JP5852396B2 - Solar cell inspection method - Google Patents

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Description

本発明は少なくとも一つの太陽電池セルを備えた太陽電池を検査する太陽電池の検査方法に関するものである。   The present invention relates to a solar battery inspection method for inspecting a solar battery including at least one solar battery cell.

太陽エネルギーの利用方法としてシリコン型の太陽電池が知られている。太陽電池の製造工程は目的の発電能力を有しているかどうかに影響を与える。それで、製造された太陽電池が目的にする発電能力の性能評価が重要である。   A silicon type solar cell is known as a method of utilizing solar energy. The manufacturing process of the solar cell affects whether or not it has the target power generation capacity. Therefore, it is important to evaluate the performance of the power generation capacity that is produced by the manufactured solar cell.

太陽電池の性能評価方法として、ソーラシミュレータによる出力特性の測定を利用する方法が知られている(特許文献1参照)。これと異なる方法として太陽電池セルに対して順方向に電流を印加することで、順方向に電流を流しエレクトロルミネッセンス(EL)作用を生じさせ、発光状態から太陽電池セルの良否を判定する方法がある(特許文献2参照)。しかしながら特許文献2には太陽電池セルからの発光光の明るさのみで良否の判断を行っているので、クラックがあっても、明るさが所定の値以上であれば良品と判断される。しかし、クラックが有る場合は急激に太陽電池の発電能力が低下してしまう可能性があるので、不良品と判断すべきである。   As a method for evaluating the performance of a solar cell, a method using measurement of output characteristics by a solar simulator is known (see Patent Document 1). As a method different from this, there is a method in which current is applied in the forward direction to the solar battery cell to cause the current to flow in the forward direction, causing an electroluminescence (EL) action, and determining the quality of the solar battery cell from the light emitting state. Yes (see Patent Document 2). However, since Patent Document 2 determines whether or not the light is good only by the brightness of the emitted light from the solar battery cell, even if there is a crack, it is determined that the product is non-defective if the brightness is a predetermined value or more. However, if there is a crack, the power generation capability of the solar cell may be suddenly reduced, so it should be determined as a defective product.

特許文献3では、太陽電池に順方向の電流を流し、温度分布を撮影して欠陥部分を特定する技術が記載されている。太陽電池に電流を流すと、例えば配線の不良接続部分は接触抵抗が増大し、それによって不良接続部分が発熱することを利用した方法である。   Patent Document 3 describes a technique for identifying a defective portion by flowing a forward current through a solar cell and photographing a temperature distribution. When a current is passed through the solar cell, for example, the contact resistance of the defective connection portion of the wiring increases, and thereby the defective connection portion generates heat.

特許文献4は、本出願人が平成22年4月9日に出願したものであり、その出願内容は、下記の通りである。ラマン分光法を利用して、シリコンが無い状態の欠陥とシリコン基板に残っている残留応力による欠陥と不純物の混入による欠陥とを判断できる検査装置および検査方法である。またその検査装置は、EL発光光を撮影して欠陥を検査するEL検査装置と、サーモグラフィー撮影画像を応用するサーモ検査装置と、ラマン検査装置とを同時に利用して、太陽電池をより正確に検査する検査装置でもある。   Patent Document 4 was filed on April 9, 2010 by the present applicant, and the contents of the application are as follows. This is an inspection apparatus and an inspection method capable of determining a defect in the absence of silicon, a defect due to residual stress remaining in a silicon substrate, and a defect due to contamination of impurities using Raman spectroscopy. In addition, the inspection device inspects solar cells more accurately by simultaneously using an EL inspection device that inspects defects by photographing EL emission light, a thermo inspection device that applies a thermographic image, and a Raman inspection device. It is also an inspection device.

特開2007−88419JP2007-88419 WO2006/059615WO2006 / 059615 特開平8−37317JP-A-8-37317 特願2010−090110Japanese Patent Application 2010-090110 特許第4235685Japanese Patent No. 4235685

しかし、従来の検査装置及び検査方法では、太陽電池検査の精度の向上が得られるものの、あらゆる製造工程が終わったモジュールの品質状態を十分確認できないという問題がある。また検査結果が製造条件に反映出来ないという問題がある。   However, although the conventional inspection apparatus and inspection method can improve the accuracy of the solar cell inspection, there is a problem that the quality state of the module after all the manufacturing processes cannot be sufficiently confirmed. There is also a problem that the inspection result cannot be reflected in the manufacturing conditions.

更に、検査結果は得られるものの、様々な規格または仕様の太陽電池モジュールに最適な製造条件が分からないという問題がある。従って、一度ある製造条件により生産が始まるとそれにより多量に生産が継続され、不良品が多量に発生する。   Furthermore, although an inspection result can be obtained, there is a problem that an optimum manufacturing condition is not known for solar cell modules of various standards or specifications. Therefore, once production starts under certain manufacturing conditions, a large amount of production is continued thereby, and a large number of defective products are generated.

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、太陽電池モジュールの品質判定を正確に行うことが可能で、その検査結果を反映し、様々な太陽電池モジュールに最適な製造条件を得ることができる太陽電池の検査方法を提供することを目的としている。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and can accurately determine the quality of a solar cell module, reflect the inspection results, and obtain optimum manufacturing conditions for various solar cell modules. It aims at providing the inspection method of the solar cell which can do.

上記の目的を達成するために本発明に係る太陽電池の検査方法は、以下のような構成を特徴としている。   In order to achieve the above object, a solar cell inspection method according to the present invention is characterized by the following configuration.

第1発明の太陽電池の検査方法は、一製造条件で太陽電池を生産する生産工程と、前記生産工程で生産された太陽電池を検査する検査工程と、前記検査工程の結果により得られた前記太陽電池の状態が、予め設定された太陽電池の性能に適合するかどうか判断する判断工程と、前記太陽電池の状態が予め設定された太陽電池の性能に適合しない場合に、前記生産工程の前記一製造条件を変更し、前記生産工程と前記検査工程及び前記判断工程を再度行う再判断工程と、前記太陽電池の状態が予め設定された太陽電池の性能に適合する場合に、前記一製造条件を生産工程に適合する条件として決定する生産条件決定工程と、を有することを特徴とする。
第1発明の太陽電池の検査方法によれば、太陽電池の検査結果により正確に太陽電池の品質の判断ができる。また、一太陽電池に適合する製造条件を知り得ることができるので、歩留まりを極めて向上させることができる。更に、不良品の大量発生を防ぐことができる。
The method for inspecting a solar cell according to a first aspect of the present invention includes a production step for producing a solar cell under one manufacturing condition, an inspection step for inspecting a solar cell produced in the production step, and the result of the inspection step. A determination step of determining whether a state of the solar cell matches a preset performance of the solar cell; and, when the state of the solar cell does not match the preset performance of the solar cell, the production step If the manufacturing condition is changed, the production process, the inspection process and the determination process are performed again, and the re-judgment process is performed again. And a production condition determining step for determining as a condition suitable for the production process.
According to the method for inspecting a solar cell of the first invention, the quality of the solar cell can be accurately determined from the result of the solar cell inspection. In addition, since the manufacturing conditions suitable for one solar cell can be known, the yield can be greatly improved. Furthermore, it is possible to prevent a large number of defective products from being generated.

第2発明は、第1発明において、前記検査工程は、サーモ撮影検査、EL撮影検査、及びラマン分光検査が含まれることを特徴とする。
第2発明により、太陽電池のより正確な検査ができ、前記製造条件の正確度が向上する。
According to a second invention, in the first invention, the inspection step includes a thermo imaging inspection, an EL imaging inspection, and a Raman spectroscopic inspection.
According to the second invention, the solar cell can be more accurately inspected, and the accuracy of the manufacturing conditions is improved.

第3発明は、第2発明において、前記サーモ撮影検査、前記EL撮影検査、及び前記ラマン分光検査は少なくても二つの検査結果を用いて一つの製造条件の見直しを行うことを特徴とする。
第3発明により、太陽電池のより検査の正確度がより向上する。
The third invention is characterized in that, in the second invention, the thermo imaging inspection, the EL imaging inspection, and the Raman spectroscopic inspection review at least one inspection condition using at least two inspection results.
According to the third invention, the accuracy of inspection of the solar cell is further improved.

第4発明は、第1から3までの発明において、前記生産条件決定工程の後に生産される太陽電池に番号を付与する番号付与工程が含まれることを特徴とする。
第4発明により、ある製造条件によって生産された太陽電池の経年劣化の追跡観察が可能になり、品質劣化の原因解明が出来る。
A fourth invention is characterized in that in the first to third inventions, a numbering step of assigning a number to a solar cell produced after the production condition determining step is included.
According to the fourth aspect of the invention, it becomes possible to follow-up observation of aged deterioration of a solar cell produced under certain manufacturing conditions, and to elucidate the cause of quality deterioration.

第5発明は、第1から4の発明において、前記検査工程は生産工程の中のラミネート工程の後に設けられることを特徴とする。
第5発明により、生産ラインの中に置かれて生産工程の一工程として検査及び製造条件の見直しが可能になる。
According to a fifth invention, in the first to fourth inventions, the inspection step is provided after a laminating step in a production step.
According to the fifth aspect of the present invention, the inspection and the manufacturing conditions can be reviewed as a process of the production process placed in the production line.

検査対象の太陽電池パネルの構成を示す図。The figure which shows the structure of the solar cell panel of test object. 1枚の太陽電池セルを受光面から見た平面図。The top view which looked at one photovoltaic cell from the light-receiving surface. 太陽電池生産の後工程を示す図。The figure which shows the post-process of solar cell production. 本発明の太陽電池の検査工程を詳しく示す図。The figure which shows the inspection process of the solar cell of this invention in detail. EL撮影検査の検査結果とサーモ撮影検査の検査結果の相関関係を示す図。The figure which shows the correlation of the test result of EL imaging | photography inspection, and the test result of thermo imaging | photography inspection. EL撮影検査の検査結果とラマン分光検査の検査結果の相関関係を示す図。The figure which shows the correlation of the test result of EL imaging | photography test | inspection, and the test result of a Raman spectroscopic test | inspection. 太陽電池の経年劣化について説明する図。The figure explaining the aged deterioration of a solar cell.

以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。
<1>太陽電池パネルの構成
本実施例の検査装置が扱う検査対象としての太陽電池パネル10について説明する。図1は、検査対象装置の太陽電池パネル10の構成を示す図で、(a)は平面図、(b)はその断面図である。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
<1> Configuration of Solar Cell Panel The solar cell panel 10 as an inspection target handled by the inspection apparatus of the present embodiment will be described. 1A and 1B are diagrams showing a configuration of a solar cell panel 10 of a device to be inspected, where FIG. 1A is a plan view and FIG. 1B is a cross-sectional view thereof.

図1(a)の平面図に示すように、角型の太陽電池セル18がリード線19により複数個直列に接続されてストリング15を形成している。そして、ストリング15を複数列リード線19により接続し、両端に電極16、17を接続したものが、検査対象としての太陽電池パネル10となる。上記リード線19により太陽電池セル18を接続したストリング15の製造は、配線機と呼ばれる装置により行われる。太陽電池セル18に対してリード線19を押圧し加熱しながら行われる。この工程は、リード線19の接続及び太陽電池セルに影響を与える。リード線に対する押圧力が高すぎると太陽電池セルに割れを発生させる原因になり、小さすぎると接続不良の原因になる。   As shown in the plan view of FIG. 1A, a plurality of rectangular solar cells 18 are connected in series by lead wires 19 to form a string 15. And what connected the string 15 by the multi-column lead wire 19 and connected the electrodes 16 and 17 to both ends becomes the solar cell panel 10 as a test object. The string 15 in which the solar cells 18 are connected by the lead wires 19 is manufactured by a device called a wiring machine. This is performed while pressing the lead wire 19 against the solar battery cell 18 and heating it. This process affects the connection of the lead wire 19 and the solar battery cell. If the pressing force against the lead wire is too high, it will cause a crack in the solar cell, and if it is too small, it will cause a connection failure.

太陽電池パネル10は以下のように製造される。まず図1(b)に示すように、下側に配置された透明保護層としてのカバーガラス11上に充填材13を置き、その上に複数個直列に接続されたストリング15を複数列リード線により接続されたものを配置し、その上から充填材14を配置し、最後に不透明な素材からなる裏面材12を配置している。充填材13、14としては、EVA樹脂(エチレンビニルアセテート)を使用している。この後、上記のように積層した構成部材をラミネート装置により、真空中で加熱した状態で加圧することで、EVA樹脂を溶融及び架橋反応させてラミネート加工する。   The solar cell panel 10 is manufactured as follows. First, as shown in FIG. 1 (b), a filler 13 is placed on a cover glass 11 serving as a transparent protective layer disposed on the lower side, and a plurality of strings 15 connected in series thereon are connected to a plurality of column lead wires. Are connected to each other, a filler 14 is disposed thereon, and finally a back material 12 made of an opaque material is disposed. As the fillers 13 and 14, EVA resin (ethylene vinyl acetate) is used. Thereafter, the component members laminated as described above are pressed in a state of being heated in a vacuum by a laminating apparatus, whereby the EVA resin is melted and cross-linked to be laminated.

本発明の検査対象の太陽電池としては、上記の太陽電池パネル10に限定されず、太陽電池セル18が1枚だけのもの、太陽電池セル18を複数枚直線的につないだストリング15の状態のものも含まれる。また、ラミネート加工前後のどちらの状態でも検査対象とすることが出来る。しかし、本発明にて目的にしている太陽電池の品質の判定、また太陽電池の品質劣化の原因解明の効果を得るためには太陽電池パネルの形の製品が最も望ましい。   The solar cell to be inspected according to the present invention is not limited to the solar cell panel 10 described above, but only one solar cell 18 or a string 15 in which a plurality of solar cells 18 are linearly connected. Also included. Moreover, it can be set as an inspection object in any state before and after the laminating process. However, a product in the form of a solar cell panel is most desirable in order to obtain the effect of determining the quality of the solar cell aimed at in the present invention and elucidating the cause of the quality deterioration of the solar cell.

図2は、1枚の太陽電池セル18を受光面から見た平面図である。太陽電池セル18は薄板状のシリコン半導体の表面に電気を取り出すための電極であるバスバー18aが印刷されている。加えてシリコン半導体の表面には効率よく電流をバスバーに集めるためにバスバーと垂直方向にフィンガー18bと呼ばれる細かい導体が印刷されている。   FIG. 2 is a plan view of one solar battery cell 18 as viewed from the light receiving surface. In the solar battery cell 18, a bus bar 18 a which is an electrode for taking out electricity is printed on the surface of a thin plate-like silicon semiconductor. In addition, a fine conductor called a finger 18b is printed on the surface of the silicon semiconductor in a direction perpendicular to the bus bar in order to efficiently collect current in the bus bar.

<2>太陽電池の生産工程
太陽電池の生産工程は、シリコンをインゴットから加工して太陽電池セルまで生産する前工程と、太陽電池セルにリード線を付けるなどの工程を経て太陽電池の製品までに至る後工程とに分かれる。なお、前工程と後工程とは別の場所にて行われるのが一般的である。
<2> Solar cell production process The solar cell production process includes a pre-process for processing silicon from an ingot to produce solar cells, and a solar cell product through processes such as attaching lead wires to the solar cells. It is divided into the following processes. In general, the pre-process and the post-process are performed at different locations.

図3は太陽電池生産の後工程を示す図であり、図3を参照して後工程について説明する。
まず、配線機を利用して太陽電池セルとリード線を接続して、ストリングを作製する。ストリングを複数列接続したものをガラス上に封止材を載せた上に設置し、その上に封止材とバックシートをレイアップする。その後、ラミネート工程に進んで太陽電池パネルに加工される。その後トリミングされた後、太陽電池モジュールの電極に端子ボックスが取り付けられる。それから、外部からの水分などの浸入を防ぐためにシーリングされてフレームを取り付けると生産工程は完成する。更に、最終検査を行った後、完成品として出荷される。
FIG. 3 is a diagram showing a post-process of solar cell production, and the post-process will be described with reference to FIG.
First, a solar cell and a lead wire are connected using a wiring machine to produce a string. A string in which a plurality of strings are connected is placed on a glass with a sealing material placed thereon, and a sealing material and a backsheet are laid up on the sealing material. Then, it progresses to a lamination process and is processed into a solar cell panel. Then, after trimming, a terminal box is attached to the electrode of the solar cell module. Then, the production process is completed when the frame is attached after sealing to prevent the entry of moisture and the like from the outside. Further, after the final inspection, it is shipped as a finished product.

本発明は、前記最終検査の際、太陽電池の状態が予め設定されている性能に適合しない場合、生産工程の製造条件を見直して、見直した生産工程は前記生産工程に再度適用され太陽電池の生産が再び行われる。製造条件の見直しは、生産された太陽電池の性能が予め設定されている性能に適合するまで繰り返し行われる。これにより、太陽電池の大きさ、具体的に使う部品の材質、使われる機械の種類などにより、ある太陽電池の最善の生産方法が異なっても、その太陽電池の生産に最も適合する製造条件を迅速に得ることができる。   In the present invention, when the state of the solar cell does not match the preset performance at the time of the final inspection, the manufacturing conditions of the production process are reviewed, and the reviewed production process is applied again to the production process and the solar cell Production is carried out again. The review of the manufacturing conditions is repeatedly performed until the performance of the produced solar cell matches the preset performance. As a result, even if the best production method of a solar cell varies depending on the size of the solar cell, the material of the part to be used, the type of machine used, etc., the manufacturing conditions that best suit the production of the solar cell are selected. Can be obtained quickly.

一方、ある製造条件で製造された太陽電池の性能が予め設定されている性能に適合する場合には、現在の製造条件を今の太陽電池の生産に適合する条件として決定する。尚、決定された製造条件は現在の太陽電池を生産する製造条件として登録される。   On the other hand, when the performance of a solar cell manufactured under a certain manufacturing condition matches a preset performance, the current manufacturing condition is determined as a condition compatible with the current solar cell production. The determined manufacturing condition is registered as the current manufacturing condition for producing the solar cell.

その製造条件で生産された太陽電池は、番号を付けて出荷される。ここで、上記番号はこの太陽電池の生産工程の製造条件に対応する番号で設定される。製造条件と一緒に太陽電池の大きさなどの様々な情報を付与することができる。上記番号と製造条件とが互いに対応していれば十分であり、後で、太陽電池ごとに太陽電池とその製造条件が対応していて、その対応する情報の統計解析などを利用して太陽電池の経年劣化の原因を把握することができる。したがって、長時間使用した太陽電池に対して履歴を追跡することが可能になり、品質低下の原因の解明、また品質低下の原因工程の特定が可能となる。   Solar cells produced under the manufacturing conditions are shipped with numbers. Here, the number is set as a number corresponding to the manufacturing conditions of the production process of the solar cell. Various information such as the size of the solar cell can be given together with the manufacturing conditions. It is sufficient if the above numbers and manufacturing conditions correspond to each other. Later, each solar cell corresponds to a solar cell and its manufacturing conditions, and the solar cell is utilized by statistical analysis of the corresponding information. The cause of deterioration over time can be grasped. Accordingly, it is possible to track the history of a solar cell that has been used for a long time, and it becomes possible to elucidate the cause of quality deterioration and to identify the cause process of quality deterioration.

上記配線機と上記ラミネート装置は太陽電池の寿命と品質に最も影響を与える工程であり、本発明の検査方法は、後工程の最終工程で検査するばかりでなく、ラミネート工程以降のどこで実施されても良い。例えば、ラミネート工程の後の生産工程の中のいずれかの一工程として検査工程を設けることでも良い。   The wiring machine and the laminating apparatus are processes that have the most influence on the life and quality of solar cells, and the inspection method of the present invention is not only inspected in the final process of the post-process, but also performed anywhere after the laminating process. Also good. For example, an inspection process may be provided as any one of the production processes after the lamination process.

<3>太陽電池の検査方法
図4は太陽電池の検査工程を詳しく示す図である。まず、実施例による太陽電池の検査方法はサーモ撮影検査方法、EL検査方法及びラマン分光検査方法が含まれる。各検査三つの検査装置については本出願人が平成22年4月9日に出願した特許文献4に記載しているので説明を省略する。
<3> Solar Cell Inspection Method FIG. 4 is a diagram showing the solar cell inspection process in detail. First, the solar cell inspection method according to the embodiment includes a thermo imaging inspection method, an EL inspection method, and a Raman spectroscopic inspection method. The three inspection devices for each inspection are described in Patent Document 4 filed on April 9, 2010 by the present applicant, and thus the description thereof is omitted.

少なくともラミネート工程を完了した太陽電池が太陽電池の検査装置に搬入され(S1)、次に検査装置に電流が印加されて検査が始まる(S2)。検査は三つの検査に分かれて行い、サーモ検査(S3)とEL検査(S4)とラマン分光検査(S5)とを行う。   The solar cell that has completed at least the laminating process is carried into a solar cell inspection device (S1), and then an electric current is applied to the inspection device to start the inspection (S2). The inspection is divided into three inspections, and a thermo inspection (S3), an EL inspection (S4), and a Raman spectroscopic inspection (S5) are performed.

まず、上記サーモ撮影検査について説明する。画像の明るさに依存しないようにカメラのシャッターを補償して(S31)、撮影を行う(S32)。撮影された画像に発熱斑の有無を調査する。発熱斑がなく均一に発熱した場合には配線の不良接続部分が無いことを意味する。しかしその画像の中に発熱斑が確認された場合、配線の不良接続部があり使用中の発電で発熱部が広がって行って太陽電池の寿命に悪影響を与える。以上のように発熱斑を確認し(S35)、発熱斑が多いと製造条件を変更して生産工程を再度行うようにする。発熱斑の多い少ないは、発熱斑部分の面積などの特性値を閾値として設定することができる。サーモ撮影検査の場合、太陽電池の大きさ、具体的に使用する構成部品の材質、使われる製造装置の種類などによって、望ましい製造条件または判断の前記閾値は変更することが出来るが、発熱斑の特性値がある閾値以上になる場合、生産工程の条件を見直すのが良い。   First, the thermography inspection will be described. The camera shutter is compensated so as not to depend on the brightness of the image (S31), and shooting is performed (S32). Investigate the presence or absence of fever spots in the captured images. When there is no heat generation spot and heat is generated uniformly, it means that there is no defective connection part of the wiring. However, when heat generation spots are confirmed in the image, there is a defective connection portion of the wiring, and the heat generation portion spreads due to power generation during use, which adversely affects the life of the solar cell. As described above, the exothermic spots are confirmed (S35), and if there are many exothermic spots, the production process is changed and the production process is performed again. When there are many heat spots, a characteristic value such as the area of the heat spot can be set as a threshold value. In the case of thermography inspection, the desired manufacturing condition or the threshold value of the judgment can be changed depending on the size of the solar cell, the material of the specific component used, the type of manufacturing equipment used, etc. If the characteristic value exceeds a certain threshold, it is better to review the conditions of the production process.

上記EL撮影検査について説明する。太陽電池に印加された電流によりEL作用により発光する(S41)。発光光を撮影して太陽電池の欠陥(フィンガー断線、ダークエリア、割れ)の有無を検査する(S43)。フィンガー断線が多くなるセルが有る場合には発電能力が加速度的に落ちる恐れがあり、クラック又はダークエリア(欠けを含む)がある場合には日々の膨張・収縮によりクラック又はダークエリアが拡大する恐れがある。以上のようにEL発光光を撮影判断し、フィンガー断線が無い条件、クラックの無い条件、ダークエリアの無い条件の全てを満足しない場合には製造条件を見直し変更して(S44)、別の製造条件で生産工程を再度行う。EL撮影検査の場合、太陽電池の大きさ、具体的に使用する構成部品の材質、使われる製造装置の種類などによって、望ましい製造条件または判断の基準が変わるが、フィンガー断線、クラック、ダークエリアがある程度以上になる場合、生産工程の条件を見直すのが良い。フィンガー断線、クラック、ダークエリアの判断手法は、特許文献5に記載された手法などを使用することが可能であり、詳細説明は省略する。   The EL imaging inspection will be described. Light is emitted by the EL action due to the current applied to the solar cell (S41). The emitted light is photographed to inspect the presence or absence of defects (finger disconnection, dark area, crack) in the solar cell (S43). If there are cells with many finger breaks, the power generation capacity may be accelerated, and if there are cracks or dark areas (including chips), the cracks or dark areas may expand due to daily expansion / contraction. There is. As described above, the EL emission light is photographed and judged, and if all of the conditions of no finger disconnection, no crack, and no dark area are not satisfied, the manufacturing conditions are reviewed and changed (S44). Repeat the production process under certain conditions. In the case of EL imaging inspection, desirable manufacturing conditions or criteria for judgment vary depending on the size of the solar cell, the material of the component used specifically, the type of manufacturing equipment used, etc., but there are finger breaks, cracks, and dark areas. If it exceeds a certain level, it is recommended to review the production process conditions. As a method for determining finger breakage, cracks, and dark areas, the method described in Patent Document 5 can be used, and detailed description thereof is omitted.

上記ラマン分光検査について説明する。波長既知のレーザー光を測定部に照射し、そこで得られる散乱光を分光してスペクトルを得る際、シリコン構造を示すスペクトル強度が最大になる焦点位置に調整する。この方法によりラマン分光測定を行い(S51)、ピークの強度及び半値幅を計算する(S52)。その半値幅が狭いとシリコンの結晶性がよいと判断されるが、広いと結晶性が悪いと判断される。結晶性が良好であれば発電性能が高く、結晶性が悪いと逆に発電性能が低い傾向がある。この指標を用いれば結晶性を見ることで発電の良し悪しを評価することが出来る。   The Raman spectroscopic inspection will be described. When a spectrum is obtained by irradiating a laser beam having a known wavelength to the measurement unit and scattering the obtained light to obtain a spectrum, the focus is adjusted to a focal position at which the spectrum intensity indicating the silicon structure is maximized. The Raman spectroscopic measurement is performed by this method (S51), and the peak intensity and half width are calculated (S52). If the half width is narrow, it is judged that the crystallinity of silicon is good, but if it is wide, it is judged that the crystallinity is bad. If the crystallinity is good, the power generation performance is high, and if the crystallinity is bad, the power generation performance tends to be low. If this index is used, the quality of power generation can be evaluated by looking at the crystallinity.

尚、ラマン分光検査の結果、スペクトル強度が最大となる焦点位置の高さ方向の座標(以降Z軸と略す)の値を比較しセルの位置がずれる場合にはラミネート加工の条件が最適化されていないことを示す。ラミネート装置にて充填材とセルの積層体を加熱加圧する際、充填材を均一に溶融させ適性加圧条件が維持できれば、セル位置は一定を保つ。しかしながら、加工条件が悪い場合にはセル割れ及びマイクロクラックが発生し、あるいは、充填材の溶融流動が不均一化した場合、セル位置がずれることになる。極端にセル位置が変わる場合には生産工程の条件を変更する必要がある(S53)。   As a result of Raman spectroscopic inspection, the value of the coordinate in the height direction (hereinafter abbreviated as Z-axis) of the focal position where the spectral intensity is the maximum is compared. Indicates not. When the laminate of the filler and the cell is heated and pressed by the laminating apparatus, the cell position is kept constant if the filler is uniformly melted and the appropriate pressure condition can be maintained. However, if the processing conditions are poor, cell cracks and microcracks occur, or if the melt flow of the filler becomes non-uniform, the cell position will shift. If the cell position changes extremely, it is necessary to change the conditions of the production process (S53).

図5に従って、サーモ撮影検査とEL検査とラマン分光検査が行われた後、生産工程の条件を見直す方法について例を挙げながら説明する。
図5はEL撮影検査の検査結果とサーモ撮影検査の検査結果の相関関係を示す図であり、横軸はサーモ撮影検査の結果として大きくなるほど(右へ行くほど)発熱斑がなく配線接続部が良い状態を表し、縦軸はEL撮影検査の結果として大きくなるほど(上へ行くほど)セル割れ及びマイクロクラックなどの欠陥がなく太陽電池セルの状態が良いことを表している。そして、縦・横軸共に大きくなれば良いとの判断がなされる。殆どの生産工程では、EL撮影検査とサーモ撮影検査についてトレードオフの関係である。例えば、配線機の場合、リード線の押圧力が強くなるほど配線接続部は良くなるものの、押圧力が増加するとセルに欠陥が生じてEL発光光の撮影画像は暗くなる可能性が高くなる。
A method for reviewing the conditions of the production process after thermographic inspection, EL inspection, and Raman spectroscopic inspection have been performed will be described with reference to FIG.
FIG. 5 is a diagram showing the correlation between the inspection result of the EL imaging inspection and the inspection result of the thermo imaging inspection, and the horizontal axis increases as the result of the thermo imaging inspection increases (as it goes to the right), and there is no heating spot and the wiring connection portion The vertical axis indicates the better state as the result of the EL imaging inspection becomes larger (as it goes up), and there are no defects such as cell cracks and microcracks, and the solar cell state is better. Then, it is determined that both the vertical and horizontal axes should be increased. In most production processes, there is a trade-off between EL imaging inspection and thermo imaging inspection. For example, in the case of a wiring machine, the wiring connection portion improves as the pressing force of the lead wire increases. However, when the pressing force increases, there is a high possibility that a captured image of EL emitted light becomes dark due to a defect in the cell.

図6はEL撮影検査の検査結果とラマン分光検査装置の相関関係を示す図であり、横軸はEL撮影検査の結果として大きくなるほど(右へ行くほど)セル割れ及びマイクロクラックなどの欠陥がなく太陽電池セルの状態が良いことを表し、縦軸はラマン検査の結果で得られるZ軸の位置ずれ値が小さくなるほど(上へ行くほど)セルの位置ズレがないことを表している。
ここで、セル位置のズレの評価方法としては例えば以下の方法がある。すなわち、太陽電池モジュールの4つの角にあるセルと、中央にあるセルのガラスからの距離を測定し、中央セルに対して角のセルのガラスからの距離の測定結果がずれている場合にはラミネート加工の条件が不適切となることを示している。
そして、縦・横軸共に大きければ大きいほど良いと判断されるのであるが、殆どの生産工程はEL撮影検査とラマン検査についてはトレードオフの関係を示している。ちなみに、ラミネート装置の場合、ラミネート装置で適性条件であればセル位置が一定でありEVA樹脂の気泡が無くなり、EL撮影検査によるセル割れ及びマイクロクラックなどの欠陥が無い太陽電池セルの状態が良好となる。しかし加圧条件が極端に不適正な場合ではセル割れが発生し、不適正な場合にはセル割れはしないがセル位置のずれが発生する。この場合、ラミネート装置の加圧条件を気泡が認められないよう、セル割れ及びセルずれがないように調整し製造条件を変更することが適切である。
FIG. 6 is a diagram showing a correlation between the inspection result of the EL imaging inspection and the Raman spectroscopic inspection apparatus. The larger the horizontal axis is as a result of the EL imaging inspection (the more toward the right), the fewer defects such as cell cracks and microcracks. The solar cell is in good condition, and the vertical axis indicates that there is no cell misalignment as the Z-axis misalignment value obtained as a result of Raman inspection becomes smaller (upward).
Here, as a method for evaluating the deviation of the cell position, for example, there is the following method. In other words, when the distance from the glass of the cell at the four corners of the solar cell module and the glass of the cell at the center is measured, This indicates that the laminating conditions are inappropriate.
It is judged that the larger the vertical and horizontal axes, the better. However, most production processes show a trade-off relationship between EL imaging inspection and Raman inspection. By the way, in the case of a laminating apparatus, if the laminating apparatus is in an appropriate condition, the cell position is constant, the bubbles of EVA resin are eliminated, and the state of the solar cell without defects such as cell cracks and micro cracks by EL imaging inspection is good. Become. However, when the pressurization condition is extremely inappropriate, cell cracks occur. When the pressurization condition is inappropriate, cell cracks do not occur, but the cell position shifts. In this case, it is appropriate to change the manufacturing conditions by adjusting the pressurizing conditions of the laminating apparatus so that no bubbles are observed and no cell cracking or cell displacement.

図7は太陽電池の経年劣化について説明する図であり、横軸は使用年数、縦軸は発電量を示す。図7で示されているように使用年数が増えても発電量が変わらないのが理想的な太陽電池であるが、時間が経過すれば発電量が徐々に減少する。時間経過により徐々に発電量が減って行く劣化パターン1は、シリコン電極材料やシリコンの結晶構造などのミクロ単位の欠陥と、配線接続などのマクロ単位の欠陥によるものと推定される。使用開始から15年から20年の期間経過で発電量が加速度的に急激に低下してしまう劣化パターン2は、ミクロ単位の欠陥とマクロ単位の欠陥に合わせて太陽電池への水分侵入による腐食・断線が重なった結果と推定される。   FIG. 7 is a diagram for explaining aged deterioration of a solar cell, in which the horizontal axis indicates the number of years of use and the vertical axis indicates the amount of power generation. As shown in FIG. 7, an ideal solar cell is such that the amount of power generation does not change even when the number of years of use increases. However, the amount of power generation gradually decreases as time passes. It is presumed that the degradation pattern 1 in which the power generation amount gradually decreases with the passage of time is due to micro unit defects such as silicon electrode material and silicon crystal structure and macro unit defects such as wiring connection. Degradation pattern 2 in which the amount of power generation decreases rapidly in the period of 15 to 20 years after the start of use is due to the corrosion and corrosion caused by moisture intrusion into the solar cell in accordance with the defects of micro units and defects of macro units. Presumed to be the result of overlapping disconnections.

更に、このような発電不具合の劣化パターンを参照し本発明の検査方法を適用すれば、検査対象になった太陽電池の生産工程について不適切な工程を特定するのが出来るようになる。例えば、劣化パターン2の場合には図3の太陽電池の周辺シール工程で問題があると判断できる。それを踏まえて、周辺シール工程の条件を見直すことができる。なお、劣化パターンとその生産条件を比較しながら統計分析すると、ある劣化の原因となっている製造条件を特定することができる。これを利用してトレーサビリティ分析が可能になり製造条件の改善ができ、太陽電池の不具合がない長寿命の実現が可能になる。   Furthermore, by applying the inspection method of the present invention with reference to such a power generation failure deterioration pattern, it becomes possible to specify an unsuitable process for the production process of the solar cell to be inspected. For example, in the case of the degradation pattern 2, it can be determined that there is a problem in the peripheral sealing process of the solar cell in FIG. Based on this, it is possible to review the conditions of the peripheral sealing process. If a statistical analysis is performed while comparing the deterioration pattern and its production conditions, the manufacturing conditions that cause a certain deterioration can be specified. By utilizing this, traceability analysis can be performed, manufacturing conditions can be improved, and a long life without any malfunction of the solar cell can be realized.

10 太陽電池パネル
11 カバーガラス(透明保護層)
12 裏面材
13、14 充填材
15 ストリング
16、17 電極
18 太陽電池セル
19 リード線
18a バスバー
18b フィンガー
10 Solar panel 11 Cover glass (transparent protective layer)
12 Back material 13, 14 Filler 15 String 16, 17 Electrode 18 Solar cell 19 Lead wire 18a Bus bar 18b Finger

Claims (4)

一製造条件で太陽電池を生産する生産工程と、
前記生産工程で生産された太陽電池を検査する検査工程と、
前記検査工程の結果により得られた前記太陽電池の状態が、予め設定された太陽電池の性能に適合するかどうか判断する判断工程と、
前記太陽電池の状態が予め設定された太陽電池の性能に適合しない場合に、前記生産工程の前記一製造条件を変更し、前記生産工程と前記検査工程及び前記判断工程を再度行う再判断工程と、
前記太陽電池の状態が予め設定された太陽電池の性能に適合する場合に、前記一製造条件を生産工程に適合する条件として決定する生産条件決定工程と、
を有し、
前記検査工程はサーモ撮影検査、EL撮影検査、及びラマン分光検査が含まれることを特徴とする太陽電池の検査方法。
A production process for producing solar cells under one manufacturing condition;
An inspection process for inspecting the solar cell produced in the production process;
A determination step of determining whether or not the state of the solar cell obtained by the result of the inspection step matches a preset performance of the solar cell;
If the state of the solar cell does not match the preset performance of the solar cell, the one manufacturing condition of the production process is changed, and the re-determination step of performing the production step, the inspection step, and the determination step again. ,
When the state of the solar cell matches a preset performance of the solar cell, a production condition determining step for determining the one manufacturing condition as a condition that matches the production process;
I have a,
The inspection step includes a thermo imaging inspection, an EL imaging inspection, and a Raman spectroscopic inspection.
前記サーモ撮影検査、前記EL撮影検査、及び前記ラマン分光検査は少なくても二つの検査結果を一つの製造条件の見直しに利用されることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池の検査方法。 The solar cell inspection method according to claim 1, wherein at least two inspection results are used to review one manufacturing condition in the thermo imaging inspection, the EL imaging inspection, and the Raman spectroscopic inspection. . 前記生産条件決定工程の後に生産される太陽電池に番号を付与する番号付与工程が含まれることを特徴とする請求項1または2に記載の太陽電池の検査方法。 Inspecting a solar cell according to claim 1 or 2, characterized in that contained numbering applying a number solar cells produced after the production condition determination process. 前記検査工程は生産工程の中のラミネート工程の後に設けられることを特徴とする請求項1からのいずれかに記載の太陽電池の検査方法。 The inspection process inspecting a solar cell according to any one of claims 1 to 3, characterized in that it is provided after the lamination step in the production process.
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