JP5838081B2 - Optical characteristic unevenness measuring apparatus and optical characteristic unevenness measuring method - Google Patents
Optical characteristic unevenness measuring apparatus and optical characteristic unevenness measuring method Download PDFInfo
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Description
本発明は、光特性値のムラ(輝度ムラや色度ムラ等)を測定する光特性ムラ測定装置及び光特性ムラ測定方法に関する。本発明は、例えば、照明器用LED(Light Emitting Diode) 実装基板等の、光特性ムラの測定に適用することができる。 The present invention relates to an optical characteristic unevenness measuring apparatus and an optical characteristic unevenness measuring method for measuring unevenness of optical characteristic values (luminance unevenness, chromaticity unevenness, etc.). The present invention can be applied to, for example, measurement of unevenness in light characteristics of an illuminator LED (Light Emitting Diode) mounting substrate or the like.
照明装置や表示装置等の光特性ムラを測定、評価する技術としては、例えば、下記特許文献1に記載されたものが知られている(特許文献1の段落[0064]等参照)。
As a technique for measuring and evaluating light characteristic unevenness of an illumination device, a display device, or the like, for example, one described in
特許文献1の色ムラ測定装置では、まず、スクリーン21にカラーパターンを表示する。そして、このカラーパターンを撮像装置3で撮像する。
In the color unevenness measuring apparatus of
続いて、検査対象測定位置51と色度と、比較測定位置52の色度とを検出する。 Subsequently, the inspection target measurement position 51 and chromaticity, and the chromaticity of the comparative measurement position 52 are detected.
その後、これら測定位置51、52の色度差を算出し、この色度差に基づいて、色度ムラを評価する。 Thereafter, a chromaticity difference between the measurement positions 51 and 52 is calculated, and chromaticity unevenness is evaluated based on the chromaticity difference.
上述のように、従来の評価方法では、測定対象物(特許文献1の例では、スクリーン)の複数の測定位置を、1台の撮像装置で同時に撮像して、色度ムラの評価に使用している。
As described above, in the conventional evaluation method, a plurality of measurement positions of an object to be measured (in the example of
しかしながら、このような方法では、撮像装置に受光される光の放射角が、測定位置毎に相違することになる。 However, with such a method, the radiation angle of the light received by the imaging device differs for each measurement position.
例えば測定対象物の中央点を通る法線上に撮像装置を配置した場合、この撮像装置は、中央点からの放射光(すなわち、法線方向に放射された光)と、測定対象物の端部からの放射光(すなわち、法線に対して斜めの方向に放射された光)とを同時に受光して比較することになる。 For example, when the imaging device is disposed on a normal line passing through the center point of the measurement object, the imaging device is configured to emit light from the center point (that is, light emitted in the normal direction) and an end portion of the measurement object. Are simultaneously received and compared with the radiated light (that is, the light emitted in a direction oblique to the normal).
このため、このような評価方法では、測定位置毎に測定条件が異なることになって、色度ムラを正確に評価することができない場合がある。例えば、LED等の光指向性が高い発光源では、法線方向に放射された光と斜め方向に放射された光とで、輝度や色度が大きく異なる。このため、例えば蛍光灯用LED実装基板等において、中央点に配置された発光素子の放射光と、端部に配置された発光素子の放射光とを、同一の撮像装置で同時に測定・比較しても、輝度ムラや色度ムラを精度良く評価することはできない。 For this reason, in such an evaluation method, measurement conditions differ for each measurement position, and chromaticity unevenness may not be accurately evaluated. For example, in a light source having high light directivity such as an LED, the luminance and chromaticity are greatly different between light emitted in the normal direction and light emitted in an oblique direction. For this reason, for example, in the LED mounting substrate for a fluorescent lamp, the emitted light of the light emitting element arranged at the center point and the emitted light of the light emitting element arranged at the end are simultaneously measured and compared with the same imaging device. However, luminance unevenness and chromaticity unevenness cannot be accurately evaluated.
これに対して、測定対象物の一端側から他端側に撮像装置を相対移動させながら撮像を行うこととすれば、一行分の全ての測定位置の放射光を同一の角度から撮像することが可能である。しかし、この方法は、撮像装置又は測定対象物を移動させながら順次撮像を行っていく必要があるので、測定時間が長くなるという新たな欠点を招く。 On the other hand, if imaging is performed while relatively moving the imaging device from one end side to the other end side of the measurement object, the radiated light at all measurement positions for one line can be imaged from the same angle. Is possible. However, since this method needs to sequentially perform imaging while moving the imaging device or the measurement object, it introduces a new drawback that the measurement time becomes long.
本発明の課題は、光特性ムラを短時間で高精度に測定することができる光特性ムラ測定装置及び光特性ムラ測定方法を提供する点にある。 An object of the present invention is to provide an optical characteristic unevenness measuring apparatus and an optical characteristic unevenness measuring method capable of measuring optical characteristic unevenness with high accuracy in a short time.
本発明に係る光特性ムラ測定装置は、配列された複数の測定対象物の表面にそれぞれ複数個ずつ設けられた測定点を撮像して、該測定点から入射された光の特性値を検出する撮像部と、前記測定点の中から、前記測定対象物毎に基準測定点を定めて、他の測定点の前記特性値を、該測定点から前記撮像部へ入射される光の放射角が、対応する該基準測定点の該入射角と同一であるときの値に補正する処理を実行するための、補正用データを記憶する記憶部と、前記補正用データを用いて、前記他の測定点の前記特性値を補正する補正演算部と、を備え、補正後の該他の測定点の該特性値を、対応する前記基準測定点の該特性値と比較することで、該測定対象物毎の光特性ムラを測定することを特徴とする。 An optical characteristic unevenness measuring apparatus according to the present invention images a plurality of measurement points provided on the surface of a plurality of measurement objects arranged, and detects a characteristic value of light incident from the measurement point. From the imaging unit and the measurement point, a reference measurement point is determined for each measurement object, the characteristic value of the other measurement point is determined, and the radiation angle of light incident on the imaging unit from the measurement point is A storage unit for storing correction data for executing a process of correcting to the value at the same time as the incident angle of the corresponding reference measurement point, and the other measurement using the correction data A correction operation unit for correcting the characteristic value of the point, and comparing the characteristic value of the other measurement point after correction with the characteristic value of the corresponding reference measurement point, It is characterized in that the optical characteristic unevenness is measured every time .
本発明の光特性ムラ測定装置は、上記構成に加えて、前記補正用データは、前記放射角を変化させながら配光測定用光源の前記特性値をそれぞれ測定し、これら複数の測定結果を用いて、前記基準となる放射角における前記測定結果と他の放射角における前記測定結果との比をそれぞれ演算することで生成されることとすることができる。 In addition to the above-described configuration, the optical characteristic unevenness measuring device of the present invention measures the characteristic values of the light distribution measurement light source while changing the radiation angle, and uses the plurality of measurement results. Thus, it can be generated by calculating a ratio between the measurement result at the reference radiation angle and the measurement result at another radiation angle.
本発明の光特性ムラ測定装置は、上記構成に加えて、いずれか2個の前記測定点に対応する前記測定結果及び前記放射角を用いて、他のいずれかの前記測定点に対応する前記補正用データを演算することとすることができる。 In addition to the above configuration, the optical characteristic unevenness measuring apparatus of the present invention uses the measurement result and the radiation angle corresponding to any two of the measurement points, and corresponds to any of the other measurement points. Correction data can be calculated.
本発明の光特性ムラ測定装置は、前記撮像部が、全ての前記測定対象物の全ての前記測定点を同時に撮像する構成とすることができる。 Light characteristics unevenness measuring apparatus of the present invention, the imaging unit may be configured to simultaneously imaging all of the measurement points of all the measurement object.
本発明の光特性ムラ測定装置は、上記構成に加えて、前記配列された複数の測定対象物の内、所定本数の該測定対象物のみに光放射を行わせた状態で、前記撮像部が、該所定本数の測定対象物の全ての前記測定点を同時に撮像した後、該所定本数の測定対象物の光放射を終了させる処理を繰り返すことにより、全ての該測定対象物の全ての前記測定点を撮像する構成とすることができる。 In addition to the above-described configuration, the optical characteristic unevenness measuring apparatus of the present invention is configured such that the imaging unit is configured to emit light only to a predetermined number of measurement objects among the plurality of measurement objects arranged. , After imaging all the measurement points of the predetermined number of measurement objects at the same time, by repeating the process of terminating the light emission of the predetermined number of measurement objects, all the measurements of all the measurement objects It can be set as the structure which images a point .
本発明の光特性ムラ測定装置は、上記構成に加えて、前記配列された複数の測定対象物を、整列配置された状態で一体に製造された、複数本のLED実装基板とすることができる。 In addition to the above-described configuration, the optical characteristic unevenness measuring apparatus of the present invention can be a plurality of LED mounting substrates in which the plurality of arrayed measurement objects are integrally manufactured in an aligned state. .
本発明に係る光特性ムラ測定方法は、配列された複数の測定対象物の表面にそれぞれ複数個ずつ設けられた測定点を撮像部で撮像して、該測定点から入射された光の特性値を検出する撮像ステップと、前記測定点の中から、前記測定対象物毎に基準測定点を定めて、他の測定点の前記特性値を、該測定点から前記撮像部へ入射される光の放射角が、対応する該基準測定点の該入射角と同一であるときの値に補正する補正演算ステップと、補正後の該他の測定点の該特性値を、対応する前記基準測定点の該特性値と比較する光特性ムラ演算ステップとを有する。 In the optical characteristic unevenness measuring method according to the present invention, a plurality of measurement points each provided on the surface of a plurality of measurement objects arranged are imaged by an imaging unit, and a characteristic value of light incident from the measurement point is measured. An imaging step for detecting a reference measurement point for each measurement object from among the measurement points, and the characteristic values of the other measurement points for the light incident on the imaging unit from the measurement points A correction calculation step for correcting the radiation angle to a value when the incident angle is the same as the incident angle of the corresponding reference measurement point, and the characteristic value of the other measurement point after correction is And an optical characteristic unevenness calculating step for comparing with the characteristic value .
本発明の光特性ムラ測定方法は、上記構成に加えて、前記補正用データは、前記放射角を変化させながら配光測定用光源の前記特性値をそれぞれ測定し、これら複数の測定結果を用いて、前記基準となる放射角における前記測定結果と他の放射角における前記測定結果との比をそれぞれ演算することで生成されることとすることができる。 The optical characteristic unevenness measuring method of the present invention, in addition to the above-described configuration, uses the plurality of measurement results as the correction data by measuring the characteristic values of the light distribution measurement light source while changing the radiation angle. Thus, it can be generated by calculating a ratio between the measurement result at the reference radiation angle and the measurement result at another radiation angle.
本発明の光特性ムラ測定方法は、上記構成に加えて、いずれか2個の前記測定点に対応する前記測定結果及び前記放射角を用いて、他のいずれかの前記測定点に対応する前記補正用データを演算することとすることができる。 In addition to the above configuration, the optical characteristic unevenness measuring method of the present invention uses the measurement result corresponding to any two of the measurement points and the radiation angle, and corresponds to any of the other measurement points. Correction data can be calculated.
本発明の光特性ムラ測定方法は、上記構成に加えて、前記撮像ステップを、全ての前記測定対象物の全ての前記測定点を同時に撮像するステップとすることができる。 Light characteristics unevenness measuring method of the present invention, in addition to the above structure, the imaging step may be a step of simultaneously imaging all of the measurement points of all the measurement object.
