JP5786758B2

JP5786758B2 - Method for manufacturing liquid ejection device

Info

Publication number: JP5786758B2
Application number: JP2012034722A
Authority: JP
Inventors: 伊藤　敦; 敦伊藤
Original assignee: Brother Industries Ltd
Current assignee: Brother Industries Ltd
Priority date: 2012-02-21
Filing date: 2012-02-21
Publication date: 2015-09-30
Anticipated expiration: 2032-02-21
Also published as: JP2013169699A

Description

本発明は、ノズルから液体を吐出する液体吐出装置の製造方法、及び、液体吐出装置に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a liquid ejection device that ejects liquid from a nozzle, and a liquid ejection device.

特許文献１には、インク吐出口からインクを吐出する記録ヘッドにおいて、インク吐出口が形成されたインク吐出面の、インク吐出口を取り囲む領域に、インク吐出面の他の部分よりも窪んだ凹部を形成することが記載されている。 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-151867 discloses a recording head that discharges ink from an ink discharge port, and a recess that is recessed in the region surrounding the ink discharge port on the ink discharge surface on which the ink discharge port is formed. Is described.

特開２００２−２２５２９８号公報JP 2002-225298 A

ここで、特許文献１には具体的な記載はないが、インク吐出面に凹部を形成する方法としては、例えば、プレス加工や、プラズマエッチングが考えられる。しかしながら、プレス加工で凹部を形成した場合には、凹部を形成した部材の表面にバリができるため、凹部の形成後バリを除去するための研磨などが必要になる。その結果、記録ヘッドの製造工程が煩雑になる。一方、プラズマエッチングによって凹部を形成する場合にも、凹部を形成するのに必要な工数が多く、また、凹部が形成される部材の材料に制限がある。 Here, although there is no specific description in Patent Document 1, as a method of forming the concave portion on the ink discharge surface, for example, press working or plasma etching can be considered. However, when the concave portion is formed by press working, burrs can be formed on the surface of the member on which the concave portion is formed. Therefore, polishing or the like for removing the burrs after forming the concave portions is necessary. As a result, the manufacturing process of the recording head becomes complicated. On the other hand, when the recess is formed by plasma etching, the number of steps required to form the recess is large, and the material of the member on which the recess is formed is limited.

本発明の目的は、液体吐出面が、ノズル形成部によって形成される部分において他の部分よりも凹んだ液体吐出装置を簡単に製造することが可能な液体吐出装置の製造方法、及び、液体吐出面が、ノズル形成部によって形成される部分において、他の部分よりも凹んでおり、且つ、簡単に製造することが可能な液体吐出装置を提供することである。 An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a liquid discharge device capable of easily manufacturing a liquid discharge device in which a liquid discharge surface is recessed in a portion formed by a nozzle forming portion as compared with other portions, and a liquid discharge It is an object of the present invention to provide a liquid ejecting apparatus in which a surface is recessed at a portion formed by a nozzle forming portion as compared with other portions and can be easily manufactured.

第１の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、ノズルが形成されたノズルプレートと、前記ノズルプレートと積層されており、内部に前記ノズルに連通する液体流路が形成された流路形成体と、を有する流路ユニットを備え、前記流路形成体が、ノズルプレートに接合された第１流路形成体と、前記第１流路形成体の前記ノズルプレートと反対側の面に接合された第２流路形成体と、を有する液体吐出装置の製造方法であって、前記ノズルプレートと、前記第１流路形成体と、前記第２流路形成体とを互いに積層させて接合する接合工程、を備え、前記第２流路形成体は、さらに、前記第１流路形成体との接合面の、前記ノズルプレートと前記流路形成体との積層方向に関して、前記ノズルプレートの前記ノズルが形成される部分であるノズル形成部と重なる部分に、凹部が形成されたものであって、前記接合工程において、前記第１流路形成体のうち、前記積層方向に関して前記ノズル形成部と重なる部分を、前記接合面のうち前記凹部が形成された部分に接合し、前記第１流路形成体の他の部分を、前記接合面のうち前記凹部が形成されている部分以外の部分に接合することで、前記ノズルプレートが、前記ノズル形成部において他の部分よりも前記流路形成体側に位置するように湾曲した液体吐出装置を製造することを特徴とする。 According to a first aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a liquid ejection apparatus, comprising: a nozzle plate in which nozzles are formed; The flow path forming body is bonded to a first flow path forming body bonded to the nozzle plate, and a surface of the first flow path forming body opposite to the nozzle plate. And a second flow path forming body, wherein the nozzle plate, the first flow path forming body, and the second flow path forming body are stacked and joined to each other. A bonding step, wherein the second flow path forming body further includes a bonding surface of the nozzle plate and the flow path forming body at a bonding surface with the first flow path forming body. Noz, the part where the nozzle is formed A concave portion is formed in a portion overlapping the forming portion, and in the joining step, a portion of the first flow path forming body that overlaps the nozzle forming portion in the stacking direction is included in the joining surface. The nozzle plate is joined by joining the portion where the recess is formed, and joining the other portion of the first flow path forming body to a portion of the joining surface other than the portion where the recess is formed. In the nozzle forming portion, a liquid ejection device that is curved so as to be positioned closer to the flow path forming body than other portions is manufactured.

第３，第４の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、ノズルが形成されたノズルプレートと、前記ノズルプレートと積層されており、内部に前記ノズルに連通する液体流路が形成された流路形成体とを有する流路ユニットを備えた液体吐出装置の製造方法であって、前記流路形成体は、さらに、前記ノズルプレートの、前記ノズルプレートと前記流路形成体との積層方向に関して、前記ノズルプレートの前記ノズルが形成される部分であるノズル形成部と重なる部分に、前記ノズルプレートとの接合面に開口を有し、少なくともその一部分が前記液体流路の前記ノズルに接続される部分となる、前記ノズルよりも径の大きい開口部が形成されたものであって、前記ノズルプレートと前記流路形成体とを接合する接合工程、を備え、前記接合工程において、前記ノズル形成部を前記開口部側に湾曲させた状態で、前記ノズルプレートを前記接合面に接合することで、前記ノズルプレートが、前記ノズル形成部において他の部分よりも前記流路形成体側に位置するように湾曲した液体吐出装置を製造することを特徴とする。 A method for manufacturing a liquid ejection device according to the third and fourth aspects of the present invention includes a nozzle plate in which nozzles are formed, a flow that is laminated with the nozzle plate, and in which a liquid channel that communicates with the nozzles is formed. A method of manufacturing a liquid ejection apparatus including a flow path unit having a path forming body, wherein the flow path forming body further relates to a stacking direction of the nozzle plate and the flow path forming body of the nozzle plate. The nozzle plate has an opening in a surface where the nozzle is formed, which is a portion where the nozzle is formed, and a joint surface with the nozzle plate, and at least a part thereof is connected to the nozzle of the liquid channel. An opening having a diameter larger than that of the nozzle, and a bonding step of bonding the nozzle plate and the flow path forming body. The nozzle plate is bonded to the bonding surface in a state where the nozzle forming portion is curved toward the opening, so that the nozzle plate forms the flow path more than other portions in the nozzle forming portion. A liquid ejection device that is curved so as to be positioned on the body side is manufactured.

これらの発明によると、ノズルプレートの流路形成体と反対側の面である液体吐出面が、ノズル形成部によって形成される部分において、他の部分よりも流路形成体側に凹んだ形状となる。したがって、液体吐出装置から液体が吐出される被吐出媒体などが、液体吐出面のノズル形成部によって形成される部分に接触してしまうのを防止することができる。また、ノズルプレートを、ノズル形成部において他の部分よりも流路形成体側に位置するように湾曲させることにより、ノズル形成部によって形成された部分において凹んだ液体吐出面を容易に形成することができる。 According to these inventions, the liquid discharge surface, which is the surface opposite to the flow path forming body of the nozzle plate, has a shape that is recessed toward the flow path forming body from the other portions in the portion formed by the nozzle forming portion. . Therefore, it is possible to prevent the medium to be discharged from which the liquid is discharged from the liquid discharge apparatus from coming into contact with the portion formed by the nozzle forming portion on the liquid discharge surface. Further, by curving the nozzle plate so as to be positioned closer to the flow path forming body than the other portions in the nozzle forming portion, it is possible to easily form a liquid discharge surface that is recessed in the portion formed by the nozzle forming portion. it can.

また、第１の発明では、第１流路形成体のうち、積層方向に関してノズル形成部と重なる部分については、第２流路形成体の流路形成体との接合面のうち凹部が形成された部分に接合し、それ以外の部分については、上記接合面の凹部が形成された部分以外の部分に接合することによって、簡単に、ノズルプレートを、ノズル形成部において他の部分よりも流路形成体側に湾曲させることができる。また、液体吐出面のノズル形成部により形成される部分が、液体吐出面の他の部分よりも確実に凹部の高さだけ凹むため、積層方向に関するノズルの位置精度を高くすることができる。 In the first aspect of the invention, a portion of the first flow path forming body that overlaps the nozzle forming portion in the stacking direction is formed with a concave portion in the joint surface of the second flow path forming body with the flow path forming body. The nozzle plate is more easily flowed in the nozzle forming part than in the other parts by joining to the other parts and joining the other parts to parts other than the part where the concave portion of the joining surface is formed. It can be curved toward the formed body. In addition, since the portion formed by the nozzle forming portion of the liquid discharge surface is surely recessed by the height of the recessed portion as compared with other portions of the liquid discharge surface, it is possible to increase the positional accuracy of the nozzle in the stacking direction.

また、第３、第４の発明では、流路形成体のノズルプレートとの接合面を、積層方向に関してノズル形成部と重なる部分に開口部が形成されたものとすることにより、簡単に、ノズルプレートをノズル形成部において、他の部分よりも流路形成体側に湾曲させることができる。 In the third and fourth aspects of the invention, the nozzle surface can be easily formed by forming an opening in the portion overlapping the nozzle forming portion in the stacking direction on the joint surface of the flow path forming body with the nozzle plate. The plate can be curved in the nozzle forming portion toward the flow path forming body rather than other portions.

なお、本発明のノズルプレートとは、液体吐出装置として完成した段階でノズルが形成されたプレートのことであり、ノズルが形成された後の当該プレートだけでなく、ノズルが形成される前の当該プレートも含んでいる。 The nozzle plate of the present invention is a plate on which nozzles are formed at the stage of completion as a liquid ejection device, and not only the plate after the nozzles are formed but also the ones before the nozzles are formed. It also includes a plate.

第２の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、第１の発明に係る液体吐出装置の製造方法において、前記第１流路形成体は、さらに、前記ノズル形成部と接合される部分のすぐ外側の部分に前記第１流路形成体を前記積層方向に貫通するスリットが形成されるものであることを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a liquid ejection device according to the first aspect of the present invention, wherein the first flow path forming body is further immediately adjacent to a portion joined to the nozzle forming portion. A slit that penetrates the first flow path forming body in the stacking direction is formed in an outer portion.

本発明によると、第１流路形成体にスリットが形成されていることにより、接合工程において第１流路形成体を変形させやすい。 According to the present invention, since the slit is formed in the first flow path forming body, it is easy to deform the first flow path forming body in the joining step.

第１の発明に係る液体吐出装置は、前記接合工程において、前記凹部内を減圧させることによって、前記ノズルプレートを、前記ノズル形成部が他の部分よりも前記流路形成体側にくるように湾曲させることを特徴とする。 A liquid ejection apparatus according to the first invention, before Symbol bonding step, by reducing the pressure within said recess, said nozzle plate, such that the nozzle forming part come to the flow path forming member side than the other portions It is characterized by bending.

本発明によると、凹部内を減圧することにより、ノズルプレートを、ノズル形成部が他の部分よりも流路形成体側にくるように湾曲させることができる。 According to the present invention, by reducing the pressure in the concave portion, the nozzle plate can be curved so that the nozzle forming portion is closer to the flow path forming body than the other portions.

第３の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、前記流路形成体は、前記ノズルプレートに接合される接合プレートを含むものであって、前記接合工程よりも前に、前記接合プレートに、その両面からハーフエッチングを行うことにより、前記開口部として、前記接合プレートの前記ノズルプレートと反対側の面に開口を有しており、前記液体流路の前記ノズルに接続される部分を形成する流路形成部と、前記接合プレートの前記ノズルプレート側の面に開口を有するとともに、当該開口と反対側において前記流路形成部と接続された、前記流路形成部よりも径の大きい大径部と、を有する前記開口部を形成する開口部形成工程をさらに備え、前記接合工程において、前記開口部側に湾曲させた前記ノズル形成部を前記凹部の壁面に接合することを特徴とする。 Method of manufacturing a liquid discharge apparatus according to the third invention, before Kiryuro forming body is comprise a joining plate joined to the nozzle plate, prior to the bonding step, the bonding plate By performing half-etching from both sides, the opening has an opening on the surface opposite to the nozzle plate of the joining plate, and forms a portion connected to the nozzle of the liquid channel A flow path forming portion having a diameter larger than that of the flow path forming portion connected to the flow path forming portion on the side opposite to the opening. An opening portion forming step of forming the opening portion having a diameter portion, and in the joining step, the nozzle forming portion curved toward the opening portion side is joined to the wall surface of the recess portion. The features.

本発明によると、ノズル形成部が大径部の壁面に接合されているため、ノズルプレートと流路形成体との接合後、湾曲させたノズル形成部が変形してしまうのを防止することができる。また、大径部については、ノズル形成部を十分に湾曲させるために、ある程度径の大きいものとする必要があるが、液体流路を形成する流路形成部については、大径部よりも径を小さくすることができる。したがって、液体吐出ヘッドの駆動電圧を低減することができる。また、ノズルからの液体の吐出特性のばらつきを低減することができる。 According to the present invention, since the nozzle forming portion is joined to the wall surface of the large diameter portion, it is possible to prevent the curved nozzle forming portion from being deformed after joining the nozzle plate and the flow path forming body. it can. In addition, the large diameter portion needs to have a certain diameter in order to sufficiently curve the nozzle forming portion, but the flow path forming portion that forms the liquid flow path has a diameter larger than that of the large diameter portion. Can be reduced. Therefore, the driving voltage of the liquid discharge head can be reduced. In addition, variation in the discharge characteristics of the liquid from the nozzles can be reduced.

第４の発明に係る液体吐出装置は、前記接合工程において、前記開口部内を減圧することによって、前記ノズル形成部を前記開口部側に湾曲させることを特徴とする。 A liquid ejection apparatus according to the fourth invention, in the pre-Symbol bonding step, by reducing the pressure of the said opening portion, and wherein the curving the nozzle forming portion on the opening side.

本発明によると、開口部内を減圧することにより、ノズル形成部を開口部側に湾曲させることができる。 According to the present invention, the nozzle forming portion can be curved toward the opening by reducing the pressure in the opening.

第５の発明に係る液体吐出装置は、第１〜第４のいずれかの発明に係る液体吐出の製造方法において、前記接合工程において、前記ノズルが形成される前の状態の前記ノズルプレートを前記流路形成体に接合し、前記接合工程で前記ノズルプレートと前記流路形成体の少なくとも一部とを接合した後に、前記ノズルプレートに前記ノズルを形成するノズル形成工程、をさらに備えていることを特徴とする。 According to a fifth aspect of the present invention, there is provided the liquid ejection device according to any one of the first to fourth aspects, wherein the nozzle plate is in a state before the nozzle is formed in the joining step. A nozzle forming step of forming the nozzle on the nozzle plate after joining the flow path forming body and joining the nozzle plate and at least a part of the flow path forming body in the joining step; It is characterized by.

本発明によると、ノズルプレートと流路形成体とが接合された後にノズルを形成するため、ノズルを形成した後に接合によるノズルプレートの収縮又は膨張がなく、ノズル同士の相対位置の精度を高くすることができる。 According to the present invention, since the nozzle is formed after the nozzle plate and the flow path forming body are joined, there is no contraction or expansion of the nozzle plate due to joining after the nozzle is formed, and the accuracy of the relative position between the nozzles is increased. be able to.

第６の発明に係る液体吐出装置は、第５の発明に係る液体吐出装置の製造方法において、前記ノズル形成工程よりも前に、前記ノズルプレートの前記流路形成体と反対側の面である液体吐出面に撥水膜を形成する撥水膜形成工程、をさらに備えていることを特徴とする。 The liquid ejection device according to a sixth aspect of the invention is the surface of the nozzle plate on the side opposite to the flow path forming body before the nozzle formation step in the method of manufacturing a liquid ejection device according to the fifth aspect of the invention. And a water repellent film forming step of forming a water repellent film on the liquid ejection surface.

本発明によると、ノズルを形成する前に液体吐出面に撥水膜を形成することにより、ノズルの内面に撥水膜が形成されてしまうことがない。 According to the present invention, the water-repellent film is not formed on the inner surface of the nozzle by forming the water-repellent film on the liquid discharge surface before forming the nozzle.

第７の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、第１〜第６のいずれかの発明に係る液体吐出装置において、前記ノズルプレートが合成樹脂材料により構成されたものであることを特徴とする。 According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a liquid ejection apparatus according to any one of the first to sixth aspects, wherein the nozzle plate is made of a synthetic resin material. .

本発明によると、ノズルプレートが合成樹脂材料からなるため、接合工程においてノズルプレートを湾曲させやすい。 According to the present invention, since the nozzle plate is made of a synthetic resin material, the nozzle plate can be easily bent in the joining process.

本発明によれば、ノズルプレートの流路形成体と反対側の面である液体吐出面が、ノズル形成部によって形成される部分において、他の部分よりも流路形成体側に凹んだ形状となる。したがって、液体吐出装置から液体が吐出される被吐出媒体などが、液体吐出面のノズル形成部によって形成される部分に接触してしまうのを防止することができる。また、ノズルプレートを、ノズル形成部において他の部分よりも流路形成体側に位置するように湾曲させることにより、液体吐出面がノズル形成部によって形成された部分において凹んだ液体吐出装置を容易に製造することができる。 According to the present invention, the liquid discharge surface, which is the surface opposite to the flow path forming body of the nozzle plate, has a shape that is recessed toward the flow path forming body from the other portions in the portion formed by the nozzle forming portion. . Therefore, it is possible to prevent the medium to be discharged from which the liquid is discharged from the liquid discharge apparatus from coming into contact with the portion formed by the nozzle forming portion on the liquid discharge surface. Further, by bending the nozzle plate so as to be positioned closer to the flow path forming body than the other portions in the nozzle forming portion, the liquid discharging device in which the liquid discharging surface is recessed in the portion formed by the nozzle forming portion can be easily obtained. Can be manufactured.

第１実施形態に係るプリンタの概略構成図である。1 is a schematic configuration diagram of a printer according to a first embodiment. 図１のインクジェットヘッドの平面図である。It is a top view of the inkjet head of FIG. （ａ）が図２のIII−III線断面図であり、（ｂ）が（ａ）でノズル近傍に形成された空間を増圧圧した状態を示す図であり、（ｃ）が（ａ）でノズル近傍に形成された空間を減圧した状態を示す図である。(A) is the III-III sectional view taken on the line of FIG. 2, (b) is a figure which shows the state which increased and pressurized the space formed in the nozzle vicinity in (a), (c) is a figure (a). It is a figure which shows the state which pressure-reduced the space formed in the nozzle vicinity. インクジェットヘッドの製造工程を示す図である。It is a figure which shows the manufacturing process of an inkjet head. 第２実施形態に係るインクジェットヘッドの図３（ａ）相当の図である。It is a figure equivalent to Drawing 3 (a) of an ink-jet head concerning a 2nd embodiment. 第２実施形態のインクジェットヘッドの製造工程を示す図である。It is a figure which shows the manufacturing process of the inkjet head of 2nd Embodiment. 第３実施形態に係るインクジェットヘッドの図３（ａ）相当の図である。It is a figure equivalent to Drawing 3 (a) of an ink-jet head concerning a 3rd embodiment. 第３実施形態に係るインクジェットヘッドの製造工程を示す図である。It is a figure which shows the manufacturing process of the inkjet head which concerns on 3rd Embodiment.

［第１実施形態］
以下、本発明の好適な第１実施形態について説明する。 [First Embodiment]
Hereinafter, a preferred first embodiment of the present invention will be described.

図１に示すように、第１実施形態に係るプリンタ１は、キャリッジ２、インクジェットヘッド３、用紙搬送ローラ４、ワイパ５などを備えている。キャリッジ２は、２本のガイドレール６に沿って走査方向に往復移動する。インクジェットヘッド３は、キャリッジ２に搭載されており、その下面であるインク吐出面３ａに開口を有する複数のノズル１５からインクを吐出する。用紙搬送ローラ４は、記録用紙Ｓを走査方向と直交する紙送り方向に搬送する。 As shown in FIG. 1, the printer 1 according to the first embodiment includes a carriage 2, an inkjet head 3, a paper transport roller 4, a wiper 5, and the like. The carriage 2 reciprocates in the scanning direction along the two guide rails 6. The inkjet head 3 is mounted on the carriage 2 and ejects ink from a plurality of nozzles 15 having openings on the ink ejection surface 3a which is the lower surface thereof. The paper transport roller 4 transports the recording paper S in the paper feed direction orthogonal to the scanning direction.

そして、プリンタ１では、用紙搬送ローラ４によって紙送り方向に搬送される記録用紙Ｓに、キャリッジ２とともに走査方向に往復移動するインクジェットヘッド３からインクを吐出することによって、記録用紙Ｓに印刷を行う。 In the printer 1, printing is performed on the recording paper S by ejecting ink from the inkjet head 3 that reciprocates in the scanning direction together with the carriage 2 onto the recording paper S that is transported in the paper feeding direction by the paper transport roller 4. .

ワイパ５は、キャリッジ２の移動範囲のうち、用紙搬送ローラ４により記録用紙Ｓが搬送される領域よりも左側に配置されている。また、ワイパ５は、その先端部がインク吐出面３ａよりも若干高い位置にくるような高さに配置されている。これにより、キャリッジ２をワイパ５と対向する位置で走査方向に移動させると、ワイパ５が、その上端部においてインク吐出面３ａに接触した状態でインク吐出面３ａに沿って移動し、インク吐出面３ａに付着したインクなどが拭き取られる。 The wiper 5 is disposed on the left side of the moving range of the carriage 2 with respect to the area where the recording sheet S is conveyed by the sheet conveying roller 4. Further, the wiper 5 is disposed at such a height that the tip thereof is positioned slightly higher than the ink ejection surface 3a. As a result, when the carriage 2 is moved in the scanning direction at a position facing the wiper 5, the wiper 5 moves along the ink ejection surface 3a while being in contact with the ink ejection surface 3a at the upper end thereof, and the ink ejection surface The ink attached to 3a is wiped off.

次に、インクジェットヘッド３について説明する。インクジェットヘッド３は、図２、図３に示すように、ノズル１５や後述の圧力室１０などのインク流路が形成された流路ユニット２１と、圧力室１０内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータ２２とを備えている。 Next, the inkjet head 3 will be described. As shown in FIGS. 2 and 3, the inkjet head 3 includes a flow path unit 21 in which an ink flow path such as a nozzle 15 and a pressure chamber 10 described later is formed, and a piezoelectric that applies pressure to the ink in the pressure chamber 10. And an actuator 22.

流路ユニット２１は、６枚のプレート３１〜３６が上からこの順に積層されることによって形成されている。６枚のプレート３１〜３６のうち、最も下方に配置されたノズルプレート３６は合成樹脂材料によって構成されており、ノズルプレート３６以外の５枚のプレート３１〜３５は、ステンレスなどの金属材料によって構成されている。 The flow path unit 21 is formed by stacking six plates 31 to 36 in this order from the top. Of the six plates 31 to 36, the nozzle plate 36 disposed at the lowermost position is made of a synthetic resin material, and the five plates 31 to 35 other than the nozzle plate 36 are made of a metal material such as stainless steel. Has been.

プレート３１には、複数の圧力室１０が形成されている。圧力室１０は走査方向を長手方向とする略楕円の平面形状を有している。また、複数の圧力室１０は、紙送り方向に沿って配列されることにより、圧力室列９を形成しており、プレート３１には、このような圧力室列９が走査方向に２列に配列されている。 A plurality of pressure chambers 10 are formed in the plate 31. The pressure chamber 10 has a substantially elliptical planar shape whose longitudinal direction is the scanning direction. The plurality of pressure chambers 10 are arranged along the paper feed direction to form a pressure chamber row 9, and the pressure chamber rows 9 are arranged in two rows on the plate 31 in the scanning direction. It is arranged.

プレート３２には、圧力室１０の長手方向に関する外側及び内側の端部と重なる部分に、それぞれ、略円形の貫通孔１２及び貫通孔１３ａが形成されている。プレート３３には、マニホールド流路１１が形成されている。マニホールド流路１１は、圧力室列９に対応して紙送り方向に２列に延びており、各圧力室列９を構成する圧力室１０の走査方向に関する貫通孔１２側の略半分と重なっている。また、マニホールド流路１１には、その基端部に接続されたインク供給口８からインクが供給される。また、プレート３３には、貫通孔１３ａと重なる部分に略円形の貫通孔１３ｂが形成されている。 The plate 32 is formed with a substantially circular through hole 12 and a through hole 13a at portions overlapping the outer and inner ends in the longitudinal direction of the pressure chamber 10, respectively. A manifold channel 11 is formed in the plate 33. The manifold channel 11 extends in two rows in the paper feed direction corresponding to the pressure chamber rows 9 and overlaps substantially half of the pressure chambers 10 constituting each pressure chamber row 9 on the through hole 12 side. Yes. Further, ink is supplied to the manifold channel 11 from the ink supply port 8 connected to the base end portion thereof. Further, the plate 33 is formed with a substantially circular through hole 13b at a portion overlapping the through hole 13a.

プレート３４には、２つのスリット１７が形成されている。２つのスリット１７は、２つの圧力室列９に対応して設けられており、それぞれ、対応する圧力室列９を構成する複数の圧力室１０に対応する複数の貫通孔１３ｂと重なる部分に、これら複数の貫通孔１３ｂにまたがるように紙送り方向に延びている。また、各スリット１７は、走査方向に関して、貫通孔１３ｂよりも走査方向に関する外側まで延びている。 Two slits 17 are formed in the plate 34. The two slits 17 are provided corresponding to the two pressure chamber rows 9, respectively, in portions overlapping with the plurality of through holes 13 b corresponding to the plurality of pressure chambers 10 constituting the corresponding pressure chamber row 9. It extends in the paper feeding direction so as to straddle the plurality of through holes 13b. Moreover, each slit 17 is extended to the outer side regarding the scanning direction rather than the through-hole 13b regarding the scanning direction.

プレート３５には、走査方向に関する貫通孔１３ｃの両側の部分に、プレート３５を貫通するスリット１８が形成されている。スリット１８は、スリット１７の走査方向に関する両端部と重なっており、紙送り方向に関してスリット１７とほぼ同じ長さだけ延びている。また、プレート３５には、貫通孔１３ｂ及びスリット１７と重なる部分に略円形の貫通孔１３ｃが形成されている。 In the plate 35, slits 18 penetrating the plate 35 are formed on both sides of the through hole 13c in the scanning direction. The slit 18 overlaps both ends of the slit 17 in the scanning direction, and extends substantially the same length as the slit 17 in the paper feed direction. The plate 35 is formed with a substantially circular through hole 13 c at a portion overlapping the through hole 13 b and the slit 17.

ここで、プレート３５は、スリット１７と重なる貫通孔１３ｃが形成された部分が、スリット１７を通して、プレート３３の下面に接合されている。また、プレート３５の上記部分以外の部分は、プレート３４の下面に接合されている。 Here, the plate 35 is joined to the lower surface of the plate 33 through the slit 17 at a portion where the through hole 13 c overlapping with the slit 17 is formed. Further, portions other than the above portion of the plate 35 are joined to the lower surface of the plate 34.

ノズルプレート３６には、貫通孔１３ｃと重なる部分にノズル１５が形成されている。ノズルプレート３６は、その下面がインク吐出面３ａとなっており、ノズル１５は、インク吐出面３ａに開口を有している。また、ノズル１５は、インク吐出面３ａ側の部分ほどその径が小さいテーパ状になっている。また、インク吐出面３ａには、撥水膜１９が形成されている。 The nozzle 15 is formed in the nozzle plate 36 at a portion overlapping the through hole 13c. The lower surface of the nozzle plate 36 is an ink ejection surface 3a, and the nozzle 15 has an opening in the ink ejection surface 3a. Further, the nozzle 15 has a tapered shape with a smaller diameter toward the ink ejection surface 3a side. A water repellent film 19 is formed on the ink ejection surface 3a.

ここで、ノズルプレート３６は、ノズル１５が形成された部分であるノズル形成部３６ａが、プレート３５のプレート３３に接合されている部分の下面に接合されており、ノズルプレート３６のそれ以外の部分が、プレート３５のプレート３４に接合されている部分に接合されている。これにより、ノズルプレート３６は、ノズル形成部３６ａが、他の部分よりもプレート３５側にくるように湾曲している。その結果、インク吐出面３ａは、ノズル形成部３６ａによって形成される部分において、他の部分よりも凹んでいる。 Here, in the nozzle plate 36, the nozzle forming portion 36 a, which is a portion where the nozzle 15 is formed, is joined to the lower surface of the portion where the plate 35 is joined to the plate 33, and the other portion of the nozzle plate 36. Is joined to the portion of the plate 35 that is joined to the plate 34. Thereby, the nozzle plate 36 is curved so that the nozzle forming portion 36a is closer to the plate 35 than the other portions. As a result, the ink discharge surface 3a is recessed in the portion formed by the nozzle forming portion 36a than in other portions.

そして、以上に説明したような流路ユニット２１には、マニホールド流路１１と、マニホールド流路１１の出口から貫通孔１２を介して圧力室１０と連通し、さらに、圧力室１０から、貫通孔１３ａ〜１３ｃによって形成されるディセンダ流路１３を介してノズル１５に至る複数の個別インク流路とが形成されている。 The flow path unit 21 as described above communicates with the manifold flow path 11 and the pressure chamber 10 from the outlet of the manifold flow path 11 through the through hole 12, and further from the pressure chamber 10 to the through hole. A plurality of individual ink flow paths reaching the nozzle 15 through the descender flow path 13 formed by 13a to 13c are formed.

また、流路ユニット２１には、スリット１７とスリット１８とが上下に重なっているとともに、スリット１７の上端の開口がプレート３３に塞がれ、スリット１８の下端の開口がノズルプレート３６に塞がれることによって、ノズル１５の走査方向に関する両側の部分に、大気連通しない空間２０が形成されている。空間２０には、プレート３１〜３３の平面視で、各スリット１７の紙送り方向下流側の端部と重なる部分にまたがって上下に延びた連通路１６を介して、インクジェットヘッド３の上面に開口したポンプ接続口１４と連通している。ポンプ接続口１４には、プリンタ１に設けられたポンプ７が接続されており、ポンプ７を駆動することにより空間２０内の圧力を変化させることができるようになっている。 In addition, the slit 17 and the slit 18 overlap with each other in the flow path unit 21, the opening at the upper end of the slit 17 is blocked by the plate 33, and the opening at the lower end of the slit 18 is blocked by the nozzle plate 36. As a result, spaces 20 that do not communicate with the atmosphere are formed on both sides of the nozzle 15 in the scanning direction. In the space 20, an opening is formed in the upper surface of the inkjet head 3 through a communication path 16 that extends vertically across a portion that overlaps the downstream end of each slit 17 in the paper feed direction in plan view of the plates 31 to 33. The pump connection port 14 is in communication. A pump 7 provided in the printer 1 is connected to the pump connection port 14, and the pressure in the space 20 can be changed by driving the pump 7.

そして、上述のワイパ５によりインク吐出面３ａに付着したインクなどを行う際には、ポンプ７を駆動して空間２０を増圧する。すると、図３（ｂ）に示すように、ノズルプレート３６スリット１７と重なる部分のうち、ノズル形成部３６ａよりも外側の部分である変形部３６ｂが、空間２０と反対側に凸となるように湾曲する。一方、印刷時などには、ポンプ７を駆動して、空間２０を減圧する。すると、図３（ｃ）に示すように、ノズルプレート３６の変形部３６ｂが空間２０側に凸となるように湾曲する。 When the ink attached to the ink ejection surface 3a is performed by the wiper 5 described above, the pump 20 is driven to increase the pressure of the space 20. Then, as shown in FIG. 3 (b), the deformed portion 36 b, which is the portion outside the nozzle forming portion 36 a, of the portion overlapping the nozzle plate 36 slit 17, protrudes on the opposite side to the space 20. Bend. On the other hand, during printing or the like, the pump 7 is driven to decompress the space 20. Then, as shown in FIG. 3C, the deformed portion 36b of the nozzle plate 36 is curved so as to protrude toward the space 20 side.

圧電アクチュエータ２２は、振動板４１、２枚の圧電層４２、４３、共通電極４４及び複数の個別電極４５を備えている。振動板４１は、ステンレスなどの金属材料からなり、複数の圧力室１０を覆うようにプレート３１の上面に接合されている。圧電層４２、４３は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなり、互いに積層された状態で振動板４１の上面に配置されており、複数の圧力室１０にまたがって連続的に延びている。 The piezoelectric actuator 22 includes a diaphragm 41, two piezoelectric layers 42 and 43, a common electrode 44, and a plurality of individual electrodes 45. The vibration plate 41 is made of a metal material such as stainless steel, and is joined to the upper surface of the plate 31 so as to cover the plurality of pressure chambers 10. The piezoelectric layers 42 and 43 are made of a piezoelectric material mainly composed of lead zirconate titanate, which is a mixed crystal of lead titanate and lead zirconate, and are disposed on the upper surface of the vibration plate 41 in a stacked state. And extends continuously across the plurality of pressure chambers 10.

共通電極４４は、圧電層４２と圧電層４３との間に、そのほぼ全域にわたって形成されている。共通電極４４は、図示しないドライバＩＣにより常にグランド電位に保持されている。 The common electrode 44 is formed over almost the entire area between the piezoelectric layer 42 and the piezoelectric layer 43. The common electrode 44 is always held at the ground potential by a driver IC (not shown).

複数の個別電極４５は、圧力室１０よりも一回り小さい略楕円の平面形状を有しており、圧電層４３の上面の複数の圧力室１０の略中央部と重なる部分に配置されている。また、個別電極４５の長手方向に関するノズル１５と反対側の端部は、圧力室１０と重ならない位置まで延びており、その先端部が接続端子４５ａとなっている。接続端子４５ａは、図示しないドライバＩＣに接続されており、個別電極４５には、ドライバＩＣによりグランド電位及び駆動電位のいずれかが選択的に付与される。また、共通電極４４と複数の個別電極４５とがこのように設けられているのに対応して、圧電層４３の共通電極４４と各個別電極４５とに挟まれた部分が、その厚み方向に分極されている。 The plurality of individual electrodes 45 have a substantially elliptical planar shape that is slightly smaller than the pressure chamber 10, and are arranged on a portion of the upper surface of the piezoelectric layer 43 that overlaps with a substantially central portion of the plurality of pressure chambers 10. Further, the end of the individual electrode 45 opposite to the nozzle 15 in the longitudinal direction extends to a position where it does not overlap with the pressure chamber 10, and the tip of the end is a connection terminal 45a. The connection terminal 45a is connected to a driver IC (not shown), and either the ground potential or the drive potential is selectively applied to the individual electrode 45 by the driver IC. Corresponding to the provision of the common electrode 44 and the plurality of individual electrodes 45 in this way, the portion sandwiched between the common electrode 44 and each individual electrode 45 of the piezoelectric layer 43 is in the thickness direction. Polarized.

そして、以上のような構成の圧電アクチュエータ２２では、予め、全ての個別電極４５がグランド電位に保持されている。そして、いずれかの個別電極４５の電位がグランド電位から駆動電位に切り替えられると、振動板４１及び圧電層４２、４３の対応する圧力室１０と重なる部分が、いわゆるユニモルフ変形により圧力室１０側に凸となるように変形する。これにより、圧力室１０内のインクの圧力が上昇して、圧力室１０に連通するノズル１５からインクが吐出される。 In the piezoelectric actuator 22 configured as described above, all the individual electrodes 45 are previously held at the ground potential. When the potential of any one of the individual electrodes 45 is switched from the ground potential to the driving potential, the portions of the diaphragm 41 and the piezoelectric layers 42 and 43 that overlap with the corresponding pressure chamber 10 are moved to the pressure chamber 10 side by so-called unimorph deformation. Deform to be convex. As a result, the pressure of the ink in the pressure chamber 10 rises, and the ink is ejected from the nozzle 15 communicating with the pressure chamber 10.

次に、インクジェットヘッド３の製造方法について図４を用いて説明する。ここで、図４は、製造途中の各段階にあるインクジェットヘッド３の、図３と同様の断面図であり、図４のＸ方向は、プリンタ１に組み付けられたときに走査方向となる方向である。インクジェットヘッド３を製造するためには、まず、図４（ａ）に示すように、例えばエッチングによって貫通孔１３ｃやスリット１８を形成したプレート３５と、インク吐出面３ａに撥水膜１９を形成した、ノズル１５を形成する前のノズルプレート３６とを接着剤などによって接合する。次に、図４（ｂ）に示すように、ノズルプレート３６に、レーザ加工により、貫通孔１３ｃを通してプレート３５側からノズル１５を形成する。また、図４（ａ）や図４（ｂ）の工程と並行して、プレート３１〜３４に、例えばエッチングによってインク流路となる貫通孔などを形成する。 Next, the manufacturing method of the inkjet head 3 is demonstrated using FIG. Here, FIG. 4 is a cross-sectional view similar to FIG. 3 of the ink-jet head 3 at each stage during manufacture, and the X direction in FIG. 4 is the direction that becomes the scanning direction when assembled in the printer 1. is there. In order to manufacture the inkjet head 3, first, as shown in FIG. 4A, for example, a plate 35 in which through holes 13c and slits 18 are formed by etching and a water repellent film 19 is formed on the ink ejection surface 3a. The nozzle plate 36 before forming the nozzle 15 is joined with an adhesive or the like. Next, as shown in FIG. 4B, the nozzle 15 is formed on the nozzle plate 36 from the plate 35 side through the through hole 13c by laser processing. Further, in parallel with the steps of FIG. 4A and FIG. 4B, through holes or the like serving as ink flow paths are formed in the plates 31 to 34, for example, by etching.

続いて、図４（ｃ）に示すように、プレート３５、３６の積層体と、プレート３１〜３４とを、互いの接合面に接着剤を塗布した上で積層させ、プレート３１〜３６の積層体を、ヒータＨ１、Ｈ２によって上下から挟んで加熱することにより、プレート同士を接合させる。ここで、下側のヒータＨ１はシリコンラバーヒータなど弾性を有するヒータであり、ノズル１５の開口を塞いでいる。上側のヒータＨ２は、ヒータＨ２と同様のヒータであり、圧力室１０の開口を塞いでいるとともに、内部に形成された流路Ｈ２ａを介して、圧力室１０をポンプＰに連通させている。また、このとき、上述のポンプ接続口１４も、流路Ｈ２ａを介してポンプＰと連通している。 Then, as shown in FIG.4 (c), after laminating the laminated body of plates 35 and 36 and the plates 31-34 after apply | coating an adhesive agent to a mutual joint surface, lamination | stacking of plates 31-36 The body is sandwiched from above and below by the heaters H1 and H2 and heated to join the plates. Here, the lower heater H1 is an elastic heater such as a silicon rubber heater and closes the opening of the nozzle 15. The upper heater H2 is the same heater as the heater H2, closes the opening of the pressure chamber 10, and communicates the pressure chamber 10 with the pump P through a flow path H2a formed inside. At this time, the above-described pump connection port 14 is also in communication with the pump P through the flow path H2a.

また、このとき、ヒータＨ１、Ｈ２による加熱と同時にスリット１７、１８などによって形成される空間をポンプＰによって減圧する。これにより、図４（ｄ）に示すように、プレート３５、３６のスリット１７と重なる部分が上側に湾曲し、プレート３５のノズル形成部３６ａと重なる部分が、プレート３３に接合される。その結果、インク吐出面３ａが、ノズル形成部３６ａによって形成される部分において、インク吐出面３ａの他の部分よりも凹んだ形状となる。このとき、上述のとおり、ヒータＨ１が弾性を有しているため、プレート３５、３６が湾曲しても、ノズル１５がヒータＨ１によって塞がれた状態が維持される。 At this time, the space formed by the slits 17 and 18 and the like is reduced by the pump P simultaneously with the heating by the heaters H1 and H2. As a result, as shown in FIG. 4 (d), the portions of the plates 35 and 36 that overlap with the slits 17 are curved upward, and the portion of the plate 35 that overlaps with the nozzle forming portion 36 a is joined to the plate 33. As a result, the ink discharge surface 3a has a concave shape in the portion formed by the nozzle forming portion 36a than in other portions of the ink discharge surface 3a. At this time, since the heater H1 has elasticity as described above, the state in which the nozzle 15 is blocked by the heater H1 is maintained even if the plates 35 and 36 are curved.

これにより、流路ユニット２１が完成し、この後、流路ユニット２１の上面に圧電アクチュエータ２２を形成することにより、インクジェットヘッド３が完成する。 Thereby, the flow path unit 21 is completed, and thereafter, the piezoelectric actuator 22 is formed on the upper surface of the flow path unit 21, thereby completing the inkjet head 3.

以上に説明した第１実施形態によると、インク吐出面３ａが、ノズル形成部３６ａによって形成される部分において、他の部分よりも凹んでいる。したがって、用紙搬送ローラ４により搬送される記録用紙Ｓが曲がるなどしたときに、記録用紙Ｓが、インク吐出面３ａのノズル１５周辺の部分に接触してしまうのを防止することができる。 According to the first embodiment described above, the ink discharge surface 3a is recessed in the portion formed by the nozzle forming portion 36a than in other portions. Therefore, when the recording sheet S conveyed by the sheet conveying roller 4 is bent, the recording sheet S can be prevented from coming into contact with the portion around the nozzle 15 of the ink ejection surface 3a.

また、ノズルプレート３６と接合されたプレート３５の、ノズル形成部３６ａと重なる部分以外の部分をプレート３５のすぐ上側に配置されたプレート３４に接合し、プレート３５のノズル形成部３６ａと重なる部分を、スリット１７を通してプレート３４の上側に配置されたプレート３３に接合すれば、ノズル形成部３６ａが他の部分よりもプレート３５側にくるように湾曲する。したがって、インク吐出面３ａが、ノズル形成部３６ａによって形成される部分において、他の部分よりも凹んだインクジェットヘッドを簡単に製造することができる。 Further, the portion of the plate 35 joined to the nozzle plate 36 other than the portion overlapping the nozzle forming portion 36a is joined to the plate 34 disposed immediately above the plate 35, and the portion of the plate 35 overlapping the nozzle forming portion 36a is joined. If it joins to the plate 33 arrange | positioned above the plate 34 through the slit 17, it will curve so that the nozzle formation part 36a may come to the plate 35 side rather than another part. Therefore, it is possible to easily manufacture an ink jet head in which the ink discharge surface 3a is recessed in the portion formed by the nozzle forming portion 36a than in other portions.

さらに、第１実施形態では、プレート３５が、ノズル形成部３６ａと重なる部分以外の部分においてプレート３４に接合され、ノズル形成部３６ａと重なる部分においてプレート３３に接合されているため、インク吐出面３ａは、確実に、ノズル形成部３６ａによって形成される部分が、プレート３４の厚みに対応する高さだけ他の部分よりも凹んだものとなる。したがって、ノズル１５の高さ方向に関する位置精度を高くすることができる。 Furthermore, in the first embodiment, since the plate 35 is joined to the plate 34 at a portion other than the portion overlapping the nozzle forming portion 36a and is joined to the plate 33 at the portion overlapping the nozzle forming portion 36a, the ink discharge surface 3a. The portion formed by the nozzle forming portion 36 a is surely recessed from the other portions by a height corresponding to the thickness of the plate 34. Accordingly, the positional accuracy of the nozzle 15 in the height direction can be increased.

このとき、スリット１７、１８などによって形成される空間を減圧することによって、ノズル形成部３６ａを貫通孔１３ａ側に湾曲させることができる。さらに、このとき、ノズルプレート３６が合成樹脂材料からなるものであるため、ノズルプレート３６を湾曲させやすい。加えて、このとき、プレート３５のノズル形成部３６ａと重なる部分の走査方向両側の部分に、スリット１８が形成されている。したがって、プレート３５及びプレート３５に接合されたノズルプレート３６を湾曲させやすい。 At this time, by reducing the pressure of the space formed by the slits 17 and 18 and the like, the nozzle forming portion 36a can be curved toward the through hole 13a. Further, at this time, since the nozzle plate 36 is made of a synthetic resin material, the nozzle plate 36 can be easily bent. In addition, at this time, slits 18 are formed in portions on both sides in the scanning direction of the portion overlapping the nozzle forming portion 36a of the plate 35. Therefore, the plate 35 and the nozzle plate 36 joined to the plate 35 can be easily bent.

また、第１実施形態では、ノズルプレート３６をプレート３５に接合した後に、ノズルプレート３６にノズル１５を形成している。したがって、ノズル１５を形成した後に、接合による収ノズルプレート３６の縮又は膨張がなく、ノズル１５同士の相対位置の精度を高くすることができる。 In the first embodiment, the nozzle 15 is formed on the nozzle plate 36 after the nozzle plate 36 is joined to the plate 35. Therefore, after the nozzle 15 is formed, there is no contraction or expansion of the collecting nozzle plate 36 due to bonding, and the accuracy of the relative position between the nozzles 15 can be increased.

さらに、第１実施形態では、ノズルプレート３６にノズル１５を形成する前に、ノズルプレート３６のインク吐出面３ａに撥水膜１９を形成している。そのため、ノズル１５の内面に撥水膜１９が形成されてしまうことがない。 Further, in the first embodiment, the water repellent film 19 is formed on the ink ejection surface 3 a of the nozzle plate 36 before the nozzle 15 is formed on the nozzle plate 36. Therefore, the water repellent film 19 is not formed on the inner surface of the nozzle 15.

また、第１実施形態では、流路ユニット２１にスリット１７、１８の上下の開口が塞がれることによって、大気連通しない空間２０が形成されている。そして、ワイパ５によりインク吐出面３ａに付着したインクなどを拭き取る際に、空間２０が増圧されることにより、ノズルプレート３６の変形部３６ｂが空間２０と反対側に凸となるように湾曲している。この状態では、インク吐出面３ａの凹んだ部分とそれ以外の部分との境界が滑らかにつながっている。したがって、ワイパ５はインク吐出面３ａに沿って滑らかに移動することができ、インク吐出面３ａに付着したインクなどを確実に除去することができる。 In the first embodiment, the upper and lower openings of the slits 17 and 18 are blocked by the flow path unit 21, thereby forming a space 20 that does not communicate with the atmosphere. When the wiper 5 wipes ink or the like adhering to the ink ejection surface 3a, the space 20 is increased in pressure, so that the deformed portion 36b of the nozzle plate 36 is curved so as to protrude to the opposite side of the space 20. ing. In this state, the boundary between the recessed portion of the ink ejection surface 3a and the other portion is smoothly connected. Therefore, the wiper 5 can move smoothly along the ink discharge surface 3a, and the ink and the like attached to the ink discharge surface 3a can be reliably removed.

一方、ワイパ５によりインク吐出面３ａに付着したインクなどを拭き取るとき以外のときには、空間２０が減圧されることにより、変形部３６ｂが空間２０側に凸となるように湾曲している。この状態では、インク吐出面３ａの凹んだ部分とそれ以外の部分との境界が滑らかにつながっていない。したがって、まがった記録用紙Ｓが上記境界部分にきたときにノズル１５に向かって案内されにくく、記録用紙Ｓがインク吐出面３ａのノズル１５周辺の部分に接触してしまうのをより確実に防止することができる。 On the other hand, when the wiper 5 is not used for wiping off ink adhering to the ink ejection surface 3a, the space 20 is depressurized so that the deformed portion 36b is curved so as to protrude toward the space 20 side. In this state, the boundary between the recessed portion of the ink discharge surface 3a and the other portion is not smoothly connected. Therefore, the curled recording paper S is less likely to be guided toward the nozzle 15 when it reaches the boundary portion, and the recording paper S is more reliably prevented from coming into contact with the portion around the nozzle 15 on the ink ejection surface 3a. be able to.

なお、第１実施形態では、インクジェットヘッド３が本発明に係る液体吐出装置に相当する。また、プレート３１〜３５を合わせたものが本発明に係る流路形成体に相当する。さらに、このうち、プレート３５が本発明に係る第１流路形成体に相当し、プレート３１〜３４を合わせたものが本発明に係る第２流路形成体に相当する。また、プレート３４のスリット１７の上端の開口がプレート３３で塞がれることによって形成される凹部が、本発明に係る凹部に相当する。また、ポンプ７が、本発明に係る圧力変更手段に相当する。 In the first embodiment, the inkjet head 3 corresponds to the liquid ejection apparatus according to the present invention. A combination of the plates 31 to 35 corresponds to the flow path forming body according to the present invention. Further, among these, the plate 35 corresponds to the first flow path forming body according to the present invention, and the combination of the plates 31 to 34 corresponds to the second flow path forming body according to the present invention. Moreover, the recessed part formed when the opening of the upper end of the slit 17 of the plate 34 is block | closed with the plate 33 corresponds to the recessed part which concerns on this invention. The pump 7 corresponds to the pressure changing means according to the present invention.

また、図４（ａ）に示す、ノズルプレート３６とプレート３５とを接合する工程と、図４（ｃ）、（ｄ）に示す、プレート３１〜３４とプレート３５、３６との積層体とを接合する工程とを合わせたものが、本発明に係るノズル形成工程に相当する。また、図４（ｂ）に示すノズルを形成する工程が、本発明に係るノズル形成工程に相当する。 Moreover, the process of joining the nozzle plate 36 and the plate 35 shown in FIG. 4A and the laminate of the plates 31 to 34 and the plates 35 and 36 shown in FIGS. A combination of the joining steps corresponds to the nozzle forming step according to the present invention. Moreover, the process of forming the nozzle shown in FIG. 4B corresponds to the nozzle forming process according to the present invention.

［第２実施形態］
次に、本発明の好適な第２実施形態について説明する。ただし、第２実施形態は、第１実施形態と一部が異なっているだけであるので、以下では、主に第１実施形態と異なる部分について説明する。 [Second Embodiment]
Next, a preferred second embodiment of the present invention will be described. However, since the second embodiment is only partially different from the first embodiment, the following description will mainly focus on the differences from the first embodiment.

第２実施形態に係るインクジェットヘッド１０３には、図５に示すように、プレート３３とノズルプレート３６との間に、プレート３４、３５（図３参照）に代わって、プレート１１１が積層されている。プレート１１１には、貫通孔１３ｂと重なる部分に略円形の貫通孔１３ｄが形成されている。また、第２実施形態では、貫通孔１３ａ、１３ｂ、１３ｄは、ノズル１５や、第１実施形態における貫通孔１３ａ〜１３ｃよりも径が大きく、平面視でノズル１５を取り囲む領域まで延びている。また、ノズルプレート３６のノズル形成部３６ａが上側に湾曲して、貫通孔１３ｄ内に入り込んでいる。これにより、インク吐出面３ａのノズル形成部３６ａによって形成される部分が、インク吐出面３ａの他の部分よりもプレート１１１側に凹んでいる。 In the inkjet head 103 according to the second embodiment, as shown in FIG. 5, a plate 111 is laminated between the plate 33 and the nozzle plate 36 instead of the plates 34 and 35 (see FIG. 3). . In the plate 111, a substantially circular through hole 13d is formed in a portion overlapping the through hole 13b. In the second embodiment, the through holes 13a, 13b, and 13d are larger in diameter than the nozzle 15 and the through holes 13a to 13c in the first embodiment, and extend to a region surrounding the nozzle 15 in plan view. Further, the nozzle forming portion 36a of the nozzle plate 36 is curved upward and enters the through hole 13d. Thereby, the part formed by the nozzle formation part 36a of the ink discharge surface 3a is dented in the plate 111 side rather than the other part of the ink discharge surface 3a.

次に、インクジェットヘッド１０３の製造方法について説明する。インクジェットヘッド１０３を製造するためには、プレート１１１に例えばエッチングによりインク流路となる貫通孔等を形成するとともに、ノズル１５が形成される前のノズルプレート３６のインク吐出面３ａに撥水膜１９が形成しておく。そして、図６（ａ）に示すように、プレート１１１とノズルプレート３６とを互いの接合面に接着剤を塗布したうえで積層させる。 Next, a method for manufacturing the inkjet head 103 will be described. In order to manufacture the ink jet head 103, for example, a through hole or the like serving as an ink flow path is formed in the plate 111 by etching, and the water repellent film 19 is formed on the ink ejection surface 3a of the nozzle plate 36 before the nozzle 15 is formed. Formed. Then, as shown in FIG. 6A, the plate 111 and the nozzle plate 36 are laminated after an adhesive is applied to the joint surfaces thereof.

次に、プレート１１１とプレート３６の積層体を、ヒータＨ１、Ｈ２により上下から挟んで加熱することにより、これらを互いに接合させる。また、このとき、ポンプＰにより、流路ユニット２１内に形成されるインク流路を減圧する。これにより、図６（ｂ）に示すように、ノズルプレート３６のノズル形成部３６ａが、貫通孔１３ｄ側に湾曲した状態で、プレート１１１とノズルプレート３６とが互いに接合される。 Next, the laminated body of the plate 111 and the plate 36 is heated by being sandwiched from above and below by the heaters H1 and H2, thereby joining them together. At this time, the ink flow path formed in the flow path unit 21 is decompressed by the pump P. As a result, as shown in FIG. 6B, the plate 111 and the nozzle plate 36 are joined together with the nozzle forming portion 36a of the nozzle plate 36 curved toward the through hole 13d.

次に、図６（ｃ）に示すように、ノズルプレート３６のノズル形成部３６ａに、レーザ加工により、貫通孔１３ｄを通して上方からノズル１５を形成する。そして、この後、図６（ｄ）に示すように、プレート１１１の上面に、エッチングによりインク流路となる貫通孔などを形成したプレート３１〜３３を接合することによって流路ユニット２１が完成する。さらに、この後、流路ユニット２１の上面に圧電アクチュエータ２２を形成することにより、図５に示すインクジェットヘッド１０３が完成する。 Next, as shown in FIG. 6C, the nozzle 15 is formed from above through the through-hole 13d in the nozzle forming portion 36a of the nozzle plate 36 by laser processing. Thereafter, as shown in FIG. 6D, the flow path unit 21 is completed by joining the plates 31 to 33 formed with through holes or the like to be ink flow paths by etching on the upper surface of the plate 111. . Further, after that, the piezoelectric actuator 22 is formed on the upper surface of the flow path unit 21, thereby completing the ink jet head 103 shown in FIG.

以上に説明した第２実施形態においても、第１実施形態と同様、記録用紙Ｓがインク吐出面３ａのノズル１５周辺の部分に接触してしまうのを防止することができる。 Also in the second embodiment described above, similarly to the first embodiment, it is possible to prevent the recording paper S from coming into contact with the portion around the nozzle 15 on the ink ejection surface 3a.

また、第２実施形態では、ノズル形成部３６ａをプレート１１１側に湾曲させて貫通孔１３ｃ内に入り込ませた状態で、ノズルプレート３６をプレート１１１に接合している。これにより、インク吐出面３ａが、ノズル形成部３６ａによって形成される部分において、他の部分よりも凹んだインクジェットヘッドを簡単に製造することができる。 In the second embodiment, the nozzle plate 36 is joined to the plate 111 in a state in which the nozzle forming portion 36a is curved toward the plate 111 and enters the through hole 13c. Thereby, an ink jet head in which the ink discharge surface 3a is recessed in the portion formed by the nozzle forming portion 36a than in other portions can be easily manufactured.

また、このとき、流路ユニット２１内に形成されるインク流路を減圧することによって、簡単に、ノズル形成部３６ａを貫通孔１３ｄ側に湾曲させることができる。また、このとき、ノズルプレート３６が合成樹脂材料からなるものであるため、ノズルプレート３６を湾曲させやすい。 At this time, by reducing the pressure of the ink flow path formed in the flow path unit 21, the nozzle forming portion 36a can be easily curved toward the through hole 13d. At this time, since the nozzle plate 36 is made of a synthetic resin material, the nozzle plate 36 can be easily bent.

また、第２実施形態では、ノズルプレート３６をプレート１１１に接合した後に、ノズルプレート３６にノズル１５を形成しているため、第１実施形態と同様、ノズル１５同士の相対位置の精度を高くすることができる。 In the second embodiment, since the nozzle 15 is formed on the nozzle plate 36 after the nozzle plate 36 is joined to the plate 111, the accuracy of the relative positions of the nozzles 15 is increased as in the first embodiment. be able to.

また、第２実施形態でも、ノズル１５の形成前に、インク吐出面３ａに撥水膜１９を形成しているため、ノズル１５の内面に撥水膜１９が形成されてしまうことがない。 Also in the second embodiment, the water repellent film 19 is not formed on the inner surface of the nozzle 15 because the water repellent film 19 is formed on the ink ejection surface 3 a before the nozzle 15 is formed.

なお、第２実施形態では、インクジェットヘッド１０３が本発明に係る液体吐出装置に相当する。また、プレート３１〜３３、１１１を合わせたものが、本発明に係る流路形成体に相当する。また、貫通孔１３ｃが本発明に係る開口部に相当する。 In the second embodiment, the inkjet head 103 corresponds to the liquid ejection apparatus according to the present invention. A combination of the plates 31 to 33 and 111 corresponds to the flow path forming body according to the present invention. The through hole 13c corresponds to the opening according to the present invention.

［第３実施形態］
次に、本発明の好適な第３実施形態について説明する。ただし、第３実施形態は、第１、第２実施形態と一部が異なっているだけであるので、以下では、主に第１、第２実施形態と異なる部分について説明する。 [Third Embodiment]
Next, a preferred third embodiment of the present invention will be described. However, since the third embodiment is only partially different from the first and second embodiments, the following description will mainly focus on the differences from the first and second embodiments.

第３実施形態に係るインクジェット２０３では、図７に示すように、プレート３３とノズルプレート３６との間に、プレート３４、３５（図３参照）に代わって、これらよりも厚みの大きいプレート２１１が配置されている。プレート２１１の略上半分には、貫通孔１３ｂと重なる部分に、平面視で略円形の流路形成孔２１２が形成されている。流路形成孔２１２は、プレート２１１の上面に開口を有しており、プレート２１１の厚み方向に延びている。また、プレート２１１の略下半分には、流路形成孔２１２のすぐ下方に位置する部分に、溝２１３が形成されている。溝２１３は、その上端において流路形成孔２１２と接続されているとともに、プレート２１１の下面に開口を有している。また、溝２１３は、流路形成孔２１２よりも走査方向に関する長さが長く、１つの圧力室列９に対応する複数の流路形成孔２１２にまたがるように紙送り方向に延びている。これにより、溝２１３は、平面視で流路形成孔２１２を取り囲んでいる。 In the inkjet 203 according to the third embodiment, as shown in FIG. 7, a plate 211 having a larger thickness than these plates 34 and 35 (see FIG. 3) is provided between the plate 33 and the nozzle plate 36. Has been placed. In a substantially upper half of the plate 211, a substantially circular flow path forming hole 212 is formed in a portion overlapping the through hole 13b in plan view. The flow path forming hole 212 has an opening on the upper surface of the plate 211, and extends in the thickness direction of the plate 211. A groove 213 is formed in a substantially lower half of the plate 211 at a portion located immediately below the flow path forming hole 212. The groove 213 is connected to the flow path forming hole 212 at the upper end thereof, and has an opening on the lower surface of the plate 211. The groove 213 is longer in the scanning direction than the flow path forming hole 212 and extends in the paper feed direction so as to straddle a plurality of flow path forming holes 212 corresponding to one pressure chamber row 9. Thereby, the groove 213 surrounds the flow path forming hole 212 in a plan view.

ノズルプレート３６は、流路形成孔２１２及び溝２１３と重なるノズル形成部３６ａにおいてプレート２１１側に湾曲している。これにより、インク吐出面３ａは、ノズル形成部３６ａによって形成される部分において、他の部分よりもプレート２１１側に凹んでいる。また、ノズル形成部３６ａは、溝２１３の流路形成孔２１２よりも外側の部分の上端に形成される壁面２１３ａに接合されている。 The nozzle plate 36 is curved toward the plate 211 side at a nozzle forming portion 36 a that overlaps the flow path forming hole 212 and the groove 213. Thereby, the ink discharge surface 3a is recessed in the part formed by the nozzle formation part 36a at the plate 211 side rather than another part. Further, the nozzle forming portion 36 a is joined to a wall surface 213 a formed at the upper end of a portion outside the flow path forming hole 212 of the groove 213.

次に、インクジェットヘッド２０３の製造方法について説明する。インクジェットヘッド２０３を製造するためには、まず、プレート２１１に、上下両側からそれぞれハーフエッチングを行うことにより、流路形成孔２１２及び溝２１３を形成する。また、これと並行して、ノズル１５が形成される前のノズルプレート３６のインク吐出面３ａに撥水膜１９を形成する。そして、図８（ａ）に示すように、ノズルプレート３６とプレート２１１とを、互いの接着面に接着剤を塗布した上で積層させ、ヒータＨ１、Ｈ２によってこれらの積層体を上下から挟んで加熱することにより接合する。この段階では、まだポンプＰを駆動させておらず、ノズルプレート３６は、ノズル形成部３６ａを含む、溝２１３と対向する部分以外の部分において、プレート２１１に接合される。 Next, a method for manufacturing the inkjet head 203 will be described. In order to manufacture the inkjet head 203, first, the flow path forming hole 212 and the groove 213 are formed on the plate 211 by half-etching from both the upper and lower sides. In parallel with this, the water repellent film 19 is formed on the ink ejection surface 3a of the nozzle plate 36 before the nozzle 15 is formed. Then, as shown in FIG. 8A, the nozzle plate 36 and the plate 211 are laminated after the adhesive is applied to the mutual adhesive surfaces, and these laminated bodies are sandwiched from above and below by the heaters H1 and H2. Joining by heating. At this stage, the pump P has not been driven yet, and the nozzle plate 36 is joined to the plate 211 at a portion other than the portion facing the groove 213 including the nozzle forming portion 36a.

続いて、ノズルプレート３６の溝２１３と対向する部分がプレート２１１に接合された後、ポンプＰにより、溝２１３内のインク流路を減圧する。すると、図８（ｂ）に示すように、ノズルプレート３６は、ノズル形成部３６ａを含む、溝２１３と対向する部分が、プレート２１１側に湾曲して溝２１３内に入り込み、溝２１３の壁面２１３ａに接合される。 Subsequently, after the portion of the nozzle plate 36 facing the groove 213 is joined to the plate 211, the ink flow path in the groove 213 is decompressed by the pump P. Then, as shown in FIG. 8B, the nozzle plate 36 includes a nozzle forming portion 36 a and a portion facing the groove 213 is curved toward the plate 211 side and enters the groove 213, and the wall surface 213 a of the groove 213. To be joined.

そして、ノズルプレート３６とプレート２１１との接合が完了した後、ノズルプレート３６のノズル形成部３６ａに、レーザ加工により、図８（ｃ）に示すように、流路形成孔２１２を通して上方からノズル１５を形成する。 After the joining of the nozzle plate 36 and the plate 211 is completed, the nozzle 15 is formed on the nozzle forming portion 36a of the nozzle plate 36 from above through the flow path forming hole 212 as shown in FIG. 8C by laser processing. Form.

そして、この後、図８（ｄ）に示すように、プレート１１１の上面に、エッチングによりインク流路となる貫通孔などを形成したプレート３１〜３３を接合することによって流路ユニット２１が完成する。さらに、この後、流路ユニット２１の上面に圧電アクチュエータ２２を形成することにより、図７に示すインクジェットヘッド２０３が完成する。 Then, as shown in FIG. 8D, the flow path unit 21 is completed by joining the plates 31 to 33 formed with through holes or the like that become ink flow paths by etching on the upper surface of the plate 111. . Thereafter, the piezoelectric actuator 22 is formed on the upper surface of the flow path unit 21 to complete the ink jet head 203 shown in FIG.

以上に説明した第３実施形態においても、第１、第２実施形態と同様、記録用紙Ｓがインク吐出面３ａのノズル１５周辺の部分に接触してしまうのを防止することができる。 Also in the third embodiment described above, as in the first and second embodiments, it is possible to prevent the recording paper S from coming into contact with the portion around the nozzle 15 on the ink ejection surface 3a.

また、第３実施形態では、ノズル形成部３６ａをプレート２１１側に湾曲させて溝２１３内に入り込ませている。これにより、インク吐出面３ａが、ノズル形成部３６ａによって形成される部分において、他の部分よりも凹んだインクジェットヘッドを簡単に製造することができる。また、このとき、ノズルプレート３６が合成樹脂材料からなるものであるので、ノズルプレート３６を湾曲させやすい。 In the third embodiment, the nozzle forming portion 36 a is curved toward the plate 211 side so as to enter the groove 213. Thereby, an ink jet head in which the ink discharge surface 3a is recessed in the portion formed by the nozzle forming portion 36a than in other portions can be easily manufactured. At this time, since the nozzle plate 36 is made of a synthetic resin material, the nozzle plate 36 can be easily bent.

また、第３実施形態では、プレート２１１側に湾曲させたノズル形成部３６ａをプレート２１１に形成された溝２１３の壁面２１３ａに接合しているため、湾曲したノズル形成部３６ａがその後変形してしまうのを防止することができる。 In the third embodiment, since the nozzle forming portion 36a curved toward the plate 211 is joined to the wall surface 213a of the groove 213 formed in the plate 211, the curved nozzle forming portion 36a is subsequently deformed. Can be prevented.

また、上述の第２実施形態では、貫通孔１３ｃ内でノズル形成部３６ａを湾曲させるため、ノズル形成部３６ａを十分に湾曲させるためには、貫通孔１３ｃをある程度大きな径を有するものとする必要がある。一方で、貫通孔１３ｃは、インク流路を形成するものでもある。そのため、貫通孔１３ｃの径を大きくすると、ノズル１５からインクを吐出させるのに必要なインクジェットヘッド１０３の駆動電位が高くなってしまう虞がある。また、ノズル１５からのインクの吐出特性にばらつきが発生しやすくなる。 In the second embodiment described above, since the nozzle forming portion 36a is curved in the through hole 13c, the through hole 13c needs to have a certain large diameter in order to sufficiently curve the nozzle forming portion 36a. There is. On the other hand, the through hole 13c also forms an ink flow path. For this reason, when the diameter of the through hole 13c is increased, the drive potential of the ink jet head 103 necessary for ejecting ink from the nozzle 15 may be increased. Also, variations in ink ejection characteristics from the nozzles 15 are likely to occur.

これに対して、第３実施形態では、プレート２１１に流路形成孔２１２を取り囲む領域まで延びた溝２１３が形成されているため、溝２１３内でノズル形成部３６ａを十分に湾曲させることができる。一方で、インク流路を形成する流路形成孔２１２の走査方向及び紙送り方向に関する長さを、ノズル形成部３６ａを十分に変形させるのに必要な大きさの溝２１３よりも小さくすることができる。したがって、ノズル１５からインクを吐出させるのに必要なインクジェットヘッド２０３の駆動電位を低くすることができる。また、ノズル１５からの液体の吐出特性にばらつきが発生しにくくなる。 On the other hand, in the third embodiment, since the groove 213 extending to the region surrounding the flow path forming hole 212 is formed in the plate 211, the nozzle forming portion 36a can be sufficiently curved in the groove 213. . On the other hand, the length of the flow path forming hole 212 that forms the ink flow path in the scanning direction and the paper feeding direction may be made smaller than the groove 213 that is large enough to deform the nozzle forming portion 36a sufficiently. it can. Therefore, the drive potential of the inkjet head 203 necessary for discharging ink from the nozzle 15 can be lowered. In addition, the liquid discharge characteristics from the nozzle 15 are less likely to vary.

また、第３実施形態では、ノズルプレート３６とプレート２１１とを接合した後に、レーザ加工によりノズルプレート３６にノズル１５を形成する。このとき、プレート２１１の略上半分にレーザが通過する流路形成孔２１２が形成されているため、流路形成孔２１２の深さは、プレート２１１の厚み方向全体にわたって延びた貫通孔が形成されている場合の貫通孔の深さと比べて浅い。したがって、入射角の大きいレーザ光を用いてノズル１５を形成することができ、ノズル１５をテーパ角の大きいものとすることができる。そして、ノズル１５のテーパ角が大きい場合には、ノズル１５の流路抵抗が小さくなり、小さいエネルギーでノズル１５からインクを吐出させることができる。 In the third embodiment, after the nozzle plate 36 and the plate 211 are joined, the nozzle 15 is formed on the nozzle plate 36 by laser processing. At this time, since the flow path forming hole 212 through which the laser passes is formed in substantially the upper half of the plate 211, the depth of the flow path forming hole 212 is formed as a through hole extending over the entire thickness direction of the plate 211. It is shallow compared to the depth of the through hole. Therefore, the nozzle 15 can be formed using laser light having a large incident angle, and the nozzle 15 can have a large taper angle. When the taper angle of the nozzle 15 is large, the flow path resistance of the nozzle 15 becomes small, and ink can be ejected from the nozzle 15 with small energy.

さらに、第３実施形態でも、ノズル１５を形成する前に、インク吐出面３ａに撥水膜１９を形成しているため、ノズル１５の内面に撥水膜１９が形成されてしまうことがない。 Further, in the third embodiment, the water repellent film 19 is not formed on the inner surface of the nozzle 15 because the water repellent film 19 is formed on the ink ejection surface 3 a before the nozzle 15 is formed.

なお、第３実施形態では、インクジェットヘッド２０３が本発明に係る液体吐出装置に相当する。また、プレート３１〜３３、２１１を合わせたものが、本発明に係る流路形成体に相当し、このうち、プレート２１１が、本発明に係る接合プレートに相当する。また、流路形成孔２１２が本発明に係る流路形成部に相当し、溝２１３のうち、各流路形成孔２１２と重なる部分及びその周辺部分を合わせた部分が、それぞれ、本発明に係る接続部に相当し、各接続部とこれに対応する流路形成孔２１２とを合わせたものが、それぞれ、本発明に係る開口部に相当する。 In the third embodiment, the inkjet head 203 corresponds to the liquid ejection device according to the present invention. A combination of the plates 31 to 33 and 211 corresponds to the flow path forming body according to the present invention, and among these, the plate 211 corresponds to the joining plate according to the present invention. Further, the flow path forming hole 212 corresponds to a flow path forming portion according to the present invention, and a portion of the groove 213 that overlaps each flow path forming hole 212 and its peripheral portion is related to the present invention. Each of the connecting portions and the flow path forming hole 212 corresponding to each connecting portion corresponds to the connecting portion and corresponds to the opening according to the present invention.

次に、第１〜第３実施形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。ただし、第１〜第３実施形態と同様の構成については、適宜その説明を省略する。 Next, modified examples in which various changes are made to the first to third embodiments will be described. However, the description of the same configuration as in the first to third embodiments is omitted as appropriate.

第１〜第３実施形態では、インク吐出面３ａに撥水膜１９を形成した後に、ノズルプレート３６にノズル１５を形成したが、これには限られない。ノズルプレート３６にノズル１５を形成した後に、インク吐出面３ａに撥水膜１９を形成してもよい。 In the first to third embodiments, the nozzle 15 is formed on the nozzle plate 36 after the water repellent film 19 is formed on the ink ejection surface 3a. However, the present invention is not limited to this. After forming the nozzle 15 on the nozzle plate 36, the water repellent film 19 may be formed on the ink ejection surface 3a.

また、第１〜第３実施形態では、インク流路を減圧することによって、ノズルプレート３６のノズル形成部３６ａを湾曲させたが、これには限られない。例えば、インク吐出面３ａに、ノズル形成部３６ａと対向する部分がインク吐出面３ａ側に突出したヒータを押し当てることによって、ノズル形成部３６ａを湾曲させるなどしてもよい。 In the first to third embodiments, the nozzle forming portion 36a of the nozzle plate 36 is curved by reducing the pressure of the ink flow path. However, the present invention is not limited to this. For example, the nozzle forming portion 36a may be curved by pressing a heater whose portion facing the nozzle forming portion 36a protrudes toward the ink discharging surface 3a against the ink discharging surface 3a.

また、第１〜第３実施形態では、ノズルプレート３６が合成樹脂によって構成されていたが、これには限られない。ノズルプレート３６は、湾曲させやすいものであれば、金属など合成樹脂以外の材料によって構成されたものであってもよい。 Moreover, in 1st-3rd embodiment, although the nozzle plate 36 was comprised with the synthetic resin, it is not restricted to this. The nozzle plate 36 may be made of a material other than synthetic resin, such as metal, as long as it can be easily bent.

また、第１、第２実施形態では、他のプレートとの接合後にノズルプレート３６にノズル１５を形成していたが、これには限られない。ノズルプレート３６にノズル１５を形成してから、ノズルプレート３６と他のプレートとの接合を行ってもよい。 In the first and second embodiments, the nozzle 15 is formed on the nozzle plate 36 after joining with another plate, but the present invention is not limited to this. After the nozzle 15 is formed on the nozzle plate 36, the nozzle plate 36 may be joined to another plate.

また、第１〜第３実施形態では、ノズルプレート３６と、流路ユニットを形成する１枚のプレートとを接合した後、これらの積層体に、流路ユニット２１を形成する残りのプレートを接合したが、これには限られない。例えば、流路ユニットを形成する全てのプレートを一度に接合してもよい。 In the first to third embodiments, after joining the nozzle plate 36 and one plate forming the flow path unit, the remaining plates forming the flow path unit 21 are bonded to these laminates. However, it is not limited to this. For example, all the plates forming the flow path unit may be joined at a time.

また、第１実施形態では、スリット１７が形成されたプレート３４の上面にスリット１７の上端の開口を塞ぐプレート３３が配置されていることにより、プレート３５のノズル形成部３６ａと重なる部分が接合される凹部が形成されていたが、これには限られない。プレート３３、３４の代わりに、下面に凹部が形成された部材が設けられていてもよい。 In the first embodiment, the plate 33 that closes the opening at the upper end of the slit 17 is disposed on the upper surface of the plate 34 on which the slit 17 is formed, so that the portion of the plate 35 that overlaps the nozzle forming portion 36a is joined. However, the present invention is not limited to this. Instead of the plates 33 and 34, a member having a recess formed on the lower surface may be provided.

また、第１実施形態では、スリット１７、１８の上下の開口が塞がれることによって形成された空間２０の圧力を変更することにより、ノズルプレート３６の変形部３６ｂを変形させることができるようになっていたが、これには限られない。空間２０は、大気連通しているなど圧力を変更することができないものであってもよい。 In the first embodiment, the deformed portion 36b of the nozzle plate 36 can be deformed by changing the pressure in the space 20 formed by closing the upper and lower openings of the slits 17 and 18. However, it is not limited to this. The space 20 may not be able to change the pressure, such as being in air communication.

さらに、この場合には、プレート３５にスリット１８が形成されていなくてもよい。ただし、スリット１８が形成されていないと、第１実施形態の場合に比べて、プレート３５を変形させにくくはなる。 Further, in this case, the slit 18 may not be formed in the plate 35. However, if the slit 18 is not formed, it is difficult to deform the plate 35 compared to the case of the first embodiment.

また、以上では、ノズルからインクを吐出するインクジェットヘッド及びその製造に本発明を適用した例について説明したが、これには限られない。ノズルからインク以外の液体を吐出するインクジェットヘッド以外の液体吐出装置及びその製造に本発明を適用することも可能である。 Moreover, although the example which applied this invention to the inkjet head which discharges an ink from a nozzle, and its manufacture was demonstrated above, it is not restricted to this. The present invention can also be applied to a liquid ejecting apparatus other than an ink jet head that ejects liquid other than ink from nozzles and the manufacture thereof.

３、１０３、２０３インクジェットヘッド
１３ａ〜１３ｃ貫通孔
１５ノズル
１７、１８スリット
１９撥水膜
２１流路ユニット
３１〜３５プレート
３６ノズルプレート
３６ａノズル形成部
１１１、２１１プレート
２１２流路形成孔
２１３溝 3, 103, 203 Inkjet head 13a-13c Through hole 15 Nozzle 17, 18 Slit 19 Water repellent film 21 Channel unit 31-35 Plate 36 Nozzle plate 36a Nozzle formation part 111, 211 Plate 212 Channel formation hole 213 Groove

Claims

A flow path unit having a nozzle plate in which nozzles are formed, and a flow path forming body which is laminated with the nozzle plate and in which a liquid flow path communicating with the nozzles is formed.
The flow path forming body is
A first flow path forming body joined to the nozzle plate;
A second flow path forming body joined to a surface of the first flow path forming body opposite to the nozzle plate;
A joining step of laminating and joining the nozzle plate, the first flow path forming body, and the second flow path forming body,
The second flow path forming body further includes a portion where the nozzle of the nozzle plate is formed with respect to the stacking direction of the nozzle plate and the flow path forming body on the joint surface with the first flow path forming body. A concave portion is formed in a portion overlapping the nozzle forming portion,
In the bonding step, a portion of the first flow path forming body that overlaps the nozzle forming portion in the stacking direction is bonded to a portion of the bonding surface where the concave portion is formed to form the first flow path. By joining the other part of the body to a part of the joining surface other than the part where the recess is formed, the nozzle plate is closer to the flow path forming body than the other part in the nozzle forming part. Manufacturing a liquid ejection device curved to be positioned ; and
In the joining step, the nozzle plate is curved so that the nozzle forming portion is closer to the flow path forming body than other portions by reducing the pressure in the concave portion. Method.

The first flow path forming body is further formed with a slit penetrating the first flow path forming body in the stacking direction at a portion immediately outside the portion to be joined to the nozzle forming portion. The method of manufacturing a liquid ejection device according to claim 1.

Manufacture of a liquid discharge apparatus comprising a flow path unit having a nozzle plate in which nozzles are formed and a flow path forming body which is laminated with the nozzle plate and in which a liquid flow path communicating with the nozzles is formed. A method,
The flow path forming body further overlaps a nozzle forming portion of the nozzle plate where the nozzle is formed, with respect to the stacking direction of the nozzle plate and the flow path forming body. An opening extending to a region surrounding the entire circumference of the nozzle as viewed from the laminating direction, having an opening on a joint surface with the nozzle plate, at least a part of which is a portion connected to the nozzle of the liquid flow path all SANYO which parts are formed, and, be those containing a bonding plate is bonded to the nozzle plate,
A joining step of joining the nozzle plate and the flow path forming body,
In the joining step, the nozzle plate is joined to the joining surface in a state where the nozzle forming part is curved toward the opening, so that the nozzle plate is more than the other part in the nozzle forming part. Producing a liquid ejection device curved so as to be located on the flow path forming body side ,
Before the bonding step, by performing half etching on both sides of the bonding plate, as the opening,
A flow path forming portion that has an opening on a surface of the joining plate opposite to the nozzle plate, and that forms a portion connected to the nozzle of the liquid flow path;
A region having an opening on the surface of the joining plate on the nozzle plate side and connected to the flow path forming portion on the opposite side of the opening and surrounding the entire circumference of the flow path forming portion as viewed from the stacking direction And further comprising an opening forming step of forming the opening having a connection portion extending to
In the bonding step, the nozzle forming portion curved toward the opening is bonded to the wall surface of the connection portion .

Manufacture of a liquid discharge apparatus comprising a flow path unit having a nozzle plate in which nozzles are formed and a flow path forming body which is laminated with the nozzle plate and in which a liquid flow path communicating with the nozzles is formed. A method,
The flow path forming body further overlaps a nozzle forming portion of the nozzle plate where the nozzle is formed, with respect to the stacking direction of the nozzle plate and the flow path forming body. An opening extending to a region surrounding the entire circumference of the nozzle as viewed from the laminating direction, having an opening on a joint surface with the nozzle plate, at least a part of which is a portion connected to the nozzle of the liquid flow path Part is formed,
A joining step of joining the nozzle plate and the flow path forming body,
In the joining step, the nozzle plate is joined to the joining surface in a state where the nozzle forming part is curved toward the opening, so that the nozzle plate is more than the other part in the nozzle forming part. Producing a liquid ejection device curved so as to be positioned on the flow path forming body side ; and
In the bonding step, the nozzle forming portion is curved toward the opening by reducing the pressure in the opening.

In the joining step, the nozzle plate in a state before the nozzle is formed is joined to the flow path forming body,
The nozzle forming step of forming the nozzle on the nozzle plate after the nozzle plate and at least a part of the flow path forming body are joined in the joining step . 5. A method for manufacturing a liquid ejection device according to any one of 4 above.

A water repellent film forming step of forming a water repellent film on a liquid discharge surface, which is a surface opposite to the flow path forming body of the nozzle plate, is provided before the nozzle forming step. A method for manufacturing a liquid ejection device according to claim 5 .

The method for manufacturing a liquid ejection device according to claim 1 , wherein the nozzle plate is made of a synthetic resin material.