JP5755144B2 - Work inspection device - Google Patents
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Description
本発明は、金属箔等の光沢を有するシート状のワークを検査するための検査装置に関するものであり、特にホログラムが付されたワークの検査にも好適に使用できる検査装置に関するものである。 The present invention relates to an inspection apparatus for inspecting a sheet-like workpiece having gloss such as a metal foil, and particularly to an inspection apparatus that can be suitably used for inspection of a workpiece with a hologram attached thereto.
海賊版防止のために真正品に付されるセキュリティラベルや、ICカード、日本国紙幣などには、真正品か偽造品かを特定するためのホログラムが付されている。このように真正品であることを証明するためのホログラムは、所定の照明光の入射角度や視線の角度等によって所定のデザインがホログラフィー効果によって表示されるものである。 Security labels, IC cards, Japanese banknotes, and the like attached to genuine products to prevent pirated editions have holograms for identifying whether they are genuine products or counterfeit products. As described above, the hologram for proving the authenticity is a hologram in which a predetermined design is displayed by the holographic effect depending on the incident angle of the predetermined illumination light, the angle of the line of sight, or the like.
また、近年ではホログラムを、真正品の証明のために使用するだけでなく、装飾性を高める目的で書籍の表紙や包装箱などに付されている。このように装飾性を高めるためのホログラムは、真正品であることを証明するためのホログラムと異なり、見た目の豪華さが重要とされ、照明光の入射角度と視線の角度を同一にしても同じデザインのホログラフィーが表示されないものが多い。 In recent years, holograms have been attached to book covers and packaging boxes for the purpose of enhancing decoration as well as for authenticating authentic products. The hologram for enhancing the decorativeness in this way is different from the hologram for demonstrating that it is genuine, and the luxury of the appearance is important. Even if the incident angle of illumination light and the angle of line of sight are the same, the same Many designs do not display holography.
このようなホログラムが付されたワークを検査できる検査装置としては、従来、内部光源がワークの幅方向にわたり被検査面に向き合うように配設されるとともに、前記内部光源からの光を反射する反射鏡を設け、この反射鏡に形成された撮影隙間を通してワークの被検査面を撮影する撮影手段を設けてなるワーク検査装置が提供されている(例えば、特許文献1参照。)。 Conventionally, as an inspection apparatus capable of inspecting a workpiece with such a hologram, an internal light source is disposed so as to face the surface to be inspected over the width direction of the workpiece, and a reflection that reflects light from the internal light source. There has been provided a workpiece inspection apparatus provided with a mirror and provided with a photographing means for photographing a surface to be inspected through a photographing gap formed in the reflecting mirror (for example, see Patent Document 1).
反射鏡は、搬送路側方から見た断面形状が楕円形の一部を欠く形状で、楕円形の第1の焦点がワークの被検査面上に位置し、第2の焦点に前記内部光源を配設し、第1の焦点と第2の焦点とを結ぶ直線が、前記ワークの被検査面の第1の焦点における法線に対して前方又は後方に傾斜しており、前記内部光源は全方向に光を放射し、放射光の一部はワークの被検査面上の第1の焦点に向けて照射され、他の放射光は反射鏡で反射し該第1の焦点に向けて照射している。また、撮影手段は、内部光源から第1焦点に向けた直接放射光の正反射光を捕捉するとともに、反射鏡によって反射された乱反射光も捕捉可能とし、撮影された画像に基づいて、傷や欠けやインキ飛び等の不良箇所を検出するものである。 The reflecting mirror has a cross-sectional shape viewed from the side of the conveyance path and lacks a portion of an ellipse. The first focal point of the ellipse is located on the surface to be inspected of the workpiece, and the internal light source is located at the second focal point. A straight line connecting the first focal point and the second focal point is inclined forward or backward with respect to a normal line at the first focal point of the surface to be inspected of the workpiece, and the internal light source is all Light is emitted in the direction, a part of the emitted light is irradiated toward the first focal point on the surface to be inspected of the workpiece, and the other emitted light is reflected by the reflecting mirror and irradiated toward the first focal point. ing. The photographing means captures specularly reflected light of direct radiation directed from the internal light source toward the first focus, and can also capture irregularly reflected light reflected by the reflecting mirror. Based on the photographed image, This is to detect defective parts such as chipping and ink skipping.
但し、従来のワーク検査装置において、セキュリティラベルやICカード、紙幣等のワークに付されているホログラム領域をより高精度に検査するためには、ホログラム領域以外の領域を検査する検査工程と、ホログラム領域のみの検査工程とを分けて行なう必要があった。
また、上記特許文献1記載のワーク検査装置は、搬送路側方から見た断面形状が楕円形状の反射鏡内部に、ほぼ全方向に光を照射する内部光源を設けることにより、光源からの直接光と反射鏡からの反射光とでバランス良く検査領域を照明することができるものであり、従って、内部光源には蛍光ランプやハロゲンランプ等のような全方向照明可能な光源が用いられる。一方、近年においては、蛍光ランプやハロゲンランプに比べて消費電力が低く、長寿命なLED(発光ダイオード)等を光源として使用することが望まれている。 In addition, the workpiece inspection apparatus described in Patent Document 1 includes an internal light source that irradiates light in almost all directions inside a reflecting mirror having an elliptical cross-section when viewed from the side of the conveyance path, thereby allowing direct light from the light source. And the reflected light from the reflecting mirror can illuminate the inspection area with a good balance. Therefore, a light source capable of omnidirectional illumination such as a fluorescent lamp or a halogen lamp is used as the internal light source. On the other hand, in recent years, it has been desired to use an LED (light emitting diode) or the like having a low power consumption and a long life as a light source as compared with a fluorescent lamp or a halogen lamp.
しかしながら、このようなLED等を特許文献1記載の検査装置の内部光源として使用すると、全方向照明が困難であり、光源からの直接光と反射鏡からの反射光との光量のバランスを取ることも非常に困難であるため、ホログラム領域がそのホログラフィー効果によってワーク毎に異なった色に撮像されてしまう。つまり、ホログラム領域の検査精度を上げようとすると、殆どのワークで不良箇所が存在すると判定されてしまうこととなる。このため、LED等を内部照明に使用するのであれば、ホログラム領域の検査精度を低くしなければならないが、検査精度が低いと本来検出されるべき傷や欠け、インキ飛び等の不良箇所も十分に検出できなくなり、このような不良箇所が存在したワークも良品として出荷されてしまうことになる。よって、従来からLED等のように全方向照明が困難な照明手段を用いた場合でもホログラフィー効果を抑えることができ、ホログラム領域の検査を高精度に行なうことが可能なワーク検査装置が望まれていた。 However, when such an LED or the like is used as the internal light source of the inspection apparatus described in Patent Document 1, omnidirectional illumination is difficult, and the light quantity of the direct light from the light source and the reflected light from the reflecting mirror is balanced. However, the hologram area is imaged in different colors for each work due to the holographic effect. That is, if it is attempted to increase the inspection accuracy of the hologram area, it is determined that a defective portion exists in most works. For this reason, if an LED or the like is used for internal illumination, the inspection accuracy of the hologram area must be lowered. However, if the inspection accuracy is low, defective spots such as scratches and chips that should be detected originally and ink skipping are sufficient. Therefore, the workpiece having such a defective portion is shipped as a non-defective product. Therefore, there has been a demand for a workpiece inspection apparatus that can suppress the holographic effect even when using illumination means such as LEDs that are difficult to omnidirectionally illuminate and can inspect the hologram area with high accuracy. It was.
また、従来のように、ホログラム以外の領域の検査工程とホログラム領域の検査工程とを分けて検査すると、複数の検査工程が必要となり、検査速度(効率)が低下してしまう。特に、装飾性向上のためにホログラムが付されている書籍や包装箱等においても、ホログラムを付していない印刷物等と同程度の検査速度および検査精度が求められる。 Further, if the inspection process for the area other than the hologram and the inspection process for the hologram area are inspected separately as in the prior art, a plurality of inspection processes are required, and the inspection speed (efficiency) decreases. In particular, even for books, packaging boxes, and the like that are provided with holograms for improving decorativeness, inspection speed and inspection accuracy comparable to those of printed materials that do not have holograms are required.
本発明は、係る問題に鑑み、ホログラム等の金属箔を付したワークを高精度かつ高速度で検査可能なワーク検査装置を提供することを目的とする。 In view of the problem, an object of the present invention is to provide a workpiece inspection apparatus capable of inspecting a workpiece provided with a metal foil such as a hologram with high accuracy and high speed.
すなわち本発明に係るワーク検査装置は、ワークを所定の検査領域を通って所定の搬送方向に搬送する搬送路と、前記検査領域を覆うように設けられ、該検査領域に臨む内面で光を反射すると共に、前記搬送方向と直交するワーク幅方向に延びるスリット状の第1、第2、及び第3の隙間が形成され、前記第1の隙間が前記搬送方向下流側、前記第2の隙間が前記搬送方向上流側に設けられた反射部材と、該反射部材の外側に配置され、前記第1の隙間を通じて、該反射部材の内側に照明光を入射する第1の照明手段と、該反射部材の外側に配置され、前記第2の隙間を通じて、該反射部材の内側に照明光を入射する第2の照明手段と、前記反射部材の外側に配置され、前記第3の隙間を通じて、前記検査領域を撮像する撮像手段とを備え、前記第1及び第2の照明手段による出力光の光軸が、それぞれ前記検査領域から離れていく方向に前記搬送方向に対して傾斜していることにより、前記第1及び第2の照明手段の出力光が前記反射部材の内面で反射される前に前記検査領域に入射することがないように設定され、前記第1及び第2の照明手段により入射され、且つ前記反射部材の内面で反射された多方向からの光により前記検査領域を照射し、該検査領域を前記撮像手段で撮像する。 That is, the workpiece inspection apparatus according to the present invention is provided so as to cover the inspection area and a conveyance path that conveys the workpiece through a predetermined inspection area in a predetermined conveyance direction, and reflects light at an inner surface facing the inspection area. In addition , slit-shaped first, second, and third gaps extending in the workpiece width direction orthogonal to the conveyance direction are formed, the first gap is the downstream side in the conveyance direction, and the second gap is A reflecting member provided on the upstream side in the conveying direction; a first illuminating unit that is disposed outside the reflecting member and that makes illumination light incident on the inside of the reflecting member through the first gap ; and the reflecting member A second illuminating means that illuminates illumination light inside the reflecting member through the second gap, and an inspection area that is arranged outside the reflecting member and through the third gap. and an imaging means for capturing an, The optical axes of the output light from the first and second illumination means are inclined with respect to the transport direction in the direction away from the inspection area, respectively, so that the first and second illumination means The output light is set so as not to enter the inspection area before being reflected by the inner surface of the reflecting member, is incident by the first and second illumination means, and is reflected by the inner surface of the reflecting member. The inspection area is irradiated with light from multiple directions, and the inspection area is imaged by the imaging means.
ここで、前記第1の照明手段の出力光の光軸が前記搬送方向に対して傾斜する傾斜角と、前記第2の照明手段の出力光の光軸が前記搬送方向に対して傾斜する傾斜角とが略同一であることが好ましい。
また、前記第1及び第2の照明手段と前記第1及び第2の隙間との間、又は該第1及び第2の隙間内に、当該出力光を散光する散光部材を設けたことが好ましい。
Here, an inclination angle at which the optical axis of the output light of the first illumination means is inclined with respect to the transport direction, and an inclination at which the optical axis of the output light of the second illumination means is inclined with respect to the transport direction. The corners are preferably substantially the same.
In addition, it is preferable that a light-diffusing member for diffusing the output light is provided between the first and second illumination means and the first and second gaps, or in the first and second gaps. .
また、本発明に係るワーク検査装置は、検査領域を覆うように設けられ、該検査領域に臨む内面で光を反射すると共に、第1、第2、及び第3の隙間が形成された反射部材と、該反射部材の外側に配置され、前記第1の隙間を通じて、該反射部材の内側に照明光を入射する第1の照明手段と、該反射部材の外側に配置され、前記第2の隙間を通じて、該反射部材の内側に照明光を入射する第2の照明手段と、前記反射部材の外側に配置され、前記第3の隙間を通じて、前記検査領域を撮像する撮像手段と、前記反射部材の外側に配置された第3の照明手段と、前記撮像手段の光軸上に配置され、前記第3の照明手段からの出力光を反射して前記第3の隙間に導くハーフミラーとを備え、前記第1及び第2の照明手段により入射され、且つ前記反射部材の内面で反射された多方向からの光により前記検査領域を照射し、該検査領域を前記撮像手段で撮像し、前記撮像手段の光軸は、前記検査領域の法線に対して所定の角度を有する。 In addition, the workpiece inspection apparatus according to the present invention is provided so as to cover the inspection area, reflects light at the inner surface facing the inspection area , and has a first, second, and third gap formed therein. And a first illuminating means that is disposed outside the reflecting member and that enters illumination light inside the reflecting member through the first gap , and is disposed outside the reflecting member and the second gap. A second illuminating unit that illuminates illumination light inside the reflecting member, an imaging unit that is disposed outside the reflecting member and that images the inspection region through the third gap , and the reflecting member A third illuminating unit disposed on the outer side, and a half mirror disposed on the optical axis of the imaging unit and reflecting the output light from the third illuminating unit to guide the third gap, It is incident by the first and second illumination means, and wherein Morphism irradiating the inspection region by light from multiple directions that is reflected by the inner surface of the member, and imaging the examination area by the imaging means, the optical axis of the front SL imaging means, with respect to the normal line of the inspection area It has a predetermined angle.
更に、前記第3の照明手段と前記ハーフミラーとの間に、前記第3の照明手段からの出力光を散光する散光部材を設けたものが好ましい。 Furthermore, it is preferable that a light diffusing member for diffusing the output light from the third illuminating means is provided between the third illuminating means and the half mirror .
また、本発明に係るワーク検査装置は、光透過性の散光部材で構成された壁を有し、前記壁で検査領域を覆うように設けられ、該検査領域に臨む前記壁の内面で光を反射する反射部材と、該反射部材の外側に配置され、該反射部材の壁を透過して該反射部材の内側に発光ダイオードによる照明光を入射する、互いに離間して配置された複数の照明手段と、前記反射部材の外側に配置され、該反射部材の隙間を通じて、前記検査領域を撮像する撮像手段とを備え、前記照明手段により入射され、且つ前記反射部材の内面で反射された多方向からの光により前記検査領域を照射し、該検査領域を前記撮像手段で撮像する。 The workpiece inspection apparatus according to the present invention has a wall made of a light transmissive diffuser , is provided so as to cover the inspection area with the wall, and transmits light on the inner surface of the wall facing the inspection area. a reflecting member for reflecting, is located outside of the reflecting member is incident illumination light by the inside light-emitting diodes of the member morphism the reflected and transmitted through the walls of the reflective member, a plurality of illumination are placed separately from one another Multi-directionally arranged on the outer side of the reflecting member and picked up by the illuminating means and reflected by the inner surface of the reflecting member. The inspection area is irradiated with light from the image, and the inspection area is imaged by the imaging means.
また、前記照明手段は、三つ備えられていることが好ましい。 Moreover, it is preferable that the said illumination means is provided with three.
また、前記反射部材の内面が、前記隙間及び検査領域側の端部を除いて、角部のない凹曲面、又は凹曲面と平坦面の組み合わせよりなることが好ましい。
Moreover, it is preferable that the inner surface of the reflection member is formed of a concave curved surface having no corners or a combination of a concave curved surface and a flat surface, except for the gap and the end portion on the inspection region side.
以上にしてなる本発明に係るワーク検査装置によれば、反射部材の外側に配置された照明手段から光を入射し、反射部材の内面で反射される多方向からの光により検査領域を照射して撮像するので、全方向照明が困難なLED等の照明手段を用いる場合においても、全方向から均一な光量の光を検査領域に照射することができ、ホログラムのホログラフィー効果を低下させて高精度な検査を行なうことが可能となる。このホログラム領域の検査では、ワーク表面の光の反射もあって反射部材内部の光量が均一化され、高精度な検査が可能となるのである。また、本発明はホログラム領域の検査にのみ有益なものではなく、ホログラム領域外の検査でも精度の高い検査ができる。つまり、ホログラム領域とホログラム領域外の検査を同時に精度良く行うことができる。 According to the workpiece inspection apparatus according to the present invention as described above, light is incident from the illumination means arranged outside the reflecting member, and the inspection region is irradiated with light from multiple directions reflected by the inner surface of the reflecting member. Even when using illumination means such as LEDs that are difficult to illuminate in all directions, it is possible to irradiate the examination area with a uniform amount of light from all directions, reducing the hologram holographic effect and providing high accuracy. Can be performed. In the inspection of the hologram area, the amount of light inside the reflecting member is made uniform due to the reflection of light on the surface of the workpiece, and high-precision inspection is possible. In addition, the present invention is not only useful for inspection of the hologram area, but can also perform inspection with high accuracy even for inspection outside the hologram area. That is, the inspection of the hologram area and the outside of the hologram area can be simultaneously performed with high accuracy.
加えて、本発明によればホログラム表面におけるホログラフィー効果を低下させることができるので、検査領域の法線に対する光軸の角度が変わってもホログラム表面の明暗の変化が少なく、撮像手段の設置位置が制限されない点で設計上の自由度が向上するメリットもある。更に、ホログラムの種類が異なっても、検査領域の法線に対する光軸の角度の変化によるホログラム表面の明暗の変化も少なく検査精度に殆ど影響しないことから、ホログラムの種類毎に撮像手段の設置位置を変える必要も無く、効率よく各種ホログラムの検査を行なうことができる。 In addition, according to the present invention, since the holographic effect on the hologram surface can be reduced, even if the angle of the optical axis with respect to the normal line of the inspection region changes, there is little change in the brightness of the hologram surface, and the installation position of the imaging means is There is also an advantage that the degree of freedom in design is improved in that it is not limited. Furthermore, even if the type of hologram is different, there is little change in the brightness and darkness of the hologram surface due to changes in the angle of the optical axis with respect to the normal of the inspection area, and the inspection accuracy is hardly affected. Therefore, it is possible to inspect various holograms efficiently.
また、照明手段及び反射部材の入射用の隙間の位置関係を、該照明手段の出力光が前記反射部材の内面で反射される前に前記検査領域に入射することがないように設定したので、隙間の角部での光量変化の影響がワーク面に生じることが防止され、光の光量の均一性が維持される。 Further, since the positional relationship between the illumination unit and the incident gap of the reflection member is set so that the output light of the illumination unit does not enter the inspection region before being reflected by the inner surface of the reflection member, The influence of the light quantity change at the corner of the gap is prevented from occurring on the work surface, and the uniformity of the light quantity is maintained.
また、反射部材の内面が、隙間及び検査領域側の端部を除いて角部のない凹曲面、又は該凹曲面と平坦面の組み合わせとしたので、当該角部により光の光量が不均一化することを防止し、光量の均一性が維持される。 Further, the inner surface of the reflecting member is a concave curved surface with no corners except for the gap and the end on the inspection area side, or a combination of the concave curved surface and a flat surface, so that the amount of light becomes non-uniform due to the corners. And the uniformity of the amount of light is maintained.
また、照明手段と該照明手段の照明光を入射するための隙間との間、又は該隙間内に、当該出力光を散光する散光部材を設けたので、より均一な光量の光で検査領域を全方向から照明でき、上記ホログラフィー効果をより低減させ、光の光量の均一性が維持される。 In addition, since the light diffusing member for diffusing the output light is provided between the illuminating means and the gap for entering the illumination light of the illuminating means, or in the gap, the inspection area is formed with a more uniform amount of light. Illumination is possible from all directions, the holographic effect is further reduced, and the uniformity of the amount of light is maintained.
また、照明手段を、撮像手段により検査領域を撮像するための隙間と同じ隙間を通じて、反射部材の内側に照明光を入射するように配置したので、当該撮像用の隙間の部分で光が反射されないことによる光量の変化を防止し、光の光量の均一性が維持される。 Further, since the illumination unit is arranged so that the illumination light is incident on the inner side of the reflecting member through the same gap as the gap for imaging the inspection area by the imaging unit, the light is not reflected by the imaging gap. The change of the light quantity by this is prevented, and the uniformity of the light quantity of light is maintained.
また、前記撮像手段の光軸上に、前記照明手段からの出力光を反射して前記隙間に導くハーフミラーを配置したので、照明手段の位置を撮像手段の位置から離して撮像の邪魔にならない自由な位置に設定できる。 In addition, since the half mirror that reflects the output light from the illumination unit and guides it to the gap is arranged on the optical axis of the imaging unit, the position of the illumination unit is separated from the position of the imaging unit and does not interfere with the imaging. Can be set to any position.
また、反射部材の壁自体を光透過性の散光部材で構成し、照明手段の出力光を該壁を透過させて反射部材の内側に入射してなるので、隙間を通じて光を入射するものに比べて照明手段の位置などを比較的自由に設定することができ、設計上の自由度が向上する。 In addition, the reflecting member wall itself is made of a light-transmitting light-diffusing member, and the output light of the illumination means is transmitted through the wall and incident on the inside of the reflecting member, so that light is incident through the gap. Thus, the position of the illumination means can be set relatively freely, and the degree of freedom in design is improved.
1 ワーク検査装置
2 搬送路
3 ワーク
3a 検査領域
5 撮像手段
5a 光軸
6a,6b,6c 照明手段
7 反射部材
7a 反射面
8,8a,8b 隙間
9 隙間
10 散光部材
11 ハーフミラー
13a,13b 光軸
14a,14b 光束
15 差分値
16 差分値
17 ブランク
18 折り目
19 ホログラム
20 文字
21 ミラー
70 平坦面
71 凹曲面DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
次に、本発明の実施形態を添付図面に基づき詳細に説明する。 Next, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
図1は、本発明の代表的実施形態に係るワーク検査装置の断面図である。ワーク検査装置1は、搬送路2を搬送されるワーク3を照明装置で照明し、照明されたワーク3の検査領域を撮像手段5で撮像するものであり、本発明では、側断面視で部分円形で搬送路2の搬送方向に直交するワーク幅方向に延びるドーム状の反射部材7が検査領域3aを覆うように設けられるとともに、その外側に該反射部材7のワーク幅方向に延びるスリット状の隙間8a,8b,9を通じて、搬送路側方から見て複数の方向から反射部材7の内側に照明光を入射する複数の照明手段6a,6b,6cが複数の位置にそれぞれ設けられ、同じく反射部材7の外側に該反射部材7のワーク幅方向に延びるスリット状の隙間(隙間9)を通じて検査領域3aを撮像する撮像手段5が設けられている。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a workpiece inspection apparatus according to a representative embodiment of the present invention. The workpiece inspection apparatus 1 illuminates a
反射部材7は、検査領域3aに臨む内面を反射面7aとした部材であり、外側の照明手段6a,6b,6cから入射されて反射面7aで反射された多方向からの光により検査領域3aを均一な光量で照射し、これを撮像手段5で撮像する。このような構成により、照明手段6にLED等を用いた場合でも均一な光量の光を検査領域3aに照射することができ、従って、ホログラムのホログラフィー効果を低下させ高精度な検査を行なうことができるのである。
The
ワーク3は、本例では枚葉紙や連続紙等にインキによる印刷やホログラムが付着されたものであり、搬送路2上を連続して搬送され、撮像手段5により被検査面の画像が撮像される。以下の実施形態では、ワーク3としてホログラムが付着された枚葉紙について説明するが、枚葉紙以外の連続紙等であっても良いし、紙製のもの以外に合成樹脂製、金属製、木製等であっても良い。また、ホログラムが付着しているものに限定されるものではなく、ホログラフィー効果の無い金属箔が付着していても良いし、ホログラムや金属箔が付着していないインキのみの印刷物であっても良い。
In this example, the
また、図1に示すように平坦な搬送路2上に搬送されたワーク3を撮像しても良いし、胴上を搬送されているワーク3を撮像するなど、その他、種々の位置でワークを撮像できる。撮像手段5は、CCDカメラやラインセンサ等であり、ワーク3の検査領域3aを撮像する。この撮像手段5で連続して撮像された画像信号を、図示しない検査制御装置に出力し、ワーク3の検査をする。本例では、図2に示すように搬送路2の搬送方向に直交するワーク幅方向に複数の撮像手段5を配置させてワーク3の検査面を撮像しているが、撮像手段5を1台のみ設けたものでも良い。
Further, as shown in FIG. 1, the
照明手段6は、LED(発光ダイオード)による照明装置である。本例では、照明手段6a,6bからの光が、それぞれ反射部材7側壁の照明用の隙間8a,8bを通して反射部材7内に入射している。照明手段6cからの光は、撮像用の隙間9を通して反射部材7内に入射している。これら照明手段6は、図2に示すように、幅方向に複数配置されることで幅方向にほぼ一様な光量の光を出力する。ここで、好ましくは搬送方向前方側(下流側)の隙間8aから入射する光量と、搬送方向後方側(上流側)の隙間8bから入射する光量とがほぼ同じ光量となるように照明手段6a及び照明手段6bからの出力光を制御し、検査領域3aに全方向から均一な光を照射させる。
The illumination means 6 is an illumination device using LEDs (light emitting diodes). In this example, the light from the illumination means 6a and 6b is incident on the
照明手段6は、本例では白色光を出力する白色LEDの光源から構成されるが、赤外光を出力する赤外LEDや、紫外光を出力する紫外LED等の光源を含ませても良い。特に、蛍光インキを使用したワークの検査には、紫外LEDを含めることが好ましい。また、LEDに限定されるものでなく蛍光ランプやハロゲンランプ等であっても良いが、LEDは周囲の温度変化による光量変化が殆ど無いため、安定した光量を得られるというメリットだけでなく、蛍光ランプに比べて長寿命であり、使用時間による光量変化も少ないため、各照明手段6の光量調整の手間を少なくできる点で好ましい。 Although the illumination means 6 is comprised from the light source of white LED which outputs white light in this example, you may include light sources, such as infrared LED which outputs infrared light, and ultraviolet LED which outputs ultraviolet light. . In particular, it is preferable to include an ultraviolet LED in the inspection of a work using fluorescent ink. Further, the LED is not limited to an LED, but may be a fluorescent lamp, a halogen lamp, or the like. Since it has a longer life than a lamp and there is little change in the amount of light depending on the usage time, it is preferable in that the amount of time for adjusting the amount of light of each illumination means 6 can be reduced.
照明手段6と隙間8との間、照明手段6と隙間9との間には、それぞれ照明手段6からの出力光を散光するための散光部材10が設けられ、反射部材7内に散乱光が入射される。散光部材10は、各照明手段6毎に散光部材を対応させて設けても良いが、図1に示すように、1つの散光部材10bが、照明手段6bと照明手段6cとからの出力光をそれぞれ散光させても良い。
Between the illuminating means 6 and the gap 8 and between the illuminating means 6 and the
尚、散光部材10を設ける位置として説明した前記照明手段と各隙間との「間」の位置とは、照明手段が設けられた位置と各隙間が設けられた位置とを結ぶ直線上の「間」の位置に限定されるものではなく、図1の例のように、照明手段から出力された光がハーフミラー11に向かい、反射して撮像用の隙間9に至る場合のように、照明手段から各隙間まで光が進むその途中の位置であればすべて上記「間」の位置に含まれる。図1では散光部材10が照明手段6と隙間8との間に設けられているが、隙間8内や、反射部材7内部に散光部材10を設けても良い。
In addition, the position of “between” the lighting unit and each gap described as the position where the light diffusing member 10 is provided is “between” the position where the lighting unit is provided and the position where each gap is provided. The light output from the illumination means is directed to the
散光部材10は、トレーシングペーパーのような紙製のものや、透明な板部材にインキの塗布や表面研磨等を行った合成樹脂製やガラス製のものが好適に用いられる。蛍光ランプのように照明手段6自身が散光性を有している場合には散光部材10を省略すれば良いが、散光部材10を設けて蛍光ランプからの出力光を更に散光させて反射部材7に入射しても良い。
The light diffusing member 10 is preferably made of paper such as tracing paper, or synthetic resin or glass made by applying ink or surface polishing to a transparent plate member. When the illumination means 6 itself has a light-diffusing property as in a fluorescent lamp, the light-diffusing member 10 may be omitted. However, the light-diffusing member 10 is provided to further diffuse the output light from the fluorescent lamp to reflect the reflecting
反射部材7の内側の反射面7aは、白色インキを塗布したり、反射部材7自身を白色の材より構成することにより白色に構成し、各隙間から入射した光を該反射面7aで反射させ、この反射光によって検査領域3aのワーク3を照明する。尚、この反射面7aをつや消し処理をし、散光性能を高めることが好ましい。
The
反射部材7の内部空間は、図1に示すように断面形状がほぼ円柱の一部を欠いた形状で、その軸心が前記幅方向とほぼ平行となるように配置されている。すなわち、その内面の反射面7aは、隙間8a,8b,9を除き、角部のない凹曲面とされている。ただし、内部空間の形状は、円柱の一部を欠いた形状以外の形状であっても良い。照明用の隙間8を形成している隙間内側端面は、反射面7aと同様に白色に構成され、照明手段6からの出力光を該内面で反射し、反射部材7に入射可能としている。
As shown in FIG. 1, the internal space of the reflecting
撮像用の隙間9は、撮像手段5が検査領域3aを撮像するための隙間であり、反射部材7の壁面と撮像手段5の光軸5aとが交わる位置に設けられる。撮像用の隙間9を形成している内側端面は、反射面7aと同様に白色に構成される。撮像用の隙間9からは、照明手段6からの出力光が反射部材7内に入射する。本例ではハーフミラー11での反射光を撮像用の隙間9を通して検査領域3aに照射しているが、ハーフミラー11を用いることなく撮像用の隙間9に光を入射しても良い。
The
ハーフミラー11は、図1に示すように、撮像手段5の光軸5a上に設けられ、検査領域からの光の一部を透過させるとともに、照明手段6cからの出力光を反射させ、撮像用の隙間9に入射させる。このように、撮像用の隙間9を通して、反射部材7内に照明手段6cからの出力光を入射することで、反射部材7の撮像用の隙間9部分における反射光の不足を補うことができ、検査領域3aに対して全方向からほぼ均一な光を照射することができる。
As shown in FIG. 1, the
撮像手段5とハーフミラー11は、図1に示すように、撮像手段5の光軸5aが検査領域3aの法線に対して所定の角度を有するように配置している。これによって、照明手段6cからハーフミラー11を介して入射する光の正反射光が撮像手段5に入射しないようにしている。その他の例として、図6や図7に示すように、撮像手段5の光軸5aが検査領域3aの法線と一致するように、撮像手段5とハーフミラー11を配置しても良い。
As shown in FIG. 1, the imaging means 5 and the
照明用の隙間8a、8bを通った光束14a、14bは、反射部材7内面の反射面7aで反射される前に検査領域3aに直接入射することがないように(検査領域3aを直接照明することがないように)、反射部材7内面の反射面7aに照射される。また、図1に示すように、光束14aの光軸13aは、搬送方向に対して上向きに光が入射される。更に、搬送方向前方側からの光軸13aの搬送方向に対する上方向への傾斜角と、搬送方向後方からの光軸13bの搬送方向に対する上方向への傾斜角とをほぼ同じ角度となるように設定することにより、検査領域3aにほぼ全方向から間接的に散光した光を均一に当てることができる。
The light beams 14a and 14b that have passed through the
次に、幅方向に延び、ほぼ平行に配置した2本の蛍光ランプで照明した場合(条件1)のホログラム画像と、図1及び図2で示した本発明のワーク検査装置1で照明した場合(条件2)のホログラム画像とを比較する。図3(a)は2本の蛍光ランプで照明した場合(条件1)のホログラム画像であり、図3(b)は本発明のワーク検査装置1で照明した場合(条件2)のホログラム画像である。以下に示す表1は図3の計測点a〜kにおける撮像画像のR(Red)G(Green)B(Blue)のレベル値であり、表2は表1に隣接する位置のRGBの差分値である。図4は、表2の差分値のグラフである。なお、レベル値は、0〜255の256段階である。 Next, when illuminating with the two fluorescent lamps extending in the width direction and arranged substantially in parallel (condition 1) and illuminating with the workpiece inspection apparatus 1 of the present invention shown in FIGS. 1 and 2 The hologram image of (Condition 2) is compared. 3A is a hologram image when illuminated with two fluorescent lamps (condition 1), and FIG. 3B is a hologram image when illuminated with the workpiece inspection apparatus 1 of the present invention (condition 2). is there. Table 1 shown below is a level value of R (Red) G (Green) B (Blue) of a captured image at measurement points a to k in FIG. 3, and Table 2 is a difference value of RGB at positions adjacent to Table 1 It is. FIG. 4 is a graph of the difference values in Table 2. The level value is 256 levels from 0 to 255.
表1に示すように、条件1におけるRの最大レベル値は「222」、最小レベル値は「106」、レベル値差は「116」である。条件1におけるGの最大レベル値は「223」、最小レベル値は「111」、レベル値差は「112」である。条件1におけるBの最大レベル値は「211」、最小レベル値は「139」、レベル値差は「72」である。一方、条件2におけるRの最大レベル値は「150」、最小レベル値は「135」、レベル値差は「15」である。条件2におけるGの最大レベル値は「160」、最小レベル値は「146」、レベル値差は「14」である。
As shown in Table 1, the maximum level value of R in Condition 1 is “222”, the minimum level value is “106”, and the level value difference is “116”. In condition 1, the maximum level value of G is “223”, the minimum level value is “111”, and the level value difference is “112”. In condition 1, the maximum level value of B is “211”, the minimum level value is “139”, and the level value difference is “72”. On the other hand, the maximum level value of R in
条件2におけるBの最大レベル値は「156」、最小レベル値は「151」、レベル値差は「5」である。また、図4に示すように、条件1における差分値15(15R,15G,15B)に比べて条件2における差分値16(16R,16G,16B)の方が差分値の数値幅が小さい。つまり、本発明のワーク検査装置1によってホログラムを照明した画像は、測定位置の違いによる色変化が少なく、ホログラムのホログラフィー効果を低下させることができる。
In
より詳述すると、通常の照明では検査領域3aに照射する光の方向性が均一でないため、ホログラム表面における回折効果により同一箇所であっても、ワーク毎に異なった画像しか得られず、ホログラム領域の検査精度を高めたときには、本来は良品と判定されるべきワークも不良品と判定される。また、ホログラム領域の検査精度を落としたときには、ホログラム領域に傷や欠けやインキ飛びなど不良箇所があっても良品と判定することになる。
More specifically, since the directivity of the light irradiating the
一方、本発明のワーク検査装置1であれば、ホログラム表面における回折効果を低下させることができ、ホログラム領域の検査精度を高めることができる。また、本発明のワーク検査装置1は、ホログラム効果のない金属箔に関しても、照明する光の方向性が均一なので、該金属箔部分での反射光のムラがなく、検査精度の高い検査ができる。当然のことながら、ホログラムや金属箔を付したワーク3に限定するものでなく、インキのみの印刷物の検査装置としても使用できる。
On the other hand, with the workpiece inspection apparatus 1 of the present invention, the diffraction effect on the hologram surface can be reduced, and the inspection accuracy of the hologram area can be increased. In addition, the workpiece inspection apparatus 1 of the present invention has a uniform direction of the illuminating light even with respect to a metal foil having no hologram effect, so that there is no unevenness of reflected light at the metal foil portion and inspection with high inspection accuracy is possible. . As a matter of course, the present invention is not limited to the
また、通常の照明でホログラムを照明した場合、検査領域3aに照射する光の方向性が均一でないため、検査領域3aの法線に対する光軸5aの角度が変わるとホログラム表面の明暗も変化するため、ホログラム表面が明るく見える角度に撮像手段5を設置しなければならず、撮像手段5の設置位置が制限されるという不都合な点もあった。更に、ホログラムの種類が異なると、ホログラム表面が明るく見える角度が異なるため、ホログラムの種類毎に撮像手段5を設置する位置を変えなければならないといった不都合な点もあった。
Further, when the hologram is illuminated with normal illumination, the directionality of the light irradiating the
一方、本発明のワーク検査装置1であれば、ホログラム表面における回折効果を低下させることができ、検査領域3aの法線に対する光軸5aの角度が変わってもホログラム表面の明暗の変化も少なく撮像手段5の設置位置が制限されない。更に、ホログラムの種類が異なっても、検査領域3aの法線に対する光軸5aの角度の変化によるホログラム表面の明暗の変化も少なく検査精度に殆ど影響しないので、ホログラムの種類毎に撮像手段5の設置位置を変える必要性も無い。更に、本発明のワーク検査装置1であれば、全方向照明が困難なLED等の照明を用いることができる。
On the other hand, with the work inspection apparatus 1 of the present invention, the diffraction effect on the hologram surface can be reduced, and even if the angle of the
次に、図5に示す包装箱のブランク17の検査を行う場合を例に挙げて、本発明のワーク検査装置1の効果を説明する。 Next, the case of inspecting the blank 17 of the packaging box shown in FIG.
包装箱のブランク17は、ホログラム19を付しているとともに、文字20が印刷されている。更に、ブランク17は、木枠によって打ち抜かれた際に折り目18が付けられる。この折り目18は、木枠によりブランク17が押しつけられて窪んでいる。このようなブランク17の検査速度は、製品によって様々であるが1分間に約300〜1200枚程度となる。つまり、ブランク17を位置決めして撮像するのではなく、位置決めすることなく連続して搬送されているブランク17を撮像し、撮像された画像を検査制御装置でマスタ画像と比較し、良否判定する。従って、ホログラム領域とホログラム領域外を同時に検査することができ、検査時間を短縮できる。
The packaging box blank 17 has a
従来からの検査装置でブランク17を検査した場合、方向性に偏りがある光で検査領域3aを照明して撮像するので、ブランク17の同一箇所を同じ照明条件で撮像することは不可能である。従って、撮像された画像はブランク毎にホログラム19が異なった色となり、ホログラム領域の色の違いに基づいて殆どのブランクが不良品となる。仮に、ホログラム領域の検査精度を低くすると、ホログラム19に生じた傷やゴミ等を検出できないため、不良品が良品に混入する可能性が高い。
When the blank 17 is inspected with a conventional inspection apparatus, the
これに対し、本発明のワーク検査装置1は、検査領域3aを全方向から均一な光で照明して撮像するため、図3,4に示すようにホログラフィー効果に影響することなくホログラム19に生じた傷やゴミ等の不良箇所の検出を高精度に行うことができる。更に、検査領域3aを全方向から均一な光で照明しているので、ブランク17の折り目18における光量変化を防止でき、折り目18の検査精度も高めることができる。
On the other hand, the workpiece inspection apparatus 1 according to the present invention illuminates and inspects the
図6は、本発明のワーク検査装置1の他の実施形態である。反射部材7の内部空間は、図1の例と同様、ほぼ円柱の一部を欠いた形状でその軸心が前記幅方向とほぼ平行に形成され、断面形状は円形の一部を欠いた形状をし、その前後両端部に上記ミラー21aがそれぞれ延設されている。また、前後の隙間8a,8bを塞ぐように外面に散光部材10a,10bが被覆され、反射部材7と一体で構成されている。反射部材7に対して搬送方向前後に位置する照明手段6aから搬送方向後方斜め下に向けて出力された出力光は、ミラー21aにて斜め上方に向けて反射され、散光部材10aで散光し、照明用の隙間8aを通って反射部材7内に入射している。同様に、反射部材7に対して搬送方向後方に位置する照明手段6bから搬送方向前方斜め下に向けて出力された出力光は、ミラー21bにて斜め上方に反射され、散光部材10bで散光し、照明用の隙間8bを通って反射部材7内に入射している。
FIG. 6 shows another embodiment of the workpiece inspection apparatus 1 of the present invention. As in the example of FIG. 1, the internal space of the
照明用の隙間8a,8bを通って入射された光は、反射部材7の反射面7aに照射され、この反射面7aにて反射した反射光で検査領域3aを照明する。また、照明手段6cから出力された出力光は、散光部材10cによって散光される。散光された光の一部は、ハーフミラー11によって撮像用の隙間9を通って反射部材7内に入射し、検査領域3aを照明する。図6に示すワーク検査装置1も、図1で示したように、検査領域3aを全方向からほぼ均一な光で照明できる点で好適な例である。
The light incident through the
図7は、本発明に係る更に他の実施形態を示している。反射部材7の内部空間の形状を半円状とし、その反射面7aは白色となっている。反射部材7の前方に照明手段6aを設け、後方に照明手段6bを設け、それぞれ反射部材7との間に散光部材10a,10bが設けられている。また、照明手段6bの上方には反射部材7の上方に設けたハーフミラー11に向けて光を照射する照明手段6cが設けられ、該照明手段6cとハーフミラー11との間に前記散光部材10bの上部が介装される。すなわち本例では、照明手段6b、6cの散光部材10bを共通のものとして一体構成している。そして、散光部材10a,10bによって散光された照明手段6a,6bからの出力光を、照明用の隙間8a,8bを通して、反射部材7の反射面7aに照射し、反射面7aでの反射光で検査領域3aを照明することで、該検査領域3aを全方向からほぼ均一な光で照明できる。尚、図6又は図7の例では、撮像手段5を光軸5aが検査領域3aの法線とほぼ一致するように配置しているが、撮像手段5の光軸5aと検査領域3aの法線とが所定の角度を有するように配置しても良い。
FIG. 7 shows still another embodiment according to the present invention. The shape of the internal space of the reflecting
図8は、本発明に係る更に他の実施形態を示しており、反射部材7の壁自体を光透過性の散光部材で構成し、外部に配置された複数の照明手段6dの出力光を該壁を透過させて反射部材7の内側に入射する。つまり、反射部材7が散光部材としての機能を備えている。この反射部材7は、上述したようにトレーシングペーパーのような紙製のものや、透明な板部材にインキを塗布や表面研磨等を行った合成樹脂製やガラス製等のものである。照明手段6dは、本例では蛍光ランプとしているが、図1で示したようにLEDであっても良い。
FIG. 8 shows still another embodiment according to the present invention, in which the wall of the reflecting
反射部材7には、撮像用の隙間9が設けられている。そして、照明手段6cからの出力光は、散光部材10cによって散光され、散光された光はハーフミラー11によって反射し、撮像用の隙間9を通して反射部材7内に入射し、検査領域3aを照明する。更に、当該撮像用の隙間9を通して、撮像手段5が検査領域3aを撮像する。このように、反射部材7を散光部材にて構成し、照明用の隙間を設けることなく、反射部材7の壁面で散光させて、検査領域3aを全方向からほぼ均一な光で照明すれば、照明手段6dの位置を自由に設計できる。
The reflecting
図9は、本発明に係る更に他の実施形態を示しており、反射面7aが凹曲面71と平坦面70を組み合わせた複合的な面とされ、反射面7a内側の内部空間の大きさを上記他の実施形態よりもコンパクト化している。このようなコンパクト化により、内部に入射された光が反射面7a及びワーク表面に繰り返し反射して検査領域3aを照明する光量が大きくなり(光路長が短くなり内部散乱が多く光量の密度が大きく明るくなる)、均一性も維持されることから照明手段6bが一方向のみでもホログラムのホログラフィー効果を低下させ高精度な検査を行なうことが可能となる。
FIG. 9 shows still another embodiment according to the present invention, in which the reflecting
照明用の隙間8bを通った光束14bは、検査領域3aを直接照明することがないように、反射面7aに照射され、その光軸13aは、搬送方向に対して上向きに光が入射されている。したがって、隙間8bの角部による光量変化がワーク面に影響することが防止され、光の光量の均一性が維持される。本例では、散光部材が無く、しかも搬送路側方から見た一方向からの照明6bだけで均一で十分な光量が得られ、高精度な検査を行なうことができることから、コストダウンを図ることが可能な構造である。
The
本例では、反射部材7の内面が隙間8以外すべて反射面として構成しているが、本発明はこれに何ら限定されず、一部に黒幕を設ける等して非反射部を設けてもよい。このような非反射部を設けることにより、ホログラムが付されたワークにエンボス等の凹凸形状がある場合に当該形状の検査もできるようになる。また、隙間及び該隙間を介して検査領域を直接照射する照明手段を設けることにより、同様に凹凸形状を検査できるようにしてもよい。そして、このような非反射部は黒幕を着脱可能に設けるなどして反射面としての機能と非反射面としての機能を切り替え可能に構成することが好ましい。これにより、まず黒幕を外した状態で検査領域のホログラフィー効果を確実に低下させて高精度に印刷等の状態を検査した後、黒幕を付けて同じ検査領域の凹凸形状を検査することができる。直接照射の照明手段についてもオン/オフ切り替えすることで同様の検査を行なうことが可能である。
In this example, the inner surface of the reflecting
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこうした実施例に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々なる形態で実施し得ることは勿論である。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to these embodiments, and can of course be implemented in various forms without departing from the gist of the present invention.
Claims (8)
前記検査領域を覆うように設けられ、該検査領域に臨む内面で光を反射すると共に、前記搬送方向と直交するワーク幅方向に延びるスリット状の第1、第2、及び第3の隙間が形成され、前記第1の隙間が前記搬送方向下流側、前記第2の隙間が前記搬送方向上流側に設けられた反射部材と、
該反射部材の外側に配置され、前記第1の隙間を通じて、該反射部材の内側に照明光を入射する第1の照明手段と、
該反射部材の外側に配置され、前記第2の隙間を通じて、該反射部材の内側に照明光を入射する第2の照明手段と、
前記反射部材の外側に配置され、前記第3の隙間を通じて、前記検査領域を撮像する撮像手段とを備え、
前記第1及び第2の照明手段による出力光の光軸が、それぞれ前記検査領域から離れていく方向に前記搬送方向に対して傾斜していることにより、前記第1及び第2の照明手段の出力光が前記反射部材の内面で反射される前に前記検査領域に入射することがないように設定され、
前記第1及び第2の照明手段により入射され、且つ前記反射部材の内面で反射された多方向からの光により前記検査領域を照射し、該検査領域を前記撮像手段で撮像するワーク検査装置。 A transport path for transporting the workpiece in a predetermined transport direction through a predetermined inspection area;
Slit-like first, second, and third gaps are formed so as to cover the inspection area, reflect light at the inner surface facing the inspection area, and extend in the workpiece width direction orthogonal to the transport direction. A reflective member provided with the first gap on the downstream side in the transport direction and the second gap on the upstream side in the transport direction;
A first illuminating unit disposed outside the reflecting member and entering illumination light into the reflecting member through the first gap;
A second illuminating means disposed outside the reflecting member and entering illumination light into the reflecting member through the second gap;
An imaging unit that is disposed outside the reflecting member and that images the inspection region through the third gap;
The optical axes of the output light from the first and second illumination means are inclined with respect to the transport direction in directions away from the inspection area, respectively, so that the first and second illumination means The output light is set so as not to enter the inspection area before being reflected by the inner surface of the reflecting member,
A workpiece inspection apparatus that irradiates the inspection area with light from multiple directions incident on the first and second illumination means and reflected on the inner surface of the reflecting member, and images the inspection area with the imaging means.
該反射部材の外側に配置され、前記第1の隙間を通じて、該反射部材の内側に照明光を入射する第1の照明手段と、
該反射部材の外側に配置され、前記第2の隙間を通じて、該反射部材の内側に照明光を入射する第2の照明手段と、
前記反射部材の外側に配置され、前記第3の隙間を通じて、前記検査領域を撮像する撮像手段と、
前記反射部材の外側に配置された第3の照明手段と、
前記撮像手段の光軸上に配置され、前記第3の照明手段からの出力光を反射して前記第3の隙間に導くハーフミラーとを備え、
前記第1及び第2の照明手段により入射され、且つ前記反射部材の内面で反射された多方向からの光により前記検査領域を照射し、該検査領域を前記撮像手段で撮像し、
前記撮像手段の光軸は、前記検査領域の法線に対して所定の角度を有するワーク検査装置。 A reflection member provided so as to cover the inspection region, reflecting light on the inner surface facing the inspection region , and having first, second, and third gaps formed therein ;
A first illuminating unit disposed outside the reflecting member and entering illumination light into the reflecting member through the first gap ;
A second illuminating means disposed outside the reflecting member and entering illumination light into the reflecting member through the second gap;
An imaging unit disposed outside the reflective member and imaging the inspection region through the third gap ;
A third illuminating means arranged outside the reflecting member;
A half mirror disposed on the optical axis of the imaging means and reflecting the output light from the third illuminating means to guide it to the third gap;
Irradiating the inspection area with light from multiple directions incident by the first and second illumination means and reflected by the inner surface of the reflecting member, and imaging the inspection area with the imaging means ;
The optical axis of the front SL imaging means, workpiece inspection device having a predetermined angle with respect to the normal line of the inspection area.
該反射部材の外側に配置され、該反射部材の壁を透過して該反射部材の内側に発光ダイオードによる照明光を入射する、互いに離間して配置された複数の照明手段と、
前記反射部材の外側に配置され、該反射部材の隙間を通じて、前記検査領域を撮像する撮像手段とを備え、
前記照明手段により入射され、且つ前記反射部材の内面で反射された多方向からの光により前記検査領域を照射し、該検査領域を前記撮像手段で撮像するワーク検査装置。 A reflection member that has a wall made of a light transmissive diffuser, is provided so as to cover the inspection region with the wall, and reflects light on the inner surface of the wall facing the inspection region;
A plurality of illumination means arranged apart from each other and arranged to be spaced apart from each other, wherein illumination light from a light emitting diode is incident on the inside of the reflection member through the wall of the reflection member;
An imaging unit that is disposed outside the reflecting member and images the inspection region through a gap between the reflecting members;
A workpiece inspection apparatus that irradiates the inspection area with light from multiple directions incident by the illumination unit and reflected by the inner surface of the reflecting member, and images the inspection area with the imaging unit.
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