JP5756797B2 - プロキシミティヘッドの表面形状変更 - Google Patents
プロキシミティヘッドの表面形状変更 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5756797B2 JP5756797B2 JP2012512082A JP2012512082A JP5756797B2 JP 5756797 B2 JP5756797 B2 JP 5756797B2 JP 2012512082 A JP2012512082 A JP 2012512082A JP 2012512082 A JP2012512082 A JP 2012512082A JP 5756797 B2 JP5756797 B2 JP 5756797B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- proximity head
- flow
- modification
- meniscus
- aqueous fluid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000008859 change Effects 0.000 title claims description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 49
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 claims description 41
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 37
- 230000004048 modification Effects 0.000 claims description 19
- 238000012986 modification Methods 0.000 claims description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 18
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 12
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000007788 roughening Methods 0.000 claims description 6
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims description 5
- 230000004075 alteration Effects 0.000 claims 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 45
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 27
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 27
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 20
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 17
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 15
- 230000008569 process Effects 0.000 description 13
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 11
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 9
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 7
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 7
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 6
- 230000003075 superhydrophobic effect Effects 0.000 description 6
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 4
- BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 1,1-Difluoroethene Chemical compound FC(F)=C BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920006370 Kynar Polymers 0.000 description 3
- 229920007478 Kynar® 740 Polymers 0.000 description 3
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 3
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 229910003465 moissanite Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000005661 hydrophobic surface Effects 0.000 description 2
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920001780 ECTFE Polymers 0.000 description 1
- 229920007925 Ethylene chlorotrifluoroethylene (ECTFE) Polymers 0.000 description 1
- 229920006368 Hylar Polymers 0.000 description 1
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 1
- 229920001328 Polyvinylidene chloride Polymers 0.000 description 1
- 229920006371 Sygef Polymers 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 230000005660 hydrophilic surface Effects 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 239000005033 polyvinylidene chloride Substances 0.000 description 1
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 1
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 1
- 238000009987 spinning Methods 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
- H01L21/67051—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing using mainly spraying means, e.g. nozzles
-
- B08B1/20—
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B44—DECORATIVE ARTS
- B44C—PRODUCING DECORATIVE EFFECTS; MOSAICS; TARSIA WORK; PAPERHANGING
- B44C1/00—Processes, not specifically provided for elsewhere, for producing decorative surface effects
- B44C1/22—Removing surface-material, e.g. by engraving, by etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67063—Apparatus for fluid treatment for etching
- H01L21/67075—Apparatus for fluid treatment for etching for wet etching
- H01L21/6708—Apparatus for fluid treatment for etching for wet etching using mainly spraying means, e.g. nozzles
Description
適用例1:プロキシミティヘッドであって、メニスカスとしての水性流体の流れを前記プロキシミティヘッドの表面にわたって生じさせるように構成され、前記プロキシミティヘッドの前記表面は、前記流れを介して基板の表面に作用し、前記プロキシミティヘッドの前記表面は、前記流れを変化させる表面形状変更を伴う材料で構成される、プロキシミティヘッドと、前記基板のためのホルダであって、前記基板の前記表面を前記流れに曝すホルダと、を備える装置。
適用例2:適用例1に記載の装置であって、前記流れに対する前記変化は、前記流れを閉じ込める、維持する、及び促進する変化からなる群より選択された1つ又は2つ以上の変化を含む、装置。
適用例3:適用例1に記載の装置であって、前記変更は、前記プロキシミティヘッドの前記表面の少なくとも一部をより親水性にする、装置。
適用例4:適用例3に記載の装置であって、前記変更は、前記プロキシミティヘッドの前記表面の少なくとも一部に準ウィッキングを呈させる、装置。
適用例5:適用例3に記載の装置であって、前記変更は、直接的な彫り込みを通じて前記プロキシミティヘッドの前記表面に切り込まれた溝を含む、装置。
適用例6:適用例5に記載の装置であって、前記変更は、ダイヤモンド及びSiCからなる群より選択される先端を有する円錐状のスクライブによって前記プロキシミティヘッドの前記表面に切り込まれた溝を含む、装置。
適用例7:適用例1に記載の装置であって、前記変更は、前記プロキシミティヘッドの前記表面の少なくとも一部をより疎水性にする、装置。
適用例8:適用例7に記載の装置であって、前記変更は、前記プロキシミティヘッドの前記表面の少なくとも一部に超疎水性を生じさせる、装置。
適用例9:適用例7に記載の装置であって、前記変更は、フォト加工されたテンプレートによって前記プロキシミティヘッドの前記表面上に形成されるパターンを含む、装置。
適用例10:適用例9に記載の装置であって、前記テンプレートをフォト加工するためにレーザが使用される、装置。
適用例11: メニスカスとしての水性流体の流れをプロキシミティヘッドの表面にわたって供給し、前記表面は、前記流れを変化させる表面形状変更を伴う材料で構成され、基板の表面を前記流れに曝すこと、を備える方法。
適用例12:適用例11に記載の方法であって、前記流れに対する前記変化は、前記流れを閉じ込める、維持する、及び促進する変化からなる群より選択された1つ又は2つ以上の変化を含む、方法。
適用例13:適用例11に記載の方法であって、前記表面形状変更は、前記プロキシミティヘッドの前記表面の少なくとも一部をより親水性にする、方法。
適用例14:適用例13に記載の方法であって、前記変更は、前記プロキシミティヘッドの前記表面の少なくとも一部に準ウィッキングを呈させる、方法。
適用例15:適用例14に記載の方法であって、前記変更は、直接的な彫り込みを通じて前記プロキシミティヘッドの前記表面に切り込まれた溝を含む、方法。
適用例16:適用例15に記載の方法であって、前記変更は、ダイヤモンド及びSiCからなる群より選択される先端を有する円錐状のスクライブによって前記プロキシミティヘッドの前記表面に切り込まれた溝を含む、方法。
適用例17:適用例11に記載の方法であって、前記変更は、前記プロキシミティヘッドの前記表面の少なくとも一部をより疎水性にする、方法。
適用例18:適用例17に記載の方法であって、前記変更は、前記プロキシミティヘッドの前記表面の少なくとも一部に超疎水性を生じさせる、方法。
適用例19:適用例17に記載の方法であって、前記変更は、フォト加工されたテンプレートによって前記プロキシミティヘッドの前記表面上に形成されるパターンを含む、方法。
適用例20:水性流体を供給するための少なくとも1つの穴及び部分的真空のための少なくとも1つの穴を含む第1の構成要素と、前記水性流体を供給するための少なくとも1つの穴に接続された供給穿孔及び前記部分的真空のための少なくとも1つの穴に接続された吸い込み穿孔を有する表面を含む第2の構成要素とで、プロキシミティヘッドを形成することと、前記供給穿孔と前記吸い込み穿孔との間におけるメニスカスとしての前記水性流体の流れを変化させる表面形状変更を生じさせるために、前記表面を粗面化することと、を備える方法。
Claims (20)
- プロキシミティヘッドであって、メニスカスとしての水性流体の流れを前記プロキシミティヘッドの表面にわたって生じさせるように構成され、前記プロキシミティヘッドの前記表面は、前記流れを介して基板の表面に作用し、前記プロキシミティヘッドの前記表面は、前記流れを変化させる表面形状変更を伴う材料で構成され、前記表面形状変更は、30〜150ミクロンの深さを有し、対象範囲内に1mm間隔で彫り込まれた10〜30本の流路を含む、プロキシミティヘッドと、
前記基板のためのホルダであって、前記基板の前記表面を前記流れに曝すホルダと、
を備える装置。 - 請求項1に記載の装置であって、
前記流れに対する前記変化は、前記流れを閉じ込める、維持する、及び促進する変化からなる群より選択された1つ又は2つ以上の変化を含む、装置。 - 請求項1に記載の装置であって、
前記変更は、前記プロキシミティヘッドの前記表面の少なくとも一部を親水性にする、装置。 - 請求項3に記載の装置であって、
前記変更は、前記プロキシミティヘッドの前記表面の少なくとも一部に準ウィッキングを呈させる、装置。 - 請求項3に記載の装置であって、
前記変更は、直接的な彫り込みを通じて前記プロキシミティヘッドの前記表面に切り込まれた溝としての前記流路を含む、装置。 - 請求項5に記載の装置であって、
前記変更は、ダイヤモンド及びSiCからなる群より選択される先端を有する円錐状のスクライブによって前記プロキシミティヘッドの前記表面に切り込まれた溝としての前記流路を含む、装置。 - 請求項1に記載の装置であって、
前記変更は、前記プロキシミティヘッドの前記表面の少なくとも一部を疎水性にする、装置。 - 請求項7に記載の装置であって、
前記変更は、前記プロキシミティヘッドの前記表面の少なくとも一部に超疎水性を生じさせる、装置。 - 請求項7に記載の装置であって、
前記変更は、フォト加工されたテンプレートによって前記プロキシミティヘッドの前記表面上に形成されるパターンとしての前記流路を含む、装置。 - 請求項9に記載の装置であって、
前記テンプレートをフォト加工するためにレーザが使用される、装置。 - メニスカスとしての水性流体の流れをプロキシミティヘッドの表面にわたって供給し、前記表面は、前記流れを変化させる表面形状変更を伴う材料で構成され、前記表面形状変更は、30〜150ミクロンの深さを有し、対象範囲内に1mm間隔で彫り込まれた10〜30本の流路を含み、
基板の表面を前記流れに曝すこと、
を備える方法。 - 請求項11に記載の方法であって、
前記流れに対する前記変化は、前記流れを閉じ込める、維持する、及び促進する変化からなる群より選択された1つ又は2つ以上の変化を含む、方法。 - 請求項11に記載の方法であって、
前記表面形状変更は、前記プロキシミティヘッドの前記表面の少なくとも一部をより親水性にする、方法。 - 請求項13に記載の方法であって、
前記変更は、前記プロキシミティヘッドの前記表面の少なくとも一部に準ウィッキングを呈させる、方法。 - 請求項14に記載の方法であって、
前記変更は、直接的な彫り込みを通じて前記プロキシミティヘッドの前記表面に切り込まれた溝としての前記流路を含む、方法。 - 請求項15に記載の方法であって、
前記変更は、ダイヤモンド及びSiCからなる群より選択される先端を有する円錐状のスクライブによって前記プロキシミティヘッドの前記表面に切り込まれた溝としての前記流路を含む、方法。 - 請求項11に記載の方法であって、
前記変更は、前記プロキシミティヘッドの前記表面の少なくとも一部を疎水性にする、方法。 - 請求項17に記載の方法であって、
前記変更は、前記プロキシミティヘッドの前記表面の少なくとも一部に超疎水性を生じさせる、方法。 - 請求項17に記載の方法であって、
前記変更は、フォト加工されたテンプレートによって前記プロキシミティヘッドの前記表面上に形成されるパターンとしての前記流路を含む、方法。 - 水性流体を供給するための少なくとも1つの穴及び部分的真空のための少なくとも1つの穴を含む第1の構成要素と、前記水性流体を供給するための少なくとも1つの穴に接続された供給穿孔及び前記部分的真空のための少なくとも1つの穴に接続された吸い込み穿孔を有する表面を含む第2の構成要素とで、プロキシミティヘッドを形成することと、
前記供給穿孔と前記吸い込み穿孔との間におけるメニスカスとしての前記水性流体の流れを変化させる表面形状変更を生じさせるために、前記表面を粗面化することと、
を備え、
前記表面形状変更は、30〜150ミクロンの深さを有し、対象範囲内に1mm間隔で彫り込まれた10〜30本の流路を含む、
方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/471,169 | 2009-05-22 | ||
US12/471,169 US20100294742A1 (en) | 2009-05-22 | 2009-05-22 | Modifications to Surface Topography of Proximity Head |
PCT/US2010/035874 WO2010135719A1 (en) | 2009-05-22 | 2010-05-21 | Modifications to surface topography of proximity head |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012527785A JP2012527785A (ja) | 2012-11-08 |
JP2012527785A5 JP2012527785A5 (ja) | 2013-07-04 |
JP5756797B2 true JP5756797B2 (ja) | 2015-07-29 |
Family
ID=43123884
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012512082A Expired - Fee Related JP5756797B2 (ja) | 2009-05-22 | 2010-05-21 | プロキシミティヘッドの表面形状変更 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20100294742A1 (ja) |
JP (1) | JP5756797B2 (ja) |
KR (1) | KR20120025478A (ja) |
CN (1) | CN102427891B (ja) |
SG (2) | SG10201402465WA (ja) |
TW (1) | TW201108312A (ja) |
WO (1) | WO2010135719A1 (ja) |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1133506A (ja) * | 1997-07-24 | 1999-02-09 | Tadahiro Omi | 流体処理装置及び洗浄処理システム |
JPH10312983A (ja) * | 1997-05-12 | 1998-11-24 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板洗浄装置 |
US7234477B2 (en) * | 2000-06-30 | 2007-06-26 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for drying semiconductor wafer surfaces using a plurality of inlets and outlets held in close proximity to the wafer surfaces |
JP2002115068A (ja) * | 2000-10-11 | 2002-04-19 | Applied Materials Inc | シャワーヘッド、基板処理装置および基板製造方法 |
JP2002176024A (ja) * | 2000-12-06 | 2002-06-21 | Hitachi Ltd | 板状基板の処理方法および処理装置 |
JP3805690B2 (ja) * | 2002-01-28 | 2006-08-02 | 株式会社東芝 | 基板処理方法及び基板処理装置 |
US7093375B2 (en) * | 2002-09-30 | 2006-08-22 | Lam Research Corporation | Apparatus and method for utilizing a meniscus in substrate processing |
US7252097B2 (en) * | 2002-09-30 | 2007-08-07 | Lam Research Corporation | System and method for integrating in-situ metrology within a wafer process |
US6954993B1 (en) * | 2002-09-30 | 2005-10-18 | Lam Research Corporation | Concentric proximity processing head |
US6988326B2 (en) * | 2002-09-30 | 2006-01-24 | Lam Research Corporation | Phobic barrier meniscus separation and containment |
US7383843B2 (en) * | 2002-09-30 | 2008-06-10 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for processing wafer surfaces using thin, high velocity fluid layer |
CN101424881B (zh) * | 2002-11-12 | 2011-11-30 | Asml荷兰有限公司 | 光刻投射装置 |
KR101178756B1 (ko) * | 2003-04-11 | 2012-08-31 | 가부시키가이샤 니콘 | 액침 리소그래피 머신에서 웨이퍼 교환동안 투영 렌즈 아래의 갭에서 액침액체를 유지하는 장치 및 방법 |
JP2004327943A (ja) * | 2003-04-28 | 2004-11-18 | Sharp Corp | レジスト処理装置および処理方法 |
EP1479738A1 (en) * | 2003-05-20 | 2004-11-24 | DSM IP Assets B.V. | Hydrophobic coatings comprising reactive nano-particles |
JP4970712B2 (ja) * | 2003-06-19 | 2012-07-11 | 日本碍子株式会社 | 窒化アルミニウム焼結体、窒化アルミニウムの製造方法、及び窒化アルミニウムの評価方法 |
EP1524558A1 (en) * | 2003-10-15 | 2005-04-20 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US7656501B2 (en) * | 2005-11-16 | 2010-02-02 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus |
US7804577B2 (en) * | 2005-11-16 | 2010-09-28 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus |
JP2007266074A (ja) * | 2006-03-27 | 2007-10-11 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法及び液浸リソグラフィーシステム |
US8127395B2 (en) * | 2006-05-05 | 2012-03-06 | Lam Research Corporation | Apparatus for isolated bevel edge clean and method for using the same |
US7514125B2 (en) * | 2006-06-23 | 2009-04-07 | Applied Materials, Inc. | Methods to improve the in-film defectivity of PECVD amorphous carbon films |
US20080067502A1 (en) * | 2006-09-14 | 2008-03-20 | Nirupama Chakrapani | Electronic packages with fine particle wetting and non-wetting zones |
US7946303B2 (en) * | 2006-09-29 | 2011-05-24 | Lam Research Corporation | Carrier for reducing entrance and/or exit marks left by a substrate-processing meniscus |
US20120043822A1 (en) * | 2010-08-19 | 2012-02-23 | Swenson Josh C | Modular electrical accumulator unit |
-
2009
- 2009-05-22 US US12/471,169 patent/US20100294742A1/en not_active Abandoned
-
2010
- 2010-05-21 TW TW099116302A patent/TW201108312A/zh unknown
- 2010-05-21 SG SG10201402465WA patent/SG10201402465WA/en unknown
- 2010-05-21 CN CN201080021391.5A patent/CN102427891B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2010-05-21 WO PCT/US2010/035874 patent/WO2010135719A1/en active Application Filing
- 2010-05-21 JP JP2012512082A patent/JP5756797B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-05-21 KR KR1020117027571A patent/KR20120025478A/ko not_active Application Discontinuation
- 2010-05-21 SG SG2011083441A patent/SG176039A1/en unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20120025478A (ko) | 2012-03-15 |
WO2010135719A1 (en) | 2010-11-25 |
JP2012527785A (ja) | 2012-11-08 |
US20100294742A1 (en) | 2010-11-25 |
SG10201402465WA (en) | 2014-09-26 |
TW201108312A (en) | 2011-03-01 |
SG176039A1 (en) | 2011-12-29 |
CN102427891B (zh) | 2014-06-25 |
CN102427891A (zh) | 2012-04-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Arab et al. | Fabrication of multiple through-holes in non-conductive materials by electrochemical discharge machining for RF MEMS packaging | |
US9114396B2 (en) | Method of making flowcell with micro-fluid structure | |
JP5013685B2 (ja) | 基板処理においてメニスカスを用いるための装置および方法 | |
JP4759300B2 (ja) | 薄い高速流体層を使用してウェーハ表面を処理する方法及び装置 | |
CN101523563B (zh) | 用于减少由基片处理弯液面留下的进入和/或离开的痕迹的载具 | |
TWI467642B (zh) | 半導體處理設備元件及零件的超高頻音波精確清洗 | |
Kunieda et al. | Rapid prototyping by selective electrodeposition using electrolyte jet | |
WO2008153684A2 (en) | Articles comprising wettable structured surfaces | |
TWI279287B (en) | Electrochemical-mechanical polishing system | |
Yong et al. | Underwater gas self-transportation along femtosecond laser-written open superhydrophobic surface microchannels (< 100 µm) for bubble/gas manipulation | |
EP2073939B1 (en) | Wet processing apparatus using a fluid meniscus | |
JP2006073998A (ja) | 近接型プロキシミティプロセスヘッド | |
CN1366333A (zh) | 衬底处理装置及采用此装置的衬底处理方法 | |
CN109701298A (zh) | 润湿性渐变的超亲和超亲-超疏气体铜箔及其制备方法及定位收集装置 | |
JP5756797B2 (ja) | プロキシミティヘッドの表面形状変更 | |
KR20060052081A (ko) | 도포막 형성 장치 및 도포막 형성 방법 | |
KR20100098519A (ko) | 물품의 세정 장치 및 방법 | |
Hazra et al. | Lasered roughness to increase wicking rates in pin-fin microstructure | |
CN112376089A (zh) | 一种具有浸润各向异性的不锈钢超疏水表面的制备方法 | |
da Silva et al. | An overview on the role of wettability and wickability as a tool for enhancing pool boiling heat transfer | |
JP2012510181A (ja) | 近接ヘッドにより供給される泡の閉じ込め | |
CN116685562A (zh) | 减少玻璃元件上凸起结构的方法和根据该方法制造的玻璃元件 | |
JP2002273626A (ja) | ハニカム構造体成形用金型の製造方法 | |
JPH1180967A (ja) | めっき装置 | |
JP2012527785A5 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130517 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130517 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140225 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140520 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150106 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150403 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150507 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150601 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5756797 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |