JP5843285B2

JP5843285B2 - Double-side polishing equipment

Info

Publication number: JP5843285B2
Application number: JP2011277794A
Authority: JP
Inventors: 芳幸赤木
Original assignee: Hamai Co Ltd
Current assignee: Hamai Co Ltd
Priority date: 2011-12-20
Filing date: 2011-12-20
Publication date: 2016-01-13
Anticipated expiration: 2031-12-20
Also published as: JP2013128987A

Description

本発明は、複数ワークの研磨を行う両面研磨装置に関する。 The present invention relates to a double-side polishing apparatus that polishes a plurality of workpieces.

様々なワークを両面研磨する両面研磨装置においては、近年、ワークの供給から回収までの一連の工程を自動化する装置が順次導入されている。このような自動化は、生産性の向上、省力化、および、品質の向上などに寄与している。 In recent years, in a double-side polishing apparatus that performs double-side polishing of various workpieces, apparatuses that automate a series of steps from supply to collection of workpieces have been sequentially introduced. Such automation contributes to improvement of productivity, labor saving, and improvement of quality.

通常の遊星歯車方式の両面研磨装置は、例えば、図７に示すような構造を有している。この両面研磨装置は、４系統の駆動系を有しており、下定盤駆動モータ５０１により下定盤５０２を回転させる下定盤駆動系、上定盤駆動モータ５０３により上定盤５０４を回転させる上定盤駆動系、サンギア駆動モータ５０５によりサンギア５０６を回転させるサンギア駆動系、インターナルギア駆動モータ５０７によりインターナルギア５０８を回転させるインターナルギア駆動系を有している。そして、サンギア５０６とインターナルギア５０８とにワークキャリア５０９を噛み合せており、これらサンギア５０６とインターナルギア５０８とをそれぞれ独立して回転駆動し、ワークキャリア５０９の回転速度制御や位置制御を行う。 A typical planetary gear type double-side polishing apparatus has a structure as shown in FIG. 7, for example. This double-side polishing apparatus has four drive systems. A lower surface plate drive system that rotates the lower surface plate 502 by the lower surface plate drive motor 501 and an upper surface plate that rotates the upper surface plate 504 by the upper surface plate drive motor 503. A panel drive system, a sun gear drive system for rotating the sun gear 506 by the sun gear drive motor 505, and an internal gear drive system for rotating the internal gear 508 by the internal gear drive motor 507 are provided. Then, the work carrier 509 is meshed with the sun gear 506 and the internal gear 508, and the sun gear 506 and the internal gear 508 are driven to rotate independently, and the rotational speed control and position control of the work carrier 509 are performed.

回転速度制御により、ワークキャリア５０９は自転と公転とを行う。自転と公転との組み合わせにより最適な研磨が行われ、ワーク６００の加工精度を確保している。
また、位置制御により、ワークキャリア５０９は自転と公転とを行いながら移動していき、ワークキャリア５０９はローディング位置やアンローディング位置へ移動する。従来技術はこのようなものである。 The work carrier 509 performs rotation and revolution by the rotation speed control. Optimal polishing is performed by a combination of rotation and revolution, and the processing accuracy of the workpiece 600 is ensured.
In addition, by the position control, the work carrier 509 moves while rotating and revolving, and the work carrier 509 moves to the loading position and the unloading position. The prior art is like this.

しかしながら、ワークキャリアが自転と公転とを行いながら移動すると、ワークキャリアの位置およびワーク保持孔の位置も回転しながら移動するため、ワークキャリアのローディング位置やアンローディング位置への位置制御は容易ではないという問題があった。 However, if the work carrier moves while rotating and revolving, the position of the work carrier and the position of the work holding hole also move while rotating, so that the position control of the work carrier to the loading position and unloading position is not easy. There was a problem.

そこで、ワークキャリアのローディング位置やアンローディング位置への位置制御を容易にするため、ワークキャリアを自転のみさせる方式が考えられる。このワークキャリアを自転のみさせる研磨でも、研磨パターンはやや制約を受けるものの、高精度に研磨加工することができる。 Therefore, in order to facilitate the position control of the work carrier to the loading position and unloading position, a system in which the work carrier only rotates is conceivable. Even with this polishing that only rotates the work carrier, the polishing pattern is somewhat restricted, but can be polished with high accuracy.

このような両面研磨装置の従来技術としては、例えば、特許文献１（特開２００１−１２１４１２公報、発明の名称「両面研磨装置」）に記載の発明が知られている。特許文献１に記載の両面研磨装置は、サンギアおよびインターナルギアにキャリアを噛み合い係合させ、このキャリア内に配置された被研磨物に対して上下面を上下定盤で挟持した状態で研磨する装置であって、キャリアがサンギアの回りを公転することなく所定の位置で自転のみして被研磨物を研磨する。 As a conventional technique of such a double-side polishing apparatus, for example, an invention described in Patent Document 1 (Japanese Patent Laid-Open No. 2001-121212, title of invention “Double-side polishing apparatus”) is known. The double-side polishing apparatus described in Patent Document 1 is an apparatus that polishes a carrier in mesh with a sun gear and an internal gear and holds the upper and lower surfaces of an object to be polished arranged in the carrier with upper and lower surface plates. Then, the object is polished only by rotating at a predetermined position without revolving around the sun gear.

この両面研磨装置では、キャリアは公転することなく自転のみするため研磨終了まで当初の位置のままであり、ローディング位置およびアンローディング位置が異なることがないのでローディングおよびアンローディング作業が容易である。 In this double-side polishing apparatus, since the carrier only rotates without revolving, it remains in its original position until the polishing is completed, and the loading position and unloading position do not differ, and loading and unloading operations are easy.

また、両面研磨装置の他の従来技術としては、例えば、特許文献２（特開２０００−６１８２８号公報、発明の名称「遊星歯車方式平行平面加工盤のワークキャリア停止位置制御装置」）に記載の発明が知られている。特許文献２に記載の装置では、加工開始時のワークキャリアの公転位置および自転位置を記憶しておき、加工中のサンギアとインターナルギアの回転を検出して加工開始時からの累積回転角度を算出する。次いで、加工中に加工終了の指令が入力されると、その時点のサンギアとインターナルギアの累積回転角度から各ワークキャリアの公転位置および自転位置を算出し、ワークキャリアを目標停止位置に停止するためにサンギアおよびインターナルギアの駆動モータの速度を徐々に減速する。 In addition, as another conventional technique of the double-side polishing apparatus, for example, described in Patent Document 2 (Japanese Patent Laid-Open No. 2000-61828, name of invention “work carrier stop position control apparatus for planetary gear type parallel plane machining machine”). The invention is known. In the apparatus described in Patent Document 2, the revolution position and the rotation position of the work carrier at the start of machining are stored, the rotation of the sun gear and the internal gear during machining is detected, and the cumulative rotation angle from the start of machining is calculated. To do. Next, when a machining end command is input during machining, the revolution position and rotation position of each work carrier are calculated from the cumulative rotation angle of the sun gear and internal gear at that time, and the work carrier is stopped at the target stop position. Slowly reduce the speed of the sun gear and internal gear drive motor.

このようなワークキャリア停止位置制御装置は、演算によりワークキャリアの位置制御を行うため、遊星歯車方式平行平面加工盤に対し、ワークキャリアを所定位置に停止させ、ワークの自動着脱装置を用いてワークをワークキャリアから着脱することができる。 Since such a work carrier stop position control device controls the position of the work carrier by calculation, the work carrier is stopped at a predetermined position with respect to the planetary gear type parallel flat surface processing machine, and the automatic work attachment / detachment device is used to Can be detached from the work carrier.

特開２００１−１２１４１２公報Japanese Patent Laid-Open No. 2001-121212 特開２０００−６１８２８号公報JP 2000-61828 A

しかしながら、上記した従来技術では何れも問題点を有するものであった。
例えば、引用文献１に記載の平面自動研磨装置では、キャリアを自転させることは可能であるが、ワークの位置決めについては具体的な開示がない。たとえば、１のキャリアに複数個のワークを保持させる場合、キャリアの自転によって最適な回転位置としないとワークのローディングやアンローディングが不可能となることもあった。単純に自転させるだけではローディングやアンローディングはできない。 However, all of the above conventional techniques have problems.
For example, in the flat automatic polishing apparatus described in the cited document 1, it is possible to rotate the carrier, but there is no specific disclosure about the positioning of the workpiece. For example, when a plurality of workpieces are held on one carrier, loading and unloading of the workpieces may not be possible unless the rotation position is optimal due to the rotation of the carrier. Loading and unloading are not possible simply by rotating.

また、引用文献２に記載の研磨装置は、一連の研磨加工工程（未加工ワークのローディング〜加工〜加工済みワークのアンローディング）を自動化するシステムの場合、サンギアおよびインターナルギアの各々の回転数を累積して、キャリアの位置を算出する操作を繰り返し行う。また、ワークキャリアの位置決め制御を行うには、各々のギアの回転数を基に煩雑な計算を行い、それぞれのモータに対して適正な位置決め制御を行う。 Moreover, in the case of a system that automates a series of polishing processes (loading of unprocessed workpieces to processing to unloading of processed workpieces), the polishing apparatus described in the cited document 2 determines the rotational speeds of the sun gear and the internal gear. The operation for calculating the position of the carrier is repeated repeatedly. Further, in order to perform the positioning control of the work carrier, complicated calculation is performed based on the rotation speed of each gear, and proper positioning control is performed for each motor.

しかしながら、ＣＰＵでは、小数点以下の数値の扱い（切り捨て、または、切り上げなど）により計算誤差およびこれらの累積誤差が生じるため、位置決め誤差が発生するという問題があった。これらの操作は各ギアの原点出しを行うまで継続するので、計算誤差なども累積していく。 However, the CPU has a problem that a positioning error occurs because a calculation error and an accumulated error thereof are caused by handling of numerical values after the decimal point (rounding down or rounding up). Since these operations continue until the origin of each gear is performed, calculation errors and the like are accumulated.

