JP5765010B2 - 現像方法および現像装置 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 41
- 238000011161 development Methods 0.000 title description 58
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 104
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 65
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 17
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
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Description
半導体デバイスの製造プロセスなど微細加工が要求されるパターンの形成には、光学的にパターンを転写する方法(フォトリソグラフィ)が用いられていた。フォトリソグラフィでは、ステッパー等の露光装置を用い、原版となるフォトマスクに光を照射することにより、フォトマスクのパターンを対象物(ウェハなど)上に転写している。フォトマスクはパターン転写の原版であるため、高い寸法精度が求められる。フォトマスクのパターニングでは、その精度の高さと解像性の高さから、電子線描画機によるパターニングが主となっている。フォトマスクでは、密なパターン領域と疎なパターン領域が混在する場合がある。そのため、フォトマスク作製のリソグラフィ工程における現像工程においては、パターンが密な領域で現像液が局所的に不足することにより、パターン寸法に細りが生じる現象(現像ローディング)が起こることが知られている。特に電子線用レジストでは、フォトレジストに比べて溶解速度が低く、現像ローディングの影響が大きいことが報告されている。
現像ローディングによるパターン疎密の寸法差を最小限に抑えるためには、スプレー現像、パドル現像などの現像方式の最適化や、現像時間、現像レシピなどの現像条件の最適化が必要である。
一方、電子線による露光の場合、パターンが密な領域ではフォギング(fogging )の現象が起こることが知られている。Fogging とは、描画機の電子銃より基板に打ち込まれた電子が、基板表面などで散乱、反射を起こし、一部の電子がレジスト面から飛び出していき、描画機チャンバーの内壁で更に反射して、再度レジストへ入射するものである。パターン密度が高いほどfogging の影響は大きくなり、このfogging の影響する領域は数十mmにも及ぶことが知られている。レジストはfogging による再入射電子のエネルギーによりうっすら感光し、fogging の影響を受けたパターン(現像での溶解部分)寸法では太りが生じる。このようなfogging と現像ローディングの両方がパターン寸法に影響を与えており、fogging は描画機の補正機能により低減することができるが、現像ローディングを補正する機能については実用化がされていないためプロセス等で低減する必要がある。
前記マスク基板の前記実パターンと、補正用マスク基板のレジストに形成した補正用パターンとを、共通の現像液にそれぞれ接触させ、
前記現像液が現像処理するパターンの密度分布を前記実パターン及び前記補正用パターンにより均一化させた状態で、それら実パターン及び補正用パターンを同時に現像処理するにあたり、
前記補正用パターンを、前記実パターンの反転パターン又は前記実パターンのパターン密度分布を反転させた簡素化反転パターンにより構成し、
前記マスク基板に前記補正用マスク基板を対向させて両者間に配置した前記現像液に前記実パターン及び前記補正用パターンを接触させることにより、前記現像液が現像処理するパターンの密度分布を、前記マスク基板及び前記補正用マスク基板のレジスト面延在方向において均一化させるようにした
ことを特徴とする現像方法である。
まず、従来の現像方法について説明する。図1(a)〜(b)は、従来の現像方法であるパドル現像方法を示している。図1(a)に示すように、現像ノズル51は、現像液濃度補正基板用チャック52上の、ガラス基板11をレジスト31で覆ったマスク基板101上の端に位置しており、図1(b)に示すように端からマスク基板を横切るように移動することで、マスク基板101のレジスト31上に現像液61を盛ることで現像を行う方法である。
このように、本実施形態では、実パターン105を形成したレジスト31に現像液61を塗布して現像処理するマスク基板101の現像方法において、マスク基板101の実パターン105と現像液濃度補正基板100(補正用マスク基板)のレジスト31に形成した反転パターン106(補正用パターン)とを、共通の現像液61にそれぞれ接触させ、現像液61が現像処理するパターン105,106の密度分布を実パターン105及び反転パターン106により均一化させた状態で、それら実パターン105及び反転パターン106を同時に現像処理するようにした。
また、本実施形態では、マスク基板101に現像液濃度補正基板100を対向させて両者間に配置した現像液61に実パターン105及び反転パターン106を接触させることにより、現像液61が現像処理するパターンの密度分布を、マスク基板101及び現像液濃度補正基板100のレジスト面延在方向において均一化させるようにした。
さらに、本実施形態では、反転パターン106を、実パターン105を反転させたパターン又は実パターン105のパターン密度分布を反転させた簡略化反転パターンにより構成した。
また、本実施形態では、現像液濃度補正基板100のレジスト31にマスク基板101のレジスト31と同一の材料を用いることが好ましい。
さらに、本実施形態では、上述した現像方法を用いて現像処理するマスク基板101の現像装置として、現像液濃度補正基板100の反転パターン106にマスク基板101を上方から接近させて、マスク基板101のレジスト31と共通の現像液61を現像液濃度補正基板100の反転パターン106に接触させる昇降ユニット54を備える現像装置を用いた。
21・・・遮光膜
31・・・レジスト
33・・・レジスト溶解物
51・・・現像ノズル
52・・・現像液濃度補正基板用チャック
53・・・実パターンマスク基板用チャック
54・・・昇降ユニット
61・・・現像液
70・・・実レジストパターン
100・・・現像液濃度補正基板(補正用マスク基板)
101・・・実パターンのマスク基板
105・・・実パターン
106・・・反転パターン
110・・・現像液濃度補正基板用マスク基板
Claims (3)
- 実パターンを形成したレジストに現像液を塗布して現像処理するマスク基板の現像方法において、
前記マスク基板の前記実パターンと、補正用マスク基板のレジストに形成した補正用パターンとを、共通の現像液にそれぞれ接触させ、
前記現像液が現像処理するパターンの密度分布を前記実パターン及び前記補正用パターンにより均一化させた状態で、それら実パターン及び補正用パターンを同時に現像処理するにあたり、
前記補正用パターンを、前記実パターンの反転パターン又は前記実パターンのパターン密度分布を反転させた簡素化反転パターンにより構成し、
前記マスク基板に前記補正用マスク基板を対向させて両者間に配置した前記現像液に前記実パターン及び前記補正用パターンを接触させることにより、前記現像液が現像処理するパターンの密度分布を、前記マスク基板及び前記補正用マスク基板のレジスト面延在方向において均一化させるようにした
ことを特徴とする現像方法。 - 請求項1記載の現像方法であって、前記補正用マスク基板のレジストに前記マスク基板のレジストと同一の材料を用いるようにしたことを特徴とする現像方法。
- 請求項1または2記載の現像方法を用いて現像処理するマスク基板の現像装置であって、前記補正用マスク基板の前記補正用パターンに前記マスク基板を上方から接近させて、該マスク基板のレジストと共通の現像液を前記補正用パターンに接触させる昇降ユニットを備えることを特徴とする現像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011074871A JP5765010B2 (ja) | 2011-03-30 | 2011-03-30 | 現像方法および現像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011074871A JP5765010B2 (ja) | 2011-03-30 | 2011-03-30 | 現像方法および現像装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012208379A JP2012208379A (ja) | 2012-10-25 |
JP5765010B2 true JP5765010B2 (ja) | 2015-08-19 |
Family
ID=47188159
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011074871A Expired - Fee Related JP5765010B2 (ja) | 2011-03-30 | 2011-03-30 | 現像方法および現像装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5765010B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3377312B2 (ja) * | 1994-09-30 | 2003-02-17 | 沖電気工業株式会社 | レジスト現像装置およびその方法 |
JPH10284398A (ja) * | 1997-04-07 | 1998-10-23 | Canon Inc | 現像処理方法および装置 |
JP3652169B2 (ja) * | 1999-04-30 | 2005-05-25 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板現像装置 |
JP5451037B2 (ja) * | 2008-11-21 | 2014-03-26 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理方法および基板処理装置 |
-
2011
- 2011-03-30 JP JP2011074871A patent/JP5765010B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012208379A (ja) | 2012-10-25 |
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Legal Events
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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