JP5847381B2 - 体積の大きな構成部品にプラズマ支援によるコーティングおよび表面処理を施す装置および方法 - Google Patents
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- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
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Description
2 レール
3 真空チャンバ
4 絶縁部
5 第1の高周波発生器
6 同軸ケーブル
7 外部発振回路
8 高周波供給線路
9 高周波フィードスルー
10 リフレクタ
11 フィードバックコイル
12 外部発振回路のコンデンサ
13 コイル
14 コイル
15 線路
16 送信管
17 第1の高周波発生器
18 第2の高周波発生器
19 第3の高周波発生器
20 真空チャンバ
21 構成部品
22 高周波供給線路
23 高周波供給線路
24 高周波供給線路
25 第2の端子
26 第2の端子
27 第2の端子
28 第1の高周波発生器
29 第2の高周波発生器
30 第3の高周波発生器
31 構成部品
32 真空チャンバ
33 アンテナ
34 アンテナ
35 マイクロ波プラズマ発生器
36 マイクロ波プラズマ発生器
37 マイクロ波プラズマ発生器
38
39 構成部品
40 第1の高周波発生器
41 プレート
42 第2の極
43 コンデンサプレート
44 コンデンサプレート
45 位相線路
46 コンデンサプレート
Claims (12)
- 1つまたは複数のポンプを有する真空チャンバ(3、20、32)と、
第1の高周波発生器(5、17、28、40)を有する第1の発振回路と、
前記第1の発振回路の調整可能なキャパシタンスおよび調整可能なインダクタンスと、 前記第1の発振回路内へ構成部品(1、21、31、39)を組み込むための第1の端子と、
第2の高周波発生器(18、29、40)を有する少なくとも1つの第2の発振回路と、
前記第2の発振回路内へ前記構成部品(1、21、31、39)を組み込むための第2の端子と、
前記第2の発振回路の調整可能なキャパシタンスおよび調整可能なインダクタンスとを具備しており、
前記第2の発振回路に少なくとも1つのアンテナ(33、34)またはコンデンサプレート(43、44、46)が装備されており、これにより第2の発振回路のエネルギーを無接触で前記構成部品(1、21、31、39)に伝達することができ、前記アンテナ(33、34)または前記コンデンサプレート(43、44、46)が前記真空チャンバ内に配置されており、
前記第一および前記第二の発振回路に前記構成部品を組込むことにより、前記構成部品の表面上にプラズマを生成し、
本装置に付加的に少なくとも1つのマイクロ波プラズマ発生器(35、36、37)が装備されており、このマイクロ波プラズマ発生器が、真空チャンバの外部に配置されており、かつ接続端子を介して真空チャンバに結合されている、車の車体のような体積の大きな構成部品にプラズマ支援によるコーティングおよび表面処理を施す装置。 - 前記第2の発振回路内へ前記構成部品(1、21、31、39)を組み込むための前記第2の端子が、導電結合用、容量結合用または誘導結合用として構成されていることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記第2の発振回路に端子が装備されており、これにより前記構成部品(1、21、31、39)の第1の極を第2の発振回路に導電接続することができること、および、この第2の発振回路に前記コンデンサプレート(43、44、46)または電極が装備されており、これにより前記構成部品(1、21、31、39)の第2の極を第2の発振回路に容量接続することができることを特徴とする請求項1または2に記載の装置。
- 前記マイクロ波プラズマ発生器(35、36、37)の位置が、前記構成部品(1、21、31、39)に対して相対的に調整可能であることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 請求項1〜4のいずれか一つに記載の装置を用いて、車の車体のような体積の大きな構成部品にプラズマ支援によるコーティングおよび表面処理を施す方法において、
前記構成部品(1、21、31、39)が真空チャンバ(3、20、32)内に配置され、この真空チャンバ(3、20、32)が排気されること、
前記構成部品(1、21、31、39)が、第1の高周波発生器(5、17、28、40)を有する第1の発振回路に接続されること、
前記第1の発振回路のインダクタンスおよび/またはキャパシタンスが、前記構成部品(1、21、31、39)のインダクタンスおよび/またはキャパシタンスに合わせて調節されること、
少なくとも1つの第2の発振回路および少なくとも1つの第2の高周波発生器(18、19、29、30、40)を用いて、付加的にエネルギーが生成され、このエネルギーが前記構成部品(1、21、31、39)に伝達されることを特徴とする方法。 - 前記第2の発振回路のインダクタンスおよび/またはキャパシタンスが、前記構成部品(1、21、31、39)のインダクタンスおよび/またはキャパシタンスに合わせて調節されることを特徴とする請求項5に記載の方法。
- 前記構成部品(1、21、31、39)が、少なくとも前記第2の発振回路の1つの極に導電接続されることを特徴とする請求項5または6に記載の方法。
- 前記第2の発振回路の少なくとも1つの極が、前記構成部品(1、21、31、39)に容量接続または誘導接続されることを特徴とする請求項5〜7のいずれか一つに記載の方法。
- コーティング材料が前記真空チャンバ(3、20、32)内へ導入されること、および、このコーティング材料がプラズマ相から前記構成部品(1、21、31、39)上に析出することを特徴とする請求項5〜8のいずれか一つに記載の方法。
- プラズマが、少なくとも1つの付加的なマイクロ波プラズマ発生器(35、36、37)によって着火されることを特徴とする請求項5〜9のいずれか一つに記載の方法。
- 前記構成部品(1、21、31、39)の表面におけるプラズマの粒子密度および/またはエネルギー密度が、少なくとも1つの付加的なマイクロ波プラズマ発生器(35、36、37)によって空間的および時間的に一定に保持されること、または時間的に変動されることを特徴とする請求項5〜10のいずれか一つに記載の方法。
- 作動ガスおよび/またはコーティング材料が、少なくとも1つのマイクロ波プラズマ発生器(35、36、37)によって調製または前処理されることを特徴とする請求項5〜11のいずれか一つに記載の方法。
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