本発明の光特性ムラ測定方法は、上記構成に加えて、前記撮像ステップを、前記配列された複数の測定対象物の内、所定本数の該測定対象物のみに光放射を行わせた状態で、該所定本数の測定対象物の全ての前記測定点を同時に撮像した後、該所定本数の測定対象物の光放射を終了させる処理を繰り返すことにより、全ての該測定対象物の全ての前記測定点を撮像するステップとすることができる。 In addition to the above-described configuration, the optical characteristic unevenness measuring method of the present invention performs the imaging step in a state where light emission is performed only on a predetermined number of the measurement objects among the plurality of measurement objects arranged in the array. , After imaging all the measurement points of the predetermined number of measurement objects at the same time, by repeating the process of terminating the light emission of the predetermined number of measurement objects, all the measurements of all the measurement objects It can be a step of imaging a point .
本発明の光特性ムラ測定方法は、上記構成に加えて、前記配列された複数の測定対象物を、整列配置された状態で一体に製造された、複数本のLED実装基板とすることができる。 In addition to the above configuration, the optical characteristic unevenness measuring method of the present invention can be a plurality of LED mounting substrates in which the plurality of arrayed measurement objects are integrally manufactured in an aligned state. .
本発明によれば、測定対象物の表面に直線状に配列された測定点の光特性値を、同一の放射角に対応する値に補正することができる。従って、本発明によれば、撮像部の位置や方向を変更せずに各測定点を撮像するにも拘わらず、光特性ムラを高精度に測定することができる。従って、本発明によれば、光特性ムラを短時間で高精度に測定することができる。 According to the present invention, it is possible to correct the optical characteristic value of the measurement points arranged in a straight line on the surface of the measurement object to a value corresponding to the same radiation angle. Therefore, according to the present invention, it is possible to measure the optical characteristic unevenness with high accuracy despite imaging each measurement point without changing the position or direction of the imaging unit. Therefore, according to the present invention, optical characteristic unevenness can be measured with high accuracy in a short time.
本発明によれば、補正用データとして、基準となる放射角における光特性測定結果と他の放射角における光特性測定結果との比を使用することにより、簡単な演算処理によって光特性の補正を行うことができる。 According to the present invention, by using the ratio of the optical characteristic measurement result at the reference radiation angle and the optical characteristic measurement result at another radiation angle as the correction data, the optical characteristic can be corrected by simple arithmetic processing. It can be carried out.
本発明によれば、2個の測定点に対応する測定結果及び放射角を用いて他の測定点に対応する補正用データを演算することにより、補正用データの生成を簡単化することができる。 According to the present invention, generation of correction data can be simplified by calculating correction data corresponding to other measurement points using the measurement results and radiation angles corresponding to the two measurement points. .
本発明によれば、全ての測定対象物の全ての測定点を同時に撮像することにより、撮像に要する時間を短縮することができる。 According to the present invention, by simultaneously imaging all measurement points of all of the measurement object, it is possible to shorten the time required for imaging.
本発明によれば、測定対象物を所定本数ずつ順次撮像することにより、全ての測定点を同時に撮像する場合と比較して、光村測定装置の電源容量を低減することができる。 According to the present invention, the power supply capacity of the optical village measuring device can be reduced by sequentially imaging a predetermined number of objects to be measured as compared with the case where all measurement points are imaged simultaneously.
本発明によれば、一体に製造された複数本のLED基板の光特性ムラ測定に適用することで、該LED実装基板の切断工程前に特性評価を行うことができる。 According to the present invention, it is possible to perform characteristic evaluation before the cutting process of the LED mounting substrate by applying it to the measurement of unevenness of the optical characteristics of a plurality of LED substrates manufactured integrally.
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
図1は、この実施の形態に係る光特性ムラ測定装置の要部構成を概念的に示す視図である。図2は、かかる光特性ムラ測定装置の要部構成を概念的に示す図であり、(a)は側面図、(b)は平面図である。また、図3は、かかる光特性ムラ測定装置の要部構成を示すブロック図である。 FIG. 1 is a perspective view conceptually showing a main part configuration of the optical characteristic unevenness measuring apparatus according to this embodiment. FIGS. 2A and 2B are diagrams conceptually showing the configuration of the main part of the optical characteristic unevenness measuring apparatus. FIG. 2A is a side view and FIG. FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of a main part of the optical characteristic unevenness measuring apparatus.
図1乃至図3に示したように、この実施の形態の光特性ムラ測定装置100は、撮像部110と、パーソナルコンピュータ120とを備えている。この実施の形態では、光特性ムラ測定装置100を用いて、測定対象物200の光特性値を測定する。
As shown in FIGS. 1 to 3, the optical characteristic unevenness measuring apparatus 100 of this embodiment includes an
撮像部110は、測定対象物200の表面に配列された複数の測定点P(−2 −2)〜P(2 2)を撮像して、これら測定点から入射された光の特性値を検出する。
The
この実施の形態では、撮像部110として、XYZカメラを使用する。XYZカメラとは、撮像データを、XYZ表色系の三刺激値として生成するカメラである。XYZ表色系とは、国際照明委員会(CIE)で承認された標準表色系であり、RGB表色系よりも人間の視覚に近い表色系であるとされている。但し、撮像部として、例えばRGBカメラ等、他の種類の撮像装置を使用することもできる。
In this embodiment, an XYZ camera is used as the
撮像部110は、撮像画像から各測定点の光特性値を検出して、外部へ出力する。この実施の形態では、光特性値として、XYZ表色系の三刺激値であるX値、Y値、Z値の成分比のうち、x(=X/(X+Y+Z))及びy(=Y/(X+Y+Z))を測定する。
The
パーソナルコンピュータ120は、撮像部110からで取得されたx値及びy値を入力して、補正処理を施す。このために、パーソナルコンピュータ120は、記憶部121と補正演算部122とを備えている。
The
記憶部121は、各測定点P(−2 −2)〜P(2 2)に対応する補正用データを記憶している。補正用データは、各測定点から撮像部110に達する光の放射角に応じて決定される。補正用データの詳細については、後述する。
The
補正演算部122は、補正用データを用いて、測定された特性値(x値及びy値)を補正する。この補正により、この実施の形態では、全ての測定点P(−2 −2)〜P(2 2)の光特性値を、基準となる放射角で放射された光の特性値に変換する。補正演算の詳細については、後述する。
The
測定対象物200としては、例えば、LED照明器用のLED実装基板が採用される。この実施の形態では、複数本(ここでは5本とする)のLED実装基板200−1〜200−5が一体に作製されたものを、測定対象物200とする。LED実装基板200−1〜200−5には、それぞれ、多数のLED光源211が設けられている。この実施の形態では、これらのLED光源211のうちの任意のLED光源211を選択して、測定点P(−2 −2)〜P(2 2)とした。測定点の数が多いほど、光特性のばらつきを精密に測定することができる。各LED光源211は、1個のLED素子から構成されていても良いし、2個或いはそれ以上のLED素子から構成されていても良い。
As the measuring
なお、後述するように、この実施の形態では、測定対象物200の各LED実装基板200−1〜200−5に対して、個別に光特性ムラを評価する。そして、LED実装基板200−1〜200−5は、かかる評価の後で切断されて、良品であると評価されたもののみが製品として採用される。
As will be described later, in this embodiment, the light characteristic unevenness is individually evaluated for each of the LED mounting boards 200-1 to 200-5 of the
図4は、この実施の形態で使用する配光測定装置400の構成を示す概念図である。後述するように、この配光測定装置400は、補正用データ(この実施の形態では角度補正マトリクス)の生成に使用される。 FIG. 4 is a conceptual diagram showing the configuration of the light distribution measuring apparatus 400 used in this embodiment. As will be described later, the light distribution measuring apparatus 400 is used to generate correction data (an angle correction matrix in this embodiment).
図4に示したように、この配光測定装置400は、光源支持部410と計測部420とを備えている。
As shown in FIG. 4, the light distribution measurement device 400 includes a light
光源支持部410は、水平方向に回転する水平回転ステージ411を備えている。水平回転ステージ411の回転中心には、直立アーム412が固定されている。更に、直立アーム412の上端部には、垂直方向に回転する垂直回転ステージ413が固定されている。垂直回転ステージ412の回転中心には、補正値測定用のLED光源401が支持される。LED光源401としては、測定対象物200(すなわち、LED実装基板200−1〜200−5)に使用されるLED素子と同じ種類のものが使用される。
The light
一方、計測部420は、水平方向に移動可能なXYステージ421を備えている。XYステージ421には、直立アーム422が固定されている。更に、直立アーム422の上端には、受光器423が支持されている。受光器423は、LED光源401の放射光を受光する。受光器423が受光した光は、光ファイバ424を介して、分光器425に入力される。分光器425は、周波数毎の光センサ(図示せず)を備えており、入力光を光電変換する。かかる光電変換によって生成された電気信号は、信号線426を介して、パーソナルコンピュータ427に送られる。パーソナルコンピュータ427は、入力信号に基づいてXYZ表色系の三刺激値X、Y、Zを検出し、さらに、これらの値X、Y、Zからx値及びy値を演算する。
On the other hand, the
この配光測定装置400によれば、回転ステージ411,412を回転させて、LED光源401の傾きを変化させることにより、該LED光源401の所望の放射角(測定対象物200に設けられた測定点P(−2 −2)〜P(2 2)の水平方向放射角φ、垂直方向放射角θに対応する放射角)についての光特性を測定することができる。
According to the light distribution measuring apparatus 400, the rotation stages 411 and 412 are rotated to change the inclination of the LED
次に、この実施の形態に係る装置を用いて光特性ムラを評価する手順を説明する。 Next, a procedure for evaluating optical characteristic unevenness using the apparatus according to this embodiment will be described.
後述するように、この実施の形態では、LED実装基板200−1〜200−5毎に、個別に、光特性(ここではx値及びy値)を測定して補正する。 As will be described later, in this embodiment, the light characteristics (here, x value and y value) are individually measured and corrected for each of the LED mounting boards 200-1 to 200-5.
例えば、LED実装基板200−1については、測定点P(−2 −2)、P(−1 −2)、P(0 −2)、P(1 −2)及びP(2 −2)の光特性をそれぞれ測定する。そして、これらのうち、測定点P(−2 −2)、P(−1 −2)、P(1 −2)及びP(2 −2)の測定結果を、基準となる測定点P(0 −2)に対応する値に補正する。すなわち、測定点P(−2 −2)、P(−1 −2)、P(1 −2)及びP(2 −2)の測定結果は、P(0 −2)に対応する放射角の光特性値に補正される。この結果、LED実装基板200−1の光特性バラツキが正確に評価できるようになる。 For example, for the LED mounting substrate 200-1, the measurement points P (-2-2), P (-1-2), P (0-2), P (1-2), and P (2-2) are measured. Each of the light characteristics is measured. Of these, the measurement results at measurement points P (−2−2), P (−1−2), P (1−2), and P (2−2) are used as measurement points P (0 -2). That is, the measurement results at the measurement points P (−2−2), P (−1−2), P (1−2), and P (2−2) are the radiation angles corresponding to P (0 −2). The light characteristic value is corrected. As a result, variation in the optical characteristics of the LED mounting substrate 200-1 can be accurately evaluated.
他のLED実装基板200−2〜200−5も同様であり、垂直方向の角度θが0゜の測定点P(0 −1)、P(0 0)、P(0 1)、P(0 2)に対応させて他の測定点の測定結果を補正することで、光特性バラツキが正確に評価できるようになる。 The same applies to the other LED mounting substrates 200-2 to 200-5, and the measurement points P (0-1), P (0 0), P (0 1), P (0) where the vertical angle θ is 0 °. By correcting the measurement results at other measurement points corresponding to 2), the optical characteristic variation can be accurately evaluated.
このように、この実施の形態では、垂直方向の放射角θが0゜である各測定点P(0 −2)、P(0 −1)、P(0 0)、P(0 1)、P(0 2)に対応する放射角を、「基準となる放射角」とする。 Thus, in this embodiment, each measurement point P (0-2), P (0-1), P (0 0), P (0 1), where the vertical radiation angle θ is 0 °, The radiation angle corresponding to P (02) is defined as “reference radiation angle”.
以下、具体的な測定、補正方法の一例を説明する。 Hereinafter, an example of a specific measurement and correction method will be described.
最初に、角度補正マトリクス(本願発明の補正用データ)の生成方法を説明する。 First, a method for generating an angle correction matrix (correction data of the present invention) will be described.
角度補正マトリクスの生成に際しては、まず、配光測定装置400を用いて、補正値測定用LED光源401の角度を変えながら、光特性値(x値及びy値)を測定する。
When generating the angle correction matrix, first, using the light distribution measuring device 400, the optical characteristic values (x value and y value) are measured while changing the angle of the correction value measuring
この実施形態では、水平方向の放射角がφ=−20゜、−10゜、0゜,10゜,20゜且つ垂直方向の放射角θ=−20゜、−10゜、0゜,10゜,20゜の場合それぞれの組み合わせについて三刺激値X、Y、Zの測定を行い、その測定結果からx値及びy値を算出した。 In this embodiment, the horizontal radiation angles are φ = −20 °, −10 °, 0 °, 10 °, 20 ° and the vertical radiation angles θ = −20 °, −10 °, 0 °, 10 °. , 20 °, tristimulus values X, Y, and Z were measured for each combination, and x and y values were calculated from the measurement results.
次に、この測定結果を用いて、角度補正マトリクスを作成する。 Next, an angle correction matrix is created using this measurement result.
この実施の形態では、x値及びy値のそれぞれについて、基準となる放射角における値と他の放射角における値との比を示すマトリクス値を求めて、補正用データとする。 In this embodiment, for each of the x value and the y value, a matrix value indicating a ratio between a value at a reference radiation angle and a value at another radiation angle is obtained and used as correction data.
上述の説明から解るように、この実施の形態では、(φ,θ)=(0゜,−20゜)、(0゜,−10゜)、(0゜,0゜)、(0゜,10゜)、(0゜,20゜)を基準放射角として使用する。 As can be understood from the above description, in this embodiment, (φ, θ) = (0 °, −20 °), (0 °, −10 °), (0 °, 0 °), (0 °, 10 °) and (0 °, 20 °) are used as reference radiation angles.
ここでは、LED実装基板200−3(図1参照)の角度補正マトリクスを作成する場合(すなわち、基準放射角が(φ,θ)=(0゜,0゜)の場合)を例に採って説明する。 Here, the case where an angle correction matrix of the LED mounting substrate 200-3 (see FIG. 1) is created (that is, the reference radiation angle is (φ, θ) = (0 °, 0 °)) is taken as an example. explain.
測定点P(1 0)及びP(2 0)の補正を行うための角度補正マトリクスは、以下のような演算式を用いて算出される。 An angle correction matrix for correcting the measurement points P (1 0) and P (2 0) is calculated using the following arithmetic expression.
下式において、Aは(φ,θ)=(0゜,10゜)の時のx値及びy値を示すマトリクス要素であり、Bは(φ,θ)=(0゜,20゜)の時のx値及びy値を示すマトリクス要素であり、Cは(φ,θ)=(0゜,0゜)の時のx値及びy値をCを示すマトリクス要素である。これらのマトリクス要素において、xa,xb,xcは、配光測定装置400で求められた、(φ,θ)=(0゜,10゜),(0゜,20゜),(0゜,0゜)の時のx値である。また、ya,yb,ycは、配光測定装置400で求められた、(φ,θ)=(0゜,10゜),(0゜,20゜),(0゜,0゜)の時のy値である。
In the following formula, A is a matrix element indicating the x value and y value when (φ, θ) = (0 °, 10 °), and B is (φ, θ) = (0 °, 20 °). C is a matrix element indicating the x and y values when (φ, θ) = (0 °, 0 °). In these matrix elements, xa, xb, and xc are (φ, θ) = (0 °, 10 °), (0 °, 20 °), (0 °, 0) obtained by the light distribution measuring apparatus 400. X) at the time of (°). Further, ya, yb, yc are obtained by the light distribution measuring device 400 when (φ, θ) = (0 °, 10 °), (0 °, 20 °), (0 °, 0 °). Y value.
これらのマトリクス要素を下式に代入し、さらに、図5の表で示したx値及びy値を代入することにより、以下のような、2行2列の角度補正マトリクスΔCを求めることができる。このマトリクスにより、(φ,θ)=(0゜,10゜)に対応するx値、y値の測定結果と、(φ,θ)=(0゜,20゜)に対応するx値、y値の測定結果とを、同時に補正することができる。
By substituting these matrix elements into the following equation and further substituting the x and y values shown in the table of FIG. 5, the following 2 × 2 angle correction matrix ΔC can be obtained. . With this matrix, the measurement result of the x value and y value corresponding to (φ, θ) = (0 °, 10 °) and the x value corresponding to (φ, θ) = (0 °, 20 °), y The measurement result of the value can be corrected simultaneously.
同様にして、(φ,θ)=(0゜,−10゜)に対応するx値、y値の測定結果と(φ,θ)=(0゜,−20゜)に対応するx値、y値の測定結果とを同時に補正するための角度補正マトリクスを作成する。 Similarly, x value corresponding to (φ, θ) = (0 °, −10 °), measurement result of y value and x value corresponding to (φ, θ) = (0 °, −20 °), An angle correction matrix for simultaneously correcting the measurement result of the y value is created.
また、φ=0゜以外の場合の角度補正マトリクスも、同様にして生成することができる。 In addition, an angle correction matrix in a case other than φ = 0 ° can be generated in the same manner.
なお、以下のようにして、配光測定装置400で測定していない水平方向放射角φについての角度補正マトリクスを作成することも可能である。 It is also possible to create an angle correction matrix for the horizontal radiation angle φ that is not measured by the light distribution measuring device 400 as follows.
例えば、φ=0のときの角度補正マトリクスをΔC0、φ=10゜のときの角度補正マトリクスをΔC10とすると、これらの角度補正マトリクスΔC0、ΔC10は、下式のように表すことができる。 For example, assuming that the angle correction matrix when φ = 0 is ΔC0 and the angle correction matrix when φ = 10 ° is ΔC10, these angle correction matrices ΔC0 and ΔC10 can be expressed by the following equations.
そして、以下のような演算により、φ=5゜の時の角度補正マトリクスΔC5を求めることができる。
Then, the angle correction matrix ΔC5 when φ = 5 ° can be obtained by the following calculation.
これと同様にして、測定していない鉛直方向放射角θの角度補正マトリクスを演算することも可能である。 Similarly to this, it is also possible to calculate an angle correction matrix of the vertical radiation angle θ that has not been measured.
このようにして、角度補正マトリクスの一部を演算で求めることにより、当該角度補正マトリクスを求める処理を簡単にすることができる。但し、光特性ムラの信頼性を向上させるためには、測定結果から求めた角度補正マトリクスが多い方が望ましい。 In this way, by obtaining a part of the angle correction matrix by calculation, the processing for obtaining the angle correction matrix can be simplified. However, in order to improve the reliability of the optical characteristic unevenness, it is desirable that the angle correction matrix obtained from the measurement result is large.
以上のようにして得られた角度補正マトリクスは、パーソナルコンピュータ120の記憶部121(図3参照)に格納される。
The angle correction matrix obtained as described above is stored in the storage unit 121 (see FIG. 3) of the
この実施の形態では、マトリクスを用いて角度補正マトリクスを作成したので、補正演算処理(後述)を簡単にすることができる。 In this embodiment, since the angle correction matrix is created using the matrix, correction calculation processing (described later) can be simplified.
なお、ここでは、マトリクス形式の角度補正マトリクスを作成したが、例えば、x値及びy値のそれぞれについて、基準放射角の値と他の放射角の値との比を単純に演算することによって、角度補正マトリクスを得ることも可能である。 Here, an angle correction matrix in a matrix format has been created. For example, for each of the x value and the y value, by simply calculating the ratio between the value of the reference radiation angle and the value of the other radiation angle, It is also possible to obtain an angle correction matrix.
次に、この実施の形態に係る光特性ムラ測定装置100(図1〜図3参照)を用いて測定対象物200の光特性ムラを測定する手順について説明する。
Next, the procedure for measuring the optical characteristic unevenness of the measuring
上述のように、この実施の形態では、測定対象物200としてLED照明器用LED実装基板200−1〜200−5を用い、また、光特性としてXYZ表色系のx値及びy値を測定する。
As described above, in this embodiment, the LED illuminator LED mounting boards 200-1 to 200-5 are used as the
まず、基準となる測定対象物200の法線方向に位置するように撮像部110を配置する。
First, the
このとき、この撮像部110の位置及び方向は、かかる法線方向に測定点P(0 0)から放射したLED光が垂直に入射されるように、調整される。
At this time, the position and direction of the
更に、この撮像部110の距離等は、測定点P(−2 −2)〜P(2 2)から放射される光の入射角が、上述の角度補正マトリクスの放射角(水平方向放射角φ及び垂直方向放射角θ)と一致するように調整される。
Furthermore, the distance of the
続いて、測定対象物200のうち、最左段のLED実装基板200−1に実装されたLEDが点灯される。そして、このLED実装基板200−1の放射光が、撮像部110に撮像される。その後、LED実装基板200−1のLEDが消灯される。
Subsequently, among the
撮像部110は、各画素への入射光から、XYZ表色系のx値及びy値を検出する。図6は、この検出結果の一例を示す表である。図6において、LED実装基板1〜5は、図1のLED実装基板200−1〜200−5に対応する(図7及び図8において同じ)。
The
そして、撮像部110は、各画素に対応するx値及びy値を、パーソナルコンピュータ120の補正演算部122に送る。
Then, the
補正演算部122は、各画素に対応するx値及びy値等の情報に基づいて、LED実装基板200−1の測定点P(−2 −2)、P(−1 −2)、P(0 −2)、P(1 −2)、P(2 −2)を特定する。そして、特定された各測定点のうち、測定点P(−2 −2)、P(−1 −2)、P(1 −2)及びP(2 −2)のx値及びy値を、以下のようにして補正する。
Based on information such as the x value and y value corresponding to each pixel, the
この補正演算において、補正演算部122は、まず、記憶部121から、対応する角度補正マトリクスを読み出す。ここでは、φ=−20゜に対応する角度補正マトリクスΔCa,ΔCbが読み出される。
In this correction calculation, the
そして、下記の演算を行うことにより、測定点P(0 −2)、P(0 −1)、P(0 1)、P(0 2)の補正演算が行われる。なお、下式において、x1,x2,x3,x4は測定点P(0 −2)、P(0 −1)、P(0 1)、P(0 2)のx値、y1,y2,y3,y4は測定点P(0 −2)、P(0 −1)、P(0 1)、P(0 2)のy値である。
And the correction calculation of measurement point P (0-2), P (0 -1), P (0 1), P (02) is performed by performing the following calculation. In the following equation, x1, x2, x3, x4 are the x values of measurement points P (0-2), P (0-1), P (01), P (02), y1, y2, y3 , Y4 are y values of measurement points P (0-2), P (0-1), P (01), and P (02).
このようにして、最上段のLED実装基板200−1の各測定点P(0 −2)〜P(0 2)に対する補正演算が終了する。 In this way, the correction calculation for the measurement points P (0-2) to P (02) of the uppermost LED mounting substrate 200-1 is completed.
これらの補正演算結果は、LED実装基板200−1の各測定点P(−2 −2)〜P(2 2)に対応するLED光源211を、基準放射角(すなわち、(φ,θ)=(0゜,−20゜)の方向)から測定したときのx値及びy値に相当する。従って、これらの補正演算結果を測定点間で比較することにより、x値及びy値の光特性ムラを正確に評価することができる。また、各測定点P(−2 −2)〜P(2 2)の撮像を同時に行うので、短時間で光り特性ムラの評価を行うことができる。
These correction calculation results indicate that the
次に、二番目以降のLED実装基板200−2〜200−5についても、LED光源211が順次点灯されて、LED実装基板200−1の場合と同様の撮像や補正演算処理等が行われる。図7は、このようにしてx値及びy値(図7参照)を補正した値の一例である。
Next, for the second and subsequent LED mounting substrates 200-2 to 200-5, the
その後、各LED実装基板200−1〜200−5の補正後の光特性値について、基準となる放射角に対応する値(θ=0゜のときのx値及びy値)とその他の値との差をそれぞれ演算する。これにより、LED実装基板200−1〜200−5毎の、光特性ムラを評価することができる。図8は、この演算の結果を示す表である。 Thereafter, with respect to the corrected optical characteristic values of the respective LED mounting substrates 200-1 to 200-5, values corresponding to the reference radiation angle (x value and y value when θ = 0 °) and other values, Each difference is calculated. Thereby, the optical characteristic nonuniformity for every LED mounting substrate 200-1 to 200-5 can be evaluated. FIG. 8 is a table showing the results of this calculation.
この実施の形態では、水平方向放射角φ毎に角度補正マトリクスを作成するので、二番目以降のLED実装基板200−2〜200−5について撮像を行う時も、撮像部110の位置や角度を調整する必要が無い。従って、この実施の形態によれば、x値及びy値のムラ評価を、短時間で正確に行うことができる。
In this embodiment, since an angle correction matrix is created for each horizontal radiation angle φ, the position and angle of the
また、全てのLED実装基板200−1〜200−5のLED光源211を同時に点灯させるのでは無く、1個ずつ順次点灯させて撮像することにより、光特性ムラ測定装置の電源容量を小さく抑えることができる。
In addition, the
但し、全てのLED実装基板200−1〜200−5のLED光源211を同時に点灯させることとしても良い。更には、LED実装基板を所定本数(二本以上)ずつ順次点灯させることとしても良い。これらの場合には、測定時間を更に短縮することができる。
However, the
更に、各LED実装基板200−1〜200−5毎に複数回ずつ撮像を行い、これら撮像で得られたx値及びy値の合計を補正演算部122で補正した結果を用いて、光特性ムラの評価を行っても良い。これにより、さらに信頼性の高い評価を行うことができる。
Further, the LED mounting substrates 200-1 to 200-5 are imaged a plurality of times, and the result of correcting the total of the x value and y value obtained by the imaging by the
本発明によれば、光特性値をXYZ表色系のx値及びy値としたので、人間の視覚に合わせた光特性ムラの測定を行うことができる。 According to the present invention, since the light characteristic value is the x value and the y value of the XYZ color system, it is possible to measure the light characteristic unevenness in accordance with human vision.
なお、この実施の形態では、LED照明器用LED実装基板の光特性ムラ評価に本発明を適用する場合を説明したが、これに限らず、光の放射、反射、透過等を行う装置であれば、そのような装置の光特性ムラ評価にも適用することができる。 In this embodiment, the case where the present invention is applied to the evaluation of the unevenness of the optical characteristics of the LED mounting board for an LED illuminator has been described. However, the present invention is not limited to this, and any apparatus that emits, reflects, or transmits light can be used. It can also be applied to the evaluation of unevenness of optical characteristics of such a device.
この実施の形態では、水平方向放射角φ及び鉛直方向放射角θを0゜、±10゜、±20゜としたが、これらの角度は任意である。但し、角度の間隔を細かくするほど、光特性ムラの精度を向上させることができる。 In this embodiment, the horizontal radiation angle φ and the vertical radiation angle θ are set to 0 °, ± 10 °, and ± 20 °, but these angles are arbitrary. However, the accuracy of the optical characteristic unevenness can be improved as the angle interval is made finer.
この実施形態では、LED実装基板200−1〜200−5を横方向に並べて、縦方向の列毎に基準となる測定点を設け、該縦方向の列毎に光特性ムラを測定・評価することとしたが、横方向の列毎に光特性ムラを測定・評価してもよい。また、基準となる測定点を、複数列毎に設けることや、測定対象物200全体で1個のみ設けて、複数列単位或いは測定対象物200全体の光特性ムラを測定・評価することも可能である。
In this embodiment, the LED mounting substrates 200-1 to 200-5 are arranged in the horizontal direction, a measurement point serving as a reference is provided for each column in the vertical direction, and light characteristic unevenness is measured and evaluated for each column in the vertical direction. However, the unevenness of optical characteristics may be measured and evaluated for each column in the horizontal direction. It is also possible to measure and evaluate optical characteristic unevenness of a plurality of columns or the
この実施の形態では、XYZ表色系のx値及びy値を評価したが、本発明は、例えばRGB表色系の三原色や輝度等、他の光特性の評価にも適用できる。 In this embodiment, the x and y values of the XYZ color system are evaluated. However, the present invention can also be applied to the evaluation of other light characteristics such as the three primary colors and the luminance of the RGB color system.
100 光特性ムラ測定装置
110 撮像部
120,427 パーソナルコンピュータ
121 記憶部
122 補正演算部
200 測定対象物
200−1〜200−5 LED実装基板
211 LED光源
400 配光測定装置
401 補正値測定用LED光源
410 光源支持部
411 水平回転ステージ
412,422 直立アーム
413 垂直回転ステージ
420 計測部
421 XYステージ
423 受光器
424 光ファイバ
425 分光器
426 信号線
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Optical characteristic
Claims (12)
前記測定点の中から、前記測定対象物毎に基準測定点を定めて、他の測定点の前記特性値を、該測定点から前記撮像部へ入射される光の放射角が、対応する該基準測定点の該入射角と同一であるときの値に補正する処理を実行するための、補正用データを記憶する記憶部と、
前記補正用データを用いて、前記他の測定点の前記特性値を補正する補正演算部と、を備え、
補正後の該他の測定点の該特性値を、対応する前記基準測定点の該特性値と比較することで、該測定対象物毎の光特性ムラを測定する、
ことを特徴とする光特性ムラ測定装置。 An imaging unit that images a plurality of measurement points provided on the surface of each of the plurality of measurement objects arranged, and detects a characteristic value of light incident from the measurement points;
A reference measurement point is determined for each measurement object from among the measurement points, and the characteristic value of the other measurement point corresponds to the radiation angle of light incident on the imaging unit from the measurement point. A storage unit for storing correction data for executing a process of correcting to a value at the same time as the incident angle of the reference measurement point ;
A correction operation unit that corrects the characteristic value of the other measurement point using the correction data; and
By measuring the characteristic value of the other measurement point after correction with the characteristic value of the corresponding reference measurement point, optical characteristic unevenness for each measurement object is measured.
An optical characteristic unevenness measuring apparatus characterized by that .
前記放射角を変化させながら配光測定用光源の前記特性値をそれぞれ測定し、
これら複数の測定結果を用いて、前記基準となる放射角における前記測定結果と他の放射角における前記測定結果との比をそれぞれ演算する、
ことで生成されることを特徴とする請求項1に記載の光特性ムラ測定装置。 The correction data is
Measure the characteristic values of the light distribution measurement light source while changing the radiation angle,
Using these multiple measurement results, respectively calculate the ratio of the measurement result at the reference radiation angle and the measurement result at another radiation angle,
The optical characteristic unevenness measuring apparatus according to claim 1, wherein the optical characteristic unevenness measuring apparatus is generated.
前記測定点の中から、前記測定対象物毎に基準測定点を定めて、他の測定点の前記特性値を、該測定点から前記撮像部へ入射される光の放射角が、対応する該基準測定点の該入射角と同一であるときの値に補正する補正演算ステップと、
補正後の該他の測定点の該特性値を、対応する前記基準測定点の該特性値と比較する光特性ムラ演算ステップと、
を有する光特性ムラ測定方法。 An imaging step of imaging a plurality of measurement points provided on the surfaces of the plurality of measurement objects arranged by the imaging unit and detecting a characteristic value of light incident from the measurement points;
A reference measurement point is determined for each measurement object from among the measurement points, and the characteristic value of the other measurement point corresponds to the radiation angle of light incident on the imaging unit from the measurement point. A correction calculation step for correcting to a value when it is the same as the incident angle of the reference measurement point ;
A light characteristic unevenness calculating step of comparing the characteristic value of the other measurement point after correction with the characteristic value of the corresponding reference measurement point;
A method for measuring unevenness of optical characteristics.
前記放射角を変化させながら配光測定用光源の前記特性値をそれぞれ測定し、
これら複数の測定結果を用いて、前記基準となる放射角における前記測定結果と他の放射角における前記測定結果との比をそれぞれ演算する、
ことで生成されることを特徴とする請求項7に記載の光特性ムラ測定方法。 The correction data is
Measure the characteristic values of the light distribution measurement light source while changing the radiation angle,
Using these multiple measurement results, respectively calculate the ratio of the measurement result at the reference radiation angle and the measurement result at another radiation angle,
The optical characteristic unevenness measuring method according to claim 7, wherein
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011256920A JP5838081B2 (en) | 2011-11-25 | 2011-11-25 | Optical characteristic unevenness measuring apparatus and optical characteristic unevenness measuring method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011256920A JP5838081B2 (en) | 2011-11-25 | 2011-11-25 | Optical characteristic unevenness measuring apparatus and optical characteristic unevenness measuring method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013113588A JP2013113588A (en) | 2013-06-10 |
JP5838081B2 true JP5838081B2 (en) | 2015-12-24 |
Family
ID=48709269
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011256920A Expired - Fee Related JP5838081B2 (en) | 2011-11-25 | 2011-11-25 | Optical characteristic unevenness measuring apparatus and optical characteristic unevenness measuring method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5838081B2 (en) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015010834A (en) * | 2013-06-26 | 2015-01-19 | 東レエンジニアリング株式会社 | Method for estimating emission wavelength of luminous body and device therefore |
JP6969164B2 (en) * | 2017-05-31 | 2021-11-24 | 株式会社リコー | Evaluation device, evaluation program and evaluation method |
KR102446211B1 (en) * | 2017-12-11 | 2022-09-23 | 삼성디스플레이 주식회사 | Inspecting method of light emitting diode and apparatus for inspecting the same |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000258296A (en) * | 1999-03-11 | 2000-09-22 | Fujitsu Ten Ltd | Apparatus for measuring optical performance |
JP2007108286A (en) * | 2005-10-12 | 2007-04-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Method of adjusting liquid crystal display |
JP4644595B2 (en) * | 2005-12-22 | 2011-03-02 | 富士フイルム株式会社 | Display evaluation apparatus, evaluation method, and program |
WO2011138914A1 (en) * | 2010-05-07 | 2011-11-10 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | Apparatus for inspecting light emitting device and method for inspecting light emitting device |
-
2011
- 2011-11-25 JP JP2011256920A patent/JP5838081B2/en not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013113588A (en) | 2013-06-10 |
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