JP5798389B2 - Light irradiation test method and light irradiation test apparatus - Google Patents

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Description

本発明は、各種工業材料、工業製品が光劣化する現象を評価するための光照射試験方法(光劣化加速試験方法)および、そのための光照射試験装置に関する。特に試料として光電変換素子を用いた場合に、その光電変換素子の光劣化加速試験に好適に用いることのできる光照射試験方法およびそのための光照射試験装置に関する。   The present invention relates to a light irradiation test method (light deterioration acceleration test method) for evaluating the phenomenon that various industrial materials and industrial products undergo light deterioration, and a light irradiation test apparatus therefor. In particular, when a photoelectric conversion element is used as a sample, the present invention relates to a light irradiation test method and a light irradiation test apparatus therefor that can be suitably used for a light deterioration acceleration test of the photoelectric conversion element.

屋外に暴露されうる各種工業材料、工業製品は太陽光により光劣化、加熱劣化することがしばしば見受けられる。例えば、太陽電池に代表される光電変換素子においても熱や光照射により特性が変化することが知られている。とりわけ、アモルファス系太陽電池(アモルファスシリコン(a−Si)太陽電池、アモルファスシリコンゲルマニウム(a−SiGe)太陽電池、アモルファスゲルマニウム(a−Ge)太陽電池等)の特性は、光の照射により出力特性が劣化し、逆に熱を加えると出力特性が回復することが知られている(ステブラー・ロンスキー効果)。そのため、光照射による光電変換素子の特性劣化を評価するため、光電変換素子の温度一定の条件のもと強光度の光を照射し、劣化加速試験が行われている。その際、光照射の効果と熱の効果を切り分けるため、光電変換素子の温度を一定に保つことがきわめて重要である。   Various industrial materials and industrial products that can be exposed to the outdoors often suffer from light deterioration and heat deterioration due to sunlight. For example, it is known that the characteristics of a photoelectric conversion element typified by a solar cell change due to heat or light irradiation. In particular, the characteristics of amorphous solar cells (amorphous silicon (a-Si) solar cells, amorphous silicon germanium (a-SiGe) solar cells, amorphous germanium (a-Ge) solar cells, etc.) have output characteristics due to light irradiation. It is known that the output characteristics are restored when the heat is deteriorated and the heat is applied (Stebler-Lonsky effect). Therefore, in order to evaluate the deterioration of characteristics of the photoelectric conversion element due to light irradiation, a deterioration acceleration test is performed by irradiating light with high intensity under the condition of a constant temperature of the photoelectric conversion element. At that time, in order to separate the effect of light irradiation and the effect of heat, it is extremely important to keep the temperature of the photoelectric conversion element constant.

また昼夜変動による劣化・回復をシミュレートするため、試料(光電変換素子)の温度制御した上で光のオンオフを繰り返す光照射試験方法(明暗サイクル試験)がある。例えば非特許文献1には一日の日射・温度変化を考慮して、a−Si系太陽電池における一昼夜相当の外部環境暴露を8分(4分の光照射状態と4分光非照射状態)に加速できることが開示されている。結果、1日相当を8分、1年相当を36.5時間でシミュレートでき、従前困難であった昼夜変動・季節変動を適切に評価できることが開示されている。なお、非特許文献1記載の光照射試験方法では試料の温度は電子冷却素子(いわゆるペルチェ素子)を用いて制御している。   In addition, there is a light irradiation test method (light / dark cycle test) in which light is turned on / off repeatedly while controlling the temperature of a sample (photoelectric conversion element) in order to simulate deterioration / recovery due to day / night fluctuations. For example, in Non-Patent Document 1, taking into account the daily solar radiation and temperature changes, exposure to the external environment equivalent to a day and night in an a-Si solar cell is 8 minutes (4 minutes light irradiation state and 4 spectral non-irradiation state). It is disclosed that it can be accelerated. As a result, it is disclosed that one day equivalent can be simulated for 8 minutes and one year equivalent for 36.5 hours, and daytime / nighttime fluctuations and seasonal fluctuations, which have been difficult in the past, can be appropriately evaluated. In the light irradiation test method described in Non-Patent Document 1, the temperature of the sample is controlled using an electronic cooling element (so-called Peltier element).

また、特許文献1には、ランプバンクと、冷却装置と空調機を含む温度調節部とを備えるソーラーシミュレータが開示されている。   Patent Document 1 discloses a solar simulator including a lamp bank, a temperature control unit including a cooling device and an air conditioner.

また、特許文献2には、風を送り得る通風装置と、冷却装置と、測定機器類取付部とを備える模擬太陽実験装置が開示されている。   Further, Patent Document 2 discloses a simulated solar experiment apparatus that includes a ventilation device that can send wind, a cooling device, and a measuring device mounting portion.

特開2006−215015号公報JP 2006-2105015 A 実開昭60−145472号公報Japanese Utility Model Publication No. 60-145472

The Journal of Reliability Engineering Association of Japan Vol.18 No.4 (1996)猪狩、中野、能勢、高久、松田 「a−Si系太陽電池明暗サイクル光加速劣化試験方法」The Journal of Reliability Engineering Association of Japan Vol.18 No.4 (1996) Akari, Nakano, Nose, Takahisa, Matsuda “Testing Method for Accelerated Aging Degradation Cycle of a-Si Solar Cells”

発明者は光のオンオフを繰り返すことによる昼夜変動をシミュレートする光照射試験方法(明暗サイクル試験)について詳細に検討したところ、光のオフ状態からオン状態に切り替わる時および光のオン状態からオフ状態に切り替わる時に試料の温度が大きく変化し、試験の間、試料温度を一定に制御することが困難であることが分かった。また発明者は非特許文献1記載の方法と同様にして、恒温槽内に電子冷却素子(いわゆるペルチェ素子)を配置し、ペルチェ素子上に試料を設置する構成で明暗サイクル試験を試みたところ、試料とペルチェ素子との密着性により温度プロファイルが大きく異なり、再現性のよい温度制御が困難であることがわかった。本発明はかかる事情を鑑み、光オンオフ切り替えに伴う試料の急激な温度変化を抑制することを主たる課題として、発明にいたったものである。   The inventor has studied in detail a light irradiation test method (light / dark cycle test) that simulates day-and-night fluctuations by repeatedly turning on and off the light. When the light is switched from the off-state to the on-state and from the on-state to the off-state of the light It was found that the temperature of the sample changed greatly when switching to, and it was difficult to keep the sample temperature constant during the test. Moreover, when the inventor tried the light-dark cycle test by the structure which arrange | positions an electronic cooling element (what is called a Peltier element) in a thermostat, and installs a sample on a Peltier element similarly to the method of a nonpatent literature 1, It was found that the temperature profile differs greatly depending on the adhesion between the sample and the Peltier element, and it is difficult to control the temperature with good reproducibility. In view of such circumstances, the present invention has been made in order to suppress a rapid temperature change of a sample accompanying light on / off switching.