また、ギア機構ではバックラッシ等による位置誤差が生じるため、ＣＰＵの演算値とずれていくという問題もあった。通常は、ワークキャリアをセットするときに各ギアの原点合わせを行うが、その後は上記のような累積誤差も含む累積データに基づく計算の繰り返しとなるので、累積誤差は徐々に増大する傾向となる。これらの累積誤差は、再度ワークキャリアをセットするときに原点位置合わせを行うことによりリセットされるが、原点位置合わせは手間を要する作業であるため、リセット作業を頻繁に繰り返す訳にはいかず、累積誤差を増大させないように工夫する必要があった。 Further, the gear mechanism causes a position error due to backlash or the like, which causes a problem of deviation from the calculated value of the CPU. Normally, when setting the work carrier, the origin of each gear is adjusted, but thereafter, the calculation is repeated based on the accumulated data including the accumulated error as described above, and therefore the accumulated error tends to gradually increase. . These accumulated errors are reset by aligning the origin when the work carrier is set again. However, since the origin alignment is a labor-intensive operation, the reset operation cannot be repeated frequently, and the accumulation is not performed. It was necessary to devise so as not to increase the error.

そこで、本発明は上記した問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、ワークキャリアの自転位置および公転位置の正確な位置決め制御を行えるようにした両面研磨装置を提供することにある。 Accordingly, the present invention has been made in view of the above-described problems, and an object thereof is to provide a double-side polishing apparatus capable of performing accurate positioning control of the rotation position and revolution position of a work carrier.

本発明の請求項１に係る発明は、
サンギア駆動モータを含むサンギア回転駆動部によりサンギアが回転駆動され、インターナルギア回転駆動部によりインターナルギアが回転駆動されるようになされており、ワーク保持孔を設けたワークキャリアを、水平面内に配置されたサンギアとインターナルギアとの間に複数個噛み合わせておき、このワーク保持孔に挿入されたワークの表裏両面を下定盤と上定盤との間に挟み込んだ状態で、サンギアとインターナルギアとを回転させてワークキャリアを自転または公転させるとともに、上定盤と下定盤とをワークキャリアに対して相対的に回転させてワークをラッピングまたはポリッシングする両面研磨装置であって、
サンギア回転駆動部からの回転を機械的にインターナルギア回転駆動部へ伝達し、サンギアの回転方向に対しインターナルギアを逆の回転方向であって、かつ同じ周速度で回転させて、ワークキャリアを公転させずにその場で自転のみさせるようなギア配列を有する第１のギアトレーンと、
サンギア回転駆動部からの回転を機械的にインターナルギア回転駆動部へ伝達し、サンギアの回転方向に対しインターナルギアを同じ回転方向であって、かつ同じ角速度で回転させて、ワークキャリアを自転させずに公転のみさせるようなギア配列を有する第２のギアトレーンと、
を備え、
研磨時にはサンギア回転駆動部とインターナルギア回転駆動部とを第１のギアトレーンが繋いでワークキャリアに自転のみさせてワークの研磨を行い、ローディング時またはアンローディング時にはサンギア回転駆動部とインターナルギア回転駆動部とを第２のギアトレーンが繋いでワークキャリアに公転のみさせてローディング位置またはアンローディング位置へ移動させることを特徴とする両面研磨装置とした。 The invention according to claim 1 of the present invention is
The sun gear is rotationally driven by the sun gear rotation drive unit including the sun gear drive motor, and the internal gear is rotationally driven by the internal gear rotation drive unit, and the work carrier provided with the work holding holes is arranged in a horizontal plane. The sun gear and the internal gear are placed in a state where both the front and back surfaces of the work inserted into the work holding hole are sandwiched between the lower surface plate and the upper surface plate. A double-side polishing apparatus that rotates or revolves the work carrier to rotate or revolve, and wraps or polishes the work by rotating the upper surface plate and the lower surface plate relative to the work carrier,
The rotation from the sun gear rotation drive unit is mechanically transmitted to the internal gear rotation drive unit, and the internal gear is rotated in the opposite rotation direction to the rotation direction of the sun gear and at the same peripheral speed, so that the work carrier is revolved. A first gear train having a gear arrangement that allows only rotation on the spot without being
Rotation from the sun gear rotation drive unit is mechanically transmitted to the internal gear rotation drive unit, and the internal gear is rotated in the same rotation direction and at the same angular velocity with respect to the rotation direction of the sun gear, so that the work carrier does not rotate. A second gear train having a gear arrangement that only causes revolving;
Equipped with a,
When polishing, the first gear train connects the sun gear rotation driving unit and the internal gear rotation driving unit to rotate the work carrier only to rotate the workpiece, and during loading or unloading, the sun gear rotation driving unit and the internal gear rotation driving are performed. a Department by only revolve workpiece carrier connects the second gear train has a double-side polishing apparatus according to claim Rukoto is moved to the loading position or the unloading position.

また、本発明の請求項２に係る発明は、
前記サンギアまたは前記インターナルギアの回転基準となる原点を検出する原点検出センサと、
この原点検出センサにより検出される原点に基づいて位置決め誤差を修正しつつワークキャリアの位置制御を行う演算制御部と、
を備えることを特徴とする請求項１に記載の両面研磨装置とした。 The invention according to claim 2 of the present invention is
An origin detection sensor for detecting an origin serving as a rotation reference of the sun gear or the internal gear;
An arithmetic control unit for controlling the position of the work carrier while correcting the positioning error based on the origin detected by the origin detection sensor;
And a double-sided polishing apparatus according to claim 1, characterized in that it comprises a.

このような本発明によれば、ワークキャリアの自転位置および公転位置の正確な位置決め制御を行えるようにした両面研磨装置を提供することができる。 According to the present invention as described above, it is possible to provide a double-side polishing apparatus that can perform accurate positioning control of the rotation position and revolution position of the work carrier.

本発明を実施するための形態の両面研磨装置の断面構成図である。It is a section lineblock diagram of a double-side polish device of a form for carrying out the present invention. 本発明を実施するための形態の両面研磨装置の要部構成図である。It is a principal part block diagram of the double-side polish apparatus of the form for implementing this invention. 本発明を実施するための形態の両面研磨装置の駆動系の説明図であり、図３（ａ）は自転させるための逆転の説明図、図３（ｂ）は公転させるための正転の説明図である。It is explanatory drawing of the drive system of the double-side polish apparatus of the form for implementing this invention, Fig.3 (a) is explanatory drawing of the reverse rotation for rotating, FIG.3 (b) is description of the normal rotation for revolving. FIG. 本発明を実施するための形態の両面研磨装置の駆動の説明図であり、図４（ａ）は自転の説明図、図４（ｂ）は公転の説明図である。It is explanatory drawing of the drive of the double-side polish apparatus of the form for implementing this invention, Fig.4 (a) is explanatory drawing of autorotation, FIG.4 (b) is explanatory drawing of revolution. 本発明を実施するための形態の両面研磨装置のローディングおよびアンローディングを説明する説明図であり、図５（ａ）はハンドリングロボットを組み込んだ両面研磨装置の要部の平面図、図５（ｂ）はハンドリングロボットを組み込んだ両面研磨装置の断面構成図である。It is explanatory drawing explaining the loading and unloading of the double-side polish apparatus of the form for implementing this invention, Fig.5 (a) is a top view of the principal part of the double-side polish apparatus incorporating a handling robot, FIG.5 (b) ) Is a cross-sectional configuration diagram of a double-side polishing apparatus incorporating a handling robot. ワークキャリア枚数を異ならせた実施例の説明図であり、図６（ａ）はワークキャリア枚数が５枚の実施例の説明図、図６（ｂ）はワークキャリア枚数が４枚の実施例の説明図、図６（ｃ）はワークキャリア枚数が３枚の実施例の説明図である。FIG. 6A is an explanatory diagram of an embodiment in which the number of workpiece carriers is varied, FIG. 6A is an explanatory diagram of an embodiment in which the number of workpiece carriers is five, and FIG. 6B is an embodiment in which the number of workpiece carriers is four. FIG. 6C is an explanatory diagram of an embodiment in which the number of work carriers is three. 従来技術の両面研磨装置の断面構成図である。It is a cross-sectional block diagram of the double-side polish apparatus of a prior art.

続いて、本発明を実施するための形態の両面研磨装置１００について、図１〜図６を参照しつつ説明する。両面研磨装置１００は、ワーク２００の表裏両面を研磨する装置であり、図１で示すように、ベース台１０１、ギアボックス１０２、蓋部１０３、軸支部１０４、中間ベース１０５、下定盤駆動モータ１０６、第１下定盤駆動ギア１０７、第２下定盤駆動ギア１０８、下定盤駆動体１０９、下定盤１１０、上定盤駆動モータ１１１、第１上定盤駆動ギア１１２、第２上定盤駆動ギア１１３、上定盤駆動体１１４、自在継手１１５、上定盤吊り板１１６、上定盤支持部１１７、上定盤１１８、上定盤駆動系ベース部１１９、シリンダ１２０、シャフト１２１、サンギア駆動モータ１２２、第１サンギア駆動ギア１２３、第２サンギア駆動ギア１２４、サンギア駆動体１２５、サンギア１２６、逆転用ギアトレーン１２７、正転用ギアトレーン１２８、インターナルギア駆動シャフト１２９、クラッチ１３０、上側支持部１３１、下側支持部１３２、中間ギア１３３、インターナルギア駆動体１３４、インターナルギア１３５、原点検出センサ１３６、ドグ１３７、ワークキャリア１３８を備えている。 Then, the double-side polish apparatus 100 of the form for implementing this invention is demonstrated, referring FIGS. 1-6. The double-side polishing apparatus 100 is an apparatus that polishes both the front and back surfaces of the workpiece 200. As shown in FIG. 1, the base table 101, the gear box 102, the lid portion 103, the shaft support portion 104, the intermediate base 105, and the lower surface plate drive motor 106. , First lower surface plate driving gear 107, second lower surface plate driving gear 108, lower surface plate driving body 109, lower surface plate 110, upper surface plate driving motor 111, first upper surface plate driving gear 112, second upper surface plate driving gear. 113, upper surface plate driver 114, universal joint 115, upper surface plate suspension plate 116, upper surface plate support portion 117, upper surface plate 118, upper surface plate drive system base portion 119, cylinder 120, shaft 121, sun gear drive motor 122, first sun gear drive gear 123, second sun gear drive gear 124, sun gear drive 125, sun gear 126, reverse gear train 127, forward gear train 1 8, an internal gear drive shaft 129, a clutch 130, an upper support 131, a lower support 132, an intermediate gear 133, an internal gear drive 134, an internal gear 135, an origin detection sensor 136, a dog 137, and a work carrier 138. Yes.

続いて各構成について説明する。
ベース台１０１は、床面に固定される堅牢な構造体であり、重量物を支持することができる。
ギアボックス１０２は、後述する各回転駆動部の機構を収容している。 Next, each configuration will be described.
The base table 101 is a robust structure fixed to the floor surface, and can support heavy objects.
The gear box 102 accommodates a mechanism of each rotation drive unit described later.

蓋部１０３は、ベース台１０１の上に設けられ、ギアボックス１０２の蓋として機能する。
軸支部１０４は、蓋部１０３に固定されている。たとえば、転がり軸受けなどが配置されており、中央の下定盤駆動体１０９を回転自在に支持する。 The lid portion 103 is provided on the base table 101 and functions as a lid for the gear box 102.
The shaft support portion 104 is fixed to the lid portion 103. For example, a rolling bearing or the like is disposed, and the central lower surface plate driver 109 is rotatably supported.

中間ベース１０５は、軸支部１０４や下定盤駆動体１０９の間に配置されており、下定盤駆動体１０９やインターナルギア駆動体１３４が円滑に移動するように支持している。 The intermediate base 105 is disposed between the shaft support 104 and the lower surface plate driving body 109, and supports the lower surface plate driving body 109 and the internal gear driving body 134 so as to move smoothly.

続いて回転駆動部について説明する。
まず、下定盤回転駆動部について説明する。下定盤回転駆動部は、下定盤駆動モータ１０６、第１下定盤駆動ギア１０７、第２下定盤駆動ギア１０８、下定盤駆動体１０９、下定盤１１０を少なくとも備える。 Next, the rotation drive unit will be described.
First, the lower surface plate rotation drive unit will be described. The lower surface plate rotation driving unit includes at least a lower surface plate driving motor 106, a first lower surface plate driving gear 107, a second lower surface plate driving gear 108, a lower surface plate driving body 109, and a lower surface plate 110.

下定盤駆動モータ１０６は、駆動軸に軸支されている第１下定盤駆動ギア１０７を回転させる。
第１下定盤駆動ギア１０７は、第２下定盤駆動ギア１０８へトルクを伝達する。 The lower surface plate driving motor 106 rotates the first lower surface plate driving gear 107 supported on the driving shaft.
The first lower surface plate drive gear 107 transmits torque to the second lower surface plate drive gear 108.

第２下定盤駆動ギア１０８は、下定盤駆動体１０９に軸支されており、下定盤駆動体１０９へトルクを伝達する。
下定盤駆動体１０９は、上側で下定盤１１０が固定されており、自らの回転とともに下定盤１１０を回転させる。下定盤駆動体１０９は、中間ベース１０５により下側から支持されており、円滑に回転するようになされている。 The second lower surface plate driving gear 108 is pivotally supported by the lower surface plate driving body 109 and transmits torque to the lower surface plate driving body 109.
The lower surface plate driver 109 has a lower surface plate 110 fixed on the upper side, and rotates the lower surface plate 110 with its own rotation. The lower surface plate driver 109 is supported from the lower side by the intermediate base 105 so as to rotate smoothly.

下定盤１１０は、図１，図４で示すように、環状円板であり、上面にワーク２００を研磨するラップ面／ポリッシュ面を有する。なお、図示しないが、下定盤１１０の上面に図示しない研磨布を貼り付け、研磨布によりワークを研磨することもある。
下定盤回転駆動部はこのようなものである。 As shown in FIGS. 1 and 4, the lower surface plate 110 is an annular disk and has a lap surface / polish surface for polishing the workpiece 200 on the upper surface. Although not shown, a polishing cloth (not shown) may be attached to the upper surface of the lower surface plate 110 and the workpiece may be polished with the polishing cloth.
The lower surface plate rotation drive unit is like this.

続いて上定盤回転駆動部について説明する。上定盤回転駆動部は、上定盤駆動モータ１１１、第１上定盤駆動ギア１１２、第２上定盤駆動ギア１１３、上定盤駆動体１１４、自在継手１１５、上定盤吊り板１１６、上定盤支持部１１７、上定盤１１８、上定盤駆動系ベース部１１９、シリンダ１２０、シャフト１２１を少なくとも備える。 Next, the upper surface plate rotation drive unit will be described. The upper surface plate rotation driving unit includes an upper surface plate driving motor 111, a first upper surface plate driving gear 112, a second upper surface plate driving gear 113, an upper surface plate driving body 114, a universal joint 115, and an upper surface plate suspension plate 116. The upper surface plate supporting portion 117, the upper surface plate 118, the upper surface plate driving system base portion 119, the cylinder 120, and the shaft 121 are provided.

上定盤駆動モータ１１１は、駆動軸に軸支されている第１上定盤駆動ギア１１２を回転させる。
第１上定盤駆動ギア１１２は、第２上定盤駆動ギア１１３へトルクを伝達する。 The upper surface plate drive motor 111 rotates the first upper surface plate drive gear 112 that is pivotally supported by the drive shaft.
The first upper platen drive gear 112 transmits torque to the second upper platen drive gear 113.

第２上定盤駆動ギア１１３は、上定盤駆動体１１４に軸支されており、上定盤駆動体１１４へトルクを伝達する。
上定盤駆動体１１４は、先端で自在継手１１５を介して上定盤吊り板１１６と連結される。 The second upper surface plate driving gear 113 is pivotally supported by the upper surface plate driving body 114 and transmits torque to the upper surface plate driving body 114.
The upper surface plate driver 114 is connected to the upper surface plate suspension plate 116 via a universal joint 115 at the tip.

自在継手１１５は、上定盤駆動体１１４と上定盤吊り板１１６との間に介在して設けられており、上定盤駆動体１１４を支軸として上定盤吊り板１１６へ回転を伝達すると同時に、姿勢変動自在となるように支持している。
上定盤吊り板１１６は、堅牢な板体である。 The universal joint 115 is provided between the upper surface plate driver 114 and the upper surface plate suspension plate 116, and transmits rotation to the upper surface plate suspension plate 116 with the upper surface plate driver 114 as a support shaft. At the same time, it is supported so that the posture can be freely changed.
The upper surface plate suspension plate 116 is a solid plate.

上定盤支持部１１７は、上定盤吊り板１１６と上定盤１１８との間に複数本設けられる。これら上定盤支持部１１７は、平面から視ると円上に等角間隔で設けられる。上定盤支持部１１７は上定盤吊り板１１６および上定盤１１８に図示しないボルトで連結固定されている。上定盤吊り板１１６、上定盤支持部１１７、および、上定盤１１８は常に一体に移動することになる。 A plurality of upper surface plate support portions 117 are provided between the upper surface plate suspension plate 116 and the upper surface plate 118. These upper surface plate support portions 117 are provided at equiangular intervals on a circle as viewed from above. The upper surface plate support 117 is connected and fixed to the upper surface plate suspension plate 116 and the upper surface plate 118 with bolts (not shown). The upper surface plate suspension plate 116, the upper surface plate support part 117, and the upper surface plate 118 always move together.

上定盤１１８は、環状円板であり、下面にワーク２００を研磨するラップ面／ポリッシュ面を有する。なお、図示しないが、上定盤１１８の下面に図示しない研磨布を貼り付け、研磨布によりワークを研磨することもある。
ここに下定盤１１０および上定盤１１８は、共通回転軸を回転中心として回転するように支持される。 The upper surface plate 118 is an annular disk, and has a lap surface / polish surface for polishing the workpiece 200 on the lower surface. Although not shown, a polishing cloth (not shown) may be attached to the lower surface of the upper surface plate 118 and the workpiece may be polished with the polishing cloth.
Here, the lower surface plate 110 and the upper surface plate 118 are supported so as to rotate about the common rotation axis.

上定盤駆動系ベース部１１９は、上定盤駆動モータ１１１、第１上定盤駆動ギア１１２、第２上定盤駆動ギア１１３、上定盤駆動体１１４を収容し、歯車列を保持する。
シリンダ１２０は、上定盤１１８の上側で支持部に固定されて配置されており、シャフト１２１に対し上下方向の昇降力を付与する機能を有している。
シャフト１２１は、シリンダ１２０により昇降するように構成されており、上定盤駆動系ベース部１１９を昇降させることで、上定盤１１８を昇降させる。エアは図示しない送風ポンプにより供給され、図示しない演算制御部が電磁弁を制御して昇降を行う。
上定盤回転駆動部はこのようなものである。 The upper surface plate drive system base 119 houses the upper surface plate drive motor 111, the first upper surface plate drive gear 112, the second upper surface plate drive gear 113, and the upper surface plate drive body 114, and holds the gear train. .
The cylinder 120 is disposed on the upper platen 118 and is fixed to the support portion, and has a function of applying a vertical lifting force to the shaft 121.
The shaft 121 is configured to be moved up and down by the cylinder 120, and the upper surface plate 118 is moved up and down by moving the upper surface plate drive system base 119 up and down. Air is supplied by a blower pump (not shown), and an arithmetic control unit (not shown) moves up and down by controlling a solenoid valve.
The upper surface plate rotation drive unit is like this.

続いてサンギア回転駆動部について説明する。
サンギア回転駆動部は、サンギア駆動モータ１２２、第１サンギア駆動ギア１２３、第２サンギア駆動ギア１２４、サンギア駆動体１２５、サンギア１２６を少なくとも備える。 Next, the sun gear rotation drive unit will be described.
The sun gear rotation drive unit includes at least a sun gear drive motor 122, a first sun gear drive gear 123, a second sun gear drive gear 124, a sun gear drive body 125, and a sun gear 126.

サンギア駆動モータ１２２は、駆動軸に軸支されている第１サンギア駆動ギア１２３を回転させる。
第１サンギア駆動ギア１２３は、第２サンギア駆動ギア１２４へトルクを伝達する。 The sun gear drive motor 122 rotates the first sun gear drive gear 123 that is supported by the drive shaft.
First sun gear drive gear 123 transmits torque to second sun gear drive gear 124.

第２サンギア駆動ギア１２４は、サンギア駆動体１２５に軸支されており、サンギア駆動体１２５へトルクを伝達する。
サンギア駆動体１２５は、先端でサンギア１２６と連結される。このサンギア駆動体１２５は、下定盤駆動体１０９の中心孔に遊挿されており、サンギア駆動体１２５と下定盤駆動体１０９とはそれぞれ独立して回転するようになされている。まとめると、下定盤駆動体１０９は軸支部１０４や中間ベース１０５により回転可能に支持され、さらにサンギア駆動体１２５は下定盤駆動体１０９により回転可能に支持される。 The second sun gear drive gear 124 is pivotally supported by the sun gear drive body 125 and transmits torque to the sun gear drive body 125.
The sun gear driver 125 is connected to the sun gear 126 at the tip. The sun gear driver 125 is loosely inserted into the center hole of the lower surface plate driver 109, and the sun gear driver 125 and the lower surface plate driver 109 rotate independently of each other. In summary, the lower surface plate driver 109 is rotatably supported by the shaft support 104 and the intermediate base 105, and the sun gear driver 125 is rotatably supported by the lower surface plate driver 109.

サンギア１２６は、図４で示すように、下定盤１１０の内周側（中心側）に配置されている。なお、図１，図２ではピン１２６ａが配置されてピンギアとして図示されているが、ピンギアに限定するものではなく、外周側に歯が形成された通常の歯車など、歯車として機能する各種の構成を採用することができる。
サンギア回転駆動部はこのようなものである。 As shown in FIG. 4, the sun gear 126 is disposed on the inner peripheral side (center side) of the lower surface plate 110. 1 and 2, the pin 126a is arranged and illustrated as a pin gear. However, the present invention is not limited to the pin gear, and various configurations that function as a gear, such as a normal gear having teeth formed on the outer peripheral side. Can be adopted.
The sun gear rotation drive unit is like this.

続いて逆転用ギアトレーン１２７について説明する。
逆転用ギアトレーン１２７は、本発明の第１のギアトレーンであって、サンギア１２６の回転方向に対しインターナルギア１３５を逆の回転方向であって、かつ同じ線速度で回転させて、噛み合うワークキャリア１３８が公転せずにその場で自転のみさせるようなギア配列を有する。 Next, the reverse gear train 127 will be described.
The reverse gear train 127 is the first gear train of the present invention, and is a work carrier that meshes by rotating the internal gear 135 in the reverse rotation direction with respect to the rotation direction of the sun gear 126 at the same linear velocity. 138 has a gear arrangement that allows only rotation on the spot without revolving.

逆転用ギアトレーン１２７は、図３（ａ），（ｂ）で示すように、さらに第１逆転駆動ギア１２７ａ、第２逆転駆動ギア１２７ｂを備える。 As shown in FIGS. 3A and 3B, the reverse gear train 127 further includes a first reverse drive gear 127a and a second reverse drive gear 127b.

第１逆転駆動ギア１２７ａは、第２サンギア駆動ギア１２４と噛み合っており、駆動力が伝達される。
第２逆転駆動ギア１２７ｂは、インターナルギア駆動シャフト１２９に単に遊挿された状態であり、後述するがクラッチ１３０でつなげないとインターナルギア駆動シャフト１２９を軸として空転する。
逆転用ギアトレーン１２７はこのようなものである。 The first reverse drive gear 127a meshes with the second sun gear drive gear 124, and the driving force is transmitted.
The second reverse drive gear 127b is simply inserted into the internal gear drive shaft 129, and will be idled with the internal gear drive shaft 129 as an axis unless it is connected with the clutch 130 as will be described later.
The reverse gear train 127 is like this.

続いて正転用ギアトレーン１２８について説明する。
正転用ギアトレーン１２８は、本発明の第２のギアトレーンであって、サンギア１２６の回転方向に対しインターナルギア１３５を同じ回転方向であってかつ同じ角速度で回転させて、噛み合うワークキャリア１３８が自転せずに公転のみさせるようなギア配列を有する。 Next, the forward rotation gear train 128 will be described.
The forward rotation gear train 128 is the second gear train of the present invention, and the internal gear 135 is rotated in the same rotational direction and at the same angular velocity with respect to the rotational direction of the sun gear 126 so that the meshed work carrier 138 rotates. It has a gear arrangement that allows only revolution without turning.

正転用ギアトレーン１２８は、さらに第１正転駆動ギア１２８ａ、第２正転駆動ギア１２８ｂ、第３正転駆動ギア１２８ｃを備える。 The forward rotation gear train 128 further includes a first forward rotation drive gear 128a, a second forward rotation drive gear 128b, and a third forward rotation drive gear 128c.

第１正転駆動ギア１２８ａは、二段歯車であり、小歯車が第２サンギア駆動ギア１２４と噛み合っており、駆動力が伝達される。
第２正転駆動ギア１２８ｂは、二段歯車であり、小歯車が第１正転駆動ギア１２８ａの大歯車と噛み合っており、駆動力が伝達される。 The first forward rotation drive gear 128a is a two-stage gear, the small gear meshes with the second sun gear drive gear 124, and the driving force is transmitted.
The second normal rotation drive gear 128b is a two-stage gear, and the small gear meshes with the large gear of the first normal rotation drive gear 128a, and the driving force is transmitted.

第３正転駆動ギア１２８ｃは、第２正転駆動ギア１２８ｂの大歯車と噛み合っている。第３正転駆動ギア１２８ｃは、インターナルギア駆動シャフト１２９に単に遊挿された状態であり、後述するがクラッチ１３０でつなげないとインターナルギア駆動シャフト１２９を軸として空転する。
正転用ギアトレーン１２８はこのようなものである。 The third forward rotation drive gear 128c meshes with the large gear of the second forward rotation drive gear 128b. The third forward drive gear 128c is simply inserted loosely into the internal gear drive shaft 129, and will rotate idly about the internal gear drive shaft 129 unless it is connected by the clutch 130 as will be described later.
The forward rotation gear train 128 is like this.

続いてインターナルギア回転駆動部について説明する。
インターナルギア回転駆動部は、インターナルギア駆動シャフト１２９、クラッチ１３０、上側支持部１３１、下側支持部１３２、中間ギア１３３、インターナルギア駆動体１３４、インターナルギア１３５を少なくとも備える。 Next, the internal gear rotation drive unit will be described.
The internal gear rotation drive unit includes at least an internal gear drive shaft 129, a clutch 130, an upper support 131, a lower support 132, an intermediate gear 133, an internal gear drive 134, and an internal gear 135.

インターナルギア駆動シャフト１２９は、上側支持部１３１、下側支持部１３２により、上下端で回動可能に支持されているシャフトである。 The internal gear drive shaft 129 is a shaft that is rotatably supported by the upper support 131 and the lower support 132 at the upper and lower ends.

クラッチ１３０は、逆転用ギアトレーン１２７か正転用ギアトレーン１２８かどちらか一方かをインターナルギア駆動シャフト１２９とつなげる。後述するが逆転か正転かが選択される。 The clutch 130 connects either the reverse gear train 127 or the forward gear train 128 to the internal gear drive shaft 129. As described later, reverse rotation or normal rotation is selected.

クラッチ１３０は、詳しくは溝付き筒体１３０ａ、キー１３０ｂ、摺動体１３０ｃ、切換用シリンダ１３０ｄ、逆転用噛み合わせ部１３０ｅ、正転用噛み合わせ部１３０ｆを備える。 Specifically, the clutch 130 includes a grooved cylinder 130a, a key 130b, a sliding body 130c, a switching cylinder 130d, a reverse meshing portion 130e, and a forward meshing portion 130f.

溝付き筒体１３０ａは、インターナルギア駆動シャフト１２９に単に遊挿され、キー１３０ｂに沿って、上下に昇降するようになされている。溝付き筒体１３０ａの側外周面には溝部が形成されている。
キー１３０ｂは、インターナルギア駆動シャフト１２９のキー溝に配置されており、溝付き筒体１３０ａの回転をインターナルギア駆動シャフト１２９に伝達する。 The grooved cylinder 130a is simply loosely inserted into the internal gear drive shaft 129 and is moved up and down along the key 130b. A groove portion is formed on the outer peripheral surface of the grooved cylinder 130a.
The key 130b is disposed in the key groove of the internal gear drive shaft 129, and transmits the rotation of the grooved cylinder 130a to the internal gear drive shaft 129.

摺動体１３０ｃは、溝付き筒体１３０ａの溝部内に配置されており、溝付き筒体１３０ａの回転時でも溝部内で同じ場所・高さに位置するようになされている。
切換用シリンダ１３０ｄは、摺動体１３０ｃを昇降させることで溝付き筒体１３０ａを昇降させる。エアは図示しない送風ポンプにより供給され、図示しない演算制御部が電磁弁を制御して昇降を行う。 The sliding body 130c is disposed in the groove portion of the grooved cylinder 130a, and is positioned at the same place and height in the groove portion even when the grooved cylinder 130a rotates.
The switching cylinder 130d raises and lowers the grooved cylinder 130a by raising and lowering the sliding body 130c. Air is supplied by a blower pump (not shown), and an arithmetic control unit (not shown) moves up and down by controlling a solenoid valve.

逆転用噛み合わせ部１３０ｅは、三角歯状の爪部である。一方は溝付き筒体１３０ａの下側に固定され、他方は第２逆転駆動ギア１２７ｂの上側に固定される。
正転用噛み合わせ部１３０ｆは、三角歯状の爪部である。一方は溝付き筒体１３０ａの上側に固定され、他方は第３正転駆動ギア１２８ｃの下側に固定される。
なお、上記の各噛み合わせ部の構造は、基本的にクラッチの機能を実現できる構造であればよく、先に示した機械的に突起部同士を嵌合させる構造や摩擦で駆動力を伝達する構造でも可能である。 The reverse meshing portion 130e is a triangular tooth claw. One is fixed to the lower side of the grooved cylinder 130a, and the other is fixed to the upper side of the second reverse drive gear 127b.
The forward rotation meshing portion 130f is a triangular tooth-like claw portion. One is fixed to the upper side of the grooved cylinder 130a, and the other is fixed to the lower side of the third forward rotation drive gear 128c.
In addition, the structure of each said meshing part should just be a structure which can implement | achieve the function of a clutch fundamentally, and it transmits a driving force by the structure and friction which mechanically fit projection part shown previously. A structure is also possible.

図３（ａ）で示すように、切換用シリンダ１３０ｄが溝付き筒体１３０ａを矢印ａ方向に下降させて逆転用噛み合わせ部１３０ｅを噛み合わせ、第２逆転駆動ギア１２７ｂとインターナルギア駆動シャフト１２９とを連結する。この場合、インターナルギア１３５は逆転、つまりサンギア１２６と逆方向に回転する。なお、回転速度はサンギア１２６のピッチ円直径とインターナルギア１３５のピッチ円直径との線速度が同じとなるように調整されている。つまりワークキャリア１３８は自転のみ行う。 As shown in FIG. 3A, the switching cylinder 130d lowers the grooved cylinder 130a in the direction of arrow a to engage the reverse meshing portion 130e, and the second reverse drive gear 127b and the internal gear drive shaft 129 are engaged. And In this case, the internal gear 135 rotates in the reverse direction, that is, in the reverse direction to the sun gear 126. The rotational speed is adjusted so that the linear velocity of the pitch circle diameter of the sun gear 126 and the pitch circle diameter of the internal gear 135 is the same. That is, the work carrier 138 performs only rotation.

また、図３（ｂ）で示すように、切換用シリンダ１３０ｄが溝付き筒体１３０ａを矢印ｂ方向に上昇させて正転用噛み合わせ部１３０ｆを噛み合わせ、第３正転駆動ギア１２８ｃとインターナルギア駆動シャフト１２９とを連結する。この場合、インターナルギア１３５は正転、つまりサンギアと同じ方向に回転する。なお、回転速度は角速度が同じとなるように調整されている。つまりワークキャリア１３８は公転のみ行う。
クラッチ１３０はこのようなものとなる。 Further, as shown in FIG. 3B, the switching cylinder 130d raises the grooved cylinder 130a in the direction of the arrow b to engage the forward rotation meshing portion 130f, and the third forward rotation drive gear 128c and the internal gear. The drive shaft 129 is connected. In this case, the internal gear 135 rotates normally, that is, in the same direction as the sun gear. The rotational speed is adjusted so that the angular speed is the same. That is, the work carrier 138 performs only revolution.
The clutch 130 is like this.

上側支持部１３１は、インターナルギア駆動シャフト１２９の上端を回動自在に支持する。
下側支持部１３２は、インターナルギア駆動シャフト１２９の下端を回動自在に支持する。 The upper support part 131 rotatably supports the upper end of the internal gear drive shaft 129.
The lower support part 132 rotatably supports the lower end of the internal gear drive shaft 129.

中間ギア１３３は、インターナルギア駆動シャフト１２９の上端に一体に固定されている。インターナルギア駆動シャフト１２９の回転に応じて一体に回転する。
インターナルギア駆動体１３４は、円筒体であって中間ベース１０５の外周面で回動自在に支持されている。そして下側にインターナルギアが形成されており、中間ギア１３３と噛み合っている。中間ギア１３３により駆動力が伝達されると、インターナルギア駆動体１３４も回動する。 The intermediate gear 133 is integrally fixed to the upper end of the internal gear drive shaft 129. The internal gear drive shaft 129 rotates integrally with the rotation.
The internal gear driving body 134 is a cylindrical body and is rotatably supported on the outer peripheral surface of the intermediate base 105. An internal gear is formed on the lower side and meshes with the intermediate gear 133. When the driving force is transmitted by the intermediate gear 133, the internal gear driver 134 also rotates.

インターナルギア１３５は、図１，図４で示すように、下定盤１１０の外周側に配置されている。なお、図１，図２ではピン１３５ａを有するピンギアとして図示されているが、ピンギアに限定するものではなく、内周側に歯が形成された通常の歯車など、歯車として機能する各種の構成を採用することができる。
インターナルギア回転駆動部はこのようなものである。 The internal gear 135 is disposed on the outer peripheral side of the lower surface plate 110 as shown in FIGS. 1 and 2, the pin gear is illustrated as having a pin 135a. However, the present invention is not limited to the pin gear, and various configurations that function as a gear, such as a normal gear having teeth formed on the inner peripheral side, are illustrated. Can be adopted.
The internal gear rotation drive unit is like this.

原点検出センサ１３６は、第２サンギア駆動ギア１２４から下側に突出するドグ１３７を検出することで、サンギア１２６の原点を検出する。原点検出センサ１３６は図示しない演算制御部に接続されており、サンギア１２６の機械的な原点を検出する。
ドグ１３７は、例えば金属体であり、原点検出センサ１３６の原点位置検出体として機能する。
原点検出センサ１３６が例えば近接センサであれば、ドグ１３７が近接したときに原点として検出信号を出力する。また、原点検出センサ１３６が例えば光電センサであれば、ドグ１３７が近接したときに反射を受光して原点として検出信号を出力する。このように原点検出センサ１３６は原点検出が可能な各種のセンサを採用することができる。 The origin detection sensor 136 detects the origin of the sun gear 126 by detecting the dog 137 protruding downward from the second sun gear drive gear 124. The origin detection sensor 136 is connected to a calculation control unit (not shown) and detects the mechanical origin of the sun gear 126.
The dog 137 is a metal body, for example, and functions as an origin position detection body of the origin detection sensor 136.
If the origin detection sensor 136 is, for example, a proximity sensor, a detection signal is output as the origin when the dog 137 approaches. Further, if the origin detection sensor 136 is, for example, a photoelectric sensor, the reflection is received when the dog 137 approaches, and a detection signal is output as the origin. Thus, the origin detection sensor 136 can employ various sensors capable of detecting the origin.

ワークキャリア１３８は、図１，図２，図４で示すように下定盤１１０上に配置されている。ワークキャリア１３８は、サンギア１２６およびインターナルギア１３５に噛み合うようになされている。なお、本形態では、ピンギアに噛み合うようになされているが、通常の歯面を外周に形成する形態としてもよい。ワークキャリア１３８においてワーク２００を保持するワーク保持孔が形成される。ワークキャリア１３８はワークに応じて各種用意されており、１個のワークキャリア１３８に１個のワーク保持孔が形成されるものであったり、または、複数個のワーク保持孔が形成されるものであったりする。本形態では図４でも明らかなように例示的に５個のワーク保持孔を備えるワークキャリア１３８を用いるものとして説明する。そして、このようなワークキャリア１３８は、複数個（本形態では例示的に５個）配置されるものとして説明する。本形態ではワークは２５個配置されることとなる。 The work carrier 138 is disposed on the lower surface plate 110 as shown in FIGS. The work carrier 138 meshes with the sun gear 126 and the internal gear 135. In this embodiment, the pin gear is engaged, but a normal tooth surface may be formed on the outer periphery. A work holding hole for holding the work 200 is formed in the work carrier 138. Various work carriers 138 are prepared depending on the work, and one work carrier 138 is formed with one work holding hole, or a plurality of work holding holes are formed. There is. In the present embodiment, as will be apparent from FIG. 4, an example will be described in which a work carrier 138 having five work holding holes is used. A description will be given assuming that a plurality of such work carriers 138 (five illustratively in this embodiment) are arranged. In this embodiment, 25 workpieces are arranged.

このような両面研磨装置１００では、下定盤１１０、および、上定盤１１８はそれぞれが独立して回転するが、サンギア１２６、および、インターナルギア１３５は、逆転用ギアトレーン１２７によりサンギア１２６に対してインターナルギア１３５が逆転し、また、正転用ギアトレーン１２８によりサンギア１２６に対してインターナルギア１３５も同じ方向に正転するようになされている。 In such a double-side polishing apparatus 100, the lower surface plate 110 and the upper surface plate 118 rotate independently of each other, but the sun gear 126 and the internal gear 135 are moved relative to the sun gear 126 by the reverse gear train 127. The internal gear 135 is reversely rotated, and the internal gear 135 is also rotated forward in the same direction with respect to the sun gear 126 by the forward rotation gear train 128.

下定盤駆動モータ１０６、上定盤駆動モータ１１１、サンギア駆動モータ１２２は、いずれもモータドライバ装置に接続され、演算制御部により回転が制御されており、回転速度を調節して最適なラッピング・ポリッシングを行う。さらに、サンギア駆動モータ１２２では、演算制御部により回転量も同時に制御されている。 The lower surface plate drive motor 106, the upper surface plate drive motor 111, and the sun gear drive motor 122 are all connected to the motor driver device, and the rotation is controlled by the arithmetic control unit, and the optimum lapping and polishing is performed by adjusting the rotation speed. I do. Further, in the sun gear drive motor 122, the rotation amount is simultaneously controlled by the arithmetic control unit.

続いて、正転・逆転について説明する。
逆転時は、図３（ａ）で示すように、クラッチ１３０を逆転用ギアトレーン１２７（第１のギアトレーン）に連結する。すると、図４（ａ）で示すように、サンギア１２６とインターナルギア１３５は逆転し、かつサンギア１２６の線速度とインターナルギア１３５の線速度とが同じ線速度Ｖとなるため、ワークキャリア１３８は公転することなく自転のみする。この自転は、下定盤１１０および上定盤１１８にワーク２００を挟んで研磨するときに行う。 Next, normal rotation and reverse rotation will be described.
At the time of reverse rotation, as shown in FIG. 3A, the clutch 130 is connected to the reverse gear train 127 (first gear train). Then, as shown in FIG. 4 (a), the sun gear 126 and the internal gear 135 are reversed, and the linear velocity of the sun gear 126 and the linear velocity of the internal gear 135 become the same linear velocity V, so that the work carrier 138 revolves. Only rotate without doing. This rotation is performed when the workpiece 200 is sandwiched between the lower surface plate 110 and the upper surface plate 118 for polishing.

正転時は、図３（ｂ）で示すように、クラッチ１３０を正転用ギアトレーン１２８（第２のギアトレーン）に連結する。すると、図４（ｂ）で示すように、サンギア１２６とインターナルギア１３５は正転し、かつサンギア１２６の角速度とインターナルギア１３５の角速度とが同じ速度となるため、ワークキャリア１３８は自転することなく公転のみする。この公転は、ワークキャリア１３８をローディング位置およびアンローディング位置に移動させるときに行う。 At the time of forward rotation, as shown in FIG. 3B, the clutch 130 is coupled to the forward rotation gear train 128 (second gear train). Then, as shown in FIG. 4B, the sun gear 126 and the internal gear 135 rotate in the forward direction, and the angular velocity of the sun gear 126 and the angular velocity of the internal gear 135 are the same, so that the work carrier 138 does not rotate. Only revolve. This revolution is performed when the work carrier 138 is moved to the loading position and the unloading position.

このような本発明では、１つのモータ（サンギア駆動モータ１２２）でサンギア１２６およびインターナルギア１３５を駆動すると同時に、キャリア駆動時にワークキャリア１３８が公転せずに自転する回転比となるギア構成としているので、機械的に誤差が生じないようにしており、従来技術のように演算制御部での繰り返し計算により発生する累積誤差を考慮する必要がない。つまり、モータの回転数からワークキャリアの回転方向位置を容易に決めることができる。また、研磨時ではワークキャリア１３８はその場で自転するので公転によりずれが生じることはない。 In the present invention, since the sun gear 126 and the internal gear 135 are driven by one motor (sun gear drive motor 122), the gear carrier has a rotation ratio that allows the work carrier 138 to rotate without revolving at the time of carrier driving. Thus, no error is generated mechanically, and there is no need to consider the accumulated error generated by the repeated calculation in the arithmetic control unit as in the prior art. That is, the rotational direction position of the work carrier can be easily determined from the rotational speed of the motor. Further, since the work carrier 138 rotates on the spot at the time of polishing, there is no deviation due to revolution.

さらに、原点検出センサ１３６は、ワークキャリア１３８のセット時に、サンギア１２６の機械的原点を合わせる操作を行う際に用いられる。なお、従来の装置ではサンギアおよびインターナルギアのそれぞれに原点センサを設けているが、本発明ではサンギア１２６とインターナルギア１３５とは逆転用ギアトレーン１２７または正転用ギアトレーン１２８に連結されているので、インターナルギア１３５の機械的原点は特に定義する必要はなく、サンギア１２６の歯数を１ピッチとする整数倍の歯数の位置に位置決めされる。 Further, the origin detection sensor 136 is used when performing an operation of aligning the mechanical origin of the sun gear 126 when the work carrier 138 is set. In the conventional apparatus, an origin sensor is provided for each of the sun gear and the internal gear, but in the present invention, the sun gear 126 and the internal gear 135 are connected to the reverse gear train 127 or the forward gear train 128. The mechanical origin of the internal gear 135 does not need to be defined in particular, and is positioned at a position having an integral multiple of the number of teeth of the sun gear 126 as one pitch.

上記のように、本発明の両面研磨装置１００では第１のワークキャリア１３８がワーク給排位置にあるときにサンギア１２６は原点位置にあるので、このタイミングで原点検出センサ１３６を使って機械的原点出しを毎回行うこともできる。更新された原点を基準として位置決めを行うため、正確な位置決めが行われる。よって、位置決め精度の確保あるいは確認を逐次行うことができ、装置の信頼性を向上させることができる。なお、通常の装置（サンギアとインターナルギアが独立している装置では実施できない）ではこのような操作ができないので、次の各ギアをリセットするときまで誤差が累積することは避けられない。 As described above, in the double-side polishing apparatus 100 of the present invention, since the sun gear 126 is at the origin position when the first work carrier 138 is at the workpiece supply / discharge position, the mechanical origin is detected using the origin detection sensor 136 at this timing. It can also be done every time. Since positioning is performed with the updated origin as a reference, accurate positioning is performed. Therefore, positioning accuracy can be ensured or confirmed sequentially, and the reliability of the apparatus can be improved. It should be noted that such an operation cannot be performed with a normal device (which cannot be performed with a device in which the sun gear and the internal gear are independent), and therefore it is inevitable that errors will accumulate until the next gear is reset.

続いて研磨について説明する。研磨をする場合は、ワークキャリア１３８を自転のみ行わせる。ワークキャリア１３８を自転させる場合、サンギア１２６およびインターナルギア１３５を逆転用ギアトレーン１２７で機械的に繋ぐ。これにより、１台のサンギア駆動モータ１２２がサンギア１２６を駆動し、また、逆転用ギアトレーン１２７を介してインターナルギア１３５を駆動する。 Next, polishing will be described. When polishing, the work carrier 138 is rotated only. When the work carrier 138 is rotated, the sun gear 126 and the internal gear 135 are mechanically connected by the reverse gear train 127. As a result, one sun gear drive motor 122 drives the sun gear 126 and also drives the internal gear 135 via the reverse gear train 127.

このような構成によれば、例えばサンギア１２６の回転数よりワークキャリア１３８の自転方向位置を容易に算出でき、所定の位置（キャリアセット位置＝ロード位置およびアンロード位置）に停止させることが容易である。サンギア１２６の円周方向の任意の位置に原点検出センサ１３６があり、この位置が前記のキャリアセット位置となるのでこの原点検出センサ１３６の直前にドグ１３７が位置するようにすれば、原点にあるとして演算制御部が演算により算出した回転位置を０にリセットして位置決め誤差を逐次修正することができる。 According to such a configuration, for example, the position of the work carrier 138 in the rotation direction can be easily calculated from the number of rotations of the sun gear 126, and can be easily stopped at a predetermined position (carrier set position = load position and unload position). is there. There is an origin detection sensor 136 at an arbitrary position in the circumferential direction of the sun gear 126, and this position is the carrier setting position. Therefore, if the dog 137 is positioned immediately before the origin detection sensor 136, the origin is detected. As described above, the rotation position calculated by the calculation control unit can be reset to 0 to sequentially correct the positioning error.

なお、従来の独立制御方式では、キャリアセット時にそれぞれのギアの機械原点を位置決めし、以降の制御はこの位置を基に回転数を積算していく。動作を開始してからは各ギアが同時に原点位置にくることは通常考えられないので、次回のキャリア回収〜キャリア再セット時の原点出し操作まで積算データはリセットできず、誤差の累積・拡大が生じてしまう。 In the conventional independent control method, the mechanical origin of each gear is positioned at the time of carrier setting, and the subsequent control integrates the rotational speed based on this position. Since it is usually unthinkable for the gears to reach the home position at the same time after starting operation, the accumulated data cannot be reset from the next carrier recovery to the home search operation at the time of carrier reset, and the accumulated and expanded errors will not be possible. It will occur.

なお、サンギアに代えてインターナルギアの機械原点を検出するようにしてもよいが、サンギアおよびインターナルギアをともに原点検出する必要はない。 The mechanical origin of the internal gear may be detected instead of the sun gear, but it is not necessary to detect the origin of both the sun gear and the internal gear.

続いて、両面研磨装置１００よるローディング位置またはアンローディング位置への移動について説明する。
下定盤１１０上のワークキャリア１３８に対するワーク２００の給排動作時は、サンギア１２６が原点位置にあるときサンギア駆動モータ１２２とインターナルギア１３５との間を正転用ギアトレーン１２８に変更してサンギア１２６とインターナルギア１３５を同方向かつ同じ角速度で回転させることにより、ワークキャリア１３８を自転させず定盤中心軸回りに公転させる。自動化装置でのロード＆アンロード時は以上の公転動作を繰り返して、順次対象となるワークキャリアに対するワークの給排動作を容易に行うことができる。 Next, the movement to the loading position or unloading position by the double-side polishing apparatus 100 will be described.
When the workpiece 200 is supplied to and discharged from the workpiece carrier 138 on the lower surface plate 110, when the sun gear 126 is at the origin position, the space between the sun gear drive motor 122 and the internal gear 135 is changed to the forward rotation gear train 128 to change the sun gear 126 By rotating the internal gear 135 in the same direction and at the same angular velocity, the work carrier 138 is revolved around the center axis of the surface plate without rotating. At the time of loading and unloading by the automation apparatus, the above-mentioned revolution operation can be repeated to easily perform the workpiece supply / discharge operation with respect to the target workpiece carrier sequentially.

