JP5801009B1

JP5801009B1 - Double sealed terminal header

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Publication number: JP5801009B1
Application number: JP2015118154A
Authority: JP
Inventors: 中島　広; 広中島
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2015-06-11
Filing date: 2015-06-11
Publication date: 2015-10-28
Anticipated expiration: 2035-06-11
Also published as: JP2017003014A

Abstract

【課題】ヘッダ構成要素の熱応力の違いを吸収できる構造を採用した二重封止型ターミナルヘッダを提供すること。【解決手段】低温タンクの貫通部に使用される二重封止型ターミナルヘッダにおいて、中心導体４に凸状部分４３を形成して第１の長さＬ２０とし、これと環状封着管（３、９）の長さＬ３０の合計値と、セラミックスリーブ２の長さＬ１０とをほぼ同一にし、環状封着管（３、９）および凸状部分４３の熱膨張および熱収縮による伸縮値の加算値と、セラミックスリーブ２の熱膨張および熱収縮による伸縮値とがほぼ一定の範囲内に維持されるように、中心導体４および環状封着管（３、９）の長さと、セラミックスリーブ２の長さとをそれぞれ所定の割合による長さに設定したものである。【選択図】図２PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a double sealed terminal header adopting a structure capable of absorbing a difference in thermal stress of header components. In a double-sealed terminal header used in a penetration part of a low-temperature tank, a convex portion 43 is formed on a central conductor 4 to have a first length L20 and an annular sealing tube (3) 9) and the length L10 of the ceramic sleeve 2 are made substantially the same, and the expansion and contraction values due to the thermal expansion and contraction of the annular sealing tube (3, 9) and the convex portion 43 are added. The length of the central conductor 4 and the annular sealing tube (3, 9) and the length of the ceramic sleeve 2 so that the value and the expansion / contraction value due to thermal expansion and contraction of the ceramic sleeve 2 are maintained within a substantially constant range. The length is set to a length according to a predetermined ratio. [Selection] Figure 2

Description

本発明は、液化天然ガス等を貯蔵する低温タンクの貫通部分で用いられる二重封止型ターミナルヘッダに関し、特にヘッダを構成する要素の熱応力の違いによる変形を吸収できるように工夫した二重封止型ターミナルヘッダに関するものである。 The present invention relates to a double-sealed terminal header used in a penetrating portion of a low-temperature tank for storing liquefied natural gas and the like, and particularly, a double-developed so as to absorb deformation caused by a difference in thermal stress of elements constituting the header. The present invention relates to a sealed terminal header.

ＬＮＧ／ＬＰＧ等の低温液化ガスを貯蔵する低温タンク内部には、ＬＮＧ／ＬＰＧ等の低温液化ガスをタンク外部に送り出すためサブマージドモータポンプが設置されている。このサブマージドモータポンプのモータは、低温タンク外部から電力を供給することにより駆動されている。 A submerged motor pump is installed inside a low temperature tank for storing a low temperature liquefied gas such as LNG / LPG to send out a low temperature liquefied gas such as LNG / LPG to the outside of the tank. The motor of this submerged motor pump is driven by supplying electric power from the outside of the low temperature tank.

この低温タンク内部およびポンプ部は、低温高圧の状況にあるため、低温タンク内に電力を供給する際には、液漏れや低温による不具合が発生しないようにする必要がある。そのための貫通ブッシングとして、従来から、二重封止型ターミナルヘッダが用いられている。
この種の二重封止型ターミナルヘッダは、周知のとおり、ＬＮＧ／ＬＰＧ等の液化天然ガスを貯蔵する低温タンク等の貫通部分に用いられている。この二重封止型ターミナルヘッダは、前記タンクの貫通部を塞ぐように固定される隔壁フランジと、前記隔壁フランジに設けた透孔に挿通固定されたセラミックスリーブと、前記セラミックスリーブの内部の中空部に挿通された導体とを備え、封止が必要な箇所を封止材にて封止してなるものが知られている。
このような二重封止型ターミナルヘッダにおいて、液漏れや低温による不具合を防止するため、従来より、各種構造のものが工夫され提案されている（特許文献１、２、３参照）。 Since the inside of the low-temperature tank and the pump section are in a low-temperature and high-pressure state, it is necessary to prevent problems caused by liquid leakage and low temperature when power is supplied into the low-temperature tank. Conventionally, a double sealed terminal header has been used as a through bushing.
As is well known, this type of double-sealed terminal header is used in a penetrating portion of a low-temperature tank or the like for storing liquefied natural gas such as LNG / LPG. The double-sealed terminal header includes a partition flange that is fixed so as to close the penetrating portion of the tank, a ceramic sleeve that is inserted and fixed in a through hole provided in the partition flange, and a hollow inside the ceramic sleeve. And a conductor inserted through the portion, and a portion that needs to be sealed is sealed with a sealing material.
In such double-sealed terminal headers, various structures have been devised and proposed in order to prevent problems due to liquid leakage and low temperature (see Patent Documents 1, 2, and 3).

実開昭６４−３５６３７号公報Japanese Utility Model Publication No. 64-35637 特開平８−３３８５９６号公報JP-A-8-338596 特開平１０−１１６５３０号公報JP 10-116530 A

上記従来の二重封止型ターミナルヘッダでは、温度変化に応じて発生する熱応力を吸収するための構造が提供されているものの、特許文献１記載の従来技術では軸方向に耐力以上の熱応力が発生して金属疲労を起こす恐れがあり、特許文献２記載の従来技術では導体の中間部分の断面積を小さくして可撓性をもたせることにより熱応力を吸収させようとしているが、低温のため可撓性がなくなる恐れがあり、さらに特許文献３記載の従来技術ではベロー構造を採用して熱応力を吸収しようとしているが、そのベロー構造部分で金属疲労が発生してしまうという不都合があった。 In the conventional double-sealed terminal header, a structure for absorbing the thermal stress generated according to the temperature change is provided. However, in the conventional technique described in Patent Document 1, the thermal stress exceeding the proof stress in the axial direction is provided. However, the conventional technology described in Patent Document 2 attempts to absorb thermal stress by reducing the cross-sectional area of the intermediate portion of the conductor to provide flexibility. Therefore, the flexibility may be lost, and the prior art described in Patent Document 3 uses a bellows structure to absorb thermal stress. It was.

本発明は、上記不都合な点を解消し、熱応力の違いを吸収できる構造を採用した二重封止型ターミナルヘッダを提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a double-sealed terminal header that eliminates the above disadvantages and adopts a structure that can absorb the difference in thermal stress.

上記目的を達成するため、本発明に係る請求項１記載の二重封止型ターミナルヘッダは、
液化天然ガス等を貯蔵する低温タンクの貫通部に使用される二重封止型ターミナルヘッダにおいて、
中心軸に対して同心状に、中心軸側から中心導体、環状封着管及びセラミックスリーブと順に配置し、前記中心導体は金属で中心軸方向に所定長さで所定の半径の円柱形状に形成し、前記環状封着管は当該中心導体の外周にコバールで中心軸方向に所定の長さで所定の肉厚をもった円筒形状に形成し、前記セラミックスリーブは当該環状封着管の外周に中心軸方向に所定の長さで所定の肉厚をもった円筒形状に形成し、かつ、当該セラミックスリーブを低温タンク固定用隔壁フランジに嵌合させて一体化し、
前記環状封着管はその内周面と前記中心導体外周面との間で所定の間隙が保たれる内径に形成し、当該セラミックスリーブはその内周面とコバール外周面との間で所定の間隙が保たれる内径に形成し、
かつ、当該中心導体、封着管及びセラミックスリーブは所定の位置にて支持構造にて支持された二重封止型ターミナルヘッダであって、
当該中心導体は、低温タンクの貫通部に設置されたときに常温大気圧側に位置する部位に凸状部分を形成し、当該凸状部分は中心軸方向に第１の長さでかつ封着管の外径と同一外径に形成し、
前記環状封着管は環状長尺封着管と環状短尺封着管とからなり、前記環状長尺封着管は中心軸方向に第２の長さに形成して前記中心導体の凸状部分より低温高圧側となる領域に配置して前記中心導体の凸状部分に支持構造で係着し、前記環状短尺封着管は中心軸方向に第３の長さに形成して前記中心導体の凸状部分より常温大気圧側となる領域に配置して前記中心導体の凸状部分に支持構造で係着し、
前記中心導体の凸状部分の中心軸方向の第１の長さ、環状長尺封着管の中心軸方向の第２の長さ及び環状短尺封着管の中心軸方向の第３の長さの合計長さと、前記セラミックスリーブの中心軸方向の長さとをほぼ同一にし、
かつ、前記環状長尺封着管および前記環状短尺封着管の熱膨張および熱収縮による中心軸方向の伸縮値および前記中心導体の凸状部分の熱膨張および熱収縮による中心軸方向の伸縮値の加算値と、前記セラミックスリーブの熱膨張および熱収縮による中心軸方向の伸縮値とがほぼ同一ないし一定の範囲内に維持されるように、前記中心導体の凸状部分の長さ、環状封着管の長さおよびセラミックスリーブの長さをそれぞれ所定の割合による長さに設定したことを特徴とするものである。 In order to achieve the above object, a double-sealed terminal header according to claim 1 according to the present invention,
In the double-sealed terminal header used for the penetration part of the cryogenic tank that stores liquefied natural gas,
Concentrically with the central axis, the central conductor, annular sealing tube, and ceramic sleeve are arranged in this order from the central axis side. The annular sealing tube is formed in a cylindrical shape with a predetermined length and a predetermined thickness in the central axis direction by Kovar on the outer periphery of the central conductor, and the ceramic sleeve is formed on the outer periphery of the annular sealing tube. It is formed in a cylindrical shape with a predetermined length and a predetermined thickness in the central axis direction, and the ceramic sleeve is integrated with a low-temperature tank fixing partition flange,
The annular sealing tube is formed with an inner diameter that maintains a predetermined gap between the inner peripheral surface and the outer peripheral surface of the central conductor, and the ceramic sleeve has a predetermined gap between the inner peripheral surface and the Kovar outer peripheral surface. It is formed on the inner diameter where the gap is maintained,
And the said center conductor, a sealing pipe | tube, and a ceramic sleeve are the double sealing type terminal headers supported by the support structure in the predetermined position,
The central conductor forms a convex portion at a portion located on the normal temperature and atmospheric pressure side when installed in the penetration portion of the low-temperature tank, and the convex portion has a first length in the central axis direction and is sealed Formed to the same outer diameter as the outer diameter of the pipe,
The annular sealing tube is composed of an annular long sealing tube and an annular short sealing tube, and the annular long sealing tube is formed to have a second length in the central axis direction and is a convex portion of the central conductor. It is arranged in a region on the lower temperature and high pressure side and is attached to the convex portion of the central conductor by a support structure, and the annular short sealing tube is formed in a third length in the central axis direction to form the central conductor. Arranged in the region on the room temperature and atmospheric pressure side from the convex part, and attached to the convex part of the central conductor with a support structure,
The first length in the central axis direction of the convex portion of the central conductor, the second length in the central axis direction of the annular long sealed tube, and the third length in the central axis direction of the annular short sealed tube The total length of the ceramic sleeve and the length in the central axis direction of the ceramic sleeve,
And the expansion value in the central axis direction due to thermal expansion and thermal contraction of the annular long sealing tube and the short annular sealing tube and the expansion value in the central axis direction due to thermal expansion and thermal contraction of the convex portion of the central conductor The length of the convex portion of the central conductor and the annular seal are such that the added value of the ceramic sleeve and the expansion / contraction value in the central axis direction due to thermal expansion and contraction of the ceramic sleeve are maintained within substantially the same or constant range. The length of the tube and the length of the ceramic sleeve are set to predetermined lengths, respectively.

請求項２記載の発明に係る二重封止型ターミナルヘッダは、請求項１記載において、前記中心導体の凸状部分の中心軸方向の第１の長さは、セラミックスリーブの中心軸方向に長さの概ね２０．８％程度に設定されていて、
かつ、前記環状長尺封着管の中心軸方向の第２の長さと、前記環状短尺封着管の中心軸方向の第３の長さを加えた合計長さは、セラミックスリーブの中心軸方向に長さの概ね７９．２％程度に設定されていることを特徴とするものである。 A double sealed terminal header according to a second aspect of the present invention is the double-sealed terminal header according to the first aspect, wherein the first length of the convex portion of the central conductor in the central axis direction is long in the central axis direction of the ceramic sleeve. It is set to about 20.8% of the
And the total length of the second length in the central axis direction of the annular long sealed tube and the third length in the central axis direction of the annular short sealed tube is the total axial direction of the ceramic sleeve The length is set to approximately 79.2% of the length.

請求項３記載の発明に係る二重封止型ターミナルヘッダは、請求項１又は２記載において、
前記セラミックスリーブの中心軸方向の長さをＬ１０、その熱膨張率をα１０とし、中心導体の凸状部分の中心軸方向の第１の長さをＬ２０、その熱膨張率をα２０とし、かつ、環状長尺封着管の中心軸方向の第２の長さと環状短尺封着管の中心軸方向の第３の長さの合計長さをＬ３０、その熱膨張率をα３０としたときに、
Ｌ１０＝Ｌ２０＋Ｌ３０
Ｌ１０× α１０＝（Ｌ２０×α２０）＋（Ｌ３０× α３０）
の関係が成立することを特徴とするものである。 The double-sealed terminal header according to the invention of claim 3 is described in claim 1 or 2,
The length in the central axis direction of the ceramic sleeve is L10, its thermal expansion coefficient is α10, the first length in the central axis direction of the convex portion of the central conductor is L20, its thermal expansion coefficient is α20, and When the total length of the second length in the central axis direction of the annular long sealed tube and the third length in the central axis direction of the annular short sealed tube is L30, and the coefficient of thermal expansion is α30,
L10 = L20 + L30
L10 × α10 = (L20 × α20) + (L30 × α30)
The relationship is established.

本発明は、前記中心導体が低温タンクの貫通部に設置されたときに常温大気圧側に位置する前記中心導体の部位に凸状部分を形成し、前記中心導体の凸状部分の中心軸方向の第１の長さ、環状長尺封着管の中心軸方向の第２の長さ及び環状短尺封着管の中心軸方向の第３の長さの合計長さと、前記セラミックスリーブの中心軸方向の長さとをほぼ同一にし、かつ、前記環状長尺封着管及び前記環状短尺封着管の熱膨張および熱収縮による中心軸方向の伸縮値及び前記中心導体の凸状部分の熱膨張および熱収縮による中心軸方向の伸縮値の加算値と、前記セラミックスリーブの熱膨張および熱収縮による中心軸方向の伸縮値とがほぼ同一ないし一定の範囲内に維持される値に、前記中心導体の凸状部分の長さと環状封着管の長さとセラミックスリーブの長さをそれぞれ所定の割合による長さに設定したので、中心導体、環状長尺封着管および前記環状短尺封着管とセラミックスリーブとがほぼ同一値に伸縮して中心軸方向に沿う熱応力による影響を軽減できるという優れた効果を奏する。 In the present invention, when the central conductor is installed in a penetration part of a low-temperature tank, a convex portion is formed in a portion of the central conductor located on a room temperature atmospheric pressure side, and the central axial direction of the convex portion of the central conductor A total length of the first length, the second length in the central axis direction of the annular long sealing tube, and the third length in the central axis direction of the annular short sealing tube, and the central axis of the ceramic sleeve The length of the direction is substantially the same, and the expansion and contraction values in the central axis direction due to thermal expansion and thermal contraction of the annular long sealing tube and the annular short sealing tube and the thermal expansion of the convex portion of the central conductor and The added value of the expansion / contraction value in the central axis direction due to thermal contraction and the expansion / contraction value in the central axis direction due to thermal expansion and contraction of the ceramic sleeve are set to a value that is maintained within substantially the same or constant range. Length of convex part, length of annular sealing tube and ceramics Since the length of the probe is set at a predetermined ratio, the central conductor, the annular long sealing tube, and the annular short sealing tube and the ceramic sleeve expand and contract to substantially the same value in the direction of the central axis. There is an excellent effect that the influence of the thermal stress along can be reduced.

本発明に係る二重封止型ターミナルヘッダの実施形態の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of embodiment of the double sealing type | mold terminal header which concerns on this invention. 本発明に係る二重封止型ターミナルヘッダの構造を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the structure of the double sealing type | mold terminal header which concerns on this invention. 図２のＡ−Ａ′線に沿って示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line AA ′ in FIG. 2. 図２のＢ−Ｂ′線に沿って示す断面図である。It is sectional drawing shown along the BB 'line | wire of FIG. 図２のＣ−Ｃ′線に沿って示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line CC ′ of FIG. 2. 図２のＤ−Ｄ′線に沿って示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line DD ′ in FIG. 2. 本発明に係る二重封止型ターミナルヘッダのセラミックスリーブ等の低温圧力側端部を拡大して示す断面図である。It is sectional drawing which expands and shows the low-temperature-pressure side edge parts, such as a ceramic sleeve, of the double sealing type terminal header which concerns on this invention. 本発明に係る二重封止型ターミナルヘッダのセラミックスリーブ等の常温大気圧側端部を拡大して示す断面図である。It is sectional drawing which expands and shows the normal temperature atmospheric pressure side edge parts, such as a ceramic sleeve, of the double sealing type terminal header which concerns on this invention. 本発明に係る二重封止型ターミナルヘッダのセラミックスリーブ等の低温圧力側端部の他の構成例を拡大して示す断面図である。It is sectional drawing which expands and shows the other structural example of low temperature pressure side edge parts, such as a ceramic sleeve of the double sealing type | mold terminal header which concerns on this invention. 本発明に係る二重封止型ターミナルヘッダのセラミックスリーブ等の常温大気圧側端部の他の構成例を拡大して示す断面図である。It is sectional drawing which expands and shows the other structural example of normal temperature atmospheric pressure side edge parts, such as a ceramic sleeve of the double sealing type | mold terminal header which concerns on this invention.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１において、本発明に係る二重封止型ターミナルヘッダＴＨの実施の形態も、ＬＮＧ／ＬＰＧ等の液化天然ガスを貯蔵する低温タンク等の貫通部分に用いられるものである。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
In FIG. 1, the embodiment of the double sealed terminal header TH according to the present invention is also used for a penetrating portion such as a low temperature tank for storing liquefied natural gas such as LNG / LPG.

この二重封止型ターミナルヘッダＴＨは、図１に示すように、隔壁フランジ１と、セラミックスリーブ２と、環状長尺封着管３と、中心導体４と、第１の環状封着金具５と、第２の環状封着金具６と、第３の環状封着金具７と、第４の環状封着金具８と、環状短尺封着管９と、端子Ｐａ、Ｐｂとを備え、封止が必要な箇所を封止材にて封止してなるものである。
この二重封止型ターミナルヘッダＴＨにおいて、中心軸Ｏに対して同心状に、まず中心導体４が配置され、その中心導体４の外周に環状封着管３、９が配置され、さらに環状封着管３、９の外周にセラミックスリーブ２が順次配置された構造をしている。
また、二重封止型ターミナルヘッダＴＨにおいて、前記中心導体４は、金属で中心軸Ｏの方向に所定長さＬｃ以上の円柱形状に形成されている。この中心導体４の外周には、中空円筒形状をした前記環状封着管３、９が配置されている。
前記環状封着管３、９は、コバールで中心軸Ｏに対して所定の長さＬｉ、Ｌｓで所定の肉厚で円筒形状に形成されている。前記セラミックスリーブ２は、当該環状封着管３、９の外周に所定の長さＬｃで所定の肉厚で円筒形状に形成し、かつ、当該セラミックスリーブ２を隔壁フランジ１に嵌合させて一体化した構造をしている。 As shown in FIG. 1, the double sealed terminal header TH includes a partition flange 1, a ceramic sleeve 2, an annular long sealing tube 3, a central conductor 4, and a first annular sealing bracket 5. A second annular sealing bracket 6, a third annular sealing bracket 7, a fourth annular sealing bracket 8, an annular short sealing tube 9, and terminals Pa and Pb, and sealed Is formed by sealing a necessary portion with a sealing material.
In this double sealed terminal header TH, the central conductor 4 is first arranged concentrically with the central axis O, and the annular sealing tubes 3 and 9 are arranged on the outer periphery of the central conductor 4, and the annular sealing is further performed. The ceramic sleeve 2 is sequentially arranged on the outer periphery of the receiving tubes 3 and 9.
In the double-sealed terminal header TH, the central conductor 4 is made of metal and has a cylindrical shape with a predetermined length Lc or more in the direction of the central axis O. On the outer periphery of the central conductor 4, the annular sealing tubes 3 and 9 having a hollow cylindrical shape are arranged.
The annular sealing tubes 3 and 9 are formed in a cylindrical shape with a predetermined thickness Li and Ls with a predetermined length Li and Ls with respect to the central axis O. The ceramic sleeve 2 is formed in a cylindrical shape with a predetermined length Lc and a predetermined thickness on the outer periphery of the annular sealing tubes 3 and 9, and the ceramic sleeve 2 is fitted to the partition flange 1 so as to be integrated. It has a structured structure.

さらに、二重封止型ターミナルヘッダＴＨの各部構成要素について、図１を参照して詳説する。
隔壁フランジ１は、次のように構成されている。すなわち、前記隔壁フランジ１は、例えばＳＵＳ３１６Ｌからなる所定厚み（Ｌａ＋Ｌｂ）の板体で構成されており、この板体には透孔１０が穿設されている。前記隔壁フランジ１に穿設された透孔１０は、大径孔部１１と、小径孔部１２とから構成されている。 Furthermore, each component of the double sealed terminal header TH will be described in detail with reference to FIG.
The partition flange 1 is configured as follows. That is, the partition flange 1 is configured by a plate body having a predetermined thickness (La + Lb) made of, for example, SUS316L, and a through hole 10 is formed in the plate body. The through hole 10 formed in the partition flange 1 includes a large diameter hole portion 11 and a small diameter hole portion 12.

前記大径孔部１１は、低温高圧側に接する隔壁フランジ１の第１の側面Ｓａ側から常温大気圧側に接する隔壁フランジ１の第２の側面Ｓｂ側に向かって、所定の第１の長さＬａにわたって、中心軸Ｏから第１の半径Ｒａに保たれて穿設されている。
前記小径孔部１２は、前記第２の側面Ｓｂ側から前記第１の側面Ｓａ側に向けて前記大径孔部１１までの第２の長さＬｂにわたって、大径孔部１１の半径Ｒａより小さい半径であって前記中心軸Ｏから第２の半径Ｒｂに保たれて穿設されている。 The large-diameter hole portion 11 has a predetermined first length from the first side surface Sa side of the partition wall flange 1 in contact with the low temperature and high pressure side toward the second side surface Sb side of the partition wall flange 1 in contact with the room temperature and atmospheric pressure side. Over the length La, the first radius Ra is drilled from the central axis O.
The small-diameter hole portion 12 extends from the radius Ra of the large-diameter hole portion 11 over a second length Lb from the second side surface Sb side to the first side surface Sa side to the large-diameter hole portion 11. A small radius is drilled from the central axis O while maintaining the second radius Rb.

次に、セラミックスリーブ２は、次のように構成されている。すなわち、前記セラミックスリーブ２は、例えばＨＡ−９２の材質からなるセラミック絶縁体から構成されていて、所定の長さＬｃの中空円柱形状体であって、太円柱部２１と細円柱部２２とからなる形状に形成されている。 Next, the ceramic sleeve 2 is configured as follows. That is, the ceramic sleeve 2 is made of a ceramic insulator made of, for example, HA-92, and is a hollow cylindrical body having a predetermined length Lc. It is formed into a shape.

前記太円柱部２１は、低温圧力側に接する部分が前記隔壁フランジ１の大径孔部１１の内径Ｒａよりやや小さい外径Ｒｃで所定長さＬｄに形成され前記隔壁フランジ１の大径孔部１１に所定の間隙Ｄａをもって嵌り合える外形形状に形成されている。 The thick cylindrical portion 21 is formed to have a predetermined length Ld with an outer diameter Rc slightly smaller than the inner diameter Ra of the large-diameter hole portion 11 of the partition flange 1 at a portion in contact with the low-temperature pressure side. 11 is formed in an outer shape that can be fitted with a predetermined gap Da.

前記細円柱部２２は、常温大気圧側と接する部分が前記隔壁フランジ１の小径孔部１２の内径よりやや小さい半径Ｒｄで所定の長さＬｅに形成され前記隔壁フランジ１の小径孔部１２に所定の間隙Ｄｂをもって嵌り合える外形形状に形成されている。 The narrow cylindrical portion 22 is formed to have a predetermined length Le with a radius Rd slightly smaller than the inner diameter of the small-diameter hole portion 12 of the partition flange 1 at a portion in contact with the room temperature and atmospheric pressure side. It is formed in an outer shape that can be fitted with a predetermined gap Db.

また、前記セラミックスリーブ２は、太円柱部２１と細円柱部２２との境界Ｆの両側において所定の形状に構成されている。 The ceramic sleeve 2 is configured in a predetermined shape on both sides of the boundary F between the thick cylindrical portion 21 and the thin cylindrical portion 22.

前記セラミックスリーブ２の前記太円柱部２１と前記細円柱部２２との境界Ｆより低温圧力側であって前記セラミックスリーブ２の外周部分に、当該境界Ｆより低温圧力側に向かって所定の半径Ｒｅで第１の凹部２３が形成されている。また、前記セラミックスリーブ２の前記太円柱部２１と前記細円柱部２２との境界Ｆより低温圧力側で第１の凹部２３の図示左側の前記セラミックスリーブ２の外周部分に、前記第１の凹部２３の半径Ｒｅより大きく外径Ｒｃより小さい半径Ｒｆに形成した第２の凹部２４が形成されている。 A predetermined radius Re from the boundary F between the thick cylindrical portion 21 and the thin cylindrical portion 22 of the ceramic sleeve 2 on the low temperature pressure side and to the outer peripheral portion of the ceramic sleeve 2 toward the low temperature pressure side. Thus, the first recess 23 is formed. Further, the first concave portion is formed on the outer peripheral portion of the ceramic sleeve 2 on the left side of the first concave portion 23 on the low temperature pressure side from the boundary F between the thick cylindrical portion 21 and the thin cylindrical portion 22 of the ceramic sleeve 2. A second recess 24 is formed which has a radius Rf larger than the radius Re of 23 and smaller than the outer diameter Rc.

さらに、前記セラミックスリーブ２であって前記太円柱部２１と前記細円柱部２２との境界Ｆより常温大気圧側の外周部分に、常温大気圧側の所定の位置であって前記セラミックスリーブ２の細円柱部２２の半径Ｒｄよりは大きく前記隔壁フランジ１の小径孔部１２の半径Ｒｂよりは小さな半径Ｒｇで一定長さに作成した凸部２５が形成されている。 Further, the ceramic sleeve 2 is located at a predetermined position on the normal temperature and atmospheric pressure side at a predetermined position on the normal temperature and atmospheric pressure side from the boundary F between the thick cylindrical portion 21 and the thin cylindrical portion 22. A convex portion 25 having a radius Rg larger than the radius Rd of the thin cylindrical portion 22 and smaller than the radius Rb of the small-diameter hole portion 12 of the partition flange 1 is formed.

なお、前記隔壁フランジ１にあっては、大径孔部１１と小径孔部１２との境界部分において、大径孔部１１側の境界部分から常温大気圧側に向かって図示のように半円状に空間１３が形成されている。また、前記セラミックスリーブ２にあっては、太円柱部２１と細円柱部２２との境界Ｆの部分において、細円柱部２２側の境界Ｆの位置から低温圧力側に向かって図示のように半円状に空間２０が形成されている。 In the partition flange 1, at the boundary portion between the large-diameter hole portion 11 and the small-diameter hole portion 12, the semicircular shape as illustrated from the boundary portion on the large-diameter hole portion 11 side toward the room temperature and atmospheric pressure side. A space 13 is formed. Further, in the ceramic sleeve 2, at the boundary F portion between the thick cylindrical portion 21 and the thin cylindrical portion 22, as shown in the drawing, from the position of the boundary F on the thin cylindrical portion 22 side toward the low-temperature pressure side. A space 20 is formed in a circular shape.

そして、前記隔壁フランジ１の大径孔部１１に、前記セラミックスリーブ２の太円柱部２１が図１に示すように配置されており、その配置によって、当然、前記隔壁フランジ１の小径孔部１２に、前記セラミックスリーブ２の細円柱部２２が図１に示すような配置にされている。 A large cylindrical portion 21 of the ceramic sleeve 2 is arranged in the large-diameter hole portion 11 of the partition flange 1 as shown in FIG. Further, the thin cylindrical portion 22 of the ceramic sleeve 2 is arranged as shown in FIG.

前記隔壁フランジ１とセラミックスリーブ２とが図１に示すような配置状態において、前記隔壁フランジ１の大径孔部１１と前記セラミックスリーブ２の太円柱部２１とが、第１の環状封着金具５と第２の環状封着金具６とにより連結されていることを説明する。 When the partition flange 1 and the ceramic sleeve 2 are arranged as shown in FIG. 1, the large-diameter hole portion 11 of the partition flange 1 and the thick cylindrical portion 21 of the ceramic sleeve 2 are the first annular sealing bracket. 5 and the second annular sealing fitting 6 will be described.

すなわち、前記隔壁フランジ１の大径孔部１１の内周面には、第１の環状封着金具５の一端が固定されている。前記セラミックスリーブ２の第１外径部２１の所定部分には、第２の環状封着金具６の一端内周面が固定されている。また、第１の環状封着金具５と第２の環状封着金具６とは、それぞれの他端同士が固定されることにより、隔壁フランジ１の大径孔部１１と、セラミックスリーブ２の太円柱部２１とが連結されている。 That is, one end of the first annular sealing metal fitting 5 is fixed to the inner peripheral surface of the large-diameter hole portion 11 of the partition flange 1. An inner peripheral surface of one end of the second annular sealing metal fitting 6 is fixed to a predetermined portion of the first outer diameter portion 21 of the ceramic sleeve 2. Further, the first annular sealing metal fitting 5 and the second annular sealing metal fitting 6 are fixed at the other ends thereof, so that the large-diameter hole portion 11 of the partition flange 1 and the ceramic sleeve 2 are thick. The cylindrical part 21 is connected.

さらに説明すると、前記隔壁フランジ１の大径孔部１１の内周面には、第１の環状封着金具５の一端側外周面が例えばＴＩＧ溶接により固定されている。前記セラミックスリーブ２の太円柱部２１の所定部分である第２の凹部２４の平面には、第２の環状封着金具６の一端側内周面が例えばロー付けにより固着されている。前記第１の環状封着金具５の内周面には、第２の環状封着金具６の他端側外周面が、空間１３の境界Ｆの位置で例えばＴＩＧ溶接により固着されている。 More specifically, one end side outer peripheral surface of the first annular sealing metal fitting 5 is fixed to the inner peripheral surface of the large-diameter hole portion 11 of the partition flange 1 by, for example, TIG welding. The inner peripheral surface of one end side of the second annular sealing metal fitting 6 is fixed to the flat surface of the second concave portion 24 which is a predetermined portion of the thick cylindrical portion 21 of the ceramic sleeve 2 by, for example, brazing. On the inner circumferential surface of the first annular sealing bracket 5, the outer circumferential surface on the other end side of the second annular sealing bracket 6 is fixed at the position of the boundary F of the space 13 by, for example, TIG welding.

前記第１の環状封着金具５は、例えばＳＵＳ３１６Ｌから構成されていて、隔壁フランジ１の熱膨張率とほぼ同じか、隔壁フランジ１の熱膨張率に対して一定範囲内の熱膨張率の材料から構成すればよい。また、前記第２の環状封着金具６は、例えばコバールから構成されていて、前記セラミックスリーブ２の熱膨張率とほぼ同じか当該セラミックスリーブの熱膨張率に対して一定範囲内の熱膨張率の材料から構成すればよい。 The first annular sealing metal fitting 5 is made of, for example, SUS316L, and is substantially the same as the thermal expansion coefficient of the partition flange 1 or a material having a thermal expansion coefficient within a certain range with respect to the thermal expansion coefficient of the partition flange 1. May be configured. Further, the second annular sealing metal fitting 6 is made of, for example, Kovar, and is approximately the same as the thermal expansion coefficient of the ceramic sleeve 2 or within a certain range with respect to the thermal expansion coefficient of the ceramic sleeve. What is necessary is just to comprise from this material.

さらにまた、前記隔壁フランジ１と前記セラミックスリーブ２とが図１に示すような配置状態において、前記隔壁フランジ１の小径孔部１２と前記セラミックスリーブ２の細円柱部２２とが、第３の環状封着金具７と第４の環状封着金具８とにより連結されていることを説明する。 Furthermore, when the partition flange 1 and the ceramic sleeve 2 are arranged as shown in FIG. 1, the small-diameter hole portion 12 of the partition flange 1 and the narrow cylindrical portion 22 of the ceramic sleeve 2 are in a third annular shape. The connection between the sealing fitting 7 and the fourth annular sealing fitting 8 will be described.

すなわち、前記隔壁フランジ１の小径孔部１２の内周面には、第３の環状封着金具７の一端を固定されている。前記セラミックスリーブ２の小径孔部１２の第２外径部の所定部分には、第４の環状封着金具８が固定されている。そして、第３の環状封着金具７と第４の環状封着金具８とはそれぞれの他端同士が固定されることにより、前記隔壁フランジ１の小径孔部１２と前記セラミックスリーブ２の細円柱部２２とが連結されている。 That is, one end of the third annular sealing fitting 7 is fixed to the inner peripheral surface of the small diameter hole 12 of the partition flange 1. A fourth annular sealing fitting 8 is fixed to a predetermined portion of the second outer diameter portion of the small diameter hole portion 12 of the ceramic sleeve 2. Then, the other ends of the third annular sealing metal fitting 7 and the fourth annular sealing metal fitting 8 are fixed to each other, so that the small diameter hole portion 12 of the partition wall flange 1 and the thin cylinder of the ceramic sleeve 2 are provided. The part 22 is connected.

さらに説明すると、前記隔壁フランジ１の小径孔部１２の内周面には、第３の環状封着金具７の一端側外周面が例えばＴＩＧ溶接により固定されている。前記セラミックスリーブ２の細円柱部２２の所定部分としての凸部２５の平面には、第４の環状封着金具８の一端側内周面が例えばロー付けにより固着されている。第３の環状封着金具７の内周面には、前記第４の環状封着金具８の他端側外周面が、空間２０の境界Ｆの位置において、例えばＴＩＧ溶接により固着されている。 More specifically, the outer peripheral surface of one end side of the third annular sealing metal fitting 7 is fixed to the inner peripheral surface of the small-diameter hole portion 12 of the partition flange 1 by, for example, TIG welding. On the flat surface of the convex portion 25 as a predetermined portion of the thin cylindrical portion 22 of the ceramic sleeve 2, the one end side inner peripheral surface of the fourth annular sealing metal fitting 8 is fixed by brazing, for example. On the inner peripheral surface of the third annular sealing bracket 7, the outer peripheral surface on the other end side of the fourth annular sealing bracket 8 is fixed at the position of the boundary F of the space 20 by, for example, TIG welding.

前記第３の環状封着金具７は、例えばＳＵＳ３１６Ｌから構成されていて、前記隔壁フランジ１の熱膨張率とほぼ同じか当該隔壁フランジ１の熱膨張率に対して一定範囲内の熱膨張率の材料から構成すればよい。前記第４の環状封着金具８は、例えばコバールから構成されていて、前記セラミックスリーブ２の熱膨張率とほぼ同じか当該セラミックスリーブ２の熱膨張率に対して一定範囲内の熱膨張率の材料から構成すればよい。 The third annular sealing bracket 7 is made of, for example, SUS316L and has a thermal expansion coefficient that is substantially the same as the thermal expansion coefficient of the partition flange 1 or within a certain range with respect to the thermal expansion coefficient of the partition flange 1. What is necessary is just to comprise from a material. The fourth annular sealing bracket 8 is made of, for example, Kovar, and has a thermal expansion coefficient that is substantially the same as the thermal expansion coefficient of the ceramic sleeve 2 or within a certain range with respect to the thermal expansion coefficient of the ceramic sleeve 2. What is necessary is just to comprise from a material.

前記セラミックスリーブ２は、中空円柱形状体に成形されている。この中空円柱形状体をしたセラミックスリーブ２には貫通孔２６が設けられている。このセラミックスリーブ２の貫通孔２６の低温圧力側端部には、図１に示すように軸方向に一定深さで半径方向に所定の幅に環状溝２７が設けられている。 The ceramic sleeve 2 is formed into a hollow cylindrical body. The ceramic sleeve 2 having a hollow cylindrical shape is provided with a through hole 26. As shown in FIG. 1, an annular groove 27 having a predetermined depth in the axial direction and a predetermined width in the radial direction is provided at the end of the through hole 26 of the ceramic sleeve 2 on the low temperature pressure side.

前記セラミックスリーブ２の貫通孔２６には、所定長さＬｉに形成した環状長尺封着管３が一定の隙間をもった状態で嵌め込まれている。この環状長尺封着管３には、前記セラミックスリーブ２の環状溝２７に隙間なく嵌まり合う環状鍔部３１が形成されている。この環状長尺封着管３の環状鍔部３１は前記セラミックスリーブ２の環状溝２７に嵌まり合った状態で固定されている。 In the through hole 26 of the ceramic sleeve 2, an annular long sealing tube 3 formed to a predetermined length Li is fitted with a certain gap. The annular long sealing tube 3 is formed with an annular flange 31 that fits in the annular groove 27 of the ceramic sleeve 2 without a gap. The annular flange 31 of the annular long sealing tube 3 is fixed in a state of being fitted into the annular groove 27 of the ceramic sleeve 2.

前記中心導体４は円柱状体に形成されており、環状長尺封着管３の貫通孔とセラミックスリーブ２の貫通孔２６に収納可能に形成されている。この中心導体４は、低温圧力側であって環状長尺封着管３の環状鍔部３１付近で環状長尺封着管３の内周面に一定長で接する第１の凸状部分４１が形成されている。この第１の凸状部分４１は、環状長尺封着管３の環状鍔部３１部で所定の間隙をもって接してはいるが、封止はされていない。 The central conductor 4 is formed in a cylindrical shape, and is formed so as to be housed in the through hole of the annular long sealed tube 3 and the through hole 26 of the ceramic sleeve 2. The central conductor 4 has a first convex portion 41 on the low temperature pressure side and in contact with the inner peripheral surface of the annular long sealing tube 3 at a certain length near the annular flange 31 of the annular long sealing tube 3. Is formed. The first convex portion 41 is in contact with the annular flange 31 of the annular long sealed tube 3 with a predetermined gap, but is not sealed.

また、中心導体４には、第２の凸状部分４２が形成されている。この第２の凸状部分４２は、環状長尺封着管３の端部に隣接して設けられている。
第２の凸状部分４２は、環状長尺封着管３の内周面に中心軸方向に一定長さＬｊで接するように形成されている。さらに、中心導体４は、環状長尺封着管３の端部から常温大気圧側に向かって中心軸Ｏ方向に一定長さＬｋに凸状部分４３が形成されている。この凸状部分４３は、ここでは、第３の凸状部分と称する。凸状部分４３の外径は、環状長尺封着管３或いは環状短尺封着管９の外径と同一に形成されている。さらに、凸状部分４３の常温大気圧側の端部には、前記環状短尺封着管９の内周面に嵌合する段部４３ａが形成されている。 In addition, a second convex portion 42 is formed on the center conductor 4. The second convex portion 42 is provided adjacent to the end of the annular long sealed tube 3.
The 2nd convex part 42 is formed so that the inner peripheral surface of the cyclic | annular elongate sealing pipe | tube 3 may contact | connect with the fixed length Lj in the center axis direction. Further, the central conductor 4 is formed with a convex portion 43 having a certain length Lk in the direction of the central axis O from the end of the annular long sealed tube 3 toward the room temperature and atmospheric pressure side. Here, the convex portion 43 is referred to as a third convex portion. The outer diameter of the convex portion 43 is formed to be the same as the outer diameter of the annular long sealing tube 3 or the annular short sealing tube 9. Further, a step portion 43 a that fits to the inner peripheral surface of the annular short sealing tube 9 is formed at the end of the convex portion 43 on the room temperature and atmospheric pressure side.

そして、中心導体４は、図１に示すように、第１の凸状部分４１および第２の凸状部分４２の間と、第２の凸状部分４２および第３の凸状部分４３の間は、前記各凸状部分の半径より小さい半径に形成されている。また、前記のように第３の凸状部分４３には常温大気圧側に段部４３ａが形成されている。 As shown in FIG. 1, the center conductor 4 is between the first convex portion 41 and the second convex portion 42 and between the second convex portion 42 and the third convex portion 43. Is formed with a radius smaller than the radius of each convex portion. Further, as described above, the third convex portion 43 is formed with the step portion 43a on the normal temperature and atmospheric pressure side.

そして、前記中心導体４の凸状部分４３の常温大気圧側の段部４３ａには、環状短尺封着管９が嵌め込まれており、環状短尺封着管９とセラミックスリーブ２とが固定されており、また、環状短尺封着管９と中心導体４とが固定されている。 An annular short sealing tube 9 is fitted into a step 43a on the room temperature and atmospheric pressure side of the convex portion 43 of the central conductor 4, and the annular short sealing tube 9 and the ceramic sleeve 2 are fixed. In addition, the annular short sealing tube 9 and the center conductor 4 are fixed.

また、中心導体４の低温圧力側端部には端子取付部４５ａが形成されていて、この端子取付部４５ａに端子Ｐａが取り付けられている。同様に、中心導体４の常温大気圧側端部には端子取付部４５ｂが形成されていて、この端子取付部４５ｂに端子Ｐｂが取り付けられている。 Further, a terminal attachment portion 45a is formed at the end of the central conductor 4 on the low temperature pressure side, and a terminal Pa is attached to the terminal attachment portion 45a. Similarly, a terminal mounting portion 45b is formed at an end of the central conductor 4 on the room temperature and atmospheric pressure side, and a terminal Pb is mounted on the terminal mounting portion 45b.

このように構成された二重封止型ターミナルヘッダは、前記隔壁フランジ１の大径孔部１１の内周面に固定された第１の環状封着金具５と、前記セラミックスリーブ２の第２の凹部２４の外周面に固定された第２の環状封着金具６とが空間１３の境界Ｆの位置で固定されていて、さらに、前記隔壁フランジ１の小径孔部１２の内周面に固定された第３の環状封着金具７と、前記セラミックスリーブ２の凸部２５の外周面に固定された第４の環状封着金具８とが空間２０の境界Ｆの位置で固定された構造をしている。 The double-sealed terminal header configured in this way includes a first annular sealing metal fitting 5 fixed to the inner peripheral surface of the large-diameter hole 11 of the partition flange 1 and a second of the ceramic sleeve 2. The second annular sealing metal fitting 6 fixed to the outer peripheral surface of the recess 24 is fixed at the position of the boundary F of the space 13 and further fixed to the inner peripheral surface of the small-diameter hole portion 12 of the partition flange 1. A structure in which the third annular sealing bracket 7 and the fourth annular sealing bracket 8 fixed to the outer peripheral surface of the convex portion 25 of the ceramic sleeve 2 are fixed at the position of the boundary F of the space 20. doing.

また、前記第１の環状封着金具５と第３の環状封着金具７とは、隔壁フランジ１の熱膨張率とほぼ同じか、隔壁フランジ１の熱膨張率に対して一定範囲内の熱膨張率の材料から構成したものである。加えて、前記第２の環状封着金具６と第４の環状封着金具８とは、前記セラミックスリーブ２の熱膨張率とほぼ同じか、当該セラミックスリーブの熱膨張率に対して一定範囲内の熱膨張率の材料から構成したものである。 Further, the first annular sealing metal fitting 5 and the third annular sealing metal fitting 7 have substantially the same thermal expansion coefficient as that of the partition flange 1 or a heat within a certain range with respect to the thermal expansion coefficient of the partition flange 1. It is composed of a material having an expansion coefficient. In addition, the second annular sealing metal fitting 6 and the fourth annular sealing metal fitting 8 are substantially the same as the thermal expansion coefficient of the ceramic sleeve 2 or within a certain range with respect to the thermal expansion coefficient of the ceramic sleeve. It is comprised from the material of the thermal expansion coefficient of.

さらに、上述した二重封止型ターミナルヘッダについて、熱による中心軸方向の伸縮に関する影響について以下に説明する。
ヘッダ構成要素は、熱により中心軸Ｏ方向に大きく伸縮することが知られている。本発明では、この中心軸方向の伸縮による影響を吸収できる構造について以下に説明することにする。ここで説明する中心軸方向の伸縮は、特に前記セラミックスリーブ２、環状長尺封着管３、環状短尺封着管９及び中心導体４の凸状部分４３が大きく影響するので、影響の少ない要素については省略し、大きく影響する要素のみ取り出して模式的に図２以降に示して説明することにする。 Furthermore, about the double sealing type | mold terminal header mentioned above, the influence regarding the expansion-contraction of the central-axis direction by a heat | fever is demonstrated below.
It is known that the header component greatly expands and contracts in the direction of the central axis O due to heat. In the present invention, a structure capable of absorbing the influence of expansion and contraction in the central axis direction will be described below. The expansion and contraction in the central axis direction described here is particularly affected by the ceramic sleeve 2, the annular long sealing tube 3, the annular short sealing tube 9, and the convex portion 43 of the central conductor 4. Will be omitted, and only elements that have a large influence will be extracted and schematically shown in FIG.

図２は、本発明に係る二重封止型ターミナルヘッダの構造を模式的に示す断面図である。図３は、図２のＡ−Ａ′線に沿って示す断面図である。図４は、図２のＢ−Ｂ′線に沿って示す断面図である。図５は、図２のＣ−Ｃ′線に沿って示す断面図である。図６は、図２のＤ−Ｄ′線に沿って示す断面図である。なお、上記実施の形態の説明において、図１を用いて既に本発明に係る二重封止型ターミナルヘッダＴＨの構造の一部を説明しているが、再度、図２以降を用いてその構造の説明をすることにする。 FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing the structure of the double sealed terminal header according to the present invention. FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line BB ′ of FIG. FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line CC ′ of FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line DD ′ of FIG. In the description of the above embodiment, a part of the structure of the double sealed terminal header TH according to the present invention has already been described with reference to FIG. 1, but the structure is again described with reference to FIG. I will explain.

本発明に係る二重封止型ターミナルヘッダＴＨは、図１〜図６に示すように、中心軸Ｏに対して同心状に、中心軸側から中心導体４、環状長尺封着管３及び環状短尺封着管９、セラミックスリーブ２と順に配置されている。 As shown in FIGS. 1 to 6, the double sealed terminal header TH according to the present invention is concentrically with the central axis O, and from the central axis side, the central conductor 4, the annular long sealed tube 3, and The annular short sealing tube 9 and the ceramic sleeve 2 are arranged in this order.

前記中心導体４は、上述したように金属で中心軸Ｏ方向に所定長さＬｃ以上に形成されており、また、図５に示すように所定の半径Ｒｐの円柱形状に形成されている。 As described above, the central conductor 4 is made of metal and has a predetermined length Lc or more in the direction of the central axis O, and is formed in a cylindrical shape with a predetermined radius Rp as shown in FIG.

前記環状長尺封着管３及び環状短尺封着管９は、当該中心導体４の領域Ｌｉ及びＬｓの部分の外周において、コバールで中心軸Ｏ方向に所定の長さＬｉ及びＬｓで、かつ、図５に示すように所定の肉厚Ｗｍをもった円筒形状に形成されている。 The annular long sealing tube 3 and the annular short sealing tube 9 have a predetermined length Li and Ls in the direction of the central axis O with Kovar on the outer periphery of the region Li and Ls of the central conductor 4, and As shown in FIG. 5, it is formed in a cylindrical shape having a predetermined thickness Wm.

前記セラミックスリーブ２は、当該環状長尺封着管３及び環状短尺封着管９の外周において、中心軸Ｏ方向に所定の長さＬ１０で、所定の肉厚Ｗｎをもった円筒形状に形成されている。
また、当該セラミックスリーブ２は、既に説明したように、低温タンク固定用隔壁フランジ１に嵌合させて一体化されている。 The ceramic sleeve 2 is formed in a cylindrical shape having a predetermined length L10 in the direction of the central axis O and a predetermined thickness Wn on the outer periphery of the annular long sealing tube 3 and the annular short sealing tube 9. ing.
Further, as already described, the ceramic sleeve 2 is fitted and integrated with the low-temperature tank fixing partition flange 1.

また、前記環状長尺封着管３及び環状短尺封着管９は、その内周面と前記中心導体４の外周面との間で所定の間隙Ｄｐｎが保たれる内径Ｒｓに形成されている。
当該セラミックスリーブ２はその内周面と環状長尺封着管３及び環状短尺封着管９の外周面との間で所定の間隙Ｄｍｎが保たれる内径Ｒｔに形成されている。
なお、既に説明したが、当該中心導体４、環状長尺封着管３、環状短尺封着管９、及びセラミックスリーブ２は所定の位置にて支持構造にて支持されている。当該中心導体４は、低温タンクの貫通部に設置されたときに常温大気圧側に位置する部位に凸状部分４３を形成している。当該凸状部分４３は中心軸Ｏ方向に第１の長さＬｋでかつ環状長尺封着管３及び環状短尺封着管９の外径と同一外径に形成されている。 The annular long sealing tube 3 and the annular short sealing tube 9 are formed to have an inner diameter Rs in which a predetermined gap Dpn is maintained between the inner peripheral surface and the outer peripheral surface of the central conductor 4. .
The ceramic sleeve 2 is formed to have an inner diameter Rt in which a predetermined gap Dmn is maintained between the inner peripheral surface thereof and the outer peripheral surfaces of the annular long sealing tube 3 and the annular short sealing tube 9.
As already described, the central conductor 4, the annular long sealing tube 3, the annular short sealing tube 9, and the ceramic sleeve 2 are supported by a support structure at predetermined positions. The central conductor 4 forms a convex portion 43 at a portion located on the normal temperature and atmospheric pressure side when installed in the penetrating portion of the low temperature tank. The convex portion 43 has a first length Lk in the direction of the central axis O and has the same outer diameter as the outer diameters of the annular long sealing tube 3 and the annular short sealing tube 9.

前記環状長尺封着管３及び環状短尺封着管９で環状封着管と一括することもある。前記環状長尺封着管３は中心軸Ｏ方向に第２の長さＬｉに形成してあり、前記中心導体４の凸状部分４３より低温高圧側となる領域に配置されており、前記中心導体４の凸状部分４３の凸状部分４２に嵌合する支持構造によって係着されている。前記環状短尺封着管９は中心軸Ｏ方向に第３の長さＬｓに形成してあり、前記中心導体４の凸状部分４３より常温大気圧側となる領域に配置してあり、前記中心導体４の凸状部分４３の段部４３ａに嵌合する支持構造で係着されている。 The annular long sealing tube 3 and the annular short sealing tube 9 may be integrated with the annular sealing tube. The annular long sealing tube 3 is formed in a second length Li in the direction of the central axis O, and is disposed in a region on the low temperature and high pressure side from the convex portion 43 of the central conductor 4. The support 4 is engaged by a support structure that fits into the convex portion 42 of the convex portion 43 of the conductor 4. The annular short sealing tube 9 is formed in a third length Ls in the direction of the central axis O, and is disposed in a region closer to the room temperature and atmospheric pressure than the convex portion 43 of the central conductor 4, and the center The support 4 is engaged with a support structure that fits into the step 43 a of the convex portion 43 of the conductor 4.

ここで、本発明では、前記中心導体４の凸状部分４３の中心軸Ｏ方向の第１の長さＬｋ（＝Ｌ２０）、環状封着管（環状長尺封着管３の中心軸Ｏ方向の第２の長さＬｉおよび環状短尺封着管９の中心軸Ｏ方向の第３の長さＬｓ）の長さＬ３０の合計長さ（＝Ｌ２０＋Ｌ３０）と、前記セラミックスリーブ２の中心軸Ｏ方向の長さＬ１０とをほぼ同一にし、かつ、環状封着管（環状長尺封着管３及び環状短尺封着管９）の熱膨張率α３０による中心軸Ｏ方向の伸縮値と、前記中心導体４の凸状部分４３の熱膨張率α２０による中心軸Ｏ方向の伸縮値との加算値と、前記セラミックスリーブ２の熱膨張率α１０による中心軸Ｏ方向の伸縮値とがほぼ同一ないし一定の範囲内に維持されるように、前記中心導体４の凸部の長さＬ２０と、環状封着管（環状長尺封着管３及び環状短尺封着管９）の長さＬ３０と、セラミックスリーブ２の長さＬ１０とをそれぞれ設定したものである。 Here, in the present invention, the first length Lk (= L20) of the convex portion 43 of the central conductor 4 in the direction of the central axis O, the annular sealing tube (the direction of the central axis O of the annular long sealing tube 3). The total length (= L20 + L30) of the second length Li and the third length Ls of the annular short sealed tube 9 in the direction of the central axis O, and the direction of the central axis O of the ceramic sleeve 2 The length L10 of the annular seal tube (annular long sealed tube 3 and annular short sealed tube 9) is expanded and contracted in the direction of the central axis O by the coefficient of thermal expansion α30, and the central conductor. 4 and the expansion value in the central axis O direction by the thermal expansion coefficient α20 of the convex portion 43 and the expansion value in the central axis O direction by the thermal expansion coefficient α10 of the ceramic sleeve 2 are substantially the same or constant. The length L20 of the convex portion of the central conductor 4 and the annular sealing tube ( And Jo long sealing tube 3 and annular short sealing tube 9) of the length L30, is a ceramic sleeve 2 lengths L10 and those set respectively.

本発明に係る二重封止型ターミナルヘッダＴＨにおいて、前記中心導体４の凸状部分４３の中心軸Ｏ方向の第１の長さＬｋ（＝Ｌ２０）は、セラミックスリーブ２の中心軸Ｏ方向に長さＬ１０の概ね２０．８％程度に設定することが好ましい。また、前記環状長尺封着管３の中心軸Ｏ方向の第２の長さＬｉと、前記環状短尺封着管９の中心軸Ｏ方向の第３の長さＬｓ（Ｌ３０＝Ｌｉ＋Ｌｓ）は、セラミックスリーブ２の中心軸Ｏ方向に長さＬ１０の概ね７９．２％程度に設定することが好ましい。 In the double sealed terminal header TH according to the present invention, the first length Lk (= L20) of the convex portion 43 of the central conductor 4 in the central axis O direction is in the central axis O direction of the ceramic sleeve 2. It is preferable to set to approximately 20.8% of the length L10. Further, the second length Li of the annular long sealing tube 3 in the direction of the central axis O and the third length Ls of the annular short sealing tube 9 in the direction of the central axis O (L30 = Li + Ls) are: It is preferable to set the length of the ceramic sleeve 2 to approximately 79.2% of the length L10 in the central axis O direction.

すなわち、前記セラミックスリーブ２の中心軸Ｏ方向の長さをＬ１０とし、その熱膨張率をα１０とする。また、前記中心導体４の凸状部分４３の中心軸Ｏ方向の第１の長さをＬ２０とし、その熱膨張率をα２０とする。さらに、環状長尺封着管３の中心軸Ｏ方向の第２の長さＬｋ及び環状短尺封着管９の中心軸Ｏ方向の第３の長さＬｓの合計長さをＬ３０とし、その熱膨張率をα３０としたときに、次の数式１が成立するものとする。

That is, the length of the ceramic sleeve 2 in the direction of the central axis O is L10, and the coefficient of thermal expansion is α10. The first length of the convex portion 43 of the central conductor 4 in the central axis O direction is L20, and the coefficient of thermal expansion is α20. Further, the total length of the second length Lk of the annular long sealed tube 3 in the direction of the central axis O and the third length Ls of the annular short sealed tube 9 in the direction of the central axis O is defined as L30. When the expansion coefficient is α30, the following formula 1 is established.

本実施の形態では、前記中心導体４が低温タンクの貫通部に設置されたときに常温大気圧側に位置する前記中心導体４の部位に凸状部分４３を形成し、前記中心導体４の凸状部分４３の中心軸Ｏ方向の第１の長さＬ２０、環状長尺封着管３の中心軸Ｏ方向の第２の長さＬｉおよび環状短尺封着管９の中心軸Ｏ方向の第３の長さＬｓの合計長さＬ３０と、前記セラミックスリーブ２の中心軸Ｏ方向の長さＬ１０とをほぼ同一にし、かつ、前記環状長尺封着管３および前記環状短尺封着管９の熱膨張率α３０による中心軸Ｏ方向の伸縮値および前記中心導体４の凸状部分４３の熱膨張率α２０による中心軸Ｏ方向の伸縮値の加算値と、前記セラミックスリーブ２の熱膨張率α１０による中心軸Ｏ方向の伸縮値とがほぼ同一ないし一定の範囲内に維持されるように、前記中心導体４の凸部の長さＬ２０と環状封着管（環状長尺封着管３及び環状短尺封着管９）の長さＬ３０とセラミックスリーブ２の長さＬ１０とをそれぞれ所定の割合による長さに設定したので、中心導体４、環状長尺封着管３及び前記環状短尺封着管９と、セラミックスリーブ２とがほぼ同一値に伸縮するので、中心軸Ｏ方向に沿う熱応力による影響を軽減できるという優れた効果を奏する。 In the present embodiment, when the central conductor 4 is installed in the penetrating portion of the low temperature tank, a convex portion 43 is formed at a portion of the central conductor 4 located on the normal temperature and atmospheric pressure side, and the convex of the central conductor 4 is formed. The first length L20 in the central axis O direction of the cylindrical portion 43, the second length Li in the central axis O direction of the annular long sealed tube 3 and the third length in the central axis O direction of the annular short sealed tube 9 The total length L30 of the length Ls and the length L10 of the ceramic sleeve 2 in the direction of the central axis O are substantially the same, and the annular long sealing tube 3 and the annular short sealing tube 9 are heated. The sum of the expansion / contraction value in the central axis O direction by the expansion coefficient α30 and the expansion / contraction value in the central axis O direction by the thermal expansion coefficient α20 of the convex portion 43 of the central conductor 4 and the center by the thermal expansion coefficient α10 of the ceramic sleeve 2. The expansion / contraction value in the axis O direction is almost the same or kept within a certain range. As described above, the length L20 of the convex portion of the central conductor 4, the length L30 of the annular sealing tube (the annular long sealing tube 3 and the annular short sealing tube 9), and the length L10 of the ceramic sleeve 2 are obtained. Since the lengths are set at predetermined ratios, the central conductor 4, the long annular sealing tube 3, the short annular sealing tube 9, and the ceramic sleeve 2 expand and contract to substantially the same value. The effect which can reduce the influence by the thermal stress along is produced.

また、本実施の形態によれば、中心導体等の軸方向に向かう熱応力が上記構造体によって吸収されるため中心導体等の軸方向に向かう熱応力が発生せず、金属疲労を起こすことがなく、故障することなく長時間の使用に耐えるという優れた利点を有することになる。 In addition, according to the present embodiment, since the thermal stress in the axial direction of the central conductor or the like is absorbed by the structure, the thermal stress in the axial direction of the central conductor or the like is not generated, and metal fatigue may occur. Therefore, it has an excellent advantage of withstanding long-term use without failure.

さらに、図１に示す実施の形態は、上記材料によって構成されてなる構造にしたので、セラミックスリーブ２に加わる低温高圧側から常温大気圧側に向かう力が、前記セラミックスリーブ２の太円柱部２１の端部が前記隔壁フランジ１の大径孔部１１の隔壁に押しつけられることになることから、セラミックスリーブ２が隔壁フランジ１から抜けてしまう事故が発生することがない。 Furthermore, since the embodiment shown in FIG. 1 has a structure made of the above material, the force applied from the low temperature / high pressure side to the normal temperature / atmospheric pressure side applied to the ceramic sleeve 2 is the thick cylindrical portion 21 of the ceramic sleeve 2. Since the end portion of the ceramic sleeve 2 is pressed against the partition wall of the large-diameter hole portion 11 of the partition flange 1, an accident that the ceramic sleeve 2 comes off from the partition flange 1 does not occur.

また、図１に示す実施の形態において、前記セラミックスリーブ２の貫通孔２６には環状長尺封着管３が挿入固定されており、環状長尺封着管３は環状鍔部３１により前記セラミックスリーブ２の環状溝２７に密着固定されている。さらに、前記中心導体４は、第１の凸状部分４１で環状長尺封着管３と非固定接触し、第２の凸状部分４２は環状長尺封着管３の内周面に例えばロー付けによって固定されている。かつ、前記中心導体４は、第３の凸状部分４３の常温大気圧側に設けた段部４３ａに環状短尺封着管９を嵌め込み、環状短尺封着管９と中心導体４とを、環状短尺封着管９とセラミックスリーブ２とをロー付けで固定している。 In the embodiment shown in FIG. 1, an annular long sealing tube 3 is inserted and fixed in the through hole 26 of the ceramic sleeve 2, and the annular long sealing tube 3 is connected to the ceramic by an annular flange 31. The sleeve 2 is fixed in close contact with the annular groove 27. Further, the central conductor 4 is in non-fixed contact with the annular long sealed tube 3 at the first convex portion 41, and the second convex portion 42 is formed on the inner peripheral surface of the annular long sealed tube 3, for example. It is fixed by brazing. And the said center conductor 4 inserts the cyclic | annular short sealing pipe | tube 9 in the step part 43a provided in the normal temperature atmospheric pressure side of the 3rd convex-shaped part 43, and cyclic | annular short sealing pipe | tube 9 and the central conductor 4 are cyclic | annular. The short sealing tube 9 and the ceramic sleeve 2 are fixed by brazing.

これにより、図１に示す実施の形態においては、前記セラミックスリーブ２と環状長尺封着管３と中心導体４とが上述したような構造になっているので、直径方向の厚みを少なくできたので、直径方向に発生する熱応力を小さくすることができ、各材料の耐力以下にできたから、故障等が発生しない二重封止型ターミナルヘッダを提供できる利点がある。 As a result, in the embodiment shown in FIG. 1, the ceramic sleeve 2, the annular long sealed tube 3 and the central conductor 4 have the above-described structure, so that the thickness in the diameter direction can be reduced. Therefore, the thermal stress generated in the diametrical direction can be reduced and the yield strength of each material can be reduced. Therefore, there is an advantage that it is possible to provide a double sealed terminal header that does not cause a failure or the like.

図９は、本発明に係る二重封止型ターミナルヘッダのセラミックスリーブ等の低温圧力側端部の他の構成例の一部を拡大して示す断面図である。図９においては、セラミックスリーブ等の低温圧力側端部の他の構成例部分にのみ特徴があり、その他の構成には変更がないので、上記実施形態と同一符号を付して、その説明を省略する。尚、本実施形態においては、中心軸Оに対して対称に現れるので、一方の断面のみを示し説明することにする。 FIG. 9 is an enlarged cross-sectional view showing a part of another configuration example of the low temperature pressure side end portion such as the ceramic sleeve of the double sealed terminal header according to the present invention. In FIG. 9, there is a feature only in another configuration example portion of the low temperature pressure side end portion such as a ceramic sleeve, and the other configuration is not changed. Omitted. In the present embodiment, since it appears symmetrically with respect to the central axis O, only one cross section will be shown and described.

この図９において、環状長尺封着管３の環状鍔部３１の外周と前記セラミックスリーブ２の環状溝２７の内周面との間には、図９に示すように、環状封着金具Ｃ５５を介装している。そして、前記環状鍔部３１と環状封着金具Ｃ５５とは図９に符号Ｙで示すように溶接されており、かつ、環状溝２７の内周面と環状封着金具Ｃ５５の外周面とは図７に符号Ｊで示すようにロー付で固定されている。 In FIG. 9, between the outer periphery of the annular flange 31 of the annular long sealing tube 3 and the inner peripheral surface of the annular groove 27 of the ceramic sleeve 2, as shown in FIG. Is intervening. And the said annular collar part 31 and the annular sealing metal fitting C55 are welded as shown by the code | symbol Y in FIG. 9, and the inner peripheral surface of the annular groove 27 and the outer peripheral surface of the annular sealing metal fitting C55 are a figure. As shown by 7 in FIG.

図１０は、本発明に係る二重封止型ターミナルヘッダのセラミックスリーブ等の常温大気圧側端部の他の構成例の一部を拡大して示す断面図である。図１０においては、セラミックスリーブ等の常温大気圧側端部の他の構成例部分にのみ特徴があり、その他の構成は変更がないので、上記実施形態と同一部材には同一の符号を付して、その説明を省略する。尚、本実施形態は、中心軸Оに対して対称に現れるので、一方の断面のみを示し説明することにする。 FIG. 10 is an enlarged cross-sectional view showing a part of another configuration example of the normal temperature atmospheric pressure side end portion such as the ceramic sleeve of the double sealed terminal header according to the present invention. In FIG. 10, there is a feature only in the other configuration example portion of the normal temperature and atmospheric pressure side end portion such as a ceramic sleeve, and the other configurations are not changed. Therefore, the same members as those in the above embodiment are denoted by the same reference numerals. The description is omitted. Since this embodiment appears symmetrically with respect to the central axis О, only one cross section will be shown and described.

図１０において、前記中心導体４は、第３の凸状部分４３の常温大気圧側に設けた段部４３ａに、図８に示すような長さの環状短尺封着管９ａを嵌め込み、さらに環状短尺封着管９ａの外周に図１０に示すような長さの環状封着管Ｃ５７を嵌め込んでいる。そして、前記環状短尺封着管９ａと中心導体４の第３の凸状部分４３における段部４３ａとの間、および前記環状封着管Ｃ５７の外周と前記セラミックスリーブ２の内周との間は、図１０に符号Ｊで示すようにロー付けでそれぞれ固定されている。また、前記環状短尺封着管９ａと前記環状封着管Ｃ５７との間は、図１０の符号Ｙで示すように溶接されている。 In FIG. 10, the central conductor 4 is fitted with a circular short sealing tube 9a having a length as shown in FIG. 8 in a step portion 43a provided on the room temperature atmospheric pressure side of the third convex portion 43. An annular sealing tube C57 having a length as shown in FIG. 10 is fitted on the outer periphery of the short sealing tube 9a. Between the annular short sealed tube 9a and the step 43a in the third convex portion 43 of the central conductor 4, and between the outer periphery of the annular sealed tube C57 and the inner periphery of the ceramic sleeve 2. , And are fixed by brazing as indicated by symbol J in FIG. Further, the annular short sealed tube 9a and the annular sealed tube C57 are welded as indicated by a symbol Y in FIG.

このように、図９及び図１０に示す構造としても、直径方向の厚味を少なくできるので、直径方向に発生する熱応力を小さくすることができ、各材料の耐力以下にでき、故障等が発生しない利点を持つ二重封止型ターミナルヘッダを提供できることになる。 Thus, even in the structure shown in FIGS. 9 and 10, since the thickness in the diametric direction can be reduced, the thermal stress generated in the diametric direction can be reduced, the proof stress of each material can be reduced, and failure or the like can occur. It is possible to provide a double-sealed terminal header having an advantage that does not occur.

本実施の形態によれば、上記図１に示す構成の利点と、本実施の形態による利点とが加わって、更に高いレベルの熱応力対応（特に中心軸方向の熱応力対応）ができることになる。 According to the present embodiment, the advantages of the configuration shown in FIG. 1 and the advantages of the present embodiment are added, and a higher level of thermal stress correspondence (especially thermal stress correspondence in the central axis direction) can be achieved. .

ここで、セラミックスリーブ２の長さＬ１０を例えば２１６［ｍｍ］とし、熱膨張率α１０＝７．５×１０（のマイナス６乗）とすると、数式２からセラミックスリーブ２の熱による伸縮値が求められる。

Here, when the length L10 of the ceramic sleeve 2 is 216 [mm], for example, and the thermal expansion coefficient α10 = 7.5 × 10 (minus the sixth power), the expansion / contraction value of the ceramic sleeve 2 due to heat is obtained from Equation 2. It is done.

ここで、セラミックスリーブ２の長さＬ１０を例えば２１６［ｍｍ］としたので、中心導体４の凸状部分４３の長さは、そのＬ１０の約２０．８％の長さであるので、Ｌ２０＝４５［ｍｍ］となり、以下この値で計算する。
すなわち、中心導体４の凸状部分４３の長さＬ２０＝４５［ｍｍ］とし、熱膨張率α２０＝１７．０×１０（のマイナス６乗）とすると、数式３から中心導体４の凸状部分４３の熱による伸縮値が求められる。

Here, since the length L10 of the ceramic sleeve 2 is set to 216 [mm], for example, the length of the convex portion 43 of the central conductor 4 is about 20.8% of the length L10. It is 45 [mm] and is calculated with this value below.
That is, when the length L20 of the convex portion 43 of the central conductor 4 is set to 45 [mm] and the coefficient of thermal expansion α20 = 17.0 × 10 (minus the sixth power), the convex portion of the central conductor 4 is obtained from Equation 3. The expansion / contraction value of 43 due to heat is obtained.

さらに、環状封着管（３、９）は、セラミックスリーブ２の長さＬ１０が例えば２１６［ｍｍ］と設定されたので、それの約７９．２％の長さであるとすると、Ｌ３０＝１７１［ｍｍ］となり、以下この値で計算する。
環状封着管（環状長尺封着管３、環状短尺封着管９）の長さＬ３０＝１７１［ｍｍ］とし、熱膨張率α３０＝５．０×１０（のマイナス６乗）とすると、数式４から環状封着管（環状長尺封着管３、環状短尺封着管９）の熱による伸縮値が求められる。

Further, since the length L10 of the ceramic sleeve 2 is set to, for example, 216 [mm], the annular sealing pipe (3, 9) is assumed to be about 79.2% of the length L10 = 171. [Mm], which will be calculated below.
When the length L30 = 171 [mm] of the annular sealing tube (annular long sealing tube 3, annular short sealing tube 9) and the coefficient of thermal expansion α30 = 5.0 × 10 (minus the sixth power), The expansion / contraction value by the heat | fever of a cyclic | annular sealing pipe (The cyclic | annular long sealing pipe | tube 3, the cyclic | annular short sealing pipe | tube 9) is calculated | required from Numerical formula 4.

そして、数式３の結果と、数式４の結果を加算すると、７６５×１０（のマイナス６乗）＋８５５×１０（のマイナス６乗）＝１６２０×１０（のマイナス６乗）となって、数式２の結果と一致し、同一熱膨張または同一熱収縮となって、ここの構成要素が個々に熱膨張または熱収縮しないので、伸縮値の違いによる破壊等が防止できることが確認できる。
よって、上述のような本実施の形態による利点が得られることになる。 When the result of Expression 3 and the result of Expression 4 are added, 765 × 10 (minus the sixth power) + 855 × 10 (minus the sixth power) = 1620 × 10 (minus the sixth power) is obtained. It is confirmed that the same thermal expansion or the same thermal contraction is obtained, and the constituent elements here do not thermally expand or contract individually, so that it is possible to prevent breakage or the like due to a difference in expansion / contraction value.
Therefore, the advantages of the present embodiment as described above can be obtained.

１隔壁フランジ
２セラミックスリーブ
３環状長尺封着管
４中心導体
５第１の環状封着金具
６第２の環状封着金具
７第３の環状封着金具
８第４の環状封着金具
９環状短尺封着管
９ａ環状短尺封着管
１１大径孔部
１２小径孔部
１３空間
２０空間
２１太円柱部
２２細円柱部
２３第１の凹部
２４第２の凹部
２５凸部
２６貫通孔
３１環状鍔部
４１第１の凸状部分
４２第２の凸状部分
４３第３の凸状部分（本発明の凸状部分）
４３ａ段部
Ｃ５５，Ｃ５７環状封着金具
Ｌ１０セラミックスリーブの中心軸Ｏ方向の長さ
Ｌ２０中心導体の凸状部分４３の長さ
Ｌ３０環状長尺封着管Ｌｉと環状短尺封着管長さＬｓの合計長さ
α１０セラミックスリーブの熱膨張率
α２０中心導体の熱膨張率
α３０環状長尺封着管および環状短尺封着管の熱膨張率
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Bulkhead flange 2 Ceramic sleeve 3 Annular long sealing tube 4 Center conductor 5 First annular sealing bracket 6 Second annular sealing bracket 7 Third annular sealing bracket 8 Fourth annular sealing bracket 9 Annular Short sealed tube 9a Annular short sealed tube 11 Large-diameter hole 12 Small-diameter hole 13 Space 20 Space 21 Thick cylindrical portion 22 Thin cylindrical portion 23 First concave portion 24 Second concave portion 25 Convex portion 26 Through hole 31 Annular rod Part 41 First convex part 42 Second convex part 43 Third convex part (convex part of the present invention)
43a Steps C55 and C57 Annular sealing metal fitting L10 Length L20 in the central axis O direction of the ceramic sleeve Length L30 of the convex portion 43 of the central conductor Total of the annular long sealing tube Li and the annular short sealing tube length Ls Length α10 Thermal expansion coefficient α20 of the ceramic sleeve Thermal expansion coefficient α30 of the central conductor Thermal expansion coefficient of the annular long sealed tube and the annular short sealed tube

Claims

In the double-sealed terminal header used for the penetration part of the cryogenic tank that stores liquefied natural gas,
Concentrically with the central axis, the central conductor, annular sealing tube, and ceramic sleeve are arranged in this order from the central axis side. The central conductor is made of metal and is formed into a cylindrical shape with a predetermined length and a predetermined radius in the direction of the central axis. The annular sealing tube is formed in a cylindrical shape with a predetermined length and a predetermined thickness in the central axis direction by Kovar on the outer periphery of the central conductor, and the ceramic sleeve is formed on the outer periphery of the annular sealing tube. It is formed in a cylindrical shape with a predetermined length and a predetermined thickness in the central axis direction, and the ceramic sleeve is integrated with a low-temperature tank fixing partition flange,
The annular sealing tube is formed with an inner diameter that maintains a predetermined gap between the inner peripheral surface and the outer peripheral surface of the central conductor, and the ceramic sleeve has a predetermined gap between the inner peripheral surface and the Kovar outer peripheral surface. It is formed on the inner diameter where the gap is maintained,
And the said center conductor, a sealing pipe | tube, and a ceramic sleeve are the double sealing type terminal headers supported by the support structure in the predetermined position,
The central conductor forms a convex portion at a portion located on the normal temperature and atmospheric pressure side when installed in the penetration portion of the low-temperature tank, and the convex portion has a first length in the central axis direction and is sealed Formed to the same outer diameter as the outer diameter of the pipe,
The annular sealing tube is composed of an annular long sealing tube and an annular short sealing tube, and the annular long sealing tube is formed to have a second length in the central axis direction and is a convex portion of the central conductor. It is arranged in a region on the lower temperature and high pressure side and is attached to the convex portion of the central conductor by a support structure, and the annular short sealing tube is formed in a third length in the central axis direction to form the central conductor. Arranged in the region on the room temperature and atmospheric pressure side from the convex part, and attached to the convex part of the central conductor with a support structure,
The first length in the central axis direction of the convex portion of the central conductor, the second length in the central axis direction of the annular long sealed tube, and the third length in the central axis direction of the annular short sealed tube The total length of the ceramic sleeve and the length in the central axis direction of the ceramic sleeve,
And the expansion value in the central axis direction due to thermal expansion and thermal contraction of the annular long sealing tube and the short annular sealing tube and the expansion value in the central axis direction due to thermal expansion and thermal contraction of the convex portion of the central conductor The length of the convex portion of the central conductor and the annular seal are such that the added value of the ceramic sleeve and the expansion / contraction value in the central axis direction due to thermal expansion and contraction of the ceramic sleeve are maintained within substantially the same or constant range. A double-sealed terminal header, characterized in that the length of the receiving tube and the length of the ceramic sleeve are set to predetermined lengths, respectively.

The first length in the central axis direction of the convex portion of the central conductor is set to approximately 20.8% of the length in the central axis direction of the ceramic sleeve,
And the total length of the second length in the central axis direction of the annular long sealed tube and the third length in the central axis direction of the annular short sealed tube is the total axial direction of the ceramic sleeve 2. The double sealed terminal header according to claim 1, wherein the length is set to approximately 79.2% of the length of the double sealed terminal header.

The length in the central axis direction of the ceramic sleeve is L10, its thermal expansion coefficient is α10, the first length in the central axis direction of the convex portion of the central conductor is L20, its thermal expansion coefficient is α20, and When the total length of the second length in the central axis direction of the annular long sealed tube and the third length in the central axis direction of the annular short sealed tube is L30, and the coefficient of thermal expansion is α30,
L10 = L20 + L30
L10 × α10 = (L20 × α20) + (L30 × α30)
The double sealed terminal header according to claim 1, wherein the relationship is established.