JP5838726B2 - サファイア単結晶の製造装置及び製造方法 - Google Patents
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Description
11 チャンバー
12 支持回転軸
13 支持台
14 モリブデンルツボ
15 抵抗加熱ヒーター
15a 上部ヒーター
15b 下部ヒーター
16 支持軸回転機構
17 覗き窓
18 シード棒
19 引き上げ機構
20 サファイア単結晶
21 サファイア融液
22 断熱材
23 コントローラ
24 ガス導入口
25 ガス管
26 コンダクタンスバルブ
27 ガス排出口
28 排ガス管
29 コンダクタンスバルブ
30 真空ポンプ
Claims (5)
- サファイア融液を保持するモリブデンルツボと、
前記サファイア融液に浸漬した種結晶を引き上げる引き上げ機構と、
前記モリブデンルツボを囲繞し、軸方向に分割された複数の抵抗加熱ヒーターと、
前記複数の抵抗加熱ヒーターの出力をそれぞれ制御するコントローラと、を備え、
前記複数の抵抗加熱ヒーターは、上部ヒーターと下部ヒーターを含み、
前記コントローラは、サファイア原料を融解する際における前記上部ヒーターの出力を、前記上部ヒーターと前記下部ヒーターの合計出力の50%以下に設定することを特徴とするサファイア単結晶の製造装置。 - 前記上部ヒーターは、前記モリブデンルツボよりも大きな直径を有する円筒状の部材であり、
前記下部ヒーターは、前記上部ヒーターと同一の直径を有する円筒状の部材であり、
前記モリブデンルツボは前記上部ヒーター及び前記下部ヒーターの内側に配置されている、請求項1に記載のサファイア単結晶の製造装置。 - 前記モリブデンルツボを収容するチャンバーと、
前記抵抗加熱ヒーターの外側の周囲を囲むように前記チャンバー内に設けられた断熱材とをさらに備え、
前記断熱材は前記抵抗加熱ヒーターの上方及び下方を覆っている、請求項1又は2に記載のサファイア単結晶の製造装置。 - 前記上部ヒーターの上端部が前記モリブデンルツボの上端部よりも下側に位置し、且つ、前記上部ヒーターの下端部が前記モリブデンルツボの底部よりも上側に位置しているとき、
前記下部ヒーターの上端部は前記モリブデンルツボの底部よりも上側に位置し、且つ、前記下部ヒーターの下端部は前記モリブデンルツボの底部よりも下側に位置している、請求項1乃至3のいずれか一項に記載のサファイア単結晶の製造装置。 - モリブデンルツボに投入されたサファイア原料を融解することによって、サファイア融液を得る融解工程と、
前記サファイア融液に浸漬した種結晶を引き上げることによってサファイア単結晶を得る引き上げ工程と、を備え、
前記融解工程においては、前記モリブデンルツボを囲繞し、軸方向に分割された上部ヒーター及び下部ヒーターからなる抵抗加熱ヒーターを用い、前記上部ヒーターの出力を前記上部ヒーターと前記下部ヒーターの合計出力の50%以下に設定して加熱を行うことを特徴とするサファイア単結晶の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011237013A JP5838726B2 (ja) | 2011-10-28 | 2011-10-28 | サファイア単結晶の製造装置及び製造方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011237013A JP5838726B2 (ja) | 2011-10-28 | 2011-10-28 | サファイア単結晶の製造装置及び製造方法 |
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JP2013095610A JP2013095610A (ja) | 2013-05-20 |
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ID=48617951
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Country | Link |
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JP (1) | JP5838726B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101654856B1 (ko) * | 2015-01-22 | 2016-09-06 | 주식회사 사파이어테크놀로지 | 단결정 성장용 히터 및 이를 이용한 단결정 성장장치 및 성장방법. |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101285935B1 (ko) * | 2011-01-19 | 2013-07-12 | 주식회사 엘지실트론 | 저항 가열 사파이어 단결정 잉곳 성장장치, 저항 가열 사파이어 단결정 잉곳 제조방법, 사파이어 단결정 잉곳 및 사파이어 웨이퍼 |
JP2013006758A (ja) * | 2011-05-20 | 2013-01-10 | Showa Denko Kk | 単結晶製造装置、単結晶製造方法および単結晶 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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