JP5716196B2 - 分光測定方法、散乱型近接場顕微鏡、及びチップ増強ラマンプローブの製造方法 - Google Patents
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Description
除去し、分光器で分光した後、液体窒素冷却CCDで検出することにより、局所的なラマ
ンスペクトルを得ることができる。
2 SiO2層(中間部)
3 Ag層(表面部)
101 カンチレバー
102 プローブ
103 試料
104 油浸オイル
105 対物レンズ
106 励起レーザ
107 散乱光
Claims (6)
- 散乱型近接場顕微鏡にてサンプルを分光測定する分光測定方法であって、
チップ増強ラマンプローブを用意するステップと、
前記サンプルに励起レーザ光を入射させるステップと、
前記チップ増強ラマンプローブのプローブを前記サンプルの表面に近接させるステップと、
前記プローブが近接した状態のサンプルに前記励起レーザ光を入射させることによって発生するラマン散乱光を分光して、測定するステップと、を備え、
前記チップ増強ラマンプローブは、SiO 2 層と金属からなる表面層との2層構造、又は、Si層と前記Si層上に形成されたSiO 2 層と金属からなる表面層との3層構造であり、
前記SiO2層が、前記プローブのプラズモン共鳴波長と前記励起レーザ光の波長とが等しくなる厚さになっている、分光測定方法。 - 散乱型近接場顕微鏡にてサンプルを分光測定する分光測定方法であって、
チップ増強ラマンプローブを用意するステップと、
前記サンプルに励起レーザ光を入射させるステップと、
前記チップ増強ラマンプローブを前記サンプルの表面に近接させるステップと、
前記チップ増強ラマンプローブが近接した状態のサンプルに前記励起レーザ光を入射させることによって発生するラマン散乱光を分光して、測定するステップと、を備え、
前記チップ増強ラマンプローブを用意するステップは、
シリコン製のプローブを用意するステップと、
前記プローブのシリコンを酸化させていき、所定の厚さのSiO 2 層を形成するステップと、
前記SiO 2 層の上に金属膜を形成するステップと、を備え、
前記所定の厚さのSiO 2 層を形成するステップでは、前記金属膜が形成されたプローブのプラズモン共鳴波長と、前記励起レーザの波長とが等しくなる厚さで前記SiO 2 層を形成している分光測定方法。 - 励起レーザと、先鋭化形状のチップ増強ラマンプローブとを有する散乱型近接場顕微鏡であって、
前記チップ増強ラマンプローブは、SiO 2 層と金属からなる表面層との2層構造、又は、Si層と前記Si層上に形成されたSiO 2 層と金属からなる表面層との3層構造であり、
前記SiO2層が、前記チップ増強ラマンプローブのプラズモン共鳴波長と前記励起レーザの波長とが等しくなる厚さになっている散乱型近接場顕微鏡。 - 散乱型近接場顕微鏡にてサンプルを分光測定する分光測定方法であって、
チップ増強ラマンプローブを用意するステップと、
前記サンプルに励起レーザ光を入射させるステップと、
前記チップ増強ラマンプローブのプローブを前記サンプルの表面に近接させるステップと、
前記プローブが近接した状態のサンプルに前記励起レーザ光を入射させることによって発生するラマン散乱光を分光して、測定するステップと、を備え、
前記チップ増強ラマンプローブは、SiO 2 層と金属からなる表面層との2層構造、又は、Si層と前記Si層上に形成されたSiO 2 層と金属からなる表面層との3層構造であり、
前記SiO2層が、前記プローブのプラズモン共鳴波長と前記ラマン散乱光の波長とが等しくなる厚さになっている、分光測定方法。 - 散乱型近接場顕微鏡にてサンプルを分光測定する分光測定方法であって、
チップ増強ラマンプローブを用意するステップと、
前記サンプルに励起レーザ光を入射させるステップと、
前記チップ増強ラマンプローブを前記サンプルの表面に近接させるステップと、
前記チップ増強ラマンプローブが近接した状態のサンプルに前記励起レーザ光を入射させることによって発生するラマン散乱光を分光して、測定するステップと、を備え、
前記チップ増強ラマンプローブを用意するステップは、
シリコン製のプローブを用意するステップと、
前記プローブのシリコンを酸化させていき、所定の厚さのSiO 2 層を形成するステップと、
前記SiO 2 層の上に金属膜を形成するステップと、を備え、
前記所定の厚さのSiO 2 層を形成するステップでは、前記金属膜が形成されたプローブのプラズモン共鳴波長と、前記ラマン散乱光の波長とが等しくなる厚さで前記SiO 2 層を形成している分光測定方法。 - 励起レーザと、先鋭化形状のチップ増強ラマンプローブとを有し、励起レーザ光をサンプルに照射することでラマン散乱光を発生させる散乱型近接場顕微鏡であって、
前記チップ増強ラマンプローブは、SiO 2 層と金属からなる表面層との2層構造、又は、Si層と前記Si層上に形成されたSiO 2 層と金属からなる表面層との3層構造であり、
前記SiO2層が、前記チップ増強ラマンプローブのプラズモン共鳴波長と前記ラマン散乱光の波長とが等しくなる厚さになっている散乱型近接場顕微鏡。
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