ここで、先行特許文献と本願発明との課題および解決手段がまったく異なっていることを注意的に記載する。特許文献1にはランプバンクと冷却装置と空調機を含む温度調節部とを備えるソーラーシミュレータが開示されている。特許文献1の光照射試験装置は、一日の間に放射される「太陽光の経時的な変化に近似」できるようにした装置であり、照射光の連続的な光強度変化のみを考慮した装置である。実際、特許文献1図5によると、4時間をかけて、放射照度が0W/mから1120w/mへ連続的に変化するため、試料の温度制御が容易である。そのため特許文献1からは「光オンオフ切り替えに伴う急激な温度変化を抑制」という課題が想定され得ない。また、本願発明の要部たる「温度制御機構と、別体の冷却用送風機構との組み合わせ」は特許文献1の発明にはなんらの記載も示唆もない。 Here, it should be noted carefully that the problems and means of solution between the prior patent document and the present invention are completely different. Patent Document 1 discloses a solar simulator including a lamp bank, a cooling device, and a temperature control unit including an air conditioner. The light irradiation test apparatus of Patent Document 1 is an apparatus that can "approximate the change with time of sunlight" radiated during the day, considering only the continuous light intensity change of the irradiation light. Device. In fact, according to FIG. 5 of Patent Document 1, since the irradiance continuously changes from 0 W / m 2 to 1120 w / m 2 over 4 hours, the temperature control of the sample is easy. Therefore, from Patent Document 1, the problem of “suppressing a rapid temperature change associated with light on / off switching” cannot be assumed. Further, “the combination of the temperature control mechanism and a separate cooling air blowing mechanism”, which is a main part of the present invention, has no description or suggestion in the invention of Patent Document 1.

また特許文献2には風を送り得る通風装置と冷却装置と測定機器類取付部とを備える模擬太陽実験装置が開示されているが、測定機器で測定したデータを冷却機構にフィードバックするという思想はまったく無い。「光オンオフ切り替えに伴う急激な温度変化を抑制のために、温度制御機構と、その温度制御機構とは別の冷却用送風機構との組み合わせる」点にその本質を有する本願発明とは課題も解決手段も異なる。また、本願発明は温度制御のため密閉系にて温度の精緻制御を試みているのに対し、特許文献2では「供試体取り付け部の周囲が外部に対して開放状態に構成」されており、温度制御に対する思想が相反するものである。   Further, Patent Document 2 discloses a simulated solar experiment apparatus including a ventilation device that can send wind, a cooling device, and a measuring device mounting portion. However, the idea of feeding back data measured by a measuring device to a cooling mechanism is disclosed. Not at all. Solves the problem of the present invention which has the essence of "combination of a temperature control mechanism and a cooling air blowing mechanism different from the temperature control mechanism in order to suppress a rapid temperature change due to light on / off switching". The means are also different. In addition, while the present invention attempts to control the temperature precisely in a closed system for temperature control, in Patent Document 2, “the periphery of the specimen mounting portion is configured to be open to the outside” The idea of temperature control is contradictory.

発明者は係る事情を鑑み、光のオンオフを繰り返すことによる昼夜変動をシミュレートする光照射試験方法において、試料の温度を精密に制御する方法を検討し、本発明に至った。第一の発明群は光照射試験方法であり、第二の発明群は光照射試験装置である。 In view of such circumstances, the inventor studied a method for precisely controlling the temperature of a sample in a light irradiation test method for simulating day-and-night fluctuations by repeatedly turning on and off light, and reached the present invention. The first invention group is a light irradiation test methods, the second invention group is a light irradiation test equipment.

本発明の光照射試験方法は、試料としての光電変換素子に光照射を行う工程と、光照射を行わない工程とを交互に行う。保持槽には、保持槽内の雰囲気温度を一定温度に制御するための温度制御機構と、前記温度制御機構とは別の冷却用送風機構とが設けられている。冷却用送風機構はボルテックスチューブを含み、ボルテックスチューブは、試料の光照射面の裏側の面から試料に対して冷風を送風するように配置されている。ボルテックスチューブと試料との間には、ボルテックスチューブからの冷風を分散して試料に当てるための冷風分散板が設けられている。本発明の光照射試験方法では、光照射の有無および/または試料の測定温度に応じて、冷却用送風機構を制御することにより、試料の光照射面の裏側の面から送風を行い、試料の温度を調整する。 The light irradiation test method of the present invention alternately performs a step of performing light irradiation on a photoelectric conversion element as a sample and a step of not performing light irradiation . The holding tank is provided with a temperature control mechanism for controlling the atmospheric temperature in the holding tank to a constant temperature, and a cooling air blowing mechanism different from the temperature control mechanism. The cooling air blowing mechanism includes a vortex tube, and the vortex tube is arranged so as to blow cool air from the back side of the light irradiation surface of the sample to the sample. A cold air dispersion plate is provided between the vortex tube and the sample for dispersing the cold air from the vortex tube and applying it to the sample. In the light irradiation test method of the present invention, air is blown from the back side of the light irradiation surface of the sample by controlling the cooling air blowing mechanism according to the presence or absence of light irradiation and / or the measurement temperature of the sample. Adjust the temperature.

本発明の光照射試験方法の一形態では、光照射を行う工程の時間および光照射を行わない工程の時間がいずれも少なくとも2分以上15分以下である。 In one form of the light irradiation test method of the present invention, Ru time and Der least 2 minutes to 15 minutes or less any time of the light irradiation is not performed the step of step of performing light irradiation.

本発明の光照射試験方法の一形態では、試料に光照射を行う工程と、光照射を行わない工程とを少なくとも100回以上行う。
本発明の光照射試験装置は、上記光照射試験を行うための装置であり、槽内に試料としての光電変換素子を保持するための試料台を備える保持槽と、光源装置とを有し、光源装置より放射される照射光が前記保持槽に設けられた光照射窓を介して保持槽内に保持された試料に照射されるように構成されている。
In one embodiment of the light irradiation test method of the present invention, and performing light irradiation to the sample, it intends row at least 100 times or more and a step of not performing light irradiation.
The light irradiation test apparatus of the present invention is an apparatus for performing the light irradiation test, and includes a holding tank including a sample stage for holding a photoelectric conversion element as a sample in the tank, and a light source device. The irradiation light emitted from the light source device is configured to be applied to the sample held in the holding tank through the light irradiation window provided in the holding tank.

本発明の方法により、光照射のオンオフを繰り返すことによる昼夜変動をシミュレートする場合において試料の温度を適切に制御することができる。また、本発明の装置を用いることにより、光照射のオンオフを繰り返すことによる昼夜変動をシミュレートする場合において試料の温度を適切に制御することができる。本発明にかかる光照射試験方法および光照射試験装置を用いることで、一定温度のもと光をオンオフした場合に光電変換素子が光劣化する現象を評価することができる。 According to the method of the present invention , the temperature of the sample can be appropriately controlled in the case of simulating day and night fluctuations by repeatedly turning on and off light irradiation. Further, by using the apparatus of the present invention, it is possible to appropriately control the temperature of the sample when simulating day and night fluctuations by repeatedly turning on and off light irradiation. By using the light irradiation test method and the light irradiation test apparatus according to the present invention, it is possible to assess the phenomenon of photoelectric conversion element is deteriorated light when off the original light of constant temperature.

本発明の実施例1に係る光照射試験装置の構成図である。It is a block diagram of the light irradiation test apparatus which concerns on Example 1 of this invention. 本発明の実施例1に係る光照射試験装置を用いて、光照射試験を行った場合の試料(光電変換素子)の温度変化の一例である。It is an example of the temperature change of the sample (photoelectric conversion element) at the time of performing a light irradiation test using the light irradiation test apparatus which concerns on Example 1 of this invention.

(装置の全体構成)
本発明に係る光照射試験装置は光照射のオンオフを繰り返した場合でも、試料の温度を一定に制御できるところにその本質がある。装置は主に保持槽と光源装置とから構成される。保持槽には、光源装置より放射される照射光を取り込む光照射窓が形成されており、光源装置より照射された光は光照射窓を通って保持槽に入射される。保持槽には光照射試験の対象たる試料(光電変換素子)が保持され、光照射される構成となっている。
(Overall configuration of the device)
The light irradiation test apparatus according to the present invention is essential in that the temperature of the sample can be controlled to be constant even when the light irradiation is repeatedly turned on and off. The apparatus mainly includes a holding tank and a light source device. The holding tank is formed with a light irradiation window that takes in the irradiation light emitted from the light source device, and the light irradiated from the light source device enters the holding tank through the light irradiation window. The holding tank holds the sample (photoelectric conversion element) that is the subject of the light irradiation test and is irradiated with light.

保持槽は槽内を一定温度に制御することができる温度制御機構を有している。温度制御機構を有する保持槽としては、市販されている恒温槽を用いることができる。保持槽は湿度制御機構が設けられていても良い。その場合、実施態様のひとつとして湿度を0%以上かつ5%以下、より好ましくは、0%以上かつ1%以下に保持できることが好ましい。なぜなら、試料を冷却用送風機構で冷却した場合、試料に結露が発生するためである。また、別の実施態様として、耐光耐湿試験を実施する場合には湿度を70%以上かつ100%以下、より好ましくは80%以上かつ100%以下に保持できることが好ましい。   The holding tank has a temperature control mechanism capable of controlling the inside of the tank to a constant temperature. A commercially available thermostatic bath can be used as the holding bath having the temperature control mechanism. The holding tank may be provided with a humidity control mechanism. In that case, as one embodiment, it is preferable that the humidity can be maintained at 0% to 5%, more preferably 0% to 1%. This is because condensation occurs on the sample when the sample is cooled by the cooling air blowing mechanism. As another embodiment, when the light and humidity resistance test is performed, it is preferable that the humidity can be maintained at 70% or more and 100% or less, more preferably 80% or more and 100% or less.

保持槽には保持槽が有する温度制御機構とは別の冷却用送風機構が設けられる。保持槽に設けられた試料台には試料の温度を測定する温度測定機構が設けられていることが好ましい。温度測定機構としては、保持槽内で試料の温度を測定できるものであれば特に制限がないが、熱電対、放射温度計等が用いられる。   The holding tank is provided with a cooling air blowing mechanism different from the temperature control mechanism of the holding tank. It is preferable that a temperature measuring mechanism for measuring the temperature of the sample is provided on the sample stage provided in the holding tank. The temperature measuring mechanism is not particularly limited as long as it can measure the temperature of the sample in the holding tank, but a thermocouple, a radiation thermometer, or the like is used.

(光源)
光照射の光源としては光照射可能な発光素子であれば特段制限はない。例えば、ハロゲンランプ、キセノンランプ、メタルハライドランプ、タングステンランプ、水銀ランプ、ナトリウムランプ等が上げられる。また、LED、各種レーザーを用いても良い。
(light source)
The light source for light irradiation is not particularly limited as long as it is a light emitting element capable of light irradiation. For example, halogen lamps, xenon lamps, metal halide lamps, tungsten lamps, mercury lamps, sodium lamps and the like can be mentioned. Moreover, you may use LED and various lasers.

さらには、これらの発光素子を複数組み合わせたものであってもよい。擬似太陽光線による光電変換素子の劣化の加速試験を行うという観点から、JIS C8942においてクラスC相当、より好ましくはクラスB以上、もっとも好ましくはクラスAのスペクトル合致度を有する光源が好ましい。そのためには、キセノンランプまたは、キセノンランプとハロゲンランプの組み合わせが特に好ましい。また、より太陽光に近似させるため、エアマスフィルターおよび/または輝線カットフィルタを用いることも好ましい実施態様である。   Further, a combination of a plurality of these light emitting elements may be used. From the viewpoint of performing an accelerated test of deterioration of the photoelectric conversion element by pseudo-sunlight, a light source having a spectrum matching degree of JIS C8942 equivalent to class C, more preferably class B or more, most preferably class A is preferable. For that purpose, a xenon lamp or a combination of a xenon lamp and a halogen lamp is particularly preferable. In order to make it more approximate to sunlight, it is also a preferred embodiment to use an air mass filter and / or a bright line cut filter.

光照射強度は100mW/cm 以上が好ましく、200mW/cm 以上がさらに好ましく、350mW/cm 以上が好ましい。なぜなら、100mW/cm が通常地上に照射される太陽光線の放射照度であり、100mW/cm 未満の照度では光劣化の加速とならないためである。また、これまでの公知文献に拠るとアモルファス系太陽電池に関しては、200mW/cm 以上では少なくとも4倍程度の光劣化の加速が期待され、350mW/cm 以上では少なくとも10倍程度の光劣化の加速が期待できるためである。 Light irradiation Ikyo degree 100 mW / cm 2 or more, more preferably from 200 mW / cm 2 or more, 350 mW / cm 2 or more. This is because 100 mW / cm 2 is the irradiance of sunlight that is normally irradiated on the ground, and light degradation of less than 100 mW / cm 2 does not accelerate light degradation. Further, according to known literatures so far, with regard to amorphous solar cells, at least 200 times acceleration of light deterioration is expected at 200 mW / cm 2 or more, and at least about 10 times light deterioration is expected at 350 mW / cm 2 or more. This is because acceleration can be expected.

光劣化の加速という観点では光照射強度は強ければ強いほど良いが、別の技術的困難のため最適な光照射強度には上限が存在する。すなわち、光照射強度は1000mW/cm 以下が好ましく、500mW/cm 以下がさらに好ましい。なぜなら、光照射強度が1000mW/cm より大きい場合、光源のランプの劣化が激しく、連続して500時間以上の光劣化加速試験を行えないためである。また、光照射強度が500mW/cm より大きい場合、光照射に伴う試料の温度上昇が大きく、本発明にかかる構成をもってしても温度制御に困難なケースもあるためである。 Light irradiation Ikyo degree in terms of acceleration of photodegradation good The stronger, but the optimum light irradiation Ikyo degree for another technical difficulties there is an upper limit. That is, light irradiation Ikyo degree is preferably 1000 mW / cm 2 or less, more preferably 500 mW / cm 2 or less. This is because light irradiation Ikyo degree 1000 mW / cm 2 is greater than, the deterioration of the light source lamp is intense, is because not be performed continuously for 500 hours or more optical deterioration acceleration test. Further, light irradiation Ikyo degree 500 mW / cm 2 is greater than, greater temperature increase of the sample due to light irradiation is because even with the configuration according to the present invention are also difficult case to temperature control.

連続光照射は500時間以上、より好ましくは1000時間以上できることが好ましい。アモルファス系太陽電池に関しては、350mW/cm の光照射で10年相当の光劣化加速を行うには500時間以上の連続照射が必要であり、350mW/cm の光照射で20年相当の光劣化加速を行うには1000時間以上の連続照射が必要であるためである。 It is preferable that continuous light irradiation can be performed for 500 hours or longer, more preferably 1000 hours or longer. For the amorphous solar cell, to do photodegradation acceleration equivalent 10 years with light irradiation of 350 mW / cm 2 requires continuous irradiation of 500 hours or more, considerable light 20 years with light irradiation of 350 mW / cm 2 This is because continuous irradiation for 1000 hours or more is necessary to accelerate deterioration.

光照射光強度を一定に保つため、照射光強度をモニターし、検出した光強度に応じて発光素子に流れる電流を調整するフィードバック回路を設けることが好ましい。試料への照射光強度を一定に保つ上で有用であるからである。   In order to keep the light irradiation light intensity constant, it is preferable to provide a feedback circuit that monitors the irradiation light intensity and adjusts the current flowing through the light emitting element in accordance with the detected light intensity. This is because it is useful for keeping the irradiation light intensity on the sample constant.

照射光をインテグレータレンズまたは魚眼レンズ(フライアイレンズ)を介して試料に照射することは、試料への照射光強度ムラを無くする上で有用である。   Irradiating the sample with the irradiation light via the integrator lens or the fish-eye lens (fly eye lens) is useful for eliminating unevenness of the irradiation light intensity on the sample.

光照射のオンオフとしては、光源への電源供給のオンオフによる制御や、導光路に対してシャッターを設けてその開閉による制御があるが、シャッターによる制御が好ましい。なぜなら、光源への電源供給のオンオフによる制御では光源素子の劣化を早めるとともに、照射光のスペクトルおよび強度が安定しないためである。   Examples of on / off of light irradiation include control by turning on / off power supply to the light source and control by opening / closing a light guide path by providing a shutter, but control by the shutter is preferable. This is because the control by turning on / off the power supply to the light source accelerates the deterioration of the light source element and the spectrum and intensity of the irradiation light are not stable.

(光照射工程)
本発明に係る光照射試験方法では試料(とりわけ、光電変換素子)に光照射を行う工程(明工程)と、光照射を行わない工程(暗工程)とを少なくとも含む。明工程および暗工程は少なくとも100回以上、好ましくは500回、もっとも好ましくは4000回以上行うことが好ましい。それぞれ、3カ月程度、1年程度、10年程度の光照射加速試験を行うには明工程および暗工程を上述の回数以上を繰り返し行う必要があるためである。
(Light irradiation process)
The light irradiation test method according to the present invention includes at least a step of performing light irradiation on a sample (in particular, a photoelectric conversion element) (bright step) and a step of not performing light irradiation (dark step). It is preferable to perform the light process and the dark process at least 100 times or more, preferably 500 times, and most preferably 4000 times or more. This is because, in order to perform the light irradiation accelerated test for about 3 months, about 1 year, or about 10 years, it is necessary to repeat the light process and the dark process more than the number of times described above.

明工程の時間および暗工程の時間がいずれも30分以下である場合に、本発明の構成が課題解決に顕著に寄与する。なぜなら、明工程の時間および暗工程の時間が30分より大きい場合、光非照射状態から光照射状態への切り替え(以下暗明切り替えと記す)および光照射状態から光非照射状態への切り替え(以下明暗切り替えと記す)に伴い、試料温度が所望の試料温度から外れる時間が生ずるものの、その外れる時間よりも、温度が落ち着き平衡温度に達している時間のほうが十分に長くなるため、明暗切り替えおよび暗明切り替えに伴う温度変化の影響が軽微であるためである。 When both the time of the bright process and the time of the dark process are 30 minutes or less, the configuration of the present invention significantly contributes to solving the problem. This is because, Akira process time and dark sizes have if more time is 30 minutes steps, from the light non-irradiation state to a light irradiation state switching (hereinafter dark-light referred to as switching) and from the light irradiation state to the light non-irradiating state Although there is a time when the sample temperature deviates from the desired sample temperature due to switching (hereinafter referred to as light-dark switching), the time when the temperature has settled and reached the equilibrium temperature is sufficiently longer than the time when the sample temperature deviates. This is because the influence of the temperature change accompanying the switching and the dark / light switching is slight.

明工程の時間および暗工程の時間がいずれも2分以上である場合に、本発明の構成が課題解決に顕著に寄与する。なぜなら、明工程の時間および暗工程の時間が2分未満の場合、明工程で試料の温度上昇が始まる前に暗工程に移り、また、暗工程で試料の温度降下が始まる前に明工程に移るため、温度制御が容易となるためである。   When both the time of the light process and the time of the dark process are 2 minutes or more, the configuration of the present invention significantly contributes to solving the problem. This is because if the time of the light process and the time of the dark process are less than 2 minutes, the process proceeds to the dark process before the temperature rise of the sample starts in the light process, and the process proceeds to the light process before the temperature drop of the sample starts in the dark process. This is because temperature control is facilitated.

(温度制御機構と光照射試験方法)
すでに述べたとおり保持槽には保持槽が有する温度制御機構とは別の冷却用送風機構が設けられる。そして、光照射のオンオフ制御機構、保持槽が有する温度制御機構および冷却用送風機構を連動させることにより、光照射に応じて該試料に対して冷風を吹きつけ該試料の温度調整をする。また、必要に応じて試料の温度を測定する温度測定機構も連動させることが好ましい。
(Temperature control mechanism and light irradiation test method)
As described above, the holding tank is provided with a cooling air blowing mechanism different from the temperature control mechanism of the holding tank. Then, by linking the on / off control mechanism of the light irradiation, the temperature control mechanism of the holding tank, and the cooling air blowing mechanism, cold air is blown against the sample in accordance with the light irradiation to adjust the temperature of the sample. In addition, it is preferable to link a temperature measuring mechanism for measuring the temperature of the sample as necessary.

冷却用送風機構は試料の光照射面の裏面側に位置し、冷風が試料に光が照射される面の裏側の面から送風される構成であることが好ましい。冷却用送風機構が照射光に干渉することなく、試料を均一に冷却するためには係る構成が最適であるためである。   The cooling air blowing mechanism is preferably located on the back side of the light irradiation surface of the sample, and the cooling air is preferably blown from the back surface of the surface where the sample is irradiated with light. This is because the cooling fan mechanism is optimal for cooling the sample uniformly without interfering with the irradiation light.

冷却用送風機構としてはボルテックスチューブが好ましい。なぜなら、十分な冷却能を有するだけの冷風を発生させられるとともに、送風状態と無風状態の切り替えを瞬時に行えるためである。   A vortex tube is preferable as the cooling air blowing mechanism. This is because it is possible to generate cold air having sufficient cooling capacity and to instantaneously switch between the blowing state and the no-air state.

好ましい試料温度制御の態様としては、光源の光照射の有無および/または試料の測定温度に応じて温度制御機構および冷却用送風機構を調整する機能を有することにより、試料の温度調整を行う。以下にいくつかの具体的な温度調整態様のパターンを示すが、これらに限定されるものでなく、どれだけ温度を精緻制御する必要があるかに応じて、これら以外の温度調整態様も選択される。
具体的な試料温度調整態様の第一として、明工程では冷却用送風機構を稼動させ、暗工程では冷却用送風機構を停止させる。また、明工程および暗工程を通じては温度制御機構の温度設定は一定とする。
As a preferred sample temperature control mode, the temperature of the sample is adjusted by having a function of adjusting the temperature control mechanism and the cooling air blowing mechanism in accordance with the presence or absence of light irradiation of the light source and / or the measured temperature of the sample. Some specific patterns of temperature adjustment modes are shown below, but the present invention is not limited to these patterns, and other temperature adjustment modes are also selected depending on how precisely the temperature needs to be controlled. The
As a first specific sample temperature adjustment mode, the cooling air blowing mechanism is operated in the bright process, and the cooling air blowing mechanism is stopped in the dark process. The temperature setting of the temperature control mechanism is constant throughout the light process and the dark process.

具体的な試料温度調整態様の第二としては、光照射時には冷却用送風機構を稼動させるとともに、温度制御機構を槽内温度をより下げる設定で稼動させる。一方、光非照射時には冷却用送風機構を停止させるとともに、温度制御機構を槽内温度をより上げる設定で稼動させる。本態様は第一の態様に比べてより精密に温度制御できる。   As a second specific sample temperature adjustment mode, the cooling blower mechanism is operated at the time of light irradiation, and the temperature control mechanism is operated at a setting for lowering the temperature in the tank. On the other hand, when the light is not irradiated, the cooling air blowing mechanism is stopped, and the temperature control mechanism is operated with a setting for further increasing the temperature in the tank. This embodiment can control the temperature more precisely than the first embodiment.

具体的な試料温度調整態様の第三としては、上述の第一および第二の実施態様に加えて、暗明切り替え時および、明暗切り替え時には温度制御機構および冷却用送風機構のそれぞれの温度制御条件を連続的に変化させる。本態様は第一、第二の態様に比べてより精密に温度制御できる。   As a third specific sample temperature adjustment mode, in addition to the first and second embodiments described above, each temperature control condition of the temperature control mechanism and the cooling air blowing mechanism at the time of dark / light switching and at the time of light / dark switching Is continuously changed. This embodiment can control the temperature more precisely than the first and second embodiments.

また、別の好ましい試料温度調整態様としては、温度測定機構により測定された試料温度に応じて、温度制御機構および冷却用送風機構を調整する機能を有することにより試料の温度調整を行う。   As another preferred sample temperature adjustment mode, the temperature of the sample is adjusted by having a function of adjusting the temperature control mechanism and the cooling air blowing mechanism in accordance with the sample temperature measured by the temperature measurement mechanism.

より具体的な試料温度調整態様の第一としては、光照射時には試料の温度と所望の温度との差に基づき、冷却用送風機構の冷風量の大小および/または、温度制御機構の設定温度を、よりその差が小さくなるよう自動調整させる。一方、光非照射時には冷却用送風機構を停止させるとともに、光照射時には試料の温度と所望の温度との差に基づき、温度制御機構の設定を、よりその差が小さくなるよう自動調整させる。   As a more specific sample temperature adjustment mode, at the time of light irradiation, based on the difference between the sample temperature and the desired temperature, the amount of cooling air in the cooling fan mechanism and / or the set temperature of the temperature control mechanism are set. The automatic adjustment is performed so that the difference becomes smaller. On the other hand, when the light is not irradiated, the cooling air blowing mechanism is stopped, and when the light is irradiated, the temperature control mechanism is automatically adjusted based on the difference between the sample temperature and the desired temperature so that the difference becomes smaller.

(装置図)
以下、本発明の実施例を図1を用いて説明する。図1は実施例の要部平面図である。本実施例にかかる装置は主に光源装置1と保持槽15とから構成される。光源装置1内部には光源1として、1.6kWのキセノンランプ(UXL−1600SX、ウシオ電機株式会社製)を配置した。光源1の周囲には集光鏡3が配置してある。光源より放射状に照射された光は集光鏡3により光源1の上部に設けられた第一鏡体4へと導かれる。なお、光源1の周囲には送風機が設けられ、光源1および周辺部材を冷却し外部に排気される(図示せず)。
(Device diagram)
An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. FIG. 1 is a plan view of an essential part of the embodiment. The apparatus according to this embodiment is mainly composed of a light source device 1 and a holding tank 15. Inside the light source device 1, a 1.6 kW xenon lamp (UXL-1600SX, manufactured by Ushio Inc.) was disposed as the light source 1. A condenser mirror 3 is disposed around the light source 1. The light irradiated radially from the light source is guided to the first mirror 4 provided on the upper part of the light source 1 by the condenser mirror 3. A blower is provided around the light source 1 to cool the light source 1 and peripheral members and exhaust them to the outside (not shown).

第一鏡体4により反射された光はインテグレータレンズ5およびA.M.1.5フィルター7を介して第二鏡体8に導かれる。インテグレータレンズ5により放射照度がより均一になる。また、A.M.1.5フィルター7は照射光のスペクトルを太陽光のスペクトルに近似させるための分光フィルターである。A.M.1.5フィルター7により照射光スペクトルと太陽光スペクトル(エアマス1.5)との合致度はJIS C8942においてクラスC相当となった。   The light reflected by the first mirror 4 is transmitted to the integrator lens 5 and the A.E. M.M. The light is guided to the second mirror body 8 through the 1.5 filter 7. The integrator lens 5 makes the irradiance more uniform. A. M.M. The 1.5 filter 7 is a spectral filter for approximating the spectrum of irradiation light to the spectrum of sunlight. A. M.M. The degree of coincidence between the irradiation light spectrum and the sunlight spectrum (air mass 1.5) by the 1.5 filter 7 was equivalent to class C in JIS C8942.

インテグレータレンズ5とA.M.1.5フィルター7との間にはシャッター6が設けられ、適時開閉を制御することにより、光照射のオンオフを制御することができる。   Integrator lens 5 and A.I. M.M. A shutter 6 is provided between the 1.5 filter 7 and the on / off of light irradiation can be controlled by controlling the opening and closing timely.

なお、図面には図示していないが、ビームスプリッターを第一鏡体4とインテグレータレンズとの間に設け、照射光の一部を取り出してフォトダイオードにより光強度をモニターしている。さらに、モニターした光強度が一定になるように光源に流れる電流を調整するフィードバック回路を設けている。これにより、経時劣化により照射光強度が減衰する光源を用いた場合でも、常に一定照度で光照射を行うことができる。   Although not shown in the drawing, a beam splitter is provided between the first mirror 4 and the integrator lens, and a part of the irradiated light is taken out and the light intensity is monitored by a photodiode. Further, a feedback circuit is provided for adjusting the current flowing through the light source so that the monitored light intensity is constant. Thereby, even when a light source whose irradiation light intensity is attenuated due to deterioration with time is used, light irradiation can always be performed with a constant illuminance.

第二鏡体8に導かれた光はコリメータレンズ9を通して、光源装置1から恒温槽15に入射する。恒温槽15の上部には光源装置1からの光を導くための光照射窓14が設けられている。コリメータレンズ9から光照射窓14にかけての周縁は金属製の黒色遮光部材で覆われており、光の漏れを防止するとともに恒温槽からの熱漏れを防止する。   The light guided to the second mirror 8 enters the thermostat 15 from the light source device 1 through the collimator lens 9. A light irradiation window 14 for guiding light from the light source device 1 is provided in the upper part of the thermostatic chamber 15. The periphery from the collimator lens 9 to the light irradiation window 14 is covered with a metal black light-shielding member to prevent light leakage and heat leakage from the thermostat.

保持槽15はエスペック社製恒温恒湿器(プラチナスKシリーズ)の上部に光照射窓14を設けたものを用いた。恒温槽内部には温度センサーが設けられており、槽内の温度を一定に制御できるようになっている。   The holding tank 15 used was an Espec Corp. constant temperature and humidity chamber (Platinum K series) provided with a light irradiation window 14. A temperature sensor is provided inside the thermostatic bath so that the temperature in the bath can be controlled to be constant.

恒温槽内には光劣化加速試験に供せられる試料(光電変換素子)を設置するための試料台11が配置されている。試料台11はSUS製の金網から成る。さらに試料台の4隅および中央部には熱電対が取り付けられ、試料台11に乗せた試料に直接接触して試料温度を測定できるようにした。試料台11上は光照射窓14から光を照射した場合にはおよそ直径20cmの真円の範囲にわたり照射される。試料台11の下面には冷風分散板12および3本のボルテックスチューブ13が配置されている。冷風分散板12は15センチメートル角の金属板で、表面には縦横に直径1mmの穴が1cm間隔で形成されている。ボルテックスチューブ13から送風される冷気は、冷風分散板12に形成された穴を介して、試料台11上に設置された光電変換素子を冷却する。冷風分散板12が存在しなかった場合、ボルテックスチューブからの強い冷風が局所的に光電変換素子に当たることにより、光電変換素子の温度ムラが生じやすいが、冷風分散板12が存在した場合、試料台11上の試料の15センチメートル角の領域を均一に冷却することが可能となる。冷風分散板12から試料(光電変換素子)10までの距離は1.5cmとした。   A sample stage 11 for installing a sample (photoelectric conversion element) to be used in the accelerated light degradation test is disposed in the thermostatic chamber. The sample stage 11 is made of a SUS wire mesh. Furthermore, thermocouples were attached to the four corners and the center of the sample stage so that the sample temperature could be measured by directly contacting the sample placed on the sample stage 11. When the sample stage 11 is irradiated with light from the light irradiation window 14, it is irradiated over a range of a perfect circle having a diameter of about 20 cm. A cold air dispersion plate 12 and three vortex tubes 13 are arranged on the lower surface of the sample stage 11. The cold wind dispersion plate 12 is a 15 cm square metal plate, and holes with diameters of 1 mm are formed on the surface at intervals of 1 cm. The cold air blown from the vortex tube 13 cools the photoelectric conversion element installed on the sample stage 11 through the holes formed in the cold air dispersion plate 12. When the cold air dispersion plate 12 does not exist, strong cold air from the vortex tube locally hits the photoelectric conversion element, and thus the temperature unevenness of the photoelectric conversion element is likely to occur. However, when the cold air dispersion plate 12 exists, It is possible to uniformly cool the 15-cm square area of the sample on 11. The distance from the cold wind dispersion plate 12 to the sample (photoelectric conversion element) 10 was 1.5 cm.

(光劣化加速試験パターン1)
試料台11での光射強度は350mW/cm (ミリワットパー平方センチメートル)に設定した。5分間光照射、5分間光非照射を1サイクルとして、5サイクルを試料(光電変換素子)の温度を20に制御することを試みた。試料として10センチ角の光電変換素子を用い、試料台11に固定した。光電変換素子の裏面には4隅および中央部に熱電対を取り付け、5秒ごとの温度プロファイルを測定できるようにした。光照射時にのみボルテックスチューブが動作するとともに、恒温槽の循環空気温度は、光照射時には17、光非照射時には20になるように制御した。図2は光電変換素子の中央および四隅に取り付けた5個の熱電対の温度プロファイルを示している。光のオンオフ時にも温度の急激な変化を抑え、試料の全面で温度を18から22の間に保持できたことが分かる。
(Photo degradation test pattern 1)
Light irradiation morphism intensity at the sample stage 11 was set to 350 mW / cm 2 (milliwatts per square centimeter). An attempt was made to control the temperature of the sample (photoelectric conversion element) to 20 ° C. with 5 cycles of light irradiation and 5 minutes of light non-irradiation as one cycle. A 10 cm square photoelectric conversion element was used as a sample and fixed to the sample stage 11. Thermocouples were attached to the four corners and the center of the back surface of the photoelectric conversion element so that the temperature profile could be measured every 5 seconds. The vortex tube was operated only during light irradiation, and the circulating air temperature in the thermostatic bath was controlled to be 17 ° C. when irradiated with light and 20 ° C. when not irradiated with light. FIG. 2 shows temperature profiles of five thermocouples attached to the center and four corners of the photoelectric conversion element. It can be seen that a rapid change in temperature was suppressed even when the light was turned on and off, and that the temperature could be maintained between 18 ° C. and 22 ° C. on the entire surface of the sample.

また、光電変換素子としてアモルファスシリコン太陽電池を用いて100サイクルを行い、試験前後の太陽電池の出力特性を比較したところ、20、350mW/cm での光照射を500分行った場合に想定される出力特性の劣化が観測された。このことから、温度および放射照度を制御することによって、昼夜の効果を加味した光劣化加速試験ができることがわかる。 Further, when 100 cycles were performed using an amorphous silicon solar cell as a photoelectric conversion element and the output characteristics of the solar cell before and after the test were compared, it was assumed when light irradiation at 20 ° C. and 350 mW / cm 2 was performed for 500 minutes. Degradation of output characteristics was observed. From this, it can be seen that by controlling the temperature and irradiance, a light degradation acceleration test can be performed in consideration of the effect of day and night.

(光劣化加速試験パターン2)
試料台11での光射強度は350mW/cm (ミリワットパー平方センチメートル)に設定した。5分間光照射、5分間光非照射を1サイクルとして、5サイクルを試料(光電変換素子)の温度を20に制御することを試みた。試料として10センチ角の光電変換素子を用い、試料台11に固定した。光電変換素子の裏面には4隅および中央部に熱電対を取り付け、5秒ごとの温度プロファイルを測定できるようにした。恒温槽の循環空気温度は、光照射時には17、光非照射時には20になるように制御した。光電変換素子の温度がある基準温度を超えた場合ボルテックスチューブが動作するとともに、光照射状態から光非照射状態に変わる場合にボルテックスチューブが停止するように、プログラムを設定した。光劣化加速試験パターン1と同様の光照射試験を行ったところ、光劣化加速試験パターン1と同程度に光オンオフ時の温度制御が可能であった。
(Photo degradation test pattern 2)
Light irradiation morphism intensity at the sample stage 11 was set to 350 mW / cm 2 (milliwatts per square centimeter). An attempt was made to control the temperature of the sample (photoelectric conversion element) to 20 ° C. with 5 cycles of light irradiation and 5 minutes of light non-irradiation as one cycle. A 10 cm square photoelectric conversion element was used as a sample and fixed to the sample stage 11. Thermocouples were attached to the four corners and the center of the back surface of the photoelectric conversion element so that the temperature profile could be measured every 5 seconds. The circulating air temperature in the thermostatic bath was controlled to be 17 ° C. when irradiated with light and 20 ° C. when not irradiated with light. The program was set so that the vortex tube operates when the temperature of the photoelectric conversion element exceeds a certain reference temperature, and stops when the light irradiation state changes to the light non-irradiation state. When a light irradiation test similar to the light degradation accelerated test pattern 1 was performed, temperature control at the time of light on / off was possible to the same extent as the light degradation accelerated test pattern 1.

(比較例1)
光劣化加速試験パターン1において、試料台11、冷風分散板12およびボルテックスチューブ13に代えて、ペルチェ素子からなる試料台を用いたことを除いては、実施例1記載と同様にして光劣化加速試験を行った。しかし、試料とペルチェ素子の密着性にムラがあるために、試料全面を均一に温度制御することができなかった。また、冷却能力が不十分なため、光非照射状態から光照射状態へ切り替わる際に試料の温度上昇を抑えることができなかった。
(Comparative Example 1)
In the light degradation acceleration test pattern 1, the light degradation acceleration was performed in the same manner as described in Example 1 except that instead of the sample stage 11, the cold air dispersion plate 12, and the vortex tube 13, a sample stage made of a Peltier element was used. A test was conducted. However, since the adhesion between the sample and the Peltier element is uneven, the temperature of the entire surface of the sample cannot be uniformly controlled. In addition, since the cooling capacity is insufficient, an increase in the temperature of the sample cannot be suppressed when switching from the non-light irradiation state to the light irradiation state.

また、電変換素子としてアモルファスシリコン太陽電池を用いて100サイクルを行い、試験前後の太陽電池の出力特性を比較したところ、20、350mW/cm での光照射を500分行った場合に想定される出力特性の劣化より有意に劣化が少なかった。これは、光照射による温度上昇により、アモルファスシリコン太陽電池の出力が回復したことを示している。よって、適切に温度制御した光劣化加速試験ができていないことがわかる。 Moreover, when 100 cycles were performed using an amorphous silicon solar cell as an electric conversion element and the output characteristics of the solar cell before and after the test were compared, it was assumed when light irradiation at 20 ° C. and 350 mW / cm 2 was performed for 500 minutes. The degradation was significantly less than the degradation of the output characteristics. This indicates that the output of the amorphous silicon solar cell has been recovered due to the temperature rise due to light irradiation. Therefore, it can be seen that an accelerated photodegradation test in which the temperature is appropriately controlled has not been completed.

1.光源装置
2.光源
3.集光鏡
4.第一鏡体
5.インテグレータレンズ
6.シャッター
7.A.M.1.5フィルター
8.第二鏡体
9.コリメータレンズ
10.試料(光電変換素子)
11.試料台
12.冷風分散板
13.ボルテックスチューブ
14.光照射窓
15.保持槽
1. 1. Light source device Light source Condenser mirror 4. First mirror 5. Integrator lens 6. Shutter 7. A. M.M. 1.5 filter
8). Second mirror 9. Collimator lens 10. Sample (photoelectric conversion element)
11. Sample stage 12. Cold air dispersion plate 13. Vortex tube 14. Light irradiation window 15. Holding tank

Claims (6)

保持槽内に保持された試料に対して、光照射を行う工程と、光照射を行わない工程とを交互に行う光照射試験方法であって、
前記試料は光電変換素子であり、
前記保持槽には保持槽内の雰囲気温度を一定温度に制御するための温度制御機構と、前記温度制御機構とは別の冷却用送風機構とが設けられており
前記冷却用送風機構は、ボルテックスチューブを含み、
前記ボルテックスチューブは、前記試料の光照射面の裏側の面から前記試料に対して冷風を送風するように配置されており、
前記ボルテックスチューブと前記試料との間には、ボルテックスチューブからの冷風を分散して試料に当てるための冷風分散板が設けられており、
光照射の有無および/または試料の測定温度に応じて前記冷却用送風機構を制御することによって、前記試料の光照射面の裏側の面から冷風を送風して、試料の温度を調整することを特徴とする、光照射試験方法。
A light irradiation test method for alternately performing a step of performing light irradiation and a step of not performing light irradiation on a sample held in a holding tank ,
The sample is a photoelectric conversion element,
Wherein the holding tank includes a temperature control mechanism for controlling the ambient temperature in the holding tank at a constant temperature, and another cooling blower mechanism is provided with said temperature control mechanism,
The cooling air blowing mechanism includes a vortex tube,
The vortex tube is arranged so as to blow cold air from the back side of the light irradiation surface of the sample to the sample,
Between the vortex tube and the sample, there is provided a cold air dispersion plate for dispersing the cold air from the vortex tube and hitting the sample,
Depending on the temperature measured by the presence or absence and / or the sample light irradiation, by controlling the cold却用blower mechanism, by blowing cold air from a back surface of the light irradiated surface of the sample, adjusting the temperature of the sample It characterized the Turkey, light irradiation test method.
光照射の有無および/または試料の測定温度に応じて、前記冷却用送風機構を制御することに加えて、前記温度制御機構も制御することを特徴とする、請求項1に記載の光照射試験方法。2. The light irradiation test according to claim 1, wherein, in addition to controlling the cooling air blowing mechanism, the temperature control mechanism is also controlled according to the presence or absence of light irradiation and / or the measured temperature of the sample. Method. 光照射を行う工程の時間および光照射を行わない工程の時間がいずれも少なくとも2分以上15分以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の光照射試験方法。 Light irradiation test method according to claim 1 or 2, wherein the time of step is not performed time and light irradiation step of performing light irradiation, both at 15 minutes or less for at least 2 minutes. 照射を行う工程と、光照射を行わない工程とを少なくとも100回以上行うことを特徴とする請求項1〜のいずれか1項に記載の光照射試験方法。 And performing light irradiation, the light irradiation test method according to any one of claims 1 to 3, and a step of not performing light irradiation and performs at least 100 times or more. 光照射を行う工程における試料に対する光照射強度が100mW/cmThe light irradiation intensity for the sample in the step of performing light irradiation is 100 mW / cm. 2 以上である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の光照射試験方法。It is the above, The light irradiation test method of any one of Claims 1-4. 槽内に試料としての光電変換素子を保持するための試料台を備える保持槽と、光源装置とを有し、前記光源装置より放射される照射光が前記保持槽に設けられた光照射窓を介して保持槽内に保持された試料に照射されるように構成された光照射試験装置であって、
槽内に保持された試料に対して、光照射を行う工程と光照射を行わない工程とを交互に行い得る機構を備え、
前記保持槽には、保持槽内の雰囲気温度を一定温度に制御する温度制御機構前記温度制御機構とは別の冷却用送風機構が設けられており
前記冷却用送風機構は、ボルテックスチューブを含み、
前記ボルテックスチューブは、前記試料の光照射面の裏側の面から前記試料に対して冷風を送風するように配置されており、
前記ボルテックスチューブと前記試料台との間には、ボルテックスチューブからの冷風を分散して冷風が局所的に試料に当たることを抑制するための冷風分散板が設けられており、
照射の有無および/または試料の測定温度に応じて、前記冷却用送風機構を制御することによって、前記試料の光照射面の裏側の面から送風を行い、試料の温度を調整する機構を有することを特徴とする、光照射試験装置。
A holding tank provided with a sample stage for holding a photoelectric conversion element as a sample in the tank, have a light source device, the light irradiation windows irradiation light is found arranged in the holding tank to be emitted from the light source device A light irradiation test apparatus configured to irradiate a sample held in a holding tank via
With the sample held in the tank, a mechanism for exchange may be performed each other and a step of not performing the process and light irradiation for performing light irradiation,
Wherein the holding tank includes a temperature control mechanism for controlling the ambient temperature in the holding tank at a constant temperature, another cooling blower mechanism is provided with said temperature control mechanism,
The cooling air blowing mechanism includes a vortex tube,
The vortex tube is arranged so as to blow cold air from the back side of the light irradiation surface of the sample to the sample,
Between the vortex tube and the sample stage, there is provided a cold air dispersion plate for dispersing the cold air from the vortex tube and suppressing the cold air from locally hitting the sample,
Depending on the temperature measured by the presence or absence and / or the sample light irradiation, I by the controlling the cooling blower mechanism performs air blowing from the back surface of the light irradiated surface of the sample, adjusting the temperature of the sample A light irradiation test apparatus comprising a mechanism.
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