JP5845325B2

JP5845325B2 - Vaporization apparatus and film forming apparatus equipped with vaporization apparatus

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Publication number: JP5845325B2
Application number: JP2014183336A
Authority: JP
Inventors: 都田　昌之; 昌之都田; 楠原　昌樹; 昌樹楠原; 梅田　優; 優梅田; 深川　満; 満深川
Original assignee: Watanabe Shoko KK
Current assignee: Watanabe Shoko KK
Priority date: 2014-09-09
Filing date: 2014-09-09
Publication date: 2016-01-20
Anticipated expiration: 2027-05-23
Also published as: JP2015038995A

Description

本発明は、ＭＯＣＶＤ装置などの成膜装置に好適に用いられる気化装置に関する。 The present invention relates to a vaporizer suitably used for a film forming apparatus such as an MOCVD apparatus.

WO 2004/079806号公報WO 2004/079806 Publication

次世代DRAMの開発を進める上で、微細化にともなうセル面積の減少に対するキャパシター容量の確保が課題となっている。16MビットまでのDRAMでは、キャパシターのセル構造として、スタック型、トレンチ型、フィン型などの立体構造が採用された。しかし、256Mビット以降のDRAMをこれらの立体構造のキャパシターを用いて製造するには、プロセスの複雑化による工程数の増加並びに段差の増大による歩留りの低下が問題であった。従って、最近では、Ｔａ₂Ｏ₅、Ｙ₂Ｏ₃、ＨｆＯ₂などの高誘電率材料を用いた薄膜を、キャパシターの誘電体膜として用いる研究が進んでいる。さらに、これらの酸化物材料よりも高い誘電率を持ち、DRAMへの適用が期待される材料として、（Ｂａ_xＳｒ_1-x）ＴｉＯ₃、Ｐｂ（Ｚｒ_yＴｉ_1-y）Ｏ₃、（Ｐｂ_aＬ_1-a）（Ｚｒ_bＴｉ_1-b）Ｏ₃が有力視されている。また、超電導材料とよく似た結晶構造を持つＢｉ系の層状強誘電体材料も有望であり、特にＹｌ材と称されるＳｒＢｉ₂ＴａＯ₉が、低電圧駆動と疲労特性に優れている点から、近年注目を集めている。一般に、ＳｒＢｉ₂ＴａＯ₉強誘電体薄膜形成は、実用的かつ将来性のあるＭＯＣＶＤ（有機金属気相成長）法で行われている。 In developing the next generation DRAM, securing the capacitor capacity against the reduction of the cell area due to miniaturization has become an issue. In DRAMs up to 16M bits, three-dimensional structures such as a stack type, a trench type, and a fin type are used as the capacitor cell structure. However, in order to manufacture a DRAM of 256 Mbits or more using these three-dimensional capacitors, there are problems of an increase in the number of steps due to process complexity and a decrease in yield due to an increase in level difference. Therefore, recently, research has been progressing in which a thin film using a high dielectric constant material such as Ta ₂ O ₅ , Y ₂ O ₃ , or HfO ₂ is used as a dielectric film of a capacitor. Further, having a higher dielectric constant than those of oxide materials, as the material to be applied to a DRAM is _{_{expected, (Ba x Sr 1-x}} ) TiO 3, Pb (Zr y Ti 1-y) O 3, ( Pb _a L _1-a ) (Zr _b Ti _1-b ) O ₃ is considered promising. A Bi-based layered ferroelectric material having a crystal structure very similar to that of a superconducting material is also promising. In particular, SrBi ₂ TaO ₉ called Yl material is excellent in low voltage driving and fatigue characteristics. Has attracted attention in recent years. In general, the SrBi ₂ TaO ₉ ferroelectric thin film is formed by a practical and promising MOCVD (metal organic chemical vapor deposition) method.

強誘電体薄膜の原料は、一般的に、３種類の有機金属錯体Ｓｒ（ＤＰＭ）₂、Ｂｉ（Ｃ₆Ｈ₅）₃、及び、Ｔａ（ＯＣ₂Ｈ₅）₅であり、それぞれＴＨＦ（テトラヒドロフラン）溶剤に溶かし、溶液として使用されている。なお、ＤＰＭはジビバイロイメタンの略である。
それぞれの材料特性を表１に示す。
表１

沸点（℃）／圧力（ｍｍＨｇ）融点（℃）

Sr(DPM)₂ ２４２／１４７８
Bi(C₆H₅)₃ ２７０〜２８０／１２０１
Ta(OC₂H₅)₅ １４６／０．１５２２
THF ６７ −１０９
ＭＯＣＶＤ法に用いる装置は、ＳｒＢｉ₂ＴａＯ₉ 薄膜原料並びに酸化剤を反応部へ供給する供給部、ＳｒＢｉ₂ＴａＯ₉薄膜原料を気相反応及び表面反応させ成膜を行わせる反応部、反応部での生成物を採取する回収部から構成される。そして、供給部は薄膜原料を気化させるための気化装置が設けられている。 The raw materials for the ferroelectric thin film are generally three types of organometallic complexes Sr (DPM) ₂ , Bi (C ₆ H ₅ ) ₃ , and Ta (OC ₂ H ₅ ) ₅ , each of THF (tetrahydrofuran). ) Dissolved in solvent and used as a solution. Note that DPM is an abbreviation for dibibyromethane.
The respective material properties are shown in Table 1.
Table 1

Boiling point (° C) / Pressure (mmHg) Melting point (° C)

Sr (DPM) ₂ 242/14 78
Bi (C ₆ H ₅ ) ₃ 270-280 / 1 201
Ta (OC ₂ H ₅ ) ₅ 146 / 0.15 22
THF 67-109
The apparatus used for the MOCVD method includes a SrBi ₂ TaO ₉ thin film raw material and a supply part for supplying an oxidizing agent to the reaction part, a reaction part for reacting the SrBi ₂ TaO ₉ thin film raw material with a gas phase reaction and a surface reaction, and a film forming part. It is comprised from the collection | recovery part which extract | collects the product of. The supply unit is provided with a vaporizer for vaporizing the thin film material.

従来の気化装置としては、周囲に存在する気体とＳｒＢｉ₂ＴａＯ₉ 強誘電体薄膜原料
溶液との接触面積を増加させる目的で用いられたメタルフィルターに、所定の温度に加熱された原料溶液を滴下することにより気化を行うメタルフィルター式の気化装置が知られている。しかし、この技術においては、数回の気化でメタルフィルターが詰まり、長期使用に耐えられないという問題があった。
また、原料溶液が、複数の有機金属錯体の混合溶液、例えば、Ｓｒ（ＤＰＭ）₂／ＴＨＦとＢｉ（Ｃ₆Ｈ₅）₃／ＴＨＦとＴａ（ＯＣ₂Ｈ₅）₅／ＴＨＦの混合溶液であり、この混合溶液を加熱によって気化する場合、蒸気圧の最も高い溶剤（この場合ＴＨＦ）がいち早く気化し、加熱面上には有機金属錯体が析出付着するため反応部への安定な原料供給ができないという問題もあった。 As a conventional vaporizer, a raw material solution heated to a predetermined temperature is dropped onto a metal filter used for the purpose of increasing the contact area between the surrounding gas and the SrBi ₂ TaO ₉ ferroelectric thin film raw material solution. A metal filter type vaporizer that vaporizes by doing so is known. However, this technique has a problem that the metal filter is clogged after several vaporizations and cannot be used for a long time.
The raw material solution is a mixed solution of a plurality of organometallic complexes, for example, a mixed solution of Sr (DPM) ₂ / THF, Bi (C ₆ H ₅ ) ₃ / THF, and Ta (OC ₂ H ₅ ) ₅ / THF. Yes, when this mixed solution is vaporized by heating, the solvent with the highest vapor pressure (in this case, THF) vaporizes quickly, and the organometallic complex precipitates on the heated surface, so that stable raw material supply to the reaction section is possible. There was also a problem that it was not possible.

これらの問題を解決する技術として、特許文献１に開示された気化装置が知られている。この気化装置は、冷却手段を備えたガス通路を有し、加圧されたキャリアガスと原料溶液を前記ガス通路に導入し、原料溶液を含むキャリアガスを気化部に送る分散部と、前記分散部から送られてきた原料溶液を含むキャリアガスを加熱して気化させる気化部とからなる。 As a technique for solving these problems, a vaporizer disclosed in Patent Document 1 is known. The vaporizer has a gas passage having a cooling means, introduces a pressurized carrier gas and a raw material solution into the gas passage, and sends the carrier gas containing the raw material solution to the vaporizer, and the dispersion A vaporizing section for heating and vaporizing the carrier gas containing the raw material solution sent from the section.

図８は、特許文献１に開示された背景技術のMOCVD用気化装置の分散部を示す断面図である。背景技術の気化装置２０１は、ガス通路２０６、２０７の一端からキャリアガスを導入し、ガス通路２０６、２０７の他端である出口２０８から原料溶液を含むキャリアガスを気化部に送り気化させる気化装置である。ガス通路２０６、２０７の一端に流量制御装置（ＭＦＣ）２０９、２１０を設けるとともに、ガス通路２０６、２０７内における圧力を検知するための手段である圧力計２０２、２０３を設けてある。ガス通路内の圧力をＭＦＣで制御し、同時に、ガス通路内の圧力を検知することにより、ガス通路における目詰まりを抑制し、かつ、堆積物等の洗浄が必要な時期を事前に知ることができる。 FIG. 8 is a cross-sectional view showing a dispersion portion of the MOCVD vaporizer of the background art disclosed in Patent Document 1. As shown in FIG. The vaporizer 201 of the background art introduces a carrier gas from one end of the gas passages 206 and 207, and sends the carrier gas containing the raw material solution to the vaporization section from the outlet 208 which is the other end of the gas passages 206 and 207. It is. At one end of the gas passages 206 and 207, flow rate control devices (MFC) 209 and 210 are provided, and pressure gauges 202 and 203 which are means for detecting the pressure in the gas passages 206 and 207 are provided. By controlling the pressure in the gas passage with MFC and simultaneously detecting the pressure in the gas passage, it is possible to suppress clogging in the gas passage and know in advance when the deposits need to be cleaned. it can.

背景技術による気化装置の分散部は、図８に示すように、上方向からキャリアガスを導入するガス通路２０６、２０７と横方向から原料溶液を導入する溶液通路２１１、２１２とから構成される。原料溶液をガス通路の途中でキャリアガス中に噴出し、霧状にしてキャリアガスに混合し、出口２０８の上部でキャリアガスを合流させ、異なる原料溶液を混合した複数のキャリアガスを気化部に噴出して、気化部で加熱することにより、堆積部にMOCVD膜を堆積する。
図８に示すように、ガス通路の原料溶液を混合して出口２０８からガスを噴出する部分は、センターロッド式ヘッドと呼ばれるもので、ガスを濃縮して噴出するために、配管中央にロッドを配置し、ガス配管に約20°のテーパーがついている。そのため、分散部におけるガス通路の位置調整やセンタリングが困難であった。また、溶液通路をガス通路に取り付ける部分がテーパー円筒面であり、気化装置の個体差があるため、MOCVD膜堆積プロセスの精密制御が容易でなかった。 As shown in FIG. 8, the dispersion unit of the vaporizer according to the background art includes gas passages 206 and 207 for introducing a carrier gas from above and solution passages 211 and 212 for introducing a raw material solution from the lateral direction. The raw material solution is jetted into the carrier gas in the middle of the gas passage, and is atomized and mixed with the carrier gas. The carrier gas is merged at the upper part of the outlet 208, and a plurality of carrier gases mixed with different raw material solutions are supplied to the vaporizing section. The MOCVD film is deposited on the deposition part by spraying and heating in the vaporization part.
As shown in FIG. 8, the portion where the raw material solution in the gas passage is mixed and the gas is ejected from the outlet 208 is called a center rod type head. In order to concentrate and eject the gas, a rod is placed in the center of the pipe. The gas pipe has a taper of about 20 °. For this reason, it is difficult to adjust the position and center the gas passage in the dispersing portion. In addition, since the portion where the solution passage is attached to the gas passage is a tapered cylindrical surface, and there are individual differences in vaporizers, precise control of the MOCVD film deposition process was not easy.

また、前記したように、原料溶液の溶媒の沸点が有機金属原料の沸点より低いために、有機金属の析出による目詰まりを防止するために、分散部を冷却する必要があった。しかし、背景技術による気化装置では、ガス通路２０６、２０７、溶液通路２１１、２１２が、それぞれ独立した配管であったため、全ての配管を均等に冷却するのが困難であった。従って、やはり、MOCVD膜堆積プロセスの精密制御が容易でないという問題があった。
さらに、ガス通路の数を増やすことが困難で、せいぜい3乃至４程度のガス通路を設けることしかできず、多種原料を用いた複雑なMOCVD膜の形成に対応することができなかった。また、上方にガス通路を配置する構造であるため、装置高さが高くなり、装置サイズが大きくなるという問題もあった。 In addition, as described above, since the boiling point of the solvent of the raw material solution is lower than the boiling point of the organic metal raw material, it is necessary to cool the dispersion portion in order to prevent clogging due to the precipitation of the organic metal. However, in the vaporizer according to the background art, since the gas passages 206 and 207 and the solution passages 211 and 212 are independent pipes, it is difficult to uniformly cool all the pipes. Therefore, there is still a problem that precise control of the MOCVD film deposition process is not easy.
Further, it is difficult to increase the number of gas passages, and it is only possible to provide about 3 to 4 gas passages, and it is impossible to cope with the formation of a complicated MOCVD film using various raw materials. In addition, since the gas passage is arranged above, there is a problem that the apparatus height becomes high and the apparatus size becomes large.

本発明は、分散部におけるガス通路の部材加工精度向上が可能で、原料溶液を混合したキャリアガスを均一に高い冷却効率で冷却可能なMOCVD用気化装置を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a MOCVD vaporizer capable of improving the member processing accuracy of a gas passage in a dispersion section and capable of cooling a carrier gas mixed with a raw material solution uniformly with high cooling efficiency.

本発明（１）は、ガス通路の一端からキャリアガスを導入し、前記ガス通路の他端に配置した噴出部から原料溶液を含むキャリアガスを気化部に送り気化させる気化装置であり、複数の前記ガス通路が平面基板上に前記噴出部を中心に放射状に配置され、前記噴出部は前記基板を貫通する孔として形成され、かつ気液混合流路として前記基板に隣接する冷却プレートに連通して形成されていることを特徴とする。
本発明（２）は、前記噴出部の下部の形状が、前記冷却プレートとその下方に配置された混合噴霧ノズルにおいて突き出た円錐形状であり、前記円錐の斜面に前記原料溶液を含むキャリアガスを流す気液混合流路が形成されていることを特徴とする前記発明（１）の気化装置である。
本発明（３）は、前記気液混合流路に近接して冷却する冷却手段を設けたことを特徴とする前記発明（１）又は前記発明（２）の気化装置である。
本発明（４）は、前記冷却手段による冷却温度が0℃以上、35℃以下であることを特徴とする前記発明（３）の気化装置である。
本発明（５）は、前記ガス通路が、前記平面基板上において複数の屈曲部を有することを特徴とする前記発明（１）乃至前記発明（４）の気化装置である。
本発明（６）は、前記発明（１）乃至前記発明（５）の気化装置を備えた成膜装置である。
本発明（７）は、前記成膜装置がMOCVD装置であることを特徴とする前記発明（６）の成膜装置である。
本発明（８）は、ガス通路の一端からキャリアガスを導入し、前記ガス通路の他端に接続した噴出部から原料溶液を含むキャリアガスを気化部に送り気化させる気化方法であり、前記噴出部を中心に平面基板上に放射状に配置された複数の前記ガス通路を通して前記原料溶液を含むキャリアガスは、前記基板を貫通する孔として形成された前記噴出部から、前記基板に隣接する冷却プレートに連通して形成された気液混合流路を通して気化部に送ることを特徴とする気化方法である。
本発明（９）は、0℃以上、35℃以下に冷却した前記ガス通路及び前記噴出部を通して前記原料溶液を含むキャリアガスを気化部に送ることを特徴とする前記発明（８）の気化方法である。
本発明（１０）は、前記発明（８）乃至前記発明（９）の気化方法により気化させて成膜を行う成膜方法である。
本発明（１１）は、前記成膜方法がMOCVD方法であることを特徴とする前記発明（１０）の成膜方法である。 The present invention (1) is a vaporizer that introduces a carrier gas from one end of a gas passage, sends a carrier gas containing a raw material solution to a vaporization portion from a jetting portion disposed at the other end of the gas passage, and vaporizes the carrier gas. The gas passages are arranged radially on the flat substrate centering on the ejection part, the ejection part is formed as a hole penetrating the substrate, and communicates with a cooling plate adjacent to the substrate as a gas-liquid mixing channel. It is characterized by being formed .
The present invention (2), the lower portion of the shape of the ejection part is, the cooling plate and a thrust out a conical shape in the mixing spray nozzle is disposed below the carrier gas containing the raw material solution on the slopes of the conical A gas-liquid mixing flow path for flowing a gas is formed .
The present invention (3) is the vaporizer according to the invention (1) or the invention (2), characterized in that a cooling means for cooling close to the gas-liquid mixing flow path is provided.
The present invention (4) is the vaporizer according to the invention (3), wherein the cooling temperature by the cooling means is 0 ° C. or higher and 35 ° C. or lower.
The present invention (5) is the vaporization apparatus according to any one of the inventions (1) to (4), wherein the gas passage has a plurality of bent portions on the planar substrate.
The present invention (6) is a film forming apparatus provided with the vaporization apparatus according to any one of the inventions (1) to (5).
The present invention (7) is the film forming apparatus according to the invention (6), characterized in that the film forming apparatus is a MOCVD apparatus.
The present invention (8) is a vaporization method in which a carrier gas is introduced from one end of a gas passage, and a carrier gas containing a raw material solution is sent from a jet portion connected to the other end of the gas passage to a vaporization portion to vaporize the jet gas. The carrier gas containing the raw material solution passes through the plurality of gas passages arranged radially on the flat substrate centering on the portion, and the cooling plate adjacent to the substrate from the ejection portion formed as a hole penetrating the substrate. The vaporization method is characterized in that it is sent to the vaporization section through a gas-liquid mixing channel formed in communication with the gas .
The vaporization method according to the invention (8) is characterized in that the carrier gas containing the raw material solution is sent to the vaporization section through the gas passage cooled to 0 ° C. or more and 35 ° C. or less and the ejection section. It is.
The present invention (10) is a film forming method in which film formation is performed by vaporization by the vaporization method of the invention (8) to the invention (9).
The present invention (11) is the film forming method of the invention (10), characterized in that the film forming method is an MOCVD method.

本発明（１）によれば、原料導入路を平面基板上に配置することにより、原料導入路の加工及び位置合わせ精度向上、シール効率の向上に効果がある。また、原料導入路を平面基板上に放射状に配置することにより、ガス通路の数を任意に増やすことが可能である。さらに、原料導入路を平面基板上に配置することにより、MOCVD装置全体の高さを低くすることができる。高さに制限のあるクリーンルームへの導入が可能になり、スペース利用効率が向上する。
本発明（２）によれば、複数のガス噴出口の加工及び位置合わせ精度向上、シール効率の向上、組み立て作業効率、メンテナンス効率の向上に効果がある。
本発明（３）によれば、原料の冷却効率、冷却均一性の向上、原料温度の制御性向上に効果がある。複数の液体原料を冷却部と噴出ノズルの直近で混合し、気化部内に霧化噴出することにより、気化特性の異なる材料を瞬間気化してリアクターに供給することにより、複数原料の成長を容易にし、組成制御性及び再現性の向上を図ることができる。
本発明（４）によれば、原料の析出を防止でき、ガス噴出ノズルにおける目詰まりを防止できる。
本発明（５）によれば、原料導入路を任意に屈曲させることにより、流路内に大きな２次的旋回流を誘発させ、気液２相流の流動状態をより乱れたものとし、流路内での液体の微粒子化を促進できる。また、流体の冷却効率も向上する。さらに、流路における圧力を高め、気液２相流における気泡発生を防止し、流れをより安定化させることも可能である。複数の液体材料をそれぞれの高速のキャリアガス通路に噴出し、原料を切断微粒子化し、ノズル直近で混合気体にして気化部に噴出することにより1個の気化器にて混合気化をすることができる。
本発明（６）によれば、堆積する膜の化学量論比、不純物含有量、組成を高い精度で制御できる。また、多くの異なる原料を用いたより複雑な化学式の膜の生成に対応することが可能である。
本発明（７）によれば、堆積するMOCVD膜の化学量論比、不純物含有量、組成を高い精度で制御できる。また、多くの異なる原料を用いたより複雑な化学式のMOCVD膜の生成に対応することが可能である。
本発明（８）によれば、原料導入路を平面基板上に配置することにより、原料導入路の加工及び位置合わせ精度向上、シール効率の向上に効果がある。また、原料導入路を平面基板上に放射状に配置することにより、ガス通路の数を任意に増やすことが可能である。さらに、原料導入路を平面基板上に配置することにより、MOCVD装置全体の高さを低くすることができる。高さに制限のあるクリーンルームへの導入が可能になり、スペース利用効率が向上する。
本発明（９）によれば、原料の冷却効率、冷却均一性の向上、原料温度の制御性向上に効果がある。また、原料の析出を防止でき、ガス通路、及び、ガス噴出部における目詰まりを防止できる。
本発明（１０）によれば、堆積する膜の化学量論比を高い精度で制御できる。また、多くの異なる原料を用いたより複雑な化学式の膜の生成に対応することが可能である。多様性のある薄膜形成への要求、例えば、高誘電率薄膜/低誘電率薄膜/強誘電体薄膜、各種電極膜、各種バッファー膜、各元素膜の積層膜形成に対応することが可能である。
本発明（１１）によれば、堆積するMOCVD膜の化学量論比、不純物含有量、組成を高い精度で制御できる。また、多くの異なる原料を用いたより複雑な化学式のMOCVD膜の生成に対応することが可能である。 According to the present invention (1), by arranging the raw material introduction path on the flat substrate, it is effective to improve the processing and alignment accuracy of the raw material introduction path and the sealing efficiency. Further, the number of gas passages can be arbitrarily increased by arranging the raw material introduction paths radially on the flat substrate. Furthermore, the height of the entire MOCVD apparatus can be reduced by arranging the raw material introduction path on the flat substrate. It can be installed in a clean room with limited height, and space utilization efficiency is improved.
According to the present invention (2), it is effective in improving the processing and alignment accuracy of a plurality of gas ejection ports, improving the sealing efficiency, assembling work efficiency, and maintenance efficiency.
According to the present invention (3), there are effects in improving the cooling efficiency of the raw material, the cooling uniformity, and the controllability of the raw material temperature. Multiple liquid raw materials are mixed in the immediate vicinity of the cooling unit and the ejection nozzle, and atomized and ejected into the vaporization unit to instantly vaporize materials with different vaporization characteristics and supply them to the reactor, facilitating the growth of multiple raw materials. Thus, the composition controllability and reproducibility can be improved.
According to this invention (4), precipitation of a raw material can be prevented and clogging in a gas ejection nozzle can be prevented.
According to the present invention (5), by arbitrarily bending the raw material introduction path, a large secondary swirling flow is induced in the flow path, and the flow state of the gas-liquid two-phase flow is further disturbed. It is possible to promote the atomization of liquid in the road. Moreover, the cooling efficiency of the fluid is also improved. Furthermore, it is possible to increase the pressure in the flow path, prevent the generation of bubbles in the gas-liquid two-phase flow, and further stabilize the flow. Multiple liquid materials can be jetted into each high-speed carrier gas passage, raw materials can be cut into fine particles, mixed gas can be mixed in the vicinity of the nozzle and jetted to the vaporization section, and vaporized with a single vaporizer .
According to the present invention (6), the stoichiometric ratio, impurity content, and composition of the deposited film can be controlled with high accuracy. Further, it is possible to cope with the production of a film having a more complicated chemical formula using many different raw materials.
According to the present invention (7), the stoichiometric ratio, impurity content, and composition of the deposited MOCVD film can be controlled with high accuracy. It is also possible to cope with the generation of MOCVD films with more complex chemical formulas using many different raw materials.
According to the present invention (8), arranging the raw material introduction path on the flat substrate is effective in improving the processing and positioning accuracy of the raw material introduction path and the sealing efficiency. Further, the number of gas passages can be arbitrarily increased by arranging the raw material introduction paths radially on the flat substrate. Furthermore, the height of the entire MOCVD apparatus can be reduced by arranging the raw material introduction path on the flat substrate. It can be installed in a clean room with limited height, and space utilization efficiency is improved.
According to the present invention (9), it is effective in improving the cooling efficiency of the raw material, the cooling uniformity, and the controllability of the raw material temperature. Moreover, precipitation of the raw material can be prevented, and clogging in the gas passage and the gas ejection portion can be prevented.
According to the present invention (10), the stoichiometric ratio of the deposited film can be controlled with high accuracy. Further, it is possible to cope with the production of a film having a more complicated chemical formula using many different raw materials. It is possible to meet the demand for various thin film formation, for example, high dielectric constant thin film / low dielectric constant thin film / ferroelectric thin film, various electrode films, various buffer films, and laminated films of various element films. .
According to the present invention (11), the stoichiometric ratio, impurity content, and composition of the deposited MOCVD film can be controlled with high accuracy. It is also possible to cope with the generation of MOCVD films with more complex chemical formulas using many different raw materials.

以下、本発明の最良形態について説明する。 The best mode of the present invention will be described below.

（気化装置の具体例）
図１は、本発明の具体例に係る気化装置の部分断面図である。図２(a)は、本発明の具体例に係る気化装置の分解状態の部分断面図である。本例の気化装置は、冷却手段を備えたガス通路を有し、加圧されたキャリアガスと原料溶液を前記ガス通路に導入し、原料溶液を含むキャリアガスを気化部に送る気化ヘッド３と、気化ヘッド３から送られてきた原料溶液を含むキャリアガスを加熱して気化させる気化部４とから構成される。図１に示す気化装置は、図２に示す部材を組み立てて作製される。図２(b)は、図２(a)に示す3連3方
弁の系統図である。
本発明に係る気化装置は、分散部の構造に特徴があり、ガス通路の一端からキャリアガスを導入し、前記ガス通路の途中で原料溶液をキャリアガス中に噴出し、キャリアガスにより原料溶液を剪断して、原料溶液を霧状（微粒子状態）にしてキャリアガスに分散し、前記ガス通路の他端に配置した噴出部から微粒子状の原料溶液を含むキャリアガス（原料溶液分散ガス）を気化部に送り加熱して気化させる装置であり、複数の前記ガス通路が平面基板上に前記噴射部を中心に放射状に配置されていることを特徴とする。
気化ヘッド３は、切替３連3方弁３１、３２と集積プレート５を積層して形成した気液混合流路（ガス通路）１８を備えている。図６(a)は、図１に示す集積プレート５を上から見た平面図である。図６(a)に示す平面基板（集積プレート）１０１は、円盤型の基板で、原料溶液分散ガスの噴出部１０５を中心に6本の直線状のガス通路１０２が放射状に配置されている。集積プレート１０１において、噴出部１０５は基板を貫通する孔として加工形成され、気液混合流路１０２は集積プレート１０１の表面の溝部として加工形成される。従って、気液混合流路は通常の加工方法を用いても高い加工精度、位置決め精度で加工できる。その後、図１に示すように、切替３連3方弁を集積プレート５の上に積層する。切替３連3方弁を集積プレート５の位置合わせは、予め適切な位置に位置決めピン、及び、位置決めピンに対応する位置に嵌め合わせ用の凹部を形成しておくことにより、組み立て工程においては、基板の嵌め合わせを行うだけで正確な位置合わせを行うことが可能である。図示しないが切替３連3方弁と集積プレートの間に適宜シール部材を配置することにより、切替３連3方弁と集積プレートを積層して形成された気液混合流路からのキャリアガスのリークを防止できる。
気液混合流路１０２の一端には、キャリアガス導入口１０３が平面基板の側面に配置されており、図示しないキャリアガス供給部から流量及び圧力を制御したキャリアガス（例えば、N₂、Ar、He）の供給を受ける。ガス通路に図示しない圧力検出装置を設けて、キャリアガスの圧力をモニターすることで、ガス通路の目詰まり防止のためのメンテナンス必要時期を事前に知ることができる。
なお、ガス通路の断面積は０．１０〜０．５０mm²が好ましい。０．１０mm²未満では加工が困難である。０．５０mm²を超えるとキャリアガスを高速化するために高圧のキャリアガスを大流量用いる必要が生じてしまう。大流量のキャリアガスを用いると、反応チャンバーを減圧（例：１．０Torr）に維持するために、大容量の大型真空ポンプが必要になる。排気容量が、10000リットル/min(圧力１．０Torr時)を超える真空ポンプの採用は困難であるから、工業的な実用化を図るためには適正な流量のキャリアガスを流すために、ガス通路の断面積は０．１０〜０．５０mm²とするのが好ましい。
ガス通路の数は6本に限定されない。6本より少なくてもよいし、多くてもよい。ガス通
路は、平面基板上の溝として加工し形成できるので、ガス通路の数を多くしても高い加工精度、位置精度で形成できる。複数の基板に溝を形成して積層することも可能であり、その場合、より多くのガス通路を形成できる。 (Specific example of vaporizer)
FIG. 1 is a partial cross-sectional view of a vaporizer according to a specific example of the present invention. FIG. 2A is a partial cross-sectional view of a vaporized apparatus according to a specific example of the present invention in an exploded state. The vaporizing apparatus of this example has a gas passage provided with a cooling means, introduces a pressurized carrier gas and a raw material solution into the gas passage, and sends a carrier gas containing the raw material solution to the vaporizing section; The vaporizing section 4 is configured to heat and vaporize the carrier gas containing the raw material solution sent from the vaporizing head 3. The vaporizer shown in FIG. 1 is produced by assembling the members shown in FIG. FIG. 2 (b) is a system diagram of the triple three-way valve shown in FIG. 2 (a).
The vaporization apparatus according to the present invention is characterized by the structure of the dispersion part. The carrier gas is introduced from one end of the gas passage, the raw material solution is ejected into the carrier gas in the middle of the gas passage, and the raw material solution is discharged by the carrier gas. The material solution is sheared to form a mist (particulate state) and dispersed in a carrier gas, and the carrier gas (raw material solution dispersion gas) containing the particulate material solution is vaporized from an ejection portion disposed at the other end of the gas passage. The gas passage is heated and vaporized by being sent to a part, and the plurality of gas passages are arranged radially on the flat substrate around the injection part.
The vaporizing head 3 includes a gas-liquid mixing flow path (gas passage) 18 formed by stacking switching triple three-way valves 31 and 32 and an integrated plate 5. FIG. 6A is a plan view of the integrated plate 5 shown in FIG. 1 as viewed from above. A planar substrate (integrated plate) 101 shown in FIG. 6 (a) is a disk-shaped substrate, and six straight gas passages 102 are radially arranged around the raw material solution dispersed gas ejection portion 105. In the integrated plate 101, the ejection part 105 is processed and formed as a hole penetrating the substrate, and the gas-liquid mixing channel 102 is processed and formed as a groove part on the surface of the integrated plate 101. Therefore, the gas-liquid mixing channel can be processed with high processing accuracy and positioning accuracy even if a normal processing method is used. Thereafter, as shown in FIG. 1, the switching triple three-way valve is stacked on the accumulation plate 5. In the assembling process, the integrated plate 5 is aligned with the switching three-way three-way valve by previously forming a positioning pin at an appropriate position and a recess for fitting at a position corresponding to the positioning pin. Accurate alignment can be performed only by fitting the substrates. Although not shown in the drawings, the carrier gas from the gas-liquid mixing channel formed by stacking the switching three-way three-way valve and the collecting plate is appropriately disposed between the switching three-way three-way valve and the collecting plate. Leakage can be prevented.
At one end of the gas-liquid mixing channel 102, a carrier gas inlet 103 is arranged on the side surface of the flat substrate, and a carrier gas (for example, N ₂ , Ar, etc.) whose flow rate and pressure are controlled from a carrier gas supply unit (not shown). He). By providing a pressure detection device (not shown) in the gas passage and monitoring the pressure of the carrier gas, it is possible to know in advance the time required for maintenance to prevent the gas passage from being clogged.
The cross-sectional area of the gas passage is preferably 0.10 to 0.50 mm ² . If it is less than 0.10 mm ² , processing is difficult. If it exceeds 0.50 mm ² , it is necessary to use a high flow rate of high-pressure carrier gas in order to increase the carrier gas speed. When a large flow rate of carrier gas is used, a large-capacity large-scale vacuum pump is required to maintain the reaction chamber at a reduced pressure (eg, 1.0 Torr). Since it is difficult to employ a vacuum pump with an exhaust capacity exceeding 10,000 liters / min (at a pressure of 1.0 Torr), a gas passage is required to flow an appropriate flow rate of carrier gas for industrial practical use. Is preferably 0.10 to 0.50 mm ² .
The number of gas passages is not limited to six. It may be less than 6 or more. Since the gas passage can be processed and formed as a groove on the flat substrate, it can be formed with high processing accuracy and position accuracy even if the number of gas passages is increased. It is also possible to form grooves on a plurality of substrates and stack them. In that case, more gas passages can be formed.

気液混合流路１８を形成する集積プレート５に隣接する冷却プレート６には、気液混合流路１８に近接して冷却手段が設けられている。図１に示す具体例では、冷却水を流す冷却水通路１１がプレート内に形成されている。気化ヘッド３の気液混合流路１８内は気化部４のヒーターによる熱の影響を受けるため、気液混合流路１８内において原料溶液分散ガスが加熱されると、原料溶液の溶剤と有機金属錯体との同時気化が生ずることなく溶剤のみの気化が生じ、気液混合流路１８内において原料が析出し、通路が目詰まりするという問題がある。そこで、気液混合流路１８内を流れる原料溶液分散ガスを冷却することにより溶剤のみの気化を防止する。特に、原料吐出口１７より下流側のガス通路の冷却が重要である。さらに、噴出ノズル２１近傍の気液混合流路２０はヒーターによる熱の影響が特に大きい部分であるため、十分な冷却が必要である。冷却温度は、溶剤の凝固点以上、沸点以下とするのが好ましい。例えば、0℃以上、３５℃以下とするのが好ましい。ガス通路を冷却することにより、長期間にわたる使用に対しても、ガス通路内（特にガス出口）における炭化物による閉塞の発生を防止できる。冷却手段は、冷却水による冷却に限定されず、例えば、ぺルチェ素子など他の冷却手段を用いて冷却することも可能である。 The cooling plate 6 adjacent to the integrated plate 5 that forms the gas-liquid mixing channel 18 is provided with a cooling means in the vicinity of the gas-liquid mixing channel 18. In the specific example shown in FIG. 1, a cooling water passage 11 through which cooling water flows is formed in the plate. Since the gas-liquid mixing channel 18 of the vaporizing head 3 is affected by the heat of the heater of the vaporizing unit 4, when the raw material solution dispersion gas is heated in the gas-liquid mixing channel 18, the solvent of the raw material solution and the organic metal There is a problem that only the solvent is vaporized without simultaneous vaporization with the complex, the raw material is deposited in the gas-liquid mixing channel 18 and the passage is clogged. Therefore, the vaporization of only the solvent is prevented by cooling the raw material solution dispersion gas flowing in the gas-liquid mixing channel 18. In particular, it is important to cool the gas passage downstream of the material discharge port 17. Furthermore, the gas-liquid mixing channel 20 in the vicinity of the ejection nozzle 21 is a portion where the influence of heat by the heater is particularly large, and thus sufficient cooling is necessary. The cooling temperature is preferably not lower than the freezing point of the solvent and not higher than the boiling point. For example, it is preferably 0 ° C. or more and 35 ° C. or less. By cooling the gas passage, it is possible to prevent clogging caused by carbides in the gas passage (especially the gas outlet) even for long-term use. The cooling means is not limited to cooling with cooling water, and can be cooled using other cooling means such as a Peltier element.

図４は、本発明の具体例に係る気化装置の断面図である。図４では、気化ヘッド８１、及び、気化ヘッドの下に接続した気化部８２における気化管８２からなる気化装置の全体断面図が示されている。気化管８８は、ヒーター８９により加熱している。加熱温度は350℃以上とするのが好ましい。噴出部のガス出口手前まで冷却されていた原料溶液分散ガスは、分散部と気化部で急激に温度が変化するため、ガス出口から出た瞬間に気化する。気化した原料は、気化管下部に移動し図示しない堆積部に導入され、基板上にMOCVD膜が堆積する。異なる気化特性を有する液体原料を混合し、適切な気化温度を選択することによりひとつの気化条件で複数の原料を安定に気化供給することができる。
キャリアガスと原料溶液が通るガス通路を平面基板内に形成し、平面基板を水平に配置することで、装置高さを低くすることができる。原料溶液のガス通路への噴出は、重力による自然滴下でもよいし、原料溶液タンクに圧力をかけてガス通路内に原料溶液を噴出させてもよい。加圧して噴出させる場合は、原料溶液タンクをガス通路の上に配置する必要はなく、ガス通路の横又は下に配置することが可能であり、装置高さをさらに低くできる。
また、図６(a)に示す具体例では、平面基板１０１の形状は円盤型としたが、必ずしも円盤型である必要はなく、楕円形、四角形、多角形など任意の平面形状の基板を用いることが可能である。 FIG. 4 is a cross-sectional view of a vaporizer according to a specific example of the present invention. FIG. 4 shows an overall cross-sectional view of the vaporizing device including the vaporizing head 81 and the vaporizing tube 82 in the vaporizing unit 82 connected below the vaporizing head. The vaporizing tube 88 is heated by a heater 89. The heating temperature is preferably 350 ° C. or higher. The raw material solution-dispersed gas that has been cooled to just before the gas outlet of the jetting part is vaporized at the moment of exiting from the gas outlet because the temperature changes abruptly between the dispersing part and the vaporizing part. The vaporized raw material moves to the lower part of the vaporization tube and is introduced into a deposition section (not shown), and a MOCVD film is deposited on the substrate. A plurality of raw materials can be stably vaporized and supplied under one vaporization condition by mixing liquid raw materials having different vaporization characteristics and selecting an appropriate vaporization temperature.
By forming a gas passage through which the carrier gas and the raw material solution pass in the planar substrate and arranging the planar substrate horizontally, the height of the apparatus can be reduced. The ejection of the raw material solution into the gas passage may be natural dripping by gravity, or the raw material solution may be ejected into the gas passage by applying pressure to the raw material solution tank. In the case of jetting under pressure, it is not necessary to arrange the raw material solution tank above the gas passage, and it can be arranged beside or below the gas passage, and the apparatus height can be further reduced.
Further, in the specific example shown in FIG. 6A, the shape of the flat substrate 101 is a disc shape, but it is not necessarily a disc shape, and a substrate having an arbitrary flat shape such as an ellipse, a rectangle, or a polygon is used. It is possible.

図２において、噴出ノズル４２は、ノズルの凸部を冷却プレート４１に形成した凹部に嵌め合わせて取り付けられる。図７は、本発明の具体例に係る気化装置の気化ヘッドの部分断面図である。混合噴霧ノズル１２１は、Oリングシール１２５により、冷却プレート１２３に密着して取り付けられるので気液混合流路１２２、円錐型混合部１２４を通過する原料溶液分散ガスが外部に漏れることはない。ガス通路を通過したガスは、混合噴霧ノズル１２１の先端にある噴出ノズル１２６から気化管に噴出する。
複数のガス噴出口の加工精度、相対位置精度は、混合噴霧ノズル１２１の加工精度と溝部の加工精度で決まり、背景技術による複数のテーパー配管の位置を調整して取り付けるものと比較して、より高い精度で形成することが可能である。噴出ノズルの形状、相対位置が高い精度で加工できるので、複数の原料を含むガスの流量比を正確に制御でき、化学量論比、不純物含有量、組成を高い精度で制御した高品質のMOCVD膜を製造することができる。また、組み立て工程においてガス通路となる配管の位置調整を行う必要がない。また、円錐形状の部材を用いることで、簡単なパッキングシールを用いるだけで十分高いシール効果が得られる。さらに、気化装置の修理は、平面基板や気化ヘッドの個別部品の交換をするだけで済み、難しい位置合わせの作業が不要なので、メンテナンスコストを低減でき、かつ、保守作業が容易になる。
本例では円錐形状の噴出ノズルを用いた場合について説明したが、噴出ノズルの形状は円錐形状に限定されない。四角錐などの多角錐、楕円錐など、下に突き出た形状であれば、円錐形状の噴出ノズルを用いた場合と同様に、取り付けが容易などの効果が得られる。 In FIG. 2, the ejection nozzle 42 is attached by fitting the convex portion of the nozzle into the concave portion formed in the cooling plate 41. FIG. 7 is a partial cross-sectional view of a vaporizing head of a vaporizing apparatus according to a specific example of the present invention. Since the mixing spray nozzle 121 is attached in close contact with the cooling plate 123 by an O-ring seal 125, the raw material solution dispersion gas that passes through the gas-liquid mixing flow path 122 and the conical mixing section 124 does not leak to the outside. The gas that has passed through the gas passage is ejected from the ejection nozzle 126 at the tip of the mixing spray nozzle 121 to the vaporization tube.
The processing accuracy and relative position accuracy of multiple gas outlets are determined by the processing accuracy of the mixed spray nozzle 121 and the processing accuracy of the groove, and compared with the one that adjusts and installs the position of multiple tapered pipes according to the background art, It can be formed with high accuracy. Since the shape and relative position of the jet nozzle can be processed with high accuracy, the flow rate ratio of the gas containing multiple raw materials can be accurately controlled, and high-quality MOCVD with controlled stoichiometry, impurity content, and composition with high accuracy Membranes can be manufactured. Further, it is not necessary to adjust the position of the piping that becomes the gas passage in the assembly process. Further, by using a conical member, a sufficiently high sealing effect can be obtained only by using a simple packing seal. Further, the vaporizer can be repaired only by exchanging individual parts of the flat substrate and the vaporization head, and difficult alignment work is not required. Therefore, the maintenance cost can be reduced and the maintenance work is facilitated.
In this example, the case of using a conical ejection nozzle has been described, but the shape of the ejection nozzle is not limited to a conical shape. If the shape protrudes downward, such as a polygonal pyramid such as a quadrangular pyramid, or an elliptical pyramid, an effect such as easy attachment can be obtained as in the case of using a conical ejection nozzle.

図３は、本発明の具体例に係る気化装置の平面図である。図３に示す気化装置は、円盤型集積混合気化器である。円盤型の集積プレートの上に複数の切替3連3方弁が搭載されて
いる。複数の導入口から導入された複数の原料を、各気化条件の許容範囲内において混合し、一括霧化し、噴出ノズルから加熱された気化部に噴出することにより瞬間的に気化させることにより、組成制御の容易性、及び、長期再現性の維持確保が可能となる。 FIG. 3 is a plan view of a vaporizer according to a specific example of the present invention. The vaporizer shown in FIG. 3 is a disk-type integrated mixer / vaporizer. A plurality of switching three-way three-way valves are mounted on a disk-shaped integrated plate. A composition prepared by mixing a plurality of raw materials introduced from a plurality of inlets within an allowable range of each vaporization condition, atomizing them in a lump, and instantaneously vaporizing them by jetting them from a jet nozzle to a heated vaporization section. Ease of control and long-term reproducibility can be maintained.

（気化装置の別の具体例）
図６(b)は、本発明に係る気化装置の別の具体例の平面図である。本例の気化装置は、集積プレート１０８に形成したガス通路１０９の形状が、原料溶液導入口１１０と原料溶液分散ガスの出口である噴出ノズル
１１２の間において、複数の屈曲部を有する、すなわちジグザグ状の通路とした点に特徴がある。流路形状に複数の屈曲部を設けることにより、流体の冷却効果を高めることができるという効果がある。また、流路内に大きな2次的旋回流が誘発され、気液２相流の流動状態がより乱れたものとなり、液体の微粒化を促進することが可能である。同時にライン圧を高め、液体輸送ラインの気泡発生を防止し、流れをより安定化することができるという効果もある。 (Another example of vaporizer)
FIG. 6 (b) is a plan view of another specific example of the vaporizer according to the present invention. In the vaporizer of this example, the shape of the gas passage 109 formed in the integrated plate 108 has a plurality of bent portions between the raw material solution inlet 110 and the jet nozzle 112 which is the outlet of the raw material solution dispersion gas, that is, zigzag. It is characterized by the fact that it is shaped like a path. By providing a plurality of bent portions in the channel shape, there is an effect that the cooling effect of the fluid can be enhanced. In addition, a large secondary swirling flow is induced in the flow path, and the flow state of the gas-liquid two-phase flow becomes more disturbed, and it is possible to promote atomization of the liquid. At the same time, there is an effect that the line pressure is increased, the generation of bubbles in the liquid transport line is prevented, and the flow can be further stabilized.

（単原料気化器並列方式）
近年、ますます多様な機能性薄膜に対する需要が増えている。それに伴い、原料の種類や成膜手法も多様化している。さらに、特異な気化条件の液体材料、供給側のすばやい応答性、リアクター前段での混合を嫌う気化ガスの使用、異なる原子の単一膜を積層するプロセス等への対応も求められてきている。
図５は、これらのニーズに答えるための気化装置の変形例である。図５に示す気化装置は、原料導入系、ガス通路を備えた平面基板、気化管からなる単原料気化器が共通の平面基板を使用して並列に配置された構造を持っている。並列構造とすることにより、反応部前段での混合を嫌う気化ガスや異なる原子を積層するプロセスに対応することが可能になる。 (Single material vaporizer parallel system)
In recent years, there has been an increasing demand for various functional thin films. Along with this, the types of raw materials and film forming methods are diversified. In addition, there is a demand for liquid materials with specific vaporization conditions, quick response on the supply side, use of vaporized gas that does not like mixing at the front stage of the reactor, and a process of stacking single films of different atoms.
FIG. 5 is a modification of the vaporizer for answering these needs. The vaporizer shown in FIG. 5 has a structure in which a single raw material vaporizer composed of a raw material introduction system, a flat substrate provided with a gas passage, and a vaporization tube is arranged in parallel using a common flat substrate. By adopting a parallel structure, it becomes possible to cope with a process of laminating vaporized gas that dislikes mixing in the previous stage of the reaction section or different atoms.

（MOCVD装置の応用）
本発明の気化装置を用いたMOCVD装置は、次世代DRAM用絶縁膜の製造だけでなく、例えば、大容量FeRAM（Ferromelectric Ramdom Access Memory）の絶縁膜や微細MOSFETのゲート絶縁膜の製造にも用いることが可能である。従来、FeRAMの強誘電体膜の製造は、スパッタ法により製造されることが多かったが、膜の組成を変えることができず、段差におけるカバレッジが低いという問題があった。本発明のMOCVD装置によれば、連続運用が可能で、堆積膜の化学量論比を正確に制御でき、量産レベルで、より高品質な強誘電体膜の製造を行うことが可能である。また、これまでスパッタ法により堆積していた配線用金属膜やバリアメタルについても、MOCVD膜で置き換えることにより、カバレッジの良好な金属膜の高速形成が可能になる。 (Application of MOCVD equipment)
The MOCVD apparatus using the vaporization apparatus of the present invention is used not only for the production of next-generation DRAM insulating films, but also for the production of large-capacity FeRAM (Ferromelectric Ramdom Access Memory) insulating films and fine MOSFET gate insulating films, for example. It is possible. Conventionally, the ferroelectric film of FeRAM was often manufactured by sputtering, but there was a problem that the composition of the film could not be changed and the coverage at the step was low. According to the MOCVD apparatus of the present invention, continuous operation is possible, the stoichiometric ratio of the deposited film can be accurately controlled, and a higher quality ferroelectric film can be manufactured at a mass production level. In addition, the metal film for wiring and the barrier metal that have been deposited by the sputtering method can be replaced with the MOCVD film so that a metal film with good coverage can be formed at high speed.

（MOCVD装置以外への応用）
本発明に係る気化装置は、MOCVD膜の成膜装置に用いられる場合について説明したが、それ以外にも、原料溶液を溶媒に溶かして、加熱して気化して、膜を堆積する成膜装置であれば、本発明に係る気化装置を用いることが可能で、MOCVD膜の製造装置の場合と同様の効果が得られる。例えば、ALD（原子レイヤーデポ装置）に用いることが可能である。 (Applications other than MOCVD equipment)
The vaporization apparatus according to the present invention has been described for the case where it is used in a film formation apparatus for MOCVD film. In addition to this, the film formation apparatus for depositing a film by dissolving a raw material solution in a solvent and evaporating by heating. If so, the vaporization apparatus according to the present invention can be used, and the same effect as in the case of the MOCVD film manufacturing apparatus can be obtained. For example, it can be used for ALD (atomic layer deposition apparatus).

本発明の具体例に係る気化装置の部分断面図である。It is a fragmentary sectional view of the vaporizer which concerns on the example of this invention. (a)は、本発明の具体例に係る気化装置の分解状態の部分断面図である。(b)は、切替3連3方弁の系統図である。(a) is a fragmentary sectional view of the decomposition state of the vaporizer which concerns on the example of this invention. (b) is a system diagram of a switching three-way three-way valve. 本発明の具体例に係る気化装置の平面図である。It is a top view of the vaporization apparatus which concerns on the specific example of this invention. 本発明の具体例に係る気化装置の断面図である。It is sectional drawing of the vaporization apparatus which concerns on the example of this invention. 本発明の具体例に係る気化装置の断面図である。It is sectional drawing of the vaporization apparatus which concerns on the example of this invention. (a)及び（b)は、本発明の具体例に係る気化装置の円形集積基盤の平面図である。(a) And (b) is a top view of the circular integration | stacking board | substrate of the vaporization apparatus based on the specific example of this invention. 本発明の具体例に係る気化装置の気化ヘッドの部分断面図である。It is a fragmentary sectional view of the vaporization head of the vaporization apparatus which concerns on the example of this invention. 背景技術に係る気化装置の部分断面図である。It is a fragmentary sectional view of the vaporizer which concerns on background art.

１気化装置
２圧力計
３気化ヘッド
４気化部
５、４０集積プレート
６、４１冷却プレート
７、８、５４、５５ 1次キャリアガス導入口
９、１０、５６、５７冷却水導入口
１１、１２冷却水通路
１３、１６、３３原料溶液導入口
１４、１５、３４溶媒、パージガス導入口
１７、４７原料吐出口
１８、２０、４９、５０、５１気液混合流路
１９、５８ 2次キャリアガス導入口
２１噴出ノズル
２２霧化噴出部
２３気化管上部
３１、３２切替3連3方弁
３５３連３方弁接続口
３６、３７、３８バルブ
３９気液混合プレート
４２混合噴霧ノズル
４３中間プレート
４４ 2次キャリアプレート
４５霧化噴出ノズル
４６断熱空間層
４８ガス通路
５２、５３位置決めピン
６１円形集積基盤
６２、６３、６４、６５切替3連3方弁
６６ 1次キャリアガス導入口
６７冷却水導入口
６８冷却水排出口
６９溶媒パージガス導入口
７０原料溶液導入口
７１２次キャリアガス導入口
８１、９４気化ヘッド部
８２、９５気化部
８３気化管上部
８４気化管下部
８５、９６切替3連3方弁
８６、９７ 1次キャリアガス導入口
８７、９８ 2次キャリアガス導入口
８８、１００気化管
８９内蔵ヒータ
９０、９９冷却水通路
９１、９２、９３気化装置
１０１、１０８集積プレート
１０２、１０９気液混合流路
１０３、１１０キャリアガス導入口
１０４、１１１原料溶液導入口
１０５、１１２噴出部
１０６a、１０６b、１１３、１１５冷却水導入口
１０７、１１４位置決めピン
１２１混合噴霧ノズル
１２２気液混合流路
１２３冷却プレート
１２４円錐型混合部
１２５Ｏリングシール
１２６噴出ノズル
１２７二次キャリアノズル
１２８気化管上部
２０１気化装置
２０２、２０３圧力計
２０４、２０５キャリアガス
２０６、２０７ガス通路
２０８出口
２０９、２１０ MFC
２１１、２１２溶液通路
２１３原料溶液・洗浄液導入口
２１４原料溶液バルブ
２１５洗浄液バルブ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Vaporizer 2 Pressure gauge 3 Vaporization head 4 Vaporization part 5, 40 Accumulation plate 6, 41 Cooling plate 7, 8, 54, 55 Primary carrier gas inlet 9, 10, 56, 57 Cooling water inlet 11, 12 Cooling Water passages 13, 16, 33 Raw material solution inlets 14, 15, 34 Solvent, purge gas inlet ports 17, 47 Raw material outlet ports 18, 20, 49, 50, 51 Gas-liquid mixing channel 19, 58 Secondary carrier gas inlet port
21 Jet nozzle 22 Atomization jet part 23 Upper part of vaporization pipe 31, 32 Switching triple 3 way valve 35 Triple 3 way valve connection port 36, 37, 38 Valve 39 Gas-liquid mixing plate 42 Mixing spray nozzle 43 Intermediate plate 44 Secondary Carrier plate 45 Atomizing jet nozzle 46 Thermal insulation space layer 48 Gas passage 52, 53 Positioning pin 61 Circular integrated base 62, 63, 64, 65 Switching three-way three-way valve 66 Primary carrier gas inlet 67 Cooling water inlet 68 Cooling Water outlet 69 Solvent purge gas inlet 70 Raw material solution inlet 71 Secondary carrier gas inlets 81 and 94 Evaporation head part 82 and 95 Evaporation part 83 Evaporation pipe upper part 84 Evaporation pipe lower part 85 and 96 Switching three-way three-way valve 86 97 Primary carrier gas introduction ports 87, 98 Secondary carrier gas introduction ports 88, 100 Vaporization pipe 89 Built-in heaters 90, 99 Cooling water passages 91, 92, 93 Device 101, 108 Accumulation plate 102, 109 Gas-liquid mixing channel 103, 110 Carrier gas inlet 104, 111 Raw material solution inlet 105, 112 Blowing portion 106a, 106b, 113, 115 Cooling water inlet 107, 114 Positioning pin 121 Mixing spray nozzle 122 Gas-liquid mixing channel 123 Cooling plate 124 Conical mixing part 125 O-ring seal 126 Ejecting nozzle 127 Secondary carrier nozzle 128 Evaporating pipe upper part 201 Evaporating device 202, 203 Pressure gauge 204, 205 Carrier gas 206, 207 Gas Passage 208 Exit 209, 210 MFC
211, 212 Solution passage 213 Raw material solution / cleaning liquid inlet 214 Raw material solution valve 215 Cleaning liquid valve

Claims

A vaporizer that introduces a carrier gas from one end of a gas passage and sends a carrier gas containing a raw material solution to a vaporization portion from an ejection portion arranged at the other end of the gas passage, and a plurality of the gas passages on a flat substrate Arranged radially around the jetting part ,
The vaporizing device is characterized in that the ejection portion is formed as a hole penetrating the substrate, and is formed as a gas-liquid mixing channel and communicating with a cooling plate adjacent to the substrate .

The lower part of the shape of the ejection part is, the cooling plate and a thrust out a conical shape in the mixing spray nozzle is disposed below the gas-liquid mixing channel flowing a carrier gas containing the raw material solution on the slopes of the conical The vaporizer according to claim 1, wherein the vaporizer is formed .

3. The vaporizer according to claim 1, further comprising cooling means for cooling in the vicinity of the gas-liquid mixing channel .

4. The vaporizer according to claim 3, wherein a cooling temperature by the cooling means is 0 ° C. or higher and 35 ° C. or lower.

The vaporizer according to any one of claims 1 to 4, wherein the gas passage has a plurality of bent portions on the planar substrate.

A film forming apparatus comprising the vaporizer according to any one of claims 1 to 5.

The film forming apparatus according to claim 6, wherein the film forming apparatus is a MOCVD apparatus.

It is a vaporization method of introducing a carrier gas from one end of a gas passage, and sending a carrier gas containing a raw material solution from a jetting portion connected to the other end of the gas passage to a vaporizing portion,
The carrier gas containing the raw material solution through the plurality of gas passages arranged radially on the flat substrate around the ejection part ,
A vaporization method comprising: sending from the ejection part formed as a hole penetrating the substrate to a vaporization part through a gas-liquid mixing channel formed in communication with a cooling plate adjacent to the substrate .

The vaporization method according to claim 8, wherein the carrier gas containing the raw material solution is sent to the vaporization section through the gas passage cooled to 0 ° C. or more and 35 ° C. or less and the ejection section.

A film forming method for performing film formation by vaporizing by the vaporizing method according to claim 8.

The film forming method according to claim 10, wherein the film forming method is an MOCVD method.