JP5796280B2 - Vibrating piece, vibrator and oscillator - Google Patents

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Description

本発明は、振動片、この振動片を備えた振動子及びこの振動片を備えた発振器に関する。   The present invention relates to a resonator element, a vibrator including the resonator element, and an oscillator including the resonator element.

特許文献１には、第１と第２の平行な振動アーム（以下、振動腕という）が延びるベース（以下、基部という）と、各振動腕の自由端を形成するフリッパー形状をした拡大部分（以下、錘部という）と、各振動腕の正面と裏面の少なくとも一方に形成された溝（以下、溝部という）と、を有し、この溝部が振動腕の自由端（先端）の方向に、錘部の開始点を越えて延びているピエゾ電子同調フォーク型共振器（以下、振動片という）が開示されている。   Patent Document 1 discloses a base (hereinafter referred to as a base) from which first and second parallel vibrating arms (hereinafter referred to as vibrating arms) extend, and a flipper-shaped enlarged portion (which forms a free end of each vibrating arm) ( Hereinafter referred to as a weight portion) and a groove (hereinafter referred to as a groove portion) formed on at least one of the front and back surfaces of each vibrating arm, and this groove portion is in the direction of the free end (tip) of the vibrating arm, A piezo electronic tuning fork type resonator (hereinafter referred to as a vibrating piece) extending beyond the starting point of the weight portion is disclosed.

特開２００９−２７７１１号公報（図１）JP 2009-27711 A (FIG. 1)

特許文献１によれば、上記振動片は、振動腕に形成された溝部が振動腕の先端の方向に、錘部の開始点を越えて延びていることから、衝撃時の溝部における応力が分散し、耐衝撃特性が向上するとされている。
ところで、上記振動片は、実施例の平面視（特許文献１の図１参照）において、振動腕の根元部と基部とがテーパ部（拡幅部）で結合されている。
そして、上記振動片は、平面視において、テーパ部における各振動腕の一方側との結合点と、他方側との結合点とを結んだ方向が、各振動腕の延びる方向に対して直交しているものと考えられる。 According to Patent Document 1, since the groove portion formed on the vibrating arm extends beyond the starting point of the weight portion in the direction of the tip of the vibrating arm, the stress in the groove portion at the time of impact is dispersed. The impact resistance is improved.
By the way, in the above-described vibration piece, the base portion and the base portion of the vibrating arm are coupled by a tapered portion (widened portion) in a plan view of the embodiment (see FIG. 1 of Patent Document 1).
Further, in the planar view, the vibration piece has a direction in which the coupling point between one side of each vibrating arm and the coupling point with the other side in the tapered portion is orthogonal to the extending direction of each vibrating arm. It is thought that.

換言すれば、上記振動片のテーパ部における振動腕の一方側との結合点と、他方側との結合点とは、平面視において、振動腕を最短距離で挟んだ位置関係にあるといえる。
これにより、上記振動片は、外形線が屈曲し応力集中が発生しやすい部分である上記結合点同士が、振動腕を最短距離で挟んだ位置関係にあることから、例えば、落下などの衝撃時において、互いに接近した部分のそれぞれに応力集中が発生する。
この結果、上記振動片は、例えば、落下などの衝撃時において、振動腕の根元部近傍での破損の虞があることから、耐衝撃特性に関して更なる向上が必要である。 In other words, it can be said that the coupling point with one side of the vibrating arm and the coupling point with the other side in the taper portion of the vibrating piece are in a positional relationship with the vibrating arm sandwiched at the shortest distance in plan view.
As a result, the above-mentioned vibrating piece has a positional relationship in which the coupling point, which is a portion where the outline is bent and stress concentration is likely to occur, is sandwiched between the vibrating arms at the shortest distance. , Stress concentration occurs in each of the portions that are close to each other.
As a result, the vibration piece needs to be further improved with respect to the shock resistance characteristics, for example, at the time of impact such as dropping, because there is a risk of damage near the root portion of the vibrating arm.

本発明は、上記の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
本発明のある形態に係る振動片は、基部と、前記基部から延出されている一対の振動腕と、を含み、前記一対の振動腕は、腕部と、前記腕部の基端側に設けられ、前記腕部に接続されている第１拡幅部と、前記腕部の先端側に設けられ、前記腕部に接続されている第２拡幅部と、少なくとも前記腕部に設けられ、前記振動腕の延出方向に沿っている溝部と、を含み、前記腕部における前記延出方向に沿った互いに対向していない外側の外縁と、前記第１拡幅部における前記延出方向に対して傾斜した互いに対向していない外側の外縁と、の結合点を第１の結合点とし、前記腕部における前記延出方向に沿った互いに対向している内側の外縁と、前記第１拡幅部における前記延出方向に対して傾斜した互いに対向している内側の外縁と、の結合点を第２の結合点としたとき、前記一対の振動腕において、前記第１の結合点は、前記第２の結合点よりも、前記一対の振動腕の先端寄りに位置し、かつ、前記溝部の基端部は、前記延出方向において前記第１の結合点と前記第２の結合点との間に位置しており、前記腕部における前記延出方向に沿った互いに対向していない外側の外縁と、前記第２拡幅部における前記延出方向に対して傾斜した互いに対向していない外側の外縁と、の結合点を第３の結合点とし、前記腕部における前記延出方向に沿った互いに対向している内側の外縁と、前記第２拡幅部における前記延出方向に対して傾斜した互いに対向している内側の外縁と、の結合点を第４の結合点としたとき、前記一対の振動腕において、前記第３の結合点は、前記第４の結合点よりも、前記一対の振動腕の先端寄りに位置し、かつ、前記溝部の先端部は、前記延出方向において前記第３の結合点と前記第４の結合点との間に位置していることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記一対の振動腕は、前記一対の振動腕の先端側に設けられている錘部を含み、前記第２拡幅部は、前記腕部と前記錘部との間に設けられている。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記基部から前記延出方向に対して交差する方向に突出され、且つ、前記一対の振動腕に沿って延出されている支持部を備えている。
本発明のある別の形態に係る振動子は、前記振動片と、前記振動片が収容されているパッケージと、を備えていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る発振器は、前記振動片と、回路と、を備えていることを特徴とする。
SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.
A resonator element according to an aspect of the present invention includes a base portion and a pair of vibrating arms extending from the base portion, and the pair of vibrating arms is provided on an arm portion and a base end side of the arm portion. A first widened portion connected to the arm portion; a second widened portion provided on the distal end side of the arm portion and connected to the arm portion; provided at least on the arm portion; A groove portion extending in the extending direction of the vibrating arm, and an outer edge of the arm portion that is not opposed to each other along the extending direction, and the extending direction in the first widened portion. An outer edge that is inclined and not facing each other is defined as a first coupling point, and inner edges that are opposed to each other along the extending direction in the arm portion, and in the first widened portion. Coupling with inner edges facing each other and inclined with respect to the extending direction Is the second coupling point, in the pair of vibrating arms, the first coupling point is located closer to the tip of the pair of vibrating arms than the second coupling point, and the groove portion outside of the base end portion, wherein is positioned between the first coupling point and in the extending direction and the second coupling point, which is not opposed along the extending direction of the arm portion And the outer edge of the second widened portion that is inclined with respect to the extending direction and is not opposed to each other is defined as a third connecting point, along the extending direction of the arm portion. When a coupling point between the inner outer edges facing each other and the inner outer edges facing each other inclined with respect to the extending direction in the second widened portion is a fourth coupling point, In the pair of vibrating arms, the third coupling point is the fourth coupling point. Also, located near the tip end of the pair of vibrating arms, and the tip portion of the groove, that is positioned between the fourth coupling point between the third coupling point in the extending direction It is characterized by.
In the resonator element according to another aspect of the invention, the pair of vibrating arms includes a weight portion provided on a distal end side of the pair of vibrating arms, and the second widened portion includes the arm portion and the arm portion. It is provided between the weight parts.
A resonator element according to another aspect of the invention includes a support portion that protrudes from the base portion in a direction intersecting the extension direction and that extends along the pair of vibration arms. Yes.
A vibrator according to another aspect of the invention includes the vibrating piece and a package in which the vibrating piece is accommodated.
An oscillator according to another aspect of the invention includes the resonator element and a circuit.

［適用例１］本適用例にかかる振動片は、基部と、前記基部から延びる少なくとも１本の振動腕と、を備え、平面視において、前記振動腕は、前記振動腕の長手方向の単位長さあたりの変化に対する幅の長さの変化の率が前記基部に近づく途中で結合点を境に大きくなるように形成された拡幅部を有し、平面視において、前記拡幅部における前記振動腕の一方側との前記結合点と、他方側との前記結合点とを結んだ方向が、前記振動腕の延びる方向に対して直交しないことを特徴とする。   Application Example 1 A vibrating piece according to this application example includes a base and at least one vibrating arm extending from the base, and the vibrating arm has a unit length in a longitudinal direction of the vibrating arm in plan view. A widening portion formed so that a rate of change in the length of the width with respect to the change in the width increases on the boundary of the joining point in the middle of approaching the base, and in plan view, the vibration arm of the widening portion The direction connecting the coupling point with one side and the coupling point with the other side is not orthogonal to the direction in which the vibrating arm extends.

これによれば、振動片は、振動腕が振動腕の長手方向の単位長さあたりの変化に対する幅の長さの変化の率が、基部に近づく途中で結合点を境に大きくなるように形成された拡幅部を有している。
そして、振動片は、平面視において、拡幅部における振動腕の一方側との結合点と、他方側との結合点とを結んだ方向が、振動腕の延びる方向に対して直交しない。
換言すれば、振動片は、平面視において、拡幅部における振動腕の一方側との結合点と、他方側との結合点とが、従来のような振動腕を最短距離で挟んだ位置関係にないことから、衝撃時において、従来と比較して応力集中部分が互いに離れて存在することとなる。
この結果、振動片は、応力集中による振動腕の根元部近傍での破損を低減することが可能となり、耐衝撃特性を向上させることができる。 According to this, the resonator element is formed such that the rate of change of the width length with respect to the change per unit length in the longitudinal direction of the resonator arm becomes large at the connection point on the way to the base. Having a widened portion.
In the planar view, the direction in which the coupling point between the vibrating arm on one side and the coupling point on the other side is not orthogonal to the extending direction of the vibrating arm in a plan view.
In other words, the vibration piece has a positional relationship in which the coupling point between the vibrating arm on one side and the coupling point on the other side in the widened portion sandwich the vibrating arm with the shortest distance in a plan view. Since there is no stress, stress concentration portions are present apart from each other at the time of impact.
As a result, the resonator element can reduce damage near the root portion of the vibrating arm due to stress concentration, and can improve impact resistance.

［適用例２］上記適用例にかかる振動片において、前記振動腕は、前記基部側に位置する腕部と、前記腕部より先端側に位置し前記腕部より幅が広い錘部と、を有し、平面視において、前記錘部と前記腕部とが、前記腕部の幅が前記錘部に近づくに連れて広がるように形成された第２拡幅部で結合され、平面視において、前記第２拡幅部における、前記振動腕の一方側との結合点と、他方側との結合点とを結んだ方向が、前記振動腕の延びる方向に対して直交しないことが好ましい。   Application Example 2 In the resonator element according to the application example described above, the vibrating arm includes: an arm portion positioned on the base portion side; and a weight portion positioned on the distal end side of the arm portion and wider than the arm portion. In plan view, the weight portion and the arm portion are joined by a second widened portion formed so that the width of the arm portion becomes wider as approaching the weight portion, and in plan view, In the second widened portion, it is preferable that the direction connecting the coupling point with one side of the vibrating arm and the coupling point with the other side is not orthogonal to the extending direction of the vibrating arm.

これによれば、振動片は、錘部と腕部とが、腕部の幅が錘部に近づくに連れて広がるように形成された第２拡幅部で結合されている。そして、振動片は、平面視において、第２拡幅部における振動腕の一方側との結合点と、他方側との結合点とを結んだ方向が、振動腕の延びる方向に対して直交しない。
換言すれば、振動片は、平面視において、第２拡幅部における振動腕の一方側との結合点と、他方側との結合点とが、振動腕を最短距離で挟んだ位置関係にないことから、衝撃時において、応力集中部分が互いに離れて存在することとなる。
この結果、振動片は、応力集中による振動腕の第２拡幅部近傍での破損を低減することが可能となり、耐衝撃特性を向上させることができる。 According to this, the vibration piece is coupled to the weight portion and the arm portion by the second widened portion formed so that the width of the arm portion becomes wider as the weight portion approaches the weight portion. In the planar view, the direction in which the coupling point between the vibrating arm on one side and the coupling point on the other side is not orthogonal to the extending direction of the vibrating arm in plan view.
In other words, the vibration piece has a positional relationship in which the coupling point between the vibrating arm on one side of the second widened portion and the coupling point on the other side is sandwiched by the shortest distance in the plan view. Therefore, at the time of impact, stress concentration portions exist apart from each other.
As a result, the resonator element can reduce damage in the vicinity of the second widened portion of the vibrating arm due to stress concentration, and can improve impact resistance.

［適用例３］上記適用例にかかる振動片において、前記振動腕を複数本備え、前記複数本の振動腕と、前記拡幅部と、前記基部とを含んで音叉を構成し、前記音叉の両端に配置された前記振動腕と結合されている前記拡幅部における、前記音叉の外側の前記結合点は、前記音叉の内側の前記結合点より、前記振動腕の先端寄りに位置していることが好ましい。   Application Example 3 In the resonator element according to the application example described above, a plurality of the vibrating arms are provided, and the tuning fork is configured to include the plurality of vibrating arms, the widened portion, and the base portion, and both ends of the tuning fork. The coupling point outside the tuning fork in the widened portion coupled to the vibrating arm disposed on the tuning fork is positioned closer to the tip of the vibrating arm than the coupling point inside the tuning fork. preferable.

これによれば、振動片は、音叉の両端に配置された振動腕と結合されている拡幅部における、音叉の外側の結合点は、音叉の内側の結合点より、振動腕の先端寄りに位置している。
この結果、振動片は、音叉の両端に配置された振動腕の、音叉の外側の根元部の剛性を高められることから、耐衝撃特性を向上させることができる。 According to this, in the widened portion where the resonator element is connected to the vibrating arms disposed at both ends of the tuning fork, the coupling point outside the tuning fork is positioned closer to the tip of the vibrating arm than the coupling point inside the tuning fork. doing.
As a result, the vibration piece can increase the rigidity of the base portion outside the tuning fork of the vibrating arms arranged at both ends of the tuning fork, so that the impact resistance can be improved.

［適用例４］上記適用例１または適用例２にかかる振動片において、前記基部から前記振動腕の延びる方向に対して交差する方向に突出し、前記振動腕側に折れ曲がり、前記振動腕に沿って延びる支持部を、さらに備え、前記支持部側の前記結合点は、前記支持部側とは反対側の前記結合点より、前記振動腕の前記基部寄りに位置していることが好ましい。   Application Example 4 In the resonator element according to Application Example 1 or Application Example 2, the resonator element projects from the base portion in a direction intersecting the extending direction of the vibrating arm, bends to the vibrating arm side, and extends along the vibrating arm. It is preferable that the support portion further includes an extending support portion, and the connection point on the support portion side is located closer to the base portion of the vibrating arm than the connection point on the opposite side to the support portion side.

これによれば、振動片は、振動腕に沿って延びる支持部を、さらに備え、支持部側の結合点が、支持部側とは反対側の結合点より、振動腕の基部寄りに位置している。
このことから、振動片は、平面サイズを拡大することなく、支持部の先端部分（外部部材に支持される部分）と拡幅部との距離を長くすることが可能となる。
この結果、振動片は、例えば、支持部を接着剤で外部部材に固定する際に、流出による拡幅部への接着剤の付着を低減できる。 According to this, the vibration piece further includes a support portion extending along the vibration arm, and the coupling point on the support portion side is located closer to the base portion of the vibration arm than the coupling point on the side opposite to the support portion side. ing.
For this reason, the resonator element can increase the distance between the distal end portion (the portion supported by the external member) of the support portion and the widened portion without increasing the planar size.
As a result, the vibration piece can reduce adhesion of the adhesive to the widened portion due to outflow, for example, when the support portion is fixed to the external member with an adhesive.

［適用例５］本適用例にかかる振動子は、適用例１ないし適用例４のいずれか一例に記載の振動片と、前記振動片を収容するパッケージと、を備えたことを特徴とする。   Application Example 5 A vibrator according to this application example includes the resonator element according to any one of Application Examples 1 to 4, and a package that accommodates the resonator element.

これによれば、振動子は、適用例１ないし適用例４のいずれか一例に記載の振動片と、振動片を収容するパッケージと、を備えたことから、耐衝撃特性の向上など、適用例１ないし適用例４のいずれか一例に記載された効果を奏する振動子を提供することができる。   According to this, since the vibrator includes the resonator element according to any one of the application examples 1 to 4 and the package that accommodates the resonator element, an application example such as an improvement in impact resistance characteristics is provided. A vibrator having the effects described in any one of the first to fourth application examples can be provided.

［適用例６］本適用例にかかる発振器は、適用例１ないし適用例４のいずれか一例に記載の振動片と、前記振動片を発振させる発振回路を有する回路素子と、前記振動片及び前記回路素子を収容するパッケージと、を備えたことを特徴とする。   Application Example 6 An oscillator according to this application example includes a resonator element according to any one of application examples 1 to 4, a circuit element including an oscillation circuit that oscillates the resonator element, the resonator element, and the vibration element. And a package for accommodating a circuit element.

これによれば、発振器は、適用例１ないし適用例４のいずれか一例に記載の振動片を備えたことから、耐衝撃特性の向上など、適用例１ないし適用例４のいずれか一例に記載された効果を奏する発振器を提供することができる。   According to this, since the oscillator includes the resonator element described in any one of the application examples 1 to 4, the oscillator described in any one of the application examples 1 to 4 such as improvement in impact resistance characteristics. It is possible to provide an oscillator that exhibits the effect achieved.

第１実施形態の振動片の概略構成を示す模式図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の断面図。It is a schematic diagram which shows schematic structure of the resonator element of 1st Embodiment, (a) is a top view, (b) is sectional drawing of (a). 変形例の振動片の要部の概略構成を示す模式要部平面図。FIG. 9 is a schematic plan view of a main part showing a schematic configuration of a main part of a resonator element according to a modification. 第２実施形態の振動子の概略構成を示す模式図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の断面図。It is a schematic diagram which shows schematic structure of the vibrator | oscillator of 2nd Embodiment, (a) is a top view, (b) is sectional drawing of (a). 第３実施形態の発振器の概略構成を示す模式図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の断面図。It is a schematic diagram which shows schematic structure of the oscillator of 3rd Embodiment, (a) is a top view, (b) is sectional drawing of (a).

以下、本発明を具体化した実施形態について図面を参照して説明する。   DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Embodiments of the invention are described below with reference to the drawings.

（第１実施形態）
図１は、第１実施形態の振動片の概略構成を示す模式図であり、図１（ａ）は平面図、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ線での断面図である。 (First embodiment)
1A and 1B are schematic views illustrating a schematic configuration of the resonator element according to the first embodiment. FIG. 1A is a plan view, and FIG. 1B is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. FIG.

図１に示すように、振動片としての水晶振動片１は、水晶の原石などから所定の角度で切り出されたウエハー状の水晶基板を基材とし、外形形状がフォトリソグラフィ技術を用いたウエットエッチングなどによって形成されている。   As shown in FIG. 1, a quartz crystal vibrating piece 1 as a vibrating piece is based on a wafer-like quartz substrate cut out at a predetermined angle from a quartz crystal or the like, and the outer shape is wet etching using a photolithography technique. It is formed by.

水晶振動片１は、基部１０と、基部１０から互いに沿って延びる一対の振動腕１１と、を備えている。
そして、水晶振動片１は、平面視において、振動腕１１が、振動腕１１の長手方向の単位長さあたりの変化に対する幅の長さの変化の率が、基部１０に近づく途中で結合点１２ａ，１２ｂを境に大きくなるように形成された拡幅部１２を有している。
そして、水晶振動片１は、平面視において、拡幅部１２における振動腕１１の一方側との結合点１２ａと、他方側との結合点１２ｂとを結んだ方向（矢印Ｄ方向）が、振動腕１１の延びる方向（矢印Ｅ方向）に対して直交しない構成となっている。 The quartz crystal vibrating piece 1 includes a base 10 and a pair of vibrating arms 11 extending from the base 10 along each other.
The quartz crystal resonator element 1 has a coupling point 12a in the plan view when the vibrating arm 11 is approaching the base 10 at a rate of change in the length of the width with respect to the change per unit length in the longitudinal direction of the vibrating arm 11. , 12b, and a widened portion 12 formed so as to be large.
In the crystal resonator element 1, the plan view shows that the direction (arrow D direction) connecting the coupling point 12 a with one side of the vibrating arm 11 and the coupling point 12 b with the other side in the widened portion 12 is the vibrating arm. 11 is not orthogonal to the extending direction (direction of arrow E).

そして、水晶振動片１は、基部１０を、振動腕１１の延びる方向に対して交差する方向（ここでは、略直交する方向）に、両側から切り欠いた一対の切り欠き部１３を備えている。
そして、水晶振動片１は、基部１０から、振動腕１１の延びる方向に対して交差する方向（ここでは、略直交する方向）に突出し、振動腕１１側に折れ曲がり、振動腕１１に沿って延びる一対の支持部１４をさらに備えている。 The quartz crystal resonator element 1 includes a pair of cutout portions 13 in which the base portion 10 is cut out from both sides in a direction intersecting with the extending direction of the vibrating arm 11 (here, a substantially orthogonal direction). .
Then, the quartz crystal vibrating piece 1 protrudes from the base portion 10 in a direction intersecting with the extending direction of the vibrating arm 11 (here, a substantially orthogonal direction), bends to the vibrating arm 11 side, and extends along the vibrating arm 11. A pair of support portions 14 is further provided.

振動腕１１は、基部１０側に位置する腕部１５（腕部１５は拡幅部１２よりも長い形状）と、腕部１５より先端側に位置し腕部１５より幅が広い錘部１６と、振動腕１１の延びる方向に沿って形成され、一対の振動腕１１の並ぶ方向（Ａ−Ａ線に沿った方向）に沿って切断した振動腕１１の断面形状が、略Ｈ字状となる溝部１７と、を有している。   The vibrating arm 11 includes an arm portion 15 (the arm portion 15 is longer than the widened portion 12) positioned on the base 10 side, a weight portion 16 positioned on the distal end side of the arm portion 15 and wider than the arm portion 15, A groove portion formed along the extending direction of the vibrating arm 11 and having a substantially H-shaped cross-sectional shape of the vibrating arm 11 cut along the direction in which the pair of vibrating arms 11 are aligned (the direction along the line AA). 17.

水晶振動片１は、平面視において、振動腕１１の錘部１６と腕部１５とが、腕部１５の幅が錘部１６に近づくに連れて広がるように形成された第２拡幅部１８で結合されている。
そして、水晶振動片１は、平面視において、第２拡幅部１８における振動腕１１の一方側との結合点１８ａと、他方側との結合点１８ｂとを結んだ方向（矢印Ｆ方向）が、振動腕１１の延びる方向（矢印Ｅ方向）に対して直交しない構成となっている。 The quartz crystal resonator element 1 is a second widened portion 18 formed so that the weight portion 16 and the arm portion 15 of the vibrating arm 11 spread as the width of the arm portion 15 approaches the weight portion 16 in plan view. Are combined.
The crystal resonator element 1 has a direction (arrow F direction) in which the coupling point 18a with the one side of the vibrating arm 11 in the second widened portion 18 and the coupling point 18b with the other side are connected in plan view. The configuration is not orthogonal to the direction in which the vibrating arm 11 extends (arrow E direction).

水晶振動片１は、一対の振動腕１１と、拡幅部１２と、基部１０とを含んで音叉を構成している。
そして、水晶振動片１は、一対の振動腕１１、換言すれば音叉の両端に配置された振動腕１１と結合されている拡幅部１２における、音叉の外側（支持部１４側）の結合点１２ａが、音叉の内側（一対の振動腕１１が互いに対向する側）の結合点１２ｂより、振動腕１１の先端寄りに位置している。 The quartz crystal resonator element 1 includes a pair of vibrating arms 11, a widened portion 12, and a base portion 10 to form a tuning fork.
The quartz crystal resonator element 1 includes a pair of vibrating arms 11, in other words, a coupling point 12a on the outer side (supporting part 14 side) of the tuning fork in the widened portion 12 coupled to the vibrating arms 11 disposed at both ends of the tuning fork. Is located closer to the tip of the vibrating arm 11 than the coupling point 12b inside the tuning fork (the side where the pair of vibrating arms 11 face each other).

ここで、溝部１７の端部１７ａ，１７ｂの長手方向の位置について説明する。
溝部１７の、振動腕１１の根元側の端部（基端部）１７ａは、振動腕１１の強度を向上させる観点から、拡幅部１２の結合点１２ｂより振動腕１１の先端側に位置することが好ましく、拡幅部１２の結合点（第２の結合点）１２ｂと結合点（第１の結合点）１２ａとの間に位置することがより好ましく、結合点１２ａより振動腕１１の先端側に位置することが特に好ましい。
一方、溝部１７の、振動腕１１の先端側の端部（先端部）１７ｂは、振動腕１１の強度を向上させる観点から、第２拡幅部１８の結合点１８ａより振動腕１１の根元側に位置することが好ましく、第２拡幅部１８の結合点（第３の結合点）１８ａと結合点（第４の結合点）１８ｂとの間に位置することがより好ましく、結合点１８ｂより振動腕１１の根元側に位置することが特に好ましい。 Here, the longitudinal positions of the end portions 17a and 17b of the groove portion 17 will be described.
From the viewpoint of improving the strength of the vibrating arm 11, the end portion (base end portion) 17 a of the groove portion 17 on the base side of the vibrating arm 11 is positioned closer to the distal end side of the vibrating arm 11 than the coupling point 12 b of the widened portion 12. It is more preferable that it is located between the coupling point (second coupling point) 12b of the widened portion 12 and the coupling point (first coupling point) 12a, and on the tip side of the vibrating arm 11 from the coupling point 12a. It is particularly preferred to be located.
On the other hand, the end portion (tip portion) 17b of the groove portion 17 on the distal end side of the vibrating arm 11 is closer to the root side of the vibrating arm 11 than the coupling point 18a of the second widened portion 18 from the viewpoint of improving the strength of the vibrating arm 11. It is preferably located, more preferably located between the coupling point (third coupling point) 18a of the second widened portion 18 and the coupling point (fourth coupling point) 18b, and the vibrating arm from the coupling point 18b. It is particularly preferable that it is located on the base side of 11.

図１（ａ）に示すように、水晶振動片１は、一対（２本）の振動腕１１と、拡幅部１２と、基部１０とを含んで音叉を構成することで、音叉型水晶振動片となっており、一対の支持部１４が、パッケージなどの外部部材に、導電性接着剤などを用いて固定されるようになっている。
そして、水晶振動片１は、一対の振動腕１１に形成された図示しない励振電極に、支持部１４に形成された図示しないマウント電極及び基部１０に形成された図示しない引き出し電極を経由して外部から駆動信号が印加されることにより、一対の振動腕１１が、所定の周波数（例えば、３２ｋＨｚ）で矢印Ｂ方向（一対の振動腕１１が互いに離れる方向）及び矢印Ｃ方向（一対の振動腕１１が互いに近づく方向）に交互に屈曲振動（共振）する。 As shown in FIG. 1A, the quartz crystal resonator element 1 includes a pair (two) of vibrating arms 11, a widened portion 12, and a base portion 10, thereby forming a tuning fork. The pair of support portions 14 are fixed to an external member such as a package using a conductive adhesive or the like.
The quartz crystal resonator element 1 is externally connected to an excitation electrode (not shown) formed on the pair of vibrating arms 11 via a mount electrode (not shown) formed on the support portion 14 and an extraction electrode (not shown) formed on the base portion 10. Is applied to the pair of vibrating arms 11 at a predetermined frequency (for example, 32 kHz) in the arrow B direction (the direction in which the pair of vibrating arms 11 are separated from each other) and the arrow C direction (the pair of vibrating arms 11). Bend and vibrate (resonate) alternately.

この際、水晶振動片１は、振動腕１１に溝部１７が形成されていることで、屈曲振動によって発生する熱が、溝部１７によって拡散（熱伝導）し難くなるように構成されていることから、熱弾性損失（屈曲振動する振動片の圧縮部と伸張部との間で発生する熱伝導により生じる振動エネルギーの損失）を抑制できる。
また、水晶振動片１は、振動腕１１に錘部１６が形成されていることで、錘部１６の慣性質量の増加によるＱ値の向上効果により、例えば、Ｑ値を維持しながら振動腕を短くすることができる。
加えて、水晶振動片１は、基部１０に切り欠き部１３及び基部１０から延びる支持部１４を有することで、振動腕１１の屈曲振動に伴う外部への振動漏れを低減することができる。 At this time, the quartz crystal resonator element 1 is configured such that the heat generated by the bending vibration is difficult to diffuse (heat conduction) by the groove portion 17 because the groove portion 17 is formed in the vibrating arm 11. , Thermoelastic loss (loss of vibration energy caused by heat conduction generated between the compression part and the extension part of the vibrating piece that vibrates in bending) can be suppressed.
Further, the crystal vibrating piece 1 has the weight portion 16 formed on the vibrating arm 11, so that, for example, the Q arm is improved by increasing the inertial mass of the weight portion 16. Can be shortened.
In addition, the quartz crystal resonator element 1 has the notch portion 13 and the support portion 14 extending from the base portion 10 in the base portion 10, thereby reducing vibration leakage to the outside due to the bending vibration of the vibrating arm 11.

上述したように、第１実施形態の水晶振動片１は、基部１０と振動腕１１とが、振動腕１１の幅が基部１０に近づくに連れて広がるように形成された拡幅部１２で結合されている。
そして、水晶振動片１は、平面視において、拡幅部１２における振動腕１１の一方側との結合点１２ａと、他方側との結合点１２ｂとを結んだ方向（矢印Ｄ方向）が、振動腕１１の延びる方向（矢印Ｅ方向）に対して直交しない構成となっている。 As described above, the quartz crystal resonator element 1 according to the first embodiment is coupled to the base 10 and the vibrating arm 11 by the widened portion 12 formed so that the width of the vibrating arm 11 increases as the base 10 approaches the base 10. ing.
In the crystal resonator element 1, the plan view shows that the direction (arrow D direction) connecting the coupling point 12 a with one side of the vibrating arm 11 and the coupling point 12 b with the other side in the widened portion 12 is the vibrating arm. 11 is not orthogonal to the extending direction (direction of arrow E).

換言すれば、水晶振動片１は、平面視において、拡幅部１２における振動腕１１の一方側との結合点１２ａと、他方側との結合点１２ｂとが、従来のような振動腕１１を最短距離で挟んだ位置関係（結合点１２ｂが結合点１２ａと振動腕１１の幅方向に沿って横並びになるように図１の構成よりも結合点１２ｂを錘部１６側に移動させた構成）にない。
このことから、水晶振動片１は、衝撃時において、従来は、腕部１５の両脇にある２つの結合点の距離が、腕部１５の幅の大きさ分しかなかったが、これと比較して本願実施形態の場合では腕部１５の幅よりも大きい距離をもって２つの結合点１２ａ，１２ｂが離れているので結合点１２ａ，１２ｂ近傍に発生する応力集中部分が互いに離れて存在することとなる。
この結果、水晶振動片１は、応力集中による振動腕１１の根元部近傍（拡幅部１２近傍）での破損を低減することが可能となり、耐衝撃特性を向上させることができる。 In other words, in the crystal resonator element 1, the coupling point 12 a with the one side of the vibrating arm 11 and the coupling point 12 b with the other side of the widened portion 12 are the shortest in the plan view in the conventional vibrating arm 11. A positional relationship sandwiched by distances (a configuration in which the coupling point 12b is moved to the weight 16 side rather than the configuration of FIG. 1 so that the coupling point 12b is aligned along the width direction of the coupling point 12a and the vibrating arm 11). Absent.
From this, the quartz crystal resonator element 1 conventionally has a distance between two coupling points on both sides of the arm portion 15 at the time of impact, which is only the size of the width of the arm portion 15. In the case of the present embodiment, since the two coupling points 12a and 12b are separated from each other by a distance larger than the width of the arm portion 15, stress concentration portions generated near the coupling points 12a and 12b exist apart from each other. Become.
As a result, the quartz crystal resonator element 1 can reduce damage in the vicinity of the root portion (near the widened portion 12) of the vibrating arm 11 due to stress concentration, and can improve impact resistance.

また、水晶振動片１は、振動腕１１の錘部１６と腕部１５とが、腕部１５の幅が錘部１６に近づくに連れて広がるように形成された第２拡幅部１８で結合されていてもよい。
この場合、水晶振動片１は、平面視において、第２拡幅部１８における振動腕１１の一方側との結合点１８ａと、他方側との結合点１８ｂとを結んだ方向（矢印Ｆ方向）が、振動腕１１の延びる方向（矢印Ｅ方向）に対して直交しない構成となっている。 Further, the quartz crystal resonator element 1 is coupled by a second widened portion 18 formed so that the weight portion 16 and the arm portion 15 of the vibrating arm 11 are widened as the width of the arm portion 15 approaches the weight portion 16. It may be.
In this case, the crystal vibrating reed 1 has a direction (arrow F direction) in which the coupling point 18a of the second widened portion 18 with the one side of the vibrating arm 11 and the coupling point 18b with the other side are connected in plan view. The configuration is such that it is not orthogonal to the direction in which the vibrating arm 11 extends (the direction of the arrow E).

