JP5693574B2 - 合成石英ガラスからなるメニスカスレンズおよびその製造法 - Google Patents
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Description
メニスカスレンズは、凸面形の光学的に有効なレンズ面およびこれに対向する凹面形の光学的に有効なレンズ面を有する。2つのレンズ面は、光学的に異なるが、しかし、同じ方向に湾曲している。この場合、この方向は、"湾曲方向"と呼称される。
本発明は、光学的性質または機械的性質のできるだけ僅かな損傷を生じさせる複数の層を可能にする、マイクロリソグラフィーに使用するための合成石英ガラスからなるメニスカスレンズを提供するという課題に基づくものである。
石英ガラス未完成品を、複数の層上の面法線が矢印の長手軸線と平行に延びるように、矢印を用いて旋盤上に収容する。未完成品を、外向きに湾曲した底面を有する黒鉛型内に圧入する。この場合、未完成品をガスバーナを用いて約2000℃の温度に加熱する。黒鉛型を用いて、凸面形に湾曲した第1のレンズ面を形成させる。ブローパイプを取り除き、軟質の石英ガラス溶融液の上側内に凸面の表面を有する黒鉛ラムを圧入することにより、凹面形に湾曲した第2の表面を形成させる。
石英ガラス未完成品1を黒鉛金型内に置き、およびラムの重しを載せる。黒鉛金型は、凹面形に湾曲した底面を有し、ラムは、球面セグメントして形成された、凸面形に湾曲した下面を有する。2つの部分は、高純度な多孔質黒鉛からなる。変形のために、石英ガラスが軟化し、この石英ガラスの固有の重さの作用下で金型内に流出し、その際にこの金型を充填するように、金型内に存在する石英ガラス未完成品1を有する金型全体を加熱する。同時に、載置されるラムは、軟質の石英ガラス質量の上側を変形し、したがって凹面形を有する凹所が形成される。
Claims (8)
- SiO2粒子を珪素含有出発化合物の酸化または火炎加水分解によって形成させ、このSiO2粒子を層状に担体上に堆積させ、成長方向に延びる面法線を有する複数の層(3)を含む円柱体状のSiO2未完成品(1)を形成させる方法の工程を含む、第1の光学表面(7)および第1の光学表面と同じ湾曲方向を有する第2の光学表面(8)を有するマイクロリソグラフィー機器において使用するための合成石英ガラスからなるメニスカスレンズの製造法において、未完成品(1)を熱変形法で変形力の作用下でプレフォーム(6)に可塑的に変形し、このプレフォームは、少なくとも第1の湾曲した表面(7)を有し、このプレフォーム内で複数の層が湾曲方向に湾曲して延在し、かつこのプレフォーム(6)からメニスカスレンズを得ることを特徴とする、マイクロリソグラフィー機器において使用するための合成石英ガラスからなるメニスカスレンズの製造法。
- 前記熱変形法は、未完成品(1)を旋盤に収容し、軟化させ、および工具を用いることなくプレフォーム(6)に変形する変形工程を含む、請求項1記載の方法。
- メニスカスレンズを第2の表面(8)の機械的加工によって、または複数の層の面法線の方向に作用するプレスラムによって得る、請求項2記載の方法。
- 前記熱変形法は、未完成品(1)をブローパイプを用いて取り上げ、軟化させ、および黒鉛型内でプレフォーム(6)に変形させる変形工程を含む、請求項1記載の方法。
- 前記熱変形法は、未完成品(1)を炉内で軟化させ、およびそこから黒鉛型内に流出させてプレフォーム(6)を形成する変形工程を含む、請求項1記載の方法。
- 黒鉛型は、第1の湾曲した表面(7)を形成する、湾曲した底面を有し、第2の湾曲した表面(8)は、複数の層の面法線の方向に未完成品(1)に対して作用する湾曲した物体を用いて可塑性のプレフォームによって形成される、請求項5記載の方法。
- 面法線は、第1の湾曲した表面(7)に隣接した層(3)に対してこの層の表面延在部全体に亘って70°〜110°の角度で第1の湾曲した表面(7)にまで延びる、請求項1から6までのいずれか1項に記載の方法。
- 面法線は、80°〜100°の角度で第1の湾曲した表面(7)にまで延びる、請求項7記載の方法。
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