すべてのワークキャリア１３８との給排動作が終了し、さらに第１のワークキャリア１３８が給排位置に移動した時点で、再びサンギア駆動モータ１２２とインターナルギア１３５との間を逆転用ギアトレーン１２７で連結することにより加工時のキャリア自転動作を行うように設定する。 When the supply / discharge operation with all the work carriers 138 is completed and the first work carrier 138 is moved to the supply / discharge position, the reverse gear train 127 again passes between the sun gear drive motor 122 and the internal gear 135. It is set to perform carrier rotation operation at the time of processing by connecting.

以上、本発明の両面研磨装置１００について説明した。
このような本発明の両面研磨装置１００によれば、以下のような利点を有する。 The double-side polishing apparatus 100 of the present invention has been described above.
Such a double-side polishing apparatus 100 of the present invention has the following advantages.

（１）ワークキャリア１３８をその場で自転するようにサンギア１２６およびインターナルギア１３５の歯数比を設定して、１台のサンギア駆動モータ１２２により駆動する。以上により、ワークキャリア１３８内のワーク２００を給排するときのワークキャリア位置決めが機械的に決定されて著しく容易となると同時に、位置決め精度も向上するので、自動化装置の信頼性が向上する。 (1) The gear ratio of the sun gear 126 and the internal gear 135 is set so that the work carrier 138 rotates on the spot, and is driven by one sun gear drive motor 122. As described above, positioning of the work carrier when supplying and discharging the work 200 in the work carrier 138 is mechanically determined and is remarkably facilitated, and at the same time, the positioning accuracy is improved, so that the reliability of the automation device is improved.

（２）第１のワークキャリア１３８がワーク給排位置にあるとき、逆転用ギアトレーン１２７から正転用ギアトレーン１２８へ切り替えて、各ワークキャリア１３８を自転させずに定盤中心軸回りに公転できるようにし、他のワークキャリア１３８をワーク給排位置へ移動させる。このような動作を繰り返すことで、ワークキャリア１３８毎のワーク２００の給排作業が容易にできるようになる。 (2) When the first work carrier 138 is at the work supply / discharge position, the reverse gear train 127 can be switched to the forward gear train 128 to revolve around the center axis of the surface plate without rotating each work carrier 138. In this manner, the other work carrier 138 is moved to the work supply / discharge position. By repeating such an operation, the supply / discharge operation of the workpiece 200 for each workpiece carrier 138 can be easily performed.

（３）上記のすべての動作において、サンギア１２６の回転数（〜駆動装置回転数）よりサンギア回転方向位置を容易に求められると同時に、従来の累積誤差などの影響による位置決め誤差が生じることがなく、高精度に位置決めすることができる。さらに、サンギア１２６およびインターナルギア１３５の各動作を１台の駆動装置（サンギア駆動モータ１２２）で容易に行うことができるので、簡易かつ安価にこれらの構造を構築することができる。 (3) In all the above operations, the position in the sun gear rotational direction can be easily obtained from the rotational speed of the sun gear 126 (to the rotational speed of the driving device), and at the same time, no positioning error due to the influence of the conventional cumulative error or the like occurs. , Can be positioned with high accuracy. Furthermore, since each operation of the sun gear 126 and the internal gear 135 can be easily performed by one drive device (sun gear drive motor 122), these structures can be constructed easily and inexpensively.

続いて他の形態について説明する。研磨定盤上に円周方向に複数のワークキャリアを配置して１度に多数のワークを同時研磨する装置において、先に示した工程の自動化を図る方法としてワークのローディングおよびアンローディングをワークキャリア毎に行う場合がある。この場合には、任意の位置に配置したハンドリング装置により、定盤上の特定の位置にあるワークキャリアとの間でワークの給排が行われる。このような場合は、特定のキャリアのローディング位置と加工後のアンローディング位置とを一致させると同時に、複数のワークキャリアが順次上記のローディング位置およびアンローディング位置へ回転・停止する必要がある。ここで、ワークの給排位置とは、ローディング位置およびアンローディング位置であり、ワークキャリアは同じ位置、同じ位相（円周方向位置も同じ）に配置する必要がある。 Next, another embodiment will be described. In an apparatus for simultaneously polishing a large number of workpieces at once by arranging a plurality of workpiece carriers in the circumferential direction on a polishing surface plate, workpiece loading and unloading are performed as a method for automating the above-described processes. May be done every time. In this case, the workpiece is supplied to and discharged from the workpiece carrier at a specific position on the surface plate by the handling device arranged at an arbitrary position. In such a case, it is necessary to make the loading position of the specific carrier coincide with the unloading position after processing, and at the same time, the plurality of work carriers need to be sequentially rotated and stopped to the loading position and the unloading position. Here, the workpiece supply / discharge positions are a loading position and an unloading position, and the work carriers need to be arranged at the same position and the same phase (the same in the circumferential direction).

そこで、図５で示すように、両面研磨装置にハンドリング装置を組み込んだ形態とする。両面研磨装置１００は、上記した形態に加え、さらにストックヤード３００、ハンドリング装置４００を備える。 Therefore, as shown in FIG. 5, the handling device is incorporated in the double-side polishing device. The double-side polishing apparatus 100 further includes a stock yard 300 and a handling apparatus 400 in addition to the above-described form.

ストックヤード３００は、詳しくはローディング用ストックヤードと、アンローディング用ストックヤードと、を備える。
ハンドリング装置４００は、ローディング用ストックヤードからワークを取り出してワーク給排位置にあるワークキャリア１３８にワークをローディングし、また、ワーク給排位置にあるワークキャリア１３８からワークを取り出してアンローディング用ストックヤードへワークを収容させる機能を有している。 Specifically, the stock yard 300 includes a loading stock yard and an unloading stock yard.
The handling device 400 takes out the workpiece from the loading stock yard and loads the workpiece onto the workpiece carrier 138 at the workpiece feeding / discharging position, and also removes the workpiece from the workpiece carrier 138 at the workpiece feeding / discharging position. It has a function to accommodate the workpiece.

続いて、ローディングおよびアンローディングについて説明する。ローディング時では、演算制御装置はハンドリング装置４００を制御し、ローディング用ストックヤードからワーク２００を取り出してワーク給排位置にあるワークキャリア１３８にワークをローディングする。そして、図４（ｂ）で示すようにワークキャリア１３８が公転のみして他のワーク未搭載のワークキャリア１３８をワーク給排位置に配置し、この状態でハンドリング装置４００を制御し、ローディング用ストックヤードからワーク２００を取り出してワークキャリア１３８にワークをローディングする。以下、同様の動作を繰り返していき、すべてのワークキャリア１３８にワークを配置する。 Subsequently, loading and unloading will be described. At the time of loading, the arithmetic and control unit controls the handling unit 400, takes out the workpiece 200 from the loading stock yard, and loads the workpiece onto the workpiece carrier 138 at the workpiece supply / discharge position. Then, as shown in FIG. 4 (b), the work carrier 138 only revolves and another work carrier 138 on which no work is mounted is placed at the work supply / discharge position, and in this state, the handling device 400 is controlled to load the stock for loading. The workpiece 200 is taken out from the yard and loaded onto the workpiece carrier 138. Thereafter, the same operation is repeated, and the work is arranged on all the work carriers 138.

また、アンローディング時では、演算制御装置はハンドリング装置４００を制御し、ワーク給排位置にあるワークキャリア１３８からワークを取り出してアンローディング用ストックヤードへワークを収容させる。そして、図４（ｂ）で示すようにワークキャリア１３８が公転のみして他のワーク搭載のワークキャリア１３８をワーク給排位置に配置し、この状態で演算制御装置はハンドリング装置４００を制御し、ワーク給排位置にあるワークキャリア１３８からワークを取り出す。以下、同様の動作を繰り返していき、すべてのワークキャリア１３８からアンローディング用ストックヤードへワークを収容させる。 At the time of unloading, the arithmetic and control unit controls the handling device 400 to take out the workpiece from the workpiece carrier 138 at the workpiece supply / discharge position and store the workpiece in the unloading stock yard. And as shown in FIG.4 (b), the work carrier 138 only revolves and arrange | positions the work carrier 138 of another workpiece | work in a workpiece supply / discharge position, In this state, the arithmetic and control unit controls the handling device 400, The workpiece is taken out from the workpiece carrier 138 in the workpiece supply / discharge position. Thereafter, the same operation is repeated, and the work is accommodated from all work carriers 138 to the unloading stock yard.

本形態では、例えばワークキャリア１３８の回転方向位置合わせ後、第１のワークキャリア１３８に対してハンドリング装置４００によりワークの給排を行い、その後、インターナルギア１３５の伝達系統を切り替えてワークキャリア１３８が姿勢を保持した状態で定盤中心軸回りに公転するようにして、第２のワークキャリア１３８以降のワークキャリア１３８を第１のワークキャリア１３８と同じ位置へ移動させて、ワークキャリア１３８毎にワーク２００の給排を行うことができるようにしている。 In this embodiment, for example, after aligning the rotation direction of the work carrier 138, the work carrier 138 supplies and discharges the work by the handling device 400, and then the transmission system of the internal gear 135 is switched to change the work carrier 138. The workpiece carrier 138 after the second work carrier 138 is moved to the same position as the first work carrier 138 so as to revolve around the center axis of the surface plate while maintaining the posture, and the workpiece is moved for each work carrier 138. 200 supply / discharge can be performed.

続いて実施例について説明する。先のワークキャリア１３８の枚数は、図６（ａ）でも示すように、５枚であるものとして説明した。この場合、サンギア１２６、インターナルギア１３５およびワークキャリア１３８の歯数は次のようになる。
なお、以下に示す計算例の中で定義する係数；ｋ１およびｋ２は、任意の整数であり、
キャリア同士が干渉しない等の条件で任意に設定する数値である。一般には、ワークの形状や一度に加工できる枚数などを勘案して決定する。 Next, examples will be described. The number of the previous work carriers 138 has been described as being five as shown in FIG. In this case, the number of teeth of the sun gear 126, the internal gear 135, and the work carrier 138 is as follows.
The coefficients defined in the following calculation examples; k1 and k2 are arbitrary integers,
It is a numerical value that is arbitrarily set under conditions such that carriers do not interfere with each other. Generally, it is determined in consideration of the shape of the workpiece and the number of workpieces that can be processed at one time.

［数１］
キャリア配置枚数；ｎ＝５
係数；ｋ１＝８
係数；ｋ２＝９
キャリア歯数；ｋ２×ｎ＝９×５＝４５
サンギア歯数；ｋ１×ｎ＝８×５＝４０
インターナルギア歯数；(ｋ１×ｎ)＋２(ｋ２×ｎ)＝(８×５)＋２(９×５)＝１３０ [Equation 1]
Number of carriers arranged; n = 5
Coefficient; k1 = 8
Coefficient; k2 = 9
Number of carrier teeth; k2 × n = 9 × 5 = 45
Sun gear teeth number; k1 × n = 8 × 5 = 40
Number of internal gear teeth; (k1 × n) +2 (k2 × n) = (8 × 5) +2 (9 × 5) = 130

そして、これら歯数はワークキャリア１３８の枚数によって変更される。先のワークキャリア１３８の枚数を、図６（ｂ）でも示すように、４枚とした場合、サンギア１２６、インターナルギア１３５およびワークキャリア１３８の歯数は次のようになる。 The number of teeth is changed depending on the number of work carriers 138. When the number of the previous work carriers 138 is four as shown in FIG. 6B, the number of teeth of the sun gear 126, the internal gear 135, and the work carrier 138 is as follows.

［数２］
キャリア配置枚数；ｎ＝４
係数；ｋ１＝８
係数；ｋ２＝１２
キャリア歯数；ｋ２×ｎ＝１２×４＝４８
サンギア歯数；ｋ１×ｎ＝８×４＝３２
インターナルギア歯数；(ｋ１×ｎ)＋２(ｋ２×ｎ)＝(８×４)＋２(１２×４)＝１２８ [Equation 2]
Number of carriers arranged; n = 4
Coefficient; k1 = 8
Coefficient; k2 = 12
Number of carrier teeth; k2 × n = 12 × 4 = 48
Sun gear teeth number; k1 × n = 8 × 4 = 32
Internal gear teeth number; (k1 × n) +2 (k2 × n) = (8 × 4) +2 (12 × 4) = 128

また、先のワークキャリア１３８の枚数を、図６（ｃ）でも示すように、３枚とした場合、サンギア１２６、インターナルギア１３５およびワークキャリア１３８の歯数は次のようになる。 When the number of the previous work carriers 138 is three as shown in FIG. 6C, the number of teeth of the sun gear 126, the internal gear 135, and the work carrier 138 is as follows.

［数３］
キャリア配置枚数；ｎ＝３
係数；ｋ１＝６
係数；ｋ２＝１８
キャリア歯数；ｋ２×ｎ＝１８×３＝５４
サンギア歯数；ｋ１×ｎ＝６×３＝１８
インターナルギア歯数；(ｋ１×ｎ)＋２(ｋ２×ｎ)＝(６×３)＋２（１８×３)＝１２６ [Equation 3]
Number of carriers arranged; n = 3
Coefficient; k1 = 6
Coefficient; k2 = 18
Number of carrier teeth; k2 × n = 18 × 3 = 54
Sun gear teeth number; k1 × n = 6 × 3 = 18
Number of internal gear teeth; (k1 × n) +2 (k2 × n) = (6 × 3) +2 (18 × 3) = 126

ワークキャリア１３８の枚数が３枚の場合は、サンギア１２６とインターナルギア１３５とで歯数の差が大きくなってこれ以下の枚数は好ましくなく、実際的にはワークキャリア１３８の枚数が３枚、４枚、５枚が適当であるが、もちろんこの数値に限定されるものではなく、適宜設計により最適な数値が選択される。 When the number of workpiece carriers 138 is three, the difference in the number of teeth between the sun gear 126 and the internal gear 135 is large, and a number smaller than this is not preferable. Actually, the number of workpiece carriers 138 is three, four Although 5 sheets and 5 sheets are suitable, of course, it is not limited to this numerical value, and an optimal numerical value is appropriately selected by design.

以上のような本発明に係る両面研磨装置は特にハードディスク用基板、シリコンウエハや透明ガラス基板というワークの研磨に適している。 The double-side polishing apparatus according to the present invention as described above is particularly suitable for polishing a workpiece such as a hard disk substrate, a silicon wafer, or a transparent glass substrate.

１００：両面研磨装置
１０１：ベース台部
１０２：ギアボックス
１０３：蓋部
１０４：軸支部
１０５：中間ベース
１０６：下定盤駆動モータ
１０７：第１下定盤駆動ギア
１０８：第２下定盤駆動ギア
１０９：下定盤駆動体
１１０：下定盤
１１１：上定盤駆動モータ
１１２：第１上定盤駆動ギア
１１３：第２上定盤駆動ギア
１１４：上定盤駆動体
１１５：自在継手
１１６：上定盤吊り板
１１７：上定盤支持部
１１８：上定盤
１１９：上定盤駆動系ベース部
１２０：シリンダ
１２１：シャフト
１２２：サンギア駆動モータ
１２３：第１サンギア駆動ギア
１２４：第２サンギア駆動ギア
１２５：サンギア駆動体
１２６：サンギア
１２７：逆転用ギアトレーン
１２７ａ：第１逆転駆動ギア
１２７ｂ：第２逆転駆動ギア
１２８：正転用ギアトレーン
１２８ａ：第１正転駆動ギア
１２８ｂ：第２正転駆動ギア
１２８ｃ：第３正転駆動ギア
１２９：インターナルギア駆動シャフト
１３０：クラッチ
１３０ａ：溝付き筒体
１３０ｂ：キー
１３０ｃ：摺動体
１３０ｄ：切換用シリンダ
１３０ｅ：逆転用噛み合わせ部
１３０ｆ：正転用噛み合わせ部
１３１：上側支持部
１３２：下側支持部
１３３：中間ギア
１３４：インターナルギア駆動体
１３５：インターナルギア
１３６：原点検出センサ
１３７：ドグ
１３８：ワークキャリア
２００：ワーク
３００：ストックヤード
４００：ハンドリング装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 100: Double-side polish apparatus 101: Base base part 102: Gear box 103: Cover part 104: Shaft support part 105: Intermediate base 106: Lower surface plate drive motor 107: 1st lower surface plate drive gear 108: 2nd lower surface plate drive gear 109: Lower surface plate driving body 110: Lower surface plate 111: Upper surface plate driving motor 112: First upper surface plate driving gear 113: Second upper surface plate driving gear 114: Upper surface plate driving body 115: Universal joint 116: Upper surface plate hanging Plate 117: Upper surface plate support portion 118: Upper surface plate 119: Upper surface plate drive system base portion 120: Cylinder 121: Shaft 122: Sun gear drive motor 123: First sun gear drive gear 124: Second sun gear drive gear 125: Sun gear Drive 126: Sun gear 127: Reverse gear train 127a: First reverse drive gear 127b: Second reverse drive gear 128: Forward gear train 12 a: first forward drive gear 128b: second forward drive gear 128c: third forward drive gear 129: internal gear drive shaft 130: clutch 130a: grooved cylinder 130b: key 130c: sliding body 130d: for switching Cylinder 130e: reverse meshing portion 130f: forward meshing portion 131: upper support portion 132: lower support portion 133: intermediate gear 134: internal gear driver 135: internal gear 136: origin detection sensor 137: dog 138: Work carrier 200: Work 300: Stock yard 400: Handling device

Claims

The sun gear is rotationally driven by the sun gear rotation drive unit including the sun gear drive motor, and the internal gear is rotationally driven by the internal gear rotation drive unit, and the work carrier provided with the work holding holes is arranged in a horizontal plane. The sun gear and the internal gear are placed in a state where both the front and back surfaces of the work inserted into the work holding hole are sandwiched between the lower surface plate and the upper surface plate. A double-side polishing apparatus that rotates or revolves the work carrier to rotate or revolve, and wraps or polishes the work by rotating the upper surface plate and the lower surface plate relative to the work carrier,
The rotation from the sun gear rotation drive unit is mechanically transmitted to the internal gear rotation drive unit, and the internal gear is rotated in the opposite rotation direction to the rotation direction of the sun gear and at the same peripheral speed, so that the work carrier is revolved. A first gear train having a gear arrangement that allows only rotation on the spot without being
Rotation from the sun gear rotation drive unit is mechanically transmitted to the internal gear rotation drive unit, and the internal gear is rotated in the same rotation direction and at the same angular velocity with respect to the rotation direction of the sun gear, so that the work carrier does not rotate. A second gear train having a gear arrangement that only causes revolving;
Equipped with a,
When polishing, the first gear train connects the sun gear rotation driving unit and the internal gear rotation driving unit to rotate the work carrier only to rotate the workpiece, and during loading or unloading, the sun gear rotation driving unit and the internal gear rotation driving are performed. double-side polishing apparatus and a part by only revolve workpiece carrier connects the second gear train, characterized in Rukoto is moved to the loading position or the unloading position.

An origin detection sensor for detecting an origin serving as a rotation reference of the sun gear or the internal gear;
An arithmetic control unit for controlling the position of the work carrier while correcting the positioning error based on the origin detected by the origin detection sensor;
Double-side polishing apparatus according to claim 1, characterized in that it comprises a.