JP5825284B2 - Steel material processing method and grain-oriented electrical steel sheet processing method - Google Patents

Steel material processing method and grain-oriented electrical steel sheet processing method Download PDF

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Description

本発明は、方向性電磁鋼板の磁区細分化処理を典型例とする、電子ビームを用いて鋼材を加工する方法に関するものである。   The present invention relates to a method of processing a steel material using an electron beam, with a typical example of magnetic domain refinement treatment of grain-oriented electrical steel sheets.

近年、各種機器における使用エネルギーの効率化が進められており、例えば変圧器においては、動作時のエネルギー損失の低減が求められている。この変圧器で生じる損失には、主に導線に生じる銅損と鉄心に生じる鉄損がある。さらに、鉄損は、ヒステリシス損と渦電流損に分けることができ、前者の低減には、素材の結晶方位の改善や、不純物の低減などが有効であることが知られている。
例えば、特許文献1には、最終冷延前の焼鈍条件を適正化することによって、磁束密度と鉄損に優れた方向性電磁鋼板を製造する方法について示されている。
In recent years, energy efficiency in various devices has been improved. For example, transformers are required to reduce energy loss during operation. The loss that occurs in this transformer mainly includes copper loss that occurs in the conductor and iron loss that occurs in the iron core. Furthermore, iron loss can be divided into hysteresis loss and eddy current loss, and it is known that improvement of the crystal orientation of the material and reduction of impurities are effective in reducing the former.
For example, Patent Document 1 discloses a method for manufacturing a grain-oriented electrical steel sheet having excellent magnetic flux density and iron loss by optimizing the annealing conditions before final cold rolling.

また、特許文献2には、2次再結晶後の鋼板にプラズマアークを照射することにより、照射前には0.80W/kg以上であった鉄損W17/50を、0.65W/kg以下に低減する技術が示されている。 Patent Document 2 discloses that the iron loss W 17/50 , which was 0.80 W / kg or more before irradiation, is reduced to 0.65 W / kg or less by irradiating a plasma arc to the steel sheet after secondary recrystallization. Techniques for reducing are shown.

さらに、特許文献3には、被膜厚と、電子ビーム照射によって鋼板面に形成された磁区不連続部の平均幅とを適正化することによって、鉄損が低くて騒音が小さいトランス用素材を得る技術が示されている。
ここで、電子ビームによる処理は、電気制御によってビーム偏向の高速化が達成されること、また高加速電圧化によって照射表面からより深い部分にまで熱影響部を形成させること、がメリットであるが、一方で、高真空環境が必須であるという、ハンドリング上の扱い難さがある。特に、電子ビーム照射時には、異常放電(アーキング)が発生して、本来照射させたい部分とは異なる部分に電流が流れてしまうことがある。
Furthermore, Patent Document 3 obtains a transformer material with low iron loss and low noise by optimizing the film thickness and the average width of the magnetic domain discontinuities formed on the steel plate surface by electron beam irradiation. Technology is shown.
Here, the processing by the electron beam is advantageous in that speeding up of the beam deflection is achieved by electric control and that the heat affected zone is formed from the irradiation surface to a deeper portion by increasing the acceleration voltage. On the other hand, there is a handling difficulty that a high vacuum environment is essential. In particular, during electron beam irradiation, abnormal discharge (arcing) may occur, and current may flow in a portion different from the portion that is originally intended to be irradiated.

この異常放電の原因としては、加工室内部の水蒸気や、ワークが溶融した溶融池からの金属蒸気の一部が、電子銃内部の電極間に入ることが指摘されている。そして、この異常放電の抑制に関し、これまで幾つかの方法が提案されている。   As a cause of this abnormal discharge, it has been pointed out that water vapor inside the processing chamber and part of metal vapor from the molten pool in which the workpiece has melted enter between the electrodes inside the electron gun. And several methods have been proposed so far for suppressing this abnormal discharge.

例えば、特許文献4には、電子銃下に真空ポンプを設置することによって、アーキング発生の原因となる金属蒸気を吸引する方法が記載されている。さらに、比較例として、ワーキングディスタンス(WD)を単に拡大する方法やビーム偏向させる方法も記載されている。
また、特許文献5には、コイルを多段偏向することによって、金属蒸気の侵入を防ぐ方法が記載されている。特許文献6には、異常放電の原因である水蒸気を加熱により除去する方法が記載されている。
以上のように、異常放電を抑制する方法は多く考案されているものの、それでも完全な抑制ができていないのが現状である。
For example, Patent Document 4 describes a method of sucking metal vapor that causes arcing by installing a vacuum pump under an electron gun. Furthermore, as a comparative example, a method of simply enlarging the working distance (WD) and a method of deflecting the beam are described.
Further, Patent Document 5 describes a method for preventing intrusion of metal vapor by deflecting a coil in multiple stages. Patent Document 6 describes a method of removing water vapor, which is a cause of abnormal discharge, by heating.
As described above, although many methods for suppressing abnormal discharge have been devised, it is still not possible to completely suppress them.

特開2012−1741号公報JP 2012-1741 A 特開2011−246782号公報JP 2011-246782 A 特開2012−52230号公報JP 2012-52230 A 実開昭62−77686号公報Japanese Utility Model Publication No. 62-77686 特開平8−287858号公報JP-A-8-287858 特開2000−2149841号公報JP 2000-2149841 A

ところで、方向性電磁鋼板の磁区細分化処理において、異常放電が発生する原因として、上記の水蒸気の他に、鋼板が溶融して気化した物質がある。
前者の水蒸気によるアーキング頻度は、装置の立上げ時には、顕著であるものの、真空排気時間が長時間化するにつれ、ほとんど問題にならない頻度まで下がる。特に、方向性電磁鋼板の磁区細分化処理においては、Air-to-air排気装置により、鋼板に電子ビームが照射される加工室の内部が常に真空状態に維持されることから、鋼板が水分を持ち込まない限り、上記水蒸気はほとんど問題にならない。また、たとえ鋼板上に多少の水蒸気があっても、差圧構造の真空排気装置前段にて、十分に除去され得る。
By the way, in the magnetic domain refinement process of the grain-oriented electrical steel sheet, as a cause of the occurrence of abnormal discharge, there is a substance that the steel sheet has melted and vaporized in addition to the water vapor.
The former arcing frequency due to water vapor is remarkable at the start-up of the apparatus, but as the evacuation time becomes longer, it decreases to a frequency causing almost no problem. In particular, in the magnetic domain fragmentation treatment of grain-oriented electrical steel sheets, the air-to-air exhaust device keeps the inside of the processing chamber in which the steel sheet is irradiated with the electron beam in a vacuum state. Unless it is brought in, the water vapor is hardly a problem. Moreover, even if there is some water vapor on the steel plate, it can be sufficiently removed in the front stage of the vacuum exhaust device having the differential pressure structure.

むしろ問題になるのは、方向性電磁鋼板の被膜あるいは地鉄が溶融して気化した場合である。特に、被膜がMgなどの軽元素から構成され、かような被膜が溶融・気化した場合には、気化物が電子銃の電極間まで容易に達し、異常放電を発生させる傾向がある。   Rather, it becomes a problem when the coating of the grain-oriented electrical steel sheet or the ground iron is melted and vaporized. In particular, when the coating is composed of a light element such as Mg and such a coating melts and vaporizes, the vaporized material easily reaches between the electrodes of the electron gun, and tends to cause abnormal discharge.

本発明は、上記した電子ビーム照射時の異常放電(アーキング)が発生した場合にあっても、方向性電磁鋼板を典型例とする鋼材への電子ビーム照射処理を適正に行うための方途について提案することを目的とする。   The present invention proposes a method for appropriately performing the electron beam irradiation treatment on the steel having a directional electromagnetic steel sheet as a typical example even in the case where the abnormal discharge (arcing) occurs during the electron beam irradiation described above. The purpose is to do.

本発明者らは、被膜付き方向性電磁鋼板に対する電子ビーム照射による磁区細分化処理を鋼材加工の典型例として、電子ビーム照射中の上記したワーク溶融を原因とする異常放電を抑制するための方途について鋭意検討した。その結果、方向性電磁鋼板の加工処理においては、被膜損傷並びに地鉄溶融を抑制することが最も有効であること、具体的には、電子ビームの単位照射長さ当たりの照射熱量を低減させれば良いことが判明した。
一方、電子ビームの単位照射長さ当たりの照射熱量低減は、方向性電磁鋼板への熱歪み導入量の低減と、それにともなう渦電流損改善効果の低下を招いてしまう。このような問題に対して、発明者らは、単位照射長さ当たりの照射熱量を低減させつつ、照射エネルギー密度を一定に保つことによって、被膜溶融を抑制し得ることを先に見出し、一定の効果が得られた。ところが、電子ビーム照射による被膜の損傷程度は、被膜性状によって大きく異なるため、例えば、被膜と地鉄との密着性が著しく悪い場合には、どうしても被膜損傷が生じてしまう。また、照射エネルギー密度を低減すると、電子ビームの照射線数を増加させる必要が生じることから、生産性を大きく損なってしまう。
As a typical example of steel material processing, magnetic domain subdivision processing by electron beam irradiation for coated grain-oriented electrical steel sheet is a method for suppressing abnormal discharge caused by the above-described work melting during electron beam irradiation. We studied earnestly. As a result, in the processing of grain-oriented electrical steel sheets, it is most effective to suppress damage to the coating and melting of the iron core. Specifically, the amount of heat applied per unit irradiation length of the electron beam can be reduced. It turned out to be good.
On the other hand, a reduction in the amount of heat applied per unit irradiation length of the electron beam leads to a reduction in the amount of thermal strain introduced into the grain-oriented electrical steel sheet and a concomitant reduction in eddy current loss improvement effect. In order to solve such a problem, the inventors have previously found that it is possible to suppress film melting by keeping the irradiation energy density constant while reducing the amount of irradiation heat per unit irradiation length. The effect was obtained. However, the degree of damage to the coating film caused by electron beam irradiation varies greatly depending on the coating properties. For example, when the adhesion between the coating film and the ground iron is extremely poor, the coating film damage is inevitably caused. Further, when the irradiation energy density is reduced, it is necessary to increase the number of irradiation beams of the electron beam, so that productivity is greatly impaired.

このような問題に対し、照射するコイル毎に、被膜性状を事前に調査することによって、被膜が損傷しない範囲で生産性が高くなる照射条件を事前決定することも考えられる。しかし、方向性電磁鋼板の被膜は同一のコイル内であっても、場所によってその性状が大きく異なることがある一方で、被膜性状を調査できる範囲は、コイルの極く一部に限定されていることから、コイル内に部分的に存在する、被膜密着性が劣悪となる部分の存在を確実に発見することは難しい。   For such a problem, it may be possible to predetermine irradiation conditions for increasing productivity within a range in which the coating is not damaged by investigating the coating properties in advance for each coil to be irradiated. However, even if the coating of grain-oriented electrical steel sheets is in the same coil, its properties may vary greatly depending on the location. On the other hand, the range in which the coating properties can be investigated is limited to a very small part of the coil. For this reason, it is difficult to reliably find the presence of a portion that is partially present in the coil and has poor film adhesion.

そこで、発明者らは、被膜損傷を極力回避しつつ、電子ビーム照射による適切な熱歪の導入を可能とする手法について、次のとおり鋭意究明した。
さて、アーキングは、一瞬だけビームが正しく出力されなくなるマイクロアーキングと、照射装置の停止に至る大アーキングとの2種類に分別される。マイクロアーキングは、微小な時間に限定された異常放電現象であり、通常は、数msec以下の時間で生じる。一方、大アーキングは、より長時間絶縁が確保できない場合である。この大アーキングが発生すると、安全装置の働きによって装置が停止してしまい、生産に大きな支障を来たし、損害を与えてしまう。
Therefore, the inventors diligently studied as follows a method that enables introduction of appropriate thermal strain by electron beam irradiation while avoiding film damage as much as possible.
Now, arcing is classified into two types: micro arcing in which the beam is not correctly output for a moment and large arcing that leads to the stop of the irradiation device. Micro arcing is an abnormal discharge phenomenon limited to a minute time, and usually occurs in a time of several milliseconds or less. On the other hand, large arcing is a case where insulation cannot be secured for a longer time. When this large arcing occurs, the device is stopped by the function of the safety device, which causes a great hindrance to production and causes damage.

本発明の代表的用途にかかる、方向性電磁鋼板への電子ビーム照射の場合には、物質の溶融を前提とする溶接などに比較すると、アーキングは比較的軽度であり、マイクロアーキングがほとんどを占める。また、大アーキングが発生する場合においても、マイクロアーキングが事前に数回発生するという予兆がある。   In the case of electron beam irradiation to a grain-oriented electrical steel sheet according to a typical application of the present invention, arcing is relatively light compared to welding premised on melting of a substance, and micro arcing accounts for most. . Even when large arcing occurs, there is a sign that micro arcing will occur several times in advance.

さらに、本発明者らは、図1に示すように、マイクロアーキングの発生回数と、被膜の損傷量に一定の相関関係があることを見出した。この実験は、絶縁被膜付き方向性電磁鋼板に電子ビームを100mm長さで走査することを、圧延方向への繰り返し間隔5mmにて、正常に照射されれば計2000本照射する設定にて行った。その後、光学顕微鏡観察にて、照射長さ100mmのうちで被膜が損傷された部分の割合を求めた。
従って、マイクロアーキングの抑制には、被膜損傷をいかに抑制することが重要になる。
Furthermore, the present inventors have found that there is a certain correlation between the number of occurrences of micro arcing and the amount of damage to the coating, as shown in FIG. In this experiment, a directional electrical steel sheet with an insulating coating was scanned with an electron beam at a length of 100 mm with a setting of 2,000 irradiation if irradiated normally at a repetition interval of 5 mm in the rolling direction. . Thereafter, the ratio of the damaged part of the irradiation length of 100 mm was determined by observation with an optical microscope.
Therefore, it is important to suppress damage to the film in order to suppress micro arcing.

本発明者らは、このような知見に基づいて鋭意検討を行ったところ、アーキングを事前に検知し、その一定時間当たりの発生回数をもとに、電子ビーム照射条件を変更すれば、アーキングを抑制させてなお高い磁区細分化効果が得られることに想到した。すなわち、上述のように被膜が破壊されやすい方向性電磁コイルが通板された場合には、マイクロアーキング発生頻度が高くなるから、その発生回数を判断基準として、直ちにビーム出力を低減する。ただし、それだけでは、低鉄損化効果が低くなってしまうため、同時に圧延方向の照射線間隔を短縮させることが重要である、との新規知見を得るに到った。   The inventors of the present invention have made extensive studies based on such findings. As a result, arcing is detected in advance, and arcing can be performed by changing the electron beam irradiation conditions based on the number of occurrences per fixed time. It was conceived that a high magnetic domain fragmentation effect can still be obtained even if it is suppressed. That is, when a directional electromagnetic coil that easily breaks the coating as described above is passed, the frequency of occurrence of micro arcing increases, so the beam output is immediately reduced using the number of occurrences as a criterion. However, since the effect of reducing the iron loss is reduced by itself, the inventors have obtained new knowledge that it is important to shorten the irradiation line interval in the rolling direction at the same time.

本発明は、上記の知見に基づくものであり、その要旨構成は次のとおりである。
(1)電子ビームを鋼材に照射して該鋼材に連続的に加工を施すに当たり、
前記電子ビームの照射中にアーキングの検知を行って、一定の経過時間内に一定の時間間隔を置いて発生するアーキングが、N回以上発生した場合に、該N回目が生じた時点以降の電子ビームの照射電流を低減する鋼材加工方法。
This invention is based on said knowledge, The summary structure is as follows.
(1) When a steel material is irradiated with an electron beam to continuously process the steel material,
When arcing is detected during the irradiation of the electron beam and arcing that occurs at a certain time interval within a certain elapsed time occurs N times or more, the electrons after the Nth occurrence are detected. Steel material processing method that reduces beam irradiation current.

(2)前記Nが3である前記(1)に記載の鋼材加工方法。 (2) The steel material processing method according to (1), wherein the N is 3.

(3)前記N回目が生じた時点以降の電子ビームの照射電流を、前記N回目が生じた時点の電子ビームの照射電流の5〜30%低減する前記(1)または(2)に記載の鋼材加工方法。 (3) The irradiation current of the electron beam after the time when the N-th occurrence is reduced by 5 to 30% of the irradiation current of the electron beam when the N-th occurrence is described in (1) or (2) Steel material processing method.

(4)搬送ライン上を移動する方向性電磁鋼板の表面に、該鋼板の圧延方向と交差する向きに電子ビームを線状に照射することを該鋼板の圧延方向へ間隔を置いて繰り返し行うに当たり、
前記電子ビームの照射中にアーキングの検知を行って、1000[m]/v[m/s](v:電子ビームの走査速度)の経過時間内に0.05[m]/VL[m/s](VL:前記搬送ラインにおける鋼板の移動速度)の時間間隔を置いて発生するアーキングが、3回以上発生した場合に、該3回目が生じた時点以降の照射電流を、前記3回目が生じた時点の電子ビームの照射電流の5〜30%の範囲で低減する方向性電磁鋼板の加工方法。
(4) When the surface of the grain-oriented electrical steel sheet moving on the transport line is irradiated with an electron beam linearly in a direction intersecting with the rolling direction of the steel sheet, repeated at intervals in the rolling direction of the steel sheet. ,
Arcing is detected during the irradiation of the electron beam, and 0.05 [m] / VL [m / s] within an elapsed time of 1000 [m] / v [m / s] (v: scanning speed of the electron beam) When arcing that occurs at a time interval of (VL: moving speed of the steel plate in the transfer line) occurs three times or more, the irradiation current after the third time occurs is the third time. A method for processing grain-oriented electrical steel sheets that reduces within a range of 5 to 30% of the irradiation current of the electron beam at the time.

(5)前記3回目が生じた時点以降の前記電子ビーム照射線の相互間隔を、前記3回目が生じた時点の電子ビーム照射線の相互間隔の5〜30%の範囲で低減する前記(4)に記載の方向性電磁鋼板の加工方法。 (5) The mutual interval between the electron beam irradiation lines after the third occurrence is reduced within a range of 5 to 30% of the mutual interval between the electron beam irradiation lines at the third occurrence (4) ) Processing method for grain-oriented electrical steel sheet.

本発明によれば、マイクロアーキングの発生回数、さらには大アーキングの発生を最大限抑制することができるから、製品歩留まり向上、被膜の再塗布工程の省略、さらには、照射線欠陥(アーキング発生時間中に照射が停止する現象)が抑制されることから磁性などの特性劣化を抑制することが可能であり、その工業的な意味は大きいものである。   According to the present invention, the number of occurrences of micro arcing, and further, the occurrence of large arcing can be suppressed to the maximum, so that the product yield can be improved, the re-coating step of the coating can be omitted, The phenomenon that the irradiation is stopped) is suppressed, so that it is possible to suppress the deterioration of characteristics such as magnetism, and its industrial significance is great.

アーキングの発生回数と被膜の損傷量との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the frequency | count of generation | occurrence | production of arcing, and the amount of damage of a film. マイクロアーキングの計測方法を説明する図である。It is a figure explaining the measuring method of micro arcing.

本発明の鋼材加工方法について、方向性電磁鋼板への電子ビーム照射による磁区細分化処理を例に、以下に説明する。
まず、電子ビーム照射条件を、照射後に得たい特性(例えば、鉄損や磁歪など)を勘案しながら、後述する好適条件内にて決定する。このとき、事前に調査した被膜性状を反映させて、被膜が破壊されない照射エネルギー条件を可能な範囲で予め求めておいても良い。なお、生産性の観点からは、電子ビームの照射線の相互間隔は出来るだけ広くすることが好ましいが、過度に広くすると、磁区細分化に必要な出力が大きくなって、アーキングの増加につながってしまう点に留意が必要である。なお、上記の事前の調査とは、例えば、方向性電磁鋼板を丸棒に巻き付けたときに、巻き付け面の被膜破壊が生じる最小の丸棒径についての評価することである。この径が小さいほど、より高い応力にまで耐えられる強い被膜であるから、電子ビームのエネルギーを高くしても破壊されにくい傾向がある。
The steel material processing method of the present invention will be described below by taking an example of magnetic domain subdivision processing by electron beam irradiation to grain-oriented electrical steel sheets.
First, the electron beam irradiation conditions are determined within suitable conditions described later in consideration of characteristics (for example, iron loss and magnetostriction) desired to be obtained after irradiation. At this time, the irradiation energy condition that does not destroy the coating film may be obtained in advance within the possible range by reflecting the coating property investigated in advance. From the viewpoint of productivity, it is preferable to make the distance between the irradiation beams of the electron beams as wide as possible. However, excessively widening increases the output required for magnetic domain subdivision, leading to an increase in arcing. It is necessary to pay attention to this point. In addition, said prior investigation is evaluating the minimum round bar diameter which produces the film fracture of a winding surface, for example, when a grain-oriented electrical steel sheet is wound around a round bar. The smaller the diameter is, the stronger the film can withstand higher stresses, and therefore, there is a tendency that even if the electron beam energy is increased, the film is not easily broken.

続いて、決定した条件にて、方向性電磁鋼板に電子ビームを照射する。この電子ビーム照射中の時間tに、マイクロアーキングが発生したら、この発生時点t(=0)から予め定めた一定時間tAが経過した後であって、さらに予め定めた経過時間tBの時間内に発生する、マイクロアーキングを計測する。なお、経過時間tB内に計測されない場合は、次に初めて計測されたマイクロアーキングの発生時間をt(=0)として上記プロセスに戻る(図2(a)参照)。
一方、上記経過時間tB内に計測された場合には、その時間(上記時間内に最も早く発生したアーキングの発生時間)をt(2)(但し、括弧内の数字はカウントしたアーキング回数を示す)として、それから一定時間tAが経過してから時間tBを経る前に発生する、マイクロアーキングを計測する。マイクロアーキングが計測された場合、その時間をt(3)として、それから一定時間tAが経過してから時間tBを経る前に発生する、マイクロアーキングを計測する(図2(b)参照)。
なお、マイクロアーキング発生後に時間tAを経過する以前に、マイクロアーキングが発生した場合にはカウントせず、tA経過後に発生するマイクロアーキングを次のマイクロアーキングとしてカウントする(図2(c)参照)。図2(c)に示すように、この操作を繰り返してカウント数を積み重ねていく。
Subsequently, the directional electromagnetic steel sheet is irradiated with an electron beam under the determined conditions. If micro arcing occurs at time t during the electron beam irradiation, after a predetermined time tA has elapsed from the time t (= 0), and within a predetermined elapsed time tB. Measure the micro arcing that occurs. If it is not measured within the elapsed time tB, the process returns to the above process with t (= 0) being the first micro arcing occurrence time measured for the first time (see FIG. 2A).
On the other hand, when measured within the elapsed time tB, the time (the occurrence time of arcing that occurred earliest within the above time) is t (2) (however, the numbers in parentheses indicate the number of arcing counted) ), And the micro arcing that occurs before the time tB after a certain time tA has elapsed is measured. When micro arcing is measured, the time is t (3), and micro arcing that occurs before the time tB passes after a certain time tA has elapsed is measured (see FIG. 2B).
Note that, when micro arcing occurs before the time tA elapses after the occurrence of micro arcing, it is not counted, and micro arcing that occurs after tA elapses is counted as the next micro arcing (see FIG. 2C). As shown in FIG.2 (c), this operation is repeated and a count number is accumulated.

このような計測プロセスをt(NA)+tA>tBとなるまで繰り返し、tBの経過時間内に発生したカウント済みのアーキング回数NAを得る。このNAが一定値NC以上の場合には、被膜損傷が起こりやすく、また、アーキングによる照射欠陥が多くなってしまうことから、それを抑制するために、電子ビームの出力を一定量低減する。
なお、アーキング回数の閾値NCは3回以上とすることが好ましい。なぜなら、1〜2回のアーキング発生は、鋼板にごく部分的に付着した埃、水分や油分を起因として、被膜の破壊され易さとは無関係に、しばしば起こり得るためである。
Such a measurement process is repeated until t (NA) + tA> tB, and the counted number of times of arcing NA occurring within the elapsed time of tB is obtained. When this NA is equal to or greater than a certain value NC, film damage is likely to occur, and irradiation defects due to arcing increase. Therefore, in order to suppress this, the output of the electron beam is reduced by a certain amount.
The arcing threshold NC is preferably 3 or more. This is because the occurrence of arcing once or twice can often occur regardless of the ease of destruction of the film due to dust, moisture, and oil adhering to the steel plate only partially.

また、電子ビームの出力低減は、上記NCが計測されるまでの電子ビーム照射条件に対して、その5〜30%の範囲で行うことが好ましい。というのは、30%を超えると磁区細分化の効果が不十分になり、一方5%未満では、被膜損傷を抑制する効果が不十分となるからである。   Further, it is preferable to reduce the output of the electron beam in the range of 5 to 30% of the electron beam irradiation conditions until the NC is measured. The reason is that if it exceeds 30%, the effect of magnetic domain fragmentation becomes insufficient, while if it is less than 5%, the effect of suppressing film damage becomes insufficient.

上記の処理において同時に、ライン方向(搬送方向)での単位ライン長さ当たりの電子ビーム照射の総エネルギー量(出力/線間隔に比例)が電子ビームの出力低減前と同じになるように、電子ビームの照射線間隔を、上記NCが計測されるまでの電子ビーム照射時に対して、その5〜30%の範囲で短縮することが好ましい。ここで、5%未満だと磁区細分化の効果が不十分となり、一方30%より大きいと、線間隔が過度に狭くなって生産性が低下してしまう。   At the same time in the above processing, the total energy amount (proportional to the output / line spacing) per unit line length in the line direction (conveyance direction) is the same as before the output reduction of the electron beam. It is preferable to shorten the beam irradiation line interval in the range of 5 to 30% of the electron beam irradiation time until the NC is measured. Here, if it is less than 5%, the effect of magnetic domain fragmentation becomes insufficient. On the other hand, if it is more than 30%, the line spacing becomes excessively narrow and the productivity is lowered.

以上の電子ビームの照射条件変更の後にも、マイクロアーキングが発生したら、上記に従ってNAを計測し、上記と同様の手順を踏めばよい。1つの電磁鋼板コイルの照射処理が終了したならば、次の電磁鋼板コイルをセットして照射処理を行うが、このとき電磁鋼板コイルの被膜性状が同等と考えられるならば、引続き同じ条件で照射するのが良いし、被膜性状が不明である場合には、再度、照射線間隔が大きな条件に戻しても良い。   If micro arcing occurs even after the above electron beam irradiation condition change, NA may be measured according to the above and the same procedure as above may be followed. When the irradiation treatment of one electromagnetic steel sheet coil is completed, the next electromagnetic steel sheet coil is set and the irradiation treatment is performed. At this time, if the coating properties of the electromagnetic steel sheet coil are considered to be equivalent, irradiation is continued under the same conditions. If the film properties are unknown, it may be returned to the condition where the irradiation line interval is large again.

さらに、アーキングの発生回数の検出は、公知の手法(例えば、特開昭63−290693号公報および特公平5−32157号公報)を用いてもよいし、その他の手法でもよい。その他の手法として、例えば、絶縁被膜が気化するなどした場合に発生する火花などを観測して、その回数で代替するものでも良い。   Furthermore, the number of occurrences of arcing may be detected using a known method (for example, Japanese Patent Laid-Open No. 63-290693 and Japanese Patent Publication No. 5-32157), or other methods. As another method, for example, a spark generated when the insulating coating is vaporized may be observed and replaced by the number of times.

なお、上記したアーキングは、発生時に検出する仕組みが公知になっている(例えば、特開昭63−290693号公報および特公平5−32157号公報)。ちなみに、特開昭63−290693号公報では、アーキング検出によって加工条件を変更させる方法も示されている。   It is to be noted that the above-described arcing has been known to be detected when it occurs (for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-290693 and Japanese Patent Publication No. 5-32157). Incidentally, Japanese Patent Laid-Open No. 63-290693 also shows a method of changing machining conditions by detecting arcing.

