JP5733994B2 - ピストン - Google Patents
ピストン Download PDFInfo
- Publication number
- JP5733994B2 JP5733994B2 JP2011010084A JP2011010084A JP5733994B2 JP 5733994 B2 JP5733994 B2 JP 5733994B2 JP 2011010084 A JP2011010084 A JP 2011010084A JP 2011010084 A JP2011010084 A JP 2011010084A JP 5733994 B2 JP5733994 B2 JP 5733994B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piston
- region
- fixing plate
- seal member
- cup packing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000012856 packing Methods 0.000 claims description 97
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 22
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 17
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000994 depressogenic effect Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B53/00—Component parts, details or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B23/00 or F04B39/00 - F04B47/00
- F04B53/14—Pistons, piston-rods or piston-rod connections
- F04B53/143—Sealing provided on the piston
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
- F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05B—INDEXING SCHEME RELATING TO WIND, SPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS, TO MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS COVERED BY SUBCLASSES F03B, F03D AND F03G
- F05B2240/00—Components
- F05B2240/57—Seals
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05B—INDEXING SCHEME RELATING TO WIND, SPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS, TO MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS COVERED BY SUBCLASSES F03B, F03D AND F03G
- F05B2250/00—Geometry
- F05B2250/70—Shape
- F05B2250/71—Shape curved
- F05B2250/711—Shape curved convex
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05B—INDEXING SCHEME RELATING TO WIND, SPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS, TO MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS COVERED BY SUBCLASSES F03B, F03D AND F03G
- F05B2250/00—Geometry
- F05B2250/70—Shape
- F05B2250/71—Shape curved
- F05B2250/712—Shape curved concave
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05B—INDEXING SCHEME RELATING TO WIND, SPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS, TO MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS COVERED BY SUBCLASSES F03B, F03D AND F03G
- F05B2260/00—Function
- F05B2260/30—Retaining components in desired mutual position
- F05B2260/301—Retaining bolts or nuts
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S417/00—Pumps
Description
上記ピストン本体は、シリンダにストローク可能に嵌挿され、ストローク方向に対して垂直な第1の面を有する。
上記シール部材は、上記第1の面に装着され、上記シリンダと上記ピストン本体の間をシールする。
上記シール部材固定板は、上記ピストン本体に固定され、上記シール部材を上記第1の面との間で挟持するシール部材固定板であって、上記第1の面に対向し上記シール部材に当接する第2の面とその反対側の第3の面を有し、上記第2の面は中央側の第1の領域と周縁側の第2の領域とを有し、上記第1の領域は上記シール部材を第1の押圧力で押圧し、上記第2の領域は上記シール部材を上記第1の押圧力より大きい第2の押圧力で押圧する。
上記締結部は、上記シール部材固定板を上記ピストン本体に締結する。
上記ピストンは、シリンダにストローク可能に嵌挿されストローク方向に対して垂直な第1の面を有するピストン本体と、上記第1の面に装着され上記シリンダと上記ピストン本体の間をシールするシール部材と、上記ピストン本体に固定され上記シール部材を上記第1の面との間で挟持するシール部材固定板であって上記第1の面に対向し上記シール部材に当接する第2の面とその反対側の第3の面を有し記第2の面は中央側の第1の領域と周縁側の第2の領域とを有し上記第1の領域は上記シール部材を第1の押圧力で押圧し上記第2の領域は上記シール部材を上記第1の押圧力より大きい第2の押圧力で押圧するシール部材固定板と、上記シール部材固定板を上記ピストン本体に締結する締結部とを有する。
上記排気経路は、上記シリンダに接続され、上記ピストンのストロークにより排気される。
上記ピストン本体は、シリンダにストローク可能に嵌挿され、ストローク方向に対して垂直な第1の面を有する。
上記シール部材は、上記第1の面に装着され、上記シリンダと上記ピストン本体の間をシールする。
上記シール部材固定板は、上記ピストン本体に固定され、上記シール部材を上記第1の面との間で挟持するシール部材固定板であって、上記第1の面に対向し上記シール部材に当接する第2の面とその反対側の第3の面を有し、上記第2の面は中央側の第1の領域と周縁側の第2の領域とを有し、上記第1の領域は上記シール部材を第1の押圧力で押圧し、上記第2の領域は上記シール部材を上記第1の押圧力より大きい第2の押圧力で押圧する。
上記締結部は、上記シール部材固定板を上記ピストン本体に締結する。
上記ピストンは、シリンダにストローク可能に嵌挿されストローク方向に対して垂直な第1の面を有するピストン本体と、上記第1の面に装着され上記シリンダと上記ピストン本体の間をシールするシール部材と、上記ピストン本体に固定され上記シール部材を上記第1の面との間で挟持するシール部材固定板であって上記第1の面に対向し上記シール部材に当接する第2の面とその反対側の第3の面を有し記第2の面は中央側の第1の領域と周縁側の第2の領域とを有し上記第1の領域は上記シール部材を第1の押圧力で押圧し上記第2の領域は上記シール部材を上記第1の押圧力より大きい第2の押圧力で押圧するシール部材固定板と、上記シール部材固定板を上記ピストン本体に締結する締結部とを有する。
上記排気経路は、上記シリンダに接続され、上記ピストンのストロークにより排気される。
図1は、本発明の一実施形態に係る揺動ピストン型真空ポンプ(以下、真空ポンプ)1を示す模式図である。真空ポンプ1は、例えば真空チャンバ等に接続され、これを真空排気するためのものである。
図3はピストン5を示す分解図であり、図4はピストン5を示す断面図である。図5はピストン5の各部材をシリンダ6側からみた平面図である。図2乃至図5に示すように、ピストン5は、ピストン本体51、カップパッキン52及びカップパッキン固定板53によって構成されている。ピストン本体51にカップパッキン52が載置され、カップパッキン固定板53がカップパッキン52を介してピストン本体51に固定されることにより、カップパッキン52がピストン本体51とカップパッキン固定板53によって挟持されている。カップパッキン固定板53は、カップパッキン固定板53の中央部からピストン本体51の中央に向かって挿通された1本のネジ54がピストン本体51に締結されることによってピストン本体51に固定されている。なお、ネジ54は複数本とすることも可能であるが、本実施形態に係るピストン5は、カップパッキン52の固定を確実とすることができるため、1本とすることが可能である。
真空ポンプ1の動作について説明する。なお、ここでは、真空ポンプ1の一基の気筒について説明するが、他の気筒についても動作は同様である。図11はピストン5の揺動運動を示す模式図である。図11(a)、図11(b)、図11(c)、図11(d)の順にピストン5が駆動され、再び図11(a)に示す状態に戻る。
5…ピストン
51…ピストン本体
52…カップパッキン
53…カップパッキン固定板
54…ネジ
Claims (4)
- シリンダにストローク可能に嵌挿され、ストローク方向に対して垂直な第1の面を有するピストン本体と、
前記第1の面に装着され、前記シリンダと前記ピストン本体の間をシールするシール部材と、
前記ピストン本体に固定され、前記シール部材を前記第1の面との間で挟持するシール部材固定板であって、前記第1の面に対向し前記シール部材に当接する第2の面とその反対側の第3の面を有し、前記第2の面は中央側の第1の領域、周縁側の第2の領域及び前記第1の領域と前記第2の領域の間の第3の領域を有し、前記第1の領域は前記シール部材を第1の押圧力で押圧し、前記第2の領域は前記第1の領域より前記第1の面側に突出し、前記シール部材を前記第1の押圧力より大きい第2の押圧力で押圧し、前記第3の領域は前記第1の領域より前記第3の面側に窪み、前記シール部材を前記第1の押圧力より小さい第3の押圧力で押圧するシール部材固定板と、
前記シール部材固定板を前記ピストン本体に締結する締結部と
を具備するピストン。 - 請求項1に記載のピストンであって、
前記締結部は、前記シール部材固定板の中心から前記ピストン本体に挿通されたネジである
ピストン。 - 請求項1に記載のピストンであって、
前記シール部材は、前記第1の面と前記第2の面とによって挟持されるサポート部と、前記サポート部の周縁に設けられ、前記シリンダに当接するリップ部とを有するカップパッキンである
ピストン。 - 請求項1に記載のピストンであって、
前記ピストンは、前記シリンダ内を揺動運動する
ピストン。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011010084A JP5733994B2 (ja) | 2011-01-20 | 2011-01-20 | ピストン |
TW100149171A TWI465641B (zh) | 2011-01-20 | 2011-12-28 | 活塞及真空泵浦 |
KR1020120000503A KR101266233B1 (ko) | 2011-01-20 | 2012-01-03 | 피스톤 및 진공 펌프 |
CN201210003851.2A CN102606447B (zh) | 2011-01-20 | 2012-01-06 | 活塞以及真空泵 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011010084A JP5733994B2 (ja) | 2011-01-20 | 2011-01-20 | ピストン |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012149596A JP2012149596A (ja) | 2012-08-09 |
JP5733994B2 true JP5733994B2 (ja) | 2015-06-10 |
Family
ID=46524121
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011010084A Active JP5733994B2 (ja) | 2011-01-20 | 2011-01-20 | ピストン |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5733994B2 (ja) |
KR (1) | KR101266233B1 (ja) |
CN (1) | CN102606447B (ja) |
TW (1) | TWI465641B (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20170040517A (ko) | 2015-10-05 | 2017-04-13 | 강정봉 | 족욕기의 설치구조 |
KR102208359B1 (ko) * | 2019-05-07 | 2021-01-27 | 이기춘 | 피스톤 펌프 |
KR102219894B1 (ko) * | 2020-08-05 | 2021-02-24 | 이기춘 | 피스톤 펌프 |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5743170A (en) * | 1996-03-27 | 1998-04-28 | Wilden Pump & Engineering Co. | Diaphragm mechanism for an air driven diaphragm pump |
JP3742164B2 (ja) * | 1996-11-19 | 2006-02-01 | 株式会社日立製作所 | 往復動圧縮機 |
JPH10162580A (ja) * | 1996-11-29 | 1998-06-19 | Mitsubishi Electric Corp | スタティック型半導体記憶装置とその動作方法 |
CN2303098Y (zh) * | 1997-03-24 | 1999-01-06 | 韦炳良 | 新型气筒活塞 |
US5921755A (en) * | 1997-04-21 | 1999-07-13 | Dry Vacuum Technologies, Inc. | Dry vacuum pump |
US6183211B1 (en) * | 1999-02-09 | 2001-02-06 | Devilbiss Air Power Company | Two stage oil free air compressor |
CN2405039Y (zh) * | 1999-09-24 | 2000-11-08 | 刘志刚 | 泥浆泵活塞总成 |
JP2003328938A (ja) * | 2002-05-14 | 2003-11-19 | Ulvac Kiko Inc | 真空ポンプ |
EP1511524B1 (en) * | 2002-05-24 | 2015-02-25 | Baxter International Inc. | Automated dialysis system |
TWM245311U (en) * | 2003-10-22 | 2004-10-01 | Viva Entpr Co Ltd | Improved structure for small-scale air compressor |
US7063517B2 (en) * | 2004-06-16 | 2006-06-20 | Ingersoll-Rand Company | Valve apparatus and pneumatically driven diaphragm pump incorporating same |
JP5112634B2 (ja) * | 2005-02-28 | 2013-01-09 | 株式会社日立産機システム | 揺動型圧縮機 |
GB2426556B (en) * | 2005-05-17 | 2010-06-09 | Thomas Industries Inc | Pump improvements |
JP2008248813A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Hitachi Ltd | 往復動圧縮機 |
CN101100989B (zh) * | 2007-07-30 | 2010-11-03 | 常州富林中电工贸有限公司 | 隔膜泵 |
JP2010084577A (ja) | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Hitachi Ltd | 揺動式圧縮機 |
CN101749226A (zh) * | 2008-12-11 | 2010-06-23 | 中集车辆(集团)有限公司 | 混凝土泵用砼活塞 |
CN101560966B (zh) * | 2009-05-11 | 2010-08-18 | 赵宽学 | 一种用压缩空气驱动的流体泵 |
JP5617196B2 (ja) * | 2009-07-02 | 2014-11-05 | マックス株式会社 | 多段圧縮機 |
CN201461306U (zh) * | 2009-08-03 | 2010-05-12 | 李天顺 | 油气回收真空泵 |
CN201517481U (zh) * | 2009-10-21 | 2010-06-30 | 浙江鸿友压缩机制造有限公司 | 一种凸轮约束往复活塞式压缩机 |
CN201650658U (zh) * | 2010-02-11 | 2010-11-24 | 杨勋 | 真空泵 |
CN101832252B (zh) * | 2010-05-05 | 2011-09-07 | 奉化市天风汽车空压机有限公司 | 汽车水冷空气压缩机 |
-
2011
- 2011-01-20 JP JP2011010084A patent/JP5733994B2/ja active Active
- 2011-12-28 TW TW100149171A patent/TWI465641B/zh active
-
2012
- 2012-01-03 KR KR1020120000503A patent/KR101266233B1/ko active IP Right Grant
- 2012-01-06 CN CN201210003851.2A patent/CN102606447B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI465641B (zh) | 2014-12-21 |
KR20120084664A (ko) | 2012-07-30 |
JP2012149596A (ja) | 2012-08-09 |
KR101266233B1 (ko) | 2013-05-21 |
CN102606447B (zh) | 2015-04-01 |
TW201231816A (en) | 2012-08-01 |
CN102606447A (zh) | 2012-07-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9057366B2 (en) | Diaphragm pump | |
JP5563872B2 (ja) | 往復動圧縮機 | |
JP5617196B2 (ja) | 多段圧縮機 | |
US7669516B2 (en) | Cylinder-piston arrangement | |
JP4165603B2 (ja) | 揺動ピストン式往復動圧縮機 | |
JP5733994B2 (ja) | ピストン | |
JP6039073B2 (ja) | 流体機械 | |
JP2008248813A (ja) | 往復動圧縮機 | |
JP5233406B2 (ja) | 密閉型圧縮機 | |
JP5817875B2 (ja) | 多段圧縮機 | |
JP2013253699A (ja) | 高圧対応のロッキングピストン | |
JP2003161260A (ja) | 往復動圧縮機 | |
JP5993644B2 (ja) | 往復動圧縮機 | |
JPWO2017216875A1 (ja) | ロータリー圧縮機 | |
JP6101469B2 (ja) | 空気圧縮機 | |
JP5453209B2 (ja) | 負圧型ダイヤフラムポンプ | |
JP5931000B2 (ja) | 圧縮機 | |
JP7382165B2 (ja) | ダイヤフラムポンプ用弁の取付構造 | |
JP5075807B2 (ja) | 揺動型圧縮機 | |
JP2009243342A (ja) | 往復動圧縮機 | |
JP2008248812A (ja) | 往復動圧縮機 | |
JP2010084577A (ja) | 揺動式圧縮機 | |
JP2015132267A (ja) | 多段圧縮機 | |
JP6129708B2 (ja) | 圧縮機 | |
JP5725093B2 (ja) | 高圧対応のロッキングピストン |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131106 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140909 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140916 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141010 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150324 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150414 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5733994 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |