JP5768653B2 - ロングアーク型放電ランプ、及び光照射装置 - Google Patents
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Description
図1を用いてロングアーク型放電ランプについて説明する。
ロングアーク型放電ランプ1は、石英ガラス製の長尺な発光管2の両端において、一対の電極4、4が互いに管軸方向に対向するように配置され、発光管2の両端のシール部3、3に封止され、電極4と外部リード5とが金属箔6により電気的に接続されている。
発光管2の内部には、水銀120mg、鉄4mg、沃化水銀12mg、沃化ビスマス5.3mg、封入されている。そして、ビスマスの封入量が鉄に対して特定の範囲内であることにより、鉄と水銀の発光スペクトルに悪影響を与えることなしに、発光管2の内壁に鉄が付着することを防止している。
従来では、水銀量が低い場合には、鉄の発光強度分布が甚だしく不均一になることが特許文献1に記載されているが、点灯装置の安定器の性能向上などにより、少ない水銀量のランプでも良好な照度分布をとる点灯が可能になった。
そのような背景から、ランプの水銀量を少なくし、使用電力低減のため、頻繁に投入電力を切り替えて使用する、ということが望まれている。
例えば、ワーク照射時には通常点灯時の電力で点灯し、待機時にはそれよりも電力を下げ、照射が必要なときにまた電力を上げる、という点灯電力の切替をする点灯方法である。このとき、実際に使用される点灯ランプの待機時間は、例えば1分以内である。
この問題について、本発明者が鋭意検討したところ、以下の知見を得た。
照度が短時間に低下したランプの発光管を破壊して、その破片の内壁部分について内壁の石英ガラス最表面をフッ化水素水溶液で洗浄した後に、同じくフッ化水素水溶液にて表面から10μm程度までエッチングして調べると、発光管の内壁から一定の深さまでの領域に、封入した金属が含有されていた。
この点から、封入金属は発光管の内壁に付着することにとどまらず、発光管の内部に打ち込まれていたと考えられた。このような現象は、待機時から照射時への急激に電流が増加する際に発生すると考えられる。その理由は以下のように推測された。
従来であれば水銀が多く存在するために、水銀が緩衝的な役割を果たし、封入金属の発光管内への打ち込みを抑制していた。しかし、水銀量を低下させているために、緩衝の効果が薄く、鉄やビスマスなどの封入金属が打ち込まれやすくなっていると考えられた。
特に、待機時と照射時の電力差が1.5倍を超えると急激に打ち込み量が増加することがわかった。
このように封入金属が発光管内部に打ち込まれると、発光管内部の発光物質が減少し、照度が低下することにより、照度維持率が低下するものと考えられた。
照射用点灯モードと、待機用点灯モードの2つの点灯モードで点灯され、該待機用点灯モードは、該照射用点灯モードよりも低い電力により点灯される点灯モードであり、いずれかの点灯モードが交互に切り替えられて点灯されることを特徴とする。
また、本願発明は上記したロングアーク型放電ランプと、前記ロングアーク型放電ランプに電力を供給する点灯装置と、該点灯装置に設けられた投入電力量を切り替える電力切替手段とを備えることを特徴とする。
特に、電力を頻繁に、かつ大幅に上昇させる点灯方法を用いる場合に、封入金属の発光管内壁への打ち込みを防止する効果を奏し、このような点灯方法を用いても照度維持率が低下しにくいため、ランプの点灯電力を省電力化することができる。
また、本発明によれば、照射用点灯モードと、待機用点灯モードの少なくとも2つの投入電力の異なる点灯モードを切り替えて点灯する場合に、待機用点灯モードから照射用点灯モードへの切替直後でも、発光管内壁付近のハロゲン密度が高く、封入金属の発光管内壁への打ち込みを防止することができる。
この図において、ロングアーク型放電ランプ1は、例えば石英ガラス等の透光性材料からなる発光管2の両端に、封止部3、3を備えており、この発光管2の内部にはタングステンからなる一対の対向電極4、4が所定の距離を隔てて対向配置されている。
各電極4の根元側端部は、封止部3内に埋設された、例えばモリブデンである金属箔6と接合されている。この金属箔6の他端側には外部リード5が接続されており、発光管2の外部に突出している。この外部リード5には不図示の電源および点灯回路より給電線が接続され、給電がされる。
具体的には、発光管内径に対して電極間距離が5倍以上のものであり、長いものでは10倍以上になる。これは、面積が広い被照射物に対してランプ自体を走査したり、複数並べて均等に面照射を行う用途に用いられるためである。
その他、発光物質として、またはランプ電圧を調整するために0.5mg/cm3以下の水銀が封入される。
水銀以外の封入金属では、鉄、タリウム、ビスマスが好適に発光物質として用いられる。それぞれの封入量は、例えば0.2〜6×10−6mol/cm3である。
これらの物質は、発光管内に発光物質として封入してランプを点灯した場合に、紫外線領域に発光スペクトルを持つ金属である。
水銀以外の金属の物質量M(mol)、ハロゲンの物質量H(mol)とすると、その物質量比H/Mの範囲を、2.1≦H/M≦5.0とする。この理由については後述する。
水銀を発光物質とする場合は、水銀とビスマス、水銀とタリウム、水銀と錫、水銀と亜鉛のいずれかの組み合わせで封入される。
鉄を発光物質とする場合は、鉄とタリウムと水銀、鉄とビスマスと水銀、鉄と錫と水銀、鉄と亜鉛と水銀のいずれかの組み合わせで封入される。
なお、発光管内には上記の金属の組み合わせを含む3種以上もしくは4種以上の金属を封入しても良い。
また、水銀を封入しない場合(水銀封入量:0mg/cm3の場合)もある。この場合は、封入するバッファガスの圧力を高くしたり、あるいは、発光管径を小さくしてランプ電流が同程度になるように調整すればよい。
この図において、交流電源21は、その出力側が昇圧整流回路22に接続されている。
昇圧整流回路22は、例えば、入力側が交流電源21に接続された昇圧トランスT1、整流ダイオードD1、平滑コンデンサC1により構成される整流回路であり、交流電流を直流電圧に変換して出力する。
その後、この直流電圧は、コイルL3、スイッチング素子S1、整流ダイオードD2、平滑コンデンサC2により構成された昇圧チョッパ回路で昇圧され、極性反転回路23に平滑化された直流電圧を出力する。
昇圧チョッパ回路のスイッチング素子S1(例えばIGBT、FET)には、制御回路24が接続されており、このスイッチング素子S1のスイッチング周波数、およびON、OFF期間を変化させることにより、所望の電圧を供給できるようになっている。
これにより、投入電力切替が可能であり、制御回路24からの信号により、照射時点灯モードと、待機時点灯モードの、異なる点灯モードが切り替えられるようになっている。
極性反転回路23のスイッチング素子Q1〜Q4のON、OFFは、制御回路25に含まれるドライバー回路によって駆動される。
極性反転は、スイッチング素子Q1およびQ4の駆動信号である極性反転回路駆動信号Xと、スイッチング素子Q2およびQ3の駆動信号である極性反転回路駆動信号Yが、交互にON、OFFを繰り返す動作により、矩形波交流電圧が放電ランプ1に供給される。
光照射装置の構成については図示しないが、上述のランプと、ランプ点灯装置を備えたランプハウス、ミラー等を備えており、照射対象であるワーク(被照射物)に応じて適宜の搬送装置等を備えている。
本発明では、照射用点灯モードと、待機用点灯モードの少なくとも2つのモードにより点灯される。
照射用点灯モードは、例えば定格電力などの所定の投入電力で点灯される。待機用点灯モードでは照射用点灯モードよりも低い投入電力で点灯され、その間には被照射物への紫外線照射は行わず、シャッター等の遮光手段により照射光を遮光して、省電力化のために待機する。
切替のタイミングは、例えば、搬送装置等に設置された所定の検知手段により、ワークが搬送されてくることを検知し、検知信号がランプ点灯装置の制御回路24に送信され、制御回路24により投入電力を切り替える、といった動作により自動的に計ることができる。あるいは、予め決定されたタイミングをプログラムにより制御回路に入力してもよい。
この表では、電極間距離が150cm程度である1本のランプについて、投入する電力と、電圧、電流、電流密度との関係を示したものである。
ここで、アークが形成される発光管内の電流密度について検討すると、ロングアーク型放電ランプの発光管の内径は管軸方向でほぼ一定であるので、発光管内の電流密度は電流値に依存する。すなわち、電力の増加に付随して電流密度が増加する。
アーク内での電子と金属原子の衝突回数は電流密度に依存するため、電流密度が増加すると、発光管内壁へ向かって運動する金属原子が増加する。
電力を切り替えて増加させた直後においては、それに追随する発光管内の温度上昇が十分ではない。そのため、気化したハロゲン量が少なく、発光管内壁付近のハロゲン密度が低く、金属原子はハロゲンに捕捉されずに発光管内壁へ打ち込まれやすくなると考えられる。
発光管内壁付近のハロゲン密度が高い場合、アーク内で電子と衝突して金属原子が飛来してきたときに、ハロゲンと結合しやすく、発光管内壁に打ち込まれることが抑制されると考えられる。
なお、水銀を規定の金属から除いたのは、前述した、発光管内に打ち込まれた物質についての分析の結果、水銀については発光管内壁への打ち込みがほとんど観測されなかったためである。
図3は、複数のロングアーク型放電ランプの点灯経過時間(h)と、照度維持率(%)との関係を比較するグラフである。
ここで照度維持率とは、所定の波長の光の照度について、点灯開始時の照度と、任意の時間点灯した後の照度との比を、点灯開始時の照度を基準として百分率で表すものである。本実験では365nmの波長の光を対象とし、この波長付近に感度を持つ照度計により測定を行った。
このランプにおける水銀以外の封入金属の物質量M(mol)と封入ハロゲンの物質量H(mol)の比H/Mは0.99である。
比較例のランプでは、450時間で照度維持率が70%となり、点灯経過時間に対して急激に照度維持率が低下したことがわかる。
このランプにおける水銀以外の封入金属の物質量M(mol)と封入ハロゲンの物質量H(mol)の比H/Mは2.1である。
このランプについて上記と同様に点灯モードを切り替える点灯を行ったところ、1000時間点灯後の照度維持率は90%となり、2000時間経過後にも76%の照度維持率を示した。
すなわち、このランプでは、H/Mが2.1であることにより、発光管内壁付近に存在するハロゲン密度を高くすることで、内壁に飛来する水銀以外の封入金属原子とハロゲンが結合するため、石英ガラスに打ち込まれることが防止されたと考えられる。
このランプにおける水銀以外の封入金属の物質量M(mol)と封入ハロゲンの物質量H(mol)の比H/Mは4.0である。
このランプについて上記と同様に点灯モードを切り替える点灯を行ったところ、1000時間点灯後の照度維持率は96%となり、4000時間経過後にも92%の照度維持率を示した。
すなわち、封入される金属の種類が異なる場合でも、本発明1のランプと同様の効果が発揮されたものと考えられる。
しかしながら、発光物質の減少を防ぐといった効果については有効であり、3400時間という寿命は実用上十分なものであるから、H/Mが5.0である場合も本願発明の効果を発揮できる範囲である。
これにより、発光物質としての封入金属の減少を防止し、照度維持率の低下を防止することができる。
特に、電力を頻繁に、かつ大幅に上昇させる点灯方法を用いる場合に、封入金属の発光管内壁への打ち込みを防止する効果を奏し、このような点灯方法を用いても照度維持率が低下しにくいため、ランプの点灯電力を省電力化することができる。
2 発光管
3 封止部
4 電極
5 外部リード
6 金属箔
21 交流電源
22 昇圧整流回路
23 極性反転回路
24 制御回路
25 制御回路
26 スターター回路
C1 平滑コンデンサ
C2 平滑コンデンサ
D1 整流ダイオード
D2 整流ダイオード
L2 スターターコイル
L3 コイル
Q1 スイッチング素子
Q2 スイッチング素子
Q3 スイッチング素子
Q4 スイッチング素子
S1 スイッチング素子
Claims (2)
- 発光管内に一対の電極が対向配置された紫外線を放射するロングアーク型放電ランプにおいて、
水銀(Hg)の封入量は0〜0.5mg/cm 3 であり、
少なくとも鉄(Fe)、タリウム(Tl)、ビスマス(Bi)のいずれか一種の金属が封入され、
ハロゲンが封入され、
水銀以外の封入金属の物質量をM(mol)、封入ハロゲンの物質量をH(mol)とするとき、H/Mが2.1≦H/M≦5.0の範囲であり、
照射用点灯モードと、待機用点灯モードの2つの点灯モードで点灯され、
該待機用点灯モードは、該照射用点灯モードよりも低い電力により点灯される点灯モードであり、
いずれかの点灯モードが交互に切り替えられて点灯されることを特徴とするロングアーク型放電ランプ。 - 請求項1に記載のロングアーク型放電ランプと、
前記ロングアーク型放電ランプに電力を供給する点灯装置と、
該点灯装置に設けられた投入電力量を切り替える電力切替手段とを備えることを特徴とする光照射装置。
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