JP5785978B2 - Exhaust gas treatment equipment - Google Patents
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Description
本発明は、排ガス処理装置に関し、詳しくは、半導体,液晶,太陽光発電パネル,LEDなどの電子デバイスを成膜するデバイス製造装置から排出される水素及びアンモニアを含む排ガスを処理するための装置に関する。 The present invention relates to an exhaust gas treatment apparatus, and more particularly to an apparatus for treating exhaust gas containing hydrogen and ammonia discharged from a device manufacturing apparatus for forming an electronic device such as a semiconductor, a liquid crystal, a photovoltaic power generation panel, and an LED. .
半導体,液晶,太陽光発電パネル,LEDなどの電子デバイスを製造するプロセスからは、水素やアンモニアのように、広い濃度範囲で可燃性を有する成分を含む排ガスが排出されることがある。水素及びアンモニアを含む排ガスを処理する方法として、外部から空気を導入して排ガスに混合し、可燃性成分の濃度を爆発下限未満に希釈した後、有毒成分であるアンモニアを湿式スクラバーで吸収処理する方法が知られている(例えば、特許文献1参照。)。また、燃焼式除害装置を使用し、排ガスの流量を監視しながら水素及びアンモニアを燃焼処理する方法も知られている(例えば、特許文献2参照。)。 From the process of manufacturing electronic devices such as semiconductors, liquid crystals, photovoltaic panels, and LEDs, exhaust gases containing combustible components in a wide concentration range, such as hydrogen and ammonia, may be discharged. As a method of treating exhaust gas containing hydrogen and ammonia, air is introduced from outside and mixed into the exhaust gas, and after the concentration of combustible components is diluted below the lower explosion limit, ammonia, which is a toxic component, is absorbed by a wet scrubber. A method is known (for example, refer to Patent Document 1). In addition, a method is also known in which hydrogen and ammonia are combusted using a combustion-type abatement apparatus while monitoring the flow rate of exhaust gas (see, for example, Patent Document 2).
しかし、特許文献1に記載された方法では,外部から大量の空気を導入するため、湿式スクラバーにおける排ガスの処理量が増大し、湿式スクラバーが大型化するという問題があり、さらに、アンモニアを含むアルカリ廃水が大量に発生することから、廃液処理費用が嵩むという問題もあった。また、特許文献2に記載された方法では、排ガスの流量は監視するものの、排ガス中のアンモニア及び濃度に関する情報が無いままで運転するため,過剰な燃料量を燃焼式除害装置に供給する必要があり、ランニングコストが嵩むという問題があった。 However, in the method described in Patent Document 1, since a large amount of air is introduced from the outside, there is a problem that the processing amount of exhaust gas in the wet scrubber increases, and the wet scrubber becomes large. Since a large amount of waste water is generated, there is also a problem that waste liquid treatment costs increase. Moreover, in the method described in Patent Document 2, although the flow rate of exhaust gas is monitored, operation is performed without information on ammonia and concentration in the exhaust gas, so it is necessary to supply an excessive amount of fuel to the combustion abatement device. There was a problem that running cost increased.
そこで本発明は、水素及びアンモニアを含む排ガスを効率よく処理することができる排ガス処理装置を提供することを目的としている。 Accordingly, an object of the present invention is to provide an exhaust gas treatment apparatus that can efficiently treat exhaust gas containing hydrogen and ammonia.
上記目的を達成するため、本発明の排ガス処理装置は、水素及びアンモニアを含む排ガスを処理する排ガス処理装置において、前記排ガスの一次処理を行う第1除害装置と、該第1除害装置の後段で前記排ガスの二次処理を行う第2除害装置と、前記第1除害装置から導出した一次処理ガスの温度を測定する温度測定手段と、該温度測定手段で測定した一次処理ガスの温度があらかじめ設定した目標温度より高く設定された高温側設定温度を上回ったときに前記第1除害装置の運転温度を下げる制御を行うとともに、前記温度測定手段で測定した一次処理ガスの温度が前記目標温度より低く設定された低温側設定温度を下回ったときに前記第1除害装置の運転温度を上げる制御を行う制御手段とを備え、前記第1除害装置が燃焼式除害装置であり、前記第2除害装置が触媒酸化式除害装置であり、前記目標温度が前記触媒酸化式除害装置の処理温度であることを特徴としている。 In order to achieve the above object, an exhaust gas treatment apparatus of the present invention includes an exhaust gas treatment apparatus that treats exhaust gas containing hydrogen and ammonia, a first detoxification apparatus that performs a primary treatment of the exhaust gas, and the first detoxification apparatus. A second abatement device that performs secondary treatment of the exhaust gas at a later stage, a temperature measuring means that measures the temperature of the primary treatment gas derived from the first abatement device, and a primary treatment gas that is measured by the temperature measuring means. Control is performed to lower the operating temperature of the first abatement device when the temperature exceeds a preset high temperature set temperature higher than a preset target temperature, and the temperature of the primary processing gas measured by the temperature measuring means is and control means for performing control for increasing the operating temperature of the first abatement device when below the target temperature set lower than the low temperature side set temperature, the first abatement apparatus in combustion type abatement system Ri, the second scrubber is catalytic oxidation type abatement system is characterized in that the target temperature is the processing temperature of the catalytic oxidation type abatement system.
また、本発明の排ガス処理装置は、第1除害装置に燃焼式除害装置を用いた排ガス処理装置において、前記燃焼式除害装置は、該燃焼式除害装置に供給する燃料の供給量を調整可能な燃料供給手段と、前記燃焼式除害装置に供給する大気の供給量を調整可能な大気供給手段と、前記燃焼式除害装置に冷却水を供給する冷却水供給手段とを備え、前記制御手段は、前記温度測定手段の測定温度があらかじめ設定した第1高温側設定温度を上回ったときに前記冷却水供給手段によって燃焼式除害装置に冷却水を供給するとともに、測定温度が目標温度に低下したときに冷却水の供給を停止し、前記測定温度があらかじめ設定した第2高温側設定温度を上回ったときに前記大気供給手段によって燃焼式除害装置に供給される大気の供給量を増加させるとともに、測定温度が目標温度に低下したときに大気の供給量を増加前の供給量に戻し、前記温度測定手段で測定した温度があらかじめ設定した第1低温側設定温度を下回ったときに前記大気供給手段によって前記燃焼式除害装置に供給される大気の供給量を減少させるとともに、測定温度が目標温度に上昇したときに大気の供給量を減少前の供給量に戻し、前記温度測定手段で測定した温度があらかじめ設定した第2低温側設定温度を下回ったときに燃料供給手段によって燃焼式除害装置に供給される燃料の供給量を増加させるとともに、測定温度が目標温度に上昇したときに燃料の供給量を減少前の供給量に戻すことを特徴としている。 Moreover, the exhaust gas treatment apparatus of the present invention is an exhaust gas treatment apparatus using a combustion-type abatement apparatus as the first abatement apparatus, wherein the combustion-type abatement apparatus supplies the amount of fuel supplied to the combustion-type abatement apparatus. A fuel supply means capable of adjusting the pressure, an air supply means capable of adjusting the amount of air supplied to the combustion-type abatement apparatus, and a cooling water supply means for supplying cooling water to the combustion-type abatement apparatus. The control means supplies cooling water to the combustion-type abatement device by the cooling water supply means when the measured temperature of the temperature measuring means exceeds a preset first high temperature side set temperature, and the measured temperature is Supply of cooling water is stopped when the temperature falls to the target temperature, and when the measured temperature exceeds a preset second high temperature side set temperature, supply of air supplied to the combustion-type abatement device by the air supply means Increase the amount At the same time, when the measured temperature falls to the target temperature, the supply amount of the atmosphere is returned to the supply amount before the increase, and when the temperature measured by the temperature measurement means falls below the preset first low temperature side set temperature, the atmosphere The supply amount of the atmosphere supplied to the combustion-type abatement apparatus is reduced by the supply means, and when the measured temperature rises to the target temperature, the supply amount of the atmosphere is returned to the supply amount before the decrease, and the temperature measurement means When the measured temperature falls below the preset second low temperature side set temperature, the amount of fuel supplied to the combustion-type abatement device is increased by the fuel supply means, and the measured temperature rises to the target temperature The fuel supply amount is returned to the supply amount before the decrease.
さらに、本発明の排ガス処理装置は、水素及びアンモニアを含む排ガスを処理する排ガス処理装置において、前記排ガスの一次処理を行う第1除害装置と、該第1除害装置の後段で前記排ガスの二次処理を行う第2除害装置と、前記第1除害装置から導出した一次処理ガスの温度を測定する温度測定手段と、該温度測定手段で測定した一次処理ガスの温度があらかじめ設定した目標温度より高く設定された高温側設定温度を上回ったときに前記第1除害装置の運転温度を下げる制御を行うとともに、前記温度測定手段で測定した一次処理ガスの温度が前記目標温度より低く設定された低温側設定温度を下回ったときに前記第1除害装置の運転温度を上げる制御を行う制御手段とを備え、前記第1除害装置がヒーター加熱式除害装置であり、前記第2除害装置が触媒酸化式除害装置であり、前記目標温度が前記触媒酸化式除害装置の処理温度であり、前記ヒーター加熱式除害装置は、該ヒーター加熱式除害装置を加熱するヒーターの出力を調整可能なヒーター出力調整手段と、前記ヒーター加熱式除害装置に供給する大気の供給量を調整可能な大気供給手段と、前記ヒーター加熱式除害装置に冷却水を供給する冷却水供給手段とを備え、前記制御手段は、前記温度測定手段の測定温度があらかじめ設定した第1高温側設定温度を上回ったときに前記冷却水供給手段によってヒーター加熱式除害装置に冷却水を供給するとともに、測定温度が目標温度に低下したときに冷却水の供給を停止し、前記測定温度があらかじめ設定した第2高温側設定温度を上回ったときに前記大気供給手段によってヒーター加熱式除害装置に供給される大気の供給量を増加させるとともに、測定温度が目標温度に低下したときに大気の供給量を増加前の供給量に戻し、前記温度測定手段で測定した温度があらかじめ設定した第1低温側設定温度を下回ったときに前記大気供給手段によって前記ヒーター加熱式除害装置に供給される大気の供給量を減少させるとともに、測定温度が目標温度に上昇したときに大気の供給量を減少前の供給量に戻し、前記温度測定手段で測定した温度があらかじめ設定した第2低温側設定温度を下回ったときに前記ヒーター出力調整手段によってヒーターの出力を増加させるとともに、測定温度が目標温度に上昇したときにヒーターの出力を増加前の出力に戻すことを特徴としている。 Furthermore, the exhaust gas treatment device of the present invention is an exhaust gas treatment device for treating exhaust gas containing hydrogen and ammonia, and a first detoxification device that performs a primary treatment of the exhaust gas, A second abatement apparatus that performs secondary treatment, a temperature measurement means that measures the temperature of the primary treatment gas derived from the first abatement apparatus, and the temperature of the primary treatment gas that is measured by the temperature measurement means are preset. The temperature of the primary processing gas measured by the temperature measuring means is lower than the target temperature while controlling to lower the operating temperature of the first detoxifying device when the temperature exceeds the high temperature side set temperature set higher than the target temperature. Control means for performing control to increase the operating temperature of the first abatement device when the temperature falls below a set low temperature side set temperature, and the first abatement device is a heater heating abatement device, The second scrubber is catalytic oxidation type abatement device, a processing temperature of the target temperature is the catalytic oxidation type abatement system, said heater heating type abatement device, heating the heater heating type abatement system Heater output adjusting means capable of adjusting the output of the heater to be heated, air supply means capable of adjusting the amount of air supplied to the heater heating type abatement apparatus, and cooling water is supplied to the heater heating type abatement apparatus Cooling water supply means, and the control means supplies cooling water to the heater-heated abatement device by the cooling water supply means when the temperature measured by the temperature measurement means exceeds a preset first high temperature side set temperature. When the measured temperature falls to the target temperature, the cooling water supply is stopped, and when the measured temperature exceeds the preset second high temperature side set temperature, the air supply means is Increase the supply amount of air supplied to the heater-heated detoxification device, and return the supply amount of air to the supply amount before the increase when the measured temperature falls to the target temperature, and measure with the temperature measuring means When the measured temperature falls below the preset first low temperature side set temperature, the supply amount of air supplied to the heater-heated abatement device by the air supply means is reduced, and the measured temperature rises to the target temperature Sometimes the supply amount of the atmosphere is returned to the supply amount before the decrease, and when the temperature measured by the temperature measurement unit falls below the preset second low temperature side set temperature, the heater output adjustment unit increases the heater output. In addition, when the measured temperature rises to the target temperature, the output of the heater is returned to the output before the increase.
また、前記第1高温側設定温度は前記第2高温側設定温度より高い温度に設定され、前記第1低温側設定温度は前記第2低温側設定温度より高い温度に設定されていることを特徴としている。 The first high temperature side set temperature is set to a temperature higher than the second high temperature side set temperature, and the first low temperature side set temperature is set to a temperature higher than the second low temperature side set temperature. It is said.
本発明の排ガス処理装置によれば、第1除害装置の運転温度を目標温度に近付けるように制御するので、排ガス中の水素及びアンモニアを処理するエネルギーの消費量を抑えながら排ガスの除害処理を効率よく行うことができる。例えば、第1除害装置が燃焼式除害装置の場合は、燃焼式除害装置の燃料消費量を抑えることができ、第1除害装置がヒーター加熱式除害装置の場合は、ヒーター加熱式除害装置の消費電力量を抑えることができる。また、第2除害装置として触媒酸化式除害装置を使用することにより、アンモニアを含むアルカリ廃水が発生することもない。 According to the exhaust gas treatment apparatus of the present invention, since the operation temperature of the first abatement apparatus is controlled to approach the target temperature, the exhaust gas detoxification process while suppressing the consumption of energy for treating hydrogen and ammonia in the exhaust gas. Can be performed efficiently. For example, when the first abatement apparatus is a combustion abatement apparatus, the fuel consumption of the combustion abatement apparatus can be suppressed, and when the first abatement apparatus is a heater heating abatement apparatus, heater heating is performed. The amount of power consumption of the expression abatement device can be suppressed. Further, by using a catalytic oxidation type detoxifying device as the second detoxifying device, alkaline waste water containing ammonia is not generated.
図1は、本発明の排ガス処理装置の第1形態例を示すもので、この排ガス処理装置は、原料ガス(プロセスガス)及びキャリアガスとして、水素(H2)、アンモニア(NH3)、窒素(N2)、その他のガスを使用するCVD装置11から排出される排ガスの処理を行うものであって、アンモニアと水素とを除去する一次除害処理を行うための第1除害装置である燃焼式除害装置12と、該燃焼式除害装置12で処理できなかったアンモニアを除去する二次除害処理を行うための第2除害装置である触媒酸化式除害装置13と、燃焼式除害装置12から導出した一次処理ガスの温度を測定する温度測定手段14と、該温度測定手段で測定した一次処理ガスの温度に基づいて燃焼式除害装置12の運転状態を制御する制御手段15とを備えている。
FIG. 1 shows a first embodiment of an exhaust gas treatment apparatus of the present invention. This exhaust gas treatment apparatus uses hydrogen (H 2 ), ammonia (NH 3 ), nitrogen as a source gas (process gas) and a carrier gas. (N 2 ) is a first abatement device for performing exhaust gas discharged from the
制御手段15は、温度測定手段14で測定した一次処理ガスの温度があらかじめ設定した目標温度より高く設定された高温側設定温度を上回ったときに前記燃焼式除害装置12の運転温度を下げる制御を行うとともに、前記温度測定手段14で測定した一次処理ガスの温度が前記目標温度より低く設定された低温側設定温度を下回ったときに前記燃焼式除害装置12の運転温度を上げる制御を行う。
The control means 15 controls to lower the operating temperature of the combustion-
燃焼式除害装置12には、燃焼用種火を形成するための一定量の燃料を供給する第1燃料供給手段16と、燃焼量を調節するための燃料を供給する第2燃料供給手段17と、燃焼式除害装置12に大気を供給するための大気供給手段18と、燃焼式除害装置12に冷却水を供給するための冷却水供給手段19とを備えており、大気供給手段18には、燃焼用及び燃焼後の一次処理ガスの冷却用として、最小限の大気供給量が設定されている。制御手段15は、第2燃料供給手段17から供給する燃料の流量、大気供給手段18から供給する大気の流量及び冷却水供給手段19から供給する冷却水の流量を、例えば、弁を開閉したり、弁の開度を調節したりすることによって調整する。
The combustion-
前記制御手段15には、触媒酸化式除害装置13で一次処理ガス中に残存するアンモニアを処理するのに適した温度として目標温度が設定されるとともに、第2燃料供給手段17、大気供給手段18及び冷却水供給手段19を制御するための温度がそれぞれ設定されている。
The control means 15 is set with a target temperature as a temperature suitable for treating the ammonia remaining in the primary treatment gas by the catalytic oxidation
目標温度より高い設定温度としては、冷却水供給手段19から冷却水の供給を開始する第1高温側設定温度H1と、大気供給手段からの大気の供給量を増加させる第2高温側設定温度H2とが設定され、目標温度より低い設定温度としては、大気供給手段からの大気の供給量を減少させる第1低温側設定温度L1と、第2燃料供給手段17からの燃料の供給量を増加させる第2低温側設定温度L2とが設定されている。第1高温側設定温度H1と第2高温側設定温度H2との関係は、H1>H2となっており、第1低温側設定温度L1と第2低温側設定温度L2との関係は、L1>L2となっている。 As the set temperature higher than the target temperature, the first high temperature side set temperature H1 for starting the supply of the cooling water from the cooling water supply means 19 and the second high temperature side set temperature H2 for increasing the supply amount of the atmosphere from the air supply means. As the set temperature lower than the target temperature, the first low temperature side set temperature L1 for decreasing the supply amount of air from the air supply means and the supply amount of fuel from the second fuel supply means 17 are increased. A second low temperature side set temperature L2 is set. The relationship between the first high temperature side set temperature H1 and the second high temperature side set temperature H2 is H1> H2, and the relationship between the first low temperature side set temperature L1 and the second low temperature side set temperature L2 is L1>. L2.
このように形成した排ガス処理装置は、CVD装置11から排出される排ガス中の可燃性成分濃度の変動によって生じる燃焼式除害装置12の温度変化に応じて制御部15が作動し、燃焼式除害装置12から導出されて触媒酸化式除害装置13に導入される一次処理ガスの温度を、触媒酸化式除害装置13でのアンモニアの処理に最適な温度、すなわち、触媒活性が高い温度に調節する。
In the exhaust gas treatment apparatus thus formed, the
例えば、CVD装置11では、気相成長を行う工程の進行に伴って供給するガスの種類や量が変化し、例えば、工程開始から予熱などを行っている工程初期では、アンモニアは供給されずに水素と窒素とが供給され、工程中間でアンモニアの供給が始まり、次いで水素の供給が停止する。さらに、工程の後半では水素の供給が再開されるという工程が行われる。
For example, in the
したがって、工程中にアンモニアや水素が供給されない期間や両者が同時に供給される期間があり、CVD装置11から排出される排ガス中の水素濃度やアンモニア濃度が大きく変化するため、燃焼式除害装置12では、可燃性成分である水素やアンモニアの濃度変化に伴って燃焼状態が変化する。このため、水素やアンモニアの濃度が高くなると燃焼量の増大によって燃焼式除害装置12の温度が上昇し、水素やアンモニアの濃度が低くなると燃焼量の減少によって燃焼式除害装置12の温度が低下する。これにより、燃焼式除害装置12から導出される一次処理ガスの温度が変動し、一次処理ガスの温度が触媒酸化式除害装置13における最適処理温度範囲から外れると、触媒酸化式除害装置13でのアンモニアの除去処理が十分に行えなくなるおそれがある。
Accordingly, there is a period in which ammonia and hydrogen are not supplied during the process, and a period in which both are supplied at the same time, and the hydrogen concentration and ammonia concentration in the exhaust gas discharged from the
そこで、一次処理ガスの温度を温度測定手段14で測定し、一次処理ガスの温度が触媒酸化式除害装置13における最適処理温度範囲内に納まるようにする。まず、工程初期で温度測定手段14で測定した一次処理ガスの温度が目標温度になっている場合、アンモニアの供給開始によって可燃性成分濃度の増加で燃焼式除害装置12の温度が上昇し、温度測定手段14で測定した温度が第2高温側設定温度H2に上昇した場合は、大気供給手段18からの大気の供給量を増加させ、燃焼式除害装置12の燃焼温度に比べて温度が低い大気を混合することによって一次処理ガスの温度を低下させる。大気供給量の増加によって測定温度が目標温度に低下したときには、大気の供給量を増加前の供給量に戻す。
Therefore, the temperature of the primary processing gas is measured by the temperature measuring means 14 so that the temperature of the primary processing gas falls within the optimum processing temperature range in the catalytic oxidation
さらに、温度測定手段14で測定した温度が第1高温側設定温度H1に上昇した場合は、冷却水供給手段19から冷却水の供給を開始し、冷却水をスプレーによって燃焼式除害装置12内に散布し、水の蒸発潜熱を利用して一次処理ガスの温度を低下させる。この場合も、測定温度が目標温度に低下したときには、冷却水の供給を停止する。
Further, when the temperature measured by the temperature measuring means 14 rises to the first high temperature side set temperature H1, the supply of cooling water is started from the cooling water supply means 19, and the cooling water is sprayed into the combustion-
また、CVD装置11への水素の供給停止による可燃性成分濃度の減少で燃焼式除害装置12の温度が低下し、温度測定手段14で測定した温度が第1低温側設定温度L1に低下すると、大気供給手段18からの大気の供給量を減少させて排ガスへの大気混合量を少なくすることによって一次処理ガスの温度を上昇させる。大気供給量の減少によって測定温度が目標温度に上昇したときには、大気の供給量を減少前の供給量に戻す。さらに、温度測定手段14で測定した温度が第2低温側設定温度L2に低下すると、第2燃料供給手段17からの燃料の供給量を増加させて燃焼量を増大させ、一次処理ガスの温度を上昇させる。燃料供給量の増加によって測定温度が目標温度に上昇したときには、燃料供給量を増加前の供給量に戻す。
Further, when the temperature of the combustion
このように、一次処理ガスの温度に応じて燃料供給量、大気供給量、冷却水供給量を制御することにより、一次処理ガスの温度を、触媒酸化式除害装置13における最適処理温度、すなわち、目標温度に確実に調節することができる。また、温度上昇の一段階目で燃料供給量を減少させることにより、燃料消費量の削減も図れる。さらに、燃料としては、各種燃料を使用することが可能であるが、CVD装置11で使用する水素を燃料として使用することにより、燃料用の設備を別に設ける必要がなく、二酸化炭素の発生も抑えることができる。また、大気の供給や冷却水の供給を、燃料供給量の減少より高い温度で開始することにより、排ガス量の増加を抑えることができるとともにアルカリ廃水が発生することもない。
Thus, by controlling the fuel supply amount, the air supply amount, and the cooling water supply amount according to the temperature of the primary processing gas, the temperature of the primary processing gas is set to the optimum processing temperature in the catalytic oxidation
図2は、本発明の排ガス処理装置の第2形態例を示すものである。なお、以下の説明において、前記第1形態例に示した排ガス処理装置の構成要素と同一の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。 FIG. 2 shows a second embodiment of the exhaust gas treatment apparatus of the present invention. In the following description, the same components as those of the exhaust gas treatment apparatus shown in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
本形態例に示す排ガス処理装置は、第1除害装置としてヒーター加熱式除害装置21を使用している。このヒーター加熱式除害装置21は、該ヒーター加熱式除害装置21を加熱するヒーターとして、常時一定の加熱量を確保するための第1ヒーター22と、ヒーター出力を調整可能な第2ヒーター23と、ヒーター加熱式除害装置に供給する大気の供給量を調整可能な大気供給手段24と、ヒーター加熱式除害装置に冷却水を供給する冷却水供給手段25とを備えている。
The exhaust gas treatment apparatus shown in this embodiment uses a heater heating
ヒーター加熱式除害装置21の後段には、前記第1形態例と同様に、ヒーター加熱式除害装置21から導出されて触媒酸化式除害装置13に導入される一次処理ガスの温度を測定する温度測定手段26と、該温度測定手段26で測定した一次処理ガスの温度に基づいてヒーター加熱式除害装置21の運転状態を制御する制御手段27とを備えている。
In the subsequent stage of the heater heating
制御手段27には、前記第1形態例と同様の目標温度と、高温側の設定温度としての第1高温側設定温度H1及び第2高温側設定温度H2が設定されるとともに、低温側の設定温度としての第1低温側設定温度L1及び第2低温側設定温度L2がそれぞれ設定されている。
The
本形態例においても、前記第1形態例と同様に、ヒーター加熱式除害装置21から導出した一次処理ガスの温度を温度測定手段26で測定し、測定した一次処理ガスの温度が第2高温側設定温度H2に上昇した場合は、大気供給手段24からの大気の供給量を増加させて一次処理ガスの温度を低下させ、一次処理ガスの温度が目標温度に低下したときには、大気の供給量を増加前の供給量に戻す。さらに、温度測定手段26で測定した温度が第1高温側設定温度H1に上昇した場合は、冷却水供給手段25から冷却水の供給を開始し、冷却水を燃焼式除害装置12内に散布することによって一次処理ガスの温度を低下させ、測定温度が目標温度に低下したときには、冷却水の供給を停止する。
Also in the present embodiment, as in the first embodiment, the temperature of the primary processing gas derived from the heater heating
また、温度測定手段26で測定した温度が第1低温側設定温度L1に低下した場合は、大気供給手段24からの大気の供給量を減少させて一次処理ガスの温度を上昇させ、測定温度が目標温度に上昇したときには、大気の供給量を減少前の供給量に戻す。さらに、温度測定手段26で測定した温度が第2低温側設定温度L2に低下した場合は、第2ヒーター23の出力を増加させて一次処理ガスの温度を上昇させ、測定温度が目標温度に上昇したときには、第2ヒーター23の出力を増加前の出力に戻す。
Further, when the temperature measured by the temperature measuring means 26 is lowered to the first low temperature side set temperature L1, the supply amount of the atmosphere from the atmosphere supply means 24 is decreased to raise the temperature of the primary processing gas, and the measured temperature becomes When the temperature rises to the target temperature, the supply amount of air is returned to the supply amount before the decrease. Further, when the temperature measured by the temperature measuring means 26 falls to the second low temperature side set temperature L2, the output of the
このように、一次処理ガスの温度に応じてヒーター加熱式除害装置21のヒーター出力、大気供給量、冷却水供給量を制御することにより、前記第1形態例と同様に、一次処理ガスの温度を、触媒酸化式除害装置13における最適処理温度、すなわち、目標温度に確実に調節することができる。また、温度上昇の一段階目でヒーター出力を減少させることにより、消費電力量の削減も図れるとともに、大気の供給や冷却水の供給を、ヒータ出力の減少より高い温度で開始することにより、排ガス量の増加を抑えるとともにアルカリ廃水の発生を抑えることができる。
In this way, by controlling the heater output, the air supply amount, and the cooling water supply amount of the heater heating
図3は、本発明の排ガス処理装置の第3形態例を示すものであって、複数のCVD装置11から排出される排ガスを一つの排ガス処理装置で処理する形態例を示している。複数のCVD装置11から排出された排ガスは、燃焼式除害装置12に導入されて燃焼除害処理が行われ、燃焼式除害装置12から導出された一次処理ガスが触媒酸化式除害装置13に導入されて触媒酸化処理が行われることにより、排ガス中の水素やアンモニアの除害処理が行われる。
FIG. 3 shows a third embodiment of the exhaust gas treatment apparatus of the present invention, and shows an embodiment in which exhaust gas discharged from a plurality of
このように複数のCVD装置11から排出される排ガスの除害処理を行う際にも、燃焼式除害装置12から導出された一次処理ガスの温度を温度測定手段14で測定し、測定した一次処理ガスの温度に応じて燃料供給量、大気供給量、冷却水供給量を制御し、一次処理ガスの温度を触媒酸化式除害装置13における最適処理温度に調節することにより、前記第1形態例と同様に、燃料消費量の削減を図れるとともに、排ガス量の増加を抑え、アルカリ廃水が発生することもなくなる。なお、燃焼式除害装置12に代えて、前記第2形態例で示したヒーター加熱式除害装置21を使用することもできる。
As described above, even when the exhaust gas discharged from the plurality of
なお、各形態例において、目標温度に対する第1高温側設定温度H1、第2高温側設定温度H2、第1低温側設定温度L1、第2低温側設定温度L2や、燃料の増減量、ヒータ出力の増減量、大気供給量の増減量は、第1除害装置における排ガス処理量や装置構成、装置規模、さらに、第2除害装置における最適温度範囲などの条件に応じて適宜に設定することが可能である。また、燃料供給量やヒーター出力、大気供給量、冷却水供給量を増減させた後、増減前の状態に戻す温度を目標温度とは別に設定することもできる。
In each embodiment, the first high temperature side set temperature H1, the second high temperature side set temperature H2, the first low temperature side set temperature L1, the second low temperature side set temperature L2, the fuel increase / decrease amount, the heater output with respect to the target temperature. the amount of increase or decrease, increase or decrease the amount of air supply amount, exhaust gas processing amount and apparatus configuration in the first scrubber, apparatus size, further, be determined depending on conditions such as optimum temperature range in the second scrubber Is possible. In addition, the temperature at which the fuel supply amount, the heater output, the air supply amount, and the cooling water supply amount are increased / decreased and then returned to the state before the increase / decrease can be set separately from the target temperature.
11…CVD装置、12…燃焼式除害装置、13…触媒酸化式除害装置、14…温度測定手段、15…制御手段、16…第1燃料供給手段、17…第2燃料供給手段、18…大気供給手段、19…冷却水供給手段、21…ヒーター加熱式除害装置、22…第1ヒーター、23…第2ヒーター、24…大気供給手段、25…冷却水供給手段、26…温度測定手段、27…制御手段
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JP2003139316A (en) * | 2001-11-02 | 2003-05-14 | Babcock Hitachi Kk | Heat storage type volatile organic compound treatment device and treatment method |
JP2007013041A (en) * | 2005-07-04 | 2007-01-18 | Sharp Corp | Exhaust gas processing apparatus and method for semiconductor processing apparatus |
GB0613044D0 (en) * | 2006-06-30 | 2006-08-09 | Boc Group Plc | Gas combustion apparatus |
JP2009082892A (en) * | 2007-10-03 | 2009-04-23 | Kanken Techno Co Ltd | Temperature control method for exhaust gas treating device, and exhaust gas treating device and exhaust gas treating system using the method |
TW201038885A (en) * | 2010-05-28 | 2010-11-01 | Jg Environmental Tech Co Ltd | Incinerator tail gas purifying device and method |
CN102274689A (en) * | 2010-06-13 | 2011-12-14 | 杰智环境科技股份有限公司 | Catalyst purification apparatus for incinerator end gas, and method thereof |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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