JP5699372B2 - Color filter, liquid crystal display device, and method of manufacturing color filter - Google Patents

Color filter, liquid crystal display device, and method of manufacturing color filter Download PDF

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Description

本発明は、液晶表示装置、特にＶＡ方式、ＴＮ方式、又はＩＰＳ方式の液晶テレビに用いられるカラーフィルタ等に関する。   The present invention relates to a liquid crystal display device, particularly a color filter used for a VA, TN, or IPS liquid crystal television.

液晶表示装置は、カラーフィルタ等の表示側基板と液晶駆動側基板とを対向させ、両者の間に液晶層を形成し、液晶駆動側基板により液晶層内の液晶分子の配列を電気的に制御して表示側基板の透過光又は反射光の量を選択的に変化させ、表示を行うものである。   In a liquid crystal display device, a display side substrate such as a color filter and a liquid crystal driving side substrate are opposed to each other, a liquid crystal layer is formed therebetween, and the arrangement of liquid crystal molecules in the liquid crystal layer is electrically controlled by the liquid crystal driving side substrate. Thus, display is performed by selectively changing the amount of transmitted or reflected light of the display side substrate.

現在、カラーフィルタは、液晶の配向方式により、以下のような層構成が一般的である。すなわち、ＶＡ（Ｖｅｒｔｉｃａｌ Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）方式においては、ブラックマトリクス層＋着色層（ＲＧＢ）＋透明電極層＋柱＋リブの層構成であり、ＴＮ（Ｔｗｉｓｔｅｄ Ｎｅｍａｔｉｃ）方式では、ブラックマトリクス層＋着色層（ＲＧＢ）＋透明電極層＋柱であり、ＩＰＳ（Ｉｎ Ｐｌａｎｅ Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）方式では、ブラックマトリクス層＋着色層＋オーバーコート層＋柱の層構成である。液晶テレビの低価格化のニーズは強く、カラーフィルタに対するコストダウンが求められている。カラーフィルタを低コスト化する方法として、ガラスや感光性樹脂といった材料の低コスト化が挙げられるが、さらなる低コスト化が求められている。   Currently, the color filter generally has the following layer structure depending on the liquid crystal alignment method. That is, in the VA (Vertical Alignment) method, the layer structure is a black matrix layer + colored layer (RGB) + transparent electrode layer + column + rib. In the TN (Twisted Nematic) method, the black matrix layer + colored layer (RGB) ) + Transparent electrode layer + pillar, and in the IPS (In Plane Switching) method, the layer structure is black matrix layer + colored layer + overcoat layer + column. There is a strong need for lower prices for LCD TVs, and cost reduction for color filters is required. As a method for reducing the cost of the color filter, cost reduction of materials such as glass and photosensitive resin can be mentioned, but further cost reduction is demanded.

また、カラーフィルタを低コスト化する方法として、層構成を削減することによる工程数を削減する方法は、非常に有用な方法であり、これまで、着色層を積層して柱（フォトスペーサーとも呼ばれる）の代わりとすることで、工程を削減する方法が提案されている（特許文献１を参照）。   In addition, as a method for reducing the cost of a color filter, a method of reducing the number of steps by reducing the layer structure is a very useful method, and until now, a colored layer is laminated to form a pillar (also called a photospacer). ) Has been proposed (see Patent Document 1).

特開２００８−９０１９１号公報JP 2008-90191 A

しかしながら、カラーフィルタの低価格化はさらに求められており、さらにカラーフィルタの製造工程を削減し、生産性を向上することが求められている。   However, there is a further demand for cost reduction of color filters, and further, there is a demand for improving the productivity by reducing the color filter manufacturing process.

本発明は、前述した問題点に鑑みてなされたもので、生産性に優れながら、十分なセルギャップを得ることができ、かつ表示品位の低下が少ないカラーフィルタなどを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a color filter or the like that can obtain a sufficient cell gap and has a low deterioration in display quality while being excellent in productivity. .

前述した目的を達成するための本発明は、以下のとおりである。
（１）基板と、前記基板上にこの順に形成される第１の着色層、第２の着色層及び第３の着色層と、を少なくとも有し、表示領域に隣接して額縁部が形成されるカラーフィルタであって、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層が積層して、メイン柱を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低い額縁柱を構成し、前記サブ柱を構成する前記第３の着色層の底面積が、前記メイン柱を形成する前記第３の着色層よりも小さいことを特徴とするカラーフィルタ。
（２）基板と、前記基板上にこの順に形成される第１の着色層、第２の着色層及び第３の着色層と、を少なくとも有し、表示領域に隣接して額縁部が形成されるカラーフィルタであって、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層が積層して、メイン柱を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低い額縁柱を構成し、前記サブ柱を構成する前記第２の着色層が、前記画素部を形成する前記第２の着色層から離れた突起状であることを特徴とするカラーフィルタ。
（３）基板と、前記基板上にこの順に形成される第１の着色層、第２の着色層及び第３の着色層と、を少なくとも有し、表示領域に隣接して額縁部が形成されるカラーフィルタであって、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層が積層して、メイン柱を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低い額縁柱を構成し、前記サブ柱を構成する前記第２の着色層の幅が、前記メイン柱を構成する前記第２の着色層の幅より、狭いことを特徴とするカラーフィルタ。
（４）基板と、前記基板上にこの順に形成される第１の着色層、第２の着色層及び第３の着色層と、を少なくとも有し、表示領域に隣接して額縁部が形成されるカラーフィルタであって、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層が積層して、メイン柱を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低い額縁柱を構成し、前記サブ柱を構成する前記第１の着色層及び／又は前記第２の着色層に、孔部が設けられていることを特徴とするカラーフィルタ。
（５）基板と、前記基板上にこの順に形成される第１の着色層、第２の着色層及び第３の着色層と、を少なくとも有し、表示領域に隣接して額縁部が形成されるカラーフィルタであって、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層が積層して、メイン柱を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低い額縁柱を構成し、前記サブ柱を構成する前記第１の着色層の厚さが、前記メイン柱を構成する前記第１の着色層の厚さよりも薄いことを特徴とするカラーフィルタ。
（６）基板と、前記基板上にこの順に形成される第１の着色層、第２の着色層及び第３の着色層と、を少なくとも有し、表示領域に隣接して額縁部が形成されるカラーフィルタであって、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層が積層して、メイン柱を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低い額縁柱を構成し、前記サブ柱を構成する前記第２の着色層の厚さが、前記メイン柱を構成する前記第２の着色層の厚さよりも薄いことを特徴とするカラーフィルタ。
（７）基板と、前記基板上にこの順に形成される第１の着色層、第２の着色層及び第３の着色層と、を少なくとも有し、表示領域に隣接して額縁部が形成されるカラーフィルタであって、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層が積層して、メイン柱を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低い額縁柱を構成し、さらに、前記基板上に前記第３の着色層の次に形成される第４の着色層を有し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び前記第４の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び前記第４の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び前記第４の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び前記第４の着色層のうち、３以上の着色層が積層して、メイン柱を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び前記第４の着色層のうち、２以上の着色層が積層してなり、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び前記第４の着色層のうち、２以上の着色層が積層してなり、前記メイン柱よりも低い額縁柱を構成することを特徴とするカラーフィルタ。
（８）基板と、前記基板上にこの順に形成される第１の着色層、第２の着色層及び第３の着色層と、を少なくとも有し、表示領域に隣接して額縁部が形成されるカラーフィルタであって、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層が積層して、メイン柱を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低い額縁柱を構成し、前記額縁部を構成する、前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び前記第４の着色層のうちの２以上の着色層のうち、少なくとも１つの着色層の厚さが、前記画素部を構成する前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び前記第４の着色層のうち対応する着色層の厚さよりも薄いことを特徴とするカラーフィルタ。
（９）さらに、前記額縁部の周縁にある周縁部に、前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層、または、前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び第４の着色層のうち２以上の着色層が積層してなる周縁部柱を有することを特徴とする（１）〜（８）のいずれかに記載のカラーフィルタ。
（１０）前記メイン柱の頂部と、前記画素部の表面との高さの差であるセルギャップが１．５〜５．０μｍであることを特徴とする（１）〜（９）のいずれかに記載のカラーフィルタ。
（１１）さらに、前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層、または、前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び第４の着色層の上にオーバーコート層を有し、前記メイン柱の頂部のオーバーコート層の表面と、前記画素部の上のオーバーコート層の表面との高さの差であるセルギャップが１．５〜５．０μｍであることを特徴とする（１）〜（９）のいずれかに記載のカラーフィルタ。
（１２）（１）〜（１１）のいずれかに記載のカラーフィルタを有することを特徴とする液晶表示装置。
（１３）基板上に、少なくとも第１の着色層、第２の着色層及び第３の着色層を形成し、表示領域と、前記表示領域に隣接する額縁部と、を形成するカラーフィルタの製造方法であって、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層が積層して、メイン柱を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低い額縁柱を構成し、前記サブ柱を構成する前記第３の着色層の底面積を、前記メイン柱を形成する前記第３の着色層よりも小さいように形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
（１４）基板上に、少なくとも第１の着色層、第２の着色層及び第３の着色層を形成し、表示領域と、前記表示領域に隣接する額縁部と、を形成するカラーフィルタの製造方法であって、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層が積層して、メイン柱を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低い額縁柱を構成し、前記サブ柱を構成する前記第２の着色層を、前記画素部を形成する前記第２の着色層から離れた突起状に形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
（１５）基板上に、少なくとも第１の着色層、第２の着色層及び第３の着色層を形成し、表示領域と、前記表示領域に隣接する額縁部と、を形成するカラーフィルタの製造方法であって、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層が積層して、メイン柱を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低い額縁柱を構成し、前記サブ柱を構成する前記第２の着色層の幅を、前記メイン柱を構成する前記第２の着色層の幅より、狭く形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
（１６）基板上に、少なくとも第１の着色層、第２の着色層及び第３の着色層を形成し、表示領域と、前記表示領域に隣接する額縁部と、を形成するカラーフィルタの製造方法であって、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層が積層して、メイン柱を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低い額縁柱を構成し、前記サブ柱を構成する前記第１の着色層に、孔部を設けることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
（１７）基板上に、少なくとも第１の着色層、第２の着色層及び第３の着色層を形成し、表示領域と、前記表示領域に隣接する額縁部と、を形成するカラーフィルタの製造方法であって、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層が積層して、メイン柱を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低い額縁柱を構成し、階調マスクを用いて、前記サブ柱を構成する前記第１の着色層の厚さが、前記メイン柱を構成する前記第１の着色層の厚さよりも薄いように形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
（１８）基板上に、少なくとも第１の着色層、第２の着色層及び第３の着色層を形成し、表示領域と、前記表示領域に隣接する額縁部と、を形成するカラーフィルタの製造方法であって、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層が積層して、メイン柱を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低い額縁柱を構成し、階調マスクを用いて、前記サブ柱を構成する前記第２の着色層の厚さを、前記メイン柱を構成する前記第２の着色層の厚さよりも薄いように形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
（１９）基板上に、少なくとも第１の着色層、第２の着色層及び第３の着色層を形成し、表示領域と、前記表示領域に隣接する額縁部と、を形成するカラーフィルタの製造方法であって、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層が積層して、メイン柱を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低い額縁柱を構成し、さらに、前記基板上に前記第３の着色層の次に第４の着色層を形成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び前記第４の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び前記第４の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び前記第４の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び前記第４の着色層のうち、３以上の着色層が積層して、メイン柱を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び前記第４の着色層のうち、２以上の着色層が積層してなり、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び前記第４の着色層のうち、２以上の着色層が積層してなり、前記メイン柱よりも低い額縁柱を構成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
（２０）基板上に、少なくとも第１の着色層、第２の着色層及び第３の着色層を形成し、表示領域と、前記表示領域に隣接する額縁部と、を形成するカラーフィルタの製造方法であって、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層が積層して、メイン柱を構成し、前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低い額縁柱を構成し、階調マスクを用いて、前記額縁部を構成する、前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び第４の着色層のうちの２以上の着色層のうち、少なくとも１つの着色層の厚さを、前記画素部を構成する前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び第４の着色層のうち対応する着色層の厚さよりも薄いように形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
（２１）さらに、前記額縁部の周縁に、前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層、または、前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び前記第４の着色層のうち２以上の着色層が積層してなる周縁部柱を形成することを特徴とする（１３）〜（２０）のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。 The present invention for achieving the above-described object is as follows.
(1) It has at least a substrate and a first colored layer, a second colored layer, and a third colored layer formed in this order on the substrate, and a frame portion is formed adjacent to the display region. A color filter, wherein two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region are laminated to form a black matrix, the first colored layer in the display area, the by second color layer and any one of the colored layer of said third color layer, and the pixel portion, the first colored layer, the second Two or more colored layers of the colored layer and the third colored layer are laminated to constitute the frame portion, and the first colored layer, the second colored layer, and the first in the display region 3 colored layers are stacked to form the main pillar, the first colored layer in the display area, the front Of the second colored layer and the third colored layer, two or more colored layers are laminated to form a sub pillar lower than the main pillar, and the first colored layer in the frame portion, the first of the second colored layer, and the third colored layer, two or more colored layers are stacked, the bottom area of the third color layer in which the configured lower frame pillar from the main column, constituting the sub-pillar but the third feature and to Luke color filter is smaller than the coloring layer that forms the main pillar.
( 2 ) It has at least a substrate and a first colored layer, a second colored layer, and a third colored layer formed in this order on the substrate, and a frame portion is formed adjacent to the display region. A color filter, wherein two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region are laminated to form a black matrix, A pixel portion is constituted by any one of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region, and the first colored layer, the second colored layer, and the second colored layer. Two or more colored layers of the colored layer and the third colored layer are laminated to constitute the frame portion, and the first colored layer, the second colored layer, and the first in the display region 3 colored layers are laminated to form a main pillar, and the first colored layer in the display area, Of the second colored layer and the third colored layer, two or more colored layers are laminated to form a sub pillar lower than the main pillar, and the first colored layer in the frame portion, Among the second colored layer and the third colored layer, two or more colored layers are laminated to constitute a frame pillar lower than the main pillar, and the second colored layer constituting the sub pillar, features and to Luke color filter that is projecting away from said second colored layer forming the pixel portion.
( 3 ) At least a substrate and a first colored layer, a second colored layer, and a third colored layer formed in this order on the substrate, and a frame portion is formed adjacent to the display region. A color filter, wherein two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region are laminated to form a black matrix, A pixel portion is constituted by any one of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region, and the first colored layer, the second colored layer, and the second colored layer. Two or more colored layers of the colored layer and the third colored layer are laminated to constitute the frame portion, and the first colored layer, the second colored layer, and the first in the display region 3 colored layers are laminated to form a main pillar, and the first colored layer in the display area, Of the second colored layer and the third colored layer, two or more colored layers are laminated to form a sub pillar lower than the main pillar, and the first colored layer in the frame portion, Of the second colored layer and the third colored layer, two or more colored layers are laminated to form a frame column lower than the main column , and the width of the second colored layer constituting the sub column but the than the width of the second colored layer, wherein the to Luke color filter is narrower constituting the main pillar.
( 4 ) It has at least a substrate and a first colored layer, a second colored layer, and a third colored layer formed in this order on the substrate, and a frame portion is formed adjacent to the display region. A color filter, wherein two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region are laminated to form a black matrix, A pixel portion is constituted by any one of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region, and the first colored layer, the second colored layer, and the second colored layer. Two or more colored layers of the colored layer and the third colored layer are laminated to constitute the frame portion, and the first colored layer, the second colored layer, and the first in the display region 3 colored layers are laminated to form a main pillar, and the first colored layer in the display area, Of the second colored layer and the third colored layer, two or more colored layers are laminated to form a sub pillar lower than the main pillar, and the first colored layer in the frame portion, Of the second colored layer and the third colored layer, two or more colored layers are laminated to form a frame pillar lower than the main pillar, and the first colored layer constituting the sub pillar and / or or said the second colored layer, wherein the to Luke color filter that holes are provided.
( 5 ) It has at least a substrate and a first colored layer, a second colored layer, and a third colored layer formed in this order on the substrate, and a frame portion is formed adjacent to the display region. A color filter, wherein two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region are laminated to form a black matrix, A pixel portion is constituted by any one of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region, and the first colored layer, the second colored layer, and the second colored layer. Two or more colored layers of the colored layer and the third colored layer are laminated to constitute the frame portion, and the first colored layer, the second colored layer, and the first in the display region 3 colored layers are laminated to form a main pillar, and the first colored layer in the display area, Of the second colored layer and the third colored layer, two or more colored layers are laminated to form a sub pillar lower than the main pillar, and the first colored layer in the frame portion, Of the second colored layer and the third colored layer, two or more colored layers are laminated to form a frame column lower than the main column , and the thickness of the first colored layer constituting the sub-column Saga, the first feature and to Luke color filter is thinner than the thickness of the colored layer forming the main pillar.
( 6 ) It has at least a substrate and a first colored layer, a second colored layer, and a third colored layer formed in this order on the substrate, and a frame portion is formed adjacent to the display region. A color filter, wherein two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region are laminated to form a black matrix, A pixel portion is constituted by any one of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region, and the first colored layer, the second colored layer, and the second colored layer. Two or more colored layers of the colored layer and the third colored layer are laminated to constitute the frame portion, and the first colored layer, the second colored layer, and the first in the display region 3 colored layers are laminated to form a main pillar, and the first colored layer in the display area, Of the second colored layer and the third colored layer, two or more colored layers are laminated to form a sub pillar lower than the main pillar, and the first colored layer in the frame portion, Among the second colored layer and the third colored layer, two or more colored layers are laminated to form a frame column lower than the main column , and the thickness of the second colored layer constituting the sub column Saga, the second feature and to Luke color filter is thinner than the thickness of the colored layer forming the main pillar.
( 7 ) At least a substrate and a first colored layer, a second colored layer, and a third colored layer formed in this order on the substrate, and a frame portion is formed adjacent to the display region. A color filter, wherein two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region are laminated to form a black matrix, A pixel portion is constituted by any one of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region, and the first colored layer, the second colored layer, and the second colored layer. Two or more colored layers of the colored layer and the third colored layer are laminated to constitute the frame portion, and the first colored layer, the second colored layer, and the first in the display region 3 colored layers are laminated to form a main pillar, and the first colored layer in the display area, Of the second colored layer and the third colored layer, two or more colored layers are laminated to form a sub pillar lower than the main pillar, and the first colored layer in the frame portion, Of the second colored layer and the third colored layer, two or more colored layers are laminated to form a frame column lower than the main column, and further on the substrate next to the third colored layer. The first colored layer, the second colored layer, the third colored layer, and the fourth colored layer in the display region. The layers are stacked to form a black matrix, and any one of the first colored layer, the second colored layer, the third colored layer, and the fourth colored layer in the display region the colored layer, and the pixel portion, the first colored layer, the second colored layer, the third colored layer and the second Two or more of the four colored layers are laminated to form the frame portion, and the first colored layer, the second colored layer, the third colored layer, and the Among the fourth colored layers, three or more colored layers are laminated to form a main pillar, and the first colored layer, the second colored layer, the third colored layer, Among the fourth colored layers, two or more colored layers are laminated to constitute a sub pillar lower than the main pillar, and the first colored layer in the frame portion, the second colored layer, wherein among the third colored layer and the fourth colored layer, and with 2 or more colored layers are laminated, wherein a to Luke color filters that constitute the lower frame columns than said main column.
( 8 ) At least a substrate and a first colored layer, a second colored layer, and a third colored layer formed in this order on the substrate, and a frame portion is formed adjacent to the display region. A color filter, wherein two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region are laminated to form a black matrix, A pixel portion is constituted by any one of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region, and the first colored layer, the second colored layer, and the second colored layer. Two or more colored layers of the colored layer and the third colored layer are laminated to constitute the frame portion, and the first colored layer, the second colored layer, and the first in the display region 3 colored layers are laminated to form a main pillar, and the first colored layer in the display area, Of the second colored layer and the third colored layer, two or more colored layers are laminated to form a sub pillar lower than the main pillar, and the first colored layer in the frame portion, Of the second colored layer and the third colored layer, two or more colored layers are laminated to constitute a frame column lower than the main column , and the first colored layer constituting the frame portion, The thickness of at least one of the second colored layer, the third colored layer, and the fourth colored layer of at least one of the colored layers constitutes the pixel portion. colored layer, the second colored layer, the third colored layer and the fourth thinner features and to Luke color filters than the thickness of the corresponding colored layer of the colored layer of the.
( 9 ) Further, the first colored layer, the second colored layer and the third colored layer, or the first colored layer, the second colored layer, on the peripheral edge of the frame portion. It has a peripheral part column formed by laminating two or more colored layers among the colored layer, the third colored layer, and the fourth colored layer. (1) to ( 8 ) Color filter.
( 10 ) Any one of (1) to ( 9 ), wherein a cell gap which is a height difference between the top of the main pillar and the surface of the pixel portion is 1.5 to 5.0 μm. The color filter described in 1.
( 11 ) Further, the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer, or the first colored layer, the second colored layer, the third colored layer, and the first colored layer. 4 has an overcoat layer on the colored layer, and a cell gap which is a difference in height between the surface of the overcoat layer on the top of the main pillar and the surface of the overcoat layer on the pixel portion is 1 The color filter according to any one of (1) to ( 9 ), wherein the color filter is from 5 to 5.0 μm.
( 12 ) A liquid crystal display device comprising the color filter according to any one of (1) to ( 11 ).
( 13 ) Production of a color filter in which at least a first colored layer, a second colored layer, and a third colored layer are formed on a substrate to form a display region and a frame portion adjacent to the display region. A method comprising: stacking two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region to form a black matrix, the display region the first colored layer in, by one of the colored layers one of said second color layer and the third colored layer, and the pixel portion, the first colored layer, the second colored Two or more colored layers of the layer and the third colored layer are laminated to constitute the frame portion, and the first colored layer, the second colored layer, and the third color in the display area A colored layer is laminated to form a main pillar, and the first colored layer in the display area, Of the second colored layer and the third colored layer, two or more colored layers are laminated to form a sub pillar lower than the main pillar, and the first colored layer in the frame portion, among the second colored layer, and the third colored layer, two or more of the colored layer is laminated, the bottom of the configured lower than the main pillar frame pillar, the third colored layer forming the sub-pillar area, said third production method characteristics and to Luke color filter that is formed to be smaller than the colored layer forming the main pillar.
( 14 ) Production of a color filter that forms at least a first colored layer, a second colored layer, and a third colored layer on a substrate, and forms a display region and a frame portion adjacent to the display region. A method comprising: stacking two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region to form a black matrix, the display region A pixel portion is constituted by any one of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer, and the first colored layer and the second colored layer. Two or more colored layers of the layer and the third colored layer are laminated to constitute the frame portion, and the first colored layer, the second colored layer, and the third color in the display area A colored layer is laminated to form a main pillar, and the first colored layer in the display area, Of the second colored layer and the third colored layer, two or more colored layers are laminated to form a sub pillar lower than the main pillar, and the first colored layer in the frame portion, Among the second colored layer and the third colored layer, two or more colored layers are laminated to constitute a frame pillar lower than the main pillar, and the second colored layer constituting the sub pillar, method of manufacturing features and to Luke color filters to form a projecting away from said second colored layer forming the pixel portion.
( 15 ) Production of a color filter that forms at least a first colored layer, a second colored layer, and a third colored layer on a substrate to form a display region and a frame portion adjacent to the display region. A method comprising: stacking two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region to form a black matrix, the display region A pixel portion is constituted by any one of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer, and the first colored layer and the second colored layer. Two or more colored layers of the layer and the third colored layer are laminated to constitute the frame portion, and the first colored layer, the second colored layer, and the third color in the display area A colored layer is laminated to form a main pillar, and the first colored layer in the display area, Of the second colored layer and the third colored layer, two or more colored layers are laminated to form a sub pillar lower than the main pillar, and the first colored layer in the frame portion, Of the second colored layer and the third colored layer, two or more colored layers are laminated to form a frame column lower than the main column , and the width of the second colored layer constituting the sub column the said than the width of the second colored layer, narrower features and to Luke error method for manufacturing a filter that constituting the main pillar.
( 16 ) Manufacture of a color filter in which at least a first colored layer, a second colored layer, and a third colored layer are formed on a substrate to form a display region and a frame portion adjacent to the display region. A method comprising: stacking two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region to form a black matrix, the display region A pixel portion is constituted by any one of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer, and the first colored layer and the second colored layer. Two or more colored layers of the layer and the third colored layer are laminated to constitute the frame portion, and the first colored layer, the second colored layer, and the third color in the display area A colored layer is laminated to form a main pillar, and the first colored layer in the display area, Of the second colored layer and the third colored layer, two or more colored layers are laminated to form a sub pillar lower than the main pillar, and the first colored layer in the frame portion, Among the second colored layer and the third colored layer, two or more colored layers are laminated to constitute a frame pillar lower than the main pillar, and the first colored layer constituting the sub pillar, features and to Luke error method for manufacturing a filter providing a hole.
( 17 ) Production of a color filter in which at least a first colored layer, a second colored layer, and a third colored layer are formed on a substrate to form a display region and a frame portion adjacent to the display region. A method comprising: stacking two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region to form a black matrix, the display region A pixel portion is constituted by any one of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer, and the first colored layer and the second colored layer. Two or more colored layers of the layer and the third colored layer are laminated to constitute the frame portion, and the first colored layer, the second colored layer, and the third color in the display area A colored layer is laminated to form a main pillar, and the first colored layer in the display area, Of the second colored layer and the third colored layer, two or more colored layers are laminated to form a sub pillar lower than the main pillar, and the first colored layer in the frame portion, Among the second colored layer and the third colored layer, two or more colored layers are laminated to form a frame column lower than the main column , and the sub column is configured using a gradation mask the thickness of the first colored layer, the manufacturing method of the characteristics and to Luke color filter be formed to thinner than a thickness of the first colored layer constituting the main pillar.
( 18 ) Manufacture of a color filter in which at least a first colored layer, a second colored layer, and a third colored layer are formed on a substrate to form a display region and a frame portion adjacent to the display region. A method comprising: stacking two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region to form a black matrix, the display region A pixel portion is constituted by any one of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer, and the first colored layer and the second colored layer. Two or more colored layers of the layer and the third colored layer are laminated to constitute the frame portion, and the first colored layer, the second colored layer, and the third color in the display area A colored layer is laminated to form a main pillar, and the first colored layer in the display area, Of the second colored layer and the third colored layer, two or more colored layers are laminated to form a sub pillar lower than the main pillar, and the first colored layer in the frame portion, Among the second colored layer and the third colored layer, two or more colored layers are laminated to form a frame column lower than the main column , and the sub column is configured using a gradation mask the thickness of the second colored layer, the manufacturing method of the characteristics and to Luke color filter be formed to thinner than a thickness of the second colored layer forming the main pillar.
( 19 ) Production of a color filter in which at least a first colored layer, a second colored layer, and a third colored layer are formed on a substrate to form a display region and a frame portion adjacent to the display region. A method comprising: stacking two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region to form a black matrix, the display region A pixel portion is constituted by any one of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer, and the first colored layer and the second colored layer. Two or more colored layers of the layer and the third colored layer are laminated to constitute the frame portion, and the first colored layer, the second colored layer, and the third color in the display area A colored layer is laminated to form a main pillar, and the first colored layer in the display area, Of the second colored layer and the third colored layer, two or more colored layers are laminated to form a sub pillar lower than the main pillar, and the first colored layer in the frame portion, Of the second colored layer and the third colored layer, two or more colored layers are laminated to form a frame column lower than the main column, and further on the substrate next to the third colored layer. A fourth colored layer is formed, and two of the first colored layer, the second colored layer, the third colored layer, and the fourth colored layer in the display region are stacked. Then, a black matrix is formed, and any one of the first colored layer, the second colored layer, the third colored layer, and the fourth colored layer in the display region is used. Constituting the pixel portion , the first colored layer, the second colored layer, the third colored layer, and the fourth colored layer Two or more colored layers of the layers are laminated to form the frame portion, and the first colored layer, the second colored layer, the third colored layer, and the fourth color in the display area. Among the colored layers, three or more colored layers are laminated to form a main pillar, and the first colored layer, the second colored layer, the third colored layer, and the fourth in the display area. Among the colored layers, two or more colored layers are laminated to constitute a sub pillar lower than the main pillar, and the first colored layer, the second colored layer, and the third in the frame portion. among the colored layer and the fourth colored layer, two or more of the colored layer is laminated, features and to Luke error method for manufacturing a filter that constitutes the lower frame columns than said main column.
( 20 ) Production of a color filter that forms at least a first colored layer, a second colored layer, and a third colored layer on a substrate, and forms a display region and a frame portion adjacent to the display region. A method comprising: stacking two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region to form a black matrix, the display region A pixel portion is constituted by any one of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer, and the first colored layer and the second colored layer. Two or more colored layers of the layer and the third colored layer are laminated to constitute the frame portion, and the first colored layer, the second colored layer, and the third color in the display area A colored layer is laminated to form a main pillar, and the first colored layer in the display area, Of the second colored layer and the third colored layer, two or more colored layers are laminated to form a sub pillar lower than the main pillar, and the first colored layer in the frame portion, Two or more colored layers of the second colored layer and the third colored layer are laminated to form a frame column lower than the main column , and the frame portion is configured using a gradation mask, A thickness of at least one of the first colored layer, the second colored layer, the third colored layer, and the fourth colored layer of at least one of the colored layers is determined as the pixel portion. the first colored layer constituting the said second colored layer, you and forming as less than the thickness of the corresponding colored layer of the third colored layer and the fourth colored layer method of manufacturing a color filter.
( 21 ) Further, on the periphery of the frame portion, the first colored layer, the second colored layer and the third colored layer, or the first colored layer, the second colored layer, The color filter according to any one of ( 13 ) to ( 20 ), wherein a peripheral column is formed by laminating two or more colored layers of the third colored layer and the fourth colored layer. Manufacturing method.

上記構成のカラーフィルタによれば、第１、第２、第３の着色層を形成するだけで、ブラックマトリクスとメイン柱、サブ柱、額縁柱が得られるため、従来必要であった独立したブラックマトリクス形成工程及び各種の柱形成工程を省くことができ、生産性に優れたカラーフィルタを得ることができる。   According to the color filter having the above configuration, the black matrix, the main column, the sub column, and the frame column can be obtained simply by forming the first, second, and third colored layers. The matrix forming step and various column forming steps can be omitted, and a color filter excellent in productivity can be obtained.

本発明により、生産性に優れながら、十分なセルギャップを得ることができ、かつ表示品位の低下が少ないカラーフィルタなどを提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a color filter or the like that can obtain a sufficient cell gap while being excellent in productivity and has little deterioration in display quality.

（ａ）第１の実施形態に係るカラーフィルタ１の概略平面図、（ｂ）カラーフィルタ１の部分的な概略平面図(A) Schematic plan view of the color filter 1 according to the first embodiment, (b) Partial schematic plan view of the color filter 1 （ａ）第１の実施形態に係るカラーフィルタ１の製造工程を説明する部分斜視図、（ｂ）（ａ）でのＡ−Ａ’部分断面図。(A) The fragmentary perspective view explaining the manufacturing process of the color filter 1 which concerns on 1st Embodiment, (b) A-A 'partial sectional drawing in (a). 図２の続きの図。The continuation figure of FIG. 図３の続きの図。FIG. 4 is a continuation of FIG. 3. （ａ）第２の実施形態に係るカラーフィルタ３３の製造工程を説明する部分平面図、（ｂ）（ａ）でのＡ−Ａ’部分断面図であり、（ｃ）（ａ）でのＢ−Ｂ’部分断面図。(A) Partial top view explaining the manufacturing process of the color filter 33 which concerns on 2nd Embodiment, (b) It is AA 'partial sectional drawing in (a), (c) B in (a) -B 'partial sectional view. 図５の続きの図。FIG. 6 is a continuation of FIG. 5. 図６の続きの図。FIG. 7 is a continuation of FIG. 6. （ａ）第３の実施形態に係るカラーフィルタ３７の製造工程を説明する部分平面図、（ｂ）（ａ）でのＡ−Ａ’部分断面図であり、（ｃ）（ａ）でのＢ−Ｂ’部分断面図。(A) Partial top view explaining the manufacturing process of the color filter 37 which concerns on 3rd Embodiment, (b) It is AA 'partial sectional drawing in (a), (c) B in (a) -B 'partial sectional view. 図８の続きの図。FIG. 9 is a continuation of FIG. 8. 図９の続きの図。FIG. 10 is a continuation of FIG. 9. （ａ）第４の実施形態に係るカラーフィルタ４３の製造工程を説明する部分平面図、（ｂ）（ａ）でのＡ−Ａ’部分断面図であり、（ｃ）（ａ）でのＢ−Ｂ’部分断面図。(A) Partial top view explaining the manufacturing process of the color filter 43 which concerns on 4th Embodiment, (b) It is AA 'partial sectional drawing in (a), (c) B in (a) -B 'partial sectional view. 図１１の続きの図。FIG. 12 is a continuation of FIG. 11. 図１２の続きの図。FIG. 13 is a continuation of FIG. 12. （ａ）第５の実施形態に係るカラーフィルタ４７の製造工程を説明する部分平面図、（ｂ）（ａ）でのＡ−Ａ’部分断面図であり、（ｃ）（ａ）でのＢ−Ｂ’部分断面図。(A) Partial top view explaining the manufacturing process of the color filter 47 which concerns on 5th Embodiment, (b) It is AA 'partial sectional drawing in (a), (c) B in (a) -B 'partial sectional view. 図１４の続きの図。FIG. 15 is a continuation of FIG. 14. 図１５の続きの図。FIG. 16 is a continuation of FIG. 15. （ａ）第６の実施形態に係るカラーフィルタ５１の製造工程を説明する部分平面図、（ｂ）（ａ）でのＡ−Ａ’部分断面図であり、（ｃ）（ａ）でのＢ−Ｂ’部分断面図。(A) Partial top view explaining the manufacturing process of the color filter 51 which concerns on 6th Embodiment, (b) It is AA 'partial sectional drawing in (a), (c) B in (a) -B 'partial sectional view. 図１７の続きの図。The continuation figure of FIG. 図１８の続きの図。FIG. 19 is a continuation of FIG. 18.

（第１の実施形態）
以下、図面を参照しながら、本発明の第１の実施形態について説明する。本発明のカラーフィルタは、カラーフィルタと、液晶駆動側基板（不図示）と、カラーフィルタと液晶駆動側基板との間に形成される液晶層（不図示）とを具備し、カラーフィルタと液晶駆動側基板に対し垂直または水平な方向に電界を発生させ、液晶を駆動させる液晶表示装置（不図示）におけるカラーフィルタとして説明する。つまり、ＶＡ方式においては、カラーフィルタに、さらに透明電極層（共通電極として作用する）とリブ（液晶分子の配向制御用の突起）を設け、カラーフィルタの共通電極と液晶駆動側基板の画素電極との間に、カラーフィルタに対して垂直な方向に電界を発生させる。ＴＮ方式においては、カラーフィルタに、さらに透明電極層（共通電極として作用する）を設け、カラーフィルタの共通電極と液晶駆動側基板の画素電極との間に、カラーフィルタに対して垂直な方向に電界を発生させる。また、ＩＰＳ方式においては、カラーフィルタにオーバーコート層を設け、液晶駆動側基板の櫛歯状の共通電極と画素電極との間に、カラーフィルタと液晶駆動側基板に対し水平な方向に電界を発生させる。 (First embodiment)
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The color filter of the present invention includes a color filter, a liquid crystal driving side substrate (not shown), and a liquid crystal layer (not shown) formed between the color filter and the liquid crystal driving side substrate. A description will be given as a color filter in a liquid crystal display device (not shown) that drives an liquid crystal by generating an electric field in a direction perpendicular or horizontal to the driving side substrate. In other words, in the VA method, the color filter is further provided with a transparent electrode layer (acting as a common electrode) and a rib (projection for controlling the alignment of liquid crystal molecules), and the common electrode of the color filter and the pixel electrode of the liquid crystal driving side substrate. In between, an electric field is generated in a direction perpendicular to the color filter. In the TN system, the color filter is further provided with a transparent electrode layer (acting as a common electrode), and in a direction perpendicular to the color filter between the common electrode of the color filter and the pixel electrode of the liquid crystal driving side substrate. Generate an electric field. In the IPS system, an overcoat layer is provided on the color filter, and an electric field is applied between the comb-like common electrode and the pixel electrode of the liquid crystal driving side substrate in a direction horizontal to the color filter and the liquid crystal driving side substrate. generate.

（カラーフィルタ１の構成）
まず、図１を参照して、第１の実施形態に係るカラーフィルタ１について説明する。図１（ａ）は、第１の実施形態に係るカラーフィルタ１の概略平面図であり、図１（ｂ）は、カラーフィルタ１の部分的な概略平面図である。なお、各図面は、各構成要素を模式的に示したもので、実際の大きさや相対的な大きさの比率を正確に示したものではない。 (Configuration of color filter 1)
First, the color filter 1 according to the first embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 1A is a schematic plan view of the color filter 1 according to the first embodiment, and FIG. 1B is a partial schematic plan view of the color filter 1. Each drawing schematically shows each component, and does not accurately show an actual size or a relative size ratio.

カラーフィルタ１は、実際の液晶表示装置にて画像などが表示される表示領域３と、表示領域３の周囲にあり液晶表示装置のベゼルに対応する額縁部６と、額縁部６のさらに周囲にあり、液晶表示装置に組み込まれる際には切断されることが多い周縁部７とに分けられる。表示領域３は、実際に液晶表示装置に組み込まれた際に、観察者から観察される領域で有り、図１（ｂ）に示すように、赤、緑、青の画素部４と、各画素部以外の部分でのバックライト光を遮蔽し、隣接する各画素の混色を防止するためのブラックマトリクス５を有する。額縁部６は、液晶表示装置の回路や光源を隠すための遮光部分である。   The color filter 1 includes a display area 3 on which an image or the like is displayed on an actual liquid crystal display device, a frame portion 6 around the display region 3 that corresponds to the bezel of the liquid crystal display device, and further around the frame portion 6. Yes, it is divided into a peripheral edge portion 7 that is often cut when incorporated in a liquid crystal display device. The display area 3 is an area observed by an observer when it is actually incorporated in a liquid crystal display device. As shown in FIG. 1B, the red, green, and blue pixel portions 4 and each pixel are displayed. A black matrix 5 is provided for shielding backlight light at portions other than the portion and preventing color mixture between adjacent pixels. The frame portion 6 is a light shielding portion for concealing a circuit and a light source of the liquid crystal display device.

メイン柱１１は、表示領域３のブラックマトリクス５にあり、カラーフィルタと対向する液晶駆動側基板との距離（セルギャップと呼ばれる）を決める柱である。
サブ柱１３は、表示領域３のブラックマトリクス５にあり、カラーフィルタと液晶駆動側基板とを貼り合わせる際に、メイン柱の補助として働き、セルギャップが狭くなりすぎることを防ぐ。そのため、サブ柱１３は、メイン柱１１よりも低い。また、液晶パネルとした際には、メイン柱が塑性変形するほどの荷重がかからないよう、パネルを指などで押された際に、荷重を分散する効果を有する。
額縁柱１５は、額縁部６にあり、液晶パネルの額縁部６付近において、セルギャップが変化するのを防ぐ。額縁柱１５は、メイン柱１１よりも低い。
周縁部柱１７は、カラーフィルタと液晶駆動側基板とを貼り合わせる際に、周縁部７の基板に過大な荷重がかかり、破損することを防ぐ。つまり、通常の張り合わせ工程は、パネルごとに切断する前の状態で行われるため、基板が過大にたわむことを防ぐために、周縁部７にも柱が必要である。周縁部柱１７は、メイン柱１１よりも低い。
なお、メイン柱、サブ柱、額縁柱、周縁部柱は、図１においては円形で示されているが、前述した機能を有するのであれば形状は問わない。例えば楕円形、正方形、長方形などでもよい。 The main pillar 11 is in the black matrix 5 of the display area 3 and is a pillar that determines a distance (referred to as a cell gap) from the liquid crystal driving side substrate facing the color filter.
The sub pillar 13 is in the black matrix 5 of the display area 3 and functions as an auxiliary to the main pillar when the color filter and the liquid crystal driving side substrate are bonded together to prevent the cell gap from becoming too narrow. Therefore, the sub pillar 13 is lower than the main pillar 11. Further, when the liquid crystal panel is used, the load is distributed when the panel is pushed with a finger or the like so that a load that causes plastic deformation of the main column is not applied.
The frame pillar 15 is in the frame portion 6 and prevents the cell gap from changing in the vicinity of the frame portion 6 of the liquid crystal panel. The frame pillar 15 is lower than the main pillar 11.
The peripheral column 17 prevents an excessive load from being applied to the substrate of the peripheral portion 7 when the color filter and the liquid crystal driving side substrate are bonded to each other, thereby preventing damage. That is, the normal bonding process is performed in a state before being cut for each panel. Therefore, in order to prevent the substrate from being excessively bent, the peripheral edge portion 7 also needs a column. The peripheral column 17 is lower than the main column 11.
In addition, although the main pillar, the sub pillar, the frame pillar, and the peripheral pillar are shown in a circle in FIG. 1, the shape is not limited as long as it has the function described above. For example, an elliptical shape, a square shape, a rectangular shape, or the like may be used.

（カラーフィルタ１の製造方法）
続いて、図２〜図４を用いて、図１に示したカラーフィルタ１の構成の詳細と製造方法について説明する。図２〜図４の（ａ）は、第１の実施形態に係るカラーフィルタ１の製造工程を説明する部分斜視図であり、（ｂ）は、各（ａ）でのＡ−Ａ’部分断面図である。また、図２〜４で図示する領域は、図１（ｂ）で破線で囲まれた領域に対応する。 (Method for producing color filter 1)
Next, details of the configuration of the color filter 1 shown in FIG. 1 and the manufacturing method will be described with reference to FIGS. 2A to 4A are partial perspective views for explaining a manufacturing process of the color filter 1 according to the first embodiment, and FIG. 2B is a partial cross-sectional view taken along line AA ′ in FIG. FIG. Moreover, the area | region illustrated in FIGS. 2-4 respond | corresponds to the area | region enclosed with the broken line in FIG.1 (b).

まず、図２に示すように、基板２１上に、赤色着色層２３を形成する。赤色着色層２３は、表示領域３においてはほぼ格子状に、額縁部６においては全面に、周縁部７においては周縁部柱１７に対応する箇所に形成される。   First, as shown in FIG. 2, a red colored layer 23 is formed on the substrate 21. The red colored layer 23 is formed in a substantially lattice shape in the display region 3, on the entire surface of the frame portion 6, and at a position corresponding to the peripheral column 17 in the peripheral portion 7.

次に、図３に示すように、基板２１及び赤色着色層２３の上に、緑色着色層２５を形成する。緑色着色層２５は、表示領域３においてはほぼ櫛状に、額縁部６においては額縁柱１５に対応する箇所に、周縁部７においては周縁部柱１７に対応する箇所に形成される。   Next, as shown in FIG. 3, the green colored layer 25 is formed on the substrate 21 and the red colored layer 23. The green colored layer 25 is formed in a substantially comb shape in the display region 3, in a position corresponding to the frame pillar 15 in the frame portion 6, and in a position corresponding to the peripheral column 17 in the peripheral edge portion 7.

さらに、図４に示すように、基板２１、赤色着色層２３及び緑色着色層２５の上に、青色着色層２７を形成する。青色着色層２７は、表示領域３においてはほぼストライプ状に、額縁部６においては全面に、周縁部７においては周縁部柱１７に対応する箇所に形成される。   Further, as shown in FIG. 4, a blue colored layer 27 is formed on the substrate 21, the red colored layer 23, and the green colored layer 25. The blue colored layer 27 is formed substantially in a stripe shape in the display region 3, on the entire surface in the frame portion 6, and in a portion corresponding to the peripheral column 17 in the peripheral portion 7.

赤色着色層２３、緑色着色層２５、青色着色層２７の形成は、感光性樹脂を塗布した後、所定の適切なパターンを有するフォトマスクを用いて露光し、現像してパターニングした後、焼成工程を経ることで形成される。赤、青、緑の各着色層２３、２５、２７については、各色に応じた適切な着色剤等を分散し含有させた感光性樹脂を用いる。   The red colored layer 23, the green colored layer 25, and the blue colored layer 27 are formed by applying a photosensitive resin, exposing to light using a photomask having a predetermined appropriate pattern, developing, patterning, and baking process. It is formed by going through. For each of the red, blue, and green colored layers 23, 25, and 27, a photosensitive resin in which an appropriate colorant or the like corresponding to each color is dispersed and contained is used.

赤色着色層２３、緑色着色層２５、青色着色層２７を形成した結果、表示領域３の中に、１層の着色層からなる画素部４と、着色層が２層以上積層したブラックマトリクス５と、が得られた。また、表示領域３のブラックマトリクス５において、３層の着色層が積層してなるメイン柱１１と、３層の着色層が積層してなるサブ柱１３が得られた。なお、サブ柱１３は、２層の着色層の積層により形成されても良い。   As a result of forming the red colored layer 23, the green colored layer 25, and the blue colored layer 27, the pixel portion 4 composed of one colored layer and the black matrix 5 in which two or more colored layers are laminated in the display region 3, ,was gotten. In addition, in the black matrix 5 in the display region 3, a main column 11 formed by stacking three colored layers and a sub column 13 formed by stacking three colored layers were obtained. The sub pillar 13 may be formed by stacking two colored layers.

額縁部６においては、赤色着色層２３と青色着色層２７とが積層し、十分な遮光性能を持つ。また、額縁部６において、緑色着色層２５が形成された箇所は、周囲の額縁部６よりも高くなり額縁柱１５となる。なお、遮光性能を確保できる限り、額縁部６は、赤色着色層２３と緑色着色層２５の積層であっても、緑色着色層２５と青色着色層２７の積層であってもよい。また、額縁部６で、３色の着色層の積層であってもよいが、額縁柱１５と高さの差を出すため、額縁部６を構成する着色層を、階調マスクを用いて形成し、厚さを調節する必要がある。なお、額縁柱１５は、２層の着色層の積層により形成されても良い。   In the frame portion 6, the red colored layer 23 and the blue colored layer 27 are laminated and have sufficient light shielding performance. Further, in the frame portion 6, the portion where the green coloring layer 25 is formed becomes higher than the surrounding frame portion 6 and becomes the frame pillar 15. As long as the light shielding performance can be ensured, the frame portion 6 may be a stacked layer of the red colored layer 23 and the green colored layer 25 or a stacked layer of the green colored layer 25 and the blue colored layer 27. Further, the frame portion 6 may be a laminate of colored layers of three colors, but in order to make a difference in height from the frame pillar 15, the colored layer constituting the frame portion 6 is formed using a gradation mask. However, it is necessary to adjust the thickness. The frame column 15 may be formed by stacking two colored layers.

なお、額縁部６をさらに薄くするため、階調マスクを用いて、額縁部６を構成する１つ以上の着色層（図４においては赤色着色層２３と青色着色層２７のいずれかまたは両方）の厚さを薄くしても良い。   In order to further reduce the thickness of the frame portion 6, one or more colored layers (one or both of the red colored layer 23 and the blue colored layer 27 in FIG. 4) constituting the frame portion 6 using a gradation mask. The thickness may be reduced.

周縁部７においては、３層の着色層が積層してなる周縁部柱１７が得られる。   In the peripheral part 7, the peripheral part column 17 formed by laminating three colored layers is obtained.

（基板２１）
基板２１は特に限定されるものではなく、カラーフィルタに一般的に用いられる基板を使用することができる。例えば、ホウ珪酸ガラス、アルミノホウ珪酸ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、合成石英ガラス、ソーダライムガラス、ホワイトサファイアなどの可撓性のない透明なリジット材、あるいは、透明樹脂フィルム、光学用樹脂フィルムなどの可撓性を有する透明なフレキシブル材を用いることができる。前記フレキシブル材としては、ポリメチルメタクリレート等のアクリル、ポリアミド、ポリアセタール、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、トリアセチルセルロース、シンジオタクティック・ポリスチレン、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、フッ素樹脂、ポリエーテルニトリル、ポリカーボネート、変性ポリフェニレンエーテル、ポリシクロヘキセン、ポリノルボルネン系樹脂、ポリサルホン、ポリエーテルサルホン、ポリアリレート、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、熱可塑性ポリイミド等からなるものを挙げることができるが、一般的なプラスチックからなるものも使用可能である。特に、無アルカリガラスは、熱膨脹率の小さい素材であり、寸法安定性および高温加熱処理における特性に優れており、好ましい。 (Substrate 21)
The board | substrate 21 is not specifically limited, The board | substrate generally used for a color filter can be used. For example, non-flexible transparent rigid materials such as borosilicate glass, aluminoborosilicate glass, alkali-free glass, quartz glass, synthetic quartz glass, soda lime glass, white sapphire, transparent resin film, optical resin film, etc. A transparent flexible material having the following flexibility can be used. As the flexible material, acrylic such as polymethyl methacrylate, polyamide, polyacetal, polybutylene terephthalate, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, triacetyl cellulose, syndiotactic polystyrene, polyphenylene sulfide, polyether ketone, polyether ether ketone, Examples include fluororesin, polyether nitrile, polycarbonate, modified polyphenylene ether, polycyclohexene, polynorbornene resin, polysulfone, polyethersulfone, polyarylate, polyamideimide, polyetherimide, thermoplastic polyimide, and the like. However, those made of general plastics can also be used. In particular, alkali-free glass is a material having a small coefficient of thermal expansion, and is excellent in dimensional stability and characteristics in high-temperature heat treatment.

（ブラックマトリクス５）
ブラックマトリクス５は、２層以上の着色層が積層して形成される。つまり、赤色の画素部４と緑色の画素部４との間は、赤色着色層２３と緑色着色層２５の積層部分がブラックマトリクス５として機能する。同様に、緑色の画素部４と青色の画素部４との間は、緑色着色層２５と青色着色層２７の積層部分がブラックマトリクス５として機能し、青色の画素部４と赤色の画素部４との間は、青色着色層２７と赤色着色層２３の積層部分がブラックマトリクス５として機能する。ブラックマトリクス５は、２色以上の着色層の積層で形成されるため、十分な光学濃度を有し、十分な遮光性能を得ることができる。 (Black Matrix 5)
The black matrix 5 is formed by laminating two or more colored layers. That is, between the red pixel portion 4 and the green pixel portion 4, the laminated portion of the red colored layer 23 and the green colored layer 25 functions as the black matrix 5. Similarly, between the green pixel portion 4 and the blue pixel portion 4, a laminated portion of the green coloring layer 25 and the blue coloring layer 27 functions as the black matrix 5, and the blue pixel portion 4 and the red pixel portion 4. The laminated portion of the blue colored layer 27 and the red colored layer 23 functions as the black matrix 5. Since the black matrix 5 is formed by stacking two or more colored layers, the black matrix 5 has a sufficient optical density and a sufficient light shielding performance.

（着色層）
赤色着色層２３、緑色着色層２５、青色着色層２７は、顔料等の各色の着色剤を含む感光性樹脂で形成される。着色層の厚さは０．５μｍ〜５μｍの範囲にあることが望ましい。この範囲より膜厚が小さい、あるいは大きい場合、パターニング特性などの性能を保つのが難しいからである。 (Colored layer)
The red colored layer 23, the green colored layer 25, and the blue colored layer 27 are formed of a photosensitive resin containing a colorant of each color such as a pigment. The thickness of the colored layer is desirably in the range of 0.5 μm to 5 μm. This is because, when the film thickness is smaller or larger than this range, it is difficult to maintain performance such as patterning characteristics.

（感光性樹脂層）
各着色層に使用される感光性樹脂としては、ネガ型感光性樹脂およびポジ型感光性樹脂のいずれも用いることができる。 (Photosensitive resin layer)
As the photosensitive resin used in each colored layer, either a negative photosensitive resin or a positive photosensitive resin can be used.

ネガ型感光性樹脂は特に限定されることはなく、一般的に使用されるネガ型感光性樹脂を用いることができる。例えば、架橋型樹脂をベースとした化学増幅型感光性樹脂、具体的にはポリビニルフェノールに架橋剤を加え、さらに酸発生剤を加えた化学増幅型感光性樹脂等が挙げられる。また、アクリル系ネガ型感光性樹脂として、紫外線照射によりラジカル成分を発生する光重合開始剤と、分子内にアクリル基を有し、発生したラジカルにより重合反応を起こして硬化する成分と、その後の現像により未露光部が溶解可能となる官能基（例えば、アルカリ溶液による現像の場合は酸性基をもつ成分）とを含有するものを用いることができる。上記のアクリル基を有する成分のうち、比較的低分子量の多官能アクリル分子としては、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（ＤＰＨＡ）、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート（ＤＰＰＡ）、テトラメチルペンタトリアクリレート（ＴＭＰＴＡ）等が挙げられる。また、高分子量の多官能アクリル分子としては、スチレン‐アクリル酸‐ベンジルメタクリレート共重合体の一部のカルボン酸基部分にエポキシ基を介してアクリル基を導入したポリマーや、メタクリル酸メチル‐スチレン‐アクリル酸共重合体等が挙げられる。
なお、ポジ型感光性樹脂も特に限定されるものではなく、一般的に使用されるものを用いることができる。具体的には、ノボラック樹脂をベース樹脂とした化学増幅型感光性樹脂等が挙げられる。 The negative photosensitive resin is not particularly limited, and a commonly used negative photosensitive resin can be used. For example, a chemically amplified photosensitive resin based on a crosslinked resin, specifically, a chemically amplified photosensitive resin in which a crosslinking agent is added to polyvinylphenol and an acid generator is further added. In addition, as an acrylic negative photosensitive resin, a photopolymerization initiator that generates a radical component upon irradiation with ultraviolet rays, a component that has an acrylic group in the molecule, causes a polymerization reaction by the generated radical, and is cured, What contains the functional group (for example, the component which has an acidic group in the case of image development by an alkaline solution) which can dissolve an unexposed part by image development can be used. Among the above-mentioned components having an acrylic group, examples of relatively low molecular weight polyfunctional acrylic molecules include dipentaerythritol hexaacrylate (DPHA), dipentaerythritol pentaacrylate (DPPA), and tetramethylpentatriacrylate (TMPTA). Can be mentioned. In addition, examples of high molecular weight polyfunctional acrylic molecules include polymers in which an acrylic group is introduced via an epoxy group into a part of the carboxylic acid group of the styrene-acrylic acid-benzyl methacrylate copolymer, and methyl methacrylate-styrene- An acrylic acid copolymer etc. are mentioned.
The positive photosensitive resin is not particularly limited, and a commonly used one can be used. Specifically, a chemically amplified photosensitive resin using a novolac resin as a base resin can be used.

また、感光性樹脂の塗布方法としては、例えばスピンコート法、キャスティング法、ディッピング法、バーコート法、ブレードコート法、ロールコート法、グラビアコート法、フレキソ印刷法、スプレーコート法、ダイコート法等がある。   Examples of the photosensitive resin coating method include spin coating, casting, dipping, bar coating, blade coating, roll coating, gravure coating, flexographic printing, spray coating, and die coating. is there.

赤、緑、青の各着色層２３、２５、２７に用いる感光性樹脂に含有させる着色剤も特に限定されるものではなく、一般的に使用される顔料を始めとして、種々の公知のものを適切に選択し用いることができる。   The colorant contained in the photosensitive resin used for each of the red, green, and blue colored layers 23, 25, and 27 is not particularly limited, and various commonly known pigments such as commonly used pigments can be used. It can be appropriately selected and used.

なお、本実施形態においてカラーフィルタ１は、赤色、青色、緑色の３色の着色層のみを有するが、さらに、黄色やシアンなどの他色の着色層を設け、４色や５色の着色層を有するカラーフィルタとしてもよい。この場合、柱やブラックマトリックスを構成する着色層は赤色、緑色、青色の３色に限らない。例えば、メイン柱部を赤色＋青色＋黄色＋シアンの４つの着色層で構成してもよいし、額縁部を赤色＋シアンで構成してもよい。   In this embodiment, the color filter 1 has only three colored layers of red, blue, and green, but further includes other colored layers such as yellow and cyan, and is provided with four or five colored layers. It is good also as a color filter which has. In this case, the colored layers constituting the columns and the black matrix are not limited to the three colors red, green, and blue. For example, the main column part may be constituted by four colored layers of red + blue + yellow + cyan, and the frame part may be constituted by red + cyan.

（オーバーコート層）
オーバーコート層は、カラーフィルタ１をＩＰＳ方式の液晶表示装置に使用する場合に、各着色層を覆うように形成される。オーバーコート層は、可視光域で透明な樹脂膜、もしくは無機膜で形成される。樹脂膜の場合、通常０．５μｍ〜２．５μｍ程度の厚さを有し、感光性樹脂あるいは熱硬化性樹脂を用いて形成される。オーバーコート層を感光性樹脂にて形成する場合、感光性樹脂を塗布した後、露光し、現像、焼成することにより形成される。上記の感光性樹脂としては、ネガ型感光性樹脂およびポジ型感光性樹脂のいずれも用いることができる。オーバーコート層を熱硬化性樹脂にて形成する場合には、熱硬化性樹脂を塗布した後、焼成することで形成される。オーバーコート層を無機膜で形成する場合、酸化ケイ素膜、窒化ケイ素膜等の透明無機膜を、スパッタリング法、真空蒸着法、ＣＶＤ法等の一般的な成膜方法を用いて形成する。透明無機膜の膜厚は、通常０．０５〜２．０μｍ程度である。 (Overcoat layer)
The overcoat layer is formed so as to cover each colored layer when the color filter 1 is used in an IPS liquid crystal display device. The overcoat layer is formed of a resin film or an inorganic film that is transparent in the visible light range. In the case of a resin film, it usually has a thickness of about 0.5 μm to 2.5 μm and is formed using a photosensitive resin or a thermosetting resin. When the overcoat layer is formed of a photosensitive resin, the overcoat layer is formed by applying a photosensitive resin, then exposing, developing, and baking. As the photosensitive resin, either a negative photosensitive resin or a positive photosensitive resin can be used. When the overcoat layer is formed of a thermosetting resin, it is formed by applying a thermosetting resin and then baking it. When the overcoat layer is formed of an inorganic film, a transparent inorganic film such as a silicon oxide film or a silicon nitride film is formed using a general film forming method such as a sputtering method, a vacuum evaporation method, or a CVD method. The film thickness of the transparent inorganic film is usually about 0.05 to 2.0 μm.

（セルギャップ）
メイン柱１１と、画素部４を構成する着色層（例えば赤色着色層２３）の最表面の高さの差であるセルギャップは、１．５〜５．０μｍであることが好ましい。セルギャップの値が液晶層の厚さとなるため、セルギャップが１．５μｍより低いとセルギャップの制御が難しく、５．０μｍより高いとメイン柱の形成が困難になるためである。画面表示の高速応答が求められる場合には、セルギャップが小さいほうが好ましく、セルギャップを２μｍ程度とすることが好ましい。着色層上にオーバーコート層を設ける場合には、メイン柱１１を覆うオーバーコート層と、画素部４の赤色着色層２３を覆うオーバーコート層の高さの差であるセルギャップが、１．５〜５．０μｍであることが好ましい。同様に、セルギャップが１．５μｍより低いとセルギャップの制御が難しく、５．０μｍより高いとメイン柱の形成が困難になるためである。 (Cell gap)
The cell gap, which is the difference in height between the outermost surfaces of the main pillar 11 and the colored layer (for example, the red colored layer 23) constituting the pixel portion 4, is preferably 1.5 to 5.0 μm. This is because the value of the cell gap is the thickness of the liquid crystal layer, so that control of the cell gap is difficult if the cell gap is lower than 1.5 μm, and formation of the main pillar is difficult if it is higher than 5.0 μm. When a high-speed response for screen display is required, the cell gap is preferably small, and the cell gap is preferably about 2 μm. When the overcoat layer is provided on the colored layer, the cell gap, which is the difference in height between the overcoat layer covering the main pillar 11 and the overcoat layer covering the red colored layer 23 of the pixel portion 4, is 1.5. It is preferable that it is -5.0 micrometers. Similarly, if the cell gap is lower than 1.5 μm, it is difficult to control the cell gap, and if it is higher than 5.0 μm, it is difficult to form the main pillar.

（第１の実施形態の効果）
第１の実施形態によれば、３色の着色層を形成するだけで、ブラックマトリクス、メイン柱、サブ柱などを形成でき、独立したブラックマトリクス形成工程と各種の柱の形成工程を必要としないため、簡略な製造工程によりカラーフィルタを製造でき、生産性が高く、低コスト化が可能である。 (Effects of the first embodiment)
According to the first embodiment, it is possible to form a black matrix, a main pillar, a sub pillar, and the like only by forming colored layers of three colors, and an independent black matrix forming process and various column forming processes are not required. Therefore, a color filter can be manufactured by a simple manufacturing process, productivity is high, and cost can be reduced.

また、メイン柱１１と、画素部４の赤色着色層２３の高さの差であるセルギャップは、十分に高い。また、ブラックマトリクス５と額縁部６は十分な遮光性能を有する。   The cell gap, which is the difference in height between the main pillar 11 and the red colored layer 23 of the pixel portion 4, is sufficiently high. Further, the black matrix 5 and the frame portion 6 have sufficient light shielding performance.

（第２の実施形態）
次に、本発明のカラーフィルタの第２の実施形態について図５〜図７を用いて説明する。図５〜図７の（ａ）は、第２の実施形態に係るカラーフィルタ３３の製造工程を説明する部分平面図であり、（ｂ）は、（ａ）でのＡ−Ａ’部分断面図であり、（ｃ）は、（ａ）でのＢ−Ｂ’部分断面図である。以下の実施形態で第１の実施形態と同一の様態を果たす要素には同一の番号を付し、重複した説明は避ける。なお、図７中の破線は画素部４の領域に対応し、点線は各種柱の領域に対応する。図１０、図１３、図１６、図１９において同じである。 (Second Embodiment)
Next, a second embodiment of the color filter of the present invention will be described with reference to FIGS. 5A to 7A are partial plan views for explaining a manufacturing process of the color filter 33 according to the second embodiment, and FIG. 5B is a partial cross-sectional view taken along line AA ′ in FIG. (C) is a BB 'partial sectional view in (a). In the following embodiment, the same number is attached | subjected to the element which fulfill | performs the same aspect as 1st Embodiment, and the overlapping description is avoided. In addition, the broken line in FIG. 7 corresponds to the area of the pixel portion 4, and the dotted line corresponds to the area of various columns. This is the same in FIGS. 10, 13, 16, and 19.

第２の実施形態においては、図６（ａ）、（ｂ）で示すとおり、サブ柱１３を形成する箇所の緑色着色層３１は、画素部４を形成する緑色着色層３１から独立して離されて形成され、略円柱状または略多角柱状の略突起状に形成されている。   In the second embodiment, as shown in FIGS. 6A and 6B, the green colored layer 31 where the sub pillar 13 is formed is separated from the green colored layer 31 forming the pixel portion 4 independently. And formed into a substantially cylindrical shape or a substantially polygonal columnar projection shape.

第２の実施形態に係るカラーフィルタ３３の製造工程を説明する。まず、図５に示すとおり、第１の実施形態と同様に、基板２１の上に赤色着色層２３を形成する。   A manufacturing process of the color filter 33 according to the second embodiment will be described. First, as shown in FIG. 5, the red colored layer 23 is formed on the substrate 21 as in the first embodiment.

次いで、図６に示すとおり、基板２１及び赤色着色層２３の上に緑色着色層３１を形成する。図６（ａ）、（ｂ）で示すとおり、サブ柱１３を形成する箇所の緑色着色層３１は、画素部４を形成する緑色着色層３１から独立して離されて形成され、略突起状に形成されている。   Next, as shown in FIG. 6, a green colored layer 31 is formed on the substrate 21 and the red colored layer 23. As shown in FIGS. 6A and 6B, the green colored layer 31 where the sub-pillars 13 are formed is formed separately from the green colored layer 31 forming the pixel portion 4 and is substantially protruding. Is formed.

さらに、図７に示すとおり、基板２１、赤色着色層２３及び緑色着色層３１の上に、青色着色層２７を形成する。サブ柱１３を形成する箇所の青色着色層２７の厚さは、メイン柱１１が形成される箇所の青色着色層２７よりも小さい。これは、着色層が感光性樹脂の塗布・硬化によって行われるため、同じ工程でも、塗布する箇所の形状により、積層効率に差ができ、平坦な箇所に塗布する場合は厚い着色層が形成され、略突起状の箇所に塗布する場合は、薄い着色層が形成されるからである。なお、サブ柱１３を構成する青色着色層２７は、図７においては画素部４を構成する青色着色層２７と一体化しているが、図４に示す青色着色層２７のように、他の青色着色層２７から独立していても良い。   Further, as shown in FIG. 7, a blue colored layer 27 is formed on the substrate 21, the red colored layer 23, and the green colored layer 31. The thickness of the blue colored layer 27 where the sub pillar 13 is formed is smaller than the thickness of the blue colored layer 27 where the main pillar 11 is formed. This is because the colored layer is formed by applying and curing the photosensitive resin, so even in the same process, the lamination efficiency can be different depending on the shape of the applied part, and when applied to a flat part, a thick colored layer is formed. This is because a thin colored layer is formed when applied to a substantially protruding portion. Note that the blue colored layer 27 constituting the sub pillar 13 is integrated with the blue colored layer 27 constituting the pixel portion 4 in FIG. 7, but other blue colors such as the blue colored layer 27 shown in FIG. It may be independent from the colored layer 27.

したがって、突起上の緑色着色層３１の上に形成された青色着色層２７で構成されたサブ柱１３は、メイン柱１１よりも低くなる。   Therefore, the sub pillar 13 composed of the blue colored layer 27 formed on the green colored layer 31 on the protrusion is lower than the main pillar 11.

第２の実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果を奏することができ、少ない製造工程にて、十分なセルギャップと十分な表示品位を有するカラーフィルタが得られる。   According to the second embodiment, the same effects as those of the first embodiment can be obtained, and a color filter having a sufficient cell gap and a sufficient display quality can be obtained with a small number of manufacturing steps.

（第３の実施形態）
次に、本発明のカラーフィルタの第３の実施形態について図８〜図１０を用いて説明する。図８〜図１０の（ａ）は、第３の実施形態に係るカラーフィルタ３７の製造工程を説明する部分平面図であり、（ｂ）は、（ａ）でのＡ−Ａ’部分断面図であり、（ｃ）は、（ａ）でのＢ−Ｂ’部分断面図である。 (Third embodiment)
Next, a third embodiment of the color filter of the present invention will be described with reference to FIGS. FIGS. 8A to 10A are partial plan views for explaining a manufacturing process of the color filter 37 according to the third embodiment, and FIG. 8B is a partial cross-sectional view taken along line AA ′ in FIG. (C) is a BB 'partial sectional view in (a).

第３の実施形態においては、図９（ａ）、（ｂ）で示すとおり、サブ柱１３を形成する箇所の緑色着色層３５の幅は、メイン柱１１を形成する箇所の緑色着色層３５の幅よりも狭い。   In the third embodiment, as shown in FIGS. 9A and 9B, the width of the green colored layer 35 where the sub pillar 13 is formed is equal to the width of the green colored layer 35 where the main pillar 11 is formed. Narrower than width.

第３実施形態に係るカラーフィルタ３７の製造工程を説明する。まず、図８に示すとおり、第１の実施形態と同様に、基板２１の上に赤色着色層２３を形成する。   A manufacturing process of the color filter 37 according to the third embodiment will be described. First, as shown in FIG. 8, the red colored layer 23 is formed on the substrate 21 as in the first embodiment.

次いで、図９に示すとおり、基板２１及び赤色着色層２３の上に緑色着色層３５を形成する。図９（ａ）、（ｂ）で示すとおり、サブ柱１３を形成する箇所の緑色着色層３５の、画素部の長手方向に平行な幅は、メイン柱１１を形成する箇所の緑色着色層３５の、画素部の長手方向に平行な幅よりも狭い。   Next, as shown in FIG. 9, a green colored layer 35 is formed on the substrate 21 and the red colored layer 23. As shown in FIGS. 9A and 9B, the width of the green colored layer 35 where the sub pillars 13 are formed is parallel to the longitudinal direction of the pixel portion, and the green colored layer 35 where the main pillars 11 are formed. The width is narrower than the width parallel to the longitudinal direction of the pixel portion.

さらに、図１０に示すとおり、基板２１、赤色着色層２３及び緑色着色層３５の上に、青色着色層２７を形成する。サブ柱１３を形成する箇所の緑色着色層３５の幅は、メイン柱１１を形成する箇所の緑色着色層３５の幅より狭いため、サブ柱１３を形成する箇所の青色着色層２７の厚さは、メイン柱１１が形成される箇所の青色着色層２７よりもうすい。これは、幅の狭い、サブ柱１３を形成する箇所の緑色着色層３５の上に、青色着色層２７を形成する場合は、積層効率が悪く、低くなるからである。   Further, as shown in FIG. 10, a blue colored layer 27 is formed on the substrate 21, the red colored layer 23, and the green colored layer 35. Since the width of the green colored layer 35 where the sub pillar 13 is formed is narrower than the width of the green colored layer 35 where the main pillar 11 is formed, the thickness of the blue colored layer 27 where the sub pillar 13 is formed is It is already thinner than the blue colored layer 27 where the main pillar 11 is formed. This is because when the blue colored layer 27 is formed on the narrow green colored layer 35 where the sub-pillars 13 are to be formed, the stacking efficiency is poor and lower.

したがって、幅の狭い緑色着色層３５の上に形成された青色着色層２７で構成されたサブ柱１３は、メイン柱１１よりも低くなる。   Therefore, the sub pillar 13 composed of the blue colored layer 27 formed on the narrow green colored layer 35 is lower than the main pillar 11.

第３の実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果を奏することができ、少ない製造工程にて、十分なセルギャップと十分な表示品位を有するカラーフィルタが得られる。   According to the third embodiment, the same effects as those of the first embodiment can be obtained, and a color filter having a sufficient cell gap and a sufficient display quality can be obtained with a small number of manufacturing steps.

（第４の実施形態）
次に、本発明のカラーフィルタの第４の実施形態について図１１〜図１３を用いて説明する。図１１〜図１３の（ａ）は、第４の実施形態に係るカラーフィルタ４３の製造工程を説明する部分平面図であり、（ｂ）は、（ａ）でのＡ−Ａ’部分断面図であり、（ｃ）は、（ａ）でのＢ−Ｂ’部分断面図である。 (Fourth embodiment)
Next, a fourth embodiment of the color filter of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 11A to FIG. 13A are partial plan views for explaining a manufacturing process of the color filter 43 according to the fourth embodiment, and FIG. 11B is a partial cross-sectional view taken along line AA ′ in FIG. (C) is a BB 'partial sectional view in (a).

第４の実施形態においては、図１１（ａ）、（ｂ）で示すとおり、サブ柱１３を形成する箇所の赤色着色層３９に、孔部４１を有する。   In the fourth embodiment, as shown in FIGS. 11A and 11B, the red colored layer 39 where the sub pillar 13 is formed has the hole 41.

第４実施形態に係るカラーフィルタ４３の製造工程を説明する。まず、図１１に示すとおり、基板２１の上に赤色着色層３９を形成する。赤色着色層３９のパターニングの際に、孔部４１が得られるようにパターニングを行う。なお、図１１では、基板２１が露出する程度まで、赤色着色層３９を貫通した孔部４１を形成したが、孔部４１は必ずしも貫通する必要はなく、単なるくぼみであっても良い。   A manufacturing process of the color filter 43 according to the fourth embodiment will be described. First, as shown in FIG. 11, a red colored layer 39 is formed on the substrate 21. When the red colored layer 39 is patterned, the patterning is performed so that the hole 41 is obtained. In FIG. 11, the hole 41 that penetrates the red colored layer 39 is formed to the extent that the substrate 21 is exposed. However, the hole 41 does not necessarily have to penetrate and may be a dent.

次いで、図１２に示すとおり、基板２１及び赤色着色層３９の上に緑色着色層２５を形成する。図１２（ａ）、（ｂ）で示すとおり、赤色着色層３９の孔部４１の存在により、サブ柱１３を形成する箇所の緑色着色層２５は、くぼみとなる。   Next, as shown in FIG. 12, the green colored layer 25 is formed on the substrate 21 and the red colored layer 39. As shown in FIGS. 12A and 12B, due to the presence of the hole 41 of the red colored layer 39, the green colored layer 25 where the sub pillar 13 is formed becomes a dent.

さらに、図１３に示すとおり、基板２１、赤色着色層３９及び緑色着色層２５の上に、青色着色層２７を形成する。サブ柱１３を形成する箇所の緑色着色層２５は、くぼんでいるため、サブ柱１３はメイン柱１１よりも低くなる。   Further, as shown in FIG. 13, a blue colored layer 27 is formed on the substrate 21, the red colored layer 39, and the green colored layer 25. Since the green colored layer 25 at the portion where the sub pillar 13 is formed is recessed, the sub pillar 13 is lower than the main pillar 11.

第４の実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果を奏することができ、少ない製造工程にて、十分なセルギャップと十分な表示品位を有するカラーフィルタが得られる。なお、前述の説明では、最初に形成される赤色着色層に孔部が形成されるとしているが、次に形成される緑色着色層のサブ柱を形成する箇所に孔部を形成しても良い。その際、赤色着色層に孔部を形成してもしなくてもよい。   According to the fourth embodiment, the same effects as those of the first embodiment can be obtained, and a color filter having a sufficient cell gap and a sufficient display quality can be obtained with a small number of manufacturing steps. In the above description, the hole is formed in the red colored layer that is formed first, but the hole may be formed at a location where a sub-column of the green colored layer that is formed next is formed. . At that time, the hole may or may not be formed in the red colored layer.

（第５の実施形態）
次に、本発明のカラーフィルタの第５の実施形態について図１４〜図１６を用いて説明する。図１４〜図１６の（ａ）は、第５の実施形態に係るカラーフィルタ４７の製造工程を説明する部分平面図であり、（ｂ）は、（ａ）でのＡ−Ａ’部分断面図であり、（ｃ）は、（ａ）でのＢ−Ｂ’部分断面図である。 (Fifth embodiment)
Next, a fifth embodiment of the color filter of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 14A to FIG. 16A are partial plan views for explaining a manufacturing process of the color filter 47 according to the fifth embodiment, and FIG. 14B is a partial cross-sectional view taken along line AA ′ in FIG. (C) is a BB 'partial sectional view in (a).

第５の実施形態においては、図１４（ｂ）で示すとおり、サブ柱１３を形成する箇所の赤色着色層４５の厚さを、階調マスクを用いて低くする。   In the fifth embodiment, as shown in FIG. 14B, the thickness of the red colored layer 45 where the sub pillars 13 are formed is lowered using a gradation mask.

第５実施形態に係るカラーフィルタ４７の製造工程を説明する。まず、図１４に示すとおり、基板２１の上に赤色着色層４５を形成する。赤色着色層４５のパターニングの際に、サブ柱１３を形成する箇所の赤色着色層４５の厚さが薄くなるように、階調マスクを用いてパターニングを行う。階調マスクの詳細については、後述する。   A manufacturing process of the color filter 47 according to the fifth embodiment will be described. First, as shown in FIG. 14, a red colored layer 45 is formed on the substrate 21. When patterning the red colored layer 45, patterning is performed using a gradation mask so that the thickness of the red colored layer 45 at the portion where the sub pillars 13 are formed is reduced. Details of the gradation mask will be described later.

次いで、図１５に示すとおり、基板２１及び赤色着色層４５の上に緑色着色層２５を形成する。   Next, as shown in FIG. 15, the green colored layer 25 is formed on the substrate 21 and the red colored layer 45.

さらに、図１６に示すとおり、基板２１、赤色着色層４５及び緑色着色層２５の上に、青色着色層２７を形成する。サブ柱１３を形成する箇所の赤色着色層４５の厚さが薄いため、サブ柱１３はメイン柱１１よりも低くなる。   Further, as shown in FIG. 16, a blue colored layer 27 is formed on the substrate 21, the red colored layer 45, and the green colored layer 25. Since the thickness of the red colored layer 45 at the portion where the sub pillar 13 is formed is thin, the sub pillar 13 is lower than the main pillar 11.

第５の実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果を奏することができ、少ない製造工程にて、十分なセルギャップと十分な表示品位を有するカラーフィルタが得られる。   According to the fifth embodiment, the same effects as those of the first embodiment can be obtained, and a color filter having a sufficient cell gap and a sufficient display quality can be obtained with a small number of manufacturing steps.

（第６の実施形態）
次に、本発明のカラーフィルタの第６の実施形態について図１７〜図１９を用いて説明する。図１７〜図１９の（ａ）は、第６の実施形態に係るカラーフィルタ５１の製造工程を説明する部分平面図であり、（ｂ）は、（ａ）でのＡ−Ａ’部分断面図であり、（ｃ）は、（ａ）でのＢ−Ｂ’部分断面図である。 (Sixth embodiment)
Next, a sixth embodiment of the color filter of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 17A to FIG. 19A are partial plan views for explaining a manufacturing process of the color filter 51 according to the sixth embodiment, and FIG. 17B is a partial cross-sectional view taken along line AA ′ in FIG. (C) is a BB 'partial sectional view in (a).

第６の実施形態においては、図１８（ｂ）で示すとおり、サブ柱１３を形成する箇所の緑色着色層４９の厚さを、階調マスクを用いて低くする。   In the sixth embodiment, as shown in FIG. 18B, the thickness of the green colored layer 49 where the sub pillars 13 are formed is lowered using a gradation mask.

第６実施形態に係るカラーフィルタ５１の製造工程を説明する。まず、図１７に示すとおり、第１の実施形態と同様に、基板２１の上に赤色着色層２３を形成する。   A manufacturing process of the color filter 51 according to the sixth embodiment will be described. First, as shown in FIG. 17, the red colored layer 23 is formed on the substrate 21 as in the first embodiment.

次いで、図１８に示すとおり、基板２１及び赤色着色層２３の上に緑色着色層４９を形成する。緑色着色層４９のパターニングの際に、サブ柱１３を形成する箇所の緑色着色層４９の厚さが薄くなるように、階調マスクを用いてパターニングを行う。   Next, as shown in FIG. 18, a green colored layer 49 is formed on the substrate 21 and the red colored layer 23. When patterning the green coloring layer 49, patterning is performed using a gradation mask so that the thickness of the green coloring layer 49 where the sub pillars 13 are to be formed is reduced.

さらに、図１９に示すとおり、基板２１、赤色着色層２３及び緑色着色層４９の上に、青色着色層２７を形成する。サブ柱１３を形成する箇所の緑色着色層４９の厚さが薄いため、サブ柱１３はメイン柱１１よりも低くなる。   Further, as shown in FIG. 19, the blue colored layer 27 is formed on the substrate 21, the red colored layer 23, and the green colored layer 49. Since the thickness of the green colored layer 49 where the sub pillar 13 is formed is thin, the sub pillar 13 is lower than the main pillar 11.

第６の実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果を奏することができ、少ない製造工程にて、十分なセルギャップと十分な表示品位を有するカラーフィルタが得られる。   According to the sixth embodiment, the same effects as those of the first embodiment can be obtained, and a color filter having a sufficient cell gap and a sufficient display quality can be obtained with a small number of manufacturing steps.

なお、第２〜第６の実施形態においては、周縁部７及び周縁部柱１７の形成については省略したが、第２〜第６の実施形態において、カラーフィルタの製造時には周縁部７及び周縁部柱１７を有していても良い。   In the second to sixth embodiments, the formation of the peripheral edge portion 7 and the peripheral edge pillar 17 is omitted, but in the second to sixth embodiments, the peripheral edge portion 7 and the peripheral edge portion are produced when the color filter is manufactured. The pillar 17 may be provided.

また、第２〜第６の実施形態においても、各カラーフィルタは、図１のような、表示領域３、額縁部６を少なくとも有する構成を有する。   Also in the second to sixth embodiments, each color filter has a configuration having at least a display area 3 and a frame portion 6 as shown in FIG.

（階調マスク）
階調マスクは、透明基板と、遮光膜と、透過率調整機能を有する半透明膜とが順不同に積層され、透明基板上に遮光膜が設けられた遮光部と、透明基板上に半透明膜のみが設けられた半透過部と、透明基板上に遮光膜および半透明膜のいずれも設けられていない透過部とを有する。 (Tone mask)
In the gradation mask, a transparent substrate, a light shielding film, and a semitransparent film having a transmittance adjusting function are stacked in random order, and a light shielding portion provided with a light shielding film on the transparent substrate, and a semitransparent film on the transparent substrate And a transmissive part in which neither a light-shielding film nor a semi-transparent film is provided on the transparent substrate.

遮光膜は、実質的に露光光を透過しないものであり、露光波長における平均透過率が０．１％以下であることが好ましい。遮光膜としては、一般にカラーフィルタに用いられる遮光膜を用いることができ、例えばクロム、酸化クロム、窒化クロム、酸化窒化クロム、モリブデンシリサイド、タンタル、アルミニウム、ケイ素、酸化ケイ素、酸化窒化ケイ素などの膜が挙げられる。中でも、クロム、酸化クロム、窒化クロム、酸化窒化クロム等のクロム系膜が好適に用いられる。このようなクロム系膜は、最も使用実績があり、コスト、品質の点で好ましいからである。このクロム系膜は、単層であってもよく、２層以上が積層されたものであってもよい。   The light-shielding film does not substantially transmit exposure light, and preferably has an average transmittance of 0.1% or less at the exposure wavelength. As the light shielding film, a light shielding film generally used for a color filter can be used, for example, a film of chromium, chromium oxide, chromium nitride, chromium oxynitride, molybdenum silicide, tantalum, aluminum, silicon, silicon oxide, silicon oxynitride, or the like. Is mentioned. Of these, chromium-based films such as chromium, chromium oxide, chromium nitride, and chromium oxynitride are preferably used. This is because such a chromium-based film has the most use record and is preferable in terms of cost and quality. This chromium-based film may be a single layer or may be a laminate of two or more layers.

遮光膜の膜厚としては、特に限定されるものではなく、例えばクロム膜の場合には５０ｎｍ〜１５０ｎｍ程度とすることができる。   The thickness of the light shielding film is not particularly limited, and for example, in the case of a chromium film, it can be about 50 nm to 150 nm.

遮光膜の成膜方法としては、例えばスパッタリング法、イオンプレーティング法、真空蒸着法などの物理蒸着法（ＰＶＤ）が用いられる。成膜後、遮光膜のパターニングを行う。パターニング方法は特に限定されないが、通常はリソグラフィー法が用いられる。   As a method for forming the light shielding film, for example, a physical vapor deposition method (PVD) such as a sputtering method, an ion plating method, or a vacuum vapor deposition method is used. After the film formation, the light shielding film is patterned. The patterning method is not particularly limited, but usually a lithography method is used.

半透明膜を得る方法には、露光機の解像限界以下の微細なスリットやメッシュのパターンを遮光膜に形成する方法と、任意の透過率を有する膜をさらに積層する方法とのいずれかが用いられる。通常、前者の膜を用いるものをグレートーンマスクやスリットマスク、後者の膜を用いるものをハーフトーンマスクやスタックドレイヤーマスクなどと呼ぶ。   As a method for obtaining a translucent film, either a method of forming a fine slit or mesh pattern below the resolution limit of an exposure machine on a light shielding film, or a method of further laminating a film having an arbitrary transmittance is used. Used. Usually, the former film is called a gray tone mask or slit mask, and the latter film is called a halftone mask or a stacked layer mask.

ハーフトーンマスクに使用される任意の透過率を有する半透明膜としては、例えばクロム、モリブデンシリサイド、タンタル、アルミニウム、ケイ素等の酸化物、窒化物、炭化物などの膜が挙げられる。半透明膜および遮光膜を同一エッチング設備、工程でパターニングし得るという利点から、半透明膜と遮光膜が同系の材料からなる膜であることが好ましい。前述するように遮光膜がクロム系膜であることが好ましいことから、半透明膜も、酸化クロム、窒化クロム、酸化窒化クロム、酸化窒化炭化クロムなどのクロム系膜であることが好ましい。また、これらのクロム系膜は、機械的強度に優れており、さらには安定しているため、長時間の使用に耐えうるマスクとすることができる。   Examples of the translucent film having an arbitrary transmittance used for the halftone mask include films of oxides such as chromium, molybdenum silicide, tantalum, aluminum, and silicon, nitrides, and carbides. From the advantage that the translucent film and the light-shielding film can be patterned by the same etching equipment and process, the translucent film and the light-shielding film are preferably films made of similar materials. Since the light-shielding film is preferably a chromium-based film as described above, the translucent film is also preferably a chromium-based film such as chromium oxide, chromium nitride, chromium oxynitride, or chromium oxynitride carbide. In addition, these chromium-based films have excellent mechanical strength and are stable, so that a mask that can withstand long-term use can be obtained.

また、半透明膜は、単層であってもよく、複数の層で構成されていてもよい。これにより、複数の透過率を有する多階調のマスクとすることができる。   The translucent film may be a single layer or may be composed of a plurality of layers. Thus, a multi-tone mask having a plurality of transmittances can be obtained.

半透明膜の膜厚としては、例えばクロム膜の場合は５ｎｍ〜５０ｎｍ程度とすることができ、また酸化クロム膜の場合は５ｎｍ〜１５０ｎｍ程度とすることができる。半透明膜の透過率はその膜厚により変わるので、膜厚を制御することで所望の透過率とすることができる。また、半透明膜が酸素、窒素、炭素などを含む場合は、その透過率は組成により変わるので、膜厚と組成とを同時にコントロールすることで所望の透過率を実現できる。   The film thickness of the translucent film can be, for example, about 5 nm to 50 nm in the case of a chromium film, and about 5 nm to 150 nm in the case of a chromium oxide film. Since the transmissivity of the semitransparent film varies depending on the film thickness, the desired transmissivity can be obtained by controlling the film thickness. Further, when the translucent film contains oxygen, nitrogen, carbon or the like, the transmittance varies depending on the composition. Therefore, the desired transmittance can be realized by simultaneously controlling the film thickness and the composition.

半透明膜の成膜方法としては、例えばスパッタリング法、イオンプレーティング法、真空蒸着法などの物理蒸着法（ＰＶＤ）が用いられる。例えばスパッタリング法を用いて酸化窒化炭化クロム膜を成膜する場合は、Ａｒガス等のキャリアガス、酸素（炭酸）ガス、窒素ガスを反応装置内に導入し、Ｃｒターゲットを用いた反応性スパッタリング法にて酸化窒化炭化クロム膜を成膜することができる。この際、酸化窒化炭化クロム膜の組成の制御は、Ａｒガス、酸素（炭酸）ガス、窒素ガスの流量の割合を制御することにより行うことができる。成膜後、パターニングを行い、半透明膜を形成する。   As a method for forming the translucent film, for example, a physical vapor deposition method (PVD) such as a sputtering method, an ion plating method, or a vacuum vapor deposition method is used. For example, when forming a chromium oxynitride chromium carbide film using a sputtering method, a reactive gas sputtering method using a Cr target by introducing a carrier gas such as Ar gas, oxygen (carbonic acid) gas, or nitrogen gas into the reactor. Thus, a chromium oxynitride carbide carbide film can be formed. At this time, the composition of the chromium oxynitride carbide film can be controlled by controlling the flow rates of Ar gas, oxygen (carbonic acid) gas, and nitrogen gas. After film formation, patterning is performed to form a translucent film.

以上、添付図面を参照しながら、本発明に係るカラーフィルタ等の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、本願で開示した技術的思想の範疇内において、各種の変更例又は修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。   The preferred embodiments of the color filter and the like according to the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, but the present invention is not limited to such examples. It will be apparent to those skilled in the art that various changes or modifications can be conceived within the scope of the technical idea disclosed in the present application, and these naturally belong to the technical scope of the present invention. Understood.

以下、本発明について実施例を用いて具体的に説明する。
［実施例１］
１．ネガ型の感光性樹脂組成物の調製
重合槽中にメタクリル酸メチル（ＭＭＡ）を６３重量部、アクリル酸（ＡＡ）を１２重量部、メタクリル酸−２−ヒドロキシエチル（ＨＥＭＡ）を６重量部、ジエチレングリコールジメチルエーテル（ＤＭＤＧ）を８８重量部仕込み、攪拌し溶解させた後、２，２´−アゾビス（２−メチルブチロニトリル）を７重量部添加し、均一に溶解させた。その後、窒素気流下、８５℃で２時間攪拌し、更に１００℃で１時間反応させた。得られた溶液に、更にメタクリル酸グリシジル（ＧＭＡ）を７重量部、トリエチルアミンを０．４重量部、及びハイドロキノンを０．２重量部添加し、１００℃で５時間攪拌し、共重合樹脂溶液（固形分５０％）を得た。 Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples.
[Example 1]
1. Preparation of negative photosensitive resin composition 63 parts by weight of methyl methacrylate (MMA), 12 parts by weight of acrylic acid (AA), 6 parts by weight of 2-hydroxyethyl methacrylate (HEMA) in the polymerization tank, After 88 parts by weight of diethylene glycol dimethyl ether (DMDG) was charged and stirred for dissolution, 7 parts by weight of 2,2′-azobis (2-methylbutyronitrile) was added and dissolved uniformly. Then, it stirred at 85 degreeC under nitrogen stream for 2 hours, and also was made to react at 100 degreeC for 1 hour. 7 parts by weight of glycidyl methacrylate (GMA), 0.4 parts by weight of triethylamine, and 0.2 parts by weight of hydroquinone were further added to the resulting solution, and the mixture was stirred at 100 ° C. for 5 hours to obtain a copolymer resin solution ( A solid content of 50%) was obtained.

次に下記の材料を室温で攪拌、混合して感光性樹脂組成物とした。
＜感光性樹脂組成物の組成＞
・上記共重合樹脂用液（固形分５０％）：１６重量部
・ジペンタエリスリトールペンタアクリレート（サートマー社 ＳＲ３９９）：２４重量部
・オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂（油化シェルエポキシ社 エピコート１８０Ｓ７０）：４重量部
・２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルフォリノプロパン−１−オン：４重量部
・ジエチレングリコールジメチルエーテル：５２重量部 Next, the following materials were stirred and mixed at room temperature to obtain a photosensitive resin composition.
<Composition of photosensitive resin composition>
-Copolymer resin solution (solid content 50%): 16 parts by weight-Dipentaerythritol pentaacrylate (Sartomer SR399): 24 parts by weight- Orthocresol novolac type epoxy resin (Oka Chemical Shell Epoxy Epicoat 180S70): 4 Parts by weight-2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one: 4 parts by weight-diethylene glycol dimethyl ether: 52 parts by weight

２．着色層用感光性樹脂組成物の調製
次に、下記組成の赤色用感光性樹脂組成物、緑色用感光性樹脂組成物、および青色用感光性樹脂組成物を調製した。
＜赤色用感光性樹脂組成物の組成＞
・Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４：８重量部
（ＢＡＳＦ社「イルガーフォーレッド Ｂ-ＣＦ」）
・Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０：２重量部
（バイエル社製「Ｅ‐４ＧＮ」）
・ポリスルホン酸型高分子分散剤：３重量部
・上記の感光性樹脂組成物：３０重量部
・酢酸−３−メトキシブチル：５７重量部 2. Preparation of photosensitive resin composition for colored layer Next, a photosensitive resin composition for red, a photosensitive resin composition for green, and a photosensitive resin composition for blue having the following compositions were prepared.
<Composition of photosensitive resin composition for red>
・ C. I. Pigment Red 254: 8 parts by weight (BASF “Ilgar For Red B-CF”)
・ C. I. Pigment Yellow 150: 2 parts by weight ("E-4GN" manufactured by Bayer)
-Polysulfonic acid type polymer dispersant: 3 parts by weight-The above photosensitive resin composition: 30 parts by weight-3-methoxybutyl acetate: 57 parts by weight

＜緑色用感光性樹脂組成物の組成＞
・Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６：５重量部
（アビシア社製 モナストラルグリーンθＹ−Ｃ）
・Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０：５重量部
（バイエル社製「Ｅ‐４ＧＮ」）
・ポリスルホン酸型高分子分散剤：３重量部
・上記の感光性樹脂組成物：３０重量部
・酢酸−３−メトキシブチル：５７重量部 <Composition of photosensitive resin composition for green>
・ C. I. Pigment Green 36: 5 parts by weight (Avicia Monastral Green θY-C)
・ C. I. Pigment Yellow 150: 5 parts by weight ("E-4GN" manufactured by Bayer)
-Polysulfonic acid type polymer dispersant: 3 parts by weight-The above photosensitive resin composition: 30 parts by weight-3-methoxybutyl acetate: 57 parts by weight

＜青色用感光性樹脂組成物の組成＞
・Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６：８重量部
（大日精化工業株式会社製「Ｃｈｒｏｍｏｆｉｎｅ Ｂｌｕｅ ５２０１Ａ」）
・Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３：２重量部
（山陽色素株式会社製「Ｆａｓｔ Ｖｉｏｌｅｔ ＢＬＤ」）
・ポリスルホン酸型高分子分散剤：３重量部
・上記の感光性樹脂組成物：３０重量部
・酢酸−３−メトキシブチル：５７重量部 <Composition of photosensitive resin composition for blue>
・ C. I. Pigment Blue 15: 6: 8 parts by weight (“Chromofine Blue 5201A” manufactured by Dainichi Seika Kogyo Co., Ltd.)
・ C. I. Pigment Violet 23: 2 parts by weight (“Fast Violet BLD” manufactured by Sanyo Dyeing Co., Ltd.)
-Polysulfonic acid type polymer dispersant: 3 parts by weight-The above photosensitive resin composition: 30 parts by weight-3-methoxybutyl acetate: 57 parts by weight

３．着色層の作製
（赤色着色層の作製）
透明基板として、大きさが３００ｍｍ×４００ｍｍ、厚みが０．７ｍｍのガラス基板（コーニング社製ＥＡＧＬＥ ＸＧガラス）を準備した。この基板を定法にしたがって洗浄した後、基板の片側に、赤色用感光性樹脂組成物をスピンコート法により塗布し、１００℃で３分間乾燥させた。次いで、第１の実施形態に対応したパターンを有する赤色着色層用のフォトマスクを介して、超高圧水銀ランプで露光した後、０．０５ｗｔ％水酸化カリウム水溶液で現像し、その後、基板を２３０℃の雰囲気下に３０分間の加熱処理を施すことで、厚さ約３．２μｍの赤色着色層を形成した。この赤色着色層のパターンは図２のようであり、表示領域内に略格子状のパターンで、額縁部の全面を覆うパターンで、周縁部に略円柱状のパターンで形成され、長方形状（１５０μｍ×４５０μｍ）の赤色の画素部が得られる大きさとした。 3. Production of colored layer (production of red colored layer)
As a transparent substrate, a glass substrate (EAGLE XG glass manufactured by Corning) having a size of 300 mm × 400 mm and a thickness of 0.7 mm was prepared. After this substrate was washed according to a conventional method, the photosensitive resin composition for red was applied to one side of the substrate by a spin coating method and dried at 100 ° C. for 3 minutes. Next, after exposure with an ultra-high pressure mercury lamp through a photomask for a red colored layer having a pattern corresponding to the first embodiment, development with a 0.05 wt% aqueous potassium hydroxide solution is performed, and then the substrate is made 230 A red colored layer having a thickness of about 3.2 μm was formed by performing a heat treatment for 30 minutes in an atmosphere of ° C. The pattern of the red colored layer is as shown in FIG. 2 and is a substantially grid pattern in the display area, which covers the entire surface of the frame portion, and is formed in a substantially columnar pattern at the peripheral portion, and has a rectangular shape (150 μm The size is such that a red pixel portion of × 450 μm is obtained.

（緑色着色層の作製）
次に、緑色用感光性樹脂組成物を用いて、同様の操作により、緑色着色層を形成した。この緑色着色層は図３のようであり、表示領域内に略櫛状のパターンで、額縁部に略円柱状のパターンで、周縁部で赤色着色層上に円柱状のパターンで形成された。基板上に形成された緑色着色層の厚さは約３．２μｍであったが、赤色着色層上に形成された緑色着色層の厚さは約２．６μｍであった。 (Preparation of green colored layer)
Next, a green colored layer was formed by the same operation using the green photosensitive resin composition. This green colored layer is as shown in FIG. 3 and is formed in a substantially comb-like pattern in the display area, a substantially cylindrical pattern in the frame portion, and a cylindrical pattern on the red colored layer in the peripheral portion. The thickness of the green colored layer formed on the substrate was about 3.2 μm, but the thickness of the green colored layer formed on the red colored layer was about 2.6 μm.

（青色着色層の作製）
次に、青色用感光性樹脂組成物を用いて、同様の操作により、青色着色層を形成した。この青色着色層は図４のようであり、表示領域内に略ストライプ状のパターンで、額縁部では全面を覆うパターンで、周縁部で緑色着色層上に円柱状のパターンで形成された。基板上に形成された青色着色層の厚さは約３．２μｍであったが、赤色着色層と緑色着色層とで形成されたブラックマトリックス上のメイン柱部青色着色層の厚さは約２．１μｍであった。 (Preparation of blue colored layer)
Next, a blue colored layer was formed by the same operation using the blue photosensitive resin composition. This blue colored layer is as shown in FIG. 4 and is formed in a substantially striped pattern in the display area, a pattern covering the entire surface in the frame portion, and a cylindrical pattern on the green colored layer in the peripheral portion. The thickness of the blue colored layer formed on the substrate was about 3.2 μm, but the thickness of the main column blue colored layer on the black matrix formed of the red colored layer and the green colored layer was about 2 μm. .1 μm.

４．オーバーコート層の作製
着色層を形成済みの上記カラーフィルター基板に、ネガ型感光性樹脂組成物を用いて、同様の操作により、オーバーコート層を形成した。ただしオーバーコート層を露光するさいにはフォトマスクを使用しないことで、表示領域、額縁部、周縁部がオーバーコート層で覆われるようにした。オーバーコート層の厚さは周縁部で約１．５μｍであった。 4). Production of Overcoat Layer An overcoat layer was formed on the color filter substrate on which the colored layer had already been formed using the negative photosensitive resin composition by the same operation. However, the photomask was not used when exposing the overcoat layer, so that the display area, the frame portion, and the peripheral portion were covered with the overcoat layer. The thickness of the overcoat layer was about 1.5 μm at the periphery.

［実施例２］
実施例２−１、２−２、２−３として、［実施例１］で調製した着色層用のネガ型感光性樹脂組成物を用い、第２、第３、第４の実施形態のそれぞれに対応したパターンを有するフォトマスクを用いて、カラーフィルタを作製した。
（赤色着色層の作製）
第２、第３、第４の実施形態に対応したパターンを有するフォトマスクを用い、実施例１と同様の操作によりそれぞれ、図５、図８、図１１のようなパターンを形成した。赤色着色層の厚さは約２．４μｍとなるように塗布条件は変更した。
（緑色着色層の作製）
第２、第３、第４の実施形態に対応したパターンを有するフォトマスクを用い、実施例１と同様の操作によりそれぞれ、図６、図９、図１２のようなパターンを形成した。緑色着色層の厚さは約２．４μｍとなるように塗布条件は変更した。赤色着色層上に形成された緑色着色層の厚さは約２．１μｍであった。
（青色着色層の作製）
第２、第３、第４の実施形態に対応したパターンを有するフォトマスクを用い、実施例１と同様の操作によりそれぞれ、図７、図１０、図１３のようなパターンを形成した。青色着色層の厚さは約２．４μｍとなるように塗布条件は変更した。赤色着色層と緑色着色層とで形成されたブラックマトリックス上のメイン柱部青色着色層の厚さは約１．４μｍであった。 [Example 2]
As Examples 2-1, 2-2, and 2-3, the negative photosensitive resin composition for the colored layer prepared in [Example 1] was used, and each of the second, third, and fourth embodiments was used. A color filter was produced using a photomask having a pattern corresponding to the above.
(Preparation of red colored layer)
Using photomasks having patterns corresponding to the second, third, and fourth embodiments, patterns as shown in FIGS. 5, 8, and 11 were formed by the same operations as in Example 1, respectively. The coating conditions were changed so that the thickness of the red colored layer was about 2.4 μm.
(Preparation of green colored layer)
Using a photomask having a pattern corresponding to the second, third, and fourth embodiments, patterns as shown in FIGS. 6, 9, and 12 were formed by the same operation as in Example 1, respectively. The coating conditions were changed so that the thickness of the green colored layer was about 2.4 μm. The thickness of the green colored layer formed on the red colored layer was about 2.1 μm.
(Preparation of blue colored layer)
Using photomasks having patterns corresponding to the second, third, and fourth embodiments, patterns as shown in FIGS. 7, 10, and 13 were formed by the same operation as in Example 1, respectively. The coating conditions were changed so that the thickness of the blue colored layer was about 2.4 μm. The thickness of the main columnar blue colored layer on the black matrix formed of the red colored layer and the green colored layer was about 1.4 μm.

［実施例３］
［実施例１］で調製した着色層用のネガ型感光性樹脂組成物を用い、第５の実施形態に対応したパターンを有するフォトマスクを用いて、カラーフィルタを作製した。
（赤色着色層の作製）
第５の実施形態に対応したパターンを有するフォトマスクを用い、実施例２と同様の操作により図１４のようなパターンを形成した。サブ柱が形成されるブラックマトリックス部分の赤色着色層の厚さを薄くするため、当該箇所を形成するフォトマスクのパターンは光透過率１６％のグレートーンパターンとした。光透過率１６％のグレートーンパターンは、フォトマスク上の遮光膜に１．０μｍ×１．０μｍサイズの略正方形透過部をｘ方向、ｙ方向ともに２．５μｍのピッチで配置することで形成した。赤色着色層の厚さは画素部で約２．４μｍ、グレートーンパターンで形成した部分で約１．９μｍだった。
（緑色着色層の作製）
第５の実施形態に対応したパターンを有するフォトマスクを用い、実施例２と同様の操作によりそれぞれ、図１５のようなパターンを形成した。緑色着色層の厚さは約２．４μｍ、赤色着色層上に形成された緑色着色層の厚さは約２．１μｍであった。
（青色着色層の作製）
第５の実施形態に対応したパターンを有するフォトマスクを用い、実施例２と同様の操作によりそれぞれ、図１６のようなパターンを形成した。青色着色層の厚さは約２．４μｍ、赤色着色層と緑色着色層とで形成されたブラックマトリックス上のメイン柱部青色着色層の厚さは約１．４μｍであった。 [Example 3]
Using the negative photosensitive resin composition for the colored layer prepared in [Example 1], a color filter was produced using a photomask having a pattern corresponding to the fifth embodiment.
(Preparation of red colored layer)
Using a photomask having a pattern corresponding to the fifth embodiment, a pattern as shown in FIG. 14 was formed by the same operation as in Example 2. In order to reduce the thickness of the red colored layer in the black matrix portion where the sub pillars are formed, the pattern of the photomask forming the portion is a gray tone pattern having a light transmittance of 16%. A gray-tone pattern with a light transmittance of 16% was formed by arranging 1.0 μm × 1.0 μm-sized substantially square transmission parts on the light shielding film on the photomask at a pitch of 2.5 μm in both the x and y directions. . The thickness of the red colored layer was about 2.4 μm at the pixel portion and about 1.9 μm at the portion formed by the gray tone pattern.
(Preparation of green colored layer)
Using a photomask having a pattern corresponding to the fifth embodiment, a pattern as shown in FIG. 15 was formed by the same operation as in Example 2. The thickness of the green colored layer was about 2.4 μm, and the thickness of the green colored layer formed on the red colored layer was about 2.1 μm.
(Preparation of blue colored layer)
Using a photomask having a pattern corresponding to the fifth embodiment, a pattern as shown in FIG. 16 was formed in the same manner as in Example 2. The thickness of the blue colored layer was about 2.4 μm, and the thickness of the main column blue colored layer on the black matrix formed of the red colored layer and the green colored layer was about 1.4 μm.

［比較例１］
１．ブラックマトリックス層用感光性樹脂組成物の調製
まず、下記分量の成分を混合し、サンドミルにて十分に分散し、黒色顔料分散液を調製した。
＜黒色顔料分散液の組成＞
・黒色顔料：２３重量部
・高分子分散材（ビックケミー・ジャパン（株） Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ１１１）：２重量部
・溶剤（ジエチレングリコールジメチルエーテル）：７５重量部
次に、上記黒色顔料分散液を、下記分量の成分を十分混合して、遮光部用感光性樹脂組成物を得た。
＜遮光部用感光性樹脂組成物の組成＞
・上記黒色顔料分散液：４０重量部
・実施例１の感光性樹脂組成物：２５重量部
・ジエチレングリコールジメチルエーテル：３５重量部 [Comparative Example 1]
1. Preparation of photosensitive resin composition for black matrix layer First, the following components were mixed and sufficiently dispersed in a sand mill to prepare a black pigment dispersion.
<Composition of black pigment dispersion>
Black pigment: 23 parts by weight Polymer dispersing agent (Bicchemy Japan Co., Ltd. Disperbyk 111): 2 parts by weight Solvent (diethylene glycol dimethyl ether): 75 parts by weight Next, the above black pigment dispersion is mixed with the following components. The mixture was sufficiently mixed to obtain a light-sensitive part photosensitive resin composition.
<Composition of photosensitive resin composition for light shielding part>
-Black pigment dispersion: 40 parts by weight-Photosensitive resin composition of Example 1: 25 parts by weight-Diethylene glycol dimethyl ether: 35 parts by weight

２．カラーフィルタの作製
（ブラックマトリクスの作製）
透明基板として、大きさが３００ｍｍ×４００ｍｍ、厚みが０．７ｍｍのガラス基板（コーニング社製ＥＡＧＬＥ ＸＧガラス）を準備した。この基板を定法にしたがって洗浄した後、基板の片側に、ブラックマトリックス層用のネガ型感光性樹脂組成物をスピンコート法により塗布し、１００℃で３分間乾燥させた。次いで、ブラックマトリックス層用のフォトマスクを介して、超高圧水銀ランプで露光した後、０．０５ｗｔ％水酸化カリウム水溶液で現像し、その後、基板を２３０℃の雰囲気下に３０分間の加熱処理を施すことで、厚さ約１．２μｍ、線幅３０μｍ、ピッチ１５０μｍのブラックマトリックス層を形成した。 2. Production of color filter (production of black matrix)
As a transparent substrate, a glass substrate (EAGLE XG glass manufactured by Corning) having a size of 300 mm × 400 mm and a thickness of 0.7 mm was prepared. After this substrate was washed according to a conventional method, a negative photosensitive resin composition for a black matrix layer was applied to one side of the substrate by a spin coating method and dried at 100 ° C. for 3 minutes. Next, after exposure with an ultra-high pressure mercury lamp through a photomask for the black matrix layer, development is performed with 0.05 wt% potassium hydroxide aqueous solution, and then the substrate is subjected to heat treatment for 30 minutes in an atmosphere at 230 ° C. By applying, a black matrix layer having a thickness of about 1.2 μm, a line width of 30 μm, and a pitch of 150 μm was formed.

（着色層の作製）
次いで、ガラス基板上にブラックマトリックスを覆うように、実施例１で調製した赤色着色層用のネガ型感光性樹脂組成物をスピンコート法により塗布し、赤色パターン用のフォトマスクを介して、露光、現像して、厚さ約２．４μｍの赤色着色層を形成した。この赤色パターンは、長方形状（１５０μｍ×４５０μｍ）とした。
その後、実施例１で調製した緑色着色層用のネガ型感光性樹脂組成物、実施例１で調製した青色着色層用のネガ型感光性樹脂組成物を用いて、同様の操作により、緑色着色層、青色着色層を形成した。これにより、赤色着色層、緑色着色層、青色着色層が配列された着色層を形成した。
（柱の形成）
さらに、実施例１で調製したネガ型感光性樹脂組成物をスピンコート法により塗布し、フォトスペーサー用のフォトマスクを介して、露光、現像して、高さ約３．５μｍの柱状のフォトスペーサーを形成した。 (Preparation of colored layer)
Next, the negative photosensitive resin composition for the red colored layer prepared in Example 1 was applied by spin coating so as to cover the black matrix on the glass substrate, and exposed through a photomask for red pattern. And a red colored layer having a thickness of about 2.4 μm was formed. The red pattern was rectangular (150 μm × 450 μm).
Thereafter, using the negative photosensitive resin composition for the green colored layer prepared in Example 1 and the negative photosensitive resin composition for the blue colored layer prepared in Example 1, green coloring was performed in the same manner. A layer and a blue colored layer were formed. Thereby, a colored layer in which a red colored layer, a green colored layer, and a blue colored layer were arranged was formed.
(Formation of pillars)
Further, the negative photosensitive resin composition prepared in Example 1 was applied by spin coating, exposed and developed through a photomask for a photospacer, and a columnar photospacer having a height of about 3.5 μm. Formed.

［カラーフィルタの評価］
実施例１、２、３および比較例１のカラーフィルタ額縁部の光学濃度、メイン柱・サブ柱・額縁柱・周縁部柱の高さを測定した。
光学濃度は、オリンパス光学工業（株）製、分光測色計、ＯＳＰ−ＳＰ２００により測色し、分光のＹ値からＯＤ（光学濃度）値を算出した。
各柱の高さは、高さプロファイルを、ＫＬＡ−Ｔｅｎｃｏｒ Ｐ−１５（ＫＬＡ−Ｔｅｎｃｏｒ Ｊａｐａｎ Ｌｔｄ．社製）により測定し、着色画素表面と柱部との高低差および、ガラス基板面と柱部の高低差を算出した。
実施例と比較例の評価結果を以下の表１、表２にまとめた。 [Evaluation of color filter]
The optical density of the color filter frame portions of Examples 1, 2, 3 and Comparative Example 1, and the heights of the main column, sub column, frame column, and peripheral column were measured.
The optical density was measured by Olympus Optical Co., Ltd., spectrocolorimeter, OSP-SP200, and the OD (optical density) value was calculated from the spectroscopic Y value.
The height of each column is measured by KLA-Tencor P-15 (manufactured by KLA-Tencor Japan Ltd.), the height difference between the colored pixel surface and the column part, and the glass substrate surface and the column part. The height difference was calculated.
The evaluation results of Examples and Comparative Examples are summarized in Tables 1 and 2 below.

Figure 0005699372
Figure 0005699372

Figure 0005699372
Figure 0005699372

評価結果から分かるように、実施例１、２、３は、独立したブラックマトリクス形成工程やフォトスペーサー形成工程を有しないが、十分なブラックマトリクスの光学濃度を持ち、十分なセルギャップ（メイン柱の画素部最表面からの高さ）を持つカラーフィルタを得ることができた。   As can be seen from the evaluation results, Examples 1, 2, and 3 do not have an independent black matrix formation process or photo spacer formation process, but have a sufficient optical density of the black matrix and a sufficient cell gap (main pillars). A color filter having a height from the outermost surface of the pixel portion was obtained.

１………カラーフィルタ
３………表示領域
４………画素部
５………ブラックマトリクス
６………額縁部
７………周縁部
１１………メイン柱
１３………サブ柱
１５………額縁柱
１７………周縁部柱
２１………基板
２３………赤色着色層
２５………緑色着色層
２７………青色着色層
３１………緑色着色層
３３………カラーフィルタ
３５………緑色着色層
３７………カラーフィルタ
３９………赤色着色層
４１………孔部
４３………カラーフィルタ
４５………赤色着色層
４７………カラーフィルタ
４９………緑色着色層
５１………カラーフィルタ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ......... Color filter 3 ......... Display area 4 ......... Pixel part 5 ......... Black matrix 6 ......... Frame part 7 ......... Peripheral part 11 ......... Main pillar 13 ......... Sub pillar 15 ... Frame column 17 ... Peripheral column 21 ... Substrate 23 ... Red colored layer 25 ... Green colored layer 27 ... Blue colored layer 31 ... Green colored layer 33 ... Color filter 35 ......... Green colored layer 37 ......... Color filter 39 ......... Red colored layer 41 ......... Hole 43 ......... Color filter 45 ......... Red colored layer 47 ......... Color filter 49 ......... Green Colored layer 51 ……… Color filter

Claims (21)

基板と、
前記基板上にこの順に形成される第１の着色層、第２の着色層及び第３の着色層と、
を少なくとも有し、
表示領域に隣接して額縁部が形成されるカラーフィルタであって、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、
前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層が積層して、メイン柱を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、
前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低い額縁柱を構成し、
前記サブ柱を構成する前記第３の着色層の底面積が、前記メイン柱を形成する前記第３の着色層よりも小さいことを特徴とするカラーフィルタ。 A substrate,
A first colored layer, a second colored layer, and a third colored layer formed in this order on the substrate;
Having at least
A color filter in which a frame portion is formed adjacent to a display area,
Two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area are laminated to form a black matrix,
A pixel portion is configured by any one of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region ,
Two or more colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer are laminated to constitute the frame portion,
The first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area are laminated to constitute a main pillar,
Among the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area, two or more colored layers are stacked to constitute a sub pillar lower than the main pillar,
Among the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the frame portion, two or more colored layers are laminated to constitute a frame column lower than the main column ,
The color filter , wherein a bottom area of the third colored layer constituting the sub pillar is smaller than that of the third colored layer forming the main pillar . 基板と、
前記基板上にこの順に形成される第１の着色層、第２の着色層及び第３の着色層と、
を少なくとも有し、
表示領域に隣接して額縁部が形成されるカラーフィルタであって、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、
前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層が積層して、メイン柱を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、
前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低い額縁柱を構成し、
前記サブ柱を構成する前記第２の着色層が、前記画素部を形成する前記第２の着色層から離れた突起状であることを特徴とするカラーフィルタ。 A substrate,
A first colored layer, a second colored layer, and a third colored layer formed in this order on the substrate;
Having at least
A color filter in which a frame portion is formed adjacent to a display area,
Two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area are laminated to form a black matrix,
A pixel portion is configured by any one of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region ,
Two or more colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer are laminated to constitute the frame portion,
The first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area are laminated to constitute a main pillar,
Among the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area, two or more colored layers are stacked to constitute a sub pillar lower than the main pillar,
Among the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the frame portion, two or more colored layers are laminated to constitute a frame column lower than the main column ,
The color filter, wherein the second colored layer constituting the sub-column has a protruding shape separated from the second colored layer forming the pixel portion . 基板と、
前記基板上にこの順に形成される第１の着色層、第２の着色層及び第３の着色層と、
を少なくとも有し、
表示領域に隣接して額縁部が形成されるカラーフィルタであって、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、
前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層が積層して、メイン柱を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、
前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低い額縁柱を構成し、
前記サブ柱を構成する前記第２の着色層の幅が、前記メイン柱を構成する前記第２の着色層の幅より、狭いことを特徴とするカラーフィルタ。 A substrate,
A first colored layer, a second colored layer, and a third colored layer formed in this order on the substrate;
Having at least
A color filter in which a frame portion is formed adjacent to a display area,
Two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area are laminated to form a black matrix,
A pixel portion is configured by any one of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region ,
Two or more colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer are laminated to constitute the frame portion,
The first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area are laminated to constitute a main pillar,
Among the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area, two or more colored layers are stacked to constitute a sub pillar lower than the main pillar,
Among the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the frame portion, two or more colored layers are laminated to constitute a frame column lower than the main column ,
The color filter , wherein a width of the second colored layer constituting the sub pillar is narrower than a width of the second colored layer constituting the main pillar . 基板と、
前記基板上にこの順に形成される第１の着色層、第２の着色層及び第３の着色層と、
を少なくとも有し、
表示領域に隣接して額縁部が形成されるカラーフィルタであって、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、
前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層が積層して、メイン柱を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、
前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低い額縁柱を構成し、
前記サブ柱を構成する前記第１の着色層及び／又は前記第２の着色層に、孔部が設けられていることを特徴とするカラーフィルタ。 A substrate,
A first colored layer, a second colored layer, and a third colored layer formed in this order on the substrate;
Having at least
A color filter in which a frame portion is formed adjacent to a display area,
Two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area are laminated to form a black matrix,
A pixel portion is configured by any one of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region ,
Two or more colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer are laminated to constitute the frame portion,
The first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area are laminated to constitute a main pillar,
Among the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area, two or more colored layers are stacked to constitute a sub pillar lower than the main pillar,
Among the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the frame portion, two or more colored layers are laminated to constitute a frame column lower than the main column ,
A color filter, wherein a hole is provided in the first colored layer and / or the second colored layer constituting the sub-pillar . 基板と、
前記基板上にこの順に形成される第１の着色層、第２の着色層及び第３の着色層と、
を少なくとも有し、
表示領域に隣接して額縁部が形成されるカラーフィルタであって、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、
前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層が積層して、メイン柱を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、
前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低い額縁柱を構成し、
前記サブ柱を構成する前記第１の着色層の厚さが、前記メイン柱を構成する前記第１の着色層の厚さよりも薄いことを特徴とするカラーフィルタ。 A substrate,
A first colored layer, a second colored layer, and a third colored layer formed in this order on the substrate;
Having at least
A color filter in which a frame portion is formed adjacent to a display area,
Two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area are laminated to form a black matrix,
A pixel portion is configured by any one of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region ,
Two or more colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer are laminated to constitute the frame portion,
The first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area are laminated to constitute a main pillar,
Among the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area, two or more colored layers are stacked to constitute a sub pillar lower than the main pillar,
Among the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the frame portion, two or more colored layers are laminated to constitute a frame column lower than the main column ,
The color filter , wherein a thickness of the first colored layer constituting the sub pillar is thinner than a thickness of the first colored layer constituting the main pillar . 基板と、
前記基板上にこの順に形成される第１の着色層、第２の着色層及び第３の着色層と、
を少なくとも有し、
表示領域に隣接して額縁部が形成されるカラーフィルタであって、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、
前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層が積層して、メイン柱を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、
前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低い額縁柱を構成し、
前記サブ柱を構成する前記第２の着色層の厚さが、前記メイン柱を構成する前記第２の着色層の厚さよりも薄いことを特徴とするカラーフィルタ。 A substrate,
A first colored layer, a second colored layer, and a third colored layer formed in this order on the substrate;
Having at least
A color filter in which a frame portion is formed adjacent to a display area,
Two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area are laminated to form a black matrix,
A pixel portion is configured by any one of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region ,
Two or more colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer are laminated to constitute the frame portion,
The first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area are laminated to constitute a main pillar,
Among the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area, two or more colored layers are stacked to constitute a sub pillar lower than the main pillar,
Among the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the frame portion, two or more colored layers are laminated to constitute a frame column lower than the main column ,
The color filter , wherein a thickness of the second colored layer constituting the sub pillar is thinner than a thickness of the second colored layer constituting the main pillar . 基板と、
前記基板上にこの順に形成される第１の着色層、第２の着色層及び第３の着色層と、
を少なくとも有し、
表示領域に隣接して額縁部が形成されるカラーフィルタであって、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、
前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層が積層して、メイン柱を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、
前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低い額縁柱を構成し、
さらに、前記基板上に前記第３の着色層の次に形成される第４の着色層を有し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び前記第４の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び前記第４の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、
前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び前記第４の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び前記第４の着色層のうち、３以上の着色層が積層して、メイン柱を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び前記第４の着色層のうち、２以上の着色層が積層してなり、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、
前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び前記第４の着色層のうち、２以上の着色層が積層してなり、前記メイン柱よりも低い額縁柱を構成する
ことを特徴とするカラーフィルタ。 A substrate,
A first colored layer, a second colored layer, and a third colored layer formed in this order on the substrate;
Having at least
A color filter in which a frame portion is formed adjacent to a display area,
Two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area are laminated to form a black matrix,
A pixel portion is configured by any one of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region ,
Two or more colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer are laminated to constitute the frame portion,
The first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area are laminated to constitute a main pillar,
Among the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area, two or more colored layers are stacked to constitute a sub pillar lower than the main pillar,
Among the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the frame portion, two or more colored layers are laminated to constitute a frame column lower than the main column ,
And a fourth colored layer formed next to the third colored layer on the substrate.
Two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, the third colored layer, and the fourth colored layer in the display area are laminated to form a black matrix,
A pixel portion is constituted by any one of the first colored layer, the second colored layer, the third colored layer, and the fourth colored layer in the display region,
Two or more colored layers of the first colored layer, the second colored layer, the third colored layer, and the fourth colored layer are laminated to constitute the frame portion,
Of the first colored layer, the second colored layer, the third colored layer, and the fourth colored layer in the display area, three or more colored layers are laminated to form a main pillar. ,
Among the first colored layer, the second colored layer, the third colored layer, and the fourth colored layer in the display area, two or more colored layers are laminated, and from the main pillar Composing a low sub-pillar,
Of the first colored layer, the second colored layer, the third colored layer, and the fourth colored layer in the frame portion, two or more colored layers are laminated, and from the main pillar A color filter characterized by comprising a lower frame pillar . 基板と、
前記基板上にこの順に形成される第１の着色層、第２の着色層及び第３の着色層と、
を少なくとも有し、
表示領域に隣接して額縁部が形成されるカラーフィルタであって、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、
前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層が積層して、メイン柱を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、
前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低い額縁柱を構成し、
前記額縁部を構成する、前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び前記第４の着色層のうちの２以上の着色層のうち、少なくとも１つの着色層の厚さが、前記画素部を構成する前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び前記第４の着色層のうち対応する着色層の厚さよりも薄いことを特徴とするカラーフィルタ。 A substrate,
A first colored layer, a second colored layer, and a third colored layer formed in this order on the substrate;
Having at least
A color filter in which a frame portion is formed adjacent to a display area,
Two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area are laminated to form a black matrix,
A pixel portion is configured by any one of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region ,
Two or more colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer are laminated to constitute the frame portion,
The first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area are laminated to constitute a main pillar,
Among the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area, two or more colored layers are stacked to constitute a sub pillar lower than the main pillar,
Among the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the frame portion, two or more colored layers are laminated to constitute a frame column lower than the main column ,
At least one colored layer among two or more colored layers of the first colored layer, the second colored layer, the third colored layer, and the fourth colored layer constituting the frame portion Is thinner than the thickness of the corresponding colored layer among the first colored layer, the second colored layer, the third colored layer, and the fourth colored layer constituting the pixel portion. A color filter characterized by さらに、前記額縁部の周縁にある周縁部に、前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層、または、前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び第４の着色層のうち２以上の着色層が積層してなる周縁部柱を有することを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載のカラーフィルタ。 Furthermore, in the peripheral part at the periphery of the frame part, the first colored layer, the second colored layer and the third colored layer, or the first colored layer, the second colored layer, the third color filter according to any one of claims 1-8 in which two or more colored layers of the colored layer and the fourth colored layer and having a peripheral edge column formed by stacking a. 前記メイン柱の頂部と、前記画素部の表面との高さの差であるセルギャップが１．５〜５．０μｍであることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載のカラーフィルタ。 A top of the main column, according to any one of claims 1 to 9, height cell gap is the difference between the surface of the pixel portion is characterized in that it is a 1.5~5.0μm Color filter. さらに、前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層、または、前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び第４の着色層の上にオーバーコート層を有し、
前記メイン柱の頂部のオーバーコート層の表面と、前記画素部の上のオーバーコート層の表面との高さの差であるセルギャップが１．５〜５．０μｍであることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載のカラーフィルタ。 Further, the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer, or the first colored layer, the second colored layer, the third colored layer, and the fourth colored layer. Having an overcoat layer on the layer,
The cell gap, which is a difference in height between the surface of the overcoat layer at the top of the main pillar and the surface of the overcoat layer on the pixel portion, is 1.5 to 5.0 μm. Item 10. The color filter according to any one of Items 1 to 9 . 請求項１〜１１のいずれか１項に記載のカラーフィルタを有することを特徴とする液晶表示装置。 A liquid crystal display device comprising a color filter according to any one of claims 1 to 1 1. 基板上に、少なくとも第１の着色層、第２の着色層及び第３の着色層を形成し、
表示領域と、前記表示領域に隣接する額縁部と、を形成するカラーフィルタの製造方法であって、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、
前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層が積層して、メイン柱を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、
前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低い額縁柱を構成し、
前記サブ柱を構成する前記第３の着色層の底面積を、前記メイン柱を形成する前記第３の着色層よりも小さいように形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 Forming at least a first colored layer, a second colored layer, and a third colored layer on a substrate;
A color filter manufacturing method for forming a display region and a frame portion adjacent to the display region,
Two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area are laminated to form a black matrix,
A pixel portion is configured by any one of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region ,
Two or more colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer are laminated to constitute the frame portion,
The first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area are laminated to constitute a main pillar,
Among the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area, two or more colored layers are stacked to constitute a sub pillar lower than the main pillar,
Among the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the frame portion, two or more colored layers are laminated to constitute a frame column lower than the main column ,
A method for producing a color filter , wherein the bottom area of the third colored layer constituting the sub pillar is smaller than that of the third colored layer constituting the main pillar . 基板上に、少なくとも第１の着色層、第２の着色層及び第３の着色層を形成し、
表示領域と、前記表示領域に隣接する額縁部と、を形成するカラーフィルタの製造方法であって、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、
前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層が積層して、メイン柱を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、
前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低い額縁柱を構成し、
前記サブ柱を構成する前記第２の着色層を、前記画素部を形成する前記第２の着色層から離れた突起状に形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 Forming at least a first colored layer, a second colored layer, and a third colored layer on a substrate;
A color filter manufacturing method for forming a display region and a frame portion adjacent to the display region,
Two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area are laminated to form a black matrix,
A pixel portion is configured by any one of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region ,
Two or more colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer are laminated to constitute the frame portion,
The first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area are laminated to constitute a main pillar,
Among the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area, two or more colored layers are stacked to constitute a sub pillar lower than the main pillar,
Among the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the frame portion, two or more colored layers are laminated to constitute a frame column lower than the main column ,
A method for producing a color filter, wherein the second colored layer constituting the sub-column is formed in a protruding shape separated from the second colored layer forming the pixel portion . 基板上に、少なくとも第１の着色層、第２の着色層及び第３の着色層を形成し、
表示領域と、前記表示領域に隣接する額縁部と、を形成するカラーフィルタの製造方法であって、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、
前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層が積層して、メイン柱を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、
前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低い額縁柱を構成し、
前記サブ柱を構成する前記第２の着色層の幅を、前記メイン柱を構成する前記第２の着色層の幅より、狭く形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 Forming at least a first colored layer, a second colored layer, and a third colored layer on a substrate;
A color filter manufacturing method for forming a display region and a frame portion adjacent to the display region,
Two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area are laminated to form a black matrix,
A pixel portion is configured by any one of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region ,
Two or more colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer are laminated to constitute the frame portion,
The first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area are laminated to constitute a main pillar,
Among the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area, two or more colored layers are stacked to constitute a sub pillar lower than the main pillar,
Among the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the frame portion, two or more colored layers are laminated to constitute a frame column lower than the main column ,
A method of manufacturing a color filter , wherein a width of the second colored layer constituting the sub pillar is formed narrower than a width of the second colored layer constituting the main pillar . 基板上に、少なくとも第１の着色層、第２の着色層及び第３の着色層を形成し、
表示領域と、前記表示領域に隣接する額縁部と、を形成するカラーフィルタの製造方法であって、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、
前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層が積層して、メイン柱を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、
前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低い額縁柱を構成し、
前記サブ柱を構成する前記第１の着色層に、孔部を設けることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 Forming at least a first colored layer, a second colored layer, and a third colored layer on a substrate;
A color filter manufacturing method for forming a display region and a frame portion adjacent to the display region,
Two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area are laminated to form a black matrix,
A pixel portion is configured by any one of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region ,
Two or more colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer are laminated to constitute the frame portion,
The first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area are laminated to constitute a main pillar,
Among the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area, two or more colored layers are stacked to constitute a sub pillar lower than the main pillar,
Among the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the frame portion, two or more colored layers are laminated to constitute a frame column lower than the main column ,
A method for producing a color filter, wherein a hole is provided in the first colored layer constituting the sub-column . 基板上に、少なくとも第１の着色層、第２の着色層及び第３の着色層を形成し、
表示領域と、前記表示領域に隣接する額縁部と、を形成するカラーフィルタの製造方法であって、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、
前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層が積層して、メイン柱を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、
前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低い額縁柱を構成し、
階調マスクを用いて、前記サブ柱を構成する前記第１の着色層の厚さが、前記メイン柱を構成する前記第１の着色層の厚さよりも薄いように形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 Forming at least a first colored layer, a second colored layer, and a third colored layer on a substrate;
A color filter manufacturing method for forming a display region and a frame portion adjacent to the display region,
Two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area are laminated to form a black matrix,
A pixel portion is configured by any one of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region ,
Two or more colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer are laminated to constitute the frame portion,
The first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area are laminated to constitute a main pillar,
Among the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area, two or more colored layers are stacked to constitute a sub pillar lower than the main pillar,
Among the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the frame portion, two or more colored layers are laminated to constitute a frame column lower than the main column ,
Using a gradation mask, the thickness of the first colored layer constituting the sub pillar is formed to be thinner than the thickness of the first colored layer constituting the main pillar. A method for producing a color filter. 基板上に、少なくとも第１の着色層、第２の着色層及び第３の着色層を形成し、
表示領域と、前記表示領域に隣接する額縁部と、を形成するカラーフィルタの製造方法であって、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、
前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層が積層して、メイン柱を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、
前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低い額縁柱を構成し、
階調マスクを用いて、前記サブ柱を構成する前記第２の着色層の厚さを、前記メイン柱を構成する前記第２の着色層の厚さよりも薄いように形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 Forming at least a first colored layer, a second colored layer, and a third colored layer on a substrate;
A color filter manufacturing method for forming a display region and a frame portion adjacent to the display region,
Two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area are laminated to form a black matrix,
A pixel portion is configured by any one of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region ,
Two or more colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer are laminated to constitute the frame portion,
The first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area are laminated to constitute a main pillar,
Among the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area, two or more colored layers are stacked to constitute a sub pillar lower than the main pillar,
Among the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the frame portion, two or more colored layers are laminated to constitute a frame column lower than the main column ,
Using the gradation mask, the thickness of the second colored layer constituting the sub pillar is formed to be thinner than the thickness of the second colored layer constituting the main pillar. A method for producing a color filter. 基板上に、少なくとも第１の着色層、第２の着色層及び第３の着色層を形成し、
表示領域と、前記表示領域に隣接する額縁部と、を形成するカラーフィルタの製造方法であって、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、
前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層が積層して、メイン柱を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、
前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低い額縁柱を構成し、
さらに、前記基板上に前記第３の着色層の次に第４の着色層を形成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び前記第４の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び前記第４の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、
前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び前記第４の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び前記第４の着色層のうち、３以上の着色層が積層して、メイン柱を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び前記第４の着色層のうち、２以上の着色層が積層してなり、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、
前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び前記第４の着色層のうち、２以上の着色層が積層してなり、前記メイン柱よりも低い額縁柱を構成する
ことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 Forming at least a first colored layer, a second colored layer, and a third colored layer on a substrate;
A color filter manufacturing method for forming a display region and a frame portion adjacent to the display region,
Two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area are laminated to form a black matrix,
A pixel portion is configured by any one of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region ,
Two or more colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer are laminated to constitute the frame portion,
The first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area are laminated to constitute a main pillar,
Among the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area, two or more colored layers are stacked to constitute a sub pillar lower than the main pillar,
Among the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the frame portion, two or more colored layers are laminated to constitute a frame column lower than the main column ,
Furthermore, a fourth colored layer is formed on the substrate next to the third colored layer,
Two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, the third colored layer, and the fourth colored layer in the display area are laminated to form a black matrix,
A pixel portion is constituted by any one of the first colored layer, the second colored layer, the third colored layer, and the fourth colored layer in the display region,
Two or more colored layers of the first colored layer, the second colored layer, the third colored layer, and the fourth colored layer are laminated to constitute the frame portion,
Of the first colored layer, the second colored layer, the third colored layer, and the fourth colored layer in the display area, three or more colored layers are laminated to form a main pillar. ,
Among the first colored layer, the second colored layer, the third colored layer, and the fourth colored layer in the display area, two or more colored layers are laminated, and from the main pillar Composing a low sub-pillar,
Of the first colored layer, the second colored layer, the third colored layer, and the fourth colored layer in the frame portion, two or more colored layers are laminated, and from the main pillar A method for manufacturing a color filter, characterized in that a lower picture frame column is formed . 基板上に、少なくとも第１の着色層、第２の着色層及び第３の着色層を形成し、
表示領域と、前記表示領域に隣接する額縁部と、を形成するカラーフィルタの製造方法であって、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２つの着色層が積層して、ブラックマトリクスを構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうちいずれか１つの着色層により、画素部を構成し、
前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち２以上の着色層が積層して、前記額縁部を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層が積層して、メイン柱を構成し、
前記表示領域にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低いサブ柱を構成し、
前記額縁部にある前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層のうち、２以上の着色層が積層して、前記メイン柱より低い額縁柱を構成し、
階調マスクを用いて、前記額縁部を構成する、前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び第４の着色層のうちの２以上の着色層のうち、少なくとも１つの着色層の厚さを、前記画素部を構成する前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び第４の着色層のうち対応する着色層の厚さよりも薄いように形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 Forming at least a first colored layer, a second colored layer, and a third colored layer on a substrate;
A color filter manufacturing method for forming a display region and a frame portion adjacent to the display region,
Two colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area are laminated to form a black matrix,
A pixel portion is configured by any one of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display region ,
Two or more colored layers of the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer are laminated to constitute the frame portion,
The first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area are laminated to constitute a main pillar,
Among the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the display area, two or more colored layers are stacked to constitute a sub pillar lower than the main pillar,
Among the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer in the frame portion, two or more colored layers are laminated to constitute a frame column lower than the main column ,
Among the two or more colored layers of the first colored layer, the second colored layer, the third colored layer, and the fourth colored layer that constitute the frame portion using a gradation mask The thickness of at least one colored layer is determined based on the color layer corresponding to the first colored layer, the second colored layer, the third colored layer, or the fourth colored layer constituting the pixel portion. A method for producing a color filter, wherein the color filter is formed so as to be thinner than the thickness . さらに、前記額縁部の周縁に、前記第１の着色層、前記第２の着色層及び前記第３の着色層、または、前記第１の着色層、前記第２の着色層、前記第３の着色層及び前記第４の着色層のうち２以上の着色層が積層してなる周縁部柱を形成することを特徴とする請求項１３〜２０のいずれか１項に記載のカラーフィルタの製造方法。 Further, the first colored layer, the second colored layer, and the third colored layer, or the first colored layer, the second colored layer, the third colored layer, on the periphery of the frame portion. the color filter according to any one of claims 1 3-2 0 2 or more colored layers of the colored layer and the fourth colored layer and forming a periphery column formed by stacking Production method.
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