JP5743160B2 - UV irradiation equipment - Google Patents

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JP5743160B2 JP2012187053A JP2012187053A JP5743160B2 JP 5743160 B2 JP5743160 B2 JP 5743160B2 JP 2012187053 A JP2012187053 A JP 2012187053A JP 2012187053 A JP2012187053 A JP 2012187053A JP 5743160 B2 JP5743160 B2 JP 5743160B2
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Description

本発明は、例えば樹脂、塗料、インキ又は接着材等の硬化処理に用いられる紫外線照射装置に関するものである。   The present invention relates to an ultraviolet irradiation device used for curing a resin, paint, ink, adhesive or the like.

この種の紫外線照射装置としては、特許文献1に示すように、直管状の紫外線ランプと、当該紫外線ランプを収容する筐体と、前記紫外線ランプを冷却するための給気構造及び排気構造とを備えたものがある。そして、前記給気構造及び前記排気構造は、それぞれ筐体内において長手方向に延びる給気ダクト及び排気ダクトを具備し、前記筐体の端面に開口する給気口及び排気口に送風装置及び排風装置が接続されることにより冷却気体の給排気が行われるように構成してある。   As this type of ultraviolet irradiation device, as shown in Patent Document 1, a straight tubular ultraviolet lamp, a housing for housing the ultraviolet lamp, an air supply structure and an exhaust structure for cooling the ultraviolet lamp are provided. There is something to prepare. The air supply structure and the exhaust structure each include an air supply duct and an exhaust duct extending in the longitudinal direction in the housing, respectively, and a blower and an exhaust air are provided at an air supply opening and an exhaust opening that are open on an end surface of the housing. Cooling gas is supplied and exhausted by connecting the device.

より具体的に冷却気体の流れについて説明すると、前記給気口から導入された冷却気体はまず前記給気ダクト41A内を長手方向に進行するとともに、図8の横断面図に示すように当該給気ダクト41Aの下面に開口する吐出開口411Aから紫外線ランプ1Aの直上及び筐体2Aの下面開口付近へと供給される。そして、前記紫外線ランプ1Aの近傍において暖められた冷却気体は反射体51Bの側面に形成された前記紫外線ランプ1Aの斜め上方にある吸入開口511Aから吸い込まれて、その後前記排気ダクト51A内を長手方向に流れて前記排気口から筐体2A外部へと排気される。   More specifically, the flow of the cooling gas will be described. The cooling gas introduced from the air supply port first proceeds in the longitudinal direction in the air supply duct 41A, and as shown in the cross-sectional view of FIG. A discharge opening 411A that opens on the lower surface of the air duct 41A is supplied directly above the ultraviolet lamp 1A and near the lower surface opening of the housing 2A. Then, the cooling gas heated in the vicinity of the ultraviolet lamp 1A is sucked from a suction opening 511A formed obliquely above the ultraviolet lamp 1A formed on the side surface of the reflector 51B, and then in the exhaust duct 51A in the longitudinal direction. To the outside of the housing 2A from the exhaust port.

しかしながら、このように構成された排気構造においては、前記給気ダクトの吐出開口から吐出された冷却気体は、前記排気ダクトの外表面に沿って流れるように構成されているため、紫外線ランプに到達するまでの間に、排気ダクト内を流れる暖められた冷却気体との間で熱交換が生じてしまう。このため、給気ダクトから紫外線ランプに到達するまでの間に冷却気体の温度が上昇してしまい、冷却効率が低下するという問題がある。   However, in the exhaust structure thus configured, the cooling gas discharged from the discharge opening of the air supply duct is configured to flow along the outer surface of the exhaust duct, and thus reaches the ultraviolet lamp. In the meantime, heat exchange occurs with the warmed cooling gas flowing in the exhaust duct. For this reason, there is a problem that the temperature of the cooling gas rises before reaching the ultraviolet lamp from the air supply duct, and the cooling efficiency is lowered.

また、特許文献1の給気構造及び排気構造では、前記紫外線ランプの側面に冷却気体が層流状に沿って流れた後に前記排気ダクトへと回収されるように構成されており、前記紫外線ランプの側面近傍において渦等の乱流を形成できておらず、十分な熱伝達が行われていない。   Further, in the air supply structure and the exhaust structure of Patent Document 1, a cooling gas flows along a laminar flow on the side surface of the ultraviolet lamp and is then collected into the exhaust duct. A turbulent flow such as a vortex cannot be formed in the vicinity of the side surface of the plate, and sufficient heat transfer is not performed.

特開平7−256190号公報JP 7-256190 A

本発明は上述したような問題を鑑みてなされたものであり、給気ダクトから紫外線ランプへと低温の状態を保ったまま冷却気体を供給できるとともに、前記紫外線ランプの近傍において十分に熱交換が生じるように構成された冷紫外線照射装置を提供する事を目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems. The cooling gas can be supplied from the air supply duct to the ultraviolet lamp while maintaining a low temperature state, and sufficient heat exchange is performed in the vicinity of the ultraviolet lamp. It aims at providing the cold ultraviolet irradiation device comprised so that it might occur.

すなわち、本発明の紫外線照射装置は長尺状の紫外線ランプと、前記紫外線ランプを収容するとともに、当該紫外線ランプからの紫外線を被照射物に照射するための紫外線射出窓を有する長尺状の筐体と、前記筐体内において長手方向に延びており、外部から給気された冷却気体が一端側から他端側へ流れる給気ダクト及び前記給気ダクトから前記紫外線ランプの近傍へと前記冷却気体を吐出する吐出流路を具備する給気構造と、前記筐体内において長手方向に延びており、一端側から他端側へと冷却気体が流れて外部へ排気される排気ダクト及び前記紫外線ランプの近傍から前記排気ダクトへと前記冷却気体を吸入する吸入流路を具備する排気構造とを備えている。   That is, the ultraviolet irradiation apparatus of the present invention accommodates a long ultraviolet lamp and the ultraviolet lamp, and has a long casing having an ultraviolet emission window for irradiating the irradiated object with ultraviolet rays from the ultraviolet lamp. A cooling duct that extends in the longitudinal direction in the body and that is supplied from outside and flows from one end side to the other end side, and the cooling gas from the supply duct to the vicinity of the ultraviolet lamp An air supply structure having a discharge flow path for discharging air, an exhaust duct that extends in the longitudinal direction in the housing, and that flows out from one end side to the other end side to be exhausted to the outside, and the ultraviolet lamp And an exhaust structure having a suction passage for sucking the cooling gas from the vicinity to the exhaust duct.

さらに、本発明の紫外線照射装置は、前記吸入流路が、前記排気ダクトから前記紫外線ランプの近傍へと延びる排気ノズルの内面に沿って流れており、前記紫外線ランプの側面において前記紫外線射出窓とは反端側から前記冷却気体を吸入するように構成されており、前記吐出流路が、前記排気ノズルの外面に沿って流れており、前記前記紫外線ランプの側面において前記紫外線射出窓とは反対側に冷却気体を吐出するように構成されていることを特徴とする。   Further, in the ultraviolet irradiation device of the present invention, the suction flow path flows along the inner surface of the exhaust nozzle extending from the exhaust duct to the vicinity of the ultraviolet lamp, and the ultraviolet emission window and the ultraviolet emission window on the side surface of the ultraviolet lamp. Is configured to suck the cooling gas from the opposite end side, and the discharge flow path flows along the outer surface of the exhaust nozzle, and is opposite to the ultraviolet emission window on the side surface of the ultraviolet lamp. The cooling gas is discharged to the side.

このようなものであれば、冷却気体は前記排気ノズルの外面に沿って流れた後に前記紫外線ランプに当たり、その後前記排気ノズルの内面に沿って流れて前記排気ダクトへと吸入されるので、前記紫外線ランプの側面において冷却気体の流路方向を大きく変化させて前記紫外線ランプの側面近傍において渦等の乱流を形成することができ、熱伝達効率をよくすることができ、冷却気体により紫外線ランプから十分な熱量を奪うことができる。   In such a case, the cooling gas flows along the outer surface of the exhaust nozzle and then hits the ultraviolet lamp, and then flows along the inner surface of the exhaust nozzle and is sucked into the exhaust duct. The flow direction of the cooling gas can be greatly changed on the side surface of the lamp to form a turbulent flow such as a vortex in the vicinity of the side surface of the ultraviolet lamp, so that heat transfer efficiency can be improved. A sufficient amount of heat can be taken away.

前記紫外線ランプへと供給される冷却気体が、前記排気ダクトと接することがなく、暖められた冷却気体との間で熱交換が行われにくくし、冷却気体を低温に保ったまま紫外線ランプまで到達させることで冷却効率を向上させるには、前記吐出流路が、少なくとも前記排気ダクトから所定距離離間して形成されていればよい。   The cooling gas supplied to the ultraviolet lamp does not come into contact with the exhaust duct, makes it difficult to exchange heat with the heated cooling gas, and reaches the ultraviolet lamp while keeping the cooling gas at a low temperature. In order to improve the cooling efficiency by doing so, it is sufficient that the discharge flow path is formed at least a predetermined distance away from the exhaust duct.

前記吐出流路と前記吸入流路の流路方向を大きく変化させるのに適した流路形成構造であり、前記紫外線ランプの近傍にある反射部材の冷却も高効率で行えるようにするための構成としては、前記吸入流路が、前記排気ダクトから前記紫外線ランプの近傍へと延びる排気ノズルにより形成されており、前記紫外線ランプ及び前記排気ダクトの間に配置されており、前記紫外線ランプから射出された紫外線を前記紫外線射出窓に反射する反射部材をさらに備え、前記吐出流路が、前記排気ノズル及び前記反射部材の間を通って前記紫外線ランプに到達するように構成されているものが挙げられる。   A flow path forming structure suitable for greatly changing the flow path directions of the discharge flow path and the suction flow path, and a configuration for cooling the reflecting member in the vicinity of the ultraviolet lamp with high efficiency For example, the suction flow path is formed by an exhaust nozzle extending from the exhaust duct to the vicinity of the ultraviolet lamp, and is disposed between the ultraviolet lamp and the exhaust duct, and is emitted from the ultraviolet lamp. And a reflection member that reflects the ultraviolet light to the ultraviolet emission window, and the discharge passage is configured to reach the ultraviolet lamp through the exhaust nozzle and the reflection member. .

前記紫外線ランプと前記排気ダクトを近接させておき、暖められた冷却気体を速やかに外部に排気して熱が筐体内にこもらないようにするとともに、前記給気構造が前記排気構造と接触する箇所を極力減らせる各部材の配置及び流路構成としては、前記筐体の横断面を視た場合において、前記紫外線射出窓、前記紫外線ランプ、前記排気ダクト、前記給気ダクトの順番で各々が配置されており、前記筐体の横断面を視た場合において、前記排気ダクトから前記紫外線ランプの近傍へ前記排気ノズルが直線状に延びており、前記吐出流路が、前記給気ダクトから前記排気ダクトを迂回して前記紫外線ランプに到達するように構成されているものが挙げられる。   The ultraviolet lamp and the exhaust duct are kept close to each other so that the heated cooling gas is quickly exhausted outside so that heat is not trapped in the housing, and the air supply structure is in contact with the exhaust structure. As the arrangement of the members and the flow path configuration that can reduce as much as possible, when the cross section of the casing is viewed, the ultraviolet emission window, the ultraviolet lamp, the exhaust duct, and the air supply duct are arranged in this order. When the cross section of the housing is viewed, the exhaust nozzle extends linearly from the exhaust duct to the vicinity of the ultraviolet lamp, and the discharge passage extends from the air supply duct to the exhaust duct. The thing comprised so that a duct may be bypassed and the said ultraviolet lamp may be mentioned is mentioned.

例えば、紫外線照射装置が高出力で動作する通常モードでは、前記紫外線ランプとともに前記反射部材も冷却でき、紫外線照射装置を低出力で動作させて待機モードとしており前記反射部材への冷却がそれほど必要でない場合に、前記紫外線ランプの冷却量をさらに向上させることができるようにするには、前記反射部材が、前記紫外線ランプから射出された紫外線を前記紫外線射出窓に反射する反射位置及び前記紫外線ランプから前記紫外線射出窓への紫外線を遮断する遮光位置の間を回転移動するように構成されており、前記反射部材が前記反射位置にある場合には、前記吐出流路が前記排気ノズル及び前記反射部材の間を通って前記紫外線ランプに到達するとともに、前記反射部材及び前記筐体の間を通って前記紫外線ランプに到達し、前記反射部材が前記遮光位置にある場合には、前記反射部材が前記筐体の間を閉塞するように構成されていればよい。   For example, in the normal mode in which the ultraviolet irradiation device operates at a high output, the reflecting member can be cooled together with the ultraviolet lamp, and the ultraviolet irradiation device is operated at a low output to enter a standby mode, so that the cooling to the reflecting member is not so necessary. In this case, in order to further improve the cooling amount of the ultraviolet lamp, the reflecting member reflects the ultraviolet ray emitted from the ultraviolet lamp on the ultraviolet emission window and the ultraviolet lamp. When the reflection member is in the reflection position, the discharge flow path is configured to be the exhaust nozzle and the reflection member. And reaches the ultraviolet lamp through the space between the reflecting member and the housing. When the reflecting member is in the blocking position only needs to be configured such that the reflecting member is closed between said housing.

このように本発明の紫外線照射装置によれば、紫外線ランプに到達していない冷却気体が、前記排気ノズルの外面に沿って前記紫外線ランプ側へと冷却気体が流れるように前記吐出流路が形成されているとともに、前記紫外線ランプの近傍から吸入された冷却気体が前記排気ノズルの内面に沿って流れる吸入流路が形成されているので、吐出流路と吸入流路の流路方向を大きく変化させることにより前記紫外線ランプの近傍において渦等の乱流を発生させることができる。従って、前記紫外線ランプから冷却気体への熱伝達効率を向上させて、より多くの熱量を紫外線ランプから冷却することができる。   Thus, according to the ultraviolet irradiation device of the present invention, the discharge flow path is formed so that the cooling gas that has not reached the ultraviolet lamp flows to the ultraviolet lamp side along the outer surface of the exhaust nozzle. In addition, a suction flow path is formed in which the cooling gas sucked from the vicinity of the ultraviolet lamp flows along the inner surface of the exhaust nozzle, so that the flow direction of the discharge flow path and the suction flow path changes greatly. By doing so, a turbulent flow such as a vortex can be generated in the vicinity of the ultraviolet lamp. Accordingly, the heat transfer efficiency from the ultraviolet lamp to the cooling gas can be improved, and a larger amount of heat can be cooled from the ultraviolet lamp.

本発明の一実施形態に係る紫外線照射装置の模式的斜視図。The typical perspective view of the ultraviolet irradiation device concerning one embodiment of the present invention. 同実施形態における筐体横断面を示す模式図。The schematic diagram which shows the housing | casing cross section in the same embodiment. 同実施形態における筐体縦断面図を示す模式的斜視図。The typical perspective view which shows the housing | casing longitudinal cross-sectional view in the same embodiment. 同実施形態における紫外線ランプの近傍の模式的拡大断面図。The typical expanded sectional view of the vicinity of the ultraviolet lamp in the embodiment. 同実施形態における仕切板を示す模式的拡大図。The typical enlarged view which shows the partition plate in the embodiment. 同実施形態における紫外線ランプの保持構造を示す部分拡大図。The elements on larger scale which show the holding structure of the ultraviolet lamp in the embodiment. 本発明の別の実施形態に係る紫外線照射装置の反射部材が閉塞位置にある場合の筐体横断面の模式的拡大図。The typical expanded view of a housing | casing cross section in case the reflection member of the ultraviolet irradiation device which concerns on another embodiment of this invention exists in a obstruction | occlusion position. 従来の紫外線照射装置における給気構造及び排気構造を示す模式的横断面図。The typical cross-sectional view which shows the air supply structure and exhaust structure in the conventional ultraviolet irradiation device.

本発明の一実施形態に係る紫外線照射装置100について図面を参照しながら説明する。   An ultraviolet irradiation apparatus 100 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

本実施形態に係る紫外線照射装置100は、例えば紙、フィルム等の基材上にUVインキ等を塗布してなる被照射物(ワーク)に対して紫外線を照射して、前記UVインキ等を硬化させるために用いられるものである。   The ultraviolet irradiation device 100 according to the present embodiment cures the UV ink by irradiating the irradiated object (work) formed by applying UV ink or the like on a substrate such as paper or film. It is used to make it.

具体的にこの紫外線照射装置100は、図1に示すように、長尺状の紫外線ランプ1と、当該紫外線ランプ1を収容する概略長尺直方体形状をなす筐体2と、紫外線ランプ1から射出された紫外線を反射する反射位置及び紫外線ランプ1からの紫外線を遮断する遮断位置の間で回転移動する一対の反射部材3と、前記紫外線ランプ1に冷却気体を供給するための給気構造4と、前記紫外線ランプ1の放熱により暖められた冷却気体を筐体2の外部へと排気するための排気構造5と、を備えたものである。前記給気構造4及び前記排気構造5は前記筐体2内において各々を流れる冷却気体同士で熱伝導が生じにくいように各構造の間にバッファ空間を設けてある。   Specifically, as shown in FIG. 1, the ultraviolet irradiation device 100 is emitted from a long ultraviolet lamp 1, a casing 2 having a substantially long rectangular parallelepiped shape that accommodates the ultraviolet lamp 1, and the ultraviolet lamp 1. A pair of reflecting members 3 that rotate between a reflecting position for reflecting the ultraviolet rays and a blocking position for blocking the ultraviolet rays from the ultraviolet lamp 1, and an air supply structure 4 for supplying cooling gas to the ultraviolet lamp 1. And an exhaust structure 5 for exhausting the cooling gas heated by the heat radiation of the ultraviolet lamp 1 to the outside of the housing 2. The air supply structure 4 and the exhaust structure 5 are provided with a buffer space between the structures so that heat conduction between the cooling gases flowing in the housing 2 is unlikely to occur.

各部について詳述する。   Each part will be described in detail.

紫外線ランプ1は、例えば波長365nmの紫外線を射出する水銀ランプもしくはメタルハライドランプである。具体的には、この紫外線ランプ1は、石英ガラス製の長尺円筒形状をなすものであり、軸方向に直交する断面が円形状をなす密閉容器内に例えばアルゴン(Ar)ガス等の放電用ガス、ヨウ化水銀、ヨウ化鉄等が封入されており、円筒間の両端に電極が設けられている。   The ultraviolet lamp 1 is, for example, a mercury lamp or a metal halide lamp that emits ultraviolet light having a wavelength of 365 nm. Specifically, the ultraviolet lamp 1 has a long cylindrical shape made of quartz glass, and discharges, for example, argon (Ar) gas or the like in a sealed container having a circular cross section perpendicular to the axial direction. Gas, mercury iodide, iron iodide and the like are enclosed, and electrodes are provided at both ends between the cylinders.

筐体2は、図1に示すように、概略長尺直方体形状をなすものであり、ワークに紫外線を照射するための紫外線射出窓21を下面に有する。本実施形態の紫外線射出窓21は、筐体2の下面に形成された概略長尺矩形状のものであり、紫外線透過性を有するカバー22により閉塞されている。なお、紫外線射出窓21はカバー22により閉塞されず、ワークの配置空間と連通するものであっても良い。   As shown in FIG. 1, the housing 2 has a substantially long rectangular parallelepiped shape, and has an ultraviolet emission window 21 for irradiating the workpiece with ultraviolet rays on the lower surface. The ultraviolet emission window 21 of the present embodiment is a substantially long rectangular shape formed on the lower surface of the housing 2 and is closed by a cover 22 having ultraviolet transparency. The ultraviolet emission window 21 may not be closed by the cover 22 but communicate with the work space.

当該筐体2の中央部の横断面を視た場合、図2に示すように筐体2の下面から順番に、前記紫外線射出窓21、前記紫外線ランプ1、前記反射部材3、前記排気構造5(後述する排気ダクト51)、前記給気構造4(後述する給気ダクト41)の順番でそれぞれの構成部材が配置してある。   When the cross section of the central portion of the housing 2 is viewed, the ultraviolet emission window 21, the ultraviolet lamp 1, the reflecting member 3, and the exhaust structure 5 are sequentially formed from the lower surface of the housing 2 as shown in FIG. The respective constituent members are arranged in the order of (exhaust duct 51 described later) and the air supply structure 4 (air supply duct 41 described later).

一対の反射部材3は、紫外線ランプ1の長手方向に沿って、当該紫外線ランプ1の両側に設けられた対をなすものであり、筐体2に取り付けられた紫外線ランプ1の周りで回転することにより、紫外線ランプ1から射出された紫外線を紫外線射出窓21に反射する反射位置、及び、紫外線ランプ1から紫外線射出窓21への紫外線を遮断する遮光位置の間を回転移動する。前記反射位置は、一対の反射部材3の内面が紫外線ランプ1から上方に射出された紫外線をワーク側(下方)に反射する位置である。前記遮光位置は、一対の反射部材3が、紫外線ランプ1及び紫外線射出窓21の間に位置して紫外線射出窓21への紫外線を遮断する位置である。   The pair of reflecting members 3 form a pair provided on both sides of the ultraviolet lamp 1 along the longitudinal direction of the ultraviolet lamp 1, and rotate around the ultraviolet lamp 1 attached to the housing 2. Thus, the light is rotated between a reflection position where the ultraviolet light emitted from the ultraviolet lamp 1 is reflected by the ultraviolet emission window 21 and a light shielding position where the ultraviolet light from the ultraviolet lamp 1 to the ultraviolet emission window 21 is blocked. The reflection position is a position where the inner surfaces of the pair of reflecting members 3 reflect ultraviolet rays emitted upward from the ultraviolet lamp 1 toward the work side (downward). The light shielding position is a position where the pair of reflecting members 3 is located between the ultraviolet lamp 1 and the ultraviolet emission window 21 and blocks ultraviolet rays to the ultraviolet emission window 21.

このように構成された反射部材3は、筐体2の長手方向他端部側(本実施形態では背面側)に設けられた、例えばエアシリンダや電動シリンダ等のシリンダ駆動方式を用いた駆動機構(図示しない)により開閉駆動される。   The reflection member 3 configured as described above is provided on the other end side in the longitudinal direction of the casing 2 (on the back side in the present embodiment), for example, a drive mechanism using a cylinder drive system such as an air cylinder or an electric cylinder. (Not shown) is driven to open and close.

前記給気構造4は図3に示すように筐体2の端面から冷却気体を導入し、その後、前記筐体2の内側面から前記紫外線ランプ1へと冷却気体を供給するようにしてある。別の見方をすると、前記給気構造4は、図2の横断面に示すように筐体2内の最上部から下部にある紫外線ランプ1まで冷却気体の流路を形成するものである。当該給気構造4は、筐体2の長手方向、すなわち、前記紫外線ランプ1の長手方向と同方向に延びる給気ダクト41と、前記給気ダクト41から前記紫外線ランプ1の近傍まで冷却気体を供給する吐出流路42とから構成してある。   As shown in FIG. 3, the air supply structure 4 introduces a cooling gas from the end surface of the housing 2, and then supplies the cooling gas to the ultraviolet lamp 1 from the inner surface of the housing 2. From another viewpoint, the air supply structure 4 forms a cooling gas flow path from the uppermost part in the housing 2 to the ultraviolet lamp 1 at the lower part as shown in the cross section of FIG. The air supply structure 4 includes a supply duct 41 extending in the longitudinal direction of the housing 2, that is, the same direction as the longitudinal direction of the ultraviolet lamp 1, and cooling gas from the supply duct 41 to the vicinity of the ultraviolet lamp 1. It is comprised from the discharge flow path 42 to supply.

前記給気ダクト41は、図2の横断面図及び図3の断面斜視図に示すように筐体2内においては横断面形状が八角形形状を有し長手方向に延びる筒状体であり、前記筐体2の外部へ露出させた一端側に給気口Iが設けてある。なお、この給気口Iの近傍における前記給気ダクト41の横断面形状は円形にしてある。前記給気口Iには別途送風機械(図示しない)が接続されて、給気口I側から他端側へと長手方向に冷却気体が流れるようにしてある。また、図2の横断面を視た場合に前記給気ダクト41の側面斜め下部分には左右対称に当該給気ダクト41から前記吐出流路42へと冷却気体が吐出される吐出開口411が長手方向に延ばして複数設けてある。   The air supply duct 41 is a cylindrical body having an octagonal cross section extending in the longitudinal direction in the housing 2 as shown in the cross sectional view of FIG. 2 and the cross sectional perspective view of FIG. An air supply port I is provided on one end side exposed to the outside of the housing 2. The air supply duct 41 in the vicinity of the air supply port I has a circular cross-sectional shape. A separate blower (not shown) is connected to the air supply port I so that cooling gas flows in the longitudinal direction from the air supply port I side to the other end side. In addition, when the cross section of FIG. 2 is viewed, a discharge opening 411 through which the cooling gas is discharged from the supply duct 41 to the discharge flow path 42 is symmetrically provided in the diagonally lower portion of the side surface of the supply duct 41. A plurality are provided extending in the longitudinal direction.

前記吐出流路42は、図2の横断面図及び図3の断面斜視図に示すように前記排気構造5を迂回して前記吐出開口411から前記紫外線ランプ1まで冷媒気体が流れる流路である。より具体的には、当該吐出流路42は、前記吐出開口411から前記反射部材3の外面側へと延びる給気ノズル421と、前記反射部材3と後述する排気ノズル521との隙間P1及び前記反射部材3と前記筐体2の内面との隙間P2によって形成してある。   The discharge passage 42 is a passage through which the refrigerant gas flows from the discharge opening 411 to the ultraviolet lamp 1 by bypassing the exhaust structure 5 as shown in the transverse sectional view of FIG. 2 and the sectional perspective view of FIG. . More specifically, the discharge flow path 42 includes an air supply nozzle 421 extending from the discharge opening 411 to the outer surface side of the reflection member 3, a gap P1 between the reflection member 3 and an exhaust nozzle 521 described later, and the A gap P <b> 2 between the reflecting member 3 and the inner surface of the housing 2 is formed.

前記給気ノズル421は図2に示すように前記吐出開口411と略同じ幅寸法を維持して長手方向に延びるものであって、内部を上側から下側へと冷却気体が流れるように構成してある。前記給気ノズル421を出た冷却気体は前記反射部材3に沿って流れることになり、前記反射部材3の上側部分と前記排気ノズル521との間にある隙間P1を通って前記紫外線ランプ1の斜め上方から流入する流路と、前記反射部材3に沿って前記紫外線射出窓21側へと下方へと流れて反射部材3と筐体2の隙間P2へと流れる流路とに分流される。すなわち、前記紫外線ランプ1に対して少なくとも前記紫外線射出窓21がある側とは反対側に冷却気体が当たることになる。   As shown in FIG. 2, the air supply nozzle 421 maintains the same width dimension as the discharge opening 411 and extends in the longitudinal direction, and is configured so that the cooling gas flows from the upper side to the lower side. It is. The cooling gas exiting the air supply nozzle 421 flows along the reflection member 3 and passes through the gap P1 between the upper portion of the reflection member 3 and the exhaust nozzle 521. The flow is divided into a flow path that flows obliquely from above and a flow path that flows downward along the reflection member 3 toward the ultraviolet emission window 21 and flows into the gap P <b> 2 between the reflection member 3 and the housing 2. That is, the cooling gas hits the ultraviolet lamp 1 at least on the side opposite to the side where the ultraviolet emission window 21 is located.

前記排気構造5は、前記紫外線ランプ1の近傍の冷却気体を上方へと吸気して、前記筐体2の端面に開口する排気口Eから筐体2外へと冷却気体を排気するように冷却気体の流れを形成するものである。   The exhaust structure 5 is cooled so that the cooling gas in the vicinity of the ultraviolet lamp 1 is sucked upward, and the cooling gas is exhausted from the exhaust port E opened in the end surface of the housing 2 to the outside of the housing 2. A gas flow is formed.

より具体的には前記排気構造5は、図2に示されるように前記筐体2内の横断面において中央部に配置されており、前記紫外線ランプ1の近傍の空気が上方へと吸い込まれる吸入流路52と、前記吸入流路52から吸引された冷却気体を長手方向に流れて前記排気口Eから外部へと排出される排気ダクト51と、前記排気ダクト51の内部を長手方向に仕切る仕切板512とから構成してある。   More specifically, as shown in FIG. 2, the exhaust structure 5 is disposed at the center in the cross section inside the housing 2, and the air in the vicinity of the ultraviolet lamp 1 is sucked upward. A flow path 52, an exhaust duct 51 that flows the cooling gas sucked from the suction flow path 52 in the longitudinal direction and is discharged to the outside from the exhaust port E, and a partition that partitions the inside of the exhaust duct 51 in the longitudinal direction It consists of a plate 512.

前記吸入流路52は、図2に示すように前記排気ダクト51の吸入開口511から前記紫外線ランプ1の近傍まで延びる排気ノズル521によって形成してある。前記排気ノズル521は、前記紫外線ランプ1の上部において側面に沿って長手方向に延びるものであり、その幅が前記紫外線ランプ1の直径の略1/3程度に設定してある。このように前記排気ノズル521が配置してあるので、当該排気ノズル521と前記反射部材3の間から前記紫外線ランプ1の側面上方へと冷却気体が当たると、90度以上曲がった後に当該排気ノズル521へと吸入されることになる。このように、冷却気体の流れにおいて90度以上の曲がりが存在して渦等による乱流での熱交換が行われるので、紫外線ランプ1の側面に沿って冷却気体が層流状に流れるのに比べてより熱交換が行われやすく、冷却効率を向上させることができる。   The suction passage 52 is formed by an exhaust nozzle 521 extending from the suction opening 511 of the exhaust duct 51 to the vicinity of the ultraviolet lamp 1 as shown in FIG. The exhaust nozzle 521 extends in the longitudinal direction along the side surface in the upper part of the ultraviolet lamp 1, and the width thereof is set to about 3 of the diameter of the ultraviolet lamp 1. Since the exhaust nozzle 521 is arranged in this way, when the cooling gas hits the side of the ultraviolet lamp 1 from between the exhaust nozzle 521 and the reflecting member 3, the exhaust nozzle is bent after 90 degrees or more. 521 will be inhaled. In this way, since the cooling gas flow has a bend of 90 degrees or more and heat exchange is performed in a turbulent flow caused by a vortex or the like, the cooling gas flows in a laminar flow along the side surface of the ultraviolet lamp 1. Compared with this, heat exchange is more easily performed, and the cooling efficiency can be improved.

さらに厳密に流路構造について説明すると、図4の拡大断面図に示すように、前記反射部材3と前記排気ノズル521の隙間P1を通る吐出流路42は、当該排気ノズル521の外面に沿って流れて、前記紫外線ランプ1の側面へと到達するようにしてあるとともに、前記紫外線ランプ1から前記排気ダクト51へと冷却気体が前記排気ノズル521の内面に沿って流れて吸入されるように構成してある。つまり、前記吐出流路42と前記吸入流路52がそれぞれ前記排気ノズル521の外面と内面に沿って流れるように形成することにより、紫外線ランプ1の近傍における吸入流路52の流路方向と、吐出流路42の流路方向は略反対となるように設定してあり、前記紫外線ランプの側面で略一点で接触して流れていくようにしてある。このように流路を形成することによって吐出流路42からはノズル効果により所定の流速以上で紫外線ランプ1に冷却気体を供給することができ、また、流路方向を最も大きく変更できているので、熱伝達効率もよいものとすることができる。   Explaining the flow path structure more strictly, as shown in the enlarged sectional view of FIG. 4, the discharge flow path 42 passing through the gap P <b> 1 between the reflecting member 3 and the exhaust nozzle 521 extends along the outer surface of the exhaust nozzle 521. It is configured to flow and reach the side surface of the ultraviolet lamp 1, and the cooling gas flows from the ultraviolet lamp 1 to the exhaust duct 51 along the inner surface of the exhaust nozzle 521 and is sucked. It is. That is, by forming the discharge channel 42 and the suction channel 52 so as to flow along the outer surface and the inner surface of the exhaust nozzle 521, respectively, the channel direction of the suction channel 52 in the vicinity of the ultraviolet lamp 1, The flow path direction of the discharge flow path 42 is set so as to be substantially opposite, and is made to flow while contacting at substantially one point on the side surface of the ultraviolet lamp. By forming the flow path in this manner, the cooling gas can be supplied from the discharge flow path 42 to the ultraviolet lamp 1 at a predetermined flow rate or more by the nozzle effect, and the flow path direction can be changed most greatly. The heat transfer efficiency can also be good.

また、前記排気ノズル521の隙間には、図6に示すように前記紫外線ランプ1の中央部のたわみ量を抑えるための支持リング11を数本差しこんである。この支持リング11は十分に小さく構成してあり、前記吸入流路52の形成を阻害しないにようにしてある。   Further, as shown in FIG. 6, several support rings 11 for suppressing the amount of deflection of the central portion of the ultraviolet lamp 1 are inserted into the gap between the exhaust nozzles 521. The support ring 11 is configured to be sufficiently small so as not to hinder the formation of the suction channel 52.

前記排気ダクト51は、図3に示すように長手方向に延びる概略直方体形状の筒状体であって、一端に排風装置(図示しない)が接続される排気口Eが形成してあり、その下面中央部に長手方向に延びる前記吸入開口511が形成してある。前記排気口Eは、前記給気口Iが開口する前記筐体2の端面と同じ側に開口させてあり、1つのアタッチメントによって前記給気口I及び前記排気口Eに送風装置、排風装置が接続されるようにしてある。図2及び図3に示すように、前記排気ダクト51は、前記給気構造4の給気ダクト41及び前記給気ノズル421とは所定距離離間させてあり、その間にバッファ空間を形成してある。このため、前記給気口Iから送風されて給気構造4を流れる低温の冷却気体と、前記排気ダクト51内を流れており、暖められてすでに高温となっている冷却気体との間で直接熱伝導が生じることがない。したがって、紫外線ランプ1の近傍に到達するまで冷却気体の温度を低温に保つことができ、送風される冷却気体の量に対する紫外線ランプ1の冷却効率をより向上させられる。   The exhaust duct 51 is a substantially rectangular parallelepiped tubular body extending in the longitudinal direction as shown in FIG. 3, and has an exhaust port E to which an exhaust device (not shown) is connected at one end. The suction opening 511 extending in the longitudinal direction is formed at the center of the lower surface. The exhaust port E is opened on the same side as the end surface of the housing 2 where the air supply port I is opened, and a blower and an air exhaust device are connected to the air supply port I and the exhaust port E by one attachment. Are connected. As shown in FIGS. 2 and 3, the exhaust duct 51 is separated from the supply duct 41 and the supply nozzle 421 of the supply structure 4 by a predetermined distance, and a buffer space is formed therebetween. . For this reason, it is directly between the low-temperature cooling gas that is blown from the air supply port I and flows through the air supply structure 4 and the cooling gas that is flowing through the exhaust duct 51 and has already been heated to a high temperature. Heat conduction does not occur. Therefore, the temperature of the cooling gas can be kept low until it reaches the vicinity of the ultraviolet lamp 1, and the cooling efficiency of the ultraviolet lamp 1 with respect to the amount of the cooling gas blown can be further improved.

前記仕切板512は、排気ダクト51の上部と下部を2つの空間に分割するように仕切るものである。すなわち、前記仕切板512は前記吸入開口511が開口しており、前記排気ノズル521から冷却空気が流入して一時的に滞留する流入空間51aと、前記排気口Eが開口しており、前記排気口E側へと長手方向に冷却気体が流通する排気空間51bとを前記排気ダクト51内に形成するものである。   The partition plate 512 partitions the upper and lower portions of the exhaust duct 51 so as to be divided into two spaces. That is, the partition plate 512 has the suction opening 511 open, the inflow space 51a in which cooling air flows from the exhaust nozzle 521 and temporarily stays therein, and the exhaust port E is open. An exhaust space 51b in which cooling gas flows in the longitudinal direction toward the mouth E is formed in the exhaust duct 51.

前記仕切板512は、図3及び図5に示すように前記吸入開口511側から前記仕切板512の面板部を視た場合において、前記通気孔513が前記吸入開口511から離間させて配置してある。別の表現をすると、前記仕切板512の面板部に対して垂直な方向から視た場合に、前記吸入開口511と、前記通気孔513は重なり合わないように配置してある。   As shown in FIGS. 3 and 5, the partition plate 512 is arranged such that the vent hole 513 is spaced apart from the suction opening 511 when the face plate portion of the partition plate 512 is viewed from the suction opening 511 side. is there. In other words, when viewed from a direction perpendicular to the face plate portion of the partition plate 512, the suction opening 511 and the vent hole 513 are arranged so as not to overlap each other.

また、前記通気孔513は、前記仕切板512において長手方向に並んで複数形成されており、当該通気孔513の密度が前記排気口E側ほど小さくなるように設定されている。本実施形態では、前記通気孔513は排気口E側よりも反排気口側の方が配置数が多くなるように設定してある。このようにすることで、排気口Eから離れていために吸引力が落ちる反排気口側においては冷却気体の吸入量を多くし、吸引力の強くなる前記排気口E側では冷却気体の吸入量を小さくできるので、長手方向に均一に冷却気体を吸引することができる。従って、長尺状の紫外線ランプ1を均一に冷却することができるようになる。   In addition, a plurality of the vent holes 513 are formed side by side in the longitudinal direction in the partition plate 512, and the density of the vent holes 513 is set so as to decrease toward the exhaust port E side. In the present embodiment, the vent holes 513 are set such that the number of the vent holes 513 on the side opposite to the exhaust port E is larger than that on the exhaust port E side. By doing so, the suction amount of the cooling gas is increased on the side opposite to the exhaust port where the suction force falls because it is away from the exhaust port E, and the suction amount of the cooling gas is increased on the exhaust port E side where the suction force becomes strong. Therefore, the cooling gas can be sucked uniformly in the longitudinal direction. Therefore, the long ultraviolet lamp 1 can be uniformly cooled.

次にこのように構成された本実施形態の紫外線照射装置100における冷却気体の流れ、及び、その冷却効果についてまとめて説明する。   Next, the flow of the cooling gas and the cooling effect in the ultraviolet irradiation apparatus 100 of the present embodiment configured as described above will be described together.

前記排気ダクト51内が前記仕切板512により長手方向に仕切られており、さらに、前記吸入開口511側から前記仕切板512の面板部を視た場合において、前記通気孔513が前記吸入開口511から離間して配置されているので、前記紫外線ランプ1の近傍から前記吸入開口511を介して前記流入空間51a内に吸入された冷却気体は、前記仕切板512の面板部に当たってから前記通気孔513へと流れていくことになる。そして、冷却気体は前記通気孔513を通過して前記排気空間51b内に流入してから前記排気口E側へと長手方向に流れていく。   The inside of the exhaust duct 51 is partitioned in the longitudinal direction by the partition plate 512. Further, when the face plate portion of the partition plate 512 is viewed from the suction opening 511 side, the vent hole 513 extends from the suction opening 511. Since they are arranged apart from each other, the cooling gas sucked into the inflow space 51a from the vicinity of the ultraviolet lamp 1 through the suction opening 511 hits the face plate portion of the partition plate 512 and then enters the vent hole 513. It will flow. Then, the cooling gas passes through the vent hole 513 and flows into the exhaust space 51b, and then flows in the longitudinal direction toward the exhaust port E.

従って、前記排気ダクト51内に流入した冷却空気はすぐに排気口E側へと長手方向に流れていくのではなく、前記流入空間51a内において所定時間滞留することになるので、十分に紫外線ランプ1近傍の空気と熱交換を行うことができ、前記給気構造4から供給される冷却気体の量に対する冷却効率を高めることできる。   Therefore, the cooling air that has flowed into the exhaust duct 51 does not immediately flow in the longitudinal direction toward the exhaust port E, but stays in the inflow space 51a for a predetermined time. Heat exchange with air in the vicinity of 1 can be performed, and the cooling efficiency with respect to the amount of cooling gas supplied from the air supply structure 4 can be increased.

さらに、紫外線ランプ1に冷却気体が到達する前の給気構造4と、前記紫外線ランプ1に冷却気体が到達した後の排気構造5との間にはバッファ空間が設けてあり、低温と高温の冷却気体の間で熱交換が生じにくくしてあるので、十分に低温の冷却気体を紫外線ランプ1に供給して冷却させることができ、冷却効率を高めることができる。   Further, a buffer space is provided between the air supply structure 4 before the cooling gas reaches the ultraviolet lamp 1 and the exhaust structure 5 after the cooling gas reaches the ultraviolet lamp 1. Since heat exchange is unlikely to occur between the cooling gases, a sufficiently low-temperature cooling gas can be supplied to the ultraviolet lamp 1 for cooling, and the cooling efficiency can be increased.

また、前記反射部材3と前記排気ノズル521の隙間から前記紫外線ランプ1の上方へと冷却気体を吹き付けて、排気ノズル521により吸引されるようにしてあるので、前記吐出流路42と前記吸引流路とでその進行方向を大きく変化させて渦等の乱流を生じさせて効率よく冷却気体による熱交換を行わせることができる。   Further, since the cooling gas is blown from above the ultraviolet lamp 1 through the gap between the reflecting member 3 and the exhaust nozzle 521 and is sucked by the exhaust nozzle 521, the discharge flow path 42 and the suction flow are The traveling direction of the path can be changed greatly to generate a turbulent flow such as a vortex, so that heat can be efficiently exchanged with the cooling gas.

これらのことから、本実施形態の紫外線照射装置100の給気構造4及び排気構造5であれば従来よりも冷却効率を大幅に高めることができる。また、筐体2の上部から冷却気体の出し入れを行わないので、紫外線照射装置100の高さ方向の寸法を小さくでき、工場設置時等にあまりスペースを取らないようにすることができる。   From these things, if it is the air supply structure 4 and the exhaust structure 5 of the ultraviolet irradiation device 100 of this embodiment, cooling efficiency can be improved significantly conventionally. Moreover, since the cooling gas is not taken in and out from the upper part of the housing 2, the dimension in the height direction of the ultraviolet irradiation device 100 can be reduced, so that not much space can be taken at the time of factory installation or the like.

その他の実施形態について説明する。   Other embodiments will be described.

図7に示すように前記反射部材3の移動によって、前記吐出流路42の紫外線ランプ1の近傍における流れの形態を変化させて目的に応じた冷却を行えるようにしても構わない。   As shown in FIG. 7, the movement of the reflecting member 3 may change the form of the flow in the vicinity of the ultraviolet lamp 1 in the discharge flow path 42 to perform cooling according to the purpose.

より具体的にはこの実施形態では、前記反射部材3が、図3の筐体2の横断面図に示す前記紫外線ランプ1から射出された紫外線を前記紫外線射出窓21に反射する反射位置、及び、図7の筐体2の横断面に示す前記紫外線ランプ1から前記紫外線射出窓21への紫外線を遮断する遮光位置の間を回転移動するように構成してある。   More specifically, in this embodiment, the reflecting member 3 reflects the ultraviolet rays emitted from the ultraviolet lamp 1 shown in the transverse sectional view of the housing 2 in FIG. 7 is configured to rotate and move between light blocking positions for blocking the ultraviolet rays from the ultraviolet lamp 1 to the ultraviolet emission window 21 shown in the transverse section of the housing 2 in FIG.

そして、通常使用状態であり、前記反射部材3が前記反射位置にあって照射対象に紫外線を照射するため紫外線ランプ1の出力を大きくしてある場合には、図2に示すように前記実施形態と同様に前記吐出流路42が前記排気ノズル521及び前記反射部材3の間の隙間P1を通って前記紫外線ランプ1に到達するとともに、前記反射部材3及び前記筐体2の間の隙間P2を通って前記紫外線ランプ1に到達してある。隙間P1を通る流路は主に紫外線ランプ1の冷却を行い、隙間P2を通る流れは紫外線ランプ1の放熱により暖められる前記反射部材3及び紫外線射出窓21の冷却と紫外線ランプの冷却を行うようにしてある。   When the reflecting member 3 is in the reflection position and the output of the ultraviolet lamp 1 is increased in order to irradiate the irradiation target with ultraviolet rays, as shown in FIG. Similarly, the discharge flow path 42 reaches the ultraviolet lamp 1 through the gap P1 between the exhaust nozzle 521 and the reflection member 3, and the gap P2 between the reflection member 3 and the housing 2 is formed. It passes through the ultraviolet lamp 1. The flow path passing through the gap P1 mainly cools the ultraviolet lamp 1, and the flow through the gap P2 cools the reflecting member 3 and the ultraviolet emission window 21 that are warmed by the heat radiation of the ultraviolet lamp 1 and the ultraviolet lamp. It is.

一方、すぐに通常使用状態に復帰できるように前記紫外線ランプ1の出力が放電を保てる必要最低限に抑えられている待機状態であり、前記反射部材が前記遮光位置にある場合には、図7に示すように前記反射部材3及び前記筐体2の間P3を閉塞するように構成してある。   On the other hand, in the standby state where the output of the ultraviolet lamp 1 is suppressed to the minimum necessary to maintain discharge so that the normal use state can be immediately restored, and when the reflecting member is in the light shielding position, FIG. As shown in FIG. 4, the P3 is closed between the reflecting member 3 and the housing 2.

このようにすることで、待機状態においても排気ノズル521と紫外線ランプ1の隙間は通常使用状態と同じ距離を維持し、高い冷却能力を維持することができる。   In this way, even in the standby state, the gap between the exhaust nozzle 521 and the ultraviolet lamp 1 can be maintained at the same distance as in the normal use state, and high cooling capacity can be maintained.

前記実施形態では、前記排気構造は、前記給気構造と前記紫外線ランプの間に設けられていたが、この配置の順番を入れ替えて、前記給気構造が前記排気構造及び前記紫外線ランプの間に配置されているものであってもよい。   In the embodiment, the exhaust structure is provided between the air supply structure and the ultraviolet lamp. However, the arrangement order is changed, and the air supply structure is provided between the exhaust structure and the ultraviolet lamp. It may be arranged.

また、前記給気口及び前記排気口は筐体の別々の端面に開口するものであってもよい。前記給気ダクトの吐出開口は前記給気口側より反給気口側の方が開口面積を大きくすることによって、冷却気体の吐出量が長手方向に一定になるようにしても構わない。加えて、前記給気口及び前記排気口は前記筐体の端面ではなく、例えば前記筐体の上面や下面、側面に開口するものであっても構わない。   Further, the air supply port and the exhaust port may be opened on separate end faces of the housing. The discharge opening of the air supply duct may be configured such that the discharge amount of the cooling gas is constant in the longitudinal direction by increasing the opening area on the counter air supply port side than on the air supply port side. In addition, the air supply port and the exhaust port may be open on the upper surface, the lower surface, or the side surface of the housing, for example, instead of the end surface of the housing.

前記吐出流路及び前記吸入流路は、それぞれ前記給気ノズルや前記排気ノズルにより構成されるのではなく、他の筐体の内面やその他の部材との隙間を利用して形成しても構わない。また、紫外線ランプに当たることにより生じる冷却気体の曲がる角度は所定角度以上であればよく、紫外線ランプの形状に沿って略層流を形成して流れる場合と比較して冷却効率を向上させることができるものであればよい。横断面視において冷却気体の流線で考えた場合に、紫外線ランプの表面と略一点で接触し、曲がるような形態であれば前記実施形態で示してある角度よりも小さい角度で曲がっていても構わない。   The discharge flow channel and the suction flow channel are not formed by the air supply nozzle and the exhaust nozzle, respectively, but may be formed by using gaps between the inner surface of other housings and other members. Absent. Further, the angle of bending of the cooling gas generated by hitting the ultraviolet lamp may be a predetermined angle or more, and the cooling efficiency can be improved as compared with the case of forming a substantially laminar flow along the shape of the ultraviolet lamp. Anything is acceptable. When considered in the form of a cooling gas streamline in a cross-sectional view, it may be bent at an angle smaller than the angle shown in the above embodiment as long as it is in contact with the surface of the ultraviolet lamp at one point and bent. I do not care.

より具体的には、前記排気ノズルの外面形状を適宜変更して前記吐出流路が前記紫外線ランプの側面に入射する角度を調節してもよい。例えば、前記実施形態では前記排気ノズルの先端は略板状であったため、前記吐出流路と前記吸入流路の流路方向は略180度異なっていたが、前記排気ノズルの外面を先端側から基端側へと膨出するように形成することで、所望の入射角度で紫外線ランプに冷却気体を流し、前記吐出流路と前記吸入流路の流路方向のなす角度を180度よりも小さい所望の角度にすることができる。   More specifically, the outer surface shape of the exhaust nozzle may be appropriately changed to adjust the angle at which the discharge flow path is incident on the side surface of the ultraviolet lamp. For example, in the embodiment, since the tip of the exhaust nozzle is substantially plate-shaped, the flow direction of the discharge flow channel and the suction flow channel is approximately 180 degrees different from each other. By forming so as to bulge toward the base end side, a cooling gas is allowed to flow through the ultraviolet lamp at a desired incident angle, and the angle formed by the flow path direction of the discharge flow path and the suction flow path is smaller than 180 degrees. A desired angle can be obtained.

前記仕切板に形成される通気孔の密度は、通気孔の単位面積当たりの個数で調節してもよいし、例えば、通気孔の開口面積を適宜変更していくことにより密度を調節してもよい。具体的には、通気孔の設置間隔は一定に保っておき、排気口側の通気孔の直径が小さく、反排気口側ほど通気孔の直径が大きくなるようにしてもよい。また、通気孔の形状は丸穴形状だけに限られず、例えば、スリット形状等様々な形状であってもよい。同様に前記吐出開口及び前記吸入開口の形状もスリット形状に限られるものではなく、丸穴形状等であっても構わない。   The density of the air holes formed in the partition plate may be adjusted by the number of air holes per unit area, for example, the density may be adjusted by appropriately changing the opening area of the air holes. Good. Specifically, the installation interval of the air holes may be kept constant, the diameter of the air holes on the exhaust port side may be small, and the diameter of the air holes may be larger on the side opposite to the exhaust port. Further, the shape of the vent hole is not limited to the round hole shape, and may be various shapes such as a slit shape. Similarly, the shape of the discharge opening and the suction opening is not limited to the slit shape, and may be a round hole shape or the like.

その他、本発明の趣旨に反しない限りにおいて様々な変形や実施形態の組み合わせを行っても構わない。   In addition, various modifications and combinations of embodiments may be performed without departing from the spirit of the present invention.

100 :紫外線照射装置
1 :紫外線ランプ
2 :筐体
21 :紫外線射出窓
3 :反射部材
4 :給気構造
41 :給気ダクト
411 :吐出開口
42 :吐出流路
421 :給気ノズル
5 :排気構造
51 :排気ダクト
51a :流入空間
51b :排気空間
512 :仕切板
513 :通気孔
52 :吸入流路
521 :排気ノズル
E :排気口
I :給気口
100: Ultraviolet irradiation device 1: Ultraviolet lamp 2: Case 21: Ultraviolet emission window 3: Reflecting member 4: Air supply structure 41: Air supply duct 411: Discharge opening 42: Discharge flow path 421: Air supply nozzle 5: Exhaust structure 51: Exhaust duct 51a: Inflow space 51b: Exhaust space 512: Partition plate 513: Vent hole 52: Suction passage 521: Exhaust nozzle E: Exhaust port I: Inlet port

Claims (5)

長尺状の紫外線ランプと、
前記紫外線ランプを収容するとともに、当該紫外線ランプからの紫外線を被照射物に照射するための紫外線射出窓を有する長尺状の筐体と、
前記筐体内において長手方向に延びており、外部から給気された冷却気体が流れる給気ダクト及び前記給気ダクトから前記紫外線ランプの近傍へと前記冷却気体を吐出する吐出流路を具備する給気構造と、
前記筐体内において長手方向に延びており、冷却気体が流れて外部へ排気される排気ダクト及び前記紫外線ランプの近傍から前記排気ダクトへと前記冷却気体を吸入する吸入流路を具備する排気構造とを備え、
前記吸入流路が、前記排気ダクトから前記紫外線ランプの近傍へと延びる排気ノズルの内面に沿って流れており、前記紫外線ランプの側面において前記紫外線射出窓とは反端側から前記冷却気体を吸入するように構成されており、
前記吐出流路が、前記排気ノズルの外面に沿って流れており、前記前記紫外線ランプの側面において前記紫外線射出窓とは反対側に冷却気体を吐出するように構成されていることを特徴とする紫外線照射装置。
A long UV lamp,
A long casing having an ultraviolet exit window for housing the ultraviolet lamp and irradiating the irradiated object with ultraviolet rays from the ultraviolet lamp;
A supply air duct that extends in the longitudinal direction in the casing and includes a supply duct through which a cooling gas supplied from the outside flows, and a discharge passage that discharges the cooling gas from the supply duct to the vicinity of the ultraviolet lamp. Qi structure,
An exhaust structure that extends in the longitudinal direction in the housing and includes an exhaust duct through which cooling gas flows and exhausts to the outside, and an intake passage that sucks the cooling gas from the vicinity of the ultraviolet lamp into the exhaust duct; With
The suction flow path flows along the inner surface of an exhaust nozzle extending from the exhaust duct to the vicinity of the ultraviolet lamp, and sucks the cooling gas from the side opposite to the ultraviolet emission window on the side of the ultraviolet lamp. Is configured to
The discharge flow path flows along the outer surface of the exhaust nozzle, and is configured to discharge cooling gas to the side opposite to the ultraviolet emission window on the side surface of the ultraviolet lamp. UV irradiation device.
前記吐出流路が、少なくとも前記排気ダクトから所定距離離間して形成されている請求項1記載の紫外線照射装置。   The ultraviolet irradiation device according to claim 1, wherein the discharge flow path is formed at least a predetermined distance from the exhaust duct. 前記紫外線ランプ及び前記排気ダクトの間に配置されており、前記紫外線ランプから射出された紫外線を前記紫外線射出窓に反射する反射部材をさらに備え、
前記吐出流路が、前記排気ノズル及び前記反射部材の間を通って前記紫外線ランプに到達するように構成されている請求項1又は2記載の紫外線照射装置。
A reflection member disposed between the ultraviolet lamp and the exhaust duct, further comprising a reflecting member that reflects the ultraviolet light emitted from the ultraviolet lamp to the ultraviolet emission window;
The ultraviolet irradiation device according to claim 1, wherein the discharge flow path is configured to reach the ultraviolet lamp through between the exhaust nozzle and the reflection member.
前記筐体の横断面を視た場合において、前記紫外線射出窓、前記紫外線ランプ、前記排気ダクト、前記給気ダクトの順番で各々が配置されており、
前記筐体の横断面を視た場合において、前記排気ダクトから前記紫外線ランプの近傍へ前記排気ノズルが直線状に延びており、
前記吐出流路が、前記給気ダクトから前記排気ダクトを迂回して前記紫外線ランプに到達するように構成されている請求項1乃至3いずれかに記載の紫外線照射装置。
When viewing the cross section of the housing, each is arranged in the order of the ultraviolet emission window, the ultraviolet lamp, the exhaust duct, the air supply duct,
When the cross section of the housing is viewed, the exhaust nozzle extends linearly from the exhaust duct to the vicinity of the ultraviolet lamp,
The ultraviolet irradiation device according to any one of claims 1 to 3, wherein the discharge passage is configured to bypass the exhaust duct from the air supply duct and reach the ultraviolet lamp.
前記反射部材が、前記紫外線ランプから射出された紫外線を前記紫外線射出窓に反射する反射位置及び前記紫外線ランプから前記紫外線射出窓への紫外線を遮断する遮光位置の間を回転移動するように構成されており、
前記反射部材が前記反射位置にある場合には、前記吐出流路が前記排気ノズル及び前記反射部材の間を通って前記紫外線ランプに到達するとともに、前記反射部材及び前記筐体の間を通って前記紫外線ランプに到達し、
前記反射部材が前記遮光位置にある場合には、前記反射部材が前記筐体の間を閉塞するように構成されている請求項3又は4記載の紫外線照射装置。
The reflection member is configured to rotate between a reflection position for reflecting the ultraviolet light emitted from the ultraviolet lamp to the ultraviolet emission window and a light shielding position for blocking the ultraviolet light from the ultraviolet lamp to the ultraviolet emission window. And
When the reflection member is in the reflection position, the discharge flow path passes between the exhaust nozzle and the reflection member and reaches the ultraviolet lamp, and passes between the reflection member and the casing. Reaching the UV lamp,
5. The ultraviolet irradiation device according to claim 3, wherein, when the reflecting member is in the light shielding position, the reflecting member is configured to block between the housings.
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