JP5798984B2 - Pressure sensor device - Google Patents

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Description

本発明は、内燃機関の排気系に搭載される圧力センサ装置に関する。   The present invention relates to a pressure sensor device mounted on an exhaust system of an internal combustion engine.

ディーゼルエンジンの内燃機関では、内燃機関本体から排出される排ガス中に含まれる排気微粒子(以下、PMと称す)が問題となっており、PMを捕集するディーゼルパティキュレートフィルタ(以下、DPFと称す)の搭載義務付けがディーゼルエンジン搭載車の普及率が高い欧州中心に進んでいる。DPFでは、ある一定量のPMを捕集したら、DPF自体を加熱し、捕集したPMを燃焼させている。DPFが捕集したPMの量は、DPFの上流側の圧力と下流側の圧力差により推定することができる。このようにして、DPFがPMにより目詰まりを起こすことを防止している。そのため、DPFを搭載する場合には、DPFの上流側と下流側の圧力を検出する圧力センサ装置を設置する必要がある。   In an internal combustion engine of a diesel engine, exhaust particulates (hereinafter referred to as PM) contained in exhaust gas discharged from the main body of the internal combustion engine has become a problem, and a diesel particulate filter (hereinafter referred to as DPF) that collects PM. ) Is required mainly in Europe, where the penetration rate of vehicles equipped with diesel engines is high. In the DPF, when a certain amount of PM is collected, the DPF itself is heated to burn the collected PM. The amount of PM collected by the DPF can be estimated from the pressure difference between the upstream side and the downstream side of the DPF. In this way, the DPF is prevented from being clogged with PM. Therefore, when the DPF is mounted, it is necessary to install a pressure sensor device that detects the pressure on the upstream side and the downstream side of the DPF.

圧力センサ装置の回路基板の実装方法としては、例えば特許文献1に記載の発明がある。   As a circuit board mounting method of the pressure sensor device, for example, there is an invention described in Patent Document 1.

特開2000−28458号公報JP 2000-28458 A

ワイヤボンディングをする場合には、接続強度を向上させるために回路基板の高さ方向のばらつきが小さいほうが好ましい。特許文献1には、センサ信号処理回路を形成した回路基板7が、センサチップケースの裏面側に接着固定され、センサチップからの信号を、ボンヂングワイヤ6を介して処理回路に入力することが開示されている。特許文献1によれば、センサ信号処理回路基板が、センサチップケースに直接接着固定されている構成である。センサチップケースは、圧力導入室11aと11bを気密に分離するようにハウジングに接着剤で接着固定されている。接着剤を用いて気密に分離するよう接着するにはそれなりの量の接着剤を用いて接着する必要があるので、センサチップケースは接着剤の影響を受けやすい構成であるので、センサチップケースは高さ方向のばらつきが大きくなってしまう。すなわち、特許文献1には、回路基板の高さ方向のばらつきを低減することについての検討の余地が残されている。   In the case of wire bonding, it is preferable that the variation in the height direction of the circuit board is small in order to improve the connection strength. In Patent Document 1, a circuit board 7 on which a sensor signal processing circuit is formed is bonded and fixed to the back side of a sensor chip case, and a signal from the sensor chip is input to the processing circuit via a bonding wire 6. It is disclosed. According to Patent Document 1, the sensor signal processing circuit board is directly bonded and fixed to the sensor chip case. The sensor chip case is adhesively fixed to the housing with an adhesive so as to hermetically separate the pressure introducing chambers 11a and 11b. Since it is necessary to bond with a certain amount of adhesive to adhere to airtight separation using an adhesive, the sensor chip case is easily affected by the adhesive. Variation in the height direction becomes large. That is, Patent Document 1 leaves room for study on reducing variations in the height direction of the circuit board.

本発明の目的は、ワイヤボンディングの接続強度を向上することである。   An object of the present invention is to improve the connection strength of wire bonding.

上記課題を解決するために、本発明の圧力センサ装置は、前記ハウジング内で、前記第1および第2の圧力検出素子の上側に、ベース部材と、回路基板とを設け、前記ベース部材は、前記回路基板を接着剤により接着保持しており、前記ハウジングは、前記第1および第2の圧力検出素子の上側に、前記ベース部材を搭載するための保持部を有しており、前記ベース部材は、接着剤により前記ハウジングの保持部に接着固定されることを特徴とする。 In order to solve the above problem, the pressure sensor device of the present invention, before Symbol housing, the upper side of the first and second pressure sensing elements, provided a base member, and a circuit board, said base member The circuit board is bonded and held by an adhesive, and the housing has a holding portion for mounting the base member on the upper side of the first and second pressure detection elements, and the base The member is bonded and fixed to the holding portion of the housing by an adhesive.

本発明によれば、ワイヤボンディングの接続強度を向上することができる。   According to the present invention, the connection strength of wire bonding can be improved.

本発明の一実施例を示す内燃機関のディーゼルエンジン構成図。The diesel engine block diagram of the internal combustion engine which shows one Example of this invention. (a)本発明の一実施例を示す上面図(b)本発明の一実施例を示すA−A断面図。(A) Top view showing one embodiment of the present invention (b) AA sectional view showing one embodiment of the present invention. (a)本発明の一実施例を示す上面図(b)本発明の一実施例を示すA−A断面図。(A) Top view showing one embodiment of the present invention (b) AA sectional view showing one embodiment of the present invention.

以下、本発明を実施するための実施形態について説明する。
図1に本発明の圧力センサ装置を設けた内燃機関であるディーゼルエンジンの全体構成を示す。
Hereinafter, an embodiment for carrying out the present invention will be described.
FIG. 1 shows the overall configuration of a diesel engine that is an internal combustion engine provided with the pressure sensor device of the present invention.

内燃機関1の排気ポートに連なる排気通路2にはターボチャージャー3及びDPF4が設けられている。圧力センサ装置5は、ホースなどの圧力導入管7、8を介して排気通路6内の圧力を検出する。圧力センサ装置5は、DPF4の上流側および下流側の圧力を検出し、DPF4の上流側の絶対圧に応じた信号と、DPF4の下流側の絶対圧に応じた信号と、DPF4の上流側および下流側の圧力の差圧に応じた信号をECU9へ出力する。   A turbocharger 3 and a DPF 4 are provided in the exhaust passage 2 connected to the exhaust port of the internal combustion engine 1. The pressure sensor device 5 detects the pressure in the exhaust passage 6 via pressure introducing pipes 7 and 8 such as hoses. The pressure sensor device 5 detects the pressure on the upstream side and the downstream side of the DPF 4, the signal corresponding to the absolute pressure on the upstream side of the DPF 4, the signal corresponding to the absolute pressure on the downstream side of the DPF 4, the upstream side of the DPF 4 and A signal corresponding to the differential pressure between the downstream pressures is output to the ECU 9.

ECU9は圧力センサ装置5が検出した差圧に基づいてDPF4が目詰まりであるかどうかを判断する。DPF4が目詰まりであると判断されたなら、DPF4を高温にすることで捕集したPMを燃焼させ、目詰まり状態を解消する。   The ECU 9 determines whether the DPF 4 is clogged based on the differential pressure detected by the pressure sensor device 5. If it is determined that the DPF 4 is clogged, the trapped PM is burned by raising the DPF 4 to a high temperature to eliminate the clogged state.

また吸気通路10にはエアフローセンサ11が設置されており、吸入空気量を検出する。吸気通路10には、インタークーラー12と吸気絞り弁13が備えられており、インテークマニホールド14に連通している。   An air flow sensor 11 is installed in the intake passage 10 to detect the amount of intake air. The intake passage 10 is provided with an intercooler 12 and an intake throttle valve 13 and communicates with the intake manifold 14.

更に、排気通路2から排気再循環通路15が連通され、EGRクーラー16及び排気再循環通路絞り弁17を備えている。   Further, an exhaust gas recirculation passage 15 communicates with the exhaust passage 2, and an EGR cooler 16 and an exhaust gas recirculation passage throttle valve 17 are provided.

ECU9は圧力センサ装置5が検出した差圧に基づいてDPF4が目詰まりであるかどうかを判断する。DPF4が目詰まりであると判断されたなら、DPF4を高温にすることで捕集したPMを燃焼させ、目詰まり状態を解消する。   The ECU 9 determines whether the DPF 4 is clogged based on the differential pressure detected by the pressure sensor device 5. If it is determined that the DPF 4 is clogged, the trapped PM is burned by raising the DPF 4 to a high temperature to eliminate the clogged state.

また吸気通路10には空気流量測定装置11が設置されており、吸入空気量を検出する。吸気通路10には、インタークーラー12と吸気絞り弁13が備えられており、インテークマニホールド14に連通している。   An air flow rate measuring device 11 is installed in the intake passage 10 to detect the intake air amount. The intake passage 10 is provided with an intercooler 12 and an intake throttle valve 13 and communicates with the intake manifold 14.

更に、排気通路2から排気再循環通路15が連通され、EGRクーラー16及び排気再循環通路絞り弁17を備えている。   Further, an exhaust gas recirculation passage 15 communicates with the exhaust passage 2, and an EGR cooler 16 and an exhaust gas recirculation passage throttle valve 17 are provided.

ECU9には、圧力センサ装置5と空気流量測定装置11の出力信号や図示しない各種センサ類の出力信号が入力され、各部の状態が知らされるようになっている。   The ECU 9 receives output signals from the pressure sensor device 5 and the air flow rate measurement device 11 and output signals from various sensors (not shown) so as to be informed of the state of each part.

本発明品は、ディーゼル機関の排気系に設置された排気微粒子を捕集するDPF4の上流及び下流の圧力を、ホースなどの圧力導入管7、8を介して検出する圧力センサ装置である。1つの圧力センサ装置にて、DPF4の上流側と下流側の絶対圧出力、および、DPF4の上流側と下流側の圧力差を検知し、DPF4の目詰まり状態を判断することが可能である。   The product of the present invention is a pressure sensor device that detects upstream and downstream pressures of a DPF 4 that collects exhaust particulates installed in an exhaust system of a diesel engine through pressure introduction pipes 7 and 8 such as hoses. With one pressure sensor device, it is possible to detect the absolute pressure output on the upstream side and downstream side of the DPF 4 and the pressure difference between the upstream side and downstream side of the DPF 4 to determine the clogged state of the DPF 4.

本発明の第一実施例について、図2を用いて説明する。
図2に示されるように、本発明の第1実施形態をなす圧力センサ装置は、コネクタターミナル22と上流側圧力導入通路25と下流側圧力導入通路26と取付け部19を有するハウジング18と、ハウジング18にインサートされた中間ターミナル23、24と、ハウジング18内に設けられた圧力検出素子27、28と、圧力検出素子27、28の上に設けられたベース部材21と、ベース部材21に設けられたセンサ回路基板20と、カバー29から構成される。
A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 2, the pressure sensor device according to the first embodiment of the present invention includes a housing 18 having a connector terminal 22, an upstream pressure introduction passage 25, a downstream pressure introduction passage 26, and a mounting portion 19, and a housing Intermediate terminals 23, 24 inserted into 18, pressure detection elements 27, 28 provided in the housing 18, a base member 21 provided on the pressure detection elements 27, 28, and a base member 21. Sensor circuit board 20 and cover 29.

DPF4の上流側の圧力を検出する上流側圧力検出素子27と、DPF4の下流側の圧力を検出する下流側圧力検出素子28とが、それぞれエポキシ系接着剤A31によりハウジング18に接着される。   An upstream pressure detecting element 27 for detecting the pressure on the upstream side of the DPF 4 and a downstream pressure detecting element 28 for detecting the pressure on the downstream side of the DPF 4 are bonded to the housing 18 by an epoxy adhesive A31.

ハウジング18内部に、圧力導入通路25、26からガスなどが入らないようにするために、圧力検出素子27、28とエポキシ系接着剤A31により気密に分離されるようにしている。   In order to prevent gas and the like from entering the housing 18 from the pressure introduction passages 25 and 26, the pressure detection elements 27 and 28 and the epoxy adhesive A31 are hermetically separated.

上流側圧力検出素子27と中間ターミナル23の一端とが溶接などで電気的に接続され、下流側圧力検出素子28と中間ターミナル24の一端とが溶接などで電気的に接続される。   The upstream pressure detection element 27 and one end of the intermediate terminal 23 are electrically connected by welding or the like, and the downstream pressure detection element 28 and one end of the intermediate terminal 24 are electrically connected by welding or the like.

センサ回路基板20は樹脂材で形成されたベース部材21内にエポキシ系接着剤B32により接着される。ハウジング18は、圧力検出素子27、28の上側にベース部材保持部37が形成されている。ここで、上側とは、図2でのZ軸の矢印方向のことを指す。回路基板20を搭載したベース部材21は、ハウジング18のベース部材保持部37にエポキシ系接着剤B33により接着される。これにより、回路基板20は直接圧力検出素子27、28に触れない構成となっている。   The sensor circuit board 20 is bonded to the base member 21 formed of a resin material by an epoxy adhesive B32. In the housing 18, a base member holding portion 37 is formed above the pressure detection elements 27 and 28. Here, the upper side refers to the arrow direction of the Z axis in FIG. The base member 21 on which the circuit board 20 is mounted is bonded to the base member holding portion 37 of the housing 18 with an epoxy adhesive B33. As a result, the circuit board 20 is configured not to touch the pressure detection elements 27 and 28 directly.