換言すれば、水晶振動片１は、平面視において、第２拡幅部１８における振動腕１１の一方側との結合点１８ａと、他方側との結合点１８ｂとが、振動腕１１を最短距離で挟んだ位置関係（結合点１８ｂが結合点１８ａと振動腕１１の幅方向に沿って横並びになるように図１の構成よりも結合点１８ａを拡幅部１２側に移動させた構成）にないことから、結合点１２ａ，１２ｂの場合と同様に衝撃時において、応力集中部分が互いに離れて存在することとなる。
この結果、水晶振動片１は、応力集中による振動腕１１の第２拡幅部１８近傍での破損を低減することが可能となり、耐衝撃特性を向上させることができる。 In other words, in the crystal resonator element 1, the coupling point 18 a with the one side of the vibrating arm 11 in the second widened portion 18 and the coupling point 18 b with the other side of the second widened portion 18 make the vibrating arm 11 the shortest distance in plan view. There is no sandwiched positional relationship (configuration in which the coupling point 18a is moved toward the widened portion 12 rather than the configuration in FIG. 1 so that the coupling point 18b is arranged side by side along the width direction of the coupling point 18a and the vibrating arm 11). Therefore, as in the case of the coupling points 12a and 12b, stress concentration portions are separated from each other at the time of impact.
As a result, the quartz crystal resonator element 1 can reduce damage in the vicinity of the second widened portion 18 of the vibrating arm 11 due to stress concentration, and can improve impact resistance.

また、水晶振動片１は、音叉の両端に配置された振動腕１１（一対の振動腕１１）と結合されている拡幅部１２における、音叉の外側の結合点１２ａは、音叉の内側の結合点１２ｂより、振動腕１１の先端寄りに位置している。
この結果、水晶振動片１は、音叉の両端に配置された振動腕１１の、切り欠き部１３から音叉の外側の結合点１２ａまでの距離が、切り欠き部１３から音叉の内側の結合点１２ｂまでの距離より長くなる。
これにより、基部１０の結合点１２ａ側の側面を長く形成することができるため水晶振動片１は、音叉の外側の根元部の剛性を高められ、耐衝撃特性を向上させることができる。 In addition, the crystal resonator element 1 has a coupling point 12a outside the tuning fork in the widened portion 12 coupled to the vibrating arms 11 (a pair of vibrating arms 11) disposed at both ends of the tuning fork. It is located closer to the tip of the vibrating arm 11 than 12b.
As a result, the quartz crystal resonator element 1 is such that the distance between the notch 13 and the coupling point 12a outside the tuning fork of the vibrating arms 11 arranged at both ends of the tuning fork is the coupling point 12b from the notch 13 to the inside of the tuning fork. Longer than the distance.
Accordingly, since the side surface of the base portion 10 on the side of the coupling point 12a can be formed long, the quartz crystal resonator element 1 can increase the rigidity of the base portion outside the tuning fork and improve the impact resistance.

（変形例）
ここで、第１実施形態の変形例について説明する。
図２は、変形例の振動片の要部の概略構成を示す模式要部平面図である。なお、第１実施形態との共通部分については、同一符号を付して詳細な説明を省略し、第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。 (Modification)
Here, a modification of the first embodiment will be described.
FIG. 2 is a schematic plan view of a main part illustrating a schematic configuration of a main part of a resonator element according to a modification. In addition, about a common part with 1st Embodiment, the same code | symbol is attached | subjected, detailed description is abbreviate | omitted, and it demonstrates centering on a different part from 1st Embodiment.

図２に示すように、変形例の振動片としての水晶振動片２は、基部１０と振動腕１１とを結合する拡幅部１１２の支持部１４側の結合点１１２ａが、支持部１４側とは反対側（一対の振動腕１１が互いに対向する側）の結合点１１２ｂより、振動腕１１の基部１０寄り（切り欠き部１３寄り）に位置している。   As shown in FIG. 2, the quartz crystal resonator element 2 as the resonator element of the modified example has a connection point 112 a on the support portion 14 side of the widened portion 112 that connects the base portion 10 and the vibrating arm 11. It is located closer to the base 10 (closer to the notch 13) of the vibrating arm 11 than the coupling point 112b on the opposite side (the side where the pair of vibrating arms 11 face each other).

これによれば、水晶振動片２は、平面サイズを拡大することなく、支持部１４の先端部１４ａ（外部部材に支持される部分）と拡幅部１１２との距離Ｌを長くすることが可能となる。
この結果、水晶振動片２は、例えば、支持部１４の先端部１４ａを接着剤２０で外部部材に固定する際に、流出による拡幅部１１２への接着剤２０の付着を低減できる。 According to this, the quartz crystal resonator element 2 can increase the distance L between the distal end portion 14a (the portion supported by the external member) of the support portion 14 and the widened portion 112 without increasing the plane size. Become.
As a result, the crystal vibrating piece 2 can reduce adhesion of the adhesive 20 to the widened portion 112 due to outflow, for example, when the distal end portion 14 a of the support portion 14 is fixed to the external member with the adhesive 20.

（第２実施形態）
次に、第２実施形態として、上記で説明した水晶振動片を備えた振動子について説明する。
図３は、第２実施形態の振動子の概略構成を示す模式図であり、図３（ａ）は平面図、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＧ−Ｇ線での断面図である。 (Second Embodiment)
Next, as a second embodiment, a vibrator provided with the quartz crystal resonator element described above will be described.
FIGS. 3A and 3B are schematic views illustrating a schematic configuration of the vibrator according to the second embodiment. FIG. 3A is a plan view, and FIG. 3B is a cross-sectional view taken along line GG in FIG. FIG.

図３に示すように、振動子としての水晶振動子５は、第１実施形態の水晶振動片１と、水晶振動片１を収容するパッケージ８０と、を備えている。
パッケージ８０は、パッケージベース８１、シームリング８２、蓋体８５などから構成されている。
パッケージベース８１は、水晶振動片１を収容できるように凹部が形成され、その凹部に水晶振動片１の図示しないマウント電極と接続される接続パッド８８が設けられている。
接続パッド８８は、パッケージベース８１内の配線に接続され、パッケージベース８１の外周部に設けられた外部接続端子８３と導通可能に構成されている。 As shown in FIG. 3, a crystal resonator 5 as a resonator includes the crystal resonator element 1 of the first embodiment and a package 80 that houses the crystal resonator element 1.
The package 80 includes a package base 81, a seam ring 82, a lid 85, and the like.
The package base 81 is formed with a recess so as to accommodate the crystal vibrating piece 1, and a connection pad 88 connected to a mount electrode (not shown) of the crystal vibrating piece 1 is provided in the recess.
The connection pad 88 is connected to the wiring in the package base 81 and is configured to be electrically connected to the external connection terminal 83 provided on the outer periphery of the package base 81.

パッケージベース８１の凹部の周囲には、シームリング８２が設けられている。さらに、パッケージベース８１の底部には、貫通穴８６が設けられている。
水晶振動片１は、パッケージベース８１の接続パッド８８に導電性接着剤８４を介して接着固定されている。そして、パッケージ８０は、パッケージベース８１の凹部を覆う蓋体８５とシームリング８２とがシーム溶接されている。
パッケージベース８１の貫通穴８６には、金属材料などからなる封止材８７が充填されている。この封止材８７は、減圧雰囲気内で溶融後固化され、パッケージベース８１内が減圧状態を保持できるように、貫通穴８６を気密に封止している。
水晶振動子５は、外部接続端子８３を介した外部からの駆動信号により水晶振動片１が励振され、所定の周波数（例えば、３２ｋＨｚ）で発振（共振）する。 A seam ring 82 is provided around the recess of the package base 81. Further, a through hole 86 is provided at the bottom of the package base 81.
The quartz crystal resonator element 1 is bonded and fixed to the connection pad 88 of the package base 81 via a conductive adhesive 84. In the package 80, a lid body 85 and a seam ring 82 that cover the concave portion of the package base 81 are seam-welded.
A through hole 86 of the package base 81 is filled with a sealing material 87 made of a metal material or the like. The sealing material 87 is solidified after being melted in a reduced pressure atmosphere, and the through hole 86 is hermetically sealed so that the inside of the package base 81 can be kept in a reduced pressure state.
The crystal resonator 5 is oscillated (resonated) at a predetermined frequency (for example, 32 kHz) when the crystal resonator element 1 is excited by an external drive signal via the external connection terminal 83.

上述したように、水晶振動子５は、耐衝撃特性が向上した水晶振動片１を備えていることから、耐衝撃特性を向上させることができる。
なお、水晶振動子５は、水晶振動片１に代えて水晶振動片２を用いても、同様の効果を得ることができる。 As described above, since the crystal unit 5 includes the crystal vibrating piece 1 with improved shock resistance, the shock resistance can be improved.
The crystal resonator 5 can obtain the same effect even when the crystal resonator element 2 is used in place of the crystal oscillator piece 1.

（第３実施形態）
次に、第３実施形態として、上記で説明した水晶振動片を備えた発振器について説明する。
図４は、第３実施形態の発振器の概略構成を示す模式図であり、図４（ａ）は平面図、図４（ｂ）は図４（ａ）のＨ−Ｈ線での断面図である。 (Third embodiment)
Next, as a third embodiment, an oscillator including the quartz crystal resonator element described above will be described.
4A and 4B are schematic views showing a schematic configuration of the oscillator according to the third embodiment. FIG. 4A is a plan view, and FIG. 4B is a cross-sectional view taken along the line H-H in FIG. is there.

発振器としての水晶発振器６は、上記水晶振動子５の構成に回路素子をさらに備えた構成となっている。なお、水晶振動子５との共通部分については、同一符号を付して詳細な説明を省略する。
図４に示すように、水晶発振器６は、第１実施形態の水晶振動片１と、水晶振動片１を発振させる発振回路を有する回路素子としてのＩＣチップ９１と、水晶振動片１及びＩＣチップ９１を収容するパッケージ８０と、を備えている。
ＩＣチップ９１は、パッケージベース８１の底部に固着され、Ａｕ、Ａｌなどの金属ワイヤー９２により他の配線と接続されている。
水晶発振器６は、ＩＣチップ９１の発振回路からの駆動信号により水晶振動片１が励振され、所定の周波数（例えば、３２ｋＨｚ）で発振（共振）する。 The crystal oscillator 6 as an oscillator has a configuration in which a circuit element is further provided in the configuration of the crystal resonator 5. In addition, about the common part with the crystal oscillator 5, the same code | symbol is attached | subjected and detailed description is abbreviate | omitted.
As shown in FIG. 4, the crystal oscillator 6 includes a crystal resonator element 1 according to the first embodiment, an IC chip 91 as a circuit element having an oscillation circuit that oscillates the crystal oscillator piece 1, the crystal oscillator piece 1 and the IC chip. The package 80 which accommodates 91 is provided.
The IC chip 91 is fixed to the bottom of the package base 81 and is connected to other wiring by a metal wire 92 such as Au or Al.
In the crystal oscillator 6, the crystal resonator element 1 is excited by a drive signal from the oscillation circuit of the IC chip 91, and oscillates (resonates) at a predetermined frequency (for example, 32 kHz).

上述したように、水晶発振器６は、耐衝撃特性が向上した水晶振動片１を備えていることから、耐衝撃特性を向上させることができる。
なお、水晶発振器６は、水晶振動片１に代えて水晶振動片２を用いても、同様の効果を得ることができる。 As described above, since the crystal oscillator 6 includes the crystal vibrating piece 1 with improved shock resistance, the shock resistance can be improved.
The crystal oscillator 6 can obtain the same effect even if the crystal resonator element 2 is used instead of the crystal oscillator piece 1.

なお、上記各実施形態及び変形例において、水晶振動片１，２の切り欠き部１３、支持部１４、錘部１６、溝部１７、第２拡幅部１８は、なくてもよい。
また、水晶振動片１，２の振動腕１１の数は、２本としたが、これに限定するものではなく、１本、または３本以上でもよい。
また、支持部１４は、一対の振動腕１１の間から、振動腕１１に沿って延びる１本の腕状に形成されていてもよい。 In each of the above embodiments and modifications, the notch portion 13, the support portion 14, the weight portion 16, the groove portion 17, and the second widened portion 18 of the crystal vibrating pieces 1 and 2 may be omitted.
Moreover, although the number of the vibrating arms 11 of the crystal vibrating pieces 1 and 2 is two, it is not limited to this and may be one or three or more.
Further, the support portion 14 may be formed in a single arm shape extending along the vibrating arm 11 from between the pair of vibrating arms 11.

また、上記各実施形態及び変形例において、水晶振動片１，２の拡幅部１２，１１２及び第２拡幅部１８の外形形状（振動腕１１と基部１０とを繋ぐ線及び腕部１５と錘部１６とを繋ぐ線）は、曲線で形成されているが、これに限定するものではなく、直線で形成されていてもよい。   Further, in each of the above-described embodiments and modifications, the outer shape of the widened portions 12 and 112 and the second widened portion 18 of the crystal vibrating pieces 1 and 2 (the line connecting the vibrating arm 11 and the base 10 and the arm portion 15 and the weight portion). 16) is formed with a curved line, but is not limited to this, and may be formed with a straight line.

なお、上記各実施形態及び変形例では、振動片を水晶としたが、これに限定するものではなく、例えば、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ3）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ2Ｂ4Ｏ7）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）などの圧電体、または酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）などの圧電体を被膜として備えたシリコンなどであってもよい。 In each of the above-described embodiments and modifications, the resonator element is made of quartz, but is not limited thereto. For example, lithium tantalate (LiTaO 3 ), lithium tetraborate (Li 2 B 4 O 7 ), Piezoelectric materials such as lithium niobate (LiNbO 3 ), lead zirconate titanate (PZT), zinc oxide (ZnO), and aluminum nitride (AlN), or piezoelectric materials such as zinc oxide (ZnO) and aluminum nitride (AlN) Silicon provided as a coating may be used.

１，２…振動片としての水晶振動片、５…振動子としての水晶振動子、６…発振器としての水晶発振器、１０…基部、１１…振動腕、１２…拡幅部、１２ａ，１２ｂ…結合点、１３…切り欠き部、１４…支持部、１４ａ…先端部、１５…腕部、１６…錘部、１７…溝部、１７ａ，１７ｂ…端部、１８…第２拡幅部、１８ａ，１８ｂ…結合点、８０…パッケージ、８１…パッケージベース、８２…シームリング、８３…外部接続端子、８４…導電性接着剤、８５…蓋体、８６…貫通穴、８７…封止材、８８…接続パッド、９１…回路素子としてのＩＣチップ、９２…金属ワイヤー、１１２…拡幅部、１１２ａ，１１２ｂ…結合点。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,2 ... Crystal resonator element as a resonator element, 5 ... Crystal oscillator as an oscillator, 6 ... Crystal oscillator as an oscillator, 10 ... Base, 11 ... Vibrating arm, 12 ... Widening part, 12a, 12b ... Connection point , 13 ... Notch part, 14 ... Support part, 14a ... Tip part, 15 ... Arm part, 16 ... Weight part, 17 ... Groove part, 17a, 17b ... End part, 18 ... Second widened part, 18a, 18b ... Coupling Point, 80 ... Package, 81 ... Package base, 82 ... Seam ring, 83 ... External connection terminal, 84 ... Conductive adhesive, 85 ... Cover body, 86 ... Through hole, 87 ... Sealing material, 88 ... Connection pad, 91... IC chip as a circuit element, 92... Metal wire, 112.

Claims (5)

基部と、
前記基部から延出されている一対の振動腕と、
を含み、
前記一対の振動腕は、
腕部と、
前記腕部の基端側に設けられ、前記腕部に接続されている第１拡幅部と、
前記腕部の先端側に設けられ、前記腕部に接続されている第２拡幅部と、
少なくとも前記腕部に設けられ、前記振動腕の延出方向に沿っている溝部と、
を含み、
前記腕部における前記延出方向に沿った互いに対向していない外側の外縁と、前記第１拡幅部における前記延出方向に対して傾斜した互いに対向していない外側の外縁と、の結合点を第１の結合点とし、
前記腕部における前記延出方向に沿った互いに対向している内側の外縁と、前記第１拡幅部における前記延出方向に対して傾斜した互いに対向している内側の外縁と、の結合点を第２の結合点としたとき、
前記一対の振動腕において、前記第１の結合点は、前記第２の結合点よりも、前記一対の振動腕の先端寄りに位置し、かつ、前記溝部の基端部は、前記延出方向において前記第１の結合点と前記第２の結合点との間に位置しており、
前記腕部における前記延出方向に沿った互いに対向していない外側の外縁と、前記第２拡幅部における前記延出方向に対して傾斜した互いに対向していない外側の外縁と、の結合点を第３の結合点とし、
前記腕部における前記延出方向に沿った互いに対向している内側の外縁と、前記第２拡幅部における前記延出方向に対して傾斜した互いに対向している内側の外縁と、の結合点を第４の結合点としたとき、
前記一対の振動腕において、前記第３の結合点は、前記第４の結合点よりも、前記一対の振動腕の先端寄りに位置し、かつ、前記溝部の先端部は、前記延出方向において前記第３の結合点と前記第４の結合点との間に位置していることを特徴とする振動片。 The base,
A pair of vibrating arms extending from the base;
Including
The pair of vibrating arms is
Arms,
A first widened portion provided on the proximal end side of the arm portion and connected to the arm portion;
A second widened portion provided on the distal end side of the arm portion and connected to the arm portion;
A groove provided at least in the arm and extending in the extending direction of the vibrating arm;
Including
A coupling point between outer outer edges that are not opposed to each other along the extending direction in the arm portion and outer outer edges that are inclined with respect to the extending direction and are not opposed to each other in the first widened portion. The first point of attachment,
A joint point between the inner outer edges facing each other along the extending direction in the arm part and the inner outer edges facing each other inclined with respect to the extending direction in the first widened part. When the second coupling point is used,
In the pair of vibrating arms, the first coupling point is located closer to the distal ends of the pair of vibrating arms than the second coupling point, and the proximal end portion of the groove portion is in the extending direction. located between the second coupling point and the first coupling point in,
A coupling point between the outer outer edges that are not opposed to each other along the extending direction in the arm portion and the outer outer edges that are inclined with respect to the extending direction and are not opposed to each other in the second widened portion. The third point of attachment,
A coupling point between the inner outer edges facing each other along the extending direction in the arm part and the inner outer edges facing each other inclined with respect to the extending direction in the second widened part. When the fourth coupling point is used,
In the pair of vibrating arms, the third coupling point is located closer to the distal ends of the pair of vibrating arms than the fourth coupling point, and the distal ends of the groove portions are in the extending direction. resonator element, characterized in that located between the fourth coupling point and the third point of attachment. 請求項１において、
前記一対の振動腕は、前記一対の振動腕の先端側に設けられている錘部を含み、
前記第２拡幅部は、前記腕部と前記錘部との間に設けられていることを特徴とする振動片。 In claim 1,
The pair of vibrating arms includes a weight portion provided on the distal end side of the pair of vibrating arms,
The second widened portion is provided between the arm portion and the weight portion. 請求項１または２において、
前記基部から前記延出方向に対して交差する方向に突出され、且つ、前記一対の振動腕に沿って延出されている支持部を備えていることを特徴とする振動片。 In claim 1 or 2,
A resonator element, comprising: a support portion that protrudes from the base portion in a direction intersecting with the extending direction and that extends along the pair of vibrating arms. 請求項１乃至３のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片が収容されているパッケージと、
を備えていることを特徴とする振動子。 The resonator element according to any one of claims 1 to 3,
A package containing the resonator element;
A vibrator characterized by comprising: 請求項１乃至３のいずれか一項に記載の振動片と、
回路と、
を備えていることを特徴とする発振器。 The resonator element according to any one of claims 1 to 3,
Circuit,
An oscillator comprising:
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