次に、方向性電磁鋼板の磁区細分化を施す場合などに、特に好適な一例として、具体的な条件を示す。
[アーキング発生最小時間間隔tA=0.05[m]/VL[m/s]、最大計測時間tB=1000[m]/v[m/s]]
上記した電子ビームの照射処理において、仮にアーキング発生頻度が高い電磁鋼板コイルが通板された場合にあっても、可及的速やかにアーキング発生頻度を抑制する措置を取り、アーキング発生の無い正常な照射時間を増大させることが、本発明の趣旨であるから、可能な限り短時間の間に照射条件変更すべきかの判断をする必要がある。
Next, specific conditions will be shown as a particularly suitable example when magnetic domain subdivision of a grain-oriented electrical steel sheet is performed.
[Minimum time interval for arcing occurrence tA = 0.05 [m] / VL [m / s], Maximum measurement time tB = 1000 [m] / v [m / s]]
In the electron beam irradiation process described above, even if a magnetic steel sheet coil having a high arcing frequency is passed, measures are taken to suppress the arcing frequency as quickly as possible. Since the purpose of the present invention is to increase the irradiation time, it is necessary to determine whether the irradiation conditions should be changed in the shortest possible time.

そのために、上記経過時間tBは最大計測時間であり、tB=1000[m]/v[m/s]とすることが好ましい。但し、vは電子ビームの走査速度[m/s]である。
上記式は、電子ビームが1000mの長さを走査するのに最小限必要な時間である。アーキングの発生頻度は、電子ビームの走査長さに比例するため、1000mであれば、十分にアーキング発生の有無を判断できることが経験的にわかっている。
Therefore, the elapsed time tB is a maximum measurement time, and it is preferable to set tB = 1000 [m] / v [m / s]. Where v is the scanning speed [m / s] of the electron beam.
The above equation is the minimum time required for the electron beam to scan a length of 1000 m. Since the occurrence frequency of arcing is proportional to the scanning length of the electron beam, it is empirically known that the presence or absence of occurrence of arcing can be sufficiently determined if it is 1000 m.

ここで、電子ビームの走査速度を50m/sとした場合、tB=20secとなって、1コイル長を2500m、搬送ラインにおける鋼板移動速度(ライン速度)50m/min(0.83m/s)とすると、照射条件変更のための判断に当てられる量は、コイル全長の1%にも満たないものとなる。しかし、一方で、過度に短い領域に発生する短時間でのアーキングは、コイルの極く局所的な表面性状を反映しているに過ぎないから、それをもって、照射条件の可否を判断するのは、線間隔を短縮する処置の頻度が増大して、生産性を過度に損なってしまうので避けるべきである。従って、上記tA(コイル長で50mm=0.05mに相当する時間)の時間制限を併せて設けることとした。
すなわち、上記した一定時間tAはアーキング発生最小時間間隔であり、tA=0.05[m]/VL[m/s]とすることが好ましい。但し、VLは方向性電磁鋼板の搬送ラインにおける移動速度である。tAを上記に設定した理由は、コイルの極く局所的に異なる表面性状は、コイルの長手方向の50mm以内の長さ範囲で存在していることがほとんどであるからである。
Here, assuming that the scanning speed of the electron beam is 50 m / s, tB = 20 sec, 1 coil length is 2500 m, and the steel plate moving speed (line speed) is 50 m / min (0.83 m / s) in the transfer line. The amount used for the determination for changing the irradiation condition is less than 1% of the total coil length. However, on the other hand, arcing in a short time that occurs in an excessively short region only reflects the extremely local surface properties of the coil. The frequency of treatment for shortening the line interval increases, and the productivity is excessively impaired. Therefore, a time limit of tA (time corresponding to a coil length of 50 mm = 0.05 m) is also provided.
That is, the above-mentioned fixed time tA is the minimum arcing occurrence time interval, and it is preferable that tA = 0.05 [m] / VL [m / s]. However, VL is the moving speed of the grain-oriented electrical steel sheet on the transport line. The reason why tA is set as described above is that the surface characteristics that are extremely different from each other in the coil are mostly present within a length range within 50 mm in the longitudinal direction of the coil.

[NC:3回以上]
次に、アーキング回数の閾値NCにつき、1〜2回では、それが鋼板の平均的な情報を反映するとは言いがたいことから、3回以上とした。すなわち、1〜2回のアーキング発生は、鋼板にごく部分的に付着した埃、水分や油分を起因として、被膜の破壊され易さとは無関係に、しばしば起こり得るためである。しかしながら、アーキングであるから、可能な限り少なくすることがよく、その回数を3回とすることが好ましい。
[NC: 3 times or more]
Next, with respect to the threshold NC of the number of times of arcing, it is difficult to say that the average information of the steel sheet is reflected once or twice. That is, the occurrence of arcing once or twice can often occur regardless of the ease of destruction of the film due to dust, moisture, and oil adhering to the steel plate only partially. However, since it is arcing, it is preferable to reduce it as much as possible, and the number of times is preferably 3 times.

[条件変化量x:5〜30%]
電子ビーム照射条件の変化量は、被膜破壊抑制の効果を確実に得るために、照射電流および電子ビーム照射線の相互間隔のいずれか一方または両方を、少なくとも5%の変化(低減)をさせることが好ましい。一方で、過度に変化させた場合には、照射電流および電子ビーム照射線の相互間隔のいずれか一方または両方を、必要以上に低減させて、生産性を著しく損なうことから30%以下とすることが好ましい。
[Condition change x: 5 to 30%]
The amount of change in the electron beam irradiation condition is to change (reduce) at least 5% of either or both of the irradiation current and the mutual distance between the electron beam irradiation lines in order to reliably obtain the effect of suppressing the destruction of the film. Is preferred. On the other hand, if it is changed excessively, either or both of the irradiation current and the mutual interval between the electron beam irradiation lines will be reduced more than necessary, and the productivity will be significantly impaired. Is preferred.

次に、本発明における電子ビームの照射条件について、その条件毎に説明する。
[加速電圧Va:40〜300kV]
加速電圧は、値が高い方が方向性電磁鋼板の磁区細分化に有利な、細いビーム径を達成しやすいが、40kV以下であると、ビーム径を絞ることが難しくなり鉄損低減効果が小さくなる。一方、300kV以上であると、X線遮蔽のために装置が過度に大型化し、メンテナンス性が低くなり、それに伴う生産性の低下が生じるため、300kV以下とすることが好ましい。
Next, the electron beam irradiation conditions in the present invention will be described for each condition.
[Acceleration voltage Va: 40 to 300kV]
A higher acceleration voltage is advantageous in achieving a narrow beam diameter, which is advantageous for magnetic domain fragmentation of grain-oriented electrical steel sheets, but if it is 40 kV or less, it is difficult to narrow the beam diameter and the effect of reducing iron loss is small. Become. On the other hand, if it is 300 kV or more, the apparatus becomes excessively large due to X-ray shielding, resulting in poor maintainability and accompanying productivity reduction.

[電子ビーム径(ビームプロファイル半値幅):100〜500μmφ]
ビーム径を100μmφ未満とする場合、そのために、ワーキングディスタンス(WD)を極度に低減するなどの処置を講じざるを得ず、その場合、1つの電子ビーム源によって偏向照射可能な距離が大幅に減少してしまう。その結果、1200mmほどの広幅コイルに照射を行うためには、多数の電子銃が必要となって、メンテナンス性並びに生産性を減じる。
一方、500μmφより大きいと、十分な鉄損低減効果が得られない。というのも、鋼板のビーム照射面積(熱歪み導入部分の体積)が過度に増大して、ヒステリシス損が劣化するためである。
[Electron beam diameter (half width of beam profile): 100-500μmφ]
When the beam diameter is less than 100μmφ, it is necessary to take measures such as extremely reducing the working distance (WD). In that case, the distance that can be deflected by one electron beam source is greatly reduced. Resulting in. As a result, in order to irradiate a wide coil of about 1200 mm, a large number of electron guns are required, reducing maintenance and productivity.
On the other hand, if it is larger than 500 μmφ, a sufficient iron loss reduction effect cannot be obtained. This is because the beam irradiation area (volume of the thermal strain introduction portion) of the steel sheet is excessively increased and the hysteresis loss is deteriorated.

[電子ビーム照射パターン]
上記の加速電圧とビーム径を有する電子ビームを鋼板面上で走査させながら、鋼板内部に直線状の熱歪を与えていく。このときの電子ビームの出力や、鋼板上の走査速度は鋼板の低鉄損化に有利な条件となるよう、適宜設定すれば良い。電子ビームの走査は、常時移動し続ける連続的なものであっても良いし、移動と停止を繰返しながら行うドット状のものであってもなんら問題は無い。
[Electron beam irradiation pattern]
While the electron beam having the above acceleration voltage and beam diameter is scanned on the steel plate surface, linear thermal strain is applied to the inside of the steel plate. What is necessary is just to set suitably the output of the electron beam at this time, and the scanning speed on a steel plate so that it may become conditions favorable for the reduction in iron loss of a steel plate. The scanning of the electron beam may be a continuous one that continues to move constantly or a dot-like one that is repeatedly moved and stopped without any problem.

また、上記の熱歪を導入する方向は、圧延直角方向からのずれ角が30°以内とすることが望ましい。一般的に、磁化容易軸を横切る向きに導入した熱歪によって、磁区の細分化が起こる。従って、Goss方位粒で主に形成される方向性電磁鋼板においては、圧延直角方向を向いた熱歪があれば、磁区が十分細分化されるし、一方で、圧延直角方向からずれている場合には、その分、余分な熱歪が鋼中に形成されることになり、磁壁移動運動の障害となって、鉄損を劣化してしまう。   Further, it is desirable that the direction in which the thermal strain is introduced has a deviation angle of 30 ° or less from the direction perpendicular to the rolling. In general, magnetic domains are subdivided by thermal strain introduced in a direction crossing the easy axis of magnetization. Therefore, in the grain-oriented electrical steel sheet mainly formed with Goss-oriented grains, if there is a thermal strain directed in the direction perpendicular to the rolling, the magnetic domain is sufficiently subdivided, while on the other hand, it is shifted from the direction perpendicular to the rolling Therefore, an excessive thermal strain is formed in the steel, which becomes an obstacle to the domain wall motion and deteriorates the iron loss.

さらに、上記線状の熱歪は、圧延方向に一定の間隔を持って周期的に形成する。この間隔(線間隔)は3〜15mmであることが好ましい。線間隔が狭いと、鋼中に形成される歪領域が過度に大きくなって、鉄損(ヒステリシス損)が劣化するだけでなく、生産性を劣化する。一方で、広すぎると、いくら深さ方向に還流磁区を拡大しても、磁区細分化効果が乏しくなり鉄損が改善しない。   Further, the linear thermal strain is periodically formed with a certain interval in the rolling direction. This interval (line interval) is preferably 3 to 15 mm. When the line spacing is narrow, the strain region formed in the steel becomes excessively large, and not only iron loss (hysteresis loss) is deteriorated but also productivity is deteriorated. On the other hand, if it is too wide, no matter how much the reflux magnetic domain is expanded in the depth direction, the effect of subdividing the magnetic domain becomes poor and the iron loss is not improved.

[加工室圧力:3Pa以下]
加工室圧力が3Paを超えると、電子銃から発生した電子が残留ガスに散乱され、地鉄に熱影響を与え、還流磁区を形成する電子のエネルギーが減少するため、十分に磁区が細分化されず、鉄損の改善が難しくなる。
[Processing chamber pressure: 3 Pa or less]
When the processing chamber pressure exceeds 3 Pa, the electrons generated from the electron gun are scattered by the residual gas, which has a thermal effect on the iron and reduces the energy of the electrons that form the reflux magnetic domain. Therefore, it is difficult to improve iron loss.

地鉄中にSiを質量比で3.2%含有する方向性電磁鋼板に、被膜強度の異なるフォルステライト被膜(素材A、B、C)を形成し、さらにその上からリン酸塩系の張力被膜を形成したのち、下記の条件に従って電子ビームを照射して磁区細分化処理を施した。その際、マイクロアーキングの発生を計測し、電子ビームの照射条件を、表1に示すように調整した。長さ2000mの電磁鋼板コイルの処理において1000m当たりのアーキングの発生回数と、電子ビーム照射処理後の方向性電磁鋼板の鉄損および電子ビーム加工処理時間とを調査した結果について、表2に示す。   Form a forsterite film (materials A, B, C) with different film strength on a grain-oriented electrical steel sheet containing 3.2% Si by mass in the base iron, and then apply a phosphate-based tension film on top of it. After the formation, magnetic domain fragmentation was performed by irradiating an electron beam according to the following conditions. At that time, the occurrence of micro arcing was measured, and the irradiation condition of the electron beam was adjusted as shown in Table 1. Table 2 shows the results of investigating the number of arcing occurrences per 1000 m, the iron loss of the grain-oriented electrical steel sheet after the electron beam irradiation treatment, and the electron beam processing time in the treatment of the 2000 m long steel sheet coil.


電子ビーム照射条件:走査速度30m/s、加速電圧70kV、照射幅(コイル幅)200mm、加工室圧力0.1Pa
なお、方向性電磁鋼板は、1200mm広幅コイルから200mmにスリット加工して、実験材としたため、素材が同じであれば磁性はどれもほぼ等しい。また、電子ビーム照射条件変更は、1コイル照射中に1回のみとした。
Electron beam irradiation conditions: scanning speed 30m / s, acceleration voltage 70kV, irradiation width (coil width) 200mm, processing chamber pressure 0.1Pa
The grain-oriented electrical steel sheets were slit to 200 mm from a 1200 mm wide coil and used as experimental materials. Therefore, if the materials are the same, the magnetic properties are almost equal. The electron beam irradiation condition was changed only once during one coil irradiation.

ここで、マイクロアーキングの測定は、特開昭63-290693号公報に示される加速電圧の低下と異常電流の検出によって行った。
磁気特性は、コイル幅中央から20m毎に50枚SST試験片を採取して測定し、それを平均した。なお、条件変更前後での照射部が必ず採取できるようにした。
Here, the measurement of micro arcing was performed by detecting the decrease in acceleration voltage and abnormal current as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-290693.
The magnetic properties were measured by sampling 50 SST specimens every 20 m from the center of the coil width and averaging them. In addition, the irradiation part before and after the condition change was always collected.

表1及び2に示すように、本発明の範囲を満足する例は磁気特性が良好となることがわかる。また、tA、tB、NCおよびxをより適正な条件としたNo.5および7では、磁性が良好であり、かつ高速処理を達成することがわかる。   As shown in Tables 1 and 2, it can be seen that examples satisfying the scope of the present invention have good magnetic properties. It can also be seen that Nos. 5 and 7 with tA, tB, NC, and x being more appropriate conditions have good magnetism and achieve high-speed processing.

Figure 0005825284
Figure 0005825284

Figure 0005825284
Figure 0005825284

Claims (5)

電子ビームを鋼材に照射して該鋼材に連続的に加工を施すに当たり、
前記電子ビームの照射中にアーキングの検知を行って、一定の経過時間内に一定の時間間隔を置いて発生するアーキングが、N回以上発生した場合に、該N回目が生じた時点以降の電子ビームの照射電流を低減する鋼材加工方法。
When the steel material is irradiated with an electron beam to continuously process the steel material,
When arcing is detected during the irradiation of the electron beam and arcing that occurs at a certain time interval within a certain elapsed time occurs N times or more, the electrons after the Nth occurrence are detected. Steel material processing method that reduces beam irradiation current.
前記Nが3である請求項1に記載の鋼材加工方法。   The steel material processing method according to claim 1, wherein N is three. 前記N回目が生じた時点以降の電子ビームの照射電流を、前記N回目が生じた時点の電子ビームの照射電流の5〜30%低減する請求項1または請求項2に記載の鋼材加工方法。   The steel material processing method according to claim 1 or 2, wherein the irradiation current of the electron beam after the Nth time is reduced by 5 to 30% of the irradiation current of the electron beam when the Nth time is generated. 搬送ライン上を移動する方向性電磁鋼板の表面に、該鋼板の圧延方向と交差する向きに電子ビームを線状に照射することを該鋼板の圧延方向へ間隔を置いて繰り返し行うに当たり、
前記電子ビームの照射中にアーキングの検知を行って、1000[m]/v[m/s](v:電子ビームの走査速度)の経過時間内に0.05[m]/VL[m/s](VL:前記搬送ラインにおける鋼板の移動速度)の時間間隔を置いて発生するアーキングが、3回以上発生した場合に、該3回目が生じた時点以降の照射電流を、前記3回目が生じた時点の電子ビームの照射電流の5〜30%の範囲で低減する方向性電磁鋼板の加工方法。
In repetitively performing the irradiation of the electron beam linearly in the direction intersecting the rolling direction of the steel sheet at intervals in the rolling direction of the steel sheet on the surface of the directional electromagnetic steel sheet moving on the transport line,
Arcing is detected during the irradiation of the electron beam, and 0.05 [m] / VL [m / s] within an elapsed time of 1000 [m] / v [m / s] (v: scanning speed of the electron beam) When arcing that occurs at a time interval of (VL: moving speed of the steel plate in the transfer line) occurs three times or more, the irradiation current after the third time occurs is the third time. A method for processing grain-oriented electrical steel sheets that reduces within a range of 5 to 30% of the irradiation current of the electron beam at the time.
前記3回目が生じた時点以降の前記電子ビーム照射線の相互間隔を、前記3回目が生じた時点の電子ビーム照射線の相互間隔の5〜30%の範囲で低減する請求項4に記載の方向性電磁鋼板の加工方法。
5. The mutual interval between the electron beam irradiation lines after the third time is reduced within a range of 5 to 30% of the mutual interval between the electron beam irradiation lines when the third time occurs. 6. A method for processing grain-oriented electrical steel sheets.
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