JP5699507B2 - Inkjet ink - Google Patents

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本発明は、特定の構造を有するアミド酸誘導体またはそのイミド化物を含むインクジェット用インクに関する。より詳しくは、例えば電子部品製作において絶縁膜層を形成するために用いられるインクジェット用インク、該インクジェット用インクを用いて形成されるポリイミド膜、該ポリイミド膜が形成されたフィルム基板およびシリコンウエハー基板、ならびに、該フィルム基板または該シリコンウエハー基板を有する電子部品に関する。   The present invention relates to an ink jet ink containing an amic acid derivative having a specific structure or an imidized product thereof. More specifically, for example, an ink-jet ink used for forming an insulating film layer in the production of electronic components, a polyimide film formed using the ink-jet ink, a film substrate and a silicon wafer substrate on which the polyimide film is formed, The present invention also relates to an electronic component having the film substrate or the silicon wafer substrate.

ポリイミドは、耐熱性および電気絶縁性に優れるため、電子通信分野で広く用いられている(例えば、特許文献1〜3参照。)。ポリイミドを所望のパターン膜として使用する場合、従来はエッチングや感光性ポリイミドを用いてパターンを形成することが一般的であった。しかしながら、パターンの形成にはフォトレジスト、現像液、エッチング液および剥離液などの多種大量の薬液を必要とし、また、煩雑な工程を必要とした。そのため、近年、インクジェットにより所望のポリイミドのパターン膜を形成する方法が検討されている。   Polyimide is widely used in the field of electronic communication because it is excellent in heat resistance and electrical insulation (see, for example, Patent Documents 1 to 3). In the case of using polyimide as a desired pattern film, conventionally, it has been common to form a pattern using etching or photosensitive polyimide. However, pattern formation requires a large amount of chemicals such as a photoresist, a developer, an etching solution, and a stripping solution, and a complicated process. Therefore, in recent years, a method for forming a desired polyimide pattern film by inkjet has been studied.

インクジェット用インクは各種提案されているが(例えば、特許文献4〜5参照。)、インクジェット用インクとして吐出・印刷するためには、インクの粘度、表面張力および溶媒の沸点などの様々なパラメータを最適化しなくてはならない。   Various ink-jet inks have been proposed (see, for example, Patent Documents 4 to 5). In order to eject and print as ink-jet inks, various parameters such as ink viscosity, surface tension, and solvent boiling point are set. Must be optimized.

粘度に関しては、一般的には吐出温度(吐出時のインクの温度)において、1〜50mPa・s程度の低粘度であることが求められている。特にピエゾ方式のインクジェット印刷の場合は、圧電素子の吐出圧力が小さいため、粘度が高くなるとインクが吐出不能となることがある。   Regarding the viscosity, generally, it is required to have a low viscosity of about 1 to 50 mPa · s at the discharge temperature (the temperature of the ink at the time of discharge). In particular, in the case of piezo-type ink jet printing, since the discharge pressure of the piezoelectric element is small, ink may not be able to be discharged when the viscosity is high.

表面張力に関しては、20〜70mN/mの範囲に調整することが好ましく、20〜40mN/mの範囲に調整することがより好ましい。表面張力が低すぎると、インクがプリンターヘッドのノズルから吐出された直後に広がってしまい、良好な液滴が形成できなくなることがある。反対に表面張力が高すぎると、メニスカスを形成できなくなるため、吐出不能になることがある。   The surface tension is preferably adjusted to a range of 20 to 70 mN / m, and more preferably adjusted to a range of 20 to 40 mN / m. If the surface tension is too low, the ink spreads immediately after it is ejected from the nozzles of the printer head, and good droplets may not be formed. On the other hand, if the surface tension is too high, it becomes impossible to form a meniscus, which may make ejection impossible.

溶媒の沸点に関しては、100〜300℃であることが好ましく、150〜250℃の範囲であることがより好ましい。沸点が低すぎると、プリンターヘッドのノズル部のインク中の溶媒が、特にインクを加温して吐出する場合に蒸発してしまう。それによってインクの粘度が変化し、インクを吐出できなくなる、あるいはインクの成分が固化してしまうことがある。反対に沸点が高すぎると、印刷後のインクの乾燥が遅すぎて、印刷パターンが悪化することがある。   The boiling point of the solvent is preferably 100 to 300 ° C, more preferably 150 to 250 ° C. If the boiling point is too low, the solvent in the ink at the nozzle portion of the printer head will evaporate particularly when the ink is heated and ejected. As a result, the viscosity of the ink changes, and the ink cannot be ejected, or the ink components may solidify. On the other hand, if the boiling point is too high, the drying of the ink after printing is too slow, and the printing pattern may deteriorate.

ポリイミド系のインクジェット用インクとして、ポリイミドを含有するものや、加熱処理することによりポリイミドとなるポリアミド酸を含有しているものが各種提案されている(例えば、特許文献6〜10参照。)。   Various polyimide-based ink-jet inks have been proposed that contain polyimide and those that contain polyamic acid that becomes polyimide by heat treatment (see, for example, Patent Documents 6 to 10).

ポリイミド系のインクジェット用インクにおいては、前述したインクジェット用インクとしての粘度、表面張力および溶媒の沸点などの必要特性に加えて、膜を形成したときのポリイミドとしての機能・特性が重要である。例えば、体積抵抗率、耐電圧、誘電率および誘電損失等の電気的特性、折り曲げ試験、弾性率および引張伸度等の機械的特性、耐酸性、耐アルカリ性および耐めっき性等の化学的安定性、熱分解温度、ガラス転移温度および熱線膨張係数等の熱的特性など様々な特性が求められている。さらには、基板との密着性、膜形成時の収縮に伴う反りの問題、およびマイグレーション耐性など二次的な課題も挙げられている。   In the polyimide-based ink-jet ink, in addition to the necessary properties such as the viscosity, surface tension, and boiling point of the solvent as the ink-jet ink described above, the function and properties as a polyimide when a film is formed are important. For example, electrical characteristics such as volume resistivity, withstand voltage, dielectric constant and dielectric loss, mechanical properties such as bending test, elastic modulus and tensile elongation, chemical stability such as acid resistance, alkali resistance and plating resistance Various characteristics such as thermal characteristics such as thermal decomposition temperature, glass transition temperature, and coefficient of thermal expansion are required. Furthermore, secondary problems such as adhesion to the substrate, warpage caused by shrinkage during film formation, and migration resistance are also cited.

本来、ポリイミドは上記特性に優れた樹脂として広く電子材料用途に用いられてきたものであるが、インクジェットインクとして材料設計する際の制限から、ポリイミドとしての機能・特性をバランス良く、十分に発現することは困難を極めていた。また、膜を形成したときのポリイミドとしての機能・特性は用途によって異なり、特にフイルム基板を用いたフレキシブルプリント配線板用途、ガラス−エポキシ基板を用いたリジッドのプリント配線板用途、およびシリコンウエハー基板を用いた半導体用途では、基板とポリイミド膜との密着性が大きな課題となっている。   Originally, polyimide has been widely used for electronic materials as a resin excellent in the above characteristics. However, due to limitations when designing materials as inkjet ink, the functions and properties of polyimide are well balanced and fully expressed. It was extremely difficult. In addition, the function and characteristics of polyimide when forming a film vary depending on the application, especially for flexible printed wiring boards using film substrates, rigid printed wiring boards using glass-epoxy substrates, and silicon wafer substrates. In the semiconductor application used, the adhesion between the substrate and the polyimide film is a major issue.

ポリイミド膜の機能・特性を制御する方法としては、原料のテトラカルボン酸誘導体やジアミン誘導体の構造を最適化する方法、共重合体やポリマーブレンド等におけるポリマーの構造を最適化する方法、ポリイミド前駆体のイミド化率を最適化する方法、および架橋剤の添加などの様々な手法が検討されている。   Methods for controlling the functions and properties of polyimide films include: a method for optimizing the structure of raw material tetracarboxylic acid derivatives and diamine derivatives, a method for optimizing the structure of polymers in copolymers, polymer blends, etc., a polyimide precursor Various methods such as a method for optimizing the imidization ratio of the resin and the addition of a crosslinking agent have been studied.

原料のテトラカルボン酸誘導体の構造を最適化して機能・特性を発現する具体例として、特許文献11には、特定構造のテトラカルボン酸無水物を使用して製造される含リンポリエステルイミド前駆体または含リンポリエステルイミドが、薄膜化しても従来と同様の耐熱難燃性を保持し、良好な熱拡散性を有することが開示されている。   As a specific example of optimizing the structure of a raw material tetracarboxylic acid derivative to express functions and properties, Patent Document 11 includes a phosphorus-containing polyesterimide precursor produced using a tetracarboxylic acid anhydride having a specific structure or It is disclosed that even if the phosphorus-containing polyesterimide is thinned, it retains the same heat and flame resistance as before and has good thermal diffusivity.

しかしながら、基板−ポリイミド膜との密着性については、何ら開示されておらず、更にインクジェットインクとしての粘度、表面張力、および溶媒の沸点等の必要特性に配慮したものではなかった。   However, the adhesiveness between the substrate and the polyimide film is not disclosed at all, and further, it does not take into consideration necessary properties such as viscosity, surface tension, and boiling point of the solvent as an inkjet ink.

特開2000−039714号公報JP 2000-039714 A 特開2003−238683号公報JP 2003-238683 A 特開2004−094118号公報JP 2004-094118 A 特開2003−213165号公報JP 2003-213165 A 特開2006−131730号公報JP 2006-131730 A 特開2009−35700号公報JP 2009-35700 A 国際公開第2008/123190号パンフレットInternational Publication No. 2008/123190 Pamphlet 特開2009−144138号公報JP 2009-144138 A 国際公開第2008/059986号パンフレットInternational Publication No. 2008/059986 Pamphlet 特開2009−203440号公報JP 2009-203440 A 特開2009−221309号公報JP 2009-221309 A

本発明は、特にプリント配線板用途または半導体用途において、基板に対する良好な密着性を発現するポリイミド膜を形成することができるインクジェット用インクを提供することを課題とする。   An object of the present invention is to provide an ink-jet ink capable of forming a polyimide film that exhibits good adhesion to a substrate, particularly in printed wiring board applications or semiconductor applications.

また、本発明は、粘度、表面張力および溶剤の沸点などのパラメータをインクジェット印刷用に最適化したインクジェット用インクにおいて、インクジェットヘッドの耐久性を低下させない溶媒を使用できるイミド系化合物を含むインクジェット用インクを提供することも課題とする。   The present invention also relates to an inkjet ink comprising an imide compound that can use a solvent that does not decrease the durability of the inkjet head in an inkjet ink in which parameters such as viscosity, surface tension, and boiling point of the solvent are optimized for inkjet printing. It is also an issue to provide.

本発明者らは、上記課題を解決するため鋭意検討した。その結果、特定の構造を有するアミド酸誘導体またはそのイミド化物を含むインクジェット用インクを用いることで、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成させた。すなわち本発明は、以下の通りである。   The present inventors diligently studied to solve the above problems. As a result, the inventors have found that the above-described problems can be solved by using an ink jet ink containing an amic acid derivative having a specific structure or an imidized product thereof, and completed the present invention. That is, the present invention is as follows.

[1]式(1)で表される骨格を有するアミド酸誘導体(A1)およびそのイミド化物(A2)からなる群より選ばれる少なくとも1種の化合物(A)を含有するインクジェット用インク。   [1] An inkjet ink containing at least one compound (A) selected from the group consisting of an amide acid derivative (A1) having a skeleton represented by formula (1) and an imidized product (A2) thereof.

Figure 0005699507
Figure 0005699507

式中、R1、R2、R3およびR4は、それぞれ独立に水素または炭素数1〜10のアルキルである。 In the formula, R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are each independently hydrogen or alkyl having 1 to 10 carbons.

[2]化合物(A)が、式(2−1)または(2−2)で表される酸無水物を用いて得られた化合物である[1]に記載のインクジェット用インク。   [2] The inkjet ink according to [1], wherein the compound (A) is a compound obtained by using an acid anhydride represented by the formula (2-1) or (2-2).

Figure 0005699507
式中、R1、R2、R3およびR4は、それぞれ独立に水素または炭素数1〜10のアルキルであり、R5は単結合、炭素または炭素数1〜50の有機基であり、mは1または2であり、nは1または2である。
Figure 0005699507
In the formula, R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are each independently hydrogen or alkyl having 1 to 10 carbon atoms, R 5 is a single bond, carbon or an organic group having 1 to 50 carbon atoms, m is 1 or 2, and n is 1 or 2.

[3]化合物(A)が、式(3)〜(5)で表されるテトラカルボン酸二無水物から選ばれる少なくとも1種を用いて得られた化合物である[1]または[2]に記載のインクジェット用インク。   [3] The compound (A) is a compound obtained by using at least one selected from tetracarboxylic dianhydrides represented by the formulas (3) to (5): [1] or [2] The ink for inkjet described.

Figure 0005699507
Figure 0005699507

[4]化合物(A)が、式(6)〜(7)で表されるジカルボン酸無水物から選ばれる少なくとも1種を用いて得られた化合物である[1]または[2]に記載のインクジェット用インク。   [4] The compound (A) according to [1] or [2], wherein the compound (A) is a compound obtained using at least one selected from dicarboxylic anhydrides represented by formulas (6) to (7). Ink for inkjet.

Figure 0005699507
[5]アミド酸誘導体(A1)が、式(8)で表される構成単位と、式(8−1)および(8−2)で表される分子末端基からなる群より選ばれる少なくとも1種の分子末端基とを有する化合物ならびに式(9)〜(12)で表される化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種である[1]〜[4]のいずれか1つに記載のインクジェット用インク。
Figure 0005699507
[5] At least one selected from the group consisting of the structural unit represented by the formula (8) and the molecular end groups represented by the formulas (8-1) and (8-2) as the amic acid derivative (A1). The inkjet according to any one of [1] to [4], which is at least one selected from the group consisting of a compound having a molecular end group and a compound represented by formulas (9) to (12) For ink.

Figure 0005699507
Figure 0005699507

式中、Xは炭素または炭素数2〜100の4価の有機基であり、Yは炭素数1〜100の2価の有機基であり、Zは炭素数1〜100の1価の有機基であり、X、YおよびZの少なくとも1つが式(1)で表される骨格を有し、X’は独立して炭素数1〜100の2価の有機基であり、Y’は独立して炭素数1〜100の1価の有機基である。   In the formula, X is carbon or a tetravalent organic group having 2 to 100 carbon atoms, Y is a divalent organic group having 1 to 100 carbon atoms, and Z is a monovalent organic group having 1 to 100 carbon atoms. And at least one of X, Y and Z has a skeleton represented by the formula (1), X ′ is independently a divalent organic group having 1 to 100 carbon atoms, and Y ′ is independently And a monovalent organic group having 1 to 100 carbon atoms.

[6]式(8−1)、(8−2)および(9)〜(12)中、X’が独立して不飽和炭化水素構造を有する炭素数2〜100の2価の有機基または式(a)で表される2価の有機基であり、Y’が独立して不飽和炭化水素構造を有する炭素数2〜100の1価の有機基または式(b)で表される1価の有機基である[5]に記載のインクジェット用インク。   [6] In formulas (8-1), (8-2), and (9) to (12), X ′ is independently a divalent organic group having 2 to 100 carbon atoms and having an unsaturated hydrocarbon structure, It is a divalent organic group represented by the formula (a), and Y ′ independently represents a monovalent organic group having 2 to 100 carbon atoms having an unsaturated hydrocarbon structure, or 1 represented by the formula (b) The inkjet ink according to [5], which is a valent organic group.

Figure 0005699507
Figure 0005699507

式中、Rは独立して水素、炭素数1〜20のアルキルまたは炭素数1〜20のアルコキシであり、R’は炭素数1〜20の3価の有機基であり、R”は炭素数1〜20の2価の有機基である。   In the formula, R is independently hydrogen, alkyl having 1 to 20 carbons or alkoxy having 1 to 20 carbons, R ′ is a trivalent organic group having 1 to 20 carbons, and R ″ is a carbon number. 1 to 20 divalent organic groups.

[7]さらに溶媒(B)を含む[1]〜[6]のいずれか1つに記載のインクジェット用インク。   [7] The inkjet ink according to any one of [1] to [6], further including a solvent (B).

[8]溶媒(B)が、エタノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、グリセリン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールイソプロピルメチルエーテル、ジエチレングリコールブチルメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジビニルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールジメチルエーテル、テトラメチレングリコールモノビニルエーテル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、乳酸エチル、安息香酸メチル、安息香酸エチル、アニソール、シクロヘキサノン、γ−ブチロラクトン、1,3−ジオキソラン、1,4−ジオキサン、2−ピロリドン、1−メチル−2−ピロリドン、1−エチル−2−ピロリドン、1−ブチル−2−ピロリドン、1−ビニル−2−ピロリドン、1−(2−ヒドロキシエチル)−2−ピロリドン、1−アセチル−2−ピロリドン、N−メチル−ε−カプロラクタム、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、N,N−ジメチルプロピオンアミドおよび1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノンからなる群より選ばれる少なくとも1種である[7]に記載のインクジェット用インク。   [8] Solvent (B) is ethanol, ethylene glycol, propylene glycol, glycerin, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol monophenyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether Acetate, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dibutyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol isopropyl methyl ether, diethylene glycol butyl methyl ether, diethyl Glycol monoethyl ether acetate, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol dimethyl ether, triethylene glycol divinyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monobutyl ether, propylene glycol dimethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, Dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, tripropylene glycol dimethyl ether, tetramethylene glycol monovinyl ether, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl lactate, benzoate Acid methyl, ethyl benzoate, anisole, cyclohexanone, γ-butyrolactone, 1,3-dioxolane, 1,4-dioxane, 2-pyrrolidone, 1-methyl-2-pyrrolidone, 1-ethyl-2-pyrrolidone, 1-butyl 2-pyrrolidone, 1-vinyl-2-pyrrolidone, 1- (2-hydroxyethyl) -2-pyrrolidone, 1-acetyl-2-pyrrolidone, N-methyl-ε-caprolactam, N, N-dimethylacetamide, N The inkjet ink according to [7], which is at least one selected from the group consisting of N, diethylacetamide, N, N-dimethylpropionamide, and 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone.

[9]インクジェット用インク100重量部に対して、化合物(A)を5〜95重量部の量で含む[1]〜[8]のいずれか1つに記載のインクジェット用インク。   [9] The ink-jet ink according to any one of [1] to [8], which contains the compound (A) in an amount of 5 to 95 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the ink-jet ink.

[10][1]〜[9]のいずれか1つに記載のインクジェット用インクを用いて形成されたポリイミド膜。   [10] A polyimide film formed using the ink-jet ink according to any one of [1] to [9].

[11]パターン状である[10]に記載のポリイミド膜。   [11] The polyimide film according to [10], which has a pattern shape.

[12][1]〜[9]のいずれか1つに記載のインクジェット用インクを、インクジェット塗布方法によって基板上に塗布して塗膜を形成する工程と、該塗膜を加熱処理してポリイミド膜を形成する工程とを含むポリイミド膜形成方法。   [12] A step of applying the ink-jet ink according to any one of [1] to [9] onto a substrate by an ink-jet coating method to form a coating film; A method of forming a polyimide film.

[13]基板上に[10]または[11]に記載のポリイミド膜が形成されてなるフィルム基板。   [13] A film substrate in which the polyimide film according to [10] or [11] is formed on a substrate.

[14][13]に記載のフィルム基板を有する電子部品。   [14] An electronic component having the film substrate according to [13].

[15]基板上に[10]または[11]に記載のポリイミド膜が形成されてなるシリコンウエハー基板。   [15] A silicon wafer substrate in which the polyimide film according to [10] or [11] is formed on a substrate.

[16][15]に記載のシリコンウエハー基板を有する電子部品。   [16] An electronic component having the silicon wafer substrate according to [15].

粘度、表面張力および溶剤の沸点などのパラメータをインクジェット印刷用に最適化した本発明のインクジェット用インクを用いれば、インクジェット印刷に好適に使用することができる。また、本発明のインクジェット用インクを用いて、塗膜としたときに種々の基板に対して良好な密着性を示すポリイミド膜を形成することができる。また、パターン状のポリイミド膜を形成するために、本発明のインクジェット用インクを用いれば、インクジェット印刷により必要な部分のみに描画すればよく、また、フォトマスク等を使用する必要がないので、エッチング等の他の方法に比べて材料使用量を圧倒的に少なくすることができるとともに、製造に要する工程数を少なくすることができ、多品種大量生産が可能である。また、本発明のインクジェット用インクはイミド系化合物を含むことから、インクジェットヘッドの耐久性を低下させない溶媒を使用したインクジェット用インクを提供することも可能である。   If the ink-jet ink of the present invention in which parameters such as viscosity, surface tension, and boiling point of the solvent are optimized for ink-jet printing is used, it can be suitably used for ink-jet printing. Moreover, the polyimide film which shows favorable adhesiveness with respect to various board | substrates can be formed when it is set as a coating film using the inkjet ink of this invention. In addition, if the inkjet ink of the present invention is used to form a patterned polyimide film, it is only necessary to draw on a necessary portion by inkjet printing, and it is not necessary to use a photomask or the like. Compared to other methods such as the above, the amount of material used can be significantly reduced, the number of steps required for production can be reduced, and mass production of various varieties is possible. In addition, since the inkjet ink of the present invention contains an imide compound, it is also possible to provide an inkjet ink using a solvent that does not reduce the durability of the inkjet head.

実施例において密着強度を測定するために作製した評価サンプルの模式図。The schematic diagram of the evaluation sample produced in order to measure adhesive strength in an Example.

以下、本発明に係るインクジェット用インク、該インクジェット用インクを用いて形成されるポリイミド膜、該ポリイミド膜が形成されたフィルム基板およびシリコンウエハー基板、ならびに、該フィルム基板または該シリコンウエハー基板を有する電子部品について詳細に説明する。   Hereinafter, the inkjet ink according to the present invention, a polyimide film formed using the inkjet ink, a film substrate and a silicon wafer substrate on which the polyimide film is formed, and an electron having the film substrate or the silicon wafer substrate The parts will be described in detail.

[インクジェット用インク]
本発明のインクジェット用インクは、式(1)で表される骨格(以下「骨格(1)」ともいう。)を有するアミド酸誘導体(A1)またはそのイミド化物(A2)からなる群より選ばれる少なくとも1種の化合物(A)を含有する。また、本発明のインクジェット用インクは、好ましくは溶媒(B)をさらに含み、必要に応じて、他の添加剤を含んでもよい。なお、本発明のインクジェット用インクは、有色または無色のどちらであっても構わない。
[Inkjet ink]
The inkjet ink of the present invention is selected from the group consisting of an amic acid derivative (A1) having a skeleton represented by formula (1) (hereinafter also referred to as “skeleton (1)”) or an imidized product (A2) thereof. Contains at least one compound (A). The ink-jet ink of the present invention preferably further contains a solvent (B), and may contain other additives as necessary. The ink-jet ink of the present invention may be colored or colorless.

Figure 0005699507
式(1)中、R1、R2、R3およびR4は、それぞれ独立に水素または炭素数1〜10のアルキルである。
Figure 0005699507
In the formula (1), R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are each independently hydrogen or alkyl having 1 to 10 carbons.

<1.化合物(A)>
上記化合物(A)は、骨格(1)を有する酸無水物および/または骨格(1)を有するアミン(以下「骨格(1)を有する原料」ともいう。)を用いて合成することができる。このような骨格(1)を有する原料を用いて合成することにより、アミド酸誘導体またはそのイミド化物に骨格(1)を導入することができる。
<1. Compound (A)>
The compound (A) can be synthesized using an acid anhydride having a skeleton (1) and / or an amine having a skeleton (1) (hereinafter also referred to as “raw material having a skeleton (1)”). By synthesizing using a raw material having such a skeleton (1), the skeleton (1) can be introduced into an amic acid derivative or an imidized product thereof.

1.1 骨格(1)を有する原料
骨格(1)を有する原料としては、骨格(1)を有する酸無水物および/またはアミンであれば特に限定されないが、例えば、式(2−1)または(2−2)で表される酸無水物が好ましい。
1.1 Raw material having skeleton (1) The raw material having skeleton (1) is not particularly limited as long as it is an acid anhydride and / or amine having skeleton (1). The acid anhydride represented by (2-2) is preferable.

Figure 0005699507
式(2−1)〜(2−2)中、R1、R2、R3およびR4は、それぞれ独立に水素または炭素数1〜10のアルキル、好ましくは水素または炭素数1〜8のアルキル、より好ましくは水素であり、R5は単結合、炭素または炭素数1〜50の有機基、好ましくは単結合、炭素または炭素数1〜30の有機基、より好ましくは単結合、炭素または炭素数1〜20の有機基であり、mは1または2であり、nは1または2である。
Figure 0005699507
In formulas (2-1) to (2-2), R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are each independently hydrogen or alkyl having 1 to 10 carbons, preferably hydrogen or having 1 to 8 carbons. Alkyl, more preferably hydrogen, and R 5 is a single bond, carbon or an organic group having 1 to 50 carbon atoms, preferably a single bond, carbon or an organic group having 1 to 30 carbon atoms, more preferably a single bond, carbon or It is a C1-C20 organic group, m is 1 or 2, and n is 1 or 2.

式(2−1)で表される酸無水物の好ましい例として、式(3)〜(5)で表されるテトラカルボン酸二無水物が挙げられる。   Preferable examples of the acid anhydride represented by the formula (2-1) include tetracarboxylic dianhydrides represented by the formulas (3) to (5).

Figure 0005699507
Figure 0005699507

また、式(2−2)で表される酸無水物の好ましい例として、式(6)〜(7)で表されるジカルボン酸無水物も挙げられる。   Moreover, the dicarboxylic acid anhydride represented by Formula (6)-(7) is also mentioned as a preferable example of the acid anhydride represented by Formula (2-2).

Figure 0005699507
Figure 0005699507

1.2 他の原料
化合物(A)を合成するための原料として、上述した骨格(1)を有する原料とともに、通常のポリイミドの原料として使用できるテトラカルボン酸二無水物やジアミン、ならびに、通常の末端封止剤として使用できるジカルボン酸無水物やモノアミンを併用することができる。具体的には、以下に示すテトラカルボン酸二無水物(a1)、ジアミン(a2)、ジカルボン酸無水物(a3)およびモノアミン(a4)が挙げられるが、これらに限定されるものではない。例えば、特許文献6〜10に記載されている化合物を用いることができる。
1.2 As raw materials for synthesizing other raw material compounds (A), together with the raw materials having the skeleton (1) described above, tetracarboxylic dianhydrides and diamines that can be used as raw materials for ordinary polyimides, and ordinary raw materials A dicarboxylic acid anhydride or monoamine that can be used as a terminal blocking agent can be used in combination. Specific examples include tetracarboxylic dianhydride (a1), diamine (a2), dicarboxylic anhydride (a3) and monoamine (a4) shown below, but are not limited thereto. For example, the compounds described in Patent Documents 6 to 10 can be used.

1.2.1 テトラカルボン酸二無水物(a1)
テトラカルボン酸二無水物(a1)の具体例としては、ピロメリット酸二無水物(略語:PMDA)、3,3’,4,4’−ビシクロへキシルテトラカルボン酸二無水物(略語:BPDA-H)、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物(略語:ODPA)、2,2’,3,3’−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、2,2−[ビス(3,4ージカルボキシフェニル)]ヘキサフルオロプロパン酸二無水物、エチレングリコールビス(アンヒドロトリメリテート)、シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、メチルシクロブタンテトラカルボン酸二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、エタンテトラカルボン酸二無水物およびブタンテトラカルボン酸二無水物が挙げられる。テトラカルボン酸二無水物(a1)は、1種のみを用いてもよく、また、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
1.2.1 Tetracarboxylic dianhydride (a1)
Specific examples of tetracarboxylic dianhydride (a1) include pyromellitic dianhydride (abbreviation: PMDA), 3,3 ′, 4,4′-bicyclohexyltetracarboxylic dianhydride (abbreviation: BPDA). -H), 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′, 3,3′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 2,3,3 ′, 4′- Benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′, 3,3′-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 2,3, 3 ', 4'-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride (abbreviation: ODPA), 2,2 ', 3,3'-diphenyl ether tetra Carboxylic dianhydride 2,3,3 ′, 4′-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, 2,2- [bis (3,4-dicarboxyphenyl)] hexafluoropropanoic dianhydride, ethylene glycol bis (anhydrotri Melitte), cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, methylcyclobutanetetracarboxylic dianhydride, cyclopentanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, ethanetetracarboxylic acid And dianhydrides and butanetetracarboxylic dianhydrides. Only 1 type may be used for tetracarboxylic dianhydride (a1) and it may use it in combination of 2 or more type.

1.2.2 ジアミン(a2)
ジアミン(a2)の具体例としては、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、2,2’−ジアミノジフェニルプロパン、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン(略語:BAPP)、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、m−フェニレンジアミン、p−フェニレンジアミン、m−キシリレンジアミン、p−キシリレンジアミン、ベンジジン、1,1−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]シクロヘキサン、1,1−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]−4−メチルシクロヘキサン、1,1−ビス[4−(4−アミノベンジル)フェニル]シクロヘキサン、1,1−ビス[4−(4−アミノベンジル)フェニル]−4−メチルシクロヘキサン、1,1−ビス[4−(4−アミノベンジル)フェニル]メタン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、ジエチレングリコールビス(3−アミノプロピル)エーテル(略語:BAPEE)および下記式(13)で表される化合物が挙げられる。
1.2.2 Diamine (a2)
Specific examples of the diamine (a2) include 3,3′-diaminodiphenyl sulfone, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenylmethane, and 2,2′-diaminodiphenyl. Propane, 3,3′-dimethyl-4,4′-diaminodiphenylmethane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane (abbreviation: BAPP), 2,2-bis [4- (4 -Aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, m-phenylenediamine, p-phenylenediamine, m-xylylenediamine, p-xylylenediamine, benzidine, 1,1-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] Cyclohexane, 1,1-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] -4-methyl Rhohexane, 1,1-bis [4- (4-aminobenzyl) phenyl] cyclohexane, 1,1-bis [4- (4-aminobenzyl) phenyl] -4-methylcyclohexane, 1,1-bis [4- (4-Aminobenzyl) phenyl] methane, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, diethylene glycol bis (3-aminopropyl) ether (abbreviation: BAPEE), and compounds represented by the following formula (13) are mentioned. It is done.

Figure 0005699507
式中、R8は独立して炭素数1〜3のアルキルまたはフェニルであり、R9は独立してメチレンまたはフェニレンであり、該フェニレンの任意の水素はアルキルで置き換えられていてもよく、xは独立して1〜6の整数であり、yは1〜70の整数である。
ジアミン(a2)は、1種のみを用いてもよく、また、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
Figure 0005699507
In the formula, R 8 is independently alkyl or phenyl having 1 to 3 carbon atoms, R 9 is independently methylene or phenylene, and any hydrogen of the phenylene may be replaced by alkyl, Is independently an integer of 1 to 6, and y is an integer of 1 to 70.
As the diamine (a2), only one kind may be used, or two or more kinds may be used in combination.

1.2.3 ジカルボン酸無水物(a3)
ジカルボン酸無水物(a3)の具体例としては、無水フタル酸、無水トリメリット酸、3−メチルフタル酸無水物、4−メチルフタル酸無水物、4−tert−ブチルフタル酸無水物、3−フルオロフタル酸無水物、4−フルオロフタル酸無水物、4−エチニルフタル酸無水物、4−フェニルエチニルフタル酸無水物、テトラフルオロフタル酸無水物、こはく酸無水物、ブチルこはく酸無水物、n−オクチルこはく酸無水物、ドデシルこはく酸無水物、テトラプロペニルこはく酸無水物、テトラデセニルこはく酸無水物、オクタデセニルこはく酸無水物、アリルこはく酸無水物、2−ブテン−1−イルこはく酸無水物、2−ドデセン−1−イルこはく酸無水物、マレイン酸無水物(略語:MA)、2,3−ジメチルマレイン酸無水物、グルタル酸無水物、イタコン酸無水物、シトラコン酸無水物、アリルナジック酸無水物、cis−1,2−シクロヘキサンジカルボン酸無水物、4−メチルシクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸無水物、cis−4−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物、メチルシクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物、5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸無水物、1,3−シクロへキサンジカルボン酸無水物、p−(トリメトキシシリル)フェニルサクシニックアンヒドリド、p−(トリエトキシシリル)フェニルサクシニックアンヒドリド、m−(トリメトキシシリル)フェニルサクシニックアンヒドリド、m−(トリエトキシシリル)フェニルサクシニックアンヒドリド、トリメトキシシリルプロピルサクシニックアンヒドリドおよびトリエトキシシリルプロピルサクシニックアンヒドリドが挙げられる。
1.2.3 Dicarboxylic anhydride (a3)
Specific examples of the dicarboxylic acid anhydride (a3) include phthalic anhydride, trimellitic anhydride, 3-methylphthalic anhydride, 4-methylphthalic anhydride, 4-tert-butylphthalic anhydride, 3-fluorophthalic acid. Anhydride, 4-fluorophthalic anhydride, 4-ethynylphthalic anhydride, 4-phenylethynylphthalic anhydride, tetrafluorophthalic anhydride, succinic anhydride, butyl succinic anhydride, n-octyl succinic Acid anhydride, dodecyl succinic anhydride, tetrapropenyl succinic anhydride, tetradecenyl succinic anhydride, octadecenyl succinic anhydride, allyl succinic anhydride, 2-buten-1-yl succinic anhydride, 2-dodecene -1-ylsuccinic anhydride, maleic anhydride (abbreviation: MA), 2,3-dimethylmaleic anhydride, gluta Acid anhydride, itaconic acid anhydride, citraconic acid anhydride, allyl nadic acid anhydride, cis-1,2-cyclohexanedicarboxylic acid anhydride, 4-methylcyclohexane-1,2-dicarboxylic acid anhydride, cis-4- Cyclohexene-1,2-dicarboxylic anhydride, methylcyclohexene-1,2-dicarboxylic anhydride, 5-norbornene-2,3-dicarboxylic anhydride, 1,3-cyclohexanedicarboxylic anhydride, p- (Trimethoxysilyl) phenyl succinic anhydride, p- (triethoxysilyl) phenyl succinic anhydride, m- (trimethoxysilyl) phenyl succinic anhydride, m- (triethoxysilyl) phenyl succinic anhydride, Trimethoxysilylpropyl succinic anhydride and It includes triethoxysilylpropyl succinate anhydrase hydride.

これらの中では、無水フタル酸、無水トリメリット酸、4−メチルフタル酸無水物、4−tert−ブチルフタル酸無水物、4−フルオロフタル酸無水物、テトラフルオロフタル酸無水物、テトラプロペニルこはく酸無水物、テトラデセニルこはく酸無水物、オクタデセニルこはく酸無水物、2−ドデセン−1−イルこはく酸無水物、グルタル酸無水物、イタコン酸無水物、シトラコン酸無水物、アリルナジック酸無水物、cis−1,2−シクロヘキサンジカルボン酸無水物、4−メチルシクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸無水物、cis−4−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物、5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸無水物および1,3−シクロへキサンジカルボン酸無水物が好ましい。
ジカルボン酸無水物(a3)は、1種のみを用いてもよく、また、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
Among these, phthalic anhydride, trimellitic anhydride, 4-methylphthalic anhydride, 4-tert-butylphthalic anhydride, 4-fluorophthalic anhydride, tetrafluorophthalic anhydride, tetrapropenyl succinic anhydride , Tetradecenyl succinic anhydride, octadecenyl succinic anhydride, 2-dodecen-1-yl succinic anhydride, glutaric anhydride, itaconic anhydride, citraconic anhydride, allyl nadic acid anhydride, cis-1 , 2-cyclohexanedicarboxylic acid anhydride, 4-methylcyclohexane-1,2-dicarboxylic acid anhydride, cis-4-cyclohexene-1,2-dicarboxylic acid anhydride, 5-norbornene-2,3-dicarboxylic acid anhydride And 1,3-cyclohexanedicarboxylic acid anhydride are preferred.
Only one type of dicarboxylic acid anhydride (a3) may be used, or two or more types may be used in combination.

1.2.4 モノアミン(a4)
モノアミン(a4)の具体例としては、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、3−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、4−アミノブチルトリメトキシシラン、4−アミノブチルトリエトキシシラン、4−アミノブチルメチルジエトキシシラン、p−アミノフェニルトリメトキシシラン、p−アミノフェニルトリエトキシシラン、p−アミノフェニルメチルジメトキシシラン、p−アミノフェニルメチルジエトキシシラン、m−アミノフェニルトリメトキシシラン、m−アミノフェニルメチルジエトキシシラン、4−エチニルアニリン、3−エチニルアニリン、プロパルギルアミン、3−アミノブチン、4−アミノブチン、5−アミノペンチン、4−アミノペンチン、アリルアミン、7−アミノヘプチン、m−アミノスチレン、p−アミノスチレン、m−アミノ−α−メチルスチレン、3−アミノフェニルアセチレンおよび4−アミノフェニルアセチレンが挙げられる。
1.2.4 Monoamine (a4)
Specific examples of the monoamine (a4) include 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-aminopropylmethyldimethoxysilane, 3-aminopropylmethyldiethoxysilane, and 4-aminobutyltrimethoxysilane. 4-aminobutyltriethoxysilane, 4-aminobutylmethyldiethoxysilane, p-aminophenyltrimethoxysilane, p-aminophenyltriethoxysilane, p-aminophenylmethyldimethoxysilane, p-aminophenylmethyldiethoxysilane , M-aminophenyltrimethoxysilane, m-aminophenylmethyldiethoxysilane, 4-ethynylaniline, 3-ethynylaniline, propargylamine, 3-aminobutyne, 4-aminobutyne, 5-aminopentyne 4 Aminopenchin, allylamine, 7 Aminohepuchin, m- aminostyrene, p- aminostyrene, m- amino -α- methyl styrene, and 3-aminophenyl acetylene and 4-aminophenyl acetylene.

これらの中では、例えば得られる膜の耐久性が優れるという点から、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシランおよびp−アミノフェニルトリメトキシシランが好ましく、3−アミノプロピルトリエトキシシランが特に好ましい。
モノアミン(a4)は、1種のみを用いてもよく、また、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
Among these, for example, 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropylmethyldiethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, and p-aminophenyltrimethoxysilane from the viewpoint of excellent durability of the obtained film. Is preferred, and 3-aminopropyltriethoxysilane is particularly preferred.
Only one type of monoamine (a4) may be used, or two or more types may be used in combination.

1.3 化合物(A)の合成方法
上記化合物(A)の合成法として、例えば、特許文献6〜10に記載されている方法が挙げられる。
1.3 Method for Synthesizing Compound (A) Examples of the method for synthesizing the compound (A) include methods described in Patent Documents 6 to 10.

1.3.1 アミド酸誘導体(A1)の合成方法
上記アミド酸誘導体(A1)は、骨格(1)を有するアミン、ジアミン(a2)および/またはモノアミン(a4)と、骨格(1)を有する酸無水物、テトラカルボン酸二無水物(a1)および/またはジカルボン酸無水物(a3)とを、アミノ基と酸無水物基とが反応してアミド酸を形成する穏やかな反応条件で、反応させて得ることができる。
1.3.1 Method for Synthesizing Amic Acid Derivative (A1) The amic acid derivative (A1) has an amine, diamine (a2) and / or monoamine (a4) having a skeleton (1), and a skeleton (1). Reaction of acid anhydride, tetracarboxylic dianhydride (a1) and / or dicarboxylic anhydride (a3) under mild reaction conditions in which an amino group and an acid anhydride group react to form an amic acid Can be obtained.

この穏やかな反応条件とは、例えば、常圧下、温度20〜60℃、反応時間0.2〜20時間で、触媒を使用することなく、反応により酸無水物基が開環して生じたカルボキシル基を活性化させることなく反応させる、という条件である。カルボキシル基の活性化とは、例えば、酸クロリドへの変換である。   The mild reaction conditions include, for example, a carboxyl produced by ring opening of an acid anhydride group by reaction without using a catalyst at a temperature of 20 to 60 ° C. and a reaction time of 0.2 to 20 hours under normal pressure. The condition is that the reaction is performed without activating the group. The activation of the carboxyl group is, for example, conversion to acid chloride.

このような穏やかな反応条件下では、酸無水物基とアミノ基とが反応して生じたカルボキシル基が、さらに骨格(1)を有するアミン、ジアミン(a2)および/またはモノアミン(a4)のアミノ基と反応することがないため、遊離のカルボキシル基を有するアミド酸誘導体が得られる。   Under such mild reaction conditions, the carboxyl group produced by the reaction of the acid anhydride group with the amino group is further converted to an amino group of amine, diamine (a2) and / or monoamine (a4) having a skeleton (1). Since it does not react with the group, an amic acid derivative having a free carboxyl group is obtained.

1.3.2 イミド化物(A2)の合成方法
上記イミド化物(A2)は、上記アミド酸誘導体(A1)をイミド化することにより得ることができる。具体的には、上記イミド化物(A2)は、熱的方法または脱水触媒および脱水剤を用いた化学的方法によりアミド酸誘導体をイミド化する方法、好ましくは、精製処理を行なわずにインクの成分として使用できる熱的方法でイミド化する方法、より好ましくは、骨格(1)を有する酸無水物、骨格(1)を有するアミン、テトラカルボン酸二無水物(a1)、ジアミン(a2)、ジカルボン酸無水物(a3)、モノアミン(a4)等の原料を反応溶媒中で反応させた後、還流してイミド化する方法により得ることができる。還流は、使用する反応溶媒により条件が異なるが、140〜230℃で1.5〜10時間の条件で行うことが好ましい。還流温度が前記範囲内であると、イミド化が十分に進み強固な膜を得ることができるとともに、比較的沸点の高い溶媒を用いても還流可能である。
1.3.2 Method for synthesizing imidized product (A2) The imidized product (A2) can be obtained by imidizing the amic acid derivative (A1). Specifically, the imidized product (A2) is obtained by imidizing an amic acid derivative by a thermal method or a chemical method using a dehydration catalyst and a dehydrating agent, and preferably a component of the ink without performing a purification treatment. A method of imidization by a thermal method that can be used as an acid anhydride, more preferably an acid anhydride having a skeleton (1), an amine having a skeleton (1), a tetracarboxylic dianhydride (a1), a diamine (a2), a dicarboxylic acid It can be obtained by a method in which raw materials such as acid anhydride (a3) and monoamine (a4) are reacted in a reaction solvent and then refluxed to imidize. Refluxing is preferably carried out at 140 to 230 ° C. for 1.5 to 10 hours, although the conditions vary depending on the reaction solvent used. When the reflux temperature is within the above range, imidization is sufficiently advanced and a strong film can be obtained, and reflux is possible even using a solvent having a relatively high boiling point.

1.3.3 反応溶媒
上記アミド酸誘導体(A1)またはそのイミド化物(A2)を合成するために用いられる反応溶媒は、アミド酸誘導体またはそのイミド化物を合成できれば特に限定されるものではない。
1.3.3 Reaction Solvent The reaction solvent used for synthesizing the amic acid derivative (A1) or its imidized product (A2) is not particularly limited as long as it can synthesize the amic acid derivative or its imidized product.

反応溶媒の具体例としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル(略語:EDM)、ジエチレングリコールイソプロピルメチルエーテル、ジエチレングリコールブチルメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジビニルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル(1−メトキシ−2−プロパノール)、プロピレングリコールモノエチルエーテル(1−エトキシ−2−プロパノール)、プロピレングリコールモノブチルエーテル(1−ブトキシ−2−プロパノール)、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールジメチルエーテル、テトラメチレングリコールモノビニルエーテル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、乳酸エチル、安息香酸メチル、安息香酸エチル、アニソール、シクロヘキサノン、γ−ブチロラクトン、1,3−ジオキソラン、1,4−ジオキサン、2−ピロリドン、1−メチル−2−ピロリドン(略語:NMP)、1−ビニル−2−ピロリドン、1−ブチル−2−ピロリドン、1−エチル−2−ピロリドン、1−(2−ヒドロキシエチル)−2−ピロリドン、1−アセチル−2−ピロリドン、N−メチル−ε−カプロラクタム、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、N,N−ジメチルプロピオンアミドおよび1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノンが挙げられる。   Specific examples of the reaction solvent include ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol monophenyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, Diethylene glycol dibutyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether (abbreviation: EDM), diethylene glycol isopropyl methyl ether, diethylene glycol butyl methyl ether, diethylene glycol monoethyl ether acetate, triethylene glycol monomethyl ether, trie Lenglycol dimethyl ether, triethylene glycol divinyl ether, propylene glycol monomethyl ether (1-methoxy-2-propanol), propylene glycol monoethyl ether (1-ethoxy-2-propanol), propylene glycol monobutyl ether (1-butoxy-2- Propanol), propylene glycol dimethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, dipropylene glycol dimethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, tripropylene glycol dimethyl ether, tetramethylene glycol monovinyl ether, methyl 3-methoxypropionate, 3- Ethyl ethoxypropionate, lactate , Methyl benzoate, ethyl benzoate, anisole, cyclohexanone, γ-butyrolactone, 1,3-dioxolane, 1,4-dioxane, 2-pyrrolidone, 1-methyl-2-pyrrolidone (abbreviation: NMP), 1-vinyl 2-pyrrolidone, 1-butyl-2-pyrrolidone, 1-ethyl-2-pyrrolidone, 1- (2-hydroxyethyl) -2-pyrrolidone, 1-acetyl-2-pyrrolidone, N-methyl-ε-caprolactam, N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylacetamide, N, N-dimethylpropionamide and 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone.

これらの中では、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3−メトキシプロピオン酸メチル、シクロヘキサノン、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテルおよびγ−ブチロラクトンが溶解性の面で好ましい。   Among these, propylene glycol monomethyl ether acetate, methyl 3-methoxypropionate, cyclohexanone, diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether and γ-butyrolactone are preferable in terms of solubility.

反応溶媒は、1種のみを用いてもよく、また、2種以上を混合して用いてもよい。また、上記反応溶媒以外の他の溶媒を、反応溶媒に混合して用いることもできる。反応溶媒は、反応に用いる原料化合物の合計100重量部に対し、100重量部以上使用すると、反応がスムーズに進行するので好ましい。   Only 1 type may be used for a reaction solvent, and 2 or more types may be mixed and used for it. In addition, other solvents other than the above reaction solvent can be mixed with the reaction solvent. The reaction solvent is preferably used in an amount of 100 parts by weight or more based on 100 parts by weight of the total amount of raw material compounds used in the reaction because the reaction proceeds smoothly.

1.4 化合物(A)の例
化合物(A)としては、骨格(1)を有するとともに、粘度、表面張力および溶媒の沸点などの必要特性を有するインクジェット用インクを調製することができれば、何ら限定されるものではない。
1.4 Example of Compound (A) The compound (A) is not limited as long as it can prepare an inkjet ink having a skeleton (1) and having necessary properties such as viscosity, surface tension, and boiling point of the solvent. Is not to be done.

化合物(A)の好ましい例として、ジアミンと酸無水物基を2つ以上有する化合物とを用いて得られるポリアミド酸またはそのイミド化物(例えば、特許文献6参照)、分子内にアミド酸構造を有するシリコン化合物であるシリコンアミド酸またはそのイミド化物(例えば、特許文献7、8参照)、分子内に少なくとも1つのアルケニル置換ナジイミド構造を有するアルケニル置換ナジイミド化合物(例えば、特許文献9、10参照)が挙げられる。   As a preferred example of the compound (A), a polyamic acid obtained by using a diamine and a compound having two or more acid anhydride groups or an imidized product thereof (for example, see Patent Document 6), has an amic acid structure in the molecule. Examples thereof include silicon amide acid which is a silicon compound or an imidized product thereof (for example, see Patent Documents 7 and 8) and an alkenyl-substituted nadiimide compound having at least one alkenyl-substituted nadiimide structure in the molecule (for example, see Patent Documents 9 and 10). It is done.

アミド酸誘導体(A1)の具体例として、式(8)で表される構成単位と、式(8−1)および式(8−2)で表される分子末端基からなる群より選ばれる少なくとも1種の分子末端基とを有する化合物(以下「化合物(8)」という。)ならびに式(9)〜(12)で表される化合物(以下それぞれ「化合物(9)」〜「化合物(12)」という。)が挙げられるが、これらに限定されるものではない。イミド化物(A2)の具体例としては、前記化合物(8)〜(12)のイミド化物が挙げられるが、これらに限定されるものではない。   As a specific example of the amic acid derivative (A1), at least selected from the group consisting of a structural unit represented by formula (8) and a molecular end group represented by formula (8-1) and formula (8-2) A compound having one kind of molecular end group (hereinafter referred to as “compound (8)”) and a compound represented by formulas (9) to (12) (hereinafter referred to as “compound (9)” to “compound (12)”, respectively) However, it is not limited to these. Specific examples of the imidized product (A2) include imidized products of the compounds (8) to (12), but are not limited thereto.

Figure 0005699507
Figure 0005699507

式(8)、(8−1)、(8−2)および(9)〜(12)中、Xは炭素または炭素数2〜100の4価の有機基、好ましくは炭素または2〜80の4価の有機基、より好ましくは炭素または2〜50の4価の有機基であり、Yは炭素数1〜100の2価の有機基、好ましくは1〜80の2価の有機基、より好ましくは1〜50の2価の有機基であり、Zは炭素数1〜100の1価の有機基、好ましくは1〜80の1価の有機基、より好ましくは1〜50の1価の有機基であり、X、YおよびZの少なくとも1つが骨格(1)を有し、X’は独立して炭素数1〜100の2価の有機基、好ましくは不飽和炭化水素構造を有する炭素数2〜100の2価の有機基または式(a)で表される2価の有機基、より好ましくは不飽和炭化水素構造を有する炭素数2〜80の2価の有機基または式(a)で表される2価の有機基であり、
Y’は独立して炭素数1〜100の1価の有機基、好ましくは不飽和炭化水素構造を有する炭素数2〜100の1価の有機基または式(b)で表される1価の有機基、より好ましくは不飽和炭化水素構造を有する炭素数2〜80の1価の有機基または式(b)で表される1価の有機基である。
In the formulas (8), (8-1), (8-2) and (9) to (12), X is carbon or a tetravalent organic group having 2 to 100 carbon atoms, preferably carbon or 2 to 80 A tetravalent organic group, more preferably carbon or a tetravalent organic group having 2 to 50 carbon atoms, and Y is a divalent organic group having 1 to 100 carbon atoms, preferably a divalent organic group having 1 to 80 carbon atoms. Preferably it is a 1-50 divalent organic group, Z is a C1-C100 monovalent organic group, Preferably it is a 1-80 monovalent organic group, More preferably, it is a 1-50 monovalent organic group. An organic group, wherein at least one of X, Y and Z has a skeleton (1), X ′ is independently a divalent organic group having 1 to 100 carbon atoms, preferably a carbon having an unsaturated hydrocarbon structure. A divalent organic group of 2 to 100 or a divalent organic group represented by formula (a), more preferably an unsaturated hydrocarbon structure; A divalent organic group having 2 to 80 carbon atoms or a divalent organic group represented by formula (a),
Y ′ is independently a monovalent organic group having 1 to 100 carbon atoms, preferably a monovalent organic group having 2 to 100 carbon atoms having an unsaturated hydrocarbon structure, or a monovalent group represented by the formula (b) An organic group, more preferably a monovalent organic group having 2 to 80 carbon atoms having an unsaturated hydrocarbon structure or a monovalent organic group represented by formula (b).

Figure 0005699507
Figure 0005699507

式(a)および(b)中、Rは独立して水素、炭素数1〜20のアルキルまたは炭素数1〜20のアルコキシ、好ましくは水素、炭素数1〜10のアルキルまたは炭素数1〜10のアルコキシであり、R’は炭素数1〜20の3価の有機基、好ましくは炭素数1〜10のアルキルであり、R”は炭素数1〜20の2価の有機基、好ましくは炭素数1〜10のアルキルである。   In the formulas (a) and (b), R is independently hydrogen, alkyl having 1 to 20 carbons or alkoxy having 1 to 20 carbons, preferably hydrogen, alkyl having 1 to 10 carbons or 1 to 10 carbons. R ′ is a trivalent organic group having 1 to 20 carbon atoms, preferably alkyl having 1 to 10 carbon atoms, and R ″ is a divalent organic group having 1 to 20 carbon atoms, preferably carbon. It is the alkyl of number 1-10.

上記アルケニル置換ナジイミド化合物の例として、X’が式(c)で表される不飽和炭化水素構造を有する2価の有機基である、前記化合物(9)または(11)のイミド化物が挙げられる。   Examples of the alkenyl-substituted nadiimide compound include an imidized product of the compound (9) or (11), wherein X ′ is a divalent organic group having an unsaturated hydrocarbon structure represented by the formula (c). .

Figure 0005699507
Figure 0005699507

式(c)中、R12およびR13は、それぞれ独立に水素、炭素数1〜12のアルキル、炭素数3〜6のアルケニル、炭素数5〜8のシクロアルキル、炭素数6〜12のアリールまたはベンジルである。 In formula (c), R 12 and R 13 are each independently hydrogen, alkyl having 1 to 12 carbons, alkenyl having 3 to 6 carbons, cycloalkyl having 5 to 8 carbons, or aryl having 6 to 12 carbons. Or benzyl.

1.5 化合物(A)の含有量
本発明のインクジェット用インクは、インク100重量部に対して化合物(A)を5〜95重量部、好ましくは20〜80重量部、より好ましくは30〜70重量部の量で含む。前記範囲の量で化合物(A)を含むと、一回のジェッティングで比較的厚いポリイミド膜(2μm以上)を形成することが可能であり、また、インクの粘度を、インクジェット印刷可能な粘度範囲に調整することができる。
1.5 Content of Compound (A) The inkjet ink of the present invention is 5 to 95 parts by weight, preferably 20 to 80 parts by weight, more preferably 30 to 70 parts by weight of compound (A) with respect to 100 parts by weight of ink. Included in parts by weight. When the compound (A) is contained in an amount in the above range, it is possible to form a relatively thick polyimide film (2 μm or more) by one jetting, and the viscosity of the ink is within a viscosity range in which ink jet printing is possible. Can be adjusted.

化合物(A)の濃度が高いほど、本発明のインクジェット用インクから得られるポリイミド膜の膜厚が厚くなるため好ましいが、その一方で粘度が高くなる傾向にあるため、インクジェット印刷機でインクジェット用インクが吐出できなくなるという問題が生じる可能性がある。   A higher concentration of the compound (A) is preferable because the film thickness of the polyimide film obtained from the ink-jet ink of the present invention is increased, but on the other hand, the viscosity tends to increase. There is a possibility that a problem that the ink cannot be discharged occurs.

<2.溶媒(B)>
溶媒(B)は、化合物(A)を溶解することができる溶媒であれば、特に制限されない。また、単独では化合物(A)を溶解しない溶媒であっても、他の溶媒と混合することによって化合物(A)を溶解できるのであれば、そのような混合溶媒を、溶媒(B)として用いることが可能である。
溶媒(B)の沸点は、好ましくは150〜300℃、より好ましくは150〜250℃である。
<2. Solvent (B)>
The solvent (B) is not particularly limited as long as it can dissolve the compound (A). In addition, even if the solvent alone does not dissolve the compound (A), such a mixed solvent can be used as the solvent (B) as long as the compound (A) can be dissolved by mixing with another solvent. Is possible.
The boiling point of the solvent (B) is preferably 150 to 300 ° C, more preferably 150 to 250 ° C.

溶媒(B)の具体例としては、エタノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、グリセリン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールイソプロピルメチルエーテル、ジエチレングリコールブチルメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジビニルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールジメチルエーテル、テトラメチレングリコールモノビニルエーテル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、乳酸エチル、安息香酸メチル、安息香酸エチル、アニソール、シクロヘキサノン、γ−ブチロラクトン、1,3−ジオキソラン、1,4−ジオキサン、2−ピロリドン、1−メチル−2−ピロリドン(略語:NMP)、1−エチル−2−ピロリドン、1−ブチル−2−ピロリドン、1−ビニル−2−ピロリドン、1−(2−ヒドロキシエチル)−2−ピロリドン、1−アセチル−2−ピロリドン、N−メチル−ε−カプロラクタム、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、N,N−ジメチルプロピオンアミドおよび1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノンが挙げられる。   Specific examples of the solvent (B) include ethanol, ethylene glycol, propylene glycol, glycerin, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol monophenyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl. Ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dibutyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol isopropyl methyl ether, diethylene glycol butyl methyl ether Diethylene glycol monoethyl ether acetate, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol dimethyl ether, triethylene glycol divinyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monobutyl ether, propylene glycol dimethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, di Propylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, tripropylene glycol dimethyl ether, tetramethylene glycol monovinyl ether, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl lactate , Methyl benzoate, ethyl benzoate, anisole, cyclohexanone, γ-butyrolactone, 1,3-dioxolane, 1,4-dioxane, 2-pyrrolidone, 1-methyl-2-pyrrolidone (abbreviation: NMP), 1-ethyl- 2-pyrrolidone, 1-butyl-2-pyrrolidone, 1-vinyl-2-pyrrolidone, 1- (2-hydroxyethyl) -2-pyrrolidone, 1-acetyl-2-pyrrolidone, N-methyl-ε-caprolactam, N , N-dimethylacetamide, N, N-diethylacetamide, N, N-dimethylpropionamide and 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone.

これらの中では、インクジェットヘッドの耐久性向上の点で、乳酸エチル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3−メトキシプロピオン酸メチル、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノンまたはγ−ブチロラクトンを、溶媒(B)として含むことが好ましい。   Among these, in terms of improving the durability of the inkjet head, ethyl lactate, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, methyl 3-methoxypropionate, It is preferable that 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone or γ-butyrolactone is contained as the solvent (B).

なお、上記例示溶媒の中では、インクジェットヘッドの耐久性の点から、1−ビニル−2−ピロリドン、1−ブチル−2−ピロリドン、1−エチル−2−ピロリドン、1−(2−ヒドロキシエチル)−2−ピロリドン、2−ピロリドン、1−メチル−2−ピロリドン(略語:NMP)、1−アセチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、N,N−ジメチルプロピオンアミド、N−メチル−ε−カプロラクタムなどのアミド系溶媒は、溶媒(B)の合計100重量部に対して、50重量部以下の量で含まれることが好ましく、好ましくは20重量部以下の量で含まれることが好ましく、全く含まれない、すなわち溶媒(B)が非アミド系の溶媒であることがより好ましい。
また、上述したように、化合物(A)の合成には反応溶媒が使用される。そのため、化合物(A)の合成が完了したときに前記反応溶媒が残存している場合、その反応溶媒を溶媒(B)として使用することもできる。
Among the above exemplified solvents, 1-vinyl-2-pyrrolidone, 1-butyl-2-pyrrolidone, 1-ethyl-2-pyrrolidone, 1- (2-hydroxyethyl) are used from the viewpoint of durability of the inkjet head. 2-pyrrolidone, 2-pyrrolidone, 1-methyl-2-pyrrolidone (abbreviation: NMP), 1-acetyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylacetamide, N, N-dimethylpropion Amide solvents such as amide and N-methyl-ε-caprolactam are preferably contained in an amount of 50 parts by weight or less, preferably 20 parts by weight or less, based on 100 parts by weight of the total amount of the solvent (B). It is preferable that the solvent (B) is a non-amide solvent.
As described above, a reaction solvent is used for the synthesis of the compound (A). Therefore, when the said reaction solvent remains when the synthesis | combination of a compound (A) is completed, the reaction solvent can also be used as a solvent (B).

溶媒(B)は、1種のみを用いてもよく、また、2種以上を混合して用いてもよい。また、本発明のインクジェット用インクは、インク100重量部に対して、溶媒(B)を5〜95重量部、好ましくは20〜80重量部、より好ましくは30〜70重量部の量で含有する。溶媒(B)の含有量が前記範囲内であると、インクジェット用インクの粘度が大きくなり過ぎず、ジェッティング特性は良好であるとともに、1回のジェッティングで形成できるポリイミド膜が薄くなり過ぎることがない。   Only 1 type may be used for a solvent (B), and 2 or more types may be mixed and used for it. The ink-jet ink of the present invention contains 5 to 95 parts by weight, preferably 20 to 80 parts by weight, more preferably 30 to 70 parts by weight of the solvent (B) with respect to 100 parts by weight of the ink. . When the content of the solvent (B) is within the above range, the viscosity of the ink jet ink does not increase too much, the jetting characteristics are good, and the polyimide film that can be formed by one jetting becomes too thin. There is no.

<3.添加剤>
本発明のインクジェット用インクは、目的とする特性によっては、化合物(A)および溶媒(B)以外の添加剤を含有してもよい。このような添加剤としては、例えば、高分子化合物、アルケニル置換ナジイミド化合物、シリコンアミド酸化合物、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、界面活性剤、帯電防止剤、カップリング剤、エポキシ硬化剤、pH調整剤、防錆剤、防腐剤、防黴剤、酸化防止剤、還元防止剤、蒸発促進剤、キレート化剤、水溶性ポリマー、顔料および染料が挙げられる。
<3. Additives>
The ink-jet ink of the present invention may contain additives other than the compound (A) and the solvent (B) depending on the intended properties. Examples of such additives include polymer compounds, alkenyl-substituted nadiimide compounds, silicon amide acid compounds, epoxy resins, acrylic resins, surfactants, antistatic agents, coupling agents, epoxy curing agents, pH adjusters, Examples include rust preventives, antiseptics, antifungal agents, antioxidants, anti-reduction agents, evaporation accelerators, chelating agents, water-soluble polymers, pigments and dyes.

3.1 高分子化合物
上記高分子化合物は、特に限定されないが、例えば、ポリアミド酸、可溶性ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリアミド酸エステル、ポリエステル、アクリル酸ポリマー、アクリレートポリマー、ポリビニルアルコールおよびポリオキシエチレンが挙げられる。これらの中では、ポリアミド酸および可溶性ポリイミドなどのポリイミド系高分子化合物が好ましい。
3.1 Polymer Compound The polymer compound is not particularly limited, and examples thereof include polyamic acid, soluble polyimide, polyamide, polyamide imide, polyamic acid ester, polyester, acrylic acid polymer, acrylate polymer, polyvinyl alcohol, and polyoxyethylene. Can be mentioned. Among these, polyimide polymer compounds such as polyamic acid and soluble polyimide are preferable.

高分子化合物とは、構成単位を有する化合物のことを指す。特に、重量平均分子量が1,000〜10,000である高分子化合物が、溶媒(B)に対する溶解性が優れており、インクジェット用インクの含有成分として好ましい。溶媒(B)に対する溶解性の観点からは、高分子化合物の重量平均分子量は、より好ましくは1,000〜7,500であり、さらに好ましくは1,000〜5,000であり、特に好ましくは1,000〜2,000である。   A high molecular compound refers to the compound which has a structural unit. In particular, a polymer compound having a weight average molecular weight of 1,000 to 10,000 is excellent in solubility in the solvent (B), and is preferable as a component contained in an inkjet ink. From the viewpoint of solubility in the solvent (B), the weight average molecular weight of the polymer compound is more preferably 1,000 to 7,500, still more preferably 1,000 to 5,000, and particularly preferably. 1,000 to 2,000.

重量平均分子量が1,000以上であると、加熱処理によって蒸発することがなく、化学的・機械的に安定である。また重量平均分子量が2,000以下であると、高分子化合物の溶媒(B)に対する溶解性が特に高いので、本発明のインクジェット用インク中の高分子化合物の濃度を高くすることができる。このため、インクジェット用インクを塗布して得られる塗膜の柔軟性および耐熱性を向上させることができる。   When the weight average molecular weight is 1,000 or more, it is chemically and mechanically stable without being evaporated by heat treatment. Moreover, since the solubility with respect to the solvent (B) of a high molecular compound is especially high as a weight average molecular weight is 2,000 or less, the density | concentration of the high molecular compound in the inkjet ink of this invention can be made high. For this reason, the softness | flexibility and heat resistance of the coating film obtained by apply | coating the inkjet ink can be improved.

高分子化合物の重量平均分子量はゲル浸透クロマトグラフィ(GPC)法により測定することができる。具体的には、高分子化合物をテトラヒドロフラン(THF)等で濃度が約1重量%になるように希釈し、東ソー株式会社製カラムG4000HXL、G3000HXL、G2500HXLおよびG2000HXLを、この順で直列に結合して用いて、THFを展開剤としてゲル浸透クロマトグラフィ(GPC)法により測定し、ポリスチレン換算することにより求めることができる。   The weight average molecular weight of the polymer compound can be measured by a gel permeation chromatography (GPC) method. Specifically, the polymer compound is diluted with tetrahydrofuran (THF) or the like so as to have a concentration of about 1% by weight, and Tosoh Corporation columns G4000HXL, G3000HXL, G2500HXL and G2000HXL are connected in series in this order. It can be obtained by measuring by gel permeation chromatography (GPC) method using THF as a developing agent and converting to polystyrene.

本発明のインクジェット用インクの高分子化合物の濃度は、通常0〜20重量%であり、好ましくは0〜10重量%である。このような濃度範囲であると、絶縁膜として良好な特性が付与できることがある。   The concentration of the polymer compound in the inkjet ink of the present invention is usually 0 to 20% by weight, preferably 0 to 10% by weight. In such a concentration range, good characteristics as an insulating film may be imparted.

3.2 エポキシ樹脂
上記エポキシ樹脂は、オキシランやオキセタンを有する化合物であれば特に限定されないが、オキシランを2つ以上有する化合物が好ましい。
3.2 Epoxy Resin The epoxy resin is not particularly limited as long as it is a compound having oxirane or oxetane, but a compound having two or more oxiranes is preferable.

エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、オキシランを有するモノマーの重合体、およびオキシランを有するモノマーと他のモノマーとの共重合体が挙げられる。   Examples of the epoxy resin include a bisphenol A type epoxy resin, a glycidyl ester type epoxy resin, an alicyclic epoxy resin, a polymer of a monomer having an oxirane, and a copolymer of a monomer having an oxirane and another monomer. .

オキシランを有するモノマーの具体例としては、グリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシル(メタ)アクリレートおよびメチルグリシジル(メタ)アクリレートが挙げられる。   Specific examples of the monomer having oxirane include glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexyl (meth) acrylate, and methyl glycidyl (meth) acrylate.

オキシランを有するモノマーと共重合させる他のモノマーの具体例としては、(メタ)アクリル酸、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、イソプロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、iso−ブチル(メタ)アクリレート、tert−ブチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、スチレン、メチルスチレン、クロルメチルスチレン、(3−エチル−3−オキセタニル)メチル(メタ)アクリレート、N−シクロヘキシルマレイミドおよびN−フェニルマレイミドが挙げられる。   Specific examples of other monomers copolymerized with the oxirane-containing monomer include (meth) acrylic acid, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, iso -Butyl (meth) acrylate, tert-butyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, styrene, methylstyrene, Examples include chloromethylstyrene, (3-ethyl-3-oxetanyl) methyl (meth) acrylate, N-cyclohexylmaleimide, and N-phenylmaleimide.

オキシランを有するモノマーの重合体およびオキシランを有するモノマーと他のモノマーとの共重合体の好ましい具体例としては、ポリグリシジルメタクリレート、メチルメタクリレート−グリシジルメタクリレート共重合体、ベンジルメタクリレート−グリシジルメタクリレート共重合体、n−ブチルメタクリレート−グリシジルメタクリレート共重合体、2−ヒドロキシエチルメタクリレート−グリシジルメタクリレート共重合体、(3−エチル−3−オキセタニル)メチルメタクリレート−グリシジルメタクリレート共重合体、またはスチレン−グリシジルメタクリレート共重合体が挙げられる。インクジェット用インクがこれらのエポキシ樹脂を含有すると、インクジェット用インクから形成されたポリイミド膜の耐熱性が良好となるため好ましい。   Preferred examples of the polymer of the monomer having oxirane and the copolymer of the monomer having oxirane and another monomer include polyglycidyl methacrylate, methyl methacrylate-glycidyl methacrylate copolymer, benzyl methacrylate-glycidyl methacrylate copolymer, n-butyl methacrylate-glycidyl methacrylate copolymer, 2-hydroxyethyl methacrylate-glycidyl methacrylate copolymer, (3-ethyl-3-oxetanyl) methyl methacrylate-glycidyl methacrylate copolymer, or styrene-glycidyl methacrylate copolymer. Can be mentioned. It is preferable that the inkjet ink contains these epoxy resins because the heat resistance of the polyimide film formed from the inkjet ink is improved.

エポキシ樹脂の具体例としては、商品名「エピコート807」、「エピコート815」、「エピコート825」、「エピコート827」、「エピコート828」、「エピコート190P」、「エピコート191P」(油化シェルエポキシ(株)製)、商品名「エピコート1004」、「エピコート1256」(ジャパンエポキシレジン(株)製)、商品名「アラルダイトCY177」、商品名「アラルダイトCY184」(日本チバガイギー(株)製)、商品名「セロキサイド2021P」、「セロキサイド3000」、「EHPE−3150」(ダイセル化学工業(株)製)、商品名「テクモアVG3101L」(三井化学(株)製)、N,N,N’,N’−テトラグリシジル−m−キシレンジアミン、1,3−ビス(N,N−ジグリシジルアミノメチル)シクロヘキサン、N,N,N’,N’−テトラグリシジル−4,4’−ジアミノジフェニルメタンが挙げられる。これらの中では、商品名「アラルダイトCY184」、商品名「セロキサイド2021P」、商品名「テクモアVG3101L」および商品名「エピコート828」が、得られるポリイミド膜の平坦性が特に良好であるため好ましい。   Specific examples of the epoxy resin include trade names “Epicoat 807”, “Epicoat 815”, “Epicoat 825”, “Epicoat 827”, “Epicoat 828”, “Epicoat 190P”, “Epicoat 191P” (oil-coated shell epoxy ( Product name) “Epicoat 1004”, “Epicoat 1256” (Japan Epoxy Resin Co., Ltd.), product name “Araldite CY177”, product name “Araldite CY184” (manufactured by Ciba Geigy Japan), product name “Celoxide 2021P”, “Celoxide 3000”, “EHPE-3150” (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), trade name “Techmore VG3101L” (manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.), N, N, N ′, N′− Tetraglycidyl-m-xylenediamine, 1,3-bis (N, N-diglycidyl Aminomethyl) cyclohexane, N, N, N ', -4,4'- N'- tetraglycidyl diaminodiphenylmethane and the like. Among these, the trade name “Araldite CY184”, the trade name “Celoxide 2021P”, the trade name “Techmore VG3101L”, and the trade name “Epicoat 828” are preferable because the flatness of the resulting polyimide film is particularly good.

エポキシ樹脂の具体例として、さらに式(I)〜(VI)の化合物が挙げられる。これらの中では、式(I)、式(V)および式(VI)の化合物が、得られる膜の平坦性が特に良好であるため好ましい。   Specific examples of the epoxy resin further include compounds of formulas (I) to (VI). Of these, the compounds of formula (I), formula (V) and formula (VI) are preferred because the flatness of the resulting film is particularly good.

Figure 0005699507
Figure 0005699507

式(V)中、Rf、RgおよびRhは、それぞれ独立して水素または炭素数1〜30の有機基である。
式(VI)中、Rcは炭素数2〜100の4価の有機基であり、Rdは炭素数1〜30の2価の有機基、例えば、炭素数1〜30の直鎖状もしくは分枝鎖状の2価の有機基であり、前記2価の有機基は環構造または酸素を含んでいてもよく、環構造としては、フェニル、シクロヘキシル、ナフチル、シクロヘキセニルおよびトリシクロ[5.2.1.02,6]デカニルなどが挙げられ、Reは、オキセタン、オキシランまたは1,2−エポキシシクロヘキサンを有する一価の有機基であり、好ましくは式(VII)〜(IX)からなる群より選ばれる1価の有機基である。
In Formula (V), R f , R g and R h are each independently hydrogen or an organic group having 1 to 30 carbon atoms.
In the formula (VI), R c is a tetravalent organic group having 2 to 100 carbon atoms, and R d is a divalent organic group having 1 to 30 carbon atoms, for example, a straight chain having 1 to 30 carbon atoms or It is a branched divalent organic group, and the divalent organic group may contain a ring structure or oxygen. Examples of the ring structure include phenyl, cyclohexyl, naphthyl, cyclohexenyl, and tricyclo [5.2. .1.0 2,6] decanyl, and the like, R e is, oxetane, a monovalent organic group having an oxirane or 1,2-epoxycyclohexane, consisting preferably of formula (VII) ~ (IX) A monovalent organic group selected from the group;

Figure 0005699507
式(VII)中、Riは水素または炭素数1〜3のアルキルである。
Figure 0005699507
In formula (VII), R i is hydrogen or alkyl having 1 to 3 carbon atoms.

式(VI)で表される化合物の好ましい例として、式(X)で表される化合物が挙げられる。   Preferable examples of the compound represented by the formula (VI) include a compound represented by the formula (X).

Figure 0005699507
Figure 0005699507

エポキシ樹脂は、1種のみを用いてもよく、また、2種以上を組み合わせて用いてもよい。本発明のインクジェット用インク中のエポキシ樹脂の濃度は、特に限定されないが、好ましくは0.1〜20重量%、より好ましくは1〜10重量%である。前記濃度範囲であると、本発明のインクジェット用インクから形成されたポリイミド膜の耐熱性、耐薬品性および平坦性が良好である。   Only one type of epoxy resin may be used, or two or more types may be used in combination. Although the density | concentration of the epoxy resin in the ink for inkjet of this invention is not specifically limited, Preferably it is 0.1 to 20 weight%, More preferably, it is 1 to 10 weight%. When the concentration is within the above range, the heat resistance, chemical resistance and flatness of the polyimide film formed from the inkjet ink of the present invention are good.

3.3 アクリル樹脂
上記アクリル樹脂は、アクリル基またはメタクリル基を有する樹脂であれば特に限定されないが、例えば、ヒドロキシルを有する単官能重合性モノマー、ヒドロキシルを有しない単官能重合性モノマー、二官能(メタ)アクリレート、または三官能以上の多官能(メタ)アクリレートの単独重合体、あるいはこれらのモノマーの共重合体が挙げられる。
3.3 Acrylic Resin The acrylic resin is not particularly limited as long as it has an acrylic group or a methacrylic group. For example, a monofunctional polymerizable monomer having hydroxyl, a monofunctional polymerizable monomer having no hydroxyl, a bifunctional ( Examples thereof include a meth) acrylate, a trifunctional or higher polyfunctional (meth) acrylate homopolymer, and a copolymer of these monomers.

ヒドロキシルを有する単官能重合性モノマーの具体例としては、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレートおよび1,4−シクロヘキサンジメタノールモノ(メタ)アクリレートが挙げられる。これらの中では、形成される膜を柔軟にできる点から、4−ヒドロキシブチルアクリレートおよび1,4−シクロヘキサンジメタノールモノアクリレートが好ましい。   Specific examples of the monofunctional polymerizable monomer having hydroxyl include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, and 1,4-cyclohexanedimethanol mono ( And (meth) acrylate. Among these, 4-hydroxybutyl acrylate and 1,4-cyclohexanedimethanol monoacrylate are preferable because the film to be formed can be made flexible.

ヒドロキシルを有しない単官能重合性モノマーの具体例としては、グリシジル(メタ)アクリレート、メチルグリシジル(メタ)アクリレート、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、イソプロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、iso−ブチル(メタ)アクリレート、t−ブチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、(3−エチル−3−オキセタニル)メチル(メタ)アクリレート、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート、5−テトラヒドロフルフリルオキシカルボニルペンチル(メタ)アクリレート、ラウリルアルコールのエチレンオキシド付加物の(メタ)アクリレート、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート、3−メチル−3−(メタ)アクリロキシメチルオキセタン、3−エチル−3−(メタ)アクリロキシメチルオキセタン、3−メチル−3−(メタ)アクリロキシエチルオキセタン、3−エチル−3−(メタ)アクリロキシエチルオキセタン、2−フェニル−3−(メタ)アクリロキシメチルオキセタン、2−トリフロロメチル−3−(メタ)アクリロキシメチルオキセタン、4−トリフロロメチル−2−(メタ)アクリロキシメチルオキセタン、p−ビニルフェニル−3−エチルオキセタ−3−イルメチルエーテル、スチレン、メチルスチレン、クロルメチルスチレン、ビニルトルエン、N−アクリロイルモルホリン、N−シクロヘキシルマレイミド、N−フェニルマレイミド、(メタ)アクリルアミド、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル酸、ケイ皮酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸、メサコン酸、コハク酸モノ[2−(メタ)アクリロイロキシエチル]、マレイン酸モノ[2−(メタ)アクリロイロキシエチル]およびシクロヘキセン−3,4−ジカルボン酸モノ[2−(メタ)アクリロイロキシエチル]が挙げられる。 Specific examples of the monofunctional polymerizable monomer having no hydroxyl include glycidyl (meth) acrylate, methyl glycidyl (meth) acrylate, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) acrylate, and butyl (meth). Acrylate, iso-butyl (meth) acrylate, t-butyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, benzyl (meth) ) acrylate, (3-ethyl-3-oxetanyl) methyl (meth) acrylate, tricyclo [5.2.1.0 2, 6] decanyl (meth) acrylate, dicyclopentenyl oxyethyl (meth) acrylate Glycerol mono (meth) acrylate, 5-tetrahydrofurfuryloxycarbonylpentyl (meth) acrylate, (meth) acrylate of ethylene oxide adduct of lauryl alcohol, ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate, 3-methyl-3 -(Meth) acryloxymethyl oxetane, 3-ethyl-3- (meth) acryloxymethyl oxetane, 3-methyl-3- (meth) acryloxyethyl oxetane, 3-ethyl-3- (meth) acryloxyethyl oxetane 2-phenyl-3- (meth) acryloxymethyloxetane, 2-trifluoromethyl-3- (meth) acryloxymethyloxetane, 4-trifluoromethyl-2- (meth) acryloxymethyloxetane, p-vinyl Phenyl-3-eth Oxeta-3-yl methyl ether, styrene, methyl styrene, chloromethyl styrene, vinyl toluene, N-acryloyl morpholine, N-cyclohexyl maleimide, N-phenyl maleimide, (meth) acrylamide, polystyrene macromonomer, polymethyl methacrylate macromonomer, (Meth) acrylic acid, crotonic acid, α-chloroacrylic acid, cinnamic acid, maleic acid, fumaric acid, itaconic acid, citraconic acid, mesaconic acid, succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl], malein And acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] and cyclohexene-3,4-dicarboxylic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl].

二官能(メタ)アクリレートの具体例としては、ビスフェノールFエチレンオキシド変性ジアクリレート、ビスフェノールAエチレンオキシド変性ジアクリレート、イソシアヌル酸エチレンオキシド変性ジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレートモノステアレート、ジペンタエリスリトールジアクリレート、1,4−ブタンジオールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、1,9−ノナンジオールジアクリレート、1,4−シクロヘキサンジメタノールジアクリレート、2−n−ブチル−2−エチル−1,3−プロパンジオールジアクリレートおよびトリメチロールプロパンジアクリレートを挙げることができる。   Specific examples of the bifunctional (meth) acrylate include bisphenol F ethylene oxide modified diacrylate, bisphenol A ethylene oxide modified diacrylate, isocyanuric acid ethylene oxide modified diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, polypropylene glycol diacrylate, pentaerythritol diacrylate, pentaerythritol. Diacrylate monostearate, dipentaerythritol diacrylate, 1,4-butanediol diacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, 1,9-nonanediol diacrylate, 1,4-cyclohexanedimethanol diacrylate, 2 N-butyl-2-ethyl-1,3-propanediol diacrylate and trimethylolpropane dia Relate can be mentioned.

三官能以上の多官能(メタ)アクリレートの具体例としては、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、エチレンオキシド変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、プロピレンオキシド変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、エピクロルヒドリン変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、グリセロールトリ(メタ)アクリレート、エピクロルヒドリン変性グリセロールトリ(メタ)アクリレート、ジグリセリンテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、アルキル変性ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、アルキル変性ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、アルキル変性ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、エチレンオキシド変性リン酸トリ(メタ)アクリレート、トリス[(メタ)アクリロキシエチル]イソシアヌレート、カプロラクトン変性トリス[(メタ)アクリロキシエチル]イソシアヌレート、およびウレタン(メタ)アクリレートが挙げられる。   Specific examples of trifunctional or higher polyfunctional (meth) acrylates are trimethylolpropane tri (meth) acrylate, ethylene oxide modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, propylene oxide modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, epichlorohydrin modified Trimethylolpropane tri (meth) acrylate, ditrimethylolpropane tetra (meth) acrylate, glycerol tri (meth) acrylate, epichlorohydrin-modified glycerol tri (meth) acrylate, diglycerin tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, Pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, alkyl-modified dipenta Rithritol penta (meth) acrylate, alkyl-modified dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, alkyl-modified dipentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, caprolactone-modified dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, Examples include ethylene oxide-modified tri (meth) acrylate phosphate, tris [(meth) acryloxyethyl] isocyanurate, caprolactone-modified tris [(meth) acryloxyethyl] isocyanurate, and urethane (meth) acrylate.

アクリル樹脂は、1種のみを用いてもよく、また、2種以上を組み合わせて用いてもよい。本発明のインクジェット用インク中のアクリル樹脂の濃度は、特に限定されないが、好ましくは0.1〜20重量%、より好ましくは1〜10重量%である。前記濃度範囲であると、本発明のインクジェット用インクから形成された塗膜の耐熱性、耐薬品性および平坦性が良好である。   Only one type of acrylic resin may be used, or two or more types may be used in combination. Although the density | concentration of the acrylic resin in the ink for inkjet of this invention is not specifically limited, Preferably it is 0.1 to 20 weight%, More preferably, it is 1 to 10 weight%. When the concentration is within the above range, the heat resistance, chemical resistance and flatness of the coating film formed from the ink jet ink of the present invention are good.

3.4 界面活性剤
上記界面活性剤は、本発明のインクジェット用インクの下地基板への濡れ性、レベリング性または塗布性を向上させるために使用するものである。
3.4 Surfactant The surfactant is used to improve the wettability, leveling property, or coating property of the ink-jet ink of the present invention to the base substrate.

界面活性剤としては、本発明のインクの塗布性を向上できる点から、例えば、商品名「Byk−300」、「Byk−306」、「Byk−335」、「Byk−310」、「Byk−341」、「Byk−344」、「Byk−370」(ビック・ケミー(株)製)等のシリコン系界面活性剤;商品名「Byk−354」、「ByK−358」、「Byk−361」(ビック・ケミー(株)製)等のアクリル系界面活性剤;商品名「DFX−18」、「フタージェント250」、「フタージェント251」(ネオス(株)製)等のフッ素系界面活性剤が挙げられる。
これらの界面活性剤は、1種のみを用いてもよく、また、2種以上を組み合わせて用いてもよい。本発明のインクジェット用インク中の界面活性剤の濃度は、好ましくは0.01〜1重量%である。
As the surfactant, for example, trade names “Byk-300”, “Byk-306”, “Byk-335”, “Byk-310”, “Byk-” can be used because the application property of the ink of the present invention can be improved. Silicone surfactants such as “341”, “Byk-344”, “Byk-370” (manufactured by Big Chemie); trade names “Byk-354”, “ByK-358”, “Byk-361” Acrylic surfactants (made by Big Chemie Co., Ltd.) and the like; Fluorine surfactants such as trade names “DFX-18”, “Factent 250”, and “Factent 251” (made by Neos) Is mentioned.
These surfactants may be used alone or in combination of two or more. The concentration of the surfactant in the inkjet ink of the present invention is preferably 0.01 to 1% by weight.

3.5 帯電防止剤
上記帯電防止剤は、本発明のインクジェット用インクの帯電を防止するために使用するものであり、特に限定されないが、公知の帯電防止剤を用いることができる。具体的には、酸化錫、酸化錫・酸化アンチモン複合酸化物、酸化錫・酸化インジウム複合酸化物等の金属酸化物や四級アンモニウム塩が挙げられる。
帯電防止剤は、1種のみを用いてもよく、また、2種以上を組み合わせて用いてもよい。本発明のインクジェット用インク中の帯電防止剤の濃度は、好ましくは0.01〜1重量%である。
3.5 Antistatic Agent The antistatic agent is used for preventing charging of the ink-jet ink of the present invention, and is not particularly limited, but a known antistatic agent can be used. Specific examples include metal oxides such as tin oxide, tin oxide / antimony oxide composite oxide, and tin oxide / indium oxide composite oxide, and quaternary ammonium salts.
Only one type of antistatic agent may be used, or two or more types may be used in combination. The concentration of the antistatic agent in the inkjet ink of the present invention is preferably 0.01 to 1% by weight.

3.6 カップリング剤
上記カップリング剤は、特に限定されるものではなく、公知のカップリング剤、好ましくはシランカップリング剤を用いることができる。シランカップリング剤の例としては、トリアルコキシシラン化合物またはジアルコキシシラン化合物が挙げられる。
3.6 Coupling Agent The coupling agent is not particularly limited, and a known coupling agent, preferably a silane coupling agent can be used. Examples of the silane coupling agent include trialkoxysilane compounds or dialkoxysilane compounds.

トリアルコキシシラン化合物またはジアルコキシシラン化合物としては、γ−ビニルプロピルトリメトキシシラン、γ−ビニルプロピルトリエトキシシラン、γ−アクリロイルプロピルメチルジメトキシシラン、γ−アクリロイルプロピルトリメトキシシラン、γ−アクリロイルプロピルメチルジエトキシシラン、γ−アクリロイルプロピルトリエトキシシラン、γ−メタクリロイルプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メタクリロイルプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロイルプロピルメチルジエトキシシラン、γ−メタクリロイルプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−アミノエチル−γ−イミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−アミノエチル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−アミノエチル−γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−フェニル−γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−フェニル−γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−フェニル−γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、γ−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルメチルジエトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリエトキシシラン、γ−イソシアナートプロピルメチルジエトキシシラン、γ−イソシアナートプロピルトリエトキシシランが挙げられる。これらの中では、γ−ビニルプロピルトリメトキシシラン、γ−アクリロイルプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロイルプロピルトリメトキシシランおよびγ−イソシアナートプロピルトリエトキシシランが特に好ましい。
カップリング剤は、1種のみを用いてもよく、また、2種以上を組み合わせて用いてもよい。本発明のインクジェット用インク中のカップリング剤の濃度は、好ましくは0.01〜3重量%である。
Examples of trialkoxysilane compounds or dialkoxysilane compounds include γ-vinylpropyltrimethoxysilane, γ-vinylpropyltriethoxysilane, γ-acryloylpropylmethyldimethoxysilane, γ-acryloylpropyltrimethoxysilane, and γ-acryloylpropylmethyldisilane. Ethoxysilane, γ-acryloylpropyltriethoxysilane, γ-methacryloylpropylmethyldimethoxysilane, γ-methacryloylpropyltrimethoxysilane, γ-methacryloylpropylmethyldiethoxysilane, γ-methacryloylpropyltriethoxysilane, γ-glycidoxypropyl Methyldimethoxysilane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, γ-glycidoxyp Propyltriethoxysilane, γ-aminopropylmethyldimethoxysilane, γ-aminopropyltrimethoxysilane, γ-aminopropylmethyldimethoxysilane, γ-aminopropyltriethoxysilane, N-aminoethyl-γ-iminopropylmethyldimethoxysilane N-aminoethyl-γ-aminopropyltrimethoxysilane, N-aminoethyl-γ-aminopropyltriethoxysilane, N-phenyl-γ-aminopropyltrimethoxysilane, N-phenyl-γ-aminopropyltriethoxysilane N-phenyl-γ-aminopropylmethyldimethoxysilane, N-phenyl-γ-aminopropylmethyldiethoxysilane, γ-mercaptopropylmethyldimethoxysilane, γ-mercaptopropylmethyldiethoxysilane, γ-merca Examples thereof include ptopropyltrimethoxysilane, γ-mercaptopropyltriethoxysilane, γ-isocyanatopropylmethyldiethoxysilane, and γ-isocyanatopropyltriethoxysilane. Among these, γ-vinylpropyltrimethoxysilane, γ-acryloylpropyltrimethoxysilane, γ-methacryloylpropyltrimethoxysilane and γ-isocyanatopropyltriethoxysilane are particularly preferable.
Only one type of coupling agent may be used, or two or more types may be used in combination. The concentration of the coupling agent in the inkjet ink of the present invention is preferably 0.01 to 3% by weight.

3.7 エポキシ硬化剤
上記エポキシ硬化剤は、特に限定されるものではなく、公知のエポキシ硬化剤、具体的には、有機酸ジヒドラジド化合物、イミダゾールおよびその誘導体、ジシアンジアミド、芳香族アミン、多価カルボン酸、多価カルボン酸無水物などを用いることができる。
3.7 Epoxy Curing Agent The epoxy curing agent is not particularly limited, and is a known epoxy curing agent, specifically, an organic acid dihydrazide compound, imidazole and its derivatives, dicyandiamide, aromatic amine, polyvalent carboxylic acid. An acid, a polyvalent carboxylic acid anhydride, etc. can be used.

さらに具体的には、ジシアンジアミド等のジシアンジアミド類、アジピン酸ジヒドラジド、1,3−ビス(ヒドラジノカルボエチル)−5−イソプロピルヒダントイン等の有機酸ジヒドラジド、2,4−ジアミノ−6−[2’−エチルイミダゾリル−(1’)]−エチルトリアジン、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール等のイミダゾール誘導体、無水フタル酸、無水トリメリット酸、1,2,4−シクロヘキサントリカルボン酸−1,2−無水物などの酸無水物、およびトリメリット酸が挙げられる。これらの中では、透明性が良好なトリメリット酸および1,2,4−シクロヘキサントリカルボン酸−1,2−無水物が好ましい。   More specifically, dicyandiamides such as dicyandiamide, adipic acid dihydrazide, organic acid dihydrazides such as 1,3-bis (hydrazinocarboethyl) -5-isopropylhydantoin, 2,4-diamino-6- [2′- Ethylimidazolyl- (1 ′)]-ethyltriazine, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, imidazole derivatives such as 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, phthalic anhydride, Examples include merit acid, acid anhydrides such as 1,2,4-cyclohexanetricarboxylic acid-1,2-anhydride, and trimellitic acid. Among these, trimellitic acid and 1,2,4-cyclohexanetricarboxylic acid-1,2-anhydride having good transparency are preferable.

エポキシ硬化剤は、1種のみを用いてもよく、また、2種以上を組み合わせて用いてもよい。本発明のインクジェット用インク中のエポキシ硬化剤の濃度は、好ましくは0.2〜5重量%である。   Only one epoxy curing agent may be used, or two or more epoxy curing agents may be used in combination. The concentration of the epoxy curing agent in the inkjet ink of the present invention is preferably 0.2 to 5% by weight.

<4.インクジェット用インクの物性>
4.1 インクジェット用インクの粘度
本発明のインクジェット用インクの、インクジェットヘッドから吐出するときの温度(吐出温度)における粘度は、好ましくは1〜50mPa・s、より好ましくは5〜20mPa・s、さらに好ましくは8〜15mPa・sである。粘度が前記範囲内であると、インクジェット塗布方法によるジェッティング精度が向上する。粘度が15mPa・sより低いと、インクジェット吐出不良が生じ難い。
<4. Inkjet ink properties>
4.1 Viscosity of inkjet ink The viscosity of the inkjet ink of the present invention at the temperature (ejection temperature) when ejecting from the inkjet head is preferably 1 to 50 mPa · s, more preferably 5 to 20 mPa · s, and further Preferably, it is 8-15 mPa · s. When the viscosity is within the above range, the jetting accuracy by the ink jet coating method is improved. When the viscosity is lower than 15 mPa · s, it is difficult to cause ink jet ejection defects.

また常温(25℃)でジェッティングを行う場合も多いため、本発明のインクジェット用インクの25℃における粘度は、好ましくは1〜50mPa・s、より好ましくは5〜20mPa・s、特に好ましくは8〜15mPa・sである。25℃における粘度が15mPa・sより小さいと、インクジェット吐出不良が生じ難い。   In addition, since jetting is often performed at room temperature (25 ° C.), the viscosity of the inkjet ink of the present invention at 25 ° C. is preferably 1 to 50 mPa · s, more preferably 5 to 20 mPa · s, and particularly preferably 8 ~ 15 mPa · s. When the viscosity at 25 ° C. is less than 15 mPa · s, it is difficult for ink jet ejection defects to occur.

4.2 インクジェット用インクの表面張力
本発明のインクジェット用インクの表面張力は、好ましくは20〜70mN/m、より好ましくは20〜40mN/mである。表面張力が前記範囲内であると、ジェッティングにより良好な液滴が形成でき、かつメニスカスを形成することができる。
4.2 Surface Tension of Inkjet Ink The surface tension of the inkjet ink of the present invention is preferably 20 to 70 mN / m, more preferably 20 to 40 mN / m. When the surface tension is within the above range, good droplets can be formed by jetting, and a meniscus can be formed.

4.3 インクジェット用インクの水分量
本発明のインクジェット用インク中の水分量は、好ましくは10,000ppm以下、より好ましくは5,000ppm以下である。水分量が前記範囲内であると、インクジェット用インクの粘度変化が少なく、保存安定性に優れる。
4.3 Water content of ink-jet ink The water content in the ink-jet ink of the present invention is preferably 10,000 ppm or less, more preferably 5,000 ppm or less. When the water content is within the above range, the viscosity change of the inkjet ink is small and the storage stability is excellent.

[ポリイミド膜]
本発明のポリイミド膜は、本発明のインクジェット用インクを用いて形成される。具体的には、本発明のインクジェット用インクをインクジェット塗布方法によって基板上に塗布して塗膜を形成し、該塗膜を加熱処理することにより、全面または所定のパターン状(たとえばライン状)のポリイミド膜を形成することができる。なお、本発明のインクジェット用インクに含まれる化合物(A)がイミド化物(A2)の場合、加熱処理に限定されず、紫外線、イオンビーム、電子線またはガンマ線などを照射する処理でもよい。
[Polyimide film]
The polyimide film of the present invention is formed using the inkjet ink of the present invention. Specifically, the ink-jet ink of the present invention is coated on a substrate by an ink-jet coating method to form a coating film, and the coating film is heat-treated to form a whole surface or a predetermined pattern (for example, a line). A polyimide film can be formed. In addition, when the compound (A) contained in the inkjet ink of the present invention is an imidized product (A2), the treatment is not limited to the heat treatment, and may be a treatment of irradiating ultraviolet rays, ion beams, electron beams, gamma rays, or the like.

インクジェット塗布方法における吐出方法としては、例えば、圧電素子型、バブルジェット(登録商標)型、連続噴射型および静電誘導型が挙げられる。本発明のインクジェット用インクは、含まれる各成分を適正に選択することにより、様々な方法で吐出が可能であり、インクジェット塗布方法によれば、本発明のインクジェット用インクを予め定められたパターン状に塗布することができる。   Examples of the ejection method in the inkjet coating method include a piezoelectric element type, a bubble jet (registered trademark) type, a continuous jet type, and an electrostatic induction type. The ink-jet ink of the present invention can be ejected by various methods by appropriately selecting each component contained. According to the ink-jet coating method, the ink-jet ink of the present invention has a predetermined pattern shape. Can be applied.

本発明における好ましい吐出方法は、圧電素子型である。この圧電素子型のヘッドは、複数のノズルを有するノズル形成基板と、圧電材料および導電材料からなり、かつノズルに対向して配置される圧力発生素子と、この圧力発生素子の周囲を満たすインクとを備えたオンデマンドインクジェット塗布ヘッドであり、印加電圧により圧力発生素子を変位させ、インクの小液滴をノズルから吐出させる。   A preferred ejection method in the present invention is a piezoelectric element type. The piezoelectric element type head includes a nozzle forming substrate having a plurality of nozzles, a pressure generating element made of a piezoelectric material and a conductive material, and disposed opposite to the nozzles, and ink filling the periphery of the pressure generating element. The on-demand inkjet coating head includes a pressure generating element that is displaced by an applied voltage, and ejects a small droplet of ink from a nozzle.

インクジェット塗布装置は、塗布ヘッドとインク収容部とが別体となった構成に限らず、それらが分離不能に一体になった構成であってもよい。また、インク収容部は、塗布ヘッドに対して、分離可能または分離不能に一体化されてキャリッジに搭載されるもののほか、装置の固定部位に設けられて、インク供給部材、例えば、チューブを介して塗布ヘッドにインクを供給する形態のものでもよい。   The ink jet coating apparatus is not limited to the configuration in which the coating head and the ink storage unit are separated from each other, and may be configured such that they are integrated so as not to be separated. The ink container is integrated with the coating head in a separable or non-separable manner and mounted on the carriage, and is provided at a fixed portion of the apparatus via an ink supply member such as a tube. It may be in the form of supplying ink to the coating head.

また、塗布ヘッドに対して、好ましい負圧を作用させるための構成をインクタンクに設ける場合には、インクタンクのインク収納部に吸収体を配置した形態、あるいは可撓性のインク収容袋とこれに対しその内容積を拡張する方向の力を作用させるバネ部とを有した形態などを採用することができる。塗布装置は、シリアル塗布方式を採るもののほか、塗布媒体の全幅に対応した範囲にわたって塗布素子を整列させてなるラインプリンタの形態をとるものであってもよい。   Further, when the ink tank is provided with a configuration for applying a preferable negative pressure to the coating head, a configuration in which an absorber is disposed in the ink storage portion of the ink tank, or a flexible ink storage bag and this On the other hand, it is possible to adopt a form having a spring portion that applies a force in the direction of expanding the internal volume. In addition to the serial coating method, the coating apparatus may take the form of a line printer in which coating elements are aligned over a range corresponding to the entire width of the coating medium.

本発明のインクジェット用インクをインクジェット塗布方法により基板上に塗布した後、ホットプレートまたはオーブン等での加熱により溶媒を気化等させて除去する、すなわち乾燥する。この加熱条件は各成分の種類および配合割合によって異なるが、通常70〜150℃で、オーブンを用いた場合は5〜15分間、ホットプレートを用いた場合は1〜5分間乾燥する。   After the inkjet ink of the present invention is applied onto a substrate by an inkjet application method, the solvent is removed by evaporation, for example, by heating in a hot plate or oven, that is, drying. Although this heating condition changes with kinds and compounding ratios of each component, it is normally 70-150 degreeC, when using oven, it will be 5 to 15 minutes, and when using a hotplate, it will dry for 1 to 5 minutes.

乾燥した後、塗膜の耐熱性、耐薬品性、平坦性、さらには十分な機械的強度を得るために、150〜350℃、好ましくは200〜300℃で、オーブンを用いた場合は30〜90分間、ホットプレートを用いた場合は5〜30分間加熱処理(硬化処理)することにより、ポリイミド膜が形成される。インクジェット塗布方法を用いて、パターン状に印刷した場合には、パターン状のポリイミド膜が形成される。本明細書では、特に言及のない限り、ポリイミド膜はパターン状のポリイミド膜を含むものとする。   After drying, in order to obtain the heat resistance, chemical resistance, flatness, and sufficient mechanical strength of the coating film, it is 150 to 350 ° C., preferably 200 to 300 ° C., and 30 to 30 when an oven is used. When a hot plate is used for 90 minutes, a polyimide film is formed by heat treatment (curing treatment) for 5 to 30 minutes. When printing in a pattern using an inkjet coating method, a patterned polyimide film is formed. In this specification, unless otherwise specified, the polyimide film includes a patterned polyimide film.

このようにして得られたポリイミド膜は、本発明のインクジェット用インクが、化合物(A)を高濃度で含んでいることから、従来のインクジェット用インクの塗布および加熱により形成されていたポリイミド膜よりも厚く、その厚みは通常2μm以上であり、好ましくは2〜5μmである。   The polyimide film thus obtained has a higher concentration of the compound (A) in the ink-jet ink of the present invention, so that the polyimide film formed by application and heating of the conventional ink-jet ink is used. The thickness is usually 2 μm or more, preferably 2 to 5 μm.

このように本発明のインクジェット用インクからは、1回のジェッティングで厚いポリイミド膜を得ることができる。そのため、例えば10μm程度の厚い絶縁膜を形成する場合には、従来のインクジェット用インクよりも、重ね塗りの回数を減らすことができ、絶縁膜の製造工程を短縮することができる。
また、本発明のインクジェット用インクから得られるポリイミド膜は、耐熱性および電気絶縁性に優れ、電子部品の信頼性および歩留まりを向上させることができる。
As described above, a thick polyimide film can be obtained from the inkjet ink of the present invention by one jetting. Therefore, when forming a thick insulating film of about 10 μm, for example, the number of times of overcoating can be reduced and the manufacturing process of the insulating film can be shortened as compared with the conventional ink jet ink.
Moreover, the polyimide film obtained from the inkjet ink of the present invention is excellent in heat resistance and electrical insulation, and can improve the reliability and yield of electronic components.

本発明のポリイミド膜は基板から容易に剥離しないことが好ましく、その密着性は、基板に対するポリイミド膜の密着強度で表すことができる。密着強度は、好ましくは0.2N/mm以上であり、より好ましくは0.5N/mm以上であり、特に好ましくは0.5〜1.5N/mmである。密着強度が0.2N/mm以上であると、ポリイミド膜が基板から容易に剥離することがなく、好ましい。   The polyimide film of the present invention is preferably not easily peeled from the substrate, and the adhesion can be expressed by the adhesion strength of the polyimide film to the substrate. The adhesion strength is preferably 0.2 N / mm or more, more preferably 0.5 N / mm or more, and particularly preferably 0.5 to 1.5 N / mm. The adhesion strength of 0.2 N / mm or more is preferable because the polyimide film does not easily peel from the substrate.

[基板]
本発明のフィルム基板は、例えば、配線が形成されたポリイミドフィルム等の基板上に、本発明のインクジェット用インクをインクジェット塗布方法によって全面または所定のパターン状(ライン状等)に塗布し、その後、上述したように乾燥し、さらに加熱してポリイミド膜を形成させて得られる。
[substrate]
The film substrate of the present invention is, for example, applied to the entire surface or a predetermined pattern (line shape, etc.) of the inkjet ink of the present invention on a substrate such as a polyimide film on which wiring is formed, and then, As described above, it is obtained by drying and further heating to form a polyimide film.

本発明のシリコンウエハー基板は、例えば、シリコンウエハー等の基板上に、本発明のインクジェット用インクをインクジェット塗布方法によって全面または所定のパターン状に塗布し、その後、上述したように乾燥し、さらに加熱してポリイミド膜を形成させて得られる。   The silicon wafer substrate of the present invention is applied, for example, to the substrate such as a silicon wafer by applying the inkjet ink of the present invention to the entire surface or a predetermined pattern by the inkjet coating method, and then drying and heating as described above. To obtain a polyimide film.

本発明で用いることができるポリイミド膜は、好ましくは上述したポリイミドフィルム等の基板上またはシリコンウエハー基板上に形成されるが、特にこれらに限定されるものではなく、公知の基板上に形成することができる。   The polyimide film that can be used in the present invention is preferably formed on a substrate such as the above-described polyimide film or on a silicon wafer substrate, but is not particularly limited thereto, and is formed on a known substrate. Can do.

本発明に適用可能な基板としては、例えば、FR−1、FR−3、FR−4、CEM−3またはE668等の各種規格に適合する、ガラスエポキシ基板、ガラスコンポジット基板、紙フェノール基板、紙エポキシ基板、グリーンエポキシ基板およびBTレジン基板が挙げられる。   As a substrate applicable to the present invention, for example, a glass epoxy substrate, a glass composite substrate, a paper phenol substrate, paper that conforms to various standards such as FR-1, FR-3, FR-4, CEM-3, or E668. An epoxy board | substrate, a green epoxy board | substrate, and a BT resin board | substrate are mentioned.

また、本発明に適用可能な他の基板としては、例えば、銅、黄銅、リン青銅、ベリリウム銅、アルミニウム、金、銀、ニッケル、スズ、クロムまたはステンレス等の金属からなる基板(それらの金属を表面に有する基板であってもよい);酸化アルミニウム(アルミナ)、窒化アルミニウム、酸化ジルコニウム(ジルコニア)、ジルコニウムのケイ酸塩(ジルコン)、酸化マグネシウム(マグネシア)、チタン酸アルミニウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛(PT)、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、チタン酸ジルコン酸ランタン鉛(PLZT)、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、硫化カドニウム、硫化モリブデン、酸化ベリリウム(ベリリア)、酸化ケイ素(シリカ)、炭化ケイ素(シリコンカーバイト)、窒化ケイ素(シリコンナイトライド)、窒化ホウ素(ボロンナイトライド)、酸化亜鉛、ムライト、フェライト、ステアタイト、ホルステライト、スピネルまたはスポジュメン等のセラミックスからなる基板(それらのセラミックスを表面に有する基板であってもよい);PET(ポリエチレンテレフタレート)樹脂、PBT(ポリブチレンテレフタレート)樹脂、PCT(ポリシクロへキシレンジメチレンテレフタレート)樹脂、PPS(ポリフェニレンサルファイド)樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、テフロン(登録商標)、熱可塑性エラストマーまたは液晶ポリマー等の樹脂からなる基板(それらの樹脂を表面に有する基板であってもよい);シリコン、ゲルマニウムまたはガリウム砒素等の半導体基板;ガラス基板;酸化スズ、酸化亜鉛、ITOまたはATO等の電極材料が表面に形成された基板;αGEL(アルファゲル)、βGEL(ベータゲル)、θGEL(シータゲル)またはγGEL(ガンマゲル)(以上、株式会社タイカの登録商標)等のゲルシートが挙げられる。   In addition, as other substrates applicable to the present invention, for example, a substrate made of a metal such as copper, brass, phosphor bronze, beryllium copper, aluminum, gold, silver, nickel, tin, chromium or stainless steel (these metals are It may be a substrate having a surface); aluminum oxide (alumina), aluminum nitride, zirconium oxide (zirconia), zirconium silicate (zircon), magnesium oxide (magnesia), aluminum titanate, barium titanate, titanium Lead oxide (PT), lead zirconate titanate (PZT), lead lanthanum zirconate titanate (PLZT), lithium niobate, lithium tantalate, cadmium sulfide, molybdenum sulfide, beryllium oxide (beryllia), silicon oxide (silica) , Silicon carbide (silicon carbide), silicon nitride (silicon Nitride), boron nitride (boron nitride), zinc oxide, mullite, ferrite, steatite, holsterite, spinel or spodumene, etc., a substrate (may be a substrate having such ceramics on the surface) PET (polyethylene terephthalate) resin, PBT (polybutylene terephthalate) resin, PCT (polycyclohexylene dimethylene terephthalate) resin, PPS (polyphenylene sulfide) resin, polycarbonate resin, polyacetal resin, polyphenylene ether resin, polyamide resin, polyarylate resin , Polysulfone resin, Polyethersulfone resin, Polyetherimide resin, Polyamideimide resin, Epoxy resin, Acrylic resin, Teflon (registered trademark), Thermoplastic A substrate made of a resin such as elastomer or liquid crystal polymer (may be a substrate having such a resin on its surface); a semiconductor substrate such as silicon, germanium or gallium arsenide; a glass substrate; tin oxide, zinc oxide, ITO or ATO, etc. A substrate on which the electrode material is formed; a gel sheet such as αGEL (alpha gel), βGEL (beta gel), θGEL (theta gel), or γGEL (gamma gel) (which is a registered trademark of Taika Co., Ltd.).

[電子部品]
本発明の電子部品は、上述のフィルム基板を有する電子部品、あるいは上述のシリコンウエハー基板を有する電子部品である。このように本発明のフィルム基板を利用して、フレキシブルな電子部品が得られる。また、本発明のシリコンウエハー基板を利用して、半導体電子部品が得られる。
[Electronic parts]
The electronic component of the present invention is an electronic component having the above film substrate or an electronic component having the above silicon wafer substrate. Thus, a flexible electronic component is obtained using the film substrate of the present invention. In addition, a semiconductor electronic component can be obtained using the silicon wafer substrate of the present invention.

以下、実施例に基づいて本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に何ら限定されるものではない。なお、実施例および比較例で用いた反応原料および溶媒の名称の略号を以下に示す。   EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated more concretely based on an Example, this invention is not limited to these Examples at all. In addition, the symbol of the name of the reaction raw material and solvent used by the Example and the comparative example is shown below.

<テトラカルボン酸二無水物>
PMDA:ピロメリット酸二無水物
BPDA-H:3,3’,4,4’−ビシクロへキシルテトラカルボン酸二無水物
TAPQ:式(3)で表されるテトラカルボン酸二無水物
<Tetracarboxylic dianhydride>
PMDA: pyromellitic dianhydride BPDA-H: 3,3 ′, 4,4′-bicyclohexyltetracarboxylic dianhydride TAPQ: tetracarboxylic dianhydride represented by formula (3)

Figure 0005699507
Figure 0005699507

<ジアミン>
BAPP:2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン
BAPEE:ジエチレングリコールビス(3−アミノプロピル)エーテル
<ジカルボン酸無水物>
MA:マレイン酸無水物
<溶媒>
EDM:ジエチレングリコールメチルエチルエーテル(沸点:180〜190℃)
NMP:1−メチル−2−ピロリドン(沸点:202℃)
<Diamine>
BAPP: 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane BAPEE: Diethylene glycol bis (3-aminopropyl) ether <Dicarboxylic anhydride>
MA: Maleic anhydride <Solvent>
EDM: Diethylene glycol methyl ethyl ether (boiling point: 180-190 ° C.)
NMP: 1-methyl-2-pyrrolidone (boiling point: 202 ° C.)

[合成例1]
100mLのサンプル瓶中に攪拌子をいれて、表1に示す配合割合で原料および溶媒を仕込み、室温で攪拌後、淡黄色なポリアミド酸の25重量%溶液(インクA)を得た。この溶液の粘度を、25℃にて、TV-22(TOKI SANGYO製)で測定したところ、13.7mPasであった。
[Synthesis Example 1]
A stirrer was placed in a 100 mL sample bottle, and the raw materials and the solvent were charged at the blending ratios shown in Table 1. After stirring at room temperature, a 25% by weight solution of light yellow polyamic acid (ink A) was obtained. The viscosity of this solution was measured at 25 ° C. with TV-22 (manufactured by TOKI SANGYO) and found to be 13.7 mPas.

[合成例2]
合成例1と同様に、表1に示す配合割合で原料および溶媒を仕込み、室温で攪拌後、淡黄色なポリアミド酸の25重量%溶液(インクB)を得た。この溶液の粘度を、合成例1と同様にして測定したところ、11.5mPasであった。
[Synthesis Example 2]
In the same manner as in Synthesis Example 1, the raw materials and the solvent were added at the blending ratios shown in Table 1, and after stirring at room temperature, a 25% by weight solution of light yellow polyamic acid (ink B) was obtained. When the viscosity of this solution was measured in the same manner as in Synthesis Example 1, it was 11.5 mPas.

[合成例3]
合成例1と同様に、表1に示す配合割合で原料および溶媒を仕込み、室温で攪拌後、淡黄色なポリアミド酸の25重量%溶液(インクC)を得た。この溶液の粘度を、合成例1と同様にして測定したところ、16mPasであった。
[Synthesis Example 3]
In the same manner as in Synthesis Example 1, the raw materials and the solvent were added at the blending ratios shown in Table 1, and after stirring at room temperature, a 25% by weight solution (ink C) of pale yellow polyamic acid was obtained. When the viscosity of this solution was measured in the same manner as in Synthesis Example 1, it was 16 mPas.

[合成例4]
合成例1と同様に、表1に示す配合割合で原料および溶媒を仕込み、室温で攪拌後、淡黄色なポリアミド酸の25重量%溶液(インクD)を得た。この溶液の粘度を、合成例1と同様にして測定したところ、15mPasであった。
[Synthesis Example 4]
In the same manner as in Synthesis Example 1, the raw materials and the solvent were charged at the blending ratios shown in Table 1, and after stirring at room temperature, a 25% by weight solution (ink D) of pale yellow polyamic acid was obtained. When the viscosity of this solution was measured in the same manner as in Synthesis Example 1, it was 15 mPas.

Figure 0005699507
Figure 0005699507

[実施例1]
(1)インクジェット装置(Dimatix製「DMP2831」)を用いて、銅箔(日鉱金属製「BHY−22B−T」、20mm×30mm)上全面に、インクAを塗布し、80℃で5分間乾燥させ、続いて180℃で60分間加熱することにより、厚み10μmのポリイミド膜を形成し、ポリイミド膜4と銅箔5との複合膜を得た。
[Example 1]
(1) Using an ink jet device ("DMP2831" manufactured by Dimatix), ink A was applied on the entire surface of a copper foil ("BHY-22B-T" manufactured by Nikko Metal, 20mm x 30mm) and dried at 80 ° C for 5 minutes. Subsequently, by heating at 180 ° C. for 60 minutes, a polyimide film having a thickness of 10 μm was formed, and a composite film of the polyimide film 4 and the copper foil 5 was obtained.

(2)次に、図1に示すように、粘着剤層2を有するガラスエポキシ支持基板1((株)マックエイト製「SHG−1B」:0.5mm厚)全面に、金メッキ用マスキングテープ3(住友3M製「851A」;ポリエステルフィルムの片面に粘着剤が塗布された、粘着力3.49N/10mm、引張強度35N/10mmのテープ。)のポリエステルフィルム面を貼り付けた。   (2) Next, as shown in FIG. 1, a glass epoxy supporting substrate 1 having a pressure-sensitive adhesive layer 2 (“SHG-1B” manufactured by McEight Co., Ltd .: 0.5 mm thickness) is coated on the entire surface with a masking tape 3 for gold plating ( “851A” manufactured by Sumitomo 3M; a polyester film having an adhesive of 3.49 N / 10 mm and a tensile strength of 35 N / 10 mm with an adhesive applied to one side of the polyester film.

マスキングテープ3に上記(1)で作製したポリイミド膜4と銅箔5との複合膜を貼り付けた。このとき、マスキングテープ3の粘着剤が塗布された面とポリイミド膜4とが接するようにした。さらに、前記複合膜上の銅箔5に幅2.5mmの金メッキ用マスキングテープ(住友3M製「851A」)を貼り付け、粘着剤層2を有するガラスエポキシ支持基板1−マスキングテープ3−ポリイミド膜4−銅箔5−金メッキ用マスキングテープの順で積層された積層体を得た。   A composite film of the polyimide film 4 and the copper foil 5 prepared in the above (1) was attached to the masking tape 3. At this time, the surface of the masking tape 3 to which the adhesive was applied was in contact with the polyimide film 4. Further, a masking tape for gold plating having a width of 2.5 mm (“851A” manufactured by Sumitomo 3M) is attached to the copper foil 5 on the composite film, and a glass epoxy supporting substrate 1 having an adhesive layer 2 1 -masking tape 3 -polyimide film The laminated body laminated | stacked in order of 4-copper foil 5-masking tape for gold plating was obtained.

得られた積層体を以下の方法でエッチング処理した。エッチングは、前記積層体を塩化第二鉄溶液(サンハトヤ製「H−1000A」)に浸漬し(エアーバブリング有り)、浴温45℃の条件で15分間行った。
エッチング処理後の積層体を純水で洗浄した後、銅箔に貼り付けたマスキングテープを剥がして幅2.5mmの銅箔を有する評価サンプルとした。
The obtained laminate was etched by the following method. Etching was performed by immersing the laminate in a ferric chloride solution (“H-1000A” manufactured by Sanhatoya) (with air bubbling) and a bath temperature of 45 ° C. for 15 minutes.
The laminated body after the etching treatment was washed with pure water, and then the masking tape attached to the copper foil was peeled off to obtain an evaluation sample having a copper foil with a width of 2.5 mm.

(3)得られた評価サンプルの銅箔5を、引っ張り試験機(島津製作所製「島津卓上小型字型試験機EZGraph」)を用いて、引張速度:50mm/minおよびロードセル:20Nの条件で180°方向へ剥離し、その強度を密着強度とした。その結果、密着強度は0.7N/mmであった。   (3) Using the tensile tester (“Shimadzu tabletop small-sized tester EZGraph” manufactured by Shimadzu Corporation), the copper foil 5 of the obtained evaluation sample was 180 under the conditions of a tensile speed of 50 mm / min and a load cell of 20N. Peeled in the direction of °, and the strength was defined as the adhesion strength. As a result, the adhesion strength was 0.7 N / mm.

[比較例1]
インクAの代わりにインクBを用いたこと以外は実施例1と同様にして評価サンプルを作製し、その密着強度を測定した。密着強度は0.1N/mmであった。
[Comparative Example 1]
An evaluation sample was prepared in the same manner as in Example 1 except that ink B was used instead of ink A, and the adhesion strength was measured. The adhesion strength was 0.1 N / mm.

[比較例2]
インクAの代わりにインクCを用いたこと以外は実施例1と同様にして評価サンプルを作製し、その密着強度を測定した。密着強度は0.04N/mmであった。
[Comparative Example 2]
An evaluation sample was prepared in the same manner as in Example 1 except that ink C was used instead of ink A, and the adhesion strength was measured. The adhesion strength was 0.04 N / mm.

[比較例3]
インクAの代わりにインクDを用いたこと以外は実施例1と同様にして評価サンプルを作製し、その密着強度を測定した。密着強度は0.19N/mmであった。
[Comparative Example 3]
An evaluation sample was prepared in the same manner as in Example 1 except that ink D was used instead of ink A, and the adhesion strength was measured. The adhesion strength was 0.19 N / mm.

実施例1で用いたインクAは、インクの粘度がインクジェット印刷に好適な13.7mPasであった。また、インクAは、インクジェット装置のノズルから吐出させることができ、吐出された直後に広がらず、良好な液滴を形成できたことから、インクジェット用インクに適した表面張力となっていることがわかった。さらに、実施例1の結果から、沸点が100〜300℃の範囲の溶媒を使用することができることもわかった。これらのことから、実施例1のインクAは、粘度、表面張力および溶剤の沸点のパラメータをインクジェット印刷用に最適化させたインクであると評価できる。   Ink A used in Example 1 had an ink viscosity of 13.7 mPas suitable for inkjet printing. Further, the ink A can be ejected from the nozzle of the ink jet apparatus, and does not spread immediately after being ejected, and can form good liquid droplets. Therefore, the surface tension is suitable for the ink for ink jet. all right. Furthermore, from the results of Example 1, it was also found that a solvent having a boiling point in the range of 100 to 300 ° C. can be used. From these facts, it can be evaluated that the ink A of Example 1 is an ink in which the parameters of the viscosity, the surface tension, and the boiling point of the solvent are optimized for inkjet printing.

また、インクAを用いて形成した塗膜について、基板との密着強度を測定したところ、0.7N/mmという高い値を示した。このことから、インクAを用いることによって、基板に対して良好な密着性を示すポリイミド膜を形成できたことがわかった。   Moreover, when the adhesive strength with the board | substrate was measured about the coating film formed using the ink A, the high value of 0.7 N / mm was shown. From this, it was found that by using the ink A, a polyimide film showing good adhesion to the substrate could be formed.

これに対して、比較例1〜3で用いたインクB〜Dは、インクジェット印刷に使用することは可能であったが、インクB〜Dを用いて形成した塗膜について、基板との密着強度を測定したところ、すべて0.2N/mm以下という低い値を示した。このことから、インクB〜Dを用いて形成したポリイミド膜は、基板に対する密着性が不充分であり、剥離し易いことがわかった。   On the other hand, although the inks B to D used in Comparative Examples 1 to 3 could be used for inkjet printing, the coating strength formed with the inks B to D was used for adhesion strength with the substrate. Were measured, all showed a low value of 0.2 N / mm or less. From this, it was found that the polyimide film formed using the inks B to D had insufficient adhesion to the substrate and was easily peeled off.

1 支持基板
2 粘着剤層
3 粘着剤付きマスキングテープ
4 ポリイミド膜
5 銅箔
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Support substrate 2 Adhesive layer 3 Masking tape with adhesive 4 Polyimide film 5 Copper foil

Claims (16)

式(1)で表される骨格を有するアミド酸誘導体(A1)およびそのイミド化物(A2)からなる群より選ばれる少なくとも1種の化合物(A)を含有するインクジェット用インク。
Figure 0005699507
(式中、R1、R2、R3およびR4は、それぞれ独立に水素または炭素数1〜10のアルキルである。)
An inkjet ink comprising at least one compound (A) selected from the group consisting of an amic acid derivative (A1) having a skeleton represented by formula (1) and an imidized product (A2) thereof.
Figure 0005699507
(Wherein R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are each independently hydrogen or alkyl having 1 to 10 carbon atoms.)
化合物(A)が、式(2−1)または(2−2)で表される酸無水物を用いて得られた化合物である請求項1に記載のインクジェット用インク。
Figure 0005699507
(式中、R1、R2、R3およびR4は、それぞれ独立に水素または炭素数1〜10のアルキルであり、R5は単結合、炭素または炭素数1〜50の有機基であり、mは1または2であり、nは1または2である。)
The inkjet ink according to claim 1, wherein the compound (A) is a compound obtained by using an acid anhydride represented by the formula (2-1) or (2-2).
Figure 0005699507
Wherein R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are each independently hydrogen or alkyl having 1 to 10 carbons, and R 5 is a single bond, carbon or an organic group having 1 to 50 carbons. , M is 1 or 2, and n is 1 or 2.)
化合物(A)が、式(3)〜(5)で表されるテトラカルボン酸二無水物から選ばれる少なくとも1種を用いて得られた化合物である請求項1または2に記載のインクジェット用インク。
Figure 0005699507
The inkjet ink according to claim 1 or 2, wherein the compound (A) is a compound obtained by using at least one selected from tetracarboxylic dianhydrides represented by formulas (3) to (5). .
Figure 0005699507
化合物(A)が、式(6)〜(7)で表されるジカルボン酸無水物から選ばれる少なくとも1種を用いて得られた化合物である請求項1または2に記載のインクジェット用インク。
Figure 0005699507
The inkjet ink according to claim 1 or 2, wherein the compound (A) is a compound obtained by using at least one selected from dicarboxylic anhydrides represented by formulas (6) to (7).
Figure 0005699507
アミド酸誘導体(A1)が、式(8)で表される構成単位と、式(8−1)および(8−2)で表される分子末端基からなる群より選ばれる少なくとも1種の分子末端基とを有する化合物ならびに式(9)〜(12)で表される化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種である請求項1〜4のいずれか1項に記載のインクジェット用インク。
Figure 0005699507
(式中、Xは炭素または炭素数2〜100の4価の有機基であり、Yは炭素数1〜100の2価の有機基であり、Zは炭素数1〜100の1価の有機基であり、X、YおよびZの少なくとも1つが式(1)で表される骨格を有し、Xが式(1)で表される骨格を有する場合、Xは炭素数14〜100の4価の有機基であり、Yが式(1)で表される骨格を有する場合、Yは炭素数13〜100の2価の有機基であり、Zが式(1)で表される骨格を有する場合、Zは炭素数13〜100の1価の有機基であり、X’は独立して炭素数1〜100の2価の有機基であり、Y’は独立して炭素数1〜100の1価の有機基である。)
The amic acid derivative (A1) is at least one molecule selected from the group consisting of a structural unit represented by formula (8) and molecular end groups represented by formulas (8-1) and (8-2) The inkjet ink according to any one of claims 1 to 4, wherein the inkjet ink is at least one selected from the group consisting of compounds having a terminal group and compounds represented by formulas (9) to (12).
Figure 0005699507
(In the formula, X is carbon or a tetravalent organic group having 2 to 100 carbon atoms, Y is a divalent organic group having 1 to 100 carbon atoms, and Z is a monovalent organic group having 1 to 100 carbon atoms. And when at least one of X, Y and Z has a skeleton represented by formula (1), and X has a skeleton represented by formula (1), X is 4 having 14 to 100 carbon atoms. When Y has a skeleton represented by the formula (1), Y is a divalent organic group having 13 to 100 carbon atoms, and Z represents a skeleton represented by the formula (1). Z is a monovalent organic group having 13 to 100 carbon atoms , X ′ is independently a divalent organic group having 1 to 100 carbon atoms, and Y ′ is independently 1 to 100 carbon atoms. Of the monovalent organic group.)
式(8−1)、(8−2)および(9)〜(12)中、X’が独立して不飽和炭化水素構造を有する炭素数2〜100の2価の有機基または式(a)で表される2価の有機基であり、Y’が独立して不飽和炭化水素構造を有する炭素数2〜100の1価の有機基または式(b)で表される1価の有機基である請求項5に記載のインクジェット用インク。
Figure 0005699507
(式中、Rは独立して水素、炭素数1〜20のアルキルまたは炭素数1〜20のアルコキシであり、R’は炭素数1〜20の3価の有機基であり、R”は炭素数1〜20の2価の有機基である。)
In the formulas (8-1), (8-2) and (9) to (12), X ′ is independently a divalent organic group having 2 to 100 carbon atoms having an unsaturated hydrocarbon structure or the formula (a ), A monovalent organic group having 2 to 100 carbon atoms and Y ′ independently having an unsaturated hydrocarbon structure or a monovalent organic group represented by formula (b) The inkjet ink according to claim 5, which is a base.
Figure 0005699507
Wherein R is independently hydrogen, alkyl having 1 to 20 carbons or alkoxy having 1 to 20 carbons, R ′ is a trivalent organic group having 1 to 20 carbons, and R ″ is carbon. (It is a divalent organic group of the number 1-20.)
さらに溶媒(B)を含む請求項1〜6のいずれか1項に記載のインクジェット用インク。   Furthermore, the ink for inkjets of any one of Claims 1-6 containing a solvent (B). 溶媒(B)が、エタノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、グリセリン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールイソプロピルメチルエーテル、ジエチレングリコールブチルメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジビニルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールジメチルエーテル、テトラメチレングリコールモノビニルエーテル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、乳酸エチル、安息香酸メチル、安息香酸エチル、アニソール、シクロヘキサノン、γ−ブチロラクトン、1,3−ジオキソラン、1,4−ジオキサン、2−ピロリドン、1−メチル−2−ピロリドン、1−エチル−2−ピロリドン、1−ブチル−2−ピロリドン、1−ビニル−2−ピロリドン、1−(2−ヒドロキシエチル)−2−ピロリドン、1−アセチル−2−ピロリドン、N−メチル−ε−カプロラクタム、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、N,N−ジメチルプロピオンアミドおよび1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノンからなる群より選ばれる少なくとも1種である請求項7に記載のインクジェット用インク。   Solvent (B) is ethanol, ethylene glycol, propylene glycol, glycerin, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol monophenyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol Monomethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dibutyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol isopropyl methyl ether, diethylene glycol butyl methyl ether, diethylene glycol Cole monoethyl ether acetate, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol dimethyl ether, triethylene glycol divinyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monobutyl ether, propylene glycol dimethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, di Propylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, tripropylene glycol dimethyl ether, tetramethylene glycol monovinyl ether, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl lactate, benzoic acid , Ethyl benzoate, anisole, cyclohexanone, γ-butyrolactone, 1,3-dioxolane, 1,4-dioxane, 2-pyrrolidone, 1-methyl-2-pyrrolidone, 1-ethyl-2-pyrrolidone, 1-butyl- 2-pyrrolidone, 1-vinyl-2-pyrrolidone, 1- (2-hydroxyethyl) -2-pyrrolidone, 1-acetyl-2-pyrrolidone, N-methyl-ε-caprolactam, N, N-dimethylacetamide, N, The inkjet ink according to claim 7, wherein the inkjet ink is at least one selected from the group consisting of N-diethylacetamide, N, N-dimethylpropionamide, and 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone. インクジェット用インク100重量部に対して、化合物(A)を5〜95重量部の量で含む請求項1〜8のいずれか1項に記載のインクジェット用インク。   The inkjet ink according to any one of claims 1 to 8, comprising the compound (A) in an amount of 5 to 95 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the inkjet ink. 請求項1〜9のいずれか1項に記載のインクジェット用インクを用いて形成されたポリイミド膜。   A polyimide film formed using the inkjet ink according to claim 1. パターン状である請求項10に記載のポリイミド膜。   The polyimide film according to claim 10, which has a pattern shape. 請求項1〜9のいずれか1項に記載のインクジェット用インクを、インクジェット塗布方法によって基板上に塗布して塗膜を形成する工程と、該塗膜を加熱処理してポリイミド膜を形成する工程とを含むポリイミド膜形成方法。   The process of apply | coating the inkjet ink of any one of Claims 1-9 on a board | substrate with an inkjet coating method, and forming a coating film, The process of heat-processing this coating film and forming a polyimide film A polyimide film forming method comprising: 基板上に請求項10または11に記載のポリイミド膜が形成されてなるフィルム基板。   The film board | substrate formed by forming the polyimide film of Claim 10 or 11 on a board | substrate. 請求項13に記載のフィルム基板を有する電子部品。   An electronic component having the film substrate according to claim 13. 基板上に請求項10または11に記載のポリイミド膜が形成されてなるシリコンウエハー基板。   A silicon wafer substrate in which the polyimide film according to claim 10 or 11 is formed on a substrate. 請求項15に記載のシリコンウエハー基板を有する電子部品。   An electronic component comprising the silicon wafer substrate according to claim 15.
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