JP5739315B2 - Ultrasonic leak detection device and method - Google Patents

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Description

本発明は超音波式漏洩検知装置及びその方法に係り、特に、超音波センサを液体などの媒体に浸漬させて液体中の物体からの反射信号を利用し、液体の漏洩を検知するものに好適な超音波式漏洩検知装置及びその方法に関するものである。   The present invention relates to an ultrasonic leak detection device and method thereof, and particularly suitable for detecting leakage of a liquid by immersing an ultrasonic sensor in a medium such as a liquid and using a reflection signal from an object in the liquid. The present invention relates to an ultrasonic leak detection apparatus and method.

地下に設けられたタンクなどに、濁水や透明度の低い液体が満たされている場合、この液体の漏洩を止めて補修するためには、当該液体の漏洩を検知し、漏洩箇所を特定することが必要となる。   When a tank or the like provided in the basement is filled with turbid water or a liquid with low transparency, in order to stop and repair the leakage of this liquid, it is necessary to detect the leakage of the liquid and identify the leakage location. Necessary.

一般に、液体が入った容器から別の容器への液体の漏洩を検査する方法として、漏洩する物質を目視で確認する方法、或いは漏洩する物質の持つ特有の性質(例えば、塩分、薬品、phなどの化学的性質、導電性、抵抗、温度や放射線量などの物理的性質)を測定することで漏洩を検知する方法が知られている。   Generally, as a method for inspecting leakage of liquid from a container containing liquid to another container, a method for visually confirming the leaking substance, or a characteristic property of the leaking substance (for example, salt, chemical, ph, etc.) There are known methods for detecting leakage by measuring chemical properties, electrical conductivity, resistance, physical properties such as temperature and radiation dose).

また、漏洩物質に含まれる物理的性質(放射性物質)を使った方法としては、例えば、特許文献1に記載のように、主蒸気や炉水に含まれる放射性核種からの放射線を検出、分析することで漏洩を検知する方法が知られている。   Moreover, as a method using the physical property (radioactive substance) contained in the leaking substance, for example, as described in Patent Document 1, the radiation from the radionuclide contained in the main steam or the reactor water is detected and analyzed. There are known methods for detecting leaks.

しかしながら、上述した従来技術は、容器全体に対する漏洩の有無を判別することはできるが、漏洩箇所の特定は困難である。通常、漏洩検知には、気体(ガス)のサンプリングが必要であるため、液体が満たされた容器から別の容器への液体の漏洩を検知することができない。   However, although the above-described prior art can determine the presence or absence of leakage with respect to the entire container, it is difficult to specify the leakage location. Usually, since leak detection requires sampling of gas (gas), it is not possible to detect leakage of liquid from a container filled with liquid to another container.

また、漏洩を直接測定する別の方法として、漏洩箇所に吸われる液体の流れ(或いは、漏洩先であれば、流れ出る液体の流れ)を可視化することで、漏洩箇所を特定することができる。   Further, as another method for directly measuring the leakage, the leakage location can be identified by visualizing the flow of liquid sucked into the leakage location (or the flow of liquid flowing out if it is a leakage destination).

ところが、容器に含まれる液体が濁水などの不透明な液体の場合には、光学的な手法で漏洩箇所の流れを可視化することが困難となる。光学的な手法での可視化が困難な場合の方法として、超音波などにより、直接的に流れを測定する方法(流量計)がある。   However, in the case where the liquid contained in the container is an opaque liquid such as turbid water, it is difficult to visualize the flow of the leaked portion by an optical method. As a method when visualization by an optical method is difficult, there is a method (flow meter) for directly measuring a flow using ultrasonic waves or the like.

また、液体中に浸漬した超音波センサで液体の流量を計測する方法として、例えば、特許文献2に記載のように、複数の側線を得られるように、複数の超音波センサを配置して流量を計測する方法が知られている。   Moreover, as a method of measuring the flow rate of the liquid with an ultrasonic sensor immersed in the liquid, for example, as described in Patent Document 2, a plurality of ultrasonic sensors are arranged so that a plurality of side lines can be obtained. A method for measuring the current is known.

特許文献2に記載の技術を漏洩検知に適用した場合、水路などの閉空間を満たす液体の流量を測定できることから、漏洩に到る流速の分布や変化を測定することは可能であるが、漏洩箇所を特定することができない。   When the technique described in Patent Document 2 is applied to leakage detection, it is possible to measure the flow rate of the liquid that fills a closed space such as a water channel, so that it is possible to measure the distribution and change of the flow velocity that leads to leakage. The location cannot be specified.

液体の流れを間接的に測定する方法としては、微小な粒子や気泡などのトレーサや細い糸など、流れに沿う性質を持った物体の動きを計測することにより、間接的に流れを計測する方法が知られている。   As a method of indirectly measuring the flow of a liquid, a method of measuring the flow indirectly by measuring the movement of an object with properties that follow the flow, such as tracers of fine particles and bubbles, and thin threads. It has been known.

例えば、特許文献3に記載のように、流体内の気泡や粒子によって反射した超音波信号から流速や流量を測定する方法が知られている。しかし、この方法においても、漏洩に到る流速の分布や変化を測定することは可能であるが、漏洩箇所の特定ができない。   For example, as described in Patent Document 3, a method for measuring a flow velocity and a flow rate from an ultrasonic signal reflected by bubbles and particles in a fluid is known. However, even with this method, it is possible to measure the distribution and change of the flow velocity leading to the leakage, but it is not possible to identify the leakage location.

一方、構造物の健全性を評価するために、構造物の表面や内部の非破壊検査手法として、超音波探傷法が広く用いられている。この超音波探傷法のひとつに、超音波センサと被検体の間に、超音波の伝搬が可能な水や機械油などの液体を中間媒体として充填し、その媒体を経由させて構造物を検査する超音波探傷が適用されている。例えば、中間媒体として水を使う場合は、水浸法という名称で呼ばれる。   On the other hand, in order to evaluate the soundness of the structure, an ultrasonic flaw detection method is widely used as a nondestructive inspection method for the surface and the inside of the structure. As one of the ultrasonic flaw detection methods, a liquid such as water or machine oil that can propagate ultrasonic waves is filled as an intermediate medium between the ultrasonic sensor and the subject, and the structure is inspected via the medium. Ultrasonic flaw detection is applied. For example, when water is used as an intermediate medium, it is called as a water immersion method.

この水浸法は、容器内の液体を媒体として用いることで、液体が満たされた容器の外壁からの反射波により、外壁の形状変化部分(例えば、穴やき裂)を可視化することは可能となるが、液体の漏洩を確認することはできない。   In this water immersion method, by using the liquid in the container as a medium, it is possible to visualize the shape change part (for example, a hole or a crack) of the outer wall by the reflected wave from the outer wall of the container filled with the liquid. However, liquid leakage cannot be confirmed.

特開2011−13770号公報JP 2011-13770 A 特開2011−122831号公報JP 2011-122831 A 特開2011−185602号公報JP 2011-185602 A

このように、上述した従来技術では、濁水や透明度の低い液体が満たされた容器等において、容器から他の容器等への液体の漏洩の有無及び漏洩箇所の特定を行うことが難しいという問題があった。   As described above, in the above-described prior art, there is a problem that it is difficult to specify whether or not the liquid leaks from the container to other containers and the like in a container filled with turbid water or a liquid with low transparency. there were.

本発明は上述の点に鑑みなされたもので、その目的とするところは、濁水や透明度の低い液体を含む容器から別の領域への液体の漏洩であっても、その液体の漏洩の有無の判断及び漏洩の箇所の特定を可能とする超音波式漏洩検知装置及びその方法を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above-mentioned points, and the object of the present invention is whether or not there is leakage of liquid from a container containing turbid water or low-transparency liquid to another region. It is an object of the present invention to provide an ultrasonic leak detection apparatus and method capable of determining and specifying a leak location.

本発明の超音波式漏洩検知装置は、上記目的を達成するために、容器に入った液体中に一部又は全体が浸漬された超音波センサを用い、超音波送受信手段により、前記容器内から超音波を送信し、前記容器内の反射体からの反射波を受信することで液体の漏洩を検知する超音波式漏洩検知装置において、前記容器内に複数の気泡群を発生する手段と、前記超音波受信信号から前記容器内の構造物、及び前記気泡群を可視化する手段と、前記気泡群の可視化結果から、気泡群の分布の時間的な変化量を計測する手段とを備えていることを特徴とする。   In order to achieve the above object, an ultrasonic leak detection device of the present invention uses an ultrasonic sensor that is partially or wholly immersed in a liquid contained in a container, and is ultrasonically transmitted and received from within the container. In the ultrasonic leak detection device for detecting leakage of a liquid by transmitting an ultrasonic wave and receiving a reflected wave from a reflector in the container, means for generating a plurality of bubble groups in the container; Means for visualizing the structure in the container and the bubble group from the ultrasonic reception signal, and means for measuring a temporal change in the distribution of the bubble group from the visualization result of the bubble group; It is characterized by.

本発明によれば、超音波送受信手段から前記容器内に超音波を送信し、容器内の構造物からの反射波により、漏洩の可能性のある形状変化部(穴やき裂等)の位置を測定することができ、更に、容器内に発生させて気泡群の分布の時間的な変化を測定することにより、漏洩にともなう水流の流れと、漏洩の可能性のある形状変化部から、漏洩する水流を可視化することで、漏洩の有無及び漏洩箇所の特定を行うことができる。   According to the present invention, ultrasonic waves are transmitted from the ultrasonic transmission / reception means into the container, and the position of the shape changing portion (hole, crack, etc.) that may leak is reflected by the reflected wave from the structure in the container. In addition, by measuring the temporal change in the distribution of bubbles generated in the container, leakage occurs from the flow of the water flow accompanying the leakage and the shape-changing part that may leak. By visualizing the water flow, it is possible to identify the presence or absence of a leak and the location of the leak.

また、前記気泡発生手段に、気泡の発生する時間と発生を停止する時間を制御する手段を備えていてもよい。   Further, the bubble generating means may be provided with means for controlling the time for generating bubbles and the time for stopping the generation.

このような本発明によれば、連続的に気泡を発生させると、容器中に気泡が充満することで、漏洩の有無や漏洩箇所の特定が困難になる現象を回避し、漏洩の可能性のある形状変化部を発見した後、気泡を一定量かつ一定期間発生させることで、気泡群の時間的な変化をとらえやすくすることで、漏洩の有無及び漏洩箇所の特定を容易にするこができる。   According to the present invention as described above, when bubbles are continuously generated, the container is filled with bubbles, thereby avoiding the phenomenon that it is difficult to specify the presence or absence of leakage and the location of the leakage, and the possibility of leakage After discovering a certain shape change part, by generating a certain amount of bubbles for a certain period of time, it is possible to easily identify the presence or absence of a leak and the location of the leak by making it easier to capture the temporal change of the bubble group. .

また、気泡発生と同期した同期信号を発信させる手段を備えていてもよい。   Moreover, you may provide the means to transmit the synchronizing signal synchronized with bubble generation.

このような本発明によれば、気泡を発生させた後、気泡発生を気泡群の測定開始のトリガとして、その後、一定時間間隔の測定のためのトリガ信号として、前記音響による同期信号を利用することで、気泡群の時間変化の経時変化を観察することができ、漏洩の有無及び漏洩箇所の特定を容易にするこができる。   According to the present invention, after generating bubbles, the generation of bubbles is used as a trigger for starting measurement of a group of bubbles, and thereafter, the synchronization signal based on the sound is used as a trigger signal for measurement at a certain time interval. Thus, it is possible to observe the temporal change of the time change of the bubble group, and it is possible to easily identify the presence or absence of the leakage and the leakage location.

また、前記同期信号について、同期信号を音響信号とする手段を備えていてもよい。   Further, the synchronization signal may be provided with means for using the synchronization signal as an acoustic signal.

このような本発明によれば、透明度の低い液体中で、気泡発生手段から発せられる音響により、気泡の発生する位置を特定することができ、気泡発生手段の位置を確認することができ、気泡発生手段近傍の液体の流れを観察することができ、漏洩箇所の特定を容易にすることができる。   According to the present invention, the position where the bubble is generated can be specified by the sound emitted from the bubble generating means in the liquid with low transparency, the position of the bubble generating means can be confirmed, The liquid flow in the vicinity of the generating means can be observed, and the leakage location can be easily identified.

更に、本発明の超音波式漏洩検知方法は、上記目的を達成するために、容器に入った液体中に一部又は全体が浸漬された超音波センサを用いて、前記容器内から超音波を送信し、前記容器内の反射体からの反射波を受信することで液体の漏洩を検知する超音波式漏洩検知方法において、前記超音波の受信信号から、前記容器内の構造物から容器内の形状を可視化し、前記容器内に発生させた複数の気泡群の分布の時間的な変化量から液体の漏洩を測定することを特徴とする。   Furthermore, in order to achieve the above object, the ultrasonic leak detection method of the present invention uses an ultrasonic sensor that is partly or wholly immersed in a liquid contained in a container to generate ultrasonic waves from the container. In the ultrasonic leak detection method for transmitting and detecting the leakage of the liquid by receiving the reflected wave from the reflector in the container, from the received signal of the ultrasonic wave, the structure in the container The shape is visualized, and the leakage of the liquid is measured from the temporal change in the distribution of the plurality of bubble groups generated in the container.

本発明によれば、濁水や透明度の低い液体が満たされた容器等において、超音波による反射体からの信号を利用することで、容器内の構造物からの反射波により、漏洩の可能性のある形状変化部(穴やき裂、隙間)の形状及び位置を特定することができ、更に、容器内に気泡を一時的または断続的に発生させることにより、この気泡群の時間的な変化量(例えば、広がりの体積や重心位置、速さ等)を計測することで、漏洩の可能性のある形状変化部に対して液体が吸い込まれるか、或いは漏洩にいたる変化を示しているかを計測することにより、漏洩の有無及び漏洩位置の特定を可能とすることができる。   According to the present invention, in a container or the like filled with turbid water or a liquid with low transparency, the possibility of leakage due to the reflected wave from the structure in the container is obtained by using the signal from the reflector by the ultrasonic wave. The shape and position of a certain shape change part (hole, crack, gap) can be specified, and further, the amount of change over time of this bubble group (by generating bubbles temporarily or intermittently in the container) ( For example, by measuring the volume of the spread, the position of the center of gravity, the speed, etc.), measuring whether the liquid is sucked into the shape-changing part that may leak or whether it shows a change leading to leakage Thus, it is possible to specify the presence / absence of the leakage and the leakage position.

本発明の超音波式漏洩検知装置の一実施例を用いた超音波式漏洩検知システムを示す図である。It is a figure which shows the ultrasonic leak detection system using one Example of the ultrasonic leak detection apparatus of this invention. 本発明の超音波式漏洩検知装置の他の実施例を用いた超音波式漏洩検知システムを示す図である。It is a figure which shows the ultrasonic type leak detection system using the other Example of the ultrasonic type leak detection apparatus of this invention. 本発明の超音波式漏洩検知装置に採用される気泡発生器による気泡発生のトリガ信号と気泡発生量の時間的変化を示す図である。It is a figure which shows the time change of the trigger signal and bubble generation amount of a bubble generation by the bubble generator employ | adopted as the ultrasonic leak detection apparatus of this invention. 本発明の超音波式漏洩検知装置に採用される気泡発生器による気泡発生のトリガ信号と気泡発生量の時間的変化を示し、気泡発生後に一定時間間隔で超音波計測器により気泡の状況を測定することを説明するための図である。The bubble generation trigger signal by the bubble generator adopted in the ultrasonic leak detection device of the present invention and the time variation of the bubble generation amount are shown, and the state of the bubble is measured by the ultrasonic measuring device at regular time intervals after the bubble is generated. It is a figure for demonstrating what to do. 本発明の超音波式漏洩検知装置に採用される超音波測定器で気泡を測定している状態を示す図である。It is a figure which shows the state which is measuring the bubble with the ultrasonic measuring device employ | adopted for the ultrasonic leak detection apparatus of this invention. 本発明の超音波式漏洩検知装置に採用される超音波可視化装置の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the ultrasonic visualization apparatus employ | adopted for the ultrasonic leak detection apparatus of this invention. 本発明の超音波式漏洩検知装置に採用される超音波可視化装置の他の例を示す図である。It is a figure which shows the other example of the ultrasonic visualization apparatus employ | adopted for the ultrasonic leak detection apparatus of this invention. 本発明の超音波式漏洩検知装置に採用される超音波可視化装置による形状の測定を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the measurement of the shape by the ultrasonic visualization apparatus employ | adopted for the ultrasonic leak detection apparatus of this invention. 本発明の超音波式漏洩検知装置に採用される超音波可視化装置による形状の測定を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the measurement of the shape by the ultrasonic visualization apparatus employ | adopted for the ultrasonic leak detection apparatus of this invention. 本発明の超音波式漏洩検知装置に採用される超音波測定器で気泡を測定している状態を示す図である。It is a figure which shows the state which is measuring the bubble with the ultrasonic measuring device employ | adopted for the ultrasonic leak detection apparatus of this invention. 本発明の超音波式漏洩検知装置での気泡群の体積を画像処理で抽出する処理結果の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the process result which extracts the volume of the bubble group by the image process in the ultrasonic leak detection apparatus of this invention. 図11の気泡群の体積を画像処理で抽出した処理結果を使った気泡群の物理量の計測結果の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the measurement result of the physical quantity of a bubble group using the process result which extracted the volume of the bubble group of FIG. 11 by image processing. 図11の気泡群の体積を画像処理で抽出した処理結果を使った気泡群の物理量の計測結果の他の例を示す図である。It is a figure which shows the other example of the measurement result of the physical quantity of a bubble group using the process result which extracted the volume of the bubble group of FIG. 11 by image processing. 図11の気泡群の体積を画像処理で抽出した処理結果を使った気泡群の物理量の計測結果の更に他の例を示す図である。It is a figure which shows the further another example of the measurement result of the physical quantity of a bubble group using the process result which extracted the volume of the bubble group of FIG. 11 by image processing. 図11の気泡群の体積を画像処理で抽出した処理結果を使った気泡群の物理量の計測結果の更に他の例を示す図である。It is a figure which shows the further another example of the measurement result of the physical quantity of a bubble group using the process result which extracted the volume of the bubble group of FIG. 11 by image processing. 本発明の超音波式漏洩検知装置に採用される超音波測定器の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the ultrasonic measuring device employ | adopted for the ultrasonic leak detection apparatus of this invention. 本発明の超音波式漏洩検知装置に採用される気泡発生装置、超音波測定器、アクセス治具の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the bubble generation apparatus employ | adopted for the ultrasonic leak detection apparatus of this invention, an ultrasonic measuring device, and an access jig. 本発明の超音波式漏洩検知方法の一実施例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows one Example of the ultrasonic leak detection method of this invention. 複数回にわたって気泡を出す場合の気泡群の広がりの計時変化を示す図である。It is a figure which shows the time change of the expansion | swelling of a bubble group in case a bubble is taken out in multiple times. 本発明の超音波式漏洩検知装置に採用される気泡発生装置に音響発生の音源を取り付けた図である。It is the figure which attached the sound source of an acoustic generation to the bubble generation apparatus employ | adopted as the ultrasonic leak detection apparatus of this invention. 本発明の超音波式漏洩検知装置に採用される気泡発生装置に音響発生の音源とひもを取り付けた図である。It is the figure which attached the sound source and string of sound generation to the bubble generation device employ | adopted for the ultrasonic leak detection apparatus of this invention. 本発明の超音波式漏洩検知装置に採用される気泡発生装置に音響発生の音源と棒とひもを取り付けた図である。It is the figure which attached the sound source of sound generation, the stick, and the string to the bubble generation device adopted in the ultrasonic leak detection device of the present invention.

以下、図示した実施例に基づいて、本発明の超音波式漏洩検知装置及びその方法について説明する。   Hereinafter, based on the illustrated embodiment, the ultrasonic leak detection apparatus and method of the present invention will be described.

図1及び図2は、本発明の超音波式漏洩検知装置を用いた超音波式漏洩検知システムを示すもので、本発明の対象となる容器に、液体が部分的に満たされている状況を表す。   1 and 2 show an ultrasonic leak detection system using the ultrasonic leak detection device of the present invention, and shows a situation where a liquid that is partially filled in a container that is an object of the present invention. Represent.

例えば、容器1の上部の形成された穴1Aから、超音波センサ3が取り付けられているアクセス治具(移動クローラ)2を容器1内に挿入する。更に、同じ容器1内に、気泡4を発生する気泡発生装置5をアクセス治具2により挿入する。   For example, the access jig (moving crawler) 2 to which the ultrasonic sensor 3 is attached is inserted into the container 1 from the hole 1 </ b> A formed in the upper part of the container 1. Further, the bubble generating device 5 for generating the bubbles 4 is inserted into the same container 1 by the access jig 2.

超音波センサ3は、例えば、図1に示すような多軸マニピュレータや、図2に示すような容器1内の壁面を磁気、真空、スラスタ等で吸着する吸着式或いは液体をスラスタで泳ぐ泳動式のビークルに搭載したものである。尚、図1及び図2において、6は液面、7は容器1に形成された壁面の穴(漏洩箇所)である。   The ultrasonic sensor 3 is, for example, a multi-axis manipulator as shown in FIG. 1, an adsorption type that adsorbs the wall surface in the container 1 as shown in FIG. 2 by magnetism, vacuum, thruster or the like, or a migration type that swims liquid with a thruster. It is mounted on the vehicle. In FIGS. 1 and 2, reference numeral 6 denotes a liquid level, and 7 denotes a hole (leakage location) on a wall surface formed in the container 1.

気泡発生器5は、図1及び図2に示すように、超音波センサ3の近傍に設置され、図3に示すように、時刻T1から時刻T2の一定期間に、一定の量の気泡を発生する。即ち、図3は、気泡発生の開始と終了のトリガ信号と気泡の発生量の時間変化を表すが、この図3から、気泡発生が一定期間で一定量であることがわかる。気泡発生量は、図3では一定値としたが、流量等を調整することで、気泡発生量を変化させてもよい。   The bubble generator 5 is installed in the vicinity of the ultrasonic sensor 3 as shown in FIGS. 1 and 2, and generates a certain amount of bubbles during a certain period from time T1 to time T2, as shown in FIG. To do. That is, FIG. 3 shows the time change of the bubble generation start and end trigger signals and the bubble generation amount. From FIG. 3, it can be seen that the bubble generation is a constant amount over a certain period. The bubble generation amount is a constant value in FIG. 3, but the bubble generation amount may be changed by adjusting the flow rate or the like.

また、図4は、気泡発生の開始と終了のトリガ信号と気泡の発生量の時間変化を表すが、トリガ信号N回ごとに気泡を出すという制御を仮定して、超音波センサ3で、気泡発生後に、一定時間間隔で気泡の状況を測定すれば良いことが分かる。   FIG. 4 shows the time change of the bubble generation start and end trigger signals and bubble generation amount. Assuming control that bubbles are generated every N trigger signals, the ultrasonic sensor 3 It can be seen that after the occurrence, the state of the bubbles should be measured at regular time intervals.

図5は、超音波式漏洩検知装置に採用される超音波測定器として、水中での可視化が可能な可視化装置を用い、容器1内の気泡を測定している状態を示すものである。即ち、容器壁面1Bから内部に導出された配管8との二重管構造部分Aが、液体の漏洩の可能性のある部分であり、この二重管構造部分Aを狙って、アクセス治具2により容器1内に挿入された可視化装置付の超音波センサ3で気泡4を計測しているものである。つまり、図5に示す超音波測定器は、超音波センサ3を内蔵し、液体中の反射源を可視化する装置であり、反射源としては、容器壁面1Bや容器1内の形状変化部(構造物や配管、き裂や穴、気泡など)が想定される。   FIG. 5 shows a state in which bubbles in the container 1 are measured by using a visualization device that can be visualized in water as an ultrasonic measuring instrument employed in the ultrasonic leak detection device. That is, the double pipe structure portion A with the pipe 8 led out from the container wall surface 1B is a portion where there is a possibility of liquid leakage, and the access jig 2 is aimed at the double pipe structure portion A. The bubble 4 is measured by the ultrasonic sensor 3 with a visualization device inserted into the container 1. That is, the ultrasonic measuring device shown in FIG. 5 is a device that incorporates an ultrasonic sensor 3 and visualizes a reflection source in a liquid. As the reflection source, a shape changing portion (structure) in the container wall surface 1B or the container 1 is used. Objects, pipes, cracks, holes, bubbles, etc.).

超音波センサ3は、容器1内を満たす液体中に3次元的に超音波を発信、受信するものである。超音波センサ3は、例えば、図6及び図7に示すように、アレイセンサ3Aから構成されており、アレイセンサ3Aを構成する圧電素子3Bが1軸配列の場合は、図6の如く、機械走査と組み合せることで、3次元走査が可能である。また、図7の如く、圧電素子3Bを2次元的に配置することで、電子的に3次元走査をすることも可能である。   The ultrasonic sensor 3 transmits and receives ultrasonic waves three-dimensionally in the liquid filling the container 1. For example, as shown in FIGS. 6 and 7, the ultrasonic sensor 3 includes an array sensor 3A. When the piezoelectric elements 3B constituting the array sensor 3A are uniaxially arranged, as shown in FIG. By combining with scanning, three-dimensional scanning is possible. Further, as shown in FIG. 7, it is possible to electronically perform three-dimensional scanning by arranging the piezoelectric elements 3B two-dimensionally.

アレイセンサ3Aを用いた映像化方法として、開口合成法や遅延加算法などがある。   As an imaging method using the array sensor 3A, there are an aperture synthesis method, a delay addition method, and the like.

開口合成法では、例えば、アレイセンサ3Aを構成するN個の素子のうち、j番目の素子(位置Xj)で超音波を送信し、i番目の素子(位置Xi)で超音波を受信した信号φ(τ;Xi;Xj)について、伝搬時間τ1振幅φ(τ1)を、センサ位置XiとXjを焦点として、点Xiと点P、点Xjと点Pの距離の和が一定となる楕円軌道を描く点P(複数)の画素値として、距離の和が往復伝搬距離(伝搬時間τ1と音速cとの積)と等しくなる振幅値φ(τ1)として与え、送信及び受信の素子位置、即ち、センサ位置Xi及びXjを順次変化させ、異なるセンサ位置における振幅値を加算して、画素点Pの画素値を求めることで画像を形成する。   In the aperture synthesis method, for example, among the N elements constituting the array sensor 3A, the ultrasonic wave is transmitted by the jth element (position Xj) and the ultrasonic wave is received by the ith element (position Xi). For φ (τ; Xi; Xj), the elliptical orbit where the propagation time τ1 amplitude φ (τ1) is the focal point of the sensor positions Xi and Xj, and the sum of the distances between point Xi and point P and point Xj and point P is constant Is given as an amplitude value φ (τ1) in which the sum of distances is equal to the round-trip propagation distance (product of propagation time τ1 and sound velocity c), and the element positions for transmission and reception, Then, the sensor positions Xi and Xj are sequentially changed, the amplitude values at different sensor positions are added, and the pixel value of the pixel point P is obtained to form an image.

尚、特別な場合として、送信位置と受信位置が一致スル用にデータを取得した場合は、伝搬時間τ1の振幅A(τ1)を、センサ位置Xからの距離となる点Pの画素値として、2点間距離XiPと同じ距離となる伝搬距離(伝搬時間τ1と音速cとの積)の振幅値Ai(τ1)として与え、センサ位置Xiを順次変化させることで、異なるセンサ位置における振幅値を加算して、画素点Pの画素値を求めることで、画像を形成してもよい。   As a special case, when data is acquired for the case where the transmission position and the reception position match, the amplitude A (τ1) of the propagation time τ1 is used as the pixel value of the point P that is the distance from the sensor position X. By giving the amplitude value Ai (τ1) of the propagation distance (product of the propagation time τ1 and the sound speed c) that is the same distance as the distance between the two points XiP, and sequentially changing the sensor position Xi, the amplitude values at different sensor positions can be obtained. The image may be formed by adding and obtaining the pixel value of the pixel point P.

映像化するには、図8に示す如く、送信素子位置Xjで受信素子位置Xiの波形φ(τ;Xi;Xj)801について、位置Xiとの距離と、位置Xjとの距離の和が2τ×c(cは液体中の超音波伝搬速度)となる画素802Aに注目すると、時刻τにおける振幅値801Aを、送信位置Xj及び受信位置Xiについて加算した振幅値を画素802Aの画素値とし、表示領域802に画像として可視化する。このとき、形状変化部の例として配管8からの反射波が802Bのように映像化され、802Bの映像の境界領域803Aとして、配管8の表面形状が超音波により可視化される。   For imaging, as shown in FIG. 8, the sum of the distance between the position Xi and the position Xj is 2τ for the waveform φ (τ; Xi; Xj) 801 at the transmitting element position Xj and at the receiving element position Xi. When attention is paid to the pixel 802A that becomes xc (c is the ultrasonic wave propagation velocity in the liquid), the amplitude value 801A at the time τ is added to the transmission position Xj and the reception position Xi, and the pixel value of the pixel 802A is displayed. The area 802 is visualized as an image. At this time, as an example of the shape changing portion, the reflected wave from the pipe 8 is visualized as 802B, and the surface shape of the pipe 8 is visualized by ultrasonic waves as a boundary region 803A of the picture 802B.

また、遅延加算方式とは、フェーズドアレイ方式、電子走査方式又は電子スキャン方式とも呼ばれるので、例えば、圧電振動子からなる複数の超音波発生素子をアレイ状に配置した探触子、いわゆるアレイセンサ3Aを用い、超音波発生の契機となる電気信号を、このアレイセンサ3Aの各素子に所定の時間だけ遅延させて与え、各素子から発生した超音波が重ね合わされ、合成波を形成することで、被検査体への超音波の送信角度と受信角度、送信位置と受信位置、或いは合成波が干渉して互いにエネルギーを強め合う位置、つまり、焦点位置などの条件が電気的な制御により高速で変化させることができるようにしている。   The delay addition method is also referred to as a phased array method, an electronic scanning method, or an electronic scanning method. Therefore, for example, a probe in which a plurality of ultrasonic wave generation elements made of piezoelectric vibrators are arranged in an array, so-called array sensor 3A , By applying an electrical signal that triggers the generation of ultrasonic waves to each element of the array sensor 3A with a predetermined time delay, and superposing the ultrasonic waves generated from each element to form a composite wave, Conditions such as the transmission angle and reception angle of ultrasonic waves to the inspected object, the transmission position and reception position, or the position where the combined wave interferes and strengthens each other, that is, the focal position, etc. change at high speed by electrical control. It is possible to let you.

例えば、あるセンサ位置Xにおいて、角度θi方向から受信した信号の振幅A(τ、θi)について、伝搬時間τと音速cの積から、伝搬距離Wを求め、センサ位置Xを基準として、角度θi、距離Wの点の画素値として、A(τ、θi)を設定し、θiを変化させることで扇状の画像を形成したり、或いはθiを固定し、センサ位置Xを移動させることで、平行四辺形状の画像を形成したりする、超音波の送総受信映像化法のことである。
映像化するには、図9に示す如く、送受信位置Xkにおいて、方向θiに伝搬する径路901を持つ、遅延合成させた波形A(τ;θi)902について、ある時刻τの振幅値902Bと角度θiから、θiを変化させながら、振幅値の大きさに対応した画素値で可視化することで、扇形の領域904で超音波測定結果を画像化できる。形状変化部(例えば配管8)の表面からの反射波の振幅値により、領域903のように映像化され、この領域の境界(即ち、受信信号A(τ;θi)の振幅の立ち上がり902A)として、配管8の表面が、超音波画像の境界903Aとして映像化される。
For example, at a certain sensor position X, for the amplitude A (τ, θi) of the signal received from the angle θi direction, the propagation distance W is obtained from the product of the propagation time τ and the sound velocity c, and the angle θi with reference to the sensor position X By setting A (τ, θi) as the pixel value of the point at the distance W and changing θi, a fan-shaped image is formed, or θi is fixed and the sensor position X is moved to move in parallel. It is a method of creating a total reception image of ultrasonic waves that forms a quadrilateral image.
For imaging, as shown in FIG. 9, an amplitude value 902B and an angle at a certain time τ with respect to a waveform A (τ; θi) 902 having a path 901 propagating in a direction θi at a transmission / reception position Xk. By visualizing the pixel value corresponding to the magnitude of the amplitude value while changing θi from θi, the ultrasonic measurement result can be imaged in the sector area 904. By the amplitude value of the reflected wave from the surface of the shape changing portion (for example, the pipe 8), it is visualized as a region 903, and as the boundary of this region (that is, the rising edge 902A of the amplitude of the received signal A (τ; θi)). The surface of the pipe 8 is visualized as an ultrasonic image boundary 903A.

尚、開口合成法と遅延加算法のいずれの場合においても、例えば、上記の手順によって、ある平面での断面画像を形成することができるので、図6に示すように、機械走査によりアレイセンサ3Aから発生する超音波が伝搬する面を、その面に直交する成分を含む方向に面を移動させることで、平面画像を複数枚形成することができ、立体画像を形成できる。   In either case of the aperture synthesis method or the delay addition method, for example, a cross-sectional image on a certain plane can be formed by the above procedure. Therefore, as shown in FIG. 6, the array sensor 3A is mechanically scanned. By moving the plane on which the ultrasonic wave generated from the plane propagates in a direction including a component orthogonal to the plane, a plurality of plane images can be formed, and a three-dimensional image can be formed.

或いは図7に示すように、アレイセンサ3Aを形成する圧電素子3Bを2次元的に配置することで、電子走査を3次元的に行い、同様に平面画像を複数枚形成して、立体画像を形成できる。図7の場合、開口合成法では、センサ位置Xiからの2点間距離XiPが等しくなる画素点Pの軌跡が球(或いは回転楕円体)となる。また、遅延加算法の場合、あるセンサ位置からの超音波の送信方向が、極座標の2つの偏角(θ、φ)などによって設定される。   Alternatively, as shown in FIG. 7, the piezoelectric elements 3B forming the array sensor 3A are two-dimensionally arranged to perform three-dimensional electronic scanning, and similarly, a plurality of planar images are formed to form a three-dimensional image. Can be formed. In the case of FIG. 7, in the aperture synthesis method, the trajectory of the pixel point P at which the distance XiP between the two points from the sensor position Xi is equal is a sphere (or spheroid). In addition, in the case of the delay addition method, the transmission direction of the ultrasonic wave from a certain sensor position is set by two polar angles (θ, φ) or the like.

例えば、図8に示すように、表示部に、画像化した画素値をカラーバーに対応させて、断面画像として表示することができる。   For example, as shown in FIG. 8, the imaged pixel values can be displayed on the display unit as a cross-sectional image corresponding to the color bar.

また、図9に示すように、遅延加算法の画像化手法によって反射体(構造物)の表面を映像化する場合、横軸に時間(又は距離)、縦軸に振幅をとったある特定の方向(入射角度)に伝搬する受信波形の強度と、伝搬方向(入射角度)から、扇状の断面図を描画する。扇状の表示においては、画素値を白黒またはカラーのカラーバーと対応させて、画素として可視化される。   In addition, as shown in FIG. 9, when imaging the surface of a reflector (structure) by a delay-and-sum imaging method, a specific axis with time (or distance) on the horizontal axis and amplitude on the vertical axis is shown. A fan-like cross-sectional view is drawn from the intensity of the received waveform propagating in the direction (incident angle) and the propagation direction (incident angle). In a fan-shaped display, pixel values are visualized as pixels in association with black and white or color color bars.

いずれの場合においても、構造物表面において、あるいは、気泡などの反射体において、強い超音波信号が反射されるために、断面画像の画素値の大きい部分(即ち、振幅値の大きい部分)の領域として、反射体(構造物や気泡)の境界が画像化される。   In any case, since a strong ultrasonic signal is reflected on the surface of the structure or on a reflector such as a bubble, the region of the cross-sectional image having a large pixel value (that is, a portion having a large amplitude value). As such, the boundary of the reflector (structure or bubble) is imaged.

次に、超音波を送受信するアレイセンサ3Aの動作について、簡単に説明する。   Next, the operation of the array sensor 3A that transmits and receives ultrasonic waves will be briefly described.

超音波アレイセンサを構成する圧電振動子は、送受信部に接続され、送受信部から送られる駆動信号により、圧電振動子から液体中に縦波超音波が発生し液体中を伝搬する。   The piezoelectric vibrators constituting the ultrasonic array sensor are connected to the transmission / reception unit, and longitudinal wave ultrasonic waves are generated from the piezoelectric vibrators in the liquid and propagated in the liquid by a drive signal sent from the transmission / reception unit.

液体中に構造物や気泡などの反射体が存在した場合、縦波超音波は反射体の表面で、主に縦波超音波として反射する。反射体で反射された超音波は、液体中を伝搬し、再び超音波アレイセンサを構成する圧電振動子に伝搬し、受信された超音波は、電気信号に変換される。   When a reflector such as a structure or a bubble is present in the liquid, longitudinal wave ultrasonic waves are reflected mainly on the surface of the reflector as longitudinal wave ultrasonic waves. The ultrasonic wave reflected by the reflector propagates in the liquid, propagates again to the piezoelectric vibrators constituting the ultrasonic array sensor, and the received ultrasonic wave is converted into an electric signal.

受信波の電気信号は、送受信部で収録され、例えば、受信信号や2次元断面画像や3次元画像として表示部に表示される。また、受信信号は、必要に応じて、記憶部に参照信号として記憶される。   The electric signal of the received wave is recorded by the transmission / reception unit, and is displayed on the display unit as, for example, a reception signal, a two-dimensional cross-sectional image, or a three-dimensional image. The received signal is stored as a reference signal in the storage unit as necessary.

ここで、図16を用いて、超音波アレイセンサ、送受信部、記憶部、表示部について説明する。   Here, the ultrasonic array sensor, the transmission / reception unit, the storage unit, and the display unit will be described with reference to FIG.

超音波アレイセンサ104を構成する圧電振動子は、例えば、超音波発生素子の一例として、圧電セラミックスや、その圧電セラミックスの細棒を高分子材の中に埋めこんだ複合圧電体(コンポジットともいう)を用いる。圧電振動子(又は素子)は、通常、等間隔に配置されている。   The piezoelectric vibrators constituting the ultrasonic array sensor 104 are, for example, piezoelectric ceramics or composite piezoelectric bodies in which thin rods of the piezoelectric ceramics are embedded in a polymer material as an example of an ultrasonic wave generating element (also referred to as a composite). ) Is used. Piezoelectric vibrators (or elements) are usually arranged at regular intervals.

送受信部107は、遅延加算方式の場合、例えば、パルサー107A、レシーバ107B、遅延時間制御部107C、データ収録部107D、計算機107Eを備え、パルサー107Aから出力される駆動信号のタイミングを制御すると共に、遅延時間制御部107Cは、レシーバ107Bによる受信信号の入力タイミングを制御し、これにより遅延制御方式による超音波アレイセンサ3Aの動作が得られるようにする。データ収録部は107D、レシーバ107Bから供給される受信信号を処理し、表示部109に供給する働きをする。   In the case of the delay addition method, the transmission / reception unit 107 includes, for example, a pulser 107A, a receiver 107B, a delay time control unit 107C, a data recording unit 107D, and a computer 107E, and controls the timing of the drive signal output from the pulser 107A. The delay time control unit 107C controls the input timing of the reception signal by the receiver 107B, thereby obtaining the operation of the ultrasonic array sensor 3A by the delay control method. The data recording unit functions to process reception signals supplied from the 107D and the receiver 107B and supply them to the display unit 109.

記憶部108は、送受信部107で収録された探傷データを記録し、そのうち、特に、気泡の発生が無い状態(或いは時間帯)や、気泡の発生直後の初期の計測データ(受信信号)を参照データ108Aとして記憶し、また、被検体の形状データ108Bを記憶し、計算機107Eに供給する働きをする。   The storage unit 108 records flaw detection data recorded by the transmission / reception unit 107, and particularly refers to a state where no bubbles are generated (or a time zone) and initial measurement data (received signal) immediately after the generation of bubbles. The data 108A is stored, and the shape data 108B of the subject is stored and supplied to the computer 107E.

表示部109は、超音波の受信角度(本実施例では、送信方向と受信方向を同じであるため、送信角度と受信角度は同じ)に対応した受信信号を表示する手段である。例として、開始角度から終了角度までの範囲で超音波を送受信した場合の受信信号を、角度を円周方向に、片道伝搬距離を軸方向とした扇型に表示した例を示す。尚、このように超音波の送信角度を変化させて走査する方法は、セクタスキャンと呼ばれる。   The display unit 109 is a means for displaying a reception signal corresponding to an ultrasonic reception angle (in this embodiment, since the transmission direction and the reception direction are the same, the transmission angle and the reception angle are the same). As an example, an example is shown in which received signals when ultrasonic waves are transmitted and received in the range from the start angle to the end angle are displayed in a fan shape with the angle in the circumferential direction and the one-way propagation distance in the axial direction. Note that the method of scanning by changing the transmission angle of ultrasonic waves in this way is called sector scanning.

送信角度を開始から終了まで走査させると、アレイセンサ3Aが浸漬されている容器1内の構造物内の反射体(構造物などの形状変化部)からの反射信号や、気泡群によると想定される反射信号が受信され、測定画像のように、扇形の中に、受信信号の強さに応じた色または濃さの異なる領域として表示される。   When the transmission angle is scanned from the start to the end, it is assumed that it is due to a reflection signal from a reflector (a shape changing portion such as a structure) in the structure in the container 1 in which the array sensor 3A is immersed, or a bubble group. The reflected signal is received, and is displayed as a region having a different color or darkness according to the strength of the received signal in a sector shape like a measurement image.

容器1内に漏洩がある場合の気泡4の動きの例を図10に示す。   An example of the movement of the bubbles 4 when there is a leak in the container 1 is shown in FIG.

該図に示す如く、ある時刻Taでの気泡4群の位置は、漏洩がある場合、Ta以降のある時刻Tbにおいて、漏洩が懸念される容器壁面1Bから内部に導出された配管8との二重管構造部分A近傍に接近し、また、漏洩があった場合には、気泡4の数が漏洩によって減少し、気泡4群の体積が減少するという現象が生じることが想定される。   As shown in the figure, the position of the group of bubbles 4 at a certain time Ta is the same as that of the pipe 8 led to the inside from the container wall surface 1B at which the leakage may occur at a certain time Tb after Ta. When the vicinity of the heavy pipe structure portion A is approached and leakage occurs, it is assumed that a phenomenon occurs in which the number of bubbles 4 decreases due to leakage and the volume of the bubbles 4 group decreases.

ここで、例えば、気泡発生後の測定画像と比較するためには、記憶部108に記憶されている参照データ108Aを画像処理部110Aに読み込み、異なる時刻の画像(例えば、気泡発生前の画像或いは気泡発生直後など)として、測定画像と並べて表示させることで、変化のないものは形状、変化のあるものは気泡とする画像処理を行うことで、動きのあるものを抽出することで気泡領域を判断することができる。   Here, for example, in order to compare with a measurement image after bubble generation, the reference data 108A stored in the storage unit 108 is read into the image processing unit 110A, and images at different times (for example, images before bubble generation or (E.g., immediately after the bubble is generated), by displaying it side-by-side with the measurement image, by performing image processing to determine that there is no change in the shape, and in the case where there is a change, the bubble region is extracted by extracting the moving object. Judgment can be made.

さらに、画像処理部110Aにおいて、このように気泡発生後の画像と、それとは異なる時刻の画像を比較することで、構造物の形状変化部からの反射信号は、時刻によらず変化のないデータとして、参照画像と測定画像の両方において出現していることで判断できる。また、気泡群602と想定される反射信号は測定画像と参照画像で、出現の場所や数などに変化があることが識別することができ、気泡の動きの時間変化を把握することにより、液体中の漏洩に到る流体の流れや、漏洩の有無、漏洩箇所の特定を行うことが可能となる。   Further, the image processing unit 110A compares the image after the bubble is generated in this way with the image at a different time so that the reflected signal from the shape changing unit of the structure is data that does not change regardless of the time. It can be determined by appearing in both the reference image and the measurement image. In addition, the reflection signal assumed to be the bubble group 602 can be identified from the measurement image and the reference image that there is a change in the location or number of appearances, and by grasping the time change of the bubble movement, It becomes possible to identify the flow of fluid that leads to leakage inside, the presence or absence of leakage, and the leakage location.

例えば、画像処理結果を処理表示部110において、異なる時刻Ta及びTbにおける超音波測定画像から、気泡領域を抽出した画像として表示することもできる。あるいは、気泡群の物理量(例えば、気泡群の体積、重心の位置、重心の移動速度等)の時間変化を表示することで、漏洩の判定を分かりやすく表示することもできる。   For example, the image processing result can be displayed on the processing display unit 110 as an image obtained by extracting a bubble region from ultrasonic measurement images at different times Ta and Tb. Alternatively, the determination of leakage can be displayed in an easy-to-understand manner by displaying temporal changes in the physical quantity of the bubble group (for example, the volume of the bubble group, the position of the center of gravity, the moving speed of the center of gravity, etc.).

尚、開口合成方式の装置構成としては、遅延時間制御部107Cを用いない点が遅延加算方式と異なるが、遅延加算型の装置構成と同様の装置構成でも映像化を達成することができる。但し、同時に使用する素子数が送信で1個、受信で1個となるため、パルサー107A及びレシーバ107Bのチャンネル数を減らしてもよい。また、開口合成のアルゴリズムは、計算機107E内にて実行される。   Note that the aperture composition system configuration is different from the delay addition mode in that the delay time control unit 107C is not used, but visualization can also be achieved with an apparatus configuration similar to the delay addition type configuration. However, since the number of elements used simultaneously is one for transmission and one for reception, the number of channels of the pulser 107A and the receiver 107B may be reduced. The aperture synthesis algorithm is executed in the computer 107E.

気泡発生装置5は、気体と液体を混入したノズルや孔から複数の気泡4を発生させる。また、電気分解や気体発生を伴なう化学反応によって気泡4を発生させてもよいし、造影剤のようなバブルを予め作成しておき、それを液体とともに流しても良い。   The bubble generator 5 generates a plurality of bubbles 4 from nozzles or holes mixed with gas and liquid. Further, the bubbles 4 may be generated by a chemical reaction involving electrolysis or gas generation, or a bubble such as a contrast medium may be prepared in advance and flowed together with the liquid.

図17に、気泡発生装置5、超音波測定器104、アクセス治具の全体のブロック図を示す。気泡発生装置5、超音波測定器104とも、アクセス治具(多軸アーム、移動機構など)と接続さえて、漏洩の発生が懸念さえる容器等の内部にアクセスする。   FIG. 17 shows an overall block diagram of the bubble generating device 5, the ultrasonic measuring device 104, and the access jig. Both the bubble generating device 5 and the ultrasonic measuring device 104 are connected to an access jig (multi-axis arm, moving mechanism, etc.) and access the inside of a container or the like where the occurrence of leakage is a concern.

気泡が発生する前、気泡発生の直後、気泡発生後の一定間隔など、気泡発生と超音波測定は時間的に同期した測定を行う。例として、同期インターフェース104Aにより、トリガ信号(図4の5E)を発生させる。発生さえた同期信号は、超音波計測器104に送られ、同期信号と同期して超音波によう計測を行う。また、同じ同期信号は、気泡発生装置5に送られ、同期処理部5Dにより同期信号が受信される。例えば、N個の同期信号に1回ずつ気泡を発生するといったように、制御部5Bで気泡を発生させる期間や回数を制御し、気泡発生器5Aから気泡を発生させる。また、音響信号発生部5Cにより、同期信号と同期させて音響を発することにより、音響信号を同期信号として利用することで、気泡発生装置の位置や、気泡発生装置の周囲の液体の流れを、超音波計測器で計測せしめることが可能となる。   Bubble generation and ultrasonic measurement are performed in time synchronization, such as before bubble generation, immediately after bubble generation, and at regular intervals after bubble generation. As an example, a trigger signal (5E in FIG. 4) is generated by the synchronization interface 104A. The generated synchronization signal is sent to the ultrasonic measuring instrument 104, and the ultrasonic signal is measured in synchronization with the synchronization signal. The same synchronization signal is sent to the bubble generating device 5, and the synchronization signal is received by the synchronization processing unit 5D. For example, bubbles are generated from the bubble generator 5A by controlling the period and the number of times the bubbles are generated by the control unit 5B such that bubbles are generated once every N synchronization signals. In addition, by generating sound in synchronization with the synchronization signal by the acoustic signal generation unit 5C, by using the acoustic signal as the synchronization signal, the position of the bubble generation device and the flow of liquid around the bubble generation device are It is possible to measure with an ultrasonic measuring instrument.

気泡4は、連続的に発生させると、容器1内に充満してしまい、流れや漏洩を測定することが困難となるため、ある時刻T1からT2までの一定期間発生させる。   If the bubbles 4 are continuously generated, the container 1 fills up and it becomes difficult to measure the flow and leakage. Therefore, the bubbles 4 are generated for a certain period from a certain time T1 to T2.

一定期間発生したバブルは、浮力の影響を受けて若干上昇するが、気泡4がある程度小さければ、浮力による影響を、流れの影響より小さくすることができる。   The bubble generated for a certain period rises slightly due to the influence of buoyancy, but if the bubble 4 is small to some extent, the influence of buoyancy can be made smaller than the influence of flow.

気泡群を超音波カメラで観察すると、気泡4からの反射波が受信され、雲状の複数の画像として映像化される。例えば、この画像に対して、気泡群が含まれる領域を二値化する画像処理により、気泡群の広がりを表す体積を求めることができる。   When the bubble group is observed with an ultrasonic camera, the reflected wave from the bubble 4 is received and visualized as a plurality of cloud-like images. For example, the volume representing the expansion of the bubble group can be obtained by image processing for binarizing the region including the bubble group for this image.

また、二値化された気泡群の領域から、気泡群の重心の位置や、重心の移動速度を求めることも可能である。   It is also possible to obtain the position of the center of gravity of the bubble group and the moving speed of the center of gravity from the binarized region of the bubble group.

図11に、時刻Taと、その後の時刻Tbの気泡4群の超音波による可視化結果と、画像処理により気泡群の領域を二値化した図の例を示す。   FIG. 11 shows an example of a view obtained by binarizing the bubble group area by image processing, and the visualization result of ultrasonic waves of the bubble group 4 at time Ta and the subsequent time Tb.

該図に示す如く、時刻Taから時刻Tbへと時間が経過することで、気泡4群の広がり(体積)が増減することが想定される。体積の増加は、例えば、液体中の拡散を意味し、体積の現象は、漏洩による気泡4の流出や、経時変化による気泡4の消滅などが考えられる。   As shown in the figure, it is assumed that the expansion (volume) of the bubble group 4 increases and decreases as time elapses from time Ta to time Tb. The increase in volume means, for example, diffusion in a liquid, and the phenomenon of volume may be the outflow of bubbles 4 due to leakage or the disappearance of bubbles 4 due to changes over time.

更に、図10に示したように、漏洩が懸念される二重管構造部分Aでは、漏洩にともなう液体の流れが発生していることから、気泡群の位置(例えば、重心位置)の移動が起こることも想定される。   Furthermore, as shown in FIG. 10, in the double pipe structure portion A where leakage is a concern, the flow of liquid accompanying the leakage occurs, so that the position of the bubble group (for example, the position of the center of gravity) does not move. It is also expected to happen.

気泡群の物理量(体積、位置、速度など)の経時変化を測定することで、例えば、気泡群の体積は、拡散により大きくなると予想される。また、重心の位置は、流れによって移動する。   By measuring the change over time in the physical quantity (volume, position, velocity, etc.) of the bubble group, for example, the volume of the bubble group is expected to increase due to diffusion. Further, the position of the center of gravity moves according to the flow.

図12は、気泡発生と、その後の気泡群の体積の変化を計測した結果の例を示す。気泡発生期間T1〜T2(図12の下図参照)を過ぎて、気泡体積が増加し、その後現象している様子(図12の上図参照)を表している。   FIG. 12 shows an example of the result of measuring the bubble generation and the subsequent change in volume of the bubble group. The bubble generation period T1 to T2 (see the lower diagram in FIG. 12) has passed, and the bubble volume has increased, and then the phenomenon occurs (see the upper diagram in FIG. 12).

また、図13は、気泡発生と、その後の気泡群の重心位置の位置変化を計測した結果の例を示す。気泡発生期間T1〜T2(図13の下図参照)を過ぎて、気泡の重心位置が流れに沿って移動している状況(図13の上図参照)を表している。   FIG. 13 shows an example of the result of measuring the bubble generation and the subsequent change in the center of gravity of the bubble group. This represents a situation (see the upper diagram in FIG. 13) in which the center of gravity of the bubbles has moved along the flow after the bubble generation periods T1 to T2 (see the lower diagram in FIG. 13).

また、図14は、気泡発生と、その後の気泡群の重心位置の速度変化を計測した結果の例を示す。気泡発生期間T1〜T2(図14の下図参照)を過ぎて、気泡が高速に移動し、その後、一定の速度でゆっくり移動している状況(図14の上図参照)を表している。   FIG. 14 shows an example of the result of measurement of bubble generation and the subsequent change in the velocity of the center of gravity of the bubble group. It shows a situation (see the upper diagram in FIG. 14) that the bubbles have moved at high speed after the bubble generation periods T1 to T2 (see the lower diagram in FIG. 14) and then slowly moved at a constant speed.

このように、異なる時間における気泡群の物理量を測定することで、液体の漏洩にともなう変化を間接的に測定することが可能となる。   Thus, by measuring the physical quantity of the bubble group at different times, it becomes possible to indirectly measure a change accompanying the leakage of the liquid.

例えば、図15に示すように、物理量にしきい値を設けておけば、しきい値を超えたことを判定のトリガとして、漏洩の判断を行うことが可能である。   For example, as shown in FIG. 15, if a threshold value is provided for a physical quantity, it is possible to make a leak determination using a trigger for determination that the threshold value has been exceeded.

時刻の異なる測定結果は、図16に示すように、表示部に、例えば異なる時間の測定結果を表示する、あるいは、図12乃至図15のように、測定対象となる物理量の経時変化を測定することで、漏洩を判断することができる。   As shown in FIG. 16, the measurement results at different times are displayed on the display unit, for example, at different times, or the change over time in the physical quantity to be measured is measured as shown in FIGS. Thus, leakage can be determined.

例として、図18に漏洩判定のフローを示す。   As an example, FIG. 18 shows a leakage determination flow.

図18に示すように、最所に、容器内の液体に、超音波計測器と気泡発生装置を備える漏洩検知装置を、アクセス治具で挿入する。アクセス治具2としては、図1に示すようなマニピュレータや、図2に示すような移動機構などがある。   As shown in FIG. 18, a leak detection device including an ultrasonic measuring instrument and a bubble generation device is inserted into the liquid in the container with an access jig. Examples of the access jig 2 include a manipulator as shown in FIG. 1 and a moving mechanism as shown in FIG.

次に、容器内の形状(構造物)を計測することにより、漏洩が懸念される形状変化部を、超音波計測器を移動させながら測定することにより、特定する。   Next, by measuring the shape (structure) in the container, the shape changing portion that is likely to be leaked is specified by measuring while moving the ultrasonic measuring instrument.

次に、漏洩の可能性のある場所、例えば、配管や穴やき裂などを発見した場合は、その場で超音波計測器の位置を固定する。   Next, when a place where there is a possibility of leakage, for example, a pipe, a hole or a crack is found, the position of the ultrasonic measuring instrument is fixed on the spot.

その後、漏洩の可能性のある形状変化部の近傍で、気泡を一定期間、一定量発生させる。   After that, a certain amount of bubbles is generated for a certain period in the vicinity of the shape change portion that may leak.

この発生した気泡を、超音波計測器で測定する。画像処理で気泡群の領域を強調し、物理量(体積、重心位置、重心位置の速度など)を測定し、異なる2つの時刻以上の測定を行い、図19に示すような、経時変化を測定する。   The generated bubbles are measured with an ultrasonic measuring instrument. The area of the bubble group is emphasized by image processing, physical quantities (volume, centroid position, centroid position speed, etc.) are measured, measurements are taken at two different times, and changes over time are measured as shown in FIG. .

即ち、図19は、図4に示したような複数回にわたって気泡4を出す場合、気泡発生装置5でK回目の気泡4を発生させた後、ある程度の経時変化したK+1回目に発生させられた気泡4が、移動して拡散している状況を示しており、このK+1回目の気泡4の状況を測定するものである。   That is, in FIG. 19, when the bubble 4 is generated a plurality of times as shown in FIG. 4, after the Kth bubble 4 is generated by the bubble generator 5, the bubble is generated at the K + 1th time that has changed to some extent. The state where the bubbles 4 are moving and diffusing is shown, and the state of the bubbles 4 at the (K + 1) th time is measured.

次に、所定の設定回数に達するまで計測を行い、漏洩の挙動(例えば、気泡群の体積の現象と、気泡群の重心位置の変化が同時に発生した等)を示したかを判定する。   Next, measurement is performed until a predetermined set number of times is reached, and it is determined whether leakage behavior (for example, the phenomenon of the volume of the bubble group and the change in the center of gravity of the bubble group have occurred simultaneously) is shown.

漏洩の有無及び位置を記録した後、次の、漏洩が懸念される位置に超音波測定装置を移動させて、上記の測定を繰り返す。   After recording the presence / absence and position of leakage, the ultrasonic measurement apparatus is moved to the next position where leakage is a concern and the above measurement is repeated.

漏洩検知方法としては、前述した超音波測定器により、容器1内の構造物の形状変化部を計測し、その位置や形状を可視化する。この形状変化部が、漏洩の可能性のある位置(候補)となる。   As a leak detection method, the shape change part of the structure in the container 1 is measured by the ultrasonic measuring instrument described above, and the position and shape thereof are visualized. This shape change portion becomes a position (candidate) that may leak.

漏洩の候補位置が測定できた後に、気泡4を一定期間で一定量発生させ、気泡群の物理量を測定する。もしも候補位置で漏洩が起きている場合は、気泡群の重心位置が候補位置に近づくように変化し、更に、近づいた段階で、気泡4を含んだ液体が候補位置から別の容器等へ漏洩することで、気泡群の体積が減少することが計測される。   After the candidate position for leakage is measured, a certain amount of bubbles 4 are generated in a certain period, and the physical quantity of the bubbles is measured. If leakage occurs at the candidate position, the center of gravity of the bubble group changes so as to approach the candidate position, and further, the liquid containing the bubbles 4 leaks from the candidate position to another container or the like when approaching. By doing so, it is measured that the volume of the bubble group decreases.

もしも、候補位置で漏洩が起きていない場合には、気泡群の重心位置は、気泡4が発生した領域の液体の流れに沿って移動するが、気泡群の体積は拡散する。尚、長時間観察した場合には、気泡4の消滅や拡散によって、観察される気泡群の体積は現象する。   If there is no leakage at the candidate position, the center of gravity of the bubble group moves along the liquid flow in the region where the bubble 4 is generated, but the volume of the bubble group diffuses. In addition, when observed for a long time, the volume of the observed bubble group changes due to the disappearance or diffusion of the bubbles 4.

このときは、気泡群な、候補位置とはことなる位置に移動しているため、拡散や消滅による体積減少と、上記漏洩による体積減少は、位置の特定との組み合せにより区別できる。   At this time, since the bubble group moves to a position different from the candidate position, the volume reduction due to diffusion or disappearance and the volume reduction due to the leakage can be distinguished by a combination of the position specification.

また、気泡発生装置5と超音波測定器に対して、共通する同期信号を電気的に与えることで、気泡発生と同時に測定できる。   Moreover, it can measure simultaneously with bubble generation by electrically giving a common synchronizing signal to the bubble generator 5 and the ultrasonic measuring device.

また、同期信号として、等時間間隔のパルス状のトリガ信号を与えれば、時間について周期的な測定が可能となり、経時変化を測定しやくなる。   Further, if a pulse-like trigger signal at equal time intervals is given as the synchronization signal, periodic measurement can be performed with respect to time, and the change with time can be easily measured.

更に、気泡発生装置5の同期信号として、音響による同期信号を用いてもよい。この同期信号は、例えば、図20に示すように、気泡発生装置5に設置された水中スピーカや気泡や機械的な音を発生する音源11などで実現できる。音響的な同期信号発生装置により、超音波測定装置から、音響的に気泡発生装置5が可視化することが可能となり、気泡発生位置を音によって特定することが可能となる。   Furthermore, an acoustic synchronization signal may be used as the synchronization signal of the bubble generator 5. For example, as shown in FIG. 20, this synchronization signal can be realized by an underwater speaker installed in the bubble generating device 5, a sound source 11 that generates bubbles or mechanical sound, and the like. With the acoustic synchronization signal generation device, the bubble generation device 5 can be acoustically visualized from the ultrasonic measurement device, and the bubble generation position can be specified by sound.

更に、図21に示す如く、図20と同様な音源11を2つ以上(図21では3つ)設け、それらの各音源11を容器内の液体の流れに沿う細いひも12で接続することで、気泡発生位置5だけでなく、流れの状況を音によって特定することができる。   Furthermore, as shown in FIG. 21, two or more sound sources 11 similar to those in FIG. 20 (three in FIG. 21) are provided, and these sound sources 11 are connected by thin strings 12 along the flow of liquid in the container. In addition to the bubble generation position 5, the flow state can be specified by sound.

また、図22に示す如く、1つ目の音源11の上方に、棒13などで気泡発生器6から延長された場所に2つ目の音源11を設置し、この2つ目の音源11と3つ目の音源11も間をひも12で接続しても良い。   Further, as shown in FIG. 22, a second sound source 11 is installed above the first sound source 11 in a place extended from the bubble generator 6 with a stick 13 or the like. The third sound source 11 may also be connected by a string 12.

尚、上記では音響による同期信号発生装置の代替として、音を発生する音源11を気泡発生装置5に付与したが、半径の異なる球体など、超音波の反射波によって可視化できる受動的な反射源を用いてもよい。   In the above description, the sound source 11 that generates sound is given to the bubble generation device 5 as an alternative to the acoustic synchronization signal generation device. However, a passive reflection source that can be visualized by reflected waves of ultrasonic waves such as spheres with different radii. It may be used.

1…容器、1A…穴、1B…容器壁面、2…アクセス治具、3…超音波センサ、3A…アレイセンサ、3B…圧電素子、4…気泡、5…気泡発生装置、5A…気泡発生部、5B…制御部、5C…音響信号発生部、5D…同期処理部、5E…同期トリガ信号、6…液面、7…壁面の穴、8…配管、11…音源、12…ひも、13…棒、104…超音波測定器、104A…同期処理インターフェース、107…送受信部、107A…パルサー、107B…レシーバ、107C…遅延時間制御部、107D…データ収録部、107E…計算機、108…記憶部、108A…参照データ、108B…形状データ、109…表示部、110…漏洩表示部、110A…画像処理部、602…気泡群。801…受信波形、801A…時刻τの受信波形振幅、801B…伝搬径路、802…超音波測定結果表示領域、802A…画素、803A…形状変化部境界、803B…形状変化部映像範囲、901…伝搬径路、902…受信波形、902A…受信波形の振幅値の立ち上がり位置、902B…時刻τの受信波形振幅、903…形状変化部映像範囲、903A…形状変化部境界、904…超音波測定結果表示領域   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Container, 1A ... Hole, 1B ... Container wall surface, 2 ... Access jig, 3 ... Ultrasonic sensor, 3A ... Array sensor, 3B ... Piezoelectric element, 4 ... Bubble, 5 ... Bubble generator, 5A ... Bubble generating part DESCRIPTION OF SYMBOLS 5B ... Control part, 5C ... Acoustic signal generation part, 5D ... Synchronization processing part, 5E ... Synchronization trigger signal, 6 ... Liquid level, 7 ... Wall hole, 8 ... Piping, 11 ... Sound source, 12 ... String, 13 ... 104, ultrasonic measuring device, 104A, synchronization processing interface, 107, transmission / reception unit, 107A, pulser, 107B, receiver, 107C, delay time control unit, 107D, data recording unit, 107E, computer, 108, storage unit, 108A ... reference data 108B ... shape data 109 ... display unit 110 ... leakage display unit 110A ... image processing unit 602 ... bubble group. 801: Received waveform, 801A: Received waveform amplitude at time τ, 801B ... Propagation path, 802 ... Ultrasonic measurement result display area, 802A ... Pixel, 803A ... Shape change part boundary, 803B ... Shape change part video range, 901 ... Propagation 902 ... received waveform, 902A ... rise position of amplitude value of received waveform, 902B ... received waveform amplitude at time τ, 903 ... shape change portion video range, 903A ... shape change portion boundary, 904 ... ultrasound measurement result display area

Claims (9)

容器に入った液体中に一部又は全体が浸漬された超音波センサを用い、超音波送受信手段により、前記容器内から超音波を送信し、前記容器内の反射体からの反射波を受信することで液体の漏洩を検知する超音波式漏洩検知装置において、
前記容器内に複数の気泡群を発生する気泡発生手段と、前記超音波受信信号から前記容器内の構造物、及び前記気泡群を可視化する可視化手段と、該可視化手段による前記気泡群の可視化結果から、前記気泡群の分布の時間的な変化量を計測する計測手段とを備えていることを特徴とする超音波式漏洩検知装置。
Using an ultrasonic sensor that is partly or wholly immersed in the liquid contained in the container, ultrasonic waves are transmitted from the container by the ultrasonic wave transmitting / receiving means, and the reflected waves from the reflector in the container are received. In the ultrasonic leak detection device that detects the leakage of liquid by
Bubble generating means for generating a plurality of bubble groups in the container, structure in the container and visualization means for visualizing the bubble groups from the ultrasonic reception signal, and visualization results of the bubble groups by the visualization means And an ultrasonic leak detection device comprising: a measuring unit that measures a temporal change in the distribution of the bubble group.
請求項1に記載の超音波式漏洩検知装置において、
前記気泡の発生する時間と発生を停止する時間を制御する制御手段を更に備えていることを特徴とする超音波式漏洩検知装置。
The ultrasonic leak detection device according to claim 1,
The ultrasonic leak detection apparatus further comprising a control means for controlling a time for generating the bubbles and a time for stopping the generation.
請求項1又は2に記載の超音波式漏洩検知装置において、
気泡発生と同期した同期信号を発信させる発信手段を更に備えていることを特徴とする超音波式漏洩検知装置。
In the ultrasonic leak detection device according to claim 1 or 2,
An ultrasonic leak detection apparatus further comprising a transmission means for transmitting a synchronization signal synchronized with bubble generation.
請求項3に記載の超音波式漏洩検知装置において、
前記同期信号として、音響を発信させる音響発信手段を備えていることを特徴とする超音波式漏洩検知装置。
The ultrasonic leak detection device according to claim 3,
An ultrasonic leak detection device comprising sound transmitting means for transmitting sound as the synchronization signal.
請求項4に記載の超音波式漏洩検知装置において、
前記音響発生手段は、水中スピーカや気泡、或いは機械的な音を発生する音源であることを特徴とする超音波式漏洩検知装置。
In the ultrasonic leak detection device according to claim 4,
The ultrasonic leak detection device, wherein the sound generation means is an underwater speaker, a bubble, or a sound source that generates mechanical sound.
請求項5に記載の超音波式漏洩検知装置において、
前記音源は複数個から成り、該各音源はひもで接続されていることを特徴とする超音波式漏洩検知装置。
The ultrasonic leak detection device according to claim 5,
The ultrasonic leak detection apparatus according to claim 1, wherein the sound source includes a plurality of sound sources, and the sound sources are connected with a string.
容器に入った液体中に一部又は全体が浸漬された超音波センサを用いて、前記容器内から超音波を送信し、前記容器内の反射体からの反射波を受信することで液体の漏洩を検知する超音波式漏洩検知方法において、
前記超音波の受信信号から、前記容器内の構造物から容器内の形状を可視化し、前記容器内に発生させた複数の気泡群の分布の時間的な変化量から液体の漏洩を測定することを特徴とする超音波式漏洩検知方法。
Leakage of liquid by transmitting ultrasonic waves from inside the container and receiving reflected waves from the reflector in the container using an ultrasonic sensor partially or wholly immersed in the liquid contained in the container In the ultrasonic leak detection method for detecting
From the ultrasonic reception signal, visualize the shape of the container from the structure in the container, and measure the leakage of the liquid from the temporal change in the distribution of the plurality of bubble groups generated in the container. An ultrasonic leak detection method characterized by the above.
請求項7に記載の超音波式漏洩検知方法において、
前記気泡を一時的或いは断続的に一定間隔発生させ、漏洩箇所から漏洩する気泡群の分布を計測することで液体の漏洩を測定することを特徴とする超音波式漏洩検知方法。
In the ultrasonic leak detection method according to claim 7,
An ultrasonic leak detection method characterized in that the leak of liquid is measured by generating the bubbles temporarily or intermittently at regular intervals and measuring the distribution of the bubble group leaking from the leak location.
請求項7又は8に記載の超音波式漏洩検知方法において、
気泡発生と同期し、かつ、時間的に繰り返す信号と同期して気泡群の分布を計測することを特徴とする超音波式漏洩検知方法。
The ultrasonic leak detection method according to claim 7 or 8,
An ultrasonic leak detection method, wherein the bubble group distribution is measured in synchronization with a bubble generation and in synchronization with a signal that repeats in time.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6468790B2 (en) * 2014-10-21 2019-02-13 日立Geニュークリア・エナジー株式会社 Ultrasonic leak detection device and leak detection method using the same
CN104568333A (en) * 2015-01-26 2015-04-29 深圳市远望工业自动化设备有限公司 Box ultrasonic leakage testing device
JP2017102021A (en) * 2015-12-02 2017-06-08 昭彦 赤尾 Measurement object state determination method and measurement object state determination device
JP7208935B2 (en) * 2020-01-17 2023-01-19 日立Geニュークリア・エナジー株式会社 Measuring method and measuring device
CN112325776A (en) * 2020-11-04 2021-02-05 陈艳 Method and system for detecting bubble tracks of different liquid turbidity degrees based on artificial intelligence
CN115077804B (en) * 2022-08-18 2022-11-18 普兰特换热设备(溧阳)有限公司 Intelligent air tightness detection device for heat exchanger production

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06105240B2 (en) * 1988-04-19 1994-12-21 ダイキン工業株式会社 Air bubble detector
JP4630399B2 (en) * 2005-08-11 2011-02-09 中道鉄工株式会社 Ultrasonic leak position detector
JP4232183B2 (en) * 2005-09-05 2009-03-04 徳島県 Airtight inspection method and apparatus
JP2010216820A (en) * 2009-03-13 2010-09-30 Tokyo Electric Power Co Inc:The Device and method for investigating negative pressure piping system
JP2011169599A (en) * 2010-02-16 2011-09-01 Hitachi-Ge Nuclear Energy Ltd Ultrasonic flaw detection system and ultrasonic flaw detection method

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