JP5851241B2 - ダイヤフラム構造およびダイヤフラム構造を製造する方法 - Google Patents

ダイヤフラム構造およびダイヤフラム構造を製造する方法 Download PDF

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    • G01L19/0645Protection against aggressive medium in general using isolation membranes, specially adapted for protection

Description

開示分野
本開示は、概して、ダイヤフラム構造およびダイヤフラム構造を製造する方法に関する。より詳細には、本開示は、異種金属を含む分離ダイヤフラム構造に関する。
背景
プロセス送信機は、プロセス変数、例えば、様々な工業プロセスで使用されるプロセス流体の圧力、温度、流量およびレベルを監視するために使用される。ある場合には、圧力および/または流量パラメータを測定するプロセス送信機は、工業プロセス機器、例えば、配管、タンクまたは他のプロセス機器に連結されている分離ダイヤフラムを包含することができる。一般的に、分離ダイヤフラムは、少なくともプロセス送信機ハウジングの一部分をプロセス流体への露出から遮断する。圧力は、圧力に応じたダイヤフラムのたわみに基づきダイヤフラムから直接的に測定するか、流体を充填した毛細管によって分離ダイヤフラムに連結された、リモート圧力センサで間接的に測定することができる。そのような圧力測定は、直接的に使用するか、または、例として、流体流速の計算に使用することができる。
従来、プロセス送信機ハウジングは、耐腐食性材料、例えば、ステンレスによって形成される。ダイヤフラムは、典型的には、外側リング部分および変形可能なダイヤフラム部分を包含する一体型ダイヤフラムであり、それらは、通常、タンタルまたは他の耐腐食性材料によって形成される。ダイヤフラム構造をプロセス送信機ハウジングに接合するために、ダイヤフラムの外側リングと送信機ハウジングとの間にろう付け材料を加えることを包含する、ろう付けプロセスが行われる。ダイヤフラム構造および送信機ハウジングは、異種金属を接合するために加熱されて冷却される。残念ながら、ダイヤフラム構造および送信機ハウジングの異なる材料は、異なる熱膨張係数を有する。ろう付けプロセスは、異なる金属が異なる率で膨張および収縮するため、ダイヤフラム構造で形成される座屈および他の欠陥を引き起こす可能性がある。
温度下でのタンタルの熱膨張係数がステンレス送信機ハウジングの熱膨張係数と著しく異なるため、タンタルは、この機器構成では、ろう付けが特に難しいことがある。冷却時に、ステンレスは、タンタルダイヤフラム構造のおよそ3倍収縮する。構造が冷却されるにつれ、タンタルダイヤフラム構造は、座屈し、目に見える損傷を引き起こすことがある。場合によっては、そのような座屈は目視で検出することはできないが、それでも、結果として、ダイヤフラム構造の性能のばらつきにつながることがある。旧来、ダイヤフラム構造は、そのような欠陥を克服するための形状上の特性を備えていたが、しかしながら、個々の圧力送信機の性能は不均一であることがある。それゆえに、改善されたダイヤフラム構造およびダイヤフラム構造を製造する方法が要望されている。
概要
特定の実施態様では、プロセス送信機は、フランジ部分を含む耐腐食性ハウジングを備えており、耐腐食性ハウジングが第一の材料から形成されている。プロセス送信機は、第二の材料から形成されている外側リングも包含する。外側リングは、内径を有し、フランジ部分にろう付けされる。プロセス送信機は、さらに、第三の材料から形成された変形可能なダイヤフラムを包含し、変形可能なダイヤフラムは、内径に隣接する外側リングとダイヤフラムとの間の溶接シームにおいて、外側リングに溶接され、流体シールを形成している。
もう一つの特定の実施態様では、耐腐食性材料から形成されたプロセス送信機ハウジングのフランジに対し、外側リングをろう付けする工程を含み、前記外側リングはダイヤフラム受け構造を有する、圧力送信機を製造する方法が開示されている。方法は、さらに、ダイヤフラムの取り付け部分を、ダイヤフラム受け構造上に配置する工程を包含する。ダイヤフラムは、実質的に径の全体にわたって変形可能である。ダイヤフラムは、取り付け部分において外側リングに溶接され、ダイヤフラムと外側リングとの間に溶接シールを形成している。
なおもう一つの特定の実施態様では、送信装置は、流体キャビティを囲む第一の内径を有するフランジ部分を含む。送信装置は、第一の内径に対応する第二の内径を有する外側リングをも含む。外側リングは、第二の内径に隣接するダイヤフラム受け構造を含む。外側リングは、フランジ部分にろう付けされている。送信装置は、さらに、受け構造と嵌合するように寸法設定された装着構造を有する、変形可能なダイヤフラムを包含する。変形可能なダイヤフラムは、ダイヤフラム受け構造と装着構造との間の溶接シームにおいて、外側リングに溶接されている。
成形されたダイヤフラムおよび別個の外側リングからなるダイヤフラム構造を有する圧力送信機を含む、プロセス制御システムの特定の例示的な実施態様の図である; 単一の材料片から成形された外側リングを持つ一体型ダイヤフラムを含む、従来のダイヤフラム構造の分解図である; 成形されたダイヤフラムおよび別個の外側リングを含む、ダイヤフラム構造の特定の例示的な実施態様の分解図である; 図3の別個の外側リングの上面図である; 図3の別個のダイヤフラムの上面図である; 外側リングが圧力送信機ハウジングにろう付けされ、ダイヤフラムが外側リングに抵抗溶接された後の、ダイヤフラム構造の特定の実施態様の下面図である; 図6の線7−7に沿って取得された、図6のダイヤフラム構造の断面図である; 成形されたダイヤフラムおよび別個の外側リングを有するダイヤフラム構造を製造する方法の特定の例示的な実施態様の流れ図である;および 成形されたダイヤフラムおよび別個の外側リングを含む送信装置を製造する方法の第二の特定の例示的な実施態様の流れ図である。
例示的な実施態様の詳細な説明
図1は、配線106を介して制御システム104と通信する圧力送信機102を含む、プロセス制御システム100の特定の例示的な実施態様の図である。代替実施態様では、圧力送信機102は、ワイヤレス通信リンクを介して制御システム104と通信する、ワイヤレス送受信機を含むことができる。圧力送信機102は、部分断面図に図示する。圧力送信機102は、ベースハウジング部分110を介してマニホールド108(または他の取り付け機構)に連結している。特定の実施態様では、マニホールド108は、第一のライン141および第二のライン151を介して配管109に連結することができる。もう一つの特定の例では、マニホールド108、または、クランプのような他の取り付け機構機構は、圧力送信機102をタンクの壁、他の機器、またはそれらの任意の組み合わせに連結することができる。特定の実施態様では、圧力送信機102およびマニホールド108は、プロセス配管109から離れた位置に配置することができ、第一および第二のライン141、151は、延長管であってもよい。
圧力送信機102は、好ましくは、上側ハウジング部分112にねじ止めにより取り付けられるベースハウジング部分110を含む。ベースハウジング部分110は、センサキャビティ126、第一の流体キャビティ146、および、第二の流体キャビティ156を画定する。センサキャビティ126は、第一の分離バリヤ145によって、第一および第二の流体キャビティ146、156から分離されている。
圧力送信機102は、好ましくは、上側ハウジング部分112にねじ止めにより取り付けられる、送信機ハウジング部分114および入力インターフェース部分118を含むことができる。上側ハウジング部分112および送信機ハウジング部分114は、送信機キャビティ124を画定する。送信機ハウジング部分114は、さらに、プロセス環境から送信機回路134を保護するように適合された送信機カバー116を含む。入力インターフェース118は、配線106に連結するための一つ以上の留め具120を含む。入力インターフェース118および上側ハウジング部分112は、入力/出力インターフェース回路132を含む、入力/出力インターフェースキャビティ122を画定する。入力/出力インターフェースキャビティ122は、第二の分離バリヤ123によって、送信機キャビティ124から分離されている。入力/出力インターフェース回路132は、入力インターフェース118および送信機回路134に連結され、送信機回路132と制御システム104との間のデータを通信するように適合されている。
センサキャビティ126は、第三の分離バリヤ119によって、送信機回路キャビティ124および入力/出力インターフェースキャビティ122から分離されている。センサキャビティ126はセンサ回路136、例えば、圧力センサを保護するように適合されている。
この実施態様では、圧力送信機102は、第一の圧力インターフェース140および第二の圧力インターフェース150を含む。第一の圧力インターフェース140は、第一のダイヤフラム144を有する、ダイヤフラム構造142を含む。第一のダイヤフラム144は、マニホールド108および第一のライン141を介して受けたプロセス流体と接触する第一の分離表面を含むとともに、第一の流体キャビティ146内の分離充填流体と接触する第一の流体キャビティ表面を含む。第一のダイヤフラム144は、第一の流体キャビティ146を、プロセス流体から分離させる。第一の圧力インターフェース140は、さらに、第一の流体キャビティ146をセンサ回路136の第一の圧力入口149に連結する、第一の毛細管148を含む。
第二の圧力インターフェース150は、第二のダイヤフラム154を有する第二のダイヤフラム構造152を含む。第二のダイヤフラム154は、マニホールド108および第二のライン151を介して受けたプロセス流体に接触する第二の分離表面を含むとともに、第二の流体キャビティ156内の分離充填流体と接触する第二の流体キャビティ表面を含む。第二のダイヤフラム154は、第二の流体キャビティ156をプロセス流体から分離させる。第二の圧力インターフェース150は、さらに、第二の流体キャビティ156をセンサ回路136の第二の圧力入口159に連結する、第二の毛細管158を含む。
特定の実施態様では、第一のダイヤフラム144および第二のダイヤフラム154は、プロセス流体圧力に応じて変形するように適合され、そのような変形に応じ、第一および第二の流体キャビティ146、156内ならびに対応する第一および第二の毛細管148、158内の充填流体に圧縮力を加える。充填流体は、第一のダイヤフラム144の変形に応じ、プロセス流体圧力を第一の毛細管148を介して第一の圧力入口149に伝えるように適合されている。充填流体は、また、第二のダイヤフラム154の変形に応じ、プロセス圧力を第二の毛細管158を介して第二の圧力入口159に伝えるように適合されている。
特定の実施態様では、センサ回路136は、第一の毛細管148内の充填流体を介し、第一のダイヤフラム144の変形に基づく第一のプロセス流体圧力を決定するとともに、第二の毛細管158内の充填流体を介し、第二のダイヤフラム154の変形に基づく第二のプロセス流体圧力を決定するように適合されている。
特定の例では、プロセス配管109は、ライン141および151間に差圧力を発生するように適合されている、オリフィス板、シェディングバー、アニューバ構造、ベンチュリ管、又は他の流れインピーダンス装置を含むことができ、第一および第二のダイヤフラム構造142および152は、異なる流体圧力を経験する。
特定の実施態様では、第一のダイヤフラム144は、変形可能なダイヤフラム部分(例えば、図3に図示する変形可能なダイヤフラム304)および別個の装着リング部分(例えば、図3に図示する外側リング306)を含み、別個の装着リングがベースハウジング部分110にろう付けされ、変形可能なダイヤフラム部分が別個の装着リングに抵抗溶接されるか、あるいは固定されている。特定の例では、別個の装着リングおよび変形可能なダイヤフラム部分は、異なる材料から形成され、両方とも、ステンレスから形成することができるベースハウジング部分110とは異なる材料から形成される。特定の実施態様では、別個の装着リングおよび変形可能なダイヤフラム部分は、異なる材料から形成され、別個の装着リングがベースハウジング部分110に装着された後、相互に取り付けられる。
図2は、変形可能なダイヤフラム部分204および外側リング部分206を有する一体型ダイヤフラム202を含む、従来のダイヤフラム構造200の分解図である。一体型ダイヤフラム202は、単一の材料片、例えば、単一のタンタルシートから成形される。ダイヤフラム構造200は、ベース送信機ハウジング208、例えば、図1のベースハウジング部分110も含む。ベース送信機ハウジング208は、複数のリッジ216を含む流体キャビティ214を囲む内径(D)を有する、フランジ部分210を含む。変形可能なダイヤフラム部分204も、複数のリッジ218を含む。ダイヤフラム構造200は、さらに、一体型ダイヤフラム202の外側リング部分206とベース送信機ハウジング208のフランジ部分210との間に配置されている、ろう付けリング212を含む。
従来、一体型ダイヤフラム202をベース送信機ハウジング208のフランジ部分210に接合するためのろう付けプロセス中には、ベース送信機ハウジング208のフランジ部分210は、一体型ダイヤフラム202と異なる熱膨張係数を有する。ろう付け後、フランジ部分210は、一体型ダイヤフラム202とは異なる率で冷却され、外側リング部分206および/または変形可能なダイヤフラム部分204の座屈を引き起こすことがある。一体型ダイヤフラム202のそのような座屈は、結果として、装置故障および/または不均一な圧力表示を引き起こす可能性のある欠陥になることがある。
図3は、成形されたダイヤフラム304および別個の外側リング306を含む、ダイヤフラム構造300の特定の例示的な実施態様の分解図である。ダイヤフラム構造300は、ベース送信機ハウジング308、例えば、図1のベースハウジング部分110も含む。ベース送信機ハウジング308は、複数のリッジ316を含む流体キャビティ314を囲む径(D)を有するベースフランジ部分310を含む。変形可能なダイヤフラム部分304も、対応する複数のリッジ318を含む。ダイヤフラム構造300は、さらに、別個の外側リング306とベース送信機ハウジング308のフランジ部分310との間に配置されている、ろう付けリング312を含む。別個の外側リング306は、ろう付けリング312を介してベース送信機ハウジング308のベースフランジ部分310と嵌合するように適合されている、フランジ部分322を含む。別個の外側リング306は、内径(DIn)と、変形可能なダイヤフラム304を受けるように適合されている、内径(DIn)に隣接するダイヤフラム受け構造320も含む。変形可能なダイヤフラム304は、外側リング306のダイヤフラム受け構造320と嵌合するように適合されている、装着構造330を含む。
特定の実施態様では、ろう付けリング312は、ベース送信機ハウジング308のベースフランジ部分310上に配置されている。別個の外側リング306は、ろう付けリング312上に配置されている。別個の外側リング306、ベース送信機ハウジング308およびろう付けリング312は、上昇温度まで加熱され、別個の外側リング306をベース送信機ハウジング308にろう付けするために冷却される。結果としての構造を冷却した後、変形可能なダイヤフラム304は、ダイヤフラム受け構造320と装着構造330が嵌合するように配置される。
変形可能なダイヤフラム304は、別個の外側リング306に溶接される。特定の実施態様では、変形可能なダイヤフラム304は、抵抗溶接プロセスを使用して、別個の外側リング306に溶接される。もう一つの特定の実施態様では、変形可能なダイヤフラム304は、レーザー溶接プロセスを介し、別個の外側リング306に溶接される。他の実施態様では、異なる溶接または取り付けプロセスを使用し、変形可能なダイヤフラム304を別個の外側リング306の装着構造320に取り付けることができる。特定の実施態様では、溶接シームが外側リング306のダイヤフラム受け構造320とダイヤフラム304の装着構造330との間のインターフェースにおいて形成される。
概して、外側リング306と変形可能なダイヤフラム304とを分離し、変形可能なダイヤフラム304を外側リング306に別個に取り付けることにより、複数の性能および製造改善を実現することができる。一つの特定の例では、変形可能なダイヤフラム304のダイヤフラム材料および対応する厚さを選択し、ダイヤフラムばね率を向上させ、結果として、温度の影響を低減させ、ダイヤフラム剛性を低減させ、全体的な圧力検知システムの測定精度を向上させることができる。場合によっては、ダイヤフラムばね率は、抵抗溶接されたダイヤフラムを有する同様の部品のばね率と同程度であってもよい。
加えて、熱膨張係数作用のために座屈および変形を経験するかもしれない従来のダイヤフラム構造(例えば、図2に図示する一体型ダイヤフラム構造202)と異なり、低減された座屈および低減された変形を持つダイヤフラム構造300を製造し、結果として、一個ずつばね率性能を向上させ、全体的な性能をより均一にすることができる。
特定の例では、変形可能なダイヤフラム304の有効な領域がろう付けの対象とならず、変形可能なダイヤフラム304は、より均一的に機能する。特定の例では、2ミルの厚さを有するダイヤフラムを製造し、外側リング306に確実に溶接し、結果として、そのような薄いダイヤフラム製品の精度を向上させることができる。さらに、そのような厚さを有するダイヤフラムを標準製品としてより広範に入手可能にすることができる。
加えて、外側リング306と変形可能なダイヤフラム304とを別個にすることにより、開示されたプロセスは、ダイヤフラム厚さの選定に高い柔軟性を提供する。顧客の性能要求に合わせてダイヤフラム厚さを選択することができる。さらに、変形可能なダイヤフラム304を外側リング306の立ち上がった面から分割することにより、特別に作られたダイヤフラムを必要とすることなく、他の既存製品に共通する標準のダイヤフラムを使用することができる。
他の特定の効果は、より厚い外側リング306、および、より薄い変形可能なダイヤフラム304を持つダイヤフラム構造300を生産することが可能であり、特定の外側リングのロバスト性を向上させ、望ましくない温度による影響を低減することによって提供される。
さらなる他の効果は、生産廃棄材料が低減され、全体的な利益が改善され、生産計画の混乱が低減され、定時納入が改善され、稼動機器の効率が向上することにおいて提供される。そのような低減された廃棄材料の生産は、より確実な製造プロセスの結果である。
さらに、変形可能なダイヤフラム304がろう付けプロセスにさらされないことから、全体的な製造プロセスが簡素化される。全体的なプロセスが簡素化されることから、専門家の代わりに、適度に熟練した作業者を使用することができる。加えて、熟練が少ない作業者であっても、外側リング306を取り付けるためのろう付けプロセスおよび変形可能なダイヤフラム304を外側リング306に取り付けるための別個の溶接プロセスを持つ製造プロセスの結果、非常に高い歩留まり率となり、不合格となる加工片を著しく低減することが可能となる。また、プロセスは、ろう付け炉内の部品のダブルスタックを許容し、結果として、炉がより効率的に使用され、生産率が最大で百パーセント(100%)改善される。特定の例では、廃棄の低減と組み合わせ、炉の各バッチの改善された歩留まり率は、最大で約一千パーセント(1000%)であることができる。
図4は、図3の別個の外側リング306の上面図である。別個の外側リング306は、ベース送信機ハウジングの対応するフランジ部分および対応するろう付けリング、例えば、図3に図示するろう付けリング312およびフランジ310と嵌合するように適合されている、フランジ部分402を含む。別個の外側リング306は、さらに、変形可能なダイヤフラムの取り付け部分、例えば、図3および5に図示する変形可能なダイヤフラム304の装着構造330を受けるか、インターフェースするように適合されている、ダイヤフラム受け構造320を含む。
図5は、図3の別個のダイヤフラム304の上面図である。変形可能なダイヤフラム304は、図4に図示する別個の外側リング306のダイヤフラム受け構造320に対応する、装着構造330を含む。変形可能なダイヤフラム304は、いくつかのリッジ318を含む。装着構造330は、別個の外側リング306への変形可能なダイヤフラム304の取り付けを容易にするため、外側リング306のダイヤフラム受け構造320(図4に図示する)と嵌合するように適合されている。特定の実施態様では、抵抗シーム溶接プロセスを使用し、変形可能なダイヤフラム304を外側リング306に取り付けることができる。別個の外側リング306のダイヤフラム受け構造320(図4に図示する)と変形可能なダイヤフラム304の装着構造330との間に溶接シームが形成されている。溶接シームは、プロセスシールを形成する。
概して、抵抗溶接は、接合部において加工片を第二の加工片に溶接するため、電流および圧力が加工片に加えられる溶接プロセスを指す。特定の例では、加えられた電流に対する外側リング306の電気抵抗の結果、装着構造320において加工片材料が部分的に溶融する加熱となる。外側リング306および変形可能なダイヤフラム304に電流及び圧力が同時に加えられることにより、シーム溶接が引き起こされ、変形可能なダイヤフラム304を外側リング306に取り付けることができる。抵抗シーム溶接は、一例である。
他の例では、レーザー溶接プロセス、他の精密溶接プロセスまたはそれらの任意の組み合わせを介し、変形可能なダイヤフラム304を外側リング306に固定することができる。
図6は、外側リング604が圧力送信機ハウジングにろう付けされ、ダイヤフラム602が外側リング604に抵抗溶接された後の、ダイヤフラム構造600の特定の実施態様の下面図である。ダイヤフラム602は、装着構造606および複数のリッジ610を含む。ダイヤフラム602と外側リング604との間の抵抗溶接シームは、一般的に、608で示されている。
特定の実施態様では、ダイヤフラム構造600を二つに分離することにより、外側リング604をステンレス鋼ハウジングにろう付けすることが可能であり、別個のプロセスを介して、ダイヤフラム602を外側リング604に抵抗シーム溶接することが可能である。ダイヤフラム602は、外側リング604の内径付近で外側リング604に溶接されている。外側リング604の取り付けをダイヤフラム602の取り付けから分離することにより、有効なダイヤフラム領域、すなわち、流体圧力に応じて変形可能なダイヤフラム602の部分について、ろう付けプロセスの結果である歪みが低減される。特定の例では、ダイヤフラム602は、外側リング604と異なる材料で形成することができる。例として、外側リング604をタンタルから形成することができ、変形可能なダイヤフラム606をハステロイ、金、ジルコニウム、白金、チタン、他の材料またはこれらの任意の組み合わせから形成することができる。
他の特定の実施態様では、外側リング604およびダイヤフラム602は、異なる厚さを有することができる。特定の例では、顧客の要求に応じるため、及び、例えば圧力感度のような特定の性能パラメータを向上させるために、異なるダイヤフラム厚さを使用することができる。
製造では、特定の実施に応じて、異なる厚さを有する様々なダイヤフラムに対して同一の外側リング604を使用することができる。特定の実施態様では、外側リング604からのダイヤフラム602の分離により、異なる変形可能なダイヤフラム602に同じ外側リング604を使用することができるように、同じ部品上により薄いダイヤフラム材料を溶接することのできる取り付けプロセスの使用が許容される。
特定の例では、ダイヤフラム構造600をダイヤフラム602と別個の外側リング604とに分離することにより、ダイヤフラム602のばね率性能を改善することができる。さらに、部品としては、ろう付けによるダイヤフラム602の外周における変形領域を低減または除去できるため、一個ずつの性能のばらつきを低減することができる。加えて、そのような変形領域の除去または低減により、長期的な耐久性が向上する。
また、ダイヤフラム602からの外側リング604の分離により、ダイヤフラム602の性能に影響を与えることなく、ガスケット領域により厚いライニングを使用することが許容される(すなわち、より厚い外側リング604を使用することができる)。さらに、そのような分離により、タンタル外側リング604を持つ部品に対して、他の種類の材料、例えば、ハステロイ、金、ジルコニウム、白金、チタン、他の材料またはそれらの任意の組み合わせからなるダイヤフラムを供給するための潜在性が向上する。特定の例では、所望の性能特性、入手可能性、コストまたはそれらの任意の組み合わせに基づき、ダイヤフラム材料を選択することができる。
図7は、図6の線7−7に沿って取得された、図6のダイヤフラム構造600の断面図700である。ダイヤフラム構造600は、装着構造606および対応する受け構造706において抵抗シーム溶接608を介してダイヤフラム602に連結されている、外側リング604を含む。ダイヤフラム602は、複数のリッジ610を含む。外側リング604は、ろう付け接合724を介して、プロセス送信機ハウジング720のフランジ部分722に結合されている。プロセス送信機ハウジング720は、一般的に730で示されている、実質的に非圧縮性である充填流体が充填されている、流体キャビティ726および毛細管728を画定する。
特定の例では、動作中、ダイヤフラム602は、流体圧力に応じて変形し、実質的に非圧縮性である充填流体730を圧縮し、充填流体730に圧縮性の力を加えることができる。加えた圧力は、毛細管728に連結されたセンサ、例えば、図1に図示する毛細管148、158に連結されたセンサ回路136により、検出することができる。
図8は、成形されたダイヤフラムおよび別個の外側リングを有する、ダイヤフラム構造を製造する方法の特定の例示的な実施態様の流れ図である。802では、プロセス送信機ハウジングに付随するフランジの部分にろう付け材料を配設する。フランジ部分は、円形であることができ、流体キャビティ、例えば、図3に図示する流体キャビティ314を囲む(外接する)、内径(D)を有することができる。
804に進み、変形可能なダイヤフラムを受けるように適合されたダイヤフラム受け構造を含む、外側リングをろう付け材料上に配置する。
806に進み、外側リングをフランジの円形部分にろう付けする。ろう付けプロセスは、フランジ、ろう付け材料および外側リングの温度を上昇させ、構造を冷却し、外側リングをフランジに溶接することを含む。
続いて808では、変形可能なダイヤフラムを外側リングの受け構造に配置する。810に進み、変形可能なダイヤフラムを外側リングの受け構造に溶接する。方法は、812で終結する。
図9は、成形されたダイヤフラムおよび別個の外側リングを含む、送信装置を製造する方法の第二の特定の例示的な実施態様の流れ図である。902では、耐腐食性材料から形成されたプロセス送信機ハウジングのフランジに対し、ダイヤフラム受け構造を含む外側リングをろう付けする。特定の実施態様では、耐腐食性材料がステンレスであり、外側リングがタンタルから形成されている。特定の例では、複数の外側リングをそれぞれの送信機ハウジングに同時にろう付けすることができる。
続いて904では、ダイヤフラム受け構造上に、実質的に径の全体にわたって変形可能であるダイヤフラムの取り付け部分を配置する。特定の実施態様では、約2ミルのダイヤフラム厚さを有するダイヤフラムが選択される。他の特定の実施態様では、ダイヤフラムは、ハステロイ、金、ジルコニウム、白金、チタン、他の材料またはそれらの任意の組み合わせから形成される。
906に進み、取り付け部分においてダイヤフラムを外側リングに溶接し、ダイヤフラムと外側リングとの間に溶接シールを形成する。方法は、908で終結する。
特定の実施態様では、外側リングは、内径を有し、ダイヤフラム受け構造は、内径に隣接している。ダイヤフラムは、外側リングのダイヤフラム受け構造に対応する装着構造を含み、溶接シールは、ダイヤフラム受け構造と装着構造との間に形成されている。
他の特定の実施態様では、ダイヤフラムを外側リングに溶接することは、外側リングのダイヤフラム受け構造に対してダイヤフラムの装着構造を配置し、外側リングおよびダイヤフラムの少なくとも一つに電流を加え、そして、同時に、外側リングおよびダイヤフラムを共に押圧し、ダイヤフラムを外側リングに抵抗溶接することを含む。
特定の例では、方法は、さらに、プロセス送信機のための所望の性能パラメータを決定することを含む。そのような性能パラメータは、プロセス送信機の使用法に基づいて決定することができる。所望の性能パラメータを満たす、ダイヤフラムの材料組成(例えば、ハステロイ、金、ジルコニウム、白金、チタンまたは他の材料)および対応するダイヤフラム厚さを決定し、所望の性能パラメータを満たす、材料組成から形成され、対応するダイヤフラム厚さを有する、ダイヤフラムを選択する。
概して、先の例は、圧力送信機および分離ダイヤフラムに関連しているものの、異種金属を接合するプロセスを他の構造にも適用できることが理解されるべきである。方法及びそれに関連する構造は、第一の材料を第二の材料にろう付けし、第三の材料を第二の材料に溶接するための技術の特定の例を示したものであり、結果としての構造が、異なる熱膨張係数を有するろう付け材料によって引き起こされるかもしれない欠陥がないようにするものである。
好ましい実施態様を参照しながら本発明を記載したが、当業者は、本発明の本質および範囲を逸することなく、形態および詳細を変更することができることを認識する。

Claims (16)

  1. プロセス送信機であって、
    第一の材料から形成されている耐腐食性ハウジングであって、フランジ部分を含む耐腐食性ハウジングと、
    第二の材料から形成されている外側リングであって、前記フランジ部分にろう付けされ、内径を有する外側リングと、
    第三の材料から形成されている変形可能なダイヤフラムであって、前記変形可能なダイヤフラムと前記内径に隣接する前記外側リングとの間の溶接シームにおいて、前記外側リングに溶接され、前記溶接シームが流体シールを形成しているダイヤフラムと、
    を含み、
    前記ダイヤフラムが前記外側リングに抵抗シーム溶接されており、
    前記外側リングが、前記内径に隣接して配された立ち上がった面を有するダイヤフラム受け構造を含み、
    前記変形可能なダイヤフラムが、前記ダイヤフラム受け構造と嵌合するように構成された装着構造を含み、
    前記第一、第二、及び第三の材料が互いに異なっており、
    前記溶接シームが、前記ダイヤフラム受け構造と前記装着構造との間に形成されている、プロセス送信機。
  2. 前記外側リングが、前記変形可能なダイヤフラムの第二の厚さよりも大きい第一の厚さを有する、請求項1記載のプロセス送信機。
  3. 前記第二の材料がタンタルを含む、請求項1記載のプロセス送信機。
  4. 前記第三の材料がハステロイおよびチタンのうち一つを含む、請求項1記載のプロセス送信機。
  5. 前記第三の材料が金、ジルコニウムおよび白金のうち一つを含む、請求項1記載のプロセス送信機。
  6. 前記第一の材料がステンレス鋼を含む、請求項1記載のプロセス送信機。
  7. 圧力送信機を製造する方法であって、
    耐腐食性の第一の材料から形成されたプロセス送信機ハウジングのフランジに対し、立ち上がった面を有するダイヤフラム受け構造を含むとともに第二の材料から形成された外側リングをろう付けする工程と、
    実質的に径の全体にわたって変形可能であるとともに第三の材料から形成されたダイヤフラムの装着構造を、前記ダイヤフラム受け構造上に配置する工程と、
    前記ダイヤフラムを前記外側リングに溶接し、前記ダイヤフラムと前記外側リングとの間に溶接シームを形成する工程であって、前記溶接シームは流体シールを形成する工程と、
    を含み、
    選択されたダイヤフラムを外側リングに溶接する工程が、
    電流を前記外側リングおよび前記ダイヤフラムのうち少なくとも一つに加える工程、及び、
    同時に、前記外側リングおよび前記ダイヤフラムを共に押圧し、前記ダイヤフラムを前記外側リングに抵抗シーム溶接する工程、を含み、
    前記外側リングが、当該外側リングの内径に隣接して配されたダイヤフラム受け構造を含み、
    前記変形可能なダイヤフラムが、前記ダイヤフラム受け構造と嵌合するように構成された装着構造を含み、
    前記第一、第二、及び第三の材料が互いに異なっており、
    前記溶接シームが、前記ダイヤフラム受け構造と前記装着構造との間に形成される、方法。
  8. 前記プロセス送信機ハウジングがステンレス鋼で形成され、前記外側リングがタンタルで形成されている、請求項7記載の方法。
  9. 前記ダイヤフラムがハステロイ、金、ジルコニウム、白金およびチタンのうち一つを含む、請求項8記載の方法。
  10. 前記ダイヤフラムが、約2ミルのダイヤフラム厚さを有する、請求項7記載の方法。
  11. ダイヤフラムを選択する工程が、
    プロセス送信機のための所望の性能パラメータを決定することと、
    所望の性能パラメータを満たす、材料組成および対応するダイヤフラム厚さを決定することと、
    所望の性能パラメータを満たす、材料組成から形成され、対応するダイヤフラム厚さを有する、ダイヤフラムを選択することと、
    を含む、請求項7記載の方法。
  12. 外側リングをろう付けする工程が、複数の外側リングをそれぞれの送信機ハウジングに同時にろう付けすることを含む、請求項7記載の方法。
  13. 送信装置であって、
    流体キャビティを囲む第一の内径を有し、第一の材料から形成されたフランジ部分と、
    前記第一の内径に対応する第二の内径を有する外側リングであって、前記第二の内径に隣接する、立ち上がった面を有するダイヤフラム受け構造を含み、第二の材料から形成された外側リングと、を含み、
    前記外側リングは、前記フランジ部分にろう付けされており、
    前記受け構造と嵌合するように寸法設定された装着構造を含み、第三の材料から形成された変形可能なダイヤフラムを含み、
    前記ダイヤフラム受け構造と前記装着構造との間の溶接シームにおいて、前記変形可能なダイヤフラムが前記外側リングに溶接されており、前記溶接シームは流体シールを形成しており、
    前記変形可能なダイヤフラムが、前記外側リングに抵抗シーム溶接されており、
    前記第一、第二、及び第三の材料が互いに異なっている、
    送信装置。
  14. 前記変形可能なダイヤフラムが、前記外側リングの第二の厚さよりも小さい第一の厚さを有する、請求項13記載の送信装置。
  15. 前記外側リングがタンタルを含む、請求項13記載の送信装置。
  16. 前記ダイヤフラムがハステロイ、金、ジルコニウム、白金およびチタンのうち少なくとも一つを含む、請求項15記載の送信装置。
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Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2113759A1 (fr) * 2008-04-29 2009-11-04 The Swatch Group Research and Development Ltd. Capteur de pression ayant une membrane comprenant un matériau amorphe
DE102010043119A1 (de) * 2010-10-29 2012-05-03 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Verfahren zum Herstellen einer Verbindung zwischen zwei Keramikteilen, insbesondere von Teilen eines Drucksensors, und ein keramisches Produkt, insbesondere einen keramischen Drucksensor
DE102010063114A1 (de) * 2010-12-15 2012-06-21 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Flansch für Druckmesszellen oder Druckmittler-Vorrichtungen und Verfahren zur Herstellung solcher Flansche
DE102011005665A1 (de) 2011-03-16 2012-09-20 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Keramische Druckmesszelle und Verfahren zu ihrer Herstellung
WO2012141973A1 (en) 2011-04-08 2012-10-18 Rosemount, Inc. Corrosion resistant isolator assembly for process devices
CA2866380C (en) * 2012-03-06 2017-01-17 Rosemount, Inc. Remote seal pressure measurement system for subsea use
DE102012106236A1 (de) * 2012-07-11 2014-01-16 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Verfahren zum Fügen von Keramikkörpern mittels eines Aktivhartlots, Baugruppe mit mindestens zwei miteinander gefügten Keramikkörpern, insbesondere Druckmesszelle
US9442031B2 (en) 2013-06-28 2016-09-13 Rosemount Inc. High integrity process fluid pressure probe
US9459170B2 (en) 2013-09-26 2016-10-04 Rosemount Inc. Process fluid pressure sensing assembly for pressure transmitters subjected to high working pressure
US9103739B2 (en) 2013-09-27 2015-08-11 Rosemount Inc. Seal for pressure transmitter for use in industrial process
RU2636408C1 (ru) 2014-03-14 2017-11-23 Роузмаунт Инк. Измерение скорости коррозии
US9513183B2 (en) * 2014-06-30 2016-12-06 Rosemount Inc. Process isolation diaphragm assembly for metal process seal
US9638600B2 (en) 2014-09-30 2017-05-02 Rosemount Inc. Electrical interconnect for pressure sensor in a process variable transmitter
US10830689B2 (en) 2014-09-30 2020-11-10 Rosemount Inc. Corrosion rate measurement using sacrificial probe
US11433654B2 (en) * 2014-11-05 2022-09-06 Kulite Semiconductor Products, Inc. Fluid-filled pressure sensor assembly capable of higher pressure environments
US10190968B2 (en) * 2015-06-26 2019-01-29 Rosemount Inc. Corrosion rate measurement with multivariable sensor
US11226242B2 (en) 2016-01-25 2022-01-18 Rosemount Inc. Process transmitter isolation compensation
US11226255B2 (en) * 2016-09-29 2022-01-18 Rosemount Inc. Process transmitter isolation unit compensation
DE102016015447A1 (de) * 2016-12-24 2017-03-30 Wika Alexander Wiegand Se & Co. Kg Druckmittler mit evakuierter Doppelmembran und Vakuumüberwachung
CN110501033A (zh) * 2018-05-17 2019-11-26 艾默生(北京)仪表有限公司 测量元件及包括此种测量元件的测量装置
WO2019222598A1 (en) 2018-05-17 2019-11-21 Rosemount Inc. Measuring element and measuring device comprising the same
WO2020010606A1 (en) * 2018-07-13 2020-01-16 Rosemount Inc. Process diaphragm seal
EP3869162B1 (en) 2020-02-24 2022-07-13 Seyonic SA Fluid flow rate measurement device
US20230010041A1 (en) * 2021-07-12 2023-01-12 Sensata Technologies, Inc. Sensor assemblies utilizing a one-piece thermal isolated fitting tube and methods of assembling the same

Family Cites Families (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3140537A (en) 1961-06-30 1964-07-14 Du Pont Explosive welding process
FR2016115A7 (ja) 1968-07-19 1970-05-08 Honeywell Inc
US4046010A (en) 1976-11-12 1977-09-06 Beckman Instruments, Inc. Pressure transducer with welded tantalum diaphragm
US4136603A (en) 1977-11-14 1979-01-30 The Foxboro Company Diaphragm assembly
DE7830603U1 (de) 1978-10-13 1979-05-17 Elektromanufaktur Zangenstein Hanauer Gmbh & Co, 8471 Zangenstein Membrandose fuer druckwaechter
US4541282A (en) 1984-03-06 1985-09-17 Honeywell Inc. Method of producing a uniform fluid-tight seal between a thin, flexible member and a support and an apparatus utilizing the same
JPS6391531A (ja) * 1986-10-06 1988-04-22 Yamatake Honeywell Co Ltd ダイアフラム固定構造
US4885983A (en) 1988-05-24 1989-12-12 Zavoda Manufacturing Co., Inc. Self-retaining diaphragm seal
JP2875301B2 (ja) * 1989-10-13 1999-03-31 株式会社日立製作所 圧力伝送器の製造方法
DE4129414A1 (de) 1990-11-13 1993-03-11 Endress Hauser Gmbh Co Verwendung eines speziellen tiegels beim melt-spinning einer aktivlot-legierung
US5110307B1 (en) 1991-07-09 1994-09-20 Balo Precision Parts Inc Laser weldable hermetic connector
US5230248A (en) 1991-07-12 1993-07-27 Rosemount Inc. Corrosion resistant isolator
US5184514A (en) 1991-07-12 1993-02-09 Rosemount Inc. Corrosion resistant isolator
JP3089834B2 (ja) 1992-06-22 2000-09-18 横河電機株式会社 差圧測定装置
US5334334A (en) 1993-03-30 1994-08-02 Valence Technology, Inc. Method of preparing lithium battery electrode compositions
CN1058568C (zh) 1993-04-23 2000-11-15 罗斯蒙德公司 卫生处理过程中使用的压感远程隔离组件及其安装方法
US5731522A (en) * 1997-03-14 1998-03-24 Rosemount Inc. Transmitter with isolation assembly for pressure sensor
US6039918A (en) * 1996-07-25 2000-03-21 Endress + Hauser Gmbh + Co. Active brazing solder for brazing alumina-ceramic parts
US6568274B1 (en) 1998-02-04 2003-05-27 Mks Instruments, Inc. Capacitive based pressure sensor design
US6038961A (en) * 1998-03-02 2000-03-21 Rosemount Inc. Flush mount remote seal
JP3521322B2 (ja) * 1998-04-21 2004-04-19 横河電機株式会社 差圧測定装置
US6120033A (en) * 1998-06-17 2000-09-19 Rosemount Inc. Process diaphragm seal
US6363790B1 (en) 1998-10-23 2002-04-02 Endress + Hauser Gmbh + Co. Pressure sensor
US6267009B1 (en) 1998-12-14 2001-07-31 Endress + Hauser Gmbh + Co. Capacitive pressure sensor cells or differential pressure sensor cells and methods for manufacturing the same
JP2001208631A (ja) * 2000-01-27 2001-08-03 Yokogawa Electric Corp 差圧測定装置
DE10108105A1 (de) 2001-02-20 2002-10-31 Endress & Hauser Gmbh & Co Kg Verfahren zur Herstellung eines korrosionsbeständigen Trennkörpers
DE10152681A1 (de) 2001-10-19 2003-04-30 Endress & Hauser Gmbh & Co Kg Druckmittler mit Trennmembran und Verfahren zu dessen Herstellung
US6675655B2 (en) * 2002-03-21 2004-01-13 Rosemount Inc. Pressure transmitter with process coupling
DE50303409D1 (de) 2002-10-07 2006-06-22 Voestalpine Stahl Gmbh Verfahren zum fügen zweier bleche einerseits aus einem aluminiumwerkstoff und anderseits aus einem eisen- oder titanwerkstoff durch eine schweiss-lötverbindung
US7212096B2 (en) * 2003-01-09 2007-05-01 Kulite Semiconductor Products, Inc. Pressure sensor header having an integrated isolation diaphragm
US7080558B2 (en) * 2003-10-06 2006-07-25 Rosemount Inc. Process seal for process control transmitter
US6945118B2 (en) 2004-01-13 2005-09-20 Honeywell International Inc. Ceramic on metal pressure transducer
DE102005004942B4 (de) 2005-02-02 2014-10-02 Armaturenbau Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Membran-Druckmittlers
US20060231597A1 (en) 2005-04-13 2006-10-19 Delphi Technologies, Inc. Method for joining a tube to a member using deformation resistance welding/brazing
JP4883386B2 (ja) * 2005-08-30 2012-02-22 富士電機株式会社 差圧・圧力検出器
US20070241169A1 (en) 2006-04-13 2007-10-18 General Electric Company Method for welding nickel-based superalloys

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