JP5868339B2 - 波長板装填光導波路 - Google Patents
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Description
光学異方性を持ったフィルムは、波長板として下記のように光導波路で用いられる。
<1> 光導波路は、偏波依存性があるため、これを解消するために、図1に示すように、導波路1−1の中央部に溝1−2を作製し、ポリイミド延伸フィルムである1/2波長板1−3を挿入して偏波無依存化を図っている(特許文献1参照)。このポリイミド波長板の屈折率差Δnは約0.05であり、通信波長帯である1.5μmの光においては、厚さ約15μmとすることにより、1/2波長板としての役割を果たす。通常溝幅は20μm程度であり、上記の波長板より5μm広く、この間に接着剤で固定する必要がある。この接着剤は導波路と波長板を信頼性よく固定する必要があり、またロスを小さくする必要がある。挿入損失は約0.5dBと大きいことが問題である。さらに高Δ(Δは「差」を表す)の光導波路においては、コア径が小さくなるため、波長板の挿入損失は大きくなり、Δ=2.5%の石英導波路においては、挿入損失は2dBと大きくなる。
<2> 図3に示すように、導波路型Y分岐カプラとマルチモードカプラに0°方向と、90°方向の1/4波長板を挿入して、温度無依存で波長帯域の広い偏光ビームスプリッタを形成している(非特許文献1参照)。
アサーマルAWGでは、AWGの導波路を横断するように複数の細い溝を設け、その中にシリコーン樹脂を充填することで温度無依存化を図っている。複数の細い溝にすることにより、トータルの溝幅は同じでも、ロスは大幅に低減できることが知られている。
その他「重合性液晶」は各種の構造があるが、本発明における「重合性液晶」は、上記の「重合性液晶」の定義の重合性液晶とする。
またRIE(反応性イオンエッチング)により任意の場所に溝を掘り、必要に応じて、水平配向膜、垂直配向膜をリフトオフによってパターンで形成したり、光配向膜を用い、光のマスクあるいは光を吸収する液体を用いて、所望の箇所に所望の配向方向を実現できた。硬化した重合性液晶は、フィルムのように屈折率異方性を持つため、波長板、結晶板と同じ効果を持ち、種々の光導波路の偏波制御、フィルタ、偏光子などの機能を持たせることができる。溝の幅は数μm〜数10μm、溝の深さはコアの下30μm〜100μm程度でよく、長さも100μm〜数100μmでよい。
(3)Δnの大きな光導波路でも、ロスの小さな波長板を形成でき、
(4)液晶の配向を平行配向以外にツイストネマチックにすることにより、旋光子を実現でき、
(5)カイラル剤を添加することにより、波長フィルタを実現でき、
(6)さらにその上に微細なヒーター電極を形成することにより、光導波路型の偏波制御装置を実現できる
という利点がある。
石英系光導波路は、TE,TM偏波で位相差が生じるため、偏波依存性がある。これを解消するために、光導波路の対称中心部に20μm程度の溝を掘り、Δnが約0.05の光学異方性を持つ15μm厚のポリイミドフィルムを挿入して、偏波無依存化を図っている。トータルのロスは0.5dBと大きい。さらに屈折率差が大きな高Δ(例えばΔ=2.5%)の石英系導波路は、コアの大きさが3μm程度しかなく、溝に放射した光の放射角が大きくなるため、波長板を挿入した際のロスは2dB程度と非常に大きくなる。
