JP5716246B2 - 導波管用小型熱弾性アクチュエータ、位相安定性を有する導波管及びかかるアクチュエータを備える多重化装置 - Google Patents

Description

本発明は、導波管用小型熱弾性アクチュエータ、位相安定性を有する導波管及びかかるアクチュエータを備える多重化装置に関する。本発明は、特に、温度変動を受ける導波管の体積変化の補償に適用され、より詳細には、人工衛星の宇宙機器に組み込まれるマルチプレクサの導波管に適用される。

特に宇宙機器に組み込まれるＯＭＵＸ（出力マルチプレクサ）とも称されるマルチプレクサ又はデマルチプレクサは、著しい温度変動を受ける。このようなＯＭＵＸは、概して、マニホルドとも称される少なくとも１つの導波管によって互いに連結された多数のチャネルを備える。温度変動に起因して導波管の寸法が変動すると、ＯＭＵＸチャネルの接続ポート間の幾何学的距離に差が生じ、導波に位相のずれが引き起こされる。このような位相のずれは機器の誤動作につながり、例えばＯＭＵＸチャネルの不整合が起こり得る。

この問題を解消するため、チタン又は鉄とニッケルとの合金、例えばＩｎｖａｒ（登録商標）などの、熱膨張係数ＣＴＥの低い材料で導波管を作製することが知られている。しかしながら、宇宙機器は概して熱膨張係数の高いアルミニウムなどの低密度材料で作製されるため、低ＣＴＥの導波管を備えるアセンブリは、温度変動時に構造間に著しい機械的応力を引き起こし、それが誤動作につながり得る。

文献米国特許第５ ４２８ ３２３号明細書は、位相安定性を確保するため、その幅の狭い２つの側壁に変形を加えることによって矩形断面の導波管の熱膨張を補償する方法について記載している。この変形は間隔保持部品によって加えられる。間隔保持部品は、短辺と直交し、導波管の短辺と導波管の周囲に配置された低ＣＴＥの固定構造との間に固定されている。温度変動が生じると、間隔保持部品が伸長又は収縮して短辺を直交方向に引き込み、又は押し込み、それにより導波管の短辺が、それらの短辺と直交する軸に沿って変形を強いられる。しかしながら、この技術は、導波管の周囲に配置される固定構造を使用する必要がある。

文献欧州特許第１ ９０９ ３５５号明細書は、位相安定性を有する別の導波管アセンブリについて記載しており、ここでは、温度変動の作用を受けるとレバー機構が旋回軸の周りに回転作動し、導波管の短辺を直交方向に引き込む、又は押し込むことにより、温度による導波管のより大きい寸法変動を補償することが可能となる。しかしながら、このアセンブリは複雑でかさ高く、特に、小型のヘリングボーン構造で、それに従いチャネルが導波管の両側にジグザグに配置される状況では、隣接するチャネル及び導波管に近接するＯＭＵＸの機械的インタフェースの位置決めが妨げられ得る。

文献加国特許第２ ４３２ ８７６号明細書は、位相安定性を有する別の導波管アセンブリについて記載しており、ここで導波管の短辺は、湾曲した初期長さを有するとともに、湾曲した各短辺のいずれの側面にも低ＣＴＥの複数のプレートを横方向に導波管に沿って並べて配設することにより、導波管の横方向に拘束されている。短辺の膨張又は収縮は横方向プレートによって制限され、一方、長辺は自由に膨張又は収縮することができる。このアセンブリは、導波管の短辺を予め湾曲させると同時に、導波管の上部及び下部に対し横方向に対称にリブを形成する必要があり、従って導波管及び導波管に近接したＯＭＵＸの機械的インタフェースに対してチャネルを位置決めするためのマージンが減少するという欠点を有する。

米国特許第５ ４２８ ３２３号 欧州特許第１ ９０９ ３５５号 加国特許第２ ４３２ ８７６号

本発明の目的は、導波管の位相安定性を確保することが可能で、且つ既存の装置の欠点を含まない、導波管用の熱弾性アクチュエータを作製することである。特に、本発明は、簡単に実現することができ、フットプリントが小さく、導波管及びチャネルに近接する占有体積を最小限に抑えるよう最適化され、特に、垂直構造のＯＭＵＸ技術に適した、導波管用の熱弾性アクチュエータに関する。

従って、本発明は、第１の熱膨張係数を有する第１の材料で作製された少なくとも２つの同一の応力部品と、第１の材料とは異なる第２の材料で作製され、且つ第１の熱膨張係数より低い第２の熱膨張係数を有する固定部品とを備える導波管用小型熱弾性アクチュエータに関し、これは、応力部品が、２つの端部、すなわち外端部と内端部との間に長手方向Ｙに沿って延在する長さを有し、いずれかの応力部品の内端部近傍の少なくとも一部と、他の応力部品の内端部近傍の少なくとも一部とが、相互に近接して配置され、且つ前記長手方向軸Ｙに沿って互いに対して直線的にオフセットされていることと、固定部品が、２つの端部、すなわち上端部及び下端部と、その２つの上端部と下端部との間にある固定部品の中心領域に位置する中央領域とを有し、固定部品のそれらの端部、すなわち上端部及び下端部が、それぞれ各応力部品の外端部に連結され、且つ各応力部品の内端部が、固定部品の中央領域の下側に位置決めされることとを特徴とする。

有利には、長手方向軸Ｙに沿った応力部品の互いに対する直線的オフセットは、その長さの半分に等しい。

有利には、応力部品は線条状であり、例えば長手バーであってもよい。

好ましくは、応力部品は軸対称である。応力部品は、例えば、少なくとも２つの爪部を有するフォークの形態の内端部を含んでもよい。

特定の実施形態において、アクチュエータは、少なくとも４つの応力部品を含み、該応力部品がそれぞれ対を構成して、一方の応力部品の内端部近傍の少なくとも一部と、他方の応力部品の内端部近傍の少なくとも一部とが、相互に近接して配置され、同じ方向に取り付けられた隣接する応力部品のフォークの爪部は、交差して互いに重なり合う。

有利には、各爪部は固定点を含み、同一の方向に取り付けられた２つの隣接する応力部品に属する交差した２つの爪部の固定点が、共に連結される。

本発明はまた、２つの長辺と２つの対向する短辺とを有する矩形横断面を備え、且つそれぞれ導波管の２つの対向する短辺上に、長辺の延長部として対称に位置する、それぞれ上部リブと下部リブである、少なくとも２つの外側長手方向リブであって、短辺の中央軸に対してオフセットされている２つのリブを備える、位相安定性を有する導波管にも関し、導波管は少なくとも１つの小型熱弾性アクチュエータを備え、アクチュエータは、矩形導波管の長辺と平行に位置決めされるその長手方向軸を有し、中央領域の下側に位置するアクチュエータの応力部品の内端部は、それぞれ、導波管の外側長手方向リブに固定される。

最後に、本発明は、少なくとも１つの位相安定性を有する導波管を備える多重化装置に関する。

本発明の他の特定の特徴及び利点は、添付の図式的な図面を参照して単に例示的且つ非限定的な例として示される後述の説明から、明確に分かるであろう。

本発明に係る、第１の例示的な導波管用小型熱弾性アクチュエータの分解図である。 本発明に係る、第１の例示的な導波管用小型熱弾性アクチュエータの斜視図である。 本発明に係る、第２の例示的な導波管用小型熱弾性アクチュエータの斜視図である。 本発明に係る、第２の例示的な導波管用小型熱弾性アクチュエータを背面側から見た図である。 本発明に係る、図２の小型熱弾性アクチュエータが装着された、周囲温度で矩形断面を有する導波管の横断面図である。 本発明に係る、温度が上昇したときの図４の導波管の断面図である。 本発明に係る、温度が上昇したときの図４の導波管の斜視図である。 本発明に係る、複数の小型熱弾性アクチュエータが装着された矩形導波管の斜視図である。アクチュエータは全て、導波管の同じ側に配設されている。 本発明に係る、複数の小型熱弾性アクチュエータが装着された矩形導波管の斜視図である。アクチュエータは全て、導波管の同じ側に配設されている。 本発明に係る、複数の小型熱弾性アクチュエータが装着された矩形導波管の斜視図である。導波管が複数のジグザグリブを備え、アクチュエータが導波管の２つの側面に対してジグザグ式に位置決めされている。 本発明に係る、垂直トポロジーのチャネルを有する２つの例示的マルチプレクサの斜視図である。 本発明に係る、垂直トポロジーのチャネルを有する２つの例示的マルチプレクサの横断面図である。

図１及び図２に示される第１の例示的アクチュエータ並びに図３ａ及び図３ｂに示される第２の例示的アクチュエータは、長手方向軸Ｙに沿って細長い形態であり、第１の熱膨張係数ＣＴＥ１を有する第１の材料で作製された偶数の同一の応力部品１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ、３０ａ、３０ｂと、第１の材料とは異なる第２の材料で作製され、且つ第１の熱膨張係数ＣＴＥ１より低い第２の熱膨張係数ＣＴＥ２を有する固定部品１１、３１とを含む。例えば、第１の材料は、アルミニウムなどの熱膨張係数が高い熱伝導性材料であり、第２の材料は、チタン又は鉄とニッケルとの合金、例えばＩｎｖａｒなどの熱膨張係数が低い材料である。応力部品１０ａ〜１０ｄ、３０ａ、３０ｂ、及び固定部品１１、３１は、長手方向軸Ｙに沿って細長い形態であり、図１及び図２のとおり、長手方向軸Ｙに対して軸対称性を有し得る。応力部品は線条状であり、例えば、図３ａ及び図３ｂのとおり、幅が狭く、且つ厚さが薄い実質的に直線状のバーであってもよく、又は図１及び図２のとおり、２つの爪部を有するフォークの形態の端部を有してもよく、又は方向Ｙに細長く、且つ好ましくは方向Ｙと直交する方向Ｘ及びＺにおいて直線状の、軸Ｙに対して軸対称な任意の他の形態を有してもよい。応力部品の長さ及び厚さは、用途によって幅広く異なる値を有し得る。非限定的な例として、応力部品は数ミリメートル厚及び数センチメートル長であってもよく、又は１０倍、さらにはそれ以上異なる値であってもよい。

応力部品１０ａ、１０ｂ又は１０ｃ、１０ｄ又は３０ａ、３０ｂの取り付けは、同一の平面ＸＹ上にヘッドツーテールで（一方の応力部品１０ａ、１０ｃ、３０ａの内端部１２及び１３、１２及び１３、３２近傍の少なくとも一部と、他方の応力部品１０ｂ、１０ｄ、３０ｂの内端部１３及び１２、１３及び１２、３２近傍の少なくとも一部とが、相互に近接して配置されること。以降も同様とする）隣り合って並び、且つ、互いに逆向きに向かい合わせで取り付けられた２つの応力部品が、長手方向軸Ｙに沿って、その長さのほぼ半分に等しい距離だけ互いに対して直線的にオフセットされるような形で行われる。各応力部品は、アクチュエータ１５、３５の中央領域１４、３４に配置される内端部１２、１３、３２と、外端部１６、３６とを有し、内端部１２、１３、３２及び外端部１６、３６には固定点が設けられる。図１及び図２に示される、応力部品が２つの爪部１７、１８を備えたフォークの形態の内端部を有する例では、同じ方向に装着された隣接する別々の応力部品１０ａ、１０ｃ、又は逆方向に装着された隣接する別々の応力部品１０ｂ、１０ｄに属するフォークの爪部１７、１８が、アクチュエータ１５の中央領域１４において交差して互いに重なり合う。この場合、同一の方向に装着される２つの応力部品１０ａ、１０ｃに属する交差した爪部のうち最も内側の２つが、それらの固定点で共に連結され、これは、逆方向に取り付けられる２つの応力部品１０ｂ、１０ｄにも同じく適用される。固定部品１１、３１は、２つの対向する端部、それぞれ上端部２０、３７及び下端部２１、３８と、２つの上端部と下端部との間に位置する中央領域とを有し、固定部品１１、３１の中央領域は、アクチュエータ１５、３５の中央領域１４、３４に対応する。固定部品は、固定部品１１、３１の中央領域１４、３４が応力部品の内端部１２、１３、３２を少なくとも部分的に被覆し、且つその２つの対向する端部２０、２１、３７、３８が応力部品の外端部１６、３６の固定点に固定されるように、応力部品の正面に取り付けられる。固定部品１１、３１は、その長さと比べて厚さが小さく、固定部品の長さ及び厚さは、応力部品の長さ及び厚さと同程度であり、例えば図３ａ及び図３ｂに示されるとおり、応力部品の幅以上の幅を有する中央領域１４、３４であって、固定部品の厚さに形成された、応力部品の内端部１２、１３、３２の固定点に向かい合う側面の空洞３９、４０が設けられた中央領域１４、３４を備える実質的に平坦で非対称な形状を有してもよい。或いは、及び好ましくは、固定部品は、図１及び図２に示されるとおり、応力部品の爪部の端部に位置するアクチュエータの固定点にアクセス可能とするための中心の空洞２２を備える中央領域を備える対称的な形状を有してもよい。固定部品１１、３１は、長手方向Ｙに細長く、応力部品の内端部を少なくとも部分的に被覆する中央領域と、応力部品の外端部の固定点に固定される２つの対向する端部とを備える他のいかなる形状を有してもよい。

図４は、周囲温度で矩形断面を有する導波管４１上にある図２の小型熱弾性アクチュエータのアセンブリの横断面図を示す。矩形導波管４１は、横断面でみると、対向する対になった２つの短辺４３ａ、４３ｂと２つの長辺４４とを含む。導波管はまた、それぞれ短辺４３ａ、４３ｂの各々の上に、長辺４４の延長部として対称に配置された２つの外側長手方向リブ４２ａ、４２ｂも含む。２つの外部リブ４２ａ、４２ｂは互いに平行で、短辺４３ａ、４３ｂの幅のほぼ半分にわたって延在し、短辺の中央軸に対してオフセットされている。リブ４２ａ、４２ｂは好ましくはブランクから切削され、従って導波管４１と一体である。導波管４１の短辺４３ａ、４３ｂは、長辺４４より薄い壁を有し、従ってこの壁はより可撓性が高く、引張力又は圧縮力の作用下で変形することができる。

アクチュエータ１５の中央領域１４は、矩形導波管４１の長辺４４の一方に固定されると同時に、それぞれ導波管４１の２つの対向する短辺４３ａ、４３ｂに位置する２つの長手方向リブ４２ａ、４２ｂにも固定される。この固定は、例えば、固定用ねじ４５を、応力部品１０ａ〜１０ｄの内端部１２、１３の固定点に形成されたねじ穴に嵌め込み、長手方向リブ４２ａ、４２ｂの一方又は他方に貫通させることによって行うことができる。応力部品１０ａ〜１０ｄの内端部１２、１３の底面は、導波管４１の長辺４４及びリブ４２ａ、４２ｂと接触する；応力部品１０ａ〜１０ｄの内端部１２、１３の正面は、固定部品１１の中央領域の背面側に配置される。アクチュエータ１５の幾何形状は軸対称で、且つ応力部品１０ａ〜１０ｄはヘッドツーテールで取り付けられるため、同一の方向に向いた応力部品１０ａ及び１０ｃの爪部１７、１８は同一のリブ４２ｂに連結され、反対方向に向いた応力部品１０ｂ及び１０ｄの爪部１７、１８は反対側のリブ４２ａに連結される。図１、図２及び図４に示される対称なアクチュエータの例では、各々が２つの爪部１７、１８を備える４つの応力部品１０ａ〜１０ｄは、対にしてヘッドツーテールで取り付けられ、２つの応力部品１０ａ、１０ｃが同一の方向に向き、ここでそれらの爪部は導波管４１の下部リブ４２ｂに固定され、他方の２つの応力部品が同一の逆方向に向き、ここでそれらの爪部は導波管４１の上部リブ４２ａに固定される。同一の方向に取り付けられる２つの応力部品に属する交差した爪部のうち最も内側の２つが、共に連結される；最も外側の２つの爪部は交差せず、一方のリブにのみ固定される。従って、同一の方向に向いた４つの爪部は、それぞれ、同一のリブに３つの異なる固定点で連結される。

図５ａ及び図５ｂは、温度が上昇したときの図４のアセンブリの２つの図を、それぞれ断面図及び斜視図で示す。温度が変化すると、高ＣＴＥの同一の材料、例えばアルミニウムで作製された導波管及びリブは膨張又は収縮し、これは、導波管内に伝播する電気的な波の位相のずれに反映される。好ましくは導電性の、高ＣＴＥ材料（これは導波管に用いられる材料と同一であっても、又は異なってもよい）で作製される応力部品は、連結用ねじを介して導波管のリブと連結され、従って導波管と同じ温度変動を受ける。従ってこれらの応力部品もまた、膨張又は収縮し得る。しかしながら、例えばＩｎｖａｒなどの低ＣＴＥ材料で作製された固定部品は、応力部品よりはるかに膨張が少なく、その初期長さに極めて近い長さを保ち、応力部品の外端部１６間をほぼ一定の距離に維持する。従って熱膨張係数ＣＴＥ１とＣＴＥ２との差が大きいことにより、上部リブに固定された応力部品と下部リブに固定された応力部品との間に相対的な運動を生じさせることが可能である。従って応力部品の膨張又は収縮は、応力部品１０ａ〜１０ｂの内端部に位置するフォークの爪部１７、１８が交差して移動することに反映される。爪部は互いに対して対称に移動し、屈曲して、連結用ねじを介して導波管のリブに圧縮力又は引張力を加える。リブに対する引張力又は圧縮力は、リブそれ自体の回転運動に反映され、導波管の短辺の変形をもたらす。アクチュエータ１５の幾何形状は軸対称で、爪部１７、１８は互いに対称に交差し、それぞれ３つの異なる固定点で２つの反対側にあるリブ４２ａ、４２ｂに連結されるため、力は双方のリブ４２ａ、４２ｂに対して同時に且つ対称に加えられる。同時に、応力部品の移動は、温度と、応力部品の２つの外端部間の長手方向長さと、応力部品の膨張係数とにも比例する。応力部品の外端部１６及び固定部品の端部２０、２１は、互いに対してのみ連結され、他の部品とは全く連結されない。４つの応力部品を使用することで、リブに対して力をより良好に分配し、且つ圧縮又は引張動作の伝達性を向上させることが可能となるが、また、図３ａ及び図３ｂに示されるとおり、よりかさ高い２つの応力部品のみを用いたり、又は４つより多い偶数の応力部品を用いたりすることも可能である。或いは、奇数の応力部品を用いることもまた可能である。

図６ａ、図６ｂ及び図６ｃは、複数の本発明に係る小型熱弾性アクチュエータが装着された矩形導波管の斜視図を示す。

図６ａ及び図６ｂでは、導波管は２つの外側長手方向リブ、すなわち上部リブ４２ａ及び下部リブ４２ｂを備え、これらのリブは、それぞれ、横断面で、導波管の矩形断面の２つの対向する短辺４３ａ、４３ｂに対応するその上壁及び下壁に固定されるか、又はブランクから切削されている。２つの上部及び下部リブは、上壁及び下壁の中央軸に対してオフセットしており、横断面で、矩形断面の長辺４４に対応する導波管の側面の延長部として対称に延在している。アクチュエータは、同一の側面に矩形導波管に沿って等間隔で配設され、応力部品１０ａ〜１０ｄを含む。応力部品１０ａ〜１０ｄは、それらの中央領域により、導波管の側面と平行に２つの上部リブ及び下部リブに固定されている。図６ｃでは、導波管は、ジグザグ状に配置された複数の上部リブ及び下部リブとその２つの側面に入力ポート６０とを備え、アクチュエータ１５は、導波管の２つの側面上、入力ポート６０の各々のいずれかの側にジグザグ状に配置される。

図７及び図８は、それぞれ、マイクロ波フィルタ６２を備えたＯＭＵＸとも称される２つの例示的なマルチプレクサを斜視図及び横断面図で示し、フィルタ６２の各々は、共通の矩形導波管４１のポート６０に連結された出力を有する。矩形導波管のポート６０は、矩形断面の長辺４４に対応するその２つの最も大きい側面に等間隔で形成される。フィルタ６２は互いに平行に配置され、共通の支持体６３に垂直に固定される。導波管は、その２つの側面のポートに連結された２列のフィルタ間に水平に配置される。図８の横断面図で熱弾性アクチュエータ１５を見ることができる。この図は、マイクロ波フィルタ６２が垂直に配置されると、フィルタ間において熱弾性アクチュエータ１５のために利用可能な空間が極めて制限されることを示している。本発明のアクチュエータは本質的に長手方向Ｙに延在し、他の方向においては極めてコンパクトであるため、２つの隣接するフィルタ間にアクチュエータを挿入することが容易に可能となり、この長手方向軸Ｙは、フィルタのチャネルの垂直軸と平行に設定される。

本発明は特定の実施形態に関して説明されたが、本発明は何ら限定されるものではなく、本発明の文脈の範囲内にあるならば、説明された手段のあらゆる技術的な等価物及びそれら組み合わせを含むことは十分に明らかであろう。

１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ、３０ａ、３０ｂ 応力部品
１１、３１ 固定部品
１２、１３、３２ 内端部
１４、３４ 中央領域
１５、３５ アクチュエータ
１６、３６ 外端部
１７、１８ 爪部
２０、３７ 上端部
２１、３８ 下端部
２２ 中心の空洞
３９、４０ 側面の空洞
４２ａ、４２ｂ 外側長手方向リブ
４３ａ、４３ｂ 短辺
４４ 長辺
４５ 固定用ねじ
６０ 入力ポート
６２ マイクロ波フィルタ
６３ 支持体
ＣＴＥ１ 第１の熱膨張係数
ＣＴＥ２ 第２の熱膨張係数
Ｙ 長手方向

Claims (13)

1. 第１の熱膨張係数ＣＴＥ１を有する第１の材料で作製された少なくとも２つの同一の応力部品（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ、３０ａ、３０ｂ）と、前記第１の材料とは異なる第２の材料で作製され、且つ前記第１の熱膨張係数ＣＴＥ１より低い第２の熱膨張係数ＣＴＥ２を有する固定部品（１１、３１）とを備え、温度変動を受ける導波管の体積変化を補償する導波管用小型熱弾性アクチュエータであって、前記応力部品（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ、３０ａ、３０ｂ）が、２つの端部、すなわち外端部（１６、３６）と内端部（１２、１３、３２）との間に長手方向軸Ｙに沿って延在する長さを有し、いずれかの応力部品（１０ａ、１０ｃ、３０ａ）の内端部（１２及び１３、１２及び１３、３２）近傍の少なくとも一部と、他の応力部品（１０ｂ、１０ｄ、３０ｂ）の内端部（１３及び１２、１３及び１２、３２）近傍の少なくとも一部とが、相互に近接して配置され、且つ前記長手方向軸Ｙに沿って互いに対して直線的にオフセットされていることと、前記固定部品が２つの端部、すなわち上端部及び下端部と、前記２つの上端部と下端部との間に位置する中央領域とを有し、前記固定部品（１１、３１）の前記上端部及び前記下端部が、それぞれ各応力部品（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ、３０ａ、３０ｂ）の前記外端部（１６、３６）に連結され、且つ各応力部品の前記内端部（１２、１３、３２）が、前記固定部品（１１、３１）の前記中央領域（１４、３４）の背面（前後方向は、前記導波管の長手方向及び前記長手方向軸Ｙに直交する方向）側に位置決めされることとを特徴とする、アクチュエータ。
2. 前記長手方向軸Ｙに沿った前記応力部品（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ、３０ａ、３０ｂ）の互いに対する前記直線的オフセットが、その長さの半分に等しいことを特徴とする、請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 前記応力部品（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ、３０ａ、３０ｂ）が線条状であることを特徴とする、請求項１に記載のアクチュエータ。
4. 前記応力部品（３０ａ、３０ｂ）が長手バーであることを特徴とする、請求項１に記載のアクチュエータ。
5. 前記応力部品（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ）が軸対称であることを特徴とする、請求項１に記載のアクチュエータ。
6. 前記応力部品（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ）が、少なくとも２つの爪部（１７、１８）を有するフォークの形態の内端部（１２、１３）を含むことを特徴とする、請求項５に記載のアクチュエータ。
7. 少なくとも４つの応力部品（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ）を含み、該応力部品がそれぞれ対（１０ａ及び１０ｂ、１０ｃ及び１０ｄ）を構成して、一方の応力部品（１０ａ、１０ｃ）の内端部（１２及び１３、１２及び１３）近傍の少なくとも一部と、他方の応力部品（１０ｂ、１０ｄ）の内端部（１３及び１２、１３及び１２）近傍の少なくとも一部とが、相互に近接して配置されることと、同じ方向に取り付けられた前記隣接する応力部品（１０ａ、１０ｃ又は１０ｂ、１０ｄ）のフォークの前記爪部（１７、１８）が交差して互いに重なり合うこととを特徴とする、請求項６に記載のアクチュエータ。
8. 各爪部（１７、１８）が固定点を含むことと、同一の方向に取り付けられた２つの隣接する応力部品（１０ａ、１０ｃ又は１０ｂ、１０ｄ）に属する交差した２つの爪部の前記固定点が共に連結されることとを特徴とする、請求項７に記載のアクチュエータ。
9. ２つの長辺（４４）と２つの対向する短辺（４３ａ、４３ｂ）とを有する矩形横断面を備え、且つそれぞれ前記導波管（４１）の前記２つの対向する短辺（４３ａ、４３ｂ）上に、前記長辺（４４）の延長部として対称に位置する、それぞれ上部リブ（４２ａ）と下部リブ（４２ｂ）である、少なくとも２つの外側長手方向リブを備える、位相安定性を有する導波管であって、請求項１〜８のいずれか一項に記載の少なくとも１つの小型熱弾性アクチュエータ（１５、３５）を備え、前記アクチュエータ（１５、３５）が、前記矩形導波管（４１）の長辺（４４）と平行に位置決めされるその長手方向軸Ｙを有し、前記アクチュエータの前記応力部品の前記内端部（１２、１３、３２）が、それぞれ、前記導波管（４１）の前記外側長手方向リブ（４２ａ、４２ｂ）に固定されることを特徴とする、位相安定性を有する導波管。
10. 前記導波管（４１）の同一の長辺（４４）に対して置かれた複数の小型熱弾性アクチュエータ（１５、３５）を備えることを特徴とする、請求項９に記載の位相安定性を有する導波管。
11. 前記導波管（４１）の前記２つの対向する短辺（４３ａ、４３ｂ）にジグザグ式に対称に配置された複数の上部及び下部外側長手方向リブを備えることと、複数の小型熱弾性アクチュエータ（１５、３５）を備え、前記熱弾性アクチュエータが前記導波管（４１）の前記長辺（４４）の各々に対してジグザグの形で置かれることとを特徴とする、請求項９に記載の位相安定性を有する導波管。
12. 各応力部品が少なくとも２つの爪部（１７、１８）を有するフォークの形態の内端部（１２、１３）を備えることと、同一のフォークの前記２つの爪部（１７、１８）が、それぞれ同じ下部リブ（４２ｂ）及び上部リブ（４２ａ）に取り付けられることとを特徴とする、請求項９に記載の位相安定性を有する導波管。
13. 少なくとも１つの、請求項９〜１２のいずれか一項に記載の位相安定性を有する導波管（４１）を備えることを特徴とする、多重化装置。

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