本発明では、圧力検出素子27、28に直接回路基板を搭載する構成ではなく、ベース部材21に回路基板を搭載し、ベース部材21とハウジング18とをエポキシ系接着剤B33で接着固定する構成となっている。ハウジング18にベース部材21を接着固定するのには、ハウジング18と圧力導入通路25、26とを気密に分離させるほどの接着剤の量を必要としないので、接着剤の影響を低減することができる。そのため、回路基板の高さ方向のばらつきを低減することができるので、ワイヤボンディングの強度を向上することができる。   In the present invention, the circuit board is not directly mounted on the pressure detection elements 27 and 28, but the circuit board is mounted on the base member 21, and the base member 21 and the housing 18 are bonded and fixed with the epoxy adhesive B33. It has become. Adhering and fixing the base member 21 to the housing 18 does not require an amount of adhesive that allows the housing 18 and the pressure introducing passages 25 and 26 to be hermetically separated from each other, thereby reducing the influence of the adhesive. it can. Therefore, variations in the height direction of the circuit board can be reduced, and the strength of wire bonding can be improved.

センサ回路基板20には各種電子部品が搭載されるため、保護用としてシリコーンゲル35が塗布される。搭載環境下における汚損や被水等からセンサ回路基板20やワイヤボンディング30を保護するため、カバー29をエポキシ系接着剤34によりハウジング18に接着した構成としている。   Since various electronic components are mounted on the sensor circuit board 20, a silicone gel 35 is applied for protection. In order to protect the sensor circuit board 20 and the wire bonding 30 from contamination, moisture, etc. in the mounting environment, the cover 29 is bonded to the housing 18 with an epoxy adhesive 34.

コネクタターミナル22とセンサ回路基板20とがワイヤボンディング30で電気的に接続され、中間ターミナル23の他端とセンサ回路基板20とがワイヤボンディング30で電気的に接続されており、中間ターミナル24の他端とセンサ回路基板20とがワイヤボンディング30で電気的に接続される。   The connector terminal 22 and the sensor circuit board 20 are electrically connected by wire bonding 30, and the other end of the intermediate terminal 23 and the sensor circuit board 20 are electrically connected by wire bonding 30. The ends and the sensor circuit board 20 are electrically connected by wire bonding 30.

中間ターミナル23および24をハウジング18内にインサートし、中間ターミナル23、24を介して圧力検出素子27、28はそれぞれセンサ回路基板20に接続されるので、センサ回路基板20を圧力検出素子27、28の上部に配置、すなわち階層構造とすることができる。圧力検出素子27、28をセンサ回路基板20の長手方向に並べ、その上部にセンサ回路基板20を設ける構成とすることで、水平方向のスペースを有効に活用でき、圧力センサ装置の水平方向の小型化を実現できる。   The intermediate terminals 23 and 24 are inserted into the housing 18, and the pressure detection elements 27 and 28 are connected to the sensor circuit board 20 via the intermediate terminals 23 and 24, respectively. Therefore, the sensor circuit board 20 is connected to the pressure detection elements 27 and 28. It can be arranged at the top of, ie, a hierarchical structure. By arranging the pressure detection elements 27 and 28 in the longitudinal direction of the sensor circuit board 20 and providing the sensor circuit board 20 above the pressure detection elements 27 and 28, the horizontal space can be used effectively, and the horizontal size of the pressure sensor device can be reduced. Can be realized.

圧力検出素子27、28を2つ用いて、DPF4の上流側と下流側の圧力の絶対圧を測定し、DPFの目詰まり状態を検出している。そのため、DPF4の下流側につながるホースを上流側圧力導入通路25に誤って繋げてしまうと、上流側圧力検出素子27がDPF4の下流側の圧力を検出することとなり、DPF4の目詰まり状態を正常に判断できなくなってしまう。そのため、ホースの誤挿入を防止するために、上流側圧力導入通路25と下流側圧力導入通路26を異なる径として、上流側圧力導入通路と下流側圧力導入通路を判断しやすいようにしている。   Using two pressure detection elements 27 and 28, the absolute pressures of the upstream and downstream pressures of the DPF 4 are measured, and the clogged state of the DPF is detected. Therefore, if the hose connected to the downstream side of the DPF 4 is mistakenly connected to the upstream pressure introduction passage 25, the upstream pressure detection element 27 detects the pressure on the downstream side of the DPF 4, and the clogged state of the DPF 4 is normal. It becomes impossible to judge. Therefore, in order to prevent erroneous insertion of the hose, the upstream pressure introduction passage 25 and the downstream pressure introduction passage 26 have different diameters so that the upstream pressure introduction passage and the downstream pressure introduction passage can be easily determined.

また、DPF4の上流側の空気は下流側よりもPMなどの異物を多く含むので、上流側圧力導入通路25の径を大きくして異物による圧力導入通路の詰まりを防止している。特に、上流側圧力導入通路25の通路内径を5.5mm以上にすると、圧力導入通路に侵入した水が水膜を張ることを抑制できるので、圧力導入通路の詰まりを効果的に防止できる。   Further, since the air on the upstream side of the DPF 4 contains more foreign matters such as PM than on the downstream side, the diameter of the upstream pressure introduction passage 25 is increased to prevent clogging of the pressure introduction passage due to foreign matters. In particular, if the inner diameter of the upstream pressure introduction passage 25 is set to 5.5 mm or more, water that has entered the pressure introduction passage can be prevented from stretching a water film, so that clogging of the pressure introduction passage can be effectively prevented.

本発明の第2実施例について、図3を用いて説明する。
ベース部材21の底面部に台座部36を設けている。台座部36からみて凹んでいる領域に接着剤32を充填させ、回路基板20をベース部材21に搭載している。これにより、回路基板20は台座部36に高さ方向のばらつきを抑えているので、ワイヤボンディング30の接続強度を向上できる。
A second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
A pedestal 36 is provided on the bottom surface of the base member 21. The circuit board 20 is mounted on the base member 21 by filling the adhesive 32 in a region recessed when viewed from the pedestal 36. Thereby, since the circuit board 20 is suppressing the dispersion | variation in the height direction in the base part 36, the connection strength of the wire bonding 30 can be improved.

また、台座部36のレイアウトとしては、ベース部材に回路基板を搭載したときに、回路基板のワイヤボンディング箇所に台座が配置されるようにすると良い。ワイヤボンディングする箇所の下に台座があるので、ワイヤボンディング時に高さばらつきが生じることを抑制でき、ワイヤボンディングの接続強度をより向上できる。   Further, as a layout of the pedestal portion 36, when the circuit board is mounted on the base member, the pedestal is preferably arranged at the wire bonding portion of the circuit board. Since the pedestal is located under the wire bonding portion, it is possible to suppress the occurrence of height variation during wire bonding, and the connection strength of wire bonding can be further improved.

また、180度回転対称になるように台座部36をベース部材21の底部に設けると良い。180度回転対称のレイアウトとすることで、より高さ方向のばらつきを抑制することができ、ワイヤボンディングの接続強度を向上できる。また、180度回転対称のレイアウトとすることで、回路基板20をベース部材に取り付けるときの取り付け方向がなくなり、製造時の取り付け方向の確認プロセスがなくなり、ベース部材21に回路基板20を取り付ける作業が簡略化される。これは、ワイヤボンディング時の高さばらつきを抑制するために、回路基板20のワイヤボンディング箇所に台座36が配置されるようなレイアウトとするときに特に効果的である。   Further, the pedestal 36 is preferably provided at the bottom of the base member 21 so as to be 180 degree rotationally symmetric. By adopting a 180 degree rotationally symmetric layout, variations in the height direction can be suppressed, and the connection strength of wire bonding can be improved. Further, by adopting a 180-degree rotationally symmetric layout, there is no attachment direction when attaching the circuit board 20 to the base member, there is no confirmation process of the attachment direction at the time of manufacture, and the work of attaching the circuit board 20 to the base member 21 is eliminated. Simplified. This is particularly effective when the layout is such that the pedestal 36 is disposed at the wire bonding location of the circuit board 20 in order to suppress height variations during wire bonding.

1 内燃機関
2、6 排気通路
3 ターボチャージャー
4 DPF
5 圧力センサ装置
7 上流側圧力導入管
8 下流側圧力導入管
9 ECU
10 吸気通路
11 空気流量測定装置
12 インタークーラー
13 吸気絞り弁
14 インテークマニホールド
15 排気再循環通路
16 EGRクーラー
17 排気再循環通路絞り弁
18 ハウジング
19 取付け部
20 センサ回路基板
21 ベース部材
22 コネクタターミナル
23、24 中間ターミナル
25 上流側圧力導入通路
26 下流側圧力導入通路
27 上流側圧力検出素子
28 下流側圧力検出素子
29 カバー
30 ワイヤボンディング
31 エポキシ系接着剤A
32、33 エポキシ系接着剤B
34 エポキシ系接着剤C
35 シリコーンゲル
36 台座部
37 ベース部材保持部
1 Internal combustion engine 2, 6 Exhaust passage 3 Turbocharger 4 DPF
5 Pressure sensor device 7 Upstream pressure introduction pipe 8 Downstream pressure introduction pipe 9 ECU
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Intake passage 11 Air flow measuring device 12 Intercooler 13 Intake throttle valve 14 Intake manifold 15 Exhaust recirculation passage 16 EGR cooler 17 Exhaust recirculation passage throttle valve 18 Housing 19 Mounting part 20 Sensor circuit board 21 Base member 22 Connector terminals 23, 24 Intermediate terminal 25 Upstream pressure introduction passage 26 Downstream pressure introduction passage 27 Upstream pressure detection element 28 Downstream pressure detection element 29 Cover 30 Wire bonding 31 Epoxy adhesive A
32, 33 Epoxy adhesive B
34 Epoxy adhesive C
35 Silicone gel 36 Base part 37 Base member holding part

Claims (4)

第1の圧力導入通路と、第2の圧力導入通路と、コネクタ部と、を有するハウジングと、
前記ハウジング内に設けられ、前記第1の圧力導入路から導入された圧力を検出する第1の圧力検出素子と、
前記ハウジング内に設けられ、前記第2の圧力導入路から導入された圧力を検出する第2の圧力検出素子と、
を備え、
前記第1および第2の圧力検出素子が接着剤によりハウジング内部に固定されることにより、前記第1および第2の圧力導入通路と前記ハウジング内とが気密に分離される圧力センサ装置において、
前記ハウジング内で、前記第1および第2の圧力検出素子の上側に、ベース部材と、回路基板とを設け、
前記ベース部材は、前記回路基板を接着剤により接着保持しており、
前記ハウジングは、前記第1および第2の圧力検出素子の上側に、前記ベース部材を搭載するための保持部を有しており、
前記ベース部材は、接着剤により前記ハウジングの保持部に接着固定されることを特徴とする圧力センサ装置。
A housing having a first pressure introduction passage, a second pressure introduction passage, and a connector portion;
A first pressure detecting element provided in the housing for detecting the pressure introduced from the first pressure introduction path;
A second pressure detection element provided in the housing for detecting the pressure introduced from the second pressure introduction path;
With
In the pressure sensor device in which the first and second pressure detection elements are fixed inside the housing with an adhesive, whereby the first and second pressure introduction passages and the inside of the housing are separated in an airtight manner .
In the housing, a base member and a circuit board are provided above the first and second pressure detection elements,
The base member holds the circuit board bonded with an adhesive,
The housing has a holding portion for mounting the base member on the upper side of the first and second pressure detection elements,
The pressure sensor device according to claim 1, wherein the base member is bonded and fixed to the holding portion of the housing by an adhesive.
請求項1に記載の圧力センサ装置において、
前記ベース部材は、台座部を複数有していることを特徴とする圧力センサ装置。
The pressure sensor device according to claim 1,
The base member has a plurality of pedestal portions.
請求項2に記載の圧力センサ装置において、
前記ベース部材に設けた台座部は、前記回路基板を前記ベース部材に搭載したときに、前記回路基板のワイヤボンディング接続箇所と対応する部分に形成されていることを特徴とする圧力センサ装置。
The pressure sensor device according to claim 2,
The pedestal portion provided on the base member is formed at a portion corresponding to a wire bonding connection portion of the circuit board when the circuit board is mounted on the base member.
請求項2に記載の圧力センサ装置において、
前記台座部のレイアウトが、180度回転対称となるようにすることを特徴とする圧力センサ装置。
The pressure sensor device according to claim 2,
The pressure sensor device is characterized in that a layout of the pedestal portion is 180-degree rotationally symmetric.
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