JP5750126B2 - タッチ制御パネル製造方法 - Google Patents
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Description
タッチ制御パネルの先行技術としては、特許文献1〜3に開示されたものがある。
図1、図2、図3はそれぞれ、本発明の第1実施例のタッチ制御パネルの製造方法のステップフロー図、構造説明図、及び製造フロー説明図であり、これらの図に示すように、前記タッチ制御パネル製造方法は、以下のステップS1〜S8を含む:
ステップS1:基板を提供し、タッチ制御領域及び非タッチ制御領域を定義する;
基板1を提供し、基板1の材質は、ガラス又は高分子材料で形成される透明板材であることができ、基板1の中央箇所をタッチ制御領域11として定義し、基板1のタッチ制御領域11の外側を非タッチ制御領域12として定義する。本発明実施例が使用する基板は、透明ガラス材質の基板であり、その生産の前作業は、従来技術と同一であるので、ここでは、詳細を記載しない。
インク塗布の方式により、該非タッチ制御領域12に遮蔽層13を形成し、該遮蔽層13は、スクリーン印刷及び平板印刷の何れかである。
スパッタリングの方式を介し、基板1のタッチ制御領域11及び非タッチ制御領域12にタッチ制御電極層14を形成し、該タッチ制御電極14は、インジウム錫酸化物(lndium Tin Oxide,ITO)、インジウム亜鉛酸化物、インジウム錫亜鉛酸化物、酸化ハフニウム、酸化亜鉛、酸化アルミニウム、アルミニウム錫酸化物、アルミニウム亜鉛酸化物、カドミウム錫酸化物及びカドミウム亜鉛酸化物から構成される材料群からいずれか1つが選択される。
金属遮蔽マスク2を前記基板1上に配置し、前記タッチ制御領域11及び前記非タッチ制御領域12を同時に被覆し、前記金属遮蔽マスク2が前記非タッチ制御領域12を覆う箇所に複数の通孔21を有し、印刷又はスパッタリング及びその他の方式で非タッチ制御領域12の前記遮蔽層13の上方に対応し、前記金属遮蔽マスク2の遮蔽を受けない箇所に回路配線を行い、配線完成後、前記金属遮蔽マスク2を除去し、前記金属配線層15を形成する。
前記タッチ制御電極層14に対し、イエロー光照射及び現像及びエッチング等のプロセスを行い、前記タッチ制御領域11に複数のタッチ制御電極を形成し、前記タッチ制御電極層の形成に使用するエッチング液は、硝酸、塩酸、水から構成される材料群から複数の材料を選択したグループを作り、そのグループが選択され、前記金属配線層の形成に使用するエッチング液は、リン酸塩、硝酸、酢酸及び水から構成される材料群から複数の材料を選択したグループを作り、そのグループが選択される。
前記タッチ制御電極及び前記金属配線が前記非タッチ制御領域12で交わる箇所に絶縁層17を被覆し、該絶縁層17は、前記タッチ制御電極及び前記金属配線が交わる箇所に対応し、複数の電気接続孔171を残留し、前記絶縁層17は、スクリーン印刷及び平板印刷の何れか1つの方式で形成され、前記絶縁層17の材料は、誘電係数2〜4の材料であり、灯光性の絶縁材料、例えば、インク、又は透光性を具備しない絶縁材料、無機材質及び有機材質の何れか1つを使用することができ、前記無機材質は、酸化シリコン、窒化シリコン、窒酸化シリコン、炭化シリコン、酸化亜鉛、酸化アルミニウムから構成される材料群からいずれか1つが選択され、前記有機材質は、フォトレジスト、ブテン(enzocyclobutane、BCB)、エチレン系、ポリエステル系、ポリアルコール系、ポリエチレンオキシド系、ポリフェニレン系、樹脂類、ポリエーテル系、ポリケトン系から構成される材料群からいずれか1つがに選択される。
銀ペースト印刷及びスパッタリングの何れか1つの方式を介し、前記絶縁層17上及び残留する電気接続孔171中に金属導線を有する導線層16を設置し、互いに電気接続したいタッチ制御電極及び金属配線を電気接続させる。
タッチ制御電極層14、前記金属配線層15、前記絶縁層17上において、コーティングの方式で保護層18を形成し、前記タッチ制御電極層14、前記金属配線層15、前記絶縁層17、導線層16及び金属配線を保護する。
図4、図5はそれぞれ、本発明の第2実施例のタッチ制御パネル製造方法のステップフロー図、及び構造説明図であり、これらの図に示すように、前記タッチ制御パネル製造方法は、以下のステップS1〜S8及びS9を含む:
ステップS1:基板を提供し、タッチ制御領域及び非タッチ制御領域を定義し、
ステップS2:前記基板の非タッチ制御領域に遮蔽層を設置し、
ステップS9:前記基板のタッチ制御領域及び前記非タッチ制御領域に光学補償層を形成し、
ステップS3:前記基板のタッチ制御領域及び前記非タッチ制御領域に複数のタッチ制御電極を有するタッチ制御電極層を設置し、
ステップS4:前記タッチ制御電極層上に金属遮蔽マスクを被覆し、非タッチ制御領域の前記金属遮蔽マスクで遮蔽されていない箇所に複数の金属配線を有する金属配線層を形成し、その後、前記金属遮蔽マスクを除去し、
ステップS5:イエロー光照射及び現像及びエッチング等のプロセスを介し、前記タッチ制御電極層に複数のタッチ制御電極を成型し、
ステップS6:前記タッチ制御電極及び前記金属配線の交わる箇所に絶縁層を設置し、前記絶縁層に複数の電気接続孔を残留させ、
ステップS7:前記絶縁層に複数の金属層導線を有する導線層を設置し、前記電気接続孔を介し、前記金属配線及び前記タッチ制御電極を電気接続し、
ステップS8:前記タッチ制御電極層及び前記金属配線層及び前記絶縁層上に保護層を設置する。
11 タッチ制御領域
12 非タッチ制御領域
13 遮蔽層
14 タッチ制御電極層
15 金属配線層
16 導線層
17 絶縁層
171 電気接続孔
18 保護層
19 光学補償層
2 金属遮蔽マスク
21 通孔
Claims (12)
- 基板を提供し、タッチ制御領域及び非タッチ制御領域を定義するステップ;
前記基板の前記非タッチ制御領域に遮蔽層を設置するステップ;
前記基板の前記タッチ制御領域及び前記非タッチ制御領域に複数のタッチ制御電極を有するタッチ制御電極層を設置するステップ;
前記タッチ制御電極層上に金属遮蔽マスクを被覆し、前記非タッチ制御領域の前記金属遮蔽マスクで遮蔽されていない箇所に複数の金属配線を有する金属配線層を形成し、その後、前記金属遮蔽マスクを除去するステップであって、該ステップでは、前記金属遮蔽マスクを前記基板上に配置し、前記タッチ制御領域及び前記非タッチ制御領域を同時に被覆し、前記金属遮蔽マスクが前記非タッチ制御領域を覆う箇所に複数の通孔を有し、少なくとも印刷又はスパッタリングの方式で非タッチ制御領域の前記遮蔽層の特定箇所に対応し、前記金属遮蔽マスクの遮蔽を受けない箇所に回路配線を行い、配線完成後、前記金属遮蔽マスクを除去し、前記金属配線層を形成する;
イエロー光照射及び現像及びエッチングを含むプロセスを介し、前記タッチ制御電極層に前記複数のタッチ制御電極を成型するステップ;
前記タッチ制御電極及び前記金属配線の交わる箇所に絶縁層を設置し、該絶縁層に複数の電気接続孔を残留させるステップ;
前記絶縁層に複数の金属層導線を有する導線層を設置し、前記電気接続孔を介し、前記金属配線及び前記タッチ制御電極を電気接続するステップ;
前記タッチ制御電極層及び前記金属配線層及び前記絶縁層上に保護層を設置するステップ;
を含むタッチ制御パネル製造方法。 - 前記タッチ制御電極層は、スパッタリングの方式で形成される請求項1に記載のタッチ制御パネル製造方法。
- 前記遮蔽層は、インクコーティングの方式で形成される請求項1に記載のタッチ制御パネル製造方法。
- 前記タッチ制御電極層は、インジウム錫酸化物(lndium Tin Oxide,ITO)、インジウム亜鉛酸化物、インジウム錫亜鉛酸化物、酸化ハフニウム、酸化亜鉛、酸化アルミニウム、アルミニウム錫酸化物、アルミニウム亜鉛酸化物、カドミウム錫酸化物及びカドミウム亜鉛酸化物から構成される材料群からいずれか1つが選択される請求項1に記載のタッチ制御パネル製造方法。
- 前記絶縁層は、スクリーン印刷及び平板印刷の何れか1つを用いるものである請求項1に記載のタッチ制御パネル製造方法。
- 前記保護層は、無機材質及び有機材質の何れか1つである請求項1に記載のタッチ制御パネル製造方法。
- 前記無機材質は、酸化シリコン、窒化シリコン、窒酸化シリコン、炭化シリコン、酸化亜鉛、酸化アルミニウムから構成される材料群からいずれか1つが選択され、前記有機材質は、フォトレジスト、ブテン(enzocyclobutane、BCB)、エチレン系、ポリエステル系、ポリアルコール系、ポリエチレンオキシド系、ポリフェニレン系、樹脂類、ポリエーテル系、ポリケトン系から構成される材料群からいずれか1つが選択される請求項6に記載のタッチ制御パネル製造方法。
- 前記基板の非タッチ制御領域に遮蔽層を設置するステップの後に更に前記タッチ制御領域及び前記非タッチ制御領域に光学補償層を形成するステップを有する請求項1に記載のタッチ制御パネル製造方法。
- 前記絶縁層は、無機材質及び有機材質の何れか1つである請求項1に記載のタッチ制御パネル製造方法。
- 前記無機材質は、酸化シリコン、窒化シリコン、窒酸化シリコン、炭化シリコン、酸化亜鉛、酸化アルミニウムから構成される材料群からいずれか1つが選択され、前記有機材質は、フォトレジスト、ブテン(enzocyclobutane、BCB)、エチレン系、ポリエステル系、ポリアルコール系、ポリエチレンオキシド系、ポリフェニレン系、樹脂類、ポリエーテル系、ポリケトン系から構成される材料群からいずれか1つが選択される請求項9に記載のタッチ制御パネル製造方法。
- 前記イエロー光照射及び現像及びエッチングを含むプロセスにおいて、前記タッチ制御電極層の形成に使用するエッチング液は、硝酸、塩酸、水から構成される材料群の中から複数の材料を選択したグループを作り、そのグループが選択され、前記金属配線層の形成に使用するエッチング液は、リン酸塩、硝酸、酢酸及び水から構成される材料群の中から複数の材料を選択したグループを作り、そのグループが選択される請求項1に記載のタッチ制御パネル製造方法。
- 前記導線層は、銀ペースト印刷及びスパッタリングの方式で成型される請求項1に記載のタッチ制御パネル製造方法。
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