JP5717541B2 - 圧力測定装置 - Google Patents
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Description
図3において、1はシリコンセンサからなる検出部、2は保護部であり、これらは導圧路3a,3bを介して連結されている。検出部1は測定すべき差圧を電気信号に変換して出力し、保護部2は導入圧力に対して検出部1を保護する。この検出部1の構成は周知のとおりであるから説明は省略する。
以上のことは、左側のボディ4aについても実質的に同様である。
そして、各接液ダイヤフラム6a,6bと接する空間7a、7b導圧路3a,3bからなる空間には、それぞれ圧力伝達用流体としてのシリコンオイル(封入液)が充填される。
接液ダイヤフラムで受けた圧力を封入液を介して伝えている。そのため、測定装置の姿勢が変わると検出部1の受圧部(図示省略)に封入液の質量による圧力が変化する構造となっている。
程度の誤差となっている。この例ではフルスパンの130kPaに対する誤差は、
(0.11+0.16)/130=0.0020769となり、プラス・マイナスそれぞれの側の変化は0.1%程度となっている。
が形成され該凹部を覆うと共に周縁が固定された接液ダイヤフラムと、前記本体内または
本体の近傍に形成された圧力検出部と、前記凹部と圧力検出部を連結して形成された導圧
路と、前記凹部および導圧路に封入された封入液からなる圧力測定装置において、前記本
体内または本体の近傍に該本体の傾きを検出する傾斜検出手段を設け、前記圧力検出部と
傾斜検出手段の出力に基づいて前記圧力検出部の出力を、
前記センターダイヤフラムの平面が重力に対して直角に傾いた状態を誤差の最大値とし
、センターダイヤフラムの平面が重力に対して任意角度θに傾斜した状態の前記圧力検出
部出力を前記最大値に任意角度θを乗算した値で補正する補正演算手段を設けたことを特徴とする。
斜検出手段の出力に基づいて前記圧力検出部の出力を補正する補正演算手段を設けたので
傾斜による誤差のない圧力測定装置を実現することができる。
図2において、5は図3に示すセンターダイヤフラムであり、重力の方向Aに対してθ度傾いた状態を示している。Bは装置の姿勢に基づいて生じる測定誤差を示すもので、
「封入液の質量×sinθに比例した力」として表すことができる。
そして、θ<0の場合 補正値=(測定値−OFF0)−OFF+90×sinθ
θ>0の場合 補正値=(測定値−OFF0)+ OFF−90×sinθ
を演算手段12により演算する。
従って本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形を含むものである。
2 保護部
3 導圧路
4 ボディ
5 センターダイヤアラム
6 接液ダイヤアラム
7、8 空間
10 振動式センサ
11 傾斜センサ
12 演算手段
13 表示手段
Claims (1)
- 中央部にセンターダイヤフラムが形成された本体と、該本体の両側面にすり鉢状の凹部
が形成され該凹部を覆うと共に周縁が固定された接液ダイヤフラムと、前記本体内または
本体の近傍に形成された圧力検出部と、前記凹部と圧力検出部を連結して形成された導圧
路と、前記凹部および導圧路に封入された封入液からなる圧力測定装置において、前記本
体内または本体の近傍に該本体の傾きを検出する傾斜検出手段を設け、前記圧力検出部と
傾斜検出手段の出力に基づいて前記圧力検出部の出力を、
前記センターダイヤフラムの平面が重力に対して直角に傾いた状態を誤差の最大値とし
、センターダイヤフラムの平面が重力に対して任意角度θに傾斜した状態の前記圧力検出
部出力を前記最大値に任意角度θを乗算した値で補正する補正演算手段を設けたことを特徴とする圧力測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011118029A JP5717541B2 (ja) | 2011-05-26 | 2011-05-26 | 圧力測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011118029A JP5717541B2 (ja) | 2011-05-26 | 2011-05-26 | 圧力測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2012247252A JP2012247252A (ja) | 2012-12-13 |
JP5717541B2 true JP5717541B2 (ja) | 2015-05-13 |
Family
ID=47467833
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2011118029A Active JP5717541B2 (ja) | 2011-05-26 | 2011-05-26 | 圧力測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5717541B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59131036U (ja) * | 1983-02-22 | 1984-09-03 | 横河電機株式会社 | 差圧測定装置 |
JPH08219919A (ja) * | 1995-02-17 | 1996-08-30 | Fuji Electric Co Ltd | 差圧検出装置 |
-
2011
- 2011-05-26 JP JP2011118029A patent/JP5717541B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012247252A (ja) | 2012-12-13 |
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