initiated polymerization from nanoporous gold-coated alumina | |
JP2017502647A (ja) | ナノポア構造体内に複数の単一分子レセプタを作製する方法、およびナノポア構造体 | |
CN107001029A (zh) | 基于结构化基底具有带纳米范围内细孔的三维膜结构的结构元件和制造其的半导体技术方法 | |
McBride et al. | Evaporative crystallization of spirals | |
Zea et al. | Reliable Paper Surface Treatments for the Development of Inkjet‐Printed Electrochemical Sensors | |
Bouffier et al. | Modulation of wetting gradients by tuning the interplay between surface structuration and anisotropic molecular layers with bipolar electrochemistry | |
JP2011163826A (ja) | 細胞測定装置 | |
JP5345078B2 (ja) | 脂質二重膜、それを形成するために用いられる自己支持性フィルム及びそれを具備するマイクロ流路デバイス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131127 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140822 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140930 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141121 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150526 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150723 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160105 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160121 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5880995 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |