JP5755595B2 - センサ装置、センサ装置を用いて液体の特性を測定する方法 - Google Patents

センサ装置、センサ装置を用いて液体の特性を測定する方法 Download PDF

Info

Publication number
JP5755595B2
JP5755595B2 JP2012078757A JP2012078757A JP5755595B2 JP 5755595 B2 JP5755595 B2 JP 5755595B2 JP 2012078757 A JP2012078757 A JP 2012078757A JP 2012078757 A JP2012078757 A JP 2012078757A JP 5755595 B2 JP5755595 B2 JP 5755595B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
potential
substrate
capacitance
pair
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2012078757A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2013210208A (ja
Inventor
伸博 加藤
伸博 加藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Aisan Industry Co Ltd
Original Assignee
Aisan Industry Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Aisan Industry Co Ltd filed Critical Aisan Industry Co Ltd
Priority to JP2012078757A priority Critical patent/JP5755595B2/ja
Priority to US13/789,646 priority patent/US20130233707A1/en
Publication of JP2013210208A publication Critical patent/JP2013210208A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5755595B2 publication Critical patent/JP5755595B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)

Description

本明細書では、センサ装置、センサ装置を用いて液体の特性を測定する方法を開示する。
特許文献1に、液体内に配置される電極対の静電容量を測定することによって、測定対象となる液体の液質や液面レベルを検出するセンサ装置が開示されている。特許文献1のセンサ装置は、基板の表裏面のそれぞれに噛み合わせるように配置された櫛歯形の電極対を1対ずつ備えている。表面側の電極対の静電容量を測定することによって液面レベルを検出し、裏面側の電極対の静電容量を測定することによって液質を検出する。
特開2005−351689号公報
液体内に配置される電極対の静電容量を測定するセンサ装置では、測定値が電極対が配置される液体の導電率の影響を受けて変化する場合がある。本明細書では、電極対が配置される液体の導電率の影響を小さくすることができるセンサ装置を提供する。
本明細書で開示されるセンサ装置は、基板と、基板の表面に互いに離間して形成されている、第1電極および第2電極を有する第1電極対と、基板の裏面に互いに離間して形成されている、第3電極および第4電極を有する第2電極対と、を有するセンサ部と、電源とセンサ部とを接続する配線部とを備えている。このセンサ装置では、第1電極は、第3電極の少なくとも一部と基板を介して対向しており、第2電極は、第4電極の少なくとも一部と基板を介して対向している。配線部は、第1電極および第4電極の電位が第1電位であり、第2電極および第3電極の電位が、第1電位と異なる電位の第2電位である状態に接続することができる。
上記のセンサ装置では、第1電極および第4電極の電位が第1電位であり、第2電極および第3電極の電位が、第1電位と異なる電位の第2電位である状態になるように、配線部は、第1電極、第2電極、第3電極および第4電極と電源との間を接続している。これによって、基板の同一面上(表面又は裏面)で対向する電極間(第1電極と第2電極の間および第3電極と第4電極の間)で電位差が生じるとともに、基板を挟んでその少なくとも一部が対向する電極間(第1電極と第3電極の間、第2電極と第4電極の間)においても電位差が生じる。その結果、基板を挟んでその少なくとも一部が対向する電極間の容量成分(静電容量をCzとする)が、基板の面上で対向する電極間の容量成分(静電容量をCyとする)に並列接続され、センサ部の静電容量Cは、C=Cy+Czとなる。センサ部の誘電損失tanδは、電源の角周波数ω、センサ部の寄生抵抗R2(液体の導電率の影響を受ける)と静電容量Cによって、下記式(1)によって表される。式(1)より、静電容量CがCzだけ大きくなると、誘電損失tanδが小さくなり、液体の導電率の影響を小さくすることができる。
tanδ=1/ωCR2 …… (1)
上記のセンサ装置では、第1電極と第3電極とは、互いに基板を介して対向する位置に形成されており、第2電極と第4電極とは、互いに基板を介して対向する位置に形成されていてもよい。
上記のセンサ装置では、配線部は、第1電極および第4電極の電位が第1電位であり、第2電極および第3電極の電位が第2電位である状態と、第1電極および第3電極の電位が第1電位であり、第2電極および第4電極の電位が第2電位である状態とに切り換え可能な切換手段を含んでいてもよい。
上記のセンサ装置では、配線部は、第1電極対と第2電極対とを並列接続する状態と、第1電極対と第2電極対とを直列接続する状態とに切り換え可能な切換手段を含んでいてもよい。
本明細書は、また、センサ装置を用いて液体の特性を測定する方法を開示する。この方法に用いられるセンサ装置は、基板と、基板の表面に互いに離間して形成されている、第1電極および第2電極を有する第1電極対と、基板の裏面に互いに離間して形成されている、第3電極および第4電極を有する第2電極対と、を備えており、第1電極は、第3電極の少なくとも一部と基板を介して対向しており、第2電極は、第4電極の少なくとも一部と基板を介して対向している。この方法は、第1電極および第4電極の電位が第1電位となり、第2電極および第3電極の電位が、第1電位と異なる電位の第2電位となるようにセンサ装置に電力を供給し、センサ装置から出力される第1出力を用いて、液体の静電容量を測定する。
上記の測定方法では、さらに、第1電極および第3電極の電位が第1電位となり、第2電極および第4電極の電位が、第2電位となるように電力を供給し、センサ装置から出力される第2出力と第1出力とに基づいて、液体の導電率を算出することをさらに含んでいてもよい。
上記の測定方法では、第1電極対と第2電極対とを並列接続する状態でセンサ装置に電力を供給し、センサ装置から出力される出力と、第1電極対と第2電極対とを直列接続する状態でセンサ装置に電力を供給し、センサ装置から出力される出力とを用いて、液体の静電容量および導電率を測定してもよい。
第1実施例のセンサシステムの概略を示す。 図1のII−II線断面図を示す。 変形例のセンサシステムの概略を示す。 第2実施例のセンサシステムの概略を示す。 変形例のセンサシステムの概略を示す。 第3実施例のセンサシステムの概略を示す。 変形例のセンサシステムの概略を示す。 第1出力と混合燃料のエタノール濃度との関係を示す。 第2出力と混合燃料の導電率との関係を示す。 第2出力と混合燃料のエタノール濃度との関係を示す。
(第1実施例)
(センサシステム200の構成)
図1に示すように、センサシステム200は、センサ装置10と、特定装置500を備える。センサ装置10は、燃料タンク(図示省略)内に配置され、特定装置500は、燃料タンク外に配置される。センサシステム200は、エタノールを含む混合燃料に含まれるエタノール濃度を特定するために用いられる。
(特定装置500の構成)
特定装置500は、発振回路52と、抵抗部54と、整流部56と、信号増幅部58と、演算部(MCU)60と、配線部600とを備える。
発振回路52は、一定の周波数の信号(電圧)を発生する。発振回路52は、抵抗部54を介して配線部600に接続されている。配線部600は、センサ部10および整流部56に接続されている。センサ部10は、接続部14c,14d,12c,12dにおいて配線部600と接続されている。センサ部10の具体的な構成については後述する。
配線部600は、配線の接続状態を切り換え可能な切換手段として、スイッチ610,620,630を備える。スイッチ610は、発振回路52および整流部56を、端子T10に接続する状態と、端子T11に接続する状態に切り替える。スイッチ620は、接続部12dを、端子T20に接続する状態と、端子T21に接続する状態に切り替える。スイッチ630は、接続部12cを、端子T30に接続する状態と、端子T31に接続する状態に切り替える。
整流部56は、スイッチ610に接続されている。整流部56には、スイッチ610における信号(電圧)が入力される。整流部56は、入力した信号(電圧)を整流する。信号増幅部58には、整流部56で整流された信号が入力する。信号増幅部58は、入力する信号(電圧)を増幅する。演算部60は、整流部56及び信号増幅部58を介してスイッチ610における信号(電圧)が入力される。抵抗部54の抵抗値は一定であるため、センサ部10の静電容量Cに応じて演算部60へ出力される電圧信号の出力値が変化する。演算部60は、演算部60へ出力される電圧信号の出力値からセンサ部10の静電容量Cを算出することができる。センサ部10の静電容量Cは、センサ部10が浸漬する混合燃料に含まれるエタノールの濃度によって変化する。演算部60は、得られた静電容量Cを用いて、エタノールの濃度を算出するためのデータベースを記憶している。これらのデータベースは、予め試験等を元に作成され、演算部60に記憶されている。
(センサ部10の構成)
センサ部10は、基板20の表面21に形成された第1電極対14と、基板20の裏面22に形成された第2電極対12とを備えている。基板20は、誘電体を材料として形成されており、本実施例では、ポリイミドで形成されているが、PPS(Poly Phenylene Sulfide Resin、ポリフェニレンサルファイド樹脂)等の他の誘電体材料によって形成されていてもよい。基板20は、矩形状の平板である。表面21と裏面22は、基板20の互いに対向する面である。第1電極対14は、表面21上で互いに離間して配置されている櫛歯状の第1電極14aおよび第2電極14bを有している。第2電極対12は、裏面22上で互いに離間して配置されている櫛歯状の第3電極12aおよび第4電極12bを有している。第1電極14a、第2電極14b、第3電極12a、第4電極12bは、それぞれ、接続部14c,14d,12c,12dにおいて配線部600と接続されている。接続部14cは、接地されている。接続部14dは、抵抗部54とスイッチ610との間に接続されている。接続部12cは、スイッチ630に接続されている。接続部12dは、スイッチ620に接続されている。
図1に示すように、第1電極14aは、接続部14cから表面21のX軸の正方向の端部に沿ってY軸の負方向に伸びる柄部と、この柄部からX軸の負方向に伸びる櫛歯部とを備えている。第2電極14bは、接続部14dから表面21のX軸の負方向の端部に沿ってY軸の負方向に伸びる柄部と、この柄部からX軸の正方向に伸びる櫛歯部とを備えている。第1電極14aの櫛歯部と、第2電極14bの櫛歯部は、Y方向に互いに間隔を空けて配置されており、その一部が互いに対向している。第3電極12aは、接続部12cから裏面22のX軸の正方向の端部に沿ってY軸の負方向に伸びる柄部と、この柄部からX軸の負方向に伸びる櫛歯部とを備えている。第4電極12bは、接続部12dから裏面22のX軸の負方向の端部に沿ってY軸の負方向に伸びる柄部と、この柄部からX軸の正方向に伸びる櫛歯部とを備えている。第3電極12aの櫛歯部と、第4電極12bの櫛歯部は、Y方向に互いに間隔を空けて配置されており、その一部が互いに対向している。
図1および図2に示すように、第1電極14aと第3電極12aは、基板20のZ軸方向の中心を通り、かつ、Z軸に垂直な面(図2の線分A−Bよって示される面)に対して対称となる位置に配置されている。すなわち、第1電極14aの基板20を介して対向する位置に第3電極12aが形成されている。また、第2電極14bと第4電極12bは、基板20のZ軸方向の中心を通り、かつ、Z軸に垂直な面に対して対称となる位置に配置されている。すなわち、第2電極14bの基板20を介して対向する位置に第4電極12bが形成されている。
(静電容量を測定する方法)
特定装置500は、図示しない制御部を有しており、制御部によって、センサ部10に電力が供給し、センサ部10の静電容量Cを測定する。具体的には、特定装置500の制御部は、配線部600におけるスイッチ610等の切換えを行って、センサ部10の第1電極14a、第2電極14b、第3電極12a、第4電極12bの接続を操作して、センサ部10の静電容量Cを測定する。
特定装置500は、まず、図1に示すように、スイッチ610を端子T11に接続し、スイッチ620を端子T21に接続し、スイッチ630を端子T30に接続し、得られた第1出力を用いて、演算部60においてセンサ部10の静電容量Cを算出する。この場合、第1電極14aと第4電極12bは接地され、第1電位V1(0V)となる。また、第2電極14bと第3電極12aには、発振回路52によって電圧が印加され、第2電位V2となる(V2≠V1=0)。第1電極対14および第2電極対12は、互いに並列接続される。その結果、基板20の表面21上または裏面22上で対向する電極間(第1電極14aと第2電極14bの間および第3電極12aと第4電極12bの間)に、大きさV1の電位差が生じる。さらに、基板20を挟んで対向する電極間(第1電極14aと第3電極12aの間、第2電極14bと第4電極12bの間)においても、大きさV1の電位差が生じる。基板20の表面21上または裏面22上で対向する電極間の容量成分(静電容量をCyとする)と、基板20を挟んで対向する電極間の容量成分(静電容量をCzとする)は、並列接続されており、センサ部10の静電容量Cは、C(1)=Cy+Czとして得られる。この静電容量Cに応じた電圧信号が、第1出力として、演算部60に出力される。
次に、特定装置500は、配線部600において、スイッチ610を端子T10に接続し、スイッチ620を端子T20に接続し、スイッチ630を端子T31に接続し、得られた第2出力を用いて、演算部60においてセンサ部10の静電容量Cを算出する。この場合、第1電極14aと第3電極12aは接地されて第1電位となり、第2電極14bと第4電極12bには、発振回路52によって電圧が印加され、第2電位V2となる。第1電極対14および第2電極対12は、互いに並列接続される。これによって、基板20の表面21上または裏面22上で対向する電極間に、大きさV1の電位差が生じる。一方で、基板20を挟んで対向する電極同士は、互いに同電位である。その結果、基板20を挟んで対向する電極間の容量成分の静電容量Czは、Cz≒0となり、基板20の表面21上または裏面22上で対向する電極間の静電容量Cyのみがセンサ部10の静電容量C(2)として検出される(C(2)=Cy)。この静電容量Cに応じた電圧信号が、第2出力として、演算部60に出力される。
特定装置500は、第1出力から得られた静電容量C(1)と、第2出力から得られた静電容量C(2)とに基づいて、混合燃料に含まれるエタノール濃度と、混合燃料の導電率を算出する。導電率の算出方法の一例について、図8〜10を用いて説明する。図8は、静電容量C(1)に対応して演算部60に出力される第1出力と、混合燃料中に含まれるエタノール濃度との関係を示す図である。第1出力については測定する液体の導電率の影響が十分小さいため、図8の関係から、混合燃料のエタノール濃度E(1)を特定することができる。図9は、それぞれのエタノール濃度において、静電容量C(2)に対応して演算部に出力される第2出力と、混合燃料の導電率との関係を示す図である。図9に示すように、第2出力は混合燃料の導電率の影響を受けて変化し、同じエタノール濃度で比較すると、導電率が高いほど第2出力は大きくなり、導電率が低いほど、第2出力は小さくなる。エタノール濃度がE(1)の場合には、図9に示す導電率の範囲内で、第2出力がx1だけ変化する。同様に、エタノール濃度がE100,E0の場合には、それぞれ、第2出力がx100,x0だけ変化する。図10は、静電容量C(2)に対応して演算部60に出力される第2出力と、混合燃料中に含まれるエタノール濃度との関係を示す図である。参照番号1に示す直線は、図9に示す導電率の範囲内で、導電率が最大の場合に得られる第2出力とエタノール濃度との関係を示している。参照番号2に示す直線は、導電率がσ(2)の場合に得られる第2出力とエタノール濃度との関係を示している。参照番号3に示す直線は、図9に示す導電率の範囲内で、導電率が最小の場合に得られる第2出力とエタノール濃度との関係を示している。混合燃料について、第1出力と第2出力を測定すると、まず、図8の関係から、混合燃料のエタノール濃度E(1)を特定することができる。次に、図9に示す、得られたエタノール濃度E(1)における導電率と第2出力との関係から、導電率σ(2)を特定することができる。なお、図9に示されていないエタノール濃度における第2出力と導電率との関係は、複数のエタノール濃度における(例えば、エタノール濃度がE1とE100における)第2出力と導電率との関係を用いて補填することで得ることができる。図9に示すそれぞれのエタノール濃度における出力と導電率との関係は、予め実験等によって調べることができ、特定装置500にデータとして記憶されている。特定装置500は、図9に示す関係を用いることで、第1出力と第2出力とに基づいて、混合燃料の導電率を算出することができる。
上記のとおり、センサ装置200の配線部600は、第1電極14aおよび第4電極12bの電位が第1電位V1であり、第2電極14bおよび第3電極12aの電位が第2電位V2(V2≠V1)である状態と、第1電極14aおよび第3電極12aの電位が第1電位V1であり、第2電極14bおよび第4電極12bの電位が第2電位V2である状態とに切り換え可能な切換手段として、スイッチ610,620,630を含んでいる。特定装置500は、配線部600を上記の2つの状態となるように切り換えて、それぞれセンサ部10に電力を供給し、静電容量Cを測定する。第1電極14aおよび第4電極12bの電位が第1電位V1であり、第2電極14bおよび第3電極12aの電位が第2電位V2である状態では、センサ部10の静電容量C(1)は、基板を挟んで一部が対向する電極間の静電容量Czだけ大きくなる。センサ部10の誘電損失tanδは、センサ部10の静電容量Cと寄生抵抗R2との積に反比例するため、静電容量Cが大きくなると、誘電損失tanδが小さくなり、寄生抵抗R2の影響(すなわち、測定する液体の導電率の影響)が小さくなる。誘電損失tanδが小さい状態で静電容量Cを測定できるから、静電容量の測定精度が向上する。
また、配線部600は、スイッチ610,620,630を切り換えて、第1電極14aおよび第3電極12aの電位が第1電位V1であり、第2電極14bおよび第4電極12bの電位が第2電位V2である状態で静電容量C(2)を測定することができる。静電容量C(2)は、寄生抵抗R2が大きいほど小さくなる。静電容量C(1)と静電容量C(2)を比較することによって、液体の導電率を算出することができる。導電率を知ることができるため、センサ部10の静電容量Cの測定精度をより向上させることができる。
(変形例)
第1実施例においては、電圧検出を行ったが、図3に示すように、電流検出を行うセンサシステム201であってもよい。センサシステム201は、特定装置501の構成においてセンサシステム200と相違している。特定装置501では、抵抗部54を介すことなく、発振回路52が配線部601に接続されている。また、配線部301は、電流―電圧変換部(I−V変換部)55を介して、整流部56と接続している。
配線部601は、配線の接続状態を切り換え可能な切換手段として、スイッチ640,650,660,670を備える。スイッチ640は、発振回路52と端子T40との接続/非接続を切り替える。スイッチ650は、発振回路52と端子T50との接続/非接続を切り替える。スイッチ660は、接続部14dと端子T60との接続/非接続を切り替える。スイッチ670は、接続部14dと端子T70との接続/非接続を切り替える。
I−V変換部55は、スイッチ670に接続されている。I−V変換部55には、スイッチ670における信号(電圧)が入力される。I−V変換部55に入力された電圧信号は、電流信号に変換され、整流部56に出力される。その他の構成については、第1実施例に係るセンサシステム200と同様であるため、説明を省略する。
特定装置501は、図3に示すように、スイッチ640を端子T40に接続し、スイッチ650,660を非接続とし、スイッチ670を端子T70に接続する。これによって、第1実施例と同様に、センサ部10の静電容量Cを、基板20を挟んで対向する電極間に電位差が生じる場合の静電容量C(1)として測定できる。
また、特定装置501は、スイッチ640,670を非接続とし、スイッチ650を端子T50に接続し、スイッチ660を端子T60に接続する。これによって、センサ部10の静電容量Cを、第1実施例と同様に、基板20を挟んで対向する電極間に電位差が生じない場合の静電容量C(2)として測定することができる。第1実施例と同様に、配線部601のスイッチ640,650,660,670を切り換えることによって、基板20を挟んで対向する電極間に電位差が生じる場合の静電容量C(1)と、電位差が生じない場合の静電容量C(2)とを測定することができる。
(第2実施例)
図4に示すように、センサシステム202は、特定装置502の配線部602の構成においてセンサシステム200と相違している。配線部602は、第1電極対14と第2電極対12とを並列接続する状態と、第1電極対14と第2電極対12とを直列接続する状態とに切り換え可能に構成されている。
配線部602は、配線の接続状態を切り換え可能な切換手段として、スイッチ680,690,700,712,714を備える。スイッチ680は、発振回路52および整流部56を、端子T80に接続する状態と、端子T81に接続する状態に切り替える。スイッチ690は、接続部14cを、端子T90に接続する状態と、端子T91に接続する状態に切り替える。スイッチ700は、接続部12dを、端子T100に接続する状態と、端子T101に接続する状態に切り替える。スイッチ712は、スイッチ680と端子T102との接続/非接続を切り替える。スイッチ714は、接続部14dと端子T104との接続/非接続を切り替える。センサ部10の接続部14cは、スイッチ690に接続されている。接続部14dは、スイッチ714および端子T80に接続されている。接続部12cは、端子T102および整流部56に接続されている。接続部12dは、スイッチ700に接続されている。その他の構成については、第1実施例に係るセンサシステム200と同様であるため、説明を省略する。
特定装置502は、第1電極対14と第2電極対12とを並列接続する状態と、第1電極対14と第2電極対12とを直列接続する状態とに切り換えて、センサ部10に電力を供給し、センサ部10の静電容量Cをそれぞれ測定する。
特定装置502は、図4に示すように、スイッチ680を端子T81に接続し、スイッチ690を端子T91に接続し、スイッチ700を端子T101に接続し、スイッチ712を端子T102に接続し、スイッチ714を非接続とする。これによって、第1電極14aおよび第4電極12bが接地され、第1電位V1(0V)となる。また、第2電極14bおよび第3電極12aには、発振回路52によって電圧が印加され、第2電位V2となる(V2≠V1=0)。第1電極対14および第2電極対12は、互いに並列接続される。基板20を挟んで対向する電極間の容量成分の静電容量Czpは、Czp≠0であり、センサ部10の静電容量Cは、C(1)=Cyp+Czpとして測定される。なお、Cyp、Czpにおける添え字のpは、第1電極対14と第2電極対12とを並列接続する状態での測定値を表している。
また、特定装置502は、スイッチ680を端子T80に接続し、スイッチ690を端子T90に接続し、スイッチ700を端子T100に接続し、スイッチ712を非接続とし、スイッチ714を端子T104に接続する。これによって、第1電極14aは発振回路52に接続され、第2電極14bは、第4電極12bに接続され、第3電極12aは、整流部56に接続され、第1電極対14と第2電極対12は、直列接続される。基板20を挟んで対向する電極間の容量成分の静電容量Czsは、Czs≠0であり、センサ部10の静電容量Cは、1/C(3)=1/Cys+1/Czsの式より算出することができる静電容量C(3)として測定される。なお、Cys、Czsにおける添え字のsは、第1電極対14と第2電極対12とを直列接続する状態での測定値を表している。特定装置502は、静電容量C(1)と、静電容量C(3)とに基づいて、混合燃料に含まれるエタノール濃度と、混合燃料の導電率を算出する。導電率を算出する方法としては、第1実施例において説明した算出方法と同様の方法を用いることができる。
上記のとおり、センサ装置202では、第1実施例と同様に、基板20を挟んで対向する電極間に電位差が生じる場合の静電容量Cを測定することができる。誘電損失tanδが小さい状態で静電容量Cを測定できるから、静電容量の測定精度が向上する。さらに、センサ装置202では、配線部602は、第1電極対14と第2電極対12とを並列接続する状態と、第1電極対14と第2電極対12とを直列接続する状態とに切り換え可能に構成されている。このため、並列接続時に測定した静電容量C(1)と、直列接続時に測定した静電容量C(3)とを比較することによって、液体の導電率を算出することができる。導電率を知ることができるため、センサ部10の静電容量Cの測定精度をより向上させることができる。
(変形例)
第2実施例においては、電圧検出を行ったが、図5に示すように、電流検出を行うセンサシステム203であってもよい。センサシステム203は、特定装置503の配線部603の構成において、第1実施例の変形例に係るセンサシステム201と相違している。配線部603は、配線の接続状態を切り換え可能な切換手段として、スイッチ710,720,730を備える。スイッチ710は、発振回路52と端子T110との接続/非接続を切り替える。スイッチ720は、センサ部10の接続部14dと端子T120との接続/非接続を切り替える。スイッチ730は、接続部14dと端子T130との接続/非接続を切り替える。発信回路52は、接続部14cおよびスイッチ710に接続されている。接続部12cは、端子T130およびI−V変換部55に接続されている。その他の構成については、センサシステム201と同様であるため、説明を省略する。
特定装置503は、図5に示すように、スイッチ710,730をそれぞれ端子T110,T130に接続し、スイッチ720を非接続とする。これによって、第2実施例と同様に、センサ部10の静電容量Cを、第1電極対14と第2電極対12とを並列接続する状態で基板20を挟んで対向する電極間に電位差が生じる場合の静電容量C(1)として測定できる。
また、特定装置503は、スイッチ710,730を非接続とし、スイッチ720を端子T120に接続する。これによって、第2実施例と同様に、センサ部10の静電容量Cを、第1電極対14と第2電極対12とを直列接続する状態で基板20を挟んで対向する電極間に電位差が生じる場合の静電容量C(3)として測定できる。第2実施例と同様に、配線部603のスイッチ710,720,730を切り換えることによって、第1電極対14と第2電極対12とを並列接続する状態と、第1電極対14と第2電極対12とを直列接続する状態における、基板20を挟んで対向する電極間に電位差が生じる場合の静電容量C(1),C(3)を測定することができる。
(第3実施例)
図6に示すように、センサシステム204は、特定装置504の配線部604の構成においてセンサシステム200と相違している。配線部604は、第1電極対14と第2電極対12とを並列接続する状態と、第1電極対14と第2電極対12とを直列接続する状態とに切り換え可能に構成されている。配線部604は、第1電極対14と第2電極対12とを並列接続する状態において、基板20を挟んで対向する電極間に電位差が生じる場合と、生じない場合を切り換え可能に構成されている。
配線部604は、配線の接続状態を切り換え可能な切換手段として、センサシステム200に係るスイッチ610,620,630に加えて、さらに、スイッチ740,750,760,770を備える。スイッチ740は、発振回路52を、端子T140に接続する状態と、端子T141に接続する状態に切り替える。スイッチ750は、接続部14cを、端子T150に接続する状態と、端子T151に接続する状態に切り替える。スイッチ760は、スイッチ740と端子T160との接続/非接続を切り替える。スイッチ770は、接続部14dおよび端子T104と、端子T170との接続/非接続を切り替える。スイッチ610は、端子T160に接続している。端子T170は、端子T10および端子T20に接続している。その他の構成については、第1実施例に係るセンサシステム200と同様であるため、説明を省略する。
特定装置504は、第1電極対14と第2電極対12とを並列接続する状態と、直列接続する状態とに切り換えるとともに、第1電極対14と第2電極対12とを並列接続する状態において、基板20を挟んで対向する電極間に電位差が生じる場合と、生じない場合とに切り換えて、センサ部10に電力を供給し、センサ部10の静電容量Cをそれぞれ測定する。
特定装置504は、図6に示すように、スイッチ610を端子T11に接続し、スイッチ620を端子T21に接続し、スイッチ630を端子T30に接続し、スイッチ740を端子T141に接続し、スイッチ750を端子T151に接続し、スイッチ760を端子T160に接続し、スイッチ770を非接続とする。これによって、第1実施例等と同様に、第1電極14aおよび第4電極12bが接地され、第1電位V1(0V)となる。また、第2電極14bおよび第3電極12aには、発振回路52によって電圧が印加され、第2電位V2となる(V2≠V1=0)。第1電極対14および第2電極対12は、互いに並列接続されている。第1実施例、第2実施例と同様に、センサ部10の静電容量Cを、第1電極対14と第2電極対12とを並列接続する状態で、基板20を挟んで対向する電極間に電位差が生じる場合の静電容量C(1)として測定できる。
また、特定装置504は、スイッチ610を端子T10に接続し、スイッチ620を端子T20に接続し、スイッチ630を端子T31に接続し、スイッチ740を端子T141に接続し、スイッチ750を端子T151に接続し、スイッチ760を端子T160に接続し、スイッチ770を非接続とする。これによって、第1実施例と同様に、第1電極14aおよび第3電極12aが接地され、第1電位V1(0V)となる。また、第2電極14bおよび第4電極12bには、発振回路52によって電圧が印加され、第2電位V2となる。第1電極対14および第2電極対12は、互いに並列接続される。第1実施例と同様に、センサ部10の静電容量Cを、第1電極対14と第2電極対12とを並列接続する状態で、基板20を挟んで対向する電極間に電位差が生じない場合の静電容量C(2)として測定できる。
また、特定装置504は、スイッチ610を端子T11に接続し、スイッチ620を端子T20に接続し、スイッチ630を端子T30に接続し、スイッチ740を端子T140に接続し、スイッチ750を端子T150に接続し、スイッチ760を非接続とし、スイッチ770を端子T170に接続する。これによって、第2実施例と同様に、第1電極14aは発振回路52に接続され、第2電極14bは、第4電極12bに接続され、第3電極12aは、整流部56に接続され、第1電極対14と第2電極対12は、直列接続される。第2実施例と同様に、センサ部10の静電容量Cを、第1電極対14と第2電極対12とを直列接続する状態で、基板20を挟んで対向する電極間に電位差が生じる場合の静電容量C(3)として測定できる。特定装置504は、静電容量C(1),C(2),C(3)に基づいて、混合燃料に含まれるエタノール濃度と、混合燃料の導電率を算出する。導電率を算出する方法としては、第1実施例、第2実施例において説明した算出方法を用いることができる。第1実施例と同様に、静電容量C(1),C(2)に基づいて算出した導電率と、第2実施例と同様に、静電容量C(1),C(3)に基づいて算出した導電率との平均値を導電率の測定値として用いることができ、導電率測定の精度をより向上させることができる。
上記のとおり、センサ装置204では、配線部604は、第2実施例と同様に、第1電極対14と第2電極対12とを並列接続する状態と、第1電極対14と第2電極対12とを直列接続する状態とに切り換え可能に構成されている。さらに、配線部604は、第1電極対14と第2電極対12とを並列接続する状態において、基板20を挟んで対向する電極間に電位差が生じる場合と、生じない場合を切り換え可能に構成されている。センサ装置204によれば、センサ装置200,202と同様の測定を1つのセンサ装置で実行でき、静電容量C(1),C(2),C(3)を得ることができる。静電容量C(1),C(2),C(3)を比較することによって、液体の導電率の影響をより精度よく算出することができるから、静電容量の測定精度が一層向上する。
(変形例)
第3実施例においては、電圧検出を行ったが、図7に示すように、電流検出を行うセンサシステム205であってもよい。センサシステム205は、特定装置505の配線部605の構成において、第1実施例の変形例に係るセンサシステム201と相違している。配線部605は、配線の接続状態を切り換え可能な切換手段として、センサシステム201に係るスイッチ640,650,660,670に加えて、さらに、スイッチ780を備える。スイッチ780は、接続部14cと端子T180との接続/非接続を切り替える。端子180は、スイッチ670を介して、I−V変換部55に接続されている。その他の構成については、センサシステム201と同様であるため、説明を省略する。
特定装置505は、図7に示すように、スイッチ640,670,780をそれぞれ端子T40,T70,T180に接続し、スイッチ650,660を非接続とする。これによって、第3実施例と同様に、センサ部10の静電容量Cを、第1電極対14と第2電極対12とを並列接続する状態で、基板20を挟んで対向する電極間に電位差が生じる場合の静電容量C(1)として測定できる。
また、特定装置505は、スイッチ650,660,780をそれぞれ端子T50,T60,T180に接続し、スイッチ640,670を非接続とする。これによって、第3実施例と同様に、センサ部10の静電容量Cを、第1電極対14と第2電極対12とを並列接続する状態で、基板20を挟んで対向する電極間に電位差が生じない場合の静電容量C(2)として測定できる。
また、特定装置505は、スイッチ660,670をそれぞれ端子T60,T70に接続し、スイッチ640,650,780を非接続とする。これによって、第3実施例と同様に、センサ部10の静電容量Cを、第1電極対14と第2電極対12とを直列接続する状態で、基板20を挟んで対向する電極間に電位差が生じる場合の静電容量C(3)として測定できる。
上記の実施例およびその変形例では、センサ部の静電容量を用いて、混合燃料に含まれるエタノールの濃度を測定する場合を例示して説明したが、これに限られない。混合燃料中の液面レベル等、他の物理量を測定するものであってもよい。また、第1電位V1と第2電位V2は、相違する電位であればよく、いずれが高電位であってもよい。また、なお、第1電極14aと第3電極12a、または第2電極14bと第4電極12bは、基板20を挟んでその一部が互いに対向する場合であっても、その電極間に電位差を付与すれば、静電容量を得ることができる。
以上、本発明の実施形態について詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
また、本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
10:センサ装置
12:第2電極対
12a:第3電極
12b:第4電極
12c,12d、14c,14d:接続部
14:第1電極対
14a:第1電極
14b:第2電極
20:基板
21:表面
22:裏面
52:発信回路
54:抵抗部
55:I−V変換部
56:整流部
58:信号増幅部
60:演算部
200,201,202,203,204,205:センサシステム
500,501,502,503,504,505:特定装置
600,601,602,603,604,605:配線部


Claims (7)

  1. 基板と、
    基板の表面に互いに離間して形成されている、第1電極および第2電極を有する第1電極対と、
    基板の裏面に互いに離間して形成されている、第3電極および第4電極を有する第2電極対と、を有するセンサ部と、
    電源とセンサ部とを接続する配線部とを備えたセンサ装置であって、
    第1電極は、第3電極の少なくとも一部と基板を介して対向しており、
    第2電極は、第4電極の少なくとも一部と基板を介して対向しており、
    配線部は、第1電極対と第2電極対とを並列接続するとともに、第1電極対と第2電極対との並列接続による第1容量成分と、基板を介して対向する第1電極と第3電極との間の第2容量成分と、基板を介して対向する第2電極と第4電極との間の第3容量成分と、を並列接続して、第1電極および第4電極の電位が第1電位であり、第2電極および第3電極の電位が、第1電位と異なる電位の第2電位である状態に接続したときのセンサ部の静電容量に応じた電圧信号を出力する、センサ装置。
  2. 第1電極と第3電極とは、互いに基板を介して対向する位置に形成されており、
    第2電極と第4電極とは、互いに基板を介して対向する位置に形成されている、請求項1に記載のセンサ装置。
  3. 配線部は、第1電極および第4電極の電位が第1電位であり、第2電極および第3電極の電位が第2電位である状態と、第1電極および第3電極の電位が第1電位であり、第2電極および第4電極の電位が第2電位である状態とに切り換え可能な切換手段を含む、請求項1又は2に記載のセンサ装置。
  4. 配線部は、第1電極対と第2電極対とを並列接続する状態と、第1電極対と第2電極対とを直列接続する状態とに切り換え可能な切換手段を含む、請求項1から3のいずれか一項に記載のセンサ装置。
  5. 基板と、
    基板の表面に互いに離間して形成されている、第1電極および第2電極を有する第1電極対と、
    基板の裏面に互いに離間して形成されている、第3電極および第4電極を有する第2電極対と、を有するセンサ部を備えており、
    第1電極は、第3電極の少なくとも一部と基板を介して対向しており、
    第2電極は、第4電極の少なくとも一部と基板を介して対向している、センサ装置を用いて液体の特性を測定する方法であって、
    第1電極対と第2電極対とを並列接続するとともに、第1電極対と第2電極対との第1容量成分と、基板を介して対向する第1電極と第3電極との間の第2容量成分と、基板を介して対向する第2電極と第4電極との間の第3容量成分と、を並列接続し、
    第1電極および第4電極の電位が第1電位となり、第2電極および第3電極の電位が、第1電位と異なる電位の第2電位となるようにセンサ装置に電力を供給し、
    センサ装置から出力されるセンサ部の静電容量に応じた第1電圧信号を用いて、液体の特性を測定する、方法。
  6. 第1電極対と第2電極対とを並列接続し、
    第1電極および第3電極の電位が第1電位となり、第2電極および第4電極の電位が、第2電位となるように電力を供給し、
    センサ装置から出力されるセンサ部の静電容量に応じた第2電圧信号と第1電圧信号とに基づいて、液体の導電率を算出することをさらに含む、請求項5に記載の方法。
  7. 第1電圧信号と、第1電極対と第2電極対とを直列接続する状態でセンサ装置に電力を供給し、センサ装置から出力されるセンサ部の静電容量に応じた電圧信号とを用いて、液体の特性を測定する、請求項5又は6に記載の方法。
JP2012078757A 2012-03-09 2012-03-30 センサ装置、センサ装置を用いて液体の特性を測定する方法 Expired - Fee Related JP5755595B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012078757A JP5755595B2 (ja) 2012-03-30 2012-03-30 センサ装置、センサ装置を用いて液体の特性を測定する方法
US13/789,646 US20130233707A1 (en) 2012-03-09 2013-03-07 Sensor and sensor system

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012078757A JP5755595B2 (ja) 2012-03-30 2012-03-30 センサ装置、センサ装置を用いて液体の特性を測定する方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013210208A JP2013210208A (ja) 2013-10-10
JP5755595B2 true JP5755595B2 (ja) 2015-07-29

Family

ID=49528183

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012078757A Expired - Fee Related JP5755595B2 (ja) 2012-03-09 2012-03-30 センサ装置、センサ装置を用いて液体の特性を測定する方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5755595B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3499225B1 (en) * 2017-12-18 2021-01-27 Stichting IMEC Nederland Conductivity sensor with adjustable cell constant

Also Published As

Publication number Publication date
JP2013210208A (ja) 2013-10-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9562930B2 (en) Method for the contactless determination of an electrical potential of an object using two different values for the electric flux, and device
CN103765235B (zh) 无接触式电容间距传感器
US8194046B2 (en) Method and system for measuring position on surface capacitance touch panel using a flying capacitor
US20150198562A1 (en) Piezoelectric unit, piezoelectric device, piezoelectric determination apparatus, and state determination method
WO2017168608A1 (ja) 非接触電圧測定装置および非接触電圧測定方法
US20200207189A1 (en) Operation input device and door handle
CN103675460A (zh) 基于相敏解调的电容耦合式非接触电导的测量装置及方法
JP5426429B2 (ja) 入力装置及びそれを備えた表示装置
EP3053272B1 (en) Apparatus for sensing touch and parameters
JP5755595B2 (ja) センサ装置、センサ装置を用いて液体の特性を測定する方法
US20130233707A1 (en) Sensor and sensor system
CN102760003A (zh) 触摸屏触摸点的检测方法
CN103217611B (zh) 绝缘检查装置及绝缘检查方法
JPWO2019017094A1 (ja) センサおよびセンサアレイ
JP2020003356A (ja) センサ装置
CN105182081A (zh) 一种薄层材料方块电阻测试方法
CN104406514A (zh) 一种测量物体弯曲形变程度的装置及方法
US20120326733A1 (en) Liquid sensor
WO2015133212A1 (ja) 電圧測定装置および電圧測定方法
US20170097386A1 (en) Apparatus and methods for measuring electrical current
CN1955731A (zh) 一个测量两相流体流动时气体流分的仪器
JP5136452B2 (ja) 液体用濃度測定装置
CN102809697B (zh) 三角波激励并对响应电流积分处理的溶液电导率测量方法
CN108414050A (zh) 电极式液位检测电路
EP3200055A1 (en) Touch-control panel, determination method for touch point and display apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20140717

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20150206

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20150224

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150421

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20150512

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20150527

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5755595

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees