JP5866891B2 - 力センサー、力検出装置、ロボットハンド、およびロボット - Google Patents
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Description
圧電材料から成る複数の圧電素子と複数の電極板とを積層して成る力センサーであって、
前記圧電素子の外周形状は、
少なくとも4つの辺を有し、
該4つの辺のうちの第1辺と第2辺とは互いに平行で、且つ、該4つの辺のうちの第3辺と第4辺とは互いに平行であり、
該第1辺と該第2辺との間隔と、該第3辺と該第4辺との間隔とは等しく、
該第1辺の延長線と該第3辺の延長線とは直交する形状である
ことを特徴とする。
このようにすれば、各圧電素子を力検出に必要な結晶方位に揃えて、容易に積層配置することが可能となる。
このようにすれば、感度を有する方向を揃えて、各圧電素子を容易に積層することが可能となる。
このようにすれば、1つの力センサーで、三軸方向の力を検出することが可能となる。
このようにすれば、軸方向の力成分だけでなく、軸回りのモーメントを容易に検出することができる。
上述したように本発明の力センサーを2つ以上備えた力検出装置は、軸方向の力成分だけでなく、軸回りのモーメントを容易に検出することができる。このため、本発明の力検出装置を搭載してロボットハンドやロボットを動作させることとすれば、小型で高性能のロボットハンドあるいはロボットを実現することができる。
A.力センサーの構成:
B.力センサーの動作:
C.力検出装置の構成および動作:
D.変形例:
図1は、本実施例の力センサー100の構造を示した分解斜視図である。図1に示されるように力センサー100は、上部プレート102と下部プレート104との間に、電極板106と、外周形状が正方形を成す水晶板から成る水晶圧電素子108と、を交互に複数積層して構成されている。電極板106は、導電性を備える金属、例えば、チタニウム、アルミニウム、銅、鉄などの単体もしくは合金を用いることができる。例えば、鉄合金としてステンレススチールを用いることも可能であり、耐久性,耐食性が優れることから好適に用いられる。隣り合う2枚の電極板106の間には、1つの水晶圧電素子108の他、1枚のフッ素樹脂スペーサ110が挟持されている。そのフッ素樹脂スペーサ110の中央部には、正方形状の貫通孔が開いており、その貫通孔内に上記水晶圧電素子108が配置されることによって、水晶圧電素子108はxy平面において位置決めされる。
力センサー100に力が加わった場合、上部プレート102および下部プレート104は、その力を受けて、各水晶圧電素子108a〜108fに伝達する。各水晶圧電素子108a〜108fは、それぞれ、圧電効果により、水晶の結晶方位に応じた力成分を検出する。すなわち、図2に示すように、y方向用水晶圧電素子108a,108bでは、前述したとおり、水晶のX方位がy方向に沿っているため、y方向の力成分を検出し、その検出値に基づいた電気信号をFy信号として電極板106bより出力信号線へと出力する。同様に、z方向用水晶圧電素子108c,108dでは、水晶のX方位がz方向に沿っているため、z方向の力成分を検出し、その検出値に基づいた電気信号をFz信号として電極板106dより出力信号線へと出力する。x方向用水晶圧電素子108e,108fでは、水晶のX方位がx方向に沿っているため、x方向の力成分を検出し、その検出値に基づいた電気信号をFx信号として電極板106fより出力信号線へと出力する。
図4は、図1に示す力センサー100を4つ備えた力検出装置200の外観を示す斜視図である。図4に示されるように、力検出装置200では、上部プレート102および下部プレート104は、それぞれ円盤形状を成しており、各力センサー100a〜100dで共有されている。各力センサー100a〜100dは、それぞれ、円周に沿って、90度ずつ隔てて配置されており、3つ以上の力センサー100が同一直線上に並ばないように配置されている。
以上、本実施例の力センサー100および力検出装置200について説明したが、本発明は上記すべての実施例に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施することが可能である。
106…電極板、 108…水晶圧電素子、 110…フッ素樹脂スペーサ、
112…フッ素樹脂スリーブ、 114…与圧ボルト、 116…貫通孔、
132…受圧部、 134…受圧面、 136…目印、
200…力検出装置
Claims (9)
- スリーブが設けられた第1部材と、
第2部材と、
圧電材料から成る複数の圧電素子と、
複数の電極板と、
前記第1部材と前記第2部材とによって挟持される複数の前記圧電素子を位置決めするためのスペーサと、を含み、
複数の前記スペーサは、それぞれ前記圧電素子を位置決めする貫通孔と、前記圧電素子を挟持するための複数の挿通孔とが形成され、前記貫通孔は前記複数の挿通孔の間に位置し、
複数の前記電極板は、それぞれ複数の挿通孔が形成され、
複数の前記スペーサおよび複数の前記電極板は、前記スリーブが複数の前記スペーサのそれぞれに形成された前記複数の挿通孔と、複数の前記電極板のそれぞれに形成された前記複数の挿通孔に挿通されることにより、
積層される、
ことを特徴とする力センサー。 - 請求項1に記載の力センサーであって、
前記圧電素子と前記電極板とは交互に積層されており、
前記圧電素子は、該圧電素子の外周形状の中央部分にある円形またはワッシャ形の接触面で、隣接する前記電極板と接触する
ことを特徴とする力センサー。 - 請求項1または請求項2に記載の力センサーであって、
前記圧電素子は、前記圧電素子および前記電極板を積層する積層方向に対して垂直な方向の力に対して感度を有する特定圧電素子を含み、該特定圧電素子には、前記感度の方向を示す目印が形成されている
ことを特徴とする力センサー。 - 請求項1ないし請求項3の何れか一項に記載の力センサーであって、
前記圧電素子は、少なくとも交差する第1辺と第3辺を含み、
前記圧電素子は、前記圧電素子および前記電極板を積層する積層方向に対して垂直な方向の力に対して感度を有する特定圧電素子を含み、該特定圧電素子の感度の方向が、前記第1辺または前記第3辺に平行な方向である
ことを特徴とする力センサー。 - 請求項1ないし請求項4の何れか一項に記載の力センサーであって、
互いに直交するx方向,y方向,z方向の三軸に対し、前記圧電素子は、x方向の力に感度を有するx方向用圧電素子と、y方向の力に感度を有するy方向用圧電素子と、z方向の力に感度を有するz方向用圧電素子と、を含み、前記三軸方向の力を検出する
ことを特徴とする力センサー。 - 加えられた力を検出する力検出装置であって、
請求項5に記載の力センサーを2つ以上備え、所望の軸回りのモーメントを検出する
ことを特徴とする力検出装置。 - 請求項6に記載の力検出装置であって、
3つ以上の前記力センサーを同一の直線上に並ばないように配置し、前記三軸方向の力、および三軸回りのモーメントを検出する
ことを特徴とする力検出装置。 - 請求項6に記載の力検出装置を用いて動作するロボットハンド。
- 請求項6に記載の力検出装置を用いて動作するロボット。
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