JP5760466B2 - Barrel plating equipment - Google Patents

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Description

本発明は、めっき装置に関し、詳しくは、回転するバレルに被めっき物を収容し、被めっき物をめっき液に浸漬させた状態で、バレルを回転させながら被めっき物に給電することにより、被めっき物にめっきを行うバレルめっき装置に関する。   The present invention relates to a plating apparatus, and more specifically, the object to be plated is accommodated in a rotating barrel, and the object to be plated is supplied with power while rotating the barrel while the object to be plated is immersed in a plating solution. The present invention relates to a barrel plating apparatus for plating a plated object.

例えば、チップ型電子部品の表面に形成された外部電極に電解めっきを施す場合などにおいては、給電することができるように構成された筒状容器(バレル)内に被めっき物(チップ型電子部品)を収容し、被めっき物をめっき液に浸漬させた状態で、バレルを回転させて被めっき物を転動させながら給電することにより、外部電極の表面に電解めっきを施すようにしたバレルめっき装置が広く用いられている(特許文献1および2参照)。   For example, when electrolytic plating is performed on an external electrode formed on the surface of a chip-type electronic component, an object to be plated (chip-type electronic component) is placed in a cylindrical container (barrel) that can be supplied with power. Barrel plating in which electrolytic plating is applied to the surface of the external electrode by supplying power while rotating the barrel while the workpiece is immersed in the plating solution. Devices are widely used (see Patent Documents 1 and 2).

そして、上述の特許文献1および2に開示されたバレルめっき装置においては、筒状容器の内部に収容された複数の給電用電極に対して、筒状容器の側面部から給電を行うようにしている。   In the barrel plating apparatus disclosed in Patent Documents 1 and 2 described above, power is supplied from the side surface of the cylindrical container to the plurality of power supply electrodes accommodated in the cylindrical container. Yes.

すなわち、特許文献1においては、上記複数の給電用電極に接続された導電線の他方端部を、固定角度をずらして配設され、バレルの回転と同期して回転する複数の摺動板のうちの所定のものに接続し、各摺動板をバレルの回転と同期して動作させることにより、複数の給電用電極のうち、バレル内部の所定の領域(例えばバレルの下部など)に溜まった状態で転動する被めっき物に接触する、バレルの所定の位置(例えばバレルの下部など)に位置する給電用電極にのみ、順次給電を行うことができるように構成されている(特許文献1の図1〜5など参照)。   That is, in Patent Document 1, the other ends of the conductive wires connected to the plurality of power feeding electrodes are arranged with a fixed angle shifted, and a plurality of sliding plates that rotate in synchronization with the rotation of the barrel. By connecting to a predetermined one of them and operating each sliding plate in synchronization with the rotation of the barrel, a plurality of feeding electrodes accumulated in a predetermined region inside the barrel (for example, the lower part of the barrel). It is configured such that power can be sequentially supplied only to a power supply electrode located at a predetermined position of the barrel (for example, a lower portion of the barrel) that contacts a workpiece to be rolled in a state (Patent Document 1). 1-5, etc.).

また、特許文献2では、筒状容器の側面に半月状の固定電極を設置し、バレル内に配設された複数の給電用電極に接続された導電用ブラシを設けることで、バレルの回転に合わせて、複数の給電用電極のうち、被めっき物に接触するバレルの所定の位置(例えばバレルの下部など)に位置する給電用電極にのみ給電することができるように、複数の給電用電極に順次給電が行われるように構成されており(特許文献2の図3,4など参照)、給電を行う機構部は密封された構造とされている。   Moreover, in patent document 2, a half-moon-shaped fixed electrode is installed on the side surface of the cylindrical container, and a conductive brush connected to a plurality of power feeding electrodes arranged in the barrel is provided to rotate the barrel. In addition, among the plurality of power supply electrodes, a plurality of power supply electrodes are provided so that power can be supplied only to a power supply electrode located at a predetermined position (for example, a lower portion of the barrel) of the barrel that contacts the object to be plated. (See FIGS. 3 and 4 of Patent Document 2), and the mechanism for supplying power is hermetically sealed.

しかしながら、特許文献1および2のバレルめっき装置においては、複数の電極のうち、被めっき物に接触する給電用電極(例えばバレルの下部に位置する給電用電極)にのみ給電することができるようにするための構成が複雑であり、メンテナンスも困難であるという問題点がある。   However, in the barrel plating apparatuses of Patent Documents 1 and 2, it is possible to supply power only to a power supply electrode (for example, a power supply electrode located in the lower part of the barrel) out of a plurality of electrodes. However, there is a problem that the configuration for doing so is complicated and maintenance is difficult.

また、被めっき物に応じて、バレルの回転速度を最適の回転速度に調整するようにした場合、バレルの回転により被めっき物の転動状態が変化し、回転するバレル内における被めっき物の位置が変動するため、給電を行うべき給電用電極の範囲を調整することが必要となるが、その場合、特許文献1および2のバレルめっき装置においては、給電機構部を分解して、設定し直すことが必要で、手間がかかるため、生産性が低いという問題点がある。   In addition, when the barrel rotation speed is adjusted to the optimum rotation speed according to the object to be plated, the rolling state of the object to be plated changes due to the rotation of the barrel, and the object to be plated in the rotating barrel changes. Since the position fluctuates, it is necessary to adjust the range of the power feeding electrode to be fed. In that case, in the barrel plating apparatuses of Patent Documents 1 and 2, the power feeding mechanism section is disassembled and set. There is a problem that productivity is low because it is necessary to fix and takes time and effort.

実開昭56−11268号公報Japanese Utility Model Publication No. 56-11268 実開平1−78169号公報Japanese Utility Model Publication No. 1-78169

本発明は、上記課題を解決するものであり、複雑な構造を必要とすることなく、バレルめっき装置において、被めっき物と接触する電極にのみ効率よく給電することが可能で、メンテナンスも容易な、生産性に優れたバレルめっき装置を提供することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above-described problems, and in a barrel plating apparatus, it is possible to efficiently supply power only to an electrode in contact with an object to be plated without requiring a complicated structure, and maintenance is easy. An object of the present invention is to provide a barrel plating apparatus excellent in productivity.

上記課題を解決するため、本発明のバレルめっき装置は、
筒状で軸心回りに回転するように構成され、一部がめっき液を流通させる通液材料から形成された、内部に被めっき物が収容されるめっき用バレルと、
筒状で、前記めっき用バレルの軸心方向に隔壁を介して隣接するように配設され、前記めっき用バレルと同期して、前記めっき用バレルの回転軸と同心の軸心回りに回転するように構成された、内部に導電メディアを収容する、密封構造を有する給電用バレルと、
前記給電用バレルに配設された給電用電極と、
前記隔壁を貫通するように配設された隔壁通電電極であって、前記給電用バレルが回転することにより転動する、前記給電用バレル内の前記導電メディアと接触するメディア接触電極部と、前記メディア接触電極部と導通するとともに、前記めっき用バレルが回転することにより転動する、前記めっき用バレル内の前記被めっき物と接触する被めっき物接触電極部とを備えた隔壁通電電極と
を具備することを特徴としている。
In order to solve the above problems, the barrel plating apparatus of the present invention is
A cylindrical barrel configured to rotate around an axis in a cylindrical shape, a part of which is formed from a liquid-permeable material that circulates a plating solution, in which an object to be plated is accommodated,
It is cylindrical and is disposed so as to be adjacent to each other through a partition wall in the axial direction of the plating barrel, and rotates around an axis that is concentric with the rotation axis of the plating barrel in synchronization with the plating barrel. A power feeding barrel having a sealed structure that accommodates a conductive medium therein,
A power supply electrode disposed in the power supply barrel;
A partition current-carrying electrode disposed so as to penetrate the partition wall, the media contact electrode portion being in contact with the conductive medium in the power supply barrel, which rolls when the power supply barrel rotates, A partition energizing electrode provided with a plating object contact electrode part that comes into contact with the plating object in the plating barrel, and is electrically connected to the media contact electrode part and rolls when the plating barrel rotates. It is characterized by having .

また、本発明のバレルめっき装置においては、前記隔壁通電電極が、前記隔壁の周縁側領域に、周方向に所定の間隔をおいて複数配設されていることが好ましい。   In the barrel plating apparatus of the present invention, it is preferable that a plurality of the partition energization electrodes are arranged in the peripheral side region of the partition at a predetermined interval in the circumferential direction.

また、本発明においては、前記給電用バレルが、前記めっき用バレルと同一径を有するとともに、前記めっき用バレルと一体に、前記めっき用バレルの回転軸と同心となる軸心回りに回転するように構成されており、かつ、前記給電用バレルの導電メディア充填容積率が、前記めっき用バレル内の被めっき物充填容積率と同じであることが好ましい。   In the present invention, the power supply barrel has the same diameter as the plating barrel, and rotates about an axis that is concentric with the rotation axis of the plating barrel integrally with the plating barrel. It is preferable that the conductive medium filling volume ratio of the power supply barrel is the same as the plating object filling volume ratio in the plating barrel.

本発明のバレルめっき装置は、
(a)内部に被めっき物を収容するめっき用バレルと、
(b)めっき用バレルの軸心方向に隔壁を介して隣接するように配設され、めっき用バレルと同期して回転するように構成された、内部に導電メディアを収容する、密封構造を有する給電用バレルと、
(c)導電メディアと導通するような態様で給電用バレルに配設された給電用電極と、
(d)隔壁を貫通するように配設された隔壁通電電極であって、給電用バレル内の導電メディアと接触するメディア接触電極部と、メディア接触電極部と導通するとともに、前記めっき用バレル内の被めっき物と接触する被めっき物接触電極部とを備えた隔壁通電電極と
を具備しており、上記給電用バレル内の導電メディアを介して、めっき用バレル内の被めっき物に給電するようにしているので、上述の従来のバレルめっき装置のように複雑な構造を必要とすることなく、被めっき物と接触する電極にのみ効率よく給電することが可能なバレルめっき装置を提供することができる。
The barrel plating apparatus of the present invention is
(a) a plating barrel that accommodates an object to be plated;
(b) It has a sealing structure that is arranged so as to be adjacent to each other through a partition wall in the axial direction of the plating barrel and that is configured to rotate in synchronization with the plating barrel and accommodates a conductive medium inside. A barrel for feeding,
(c) a power supply electrode disposed on the power supply barrel in such a manner as to conduct with the conductive medium;
(d) A partition energizing electrode disposed so as to penetrate the partition, the medium contact electrode portion contacting the conductive medium in the power supply barrel, and being electrically connected to the media contact electrode portion, and in the plating barrel And a current-carrying electrode in contact with the object to be plated, and a power supply to the object in the plating barrel via the conductive medium in the power supply barrel. Therefore, it is possible to provide a barrel plating apparatus capable of efficiently supplying power only to an electrode in contact with an object to be plated, without requiring a complicated structure as in the conventional barrel plating apparatus described above. Can do.

すなわち、めっき用バレルと同期して回転する給電用バレル内の導電メディアは、めっき用バレルの回転位置に応じてその位置を変える被めっき物と同じく、給電用バレルの回転位置に応じて給電用バレル内でその位置を変えるため、被めっき物と導電メディアとは、同期して位置を変えることになる。したがって、上記導電メディアを介し、かつ、隔壁通電電極を経て、被めっき物に通電することにより、複雑な構成を必要とすることなく、簡潔な構成で、被めっき物と接触する電極にのみ効率よく給電することが可能なバレルめっき装置を提供することが可能になる。   In other words, the conductive media in the power supply barrel that rotates in synchronization with the plating barrel is for power supply according to the rotation position of the power supply barrel, similar to the object to be plated whose position changes according to the rotation position of the plating barrel. In order to change the position in the barrel, the position of the object to be plated and the conductive medium is changed in synchronization. Therefore, by passing current through the conductive media and through the partition wall energizing electrode to the object to be plated, it is efficient only for the electrode that contacts the object to be plated with a simple structure without requiring a complicated structure. It is possible to provide a barrel plating apparatus that can supply power well.

また、給電用バレルを密封構造としているので、導電メディアに電解めっき膜が形成されたり、導電メディアを構成する材料にかかわらず、導電メディアを構成する材料がめっき液に溶出したりすることを防止して、安定して長期間の使用を行うことが可能になる。
なお、給電用バレルは、内部に導電メディアが収容されるだけの、簡潔な構造の部材であることから、密閉構造とする場合にも、全体としての設備コストへの影響は限定的なものとなる。
In addition, since the power supply barrel has a sealed structure, it prevents electrolytic plating films from being formed on the conductive media, and prevents the materials that make up the conductive media from eluting into the plating solution, regardless of the materials that make up the conductive media. Thus, it becomes possible to stably use for a long time.
In addition, since the barrel for power feeding is a member having a simple structure in which only the conductive media is accommodated, the influence on the overall equipment cost is limited even when a sealed structure is used. Become.

なお、導電メディアが、被めっき物と同等の転動性を示すようにするためには、さらに、例えば、導電メディアの形状、寸法、比重などの要件を、実際の被めっき物の条件などを考慮して調整することがより望ましい。   In order for the conductive media to exhibit the same rolling properties as the object to be plated, for example, the requirements such as the shape, dimensions, specific gravity, etc. of the conductive medium, the conditions of the actual object to be plated, etc. It is more desirable to adjust in consideration.

また、給電用バレルなどの給電機構部は、一般に電解めっき装置において用いられている部材を用いて構成することが可能である。なお、例えば、給電用バレルを、めっき用バレルの一部を隔壁で仕切って、給電用バレルとして利用することにより、さらに給電機構部の構成を簡略化することができる。   In addition, a power feeding mechanism such as a power feeding barrel can be configured using members generally used in an electroplating apparatus. For example, the structure of the power supply mechanism can be further simplified by using the power supply barrel as a power supply barrel by partitioning a part of the plating barrel with a partition wall.

また、隔壁通電電極を、隔壁の周縁側領域に、周方向に所定の間隔をおいて複数配設するように構成した場合、被めっき物への通電をより確実に行って、安定しためっきを行うことが可能になる。   In addition, when a plurality of partition wall energizing electrodes are arranged in the peripheral side region of the partition wall at a predetermined interval in the circumferential direction, it is possible to more reliably energize the object to be plated for stable plating. It becomes possible to do.

また、給電用バレルの径を、めっき用バレルと同一とし、給電用バレルの導電メディア充填容積率を、めっき用バレル内の被めっき物充填容積率と同じとした場合、回転するめっき用バレル内の被めっき物の位置と、回転する給電用バレル内の導電メディアの位置を確実に対応させることが可能になり、被めっき物と接触する電極にのみ、さらに確実に給電することが可能になり、本発明をより実効あらしめることができる。   If the diameter of the power supply barrel is the same as that of the plating barrel, and the conductive media filling volume ratio of the power supply barrel is the same as the plating object filling volume ratio of the plating barrel, the inside of the rotating plating barrel It is possible to reliably match the position of the object to be plated with the position of the conductive media in the rotating power supply barrel, and it is possible to more reliably supply power only to the electrode in contact with the object to be plated. Thus, the present invention can be more effectively realized.

本発明の一実施例(実施例1)にかかるバレルめっき装置の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the barrel plating apparatus concerning one Example (Example 1) of this invention. 本発明の実施例1にかかるバレルめっき装置を構成するめっき用バレルおよび給電用バレルを備えためっき装置本体の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the plating apparatus main body provided with the barrel for plating which comprises the barrel plating apparatus concerning Example 1 of this invention, and the barrel for electric power feeding. 本発明の実施例1にかかるバレルめっき装置の要部構成を示す図である。It is a figure which shows the principal part structure of the barrel plating apparatus concerning Example 1 of this invention. 本発明の実施例1にかかるバレルめっき装置の隔壁通電電極の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the partition electricity supply electrode of the barrel plating apparatus concerning Example 1 of this invention. (a)および(b)は、本発明の実施例1にかかるバレルめっき装置を用いて電解めっきを行う場合における、めっき用バレル内の被めっき物の位置と、給電用バレル内の導電メディアの位置の関係を説明する図である。(a) and (b) are the positions of the objects to be plated in the plating barrel and the conductive media in the power supply barrel when electrolytic plating is performed using the barrel plating apparatus according to Example 1 of the present invention. It is a figure explaining the relationship of a position. 本発明の実施例1にかかるバレルめっき装置の性能を評価するために用いた比較用のバレルめっき装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the barrel plating apparatus for a comparison used in order to evaluate the performance of the barrel plating apparatus concerning Example 1 of this invention. 本発明の実施例1にかかるバレルめっき装置の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of the barrel plating apparatus concerning Example 1 of this invention.

以下に本発明の実施の形態を示して、本発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。   Embodiments of the present invention will be described below to describe the features of the present invention in more detail.

この実施例1では、例えば、外部電極を備えた積層セラミックコンデンサなどのチップ型電子部品(被めっき物)の外部電極に電解めっきを施すのに用いられるバレルめっき装置を例にとって説明する。   In the first embodiment, for example, a barrel plating apparatus used for performing electrolytic plating on an external electrode of a chip-type electronic component (object to be plated) such as a multilayer ceramic capacitor having an external electrode will be described as an example.

[バレルめっき装置の構成]
図1は本発明の実施例1にかかるバレルめっき装置の構成を示す図、図2はバレルめっき装置を構成するめっき用バレルおよび給電用バレルを備えためっき装置本体の構成を示す斜視図、図3は要部を透視して示す図である。
[Configuration of barrel plating equipment]
FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration of a barrel plating apparatus according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a perspective view illustrating a configuration of a plating apparatus main body including a plating barrel and a power supply barrel that constitute the barrel plating apparatus. 3 shows a perspective view of the main part.

図1に示すように、この実施例1のバレルめっき装置は、内部にめっき液1が収容されるめっき槽2と、めっき槽2内に配設される、めっき用バレル10および給電用バレル20を有するめっき装置本体30とを備えている。また、めっき槽2内には、めっき液1に浸漬されるように陽極電極3が配設されている。   As shown in FIG. 1, the barrel plating apparatus according to the first embodiment includes a plating tank 2 in which a plating solution 1 is accommodated, a plating barrel 10 and a power supply barrel 20 disposed in the plating tank 2. A plating apparatus main body 30 having An anode electrode 3 is disposed in the plating tank 2 so as to be immersed in the plating solution 1.

めっき用バレル10は、筒状で軸心回りに回転するように構成され、その一部は、めっき液を流通させる、例えば、多数の貫通孔を設けた多孔板やメッシュ材料などの通液材料11から形成された通液部12(図2参照)を備えている。そして、このめっき用バレル10には、被めっき物(この実施例1ではチップ型の積層セラミックコンデンサ)13(図5(a)参照)が収容される。   The plating barrel 10 is cylindrical and is configured to rotate around an axis, and a part thereof circulates the plating solution, for example, a liquid-permeable material such as a perforated plate having a large number of through holes or a mesh material. 11 is provided with a liquid passing part 12 (see FIG. 2). The plating barrel 10 accommodates an object to be plated (chip-type multilayer ceramic capacitor in this embodiment 1) 13 (see FIG. 5A).

また、給電用バレル20は、筒状で、めっき用バレル10の軸心方向に隔壁21を介して隣接するように配設され、めっき用バレル10と同期して、めっき用バレル10の回転軸と同心の軸心回りに回転するように構成された容器であって、その一部は、上述のめっき用バレル10の通液部12を構成する多孔板やメッシュ材料などの通液材料11と同じ材料から形成された通液部22を備えおり、内部には導電メディア23(図5(b)参照)が収容されている。
なお、この実施例1では、給電用バレル20は、上述のめっき用バレル10と同様に、非密封構造とされている。
The power supply barrel 20 is cylindrical and is disposed so as to be adjacent to each other via a partition wall 21 in the axial direction of the plating barrel 10, and in synchronization with the plating barrel 10, the rotating shaft of the plating barrel 10. A part of which is configured to rotate about a concentric axis, and a part of the container is formed with a liquid passing material 11 such as a porous plate or a mesh material constituting the liquid passing part 12 of the plating barrel 10 described above. A liquid passing portion 22 formed of the same material is provided, and a conductive medium 23 (see FIG. 5B) is accommodated therein.
In the first embodiment, the power supply barrel 20 has a non-sealing structure, similar to the plating barrel 10 described above.

また、この実施例1では、導電メディア23として、鉄製の球状体が用いられている。なお、導電メディア23を構成する材料に特別の制約はないが、非密封構造の給電用バレルを用いる場合には、めっき液に溶出するおそれのない材料からなるものを用いることが望ましい。   In the first embodiment, an iron spherical body is used as the conductive medium 23. There is no particular restriction on the material constituting the conductive medium 23. However, when a power supply barrel having an unsealed structure is used, it is desirable to use a material made of a material that is not likely to elute into the plating solution.

また、給電用バレル20には、導電メディア23と導通するような態様で給電配線29から電流を供給するための給電用電極(陰極電極)28(図1参照)が配設されている。なお、給電用電極28は、直接に導電メディア23とは導通せず、導電部材を介して導電メディアと導通するように構成されていてもよい。本発明は、そのような態様で導電メディアと導通する給電用電極を備えている構成を含むものである。   In addition, the power supply barrel 20 is provided with a power supply electrode (cathode electrode) 28 (see FIG. 1) for supplying a current from the power supply wiring 29 in such a manner as to be electrically connected to the conductive medium 23. The power feeding electrode 28 may be configured not to be directly connected to the conductive medium 23 but to be connected to the conductive medium through a conductive member. The present invention includes a configuration including a power supply electrode that is electrically connected to the conductive medium in such a manner.

そして、図3および図4に示すように、めっき用バレル10と給電用バレル20を仕切る隔壁21には、給電用バレル20が回転することにより転動する、給電用バレル20内の導電メディア23と接触するメディア接触電極部24と、導通部26を介してメディア接触電極部24と導通するとともに、めっき用バレル10が回転することにより転動する、めっき用バレル10内の被めっき物13と接触する被めっき物接触電極部25とを備えてなる隔壁通電電極27が、隔壁21の周縁側領域に、周方向に所定の間隔をおいて、複数個(この実施例1では12個)配設されている。なお、隔壁通電電極27が隔壁21の周縁側領域に配設されているのは、めっき用バレル10の下部に溜まった被めっき物13および給電用バレル20の下部に溜まった導電メディア23と確実に導通するようにするためである。   As shown in FIGS. 3 and 4, the conductive medium 23 in the power supply barrel 20 rolls when the power supply barrel 20 rotates on the partition wall 21 that partitions the plating barrel 10 and the power supply barrel 20. A medium contact electrode part 24 in contact with the metal contact electrode part 24 via the conduction part 26, and the object to be plated 13 in the plating barrel 10 that rolls when the plating barrel 10 rotates. A plurality (12 in this embodiment) of partition wall energizing electrodes 27 each having a contact object electrode part 25 to be plated are arranged in the peripheral side region of the partition wall 21 at a predetermined interval in the circumferential direction. It is installed. The partition energization electrode 27 is disposed in the peripheral region of the partition 21 because the object to be plated 13 accumulated in the lower part of the plating barrel 10 and the conductive medium 23 accumulated in the lower part of the power supply barrel 20 are securely connected. This is for the purpose of conduction.

なお、この実施例1では、メディア接触電極部24は、隔壁21の表面から給電用バレル20の内側に少し突出するような丸みを帯びた突出形状を有しており、また、被めっき物接触電極部25は、隔壁21の表面からめっき用バレル10の内側に少し突出するような丸みを帯びた突出形状を有している。ただし、隔壁通電電極27を構成するメディア接触電極部24および被めっき物接触電極部25の具体的な形状に特別の制約はなく、被めっき物13および導電メディア23に効率よく接触させることが可能な種々の形状とすることができる。   In the first embodiment, the media contact electrode portion 24 has a rounded protruding shape that slightly protrudes from the surface of the partition wall 21 to the inside of the power supply barrel 20, and also contacts the object to be plated. The electrode portion 25 has a rounded protruding shape that slightly protrudes from the surface of the partition wall 21 to the inside of the plating barrel 10. However, there are no particular restrictions on the specific shapes of the media contact electrode portion 24 and the plating object contact electrode portion 25 constituting the partition energizing electrode 27, and it is possible to efficiently contact the plating object 13 and the conductive medium 23. Various shapes can be used.

また、この実施例1では、チタンを構成材料とする隔壁通電電極27を用いた。
なお、隔壁通電電極27としては、導電性に優れた種々の材料からなるものを用いることができるが、めっき液に溶出するおそれのない材料からなるものを用いることが望ましい。
In Example 1, the partition energizing electrode 27 made of titanium was used.
In addition, although what consists of various materials excellent in electroconductivity can be used as the partition electricity supply electrode 27, it is desirable to use what consists of a material which does not have a possibility of eluting into a plating solution.

また、この実施例1のバレルめっき装置においては、めっき用バレル10と同期して回転する給電用バレル20内の導電メディア23と、めっき用バレル10の回転位置に応じてその位置を変える被めっき物13とが、同期して各バレル(めっき用バレル10および給電用バレル20)内を転動することができるように、
(a)給電用バレル20の径を、めっき用バレル10と同じにする(この実施例1では、給電用バレル20の断面形状および断面各部の寸法を、めっき用バレル10のそれと同じにしている)とともに、
(b)給電用バレル20を、めっき用バレル10と同期して、めっき用バレル10の回転軸と同心の軸心回りに回転するように構成し、かつ、
(c)給電用バレル20の導電メディア充填容積率を、めっき用バレル内の被めっき物充填容積率と同じになるようにしている。
Further, in the barrel plating apparatus of the first embodiment, the conductive media 23 in the power supply barrel 20 that rotates in synchronization with the plating barrel 10 and the position of the plating to be changed depending on the rotational position of the plating barrel 10. In order for the object 13 to roll in the barrels (the plating barrel 10 and the power supply barrel 20) synchronously,
(a) The diameter of the power supply barrel 20 is the same as that of the plating barrel 10 (in the first embodiment, the cross-sectional shape of the power supply barrel 20 and the dimensions of the cross-sectional portions are the same as those of the plating barrel 10. )
(b) The power supply barrel 20 is configured to rotate around the axis concentric with the rotation axis of the plating barrel 10 in synchronization with the plating barrel 10; and
(c) The conductive media filling volume ratio of the power supply barrel 20 is made to be the same as the plating object filling volume ratio in the plating barrel.

この実施例1のバレルめっき装置は、上述のような構成を備えていることから、チップ型電子部品(被めっき物)に電解めっきを施すにあたって、めっき用バレル10を、例えば、図5(a),(b)の矢印Aに示す方向(反時計回り方向)に回転させてめっきを行う際には、給電用バレル20が、めっき用バレル10と同期して同一方向に回転する。   Since the barrel plating apparatus according to the first embodiment has the above-described configuration, when electrolytic plating is performed on a chip-type electronic component (object to be plated), the plating barrel 10 is, for example, shown in FIG. ), (B), when plating is performed by rotating in the direction indicated by arrow A (counterclockwise direction), the power supply barrel 20 rotates in the same direction in synchronization with the plating barrel 10.

そして、回転するめっき用バレル10内の被めっき物13と、回転する給電用バレル20内の導電メディア23とが、図5(a),(b)に示すように、同期してめっき用バレル10および給電用バレル20内を転動する。すなわち、めっき用バレル10を転動する被めっき物13と、給電用バレル20内を転動する導電メディア23とは、互いに対応する位置で転動しながら、隔壁通電電極27を介して互いに導通する。   As shown in FIGS. 5A and 5B, the plating object 13 in the rotating plating barrel 10 and the conductive medium 23 in the rotating power supply barrel 20 are synchronized with each other. 10 and the power supply barrel 20 roll. That is, the workpiece 13 that rolls the plating barrel 10 and the conductive media 23 that rolls within the power supply barrel 20 are electrically connected to each other via the partition wall energizing electrode 27 while rolling at positions corresponding to each other. To do.

その結果、給電用電極28から、給電用バレル20内の導電メディア23、隔壁21に配設された隔壁通電電極27を構成するメディア接触電極部24、導通部26、および被めっき物接触電極部25を介して、被めっき物13と接触する隔壁通電電極27(被めっき物接触電極部25)にのみに給電して、効率よく良好な電解めっきを行うことができる。   As a result, from the power supply electrode 28, the conductive medium 23 in the power supply barrel 20, the media contact electrode portion 24, the conduction portion 26, and the object to be plated contact electrode portion that constitute the partition current supply electrode 27 disposed on the partition wall 21. Power can be supplied to only the partition wall energizing electrode 27 (the object to be plated contact electrode portion 25) in contact with the object to be plated 13 via 25, and good electrolytic plating can be performed efficiently.

[評価]
本発明の実施例にかかるバレルめっき装置を評価するため、上述のように構成されたバレルめっき装置と、図6に示すような比較用のバレルめっき装置を用いて、チップ型の積層セラミックコンデンサ(被めっき物)の、外部電極(この実施例1ではAg電極)に、Niめっき、Snめっきの順に電解めっきを施した。
[Evaluation]
In order to evaluate a barrel plating apparatus according to an embodiment of the present invention, a chip type multilayer ceramic capacitor (using a barrel plating apparatus configured as described above and a comparative barrel plating apparatus as shown in FIG. Electroplating was performed in the order of Ni plating and Sn plating on the external electrode (the Ag electrode in this Example 1) of the object to be plated.

なお、比較用のバレルめっき装置は、図6に示すように、めっき用バレル10の両端側側壁15a,15bの回転中心から、めっき用バレル10の内部に給電用電極16a,16bが挿入され、めっき用バレル10の下側の位置で、被めっき物と接触するように構成された、従来から広く用いられているバレルめっき装置である。なお、図6において、図1と同一符号を付した部分は、同一または相当する部分を示している。   In addition, as shown in FIG. 6, the comparative barrel plating apparatus is configured such that the feeding electrodes 16 a and 16 b are inserted into the inside of the plating barrel 10 from the rotation center of the both end side walls 15 a and 15 b of the plating barrel 10. This is a barrel plating apparatus that has been widely used conventionally and is configured to come into contact with an object to be plated at a position below the plating barrel 10. In FIG. 6, the parts denoted by the same reference numerals as those in FIG. 1 indicate the same or corresponding parts.

そして、実施例1のバレルめっき装置と、比較例のバレルめっき装置を用いてNiめっき、および、Snめっきを施した積層セラミックコンデンサ(被めっき物)について、その外部電極に形成されたNiめっき膜およびSnめっき膜の膜厚分布を調べた。
このNiめっき膜およびSnめっき膜の膜厚分布と、電解めっき工程における給電電圧とを、表1に示す。
And about the multilayer ceramic capacitor (to-be-plated object) which gave Ni plating and Sn plating using the barrel plating apparatus of Example 1 and the barrel plating apparatus of a comparative example, Ni plating film formed in the external electrode The film thickness distribution of the Sn plating film was examined.
Table 1 shows the film thickness distribution of the Ni plating film and the Sn plating film and the power supply voltage in the electrolytic plating process.

Figure 0005760466
Figure 0005760466

表1に示すように、本発明の要件を備えた、実施例1にかかるバレルめっき装置を用いて電解めっきを行うことにより形成したNiめっき膜およびSnめっき膜の膜厚分布および、給電電圧は、従来のバレルめっき装置を用いて電解めっきを行った場合とほぼ同じレベルであることが確認された。   As shown in Table 1, the film thickness distribution of the Ni plating film and the Sn plating film formed by performing electrolytic plating using the barrel plating apparatus according to Example 1 having the requirements of the present invention, and the feeding voltage are as follows: It was confirmed that the level was almost the same as when electrolytic plating was performed using a conventional barrel plating apparatus.

この結果から、本発明によれば、簡単な構成により、広く使用されている従来のバレルめっき装置を用いた場合と同様に、特性の良好な電解めっきを行うことが可能であることがわかる。   From this result, it can be seen that according to the present invention, it is possible to perform electrolytic plating with good characteristics with a simple configuration as in the case of using a widely used conventional barrel plating apparatus.

なお、上記実施例1のバレルめっき装置では、給電用バレル20を、めっき液を通過させる多孔板やメッシュ材料から形成された通液部22を備えた非密封構造のものとしているが、めっき用バレルは密封構造とすることも可能である。その場合、導電メディアの表面に電解めっき膜が形成されてしまったり、導電メディアを構成する導電材料がめっき液側に溶出してしまったりすることを防止して、長期間安定してめっきを行うことが可能になる。   In the barrel plating apparatus of the first embodiment, the power supply barrel 20 has a non-sealing structure including a liquid passing portion 22 formed of a perforated plate or a mesh material that allows the plating solution to pass therethrough. The barrel can also be a sealed structure. In that case, it is possible to prevent the electroplating film from being formed on the surface of the conductive media and to prevent the conductive material constituting the conductive media from eluting to the plating solution side, thereby performing stable plating for a long period of time. It becomes possible.

なお、給電用バレル20は、内部に導電メディア23が収容されるだけの、簡潔な構造を有するものであることから、密閉構造とする場合にも特に複雑な構成を必要とすることはない。   Note that the power supply barrel 20 has a simple structure in which the conductive medium 23 is only accommodated therein, and therefore does not require a particularly complicated configuration even in a sealed structure.

[変形例]
上記実施例1では、隔壁通電電極27を構成する被めっき物接触電極部25が隔壁21に形成されたものであって、隔壁21から給電用バレル20のめっき用バレル10の内側に少し突出した構造のものである場合について説明したが、例えば、図7に模式的に示すように、被めっき物接触電極部25を、めっき用バレル10の内周面上を、隔壁21が配設された端部側から、対向する他方端面(図示せず)側に向かって延びる複数本の帯状電極部25aを備えた構成とすることも可能である。
[Modification]
In the first embodiment, the object contact electrode portion 25 constituting the partition energizing electrode 27 is formed on the partition 21 and slightly protrudes from the partition 21 to the inside of the plating barrel 10 of the power supply barrel 20. The case of the structure has been described. For example, as schematically shown in FIG. 7, the object contact electrode portion 25 is disposed on the inner peripheral surface of the plating barrel 10, and the partition wall 21 is disposed. A configuration in which a plurality of strip-like electrode portions 25a extending from the end side toward the other end surface (not shown) facing each other is also possible.

さらに、被めっき物接触電極部25を、めっき用バレル10の内周面に、周方向およびそれに直交する方向に行列状に配設された複数の島状電極(隔壁通電電極27と導通する電極)(図示せず)を備えた構成とすることも可能である。   Further, the object contact electrode portion 25 is connected to a plurality of island-like electrodes (electrodes electrically connected to the partition wall energizing electrode 27) arranged in a matrix in the circumferential direction and a direction orthogonal to the inner circumferential surface of the plating barrel 10. ) (Not shown).

また、隔壁通電電極27を構成するメディア接触電極部24についても、上述の、被めっき物接触電極部25の変形例に準じる構成のものとすることが可能である。   Further, the media contact electrode portion 24 constituting the partition energizing electrode 27 can also be configured according to the above-described modification of the plating object contact electrode portion 25.

なお、隔壁通電電極27を構成する被めっき物接触電極部25やメディア接触電極部24については、さらに他の構成とすることも可能である。   In addition, about the to-be-plated object contact electrode part 25 and the media contact electrode part 24 which comprise the partition electricity supply electrode 27, it is also possible to set it as another structure.

本発明はさらにその他の点においても上記実施例に限定されるものではなく、被めっき物の種類、被めっき物の具体的な形状や寸法、めっき金属の種類、めっき液の組成、めっき条件などに関し、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。   The present invention is not limited to the above embodiments in other points as well, and the type of the object to be plated, the specific shape and dimensions of the object to be plated, the type of plating metal, the composition of the plating solution, the plating conditions, etc. However, various applications and modifications can be made within the scope of the invention.

1 めっき液
2 めっき槽
3 陽極電極
10 めっき用バレル
11 通液材料
12 めっき用バレルの通液部
13 被めっき物
20 給電用バレル
21 隔壁
22 給電用バレルの通液部
23 導電メディア
24 メディア接触電極部
25 被めっき物接触電極部
25a 帯状電極部
26 導通部
27 隔壁通電電極
28 給電用電極
29 給電配線
30 めっき装置本体
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Plating liquid 2 Plating tank 3 Anode electrode 10 Plating barrel 11 Liquid passing material 12 Plating barrel liquid passing part 13 Plating object 20 Power feeding barrel 21 Bulkhead 22 Power feeding barrel liquid passing part 23 Conductive media 24 Media contact electrode Reference numeral 25: Plated object contact electrode part 25a: Strip electrode part 26: Conducting part 27: Partition energizing electrode 28: Feeding electrode 29: Feeding wiring 30

Claims (3)

筒状で軸心回りに回転するように構成され、一部がめっき液を流通させる通液材料から形成された、内部に被めっき物を収容するめっき用バレルと、
筒状で、前記めっき用バレルの軸心方向に隔壁を介して隣接するように配設され、前記めっき用バレルと同期して、前記めっき用バレルの回転軸と同心の軸心回りに回転するように構成された、内部に導電メディアを収容する、密封構造を有する給電用バレルと、
前記給電用バレルに配設された給電用電極と、
前記隔壁を貫通するように配設された隔壁通電電極であって、前記給電用バレルが回転することにより転動する、前記給電用バレル内の前記導電メディアと接触するメディア接触電極部と、前記メディア接触電極部と導通するとともに、前記めっき用バレルが回転することにより転動する、前記めっき用バレル内の前記被めっき物と接触する被めっき物接触電極部とを備えた隔壁通電電極と
を具備することを特徴とするバレルめっき装置。
A cylindrical barrel configured to rotate around an axis in a cylindrical shape, a part of which is formed from a liquid-permeable material through which a plating solution is circulated, and which accommodates an object to be plated,
It is cylindrical and is disposed so as to be adjacent to each other through a partition wall in the axial direction of the plating barrel, and rotates around an axis that is concentric with the rotation axis of the plating barrel in synchronization with the plating barrel. A power feeding barrel having a sealed structure that accommodates a conductive medium therein,
A power supply electrode disposed in the power supply barrel;
A partition current-carrying electrode disposed so as to penetrate the partition wall, the media contact electrode portion being in contact with the conductive medium in the power supply barrel, which rolls when the power supply barrel rotates, A partition energizing electrode provided with a plating object contact electrode part that comes into contact with the plating object in the plating barrel, and is electrically connected to the media contact electrode part and rolls when the plating barrel rotates. A barrel plating apparatus comprising:
前記隔壁通電電極が、前記隔壁の周縁側領域に、周方向に所定の間隔をおいて複数配設されていることを特徴とする請求項記載のバレルめっき装置。 The partition energization electrode, the peripheral side region of the partition wall, circumferentially at predetermined intervals barrel plating apparatus according to claim 1, characterized in that a plurality of arranged. 前記給電用バレルが、前記めっき用バレルと同一径を有するとともに、前記めっき用バレルと一体に、前記めっき用バレルの回転軸と同心となる軸心回りに回転するように構成されており、かつ、前記給電用バレルの導電メディア充填容積率が、前記めっき用バレル内の被めっき物充填容積率と同じであることを特徴とする請求項1または2記載のバレルめっき装置。 The power supply barrel has the same diameter as the plating barrel, and is configured to rotate about an axis that is concentric with a rotation axis of the plating barrel, integrally with the plating barrel, and , conductive media filling volume ratio of the feeding barrel, barrel plating apparatus according to claim 1 or 2, wherein it is the same as the object to be plated packing volume fraction of the plating barrel.
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