JP5859719B2 - 金属超微粉の製造方法および製造装置 - Google Patents
金属超微粉の製造方法および製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5859719B2 JP5859719B2 JP2009148689A JP2009148689A JP5859719B2 JP 5859719 B2 JP5859719 B2 JP 5859719B2 JP 2009148689 A JP2009148689 A JP 2009148689A JP 2009148689 A JP2009148689 A JP 2009148689A JP 5859719 B2 JP5859719 B2 JP 5859719B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- furnace
- powder
- gas
- metal
- raw material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000843 powder Substances 0.000 title claims description 135
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims description 96
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims description 96
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 28
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 98
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 62
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 57
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 50
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 claims description 48
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 38
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 38
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 38
- 239000002737 fuel gas Substances 0.000 claims description 26
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 23
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 claims description 10
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 4
- 239000012255 powdered metal Substances 0.000 claims description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical group [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 30
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 13
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 10
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 9
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 9
- 239000004071 soot Substances 0.000 description 9
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 8
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 7
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 7
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000005469 granulation Methods 0.000 description 5
- 230000003179 granulation Effects 0.000 description 5
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 5
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 5
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 5
- 239000003345 natural gas Substances 0.000 description 4
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000567 combustion gas Substances 0.000 description 2
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 2
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 229910000480 nickel oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N oxonickel Chemical compound [Ni]=O GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012776 electronic material Substances 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004679 hydroxides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 239000002887 superconductor Substances 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- 239000002912 waste gas Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
Description
この方法は、バーナを用いて炉内に高温還元火炎を形成し、その火炎中で金属化合物を加熱・蒸発・還元処理することで、原料の金属化合物よりも粒径の小さい金属超微粉を製造する技術である。
また、本発明は、上記金属超微粉の製造方法に適用可能な金属超微粉の製造装置を提供することを目的とする。
請求項1に記載の発明は、粉体状の金属又は金属化合物からなる原料粉体を含む燃料ガスと、酸素又は酸素富化空気からなる支燃性ガスとをバーナに供給し、外気と遮断された炉内において、前記燃料ガスと前記支燃性ガスとにより還元性の火炎を形成するとともに、前記還元性の火炎中へ前記原料粉体を吹込み、金属超微粉を製造する方法において、
前記炉は、前記バーナが下向きに取り付けられるとともに炉内径及び炉長のサイズをそれぞれ変更可能とされた上段炉と、前記上段炉の下部に配置されるとともに炉内径が前記上段炉よりも大きく設けられた下段炉と、の2段構造を有しており、
前記燃料ガスが燃焼した際に生成する燃焼排ガス中に前記原料粉体を含むとともに、前記上段炉の炉内径及び炉長の一方又は両方の調整、および前記燃焼排ガス量の調整のうち、少なくとも一方による、前記燃焼排ガスの前記上段炉内での滞留時間の制御と、
前記原料粉体の供給量、前記燃料ガスの流量、前記支燃性ガスの流量及び前記上段炉内に供給する不活性ガスの流量のうち、一つ又は二以上を増加又は減少させることによる、前記燃焼排ガス中の前記原料粉体の濃度の制御と、のうち、少なくとも一方又は両方を行うことにより、
生成する金属超微粉の平均粒径を任意の粒径となるように自在に操作することを特徴とする金属超微粉の製造方法である。
外気と遮断された炉と、
粉体状の金属又は金属化合物からなる原料粉体を含む燃料ガスと、酸素又は酸素富化空気からなる支燃性ガスとを前記炉に向けて噴出するとともに還元性の火炎を形成するバーナと、を少なくとも備えており、
前記炉は、前記バーナが下向きに取り付けられるとともに炉内径及び炉長のサイズをそれぞれ変更可能とされた上段炉と、前記上段炉の下部に配置されるとともに炉内径が前記上段炉よりも大きく設けられた下段炉と、の2段構造を有するとともに、
前記上段炉の前記炉内径及び前記炉長の一方又は両方を変更する手段と、
前記原料粉体の供給量、前記燃料ガスの流量、前記支燃性ガスの流量及び前記上段炉内に供給する不活性ガスの流量のうち、一つ又は二以上を調整する手段と、のうち、少なくとも一方又は両方の手段を有することを特徴とする金属超微粉の製造装置である。
図1に示すように、本発明の一例である金属超微粉の製造装置(以下、単に製造装置という)10は、粉体原料をバーナ11に定量的に供給する原料フィーダー12、二段構造の粒状化炉(炉)13、生成した金属粒子を捕集するためのバグフィルター14、ブロワー15から概略構成されている。より具体的には、バーナ11には支燃性ガス供給設備16と接続されており、原料フィーダー12には燃料ガス供給設備17及び不活性ガス供給設備18が接続されている。
図2において、符号1は、原料供給管を示し、その内部は原料粉体とキャリアガスの混合物が供給される原料供給路1Aとなっている。キャリアガスとしては燃料ガス供給設備17から供給される天然ガス、プロパンガスなどの燃料ガス、又は燃料ガスと不活性ガス供給設備18から供給される窒素、アルゴンなどの不活性ガスとの混合物が用いられる。このキャリアガスに原料粉体が搬送され、原料供給管1の先端部分に形成された複数(この例では4個)の噴出孔(原料噴出孔)1B、1B・・から噴出されるようになっている。
また、粉体原料の平均粒径が小さいほど、生成する金属超微粉の平均粒径を小さくすることができる。したがって、粉体原料の平均粒径は、具体的には、50μm以下であることが好ましく、30μm以下であることがより好ましく、20μm以下であることがさらに好ましい。