図7に波長板でなく、旋光子(90゜偏波を回転する素子)を挿入する例を示す。図7(a)は紫外線吸収液体を溝に充填して、光配向膜へ90度方向の直線偏波UV光を照射後、キュアしたことを示す図であり、壁面の片方のみ光配向をさせており、(c)は光配向膜へ0度方向の直線偏波UV光を照射後、キュアしたことを示す図であり、図7(a)同様、壁面の片方のみ光配向をさせており、(e)は重合性液晶を充填し、乾燥させ、UV照射後キュアしたことを示す図ならびに液晶分子の配向の様子を示す図である。図7(b)(d)(f)は、図7(a)(c)(e)それぞれの溝部分の断面を拡大した模式図である。 溝7−1を形成し、光配向膜7−2を塗布するまでの工程は、図5と同じであるが、溝の対向する面の配向方向を直交するようにする。このため、紫外線7−3を照射する際、溝に紫外線を吸収する液体7−4を充填する。これには黒い色素を混入した水溶性インク、油性インク、ペンキなど、その他薄くても紫外線をカットするものであればよい。あるいは光を完全に散乱する白い溶液(例えば修正液など)を用いてもよい。7−3は90度方向の直線偏波UV光であり、7−5は0度方向の直線偏波UV光である。UV照射した後、溶液に浸けてこの液体を洗い流す。この後、平行配向用の重合性液晶7−6を充填する。これにはメルクの光重合性液晶Licrivue RMS03−013C(Δn=0.137)がよい。UV硬化させると、図7(e)の液晶分子の配向の様子を示す図のように、液晶分子7−7はツイストネマチック配向し、TE→TM偏波、TM→TE偏波へ変換できる。導波路上の任意の箇所にRIEにより幅数μm、深さ数10μm、横手方向長さ数100μm溝を形成できるため、任意の箇所に旋光子を設置できるという利点がある。
図8に波長板でなく、カイラルネマチック形のフィルタを挿入する例を示す。図8(a)は溝9−1形成後、光配向膜9−2を塗布したことを示す図、(c)は光配向膜へ90度方向の直線偏波UV光9−3を照射後、キュアしたことを示す図、(e)はカイラル剤を添加した重合性液晶9−4を重点後、乾燥させ、UV照射9−5した後、キュアしたことを示す図、図8(b)(d)(f)は図8(a)(c)(e)それぞれの溝部分の断面を拡大した模式図である。図8(g)は入射スペクトルであり、(h)はカイラルネマチック液晶のピッチPを示し、(i)は出射スペクトルである。カイラルネマチック液晶はネマチック液晶にカイラル剤を添加することによって、液晶が周期を持った螺旋状に配向し、グレーティングを形成する。そのピッチPは、カイラル剤の濃度DとP∝1/Dの関係にあり、カイラル剤の添加とともに、ピッチが短くなる。フィルタとしての透過スペクトルのピーク波長λはP=m×λ(mは整数)という関係にある。そこで透過波長が1.55μmになるように、Pを調整した。メルクのLicrivue RMS03−013C(Δn=0.137)にメルクのカイラル剤を1〜5wt%程度添加して、ピッチPを測定した。カイラル剤の添加量を振って反射スペクトルを測定した。カイラル剤の添加量と反射−波長依存性を図9に示す。カイラル剤を3wt%程度添加すると、反射の中心波長が1.55μmになる。
溝の中に局所的に重合性液晶を充填して配向・重合させて、その上に局所的なヒーターを付けることにより、重合性液晶部のΔnを可変して、偏波コントローラを作ることが可能である。ポリイミド波長板でも同様に導波路型偏波コントローラを実現できるが、ポリイミドフィルム自体が大きく、局所的に加熱できない。溝に充填してその上に局所電極を形成することにより、局所加熱ができ、低消費電力の偏波コントローラが実現できる。
(d)が導波路型偏波コントローラの最終構造となる。ヒータ電極に流す電流を調整し、室温から100℃までコントロールすることにより、0゜、45゜、0゜に配向した重合性液晶の温度を調整して、それぞれのΔnを調整することにより、任意の偏波を任意の偏波に変換する完全偏波制御が可能となる。熱光学効果による偏波制御素子のため応答速度は1ms程度である。
1−2 溝
1−3 1/2波長板
3−1 入力用光導波路
3−2 Y分岐カプラ
3−3 溝
3−4 1/4波長板(90度)
3−5 1/4波長板(0度)
3−6 2×2MMI
5−1 コア
5−2 溝
5−3 液晶用光配向膜
5−4 UV光
5−5 光重合性液晶
5−6 UV照射
6−1 偏光ビームスプリッタの導波路部分
6−2 溝
6−3、6−4 導波路
6−5 液晶用光配向膜
6−6 直線偏光したDeepUV光
6−7 光遮断用マスク
6−8 重合性液晶
6−9 UV光
6−10 ファイバ
6−11 バンドルファイバ
7−1 溝
7−2 光配向膜
7−3 90度方向の直線偏波UV光
7−4 紫外線を吸収する液体
7−5 0度方向の直線偏波UV光
7−6 重合性液晶
7−7 液晶分子
9−1 溝
9−2 光配向膜
9−3 90度方向の直線偏波UV光
9−4 カイラル剤を添加した重合性液晶
9−5 UV照射
11−1 導波路
11−2 溝
11−3 重合性液晶
11−4 ヒーター電極
Claims (10)
- 光導波路のコアを切断するように設けた1個以上の溝と、
前記1個以上の溝の前記コアが露出した対向する壁面に、配向処理した液晶用配向膜と、
前記液晶用配向膜に挟まれて充填され、配向方向が前記液晶用配向膜の配向方向にしたがって固定された、重合性液晶と
を有することを特徴とする光導波路。 - 請求項1記載の光導波路において、前記液晶用配向膜は紫外線の直線偏波によって配向する配向膜であることを特徴とする光導波路。
- 請求項1または2記載の光導波路において、前記重合性液晶は、前記壁面に対して平行配向したホモジニアス液晶であり、前記重合性液晶の屈折率異方性をΔn、溝幅をL、溝数をnとし、前記光導波路を通過する光の波長をλとし、Δn×L×n=λ/2あるいはλ/4となるように、前記溝幅Lが決められていることを特徴とする光導波路。
- 請求項1または2記載の光導波路において、前記重合性液晶の配向が、ツイストネマチック配向あるいはスーパーツイストネマチック配向とされていることを特徴とする光導波路。
- 請求項1乃至4のいずれか記載の光導波路において、前記重合性液晶の上にヒーター電極を備え、配向した前記重合性液晶の屈折率異方性を温度で制御することを特徴とする光導波路。
- 請求項1記載の光導波路において、充填された前記重合性液晶がネマチック液晶にカイラル剤を添加したカイラルネマチック液晶であることを特徴とする光導波路。
- 光導波路のコアを切断するように連続して設けられた第1、第2、および第3の溝と、
前記第1、および前記第3の溝の前記コアが露出した対向する壁面には0度方向に配向させられた液晶用配向膜と、
前記第2の溝の前記コアが露出した対向する壁面には45度方向に配向させられた液晶用配向膜と、
前記0度方向に配向させられた液晶用配向膜および前記45度方向に配向させられた液晶用配向膜に挟まれて充填され、配向方向が、前記液晶用配向膜の配向方向にしたがって固定された重合性液晶と、
前記重合性液晶の上にヒーター電極と、
を備え、配向した前記重合性液晶の屈折率異方性を温度で制御することを特徴とする偏波コントローラ。 - 請求項1記載の光導波路の製造方法であって、前記液晶用配向膜は紫外線の直線偏波によって配向する配向膜であり、照射する前記紫外線の前記直線偏波の方向を調整することにより、充填した前記重合性液晶の配向方向を制御して、紫外線硬化したことを特徴とする光導波路の製造方法。
- 請求項1記載の光導波路の製造方法であって、前記溝の形成方法が、反応性イオンエッチングであることを特徴とする光導波路の製造方法。
- 請求項4記載の光導波路の製造方法であって、前記液晶用配向膜に紫外線を照射して配向させる際、前記溝に紫外線吸収剤あるいは遮蔽剤を充填して、前記溝の対向する前記壁面で異なる角度の紫外線直線偏波を照射することにより、前記重合性液晶の配向を、ツイストネマチック配向あるいはスーパーツイストネマチック配向とすることを特徴とする光導波路の製造方法。
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