JP5848329B2 - Glass plate manufacturing method and glass plate manufacturing apparatus - Google Patents
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Description
本発明は、ガラス板の製造方法及びガラス板製造装置に関する。 The present invention relates to a glass plate manufacturing method and a glass plate manufacturing apparatus.
従来、ダウンドロー法等の種々の方法を用いてガラス板を製造する方法がある。例えば、ガラス板を製造する1つの方法であるオーバーフローダウンドロー法では、まず、成形炉内に配置される成形体に溶融ガラスが供給される。そして、供給された溶融ガラスを成形体からオーバーフローさせる。そして、オーバーフローさせた溶融ガラスを成形体の下端部で合流させて連続したシート状のガラス(シートガラス)を成形する。なお、成形体の下端部で合流したシートガラスは、さらに下方に搬送され、徐冷炉で徐冷される。そして、徐冷されたシートガラスは、切断空間において所望の大きさに切断され、ガラス板となる。 Conventionally, there is a method of manufacturing a glass plate using various methods such as a downdraw method. For example, in the overflow downdraw method, which is one method for producing a glass plate, first, molten glass is supplied to a molded body disposed in a molding furnace. And the supplied molten glass is made to overflow from a molded object. Then, the molten glass overflowed is joined at the lower end of the molded body to form a continuous sheet-like glass (sheet glass). In addition, the sheet glass merged at the lower end of the formed body is further conveyed downward and gradually cooled in a slow cooling furnace. And the slowly cooled sheet glass is cut | disconnected by the desired magnitude | size in a cutting | disconnection space, and turns into a glass plate.
ガラス板を製造する場合、所定の品質を満たすガラス板を安定して生産することが求められる。例えば、特許文献1に開示の技術では、オーバーフローダウンドロー法を用いてガラス板を製造する場合、成形炉及び/又は徐冷炉の外方空間の気圧を加圧することによって、徐冷炉内のシートガラスに沿って発生する上昇気流を低減し、徐冷炉内の温度変動を抑制している。そして、これにより、平面歪を低減している。 When manufacturing a glass plate, it is calculated | required to produce stably the glass plate which satisfy | fills predetermined quality. For example, in the technique disclosed in Patent Document 1, when a glass plate is manufactured by using the overflow downdraw method, the pressure in the outer space of the forming furnace and / or the slow cooling furnace is increased along the sheet glass in the slow cooling furnace. Ascending airflow generated is reduced and temperature fluctuations in the slow cooling furnace are suppressed. And thereby, plane distortion is reduced.
しかし、成形炉及び/又は徐冷炉の外方空間の気圧を加圧するだけでは、所定の品質を満たすガラス板を安定して生産することが十分にできないという問題がある。例えば、成形炉や徐冷炉内のシートガラスや、ガラス板へのパーティクル付着を十分に抑制できないという問題がある。パーティクルがガラス板に付着すると、ガラス板に傷などを発生させてしまうという問題がある。また、近年は、ガラス板の大型化に伴い、ガラス板の最終加工工程(研磨、梱包など)や、ディスプレイ製造工程におけるガラス板のたわみ量が大きくなっている。そのため、パーティクルに起因したガラス板の傷が原因となって、ガラス板の最終加工工程やディスプレイ製造工程において、ガラス板が破損してしまうという問題が顕著となっている。 However, there is a problem that a glass plate that satisfies a predetermined quality cannot be produced stably by simply pressurizing the pressure in the outer space of the forming furnace and / or the slow cooling furnace. For example, there is a problem in that particle adhesion to a sheet glass or a glass plate in a forming furnace or a slow cooling furnace cannot be sufficiently suppressed. If the particles adhere to the glass plate, there is a problem that the glass plate is damaged. In recent years, with an increase in the size of a glass plate, the amount of deflection of the glass plate in the final processing step (polishing, packing, etc.) of the glass plate and the display manufacturing process has increased. Therefore, the problem that the glass plate is damaged in the final processing step of the glass plate and the display manufacturing process due to the scratches on the glass plate due to the particles is remarkable.
そこで、本発明では、上記のような問題を解決し、ガラス板の所定品質を満たした安定した生産が可能な、ガラス板の製造方法及びガラス板の製造装置を提供することを課題とする。 Then, this invention makes it a subject to solve the above problems, and to provide the manufacturing method of a glass plate and the manufacturing apparatus of a glass plate which can perform the stable production which satisfy | filled the predetermined quality of a glass plate.
本発明の第1の態様は、ガラス板の製造方法である。当該製造方法は、ガラス原料を溶解して溶融ガラスとする溶解工程と、前記溶融ガラスを、成形炉の炉壁である成形炉壁によって囲まれる成形空間に配置される成形体に、供給する供給工程と、ダウンドロー法を用いて前記成形体において溶融ガラスからシートガラスを成形する成形工程と、前記シートガラスを、前記成形空間の下方に位置する空間であり、前記徐冷炉の炉壁である徐冷炉壁によって囲まれる徐冷空間において徐冷する徐冷工程と、徐冷された前記シートガラスを、前記徐冷炉の下方に位置する切断空間において切断してガラス板とする切断工程と、を有する。
前記成形空間、前記徐冷空間、及び前記切断空間を収容する建物の内壁面と前記成形炉壁の外面と前記徐冷炉壁の外面とによって画された建物内空間内の、前記切断空間の上方に位置する炉外部空間の気圧が、前記建物の外方の気圧に対して大きくなるように、気圧制御が行われている。前記炉外部空間は、前記徐冷空間内の前記シートガラスの温度が(徐冷点温度+5℃)〜(歪点温度−50℃)となる部分を含む空間の前記徐冷炉壁の外側に位置する徐冷炉外部空間を含む。前記気圧制御では、炉外部空間の気圧をP1とし、建物の外方の気圧をP2とした場合、0<P1−P2≦40Paの関係が成立するように、前記炉外部空間の気圧が制御されている。
The first aspect of the present invention is a method for producing a glass plate. The manufacturing method includes a melting step of melting a glass raw material to form molten glass, and supplying the molten glass to a molded body disposed in a molding space surrounded by a molding furnace wall that is a furnace wall of a molding furnace. A step of forming a sheet glass from molten glass in the molded body using a downdraw method, and a slow cooling furnace which is a space located below the molding space and is a furnace wall of the slow cooling furnace A slow cooling step of slow cooling in a slow cooling space surrounded by walls, and a cutting step of cutting the slowly cooled sheet glass in a cutting space located below the slow cooling furnace to form a glass plate.
Above the cutting space within the building space defined by the inner wall surface of the building that houses the molding space, the slow cooling space, and the cutting space, the outer surface of the molding furnace wall, and the outer surface of the slow cooling furnace wall. The atmospheric pressure control is performed so that the atmospheric pressure in the furnace outer space is larger than the atmospheric pressure outside the building. The outer space of the furnace is located outside the wall of the slow cooling furnace in a space including a portion where the temperature of the sheet glass in the slow cooling space is (slow cooling temperature + 5 ° C.) to (strain temperature−50 ° C.). Including the outer space of the slow cooling furnace. In the pressure control, the pressure of Rogaibu space and P1, if the pressure of the outside of the building was P2, 0 <as the relationship P1-P2 ≦ 40 Pa is established, pressure of the Rogaibu space is controlled ing.
本発明の第2の態様は、ガラス板の製造装置である。当該製造装置は、溶融ガラスからシートガラスを成形する成形空間を、成形炉壁によって囲むことで形成する成形炉と、前記成形炉の下方に位置するように、前記シートガラスを徐冷する徐冷空間を、徐冷炉壁によって囲むことで形成する徐冷炉と、前記徐冷炉の下方に位置する切断空間に配置され、徐冷された前記シートガラスを切断する切断装置と、前記成形空間、前記徐冷空間、及び前記切断空間を収容する建物の内壁面と前記成形炉壁の外面と前記徐冷炉壁の外面とによって画された建物内空間内の、前記切断空間の上方に位置する炉外部空間の気圧が、前記建物の外方の気圧に対して大きくなるように気圧制御を行う制御手段と、を含む。前記炉外部空間は、前記徐冷空間内の前記シートガラスの温度が(徐冷点温度+5℃)〜(歪点温度−50℃)となる部分を含む空間の前記徐冷炉壁の外側に位置する徐冷炉外部空間を含む。前記気圧制御手段は、炉外部空間の気圧をP1とし、建物の外方の気圧をP2とした場合、0<P1−P2≦40Paの関係が成立するように、前記炉外部空間の気圧を制御する。 The second aspect of the present invention is a glass plate manufacturing apparatus. The manufacturing apparatus includes a forming furnace that is formed by surrounding a forming space for forming a sheet glass from molten glass with a forming furnace wall, and a slow cooling that gradually cools the sheet glass so as to be positioned below the forming furnace. A slow cooling furnace formed by surrounding the space with a wall of a slow cooling furnace, a cutting device disposed in a cutting space located below the slow cooling furnace and cutting the sheet glass that has been slowly cooled, the molding space, the slow cooling space, And the pressure in the furnace external space located above the cutting space in the building internal space defined by the inner wall surface of the building that houses the cutting space, the outer surface of the forming furnace wall, and the outer surface of the slow cooling furnace wall, Control means for performing atmospheric pressure control so as to increase with respect to the atmospheric pressure outside the building. The outer space of the furnace is located outside the wall of the slow cooling furnace in a space including a portion where the temperature of the sheet glass in the slow cooling space is (slow cooling temperature + 5 ° C.) to (strain temperature−50 ° C.). Including the outer space of the slow cooling furnace. Said pressure control means, the pressure of Rogaibu space and P1, if the pressure of the outside of the building was P2, 0 <as the relationship P1-P2 ≦ 40 Pa is established, controlling the pressure of the Rogaibu space To do.
また、好ましい第2の形態として、気圧制御では、切断空間の気圧をP3とした場合、0<P3−P2≦40Paの関係が成立するように、切断空間の気圧がさらに制御されている。 As a preferred second embodiment, in the atmospheric pressure control, when the atmospheric pressure in the cutting space is P3, the atmospheric pressure in the cutting space is further controlled so that the relationship 0 <P3-P2 ≦ 40 Pa is established.
また、好ましい第3の形態として、気圧制御では、徐冷空間の気圧が切断空間の気圧に対して大きくなるように、切断空間の気圧が制御されている。 As a preferred third embodiment, in the atmospheric pressure control, the atmospheric pressure in the cutting space is controlled so that the atmospheric pressure in the slow cooling space is larger than the atmospheric pressure in the cutting space.
また、好ましい第4の形態として、気圧制御では、炉外部空間の気圧がシートガラスの流れ方向の上流側ほど大きくなるように、炉外部空間の気圧が制御されている。 As a preferred fourth embodiment, in the atmospheric pressure control, the atmospheric pressure in the furnace external space is controlled so that the atmospheric pressure in the furnace external space increases toward the upstream side in the flow direction of the sheet glass.
また、好ましい第5の形態として、前記徐冷工程あるいは前記徐冷空間では、前記シートガラスの幅方向の中央部において、シートガラスの流れ方向に張力が働くように、
少なくとも、前記シートガラスの幅方向の中央部の温度がガラスの徐冷点温度に150℃を足した温度からガラスの歪点温度から200℃引いた温度となる温度領域において、前記シートガラスの幅方向の中央部の冷却速度が前記幅方向の両端部の冷却速度よりも速くなるように温度制御が行われる。Further, as a preferred fifth embodiment, in the slow cooling step or the slow cooling space, in the central portion in the width direction of the sheet glass, a tension acts in the flow direction of the sheet glass,
At least in the temperature range where the temperature of the central portion in the width direction of the sheet glass is a temperature obtained by adding 200 ° C. from the strain point temperature of the glass to a temperature obtained by adding 150 ° C. to the annealing point temperature of the glass. Temperature control is performed so that the cooling rate at the center in the direction is faster than the cooling rate at both ends in the width direction.
また、好ましい第6の形態として、前記成形工程あるいは前記成形空間では、前記シートガラスの幅方向の中央部の温度がガラスの軟化点温度以上の領域において、前記シートガラスの幅方向の両端部が前記両端部に挟まれた中央部の温度より低く、且つ、前記中央部の温度が均一になるように前記シートガラスの温度が制御される。さらに、前記徐冷工程あるいは前記徐冷空間では、前記シートガラスの幅方向の中央部において、シートガラスの流れ方向の張力が働くように前記シートガラスの前記中央部の温度がガラスの軟化点温度未満、ガラスの歪点温度以上の領域において、前記シートガラスの幅方向の温度分布が前記中央部から前記両端部に向かって低くなるように前記シートガラスの温度が制御される。さらに、前記シートガラスの前記中央部の温度がガラスの歪点温度となる温度領域において、前記シートガラスの幅方向の前記両端部と前記中央部との温度勾配がなくなるよう前記シートガラスの温度が制御される。
第6の形態では、前記温度を制御するための温度調整ユニットが、前記成形空間及び前記徐冷空間からなる炉内空間に設けられるとよい。Moreover, as a preferable sixth embodiment, in the molding step or the molding space, in the region where the temperature of the central portion in the width direction of the sheet glass is equal to or higher than the softening point temperature of the glass, both ends in the width direction of the sheet glass are The temperature of the sheet glass is controlled so as to be lower than the temperature of the central portion sandwiched between the both end portions and uniform in the central portion. Furthermore, in the slow cooling step or the slow cooling space, the temperature of the central portion of the sheet glass is such that the tension in the flow direction of the sheet glass acts at the central portion in the width direction of the sheet glass. The temperature of the sheet glass is controlled so that the temperature distribution in the width direction of the sheet glass decreases from the central portion toward the both end portions in a region that is less than the strain point temperature of the glass. Furthermore, in the temperature region where the temperature of the central portion of the sheet glass is the strain point temperature of the glass, the temperature of the sheet glass is such that there is no temperature gradient between the both end portions in the width direction of the sheet glass and the central portion. Be controlled.
In the sixth embodiment, a temperature adjustment unit for controlling the temperature may be provided in a furnace space including the molding space and the slow cooling space.
また、好ましい第7の形態として、前記徐冷工程あるいは前記徐冷空間では、前記シートガラスの幅方向の中央部において、シートガラスの流れ方向の張力が働くように前記シートガラスの前記中央部の温度がガラスの歪点温度未満の領域において、前記シートガラスの前記両端部から前記中央部に向かって低くなるように前記シートガラスの温度が制御される。 Further, as a preferred seventh embodiment, in the slow cooling step or the slow cooling space, in the central part in the width direction of the sheet glass, the tension in the flow direction of the sheet glass acts so that the central part of the sheet glass In the region where the temperature is lower than the strain point temperature of the glass, the temperature of the sheet glass is controlled so as to decrease from the both end portions of the sheet glass toward the central portion.
また、好ましい第8の形態として、前記徐冷工程あるいは前記徐冷空間では、前記シートガラスを搬送する送りローラのうち、前記シートガラスの温度がガラスの徐冷点温度となる位置よりも下流側に設けられた送りローラの周速度を、前記シートガラスの温度がガラスの転移点温度以上ガラスの軟化点温度以下となる温度領域に設けられた送りローラの周速度よりも0.03〜2%速くする。 Moreover, as a preferable eighth embodiment, in the slow cooling step or the slow cooling space, among the feed rollers for transporting the sheet glass, the downstream side of the position where the temperature of the sheet glass becomes the glass annealing point temperature. The peripheral speed of the feed roller provided in the sheet is 0.03 to 2% of the peripheral speed of the feed roller provided in the temperature region where the temperature of the sheet glass is not lower than the glass transition temperature and not higher than the softening temperature of the glass. Make it faster.
前記第1〜第8の好ましい形態のそれぞれは、上述した第1の態様のガラス板の製造方法及び第2の態様のガラス板の製造装置のそれぞれに適用でき、さらに、前記第1〜第8の好ましい形態の少なくとも2つを組み合わせた複合形態についても、第1の態様のガラス板の製造方法及び第2の態様のガラス板の製造装置のそれぞれに適用できる。 Each of the first to eighth preferred embodiments can be applied to each of the glass plate manufacturing method of the first aspect and the glass plate manufacturing apparatus of the second aspect described above, and further, the first to eighth embodiments. The composite form combining at least two of the preferred forms can also be applied to the glass plate production method of the first aspect and the glass plate production apparatus of the second aspect.
本発明では、ガラス板にパーティクルが付着することを抑制することが可能である。 In this invention, it is possible to suppress that a particle adheres to a glass plate.
本明細書における下記語句は、以下のように定める。
シートガラスの中央部とは、シートガラスの幅方向の幅のうちシートガラスの幅方向の中心をいう。
シートガラスの端部とは、シートガラスの幅方向の縁から100mm以内の範囲をいう。
歪点温度とは、ガラス粘度をηとしたとき、logηが14.5であるガラス板の温度をいう。
徐冷点温度とは、logηが13のガラスの温度をいう。
軟化点温度とは、logηが7.6のガラスの温度をいう。
ガラス転移点温度は、過冷却液体がガラス状態に変わるときのガラスの温度をいう。The following words and phrases in this specification are defined as follows.
The center part of sheet glass means the center of the width direction of sheet glass among the width | variety of the width direction of sheet glass.
The edge part of sheet glass means the range within 100 mm from the edge of the width direction of sheet glass.
The strain point temperature refers to the temperature of a glass plate having a log η of 14.5 when the glass viscosity is η.
The annealing point temperature refers to the temperature of glass having a log η of 13.
The softening point temperature refers to the temperature of glass having a log η of 7.6.
The glass transition temperature refers to the temperature of the glass when the supercooled liquid changes to the glass state.
本発明の発明者は、成形炉及び/又は徐冷炉の外方空間の気圧を加圧するだけでは、十分に安定した生産を実現できない原因が、建物内と建物の外方との間の気圧の大小関係にあることを見出した。より詳細には、ガラス板の品質を低下させる原因が、建物内の気圧が建物外方の気圧よりも小さい場合に、建物外方から建物内に空気が流入することであることを見出した。ここで、建物外方から建物内に空気が流入することを防止するには、建物の気密性を高めることが考えられるが、建物の隙間を完全になくし、気密性を完全にすることは極めて困難である。空気は気圧が高い方から低いほうに流れるため、建物内の気圧が建物外方の気圧よりも小さい場合は、建物外方の空気が、建物の隙間などを介して建物内に流入してしまう。この建物の隙間などを介して建物外方から流入する空気が、ガラス板へのパーティクル付着や、成形炉や徐冷炉内の温度制御の精度低下を引き起こすため、所定の品質を満たしたガラス板を安定して生産することができない。そこで、本発明の発明者は、ガラス板のパーティクルの付着の問題を解決するためには、建物内の気圧を、建物外方の気圧よりも高くすることで、建物外方の空気が建物内に流入することを抑制すればよいという知見を得た。また、成形炉や徐冷炉内の温度制御の精度低下を抑制するためには、建物内の気圧と建物外方の気圧との差を制御すればよいという知見を得た。 The inventor of the present invention cannot realize sufficiently stable production only by pressurizing the pressure in the outer space of the forming furnace and / or the slow cooling furnace, because the magnitude of the pressure between the inside of the building and the outside of the building is small. I found that there is a relationship. More specifically, it has been found that the cause of lowering the quality of the glass plate is that air flows into the building from the outside of the building when the pressure inside the building is smaller than the pressure outside the building. Here, in order to prevent air from flowing into the building from the outside of the building, it is conceivable to improve the airtightness of the building, but it is extremely difficult to completely eliminate the gap between the buildings and complete the airtightness. Have difficulty. Since air flows from higher to lower pressure, if the pressure inside the building is smaller than the pressure outside the building, the air outside the building flows into the building through the gaps in the building. . Air flowing from the outside of the building through the gaps in the building causes particle adhesion to the glass plate and a decrease in accuracy of temperature control in the forming furnace and slow cooling furnace. And cannot be produced. Therefore, in order to solve the problem of the adhesion of particles on the glass plate, the inventor of the present invention increases the atmospheric pressure inside the building to the atmospheric pressure outside the building, so that the air outside the building is inside the building. It was found that it is only necessary to suppress the flow into the water. In addition, in order to suppress the decrease in accuracy of temperature control in the forming furnace and the slow cooling furnace, it was found that the difference between the pressure inside the building and the pressure outside the building should be controlled.
以下、図面を参照しながら、本実施形態のガラス板製造装置100を用いてガラス板を製造するガラス板の製造方法について説明する。 Hereinafter, the manufacturing method of the glass plate which manufactures a glass plate using the glass plate manufacturing apparatus 100 of this embodiment is demonstrated, referring drawings.
(ガラス板の製造方法の概要)
図1は、本実施形態に係るガラス板の製造方法の一部のフローチャートである。以下、図1を用いてガラス板の製造方法について説明する。(Outline of glass plate manufacturing method)
FIG. 1 is a partial flowchart of the glass plate manufacturing method according to the present embodiment. Hereinafter, the manufacturing method of a glass plate is demonstrated using FIG.
ガラス板は、建物B内において各種の工程を経ることにより、製造される。具体的には、ガラス板は、図1に示すように、溶解工程ST1と、清澄工程ST2と、均質化工程ST3と、供給工程ST4と、成形工程ST5と、徐冷工程ST6と、切断工程ST7とを含む種々の工程を経て製造される。以下、これらの工程について説明する。 The glass plate is manufactured through various processes in the building B. Specifically, as shown in FIG. 1, the glass plate has a melting step ST1, a refining step ST2, a homogenizing step ST3, a supplying step ST4, a forming step ST5, a slow cooling step ST6, and a cutting step. Manufactured through various processes including ST7. Hereinafter, these steps will be described.
溶解工程ST1では、ガラス原料を加熱して溶解することにより溶融ガラスとする。清澄工程ST2では、溶融ガラスを清澄する。均質化工程ST3では、溶融ガラスを均質化する。 In melting step ST1, molten glass is obtained by heating and melting the glass raw material. In the clarification step ST2, the molten glass is clarified. In the homogenization step ST3, the molten glass is homogenized.
供給工程ST4では、溶融ガラスを成形する成形装置300(図2参照)に供給する。成形工程ST5では、溶融ガラスをシート状のシートガラスSGに成形する。溶融ガラスは、ダウンドロー法、特にオーバーフローダウンドロー法によりシート状のシートガラスSGを成形することが好ましい。徐冷工程ST6では、成形工程ST5で成形されたシートガラスSGを徐冷する。切断工程ST7では、徐冷されたシートガラスSG(図3参照)を、所定の長さ毎に切断してガラス板G(図3参照)とする。 In supply process ST4, it supplies to the shaping | molding apparatus 300 (refer FIG. 2) which shape | molds molten glass. In the forming step ST5, the molten glass is formed into a sheet-like sheet glass SG. The molten glass is preferably formed into a sheet-like sheet glass SG by a downdraw method, particularly an overflow downdraw method. In the slow cooling step ST6, the sheet glass SG formed in the forming step ST5 is gradually cooled. In the cutting step ST7, the slowly cooled sheet glass SG (see FIG. 3) is cut into a glass plate G (see FIG. 3) every predetermined length.
なお、所定の長さ毎に切断されたガラス板Gは、その後、さらに切断されて、研削・研磨、洗浄、検査が行われてガラス板(記号を付与せず単にガラス板と表現するものは、最終的に製造されたガラス板を意味している)となる。 In addition, the glass plate G cut | disconnected for every predetermined length is cut further after that, and grinding / polishing, washing | cleaning, and a test | inspection are performed, and what is expressed as a glass plate simply does not give a symbol. , Meaning the glass plate finally produced).
(ガラス板製造装置100の概要)
図2は、ガラス板製造装置100に含まれる溶解装置200を主として示す模式図である。図3は、ガラス板製造装置100に含まれる各種の装置等が収容され、あるいは取り付けられた建物Bの内部の模式図である(なお、図3では、成形装置300や成形炉40及び徐冷炉50等を概略の断面模式図によって示す)。以下、ガラス板製造装置100について説明する。(Outline of glass plate manufacturing apparatus 100)
FIG. 2 is a schematic view mainly showing a melting apparatus 200 included in the glass plate manufacturing apparatus 100. FIG. 3 is a schematic diagram of the inside of the building B in which various apparatuses included in the glass plate manufacturing apparatus 100 are accommodated or attached (in FIG. 3, the forming apparatus 300, the forming furnace 40, and the slow cooling furnace 50 are illustrated. Etc. are shown by a schematic cross-sectional schematic diagram). Hereinafter, the glass plate manufacturing apparatus 100 will be described.
ガラス板製造装置100は建物B内に配置され、主として、溶解装置200と、成形装置300と、切断装置400とを有する。 The glass plate manufacturing apparatus 100 is disposed in the building B, and mainly includes a melting apparatus 200, a forming apparatus 300, and a cutting apparatus 400.
(溶解装置200の構成)
溶解装置200は、溶解工程ST1、清澄工程ST2、均質化工程ST3、及び、供給工程ST4を行うための装置である。溶解装置200は、図2に示すように、溶解槽201、清澄槽202、攪拌槽203を有する。(Configuration of dissolution apparatus 200)
The dissolution apparatus 200 is an apparatus for performing the dissolution process ST1, the clarification process ST2, the homogenization process ST3, and the supply process ST4. As shown in FIG. 2, the dissolution apparatus 200 includes a dissolution tank 201, a clarification tank 202, and a stirring tank 203.
溶解槽201は、ガラス原料を溶解するための槽である。溶解槽201では、溶解工程ST1を行う。清澄槽202は、溶解槽201で溶解された溶融ガラスから泡を除去するための槽である。清澄槽202では、清澄工程ST2を行う。攪拌槽203は、溶融ガラスを攪拌する。攪拌槽203では、均質化工程ST3を行う。熔解槽201、清澄槽202、攪拌槽203、及び成形装置300との間は、第1配管204や第2配管205を含むガラス供給管で接続されている。 The melting tank 201 is a tank for melting the glass raw material. In the dissolution tank 201, the dissolution step ST1 is performed. The clarification tank 202 is a tank for removing bubbles from the molten glass melted in the melting tank 201. In the clarification tank 202, a clarification step ST2 is performed. The stirring tank 203 stirs the molten glass. In the stirring tank 203, the homogenization step ST3 is performed. The melting tank 201, the clarification tank 202, the stirring tank 203, and the molding apparatus 300 are connected by a glass supply pipe including a first pipe 204 and a second pipe 205.
(成形装置300の構成)
図4は、成形装置300の概略の側面図である。図5は、建物内空間Sを説明するための建物Bの内部を示す模式図である。(Configuration of molding apparatus 300)
FIG. 4 is a schematic side view of the molding apparatus 300. FIG. 5 is a schematic diagram showing the inside of the building B for explaining the space S in the building.
成形装置300は、成形工程ST5、及び、徐冷工程ST6を行うための装置である。
成形装置300は、主に、成形体310と、雰囲気仕切り部材320と、冷却ローラ330と、冷却用温度調整ユニット330aと、送りローラ340a〜340hと、温度調整ユニット350a〜350g(図4参照)とを有する。
以下、これらの構成について説明する。The molding apparatus 300 is an apparatus for performing the molding process ST5 and the slow cooling process ST6.
The molding apparatus 300 mainly includes a molded body 310, an atmosphere partition member 320, a cooling roller 330, a cooling temperature adjustment unit 330a, feed rollers 340a to 340h, and temperature adjustment units 350a to 350g (see FIG. 4). And have.
Hereinafter, these configurations will be described.
(成形体310)
成形体310は、図3に示すように、成形装置300の上方部分に位置し、溶解装置200から流れてくる溶融ガラス(図3,4において符号MGで示す)を、シート状のシートガラスに成形する機能を有する。成形体310は、垂直方向に切断した断面形状が楔形形状を有し、レンガにより構成されている。(Molded body 310)
As shown in FIG. 3, the molded body 310 is located in the upper part of the molding apparatus 300, and the molten glass flowing from the melting apparatus 200 (indicated by reference numeral MG in FIGS. 3 and 4) is turned into a sheet-like sheet glass. Has the function of molding. The molded body 310 has a wedge-shaped cross section cut in the vertical direction, and is formed of bricks.
(雰囲気仕切り部材320)
図3や図4に示すように、雰囲気仕切り部材320は、成形体310の下端部313の近傍に配置される板状の部材である。雰囲気仕切り部材320は、成形体310の下端部313で合流して第1方向の下流側に流れる溶融ガラスの厚み方向の両側に、略水平に配置されている。雰囲気仕切り部材320は、断熱材として機能する。すなわち、雰囲気仕切り部材320は、その上下の空間を仕切ることにより、雰囲気仕切り部材320の上側から下側への熱の移動を抑制している。(Atmosphere partition member 320)
As shown in FIGS. 3 and 4, the atmosphere partition member 320 is a plate-like member disposed in the vicinity of the lower end 313 of the molded body 310. The atmosphere partition member 320 is arranged substantially horizontally on both sides in the thickness direction of the molten glass that merges at the lower end portion 313 of the molded body 310 and flows downstream in the first direction. The atmosphere partition member 320 functions as a heat insulating material. In other words, the atmosphere partition member 320 suppresses the movement of heat from the upper side to the lower side of the atmosphere partition member 320 by partitioning the upper and lower spaces thereof.
(冷却ローラ330)
冷却ローラ330は、雰囲気仕切り部材320の下方に配置されている。また、冷却ローラ330は、成形体310の下端部313で合流して第1方向の下流側に流れる溶融ガラスの厚み方向の両側、且つ、その幅方向の両側部分の近傍に配置されている。冷却ローラ330は、成形体310の下端部313で合流した溶融ガラスの幅方向の両側部分に接触することにより、当該溶融ガラスを冷却する。より具体的には、冷却ローラ330は、溶融ガラスを第1方向の下流側に引き下げることで、所望の厚さにシートガラスSGを成形すると共に冷却する。なお、本明細書では、シートガラスSGが流れる方向を第1方向と呼ぶ。(Cooling roller 330)
The cooling roller 330 is disposed below the atmosphere partition member 320. Further, the cooling roller 330 is arranged at both sides in the thickness direction of the molten glass that joins at the lower end portion 313 of the molded body 310 and flows downstream in the first direction, and in the vicinity of both side portions in the width direction. The cooling roller 330 cools the molten glass by contacting both side portions in the width direction of the molten glass joined at the lower end 313 of the molded body 310. More specifically, the cooling roller 330 forms and cools the sheet glass SG to a desired thickness by pulling the molten glass downstream in the first direction. In the present specification, the direction in which the sheet glass SG flows is referred to as a first direction.
ここで、成形体310と、雰囲気仕切り部材320と、冷却ローラ330とは、成形空間S1(図5の左斜め斜線に示す空間)に配置されている。成形空間S1とは、成形炉40の炉壁である成形炉壁41の内面と仕切り部材42の上面を含む平面FS1とによって囲まれる空間である。なお、仕切り部材42とは、成形炉40(成形炉壁41の第1方向の下流端)と後述する徐冷炉50(後述する徐冷炉壁51の第1方向の上流端)とを仕切る部材であり、例えば、平板形状の部材が用いられる。成形炉壁41とは、成形炉40の炉壁であり、第1方向に沿って切断した断面形状がコの字形状を有する。成形炉40内において、成形工程ST5が行われる。成形空間S1及び後述する徐冷空間S2からなる空間を炉内空間という。 Here, the molded body 310, the atmosphere partition member 320, and the cooling roller 330 are disposed in the molding space S1 (the space indicated by the diagonally oblique lines on the left in FIG. 5). The molding space S <b> 1 is a space surrounded by the inner surface of the molding furnace wall 41 that is the furnace wall of the molding furnace 40 and the plane FS <b> 1 including the upper surface of the partition member 42. The partition member 42 is a member that partitions the forming furnace 40 (the downstream end in the first direction of the forming furnace wall 41) and the slow cooling furnace 50 described later (the upstream end in the first direction of the slow cooling furnace wall 51 described later), For example, a flat plate member is used. The forming furnace wall 41 is a furnace wall of the forming furnace 40, and the cross-sectional shape cut along the first direction has a U-shape. In the molding furnace 40, a molding step ST5 is performed. A space composed of the molding space S1 and the slow cooling space S2 described later is referred to as a furnace space.
(送りローラ340a〜340h)
送りローラ340a〜340hは、冷却ローラ330の下方に、第1方向に所定の間隔
をもって配置される。また、送りローラ340a〜340hは、それぞれ、シートガラスSGの厚み方向の両側に配置される。送りローラ340a〜340hは、シートガラスSGを第1方向の下流側に牽引する。(Feed rollers 340a to 340h)
The feed rollers 340a to 340h are disposed below the cooling roller 330 with a predetermined interval in the first direction. The feed rollers 340a to 340h are respectively disposed on both sides in the thickness direction of the sheet glass SG. The feed rollers 340a to 340h pull the sheet glass SG downstream in the first direction.
(温度調整ユニット350a〜350g、冷却用温度調整ユニット330a)
温度調整ユニット350a〜350gは、シートガラスSGの温度、正確にはシートガラスSGの近傍の雰囲気温度を調整する(具体的には、昇温する)機器であり、第1方向に複数且つシートガラスSGの幅方向に複数配置されている。冷却用温度調整ユニット330aは、冷却ローラ330の第1方向の下方に配置され、シートガラスSGの温度、正確にはシートガラスSGの近傍の雰囲気温度を調整する。冷却用温度調整ユニット330aは、成形直後の高温状態のシートガラスSGの厚さや反りを低減するように、冷却する。(Temperature adjustment units 350a to 350g, cooling temperature adjustment unit 330a)
The temperature adjustment units 350a to 350g are devices for adjusting the temperature of the sheet glass SG, specifically, the ambient temperature in the vicinity of the sheet glass SG (specifically, raising the temperature), and a plurality of sheet glasses in the first direction. A plurality of SGs are arranged in the width direction of SG. The cooling temperature adjustment unit 330a is arranged below the cooling roller 330 in the first direction, and adjusts the temperature of the sheet glass SG, more precisely the ambient temperature in the vicinity of the sheet glass SG. The cooling temperature adjustment unit 330a cools so as to reduce the thickness and warpage of the high-temperature sheet glass SG immediately after molding.
ここで、冷却用温度調整ユニット330aは、成形空間S1(図5の左斜め斜線に示す空間)に配置されている。
また、送りローラ340a〜340hと、温度調整ユニット350a〜350gは、徐冷空間S2(図5の右斜め斜線に示す空間)に配置されている。徐冷空間S2とは、成形炉40の下方に配置される徐冷炉50によって形成される空間である。より具体的には、徐冷炉50の炉壁である徐冷炉壁51の内面と、仕切り部材42の下面を含む平面FS2と、徐冷炉壁51の第1方向の下流端面を含む平面FS3とによって囲まれる空間である。Here, the cooling temperature adjustment unit 330a is disposed in the molding space S1 (the space indicated by the diagonally oblique lines in FIG. 5).
Further, the feed rollers 340a to 340h and the temperature adjustment units 350a to 350g are arranged in the slow cooling space S2 (the space shown by the diagonally oblique lines in FIG. 5). The slow cooling space S <b> 2 is a space formed by the slow cooling furnace 50 disposed below the molding furnace 40. More specifically, the space surrounded by the inner surface of the slow cooling furnace wall 51 that is the furnace wall of the slow cooling furnace 50, the flat surface FS2 including the lower surface of the partition member 42, and the flat surface FS3 including the downstream end surface of the slow cooling furnace wall 51 in the first direction. It is.
徐冷空間S2では、送りローラ340a〜340hによってシートガラスSGが第1方向の下流側に牽引されることによって、シートガラスSGが徐冷される(粘性域から粘弾性域を経て弾性域へと推移する)徐冷工程ST6が行われる。徐冷工程ST6では、温度調整ユニット350a〜350gが、シートガラスSGの平面歪および熱収縮率が抑制されるように、シートガラスSGの温度を調整している。なお、温度調整ユニット350a〜350gのそれぞれの近傍には、シートガラスSGの近傍の雰囲気温度を検出する雰囲気温度検出手段としての複数の温度センサがシートガラスSGの幅方向に沿って配置されている。当該複数の温度センサを、ここでは、温度センサユニット380(図6参照)と呼ぶ。 In the slow cooling space S2, the sheet glass SG is gradually cooled by the feed rollers 340a to 340h being pulled downstream in the first direction (from the viscous region to the elastic region through the viscoelastic region). A slow cooling step ST6 is performed. In the slow cooling step ST6, the temperature adjustment units 350a to 350g adjust the temperature of the sheet glass SG so that the plane strain and the heat shrinkage rate of the sheet glass SG are suppressed. In addition, in the vicinity of each temperature adjustment unit 350a-350g, the several temperature sensor as an atmospheric temperature detection means to detect the atmospheric temperature of the vicinity of the sheet glass SG is arrange | positioned along the width direction of the sheet glass SG. . Here, the plurality of temperature sensors are referred to as a temperature sensor unit 380 (see FIG. 6).
(切断装置400)
切断装置400では、切断工程ST7を行う。切断装置400は、徐冷炉50の下方に位置する切断空間S3(後述する)に配置される。切断装置400は、成形装置300において第1方向の下流側に流下するシートガラスSGを、その長手面に対して垂直な方向から切断する。これにより、シートガラスSGは、所定の長さを有する複数のガラス板Gとなる。(Cutting device 400)
The cutting device 400 performs a cutting process ST7. The cutting device 400 is disposed in a cutting space S3 (described later) located below the slow cooling furnace 50. The cutting device 400 cuts the sheet glass SG flowing down downstream in the first direction in the forming device 300 from a direction perpendicular to the longitudinal surface. Thereby, the sheet glass SG becomes a plurality of glass plates G having a predetermined length.
(建物内空間S)
建物内空間Sとは、建物Bの内面によって囲まれた空間のうち成形炉壁41及び成形空間S1と徐冷炉壁51及び徐冷空間S2とを除いた空間である(図5の網掛けのハッチング部分を参照)。建物内空間Sは、成形空間S1、徐冷空間S2、及び切断空間S3を収容する建物Bの内面(内壁面)と、成形炉壁41の外面と徐冷炉壁51の外面とによって画された空間である。(Building space S)
The in-building space S is a space excluding the forming furnace wall 41, the forming space S1, the slow cooling furnace wall 51, and the slow cooling space S2 in the space surrounded by the inner surface of the building B (shaded hatching in FIG. 5). See section). The building space S is a space defined by the inner surface (inner wall surface) of the building B that houses the forming space S1, the slow cooling space S2, and the cutting space S3, the outer surface of the forming furnace wall 41, and the outer surface of the slow cooling furnace wall 51. It is.
建物内空間Sは、建物B内に配置される床411,412,413によって、複数の空間に分割されている。床411,412,413は、建物内空間Sを複数の空間に分割するための仕切り部材としての役割を有する。具体的には、建物内空間Sは、床411,412,413によって、成形炉外部上方空間S5と、成形炉外部下方空間S6と、徐冷炉外部空間S7と、切断空間S3とに分割される。しかし、床数(建物内空間の分割数)や床の設置される第1方向における高さ位置は特に限定されない。 The building space S is divided into a plurality of spaces by floors 411, 412, and 413 arranged in the building B. The floors 411, 412 and 413 have a role as partition members for dividing the building space S into a plurality of spaces. Specifically, the building space S is divided into floors 411, 412, and 413 into a molding furnace outer upper space S 5, a molding furnace outer lower space S 6, a slow cooling furnace outer space S 7, and a cutting space S 3. However, the number of floors (the number of divisions in the building space) and the height position in the first direction where the floors are installed are not particularly limited.
成形炉外部上方空間S5は、建物内空間Sにおいて、床411と建物Bの上部の下面とによって挟まれる空間である。床411は、その高さ位置が、成形体310の上部の位置に近く、成形炉壁41の上部と略同じ高さ位置に配置される。 The forming furnace exterior upper space S5 is a space sandwiched between the floor 411 and the upper lower surface of the building B in the building space S. The height of the floor 411 is close to the position of the upper part of the molded body 310, and is disposed at the same height position as the upper part of the molding furnace wall 41.
成形炉外部下方空間S6は、成形炉外部上方空間S5よりも第1方向の下流側に形成された空間である。具体的には、成形炉外部下方空間S6は、建物内空間Sにおいて、床411と床412とによって挟まれる空間である。床412は、その高さ位置が、成形炉壁41の第1方向の下流端の近傍に位置するように配置されている。成形炉外部下方空間S6は、成形体310に対応する(具体的には、成形体310の設置位置と高さ位置が同じ)領域A1を含んでいる。 The molding furnace outer lower space S6 is a space formed on the downstream side in the first direction with respect to the molding furnace outer upper space S5. Specifically, the molding furnace outer lower space S6 is a space sandwiched between the floor 411 and the floor 412 in the building space S. The floor 412 is arranged so that the height position thereof is located in the vicinity of the downstream end of the forming furnace wall 41 in the first direction. The molding furnace outer lower space S6 includes a region A1 corresponding to the molded body 310 (specifically, the installation position and the height position of the molded body 310 are the same).
徐冷炉外部空間S7は、成形炉外部下方空間S6よりも第1方向の下流側に形成される空間である。徐冷炉外部空間S7は、建物内空間Sにおいて、床412と床413とによって挟まれる空間である。床413は、その高さ位置が、徐冷炉壁51の第1方向の下流端に近い位置に配置される。 The slow cooling furnace outer space S7 is a space formed on the downstream side in the first direction with respect to the molding furnace outer lower space S6. The slow cooling furnace outer space S7 is a space sandwiched between the floor 412 and the floor 413 in the building space S. The floor 413 is disposed at a height position close to the downstream end of the slow cooling furnace wall 51 in the first direction.
また、徐冷炉外部空間S7は、徐冷炉外部空間S7と高さ位置が同じ(すなわち、床412の下面から床413の上面までの距離に相当する)徐冷空間S2を流れるガラス板Gの雰囲気温度が、例えば、800℃〜110℃となる空間である、或いは、徐冷炉外部空間S7は、徐冷空間S2を流れるガラス板Gが(徐冷点温度+5℃)から(歪点温度―50℃)となる空間を含む空間である。 Further, the slow cooling furnace external space S7 has the same temperature position as the slow cooling furnace external space S7 (that is, corresponding to the distance from the lower surface of the floor 412 to the upper surface of the floor 413) and the ambient temperature of the glass sheet G flowing through the slow cooling space S2 For example, the space is 800 ° C. to 110 ° C., or the slow cooling furnace external space S7 is such that the glass plate G flowing through the slow cooling space S2 is changed from (slow cooling point temperature + 5 ° C.) to (strain point temperature−50 ° C.). It is a space that includes a space.
切断空間S3は、徐冷炉外部空間S7の第1方向の下流側に形成される空間である。具体的には、切断空間S3は、建物内空間Sにおいて、床413と建物Bの下部の上面とによって挟まれる空間である。 The cutting space S3 is a space formed on the downstream side in the first direction of the slow cooling furnace outer space S7. Specifically, the cut space S3 is a space sandwiched between the floor 413 and the upper surface of the lower part of the building B in the in-building space S.
ここで、成形炉壁41や徐冷炉壁51は、例えば、耐火材や断熱材等により構成される。また、建物Bには、一般に建物を建設する際に用いられる公知の耐火物等を適用できる。 Here, the molding furnace wall 41 and the slow cooling furnace wall 51 are made of, for example, a refractory material or a heat insulating material. Moreover, the building B can be applied with a known refractory or the like generally used when building a building.
(制御装置500)
図6は、制御装置500の制御ブロック図である。
制御装置500は、CPU、ROM、RAM、ハードディスク等から構成され、ガラス板製造装置100に含まれる種々の機器の制御を行う制御部として機能する。(Control device 500)
FIG. 6 is a control block diagram of the control device 500.
The control device 500 includes a CPU, a ROM, a RAM, a hard disk, and the like, and functions as a control unit that controls various devices included in the glass plate manufacturing apparatus 100.
具体的には、制御装置500は、図6に示すように、温度調整ユニット350a〜350gの温度調整制御を行う第1駆動ユニット390の駆動制御と、冷却ローラ330、送りローラ340a〜340h、切断装置400等を駆動するための第2駆動ユニット450の駆動制御を行う。なお、冷却用温度調整ユニット330aの温度調整制御は、成形空間S1に設けられた温度センサユニットによって検出されるシートガラスSGの近傍の雰囲気温度に基づいて行われる。また、温度調整ユニット350a〜350gの温度調整制御は、温度センサユニット380によって検出されるシートガラスSGの近傍の雰囲気温度に基づいて行われる。 Specifically, as shown in FIG. 6, the control device 500 performs drive control of the first drive unit 390 that performs temperature adjustment control of the temperature adjustment units 350 a to 350 g, a cooling roller 330, feed rollers 340 a to 340 h, cutting Drive control of the second drive unit 450 for driving the device 400 and the like is performed. The temperature adjustment control of the cooling temperature adjustment unit 330a is performed based on the ambient temperature in the vicinity of the sheet glass SG detected by the temperature sensor unit provided in the molding space S1. Further, the temperature adjustment control of the temperature adjustment units 350a to 350g is performed based on the ambient temperature in the vicinity of the sheet glass SG detected by the temperature sensor unit 380.
また、制御装置500は、さらに、建物Bの内面によって形成される建物内空間Sの気圧を制御している。これについては、後述する。また、図6に記載の各種のセンサに関しても後述する。 In addition, the control device 500 further controls the atmospheric pressure in the building space S formed by the inner surface of the building B. This will be described later. The various sensors shown in FIG. 6 will also be described later.
(成形装置300におけるシートガラスSGの成形)
以下、成形装置300においてシートガラスSGが成形される過程を説明する。(Formation of sheet glass SG in the molding apparatus 300)
Hereinafter, the process in which the sheet glass SG is shape | molded in the shaping | molding apparatus 300 is demonstrated.
まず、溶解装置200から供給口311を介して成形体310に供給される溶融ガラスは、成形体310の上方に開放された溝部312(図3参照)に流れる。そして、溝部312においてオーバーフローされる。溝部312においてオーバーフローされた溶融ガラスは、成形体310の両側面に沿って第1方向の下流側に流れて、図3に示すように、下端部313において合流する。下端部313において合流した溶融ガラスは、第1方向の下流側に流下する。成形体310を離れて流下を開始する時点におけるガラスの粘度は、例えば105.7〜107.5poiseである。First, the molten glass supplied from the melting device 200 to the molded body 310 via the supply port 311 flows into the groove 312 (see FIG. 3) opened above the molded body 310. And it overflows in the groove part 312. The molten glass overflowed in the groove portion 312 flows downstream in the first direction along both side surfaces of the molded body 310 and merges at the lower end portion 313 as shown in FIG. The molten glass that has joined at the lower end 313 flows down to the downstream side in the first direction. The viscosity of the glass at the time of starting to flow down after leaving the molded body 310 is, for example, 10 5.7 to 10 7.5 poise.
第1方向の下流側に流下する溶融ガラスは、厚み方向の両側に配置される冷却ローラ330によって、幅方向の両端部が挟まれて第1方向の下流側に引き下げられる。このとき、溶融ガラスは、シート状のシートガラスSGに成形されると共に冷却(急冷)される。冷却ローラ330による急冷により、シートガラスの両端部における粘度は、例えば109.0〜1010.5poiseとなる。冷却ローラ330によって引き下げられたシートガラスSGは、送りローラ340a〜340hによってさらに下方に引き下げられると共に徐冷が行われる。The molten glass flowing down to the downstream side in the first direction is pulled down to the downstream side in the first direction by sandwiching both ends in the width direction by the cooling rollers 330 arranged on both sides in the thickness direction. At this time, the molten glass is formed into a sheet-like sheet glass SG and cooled (rapidly cooled). Due to the rapid cooling by the cooling roller 330, the viscosity at both ends of the sheet glass is, for example, 10 9.0 to 10 10.5 poise. The sheet glass SG pulled down by the cooling roller 330 is further pulled down by the feed rollers 340a to 340h and gradually cooled.
なお、送りローラ340a〜340hによって引き下げられたシートガラスSGは、その後、切断装置400によって所定の長さ毎に切断され複数のガラス板Gとなる。 The sheet glass SG pulled down by the feed rollers 340a to 340h is then cut into a plurality of glass plates G by a cutting device 400 for each predetermined length.
(建物内空間Sの気圧の制御)
本実施形態では、炉外部空間S4の気圧制御を行っている。炉外部空間S4とは、成形炉壁41の外面と、徐冷炉壁51の外面と、建物Bの内面とによって囲まれた空間であり切断空間S3の上方空間に位置する空間であり、言い換えれば、建物内空間Sから切断空間S3を除いた空間(すなわち、成形炉外部上方空間S5と、成形炉外部下方空間S6と、徐冷炉外部空間S7とから構成される空間)である。(Control of atmospheric pressure in building space S)
In the present embodiment, the atmospheric pressure control of the furnace outside space S4 is performed. The furnace outer space S4 is a space that is surrounded by the outer surface of the forming furnace wall 41, the outer surface of the slow cooling furnace wall 51, and the inner surface of the building B, and is located above the cutting space S3, in other words, This is a space obtained by removing the cutting space S3 from the building space S (that is, a space constituted by the molding furnace outer upper space S5, the molding furnace outer lower space S6, and the slow cooling furnace outer space S7).
炉外部空間S4の気圧制御を行う気圧制御工程は、例えば、均質化工程ST3を行う時期に開始される。すなわち、気圧制御工程は、成形工程ST5や徐冷工程ST6の前に行われる。 The atmospheric pressure control process for performing atmospheric pressure control of the furnace outer space S4 is started, for example, at the time when the homogenization process ST3 is performed. That is, the atmospheric pressure control process is performed before the molding process ST5 and the slow cooling process ST6.
本実施形態では、気圧制御を行うために、成形炉外部上方空間S5、成形炉外部下方空間S6、及び、徐冷炉外部空間S7の外方(すなわち、建物Bの壁を介した外方)に、それぞれの空間を加圧するための送風機421,422,423が配置されている。また、気圧制御を行うために、成形炉外部上方空間S5、成形炉外部下方空間S6、及び、徐冷炉外部空間S7の気圧を検出する検出手段である第1圧力センサ431、第2圧力センサ432、及び、第3圧力センサ433(図6参照)がそれぞれの空間に配置されている。なお、気圧制御を行う方法は、送風を行ってするものに限られるものではなく、送風と排風を組み合わせて行う方法や、ダンパー等で圧力差を調整する方法なども適用できる。 In the present embodiment, in order to perform the atmospheric pressure control, outside the forming furnace outside upper space S5, the forming furnace outside lower space S6, and the slow cooling furnace outside space S7 (that is, outside through the wall of the building B), Blowers 421, 422, and 423 for pressurizing each space are disposed. Further, in order to perform the atmospheric pressure control, a first pressure sensor 431, a second pressure sensor 432, which are detection means for detecting the atmospheric pressure in the molding furnace outer upper space S5, the molding furnace outer lower space S6, and the slow cooling furnace outer space S7, And the 3rd pressure sensor 433 (refer to Drawing 6) is arranged in each space. In addition, the method of performing atmospheric pressure control is not limited to the method of performing air blowing, and a method of performing a combination of air blowing and exhaust air, a method of adjusting a pressure difference with a damper, or the like can be applied.
気圧制御では、各種の圧力センサ431,432,433を用いて各空間S5,S6,S7の気圧を検出することによって、炉外部空間S4の気圧P1が、建物Bの外方の気圧(大気圧)P2に対して大きくなるように、送風機421,422,423を駆動するための第2駆動ユニット450(例えば、モータ)の動作(例えば、モータの場合は、回転数)を制御して炉外部空間S4の気圧を制御している。 In the atmospheric pressure control, the atmospheric pressure P1 in the outer space S4 is changed to the atmospheric pressure outside the building B (atmospheric pressure) by detecting the atmospheric pressure in each space S5, S6, S7 using various pressure sensors 431, 432, 433. ) The operation of the second drive unit 450 (for example, a motor) for driving the blowers 421, 422, and 423 so as to be larger than P2 (for example, the rotation speed in the case of a motor) is controlled outside the furnace. The atmospheric pressure in the space S4 is controlled.
具体的には、P1からP2を減算した値が、0より大きく40Pa以下になるように制御している。すなわち、以下の式1の関係が成立するように、第2駆動ユニット450を制御している。 Specifically, the value obtained by subtracting P2 from P1 is controlled to be greater than 0 and 40 Pa or less. That is, the second drive unit 450 is controlled so that the relationship of the following formula 1 is established.
(式1)0<P1−P2≦40Pa
なお、P1からP2を減算した値は、1〜40Paであることがより好ましく、2〜35Paであることがさらに好ましく、3〜25Paであることがさらに好ましく、4〜15Paであることがさらに好ましい。
さらに、気圧制御工程では、炉外部空間S4の気圧がシートガラスSGの流れ方向の上流側ほど大きくなるように、炉外部空間S4の気圧が制御されることが好ましい。より具体的には、成形炉外部上方空間S5の気圧>成形炉外部下方空間S6の気圧>徐冷炉外部空間S7の気圧と成っていることが好ましい。(Formula 1) 0 <P1-P2 ≦ 40 Pa
The value obtained by subtracting P2 from P1 is more preferably 1 to 40 Pa, further preferably 2 to 35 Pa, further preferably 3 to 25 Pa, and further preferably 4 to 15 Pa. .
Furthermore, in the atmospheric pressure control step, it is preferable that the atmospheric pressure in the furnace external space S4 is controlled so that the air pressure in the furnace external space S4 increases toward the upstream side in the flow direction of the sheet glass SG. More specifically, it is preferable that the atmospheric pressure in the molding furnace outer upper space S5> the atmospheric pressure in the molding furnace outer lower space S6> the atmospheric pressure in the slow cooling furnace outer space S7.
(シートガラスSGの冷却の制御)
本実施形態では、成形空間S1及び徐冷空間S2内においてシートガラスSGの冷却の制御を行うことができる。具体的には、冷却用温度調整ユニット330a及び温度調整ユニット350a〜350g及び送りローラ340a〜340h、冷却ローラ330を制御装置500の指示に従って、以下のようなシートガラスSGの冷却を行うことができる。
例えば、徐冷空間S2内を、冷却ローラ330や送りローラ340a〜340hを用いて下流側にシートガラスSGを流すとき、シートガラスSGの流れ方向(第1方向)に効果的に張力を働かせることにより、シートガラスSGの反りを抑制することができる。また、各ローラに狭持されて流れる部分に隣接する隣接領域に波形状の変形が生じるのを抑えることもできる。
シートガラスSGの流れ方向(第1方向)に効果的に張力を働かせるために、例えば、成形空間S1内であって、シートガラスSGの幅方向の中央部の温度がガラスの軟化点温度以上の領域において、シートガラスSGの幅方向の両端部(耳部)が中央部の温度より低く、且つ、中央部の温度が均一になるようにシートガラスSGの温度を制御する。さらに、徐冷空間S2内であって、シートガラスSGの幅方向中央部に搬送方向の引っ張り応力が働くようにシートガラスSGの幅方向の中央部の温度が軟化点温度未満、歪点温度以上の領域において、シートガラスSGの幅方向の温度分布が中央部から両端部に向かって低くなるようにシートガラスSGの温度を制御する。さらに、シートガラスSGの幅方向の中央部の温度がガラスの歪点温度となる温度領域において、シートガラスSGの幅方向の両端部(耳部)と中央部との温度勾配がなくなるようにシートガラスSGの温度を制御する。これにより、シートガラスSGの幅方向の中央部には、搬送方向の引っ張り応力がかかる。
上記シートガラスSGの温度制御では、シートガラスSGの温度が軟化点温度以上である領域は、成形空間S1にあることを前提としている。したがって、上記温度制御を行うために、成形空間S1内に冷却用温度調整ユニット330aが設けられている。しかし、シートガラスSGの温度が軟化点温度以上である領域は、徐冷空間S2にある場合もある。この場合、上記温度制御を行うために、徐冷空間S2内に冷却用温度調整ユニット330aが設けられる。(Control of cooling of sheet glass SG)
In the present embodiment, cooling of the sheet glass SG can be controlled in the forming space S1 and the slow cooling space S2. Specifically, the following temperature control unit 330a, temperature adjustment units 350a to 350g, feed rollers 340a to 340h, and cooling roller 330 can be cooled in accordance with instructions from control device 500 as described below. .
For example, when the sheet glass SG is caused to flow downstream in the slow cooling space S2 using the cooling rollers 330 and the feed rollers 340a to 340h, the tension is effectively applied in the flow direction (first direction) of the sheet glass SG. Thereby, the curvature of the sheet glass SG can be suppressed. It is also possible to suppress the occurrence of wave-like deformation in an adjacent region adjacent to a portion that is sandwiched between the rollers and flows.
In order to exert tension effectively in the flow direction (first direction) of the sheet glass SG, for example, in the forming space S1, the temperature of the central portion in the width direction of the sheet glass SG is equal to or higher than the softening point temperature of the glass. In the region, the temperature of the sheet glass SG is controlled such that both end portions (ear portions) in the width direction of the sheet glass SG are lower than the temperature of the central portion and the temperature of the central portion is uniform. Furthermore, the temperature of the central portion in the width direction of the sheet glass SG is less than the softening point temperature and above the strain point temperature so that the tensile stress in the transport direction acts on the central portion in the width direction of the sheet glass SG. In this area, the temperature of the sheet glass SG is controlled so that the temperature distribution in the width direction of the sheet glass SG becomes lower from the center toward both ends. Furthermore, in the temperature region where the temperature of the center portion in the width direction of the sheet glass SG becomes the strain point temperature of the glass, the sheet is so formed that there is no temperature gradient between both end portions (ear portions) in the width direction of the sheet glass SG and the center portion. The temperature of the glass SG is controlled. Thereby, the tensile stress of a conveyance direction is applied to the center part of the width direction of the sheet glass SG.
In the temperature control of the sheet glass SG, it is assumed that the region where the temperature of the sheet glass SG is equal to or higher than the softening point temperature is in the molding space S1. Therefore, in order to perform the temperature control, a cooling temperature adjustment unit 330a is provided in the molding space S1. However, the area | region where the temperature of the sheet glass SG is more than a softening point temperature may exist in the slow cooling space S2. In this case, in order to perform the temperature control, a cooling temperature adjustment unit 330a is provided in the slow cooling space S2.
また、徐冷空間S2内であって、シートガラスSGの幅方向の中央部に搬送方向の張力が働くようにシートガラスSGの幅方向の中央部の温度がガラスの歪点温度近傍未満の領域において、シートガラスSGの幅方向の両端部(耳部)からシートガラスSGの幅方向の中央部に向かって低くなるようにシートガラスSGの温度を制御することもできる。これにより、シートガラスSGの幅方向の中央部の歪点温度近傍未満の領域では、シートガラスSGの幅方向の中央部で、常に搬送方向に引っ張り応力をかけることができる。 Further, in the slow cooling space S2, the temperature of the central portion in the width direction of the sheet glass SG is less than the vicinity of the strain point temperature of the glass so that the tension in the conveyance direction acts on the central portion in the width direction of the sheet glass SG. , The temperature of the sheet glass SG can be controlled so as to decrease from both end portions (ear portions) in the width direction of the sheet glass SG toward the center portion in the width direction of the sheet glass SG. Thereby, in the area | region below the strain point temperature vicinity of the center part of the width direction of the sheet glass SG, tensile stress can always be applied to a conveyance direction in the center part of the width direction of the sheet glass SG.
本実施形態では、後述するようにガラス板の熱収縮率のばらつきを低減することができるが、さらに、成形されたシートガラスSGの冷却速度を調整することにより、熱収縮率のばらつきに加えて、ガラス板の変形を抑制し、反りを抑制し、熱収縮率の絶対値を低減することがもきる。
具体的には、徐冷空間S2内において、送りローラ340a〜340hを用いてシートガラスSGを搬送しながら徐冷するとき、シートガラスSGの徐冷点温度に150℃を足した温度から、シートガラスSGの歪点温度から200℃引いた温度までの温度領域を定める。このとき、少なくとも上記温度領域において、シートガラスSGの幅方向の中央部の冷却速度はシートガラスSGの両端部の冷却速度よりも速く、シートガラスSGの幅方向の中央部の温度がシートガラスSGの両端部よりも高い状態から中央部の温度が両端部よりも低い状態へシートガラスSGを変化させることが好ましい。これにより、シートガラスSGの幅方向の中央部に、シートガラスSGの流れ方向(第1方向)に引っ張り応力が働くようにすることができる。シートガラスSGの流れ方向に引っ張り応力が働くことで、シートガラスSG、ひいてはガラス板の反りをより一層抑制することができる。
徐冷工程では、シートガラスSGの各ローラに狭持されて流れる部分に隣接する隣接領域に、上述したように波形状の変形が生じるのを抑制する点から、シートガラスSGの中央部分の温度が徐冷点温度となる位置よりも下流側に設けられた送りローラの周速度を、シートガラスSGの中央部分の温度がガラス転移点温度以上、軟化点温度以下となる温度領域に設けられた送りローラの周速度よりも速く、例えば、0.03〜2%速くすることが好ましい。このように送りローラの周速度を調整することにより、シートガラスSGの流れ方向(第1方向)に引っ張り応力を働かせることができる。In this embodiment, as will be described later, the variation in the thermal shrinkage rate of the glass plate can be reduced, and further, by adjusting the cooling rate of the formed sheet glass SG, in addition to the variation in the thermal shrinkage rate. In addition, the deformation of the glass plate can be suppressed, the warpage can be suppressed, and the absolute value of the heat shrinkage rate can be reduced.
Specifically, in the slow cooling space S2, when the sheet glass SG is gradually cooled using the feed rollers 340a to 340h, the sheet glass SG is heated from the temperature obtained by adding 150 ° C. to the annealing point temperature of the sheet glass SG. A temperature range from the strain point temperature of the glass SG to a temperature subtracted by 200 ° C. is determined. At this time, at least in the temperature region, the cooling rate at the center in the width direction of the sheet glass SG is faster than the cooling rate at both ends of the sheet glass SG, and the temperature at the center in the width direction of the sheet glass SG is the sheet glass SG. It is preferable to change the sheet glass SG from a state higher than the both ends to a state where the temperature at the center is lower than both ends. Thereby, it is possible to cause a tensile stress to act in the flow direction (first direction) of the sheet glass SG at the center in the width direction of the sheet glass SG. By applying a tensile stress in the flow direction of the sheet glass SG, it is possible to further suppress the warpage of the sheet glass SG and eventually the glass plate.
In the slow cooling step, the temperature of the central portion of the sheet glass SG is suppressed from the occurrence of the wave-shaped deformation as described above in the adjacent region adjacent to the portion of the sheet glass SG that is nipped and flows. The peripheral speed of the feed roller provided downstream from the position at which the annealing point becomes the temperature is provided in a temperature region in which the temperature of the central portion of the sheet glass SG is not less than the glass transition temperature and not more than the softening point temperature. It is preferably faster than the peripheral speed of the feed roller, for example, 0.03 to 2% faster. By adjusting the peripheral speed of the feed roller in this way, a tensile stress can be exerted in the flow direction (first direction) of the sheet glass SG.
(ガラス板の好ましい形態)
本実施形態に係るガラス板製造装置及びガラス板の製造方法を用いて製造されるガラス板の好ましい形態について以下に説明する。なお、下記の形態に限られるものではない。(Preferred form of glass plate)
The preferable form of the glass plate manufactured using the manufacturing method of the glass plate manufacturing apparatus and glass plate which concerns on this embodiment is demonstrated below. Note that the present invention is not limited to the following form.
本実施形態は、ガラス板の厚みが0.01mm〜1.5mmのガラス板の製造に好適である。薄いガラス板ほど、ガラスの保有熱量が小さいため、徐冷空間におけるシートガラスの温度制御(ここでは、シートガラスの第1方向の温度制御だけでなく、シートガラスの幅方向における温度制御も含むものとする)が難しくなる。そのため、板厚0.01〜0.5mmのガラス板の製造において、成形空間S1及び徐冷空間S2を安定化させることができる本発明を適用するメリットは大きい。また、上述した理由から、ガラス保有熱が極めて小さい0.01mm〜0.1mmのガラスフィルムの製造にも本発明は好適である。 This embodiment is suitable for manufacturing a glass plate having a glass plate thickness of 0.01 mm to 1.5 mm. The thinner the glass plate, the smaller the amount of heat held by the glass. Therefore, temperature control of the sheet glass in the slow cooling space (here, temperature control in the width direction of the sheet glass as well as temperature control in the first direction of the sheet glass is included) ) Becomes difficult. Therefore, in manufacturing a glass plate having a plate thickness of 0.01 to 0.5 mm, there is a great merit in applying the present invention that can stabilize the forming space S1 and the slow cooling space S2. For the reasons described above, the present invention is also suitable for producing a glass film having a very small glass holding heat of 0.01 mm to 0.1 mm.
大きなガラス板ほど、平面歪が発生しやすく上述したシートガラスSGの温度制御が難しくなる。そのため、幅方向の長さ2000mm以上且つ長手方向の長さ2000mm以上のガラス板では、本発明の効果が顕著となる。 The larger the glass plate, the more easily the plane distortion occurs, and the temperature control of the above-described sheet glass SG becomes difficult. Therefore, the effect of the present invention is remarkable in a glass plate having a length of 2000 mm or more in the width direction and a length of 2000 mm or more in the longitudinal direction.
また、ガラス板は、品質要求の厳しい液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイに適用することが好ましい。その他、カバーガラス、携帯端末等のディスプレイや筐体用カバーガラス、タッチパネル、太陽電池のガラス板にも適用できる。特に、ガラス板に対する要求の厳しい低温ポリシリコン(LTPS:Low Temperature Poly Silicon)・TFT(Thin Film Transistor)を用いた液晶ディスプレイに好適である。 Moreover, it is preferable to apply a glass plate to a liquid crystal display and organic EL display with a severe quality requirement. In addition, it can be applied to a display such as a cover glass and a portable terminal, a cover glass for a casing, a touch panel, and a glass plate of a solar cell. In particular, it is suitable for a liquid crystal display using a low temperature poly silicon (LTPS) / TFT (Thin Film Transistor), which is demanding for a glass plate.
また、ガラス板を50℃から10℃/分で550℃まで昇温させ、550℃で1時間保持した後、10℃/分で50℃まで降温させ、再び10℃/分で550℃まで昇温させ、550℃で1時間保持した後、10℃/分で50℃まで降温させた際の熱収縮率が、100ppm以下であることが好ましい。より好ましくは0〜60ppmであり、さらに好ましくは0〜40ppm、一層好ましくは0〜20ppmである。 Further, the glass plate is heated from 50 ° C. to 550 ° C. at 10 ° C./min, held at 550 ° C. for 1 hour, then cooled to 50 ° C. at 10 ° C./min, and again raised to 550 ° C. at 10 ° C./min. It is preferable that the heat shrinkage rate when the temperature is lowered to 50 ° C. at 10 ° C./min is 100 ppm or less after being heated and held at 550 ° C. for 1 hour. More preferably, it is 0-60 ppm, More preferably, it is 0-40 ppm, More preferably, it is 0-20 ppm.
なお、熱収縮率は、伸び量/初期の長さ×106(ppm)にて算出される。熱収縮率の測定方法としては、以下の方法がある。まず、ガラス板の両端にダイヤモンドペンを用いて平行なケガキ線を入れる。次に、ガラス板をケガキ線に垂直になるように半分に切断し、1つを熱処理する(上記のように、550℃に1時間保つ処理を2回繰り返す熱処理である)。そして、熱処理後のガラス板と、他方のガラス板とをつき合わせて、ケガキ線のズレ量を測定する。The thermal contraction rate is calculated as Elongation / Initial length × 10 6 (ppm). As a method for measuring the heat shrinkage rate, there are the following methods. First, put parallel marking lines on both ends of the glass plate using a diamond pen. Next, the glass plate is cut in half so as to be perpendicular to the marking line, and one is heat-treated (as described above, the heat treatment at 550 ° C. for 1 hour is repeated twice). And the glass plate after heat processing and the other glass plate are put together, and the gap | deviation amount of a marking line is measured.
熱収縮率のばらつきは、特に、ディスプレイの作製においてガラス板にTFTを形成する場合、熱収縮率の高低よりも、ディスプレイパネルにおける表示不良の原因になり易い。この点で、熱収縮率のばらつきを抑えることは重要である。実施形態で製造されるガラス板の熱収縮率のばらつきは、±2.85%以下であることが好ましい。ここで熱収縮率のばらつきとは、ガラス板の幅方向の3箇所の位置(例えば、中央部の位置及び幅方向の両端部近傍の位置)において上記方法で熱収縮率を測定したとき、これらの位置における測定値が、これらの平均値に対して変動する上限(+)及び下限(−)をいう。熱収縮率のばらつきは、好ましくは±2.80%未満、より好ましくは±2.75%以下、さらに好ましくは±2.65%以下である。 The variation in the heat shrinkage rate is more likely to cause a display defect in the display panel than when the heat shrinkage rate is high or low, particularly when a TFT is formed on a glass plate in the production of a display. In this respect, it is important to suppress variations in the heat shrinkage rate. The variation in the heat shrinkage rate of the glass plate manufactured in the embodiment is preferably ± 2.85% or less. Here, the variation in the heat shrinkage rate means that when the heat shrinkage rate is measured by the above method at three positions in the width direction of the glass plate (for example, the position of the central portion and the position in the vicinity of both end portions in the width direction). The upper limit (+) and lower limit (-) where the measured value at the position fluctuates with respect to these average values. The variation in thermal shrinkage is preferably less than ± 2.80%, more preferably ± 2.75% or less, and even more preferably ± 2.65% or less.
また、ガラス板の平面歪の最大値は、0〜1.7nmであることが好ましい。好ましくは0〜1.5nm、より好ましくは0〜1.0nm、さらに好ましくは0〜0.7nmである。なお、平面歪は、ユニオプト社製の複屈折測定装置によって測定することができる。 Moreover, it is preferable that the maximum value of the plane distortion of a glass plate is 0-1.7 nm. Preferably it is 0-1.5 nm, More preferably, it is 0-1.0 nm, More preferably, it is 0-0.7 nm. The plane strain can be measured with a birefringence measuring apparatus manufactured by UNIOPT.
ここで、液晶ディスプレイおよび有機ELディスプレイは高精度の組み立てが求められているため、液晶ディスプレイ又は有機ELディスプレイに用いられるガラス板の熱収縮率のばらつきを低減させることができる本発明は、液晶ディスプレイ用ガラス板又は有機ELディスプレイ用ガラス板の製造に特に好適である。 Here, since the liquid crystal display and the organic EL display are required to be assembled with high precision, the present invention that can reduce the variation in the thermal shrinkage of the glass plate used for the liquid crystal display or the organic EL display It is particularly suitable for the production of a glass plate for a glass or a glass plate for an organic EL display.
ガラス板の反りは、下記の方法で測定を行った場合に、反りの最大値が0から0.2mmまでの範囲であり、0〜0.15mmであることが好ましく、0〜0.1mmであることがより好ましく、0〜0.05mmであることがさらに好ましく、0〜0.05mmであることがさらに好ましい。 The warpage of the glass plate, when measured by the following method, has a maximum value of warpage ranging from 0 to 0.2 mm, preferably 0 to 0.15 mm, preferably 0 to 0.1 mm. More preferably, it is more preferably 0 to 0.05 mm, and still more preferably 0 to 0.05 mm.
反りの測定は、まず、ガラス板から複数枚の小板(約400mm四方)を切り出す。次に、各小板につき、角4箇所と中央部4箇所との反りを、表裏のそれぞれにおいて測定する(すなわち、計16箇所の反りを測定する)。例えば、小板8枚の反りを測定した場合、16箇所×8枚で128箇所の反りの測定データが得られる。そして、当該測定データの中の最大値が、上述の範囲であることを想定している。なお、本実施形態では、複数の小板で測定した反りの最大値を、ガラス板の反りとしている。 For the measurement of warpage, first, a plurality of small plates (about 400 mm square) are cut out from a glass plate. Next, for each of the small plates, the warpage of the four corners and the four central portions is measured on each of the front and back sides (that is, a total of 16 warpages are measured). For example, when the warpage of 8 small plates is measured, measurement data of 128 warpages is obtained at 16 locations × 8. And it assumes that the maximum value in the said measurement data is the above-mentioned range. In the present embodiment, the maximum value of warpage measured with a plurality of small plates is used as the warpage of the glass plate.
また、フラットパネルディスプレイ(液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等)用のガラス板としては、ガラス板が質量%表示で、以下の成分を含むものが例示される。
SiO2:50〜70質量%、
Al2O3:5〜25質量%、
B2O3:0〜15質量%、
MgO:0〜10質量%、
CaO:0〜20質量%、
SrO:0〜20質量%、
BaO:0〜10質量%、
ZrO2:0〜10質量%。Moreover, as a glass plate for flat panel displays (a liquid crystal display, a plasma display, etc.), the glass plate is a mass% display and includes the following components.
SiO 2 : 50 to 70% by mass,
Al 2 O 3 : 5 to 25% by mass,
B 2 O 3 : 0 to 15% by mass,
MgO: 0 to 10% by mass,
CaO: 0 to 20% by mass,
SrO: 0 to 20% by mass,
BaO: 0 to 10% by mass,
ZrO 2: 0 wt%.
有機ELディスプレイに用いられるガラス板、LTPS・TFTが形成されるガラス板、あるいは酸化物半導体が形成されるガラス板は、α−Si(アモルファスシリコン)・TFTが形成されるガラス板よりも、熱収縮率が小さいことが求められている。熱収縮率を小さくするためには、ガラス板の徐冷工程の時間を長くするか、ガラスの歪点温度を高くすればよい。しかし、ガラス板の徐冷工程の時間を長くすると製造装置を大型化する必要があり、好ましくない。熱収縮率が小さいガラス板としては、例えば、下記のような組成及び特性を有するガラス板が挙げられる。
SiO2:52〜78質量%、
Al2O3:3〜25質量%、
B2O31〜15質量%、
RO(但し、ROはMgO、CaO、SrO及びBaOうち、ガラス板に含有される全成分の合量):3〜20質量%、であり、
歪点が680℃以上、かつ上述した方法で測定した熱収縮率が60ppm以下のガラス板。The glass plate used for the organic EL display, the glass plate on which LTPS / TFT is formed, or the glass plate on which the oxide semiconductor is formed is hotter than the glass plate on which α-Si (amorphous silicon) / TFT is formed. The shrinkage rate is required to be small. In order to reduce the thermal shrinkage rate, the time for the slow cooling step of the glass plate may be increased or the strain point temperature of the glass may be increased. However, if the time for the slow cooling step of the glass plate is lengthened, it is necessary to enlarge the production apparatus, which is not preferable. Examples of the glass plate having a small heat shrinkage rate include glass plates having the following composition and characteristics.
SiO 2: 52~78% by weight,
Al 2 O 3 : 3 to 25% by mass,
1 to 15% by mass of B 2 O 3
RO (however, RO is the total amount of all components contained in the glass plate among MgO, CaO, SrO and BaO): 3 to 20% by mass,
A glass plate having a strain point of 680 ° C. or higher and a thermal shrinkage measured by the method described above of 60 ppm or less.
あるいは、
SiO2:57〜75質量%、
Al2O3:8〜25質量%、
B2O3:3〜11質量%(11質量%は除く)、
CaO:0〜20質量%、
MgO:0〜15質量%、
のガラス板。Or
SiO 2: 57~75% by weight,
Al 2 O 3 : 8 to 25% by mass,
B 2 O 3 : 3 to 11% by mass (excluding 11% by mass),
CaO: 0 to 20% by mass,
MgO: 0 to 15% by mass,
Glass plate.
このとき、下記の条件の何れかあるいは複数を満たすようにすると、よりLTPS・TFT用のガラス板に好適となる。
歪点温度をより上昇させるために、
(SiO2+Al2O3)/B2O3を8〜20及び/又はSiO2+Al2O3を75質量%以上とすることが好ましい。
また、CaO/B2O3を0.6以上とすることが好ましい。
さらに、歪点温度をより上昇させるために、質量比(SiO2+Al2O3)/ROは7.5以上であることが好ましい。
あるいは、ガラスの比抵抗を低下させるために、Fe2O3を0.01〜1質量%含有することが好ましい。
さらに、ガラス板は、高い歪点温度を実現しつつ失透温度の上昇を防止するためにCaO/ROは0.65以上とすることが好ましい。
また、モバイル通信端末のようなモバイル機器などに適用されることを考慮すると、軽量化の観点からはSrO及びBaOの合計含有率が0〜3.3%であることが好ましい。At this time, if one or more of the following conditions are satisfied, it is more suitable for a glass plate for LTPS / TFT.
In order to further increase the strain point temperature,
(SiO 2 + Al 2 O 3 ) / B 2 O 3 is preferably 8 to 20 and / or SiO 2 + Al 2 O 3 is preferably 75% by mass or more.
Moreover, the CaO / B 2 O 3 is preferably set to 0.6 or more.
Furthermore, in order to further increase the strain point temperature, the mass ratio (SiO 2 + Al 2 O 3 ) / RO is preferably 7.5 or more.
Alternatively, in order to reduce the specific resistance of the glass, the Fe 2 O 3 preferably contains 0.01 to 1 wt%.
Further, the glass plate preferably has a CaO / RO of 0.65 or more in order to prevent an increase in the devitrification temperature while realizing a high strain point temperature.
In consideration of application to mobile devices such as mobile communication terminals, the total content of SrO and BaO is preferably 0 to 3.3% from the viewpoint of weight reduction.
なお、R2O(但し、R2Oは、Li2O、Na2O及びK2Oのうち、ガラス板に含有される全成分の合量)は、ガラスから溶出してTFT特性を劣化させる虞があることから、液晶ディスプレイ用ガラス板として適用する場合には、実質的に含まないことが好ましい(無アルカリガラス)。しかし、ガラス中に上記成分を敢えて特定量含有させることによって、TFT特性の劣化を抑制しつつ、ガラスの塩基性度を高め、価数変動する金属の酸化を容易にして、清澄性を発揮させることが可能である。また、ガラスの比抵抗も低下させることができるので、溶解工程における溶解槽の破損等も抑制できる。そこで、R2Oは0〜2.0%であり、0.1〜1.0%がより好ましく、0.2〜0.5%がさらに好ましい。なお、R2O中でも、最もガラスから溶出してTFT特性を劣化させがたいK2Oを含有させることが好ましい。K2Oの含有量は、0〜2.0%であり、0.1〜1.0%がより好ましく、0.2〜0.5%がさらに好ましい。Note that R 2 O (where R 2 O is the total amount of all components contained in the glass plate among Li 2 O, Na 2 O and K 2 O) is eluted from the glass and deteriorates TFT characteristics. Therefore, when it is applied as a glass plate for a liquid crystal display, it is preferably substantially free (alkali-free glass). However, by deliberately containing a specific amount of the above components in the glass, the basicity of the glass is increased while suppressing the deterioration of the TFT characteristics, the oxidation of the metal whose valence fluctuates is facilitated, and the clarity is exhibited. It is possible. Moreover, since the specific resistance of glass can also be reduced, breakage of the melting tank in the melting step can be suppressed. Therefore, R 2 O is 0 to 2.0%, more preferably 0.1 to 1.0%, and still more preferably 0.2 to 0.5%. Note that, among R 2 O, it is preferable to contain K 2 O which is most likely to be eluted from the glass and hardly deteriorate the TFT characteristics. The content of K 2 O is 0 to 2.0%, more preferably 0.1 to 1.0%, and further preferably 0.2 to 0.5%.
また、化学強化を施した後、カバーガラスや太陽電池用のガラス板に適用されるガラス板としては、例えば、ガラス板が質量%表示で、以下の成分を含むものが例示される。
SiO2:50〜70質量%、
Al2O3:5〜20質量%、
Na2O:6〜30質量%、
Li2O:0〜8質量%、
B2O3:0〜5質量%、
K2O:0〜10質量%、
MgO:0〜10質量%、
CaO:0〜20質量%、
ZrO2:0〜10質量%。Moreover, as a glass plate applied to a cover glass or a glass plate for a solar cell after chemical strengthening, for example, the glass plate is represented by mass% and includes the following components.
SiO 2 : 50 to 70% by mass,
Al 2 O 3 : 5 to 20% by mass,
Na 2 O: 6 to 30 wt%,
Li 2 O: 0 to 8% by mass,
B 2 O 3 : 0 to 5% by mass,
K 2 O: 0 to 10% by mass,
MgO: 0 to 10% by mass,
CaO: 0 to 20% by mass,
ZrO 2: 0 wt%.
(特徴)
建物の隙間などを介して建物外方から建物内に流入する空気はほこりなどのパーティクルを含んでいるため、徐冷炉内のシートガラスや切断後のガラス板に付着してしまうと、傷発生の原因となることが考えられる。また、上記パーティクルが徐冷炉内のシートガラスに沿って発生する上昇気流に流れ込んでしまうと、パーティクルがシートガラスに付着し、シートガラス表面に泡や突起物を形成してしまうことが考えられる。このような場合、ガラス板の表面品質が悪化してしまうため、安定したガラス板の生産が困難となる虞がある。(Feature)
The air flowing into the building from outside the building through gaps in the building contains particles such as dust, so if it adheres to the sheet glass in the slow cooling furnace or the glass plate after cutting, it can cause scratches. It is possible to become. Moreover, when the said particle | grain flows into the updraft generated along the sheet glass in a slow cooling furnace, it will be considered that a particle adheres to a sheet glass and forms a bubble and a protrusion on the sheet glass surface. In such a case, since the surface quality of the glass plate is deteriorated, it may be difficult to produce a stable glass plate.
また、成形炉や徐冷炉内は温度変動が生じないようにヒータで制御されているが、成形炉や徐冷炉には、シートガラスを切断する領域以外にも、隙間が存在しており、当該隙間を完全になくすことは極めて困難である。このため、建物外方の空気が建物内に流入してしまうと、炉外部空間と炉内部空間の気圧差の関係が崩れ、炉外部空間の空気が成形炉や徐冷炉の隙間を介して、成形炉や徐冷炉内に流入してしまい、成形炉や徐冷炉内の温度管理制御の精度を低下させてしまう虞がある。このとき、成形炉や徐冷炉に流入する空気の温度は、温度管理された成形炉や徐冷炉内の温度よりも低温である。つまり、溶融ガラスやシートガラスのうち、上記成形炉や徐冷炉に流入した空気と接した領域のみ急冷されてしまう。例えば、成形炉において溶融ガラスのある領域が局部的に急冷されると、当該領域のみ粘度が高くなり、シートガラスに成形された後、下流においてローラで引き伸ばされる際に、シートガラスのうち粘度が高い領域のみ十分に引き伸ばすことができず、ガラス板の板厚の偏差を引き起こしてしまう。また、上述したように徐冷炉内においては、反り、や平面歪、熱収縮率を低減するために、シートガラスの幅方向の温度プロファイルを制御している。そのため、徐冷炉内において、シートガラスのある領域が局部的に急冷されると、当該領域のみ局部的に熱収縮率が大きくなってしまうので、熱収縮率のばらつきが生じてしまう。 In addition, the inside of the forming furnace and the slow cooling furnace is controlled by a heater so that the temperature does not fluctuate. However, in the forming furnace and the slow cooling furnace, there is a gap in addition to the region where the sheet glass is cut. It is extremely difficult to eliminate them completely. For this reason, if air outside the building flows into the building, the relationship between the pressure difference between the furnace outer space and the furnace inner space is disrupted, and the air in the furnace outer space is molded through the gap between the molding furnace and the slow cooling furnace. There is a risk that it will flow into the furnace or the slow cooling furnace and reduce the accuracy of temperature management control in the molding furnace or the slow cooling furnace. At this time, the temperature of the air flowing into the molding furnace or the slow cooling furnace is lower than the temperature in the temperature controlled molding furnace or slow cooling furnace. That is, only the area | region which contacted the air which flowed in the said shaping | molding furnace or a slow cooling furnace among molten glass and sheet glass will be rapidly cooled. For example, when a certain region of molten glass is locally quenched in a forming furnace, the viscosity of only the region increases, and after being formed into a sheet glass, when the sheet glass is stretched downstream with a roller, the viscosity of the sheet glass is increased. Only the high region cannot be sufficiently stretched, causing a deviation in the thickness of the glass plate. Further, as described above, in the annealing furnace, the temperature profile in the width direction of the sheet glass is controlled in order to reduce warpage, plane distortion, and thermal shrinkage. Therefore, when a certain region of the sheet glass is locally cooled in the slow cooling furnace, the heat shrinkage rate is locally increased only in the region, and thus the heat shrinkage rate varies.
上述した問題を解決するためには、建物内の気圧を、建物外方の気圧よりも高くすることで、建物外方の空気が建物内に流入することを抑制することが好ましい。しかし、建物内の気圧を、建物外方の気圧よりも高くしすぎてしまうと、建物内の空気が建物外方に大量に流出することとなり、建物内の気圧や温度が変動してしまうことがある。あるいは、炉外部空間及び/又は切断空間の気圧が高くなりすぎると、炉外部空間及び/又は切断空間から炉内部空間への空気流入量が増加し、シートガラスに沿った上昇気流が発生しやすくなる。よって、建物内の気圧と建物外方の気圧との差は、0超〜40Paであることが好ましい。つまり、本実施形態の気圧制御では、炉外部空間S4の気圧P1から建物Bの外方の気圧P2を減算した値が、0より大きく40Pa以下となるように、送風機を制御することが好ましい。 In order to solve the above-described problem, it is preferable to suppress the air outside the building from flowing into the building by making the pressure inside the building higher than the pressure outside the building. However, if the air pressure inside the building is made higher than the air pressure outside the building, a large amount of air inside the building will flow out to the outside of the building, and the air pressure and temperature inside the building will fluctuate. There is. Alternatively, if the pressure in the furnace outer space and / or the cutting space becomes too high, the amount of air flowing from the furnace outer space and / or the cutting space into the furnace inner space increases, and an upward air flow along the sheet glass tends to occur. Become. Therefore, the difference between the atmospheric pressure inside the building and the atmospheric pressure outside the building is preferably more than 0 to 40 Pa. That is, in the atmospheric pressure control of the present embodiment, it is preferable to control the blower so that a value obtained by subtracting the atmospheric pressure P2 outside the building B from the atmospheric pressure P1 in the furnace exterior space S4 is greater than 0 and equal to or less than 40 Pa.
そして、以上のような制御を行うことにより、パーティクルによる品質悪化の抑制に加え、反り、熱収縮のばらつきといったガラス板の品質悪化を抑制でき、パーティクル、反り、熱収縮のばらつきの品質を満たしたガラス板を安定して製造することができる。 And, by controlling as described above, in addition to suppressing quality deterioration due to particles, it is possible to suppress glass plate quality deterioration such as warpage and thermal shrinkage variation, satisfying the quality of particle, warp and thermal shrinkage variation. A glass plate can be manufactured stably.
また、成形空間S1の温度の変動を抑制することで、ガラス板の板厚のばらつき等を抑制することができる。 In addition, by suppressing fluctuations in the temperature of the forming space S1, variations in the thickness of the glass plate can be suppressed.
また、徐冷空間S2は、シートガラスSGの温度が徐冷点温度の近傍から歪点温度の近傍の温度となる領域を含む空間であるが、徐冷空間S2の温度変動を抑制できることで、熱収縮率のばらつきを低減できる。なお、徐冷空間S2において、徐冷点以上となるシートガラスSG近傍の雰囲気温度の変動を抑制できるので、ガラス板の変形や反りを抑制できる。また、徐冷空間S2において、歪点温度以下となるシートガラスSG近傍の雰囲気温度の変動を抑制できるので、ガラス板の反りなどを抑制できる。ここで、シートガラスSGは、切断されるまで一枚の連続した板である。そのため、シートガラスの温度が歪点温度以下となる領域においてシートガラスの反り形状が変化すると、歪点温度以上となる領域のシートガラスにも影響を与え、熱収縮率のばらつきが発生してしまう。一方、本実施形態では、シートガラスSGの温度が歪点温度以下となる領域の雰囲気温度の変動を抑制することで、反り、平面歪、熱収縮のばらつきを抑制することができる。 Further, the slow cooling space S2 is a space including a region in which the temperature of the sheet glass SG becomes a temperature in the vicinity of the strain point temperature from the vicinity of the slow cooling point temperature, but by suppressing temperature fluctuations in the slow cooling space S2, Variation in thermal shrinkage can be reduced. In addition, in the annealing space S2, since the fluctuation | variation of the atmospheric temperature of the sheet glass SG vicinity which becomes more than an annealing point can be suppressed, a deformation | transformation and curvature of a glass plate can be suppressed. Moreover, since the fluctuation | variation of the atmospheric temperature of the sheet glass SG vicinity used as the strain point temperature or less can be suppressed in slow cooling space S2, the curvature of a glass plate etc. can be suppressed. Here, the sheet glass SG is one continuous plate until it is cut. Therefore, if the warp shape of the sheet glass changes in the region where the temperature of the sheet glass is equal to or lower than the strain point temperature, the sheet glass in the region where the temperature is higher than the strain point temperature is also affected, and variation in the thermal shrinkage rate occurs. . On the other hand, in this embodiment, it is possible to suppress variations in warpage, plane distortion, and thermal shrinkage by suppressing changes in the ambient temperature in a region where the temperature of the sheet glass SG is equal to or lower than the strain point temperature.
建物の壁から完全に隙間をなくすことは困難である。このため、煙突効果によって、炉外部空間にも上昇気流が発生すると考えられる。なお、炉壁の近傍ほど雰囲気温度が高くなるため、上昇気流が発生しやすい。また、温度が高い気体が温度の低い領域に流れることにより対流も生じる。これは、炉壁側よりも建物の内壁側の雰囲気温度のほうがより低いと考えられるためである。つまり、建物の内壁に沿って下降気流が発生し、炉壁に沿って上昇気流が発生することで、大きな対流が生じる。 It is difficult to completely eliminate the gap from the building walls. For this reason, it is thought that an updraft is generated also in the furnace outer space due to the chimney effect. In addition, since the atmospheric temperature becomes higher near the furnace wall, an upward air flow is likely to be generated. Further, convection also occurs when a gas having a high temperature flows in a region having a low temperature. This is because the ambient temperature on the inner wall side of the building is considered to be lower than the furnace wall side. In other words, a descending airflow is generated along the inner wall of the building and an upward airflow is generated along the furnace wall, thereby generating a large convection.
そこで、本実施形態では、炉外部空間S4の気圧を第1方向の上流側ほど気圧が大きくなるように、送風機を制御している。これにより、炉外部空間S4において、成形炉40の成形炉壁41や徐冷炉50の徐冷炉壁51の外面に沿って上昇する空気流を抑制できる。よって、成形炉壁41や徐冷炉壁51の外面の温度を極力安定させることができる。従って、成形空間S1や徐冷空間S2の温度の変動を抑制できる。 Therefore, in the present embodiment, the blower is controlled so that the atmospheric pressure in the furnace external space S4 increases toward the upstream side in the first direction. Thereby, in the furnace exterior space S4, the air flow rising along the outer surface of the forming furnace wall 41 of the forming furnace 40 and the slow cooling furnace wall 51 of the slow cooling furnace 50 can be suppressed. Therefore, the temperature of the outer surface of the forming furnace wall 41 and the slow cooling furnace wall 51 can be stabilized as much as possible. Therefore, the fluctuation | variation of the temperature of shaping | molding space S1 or slow cooling space S2 can be suppressed.
炉外部空間S4は、成形炉外部上方空間S5、成形炉外部下方空間S6、及び、徐冷炉外部空間S7に分割される。よって、成形炉壁41や徐冷炉壁51の外面に沿って上昇する空気流が発生したとしても、その空気流の第1方向の範囲を狭くできる(つまり、各空間S5〜S7内にその空気流をとどめることができる)。すなわち、炉外部空間S4の気圧を複数の空間の間で分布させ上流側ほど大きくしているので、複数の空間をまたいで上昇するような(例えば、空間S5〜S7の少なくとも2以上の空間に渡るような)大きな空気流の発生を抑制できる。 The furnace outer space S4 is divided into a molding furnace outer upper space S5, a molding furnace outer lower space S6, and a slow cooling furnace outer space S7. Therefore, even if an air flow rising along the outer surface of the forming furnace wall 41 or the slow cooling furnace wall 51 is generated, the range of the air flow in the first direction can be narrowed (that is, the air flow in each of the spaces S5 to S7). ). That is, since the atmospheric pressure in the furnace external space S4 is distributed among a plurality of spaces and is increased toward the upstream side, the pressure rises across the plurality of spaces (for example, in at least two spaces S5 to S7). It is possible to suppress the generation of a large air flow (such as crossing).
これにより、成形炉壁41や徐冷炉壁51の外面の温度がより安定する。よって、成形空間S1や徐冷空間S2における温度への影響を低減でき、成形空間S1や徐冷空間S2の温度をより安定させることができる。 Thereby, the temperature of the outer surface of the shaping | molding furnace wall 41 and the slow cooling furnace wall 51 becomes more stable. Therefore, the influence on the temperature in molding space S1 and slow cooling space S2 can be reduced, and the temperature of molding space S1 and slow cooling space S2 can be stabilized more.
(変形例)
以上、本実施形態について図面に基づいて説明したが、具体的な構成は、上記の実施形態に限られるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。(Modification)
While the present embodiment has been described with reference to the drawings, the specific configuration is not limited to the above-described embodiment, and can be changed without departing from the scope of the invention.
(変形例1A)
図7は、本変形例1Aに係る建物Bの内部を示す模式図である。
シートガラスに沿って発生する上昇気流は、シートガラスの切断時に発生するガラスの切粉や、建物の外方から建物内に流入する空気に含まれるホコリを舞い上げ、成形空間や徐冷空間を流れるシートガラスに付着させてしまう。シートガラスに付着したガラスの切粉は、シートガラスの表面に気泡や突起物を形成し、ガラス板の表面の品質を低下させてしまう。また、ホコリも、ガラス板の表面の品質を低下させてしまう。また、建物の外方から建物内空間に流入する空気は、建物の外方の状況(温度、風速等)によって大きく変動するため、建物の外方から建物内空間に空気が流入することで建物内空間の気圧や温度を制御し難くなる。(Modification 1A)
FIG. 7 is a schematic diagram showing the inside of the building B according to the modification 1A.
The rising airflow generated along the sheet glass soars the dust contained in the glass chips generated when the sheet glass is cut and the air flowing into the building from the outside of the building. It will adhere to the flowing sheet glass. The glass chips adhering to the sheet glass form bubbles and protrusions on the surface of the sheet glass, and deteriorate the quality of the surface of the glass plate. Dust also reduces the quality of the surface of the glass plate. In addition, the air flowing from the outside of the building into the building interior varies greatly depending on the conditions outside the building (temperature, wind speed, etc.), so the air flows into the building interior from the outside of the building. It becomes difficult to control the pressure and temperature of the inner space.
そこで、気圧制御工程における気圧制御では、切断空間S3の気圧P3が、建物Bの外方の気圧P2に対して大きくなるように制御することが好ましい。これにより、建物の外方から切断空間にホコリなどが含まれた空気が流入することを防止でき、ひいてはガラス板の表面品質の低下を抑制できる。 Therefore, in the atmospheric pressure control in the atmospheric pressure control process, it is preferable to perform control so that the atmospheric pressure P3 in the cutting space S3 is larger than the atmospheric pressure P2 outside the building B. Thereby, it can prevent that the air containing dust etc. flows into the cutting space from the outside of a building, and can suppress the fall of the surface quality of a glass plate by extension.
この場合、切断空間S3の外方には、切断空間S3を加圧するための送風機424が配置される。また、切断空間S3には、切断空間S3の気圧P3を検出するための第4圧力センサ(図示せず)が設けられる。 In this case, a blower 424 for pressurizing the cutting space S3 is disposed outside the cutting space S3. The cutting space S3 is provided with a fourth pressure sensor (not shown) for detecting the atmospheric pressure P3 in the cutting space S3.
なお、切断空間の気圧が所定の圧力以上になると、炉(成形炉及び徐冷炉)へ流れる空気流が発生しやすくなり、成形空間及び徐冷空間の温度に影響がでることが懸念される。
よって、切断空間S3の気圧P3から建物Bの外方の気圧P2を減算した値が、0より大きく40Pa以下になるように、切断空間S3の気圧制御を行うことが好ましい。すなわち、以下の式2が成立するように気圧制御を行うことが好ましい。
(式2)0<P3−P2≦40Pa
これにより、建物Bの外方から建物B内への空気の流入を抑制できるので、切断空間S3、ひいては、建物内空間Sの温度制御や気圧制御を精度よく行いやすくなる。また、切断空間S3へのホコリ等の流入を抑制できるので、ガラス板の表面品質が悪化することを防止できる。In addition, when the air pressure in the cutting space becomes equal to or higher than a predetermined pressure, an air flow flowing to the furnace (forming furnace and slow cooling furnace) is likely to be generated, and there is a concern that the temperature of the forming space and the slow cooling space may be affected.
Therefore, it is preferable to control the atmospheric pressure in the cutting space S3 so that the value obtained by subtracting the atmospheric pressure P2 outside the building B from the atmospheric pressure P3 in the cutting space S3 is greater than 0 and 40 Pa or less. That is, it is preferable to perform the atmospheric pressure control so that the following expression 2 is established.
(Formula 2) 0 <P3-P2 ≦ 40 Pa
Thereby, since the inflow of the air from the outside of the building B into the building B can be suppressed, it becomes easy to accurately perform the temperature control and the atmospheric pressure control of the cutting space S3 and consequently the building space S. Moreover, since the inflow of dust or the like into the cutting space S3 can be suppressed, it is possible to prevent the surface quality of the glass plate from deteriorating.
また、上記実施形態以外にも、気圧制御において、第4圧力センサ及び第5圧力センサ(図示せず)によって検出される値を監視して送風機424を制御する(すなわち、切断空間S3の気圧を制御する)ことで、徐冷空間S2の気圧P4が切断空間S3の気圧P3に対して大きくなるようにしてもよい。なお、第5圧力センサとは、徐冷空間S2の気圧P4を検出する圧力センサである。
これにより、切断空間S3から徐冷空間S2へと流れる空気流を抑制できる。また、徐冷空間S2の気圧が、第1方向の上流側ほど大きくなるように気圧制御を行ってもよい。これにより、成形空間S1や徐冷空間S2の温度の変動を抑制できる。In addition to the above embodiment, in the atmospheric pressure control, the values detected by the fourth pressure sensor and the fifth pressure sensor (not shown) are monitored to control the blower 424 (that is, the atmospheric pressure in the cutting space S3 is controlled). The air pressure P4 in the slow cooling space S2 may be larger than the air pressure P3 in the cutting space S3. The fifth pressure sensor is a pressure sensor that detects the atmospheric pressure P4 in the slow cooling space S2.
Thereby, the airflow which flows from the cutting space S3 to the slow cooling space S2 can be suppressed. Further, the atmospheric pressure control may be performed so that the atmospheric pressure in the slow cooling space S2 increases toward the upstream side in the first direction. Thereby, the fluctuation | variation of the temperature of shaping | molding space S1 or slow cooling space S2 can be suppressed.
(変形例1B)
上記実施形態では、物理的な仕切り部材として機能する床411,412,413が配置されることによって、複数の空間を形成しているが、これに限られるものではなく、第1方向の上流側ほど気圧が大きくなるように気圧制御がされれば、上記実施形態と同様の効果を奏する。(Modification 1B)
In the above embodiment, the floors 411, 412 and 413 functioning as physical partition members are arranged to form a plurality of spaces. However, the present invention is not limited to this, and the upstream side in the first direction. If the atmospheric pressure control is performed so that the atmospheric pressure increases, the same effects as in the above embodiment are obtained.
(変形例1C)
上記実施形態では、炉外部空間S4を加圧している。しかし、必ずしも成形空間S1や徐冷空間S2の気圧よりも炉外部空間S4の気圧を大きくする必要はない。例えば、成形空間S1や徐冷空間S2の気圧と炉外部空間S4との気圧差を小さくしたとしても、成形空間S1や徐冷空間S2の気圧から漏れ出す空気量を低減でき、ガラス板Gに沿って発生する上昇気流を抑制できるので効果的である。(Modification 1C)
In the said embodiment, the furnace exterior space S4 is pressurized. However, it is not always necessary to make the pressure in the furnace outer space S4 larger than the pressure in the molding space S1 and the slow cooling space S2. For example, even if the pressure difference between the molding space S1 or the slow cooling space S2 and the pressure outside the furnace space S4 is reduced, the amount of air leaking from the pressure in the molding space S1 or the slow cooling space S2 can be reduced. It is effective because it can suppress the upward air flow that occurs along.
(変形例1D)
図8は、本変形例1Fに係る建物Bの内部を示す模式図である。図8に示すように、炉外部空間S4は、成形炉外部上方空間S5と成形炉外部下方空間S6とを含む成形炉外部空間S10と、徐冷炉外部空間S7との3空間に分割されてもよい。この場合であっても、上記実施形態と同様の効果を奏する。(Modification 1D)
FIG. 8 is a schematic diagram showing the inside of the building B according to the modification 1F. As shown in FIG. 8, the furnace external space S4 may be divided into three spaces, a forming furnace external space S10 including a forming furnace external upper space S5 and a forming furnace external lower space S6, and a slow cooling furnace external space S7. . Even in this case, the same effects as those of the above-described embodiment can be obtained.
また、必ずしも炉外部空間S4の気圧を第1方向の上流側ほど気圧が大きくする必要はなく、少なくとも成形炉外部空間S10の気圧を徐冷炉外部空間S7の気圧よりも高くすることで、炉外部空間に発生する上昇気流の発生を抑制することができる。これは、成形炉壁41の温度と徐冷炉壁51の温度差が特に大きいため、徐冷炉壁51から成形炉壁41にかけてより大きな上昇気流が発生しやすいためである。また、上述したようにガラス板の品質を向上させるためには、成形炉40と徐冷炉50内の温度変動を低減することが特に好ましいためである。 Further, it is not always necessary to increase the atmospheric pressure in the furnace external space S4 toward the upstream side in the first direction, and at least the atmospheric pressure in the molding furnace external space S10 is made higher than the atmospheric pressure in the slow cooling furnace external space S7. It is possible to suppress the generation of ascending airflow generated in the air. This is because the temperature difference between the temperature of the forming furnace wall 41 and the temperature of the slow cooling furnace wall 51 is particularly large, so that a larger upward air flow is likely to be generated from the slow cooling furnace wall 51 to the forming furnace wall 41. Further, as described above, in order to improve the quality of the glass plate, it is particularly preferable to reduce temperature fluctuations in the forming furnace 40 and the slow cooling furnace 50.
以下、本発明の実施例について説明する。 Examples of the present invention will be described below.
(実施例1)
炉外部空間S4の気圧と建物Bの外方の気圧P2との差が5Paとなるように、炉外部空間S4の気圧を制御した。そして、厚さが0.7mm、大きさが2200mm×2500mmの液晶ディスプレイ用ガラス板の製造を行った。ガラス板の各成分の含有率は以下のとおりであった。
SiO2 60質量%%
Al2O3 19.5質量%
B2O3 10質量%
CaO 5質量%
SrO 5質量%
SnO2 0.5質量%(Example 1)
The pressure in the furnace outer space S4 was controlled so that the difference between the pressure in the furnace outer space S4 and the pressure P2 outside the building B was 5 Pa. And the glass plate for liquid crystal displays of thickness 0.7mm and magnitude | size 2200 mm x 2500 mm was manufactured. The content of each component of the glass plate was as follows.
SiO 2 60 mass%
Al 2 O 3 19.5 mass%
B 2 O 3 10% by mass
CaO 5% by mass
SrO 5% by mass
SnO 2 0.5% by mass
(実施例2)
炉外部空間S4の気圧P1と建物Bの外方の気圧P2との差が20Paである以外は、実施例1と同様の方法で液晶ディスプレイ用ガラス板の製造を行った。(Example 2)
A glass plate for a liquid crystal display was produced in the same manner as in Example 1 except that the difference between the pressure P1 in the furnace outer space S4 and the pressure P2 outside the building B was 20 Pa.
(実施例3)
炉外部空間S4の気圧P1と建物Bの外方の気圧P2との差が35Paである以外は、実施例1と同様の方法で液晶ディスプレイ用ガラス板の製造を行った。(Example 3)
A glass plate for a liquid crystal display was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the difference between the pressure P1 in the furnace outer space S4 and the pressure P2 outside the building B was 35 Pa.
(実施例4)
炉外部空間S4の気圧P1と建物Bの外方の気圧P2との差が50Paである以外は、実施例1と同様の方法で液晶ディスプレイ用ガラス板の製造を行った。Example 4
A glass plate for a liquid crystal display was produced in the same manner as in Example 1 except that the difference between the pressure P1 in the furnace outer space S4 and the pressure P2 outside the building B was 50 Pa.
(比較例1)
炉外部空間S4の気圧P1と建物Bの外方の気圧P2との差が−5Pa(つまり、炉外部空間S4の気圧よりも建物Bの外方の気圧P2が高い)である以外は、実施例1と同様の方法で液晶ディスプレイ用ガラス板の製造を行った。(Comparative Example 1)
Implemented except that the difference between the pressure P1 in the furnace outer space S4 and the pressure P2 outside the building B is -5 Pa (that is, the pressure P2 outside the building B is higher than the pressure in the furnace outer space S4). A glass plate for a liquid crystal display was produced in the same manner as in Example 1.
そして、以上のような条件の下、製造した液晶ディスプレイ用ガラス板の熱収縮のばらつきを上述した方法((7)ガラス板の好ましい形態で記載した方法)で測定した。また、液晶ディスプレイ用ガラス板の表面を目視で観察し、傷が確認できなかった場合OK、傷を確認した場合にはNGとして評価を行った。以下の表1に、実施例1〜4及び比較例1のそれぞれの測定結果を示す。 And under the above conditions, the dispersion | variation in the heat shrink of the manufactured glass plate for liquid crystal displays was measured by the method mentioned above ((7) The method described in the preferable form of the glass plate). Moreover, when the surface of the glass plate for liquid crystal displays was observed visually and it was not able to confirm a crack, it was evaluated as NG when a crack was confirmed and it was evaluated. Table 1 below shows the measurement results of Examples 1 to 4 and Comparative Example 1.
以上のように、0<P1−P2となるように炉外部空間S4の気圧を制御すれば、ガラス板表面に傷が発生することを抑制できる。また、0<P1−P2≦40Paとなるように炉外部空間S4の気圧を制御すれば、より熱収縮率のばらつきを抑制できる。なお、ガラス板の各成分の含有率(質量%)が、SiO2 61%、Al2O3 19.5%、B2O3 10%、CaO 9%、SnO2 0.3%、R2O 0.2%であっても上記と同様の結果であった。As described above, if the atmospheric pressure in the furnace exterior space S4 is controlled so that 0 <P1-P2, the generation of scratches on the glass plate surface can be suppressed. Moreover, if the atmospheric pressure in the furnace outside space S4 is controlled so that 0 <P1-P2 ≦ 40 Pa, the variation in the thermal contraction rate can be further suppressed. The content of each component of the glass plate (wt%) is, SiO 2 61%, Al 2 O 3 19.5%, B 2 O 3 10%, CaO 9%, SnO 2 0.3%, R 2 Even if O was 0.2%, the same result as above was obtained.
40 成形炉
50 徐冷炉
100 ガラス板製造装置
310 成形体
B 建物
MG 溶融ガラス40 Molding furnace 50 Slow cooling furnace 100 Glass plate manufacturing apparatus 310 Molded body B Building MG Molten glass
Claims (15)
前記溶融ガラスを、成形炉の炉壁である成形炉壁によって囲まれる成形空間に配置される成形体に、供給する供給工程と、
ダウンドロー法を用いて前記成形体において溶融ガラスからシートガラスを成形する成形工程と、
前記シートガラスを、前記成形空間の下方に位置する空間であり、前記徐冷炉の炉壁である徐冷炉壁によって囲まれる徐冷空間において徐冷する徐冷工程と、
徐冷された前記シートガラスを、前記徐冷炉の下方に位置する切断空間において切断してガラス板とする切断工程と、を有し、
前記成形空間、前記徐冷空間、及び前記切断空間を収容する建物の内壁面と前記成形炉壁の外面と前記徐冷炉壁の外面とによって画された建物内空間内の、前記切断空間の上方に位置する炉外部空間の気圧が、前記建物の外方の気圧に対して大きくなるように、気圧制御が行われ、
前記炉外部空間は、前記徐冷空間内の前記シートガラスの温度が(徐冷点温度+5℃)〜(歪点温度−50℃)となる部分を含む空間の前記徐冷炉壁の外側に位置する徐冷炉外部空間を含み、
前記気圧制御では、
前記炉外部空間の気圧をP1とし、前記建物の外方の気圧をP2とした場合、
0<P1−P2≦40Pa
の関係が成立するように、前記炉外部空間の気圧を制御する、
ことを特徴とするガラス板の製造方法。 A melting step of melting glass raw material to form molten glass;
Supplying the molten glass to a molded body disposed in a molding space surrounded by a molding furnace wall that is a furnace wall of a molding furnace;
A molding step of molding sheet glass from molten glass in the molded body using a downdraw method;
A slow cooling step of slowly cooling the sheet glass in a slow cooling space that is a space located below the molding space and surrounded by a slow cooling furnace wall that is a furnace wall of the slow cooling furnace;
A step of cutting the slowly cooled sheet glass in a cutting space located below the slow cooling furnace to form a glass plate,
Above the cutting space within the building space defined by the inner wall surface of the building that houses the molding space, the slow cooling space, and the cutting space, the outer surface of the molding furnace wall, and the outer surface of the slow cooling furnace wall. The atmospheric pressure control is performed so that the atmospheric pressure of the furnace outer space located is larger than the atmospheric pressure outside the building,
The outer space of the furnace is located outside the wall of the slow cooling furnace in a space including a portion where the temperature of the sheet glass in the slow cooling space is (slow cooling temperature + 5 ° C.) to (strain temperature−50 ° C.). Including the outer space of the annealing furnace,
In the atmospheric pressure control,
When the pressure outside the furnace is P1, and the pressure outside the building is P2,
0 <P1-P2 ≦ 40Pa
To control the atmospheric pressure in the outside space of the furnace so that the relationship of
The manufacturing method of the glass plate characterized by the above-mentioned.
前記切断空間の気圧をP3とし、前記建物の外方の気圧をP2とした場合、
0<P3−P2≦40Pa
の関係が成立するように、前記切断空間の気圧をさらに制御する、
請求項1に記載のガラス板の製造方法。 In the atmospheric pressure control ,
When the atmospheric pressure in the cutting space is P3 and the atmospheric pressure outside the building is P2,
0 <P3-P2 ≦ 40Pa
Further controlling the pressure in the cutting space so that the relationship of
The manufacturing method of the glass plate of Claim 1.
前記溶融ガラスを、成形炉の炉壁である成形炉壁によって囲まれる成形空間に配置される成形体に、供給する供給工程と、
ダウンドロー法を用いて前記成形体において溶融ガラスからシートガラスを成形する成形工程と、
前記シートガラスを、前記成形空間の下方に位置する空間であり、前記徐冷炉の炉壁である徐冷炉壁によって囲まれる徐冷空間において徐冷する徐冷工程と、
徐冷された前記シートガラスを、前記徐冷炉の下方に位置する切断空間において切断してガラス板とする切断工程と、を有し、
前記成形空間、前記徐冷空間、及び前記切断空間を収容する建物の内壁面と前記成形炉壁の外面と前記徐冷炉壁の外面とによって画された建物内空間内の、前記切断空間の上方に位置する炉外部空間の気圧が、前記建物の外方の気圧に対して大きくなるように、気圧制御が行われ、
前記炉外部空間は、前記徐冷空間内の前記シートガラスの温度が(徐冷点温度+5℃)〜(歪点温度−50℃)となる部分を含む空間の前記徐冷炉壁の外側に位置する徐冷炉外部空間を含み、
前記気圧制御では、
前記切断空間の気圧をP3とし、前記建物の外方の気圧をP2とした場合、
0<P3−P2≦40Pa
の関係が成立するように、前記切断空間の気圧をさらに制御し、かつ、前記炉外部空間の気圧が前記シートガラスの流れ方向の上流側ほど大きくなるように、前記炉外部空間の気圧を制御する、ことを特徴とするガラス板の製造方法。 A melting step of melting glass raw material to form molten glass;
Supplying the molten glass to a molded body disposed in a molding space surrounded by a molding furnace wall that is a furnace wall of a molding furnace;
A molding step of molding sheet glass from molten glass in the molded body using a downdraw method;
A slow cooling step of slowly cooling the sheet glass in a slow cooling space that is a space located below the molding space and surrounded by a slow cooling furnace wall that is a furnace wall of the slow cooling furnace;
A step of cutting the slowly cooled sheet glass in a cutting space located below the slow cooling furnace to form a glass plate,
Above the cutting space within the building space defined by the inner wall surface of the building that houses the molding space, the slow cooling space, and the cutting space, the outer surface of the molding furnace wall, and the outer surface of the slow cooling furnace wall. The atmospheric pressure control is performed so that the atmospheric pressure of the furnace outer space located is larger than the atmospheric pressure outside the building,
The outer space of the furnace is located outside the wall of the slow cooling furnace in a space including a portion where the temperature of the sheet glass in the slow cooling space is (slow cooling temperature + 5 ° C.) to (strain temperature−50 ° C.). Including the outer space of the annealing furnace,
In the atmospheric pressure control,
When the atmospheric pressure in the cutting space is P3 and the atmospheric pressure outside the building is P2,
0 <P3-P2 ≦ 40Pa
The atmospheric pressure in the cutting space is further controlled so that the above relationship is established, and the atmospheric pressure in the furnace external space is controlled so that the air pressure in the furnace external space increases toward the upstream side in the flow direction of the sheet glass. A method for producing a glass plate, comprising:
前記溶融ガラスを、成形炉の炉壁である成形炉壁によって囲まれる成形空間に配置される成形体に、供給する供給工程と、
ダウンドロー法を用いて前記成形体において溶融ガラスからシートガラスを成形する成形工程と、
前記シートガラスを、前記成形空間の下方に位置する空間であり、前記徐冷炉の炉壁である徐冷炉壁によって囲まれる徐冷空間において徐冷する徐冷工程と、
徐冷された前記シートガラスを、前記徐冷炉の下方に位置する切断空間において切断してガラス板とする切断工程と、を有し、
前記成形空間、前記徐冷空間、及び前記切断空間を収容する建物の内壁面と前記成形炉壁の外面と前記徐冷炉壁の外面とによって画された建物内空間内の、前記切断空間の上方に位置する炉外部空間の気圧が、前記建物の外方の気圧に対して大きくなるように、気圧制御が行われ、
前記徐冷工程では、
前記シートガラスの幅方向の中央部において、シートガラスの流れ方向に張力が働くように、
少なくとも、前記シートガラスの幅方向の中央部の温度がガラスの徐冷点温度に150℃を足した温度からガラスの歪点温度から200℃引いた温度となる温度領域において、
前記シートガラスの幅方向の中央部の冷却速度が前記幅方向の両端部の冷却速度よりも速くなるように温度制御する、ことを特徴とするガラス板の製造方法。 A melting step of melting glass raw material to form molten glass;
Supplying the molten glass to a molded body disposed in a molding space surrounded by a molding furnace wall that is a furnace wall of a molding furnace;
A molding step of molding sheet glass from molten glass in the molded body using a downdraw method;
A slow cooling step of slowly cooling the sheet glass in a slow cooling space that is a space located below the molding space and surrounded by a slow cooling furnace wall that is a furnace wall of the slow cooling furnace;
A step of cutting the slowly cooled sheet glass in a cutting space located below the slow cooling furnace to form a glass plate,
Above the cutting space within the building space defined by the inner wall surface of the building that houses the molding space, the slow cooling space, and the cutting space, the outer surface of the molding furnace wall, and the outer surface of the slow cooling furnace wall. The atmospheric pressure control is performed so that the atmospheric pressure of the furnace outer space located is larger than the atmospheric pressure outside the building,
In the slow cooling step,
In the center of the width direction of the sheet glass, so that tension works in the flow direction of the sheet glass,
At least in the temperature region where the temperature of the central portion in the width direction of the sheet glass is a temperature obtained by adding 200 ° C. from the strain point temperature of the glass from the temperature obtained by adding 150 ° C. to the annealing point temperature of the glass,
A method for producing a glass plate, characterized in that the temperature is controlled so that the cooling rate at the center in the width direction of the sheet glass is faster than the cooling rate at both ends in the width direction.
前記溶融ガラスを、成形炉の炉壁である成形炉壁によって囲まれる成形空間に配置される成形体に、供給する供給工程と、
ダウンドロー法を用いて前記成形体において溶融ガラスからシートガラスを成形する成形工程と、
前記シートガラスを、前記成形空間の下方に位置する空間であり、前記徐冷炉の炉壁である徐冷炉壁によって囲まれる徐冷空間において徐冷する徐冷工程と、
徐冷された前記シートガラスを、前記徐冷炉の下方に位置する切断空間において切断してガラス板とする切断工程と、を有し、
前記成形空間、前記徐冷空間、及び前記切断空間を収容する建物の内壁面と前記成形炉壁の外面と前記徐冷炉壁の外面とによって画された建物内空間内の、前記切断空間の上方に位置する炉外部空間の気圧が、前記建物の外方の気圧に対して大きくなるように、気圧制御が行われ、
前記シートガラスの幅方向の中央部の温度がガラスの軟化点温度以上の領域において、前記シートガラスの幅方向の両端部が前記両端部に挟まれた中央部の温度より低く、且つ、前記中央部の温度が均一になるように前記シートガラスの温度を制御し、
前記シートガラスの幅方向の中央部において、シートガラスの流れ方向の張力が働くように前記シートガラスの前記中央部の温度がガラスの軟化点温度未満、ガラスの歪点温度以上の領域において、前記シートガラスの幅方向の温度分布が前記中央部から前記両端部に向かって低くなるように前記シートガラスの温度を制御し、
前記シートガラスの前記中央部の温度がガラスの歪点温度となる温度領域において、前記シートガラスの幅方向の前記両端部と前記中央部との温度勾配がなくなるよう前記シートガラスの温度を制御する、ことを特徴とするガラス板の製造方法。 A melting step of melting glass raw material to form molten glass;
Supplying the molten glass to a molded body disposed in a molding space surrounded by a molding furnace wall that is a furnace wall of a molding furnace;
A molding step of molding sheet glass from molten glass in the molded body using a downdraw method;
A slow cooling step of slowly cooling the sheet glass in a slow cooling space that is a space located below the molding space and surrounded by a slow cooling furnace wall that is a furnace wall of the slow cooling furnace;
A step of cutting the slowly cooled sheet glass in a cutting space located below the slow cooling furnace to form a glass plate,
Above the cutting space within the building space defined by the inner wall surface of the building that houses the molding space, the slow cooling space, and the cutting space, the outer surface of the molding furnace wall, and the outer surface of the slow cooling furnace wall. The atmospheric pressure control is performed so that the atmospheric pressure of the furnace outer space located is larger than the atmospheric pressure outside the building,
In the region where the temperature of the center portion in the width direction of the sheet glass is equal to or higher than the softening point temperature of the glass, both ends in the width direction of the sheet glass are lower than the temperature of the center portion sandwiched between the both ends, and the center Control the temperature of the sheet glass so that the temperature of the part is uniform,
In the central portion of the sheet glass in the width direction, the temperature of the central portion of the sheet glass is less than the softening point temperature of the glass so that tension in the flow direction of the sheet glass works. Control the temperature of the sheet glass so that the temperature distribution in the width direction of the sheet glass becomes lower from the center toward the both ends,
In the temperature region where the temperature of the central portion of the sheet glass becomes the strain point temperature of the glass, the temperature of the sheet glass is controlled so that there is no temperature gradient between the both end portions and the central portion in the width direction of the sheet glass. The manufacturing method of the glass plate characterized by the above-mentioned .
前記溶融ガラスを、成形炉の炉壁である成形炉壁によって囲まれる成形空間に配置される成形体に、供給する供給工程と、
ダウンドロー法を用いて前記成形体において溶融ガラスからシートガラスを成形する成形工程と、
前記シートガラスを、前記成形空間の下方に位置する空間であり、前記徐冷炉の炉壁である徐冷炉壁によって囲まれる徐冷空間において徐冷する徐冷工程と、
徐冷された前記シートガラスを、前記徐冷炉の下方に位置する切断空間において切断してガラス板とする切断工程と、を有し、
前記成形空間、前記徐冷空間、及び前記切断空間を収容する建物の内壁面と前記成形炉壁の外面と前記徐冷炉壁の外面とによって画された建物内空間内の、前記切断空間の上方に位置する炉外部空間の気圧が、前記建物の外方の気圧に対して大きくなるように、気圧制御が行われ、
前記シートガラスの幅方向の中央部において、シートガラスの流れ方向の張力が働くように前記シートガラスの前記中央部の温度がガラスの歪点温度未満の領域において、前記シートガラスの前記両端部から前記中央部に向かって低くなるように前記シートガラスの温度を制御する、ことを特徴とするガラス板の製造方法。 A melting step of melting glass raw material to form molten glass;
Supplying the molten glass to a molded body disposed in a molding space surrounded by a molding furnace wall that is a furnace wall of a molding furnace;
A molding step of molding sheet glass from molten glass in the molded body using a downdraw method;
A slow cooling step of slowly cooling the sheet glass in a slow cooling space that is a space located below the molding space and surrounded by a slow cooling furnace wall that is a furnace wall of the slow cooling furnace;
A step of cutting the slowly cooled sheet glass in a cutting space located below the slow cooling furnace to form a glass plate,
Above the cutting space within the building space defined by the inner wall surface of the building that houses the molding space, the slow cooling space, and the cutting space, the outer surface of the molding furnace wall, and the outer surface of the slow cooling furnace wall. The atmospheric pressure control is performed so that the atmospheric pressure of the furnace outer space located is larger than the atmospheric pressure outside the building,
In the central portion of the sheet glass in the width direction, in the region where the temperature of the central portion of the sheet glass is lower than the strain point temperature of the glass so that tension in the flow direction of the sheet glass works, from the both end portions of the sheet glass The method for producing a glass plate, wherein the temperature of the sheet glass is controlled so as to become lower toward the center portion.
前記成形炉の下方に位置するように、前記シートガラスを徐冷する徐冷空間を、徐冷炉壁によって囲むことで形成する徐冷炉と、
前記徐冷炉の下方に位置する切断空間に配置され、徐冷された前記シートガラスを切断する切断装置と、
前記成形空間、前記徐冷空間、及び前記切断空間を収容する建物の内壁面と前記成形炉壁の外面と前記徐冷炉壁の外面とによって画された建物内空間内の、前記切断空間の上方に位置する炉外部空間の気圧が、前記建物の外方の気圧に対して大きくなるように気圧制御を行う気圧制御手段と、を含み、
前記炉外部空間は、前記徐冷空間内の前記シートガラスの温度が(徐冷点温度+5℃)〜(歪点温度−50℃)となる部分を含む空間の前記徐冷炉壁の外側に位置する徐冷炉外部空間を含み、
前記気圧制御手段は、
前記炉外部空間の気圧をP1とし、前記建物の外方の気圧をP2とした場合、
0<P1−P2≦40Pa
の関係が成立するように、前記炉外部空間の気圧を制御する、
ことを特徴とするガラス板の製造装置。 A molding furnace for forming a molding space for molding sheet glass from molten glass by surrounding the molding furnace wall;
A slow cooling furnace formed by surrounding a slow cooling space for gradually cooling the sheet glass with a wall of the slow cooling furnace so as to be positioned below the molding furnace,
A cutting device that is disposed in a cutting space located below the slow cooling furnace and that cuts the slowly cooled sheet glass;
Above the cutting space within the building space defined by the inner wall surface of the building that houses the molding space, the slow cooling space, and the cutting space, the outer surface of the molding furnace wall, and the outer surface of the slow cooling furnace wall. Pressure control means for performing pressure control so that the pressure in the furnace outer space located is greater than the pressure outside the building, and
The outer space of the furnace is located outside the wall of the slow cooling furnace in a space including a portion where the temperature of the sheet glass in the slow cooling space is (slow cooling temperature + 5 ° C.) to (strain temperature−50 ° C.). Including the outer space of the annealing furnace,
The atmospheric pressure control means includes
When the pressure outside the furnace is P1, and the pressure outside the building is P2,
0 <P1-P2 ≦ 40Pa
To control the atmospheric pressure in the outside space of the furnace so that the relationship of
An apparatus for producing a glass plate.
前記成形炉の下方に位置するように、前記シートガラスを徐冷する徐冷空間を、徐冷炉壁によって囲むことで形成する徐冷炉と、
前記徐冷炉の下方に位置する切断空間に配置され、徐冷された前記シートガラスを切断する切断装置と、
前記成形空間、前記徐冷空間、及び前記切断空間を収容する建物の内壁面と前記成形炉壁の外面と前記徐冷炉壁の外面とによって画された建物内空間内の、前記切断空間の上方に位置する炉外部空間の気圧が、前記建物の外方の気圧に対して大きくなるように気圧制御を行う気圧制御手段と、を含み、
さらに、前記徐冷空間には、前記シートガラスの幅方向の中央部において、シートガラスの流れ方向に張力が働くように、
少なくとも、前記シートガラスの幅方向の中央部の温度がガラスの徐冷点温度に150℃を足した温度からガラスの歪点温度から200℃引いた温度となる温度領域において、
前記シートガラスの幅方向の中央部の冷却速度が前記幅方向の両端部の冷却速度よりも速くなるように温度制御する温度調整ユニットを含む、ことを特徴とするガラス板の製造装置。 A molding furnace for forming a molding space for molding sheet glass from molten glass by surrounding the molding furnace wall;
A slow cooling furnace formed by surrounding a slow cooling space for gradually cooling the sheet glass with a wall of the slow cooling furnace so as to be positioned below the molding furnace,
A cutting device that is disposed in a cutting space located below the slow cooling furnace and that cuts the slowly cooled sheet glass;
Above the cutting space within the building space defined by the inner wall surface of the building that houses the molding space, the slow cooling space, and the cutting space, the outer surface of the molding furnace wall, and the outer surface of the slow cooling furnace wall. Pressure control means for performing pressure control so that the pressure in the furnace outer space located is greater than the pressure outside the building, and
Furthermore, in the slow cooling space, at the center in the width direction of the sheet glass, so that tension acts in the flow direction of the sheet glass,
At least in the temperature region where the temperature of the central portion in the width direction of the sheet glass is a temperature obtained by adding 200 ° C. from the strain point temperature of the glass from the temperature obtained by adding 150 ° C. to the annealing point temperature of the glass,
An apparatus for producing a glass plate, comprising: a temperature adjusting unit that controls a temperature so that a cooling rate at a central portion in the width direction of the sheet glass is faster than cooling rates at both ends in the width direction.
前記成形炉の下方に位置するように、前記シートガラスを徐冷する徐冷空間を、徐冷炉壁によって囲むことで形成する徐冷炉と、
前記徐冷炉の下方に位置する切断空間に配置され、徐冷された前記シートガラスを切断する切断装置と、
前記成形空間、前記徐冷空間、及び前記切断空間を収容する建物の内壁面と前記成形炉壁の外面と前記徐冷炉壁の外面とによって画された建物内空間内の、前記切断空間の上方に位置する炉外部空間の気圧が、前記建物の外方の気圧に対して大きくなるように気圧制御を行う気圧制御手段と、を含み、
前記成形空間及び前記徐冷空間からなる炉内空間には、
前記シートガラスの幅方向の中央部の温度がガラスの軟化点温度以上の領域において、前記シートガラスの幅方向の両端部が前記両端部に挟まれた中央部の温度より低く、且つ、前記中央部の温度が均一になるように前記シートガラスの温度を制御し、
前記シートガラスの幅方向の中央部において、シートガラスの流れ方向の張力が働くように前記シートガラスの前記中央部の温度がガラスの軟化点温度未満、ガラスの歪点温度以上の領域において、前記シートガラスの幅方向の温度分布が前記中央部から前記両端部に向かって低くなるように前記シートガラスの温度を制御し、
前記シートガラスの前記中央部の温度がガラスの歪点温度となる温度領域において、前記シートガラスの幅方向の前記両端部と前記中央部との温度勾配がなくなるよう前記シートガラスの温度を制御する温度調整ユニットが設けられている、ことを特徴とするガラス板の製造装置。 A molding furnace for forming a molding space for molding sheet glass from molten glass by surrounding the molding furnace wall;
A slow cooling furnace formed by surrounding a slow cooling space for gradually cooling the sheet glass with a wall of the slow cooling furnace so as to be positioned below the molding furnace,
A cutting device that is disposed in a cutting space located below the slow cooling furnace and that cuts the slowly cooled sheet glass;
Above the cutting space within the building space defined by the inner wall surface of the building that houses the molding space, the slow cooling space, and the cutting space, the outer surface of the molding furnace wall, and the outer surface of the slow cooling furnace wall. Pressure control means for performing pressure control so that the pressure in the furnace outer space located is greater than the pressure outside the building, and
In the furnace space consisting of the molding space and the slow cooling space,
In the region where the temperature of the center portion in the width direction of the sheet glass is equal to or higher than the softening point temperature of the glass, both ends in the width direction of the sheet glass are lower than the temperature of the center portion sandwiched between the both ends, and the center Control the temperature of the sheet glass so that the temperature of the part is uniform,
In the central portion of the sheet glass in the width direction, the temperature of the central portion of the sheet glass is less than the softening point temperature of the glass so that tension in the flow direction of the sheet glass works. Control the temperature of the sheet glass so that the temperature distribution in the width direction of the sheet glass becomes lower from the center toward the both ends,
In the temperature region where the temperature of the central portion of the sheet glass becomes the strain point temperature of the glass, the temperature of the sheet glass is controlled so that there is no temperature gradient between the both end portions and the central portion in the width direction of the sheet glass. An apparatus for producing a glass plate, characterized in that a temperature adjustment unit is provided.
前記成形炉の下方に位置するように、前記シートガラスを徐冷する徐冷空間を、徐冷炉壁によって囲むことで形成する徐冷炉と、
前記徐冷炉の下方に位置する切断空間に配置され、徐冷された前記シートガラスを切断する切断装置と、
前記成形空間、前記徐冷空間、及び前記切断空間を収容する建物の内壁面と前記成形炉壁の外面と前記徐冷炉壁の外面とによって画された建物内空間内の、前記切断空間の上方に位置する炉外部空間の気圧が、前記建物の外方の気圧に対して大きくなるように気圧制御を行う気圧制御手段と、を含み、
前記徐冷空間には、
前記シートガラスの幅方向の中央部において、シートガラスの流れ方向の張力が働くように前記シートガラスの前記中央部の温度がガラスの歪点温度未満の領域において、前記シートガラスの前記両端部から前記中央部に向かって低くなるように前記シートガラスの温度を制御する温度調整ユニットが設けられる、ことを特徴とするガラス板の製造装置。 A molding furnace for forming a molding space for molding sheet glass from molten glass by surrounding the molding furnace wall;
A slow cooling furnace formed by surrounding a slow cooling space for gradually cooling the sheet glass with a wall of the slow cooling furnace so as to be positioned below the molding furnace,
A cutting device that is disposed in a cutting space located below the slow cooling furnace and that cuts the slowly cooled sheet glass;
Above the cutting space within the building space defined by the inner wall surface of the building that houses the molding space, the slow cooling space, and the cutting space, the outer surface of the molding furnace wall, and the outer surface of the slow cooling furnace wall. Pressure control means for performing pressure control so that the pressure in the furnace outer space located is greater than the pressure outside the building, and
In the slow cooling space,
In the central portion of the sheet glass in the width direction, in the region where the temperature of the central portion of the sheet glass is lower than the strain point temperature of the glass so that tension in the flow direction of the sheet glass works, from the both end portions of the sheet glass An apparatus for producing a glass plate, comprising: a temperature adjusting unit that controls the temperature of the sheet glass so as to become lower toward the central portion.
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