一次支燃性ガス供給路2Aの内部には、リング2Bが取り付けられ、このリング2Bには複数の貫通孔(一次噴出孔)2C、2C・・が円周上等間隔に形成されており、一次支燃性ガスがこれらの貫通孔2C、2C・・を通過し、一次支燃性ガス供給管2の先端開口部からバーナ中心軸に対して平行に噴出するようになっている。
一次支燃性ガスには、酸素、酸素富化空気などの酸素含有ガスが用いられる。
二次支燃性ガス供給路3Aの先端部はリング状のフロントプレート部3Bとなっており、このフロントプレート部3Bには複数の噴射孔(二次噴出孔)3C、3C・・が形成されている。これらの噴射孔3C、3C・・は、いずれもその噴射方向がバーナ中心軸に向かうように傾斜して形成されており、二次支燃性ガスがバーナ中心軸に向けて噴射されるようになっている。
二次支燃性ガスには、酸素、酸素富化空気などの酸素含有ガスが用いられる。
また、バーナの先端開口部分においては、図示のように、原料供給管1の先端部と一次支燃性ガス供給路2Aの先端開口部との位置がバーナ後部に向けて若干後退した形状となっており、これによりフロントプレート部3Bが傾斜し、すり鉢状の空間が形成され、この空間において燃料と一次支燃性ガスとの混合が良好に行われることになる。
本実施形態では、バーナ11によって形成された還元火炎を、上段炉13Aの炉内に収まるような大きさとしてもよいし、上段炉13Aの炉内に収まらない大きさとしても良い。
なお、火炎径dに対して炉内径Dが小さい場合とは、目視で確認した際に火炎径dとなる火炎を、この火炎径dよりも小さい炉内径Dの上段炉13A内で燃焼させている場合であり、上段炉13A内の径方向全体に火炎が拡がっている状態をいう。
また、火炎長lに対して炉長Lが小さい場合とは、図1に示すように、火炎が上段炉13A内に収まらずに、下段炉13Bまで到達するような状態をいう。
本実施形態の下段炉13Bの内部は、金属超微粉の成長領域とはされていない。すなわち、上段炉13Aの炉内から下段炉13B内へと排出される燃焼排ガスは、下段炉13Bの炉内に到達する際に、金属超微粉の成長領域の範囲外となる。また、火炎長lが上段炉13Aの炉長Lよりも大きい場合、すなわち、火炎が上段炉13A内に収まらずに下段炉13B内に達している場合であっても、下段炉13Bの炉内径D2が上段炉13Aの炉内径Dよりも大きく設けられているため、上段炉13A内で加熱・蒸発・還元処理される粉体原料が下段炉13B内に到達した際に火炎の外側に放出されて成長領域から外れてしまう。したがって、下段炉13Bでは、金属超微粉は成長しない。
本発明の金属超微粉の製造方法の第1の方法では、先ず、原料粉体が、原料フィーダー12において燃料ガス供給設備17からの燃料ガスあるいは不活性ガス供給設備18からの不活性ガスに同伴されて、バーナ11まで搬送される。次に、バーナ11に支燃性ガス供給設備16から供給される酸素などの支燃性ガスを供給して燃料ガスを燃焼させることで、粒状化炉13内に火炎を形成させる。そして、原料粉体を上段炉13A内の火炎中で、原料粉体を加熱・蒸発・還元して金属超微粉を粒子成長させる。
なお、燃焼排ガスの滞留時間(T)は、バーナ11に供給された燃料ガスが燃焼した際に生成される燃焼排ガス量(V)と上段炉13Aの炉内断面積S1とから空塔速度(v)を求め、上段炉13Aの炉長Lをこの空塔速度vで割った値として定義される。
なお、燃料ガス及び支燃性ガスの流量を一定にしたまま、燃焼排ガス中に窒素やアルゴンといった不活性ガスを吹き込んで排ガス量を変化させることにより、滞留時間を制御してもよい。
なお、N値は、単位時間当たりの原料供給量を単位時間当たりに発生する燃焼排ガス量で割った値と定義される。
これに対して、上述した第1の方法は、金属超微粉の成長領域である上段炉13Aの内部を通過する時間を長くすることで大きな粒子を生成し、上段炉13Aの内部を通過する時間を短くすることで小さな粒子を生成するものである。
以下の具体例で用いた金属超微粉の製造装置の構成は図1に示した通りである。製造装置は、原料を搬送するためのフィーダー、高温還元雰囲気を形成するためのバーナ及び粉状化炉、粉体と燃焼排ガスとを分離するためのバグフィルター、ガスを吸引するためのブロワーから構成される。粉状化炉は水冷の炉壁構造であり、上段炉は炉内径Dと炉長Lの長さが変更可能である。
なお以下の具体例では燃料となる可燃性ガスには天然ガス、支燃性ガスには酸素、不活性ガスには窒素を用いた。
バーナに供給する天然ガスの供給量、酸素比およびN値を変えずに上段炉のD/d又はL/lを変化させた場合に、生成されるニッケル超微粉の平均粒径を確認した。表1に試験条件、図3にL/lを0.3と1.0に固定した場合のD/dと平均粒径の関係、図4にD/dを1.0と3.0に固定した場合のL/lと平均粒径の関係を示す。図3及び図4に示すように、D/d及びL/lを変化させることで平均粒径が変化することが確認された。この結果から、炉内における燃焼排ガスの滞留時間を炉内径及び炉長により調整することで、生成される金属超微粉の平均粒径が制御できることがわかった。
酸素比、N値、炉1の炉内径及び炉長を一定にして、天然ガスあるいは不活性ガスである窒素の流量を調整することにより、燃焼排ガスの滞留時間を変化させた場合に生成されるニッケル(Ni)、銅(Cu)、銀(Ag)の超微粉の平均粒径を確認した。表2に試験条件、図5に排ガスの滞留時間と平均粒径との関係を示す。排ガス量を変化させて滞留時間を長くすることで、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、銀(Ag)のいずれの金属も平均粒径が大きくなることが確認された。この結果から排ガス量を変化させて滞留時間を調整することで生成される金属超微粉の平均粒径が制御できることがわかった。
原料供給量や燃焼排ガス量を変化させることでN値を変化させた場合に、生成されるニッケル(Ni)、銅(Cu)、銀(Ag)の超微粉の平均粒径を確認した。なお滞留時間は炉1の炉内径を固定し、炉長を調整することで、全ての条件で一定になるようにした。表3に試験条件、図6にN値と平均粒径との関係を示す。N値を変化させることで、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、銀(Ag)のいずれの金属も平均粒径が変化することが確認された。この結果から、原料供給量あるいは燃焼排ガス量を変化させて排ガス中の原料粉体濃度を調整することで生成される金属超微粉の平均粒径が制御できることがわかった。
バーナの酸素比を変化させた場合に、図1に示す本発明の製造装置を用いた金属超微粉の製造方法と、上段炉と下段炉とに区別されない粉状化炉を備える従来の製造装置を用いた金属超微粉の製造方法と、の金属微粉中に混入する煤の量を確認した。図7に酸素比と金属微粉中のカーボン濃度との関係を示す。いずれの酸素比の場合であっても、従来の製造方法よりも本発明の製造方法のほうが金属微粉中に混入する煤の量が少ないことがわかった。
1A・・・原料供給管路
1B・・・噴出孔(原料噴出孔)
2・・・一次支燃性ガス供給管
2A・・・二次支燃性ガス供給路
2B・・・リング
2C・・・貫通孔(一次噴出孔)
3A・・・二次支燃性ガス供給路
3B・・・フロントプレート部
3C・・・噴射孔(二次噴出孔)
4・・・冷却ジャケット管
10・・・金属超微粉の製造装置
11・・・バーナ
12・・・原料フィーダー
13・・・粉状化炉(炉)
13A・・・上段炉
13B・・・下段炉
14・・・バグフィルター
15・・・ブロアー
16・・・支燃性ガス供給設備
17・・・燃料ガス供給設備
18・・・不活性ガス供給設備
T・・・炉内の燃焼排ガスの滞留時間
D・・・上段炉の炉内径
L・・・上段炉の炉内長
d・・・還元火炎の火炎径
l・・・還元火炎の火炎長
Claims (3)
- 粉体状の金属又は金属化合物からなる原料粉体を含む燃料ガスと、酸素又は酸素富化空気からなる支燃性ガスとをバーナに供給し、外気と遮断された炉内において、前記燃料ガスと前記支燃性ガスとにより還元性の火炎を形成するとともに、前記還元性の火炎中へ前記原料粉体を吹込み、金属超微粉を製造する方法において、
前記炉は、前記バーナが下向きに取り付けられるとともに炉内径及び炉長のサイズをそれぞれ変更可能とされた上段炉と、前記上段炉の下部に配置されるとともに炉内径が前記上段炉よりも大きく設けられた下段炉と、の2段構造を有しており、
前記燃料ガスが燃焼した際に生成する燃焼排ガス中に前記原料粉体を含むとともに、前記上段炉の炉内径及び炉長の一方又は両方の調整、および前記燃焼排ガス量の調整のうち、少なくとも一方による、前記燃焼排ガスの前記上段炉内での滞留時間の制御と、
前記原料粉体の供給量、前記燃料ガスの流量、前記支燃性ガスの流量及び前記上段炉内に供給する不活性ガスの流量のうち、一つ又は二以上を増加又は減少させることによる、前記燃焼排ガス中の前記原料粉体の濃度の制御と、のうち、少なくとも一方又は両方を行うことにより、
生成する金属超微粉の平均粒径を任意の粒径となるように自在に操作することを特徴とする金属超微粉の製造方法。 - 生成する金属超微粉の平均粒径が、0.03〜0.3μmの範囲であることを特徴とする請求項1に記載の金属超微粉の製造方法。
- 請求項1又は2記載の金属超微粉の製造方法に用いる金属超微粉の製造方法であって、
外気と遮断された炉と、
粉体状の金属又は金属化合物からなる原料粉体を含む燃料ガスと、酸素又は酸素富化空気からなる支燃性ガスとを前記炉に向けて噴出するとともに還元性の火炎を形成するバーナと、を少なくとも備えており、
前記炉は、前記バーナが下向きに取り付けられるとともに炉内径及び炉長のサイズをそれぞれ変更可能とされた上段炉と、前記上段炉の下部に配置されるとともに炉内径が前記上段炉よりも大きく設けられた下段炉と、の2段構造を有するとともに、
前記上段炉の前記炉内径及び前記炉長の一方又は両方を変更する手段と、
前記原料粉体の供給量、前記燃料ガスの流量、前記支燃性ガスの流量及び前記上段炉内に供給する不活性ガスの流量のうち、一つ又は二以上を調整する手段と、のうち、少なくとも一方又は両方の手段を有することを特徴とする金属超微粉の製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009148689A JP5859719B2 (ja) | 2009-06-23 | 2009-06-23 | 金属超微粉の製造方法および製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009148689A JP5859719B2 (ja) | 2009-06-23 | 2009-06-23 | 金属超微粉の製造方法および製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011006718A JP2011006718A (ja) | 2011-01-13 |
JP5859719B2 true JP5859719B2 (ja) | 2016-02-10 |
Family
ID=43563693
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009148689A Active JP5859719B2 (ja) | 2009-06-23 | 2009-06-23 | 金属超微粉の製造方法および製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5859719B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2711111A4 (en) * | 2011-05-18 | 2015-05-20 | Tohoku Techno Arch Co Ltd | PROCESS FOR PRODUCING METALLIC POWDER AND DEVICE FOR PRODUCING METALLIC POWDER |
JP5873471B2 (ja) * | 2013-10-29 | 2016-03-01 | 大陽日酸株式会社 | 複合超微粒子の製造方法 |
CN107414094A (zh) * | 2017-07-10 | 2017-12-01 | 莱芜市泰东粉末科技有限公司 | 防止炉管内未冷却微纳米铁粉氧化爆炸方法及推舟炉 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI381897B (zh) * | 2004-12-22 | 2013-01-11 | Taiyo Nippon Sanso Corp | 金屬超微粉之製造方法 |
-
2009
- 2009-06-23 JP JP2009148689A patent/JP5859719B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011006718A (ja) | 2011-01-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4304221B2 (ja) | 金属超微粉の製造方法 | |
TWI381897B (zh) | 金屬超微粉之製造方法 | |
JP5859719B2 (ja) | 金属超微粉の製造方法および製造装置 | |
WO2018173753A1 (ja) | 銅微粒子、銅微粒子の製造方法、及び焼結体の製造方法 | |
JP6130616B1 (ja) | 銅微粒子及びその製造方法、並びに焼結体 | |
JP5335478B2 (ja) | 金属粒子の製造装置および製造方法 | |
JP2011208187A (ja) | 金属超微粉の製造方法 | |
JP2008286443A (ja) | 無機質球状化粒子製造用バーナ | |
JP7029313B2 (ja) | 金属超微粉の製造方法 | |
WO2021060027A1 (ja) | 無機質球状化粒子製造用バーナ、無機質球状化粒子製造装置及び無機質球状化粒子の製造方法 | |
JP6744730B2 (ja) | 金属微粒子の製造方法 | |
JP2009018968A (ja) | テトラポッド形状酸化亜鉛の製造装置および製造方法 | |
JP3723022B2 (ja) | 非晶質シリカ微粒子の製造方法 | |
JP5525929B2 (ja) | 無機質球状化粒子製造用バーナ、無機質球状化粒子製造装置、及び無機質球状化粒子の製造方法 | |
JP2021053539A (ja) | 無機質球状化粒子製造装置及び無機質球状化粒子の製造方法 | |
JP5367471B2 (ja) | 無機質球状化粒子製造用バーナ及び無機質球状化粒子製造装置、並びに無機質球状化粒子の製造方法 | |
JP7256778B2 (ja) | 無機質球状化粒子製造装置、及び無機質球状化粒子の製造方法 | |
JP5887173B2 (ja) | 球状化粒子製造装置及び球状化粒子製造方法 | |
JP2012206077A (ja) | 無機質球状化粒子の製造方法、無機質球状化粒子製造用バーナ及び無機質球状化粒子製造装置 | |
JP2005008456A (ja) | フラーレンの製造方法及びその設備 | |
JP2012237023A (ja) | 金属微粒子の製造方法 | |
KR20080057549A (ko) | 나노 분말의 제조 방법 및 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120423 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131008 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140311 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150706 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151002 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151217 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5859719 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |