JP5693840B2 - 基準信号を検出可能な光ファイバ干渉型格子エンコーダ - Google Patents
基準信号を検出可能な光ファイバ干渉型格子エンコーダ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5693840B2 JP5693840B2 JP2009265460A JP2009265460A JP5693840B2 JP 5693840 B2 JP5693840 B2 JP 5693840B2 JP 2009265460 A JP2009265460 A JP 2009265460A JP 2009265460 A JP2009265460 A JP 2009265460A JP 5693840 B2 JP5693840 B2 JP 5693840B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reference mark
- signal
- optical fiber
- signal receiving
- receiving channel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 title claims description 169
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 116
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 115
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 25
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 25
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 claims description 12
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims description 12
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 9
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 7
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims 2
- 239000003415 peat Substances 0.000 claims 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 81
- 101000806846 Homo sapiens DNA-(apurinic or apyrimidinic site) endonuclease Proteins 0.000 description 77
- 101000835083 Homo sapiens Tissue factor pathway inhibitor 2 Proteins 0.000 description 77
- 102100026134 Tissue factor pathway inhibitor 2 Human genes 0.000 description 77
- 101100219315 Arabidopsis thaliana CYP83A1 gene Proteins 0.000 description 75
- 101100269674 Mus musculus Alyref2 gene Proteins 0.000 description 75
- 101100140580 Saccharomyces cerevisiae (strain ATCC 204508 / S288c) REF2 gene Proteins 0.000 description 75
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 38
- 238000013461 design Methods 0.000 description 30
- 102100036467 Protein delta homolog 1 Human genes 0.000 description 22
- 101150102995 dlk-1 gene Proteins 0.000 description 22
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 19
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 19
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 5
- 102100036284 Hepcidin Human genes 0.000 description 4
- 101001021253 Homo sapiens Hepcidin Proteins 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 3
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 3
- 102100024633 Carbonic anhydrase 2 Human genes 0.000 description 2
- 101000760643 Homo sapiens Carbonic anhydrase 2 Proteins 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000669069 Chrysomphalus aonidum Species 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 230000003044 adaptive effect Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 201000003373 familial cold autoinflammatory syndrome 3 Diseases 0.000 description 1
- 230000036039 immunity Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
- G01D5/34715—Scale reading or illumination devices
- G01D5/34723—Scale reading or illumination devices involving light-guides
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/268—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light using optical fibres
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34746—Linear encoders
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/366—Particular pulse shapes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Description
ネルの受光領域の外側で受光される干渉縞に対応する2つの空間的に周期的な二次信号を与えるように、二次信号受光チャンネル開口のための空間的フィルタマスクを構成するために、(例えばサイズ及び間隔に対する)幾何学的な設計ルールが使用される。基準マーク二次信号の変化の空間周波数及び/又は変化速度は、基準マーク一次信号の有効空間周波数及び/又は変化速度よりも数倍高い。いくつかの実施形態において、高レベルの値から低レベルの値への基準マーク一次信号の遷移は100μmのオーダーの距離にわたる。いくつかの実施形態において、二次基準マーク信号の空間周波数は2−4μmのオーダーにあり、それらは互いに180°位相がずれている。基準マーク二次信号の「二次」クロス点は、(一次基準マーク位置である)基準マーク一次信号の「一次」クロス点に空間的に近接して特定される。いくつかの実施形態において、一次クロス点は、一次基準マーク位置を0.2μmのオーダーの分解能及び繰返し再現性で特定するのに用いられる。二次クロス点は、基準マーク二次信号の、より高い空間周波数及び/又はより高い信号変化速度のため、(10倍に改良された)20nmのオーダーの分解能及び繰返し再現性を持つ二次基準マーク位置を特定するのに用いられる。
型光ファイバ読取ヘッドであることができる。様々な形態において、インクリメンタル読取ヘッド100は、先に取り込んだ先行技術文献中に記載された任意のタイプのインクリメンタル読取ヘッドを備えることができる。図1に示される参考形態において、インクリメンタル読取ヘッド100は、特許文献3中に詳細に記載された、干渉型読取ヘッドを備える。簡単に説明すると、動作に際して、読取ヘッド100は、光ファイバ130の中央の一つから拡散するコヒーレント光源光150を放射し、これが照明スポット153でスケール格子80を照明し、ここで反射され回折されて、スケール光155を与える。様々な形態において、スケール格子80は、ゼロ次反射を抑制するように構成された位相格子である。従って、スケール光155は、読取ヘッド100に向けて反射される第1の一次+/−一次回折光を含む。この+/−一次回折光は、位相マスク要素161の受光面160の近くに干渉縞の場を形成する。位相マスク要素161は、特許文献3に記載されたように、複数の光ファイバ・インクリメンタル測定信号受光チャンネルを与えるため、外側光ファイバ130の端部にわたる異なる空間位相を持つ複数の空間フィルタを受光面160に与える。この空間濾波の結果、光ファイバ・インクリメンタル測定信号受光チャンネルは、スケール格子80が読取ヘッド100に対して変位した時に、異なる空間位相を持つ周期的な光信号(例えば直角位相信号)を出力することができる。
記載した他の任意の基準マークゾーンに対して臨界的でない。様々な形態において、測定軸82の方向に沿う基準マークゾーン251に含まれる基準マーク位置の境界の適切な間隔は、信頼性があり且つロバストな基準信号を与えるのに臨界的であり、通常、以下で詳細に説明するように、読取ヘッド200中に与えられるファイバの構造及び/又は光ファイバ基準マーク信号受光チャンネル開口のある寸法に依存する。
そして、結果として生じる基準マーク信号が、以下で詳細に説明するように、基準マーク50Aに近い信号クロス領域内で所望の精度及び/又は繰返し再現性で基準位置を規定するのに用いられる。様々な形態において、この構造は、更に次の関係
(2*LETOE)
>[AR12SEP+(0.25*(AR12SPAN−AR12SEP))]…(2)
(2*LETOE)
<[AR12SEP+(0.75*(AR12SPAN−AR12SEP))]…(3)を満足することが有利である(例えば、よりロバストな性質を与え、及び/又は、基準マーク信号間の信頼性のある関係を与える)。様々な他の形態において、更に次の関係
(2*LETOE)
>[AR12SEP+(0.4*(AR12SPAN−AR12SEP))]…(4)
(2*LETOE)
<[AR12SEP+(0.6*(AR12SPAN−AR12SEP))]…(5)
を満足する構成が、より有利である。いくつかの形態において、寸法2*LETOEが、[AR12SEP+(0.5*(AR12SPAN−AR12SEP))]にほぼ等しいか、又は、信号REF1及びREF2に対応する基準マーク信号受光チャンネル開口間の中心間距離LCAR1CAR2とほぼ等しく、以下で図8及び図12を参照して以下で説明するような基準マーク信号をほぼ与えることが最も有利である。
これまで説明した基準マーク信号発生構造は、概ね、分解能と繰返し再現性の第1のレベルを持つ単一の基準マーク信号を与える。様々な形態において、分解能と繰返し再現性の第1のレベルは、0.2μmのオーダーである。以後、上記のようにして発生された基準マーク信号を引用するのに「基準マーク一次信号」という文言を用いる。
ASR12SEP≧2*LETOE …(6)
ASR12SEP=(2*LETOE)+(2*PSCLR) …(7)
である。
ASR12SPAN≦2*LETOE …(8)
ASR12SPAN=(2*LETOE)−(2*PSCLR) …(9)
である。
50A−SE…基準マーク信号効果領域
80…スケール格子
81…スケール部材
82…測定軸
88、88´…基準マークスケールトラック
89…端部領域
100…インクリメンタル読取ヘッド
130、230…光ファイバ
153、253…照明スポット
155、255…拡散スケール光
160、360…受光面
161、861…位相マスク要素
200…基準マーク読取ヘッド
251、251´、451…基準マークゾーン
300…一体型読取ヘッド
350…拡散光源光
355…スケール光
451´…基準マーク境界ゾーン
500…格子及び基準マーク構造
690R1、690R1´、690R2、690R2´、890A、890A´、890B、890B´、890R1、890R2、1390SR1、1390SR2…受光ファイバ
690X、690X´…ファイバ
820A、820B、820A´、820B´…位相マスク
820BR1、820BR2…遮蔽マスク
820R1、820R2…開放開口マスク
870…中央光源ファイバ
880…光源
1000、2000、3000、3000´…小型光ファイバ読取ヘッド及びスケール配置
1320SR1、1320SR2…空間フィルタマスク
1356−SSE…干渉ゾーン(基準マーク二次信号効果領域)
1361…マスク要素
8000…一体型基準信号及びインクリメンタル信号発生構造
E…格子要素
G…凹部要素
REF1、REF1´、REF2、REF2´…基準マーク信号
SREF1、SREF2…基準マーク二次信号
Claims (16)
- 測定軸方向に沿って互いに動く2つの部材間の基準位置の指示を与えるのに使用可能な光ファイバ基準信号発生構造を有する光ファイバ読取ヘッド及びスケール配置を備え、
前記光ファイバ基準信号発生構造が、
位置分解能と繰返し再現性の第1のレベルを持つ単一の基準マーク一次信号を与える基準マーク一次信号発生部と、
前記基準マーク一次信号に比べて、改良されたレベルの位置分解能と繰返し再現性を持つ基準マーク二次信号を与える基準マーク二次信号発生部と、
を備えた、基準信号を検出可能な光ファイバ干渉型格子エンコーダであって、
前記基準マーク一次信号発生部が、
第1の拡散光源光を放射する光源、及び、各基準マーク信号を与えるように構成された、少なくとも第1及び第2の光ファイバ基準マーク信号受光チャンネルを備えた少なくとも第1の光ファイバ読取ヘッドの部分と、
スケール部材上の測定軸方向に沿って伸び、前記第1の拡散光源光を反射して、スケール光を第1の光ファイバ読取ヘッドに与えるように配置された少なくとも第1のスケールトラックの部分と、
該第1のスケールトラックの部分に配置された少なくとも1つの基準マーク部とを備え、
前記第1の光ファイバ基準マーク信号受光チャンネルが、第1の基準マーク信号受光チャンネル光ファイバ及び第1の基準マーク信号受光チャンネル開口を備え、前記第2の光ファイバ基準マーク信号受光チャンネルが、第2の基準マーク信号受光チャンネル光ファイバ及び第2の基準マーク信号受光チャンネル開口を備え、該第1の光ファイバ読取ヘッドが第1のスケールトラックに対して動作するように配置された時に、前記第1及び第2の基準マーク信号受光チャンネル開口が、互いに最も近いそれらの境界が、測定軸方向に寸法APR12SEPだけ離され、互いに最も遠いそれらの境界が、測定軸方向に合計開口スパン寸法APR12SPANにわたるように構成され、
前記少なくとも1つの基準マーク部が、2つの基準マーク部の境界が、測定軸方向に沿ってエッジ間寸法LETOEだけ離れると共に、該エッジ間寸法LETOEだけ離された外側境界を持つ単一の基準マーク位置でなる単一の基準マーク構造、及び、前記少なくとも1つの基準マーク部が、第1及び第2の下位基準マークの最も近い境界が、エッジ間寸法LETOEだけ離される構成A、及び、第1及び第2の下位基準マークの最も遠い境界が、エッジ間寸法LETOEだけ離される構成Bの一方に従って構成された第1及び第2の下位基準マークを有する2つの下位基準マーク構造の一方に従って構成され、
前記少なくとも1つの基準マーク部及び第1及び第2の光ファイバ基準マーク信号受光チャンネルが、APR12SEP<(2*LETOE)<APR12SPANとなるように構成され、
第1の光ファイバ読取ヘッドが第1のスケールトラックに対して動作するように配置された時に、前記少なくとも第1及び第2の光ファイバ基準マーク信号受光チャンネルが、それらの開口を通してスケール光の部分を入力し、入力光を伝達して、それらの各基準マーク信号を与え、これが前記少なくとも1つの基準マーク部に近い信号クロス領域内の基準位置の第1の指示を与えるようにされ、
前記基準マーク二次信号発生部が、各基準マーク信号を与えるように構成された、少なくとも第3及び第4の光ファイバ基準マーク信号受光チャンネルを備え、
前記第3の光ファイバ基準マーク信号受光チャンネルが、第3の基準マーク信号受光チャンネル光ファイバ及び第1の空間位相を有する第1の空間フィルタマスクによってマスクされた第3の基準マーク信号受光チャンネル開口を備え、
前記第4の光ファイバ基準マーク信号受光チャンネルが、第4の基準マーク信号受光チャンネル光ファイバ及び第2の空間位相を有する第2の空間フィルタマスクによってマスクされた第4の基準マーク信号受光チャンネル開口を備え、
前記単一の基準マーク構造において、第3及び第4の基準マーク信号受光チャンネル開口が、互いに最も近いそれらの境界が、測定軸方向に沿って、(2*LETOE)以上の寸法ASR12SEPだけ離れるように構成され、
前記2つの下位基準マーク構造において、第3及び第4の基準マーク信号受光チャンネル開口が、互いに最も遠いそれらの境界が、測定軸方向に沿って(2*LETOE)以下の寸法ASR12SPANだけ離れるように構成され、
前記少なくとも第1及び第2の光ファイバ基準マーク信号受光チャンネルは、基準マーク一次信号受光チャンネルであり、各基準マーク信号は、それぞれ、少なくとも1つの基準マーク部に近い信号クロス領域内で分解能の第1のレベルで一次基準位置の指示を与える基準マーク一次信号であり、
前記少なくとも第3及び第4の光ファイバ基準マーク信号受光チャンネルは、基準マーク二次信号受光チャンネルであり、各基準マーク信号は、それぞれ、基準マーク二次信号であり、第1の光ファイバ読取ヘッドが第1のスケールトラックに対して動作するように配置されたときに、少なくとも第3及び第4の光ファイバ基準マーク信号受光チャンネルは、干渉縞を含むスケール光の部分をそれらの開口を通して入射し、入射光を伝達して、少なくとも1つの基準マーク部分に近い信号クロス領域内で、分解能の第1のレベルよりも微細な分解能の第2のレベルで2次基準位置の指示を与える基準マーク二次信号を与える、基準信号を検出可能な光ファイバ干渉型格子エンコーダ。 - 請求項1において、
前記単一の基準マーク構造において、寸法ASR12SEPは[(2*LETOE)+(2*PSCLR)]に等しく、
前記2つの下位基準マーク構造において、寸法ASR12SPANは[(2*LETOE)−(2*PSCLR)]に等しい、基準信号を検出可能な光ファイバ干渉型格子エンコーダ。 - 請求項1において、
第2の空間位相が、第1の空間位相の位相から名目上180°位相が外れ、
前記光ファイバ読取ヘッド及びスケール配置が、第1の光ファイバ読取ヘッドが第1のスケールトラックに対して動作し、少なくとも1つの基準マーク部を横断するように配置された時に、
第1の各基準マーク一次信号が横断に際して減少し、第2の各基準マーク一次信号が横断に際して増加し、それらが信号クロス領域内で1次信号クロス点に近い同じ信号値を与えるようにされ、
第3の各基準マーク二次信号が横断に際して周期的に増減し、第2の各基準マーク二次信号が横断に際して周期的に増減するようにされ、それらが信号クロス領域内で複数の二次信号クロス点に近い同じ信号値を与えるようにされ、
二次基準位置が、信号クロス領域内の一次信号クロス点に近い二次信号クロス点の近くの位置を指示するようにされている、基準信号を検出可能な光ファイバ干渉型格子エンコーダ。 - 請求項1において、
前記第1の拡散光源光が、空間的にコヒーレントで単色性であり、前記トラック部分の第1のタイプが、第1の拡散光源光のゼロ次の反射を抑制して、スケール光の少なくとも一部中に干渉縞を与えるように構成された位相格子部分であり、前記少なくとも1つの基準マーク部分がゼロ次の反射部分である、基準信号を検出可能な光ファイバ干渉型格子エンコーダ。 - 請求項4において、ゼロ次反射部分がミラー部分である、基準信号を検出可能な光ファイバ干渉型格子エンコーダ。
- 請求項1において、更に、
測定軸方向に沿って伸びる反射性周期スケール格子を備え、第1のスケールトラックの近くのスケール部材上に配置された第2のスケールトラックと、
第1の光ファイバ読取ヘッドの近くに配置された第2の光ファイバ読取ヘッドを備え、
この第2の光ファイバ読取ヘッドが、
前記第2のスケールトラックが第2の拡散光源光を反射して空間的に周期的な強度パターンを含むスケール光を第2の光ファイバ読取ヘッドに与えるよう、空間的にコヒーレントな単色光を備えた第2の拡散光源光を放射するように構成された第2の光源と、
それぞれ空間的に周期的なインクリメンタル測定信号を与えるように構成された複数の各光ファイバインクリメンタル測定信号受光チャンネルであって、各光ファイバインクリメンタル測定信号受光チャンネルが、各インクリメンタル測定信号受光チャンネル光ファイバ及び光ファイバの端部近くに配置された各インクリメンタル測定信号受光チャンネル空間位相マスク部分を備え、各インクリメンタル測定信号受光チャンネル空間位相マスク部分が、各空間位相と、第2のスケールトラックから反射されたスケール光中に含まれる空間的に周期的な強度パターンを空間的に濾波するように動作するピッチで配置された光遮蔽要素を有するものを備え、
前記光ファイバ読取ヘッド及びスケール配置が、第1及び第2の光ファイバ読取ヘッドが互いに固定され、分解能の第2のレベルを持つ二次基準位置の指示が、空間的に周期的なインクリメンタル測定信号の1周期の+/−半分より小さな位置再現性を有する、基準信号を検出可能な光ファイバ干渉型格子エンコーダ。 - 請求項6において、
第2のスケールトラックの反射性周期スケール格子は、第2の拡散光源光のゼロ次反射を抑制するように構成された位相格子であり、
第2のスケールトラックの反射性周期スケール格子及び第1のスケールトラック中のトラック部分の第1のタイプである位相格子部分は、それぞれ、格子要素間で名目上同じ凹部高さを持つ、基準信号を検出可能な光ファイバ干渉型格子エンコーダ。 - 請求項1において、
前記光源が光源光ファイバの端部を備え、
前記少なくとも第1及び第2の基準マーク信号受光チャンネル光ファイバ及び前記少なくとも第3及び第4の基準マーク信号受光チャンネル光ファイバが、光源光ファイバの近くで平行に配置され、
光源光ファイバ、少なくとも第1及び第2の基準マーク信号受光チャンネル光ファイバ、及び、少なくとも第3及び第4の基準マーク信号受光チャンネル光ファイバを含む、第1の光ファイバ読取ヘッド内に配置された全ての光ファイバが円筒体積内に位置されている、基準信号を検出可能な光ファイバ干渉型格子エンコーダ。 - 請求項1において、
量[ASR12SEP+(0.25*(ASR12SPAN−ASR12SEP))]が(2*LETOE)よりも小さく、
量[ASR12SEP+(0.75*(ASR12SPAN−ASR12SEP))]が(2*LETOE)よりも大きい、基準信号を検出可能な光ファイバ干渉型格子エンコーダ。 - 請求項9において、
量[ASR12SEP+(0.4*(ASR12SPAN−ASR12SEP))]が(2*LETOE)よりも小さく、
量[ASR12SEP+(0.6*(ASR12SPAN−ASR12SEP))]が(2*LETOE)よりも大きい、基準信号を検出可能な光ファイバ干渉型格子エンコーダ。 - 請求項1において、前記第1及び第2の基準マーク信号受光チャンネル開口は、それぞれ、少なくとも(a)各基準マーク信号受光チャンネル光ファイバ端部での光伝送コア断面積、及び、(b)光伝送コア領域の部分をカバーする各基準マーク信号受光チャンネル光ファイバ端部近くに位置される各開口マスクの1つによって規定され、各開口マスクは、測定軸方向に沿って空間的に周期的な構造を含まない、基準信号を検出可能な光ファイバ干渉型格子エンコーダ。
- 測定軸方向に沿って互いに動く2つの部材間の基準位置の指示を与えるのに使用可能な光ファイバ基準信号発生構造を有する光ファイバ読取ヘッド及びスケール配置を備え、
前記光ファイバ基準信号発生構造が、
第1の拡散光源光を放射する光源、及び、各基準マーク信号を与えるように構成された、少なくとも第1及び第2の光ファイバ基準マーク信号受光チャンネルを備えた少なくとも第1の光ファイバ読取ヘッドの部分と、
スケール部材上の測定軸方向に沿って伸び、前記第1の拡散光源光を反射して、スケール光を第1の光ファイバ読取ヘッドに与えるように配置された少なくとも第1のスケールトラックの部分とを備え、
該少なくとも第1のスケールトラックの一部が、
前記第1の拡散光源光によって照明された時にゼロ次反射の第1の量を与えるトラック部分の第1のタイプと、
前記第1の拡散光源光によって照明された時に、ゼロ次反射の前記第1の量とは異なるゼロ次反射の第2の量を与える、前記トラック部分の第1のタイプ内に配置された少なくとも1つの基準マーク部とを備え、
前記第1の光ファイバ基準マーク信号受光チャンネルが、第1の基準マーク信号受光チャンネル光ファイバ及び第1の基準マーク信号受光チャンネル開口を備え、前記第2の光ファイバ基準マーク信号受光チャンネルが、第2の基準マーク信号受光チャンネル光ファイバ及び第2の基準マーク信号受光チャンネル開口を備え、該第1の光ファイバ読取ヘッドが第1のスケールトラックに対して動作するように配置された時に、前記第1及び第2の基準マーク信号受光チャンネル開口が、互いに最も近いそれらの境界が、測定軸方向に寸法APR12SEPだけ離され、互いに最も遠いそれらの境界が、測定軸方向に合計開口スパン寸法APR12SPANにわたるように構成され、
前記少なくとも1つの基準マーク部が、2つの基準マーク部の境界が、測定軸方向に沿ってエッジ間寸法LETOEだけ離れるように構成され、
前記少なくとも1つの基準マーク部及び第1及び第2の光ファイバ基準マーク信号受光チャンネルが、APR12SEP<(2*LETOE)<APR12SPANとなるように構成され、
第1の光ファイバ読取ヘッドが第1のスケールトラックに対して動作するように配置された時に、前記少なくとも第1及び第2の光ファイバ基準マーク信号受光チャンネルが、それらの開口を通してスケール光の部分を入力し、入力光を伝達して、それらの各基準マーク信号を与え、これが前記少なくとも1つの基準マーク部に近い信号クロス領域内の基準位置の第1の指示を与える、基準信号を検出可能な光ファイバ干渉型格子エンコーダにおいて、
前記第1及び第2の基準マーク信号受光チャンネル開口は、それぞれ開口マスクを有し、少なくとも(a)各基準マーク信号受光チャンネル光ファイバ端部での光伝送コア断面積、及び、(b)光伝送コア領域の部分をカバーする各基準マーク信号受光チャンネル光ファイバ端部近くに位置される各開口マスクの1つによって規定され、各開口マスクは、測定軸方向に沿って空間的に周期的な構造を含まず、
前記トラック部分の第1のタイプ及び前記少なくとも1つの基準マーク部の1つが、スケール光の少なくとも一つの部分に干渉縞を与え、
少なくとも1つの各開口マスクが、測定軸を横断する方向に伸び、測定軸に対して垂直でない少なくとも一部を含む、基準信号を検出可能な光ファイバ干渉型格子エンコーダ。 - 請求項12において、測定軸に垂直でない部分を含む少なくとも1つの横断エッジは、近接する開口境界から測定軸方向に沿って反対側の横断開口エッジに向かって伸びる開口エッジ遷移寸法PEATにわたり、寸法PEATは、第1の光ファイバ読取ヘッドが第1のスケールトラックに対して動作するように配置された時に、開口マスク面で少なくとも1つの干渉縞ピッチにわたる、基準信号を検出可能な光ファイバ干渉型格子エンコーダ。
- 測定軸方向に沿って互いに動く2つの部材間の基準位置の指示を与えるのに使用可能な光ファイバ基準信号発生構造を有する光ファイバ読取ヘッド及びスケール配置を備え、
前記光ファイバ基準信号発生構造が、
第1の拡散光源光を放射する光源、及び、各基準マーク信号を与えるように構成された、少なくとも第1及び第2の光ファイバ基準マーク信号受光チャンネルを備えた少なくとも第1の光ファイバ読取ヘッドの部分と、
スケール部材上の測定軸方向に沿って伸び、前記第1の拡散光源光を反射して、スケール光を第1の光ファイバ読取ヘッドに与えるように配置された少なくとも第1のスケールトラックの部分とを備え、
該少なくとも第1のスケールトラックの一部が、
前記第1の拡散光源光によって照明された時にゼロ次反射の第1の量を与えるトラック部分の第1のタイプと、
前記第1の拡散光源光によって照明された時に、ゼロ次反射の前記第1の量とは異なるゼロ次反射の第2の量を与える、前記トラック部分の第1のタイプ内に配置された少なくとも1つの基準マーク部とを備え、
前記第1の光ファイバ基準マーク信号受光チャンネルが、第1の基準マーク信号受光チャンネル光ファイバ及び第1の基準マーク信号受光チャンネル開口を備え、前記第2の光ファイバ基準マーク信号受光チャンネルが、第2の基準マーク信号受光チャンネル光ファイバ及び第2の基準マーク信号受光チャンネル開口を備え、該第1の光ファイバ読取ヘッドが第1のスケールトラックに対して動作するように配置された時に、前記第1及び第2の基準マーク信号受光チャンネル開口が、互いに最も近いそれらの境界が、測定軸方向に寸法APR12SEPだけ離され、互いに最も遠いそれらの境界が、測定軸方向に合計開口スパン寸法APR12SPANにわたるように構成され、
前記少なくとも1つの基準マーク部が、2つの基準マーク部の境界が、測定軸方向に沿ってエッジ間寸法LETOEだけ離れるように構成され、
前記少なくとも1つの基準マーク部及び第1及び第2の光ファイバ基準マーク信号受光チャンネルが、APR12SEP<(2*LETOE)<APR12SPANとなるように構成され、
第1の光ファイバ読取ヘッドが第1のスケールトラックに対して動作するように配置された時に、前記少なくとも第1及び第2の光ファイバ基準マーク信号受光チャンネルが、それらの開口を通してスケール光の部分を入力し、入力光を伝達して、それらの各基準マーク信号を与え、これが前記少なくとも1つの基準マーク部に近い信号クロス領域内の基準位置の第1の指示を与える、基準信号を検出可能な光ファイバ干渉型格子エンコーダにおいて、
前記少なくとも1つの基準マーク位置が、測定軸を横断する方向に伸び、第1の横断エッジの異なる各部分が、測定軸の横断方向に沿う位置の関数として変化する測定軸方向に沿う各位置を有するように構成された、少なくとも第1の基準マーク位置横断エッジを含み、
測定軸方向に沿う各位置が、各位置が測定軸方向に沿う対応する基準マークエッジ遷移ゾーンにわたり、測定軸を横断する方向に沿って前後に繰返して変化し、
LETOEを規定する目的で、この第1の横断エッジの境界が、測定軸方向に沿う対応する基準マークエッジ遷移ゾーンの中央に位置するように規定されている、基準信号を検出可能な光ファイバ干渉型格子エンコーダ。 - 請求項14において、
前記少なくとも1つの基準マーク位置が、測定軸を横断する方向に沿って伸び、第2の横断エッジの異なる各部分が、測定軸と横断する方向に沿う位置の関数として変化する測定軸方向に沿う各位置を有する第2の横断エッジの異なる各部分を有するように構成された第2の基準マーク位置横断エッジを含み、
第2の基準マーク位置横断エッジが、測定軸方向に垂直な方向に沿う対称軸に関して、第1の基準マーク位置横断エッジの鏡像であるように構成されている、基準信号を検出可能な光ファイバ干渉型格子エンコーダ。 - 請求項1において、
前記光源が、光源光ファイバの端部を備え、
前記少なくとも第1及び第2の基準マーク信号受光チャンネル光ファイバが、光源光ファイバの近くで平行に配置され、
光源光ファイバ及び少なくとも第1及び第2の基準マーク信号受光チャンネル光ファイバを含む、第1の光ファイバ読取ヘッド内の全ての光ファイバが円筒体積内に配置されている、基準信号を検出可能な光ファイバ干渉型格子エンコーダ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/275,170 US7965393B2 (en) | 2007-07-24 | 2008-11-20 | Reference signal generating configuration for an interferometric miniature grating encoder readhead using fiber optic receiver channels |
US12/275,170 | 2008-11-20 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010122224A JP2010122224A (ja) | 2010-06-03 |
JP5693840B2 true JP5693840B2 (ja) | 2015-04-01 |
Family
ID=41495954
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009265460A Active JP5693840B2 (ja) | 2008-11-20 | 2009-11-20 | 基準信号を検出可能な光ファイバ干渉型格子エンコーダ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7965393B2 (ja) |
EP (1) | EP2189762A3 (ja) |
JP (1) | JP5693840B2 (ja) |
CN (1) | CN101900578B (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7973941B2 (en) * | 2007-07-24 | 2011-07-05 | Mitutoyo Corporation | Reference signal generating configuration for an interferometric miniature grating encoder readhead using fiber optic receiver channels |
US7965393B2 (en) | 2007-07-24 | 2011-06-21 | Mitutoyo Corporation | Reference signal generating configuration for an interferometric miniature grating encoder readhead using fiber optic receiver channels |
JP5391115B2 (ja) * | 2010-03-18 | 2014-01-15 | 株式会社ミツトヨ | 光電式エンコーダ |
US20140353477A1 (en) * | 2013-05-29 | 2014-12-04 | The Cleveland Electric Laboratories Company | Optical encoder |
DE102013220190B4 (de) * | 2013-10-07 | 2021-08-12 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Messteilung und lichtelektrische Positionsmesseinrichtung mit dieser Messteilung |
Family Cites Families (42)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SE379241B (ja) | 1974-01-15 | 1975-09-29 | Aga Ab | |
JPS5614112A (en) * | 1979-07-13 | 1981-02-10 | Futaba Corp | Generator for reference position signal |
DD159211A1 (de) | 1981-05-29 | 1983-02-23 | Franz Kebschull | Anordnung zur lagebestimmung eines index gegenueber einer teilung |
DE3334398C1 (de) | 1983-09-23 | 1984-11-22 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Messeinrichtung |
DE3700777C2 (de) | 1986-01-14 | 1994-05-05 | Canon Kk | Vorrichtung zur Erfassung der Position eines Objektes |
US5325176A (en) | 1988-02-16 | 1994-06-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Position detecting method and apparatus including Fraunhofer diffraction detector |
US5073710A (en) | 1989-09-21 | 1991-12-17 | Copal Company Limited | Optical displacement detector including a displacement member's surface having a diffractive pattern and a holographic lens pattern |
EP0513427B1 (de) | 1991-05-18 | 1994-07-06 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Interferentielle Positionsmessvorrichtung |
DE19507613C2 (de) | 1995-03-04 | 1997-01-23 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
JPH0921654A (ja) * | 1995-07-03 | 1997-01-21 | Yaskawa Electric Corp | 光学式変位検出装置および検出方法 |
DE19525874A1 (de) | 1995-07-15 | 1997-01-16 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßvorrichtung |
US6229140B1 (en) | 1995-10-27 | 2001-05-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Displacement information detection apparatus |
US5981941A (en) | 1996-05-20 | 1999-11-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical encorder for detection having a moving reference point |
US5808730A (en) * | 1997-04-08 | 1998-09-15 | Ceramoptec Industries Inc. | Fiber optic displacement sensor |
US5929789A (en) | 1997-04-09 | 1999-07-27 | Hewlett-Packrd Company | Single channel incremental position encorder with incorporated reference mark |
JP3722949B2 (ja) * | 1997-05-27 | 2005-11-30 | 株式会社ミツトヨ | 光電式エンコーダ |
DE59806597D1 (de) | 1997-08-07 | 2003-01-23 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Abtasteinheit für eine optische Positionsmesseinrichtung |
US5856872A (en) | 1997-10-02 | 1999-01-05 | Microe, Inc. | Vernier index position sensor |
DE19754595B4 (de) | 1997-12-10 | 2011-06-01 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Lichtelektrische Positionsmeßeinrichtung |
EP1003012B3 (de) | 1998-11-19 | 2011-04-20 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Optische Positionsmesseinrichtung |
JP3649007B2 (ja) | 1998-11-27 | 2005-05-18 | トヨタ自動車株式会社 | 車両の後退判定方法及び車両制御装置 |
US6713756B2 (en) | 2000-05-09 | 2004-03-30 | Olympus Corporation | Optical encoder and optical rotary encoder |
CA2458964A1 (en) | 2001-08-30 | 2003-03-13 | William G. Thorburn | Harmonic suppressing photodetector array |
US7312437B2 (en) | 2002-07-02 | 2007-12-25 | Olympus Corporation | Displacement sensor, method for detecting the optimal reference position, and method for judging stability of detecting the reference position of displacement sensor |
US6664535B1 (en) | 2002-07-16 | 2003-12-16 | Mitutoyo Corporation | Scale structures and methods usable in an absolute position transducer |
US6906315B2 (en) | 2002-07-16 | 2005-06-14 | Mitutoyo Corporation | High accuracy miniature grating encoder readhead using fiber optic receiver channels |
DE10319609A1 (de) | 2003-05-02 | 2004-11-18 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Optoelektronische Detektoranordnung |
US7053362B2 (en) * | 2003-05-02 | 2006-05-30 | Mitutoyo Corporation | Absolute position miniature grating encoder readhead using fiber optic receiver channels |
US7091475B2 (en) * | 2003-05-07 | 2006-08-15 | Mitutoyo Corporation | Miniature 2-dimensional encoder readhead using fiber optic receiver channels |
GB0316921D0 (en) | 2003-07-19 | 2003-08-27 | Renishaw Plc | Reader for a scale marking |
US7126696B2 (en) * | 2003-09-30 | 2006-10-24 | Mitutoyo Corporation | Interferometric miniature grating encoder readhead using fiber optic receiver channels |
JP2005283357A (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Sendai Nikon:Kk | 光電式エンコーダ |
JP4498024B2 (ja) | 2004-06-15 | 2010-07-07 | キヤノン株式会社 | 光学式エンコーダ |
GB0413711D0 (en) | 2004-06-21 | 2004-07-21 | Renishaw Plc | Scale and readhead apparatus |
GB0415141D0 (en) | 2004-07-06 | 2004-08-11 | Renishaw Plc | Scale reading apparatus |
GB0416952D0 (en) | 2004-07-30 | 2004-09-01 | Renishaw Plc | Scale making method |
US20070024865A1 (en) | 2005-07-26 | 2007-02-01 | Mitchell Donald K | Optical encoder having slanted optical detector elements for harmonic suppression |
GB0601174D0 (en) | 2006-01-20 | 2006-03-01 | Renishaw Plc | Multiple readhead apparatus |
JP4932284B2 (ja) * | 2006-03-03 | 2012-05-16 | 株式会社ミツトヨ | 光電式エンコーダ |
US7502122B2 (en) * | 2006-07-31 | 2009-03-10 | Mitutoyo Corporation | Fiber-optic miniature encoder for fine pitch scales |
US20090027692A1 (en) * | 2007-07-24 | 2009-01-29 | Mitutoyo Corporation | Reference signal generating configuration for an interferometric miniature grating encoder readhead using fiber optic receiver channels |
US7965393B2 (en) | 2007-07-24 | 2011-06-21 | Mitutoyo Corporation | Reference signal generating configuration for an interferometric miniature grating encoder readhead using fiber optic receiver channels |
-
2008
- 2008-11-20 US US12/275,170 patent/US7965393B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-09-30 CN CN200910253084.9A patent/CN101900578B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2009-11-20 JP JP2009265460A patent/JP5693840B2/ja active Active
- 2009-11-20 EP EP09176651.9A patent/EP2189762A3/en not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101900578A (zh) | 2010-12-01 |
US7965393B2 (en) | 2011-06-21 |
JP2010122224A (ja) | 2010-06-03 |
EP2189762A3 (en) | 2017-03-22 |
EP2189762A2 (en) | 2010-05-26 |
CN101900578B (zh) | 2014-03-05 |
US20090135435A1 (en) | 2009-05-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2023094B1 (en) | Reference signal generating configuration for an interferometric miniature grating encoder readhead using fiber optic receiver channels | |
US7348546B2 (en) | Position measuring system with a scanning unit having a reference pulse signal detection unit | |
JP4608274B2 (ja) | 変位測定装置 | |
JP5717633B2 (ja) | 光学式位置測定装置 | |
US7053362B2 (en) | Absolute position miniature grating encoder readhead using fiber optic receiver channels | |
EP1475613B1 (en) | Encoder using fiber optic receiver channels | |
JP4516381B2 (ja) | 変位測定装置 | |
JP4266834B2 (ja) | 光学エンコーダ | |
JP5693840B2 (ja) | 基準信号を検出可能な光ファイバ干渉型格子エンコーダ | |
EP2343511B1 (en) | Reference signal generating configuration for an interferometric miniature grating encoder readhead using fiber optic receiver channels | |
EP2469241B1 (en) | Optical encoder readhead configuration | |
US10775202B2 (en) | Optical position-measuring device comprising two tracks each containing incremental graduations with integrated reference marks having aperiodic and periodic portions |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121002 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130614 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A132 Effective date: 20130709 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130828 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140610 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140715 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150127 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150204 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5693840 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |