JP5851241B2 - ダイヤフラム構造およびダイヤフラム構造を製造する方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 79
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 20
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 64
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 53
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 48
- 238000005219 brazing Methods 0.000 claims description 25
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 19
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 12
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims description 10
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims description 10
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 8
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 7
- 229910000856 hastalloy Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 7
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000004044 response Effects 0.000 description 6
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 4
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000002277 temperature effect Effects 0.000 description 1
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Description
本開示は、概して、ダイヤフラム構造およびダイヤフラム構造を製造する方法に関する。より詳細には、本開示は、異種金属を含む分離ダイヤフラム構造に関する。
プロセス送信機は、プロセス変数、例えば、様々な工業プロセスで使用されるプロセス流体の圧力、温度、流量およびレベルを監視するために使用される。ある場合には、圧力および/または流量パラメータを測定するプロセス送信機は、工業プロセス機器、例えば、配管、タンクまたは他のプロセス機器に連結されている分離ダイヤフラムを包含することができる。一般的に、分離ダイヤフラムは、少なくともプロセス送信機ハウジングの一部分をプロセス流体への露出から遮断する。圧力は、圧力に応じたダイヤフラムのたわみに基づきダイヤフラムから直接的に測定するか、流体を充填した毛細管によって分離ダイヤフラムに連結された、リモート圧力センサで間接的に測定することができる。そのような圧力測定は、直接的に使用するか、または、例として、流体流速の計算に使用することができる。
特定の実施態様では、プロセス送信機は、フランジ部分を含む耐腐食性ハウジングを備えており、耐腐食性ハウジングが第一の材料から形成されている。プロセス送信機は、第二の材料から形成されている外側リングも包含する。外側リングは、内径を有し、フランジ部分にろう付けされる。プロセス送信機は、さらに、第三の材料から形成された変形可能なダイヤフラムを包含し、変形可能なダイヤフラムは、内径に隣接する外側リングとダイヤフラムとの間の溶接シームにおいて、外側リングに溶接され、流体シールを形成している。
さらなる他の効果は、生産廃棄材料が低減され、全体的な利益が改善され、生産計画の混乱が低減され、定時納入が改善され、稼動機器の効率が向上することにおいて提供される。そのような低減された廃棄材料の生産は、より確実な製造プロセスの結果である。
他の例では、レーザー溶接プロセス、他の精密溶接プロセスまたはそれらの任意の組み合わせを介し、変形可能なダイヤフラム304を外側リング306に固定することができる。
製造では、特定の実施に応じて、異なる厚さを有する様々なダイヤフラムに対して同一の外側リング604を使用することができる。特定の実施態様では、外側リング604からのダイヤフラム602の分離により、異なる変形可能なダイヤフラム602に同じ外側リング604を使用することができるように、同じ部品上により薄いダイヤフラム材料を溶接することのできる取り付けプロセスの使用が許容される。
Claims (16)
- プロセス送信機であって、
第一の材料から形成されている耐腐食性ハウジングであって、フランジ部分を含む耐腐食性ハウジングと、
第二の材料から形成されている外側リングであって、前記フランジ部分にろう付けされ、内径を有する外側リングと、
第三の材料から形成されている変形可能なダイヤフラムであって、前記変形可能なダイヤフラムと前記内径に隣接する前記外側リングとの間の溶接シームにおいて、前記外側リングに溶接され、前記溶接シームが流体シールを形成しているダイヤフラムと、
を含み、
前記ダイヤフラムが前記外側リングに抵抗シーム溶接されており、
前記外側リングが、前記内径に隣接して配された立ち上がった面を有するダイヤフラム受け構造を含み、
前記変形可能なダイヤフラムが、前記ダイヤフラム受け構造と嵌合するように構成された装着構造を含み、
前記第一、第二、及び第三の材料が互いに異なっており、
前記溶接シームが、前記ダイヤフラム受け構造と前記装着構造との間に形成されている、プロセス送信機。 - 前記外側リングが、前記変形可能なダイヤフラムの第二の厚さよりも大きい第一の厚さを有する、請求項1記載のプロセス送信機。
- 前記第二の材料がタンタルを含む、請求項1記載のプロセス送信機。
- 前記第三の材料がハステロイおよびチタンのうち一つを含む、請求項1記載のプロセス送信機。
- 前記第三の材料が金、ジルコニウムおよび白金のうち一つを含む、請求項1記載のプロセス送信機。
- 前記第一の材料がステンレス鋼を含む、請求項1記載のプロセス送信機。
- 圧力送信機を製造する方法であって、
耐腐食性の第一の材料から形成されたプロセス送信機ハウジングのフランジに対し、立ち上がった面を有するダイヤフラム受け構造を含むとともに第二の材料から形成された外側リングをろう付けする工程と、
実質的に径の全体にわたって変形可能であるとともに第三の材料から形成されたダイヤフラムの装着構造を、前記ダイヤフラム受け構造上に配置する工程と、
前記ダイヤフラムを前記外側リングに溶接し、前記ダイヤフラムと前記外側リングとの間に溶接シームを形成する工程であって、前記溶接シームは流体シールを形成する工程と、
を含み、
選択されたダイヤフラムを外側リングに溶接する工程が、
電流を前記外側リングおよび前記ダイヤフラムのうち少なくとも一つに加える工程、及び、
同時に、前記外側リングおよび前記ダイヤフラムを共に押圧し、前記ダイヤフラムを前記外側リングに抵抗シーム溶接する工程、を含み、
前記外側リングが、当該外側リングの内径に隣接して配されたダイヤフラム受け構造を含み、
前記変形可能なダイヤフラムが、前記ダイヤフラム受け構造と嵌合するように構成された装着構造を含み、
前記第一、第二、及び第三の材料が互いに異なっており、
前記溶接シームが、前記ダイヤフラム受け構造と前記装着構造との間に形成される、方法。 - 前記プロセス送信機ハウジングがステンレス鋼で形成され、前記外側リングがタンタルで形成されている、請求項7記載の方法。
- 前記ダイヤフラムがハステロイ、金、ジルコニウム、白金およびチタンのうち一つを含む、請求項8記載の方法。
- 前記ダイヤフラムが、約2ミルのダイヤフラム厚さを有する、請求項7記載の方法。
- ダイヤフラムを選択する工程が、
プロセス送信機のための所望の性能パラメータを決定することと、
所望の性能パラメータを満たす、材料組成および対応するダイヤフラム厚さを決定することと、
所望の性能パラメータを満たす、材料組成から形成され、対応するダイヤフラム厚さを有する、ダイヤフラムを選択することと、
を含む、請求項7記載の方法。 - 外側リングをろう付けする工程が、複数の外側リングをそれぞれの送信機ハウジングに同時にろう付けすることを含む、請求項7記載の方法。
- 送信装置であって、
流体キャビティを囲む第一の内径を有し、第一の材料から形成されたフランジ部分と、
前記第一の内径に対応する第二の内径を有する外側リングであって、前記第二の内径に隣接する、立ち上がった面を有するダイヤフラム受け構造を含み、第二の材料から形成された外側リングと、を含み、
前記外側リングは、前記フランジ部分にろう付けされており、
前記受け構造と嵌合するように寸法設定された装着構造を含み、第三の材料から形成された変形可能なダイヤフラムを含み、
前記ダイヤフラム受け構造と前記装着構造との間の溶接シームにおいて、前記変形可能なダイヤフラムが前記外側リングに溶接されており、前記溶接シームは流体シールを形成しており、
前記変形可能なダイヤフラムが、前記外側リングに抵抗シーム溶接されており、
前記第一、第二、及び第三の材料が互いに異なっている、
送信装置。 - 前記変形可能なダイヤフラムが、前記外側リングの第二の厚さよりも小さい第一の厚さを有する、請求項13記載の送信装置。
- 前記外側リングがタンタルを含む、請求項13記載の送信装置。
- 前記ダイヤフラムがハステロイ、金、ジルコニウム、白金およびチタンのうち少なくとも一つを含む、請求項15記載の送信装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/212,280 US7814798B2 (en) | 2008-09-17 | 2008-09-17 | Diaphragm structure and method of manufacturing a diaphragm structure |
US12/212,280 | 2008-09-17 | ||
PCT/US2009/056579 WO2010033422A1 (en) | 2008-09-17 | 2009-09-11 | Diaphragm structure and method of manufacturing a diaphragm structure |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012503179A JP2012503179A (ja) | 2012-02-02 |
JP5851241B2 true JP5851241B2 (ja) | 2016-02-03 |
Family
ID=41395635
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011526980A Expired - Fee Related JP5851241B2 (ja) | 2008-09-17 | 2009-09-11 | ダイヤフラム構造およびダイヤフラム構造を製造する方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7814798B2 (ja) |
EP (1) | EP2379997B1 (ja) |
JP (1) | JP5851241B2 (ja) |
CN (1) | CN102159928B (ja) |
WO (1) | WO2010033422A1 (ja) |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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DE102005004942B4 (de) | 2005-02-02 | 2014-10-02 | Armaturenbau Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Membran-Druckmittlers |
US20060231597A1 (en) | 2005-04-13 | 2006-10-19 | Delphi Technologies, Inc. | Method for joining a tube to a member using deformation resistance welding/brazing |
JP4883386B2 (ja) * | 2005-08-30 | 2012-02-22 | 富士電機株式会社 | 差圧・圧力検出器 |
US20070241169A1 (en) | 2006-04-13 | 2007-10-18 | General Electric Company | Method for welding nickel-based superalloys |
-
2008
- 2008-09-17 US US12/212,280 patent/US7814798B2/en active Active
-
2009
- 2009-09-11 WO PCT/US2009/056579 patent/WO2010033422A1/en active Application Filing
- 2009-09-11 CN CN200980136616.9A patent/CN102159928B/zh active Active
- 2009-09-11 JP JP2011526980A patent/JP5851241B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2009-09-11 EP EP09792435.1A patent/EP2379997B1/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20100064816A1 (en) | 2010-03-18 |
US7814798B2 (en) | 2010-10-19 |
CN102159928A (zh) | 2011-08-17 |
CN102159928B (zh) | 2013-06-05 |
JP2012503179A (ja) | 2012-02-02 |
EP2379997B1 (en) | 2014-08-20 |
EP2379997A1 (en) | 2011-10-26 |
WO2010033422A1 (en) | 2010-03-25 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121214 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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A02 | Decision of refusal |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
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A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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